JPH09183655A - Non-magnetic ceramic and its production - Google Patents
Non-magnetic ceramic and its productionInfo
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- JPH09183655A JPH09183655A JP7342305A JP34230595A JPH09183655A JP H09183655 A JPH09183655 A JP H09183655A JP 7342305 A JP7342305 A JP 7342305A JP 34230595 A JP34230595 A JP 34230595A JP H09183655 A JPH09183655 A JP H09183655A
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- Magnetic Ceramics (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Adjustment Of The Magnetic Head Position Track Following On Tapes (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、磁気ヘッド用セラ
ミック基板、各種磁気ヘッド用スライダー、磁気ヘッド
のスペーサ、磁気テープガイド、マイクロマシン用部品
等に使用される非磁性セラミックスに関するものであ
り、特にコンピュータ用ハードディスク(コンポジット
タイプ、薄膜タイプ、積層タイプ等)、光磁気ディス
ク、フロッピーディスク、磁気テープ、またはオーディ
オ用レコーダやビデオテープレコーダ等の磁気記録に使
用される磁気ヘッドのスライダー用材料に最適な非磁性
セラミックスに関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a ceramic substrate for magnetic heads, sliders for various magnetic heads, spacers for magnetic heads, magnetic tape guides, non-magnetic ceramics used for parts for micromachines, and more particularly to computers. Non-ideal for hard disk (composite type, thin film type, laminated type, etc.), magneto-optical disk, floppy disk, magnetic tape, or magnetic head slider used for magnetic recording of audio recorders and video tape recorders. It relates to magnetic ceramics.
【0002】[0002]
【従来の技術】磁気ヘッドを用いた磁気記録装置は、高
記録密度化、高容量化が進みつつあり、それに伴い、磁
気ヘッドに対しても高線密度化、高トラック密度化への
対応が要求されている。2. Description of the Related Art In a magnetic recording apparatus using a magnetic head, the recording density and the capacity have been increasing, and accordingly, the magnetic head is required to have a high linear density and a high track density. Is required.
【0003】このような磁気ヘッドを用いた磁気ディス
クへの記録において、高容量化に対応した高線密度、高
トラック密度を達成する方法の一つとしてコンポジット
スライダーが採用されている。いわゆるコンポジット型
磁気ヘッドは、磁気ヘッドコアをセラミックス製のスラ
イダーに接着している。なお、磁気ヘッドコアとスライ
ダーは、雰囲気を400℃前後の高温として、両者の間
に配置されたガラスを溶融することにより接着されてい
る。In recording on a magnetic disk using such a magnetic head, a composite slider is adopted as one of methods for achieving high linear density and high track density corresponding to high capacity. In a so-called composite type magnetic head, a magnetic head core is bonded to a ceramic slider. It should be noted that the magnetic head core and the slider are adhered by melting the glass placed between the two with the atmosphere kept at a high temperature of about 400 ° C.
【0004】このヘッドコアとしては、一般に高い透磁
率を有するMn−Zn系フェライトが使用されており、
これに薄膜を設けたMIG(Metal In Ga
p)タイプが量産されている。As the head core, Mn-Zn type ferrite having a high magnetic permeability is generally used.
MIG (Metal In Ga) with a thin film formed on it
The p) type is mass-produced.
【0005】さらに、ヘッドコアの一部を非磁性基板に
置き換え、非磁性基板上に磁性薄膜を成膜した複合コア
も採用されている。この様な複合コアを成す非磁性基板
としては、機械的強度の大きなチタン酸カルシウム(C
aTiO3 )系の材料が用いられている。Further, a composite core in which a part of the head core is replaced with a non-magnetic substrate and a magnetic thin film is formed on the non-magnetic substrate is also adopted. As a non-magnetic substrate forming such a composite core, calcium titanate (C
An aTiO 3 ) type material is used.
【0006】一方、上記ヘッドコアを保持するスライダ
ーの材料としては、例えばチタン酸カルシウム(CaT
iO3 )やチタン酸バリウム(BaTiO3 )が用いら
れている。On the other hand, as a material of the slider holding the head core, for example, calcium titanate (CaT) is used.
iO 3 ) and barium titanate (BaTiO 3 ) are used.
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする問題点】ここで、スライダー
の熱膨張係数がヘッドコアの熱膨張係数と異なると、ヘ
ッドコアをスライダーに接着する際の熱応力により亀裂
や残留歪みが生じて接着が不十分となり、ヘッドコアが
スライダーから脱落し、磁気ヘッドとして不良となる恐
れがある。このような不良品の発生を確実に防止するた
めには、スライダーの熱膨張係数をヘッドコアの熱膨張
係数に一致させる必要がある。If the coefficient of thermal expansion of the slider is different from the coefficient of thermal expansion of the head core, thermal stress at the time of bonding the head core to the slider causes cracks and residual strain, resulting in insufficient bonding. Therefore, the head core may fall off the slider, and the magnetic head may become defective. In order to reliably prevent such defective products, it is necessary to match the thermal expansion coefficient of the slider with the thermal expansion coefficient of the head core.
【0008】しかしながら、ヘッドコアの材料である高
透磁率Mn−Zn系フェライトの熱膨張係数は105〜
130×10-7/℃であり、複合コアの熱膨張係数は1
00〜120×10-7/℃であるのに対し、スライダー
として使用されるチタン酸カルシウム、チタン酸バリウ
ムの熱膨張係数は、それぞれ100〜120×10-7/
℃、80〜100×10-7/℃程度と、ヘッドコアの熱
膨張係数よりも小さく、ヘッドコアの熱膨張係数の範囲
を全てカバーできるスライダー材料はなかった。However, the coefficient of thermal expansion of the high-permeability Mn-Zn ferrite, which is the material of the head core, is 105 to 105.
130 × 10 -7 / ° C, the coefficient of thermal expansion of the composite core is 1
To 00-120 in the range of × 10 -7 / ° C., calcium titanate which is used as a slider, the thermal expansion coefficient of the barium titanate, respectively 100 to 120 × 10 -7 /
There was no slider material having a temperature expansion coefficient of about 80 to 100 × 10 −7 / ° C., which was smaller than the thermal expansion coefficient of the head core and could cover the entire range of the thermal expansion coefficient of the head core.
【0009】また、ハードディスク用磁気ヘッド等にお
いては、ディスクが回転すると共に磁気ヘッドが浮上す
るCSS(Contact start/stop)と
呼ばれる方法が採用されているので、ディスク起動時お
よび停止時にディスクとヘッドが接触する。したがっ
て、スライダー部分にポア(空孔)があると摺動する際
にポア部分に潤滑剤や磁性粉が付着したり、ポア部分よ
り前記付着物が脱落し、これにより、磁気媒体を破壊し
たり、データの破壊や、ヘッドの損傷を生じ、磁気記録
装置の信頼性を著しく低下させるという問題があった。Further, a magnetic head for a hard disk or the like employs a method called CSS (Contact start / stop) in which the magnetic head floats as the disk rotates, so that the disk and the head are separated when the disk is started and stopped. Contact. Therefore, if there are pores (holes) in the slider part, lubricant or magnetic powder may adhere to the pore part when sliding, or the deposits may fall off from the pore part, thereby destroying the magnetic medium. However, there is a problem in that the data is destroyed and the head is damaged, and the reliability of the magnetic recording device is significantly reduced.
【0010】特に近年においては磁気ディスクの磁性膜
は薄くなり、僅かな摺動性の不調でも信頼性が低下する
ようになっているため、ポアサイズの小さなスライダー
用材料が要求されるようになっている。Particularly in recent years, the magnetic film of the magnetic disk has become thin, and the reliability is deteriorated even if the sliding property is slight, so that a slider material having a small pore size is required. There is.
【0011】また、一部のディスク媒体に対しチタン酸
カルシウム系スライダーは摺動特性が悪いとの問題もあ
った。Further, there is also a problem that the calcium titanate type slider has a poor sliding property for some disk media.
【0012】これに対し、本発明者は、熱膨張係数の大
きいヘッドコアに適用でき、かつ、磁気メディアとの摺
動性に優れた磁気ヘッドスライダー用の非磁性セラミッ
クスを得るべく、種々の検討を重ねた結果、Ca系フェ
ライトにおいてCaOとFe2 O3 のモル比率を所定値
に特定することにより、摺動特性が優れ、熱膨張係数が
大きな優れた特性を有する磁気ヘッドスライダー用の非
磁性セラミックスを得られることを突き止めた(特開平
5−85807号公報参照)。On the other hand, the present inventor has conducted various studies in order to obtain a non-magnetic ceramic for a magnetic head slider which can be applied to a head core having a large thermal expansion coefficient and is excellent in slidability with a magnetic medium. As a result of stacking, by specifying the molar ratio of CaO and Fe 2 O 3 in the Ca-based ferrite to a predetermined value, the non-magnetic ceramics for the magnetic head slider have excellent sliding characteristics and excellent thermal expansion coefficient. It has been found that the above can be obtained (see Japanese Patent Application Laid-Open No. 5-85807).
【0013】しかし、この組成系では、大きな熱膨張係
数を有するMn−Zn系フェライトのヘッドコアには対
応できたが、上記複合コアに対しては熱膨張係数が大き
すぎるという問題があった。However, although this composition system was able to cope with the head core of Mn-Zn ferrite having a large thermal expansion coefficient, there was a problem that the thermal expansion coefficient was too large for the above composite core.
【0014】[0014]
【課題を解決するための手段】そこで本発明者は、上記
複合コアにも適用でき、かつ磁気メディアとの摺動性に
優れた磁気ヘッドスライダー用の非磁性セラミックスを
得るべく、種々の検討を重ねた結果、熱膨張係数の大き
なCa系フェライト(CaO・Fe2 O3 又は2CaO
・Fe2 O3 )に熱膨張係数の小さな酸化亜鉛(Zn
O)を加えることで、熱膨張係数を100〜126×1
0-7/℃の広い範囲で自由にコントロールでき、しかも
これらのCa系フェライトと酸化亜鉛(ZnO)はいず
れも摺動性に優れていることから、得られた非磁性セラ
ミックスも優れた摺動特性を有することを見い出した。Therefore, the present inventor has made various studies in order to obtain a non-magnetic ceramic for a magnetic head slider which can be applied to the above composite core and is excellent in slidability with a magnetic medium. As a result of stacking, Ca-based ferrite (CaO ・ Fe 2 O 3 or 2CaO
・ Fe 2 O 3 ) has a small coefficient of thermal expansion
O) is added to obtain a thermal expansion coefficient of 100 to 126 × 1.
It can be freely controlled in a wide range of 0 -7 / ° C, and since both Ca-based ferrite and zinc oxide (ZnO) have excellent slidability, the nonmagnetic ceramics obtained also have excellent sliding properties. It has been found to have characteristics.
【0015】即ち、本発明の非磁性セラミックスは、組
成が酸化鉄(Fe2 O3 )58〜78重量%、酸化カル
シウム(CaO)9〜41重量%及び酸化亜鉛(Zn
O)を0.3〜21重量%含むことを特徴とするもので
ある。That is, the composition of the nonmagnetic ceramics of the present invention is 58 to 78% by weight of iron oxide (Fe 2 O 3 ), 9 to 41% by weight of calcium oxide (CaO) and zinc oxide (Zn).
O) is contained in an amount of 0.3 to 21% by weight.
【0016】また、本発明は、上記主成分100重量部
に対し、MgO、TiO2 、MnO、SiO2 、ZrO
2 、Al2 O3 の少なくとも一種を合計で0.1〜3重
量部含有することを特徴とするものである。Further, the present invention is based on 100 parts by weight of the above main component, MgO, TiO 2 , MnO, SiO 2 and ZrO.
2 , 0.1 to 3 parts by weight in total of at least one of Al 2 O 3 is contained.
【0017】ここでFe2 O3 を58〜78重量%、C
aOを9〜41重量%としたのは、CaOが41重量%
よりも多くなると、セラミックス中に微量のCaO相が
生じ、ポアサイズが大きくなって焼結性が著しく悪くな
るからである。また、Fe2O3 が78重量%よりも多
くなると、磁性フェライト相が発生し非磁性フェライト
として不適切となるからである。Here, 58 to 78% by weight of Fe 2 O 3 and C
The content of aO is 9 to 41% by weight because CaO is 41% by weight.
When the amount is larger than the above, a small amount of CaO phase is generated in the ceramic, the pore size is increased, and the sinterability is remarkably deteriorated. On the other hand, if Fe 2 O 3 is more than 78% by weight, a magnetic ferrite phase is generated and it becomes unsuitable as a non-magnetic ferrite.
【0018】さらに、ZnOを0.3〜21重量%とし
たのは、0.3重量%未満ではCa系フェライトの熱膨
張係数を小さくする効果が小さく、一方21重量%を越
える場合は熱膨張係数が100×10-7/℃未満と小さ
くなり過ぎて、ガラスボンディング時のクラック発生原
因となり好ましくないためである。Furthermore, the ZnO content of 0.3 to 21% by weight means that the effect of reducing the coefficient of thermal expansion of the Ca-based ferrite is small if it is less than 0.3% by weight, while the coefficient of thermal expansion is more than 21% by weight. This is because the coefficient becomes too small, less than 100 × 10 −7 / ° C., which causes cracks during glass bonding, which is not preferable.
【0019】なお、フェライトは結晶構造によって磁気
特性が異なり、Mn−Zn系フェライトやNi−Zn系
フェライト等は結晶が逆スピネル構造となるために強磁
性を示すが、正スピネル構造やコランダム型の結晶構造
を有するフェライトは強磁性を示さず非磁性体となる。
そして、本発明で用いるCa系フェライトは一般に非磁
性体であることから、これを主成分とすることにより、
非磁性のセラミックスとすることができる。Ferrite has different magnetic properties depending on its crystal structure, and Mn-Zn ferrite and Ni-Zn ferrite exhibit ferromagnetism because their crystals have an inverse spinel structure, but they have a positive spinel structure or a corundum type. Ferrite having a crystal structure does not exhibit ferromagnetism and becomes a non-magnetic material.
Since the Ca-based ferrite used in the present invention is generally a non-magnetic material, by using it as a main component,
It can be a non-magnetic ceramic.
【0020】また、上記主成分に対して、MgO、Ti
O2 、MnO、SiO2 、ZrO2、Al2 O3 の少な
くとも一種を合計で0.1〜3重量部含有させたのは、
焼結性を向上させるためである。この合計量を上記範囲
としたのは、MgO、TiO2 、MnO、SiO2 、Z
rO2 、Al2 O3 の少なくとも一種が、合計で3重量
部よりも多く含有されると焼結性が悪くなり、ポアサイ
ズも大きくなるからである。これらの副成分は、焼結助
剤として別途添加する他、CaOやFe2 O3、ZnO
等の原料中に含まれていたり、あるいは粉砕、混合工程
時に粉砕ボールの摩耗により混入する場合もある。Further, with respect to the above main components, MgO, Ti
The total content of at least one of O 2 , MnO, SiO 2 , ZrO 2 , and Al 2 O 3 is 0.1 to 3 parts by weight.
This is to improve the sinterability. This total amount is within the above range because MgO, TiO 2 , MnO, SiO 2 , Z
This is because if at least one of rO 2 and Al 2 O 3 is contained in a total amount of more than 3 parts by weight, the sinterability deteriorates and the pore size increases. These subcomponents are separately added as a sintering aid, and CaO, Fe 2 O 3 and ZnO are also added.
It may be contained in the raw material such as, or may be mixed due to abrasion of the crushed balls during the crushing and mixing steps.
【0021】さらに、本発明の非磁性セラミックスの製
造方法は以下の通りである。Further, the method for producing the non-magnetic ceramics of the present invention is as follows.
【0022】まず、例えば市販されている純度99%以
上のFe2 O3 (不純物としてSi、Al、Mn、C
a、Na、S、Cl、Mg、Cr、P、Na、Nb等を
含む)を使い、CaO源としてCaCl2 、CaC
O3 、CaFe2 O4 、Ca2 Fe2 O5 等を使用し、
これらを所定量秤量し、この後ボールミルを用いて湿式
混合する。これを乾燥し、乾燥後の原料を酸化性雰囲気
において所定温度で所定時間仮焼し、仮焼後の原料にZ
nO源として、ZnO原料を所定量加え、アルミナボー
ルまたはジルコニアボール、メノーボールを用い平均粒
径が2μm以下となるよう微粉砕する。ここで仮焼した
Ca系フェライトに別途用意したZnOを添加するのは
ZnOの添加量により熱膨張係数を調整することが可能
であり、種々の熱膨張係数を有する材料を容易に製造可
能とするからである。First, for example, commercially available Fe 2 O 3 having a purity of 99% or more (Si, Al, Mn, C as impurities
a, Na, S, Cl, Mg, Cr, P, Na, Nb, etc.) and CaCl 2 and CaC as CaO sources.
O 3 , CaFe 2 O 4 , Ca 2 Fe 2 O 5, etc. are used,
A predetermined amount of these are weighed, and then wet mixed using a ball mill. This is dried, and the raw material after drying is calcined at a predetermined temperature for a predetermined time in an oxidizing atmosphere, and the raw material after calcination is Z
A ZnO raw material is added in a predetermined amount as an nO source, and finely pulverized using an alumina ball, a zirconia ball, or a menoball so that the average particle diameter becomes 2 μm or less. Adding separately prepared ZnO to the calcined Ca-based ferrite here makes it possible to adjust the coefficient of thermal expansion by adjusting the amount of ZnO added, which makes it possible to easily manufacture materials having various coefficients of thermal expansion. Because.
【0023】なお、ZnOの添加は仮焼後に限らず、最
初からFe2 O3 、CaO、ZnOを所定量秤量し、混
合・粉砕して原料粉末を得ることもできる。The addition of ZnO is not limited to after calcination, and it is also possible to obtain a raw material powder by weighing out a predetermined amount of Fe 2 O 3 , CaO and ZnO, mixing and pulverizing them.
【0024】そして、この原料粉末にバインダーを加え
造粒を行った後、所定圧力でプレス成形し焼成すること
で本発明の非磁性セラミックスを得ることができる。特
に、この焼成時に、酸化雰囲気中において1000〜1
200℃の常圧で焼成して相対密度95%以上の予備焼
結体を得た後、この予備焼結体を不活性ガス雰囲気中で
1000〜1200℃で熱間静水圧加圧(HIP)処理
することが好ましく、このような焼成方法によればポア
サイズが1μm以下の焼結体を得ることができる。Then, a binder is added to this raw material powder to granulate it, followed by press molding at a predetermined pressure and firing to obtain the non-magnetic ceramic of the present invention. Particularly, at the time of this firing, 1000 to 1 in an oxidizing atmosphere
After firing at a normal pressure of 200 ° C. to obtain a pre-sintered body having a relative density of 95% or more, the pre-sintered body is hot isostatically pressed (HIP) at 1000 to 1200 ° C. in an inert gas atmosphere. Treatment is preferable, and a sintered body having a pore size of 1 μm or less can be obtained by such a firing method.
【0025】なお、本発明の非磁性セラミックスは、各
種記録再生ヘッド用のスライダーに限らず、磁気ヘッド
のスペーサ、磁気テープガイド、マイクロマシン用部品
等さまざまな分野に使用することができる。The nonmagnetic ceramics of the present invention can be used not only in sliders for various recording / reproducing heads but also in various fields such as magnetic head spacers, magnetic tape guides, and parts for micromachines.
【0026】[0026]
【実施例】実施例1 市販されている純度99%以上のFe2 O3 (不純物と
してSi、Al、Mn、Ca、Na、S、Cl、Mg、
Cr、P、Na、Nb等を含む)を使い、CaO源とし
てCaCl2 、CaCO3 等を使用し、純度99%以上
のZnOとともに、最終組成が表1となるよう所定量秤
量し、この後ボールミルを用いて湿式混合し、これを乾
燥し、乾燥後の原料を酸化性雰囲気において所定温度で
所定時間仮焼した。 Example 1 Commercially available Fe 2 O 3 having a purity of 99% or more (Si, Al, Mn, Ca, Na, S, Cl, Mg as impurities,
Cr, P, Na, Nb, etc.), CaCl 2 , CaCO 3, etc. are used as the CaO source, and ZnO having a purity of 99% or more is weighed in a predetermined amount so that the final composition is as shown in Table 1. The mixture was wet mixed using a ball mill, dried, and the dried raw material was calcined at a predetermined temperature for a predetermined time in an oxidizing atmosphere.
【0027】仮焼後の原料をアルミナボールまたはジル
コニアボール、メノーボールを用い平均粒径が2μm以
下となるよう微粉砕した。なお、この粉砕によりZrO
2 、Al2 O3 、SiO2 等が合計3重量%以下混入す
ることがある。The raw material after calcination was finely pulverized using alumina balls, zirconia balls, or menor balls so that the average particle diameter was 2 μm or less. In addition, ZrO
2 , Al 2 O 3 , SiO 2, etc. may be mixed in a total of 3% by weight or less.
【0028】得られた原料にバインダーを加えて造粒を
行った後、0.8〜2.0ton/cm2 の圧力でプレ
ス成形した。その後、酸化性雰囲気において常圧下の所
定温度で焼成した。得られた焼結体を1000〜120
0℃でアルゴン雰囲気中2000気圧でHIP処理し
た。得られた試料について嵩比重、熱膨張係数、ポア
率、焼結性について調べた。結果を表1に示す。A binder was added to the obtained raw material for granulation, and then press molding was performed at a pressure of 0.8 to 2.0 ton / cm 2 . Then, it was fired at a predetermined temperature under normal pressure in an oxidizing atmosphere. 1000-120 the obtained sintered body
HIP treatment was performed at 0 ° C. in an argon atmosphere at 2000 atm. The obtained sample was examined for bulk specific gravity, coefficient of thermal expansion, porosity, and sinterability. The results are shown in Table 1.
【0029】ここで、嵩比重は水中におけるアルキメデ
ス法により求め、熱膨張係数は熱膨張係数測定装置によ
り求めた。ポアの発生率は1μmのダイヤモンド砥粒に
よる最終ラップ面に生じるポア径を測定することにより
評価した。Here, the bulk specific gravity was determined by the Archimedes method in water, and the thermal expansion coefficient was determined by a thermal expansion coefficient measuring device. The generation rate of pores was evaluated by measuring the pore diameter generated on the final lap surface by 1 μm diamond abrasive grains.
【0030】表1の結果より、No.1と13はCaO
が若干多いことから焼結性が劣っており、またNo.6
と7はFe2 O3 が多く非磁性セラミックスとしては適
切でなかった。From the results of Table 1, No. 1 and 13 are CaO
The sinterability is inferior because there is a little more, and No. 6
Since Nos. 7 and 7 contained a large amount of Fe 2 O 3, they were not suitable as nonmagnetic ceramics.
【0031】これらに対し、No.2〜5、8〜12、
15〜18は本発明の範囲内の非磁性セラミックスであ
り、熱膨張係数はそれぞれ128〜100×10-7/℃
の範囲内であり、ポアの発生率および焼結性は良好であ
った。In contrast to these, 2-5, 8-12,
15 to 18 are non-magnetic ceramics within the scope of the present invention, and have a coefficient of thermal expansion of 128 to 100 × 10 −7 / ° C., respectively.
, And the rate of occurrence of pores and sinterability were good.
【0032】[0032]
【表1】 [Table 1]
【0033】次に、表1の各試料について2本のレール
を有するスライダー形状に加工し、取付金具を介してデ
ィスク上にセットした。そして、ディスクの最大回転数
を3600rpmとして回転と停止(CSS)を繰り返
した。このCSS回数の5000回毎にディスクとヘッ
ドの傷の有無を調べた。結果を表2、3に示す。Next, each sample in Table 1 was processed into a slider shape having two rails and set on a disk through a mounting metal fitting. Then, the maximum rotation number of the disk was set to 3600 rpm, and rotation and stop (CSS) were repeated. The presence or absence of scratches on the disk and the head was checked every 5000 times of this CSS. The results are shown in Tables 2 and 3.
【0034】この結果より、No.2〜5、8〜12、
15〜18の本発明実施例については、メディアやスラ
イダーに傷が発生するまでのCSS回数が大きく、優れ
た摺動特性を有することが分かる。From this result, No. 2-5, 8-12,
It can be seen that in Examples 15 to 18 of the present invention, the number of CSS times until scratches are generated on the medium or the slider is large, and the sliding characteristics are excellent.
【0035】[0035]
【表2】 [Table 2]
【0036】[0036]
【表3】 [Table 3]
【0037】実施例2 実施例1と同様のFe2 O3 、CaO、ZnOからなる
主成分に対して、MgO、TiO2 、MnO、Si
O2 、ZrO2 、Al2 O3 の少なくとも一種を表4に
示す含有量となるように秤量し、この後ボールミルを用
いて湿式混合した。その他は上記実施例1と同様にして
各試料を得た。得られた試料について実施例1と同様に
嵩比重、熱膨張係数、ポア率、焼結性について調べた。
結果は表5に示す通りである。 Example 2 Similar to Example 1, the main components of Fe 2 O 3 , CaO and ZnO were used, but MgO, TiO 2 , MnO and Si were used.
At least one of O 2 , ZrO 2 , and Al 2 O 3 was weighed so as to have the content shown in Table 4, and then wet mixed using a ball mill. Others were obtained in the same manner as in Example 1 above. The obtained sample was examined for bulk specific gravity, coefficient of thermal expansion, porosity, and sinterability in the same manner as in Example 1.
The results are as shown in Table 5.
【0038】表5によりMgO、TiO2 、MnO、S
iO2 、ZrO2 、Al2 O3 を0.1〜3重量部含有
することにより焼結性が良くなり、ポアサイズも小さく
なることが判明した。According to Table 5, MgO, TiO 2 , MnO, S
It was found that the sinterability was improved and the pore size was decreased by containing 0.1 to 3 parts by weight of iO 2 , ZrO 2 , and Al 2 O 3 .
【0039】さらに実施例1と同様にしてCSS試験を
行った結果を表6に示すように、摺動特性も良好となる
ことが判った。Further, as shown in Table 6 as a result of the CSS test performed in the same manner as in Example 1, it was found that the sliding characteristics were also good.
【0040】[0040]
【表4】 [Table 4]
【0041】[0041]
【表5】 [Table 5]
【0042】[0042]
【表6】 [Table 6]
【0043】[0043]
【発明の効果】以上詳述した通り、本発明の非磁性セラ
ミックスは、9〜41重量%のCaOと、58〜78重
量%のFe2 O3 と、0.3〜21重量%のZnOを含
有することによって、熱膨張係数をヘッドコア用材料の
熱膨張係数に近づけることができるため、磁気ヘッド用
スライダーを構成すれば、ヘッドコアを接着する際に亀
裂や残留歪みを生ぜずに確実に接着することができる。As described in detail above, the nonmagnetic ceramics of the present invention contain 9 to 41% by weight of CaO, 58 to 78% by weight of Fe 2 O 3 , and 0.3 to 21% by weight of ZnO. By including it, the coefficient of thermal expansion can be made close to that of the material for the head core.Therefore, if the slider for the magnetic head is configured, the head core can be securely bonded without causing cracks or residual strain when bonding. be able to.
【0044】また、ポアの発生率および焼結性の良好な
非磁性セラミックスを得られるため、磁気ヘッド用スラ
イダーを構成すればCSS時に潤滑剤や磁性粉等が付着
することがなく、記録データの破壊やヘッドの破損を確
実に防止し、磁気記録装置の信頼性を著しく向上するこ
とができる。Further, since a non-magnetic ceramic having a good generation rate of pores and good sinterability can be obtained, a slider for a magnetic head does not cause a lubricant, magnetic powder, or the like to adhere during CSS, so that recording data can be recorded. It is possible to reliably prevent breakage and breakage of the head and significantly improve the reliability of the magnetic recording device.
【0045】さらに本発明によれば、上記主成分100
重量部に対しMgO、TiO2 、MnO、SiO2 、Z
rO2 、Al2 O3 の少なくとも一種を合計0.1〜3
重量部含むことによって、焼結性が向上し、ポアサイズ
も小さくなり、摺動特性を向上させることができる。Further in accordance with the present invention, the above main component 100
For parts by weight, MgO, TiO 2 , MnO, SiO 2 , Z
At least one of rO 2 and Al 2 O 3 is 0.1 to 3 in total.
By including the weight part, the sinterability is improved, the pore size is reduced, and the sliding property can be improved.
Claims (3)
量%のFe2 O3 と、0.3〜21重量%のZnOを含
有することを特徴とする非磁性セラミックス。1. A nonmagnetic ceramic containing 9 to 41% by weight of CaO, 58 to 78% by weight of Fe 2 O 3 , and 0.3 to 21% by weight of ZnO.
iO2 、MnO、SiO2 、ZrO2 、Al2 O3 の少
なくとも一種を合計0.1〜3重量部含むことを特徴と
する請求項1記載の非磁性セラミックス。2. MgO, T based on 100 parts by weight of the main component
The non-magnetic ceramics according to claim 1, which contains 0.1 to 3 parts by weight in total of at least one of iO 2 , MnO, SiO 2 , ZrO 2 , and Al 2 O 3 .
量%のFe2 O3 と、0.3〜21重量%のZnOを含
み、必要に応じてこれら主成分100重量部に対してM
gO、TiO2 、MnO、SiO2 、ZrO2 、Al2
O3 の一種以上を合計0.1〜3重量部含む原料を混合
粉砕し、この混合粉体を所定形状に成形した後、得られ
た成形体を酸化雰囲気で予備焼成し、熱間静水圧加圧処
理を施す工程からなる非磁性セラミックスの製造方法。3. Contains 9 to 41% by weight of CaO, 58 to 78% by weight of Fe 2 O 3 , and 0.3 to 21% by weight of ZnO, and if necessary, to 100 parts by weight of these main components. M
gO, TiO 2 , MnO, SiO 2 , ZrO 2 , Al 2
A raw material containing 0.1 to 3 parts by weight in total of one or more kinds of O 3 is mixed and pulverized, and the mixed powder is molded into a predetermined shape, and the obtained molded body is pre-fired in an oxidizing atmosphere to obtain hot isostatic pressure. A method for producing a non-magnetic ceramic, comprising a step of applying a pressure treatment.
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