JPH09212856A - Production of magnetic recording medium - Google Patents
Production of magnetic recording mediumInfo
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- JPH09212856A JPH09212856A JP1596296A JP1596296A JPH09212856A JP H09212856 A JPH09212856 A JP H09212856A JP 1596296 A JP1596296 A JP 1596296A JP 1596296 A JP1596296 A JP 1596296A JP H09212856 A JPH09212856 A JP H09212856A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、非磁性支持体上に
斜め蒸着により金属磁性薄膜を磁性層として形成してな
る磁気記録媒体の製造方法の技術分野に属し、特に、非
磁性支持体の表面処理や磁性層の表面処理に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a technical field of a method for producing a magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film is formed as a magnetic layer on a non-magnetic support by oblique vapor deposition, and more particularly to a non-magnetic support. The present invention relates to surface treatment and surface treatment of the magnetic layer.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来より、磁気記録媒体としては、酸化
物磁性粉末あるいは合金磁性粉末等の粉末磁性材料を塩
化ビニル−酢酸ビニル系共重合体、ポリエステル樹脂、
ウレタン樹脂、ポリウレタン樹脂等の有機結合剤中に分
散せしめた磁性塗料を非磁性支持体上に塗布、乾燥する
ことにより作成される塗布型の磁気記録媒体が広く使用
されている。2. Description of the Related Art Conventionally, as a magnetic recording medium, a powder magnetic material such as an oxide magnetic powder or an alloy magnetic powder is used as a vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, a polyester resin,
2. Description of the Related Art A coating type magnetic recording medium prepared by coating a magnetic coating material dispersed in an organic binder such as urethane resin or polyurethane resin on a non-magnetic support and drying it is widely used.
【0003】これに対して、ビデオテープレコーダー
(VTR)等の分野においては、高画質化を図るため
に、高密度磁気記録化が一層強く要求されており、これ
に対応する磁気記録媒体として、Co−Ni系合金、C
o−Cr系合金、Co−O系等の金属磁性材料を、メッ
キや真空薄膜形成技術(真空蒸着法やスパッタリング
法、イオンプレーティング法等)によってポリエステル
フィルムやポリアミド、ポリイミドフィルム等の非磁性
支持体上に磁性層として直接被着した、いわゆる強磁性
金属薄膜塗布型の磁気記録媒体が提案され注目を集めて
いる。On the other hand, in the field of video tape recorders (VTRs) and the like, there is a strong demand for high-density magnetic recording in order to achieve high image quality, and as a magnetic recording medium corresponding thereto, Co-Ni alloy, C
Non-magnetic support of polyester film, polyamide, polyimide film, etc. for metal magnetic materials such as o-Cr alloys and Co-O based on plating or vacuum thin film forming technology (vacuum evaporation method, sputtering method, ion plating method, etc.) A so-called ferromagnetic metal thin film coating type magnetic recording medium, which is directly deposited on the body as a magnetic layer, has been proposed and has attracted attention.
【0004】そして、この強磁性金属薄膜塗布型の磁気
記録媒体においては、電磁変換特性を向上させ、より大
きな出力を得ることが出来るようにするために、磁性層
である強磁性金属薄膜を形成する場合、磁性材料を斜め
に蒸着する斜め蒸着が提案され実用化されている。この
ような金属薄膜媒体は、磁気特性的な優位さ故に今後の
高密度磁気記録媒体の主流となると考えられる。In this magnetic recording medium of the ferromagnetic metal thin film coating type, a ferromagnetic metal thin film which is a magnetic layer is formed in order to improve electromagnetic conversion characteristics and obtain a larger output. In this case, oblique vapor deposition in which a magnetic material is obliquely vapor-deposited has been proposed and put to practical use. It is considered that such a metal thin film medium will become the mainstream of high density magnetic recording media in the future because of its superior magnetic properties.
【0005】ところで、この斜め蒸着によって成膜され
る磁性層は、通常200nm程度と非常に薄いために非
磁性支持体上の付着物や形状変形などが磁気ヘッドとの
接触を妨げ、当たり不良やドロップアウトなどになるい
ため、非磁性支持体の製造工程や蒸着工程などにおける
付着物の発生や寝押しなどによる形状変形には細心の注
意が払われてきた。By the way, since the magnetic layer formed by this oblique vapor deposition is usually as thin as about 200 nm, the adhered matter on the non-magnetic support or the deformation of the shape interferes with the contact with the magnetic head, resulting in poor contact. Since it is likely to be dropped out, careful attention has been paid to the generation of deposits in the manufacturing process of the non-magnetic support and the deformation of the shape due to overturning.
【0006】しかし、蒸着プロセスにおける磁性材料の
微小粉塵などを完全に除去することはできず、蒸着工程
における微小な熱負けの発生や蒸着装置内の微小な粉塵
などが付着したドロップアウトを問題のないレベルまで
少なくすることはできなかった。特に、この熱負けは磁
気記録層の部分的な特性劣化を生じ、当たり不良や、い
わゆるドロップアウトの原因となる。However, it is not possible to completely remove the fine dust of the magnetic material in the vapor deposition process, and the generation of fine heat loss in the vapor deposition process and the dropout caused by the fine dust in the vapor deposition apparatus become a problem. I couldn't reduce it to a level that didn't exist. In particular, this heat loss causes a partial deterioration of the characteristics of the magnetic recording layer, which causes hitting defects and so-called dropout.
【0007】このドロップアウト対策として、本願出願
人は、既に、特開昭63−167425号公報や特開平
2−7225号公報に示されるような磁性層表面にラッ
ピング処理を施す方法を提案している。このラッピング
処理は、蒸着テープ原反の表面に付着したゴミや異物
を、蒸着テープ原反の走行方と同じ方向に研摩力の強い
ラッピングテープを摺接させることにより除去するもの
である。As a countermeasure against this dropout, the applicant of the present application has already proposed a method of lapping the magnetic layer surface as shown in JP-A-63-167425 and JP-A-2-7225. There is. In this lapping process, dust and foreign matters attached to the surface of the vapor deposition tape raw material are removed by sliding a lapping tape having a strong abrasive force in the same direction as the running direction of the vapor deposition tape raw material.
【0008】[0008]
【発明が解決しようとする課題】このように、従来の方
法は、蒸着テープ原反の走行方と同じ方向にラッピング
テープを摺接させてラッピング処理を施すものである。As described above, according to the conventional method, the lapping tape is slidably contacted in the same direction as the running direction of the vapor deposition tape stock to perform the lapping process.
【0009】しかしながら、このような従来方法では、
蒸着テープ原反の送り速度に比べて、ラッピングテープ
等の送り速度が桁違いに遅いため、ラッピングテープに
付着した蒸着テープ原反の異物やゴミ等が、逆に、蒸着
テープ原反に傷をつけてしまう弊害があった。However, in such a conventional method,
Since the feeding speed of the wrapping tape, etc. is incomparably slower than the feeding speed of the vapor deposition tape raw material, foreign matter and dust etc. of the vapor deposition tape raw material adhering to the wrapping tape, on the contrary, scratch the vapor deposition tape raw material. There was a bad effect of putting it on.
【0010】また、従来のラッピング処理の方法では、
蒸着テープ原反の走行方と同じ方向に送り速度を変えて
走行させるものであるために、ラッピングテープ等に付
着した異物が蒸着テープ原反の長さ方向にかなりの長さ
で傷つけてしまう問題があった。Further, in the conventional lapping method,
Since the feed speed is changed in the same direction as the running direction of the vapor deposition tape stock, foreign matter attached to the wrapping tape, etc. will be damaged for a considerable length in the length direction of the vapor deposition tape stock. was there.
【0011】そこで、このような事態を改善するため
に、ラッピング処理時の条件設定等においてさまざまな
工夫がなされてきた。例えば、ラッピングテープの走行
方向を蒸着テープ原反に対して斜め方向に走行させるこ
とにより、スクラッチ傷の発生を抑える試みが、その一
つである。Therefore, in order to improve such a situation, various measures have been taken in setting conditions and the like during the lapping process. For example, one of them is an attempt to suppress the occurrence of scratches by running the wrapping tape in an oblique direction with respect to the original vapor deposition tape.
【0012】しかし、従来方法を前提として工夫したも
のは、いずれも充分な効果は発揮されていない。他方、
従来方法を大幅に変更して、仮に、充分な効果が発揮さ
れるとしても、装置が大型化複雑化してコストが高くな
ることは好ましいものではない。However, none of the devices devised based on the conventional method are sufficiently effective. On the other hand,
Even if the conventional method is drastically changed and a sufficient effect is exhibited, it is not preferable that the apparatus becomes large and complicated and the cost becomes high.
【0013】特に、近年の磁気記録システムの高密度記
録(短波長記録化)、ディジタル記録化に伴い、磁気記
録媒体にこの厳しい要求に応える必要があるが、従来の
ものでは、かかる要求に充分な効果を発揮することはで
きなかった。In particular, with the recent trend of high density recording (shorter wavelength recording) and digital recording of magnetic recording systems, it is necessary to meet these strict requirements for magnetic recording media, but conventional ones are not sufficient for such requirements. It was not possible to exert such an effect.
【0014】そこで、本発明は、このような実情に鑑み
て提案されたものであって、金属薄膜磁気記録媒体のド
ロップアウトを減少させ、表面処理によるスクラッチ傷
の発生を簡易な構造で効果的に防止することができる磁
気記録媒体の製造方法を提供することを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of the above circumstances, and it is effective to reduce the dropout of the metal thin film magnetic recording medium and to prevent the occurrence of scratches due to the surface treatment with a simple structure. It is an object of the present invention to provide a method of manufacturing a magnetic recording medium that can prevent the above problems.
【0015】[0015]
【課題を解決するための手段】本発明の磁気記録媒体の
製造方法は、上記課題を解決し目的を達成するために、
非磁性支持体上に斜め蒸着により金属磁性薄膜を形成す
る磁気記録媒体の製造方法において、非磁性支持体の走
行方向に対して略々垂直方向にラッピングすることを特
徴とする。In order to solve the above problems and achieve the object, a method of manufacturing a magnetic recording medium according to the present invention comprises:
In a method of manufacturing a magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film is formed on a non-magnetic support by oblique vapor deposition, lapping is performed in a direction substantially perpendicular to the running direction of the non-magnetic support.
【0016】また、ラッピングテープの裏面側から圧縮
空気を吹き付けることを特徴とする。Further, it is characterized in that compressed air is blown from the back side of the wrapping tape.
【0017】また、非磁性支持体の走行方向に対して略
々垂直方向にラッピング処理した後、非磁性支持体の走
行方向と同じ方向にラッピング処理を施すことを特徴と
する。Further, it is characterized in that after the lapping process is carried out in a direction substantially perpendicular to the running direction of the non-magnetic support, the lapping process is carried out in the same direction as the running direction of the non-magnetic support.
【0018】また、ラッピングテープによるラッピング
処理が非磁性支持体に金属磁性薄膜が被着形成された後
に施されることを特徴とする。Further, it is characterized in that the lapping process with the lapping tape is performed after the metal magnetic thin film is adhered and formed on the non-magnetic support.
【0019】本発明は、非磁性支持体の走行方向に対し
て略々垂直方向にラッピング処理を施すものであるた
め、強磁性金属薄膜磁気記録媒体の表面処理が良好に行
え、蒸着テープ原反の走行方と同じ方向にラッピングテ
ープを摺接させる従来方法のように、ラッピングテープ
に付着した蒸着テープ原反の異物やゴミ等が、逆に、蒸
着テープ原反に傷をつけてしまうようなことがなくな
る。According to the present invention, since the lapping treatment is carried out in a direction substantially perpendicular to the running direction of the non-magnetic support, the surface treatment of the ferromagnetic metal thin film magnetic recording medium can be favorably carried out, and the vapor deposition tape original fabric can be processed. Like the conventional method in which the wrapping tape is slidably contacted in the same direction as the running direction of the wrapping tape, foreign matter or dust on the wrapping tape that is attached to the wrapping tape, on the contrary, may scratch the vapor deposition tape. Will disappear.
【0020】また、非磁性支持体の走行方向に対して略
々垂直方向にラッピング処理を施すことにより、従来方
法のように、ラッピングテープ等に付着した異物が蒸着
テープ原反の長さ方向にかなりの長さで傷つけてしまう
ようなことがなくなる。Further, by performing the lapping process in a direction substantially perpendicular to the running direction of the non-magnetic support, foreign substances adhering to the lapping tape or the like in the lengthwise direction of the vapor deposition tape raw material as in the conventional method. It will not hurt you for a long time.
【0021】[0021]
【発明の実施の形態】以下、本発明を具体的な実施の形
態を図面に基づいて説明する。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.
【0022】磁気記録媒体の製造装置 本発明の装置を使用して製造される磁気記録媒体は、強
磁性金属薄膜型の磁気記録媒体、特に、斜め蒸着法によ
り強磁性金属薄膜を被着形成した磁気記録媒体である。 Magnetic Recording Medium Manufacturing Apparatus A magnetic recording medium manufactured using the apparatus of the present invention is a ferromagnetic metal thin film type magnetic recording medium, in particular, a ferromagnetic metal thin film is formed by oblique deposition. It is a magnetic recording medium.
【0023】そこで、本実施の形態にかかる磁気記録媒
体の製造装置は、図1に示すように、内部が真空状態と
なされた真空室1内に、テープ状の非磁性支持体2が、
図中時計回り方向に定速回転する送りロール3から図中
の反時計回り方向に定速回転するようになされた巻取り
ロール4に順次走行するようになされている。Therefore, in the apparatus for manufacturing a magnetic recording medium according to the present embodiment, as shown in FIG. 1, a tape-shaped non-magnetic support 2 is provided in a vacuum chamber 1 whose inside is in a vacuum state.
The feed roll 3 is rotated at a constant speed in the clockwise direction in the drawing, and the winding roll 4 is rotated in the counterclockwise direction at a constant speed.
【0024】これら送りロール3と巻取りロール4との
中途部には、非磁性支持体2を図中下方に引き出すよう
に設けられるとともに、上記各ロール3,4の径よりも
大きな径となされた冷却キャン5が図中時計回り方向に
定速回転するように設けられている。The non-magnetic support 2 is provided in the middle of the feed roll 3 and the take-up roll 4 so as to be pulled out downward in the figure, and has a diameter larger than the diameters of the rolls 3 and 4. The cooling can 5 is provided so as to rotate at a constant speed in the clockwise direction in the figure.
【0025】尚、上記送りロール3、巻取りロール4、
及び、冷却キャン5は、それぞれ非磁性支持体2の幅と
略同じ長さからなる円筒状をなすものであり、また、冷
却キャン5には、内部に図示しない冷却装置が設けら
れ、上記非磁性支持体2の温度上昇による変形等を抑制
し得るようになされている。The feed roll 3, the winding roll 4,
The cooling can 5 has a cylindrical shape having a length substantially the same as the width of the non-magnetic support 2, and the cooling can 5 has a cooling device (not shown) provided therein. Deformation and the like of the magnetic support 2 due to temperature rise can be suppressed.
【0026】したがって、非磁性支持体2は、送りロー
ル3から順次送り出され、さらに上記冷却キャン5の周
面を通過し、巻取りロール4に巻取られていくようにな
されている。尚、上記送りロール3と記冷却キャン5と
の間及び該冷却キャン5と上記巻取りロール4との問に
はそれぞれガイドロール6、7が配設され、送りロール
3から冷却キャン5及び該冷却キャン5から券取りロー
ル4に亘って走行する非磁性支持体2に所定のテンショ
ンをかけ、該非磁性支持体2が円滑に走行するようにな
されている。Therefore, the non-magnetic support 2 is sequentially fed from the feed roll 3, passes through the peripheral surface of the cooling can 5, and is wound up by the winding roll 4. Guide rolls 6 and 7 are provided between the feed roll 3 and the cooling can 5 and between the cooling can 5 and the take-up roll 4, respectively. A predetermined tension is applied to the non-magnetic support 2 that runs from the cooling can 5 to the ticket-picking roll 4, so that the non-magnetic support 2 runs smoothly.
【0027】また、上記真空室1内には、上記冷却キャ
ン5の下方に収納容器8が設けられ、この収納容器8内
に金属磁性材料9が充填されている。また、冷却キャン
5の側方には、電子ビーム銃等によって構成される加熱
手段10が設けられている。A storage container 8 is provided below the cooling can 5 in the vacuum chamber 1, and a metal magnetic material 9 is filled in the storage container 8. Further, a heating means 10 composed of an electron beam gun or the like is provided on the side of the cooling can 5.
【0028】この加熱手段10は、収納容器8内に充填
された金属磁性材料9を加熱蒸発させるものであり、加
熱手段10によって蒸発した金属磁性材料9は、冷却キ
ャン5の周面を定速走行する非磁性支持体2上に磁性層
として被着形成されるようになされている。The heating means 10 heats and evaporates the metallic magnetic material 9 filled in the storage container 8. The metallic magnetic material 9 evaporated by the heating means 10 causes the peripheral surface of the cooling can 5 to move at a constant speed. A magnetic layer is deposited and formed on the running non-magnetic support 2.
【0029】また、冷却キャン5と収納容器8との間で
あって該冷却キャン5の近傍には、シャッタ11が配設
されている。このシャッタ11は、上記冷却キャン5の
周面を定速走行する非磁性支持体2の所定領域を覆う形
で形成され、このシャッタ12により上記蒸発せしめら
れた金属磁性材料9が非磁性支持体2に対して所定の角
度範囲で斜めに蒸着されるようになっている。A shutter 11 is arranged between the cooling can 5 and the storage container 8 and near the cooling can 5. The shutter 11 is formed so as to cover a predetermined region of the non-magnetic support 2 that runs at a constant speed on the peripheral surface of the cooling can 5, and the shutter 12 causes the evaporated metal magnetic material 9 to be a non-magnetic support. 2 is obliquely vapor-deposited within a predetermined angle range.
【0030】そして特に、本磁気記録媒体の製造装置
は、上記ガイドロール7から巻き取りロール4に亘って
走行する非磁性支持体2の磁性層表面にラッピング処理
を施す第1の研摩装置12と、必要に応じて更にラッピ
ング処理が施される第2の研摩装置21が設けられてい
る。In particular, this magnetic recording medium manufacturing apparatus includes a first polishing apparatus 12 for lapping the surface of the magnetic layer of the non-magnetic support 2 which runs from the guide roll 7 to the take-up roll 4. There is provided a second polishing device 21 which is further subjected to lapping treatment if necessary.
【0031】まず、第1の研摩装置12は、簡易な構造
で効率的なラッピング処理を施すもので、上記ガイドロ
ール7と巻取りロール4の間に設けられている。そし
て、この第1の研摩装置12は、図2に示すように、ガ
イドロール18からガイドロール19に亘って走行する
非磁性支持体2に対して垂直方向に設けられている。First, the first polishing device 12 has a simple structure and performs an efficient lapping process, and is provided between the guide roll 7 and the winding roll 4. Then, as shown in FIG. 2, the first polishing device 12 is provided in a direction perpendicular to the non-magnetic support 2 that runs from the guide roll 18 to the guide roll 19.
【0032】すなわち、この第1の研摩装置12は、ラ
ッピングテープ14が、ラッピングテープ送りロール1
5からラッピングテープ巻き取りロール16に固定部材
13,13を介して巻き取られるようになされており、
非磁性支持体2の走行方向(図中矢印Y方向)に対して
垂直方向(図中矢印X方向)に摺接するようにラッピン
グテープ14が配されて構成されている。That is, in the first polishing device 12, the wrapping tape 14 is the wrapping tape feed roll 1
5 is wound on the wrapping tape winding roll 16 via the fixing members 13 and 13,
A wrapping tape 14 is arranged so as to be in slidable contact in a direction perpendicular to the running direction of the non-magnetic support 2 (direction of arrow Y in the figure) (direction of arrow X in the figure).
【0033】また、ラッピングテープ14の裏面側に
は、吹き付け手段20が設けられている。この吹き付け
手段20は、圧縮空気を吹き付けることにより、よりラ
ッピング処理の効果をもたせるようにするためのもので
ある。A blowing means 20 is provided on the back side of the wrapping tape 14. The spraying means 20 is for spraying compressed air so that the effect of the lapping process can be further enhanced.
【0034】したがって、非磁性支持体2に金属磁性薄
膜が被着形成された後、上記構成の研摩装置12、21
により、非磁性支持体2の磁性層表面に付着した蒸着時
のスプラッシュ物や塵埃が除去されるようになってい
る。そして、上記第1の研摩装置12の構成は、従来の
非磁性支持体2に対して同じ方向にラッピングテープ2
3を摺接させるものを横方向に配すれば良いために、構
成が簡単であり、設置スペースもあまりとらないため
に、既存の設備にも容易に導入することができる。Therefore, after the metal magnetic thin film is deposited on the non-magnetic support 2, the polishing devices 12 and 21 having the above-described structure are formed.
As a result, the splash material and dust attached to the surface of the magnetic layer of the non-magnetic support 2 during vapor deposition can be removed. The structure of the first polishing device 12 is such that the lapping tape 2 is oriented in the same direction as the conventional non-magnetic support 2.
Since it is only necessary to dispose those which slide 3 in contact with each other in the lateral direction, the structure is simple, and the installation space is not taken up so that it can be easily introduced into existing equipment.
【0035】ここで、ラッピングテープ14の幅は、1
0mmに裁断したものを使用した。また、ラッピングテ
ープ14の送り速度は、研摩時の傷の発生しにくい速度
を選択すればよいが、本実施の形態のように、従来の速
度に比べスクラッチ傷の長さが短くなるため比較的早い
速度に設定したほうが好ましい。The width of the wrapping tape 14 is 1
The one cut to 0 mm was used. Further, the feeding speed of the wrapping tape 14 may be selected such that scratches are less likely to occur during polishing, but as in the present embodiment, the length of scratch scratches is shorter than that of the conventional speed, which is relatively high. It is preferable to set a high speed.
【0036】次に、本装置では、上記ガイドロール7か
ら巻き取りロール4に亘って走行する非磁性支持体2の
磁性層表面にラッピング処理を施すラッピングロール2
2が配された第2の研摩装置21が設けられている。た
だし、この第2の研摩装置は、上記第1の研摩装置12
により、非磁性支持体2の磁性層表面に付着した蒸着時
のスプラッシュ物や塵埃が除去される場合には、必ずし
も使用しなくとも良いものである。Next, in this apparatus, the lapping roll 2 for lapping the magnetic layer surface of the non-magnetic support 2 traveling from the guide roll 7 to the winding roll 4 is used.
A second polishing device 21 in which 2 is arranged is provided. However, this second polishing apparatus is the same as the first polishing apparatus 12 described above.
Therefore, it is not always necessary to use it when the splash material or dust attached to the surface of the magnetic layer of the non-magnetic support 2 during vapor deposition is removed.
【0037】この第2の研摩装置21は、上記第1の研
摩装置12によりラッピング処理が施されたが、この第
1の研摩装置12だけでは充分でない場合にラッピング
処理が施されるもので、第1の研摩装置12からの延長
線上、すなわちインラインにて設けられている。The second polishing device 21 is subjected to the lapping process by the first polishing device 12, but when the first polishing device 12 is not sufficient, the lapping process is performed. It is provided on an extension line from the first polishing device 12, that is, in line.
【0038】この第2の研摩装置21は、図2に示すよ
うに、上記ガイドロール7と巻取りロール4の間に設け
られているが、第1の研摩装置12と異なり、非磁性支
持体2に対して同じ方向にラッピングテープ23を摺接
させるものである。このラッピングテープ23は、上記
ラッピングロール22の近傍に配されたラッピングテー
プ送りロール24に多数巻き回され順次上記ラッピング
テープ23に走行し、さらに上記ラッピングロール22
の近傍に配されたラッピングテープ巻き取りロール25
に巻き取られるようにされている。As shown in FIG. 2, the second polishing device 21 is provided between the guide roll 7 and the take-up roll 4, but unlike the first polishing device 12, it is a non-magnetic support. The wrapping tape 23 is slidably contacted to the 2 in the same direction. The wrapping tape 23 is wound around a large number of wrapping tape feed rolls 24 arranged in the vicinity of the wrapping roll 22 and sequentially runs on the wrapping tape 23.
Wrapping tape take-up roll 25 arranged in the vicinity of
It is supposed to be wound up.
【0039】磁気記録媒体の製造方法 このような構成の磁気記録媒体の製造装置により、Co
−Ni合金等の強磁性金属材料を斜め方向から真空蒸着
し、非磁性支持体2に対して強磁性金属薄膜よりなる磁
性層を形成する。 Method of Manufacturing Magnetic Recording Medium By using the apparatus for manufacturing a magnetic recording medium having such a structure, Co
A ferromagnetic metal material such as —Ni alloy is vacuum-deposited from an oblique direction to form a magnetic layer made of a ferromagnetic metal thin film on the non-magnetic support 2.
【0040】ここで、斜め蒸着する強磁性金属薄膜材料
しては、通常の蒸着テ−プに使用されるものであれば如
何なるものであってもよい。例示すれば、Fe,Co,
Niなどの強磁性金属、Fe−Co,Co−Ni,Fe
−Co−Ni,Fe−Cu,Co−Cu,Co−Au,
Co−Pt,Fe−Cr,Co−Cr,Ni−Cr,F
e−Co−Cr,Co−Ni−Cr,Fe−Co−Ni
−Cr等の強磁性合金が挙げられる。金属磁性層は、こ
れらの単層膜であってもよいし多層膜であってもよい。
さらに多層膜の場合には、各層間の付着力向上、並びに
抗磁力の制御等のため、中間層を設けてもよい。また、
磁性層表面近傍が耐蝕性改善等のために酸化物となって
いてもよい。Here, as the ferromagnetic metal thin film material for oblique vapor deposition, any material can be used as long as it is used for a normal vapor deposition tape. For example, Fe, Co,
Ferromagnetic metals such as Ni, Fe-Co, Co-Ni, Fe
-Co-Ni, Fe-Cu, Co-Cu, Co-Au,
Co-Pt, Fe-Cr, Co-Cr, Ni-Cr, F
e-Co-Cr, Co-Ni-Cr, Fe-Co-Ni
A ferromagnetic alloy such as -Cr may be used. The metal magnetic layer may be a single layer film or a multilayer film of these.
Further, in the case of a multilayer film, an intermediate layer may be provided in order to improve the adhesive force between the layers and control the coercive force. Also,
The vicinity of the surface of the magnetic layer may be an oxide to improve the corrosion resistance.
【0041】金属磁性層形成の手段としては、真空下で
強磁性金属材料を加熱蒸発させ非磁性支持体上に被着さ
せる真空蒸着法や、強磁性金属材料の蒸発を放電中で行
うイオンプレーティング法、アルゴンを主成分とする雰
囲気中でグロー放電を越こし生じたアルゴンイオンでタ
ーゲット表面の原子をたたき出すスパッタ法等、いわゆ
るPVD技術によればよい。As a means for forming the metal magnetic layer, a vacuum evaporation method in which a ferromagnetic metal material is heated and evaporated under vacuum to be deposited on a non-magnetic support, or an ion play in which the ferromagnetic metal material is evaporated in a discharge is used. The so-called PVD technique may be used, such as a coating method, a sputtering method in which atoms on the target surface are knocked out by argon ions generated through a glow discharge in an atmosphere containing argon as a main component.
【0042】また、上記非磁性支持体上に形成された強
磁性金属材料上には保護膜が形成されていても良いが、
この材料としては、通常の金属磁性薄膜として使用され
るものであれば如何なるものであっても良い。例示すれ
ば、CrO2 ,Al2O3,BN,Co酸化物,MgO,
SiO2,Si3O4,SiNx,SiC,SiN−Si
O2,ZrO2,TiO2,TiC等が挙げられる。これ
らの単層膜であってもよいし多層膜や金属との複合膜で
あってもよい。A protective film may be formed on the ferromagnetic metal material formed on the non-magnetic support,
Any material may be used as this material as long as it is used as a usual metal magnetic thin film. For example, CrO 2 , Al 2 O 3 , BN, Co oxide, MgO,
SiO 2, Si 3 O 4, SiNx, SiC, SiN-Si
O 2 , ZrO 2 , TiO 2 , TiC and the like can be mentioned. These may be a single layer film, a multilayer film or a composite film with a metal.
【0043】また、非磁性支持体としては、通常この種
の磁気記録媒体の非磁性支持体として用いられるもので
あれば何れも使用可能であり、例示すれば、ポリエステ
ル類,ポリアミド類,ポリオレフィン類,セルロース誘
導体,ビニル系樹脂,ポリイミド類,ポリアミド類,ポ
リカーボネート等に代表されるような高分子材料からな
る支持体が挙げられる。As the non-magnetic support, any of those usually used as a non-magnetic support of this type of magnetic recording medium can be used. For example, polyesters, polyamides, polyolefins can be used. Examples of the support include polymer derivatives such as cellulose derivatives, vinyl resins, polyimides, polyamides, and polycarbonates.
【0044】また、結合剤としても、通常この種の磁気
記録媒体の非磁性支持体として用いられるものであれば
何れも使用可能であり、例示すれば、塩化ビニル−酢酸
ビニル共重合体,塩化ビニル−プロピオン酸共重合体,
塩化ビニル酢酸ビニル−ビニルアルコール共重合体等の
塩化ビニル系樹脂や、ポリエステルポリウレタン、ポリ
エーテルポリウレタン、ポリカーボネートポリウレタン
等のポリウレタン樹脂等が挙げられる。As the binder, any binder that is usually used as a non-magnetic support of this type of magnetic recording medium can be used. For example, vinyl chloride-vinyl acetate copolymer, chloride Vinyl-propionic acid copolymer,
Examples thereof include vinyl chloride resins such as vinyl chloride vinyl acetate-vinyl alcohol copolymer, and polyurethane resins such as polyester polyurethane, polyether polyurethane, and polycarbonate polyurethane.
【0045】もちろん、本発明にかかる磁気記録媒体の
構成は、これに限定されるものではなく、本発明の要旨
を逸脱しない範囲での変更、例えば必要に応じてバック
コート層を形成したり、非磁性支持体上に下塗層を形成
したり、潤滑剤、防錆剤などの層を形成することは何等
差し支えない。この場合、バックコート層に含まれる非
磁性顔料、樹脂結合剤、或いは、潤滑剤、防錆剤層に含
まれる材料としては従来公知のものがいずれも使用する
ことができる。Of course, the structure of the magnetic recording medium according to the present invention is not limited to this, and may be changed within the scope not departing from the gist of the present invention, for example, forming a back coat layer as necessary, There is no problem in forming an undercoat layer or forming a layer of a lubricant, an anticorrosive agent or the like on the non-magnetic support. In this case, as the material contained in the non-magnetic pigment, the resin binder, the lubricant, or the rust preventive agent layer, which is contained in the back coat layer, any conventionally known material can be used.
【0046】次に、非磁性支持体2の裏面にバックコー
ト層を成膜する際に、第1の研摩装置12の非磁性支持
体2の走行方向に対して垂直方向に摺接するラッピング
テープ14によりラッピング処理を行う。Next, when the back coat layer is formed on the back surface of the non-magnetic support 2, the lapping tape 14 is slidably contacted in the direction perpendicular to the running direction of the non-magnetic support 2 of the first polishing device 12. The wrapping process is performed by.
【0047】すなわち、非磁性支持体2に金属磁性薄膜
が被着形成された後、上記構成の研摩装置12により、
非磁性支持体2の磁性層表面に付着した蒸着時のスプラ
ッシュ物や塵埃を除去する。この際、吹き付け手段20
により、圧縮空気を吹き付けるようにしても良い。That is, after the metal magnetic thin film is deposited on the non-magnetic support 2, the polishing apparatus 12 having the above-mentioned configuration is used.
Splash substances and dust that adhere to the surface of the magnetic layer of the non-magnetic support 2 during vapor deposition are removed. At this time, the spraying means 20
Therefore, compressed air may be blown.
【0048】そして、上記第1の研摩装置12による除
去だけで不十分な場合は、第2の研摩装置21のラッピ
ングテープ23により、今度は、非磁性支持体2の走行
方向と同じ方向にラッピング処理を施す。When the removal by the first polishing device 12 is insufficient, the lapping tape 23 of the second polishing device 21 is used to wrap the nonmagnetic support 2 in the same direction as the running direction. Apply processing.
【0049】その結果、巻き取りロール4により順次磁
気記録媒体が巻き取られても非磁性支持体2の磁性層表
面に付着した塵埃は、既に巻き取られた非磁性支持体2
上に形成された磁性層に付着することがなくなった。し
たがって、蒸着テープ原反の走行方と同じ方向にラッピ
ングテープを摺接させる従来方法のように、ラッピング
テープに付着した蒸着テープ原反の異物やゴミ等が、逆
に、蒸着テープ原反に傷をつけてしまうようなことがな
くなる。As a result, even if the magnetic recording medium is sequentially wound by the winding roll 4, the dust attached to the surface of the magnetic layer of the non-magnetic support 2 is already wound up.
It no longer adheres to the magnetic layer formed above. Therefore, as in the conventional method in which the wrapping tape is slidably contacted in the same direction as the running direction of the vapor deposition tape raw material, foreign matter or dust on the vapor deposition tape raw material attached to the wrapping tape, on the contrary, scratches the vapor deposition tape raw material. There is no such thing as putting on.
【0050】また、非磁性支持体の走行方向に対して垂
直方向に摺接するラッピングテープを配したことによ
り、従来方法のように、ラッピングテープ等に付着した
異物が蒸着テープ原反の長さ方向にかなりの長さで傷つ
けてしまうようなことがなくなった。Further, by arranging the wrapping tape which is slidably contacted in the direction perpendicular to the running direction of the non-magnetic support, the foreign matter adhering to the wrapping tape or the like is arranged in the longitudinal direction of the vapor deposition tape as in the conventional method. There is no longer a chance that it will hurt you for a long time.
【0051】なお、本実施の形態では、非磁性支持体2
の磁性層表面にラッピング処理を施す構成を採用したも
ので説明したが、本発明は上記実施の形態に限定される
ものではなく、例えば非磁性支持体2の表面をラッピン
グ処理を施すものでもよいし、さらに非磁性支持体2の
表面と磁性層の表面との両面をラッピング処理を施すよ
うにしたものであっても良い。In the present embodiment, the non-magnetic support 2
Although the description has been given by using the configuration in which the surface of the magnetic layer is subjected to the lapping treatment, the present invention is not limited to the above-mentioned embodiment, and for example, the surface of the non-magnetic support 2 may be subjected to the lapping treatment. Alternatively, both surfaces of the surface of the non-magnetic support 2 and the surface of the magnetic layer may be subjected to lapping treatment.
【0052】実験 本発明者等は、上記磁気記録媒体の製造装置により、表
1に示す磁気記録媒体を製造した。 Experiment The inventors of the present invention manufactured the magnetic recording medium shown in Table 1 by using the above magnetic recording medium manufacturing apparatus.
【0053】[0053]
【表1】 [Table 1]
【0054】そして、この磁気記録媒体の製造の過程に
おいて、上記製造装置により、ラッピング処理を以下に
説明する種々の方法で行い、それらの磁気記録媒体のス
クラッチ傷の発生とドロップアウト量(個/分)を測定
した。In the process of manufacturing this magnetic recording medium, the lapping process is performed by the above-described manufacturing apparatus by various methods described below, and the scratches and dropout amount (number / piece / Min) was measured.
【0055】ここで、ドロップアウトの測定は、ソニー
製EV−S900改造機を用い、再生出力レベルから表
2に示す条件の出力落ちをドロップアウトとして、10
分間測定を行い1分間当たりのドロップアウト数を求め
た。Here, the dropout was measured by using a modified EV-S900 manufactured by Sony, and the dropout of the output under the conditions shown in Table 2 from the reproduction output level was taken as the dropout.
Minute measurement was performed to determine the number of dropouts per minute.
【0056】また、スクラッチ傷の有無の確認は、裁断
前の蒸着テープ原反を全長3000mに亘って表面検査
を目視にて行った。そして、このときのスクラッチ傷の
大きさを、長さ1m以上のものと、1mより小さいもの
とに区別した。Further, the presence or absence of scratches was confirmed by visually inspecting the surface of the raw material vapor-deposited tape before cutting over a total length of 3000 m. Then, the size of the scratches at this time was classified into those having a length of 1 m or more and those having a length of less than 1 m.
【0057】実験に使用したラッピングテープは、非磁
性支持体として15μm厚のポリエンエチレンテレフタ
レート(PET)ベースを用い平均粒径3μmの酸化ア
ルミニウム粒子をウレタンバインダーで混合し、5μm
の塗布厚で作製した。なお、研摩粒子としては、酸化ア
ルミニウムの他、カーボン、酸化ジルコニウム、酸化ク
ロム、SiO2などが使用可能である。The wrapping tape used in the experiment was prepared by mixing a polyene ethylene terephthalate (PET) base having a thickness of 15 μm as a non-magnetic support and mixing aluminum oxide particles having an average particle diameter of 3 μm with a urethane binder to obtain 5 μm.
It was manufactured with a coating thickness of. In addition to aluminum oxide, carbon, zirconium oxide, chromium oxide, SiO 2 and the like can be used as the abrasive particles.
【0058】実施例1 実施例1として、蒸着テープ原反の送り速度は、150
/分、また、ラッピングテープ14の送り速度は、0.
2m/分の条件で行った。そして、磁性層表面にトップ
コートを施し、所定のテープ幅に裁断して実施例1のテ
ープを作製した。この実施例1の場合の効果の確認を行
うために表面処理後の磁性層表面を目視観察しスクラッ
チ傷の発生の有無を確認した。その結果を表2に示す。
なお、この実施例1では、吹き付け手段20による吹き
付けや、第2の研摩装置21によるラッピング処理は施
されていない。[0058] As Example 1 Example 1, the feed rate of the vapor deposition tape raw is 150
/ Min, and the feeding speed of the wrapping tape 14 is 0.
It was performed under the condition of 2 m / min. Then, a top coat was applied to the surface of the magnetic layer and cut into a predetermined tape width to prepare the tape of Example 1. In order to confirm the effect in the case of this Example 1, the surface of the magnetic layer after the surface treatment was visually observed to confirm the occurrence of scratches. Table 2 shows the results.
In the first embodiment, the spraying by the spraying means 20 and the lapping process by the second polishing device 21 are not performed.
【0059】[0059]
【表2】 [Table 2]
【0060】実施例2 実施例2として、実施例1のラッピング処理を施す時、
より蒸着テープ原反との密着性を高めるために、ラッピ
ングテープ14の裏面から吹き付け手段20により、圧
縮空気を吹き付け、よりラッピングの効果をもたせるよ
うにしてラッピング処理を施して実施例2のテープを作
製した。[0060] As Example 2 Example 2, when the lapping process of Example 1,
In order to further improve the adhesion to the vapor-deposited tape original fabric, compressed air is blown from the back surface of the wrapping tape 14 by the blowing means 20 to perform a lapping process so as to have a more lapping effect, and the tape of Example 2 is obtained. It was made.
【0061】なお、実施例1と同様、蒸着テープ原反の
送り速度は、150/分、また、ラッピングテープの送
り速度は、0.2m/分の条件で行った。そして、実施
例2の効果の確認を行うために表面処理後の磁性層表面
を目視観察しスクラッチ傷の発生の有無を確認した。そ
の結果を表2に示す。なお、この実施例2では、第2の
研摩装置21によるラッピング処理は施されていない。As in Example 1, the feed rate of the vapor deposition tape stock was 150 / min, and the feed rate of the wrapping tape was 0.2 m / min. Then, in order to confirm the effect of Example 2, the surface of the magnetic layer after the surface treatment was visually observed to confirm the occurrence of scratches. Table 2 shows the results. In the second embodiment, the lapping process by the second polishing device 21 is not performed.
【0062】実施例3 実施例1と同じ条件で同じラッピング処理をした後に、
いわゆるインラインにて配された第2の研摩装置21に
より、さらに、従来と同じ蒸着テープ原反の走行方と同
じ方向にラッピングテープ14を摺接させてラッピング
処理を施した。 Example 3 After performing the same lapping process under the same conditions as in Example 1,
By the second polishing device 21 arranged in a so-called in-line manner, the lapping tape 14 was slid on the lapping tape 14 in the same direction as the running direction of the vapor deposition tape stock, and the lapping treatment was performed.
【0063】比較例1 比較例1として、蒸着テープ原反の走行方と同じ方向に
ラッピングテープを摺接させる従来方法により、ラッピ
ング処理したものを比較例1とした。すなわち、本装置
では、第2の研摩装置によるラッピング処理のみを施し
たものを比較例1とした。この場合のラッピング処理
は、磁性層の柱状構造の成長方向に沿って行った。 Comparative Example 1 As Comparative Example 1, Comparative Example 1 was prepared by lapping by a conventional method in which a lapping tape was slidably contacted in the same direction as the running direction of the vapor deposition tape stock. That is, in this apparatus, Comparative Example 1 was obtained by performing only the lapping treatment by the second polishing apparatus. The lapping process in this case was performed along the growth direction of the columnar structure of the magnetic layer.
【0064】なお、蒸着テープ原反の送り速度は、実施
例1と同様、150/分、また、ラッピングテープ14
の送り速度は0.2m/分の条件で行った。そして、効
果の確認を行うために表面処理後の磁性層表面を目視観
察しスクラッチ傷の発生の有無を確認した。The feed rate of the vapor-deposited tape stock was 150 / min as in Example 1, and the wrapping tape 14 was used.
The feed rate was 0.2 m / min. Then, in order to confirm the effect, the surface of the magnetic layer after the surface treatment was visually observed to confirm the occurrence of scratches.
【0065】その後に、磁性層表面にトップコートを施
し、所定のテープ幅に裁断して比較例テープ1を作製し
た。その結果を表2に示す。After that, a top coat was applied to the surface of the magnetic layer and the tape was cut into a predetermined tape width to prepare Comparative Tape 1. Table 2 shows the results.
【0066】比較例2 比較例テープ2として、ラッピング処理を施さない比較
例2のテープを作製した。 Comparative Example 2 As Comparative Example Tape 2, a tape of Comparative Example 2 which was not subjected to the lapping process was prepared.
【0067】実験結果の検討 まず、表2から明らかなように、第2の研摩装置21の
みを使用して、従来と同じ蒸着テープ原反の走行方と同
じ方向にラッピングテープを摺接させてラッピング処理
のみを施した比較例1は、ラッピング処理を施さなかっ
た比較例2に比べ、−10dB3μsec、−10dB
10μsecのような比較的小さなドロップアウトの低
減効果は大きい。しかし、−16dB10μsecのよ
うなスクラッチ傷に起因する大きなドロップアウトの低
減効果は約1/2と小さい。 Examination of Experimental Results First, as is apparent from Table 2, only the second polishing device 21 was used to slide the wrapping tape in the same direction as the conventional running method of the vapor deposition tape stock. In Comparative Example 1 in which only the lapping process was performed, as compared with Comparative Example 2 in which the lapping process was not performed, −10 dB and 3 μsec, −10 dB.
The effect of reducing a relatively small dropout such as 10 μsec is great. However, the effect of reducing a large dropout due to a scratch such as −16 dB10 μsec is as small as about 1/2.
【0068】また、比較例1は、ラッピング処理を施す
ことにより、スクラッチ傷の発生もあり、従来方法によ
るラッピング処理としては比較的良好な条件であっても
一長一短がある。これでは、現在実用化されている民生
用ディジタルVTRのような高密度記録のシステムに要
求されるエラーレートの要求は、まだ不十分である。Further, in Comparative Example 1, scratches are generated due to the lapping treatment, and there are advantages and disadvantages even if the conventional lapping treatment is performed under relatively good conditions. In this case, the error rate requirement required for a high-density recording system such as a consumer digital VTR currently in practical use is still insufficient.
【0069】これに対して、実施例1によれば、スクラ
ッチ傷の発生が比較例1に比べ著しく良好な結果が得ら
れた。すなわち、実施例1は、比較例1と比して、スク
ラッチ傷が長さ1m以上のものも1mより小さいものも
大幅に減少していることがわかる。On the other hand, according to Example 1, the occurrence of scratches was significantly better than that of Comparative Example 1. That is, it can be seen that the scratches of Example 1 are greatly reduced in both scratches having a length of 1 m or more and those having a length of less than 1 m, as compared with Comparative Example 1.
【0070】また、ドロップアウトについては、−10
dB3μsec、−10dB10μsecのような比較
的小さなドロップアウトは、比較例1と同様かそれ以上
の効果が得られ、−16dB10μsecのような大き
なドロップアウトは、比較例1よりも著しく良好な結果
が得られた。For dropout, -10
Relatively small dropouts such as dB3 μsec and −10 dB10 μsec are similar to or better than those in Comparative Example 1, and large dropouts such as −16 dB10 μsec are significantly better than Comparative Example 1. It was
【0071】そして、ラッピングテープ14の裏面から
圧縮空気を吹き付けた実施例2、実施例1と従来方法と
の組み合わせをした実施例3においては、実施例1の場
合よりもより効果が大きいことがわかる。Then, in Example 2 in which compressed air is blown from the back surface of the wrapping tape 14 and Example 3 in which the conventional method is combined, the effect is greater than in the case of Example 1. Recognize.
【0072】したがって、本実施の形態の装置により製
造すれば、金属薄膜磁気記録媒体のドロップアウトを減
少させ、表面処理によるスクラッチ傷の発生を効果的に
防止することができることがわかる。そして、実施例1
〜3によれば、現在実用化されている民生用ディジタル
VTRのような高密度記録のシステムに要求されるエラ
ーレートの要求が満たされることとなる。Therefore, it can be understood that the device of the present embodiment can reduce the dropout of the metal thin film magnetic recording medium and effectively prevent the generation of scratches due to the surface treatment. And Example 1
According to 3 to 3, the requirement of the error rate required for the high density recording system such as the digital VTR for consumer use which is currently put into practical use is satisfied.
【0073】[0073]
【発明の効果】本発明の磁気記録媒体の製造方法は、非
磁性支持体の走行方向に対して垂直方向に摺接するラッ
ピングテープが配されているため、強磁性金属薄膜磁気
記録媒体の表面処理が良好に行え、蒸着テープ原反の走
行方と同じ方向にのみラッピングテープを摺接させる従
来方法のように、ラッピングテープに付着した蒸着テー
プ原反の異物やゴミ等が、逆に、蒸着テープ原反に傷を
つけてしまうようなことがなくなる。According to the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, since the lapping tape which is in sliding contact with the non-magnetic support in the direction perpendicular to the running direction is arranged, the surface treatment of the ferromagnetic metal thin film magnetic recording medium is performed. As in the conventional method in which the wrapping tape is slid only in the same direction as the running direction of the vapor deposition tape fabric, foreign matter or dust on the vapor deposition tape fabric that adheres to the wrapping tape, on the contrary, does not There will be no damage to the material.
【0074】また、非磁性支持体の走行方向に対して垂
直方向に摺接するラッピングテープを配したことによ
り、従来方法のように、ラッピングテープ等に付着した
異物が蒸着テープ原反の長さ方向にかなりの長さで傷つ
けてしまうようなことがなくなる。Further, by disposing the wrapping tape which is slidably contacting in the direction perpendicular to the running direction of the non-magnetic support, the foreign matter adhered to the wrapping tape or the like is arranged in the longitudinal direction of the vapor deposition tape as in the conventional method. It will not hurt you for a long time.
【0075】したがって、本発明の方法によれば、金属
薄膜磁気記録媒体のドロップアウトを減少させ、表面処
理によるスクラッチ傷の発生を簡易な構造で効果的に防
止することができる。Therefore, according to the method of the present invention, it is possible to reduce the dropout of the metal thin film magnetic recording medium and effectively prevent the occurrence of scratches due to the surface treatment with a simple structure.
【図1】本発明の実施の形態の磁気記録媒体の製造装置
を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic diagram showing a magnetic recording medium manufacturing apparatus according to an embodiment of the present invention.
【図2】上記製造装置の研摩装置の斜視図である。FIG. 2 is a perspective view of a polishing device of the manufacturing apparatus.
2 非磁性支持体(ベースフィルム) 4 巻き取りロール 5 冷却キャン 12 第1の研摩装置 14 ラッピングテープ 20 吹き付け手段 21 第2の研摩装置 2 Non-Magnetic Support (Base Film) 4 Winding Roll 5 Cooling Can 12 First Polishing Device 14 Lapping Tape 20 Spraying Means 21 Second Polishing Device
Claims (4)
性薄膜を形成する磁気記録媒体の製造方法において、 非磁性支持体の走行方向に対して略々垂直方向にラッピ
ング処理を施すことを特徴とする磁気記録媒体の製造方
法。1. A method of manufacturing a magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film is formed on a non-magnetic support by oblique vapor deposition, wherein lapping treatment is performed in a direction substantially perpendicular to the running direction of the non-magnetic support. And a method for manufacturing a magnetic recording medium.
を吹き付けることを特徴とする請求項1記載の磁気記録
媒体の製造方法。2. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein compressed air is blown from the back side of the wrapping tape.
直方向にラッピング処理を施した後、非磁性支持体の走
行方向と同じ方向にラッピング処理を施すことを特徴と
する請求項1記載の磁気記録媒体の製造方法。3. The lapping process is performed in a direction substantially perpendicular to the running direction of the non-magnetic support, and then the lapping process is performed in the same direction as the running direction of the non-magnetic support. A method for manufacturing the magnetic recording medium described.
が非磁性支持体に金属磁性薄膜が被着形成された後に施
されることを特徴とする請求項1記載の磁気記録媒体の
製造方法。4. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 1, wherein the lapping process with the lapping tape is performed after the metal magnetic thin film is formed on the non-magnetic support.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1596296A JPH09212856A (en) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | Production of magnetic recording medium |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP1596296A JPH09212856A (en) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | Production of magnetic recording medium |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09212856A true JPH09212856A (en) | 1997-08-15 |
Family
ID=11903358
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP1596296A Withdrawn JPH09212856A (en) | 1996-01-31 | 1996-01-31 | Production of magnetic recording medium |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09212856A (en) |
-
1996
- 1996-01-31 JP JP1596296A patent/JPH09212856A/en not_active Withdrawn
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Legal Events
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