JPH09174264A - Laser beam machining device - Google Patents

Laser beam machining device

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JPH09174264A
JPH09174264A JP33710795A JP33710795A JPH09174264A JP H09174264 A JPH09174264 A JP H09174264A JP 33710795 A JP33710795 A JP 33710795A JP 33710795 A JP33710795 A JP 33710795A JP H09174264 A JPH09174264 A JP H09174264A
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JP
Japan
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laser processing
vibration
processing apparatus
laser
detected
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Pending
Application number
JP33710795A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Masataka Kashiro
政孝 鍛代
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Amada Co Ltd
Original Assignee
Amada Co Ltd
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Publication date
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  • Geophysics And Detection Of Objects (AREA)
  • Laser Beam Processing (AREA)
  • Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To prevent a fire in case of an earthquake by detecting the vibration and actuating an emergency stop when the detected value reaches a set value. SOLUTION: A vibration detecting sensor 35 is provided in a laser beam machine 3 or a laser generating unit of a laser beam machining device 1 or in proximity to the device; also provided in the laser beam machining device 1 is an NC device 33, to which a signal detected by the vibration detecting sensor 35 is transmitted; in the NC device 33, a comparator 37 is provided which, upon comparison between the detected value and a preliminarily set value, if the detected value is equal to or higher than the set value, stops the laser beam processing device 1.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、レーザ加工装置
に係り、更に詳細には地震が発生したときに停止せしめ
るようにしたレーザ加工装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a laser processing apparatus, and more particularly to a laser processing apparatus which can be stopped when an earthquake occurs.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、レーザ加工装置には種々のタイプ
のものが知られているが、一般的にレーザ加工中に地震
が発生しても、特に地震を感知し、レーザ加工装置を非
常停止させる手段を設けておらず、そのままレーザ加工
を継続させていた。
2. Description of the Related Art Conventionally, various types of laser processing apparatuses have been known, but even if an earthquake occurs during laser processing, an earthquake is particularly detected and the laser processing apparatus is brought to an emergency stop. The laser processing was continued without any means for providing it.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した従
来のレーザ加工装置では、レーザ加工中に地震が発生す
ると、加工面に振動によるうねりが生じて製品にならな
いばかりでなく、レーザビームのアライメントがずれ、
場合によると最も恐しい火災の危険もあった。
By the way, in the above-mentioned conventional laser processing apparatus, when an earthquake occurs during laser processing, not only does the product become a product due to undulation due to vibration on the processing surface, but also laser beam alignment is performed. Gap,
In some cases there was also the most dreadful fire hazard.

【0004】この発明の目的は、レーザ加工を行ってい
るとき、地震が発生した場合、その振動を検出してその
検出値が設定値になると非常停止させ、火災を防ぐよう
にしたレーザ加工装置を提供することにある。
An object of the present invention is to provide a laser processing apparatus for preventing a fire by detecting an oscillation of an earthquake during laser processing and stopping the emergency when the detected value reaches a set value. To provide.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に請求項1によるこの発明のレーザ加工装置は、レーザ
加工装置における加工機本体またはレーザ発振器ユニッ
トあるいはレーザ加工装置の近傍に振動検出センサを備
えてなることを特徴とするものである。
In order to achieve the above object, a laser processing apparatus according to the present invention according to claim 1 has a vibration detecting sensor in the vicinity of the processing machine main body, the laser oscillator unit or the laser processing apparatus in the laser processing apparatus. It is characterized by being prepared.

【0006】したがって、レーザ加工装置でワークにレ
ーザ加工を行っているときに、地震が発生すると、加工
機本体またはレーザ発振器ユニットあるいはレーザ加工
装置の近傍に備えられた振動検出センサで振動が検出さ
れる。
Therefore, when an earthquake occurs during laser processing of a work by the laser processing apparatus, vibration is detected by the vibration detection sensor provided near the processing machine main body, the laser oscillator unit or the laser processing apparatus. It

【0007】請求項2によるこの発明のレーザ加工装置
は、レーザ加工装置にNC装置を備え、前記振動検出セ
ンサで検出された検出信号をNC装置に送信し、検出さ
れた検出値と予め設定された設定値とを比較し、検出値
が設定値以上の場合、レーザ加工装置を停止せしめる比
較器を前記NC装置に備えてなることを特徴とするもの
である。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a laser processing apparatus including an NC device in the laser processing device, transmitting a detection signal detected by the vibration detecting sensor to the NC device, and setting the detected value and the detected value in advance. It is characterized in that the NC device is equipped with a comparator for stopping the laser processing device when the detected value is equal to or more than the set value.

【0008】したがって、地震時に振動検出センサで検
出された振動は検出信号でNC装置に送信され、このN
C装置において、検出された検出値と予め設定された設
定値が比較器で比較される。検出値が設定値以上になる
とNC装置からレーザ加工装置へ非常停止信号が送信さ
れて、レーザ加工装置が非常停止される。而して、レー
ザ加工装置の火災が防止される。
Therefore, the vibration detected by the vibration detection sensor at the time of earthquake is transmitted to the NC device as a detection signal.
In the C device, the detected value detected and the preset value are compared by the comparator. When the detected value exceeds the set value, an emergency stop signal is transmitted from the NC device to the laser processing device, and the laser processing device is emergency stopped. Thus, the fire of the laser processing device is prevented.

【0009】請求項3によるこの発明のレーザ加工装置
は、前記振動検出センサを予め設定した振動を検出する
ものとし、この振動検出センサが作動したときレーザ加
工装置を停止せしめるスイッチを備えてなることを特徴
とするものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a laser processing apparatus in which the vibration detecting sensor detects a preset vibration, and a switch for stopping the laser processing apparatus when the vibration detecting sensor is activated is provided. It is characterized by.

【0010】したがって、地震時に予め設定した振動を
振動検出センサで検出すると、スイッチが働いてレーザ
加工装置が非常停止される。而して、レーザ加工装置の
火災が防止される。
Therefore, when a preset vibration is detected by the vibration detection sensor at the time of an earthquake, the switch works to stop the laser processing apparatus in an emergency. Thus, the fire of the laser processing device is prevented.

【0011】[0011]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基いて詳細に説明する。
DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0012】図1を参照するに、レーザ加工装置1は立
設された加工機本体3を備えており、この加工機本体3
の図1において左側面にはX軸方向(図1において紙面
に対して直交する方向)へ延伸した複数のX軸用ガイド
レール5が敷設されている。このX軸用ガイドレール5
には複数のガイド部材7を介してX軸方向へ移動自在な
X軸キャレッジ9が設けられている。
Referring to FIG. 1, the laser processing apparatus 1 is provided with a processing machine main body 3 which is provided upright.
1, a plurality of X-axis guide rails 5 extending in the X-axis direction (direction orthogonal to the paper surface in FIG. 1) are laid on the left side surface. This X-axis guide rail 5
Is provided with an X-axis carriage 9 which is movable in the X-axis direction via a plurality of guide members 7.

【0013】上記構成により、図示省略のX軸用駆動モ
ータを駆動せしめると、ボールねじが回転され、ナット
部材を介してX軸キャレッジ9がX軸用ガイドレール5
に案内されてX軸方向へ移動されることになる。
With the above structure, when an X-axis drive motor (not shown) is driven, the ball screw is rotated and the X-axis carriage 9 moves the X-axis guide rail 5 through the nut member.
And will be moved in the X-axis direction.

【0014】前記X軸キャレッジ9の前面にはY軸方向
(図1において左右方向)へ延伸した複数のY軸用ガイ
ドレール11が敷設されていると共に、Y軸方向へ延伸
したボールねじ13が設けられている。このボールねじ
13の図1において右端には前記X軸キャレッジ9に取
り付けられたY軸用駆動モータ15が連結されていると
共にボールねじ13の図1において左端は前記X軸キャ
レッジ9に取り付けられた軸受17に支承されている。
On the front surface of the X-axis carriage 9, a plurality of Y-axis guide rails 11 extending in the Y-axis direction (horizontal direction in FIG. 1) are laid, and a ball screw 13 extending in the Y-axis direction is provided. It is provided. The Y-axis drive motor 15 attached to the X-axis carriage 9 is connected to the right end of the ball screw 13 in FIG. 1, and the left end of the ball screw 13 in FIG. 1 is attached to the X-axis carriage 9. It is supported by bearings 17.

【0015】前記Y軸用ガイドレール11にはガイド部
材を介してY軸キャレッジ19が設けられており、この
Y軸キャレッジ19は前記ボールねじ13に螺合されて
いる。前記Y軸キャレッジ19にはZ軸方向(図1にお
いて上下方向)へ移動自在なZ軸キャレッジ21が設け
られており、このZ軸キャレッジ21にはレーザ加工ヘ
ッド23が装着されている。
A Y-axis carriage 19 is provided on the Y-axis guide rail 11 via a guide member, and the Y-axis carriage 19 is screwed onto the ball screw 13. The Y-axis carriage 19 is provided with a Z-axis carriage 21 movable in the Z-axis direction (vertical direction in FIG. 1), and a laser processing head 23 is mounted on the Z-axis carriage 21.

【0016】上記構成により、Y軸用駆動モータ15を
駆動せしめると、ボールねじ13が回転されることによ
りY軸キャレッジ19がY軸用ガイドレール11に案内
されてY軸方向へ移動されることになる。Y軸キャレッ
ジ19にZ軸キャレッジ21を介してレーザ加工ヘッド
23が設けられているので、Y軸キャレッジ19の移動
に従いレーザ加工ヘッド23もY軸方向へ移動されるこ
とになる。
With the above structure, when the Y-axis drive motor 15 is driven, the Y-axis carriage 19 is guided by the Y-axis guide rail 11 and moved in the Y-axis direction by the rotation of the ball screw 13. become. Since the laser processing head 23 is provided on the Y-axis carriage 19 via the Z-axis carriage 21, the laser processing head 23 is also moved in the Y-axis direction according to the movement of the Y-axis carriage 19.

【0017】前記レーザ加工ヘッド23がX軸方向,Y
軸方向へ移動される移動範囲の直下には加工すべきワー
クWを載置固定した加工テーブル25が配置されてい
る。前記加工機本体3の手前側には図2を併せて参照す
るにレーザ発振器用フレーム27を介してレーザ発振器
29が配置されていると共に、加工機本体3の図1にお
いて左側にはNC装置用フレーム31を介してNC装置
33が設けられている。
The laser processing head 23 moves in the X-axis direction, Y
A processing table 25, on which the work W to be machined is mounted and fixed, is arranged immediately below the moving range that is moved in the axial direction. A laser oscillator 29 is arranged on the front side of the processing machine body 3 through a laser oscillator frame 27 as shown in FIG. 2 together, and the left side of the processing machine body 3 in FIG. An NC device 33 is provided via the frame 31.

【0018】上記構成により、NC装置31によりレー
ザ加工装置1を制御してX軸キャレッジ9をX軸方向
へ、Y軸キャレッジ19をY軸方向へ移動せしめて、レ
ーザ加工ヘッド23を加工テーブル25上に載置固定さ
れたワークWの所望位置に位置決めせしめる。この状態
でレーザ発振器27から発振されたレーザビームは複数
のベンドミラーを経てレーザ加工ヘッド23の集光レン
ズに集光された後、ワークWへ向けて照射されることに
より、ワークWにレーザ加工が行われることになる。
With the above construction, the NC processing unit 31 controls the laser processing apparatus 1 to move the X-axis carriage 9 in the X-axis direction and the Y-axis carriage 19 in the Y-axis direction so that the laser processing head 23 moves the processing table 25. The work W placed and fixed on the top is positioned at a desired position. In this state, the laser beam oscillated from the laser oscillator 27 is focused on the condenser lens of the laser processing head 23 through the plurality of bend mirrors, and then is irradiated toward the work W, so that the work W is laser processed. Will be done.

【0019】前記レーザ発振器用フレーム27には、図
1および図2に示されているように、振動検出センサ3
5が設けられている。また、前記NC装置33内には例
えば比較器37,設定値メモリ39がそれぞれ備えられ
ている。前記振動検出センサ35は送信線41でNC装
置33の比較器37に接続されている。
As shown in FIGS. 1 and 2, the vibration detecting sensor 3 is provided on the laser oscillator frame 27.
5 are provided. Further, in the NC device 33, for example, a comparator 37 and a set value memory 39 are respectively provided. The vibration detection sensor 35 is connected to a comparator 37 of the NC device 33 by a transmission line 41.

【0020】上記構成により、レーザ加工装置1でワー
クWにレーザ加工を行っているときに地震が発生する
と、振動検出センサ35で振動が検出される。この振動
は検出信号として送信線41を経てNC装置33の比較
器37に取り込まれる。この比較器37には設定値メモ
リ39に予め設定されてメモリされている設定値例えば
振度“4”が取り込まれているから、比較器37で検出
値と設定値とが比較され、検出値が設定値以上になる
と、NC装置33からレーザ加工装置1へ非常停止信号
が送られてレーザ加工装置1が非常停止されるものであ
る。
With the above configuration, when an earthquake occurs while the laser processing apparatus 1 is performing laser processing on the work W, the vibration detection sensor 35 detects the vibration. This vibration is captured as a detection signal in the comparator 37 of the NC device 33 via the transmission line 41. Since the comparator 37 is loaded with the set value preset in the set value memory 39 and stored, for example, the vibration "4", the comparator 37 compares the detected value with the set value, and the detected value is detected. When is above the set value, an emergency stop signal is sent from the NC device 33 to the laser processing device 1 and the laser processing device 1 is brought to an emergency stop.

【0021】図3に示されているフローチャートを基に
して説明すると、ステップS1で地震が発生すると、ス
テップS2において振動検出センサ35で振動が検出さ
れNC装置33の比較器37に取り込まれる。この比較
器37では検出値と設定値としての振度“4”とが比較
され、検出値が振度“4”より未満の場合では、ステッ
プS3でレーザ加工装置1へ非常停止信号が送られず、
レーザ加工が継続される。
Explaining with reference to the flow chart shown in FIG. 3, when an earthquake occurs in step S1, the vibration is detected by the vibration detecting sensor 35 in step S2 and is taken into the comparator 37 of the NC device 33. The comparator 37 compares the detected value with the vibration "4" as the set value. If the detected value is less than the vibration "4", an emergency stop signal is sent to the laser processing apparatus 1 in step S3. No
Laser processing is continued.

【0022】検出値が振度“4”以上になると、ステッ
プS4に進み、NC装置33からレーザ加工装置1へ非
常停止信号が送られ、ステップS5でレーザ加工装置1
が非常停止される。したがって、地震時には振動検出セ
ンサ35で振動を正確かつ確実に検出することができる
と共に、検出された検出値が予め設定された設定値以上
になるとレーザ加工装置1を非常停止させることができ
る。而して、地震による火災などの2次災害を防止する
ことができる。
When the detected value becomes equal to or higher than the vibration factor "4", the process proceeds to step S4, an emergency stop signal is sent from the NC device 33 to the laser processing device 1, and the laser processing device 1 is sent at step S5.
Will be stopped. Therefore, the vibration can be accurately and reliably detected by the vibration detection sensor 35 at the time of an earthquake, and the laser processing apparatus 1 can be brought to an emergency stop when the detected value becomes equal to or larger than a preset set value. Thus, it is possible to prevent a secondary disaster such as a fire caused by an earthquake.

【0023】また、前記振動検出センサ35として、予
め設定した振動例えば振度“4”用の振動検出センサ3
5として、この振動検出センサ35が地震時に振動を検
出すると前記レーザ加工装置1が非常停止されるB接点
用スイッチが電気回路中に備えられている。
Further, as the vibration detecting sensor 35, a vibration detecting sensor 3 for preset vibration, for example, a vibration "4" is used.
5, a switch for a B contact is provided in the electric circuit to stop the laser processing apparatus 1 in an emergency when the vibration detection sensor 35 detects a vibration during an earthquake.

【0024】上記構成により、レーザ加工装置1が運転
されていて、地震が発生し、振動検出センサ35が作動
すると、B接点用スイッチが働いてレーザ加工装置1を
非常停止させることができる。而して、地震による火災
などの2次災害を防止することができる。
With the above configuration, when the laser processing apparatus 1 is operated, an earthquake occurs, and the vibration detection sensor 35 is activated, the switch for the B contact operates to bring the laser processing apparatus 1 to an emergency stop. Thus, it is possible to prevent a secondary disaster such as a fire caused by an earthquake.

【0025】なお、この発明は、前述した実施の形態の
例に限定されることなく、適宜な変更を行うことによ
り、その他の態様で実施し得るものである。本実施の形
態の例では振動検出センサ35をレーザ発振器用フレー
ム27に取り付けた例で説明したが、加工機本体3やレ
ーザ発振器29あるいはレーザ加工装置1の近傍に取り
付けても構わない。また、本実施の形態の例ではレーザ
加工装置1の単体機で説明したが、パンチ,レーザ複合
加工装置でも対応できるものである。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be embodied in other modes by making appropriate changes. Although the vibration detection sensor 35 is attached to the laser oscillator frame 27 in the example of the present embodiment, the vibration detection sensor 35 may be attached in the vicinity of the processing machine body 3, the laser oscillator 29, or the laser processing apparatus 1. Further, in the example of the present embodiment, the laser processing apparatus 1 is described as a single machine, but a punch / laser combined processing apparatus can also be used.

【0026】[0026]

【発明の効果】以上のごとき実施の形態の例から理解さ
れるように、請求項1の発明によれば、レーザ加工装置
でワークにレーザ加工を行っているときに、地震が発生
すると、加工機本体またはレーザ発振器ユニットあるい
はレーザ加工装置の近傍に備えられた振動検出センサで
振動を検出することができる。
As will be understood from the examples of the embodiment as described above, according to the invention of claim 1, when an earthquake occurs during laser processing of a work by a laser processing apparatus, processing is performed. Vibration can be detected by a vibration detection sensor provided near the machine body, the laser oscillator unit, or the laser processing apparatus.

【0027】また、請求項2の発明によれば、地震時に
振動検出センサで検出された振動は検出信号でNC装置
に送信され、このNC装置において、検出された検出値
と予め設定された設定値が比較器で比較される。検出値
が設定値以上になるとNC装置からレーザ加工装置へ非
常停止信号が送信されて、レーザ加工装置を非常停止さ
せることができる。而して、レーザ加工装置の火災など
を防止することができる。
Further, according to the invention of claim 2, the vibration detected by the vibration detecting sensor at the time of an earthquake is transmitted to the NC device as a detection signal, and in this NC device, the detected value and the preset setting are set. The values are compared in a comparator. When the detected value exceeds the set value, an emergency stop signal is transmitted from the NC device to the laser processing device, and the laser processing device can be brought to an emergency stop. As a result, it is possible to prevent a fire of the laser processing apparatus.

【0028】請求項3の発明によれば、地震時に予め設
定した振動を検出する振動検出センサが作動すると、ス
イッチが働いてレーザ加工装置を停止させることができ
る。而して、レーザ加工装置などの火災を防止すること
ができる。
According to the third aspect of the present invention, when the vibration detection sensor for detecting a preset vibration at the time of an earthquake is activated, the switch works to stop the laser processing apparatus. Thus, it is possible to prevent a fire in the laser processing device or the like.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明を実施する一実施の形態の例を示すレ
ーザ加工装置の正面図である。
FIG. 1 is a front view of a laser processing apparatus showing an example of an embodiment for carrying out the present invention.

【図2】レーザ発振器の一部を省略した斜視図である。FIG. 2 is a perspective view in which a part of a laser oscillator is omitted.

【図3】この発明の動作を示すフローチャートである。FIG. 3 is a flowchart showing the operation of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 レーザ加工装置 3 加工機本体 9 X軸キャレッジ 19 Y軸キャレッジ 23 レーザ加工ヘッド 25 加工テーブル 27 レーザ発振器用フレーム 29 レーザ発振器 33 NC装置 35 振動検出センサ 37 比較器 39 設定値メモリ 1 Laser processing device 3 Processing machine main body 9 X-axis carriage 19 Y-axis carriage 23 Laser processing head 25 Processing table 27 Laser oscillator frame 29 Laser oscillator 33 NC device 35 Vibration detection sensor 37 Comparator 39 Set value memory

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 レーザ加工装置における加工機本体また
はレーザ発振器ユニットあるいはレーザ加工装置の近傍
に振動検出センサを備えてなることを特徴とするレーザ
加工装置。
1. A laser processing apparatus comprising a processing machine main body, a laser oscillator unit, or a vibration detection sensor in the vicinity of the laser processing apparatus in the laser processing apparatus.
【請求項2】 レーザ加工装置にNC装置を備え、前記
振動検出センサで検出された検出信号をNC装置に送信
し、検出された検出値と予め設定された設定値とを比較
し、検出値が設定値以上の場合、レーザ加工装置を停止
せしめる比較器を前記NC装置に備えてなることを特徴
とする請求項1記載のレーザ加工装置。
2. A laser processing apparatus is provided with an NC device, a detection signal detected by the vibration detection sensor is transmitted to the NC device, and the detected value is compared with a preset setting value to detect the detected value. 2. The laser processing apparatus according to claim 1, wherein the NC apparatus is provided with a comparator that stops the laser processing apparatus when is greater than or equal to a set value.
【請求項3】 前記振動検出センサを予め設定した振動
を検出するものとし、この振動検出センサが作動したと
きレーザ加工装置を停止せしめるスイッチを備えてなる
ことを特徴とする請求項1記載のレーザ加工装置。
3. The laser according to claim 1, wherein the vibration detection sensor detects a preset vibration, and a switch for stopping the laser processing device when the vibration detection sensor is activated is provided. Processing equipment.
JP33710795A 1995-12-25 1995-12-25 Laser beam machining device Pending JPH09174264A (en)

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Cited By (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7393764B2 (en) 2004-11-29 2008-07-01 Semiconductor Energy Laboratory Co., Ltd. Laser treatment apparatus, laser treatment method, and manufacturing method of semiconductor device
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