JPH09181561A - Sc cut crystal resonator and crystal oscillator using the resonator - Google Patents

Sc cut crystal resonator and crystal oscillator using the resonator

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JPH09181561A
JPH09181561A JP34981795A JP34981795A JPH09181561A JP H09181561 A JPH09181561 A JP H09181561A JP 34981795 A JP34981795 A JP 34981795A JP 34981795 A JP34981795 A JP 34981795A JP H09181561 A JPH09181561 A JP H09181561A
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JP
Japan
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crystal
electrode
electrodes
cut
gap
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JP34981795A
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Inventor
Mitsuaki Koyama
山 光 明 小
Mikio Saito
藤 三 樹 夫 斉
Takashi Uchida
田 剛 史 内
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Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
Original Assignee
Nihon Dempa Kogyo Co Ltd
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  • Oscillators With Electromechanical Resonators (AREA)
  • Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain an oscillation output with high purity by simple constitution by forming an SC cut crystal chip, 1st electrodes opposed to the surface and rear plate faces of the chip and a pair of 2nd electrodes formed on one plate face of the chip at a prescribed gap from the 1st electrode. SOLUTION: A crystal chip 1 is obtained by rotating a face rectangular to the Y axis of an artificial quartz crystal around the X axis by about 33 deg., rotating the rotated face around the Z axis from the rotated position by about 22 deg. and cutting out the rotated face like a round plate. The 1st electrodes 2 to be used for vertical field excitation are formed oppositely to the centers of the front and rear plate faces of the chip 1. A pair of 2nd electrodes 3 to be used for parallel field excitation are formed on one plate face at a prescribed gap from the 1st electrode 2. The 2nd electrodes 3 are formed so as to be mutually separated by a gap of 0.03mm or 0.2mm. Consequently sub-vibration can be sufficiently suppressed, and even in the case of using the quartz resonator for a crystal oscillator, stable operation can be executed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、垂直電界励振用電
極、及び平行電界励振用電極を有する水晶振動子および
これを用いた水晶発振器に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a crystal oscillator having a vertical electric field excitation electrode and a parallel electric field excitation electrode, and a crystal oscillator using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】近時、応力感度、熱衝撃特性、位相雑音
性能等について優れた性能を有するSCカットの水晶振
動子が注目されている。このようなSCカットの水晶振
動子は、水晶の結晶のY軸に直交する面をX軸を中心に
して約33゜回転し、更にこの回転した位置からZ軸を
中心にして約22゜回転した面から切り出した水晶片に
電極を形成したものである。
2. Description of the Related Art Recently, attention has been paid to SC-cut crystal oscillators having excellent performances such as stress sensitivity, thermal shock characteristics, and phase noise performance. Such an SC-cut crystal unit rotates about 33 ° about the X axis on the plane perpendicular to the Y axis of the crystal of the crystal, and about 22 ° about the Z axis from this rotated position. The electrodes are formed on the crystal piece cut out from the surface.

【0003】従来、SCカットの水晶振動子では垂直電
界励振用の電極を形成したものと平行電界励振用の電極
を形成したものとがあった。しかしながら、垂直又は平
行いずれの電界励振を行うものであっても、SCカット
の水晶振動子では、主振動と同じ厚み系の振動である副
振動を生じる。このような副振動のうち、あるものは主
振動の周波数の近傍に存在するために、容易に主振動に
結合する。そして、SCカットの水晶振動子を水晶発振
器に用いた場合、主振動に副振動が結合すると発振周波
数のジャンプ等の異常動作を発生する原因となってい
た。
Conventionally, there have been SC-cut crystal oscillators in which electrodes for vertical electric field excitation are formed and those in which electrodes for parallel electric field excitation are formed. However, regardless of whether the electric field is excited vertically or in parallel, the SC-cut crystal resonator produces a sub-vibration which is a vibration of the same thickness system as the main vibration. Some of these sub-vibrations exist near the frequency of the main vibration, so they are easily coupled to the main vibration. When an SC-cut crystal oscillator is used in a crystal oscillator, when the main vibration is coupled with the sub-vibration, it causes an abnormal operation such as a jump of the oscillation frequency.

【0004】またSCカットの水晶振動子の設計では、
副振動を抑圧することが望まれていた。SCカットの水
晶振動子の副振動を抑圧する手段としては、たとえば垂
直電界励振電極にかえて平行電界励振電極を用いたり、
水晶片に非対称ベベル加工を行うことが考えられてい
た。しかしながら前者の手段では、水晶振動子の等価抵
抗が大きくなるために特殊な発振回路を必要とすること
になり、また後者の手段では、副振動を充分に抑圧でき
ない等の問題があった。
In the design of the SC cut crystal unit,
It was desired to suppress the secondary vibration. As means for suppressing the sub-vibration of the SC cut crystal resonator, for example, a parallel electric field excitation electrode is used instead of the vertical electric field excitation electrode,
It has been considered to perform asymmetric bevel processing on the crystal piece. However, the former means requires a special oscillation circuit because the equivalent resistance of the crystal oscillator becomes large, and the latter means has a problem that the sub-vibration cannot be sufficiently suppressed.

【0005】このためSCカットの水晶振動子を用いた
水晶発振器では、狭帯域のフィルタを用いて主振動の発
振出力のみを通過させるように発振出力を濾波して出力
することが行われていた。しかしながら、このようなも
のでは高価な狭帯域のフィルタを必要とし、またSCカ
ットの水晶振動子の発振周波数とフィルタの通過周波数
とを一致させておく必要があり、周波数エージング特性
の劣化を生じ易い問題があった。
Therefore, in the crystal oscillator using the SC cut crystal oscillator, a narrow band filter is used to filter and output the oscillation output so that only the oscillation output of the main vibration is passed. . However, in such a device, an expensive narrow band filter is required, and it is necessary to match the oscillation frequency of the SC-cut crystal unit with the pass frequency of the filter, which easily causes deterioration of the frequency aging characteristics. There was a problem.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】本発明は上記の事情に
鑑みてなされたもので、副振動を充分に抑圧することが
でき、水晶発振器に用いた場合にも安定に動作し、純度
の高い発振出力を簡単な構成で得ることができるSCカ
ットの水晶振動子及びこれを用いた水晶発振器を提供す
ることを目的とするものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above circumstances and is capable of sufficiently suppressing secondary vibrations, operates stably even when used in a crystal oscillator, and has high purity. It is an object of the present invention to provide an SC-cut crystal oscillator capable of obtaining an oscillation output with a simple structure and a crystal oscillator using the same.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明は、SCカットの
水晶片と、この水晶片の表裏板面に相対面して形成した
第1の電極と、上記水晶片の一方の板面に第1の電極に
対して所定の間隙を存して形成した一対の第2の電極と
を具備するSCカットの水晶振動子を特徴とするもので
ある。
According to the present invention, there is provided an SC-cut crystal piece, a first electrode formed to face the front and back plate surfaces of the crystal piece, and a first plate surface of the crystal piece. The present invention is characterized by an SC-cut crystal resonator including a pair of second electrodes formed with a predetermined gap with respect to one electrode.

【0008】[0008]

【実施例】以下、本発明の一実施例を図1に示す水晶片
に形成した電極の平面図を参照して詳細に説明する。図
中1は水晶片で、人工水晶の結晶のY軸に直交する面を
X軸を中心にして約33゜回転し、さらにこの回転した
位置からZ軸を中心にして約22゜回転した面から丸板
状に切り出したものである。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to a plan view of electrodes formed on a crystal blank shown in FIG. In the figure, reference numeral 1 is a crystal piece, which is a surface rotated about 33 ° about the X-axis about the plane orthogonal to the Y-axis of the crystal of artificial quartz, and about 22 ° about the Z-axis from this rotated position. It is a round plate cut out from.

【0009】そして水晶片1の表裏板面の中央に相対面
して垂直電界励振に用いる第1の電極2を形成してい
る。また一方の板面に第1の電極2に所定の間隙を存し
て平行電界励振に用いる一対の第2の電極3を形成して
いる。この第2の電極3は、相互に、たとえば0.03
mmないし0.2mmの間隙を存して形成している。
Then, a first electrode 2 used for vertical electric field excitation is formed facing the center of the front and back plate surfaces of the crystal blank 1. In addition, a pair of second electrodes 3 used for parallel electric field excitation are formed on one plate surface with a predetermined gap in the first electrodes 2. The second electrodes 3 are connected to each other, for example 0.03.
It is formed with a gap of mm to 0.2 mm.

【0010】図2は垂直電界励振に用いる第1の電極2
に0dBmの電圧の信号を入力した際に、平行電界励振
に用いる第2の電極3相互間の間隙の大きさと第2の電
極3から出力される副振動であるBモード及び主振動で
あるCモードの信号の電圧レベルを示すグラフである。
なお、ここで用いた水晶振動子は、直径14mmの円形
で、3次オーバトーンで5MHzのSCカットの水晶振
動子である。
FIG. 2 shows a first electrode 2 used for vertical electric field excitation.
When a signal with a voltage of 0 dBm is input to, the size of the gap between the second electrodes 3 used for parallel electric field excitation, the B mode that is the secondary vibration output from the second electrode 3, and the C that is the main vibration It is a graph which shows the voltage level of the signal of a mode.
The crystal unit used here is a circular crystal unit having a diameter of 14 mm and a 5 MHz SC cut with a third overtone.

【0011】このグラフから明らかなように、Bモード
の出力は概略一定の値となるが、Cモードの出力は第2
の電極3の間の間隙が狭くなるにしたがってレベルは上
昇する。すなわち、第2の電極3の相互間の距離を狭め
るほどB、Cモードの出力電圧差は大きくなる。たとえ
ば第2の電極3の相互間の距離を0.03mmまで狭め
た場合は、主振動のCモードの出力は著しく大きくな
り、副振動のBモードの出力電圧に対して45dB以上
の大きなレベル差を生じて、充分に副振動を抑圧するこ
とができる。
As is clear from this graph, the output in the B mode has a substantially constant value, but the output in the C mode is the second value.
The level rises as the gap between the electrodes 3 of N becomes narrower. That is, the narrower the distance between the second electrodes 3, the larger the output voltage difference between the B and C modes. For example, when the distance between the second electrodes 3 is narrowed to 0.03 mm, the C-mode output of the main vibration becomes significantly large, and a large level difference of 45 dB or more with respect to the B-mode output voltage of the secondary vibration. It is possible to sufficiently suppress the secondary vibration.

【0012】また第2の電極3の相互間の距離を0.2
mmまで広げるとB、Cモードのレベル差は20dBま
で接近し、これ以上間隙を広げると副振動を充分に抑圧
できなくなる。また、第2の電極3の相互間の間隙の大
きさを、0.03mmよりも狭くすることは両電極が短
絡する恐れがある。したがって、第2の電極3の相互間
の距離は0.03mmないし0.2mmとすることが望
ましい。
The distance between the second electrodes 3 is set to 0.2.
When it is widened to mm, the level difference between the B and C modes approaches 20 dB, and when the gap is further extended, the secondary vibration cannot be suppressed sufficiently. Also, if the size of the gap between the second electrodes 3 is made narrower than 0.03 mm, both electrodes may be short-circuited. Therefore, the distance between the second electrodes 3 is preferably 0.03 mm to 0.2 mm.

【0013】また第1の電極2と第2の電極3とは、た
とえば0.05mmないし0.1mmの間隙を存して形
成している。第1の電極2と第2の電極3との間隙をこ
のように規定した理由は、間隙を0.05mmよりも狭
くすると両電極が短絡する恐れがあり、間隙を0.1m
mよりも広くすると等価抵抗が大きくなりすぎて使用し
難くなるためである。図3に示すグラフは、第1の電極
2と第2の電極3との間隙の大きさに対する等価抵抗の
変化を示すものである。すなわち、間隙を狭くするほど
等価抵抗は小さくなり、また間隙を大きくするほど等価
抵抗は大きくなることを示している。しかして両電極間
の間隙を0.1mmよりも大きくすると等価抵抗は18
00Ωを越えるので実用上、好ましくない。
Further, the first electrode 2 and the second electrode 3 are formed with a gap of, for example, 0.05 mm to 0.1 mm. The reason for defining the gap between the first electrode 2 and the second electrode 3 in this way is that if the gap is narrower than 0.05 mm, both electrodes may be short-circuited, and the gap is 0.1 m.
This is because if it is wider than m, the equivalent resistance becomes too large and it becomes difficult to use. The graph shown in FIG. 3 shows changes in the equivalent resistance with respect to the size of the gap between the first electrode 2 and the second electrode 3. That is, it is shown that the narrower the gap, the smaller the equivalent resistance, and the larger the gap, the larger the equivalent resistance. If the gap between both electrodes is larger than 0.1 mm, the equivalent resistance will be 18
Since it exceeds 00Ω, it is not practically preferable.

【0014】図4に示す表は、第1の電極2と第2の電
極3との間隙の大きさに対する主振動および副振動の等
価抵抗を示すものである。すなわち、副振動の等価抵抗
は隙間の大きさに係わらず無限大であり、これに対して
主振動の等価抵抗は隙間の大きさに略比例する傾向にあ
り、たとえば隙間の大きさが小さくなると等価抵抗も減
少する傾向にある。
The table shown in FIG. 4 shows the equivalent resistance of the main vibration and the sub vibration to the size of the gap between the first electrode 2 and the second electrode 3. That is, the equivalent resistance of the sub-vibration is infinite regardless of the size of the gap, whereas the equivalent resistance of the main vibration tends to be substantially proportional to the size of the gap. The equivalent resistance also tends to decrease.

【0015】図5は上記実施例で説明した第1及び第2
の電極を有するSCカットの水晶振動子を用いた水晶発
振器の回路図である。図中11は第1の電極11a、第
2の電極11bを有するSCカットの水晶振動子であ
る。そして12は能動回路で、この場合反転増幅器を用
いている。そして反転増幅器12の入力及び出力に水晶
振動子11の第1の電極11aをそれぞれ接続してい
る。また反転増幅器12の入出力間には、帰還抵抗13
を接続し、入力及び出力と接地電位との間にそれぞれ位
相制御のコンデンサ14を接続している。そして第2の
電極11bを、それぞれ差動増幅器15の差動入力に接
続し、出力から発振出力を得るようにしている。
FIG. 5 shows the first and second embodiments described in the above embodiment.
FIG. 6 is a circuit diagram of a crystal oscillator using an SC-cut crystal resonator having the electrodes of FIG. Reference numeral 11 in the drawing is an SC-cut crystal resonator having a first electrode 11a and a second electrode 11b. 12 is an active circuit, which uses an inverting amplifier in this case. The first electrode 11a of the crystal oscillator 11 is connected to the input and output of the inverting amplifier 12, respectively. A feedback resistor 13 is provided between the input and output of the inverting amplifier 12.
And a phase control capacitor 14 is connected between the input and output and the ground potential. Then, the second electrodes 11b are connected to the differential inputs of the differential amplifier 15, respectively, and the oscillation output is obtained from the output.

【0016】このようにすれば、第1の電極11aに能
動回路である反転増幅器12を接続することにより発振
回路を構成することができる。また発振出力は、第2の
電極11bから出力される。そして第1、第2の電極1
1a、11bは、水晶片1の板面に電気的に互いに絶縁
して設けるようにしている。したがって第1の電極2か
ら第2の電極3へは直接電気信号は流れることはなく、
機械的な振動を媒介として結合しているに過ぎない。こ
のため、第2の電極11bからは極めて純度の高い、位
相雑音の少ない発振出力を得ることができる。
In this way, an oscillation circuit can be constructed by connecting the inverting amplifier 12 which is an active circuit to the first electrode 11a. The oscillation output is output from the second electrode 11b. And the first and second electrodes 1
1a and 11b are provided on the plate surface of the crystal blank 1 so as to be electrically insulated from each other. Therefore, an electric signal does not flow directly from the first electrode 2 to the second electrode 3,
It is only coupled through mechanical vibration. Therefore, it is possible to obtain an oscillation output with extremely high purity and little phase noise from the second electrode 11b.

【0017】従来、このように純度の高い発振出力を必
要とする場合は、発振回路の出力を挟帯域の水晶フィル
タを介して出力するようにしていた。しかしながらこの
ようなものでは狭帯域の水晶フィルタ等を必要とするた
めに部品点数が増加してコストも高価になり、フィルタ
の経時変化によって発振周波数のエージング特性が劣化
する等の問題があった。これに対して上記実施例の水晶
発振器では、高価な挟帯域のフィルタ等を用いることな
く純度の高い発振出力を得ることができる。また、水晶
振動子の主振動の近傍の周波数にある副振動を抑圧する
こともでき発振出力の純度を一層高めることができる。
そして部品点数を少なくできるので構成も簡単になり、
コストの低減を図ることができる。
Conventionally, when such a high-purity oscillation output is required, the output of the oscillation circuit is output via a crystal filter having a narrow band. However, such a device has a problem that the number of components is increased and the cost is increased because a narrow band crystal filter or the like is required, and the aging characteristic of the oscillation frequency is deteriorated due to a change with time of the filter. On the other hand, in the crystal oscillator of the above-mentioned embodiment, it is possible to obtain a high-purity oscillation output without using an expensive narrow band filter or the like. Further, it is possible to suppress the sub-vibration at a frequency near the main vibration of the crystal oscillator, and it is possible to further improve the purity of the oscillation output.
And since the number of parts can be reduced, the configuration becomes simple,
Cost can be reduced.

【0018】なお一対の電極のみを有する水晶振動子の
電気的特性は、たとえばIEC pub.444で代表
される測定法により測定することが行われている。しか
しながら、上記実施例で説明したような第1、第2の電
極を有するSCカットの水晶振動子の電気的特性は、一
対の電極のみを有する水晶振動子と同じ測定方法では測
定することはできない。この理由は、2種類の励振電極
を有する水晶振動子の場合、入力側2端子、出力側2端
子の4端子回路となり、一対の電極を形成した2端子回
路の測定方法を、そのまま適用することはできない。
The electrical characteristics of the crystal unit having only a pair of electrodes are, for example, IEC pub. The measurement is performed by the measurement method represented by 444. However, the electrical characteristics of the SC-cut crystal unit having the first and second electrodes as described in the above embodiment cannot be measured by the same measuring method as that of the crystal unit having only a pair of electrodes. . The reason for this is that in the case of a crystal oscillator having two types of excitation electrodes, it becomes a four-terminal circuit with two terminals on the input side and two terminals on the output side, and the measurement method of the two-terminal circuit with a pair of electrodes formed is applied as is. I can't.

【0019】このような場合、たとえば図6に示すよう
にネットワークアナライザ21の制御信号出力端子をイ
ンピーダンス整合させて水晶振動子11の垂直電界励振
電極11aに接続して励振する。そして、ネットワーク
アナライザ21の入力端子にインピーダンス整合させて
水晶振動子11の平行電界励振電極11bを接続する。
そしてネットワークアナライザ21を動作させることに
よって、水晶振動子の等価回路定数と副振動を測定する
ことができる。
In such a case, for example, as shown in FIG. 6, the control signal output terminal of the network analyzer 21 is impedance-matched and connected to the vertical electric field excitation electrode 11a of the crystal resonator 11 for excitation. Then, the parallel electric field excitation electrode 11b of the crystal resonator 11 is connected to the input terminal of the network analyzer 21 by impedance matching.
Then, by operating the network analyzer 21, it is possible to measure the equivalent circuit constant and the secondary vibration of the crystal unit.

【0020】図7に示す表は、上記実施例で用いた5M
HzのSCカットの水晶振動子、20個の振動特性を測
定した結果を示すものである。この結果から、Q値の平
均は1514300、R1は2151Ω、C1は97.
72fF、L1は10.37mHであった。
The table shown in FIG. 7 shows the 5M used in the above embodiment.
It shows the result of measuring the vibration characteristics of 20 crystal oscillators of SC cut of Hz. From these results, the average Q value is 1514300, R1 is 2151Ω, and C1 is 97.
72fF and L1 were 10.37mH.

【0021】[0021]

【発明の効果】以上詳述したように、本発明によれば、
副振動を充分に抑圧することができ、水晶発振器に用い
た場合にも安定に動作することができるSCカットの水
晶振動子及びこれを用いた水晶発振器を提供することが
できる。
As described in detail above, according to the present invention,
It is possible to provide an SC-cut crystal oscillator capable of sufficiently suppressing secondary vibration and capable of operating stably even when used in a crystal oscillator, and a crystal oscillator using the same.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の一実施例の水晶振動子の電極の配置を
示す平面図である
FIG. 1 is a plan view showing an arrangement of electrodes of a crystal resonator according to an embodiment of the present invention.

【図2】平行電界励振電極間の間隙に対するB、Cモー
ドの出力電圧の変化を示すグラフである。
FIG. 2 is a graph showing changes in output voltage in B and C modes with respect to a gap between parallel electric field excitation electrodes.

【図3】垂直電界励振電極と平行電界励振電極との間隙
に対する等価抵抗の変化を示すグラフである。
FIG. 3 is a graph showing a change in equivalent resistance with respect to a gap between a vertical electric field excitation electrode and a parallel electric field excitation electrode.

【図4】垂直電界励振電極と平行電界励振電極との間隙
に対する主振動及び副振動の等価抵抗の変化を示す表で
ある。
FIG. 4 is a table showing changes in equivalent resistance of main vibration and sub vibration with respect to a gap between a vertical electric field excitation electrode and a parallel electric field excitation electrode.

【図5】本発明の水晶振動子を用いた水晶発振器の回路
図である。
FIG. 5 is a circuit diagram of a crystal oscillator using the crystal resonator of the present invention.

【図6】本発明の水晶振動子の電気的特性を測定するブ
ロック図である。
FIG. 6 is a block diagram for measuring the electrical characteristics of the crystal unit of the present invention.

【図7】図6に示す測定方法で測定した本発明の水晶振
動子の電気的特性の一例である。
7 is an example of electrical characteristics of the crystal resonator of the present invention measured by the measuring method shown in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 ・・ 水晶片 2 ・・ 第1の電極 3 ・・ 第2の電極 11 ・・ 水晶振動子 11a ・・ 第1の電極 11b ・・ 第2の電極 12 ・・ 能動回路 13 ・・ 帰還抵抗 14 ・・ 位相制御コンデンサ 15 ・・ 差動増幅器 20 ・・ ネットワークアナライザ 1 ·· Quartz piece 2 ·· First electrode 3 ·· Second electrode 11 ·· Crystal oscillator 11a ·· First electrode 11b ·· Second electrode 12 ·· Active circuit 13 · · Feedback resistor 14 ..Phase control capacitors 15 ..Differential amplifier 20 ..Network analyzer

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】SCカットの水晶片と、 この水晶片の表裏板面に相対面して形成した第1の電極
と、 上記水晶片の一方の板面に第1の電極から所定の間隙を
存して形成した一対の第2の電極と、 を具備することを特徴とするSCカットの水晶振動子。
1. An SC-cut crystal piece, a first electrode formed facing the front and back plate surfaces of the crystal piece, and a predetermined gap from the first electrode on one plate surface of the crystal piece. An SC-cut crystal resonator, comprising: a pair of second electrodes that are formed by existing.
【請求項2】請求項1に記載のものにおいて、第1の電
極は垂直電界励振に用い第2の電極は平行電界励振に用
いることを特徴とするSCカットの水晶振動子。
2. The SC-cut crystal resonator according to claim 1, wherein the first electrode is used for vertical electric field excitation and the second electrode is used for parallel electric field excitation.
【請求項3】請求項1に記載のものにおいて、第1の電
極と第2の電極との間隙を0.05mmないし0.1m
mとしたことを特徴とするSCカットの水晶振動子。
3. The device according to claim 1, wherein the gap between the first electrode and the second electrode is 0.05 mm to 0.1 m.
SC cut crystal unit characterized by m.
【請求項4】請求項1に記載のものにおいて、第2の電
極は互いに0.03mmないし0.2mmの間隔で形成
したことを特徴とするSCカットの水晶振動子。
4. The crystal oscillator of SC cut according to claim 1, wherein the second electrodes are formed at intervals of 0.03 mm to 0.2 mm.
【請求項5】SCカットの水晶片の表裏板面に相対面し
て形成した第1の電極を能動回路に接続して発振させ、
上記水晶片の一方の板面に第1の電極から所定の間隙を
存して形成した一対の第2の電極から導出した発振出力
を差動増幅器を介して出力することを特徴とするSCカ
ットの水晶振動子を用いた水晶発振器。
5. A first electrode formed facing the front and back surfaces of an SC-cut crystal piece is connected to an active circuit to oscillate,
An SC cut, characterized in that an oscillation output derived from a pair of second electrodes formed on the one plate surface of the crystal piece from the first electrode with a predetermined gap therebetween is output via a differential amplifier. Crystal oscillator using the above crystal oscillator.
JP34981795A 1995-12-21 1995-12-21 Sc cut crystal resonator and crystal oscillator using the resonator Pending JPH09181561A (en)

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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WO2015194474A1 (en) * 2014-06-16 2015-12-23 日本電波工業株式会社 Piezoelectric vibrating reed and piezoelectric device
JP2016146551A (en) * 2015-02-06 2016-08-12 富士通株式会社 Quartz resonator

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