JPH09179141A - Liquid crystal display panel - Google Patents

Liquid crystal display panel

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JPH09179141A
JPH09179141A JP33312495A JP33312495A JPH09179141A JP H09179141 A JPH09179141 A JP H09179141A JP 33312495 A JP33312495 A JP 33312495A JP 33312495 A JP33312495 A JP 33312495A JP H09179141 A JPH09179141 A JP H09179141A
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electrode
gate
liquid crystal
gate electrode
bus line
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Shogo Hayashi
省吾 林
Hideaki Takizawa
英明 滝沢
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Fujitsu Ltd
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Fujitsu Ltd
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress a difference in luminance generated at the border line of split exposure to be viewed by an observer and suppress display unevenness of an image display as much as possible by providing a drain electrode which projects from a drain bus line while overlapping with a gate electrode and pixel electrodes which are connected to 1st and 2nd source electrodes arranged opposite across the gate electrode. SOLUTION: This panel is provided with the gate electrode 12 of a thin film transistor, the drain electrode 17 of the thin film transistor which projects from the drain bus line 17A while overlapping with the gate electrode 12, and 1st and 2nd source electrodes 16A and 16B of the thin film transistor which are arranged opposite across the gate electrode 12. Even if a reticle shifts in position at the time of split exposure, to cause the patterns of, specially, the patterns of the gate electrode 12 and 1st and 2nd source electrodes 16A and 16B shift in position, the area of overlaps with the respective electrodes is constant on the whole since the 1st and 2nd source electrodes 16A and 16B are arranged opposite across the gate electrode 12.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は液晶表示パネルに関
し、より詳しくは、薄膜トランジスタ(Thin Film Tran
sistor:TFT)マトリクスが形成された液晶表示パネ
ルに関する。近年、TFTマトリクスが搭載された液晶
表示パネル(以下TFT液晶パネルと称する)は、高精
細化、多階調化に伴い、画像表示品質の向上が望まれて
いる。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a liquid crystal display panel, and more particularly, to a thin film transistor.
This invention relates to a liquid crystal display panel in which a sistor (TFT) matrix is formed. 2. Description of the Related Art In recent years, a liquid crystal display panel (hereinafter referred to as a TFT liquid crystal panel) equipped with a TFT matrix has been required to have improved image display quality in accordance with higher definition and higher gradation.

【0002】[0002]

【従来の技術】以下で従来例に係るTFT液晶パネルの
構造について説明する。図8(a)は従来例に係るTF
T液晶パネルの構造を説明する上面図であって、図8
(b)は同図(a)のA−A線断面図である。図8にお
いて1はガラス基板からなる透明基板、2はゲート電
極、2Aはゲートバスライン、3はゲート絶縁膜であ
る。また、4はアモルファスシリコンからなる動作半導
体層、5はチャネル保護膜、6はソース電極である。ま
た7はドレイン電極であり、7Aはドレインバスライン
である。さらに8は画素電極であって、9は画素の補助
容量を構成する補助容量バスラインである。
2. Description of the Related Art The structure of a conventional TFT liquid crystal panel will be described below. FIG. 8A shows the TF according to the conventional example.
9 is a top view illustrating the structure of the T liquid crystal panel, and FIG.
(B) is the sectional view on the AA line of the same figure (a). In FIG. 8, 1 is a transparent substrate made of a glass substrate, 2 is a gate electrode, 2A is a gate bus line, and 3 is a gate insulating film. Further, 4 is an operating semiconductor layer made of amorphous silicon, 5 is a channel protective film, and 6 is a source electrode. Further, 7 is a drain electrode, and 7A is a drain bus line. Further, 8 is a pixel electrode, and 9 is an auxiliary capacitance bus line forming an auxiliary capacitance of the pixel.

【0003】最初にこのTFT液晶パネルを上面からみ
た各部の配置関係について図8(a)を参照しながら説
明する。図8(a)に示すように、ゲートバスライン2
Aとドレインバスライン7Aとが直交してマトリクス状
に配置され、これらに囲まれた領域に画素電極8が配置
されている。また、補助容量バスライン9が画素電極8
の中央を横切るように配置されている。
First, the layout of the respective parts of the TFT liquid crystal panel as viewed from above will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 8A, the gate bus line 2
A and the drain bus line 7A are orthogonally arranged in a matrix, and the pixel electrode 8 is arranged in a region surrounded by these. Further, the auxiliary capacitance bus line 9 is connected to the pixel electrode 8
It is arranged so as to cross the center of.

【0004】ゲートバスライン2Aからはゲート電極2
が画素電極8方向に突出しており、ドレインバスライン
からは2つのドレイン電極7がゲート電極2の方向に突
出して配置されている。また、画素電極8の一端に接続
された2つのソース電極6は、ゲート電極2の方向に突
出するように配置されており、これにより1画素につい
てゲートが共通な2つのTFTが形成されていることに
なる。
From the gate bus line 2A to the gate electrode 2
Are projected in the direction of the pixel electrode 8, and two drain electrodes 7 are arranged so as to project in the direction of the gate electrode 2 from the drain bus line. Further, the two source electrodes 6 connected to one end of the pixel electrode 8 are arranged so as to project in the direction of the gate electrode 2, and thus two TFTs having a common gate for one pixel are formed. It will be.

【0005】次いでこの装置の断面構造について図8
(b)を参照しながら説明する。図8(b)に示すよう
に、ガラスなどからなる透明基板1上にゲート電極2が
形成され、それを被覆するようにゲート絶縁膜3が形成
されている。その上にはTFTのチャネル層を構成する
動作半導体層4が形成されている。動作半導体層4上の
チャネルの形成される領域には絶縁性のチャネル保護膜
5が形成されており、これの両側にソース電極6、ドレ
イン電極7が形成されてTFTを構成する。このソース
電極6上にはITO(Indium TiN Oxide)膜からなる画
素電極8が形成されており、これは画素領域まで形成さ
れている。
Next, the sectional structure of this device is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 8B, a gate electrode 2 is formed on a transparent substrate 1 made of glass or the like, and a gate insulating film 3 is formed so as to cover it. An operating semiconductor layer 4 that forms the channel layer of the TFT is formed thereon. An insulating channel protective film 5 is formed in a region where a channel is formed on the operating semiconductor layer 4, and a source electrode 6 and a drain electrode 7 are formed on both sides of the insulating channel protective film 5 to form a TFT. A pixel electrode 8 made of an ITO (Indium TiN Oxide) film is formed on the source electrode 6, and the pixel electrode 8 is formed up to the pixel region.

【0006】上記の基板に、表面に透明導電膜からなる
対向電極が形成された不図示の透明基板が対向配置さ
れ、これらの基板間に液晶LCが封入されることで、T
FT液晶パネルが構成される。図9に、1画素について
の図8の等価回路図を示す。図9に示すように、2個の
TFTが並列に接続されており、そのソースには画素電
極が接続されている。
A transparent substrate (not shown) having a counter electrode made of a transparent conductive film formed on the surface of the above-mentioned substrate is disposed so as to face the substrate, and liquid crystal LC is sealed between these substrates.
An FT liquid crystal panel is constructed. FIG. 9 shows an equivalent circuit diagram of FIG. 8 for one pixel. As shown in FIG. 9, two TFTs are connected in parallel, and a pixel electrode is connected to the source thereof.

【0007】図9においてCLは画素領域で液晶の有す
る容量、Csは補助容量バスラインの関与する補助容
量、Cgs1,Cgs2はゲート−ソース間の容量であ
って、この大小は図8のゲート電極2とソース電極6と
の重なる面積の総和に依存する。このゲート−ソース間
の容量Cgs1,Cgs2が大きくなると、同じゲート
電圧をゲートバスラインからゲート電極2に印加した場
合においても、ゲート電圧の立ち下がりの影響でソース
電極6すなわち画素電極8の電位が落ち込むため、ゲー
ト−ソース間の容量Cgs1,Cgs2がともに小さい
場合に比して画素電極8に印加される電位が低くなり画
素の輝度が低下する。
In FIG. 9, CL is the capacitance of the liquid crystal in the pixel region, Cs is the auxiliary capacitance related to the auxiliary capacitance bus line, Cgs1 and Cgs2 are the capacitances between the gate and the source, the magnitude of which is the gate electrode of FIG. 2 depends on the sum of the overlapping areas of 2 and the source electrode 6. When the gate-source capacitances Cgs1 and Cgs2 are increased, even if the same gate voltage is applied to the gate electrode 2 from the gate bus line, the potential of the source electrode 6, that is, the pixel electrode 8 is affected by the fall of the gate voltage. Since the voltage drops, the potential applied to the pixel electrode 8 becomes lower and the brightness of the pixel lowers as compared with the case where both the gate-source capacitances Cgs1 and Cgs2 are small.

【0008】上記のような構造のTFT液晶パネルを製
造する際には、パターニングの際にフォトリソグラフィ
法を用いるため露光工程が必須である。一般にTFT液
晶パネルは10〜14インチ程度と大きいので、これに
対応できる1枚のレチクルを製造するのは困難であるな
どの理由で、露光工程においては図10にその概略を示
すいわゆる分割露光という方法が用いられている。
When manufacturing a TFT liquid crystal panel having the above structure, an exposure step is essential because a photolithography method is used for patterning. In general, a TFT liquid crystal panel is as large as about 10 to 14 inches, and therefore it is difficult to manufacture one reticle that can handle the TFT liquid crystal panel. Method is used.

【0009】この方法は、1枚のTFT液晶パネルLP
を露光する際に、パネルの領域を複数に分割し、その領
域毎にレチクルを用意して露光するという方法である。
具体的には、図10に示すように、パネルLPを複数の
領域A1〜A4に4分割して、この分割された領域A1
〜A4の露光パターンに対応するレチクルr1〜r4を
用意し、領域毎にレチクルを変えて露光することで1枚
の大型TFT液晶パネルを露光する。
In this method, one TFT liquid crystal panel LP is used.
Is a method of dividing a panel area into a plurality of areas, preparing a reticle for each area, and exposing.
Specifically, as shown in FIG. 10, the panel LP is divided into four regions A1 to A4, and the divided region A1 is divided into four regions.
.. A4 reticle r1 to r4 corresponding to the exposure patterns A4 to A4 are prepared, and one large TFT liquid crystal panel is exposed by changing exposure for each region.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】しかし、上記の分割露
光を用いてTFT液晶パネルを製造すると、以下に示す
ような問題が生じる。すなわち、複数枚のレチクルを用
意して露光する都合上、その異なるレチクルの境界付近
の領域においては、レチクルの位置ずれによって画像表
示上のずれが生じることが多々有る。
However, when a TFT liquid crystal panel is manufactured by using the above divided exposure, the following problems occur. That is, for the convenience of preparing and exposing a plurality of reticles, in many areas near the boundary between the different reticles, a misalignment of the reticles often causes a deviation in image display.

【0011】一例として図11(a)に示すように、分
割露光の際に異なるレチクルを用いて露光する際の境界
線TMを挟んで左側の画素LGについては、対応するレ
チクルが正しく位置合せされていたが、境界線TMを挟
んで右側の画素RGにおいて、対応するレチクルがX方
向に多少ずれてしまったような場合について説明する。
As an example, as shown in FIG. 11A, for the pixel LG on the left side of the boundary line TM when using different reticles for division exposure, the corresponding reticles are correctly aligned. However, in the pixel RG on the right side of the boundary line TM, a case where the corresponding reticle is slightly displaced in the X direction will be described.

【0012】左側の画素LGについてはレチクルの位置
合せが正しく行われたのでゲート電極2、ソース電極6
の重なる面積は設計で予想される値であって、これらの
間の容量Cgs1,Cgs2は設計で予想される値どお
りであるが、右側の画素RGについては、レチクルの位
置合せがずれてしまったため、ゲート電極2、ソース電
極6の重なる面積は設計で予想される値よりも小さくな
り、これらの間の容量Cgs1,Cgs2も左側の画素
LGに比べて小さくなる。
With respect to the pixel LG on the left side, the alignment of the reticle was correctly performed, so that the gate electrode 2 and the source electrode 6 were
The overlapping area of is a value expected in the design, and the capacitances Cgs1 and Cgs2 between these are the same as the values expected in the design, but for the pixel RG on the right side, the alignment of the reticle is misaligned. , The overlapping area of the gate electrode 2 and the source electrode 6 is smaller than a value expected by design, and the capacitances Cgs1 and Cgs2 between them are also smaller than that of the pixel LG on the left side.

【0013】このため、同じゲート電圧を印加しても、
ゲート電圧の立ち下がりに応じてソース電極6の電位が
下がるという現象により、容量Cgs1,Cgs2が大
きい画素電極8に実際に印加される電圧よりも、容量C
gs1,Cgs2が小さい画素電極8に実際に印加され
る電圧の方が高くなってしまうために図11(b)に示
すように左側の画素LGと右側の画素間RGとの間で輝
度の差が生じる。この輝度の差は、分割の境界線TMに
沿って生じるので、特に静止画で単色の画面、例えば青
空が一面に表示されているような場合において、この境
界線を挟んで輝度の差が生じて視認されてしまい、表示
むらが生じてしまうという問題が生じていた。
Therefore, even if the same gate voltage is applied,
Due to the phenomenon that the potential of the source electrode 6 decreases in accordance with the fall of the gate voltage, the capacitance Cgs is larger than the voltage actually applied to the pixel electrode 8 where the capacitances Cgs1 and Cgs2 are large.
Since the voltage actually applied to the pixel electrode 8 having a smaller gs1 and Cgs2 becomes higher, the difference in luminance between the left pixel LG and the right inter-pixel RG as shown in FIG. 11B. Occurs. Since this difference in brightness occurs along the dividing line TM, a difference in brightness occurs across the boundary line, especially when a monochrome screen of a still image, for example, a blue sky is displayed on one side. Therefore, there is a problem in that the display is unevenly displayed, which causes uneven display.

【0014】本発明は、係る従来例の問題点に鑑みて創
作されたものであり、上述の分割露光の境界線において
生じる輝度の差を低減し、この輝度差を観察者に視認さ
せることを抑止して画像表示の際の表示むらを極力抑止
することが可能になる液晶表示パネルの提供を目的とす
る。
The present invention has been made in view of the problems of the conventional example, and it is possible to reduce the difference in brightness generated at the boundary line of the above-described divided exposure and make the brightness difference visible to an observer. An object of the present invention is to provide a liquid crystal display panel capable of suppressing display unevenness during image display as much as possible.

【0015】[0015]

【課題を解決するための手段】本発明は上記課題に鑑み
てなされたものであって、図1に例示するように、透明
絶縁基板11上に複数のゲートバスライン12及びドレイン
バスライン17Aが層間絶縁膜を介してマトリクス状に配
設され、前記ゲートバスライン12及びドレインバスライ
ン17Aの交差部近傍に駆動用の薄膜トランジスタが配設
され、該薄膜トランジスタのソース電極16A,16B に画素
電極18が接続されてなる第1の透明基板と、透明絶縁基
板上に少なくとも対向電極が形成された第2の透明基板
とで液晶層を挟むことで構成される液晶表示パネルであ
って、前記ゲートバスライン12の一部からなる前記薄膜
トランジスタのゲート電極12と、前記ゲート電極12と重
なるように前記ドレインバスライン17Aから突出する前
記薄膜トランジスタのドレイン電極17と、前記ゲート電
極12を挟んで対向配置された前記薄膜トランジスタの第
1,第2のソース電極16A,16B とを有することを特徴と
する液晶表示パネルや、前記ゲートバスライン12は前記
画素電極18の中央を横切るように配置され、かつ補助容
量バスライン19A,19B が前記ゲートバスライン12と平行
に、前記画素電極18の両端に配置されたことを特徴とす
る本発明に係る液晶表示パネルや、前記ゲートバスライ
ン12と交差する領域で前記画素電極18の面積が小さくな
ることを特徴とする本発明に係る液晶表示パネルや、図
6に例示するように、前記ゲートバスライン22と交差す
る領域で前記画素電極28A,28B が分割されたことを特徴
とする本発明に係る液晶表示パネルによって上記課題を
解決するものである。
The present invention has been made in view of the above problems, and as shown in FIG. 1, a plurality of gate bus lines 12 and drain bus lines 17A are formed on a transparent insulating substrate 11. A thin film transistor for driving is arranged in a matrix form via an interlayer insulating film, a driving thin film transistor is arranged in the vicinity of an intersection of the gate bus line 12 and the drain bus line 17A, and a pixel electrode 18 is provided on a source electrode 16A, 16B of the thin film transistor. A liquid crystal display panel configured by sandwiching a liquid crystal layer between a first transparent substrate that is connected and a second transparent substrate having at least a counter electrode formed on a transparent insulating substrate, the gate bus line The gate electrode 12 of the thin film transistor formed of a part of the thin film transistor 12 and the drain of the thin film transistor protruding from the drain bus line 17A so as to overlap with the gate electrode 12. A liquid crystal display panel characterized by having a gate electrode 17 and first and second source electrodes 16A, 16B of the thin film transistor which are arranged to face each other with the gate electrode 12 interposed therebetween, and the gate bus line 12 is The liquid crystal according to the present invention is arranged so as to cross the center of the pixel electrode 18, and auxiliary capacitance bus lines 19A and 19B are arranged at both ends of the pixel electrode 18 in parallel with the gate bus line 12. A display panel, a liquid crystal display panel according to the present invention in which the area of the pixel electrode 18 is small in a region intersecting with the gate bus line 12, and the gate bus line 22 as shown in FIG. The liquid crystal display panel according to the present invention is characterized in that the pixel electrodes 28A and 28B are divided in a region intersecting with the above problem.

【0016】引き続いて、本発明の作用効果について以
下で説明する。本発明によれば、ゲートバスラインの一
部で構成されるゲート電極と重なるようにドレインバス
ラインから突出するドレイン電極と、ゲート電極を挟ん
で対向配置された第1,第2のソース電極と、第1,第
2のソース電極と接続される画素電極を有する。
Subsequently, the function and effect of the present invention will be described below. According to the present invention, the drain electrode protruding from the drain bus line so as to overlap with the gate electrode formed of a part of the gate bus line, and the first and second source electrodes arranged to face each other with the gate electrode interposed therebetween. , And a pixel electrode connected to the first and second source electrodes.

【0017】このため、分割露光の際にレチクルの位置
ずれが生じ、特にゲート電極と第1,第2のソース電極
のパターンに位置ずれが生じてしまっても、ゲート電極
を挟んで第1,第2のソース電極が対向配置されている
ことにより、第1のソース電極とゲート電極との重なる
面積が減少しても、その減少分だけ第2のソース電極と
ゲート電極との重なる面積が増加するので、全体として
ゲート電極と第1,第2のソース電極との重なる面積は
一定不変になる。
Therefore, even if the reticle is misaligned during the divided exposure, and especially if the patterns of the gate electrode and the first and second source electrodes are misaligned, the first and the second electrodes sandwich the gate electrode. Since the second source electrodes are arranged so as to face each other, even if the overlapping area of the first source electrode and the gate electrode decreases, the overlapping area of the second source electrode and the gate electrode increases by the decrease amount. Therefore, as a whole, the area where the gate electrode and the first and second source electrodes overlap with each other remains constant.

【0018】これは分割露光でどのような位置ずれが起
ころうと常に一定なので、第1,第2のソース電極とゲ
ート電極との間の容量の総和についても、分割領域に関
らず一定になる。従って、上記の容量の総和が一定にな
ることで、ゲートバスラインに印加される電圧が一定で
あれば、ゲート−ソース間に印加される電圧は全部の露
光領域について常に一定に保たれるので、これらの領域
間での輝度差が生じて視認され、表示むらが生じてしま
うことを極力抑止することが可能になる。
Since this is always constant regardless of any positional deviation in the divided exposure, the total capacitance between the first and second source electrodes and the gate electrode is constant regardless of the divided regions. . Therefore, if the voltage applied to the gate bus line is constant because the sum of the above capacitances is constant, the voltage applied between the gate and the source is always kept constant over the entire exposure area. It is possible to suppress the occurrence of display unevenness due to a difference in brightness between these areas, which is visually recognized.

【0019】なお、本発明において、ゲートバスライン
と交差する領域で画素電極の面積を小さくしてもよい。
この場合には、ゲートバスラインと画素電極との交差す
る面積が小さくなりこれらの間に生じる容量が低減され
るので、位置ずれによって多少この容量がばらついても
表示むらについてはほとんどその影響が視認されない程
度に抑止することが可能になる。
In the present invention, the area of the pixel electrode may be reduced in the region intersecting with the gate bus line.
In this case, since the area where the gate bus line and the pixel electrode intersect becomes small and the capacitance generated between them is reduced, even if this capacitance varies a little due to the displacement, the effect of the display unevenness is almost visible. It becomes possible to suppress it to the extent that it is not done.

【0020】また、本発明においてゲートバスラインと
交差する領域で画素電極を分割してもよい。この場合に
は、ゲートバスラインと画素電極との交差する面積が0
になり、これらの間には容量が生じないので、この容量
のばらつきが原因となって生じる可能性のある表示むら
を抑止することが可能になる。
Further, in the present invention, the pixel electrode may be divided in a region intersecting with the gate bus line. In this case, the area where the gate bus line and the pixel electrode intersect is 0.
Since no capacitance is generated between them, it is possible to suppress display unevenness that may occur due to the variation in capacitance.

【0021】[0021]

【発明の実施の形態】BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION

(1)第1の実施形態 図1に本発明の一実施形態を示す。図1は本発明のTF
T液晶パネルの画素周辺の構造を説明する上面図であ
る。また、図2(a)は図1のX−X線断面図であっ
て、図2(b)は図1の等価回路図である。
(1) First Embodiment FIG. 1 shows an embodiment of the present invention. FIG. 1 shows the TF of the present invention.
It is a top view explaining the structure of the pixel periphery of T liquid crystal panel. 2A is a sectional view taken along line XX of FIG. 1, and FIG. 2B is an equivalent circuit diagram of FIG.

【0022】図1,図2(a)において11は透明基
板、12はゲート電極、13はゲート絶縁膜、14はア
モルファスシリコンからなる動作半導体層、15はチャ
ネル保護膜、16はソース電極で17はドレイン電極で
あり、18は画素電極である。19A,19Bは補助容
量バスラインである。以下でこのTFT液晶パネルの構
造について説明する。最初にこのTFT液晶パネルを上
面からみた各部の配置関係について図1を参照しながら
説明する。
1 and 2A, 11 is a transparent substrate, 12 is a gate electrode, 13 is a gate insulating film, 14 is an operating semiconductor layer made of amorphous silicon, 15 is a channel protective film, and 16 is a source electrode. Is a drain electrode, and 18 is a pixel electrode. Reference numerals 19A and 19B are auxiliary capacitance bus lines. The structure of this TFT liquid crystal panel will be described below. First, the positional relationship between the respective parts of the TFT liquid crystal panel as viewed from above will be described with reference to FIG.

【0023】このTFT液晶パネルは図1に示すよう
に、ゲートバスライン12Aとドレインバスライン17
Aとが直交してマトリクス状に配置されている。これら
の交点ごとに画素電極19が形成されていることは従来
と同じであるが、従来はゲートバスラインが画素電極の
端部に配置されているのに対して、本実施形態では画素
電極18の中央をゲートバスライン12Aが横切るよう
に配置されており、ゲートバスライン12Aの一部がゲ
ート電極12となっている点が異なる。
This TFT liquid crystal panel has a gate bus line 12A and a drain bus line 17 as shown in FIG.
A and A are orthogonally arranged in a matrix. Although the pixel electrode 19 is formed at each of these intersections as in the conventional case, the gate bus line is arranged at the end of the pixel electrode in the related art, whereas in the present embodiment, the pixel electrode 18 is formed. The gate bus line 12A is arranged so as to cross the center of the gate bus line 12A, and a point that a part of the gate bus line 12A serves as the gate electrode 12 is different.

【0024】また、補助容量バスライン19A,19B
は従来では画素電極の中央を横切るように配置されてい
たが、本実施形態では画素電極18の両端を横切るよう
に配置されており、1画素について2本の補助容量バス
ライン19A,19Bが形成されている点が従来と異な
る。さらに画素電極18は、その中央部が細っており、
これが形成されていない領域に画素駆動のためのTFT
を配置している。
Further, auxiliary capacitance bus lines 19A, 19B
Conventionally, it was arranged so as to cross the center of the pixel electrode, but in the present embodiment, it is arranged so as to cross both ends of the pixel electrode 18, and two auxiliary capacitance bus lines 19A and 19B are formed for one pixel. This is different from conventional methods. Further, the pixel electrode 18 has a thin central portion,
TFT for driving pixels in the area where this is not formed
Has been arranged.

【0025】ドレインバスライン17Aからは1つのド
レイン電極17がゲート電極12の方向に突出して配置
されており、ゲート電極12とドレイン電極17は重な
るように配置されている。また、2つのソース電極16
A,16Bが、ゲート電極12を挟んで配置されてお
り、その各々は画素電極18に接続されており、これに
より1画素についてゲート、ドレインが共通な2つのT
FTが形成されていることになる。
One drain electrode 17 is arranged so as to project from the drain bus line 17A toward the gate electrode 12, and the gate electrode 12 and the drain electrode 17 are arranged so as to overlap each other. In addition, the two source electrodes 16
A and 16B are arranged so as to sandwich the gate electrode 12, and each of them is connected to the pixel electrode 18, whereby two Ts having a common gate and drain for one pixel are provided.
The FT has been formed.

【0026】次いでこの装置の断面構造について図2
(a)を参照しながら説明する。ガラスなどからなる透
明基板11上にゲート電極12が形成され、それを被覆
するようにゲート絶縁膜13が形成されている。その上
にはTFTのチャネル層を構成し、アモルファスシリコ
ンからなる動作半導体層14が形成されている。動作半
導体層14上のチャネルの形成される領域には一定間隔
をおいて絶縁性のチャネル保護膜15A,15Bが形成
されており、これらの間にドレイン電極17が形成され
ている。
Next, the sectional structure of this device is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. A gate electrode 12 is formed on a transparent substrate 11 made of glass or the like, and a gate insulating film 13 is formed so as to cover it. An operating semiconductor layer 14 made of amorphous silicon, which constitutes the channel layer of the TFT, is formed thereon. Insulating channel protection films 15A and 15B are formed at regular intervals in a region where a channel is formed on the operating semiconductor layer 14, and a drain electrode 17 is formed between them.

【0027】さらにチャネル保護膜15A,15Bの両
側にはソース電極16A,16Bが形成されており、2
つのTFTを構成する。このソース電極16A,16B
上にはITO(Indium TiN Oxide)膜からなる画素電極
18が形成されている。上記の基板に、表面に透明導電
膜からなる対向電極が形成された不図示の透明基板が対
向配置され、これらの基板間に液晶LCが封入されるこ
とで、TFT液晶パネルが構成される。
Further, source electrodes 16A and 16B are formed on both sides of the channel protective films 15A and 15B.
Configure two TFTs. This source electrode 16A, 16B
A pixel electrode 18 made of an ITO (Indium TiN Oxide) film is formed on the top. A transparent substrate (not shown) having a counter electrode made of a transparent conductive film formed on the surface of the above-mentioned substrate is disposed so as to face it, and liquid crystal LC is sealed between these substrates to form a TFT liquid crystal panel.

【0028】次に、上記のTFT液晶パネルの1画素に
ついての等価回路について説明しておく。図2(b)
は、1画素についてのTFT液晶パネルの等価回路図で
ある。図2(b)に示すように、2個のTFTQ1,Q
2が並列に接続されており、そのソースには画素電極が
接続されている。なおQ1は同図(a)におけるゲート
電極12,ドレイン電極17及びソース電極16Aで構
成されるTFTであって、Q2は同図(a)におけるゲ
ート電極12,ドレイン電極17及びソース電極16B
で構成されるTFTである。
Next, an equivalent circuit for one pixel of the above TFT liquid crystal panel will be described. FIG. 2 (b)
FIG. 3 is an equivalent circuit diagram of the TFT liquid crystal panel for one pixel. As shown in FIG. 2B, the two TFTs Q1 and Q
2 are connected in parallel, and the pixel electrode is connected to the source thereof. Incidentally, Q1 is a TFT composed of the gate electrode 12, drain electrode 17 and source electrode 16A in the same figure (a), and Q2 is a gate electrode 12, drain electrode 17 and source electrode 16B in the same figure (a).
It is a TFT composed of.

【0029】また図2(b)においてCLは画素の液晶
の有する容量、Cs1は補助容量バスライン19Aの関
与する補助容量、Cs2は補助容量バスライン19Bの
関与する補助容量である。さらに、Cgs1はTFTQ
1のソース電極16Aとゲート電極12間の容量、Cg
s2はソース電極16Bとゲート電極12との間の容量
であって、これらの大小は図1のゲート電極12とソー
ス電極16A,16Bとの重なる面積に依存する。
In FIG. 2B, CL is a capacitance of the liquid crystal of the pixel, Cs1 is an auxiliary capacitance related to the auxiliary capacitance bus line 19A, and Cs2 is an auxiliary capacitance related to the auxiliary capacitance bus line 19B. Furthermore, Cgs1 is TFTQ
Cg between the source electrode 16A of 1 and the gate electrode 12
s2 is a capacitance between the source electrode 16B and the gate electrode 12, and the size of these is dependent on the overlapping area of the gate electrode 12 and the source electrodes 16A and 16B in FIG.

【0030】さらに、従来と異なり、図1に示すように
ゲート電極12と画素電極18とがオーバーラップして
いるので、これらの間にも容量が生じ、これを図2
(b)ではCggとしている。従来構造のTFT液晶パ
ネルにおいて、分割露光の各領域に対応したレチクルの
位置ずれによって、上述のCgs1,Cgs2が変動
し、各領域毎にばらつくことによって、これらの間での
輝度差が生じて視認され、表示むらが生じてしまうこと
は図10,図11で説明した通りであるが、本実施形態
に係るTFT液晶パネルについては、このCgs1+C
gs2を一定に保つような構造になっているので、輝度
差が生じることを抑止することが可能になる。
Further, unlike the prior art, as shown in FIG. 1, since the gate electrode 12 and the pixel electrode 18 overlap each other, a capacitance is also generated between them, which is shown in FIG.
In (b), it is Cgg. In the conventional structure of the TFT liquid crystal panel, the above-mentioned Cgs1 and Cgs2 change due to the positional deviation of the reticle corresponding to each region of the divided exposure, and the brightness difference between the Cgs1 and Cgs2 causes a difference in brightness between the regions. The display unevenness is caused as described with reference to FIGS. 10 and 11. However, in the TFT liquid crystal panel according to the present embodiment, this Cgs1 + C
Since the structure is such that gs2 is kept constant, it is possible to suppress the occurrence of a brightness difference.

【0031】この作用効果の詳細について図3を参照し
ながら説明する。図3は、ゲート電極12,ソース電極
16A,16B付近の位置関係を説明する部分拡大図で
ある。図3において、16A′,16B′はそれぞれソ
ース電極16A,16Bが正しく位置合せされた場合の
パターンを示し、16A,16Bはレチクルの位置ずれ
によってX方向、Y方向に多少ずれてしまった実際のパ
ターンを示している。またS1,S2はソース電極16
A,16Bとゲート電極12との重なる面積をそれぞれ
示している。
Details of this action and effect will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a partially enlarged view illustrating the positional relationship near the gate electrode 12 and the source electrodes 16A and 16B. In FIG. 3, 16A 'and 16B' show patterns when the source electrodes 16A and 16B are properly aligned, and 16A and 16B are slightly displaced in the X and Y directions due to the displacement of the reticle. The pattern is shown. Further, S1 and S2 are the source electrodes 16
The overlapping areas of A and 16B and the gate electrode 12 are shown.

【0032】図3に示すように、本実施形態ではゲート
電極12を挟んでドレイン電極16A,16Bが対向配
置されている。レチクルの位置がX方向,Y方向にずれ
ることによってソース電極16A,16Bとゲート電極
12との重なる面積S1,S2は変動するが、図3に示
すようにS2が減少してもその減少分だけS1が増加し
ているので、その面積の総和は位置ずれがどのように生
じても常に一定になっている。
As shown in FIG. 3, in this embodiment, the drain electrodes 16A and 16B are arranged to face each other with the gate electrode 12 interposed therebetween. Although the overlapping areas S1 and S2 of the source electrodes 16A and 16B and the gate electrode 12 change due to the position of the reticle shifting in the X and Y directions, even if S2 decreases as shown in FIG. Since S1 is increasing, the total area is always constant no matter how the positional deviation occurs.

【0033】これらの面積の総和が一定になれば、ソー
ス電極16A,16Bとゲート電極12との間の容量の
総和Cgs1+Cgs2もまた一定に保たれる。実際に
はこれらの容量の和Cgs1+Cgs2がゲート−ソー
ス間に印加される電圧に影響するので、容量の和Cgs
1+Cgs2が一定であればゲート−ソース間に印加さ
れる電圧も一定に保たれる。
When the total sum of these areas becomes constant, the total sum Cgs1 + Cgs2 of the capacitances between the source electrodes 16A and 16B and the gate electrode 12 is also kept constant. Actually, the sum of these capacitances Cgs1 + Cgs2 affects the voltage applied between the gate and the source, so the sum of capacitances Cgs
If 1 + Cgs2 is constant, the voltage applied between the gate and the source is also kept constant.

【0034】従って、分割露光の各領域においてレチク
ルの位置ずれが生じてばらついてしまっても、ゲート−
ソース間に印加される電圧は全領域で一定に保たれるの
で、これらの領域間での輝度差が生じて視認され、表示
むらが生じてしまうことを極力抑止することが可能にな
る。さらに、図1に示すように補助容量バスライン19
A,19Bと画素電極が重なる領域の面積の和も同様に
して一定になり、図2(b)に示す補助容量Cs1,C
s2の和が一定になるので、この点でも補助容量が分割
領域毎にばらつくことで生じる表示むらを防止すること
が可能になる。
Therefore, even if the reticle is misaligned in each area of the divided exposure and the variations occur, the gate-
Since the voltage applied between the sources is kept constant in all regions, it is possible to suppress the occurrence of display unevenness due to a difference in luminance between these regions and display unevenness as much as possible. Furthermore, as shown in FIG.
Similarly, the sum of the areas of the regions where A and 19B and the pixel electrode overlap becomes constant, and the auxiliary capacitors Cs1 and Cs shown in FIG.
Since the sum of s2 is constant, it is possible to prevent the display unevenness caused by the variation of the auxiliary capacitance in each divided area.

【0035】また、本実施形態においては、図1に示す
ようにゲートバスライン12と画素電極18との重なる
部分で画素電極18の幅を狭め、これらの重なる面積を
縮小しているので、これらの間で生じる容量Cggは小
さくなり、位置ずれによって多少この容量Cggが領域
ごとにばらついても、表示むらについてはほとんどその
影響が視認されない程度に抑止することが可能になる。
Further, in the present embodiment, as shown in FIG. 1, the width of the pixel electrode 18 is narrowed at the overlapping portion of the gate bus line 12 and the pixel electrode 18, and the overlapping area thereof is reduced. The capacitance Cgg generated during the period becomes small, and even if the capacitance Cgg varies from region to region due to displacement, display unevenness can be suppressed to such an extent that its influence is hardly visible.

【0036】以下で上記TFT液晶パネルの製造方法に
ついて図4,図5を参照しながら簡単に説明する。まず
図4(a)に示すように、ガラスからなる透明基板11
上にクロム膜などの金属膜を蒸着したのちにパターニン
グしてゲート電極12と補助容量バスライン19A,1
9Bを同時に選択形成し、その上に酸化膜からなるゲー
ト絶縁膜13を形成する。
A method of manufacturing the above TFT liquid crystal panel will be briefly described below with reference to FIGS. First, as shown in FIG. 4A, the transparent substrate 11 made of glass is used.
A metal film such as a chrome film is vapor-deposited on the gate electrode 12 and then patterned to form the gate electrode 12 and the auxiliary capacitance bus lines 19A, 1
9B is selectively formed at the same time, and a gate insulating film 13 made of an oxide film is formed thereon.

【0037】次に同図(b)に示すように、全面にアモ
ルファスシリコン層14、酸化膜を順次形成した後に、
常法にて酸化膜をパターニングし、ゲート電極12上に
一定間隔をおいてチャネル保護膜15A,15Bを選択
形成する。次いで、同図(c)に示すように、全面にモ
リブデンなどの金属層16を形成してフォトレジストを
塗布し、ホトリソグラフィ法によってパターニングして
レジスト膜PRをゲート電極12の形成領域上に選択形
成し、これをマスクにして金属層16,アモルファスシ
リコン層14をエッチング・除去して、図5(a)に示
すように動作半導体層14を形成する。
Next, as shown in FIG. 3B, after an amorphous silicon layer 14 and an oxide film are sequentially formed on the entire surface,
The oxide film is patterned by a conventional method, and the channel protection films 15A and 15B are selectively formed on the gate electrode 12 at regular intervals. Next, as shown in FIG. 3C, a metal layer 16 of molybdenum or the like is formed on the entire surface, photoresist is applied, and patterning is performed by photolithography to select the resist film PR on the formation region of the gate electrode 12. After the formation, the metal layer 16 and the amorphous silicon layer 14 are etched and removed by using this as a mask to form the operating semiconductor layer 14 as shown in FIG. 5A.

【0038】次に、同図(b)に示すように、全面にI
TO膜20をスパッタ法などで形成し、ホトリソグラフ
ィ法でレジスト膜PRを選択形成し、これをマスクにし
てITO膜20、金属層16をエッチング・除去する。
その後、表面にITO膜からなる対向電極が形成された
対向基板を、上述の工程を経て形成された基板上に対向
配置し、これらの間に液晶層LCを封入することによ
り、図2(b)にその断面を示すようなTFT液晶パネ
ルを形成することができる。
Next, as shown in FIG. 7B, the entire surface is I
The TO film 20 is formed by a sputtering method or the like, a resist film PR is selectively formed by a photolithography method, and the ITO film 20 and the metal layer 16 are etched and removed using the resist film PR as a mask.
After that, a counter substrate having a counter electrode made of an ITO film formed on the surface is disposed so as to face the substrate formed through the above-described steps, and the liquid crystal layer LC is sealed between them, so that the structure shown in FIG. It is possible to form a TFT liquid crystal panel whose cross section is shown in FIG.

【0039】(2)第2の実施形態 以下で本発明の第2の実施形態について図6,図7を参
照しながら説明する。第1の実施形態と共通する事項に
ついては重複を避けるため説明を省略する。図6は本発
明のTFT液晶パネルの画素周辺の構造を説明する上面
図である。また、図7(a)は図6のX−X線断面図で
あって、図7(b)は図6の等価回路図である。
(2) Second Embodiment A second embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 6 and 7. Descriptions of matters common to the first embodiment will be omitted to avoid duplication. FIG. 6 is a top view for explaining the structure around the pixel of the TFT liquid crystal panel of the present invention. 7A is a sectional view taken along line XX of FIG. 6, and FIG. 7B is an equivalent circuit diagram of FIG.

【0040】本実施形態が第1の実施形態と異なる点
は、図6に示すように、1画素に対応する画素電極28
A,28Bがゲート電極22と重なる部分で分割され、
ゲート電極22と全くオーバーラップしていない点のみ
であって、他の点は第1の実施形態と同様である。図
6,図7(a)において21は透明基板、22はゲート
電極、23はゲート絶縁膜、24はアモルファスシリコ
ンからなる動作半導体層、25はチャネル保護膜、26
はソース電極で27はドレイン電極であり、28は画素
電極である。29A,29Bは補助容量バスラインであ
る。
This embodiment is different from the first embodiment in that, as shown in FIG. 6, the pixel electrode 28 corresponding to one pixel is used.
A and 28B are divided at the portion overlapping the gate electrode 22,
It is the same as the first embodiment except that it does not overlap the gate electrode 22 at all. 6 and 7A, 21 is a transparent substrate, 22 is a gate electrode, 23 is a gate insulating film, 24 is an operating semiconductor layer made of amorphous silicon, 25 is a channel protective film, 26
Is a source electrode, 27 is a drain electrode, and 28 is a pixel electrode. 29A and 29B are auxiliary capacitance bus lines.

【0041】以下でこのTFTパネルの構造について説
明する。最初にこのTFT液晶パネルを上面からみた各
部の配置関係について図1を参照しながら説明する。図
6に示すように、ゲートバスライン22Aとドレインバ
スライン27Aとが直交してマトリクス状に配置されて
いる。これらの交点ごとに画素電極29A,29Bが形
成されていることは第1の実施形態と同じであるが、1
画素に対応する画素電極28A,28Bが分割され、ゲ
ート電極22とオーバーラップしていない点のみが第1
の実施形態と異なる。他の配置関係については第1の実
施形態と同様なので説明を省略する。
The structure of this TFT panel will be described below. First, the positional relationship between the respective parts of the TFT liquid crystal panel as viewed from above will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 6, the gate bus lines 22A and the drain bus lines 27A are orthogonally arranged in a matrix. As in the first embodiment, the pixel electrodes 29A and 29B are formed at these intersections, respectively.
The pixel electrodes 28A and 28B corresponding to the pixels are divided, and the first point is that they do not overlap with the gate electrode 22.
Is different from the embodiment. The other arrangement relationships are the same as those in the first embodiment, and thus the description thereof will be omitted.

【0042】次いでこの装置の断面構造について図7
(a)を参照しながら説明する。ガラスなどからなる透
明基板21上にゲート電極22が形成され、それを被覆
するようにゲート絶縁膜23が形成されている。その上
にはTFTのチャネル層を構成し、アモルファスシリコ
ンからなる動作半導体層24が形成されている。動作半
導体層24上のチャネルの形成される領域には一定間隔
をおいて絶縁性のチャネル保護膜25A,25Bが形成
されており、これらの間にドレイン電極27が形成され
ている。
Next, the sectional structure of this device is shown in FIG.
This will be described with reference to FIG. A gate electrode 22 is formed on a transparent substrate 21 made of glass or the like, and a gate insulating film 23 is formed so as to cover it. An operating semiconductor layer 24, which constitutes the channel layer of the TFT and is made of amorphous silicon, is formed thereon. Insulating channel protective films 25A and 25B are formed at regular intervals in a region where a channel is formed on the operating semiconductor layer 24, and a drain electrode 27 is formed between them.

【0043】さらにチャネル保護膜25A,25Bの両
側にはソース電極26A,26Bが形成されており、2
つのTFTを構成する。このソース電極26A,26B
上にはITO(Indium TiN Oxide)膜からなる画素電極
28A,28Bがそれぞれ形成されている。図7(b)
は、本実施形態のTFT液晶パネルの1画素についての
等価回路図である。 図7(b)に示すように、2個の
TFTQ1,Q2が並列に接続されており、そのソース
には画素が接続されている。なおQ1は同図(a)にお
けるゲート電極22,ドレイン電極27及びソース電極
26Aで構成されるTFTであって、Q2は同図(a)
におけるゲート電極22,ドレイン電極27及びソース
電極26Bで構成されるTFTである。
Further, source electrodes 26A and 26B are formed on both sides of the channel protective films 25A and 25B.
Configure two TFTs. The source electrodes 26A and 26B
Pixel electrodes 28A and 28B each made of an ITO (Indium TiN Oxide) film are formed on the top. FIG. 7 (b)
FIG. 3 is an equivalent circuit diagram for one pixel of the TFT liquid crystal panel of this embodiment. As shown in FIG. 7B, two TFTs Q1 and Q2 are connected in parallel, and a pixel is connected to the source thereof. Note that Q1 is a TFT composed of the gate electrode 22, the drain electrode 27, and the source electrode 26A in FIG. 4A, and Q2 is Q2 in FIG.
Of the gate electrode 22, the drain electrode 27, and the source electrode 26B.

【0044】また図7(b)においてCLは画素の液晶
の有する容量、Cs1は補助容量バスライン29Aの関
与する補助容量、Cs2は補助容量バスライン29Bの
関与する補助容量である。さらに、Cgs1はTFTQ
1のソース電極26Aとゲート電極22間の容量、Cg
s2はソース電極26Bとゲート電極22との間の容量
である。
In FIG. 7B, CL is a capacitance of the liquid crystal of the pixel, Cs1 is an auxiliary capacitance related to the auxiliary capacitance bus line 29A, and Cs2 is an auxiliary capacitance related to the auxiliary capacitance bus line 29B. Furthermore, Cgs1 is TFTQ
Capacitance between the source electrode 26A and the gate electrode 22 of No. 1, Cg
s2 is a capacitance between the source electrode 26B and the gate electrode 22.

【0045】さらに、第1の実施形態と異なり、図6に
示すようにゲート電極22と画素電極28A,28Bと
はオーバーラップしていないので、第1の実施形態でこ
れらの間に生じていた容量Cggは本実施形態において
は0になっている。このため、位置ずれによって露光領
域毎にこの容量Cggが変動することがないので、この
容量Cggのばらつきが原因となって生じる可能性のあ
る表示むらを抑止することが可能になる。
Further, unlike the first embodiment, the gate electrode 22 and the pixel electrodes 28A and 28B do not overlap each other as shown in FIG. 6, so that they occur between them in the first embodiment. The capacity Cgg is 0 in this embodiment. Therefore, since the capacitance Cgg does not change for each exposure area due to the positional deviation, it is possible to suppress display unevenness that may occur due to the variation of the capacitance Cgg.

【0046】なお、上記TFTパネルの製造方法につい
ては、画素電極29A,29Bのパターニング工程が第
1の実施形態と異なるだけであって、あとは第1の実施
形態と全く同様であるので、説明を省略する。
The manufacturing method of the TFT panel is the same as that of the first embodiment except that the patterning process of the pixel electrodes 29A and 29B is different from that of the first embodiment. Is omitted.

【0047】[0047]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
ゲートバスラインの一部で構成されるゲート電極と重な
るようにドレインバスラインから突出するドレイン電極
と、ゲート電極を挟んで対向配置された第1,第2のソ
ース電極と、第1,第2のソース電極と接続される画素
電極を有するので、従来のように分割露光の各領域に対
応したレチクルの位置ずれによって、上述のゲート電極
とソース電極との間の容量が変動して各露光領域毎にば
らついても、ゲート−ソース間に印加される電圧は全部
の露光領域について一定に保たれるので、これらの領域
間での輝度差が生じて視認され、表示むらが生じてしま
うことを極力抑止することが可能になる。
As described above, according to the present invention,
A drain electrode protruding from the drain bus line so as to overlap with a gate electrode formed of a part of the gate bus line; first and second source electrodes arranged to face each other with the gate electrode interposed therebetween; Since it has a pixel electrode connected to the source electrode of each of the exposure regions, the displacement between the reticle corresponding to each region of the divided exposure as in the conventional art causes the capacitance between the gate electrode and the source electrode to change and each exposure region to be exposed. The voltage applied between the gate and the source is kept constant over the entire exposure area even if it varies from one area to another, so that there is a difference in brightness between these areas, which is visually recognized and display unevenness occurs. It becomes possible to suppress as much as possible.

【0048】なお、本発明において、ゲートバスライン
と交差する領域で画素電極の面積を小さくしてもよい。
この場合には、ゲートバスラインと画素電極との交差す
る面積が小さくなりこれらの間に生じる容量が低減され
るので、同じ電圧を印加した際に分割露光の領域毎に生
じる印加電圧のばらつきを低減することができる。ま
た、ゲートバスラインと交差する領域で画素電極を分割
してもよい。この場合には、ゲートバスラインと画素電
極との交差する面積が0になるこれらの間には容量が生
じないので、同じ電圧を印加した際に分割露光の領域毎
に生じる印加電圧のばらつきを抑止することが可能にな
る。
In the present invention, the area of the pixel electrode may be reduced in the region intersecting with the gate bus line.
In this case, since the area where the gate bus line and the pixel electrode intersect becomes small and the capacitance generated between them is reduced, variations in the applied voltage that occur between the divided exposure regions when the same voltage is applied are reduced. It can be reduced. Further, the pixel electrode may be divided in a region intersecting with the gate bus line. In this case, no capacitance is generated between the area where the gate bus line and the pixel electrode intersect with each other at 0. Therefore, when the same voltage is applied, variations in the applied voltage that occur between the divided exposure regions are caused. It becomes possible to deter.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施形態に係る液晶表示パネル
を説明する上面図である。
FIG. 1 is a top view illustrating a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention.

【図2】本発明の第1の実施形態に係る液晶表示パネル
を説明する断面図及び等価回路図である。
FIG. 2 is a cross-sectional view and an equivalent circuit diagram illustrating a liquid crystal display panel according to a first embodiment of the present invention.

【図3】本発明の第1の実施形態に係る液晶表示パネル
の作用効果を説明する上面図である。
FIG. 3 is a top view illustrating a function and effect of the liquid crystal display panel according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第1,第2の実施形態に係る液晶表示
パネルの製造方法を説明する第1の断面図である。
FIG. 4 is a first cross-sectional view explaining the method of manufacturing the liquid crystal display panel according to the first and second embodiments of the present invention.

【図5】本発明の第1,第2の実施形態に係る液晶表示
パネルの製造方法を説明する第2の断面図である。
FIG. 5 is a second cross-sectional view explaining the method of manufacturing the liquid crystal display panel according to the first and second embodiments of the present invention.

【図6】本発明の第2の実施形態に係る液晶表示パネル
を説明する上面図である。
FIG. 6 is a top view illustrating a liquid crystal display panel according to a second embodiment of the present invention.

【図7】本発明の第2の実施形態に係る液晶表示パネル
を説明する断面図及び等価回路図である。
FIG. 7 is a cross-sectional view and an equivalent circuit diagram illustrating a liquid crystal display panel according to a second embodiment of the present invention.

【図8】従来例に係る液晶表示パネルを説明する上面図
及び断面図である。
FIG. 8 is a top view and a cross-sectional view illustrating a liquid crystal display panel according to a conventional example.

【図9】従来の液晶表示パネルの等価回路図である。FIG. 9 is an equivalent circuit diagram of a conventional liquid crystal display panel.

【図10】分割露光の方法を説明する図面である。FIG. 10 is a diagram illustrating a method of divided exposure.

【図11】従来の問題点を説明する図面である。FIG. 11 is a diagram illustrating a conventional problem.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

11 透明基板(第1の透明基板) 12 ゲートバスライン 13 ゲート絶縁膜 14 動作半導体層 15A,15B チャネル保護膜 16 金属層 16A 第1のソース電極 16B 第2のソース電極 17 ドレイン電極 18 画素電極 LC 液晶層 CL 液晶の有する容量 Cs1,Cs2 補助容量 Cgs1 第1のソース電極とゲート電極との間
の容量 Cgs2 第1のソース電極とゲート電極との間
の容量 Q1,Q2 TFT(薄膜トランジスタ)
Reference Signs List 11 transparent substrate (first transparent substrate) 12 gate bus line 13 gate insulating film 14 operating semiconductor layers 15A, 15B channel protective film 16 metal layer 16A first source electrode 16B second source electrode 17 drain electrode 18 pixel electrode LC Liquid crystal layer CL Capacitance of liquid crystal Cs1, Cs2 Auxiliary capacitance Cgs1 Capacitance between first source electrode and gate electrode Cgs2 Capacitance between first source electrode and gate electrode Q1, Q2 TFT (thin film transistor)

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 透明絶縁基板上に複数のゲートバスライ
ン及びドレインバスラインが層間絶縁膜を介してマトリ
クス状に配設され、前記ゲートバスライン及びドレイン
バスラインの交差部近傍に駆動用の薄膜トランジスタが
配設され、該薄膜トランジスタのソース電極に画素電極
が接続されてなる第1の透明基板と、透明絶縁基板上に
少なくとも対向電極が形成された第2の透明基板とで液
晶層を挟むことで構成される液晶表示パネルであって、 前記ゲートバスラインの一部である前記薄膜トランジス
タのゲート電極と、 前記ゲート電極と重なるように前記ドレインバスライン
から突出して配置された前記薄膜トランジスタのドレイ
ン電極と、 前記ゲート電極を挟んで対向配置された、前記薄膜トラ
ンジスタの第1,第2のソース電極とを有することを特
徴とする液晶表示パネル。
1. A plurality of gate bus lines and drain bus lines are arranged in a matrix on a transparent insulating substrate via an interlayer insulating film, and a driving thin film transistor is provided in the vicinity of an intersection of the gate bus lines and the drain bus lines. And a liquid crystal layer is sandwiched between a first transparent substrate having a pixel electrode connected to the source electrode of the thin film transistor and a second transparent substrate having at least a counter electrode formed on a transparent insulating substrate. A liquid crystal display panel comprising: a gate electrode of the thin film transistor, which is a part of the gate bus line; and a drain electrode of the thin film transistor, which is arranged to project from the drain bus line so as to overlap with the gate electrode, A first source electrode and a second source electrode of the thin film transistor, which are opposed to each other with the gate electrode interposed therebetween. A liquid crystal display panel characterized by:
【請求項2】 前記ゲートバスラインは前記画素電極の
中央を横切るように配置され、かつ補助容量バスライン
が前記ゲートバスラインと平行に、前記画素電極の両端
に配置されたことを特徴とする請求項1記載の液晶表示
パネル。
2. The gate bus line is arranged so as to cross the center of the pixel electrode, and auxiliary capacitance bus lines are arranged at both ends of the pixel electrode in parallel with the gate bus line. The liquid crystal display panel according to claim 1.
【請求項3】 前記ゲートバスラインと交差する領域で
前記画素電極の面積が小さくなることを特徴とする請求
項1,請求項2記載の液晶表示パネル。
3. The liquid crystal display panel according to claim 1, wherein the area of the pixel electrode is small in a region intersecting with the gate bus line.
【請求項4】 前記ゲートバスラインと交差する領域で
前記画素電極が分割されたことを特徴とする請求項1,
請求項2記載の液晶表示パネル。
4. The pixel electrode is divided in a region intersecting with the gate bus line.
The liquid crystal display panel according to claim 2.
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