JPH0916961A - 情報記録媒体の初期化方法 - Google Patents
情報記録媒体の初期化方法Info
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- JPH0916961A JPH0916961A JP18787695A JP18787695A JPH0916961A JP H0916961 A JPH0916961 A JP H0916961A JP 18787695 A JP18787695 A JP 18787695A JP 18787695 A JP18787695 A JP 18787695A JP H0916961 A JPH0916961 A JP H0916961A
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Abstract
るような初期化を行なうことが可能である。 【構成】 基板上に形成された記録薄膜にエネルギービ
ームを照射し、エネルギービームの照射によって発生す
る熱により前記記録薄膜を相変化させて情報の記録がな
される情報記録媒体を初期化する情報記録媒体の初期化
方法において、情報記録媒体を初期化する際の線速度を
評価線速度とほぼ同程度にして初期化する。ジッター
は、初期化時の線速度が4.5(m/秒)程度のとき、す
なわち評価線速度v0と同程度のとき、最も低く、評価
線速度v0に対し、(v0±1)(m/秒)の線速度で初期
化する場合に、ジッターを低くすることができる。
Description
のエネルギービームの照射により情報の記録がなされる
光ディスクや光カードなどの情報記録媒体を初期化する
情報記録媒体の初期化方法に関する。
体は、一般に、基板上に記録薄膜が形成されたものとな
っており、この記録媒体の相変化,すなわち、結晶と非
晶(アモルファス)のような媒体の相変化に伴なう光学特
性の差を利用して記録媒体に情報を記録するようになっ
ている。
薄膜、Te低酸化物薄膜、Sb−Te系薄膜、Te−G
e系薄膜など種々の材料が提案されている。
ッタ法、加熱蒸着法、EB蒸着法などで形成されてお
り、一般には非晶状態の記録膜が形成される。そのため
記録と消去の繰返しにこれらの媒体を利用しようとする
場合、例えば特開昭63−31046号や85年応用物
理学会講演集(1p−P−5)などに示されているよう
な、記録領域全体を結晶状態にする初期化処理プロセス
を、記録に先立って記録媒体に施す必要がある。このよ
うな情報記録媒体の初期化方法として、従来では、例え
ば特開平3−22231号に開示されているような方法
が知られている。
体の記録薄膜を非晶相の状態から結晶相の状態にするこ
とを意味し、このような初期化を行なうのに、従来で
は、記録薄膜を結晶化温度以上で融点以下の範囲に媒体
を加熱して結晶化させたり、あるいは、記録薄膜を融点
以上に加熱して結晶化させるようにしている。
たような従来の初期化方法では、情報記録媒体の記録時
の線速度について、これを何ら考慮せずに初期化してい
たので(例えば記録時の線速度に対応しない初期化を行
なっていたので)、ジッターが規格外の値となる場合が
あった。すなわち、従来の初期化方法では、単に、非晶
(アモルファス)の状態から結晶状態に記録薄膜を相変化
させることのみを意図しており、記録時の線速度を考慮
せずに初期化を行なっていたので、記録・再生にとって
最適な初期化を行なうことができなかった。
好なものとなるような初期化を行なうことの可能な情報
記録媒体の初期化方法を提供することを目的としてい
る。
成するために、請求項1記載の発明では、初期化線速度
を評価線速度とほぼ同程度にして初期化する。これによ
り、膜へのストレスが少なく、均一な結晶化がなされ、
記録・再生・O/W特性のジッターが良好となる。
のパワー密度を150〜250mW/m/秒の範囲とす
る。これにより、膜へのダメージが少ない結晶化が可能
となり、記録・再生・O/W特性のジッターが良好とな
る。
の(フォーカス時の)RF信号の振幅を最大振幅に対して
3〜20%減じたものとする。これにより、膜へのダメ
ージが少ない結晶化が可能となり、記録・再生・O/W
特性のジッターが良好となる。
ー密度を2×109W/m2以上にして初期化を行なう。
これにより、均一な結晶化が可能となり、記録・再生・
O/W特性のジッターが良好となる。
媒体の同じ位置を、同一パワーのエネルギービームで複
数回初期化する。これにより、結晶化が安定し、記録・
再生・O/W特性のジッターが良好となる。
9W/m2〜2×109W/m2の範囲内のパワー密度をも
つ繰返しパルスのエネルギービームで、同じ位置を複数
回、初期化する。これにより、結晶化の際の物質移動が
少なく均一な結晶化が可能となり、記録・再生・O/W
特性のジッターが良好となる。
ービームのパワー密度を0.3〜0.9×109W/m2
程度にして情報記録媒体を初期化した後、エネルギービ
ームのパワー密度を1〜1.5×109W/m2にして、
情報記録媒体を再度初期化する。これにより、膜へのダ
メージが少ない結晶化が可能となり、記録・再生・O/
W特性のジッターが良好となる。
媒体の内外周の記録薄膜の厚さに応じてエネルギービー
ムのパワー密度を変化させる。これにより、記録媒体の
内外周のパワーの変動を防止し、均一な結晶化を行なう
ことが可能となり、記録・再生・O/W特性のジッター
が良好となる。
媒体を所定の温度で1時間〜5時間、アニールする。こ
れにより、結晶状態を安定させて均一な結晶化を行なう
ことが可能となり、記録・再生・O/W特性のジッター
が良好となる。
する。
体を初期化する際の線速度を評価線速度(記録・再生時
の線速度)とほぼ同程度の線速度で(例えば、評価線速度
をv0(m/秒)とするとき、(v0±1)(m/秒)の範囲
内の線速度で)、初期化するようにしている。これによ
り、アモルファスと結晶化する転位速度を同じとし、記
録薄膜へのストレスを低減し、結晶状態を均一なものに
して、ジッターを規格内の値にして、記録・再生・O/
W特性を向上させることを意図している。
は、公知のものを用いることができる。例えば、情報記
録媒体としては、1.2mm厚、13cm直径、1.6
μmピッチのスパイラルグルーブ付きの基板を10〜1
50rpmで回転させ、組成や膜厚の均一化を図りなが
ら、例えばマグネトロンスパッタ法により、記録薄膜と
して、保護層,記録層,拡散防止層あるいは冷却層を各
々目的に応じて順次積層して形成したものを用いること
ができる。
リレート樹脂,ポリカーボネイト樹脂,エポキシ樹脂,
ポリオレフィン樹脂,ポリ塩化ビニル樹脂,ポリエステ
ル樹脂,スチレン樹脂などの高分子樹脂やガラス板,あ
るいはAl等の金属板などを用いることができる。
O、ZnS、MgF2等の無機膜やそれらの混合膜、紫
外線硬化膜等を、蒸着、スパッタ、スピンコート等の方
法を用いて形成したり、エポキシやポリカーボネイトな
どの樹脂、フィルム、ガラスなどを張り合わせたり、ラ
ミネートしても良い。また、拡散防止層は耐湿熱性や耐
酸化性などの効果のみならず、記録層と冷却層の間での
元素拡散を抑制し特性劣化を押さえる効果があり、保護
層と同様な材料が使用できる。すなわち、保護層や拡散
防止層は、例えば、SiO2,ZrC,ITO,Zn
S,MgF2や、これらの混合組成のターゲットを用い
て、水晶振動子膜厚計でモニターしながら、単独または
同時スパッタして形成することができる。
及びTe−Ge合金,Bi−Te合金,Sb−Te合金
などを水晶膜厚計でモニターしながら同時スパッタして
所定組成の記録膜として形成できる。
散を容易にし、記録時の溶融部分の冷却速度を速め、非
晶の形成を容易にするのに有効である。さらには金属や
金属合金などの光学的に高い反射率を有する材料を用い
れば、反射層としての機能をもたすことも可能であり、
記録層の膜厚を約半分にして、記録の感度を高めるなど
の効果も期待できる。冷却層の材料としては、Sb,B
i,Sn,Au,Al,Ti,Ni,Cr,Pb,Hf
等の金属またはそれらの合金、あるいは金属の酸化物、
炭化物、窒化物、カルコゲン化物等のいずれかと金属と
の混合物などを使用することができる。特に、Au,A
l,Hf,Ni,Crやそれらの合金等は、膜の形成が
容易であり、材料選択により熱伝導度を広範囲に調整可
能であるため、好ましい材料である。なお、本発明にお
いては、基板上に順次に積層される例えば保護層,記録
層,拡散防止層あるいは冷却層を、総称して、記録薄膜
と称す。
して、ポリカーボネート(PC)製の基板上に、保護層と
して200nmのZnS・SiO2、記録層として20
nmのAgInSbTe、拡散防止層として25nmの
ZnS・SiO2、冷却層として100nmのAl−T
i、UV硬化樹脂が順次に記録薄膜として積層されたも
のを用い、この情報記録媒体について、初期化処理を行
ない、初期化時の種々の特性を調べた。なお、初期化装
置としては松井製作所社製の装置を用い、10μm/r
の送り(1回転当りの送り距離)で線速を変化させた。ま
た、評価装置としては、パルステックDDU−1000
を用いた。
速度v0を4.5(m/秒)とし、エネルギービームとし
て波長780nmのレーザビームを用い、また、開口率
(NA)が0.53の光学系を用いた。また、情報記録媒
体に対するレーザビームの読取パワー(リードパワー)を
1.0mWとし、書込パワー(ライトパワー)を13mW
(または14mW)とし、また、ボトムパワーを6mWと
し、書込周波数(ライト周波数)を3MHzとし、また、
書込みにはEFMランダムパターンを用いた。
存性を調べた。図1は、その結果(初期化時の線速度に
対するO/W後の3Tジッター(ナノ秒))が示されてい
る。図1からわかるように、ジッターは、初期化時の線
速度が4.5(m/秒)程度のとき、すなわち評価線速度
v0と同程度のとき、最も低いことがわかる。より詳細
には、評価線速度v0に対し、(v0±1)(m/秒)の線
速度で初期化する場合に、ジッターを低くすることがで
き、(v0±1)(m/秒)以外の線速度で初期化したもの
は、(v0±1)(m/秒)の範囲内で初期化した記録媒体
に比べ、ジッターで3ナノ秒以上悪くなる。
密度(パワー/線速度)依存性を調べた。図2には、その
結果(初期化時のパワー密度(パワー/線速度)に対する
O/W後の3Tジッター(ナノ秒))が示されている。こ
こで、初期化時の線速度は、評価線速度v0(4.5m/
秒)に対し、(v0±1)(m/秒)の範囲内に設定されて
いる。図2からわかるように、初期化時の線速度を評価
線速度v0に対して、(v0±1)(m/秒)にして初期化
を行なう場合、そのときのパワー密度が150mW/m
/秒〜250mW/m/秒の範囲内であれば、ジッター
が最も低くなる。すなわち、150〜250mW/m/
秒のパワー密度で初期化すれば、150mW/m/秒以
下、または、250mW/m/秒以上のパワー密度で初
期化する場合に比べてジッターが1ナノ秒以上良くなっ
ている。このことから、150〜250mW/m/秒の
範囲内のパワー密度で初期化を行なえば、アモルファス
から結晶になる最適なパワー密度で初期化することがで
き、記録薄膜へのダメージが少なくジッターが良好とな
る。
号の振幅依存性を調べた。図3には、その結果(初期化
時の(フォーカス時の)RF信号の振幅に対するO/W後
の3Tジッター(ナノ秒))が示されている。図3からわ
かるように、初期化時の(フォーカス時の)RF信号の振
幅がその最大振幅max(ジャストフォーカス時のRF
信号の振幅)よりも3〜20%程度小さな振幅であると
きに、ジッターは良好となる。これは、ジャストフォー
カスの場合には、記録薄膜へのダメージが大きいためと
考えられる。すなわち、RF信号の振幅が最大振幅より
も3〜20%程度小さなものである場合には、これ以外
のものに比べ、特にジャストフォーカス時に比べて、ジ
ッターが1ナノ秒以上良くなっている。
ワー密度依存性を調べた。図4には、その結果(初期化
時の絶対パワー密度に対するO/W後の3Tジッター)
が示されている。なお、図4では、評価線速度を4.5
m/秒にする場合とともに、3.5m/秒にする場合の
結果をも示した。
5m/秒,3.5m/秒のいずれかの場合も、初期化時
の絶対パワー密度を2×109W/m2以上にして初期化
することで、ジッターが良好となる。すなわち、2×1
09W/m2以上のパワー密度であれば、2×109W/
m2以下のパワー密度の場合に比べてジッターが1ナノ
秒以上良くなることがわかり、このパワー(2×109W
/m2以上のパワー密度)は、記録薄膜をが均一に結晶化
できるエネルギー密度と考えられる。
109W/m2とし、初期化回数を変えてジッターを調べ
た。次表(表1)には、初期化回数をそれぞれ1回,2
回,3回とした場合のジッターが示されている。
のパワー密度では、記録媒体の同一トラックを2回初期
化するときに、ジッターが最も良好となる。すなわち、
2×109W/m2のパワー密度では、記録媒体の同一ト
ラックを2回初期化することで、記録薄膜の結晶化が安
定し、ジッターが良くなることがわかる。
て、各々の場合について初期化を10回行なってジッタ
ーを調べた。次表(表2)には、パワー密度を0.5×1
09,1.0×109,1.5×109,2.0×109,
2.5×109W/m2とし、各々の場合に、3T等のパ
ルスで、初期化を10回行なったときのジッターの初期
化パワー密度依存性が示されている。
0〜2.0×109W/m2の範囲内で初期化を行なうこ
とで、ジッターが良好となる。すなわち、パルス的な初
期化処理により、結晶化の際に物質移動が少なくてす
み、パワー密度が1.0〜2.0×109W/m2のとき
には、他のパワー密度のときに比べて、ジッターが1ナ
ノ秒以上良くなる。
よってジッターを調べた。次表(表3)には、2.5×1
09W/m2のパワー密度で1回初期化を行なった場合
と、1.0×109W/m2のパワー密度で10回初期化
を行なった場合と、0.5×109W/m2のパワー密度
で1回目の初期化を行ない、次いで、1.5×109W
/m2のパワー密度で2回目の初期化を行なった場合と
の3つの場合についてのジッターがそれぞれ示されてい
る。
化し、しかも1回目は弱いパワー密度で、2回目は1回
目の倍以上のパワー密度で初期化することで、記録薄膜
へのダメージが少なく、ジッターが良くなっている。
の厚さに応じてパワーを変化させて初期化したときのジ
ッターを調べた。次表(表4)には、内外周の記録薄膜の
厚さに依らずにパワーを一定にして(パワーを変えずに)
初期化した場合と、内外周の記録薄膜の厚さに比例して
パワーを変化させて初期化した場合とのそれぞれについ
てのジッターが示されている。
ーを変えた場合は、記録媒体の面内でのジッターのバラ
ツキが小さくなることがわかる。すなわち、記録薄膜の
膜厚に比例してパワーを変えて初期化した方が結晶化の
均一性が図れ、ジッターが良くなることがわかる。
ルを行なうときのジッターを調べた。次表(表5)には、
アニールを行なわずに初期化した場合と、アニールを行
ないながら初期化した場合とのそれぞれの場合について
のジッターが示されている。
方が、結晶化の均一性が良く、ジッターが良くなること
がわかる。すなわち、例えば90℃程度の温度で1時間
〜5時間アニールしながら初期化することで、結晶化状
態がより均一になり、ジッターが良好となる。
ポリカーボネート(PC)の基板上に、記録薄膜として、
ZnS・SiO2/AgInSbTe/ZnS・SiO2
/Al−Ti/UV硬化樹脂が積層されたものであると
して説明したが、本発明は、この組成の記録媒体に限ら
ず、従来公知の種々の記録媒体に適用可能である。例え
ば、実際に高速消去が可能な光記録媒体として優れた特
性をもつPd−Sb−Ge−Te系膜やBi−Sb−T
e−Ge系膜、あるいはその他のSb−Te系やTe−
Ge系、Sb−Se系、In−Se系、In−Sb系な
どの非晶と結晶の相転移を記録に利用する種々の記録媒
体に本発明を適用可能である。
拡散防止層,冷却層)の膜厚も、特に限定されないが、
例えば記録層の表面と裏面での膜厚干渉効果を利用する
場合には、記録層の膜厚を70〜120nmの範囲など
に適宜設定できる。
発明によれば、初期化線速度を評価線速度とほぼ同程度
にして初期化するので、膜へのストレスが少なく、均一
な結晶化がなされ、記録・再生・O/W特性のジッター
が良好となる。
化時のパワー密度を150〜250mW/m/秒の範囲
とすることで、膜へのダメージが少ない結晶化が可能と
なり、記録・再生・O/W特性のジッターが良好とな
る。
化時の(フォーカス時の)RF信号の振幅を最大振幅に対
して3〜20%減じたものとすることで、膜へのダメー
ジが少ない結晶化が可能となり、記録・再生・O/W特
性のジッターが良好となる。
パワー密度を2×109W/m2以上にして初期化を行な
うことで、均一な結晶化が可能となり、記録・再生・O
/W特性のジッターが良好となる。
記録媒体の同じ位置を、同一パワーのエネルギービーム
で複数回初期化することで、結晶化が安定し、記録・再
生・O/W特性のジッターが良好となる。
109W/m2〜2×109W/m2の範囲内のパワー密度
をもつ繰返しパルスのエネルギービームで、同じ位置を
複数回、初期化することで、結晶化の際の物質移動が少
なく均一な結晶化が可能となり、記録・再生・O/W特
性のジッターが良好となる。
ルギービームのパワー密度を0.3〜0.9×109W
/m2程度にして情報記録媒体を初期化した後、エネル
ギービームのパワー密度を1〜1.5×109W/m2に
して、情報記録媒体を再度初期化することで、膜へのダ
メージが少ない結晶化が可能となり、記録・再生・O/
W特性のジッターが良好となる。
記録媒体の内外周の記録薄膜の厚さに応じてエネルギー
ビームのパワー密度を変化させることで、記録媒体の内
外周のパワーの変動を防止し、均一な結晶化を行なうこ
とが可能となり、記録・再生・O/W特性のジッターが
良好となる。
記録媒体を所定の温度で1時間〜5時間、アニールする
ことで、結晶状態を安定させて均一な結晶化を行なうこ
とが可能となり、記録・再生・O/W特性のジッターが
良好となる。
図である。
を示す図である。
結果を示す図である。
結果を示す図である。
Claims (9)
- 【請求項1】 基板上に形成された記録薄膜にエネルギ
ービームを照射し、エネルギービームの照射によって発
生する熱により前記記録薄膜を相変化させて情報の記録
がなされる情報記録媒体を初期化する情報記録媒体の初
期化方法において、情報記録媒体を初期化する際の線速
度を評価線速度とほぼ同程度にして初期化することを特
徴とする情報記録媒体の初期化方法。 - 【請求項2】 請求項1記載の情報記録媒体の初期化方
法において、エネルギービームの線速度(m/秒)当りの
パワー密度を、150mW/m/秒〜250mW/m/
秒の範囲内に設定して初期化することを特徴とする情報
記録媒体の初期化方法。 - 【請求項3】 請求項1記載の情報記録媒体の初期化方
法において、基板上に形成された記録薄膜上にフォーカ
スされるエネルギービームのRF信号を、記録・再生時
のRF信号の最大振幅に対して3〜20%だけ減じた振
幅で、記録薄膜上にフォーカスして記録媒体を初期化す
ることを特徴とする情報記録媒体の初期化方法。 - 【請求項4】 請求項1記載の情報記録媒体の初期化方
法において、絶対パワー密度が2×109W/m2以上の
エネルギービームを用いて初期化することを特徴とする
情報記録媒体の初期化方法。 - 【請求項5】 請求項1記載の情報記録媒体の初期化方
法において、情報記録媒体の同じ位置を、同一パワーの
エネルギービームで複数回初期化することを特徴とする
情報記録媒体の初期化方法。 - 【請求項6】 請求項1記載の情報記録媒体の初期化方
法において、1×109W/m2〜2×109W/m2の範
囲内のパワー密度をもつ繰返しパルスのエネルギービー
ムで、同じ位置を複数回、初期化することを特徴とする
情報記録媒体の初期化方法。 - 【請求項7】 請求項1記載の情報記録媒体の初期化方
法において、エネルギービームのパワー密度を0.3〜
0.9×109W/m2程度にして情報記録媒体を初期化
した後、エネルギービームのパワー密度を1〜1.5×
109W/m2にして、情報記録媒体を再度初期化するこ
とを特徴とする情報記録媒体の初期化方法。 - 【請求項8】 請求項1記載の情報記録媒体の初期化方
法において、情報記録媒体の内外周の記録薄膜の厚さに
応じてエネルギービームのパワー密度を変化させること
を特徴とする情報記録媒体の初期化方法。 - 【請求項9】 請求項1記載の情報記録媒体の初期化方
法において、情報記録媒体を所定の温度で1時間〜5時
間、アニールすることを特徴とする情報記録媒体の初期
化方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP18787695A JP3286501B2 (ja) | 1995-06-30 | 1995-06-30 | 情報記録媒体の初期化方法 |
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JPH0916961A true JPH0916961A (ja) | 1997-01-17 |
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JP (1) | JP3286501B2 (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
EP1241665A2 (en) * | 2001-03-16 | 2002-09-18 | Ricoh Company, Ltd. | Data recording method and device, and phase-change optical disc |
US7422838B1 (en) * | 1999-06-01 | 2008-09-09 | Ricoh Company, Ltd. | Phase-change optical recording medium |
-
1995
- 1995-06-30 JP JP18787695A patent/JP3286501B2/ja not_active Expired - Fee Related
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EP1241665A3 (en) * | 2001-03-16 | 2007-07-18 | Ricoh Company, Ltd. | Data recording method and device, and phase-change optical disc |
US7512052B2 (en) | 2001-03-16 | 2009-03-31 | Ricoh Company, Ltd. | Formatting of phase-change optical disc for improved signal characteristics |
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---|---|
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