JPH09198978A - 光導電スイッチ - Google Patents
光導電スイッチInfo
- Publication number
- JPH09198978A JPH09198978A JP2855196A JP2855196A JPH09198978A JP H09198978 A JPH09198978 A JP H09198978A JP 2855196 A JP2855196 A JP 2855196A JP 2855196 A JP2855196 A JP 2855196A JP H09198978 A JPH09198978 A JP H09198978A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- gap
- transmission line
- impedance matching
- gap electrode
- photoconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Withdrawn
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- Switches Operated By Changes In Physical Conditions (AREA)
Abstract
(57)【要約】
【課題】フォトコンダクタ部１１の容量性／インダクタ
ンス性に対応して、伝送ライン１２とのインピーダンス
整合をとるインピーダンス整合部を形成する光導電スイ
ッチ。 【解決手段】入力／出力伝送ラインの線路幅よりも小さ
なギャップ電極面１５を有してインダクタンス性を示す
場合には、一方のギャップ電極１０ａと伝送ライン間
に、線路を広くして容量性を示すインピーダンス整合部
２０ａを形成して設け、他方のギャップ電極１０ｂと伝
送ライン間に、線路を広くして容量性を示すインピーダ
ンス整合部２０ｂを形成して設ける構造。
ンス性に対応して、伝送ライン１２とのインピーダンス
整合をとるインピーダンス整合部を形成する光導電スイ
ッチ。 【解決手段】入力／出力伝送ラインの線路幅よりも小さ
なギャップ電極面１５を有してインダクタンス性を示す
場合には、一方のギャップ電極１０ａと伝送ライン間
に、線路を広くして容量性を示すインピーダンス整合部
２０ａを形成して設け、他方のギャップ電極１０ｂと伝
送ライン間に、線路を広くして容量性を示すインピーダ
ンス整合部２０ｂを形成して設ける構造。
Description
【０００１】
【発明の属する技術分野】この発明は、入射光線の照射
により超高速の光スイッチ作用を有する光導電素子（フ
ォトコンダクタ）と伝送線路間の容量性／インダクタン
ス性のインピーダンス整合改善する光導電スイッチに関
する。
により超高速の光スイッチ作用を有する光導電素子（フ
ォトコンダクタ）と伝送線路間の容量性／インダクタン
ス性のインピーダンス整合改善する光導電スイッチに関
する。
【０００２】
【従来の技術】光導電スイッチは、超高速の光スイッチ
素子であり、用途によりフォトコンダクタ部の形状が異
なる。図２（ａ）、（ｂ）の一構造例を示すように、半
絶縁基板上に金属膜の伝送ライン１２ａ、１２ｂと、そ
の線路と直列に超微細間隔の１対の対向型櫛型ギャップ
電極１０ａ、１０ｂを形成したフォトコンダクタ部１１
で成り、このギャップ幅は数μｍ以下に形成されてい
る。このギャップ電極間にレーザー光が照射時に数Ω程
度の電気伝導体を示し、この原理を利用して被測定信号
の光学的な高速サンプリング等に使用される。
素子であり、用途によりフォトコンダクタ部の形状が異
なる。図２（ａ）、（ｂ）の一構造例を示すように、半
絶縁基板上に金属膜の伝送ライン１２ａ、１２ｂと、そ
の線路と直列に超微細間隔の１対の対向型櫛型ギャップ
電極１０ａ、１０ｂを形成したフォトコンダクタ部１１
で成り、このギャップ幅は数μｍ以下に形成されてい
る。このギャップ電極間にレーザー光が照射時に数Ω程
度の電気伝導体を示し、この原理を利用して被測定信号
の光学的な高速サンプリング等に使用される。
【０００３】従来光導電スイッチの信号の入出力伝送ラ
イン１２ａ、１２ｂは外部回路の特性インピーダンス、
例えば５０Ωに合わせて形成されている。一方フォトコ
ンダクタ部１１は、櫛型ギャップ電極１０ａ、１０ｂの
感度特性を主体に形成されている為、伝送ライン間とで
容量性、あるいはインダクタンス性のインピーダンス不
整合が生じて、入力信号を出力側へ十分に伝達できない
難点があった。
イン１２ａ、１２ｂは外部回路の特性インピーダンス、
例えば５０Ωに合わせて形成されている。一方フォトコ
ンダクタ部１１は、櫛型ギャップ電極１０ａ、１０ｂの
感度特性を主体に形成されている為、伝送ライン間とで
容量性、あるいはインダクタンス性のインピーダンス不
整合が生じて、入力信号を出力側へ十分に伝達できない
難点があった。
【０００４】
【発明が解決しようとする課題】光導電スイッチは用途
によりフォトコンダクタ部の形状・大きさが異なる。例
えば低抵抗化が要求される場合には、図２（ａ）に示す
ように、ギャップ電極面を大きく設ける為容量性を示
す。逆に、広帯域化が要求される場合には、図２（ｂ）
に示すように、フォトコンダクタ部のギャップ電極面は
伝送ライン幅３０よりも狭くなり、インダクタンス性を
示してくる。このように、フォトコンダクタ部１１の用
途による形成条件が異なってくると、伝送ライン１２と
フォトコンダクタ部１１間で容量性／インダクタンス性
に伴うインピーダンス不整合を生じてくる難点がある。
そこで本発明が解決しようとする課題は、フォトコンダ
クタ部１１の容量性／インダクタンス性に対応して、伝
送ライン１２とのインピーダンス整合をとるインピーダ
ンス整合部を形成する光導電スイッチを目的とする。
によりフォトコンダクタ部の形状・大きさが異なる。例
えば低抵抗化が要求される場合には、図２（ａ）に示す
ように、ギャップ電極面を大きく設ける為容量性を示
す。逆に、広帯域化が要求される場合には、図２（ｂ）
に示すように、フォトコンダクタ部のギャップ電極面は
伝送ライン幅３０よりも狭くなり、インダクタンス性を
示してくる。このように、フォトコンダクタ部１１の用
途による形成条件が異なってくると、伝送ライン１２と
フォトコンダクタ部１１間で容量性／インダクタンス性
に伴うインピーダンス不整合を生じてくる難点がある。
そこで本発明が解決しようとする課題は、フォトコンダ
クタ部１１の容量性／インダクタンス性に対応して、伝
送ライン１２とのインピーダンス整合をとるインピーダ
ンス整合部を形成する光導電スイッチを目的とする。
【０００５】
【課題を解決するための手段】第１図（ａ）は、本発明
による第１の解決手段を示している。上記課題を解決す
るために、本発明の構成では、入力／出力伝送ラインの
線路幅よりも大きなギャップ電極面１５を有して容量性
を示す場合には、一方のギャップ電極１０ａと伝送ライ
ン間に、線路を細くしてインダクタンス性を示すインピ
ーダンス整合部２０ａを形成して設け、他方のギャップ
電極１０ｂと伝送ライン間に、線路を細くしてインダク
タンス性を示すインピーダンス整合部２０ｂを形成して
設ける構造手段とする。これにより、フォトコンダクタ
部１１の入力／出力伝送ライン１２ａ、１２ｂと、光の
照射をギャップ電極１０ａ、１０ｂに受けて電極間の電
気伝導体を示すフォトコンダクタ部１１を有する光導電
スイッチにおいて、伝送ライン１２との容量性インピー
ダンス整合をとる光導電スイッチを実現する。
による第１の解決手段を示している。上記課題を解決す
るために、本発明の構成では、入力／出力伝送ラインの
線路幅よりも大きなギャップ電極面１５を有して容量性
を示す場合には、一方のギャップ電極１０ａと伝送ライ
ン間に、線路を細くしてインダクタンス性を示すインピ
ーダンス整合部２０ａを形成して設け、他方のギャップ
電極１０ｂと伝送ライン間に、線路を細くしてインダク
タンス性を示すインピーダンス整合部２０ｂを形成して
設ける構造手段とする。これにより、フォトコンダクタ
部１１の入力／出力伝送ライン１２ａ、１２ｂと、光の
照射をギャップ電極１０ａ、１０ｂに受けて電極間の電
気伝導体を示すフォトコンダクタ部１１を有する光導電
スイッチにおいて、伝送ライン１２との容量性インピー
ダンス整合をとる光導電スイッチを実現する。
【０００６】第１図（ｂ）は、本発明による第２の解決
手段を示している。第２に、上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、入力／出力伝送ラインの線路幅
よりも小さなギャップ電極面１５を有して容量性を示す
場合には、一方のギャップ電極１０ａと伝送ライン間
に、線路を広くして容量性を示すインピーダンス整合部
２２ａを形成して設け、他方のギャップ電極１０ｂと伝
送ライン間に、線路を広くして容量性を示すインピーダ
ンス整合部２２ｂを形成して設ける構造手段とする。こ
れにより、フォトコンダクタ部１１のインダクタンス性
インピーダンス整合をとる光導電スイッチを実現する。
手段を示している。第２に、上記課題を解決するため
に、本発明の構成では、入力／出力伝送ラインの線路幅
よりも小さなギャップ電極面１５を有して容量性を示す
場合には、一方のギャップ電極１０ａと伝送ライン間
に、線路を広くして容量性を示すインピーダンス整合部
２２ａを形成して設け、他方のギャップ電極１０ｂと伝
送ライン間に、線路を広くして容量性を示すインピーダ
ンス整合部２２ｂを形成して設ける構造手段とする。こ
れにより、フォトコンダクタ部１１のインダクタンス性
インピーダンス整合をとる光導電スイッチを実現する。
【０００７】
【発明の実施の形態】以下に本発明の実施の形態を実施
例と共に詳細に説明する。
例と共に詳細に説明する。
【０００８】
【実施例】図１（ａ）はギャップ電極面が大きな場合の
光導電スイッチの形成例を示す。フォトコンダクタ部１
１のギャップ電極面１５は、他の伝送ライン１２より容
量性を示す。この為、この容量性とギャップ間容量の両
方を考慮して、ギャップ電極１０ａ直前の線路を細くし
てインダクタンス性を示す所望のインピーダンス整合部
２０ａを形成する。同様に、ギャップ電極１０ｂの直後
の線路を細くしてインダクタンス性を示すインピーダン
ス整合部２０ｂを形成する。これにより、ギャップ電極
面の容量性を相殺したフォトコンダクタ部１１が実現で
きる。
光導電スイッチの形成例を示す。フォトコンダクタ部１
１のギャップ電極面１５は、他の伝送ライン１２より容
量性を示す。この為、この容量性とギャップ間容量の両
方を考慮して、ギャップ電極１０ａ直前の線路を細くし
てインダクタンス性を示す所望のインピーダンス整合部
２０ａを形成する。同様に、ギャップ電極１０ｂの直後
の線路を細くしてインダクタンス性を示すインピーダン
ス整合部２０ｂを形成する。これにより、ギャップ電極
面の容量性を相殺したフォトコンダクタ部１１が実現で
きる。
【０００９】図１（ｂ）はギャップ電極面が小さい場合
の光導電スイッチの形成例を示す。フォトコンダクタ部
１１のギャップ電極面は、線路幅が細い為、他の伝送ラ
イン１２と比較してインダクタンス性を示す。この為、
このインダクタンスとギャップ間容量の両方を考慮し
て、ギャップ電極１０ａ直前周辺の線路に電極面１６を
追加して所望の容量性を付与させるインピーダンス整合
部２２ａを形成する。同様に、ギャップ電極１０ｂの直
後周辺の線路に電極を追加して容量性を付与させるイン
ピーダンス整合部２２ｂを形成する。これにより、ギャ
ップ電極面のインダクタンス性を相殺したフォトコンダ
クタ部１１が実現できる。
の光導電スイッチの形成例を示す。フォトコンダクタ部
１１のギャップ電極面は、線路幅が細い為、他の伝送ラ
イン１２と比較してインダクタンス性を示す。この為、
このインダクタンスとギャップ間容量の両方を考慮し
て、ギャップ電極１０ａ直前周辺の線路に電極面１６を
追加して所望の容量性を付与させるインピーダンス整合
部２２ａを形成する。同様に、ギャップ電極１０ｂの直
後周辺の線路に電極を追加して容量性を付与させるイン
ピーダンス整合部２２ｂを形成する。これにより、ギャ
ップ電極面のインダクタンス性を相殺したフォトコンダ
クタ部１１が実現できる。
【００１０】
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。以
上説明したように本発明によって、フォトコンダクタ部
１１の容量性／インダクタンス性に対応してインダクタ
ンス性／容量性パターンを形成することで、伝送ライン
１２との整合が改善された光導電スイッチとなり、ＧＨ
ｚ帯域でも比較的特性の良い光導電スイッチを実現でき
る利点が得られた。
ているので、下記に記載されるような効果を奏する。以
上説明したように本発明によって、フォトコンダクタ部
１１の容量性／インダクタンス性に対応してインダクタ
ンス性／容量性パターンを形成することで、伝送ライン
１２との整合が改善された光導電スイッチとなり、ＧＨ
ｚ帯域でも比較的特性の良い光導電スイッチを実現でき
る利点が得られた。
【図１】 本発明の、（ａ）ギャップ電極が大きい場合
の光導電スイッチ構造図と、（ｂ）ギャップ電極が小さ
い場合の光導電スイッチ構造図例である。
の光導電スイッチ構造図と、（ｂ）ギャップ電極が小さ
い場合の光導電スイッチ構造図例である。
【図２】 従来の、（ａ）ギャップ電極が大きい場合の
光導電スイッチ構造図と、（ｂ）ギャップ電極が小さい
場合の光導電スイッチ構造図例である。
光導電スイッチ構造図と、（ｂ）ギャップ電極が小さい
場合の光導電スイッチ構造図例である。
１０ａ、１０ｂ ギャップ電極 １１ フォトコンダクタ部 １２ａ、１２ｂ 入力／出力伝送ライン １２ 伝送ライン １５、１６ 電極面 ２０ａ、２０ｂ、２２ａ、２２ｂ インピーダンス整合
部 ３０ 伝送ライン幅
部 ３０ 伝送ライン幅
Claims (2)
- 【請求項１】 フォトコンダクタ部（１１）の入力／出
力伝送ライン（１２ａ、１２ｂ）と、光の照射をギャッ
プ電極（１０ａ、１０ｂ）に受けて電極間の電気伝導体
を示すフォトコンダクタ部（１１）を有する光導電スイ
ッチにおいて、 入力／出力伝送ラインの線路幅よりも大きなギャップ電
極面（１５）を有して容量性を示す場合には、一方のギ
ャップ電極（１０ａ）と伝送ライン間に、線路を細くし
てインダクタンス性を示すインピーダンス整合部（２０
ａ）を形成して設け、他方のギャップ電極（１０ｂ）と
伝送ライン間に、線路を細くしてインダクタンス性を示
すインピーダンス整合部（２０ｂ）を形成して設け、 以上を具備していることを特徴とした光導電スイッチ。 - 【請求項２】 フォトコンダクタ部（１１）の入力／出
力伝送ライン（１２ａ、１２ｂ）と、光の照射をギャッ
プ電極（１０ａ、１０ｂ）に受けて電極間の電気伝導体
を示すフォトコンダクタ部（１１）を有する光導電スイ
ッチにおいて、 入力／出力伝送ラインの線路幅よりも小さなギャップ電
極面（１５）を有して容量性を示す場合には、一方のギ
ャップ電極（１０ａ）と伝送ライン間に、線路を広くし
て容量性を示すインピーダンス整合部（２２ａ）を形成
して設け、他方のギャップ電極（１０ｂ）と伝送ライン
間に、線路を広くして容量性を示すインピーダンス整合
部（２２ｂ）を形成して設け、 以上を具備していることを特徴とした光導電スイッチ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2855196A JPH09198978A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 光導電スイッチ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP2855196A JPH09198978A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 光導電スイッチ |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09198978A true JPH09198978A (ja) | 1997-07-31 |
Family
ID=12251801
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP2855196A Withdrawn JPH09198978A (ja) | 1996-01-23 | 1996-01-23 | 光導電スイッチ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09198978A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5036002A (en) * | 1986-04-17 | 1991-07-30 | Novo-Nordisk A/S | Expression system with trans-acting DNA segments |
| WO2014096431A1 (fr) * | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Thales | Dispositif de commutation de signaux hyperfrequences notamment de dimensions nanometriques, et composant electronique incorporant un tel dispositif |
-
1996
- 1996-01-23 JP JP2855196A patent/JPH09198978A/ja not_active Withdrawn
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5036002A (en) * | 1986-04-17 | 1991-07-30 | Novo-Nordisk A/S | Expression system with trans-acting DNA segments |
| WO2014096431A1 (fr) * | 2012-12-21 | 2014-06-26 | Thales | Dispositif de commutation de signaux hyperfrequences notamment de dimensions nanometriques, et composant electronique incorporant un tel dispositif |
| FR3000327A1 (fr) * | 2012-12-21 | 2014-06-27 | Thales Sa | Dispositif de commutation de signaux hyperfrequences notamment de dimensions nanometriques, et composant electronique incorporant un tel dispositif |
| US9548413B2 (en) | 2012-12-21 | 2017-01-17 | Thales | Microwave signal switching device, particularly of nanometric size, and electronic component incorporating such a device |
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Legal Events
| Date | Code | Title | Description |
|---|---|---|---|
| A300 | Withdrawal of application because of no request for examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A300 Effective date: 20030401 |