JPH091674A - Photo-setting molding method - Google Patents

Photo-setting molding method

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JPH091674A
JPH091674A JP7155873A JP15587395A JPH091674A JP H091674 A JPH091674 A JP H091674A JP 7155873 A JP7155873 A JP 7155873A JP 15587395 A JP15587395 A JP 15587395A JP H091674 A JPH091674 A JP H091674A
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JP
Japan
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curing
photo
diameter
light
ultraviolet laser
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Application number
JP7155873A
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Japanese (ja)
Inventor
Naoichiro Saito
直一郎 斉藤
Tetsuo Imaizumi
哲夫 今泉
Shuichi Yamaguchi
秀一 山口
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C MET KK
SIGMAKOKI Co Ltd
Original Assignee
C MET KK
SIGMAKOKI Co Ltd
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Publication date
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Publication of JPH091674A publication Critical patent/JPH091674A/en
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  • Heating, Cooling, Or Curing Plastics Or The Like In General (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a photo-setting molding method wherein optimal curing diameter and curing depth at each part in each layer of a product can be obtained. CONSTITUTION: Both an intensity and a spot diameter of ultraviolet laser beam to be applied to a photo-setting resin are controlled. When a convex lens which forms a beam expander is moved in a direction of optical axis so as to enlarge the spot diameter of the ultraviolet laser beam, a peak intensity lowers from Pi to P3 by the enlarged portion of the spot diameter so as to be a light intensity distribution shown by a two-dot chain line. At the same time, the intensity of the ultraviolet laser beam is lowered by an AOM module so as to lower the peak intensity from P3 to P2, so that a light intensity distribution having the peak strength P2 and a beam diameter W1 at a threshold Pth as shown by a solid line can be obtained. By irradiating a liquid resin with the ultraviolet laser beam having such a light intensity distribution, a curing diameter can be kept in the fixed size W1 by changing a curing depth of the liquid resin to D2.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、液状の光硬化性樹脂
に選択的に光線を照射して三次元の形状を造形する光硬
化造形方法に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photo-curing molding method for selectively irradiating a liquid photo-curable resin with a light beam to form a three-dimensional shape.

【0002】[0002]

【従来の技術】液状の光硬化性樹脂(以下、「液状樹
脂」とも略する。)にレーザ光等の強力な光線を照射し
てその一部を硬化させ、任意の三次元形状を造形する光
硬化造形装置が開発・実用化されている。この光硬化造
形装置は、CADシステムで設計した機械部品等をCA
Dデータを用いて容易に実体化することができ、設計の
確認と直接的な評価を行える。また、近年の多品種少量
生産の要請にも適合した極めて有用な装置である。この
光硬化造形装置を用いた光硬化造形の手順について、図
4を参照して説明する。図4に示されるように、光硬化
造形装置102においては、液状樹脂110で満たされ
た容器108の中に昇降可能な昇降テーブル112が設
けられている。図のような製品120を造形するには、
まず、昇降テーブル112を、液状樹脂110の液面1
10aから最下層120aの厚さ分だけ下降した高さに
位置させる。この状態で、ガルバノミラー104を回転
させることによってレーザ光106を必要な範囲内に走
査して、最下層120aを光硬化させる。次に昇降テー
ブル112を最下層から二番目の層120bの厚さ分だ
け下降させ、同様にして二番目の層120bを光硬化さ
せる。以下、同様にして、下から順に一層ずつ光硬化さ
せることによって、図4に示されるような製品120が
造形される。
2. Description of the Related Art A liquid photo-curable resin (hereinafter, also referred to as "liquid resin") is irradiated with a strong light beam such as a laser beam to cure a part of the light beam to form an arbitrary three-dimensional shape. A photo-curing modeling device has been developed and put into practical use. This photo-curing modeling device is used for CA machine parts designed by CAD system.
It can be easily materialized using D data, and design confirmation and direct evaluation can be performed. In addition, it is an extremely useful device that meets the recent demand for high-mix low-volume production. A procedure of photo-curing modeling using this photo-curing modeling apparatus will be described with reference to FIG. As shown in FIG. 4, in the photo-curing modeling apparatus 102, an elevating table 112 that can move up and down is provided in a container 108 filled with a liquid resin 110. To model the product 120 as shown,
First, the lifting table 112 is set to the liquid level 1 of the liquid resin 110.
It is positioned at a height lowered from 10a by the thickness of the lowermost layer 120a. In this state, the galvano mirror 104 is rotated to scan the laser beam 106 within a required range, and the lowermost layer 120a is photo-cured. Next, the elevating table 112 is lowered from the lowermost layer by the thickness of the second layer 120b, and the second layer 120b is similarly photo-cured. Thereafter, in the same manner, the product 120 as shown in FIG. 4 is formed by sequentially photo-curing one layer from the bottom.

【0003】ここで、製品120は下層部ほど曲率半径
が小さくなるような形状を有している。従って、かかる
形状を精度良く造形するためには、図4に示されるよう
に下層部ほど一層の厚さを薄くして積層させることが必
要となる。この際に、薄い層と厚い層とを同じ光強度で
硬化させると、薄い層の場合にはその下にある既に光硬
化した層まで再度光照射されることになる。この結果、
下の層が過度に硬化され、層と層との接続面が不連続に
なるとともに、製品の変形が生じてしまう。これを防止
するためには、光硬化させる厚さに応じて液状樹脂に照
射されるレーザ光のエネルギーの大きさを変えることが
必要となる。従来、このような場合には、ガルバノミラ
ー104によるレーザ光106の走査速度を変化させて
いた。すなわち、厚い層の場合にはレーザ光106の走
査速度を小さくすることによって液状樹脂110に時間
当たり照射される光量を大きくし、薄い層の場合にはレ
ーザ光106の走査速度を大きくすることによって時間
当たり照射される光量を小さくする。このようにして、
硬化させる層の厚さに応じて照射されるレーザ光のエネ
ルギーの大きさを変化させていた。
Here, the product 120 has a shape such that the radius of curvature becomes smaller toward the lower layer portion. Therefore, in order to form such a shape with high accuracy, it is necessary to stack the layers such that the lower layers have a smaller thickness as shown in FIG. At this time, when the thin layer and the thick layer are cured with the same light intensity, in the case of the thin layer, the already photo-cured layer below the thin layer is again irradiated with light. As a result,
The underlying layer is excessively hardened, resulting in discontinuity of the layer-to-layer connection surface and deformation of the product. In order to prevent this, it is necessary to change the magnitude of energy of the laser light with which the liquid resin is irradiated according to the thickness to be photocured. Conventionally, in such a case, the scanning speed of the laser beam 106 by the galvanometer mirror 104 has been changed. That is, in the case of a thick layer, the scanning speed of the laser beam 106 is decreased to increase the amount of light irradiated to the liquid resin 110 per hour, and in the case of a thin layer, the scanning speed of the laser beam 106 is increased. Reduce the amount of light emitted per hour. In this way,
The magnitude of the energy of the laser light to be irradiated was changed according to the thickness of the layer to be cured.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、このよ
うにレーザ光106の走査速度を変化させる方法では、
ガルバノミラー104等の機械的構造部分の動作精度が
走査速度に依存するため、走査速度を大きくした場合
に、作成される製品の精度が劣化するという問題が生ず
る。すなわち、ガルバノミラー104が回転する場合の
ぶれ・ガタつき等は走査速度を大きくするほど大きくな
るため、光硬化で形成される面の精度もこれに伴って劣
化して、面粗さの粗い製品となってしまうという問題点
があった。これに対して、走査速度は一定として、硬化
させる層の厚さに応じて光透過率可変フィルター,光変
調器等によってレーザ光の強度を変化させる方法が考え
られる。しかし、この方法においては、硬化する層の厚
さが変わるのに伴って硬化する層の径も変化する。すな
わち、硬化させる層の厚さを薄くするためにレーザ光の
強度を小さくすると、光硬化が起こる光強度のしきい値
を越えるレーザビームの径もこれに伴って小さくなり、
硬化する部分の径が小さくなってしまう。このため、製
品の外周部分において硬化寸法のずれを生じ、製品の寸
法精度が悪くなってしまうという問題点があった。さら
に、より高精度の光硬化製品を造形するためには、製品
の各層の各部分においてレーザ光の光強度分布を最適な
形状として、最適な硬化径と硬化深さとを得ることが求
められていた。
However, in the method of changing the scanning speed of the laser beam 106 as described above,
Since the operation accuracy of the mechanical structure portion such as the galvano mirror 104 depends on the scanning speed, there is a problem that the accuracy of the manufactured product deteriorates when the scanning speed is increased. That is, since blurring and rattling when the galvanometer mirror 104 rotates increases as the scanning speed increases, the precision of the surface formed by photocuring also deteriorates accordingly, and the product with rough surface roughness is obtained. There was a problem that became. On the other hand, a method is conceivable in which the scanning speed is kept constant and the intensity of the laser light is changed by a variable light transmittance filter, an optical modulator or the like depending on the thickness of the layer to be cured. However, in this method, as the thickness of the cured layer changes, the diameter of the cured layer also changes. That is, when the intensity of the laser beam is reduced in order to reduce the thickness of the layer to be cured, the diameter of the laser beam that exceeds the threshold of the light intensity at which photocuring occurs is also reduced accordingly.
The diameter of the hardened part becomes smaller. For this reason, there is a problem that the cured dimension is displaced in the outer peripheral portion of the product, and the dimensional accuracy of the product is deteriorated. Furthermore, in order to form a photocured product with higher accuracy, it is required to obtain an optimum cured diameter and a cured depth by setting the light intensity distribution of the laser light to be the optimum shape in each part of each layer of the product. It was

【0005】そこで、本出願の請求項1乃至請求項3に
係る発明においては、製品の各層の各部分において最適
な硬化径と硬化深さとを得ることができる光硬化造形方
法を提供することを目的とする。また、本出願の請求項
2に係る発明においては、光線による光硬化性樹脂の硬
化径を変えることなく硬化深さを変えることができる光
硬化造形方法を提供することを目的とする。また、本出
願の請求項3に係る発明においては、上記の各目的を容
易かつ確実に達成することができる光硬化造形方法を提
供することを目的とする。
Therefore, in the invention according to claims 1 to 3 of the present application, it is possible to provide a photo-curing molding method capable of obtaining an optimum curing diameter and curing depth in each part of each layer of a product. To aim. Moreover, it is an object of the invention according to claim 2 of the present application to provide a photo-curing modeling method capable of changing the curing depth without changing the curing diameter of the photo-curing resin by light rays. Moreover, it is an object of the invention according to claim 3 of the present application to provide a photo-curing molding method capable of easily and surely achieving the above objects.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】そこで、請求項1に係る
発明においては、上記の課題を解決するために、光硬化
性樹脂に選択的に光線を照射して該光硬化性樹脂を選択
的に硬化させることによって三次元の形状を造形する光
硬化造形方法であって、前記光硬化性樹脂に照射される
前記光線のビーム径を変化させ、または前記光線のビー
ム径を変化させるとともに前記光線の強度を変化させる
ことによって、前記光線の前記光硬化性樹脂の表面にお
ける光強度分布を変化させることを特徴とする光硬化造
形方法を創出した。
Therefore, in order to solve the above-mentioned problems, in the invention according to claim 1, the photocurable resin is selectively irradiated with a light beam to selectively select the photocurable resin. A photo-curing molding method for molding a three-dimensional shape by curing the light-curing resin, wherein the beam diameter of the light beam applied to the photo-curable resin is changed, or the beam diameter of the light beam is changed together with the light beam. By changing the intensity of the light rays, the light intensity distribution on the surface of the photocurable resin of the light rays is changed.

【0007】また請求項2に係る発明においては、上記
の課題を解決するために、光硬化性樹脂に選択的に光線
を照射して該光硬化性樹脂を選択的に硬化させることに
よって三次元の形状を造形する光硬化造形方法であっ
て、前記光硬化性樹脂に照射される際の前記光線の強度
を変化させるとともに、前記光線の強度変化による前記
光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち消すように前記光硬
化性樹脂に照射される前記光線のビーム径を変化させる
ことを特徴とする光硬化造形方法を創出した。
In order to solve the above-mentioned problems, in the invention according to claim 2, the photocurable resin is selectively irradiated with light rays to selectively cure the photocurable resin, thereby three-dimensionally curing the photocurable resin. Is a photo-curing molding method for molding the shape of, while changing the intensity of the light beam when irradiated to the photo-curable resin, the change of the curing diameter of the photo-curable resin due to the intensity change of the light beam. A photo-curing modeling method has been created, which is characterized by changing the beam diameter of the light beam applied to the photo-curable resin so as to cancel it.

【0008】また、請求項3に係る発明においては、請
求項1または請求項2に記載の光硬化造形方法であっ
て、前記光線のビーム径の変化をビームエクスパンダを
構成するレンズを光軸方向に沿って移動させることによ
って行うことを特徴とする光硬化造形方法を創出した。
Further, in the invention according to claim 3, there is provided the photo-curing molding method according to claim 1 or 2, wherein the change of the beam diameter of the light beam is caused by a lens forming a beam expander. We have created a photo-curing modeling method that is characterized in that it is performed by moving along a direction.

【0009】[0009]

【作用】さて、請求項1に係る光硬化造形方法は、光硬
化性樹脂に選択的に光線を照射して、光硬化性樹脂を選
択的に硬化させることによって三次元の形状を造形する
光硬化造形方法である。かかる光硬化造形方法におい
て、光硬化性樹脂に照射される光線のビーム径を変化さ
せることによって、または光線のビーム径を変化させる
とともに光線の強度を変化させることによって、光線の
光硬化性樹脂の表面における光強度分布が変化させられ
る。これによって、光硬化の過程における製品の各層の
各部分においてレーザ光の光強度分布を最適な形状とす
ることができ、光線の照射による光硬化性樹脂の硬化径
と硬化深さの比率を変化させて最適な硬化径と硬化深さ
を得ることができる。このようにして、製品の各層の各
部分において最適な硬化径と硬化深さとを得ることがで
きる光硬化造形方法となる。
The photo-curing molding method according to the first aspect of the present invention is a photo-curing method for molding a three-dimensional shape by selectively irradiating a photo-curable resin with a light beam to selectively cure the photo-curable resin. It is a curing and shaping method. In such a photo-curing molding method, by changing the beam diameter of the light beam irradiated on the photo-curable resin, or by changing the beam diameter of the light beam and the intensity of the light beam, The light intensity distribution on the surface is changed. As a result, the light intensity distribution of the laser light can be made into an optimum shape in each part of each layer of the product during the photocuring process, and the ratio of the cure diameter and the cure depth of the photocurable resin due to the irradiation of the light beam can be changed. By doing so, the optimum cure diameter and cure depth can be obtained. In this way, the photo-curing modeling method can obtain the optimum cure diameter and cure depth in each part of each layer of the product.

【0010】また、請求項2に係る光硬化造形方法で
は、かかる光硬化造形方法において、光硬化性樹脂に照
射される際の光線の強度が変化させられるとともに、光
線の強度変化による光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち
消すように、光硬化性樹脂に照射される光線のビーム径
が変化させられる。これによって、照射される際の光線
の強度が変化しても光硬化性樹脂の硬化径は変化せず、
従って光硬化性樹脂の硬化径を一定に保ったまま硬化深
さを変化させることができる。このようにして、光線に
よる光硬化性樹脂の硬化径を変えることなく硬化深さを
変えることができる光硬化造形方法となる。
In the photo-curing molding method according to the second aspect of the present invention, in the photo-curing molding method, the intensity of the light beam when being irradiated on the photo-curable resin is changed, and the photo-curing property is changed by the change of the light intensity. The beam diameter of the light beam applied to the photocurable resin is changed so as to cancel the change in the cured diameter of the resin. As a result, the cured diameter of the photocurable resin does not change even if the intensity of light rays when irradiated changes,
Therefore, the curing depth can be changed while keeping the cured diameter of the photocurable resin constant. In this way, a photo-curing modeling method can be achieved in which the curing depth can be changed without changing the curing diameter of the photo-curing resin by light rays.

【0011】また、請求項3に係る光硬化造形方法は、
請求項1または請求項2に記載の光硬化造形方法におい
て、光線のビーム径の変化をビームエクスパンダを構成
するレンズを光軸方向に沿って移動させることによって
行っている。ビームエクスパンダを構成するレンズを光
軸方向に沿って移動させれば、光線の焦点位置が光硬化
性樹脂の表面から上下にずれることになり、この結果光
硬化性樹脂の表面における光線のビーム径が変化するこ
とになる。かかるビームエクスパンダを構成するレンズ
の移動は、光学用ステージ等を用いて極めて容易かつ精
密に行うことができる。また、ビームエクスパンダは光
硬化造形方法を実施するための装置には通常組み込まれ
ているため、新たな光学要素を追加することなく、光線
のビーム径の変化を実現することができる。このように
して、光線による光硬化性樹脂の硬化径を変えることな
く硬化深さを変えるという目的を容易かつ確実に達成す
ることができる光硬化造形方法となる。
Further, the photo-curing molding method according to claim 3 is
In the photo-curing modeling method according to claim 1 or 2, the beam diameter of the light beam is changed by moving a lens constituting the beam expander along the optical axis direction. If the lens that constitutes the beam expander is moved along the optical axis direction, the focal point of the light beam will shift vertically from the surface of the photocurable resin, and as a result, the beam of the light beam on the surface of the photocurable resin will be displaced. The diameter will change. The movement of the lens forming the beam expander can be performed extremely easily and precisely by using an optical stage or the like. Further, since the beam expander is usually incorporated in the apparatus for performing the photo-curing modeling method, it is possible to realize the change in the beam diameter of the light beam without adding a new optical element. In this way, the photo-curing modeling method can easily and surely achieve the purpose of changing the curing depth without changing the curing diameter of the photo-curing resin by light rays.

【0012】[0012]

【実施例】次に、本発明を具現化した一実施例につい
て、図1乃至図3を参照して説明する。まず、本実施例
の光硬化造形方法に用いられる光硬化造形装置の構成及
び各部の機能について、図1及び図2を参照して説明す
る。図1は本実施例の光硬化造形方法に用いられる光硬
化造形装置の構成を示す平面図であり、図2はその正面
図である。なお、図1及び図2は、光硬化造形装置の中
心となる光学系の構成のみを示しており、ミラー,レン
ズ等の支持機構や駆動機構等は省略されている。図1に
示されるように、本実施例に用いられる光硬化造形装置
2はレーザ光源として He-Cdレーザ4を有している。こ
の He-Cdレーザ4から出射される紫外線レーザ光6が全
反射ミラー8で反射され、音響光学式光変調器(Acoust
o-OpticModulator ,以下「AOM」と略する)モジュ
ール10に入射される。AOMモジュール10内で変調
された紫外線レーザ光6は、直進する0次光または僅か
に偏向した1次光として出射して、全反射ミラー12で
真下方向(図1の紙面に垂直な方向)に反射され、さら
に全反射ミラー14で水平方向に反射される。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Next, an embodiment embodying the present invention will be described with reference to FIGS. First, the configuration of the photo-curing modeling apparatus used in the photo-curing modeling method of the present embodiment and the function of each part will be described with reference to FIGS. 1 and 2. FIG. 1 is a plan view showing the configuration of a photo-curing modeling apparatus used in the photo-curing modeling method of this embodiment, and FIG. 2 is a front view thereof. 1 and 2 show only the configuration of the optical system that is the center of the photo-curing modeling apparatus, and the supporting mechanism such as the mirror and the lens and the driving mechanism are omitted. As shown in FIG. 1, the photo-curing modeling apparatus 2 used in this embodiment has a He-Cd laser 4 as a laser light source. The ultraviolet laser light 6 emitted from the He-Cd laser 4 is reflected by the total reflection mirror 8, and the acousto-optical light modulator (Acoust
An o-Optic Modulator (hereinafter abbreviated as “AOM”) is incident on the module 10. The ultraviolet laser light 6 modulated in the AOM module 10 is emitted as a straight-advancing 0th-order light or slightly deflected primary light, and is directed downward (in a direction perpendicular to the paper surface of FIG. 1) by a total reflection mirror 12. It is reflected and further reflected in the horizontal direction by the total reflection mirror 14.

【0013】このAOMモジュール10は、後述する液
状樹脂40に照射される紫外線レーザ光6の強度を変化
させる機能をも有する。すなわち、AOMモジュール1
0に印加される超音波の電力を変化させることによっ
て、0次光と1次光との強度比率が変化する。後述する
ように、最終的に液状樹脂40に照射されるのは紫外線
レーザ光6の1次光のみであるため、0次光と1次光と
の強度比率を変えることによって、液状樹脂40に照射
される紫外線レーザ光6の強度が変わることになる。
The AOM module 10 also has a function of changing the intensity of the ultraviolet laser light 6 applied to the liquid resin 40 described later. That is, AOM module 1
By changing the power of the ultrasonic wave applied to 0, the intensity ratio of the 0th-order light and the 1st-order light changes. As will be described later, since only the primary light of the ultraviolet laser light 6 is finally irradiated to the liquid resin 40, the liquid resin 40 is changed by changing the intensity ratio of the 0th order light and the 1st order light. The intensity of the ultraviolet laser beam 6 to be applied changes.

【0014】続いて、紫外線レーザ光6はメカシャッタ
ー16及び虹彩絞り18を通過して、ビームエクスパン
ダを構成する凸レンズ20に入射する。この凸レンズ2
0と凸レンズ24とによって、紫外線レーザ光6のビー
ム径を拡大するためのビームエクスパンダが構成されて
いる。凸レンズ20と凸レンズ24との間には、空間フ
ィルター22が設けられている。この空間フィルター2
2は凸レンズ20の焦点に位置しており、本実施例にお
いては空間フィルター22としてスリットを用いてい
る。この空間フィルター22によってAOMモジュール
10から出射したレーザ光のうち0次光は遮られ、1次
光のみが空間フィルター22を通過する。従って、AO
Mモジュール10で紫外線レーザ光6を0次光と1次光
とに高速で切り換えることによって、後述するガルバノ
ミラー28,30の走査速度に対応した高速での紫外線
レーザ光6のシャッタリングが可能になる。これによっ
て、紫外線レーザ光6を高速で走査しながら、液状樹脂
40のうち必要な部分にのみ照射することができる。
Subsequently, the ultraviolet laser light 6 passes through the mechanical shutter 16 and the iris diaphragm 18 and enters the convex lens 20 which constitutes the beam expander. This convex lens 2
0 and the convex lens 24 constitute a beam expander for expanding the beam diameter of the ultraviolet laser light 6. A spatial filter 22 is provided between the convex lens 20 and the convex lens 24. This spatial filter 2
2 is located at the focal point of the convex lens 20, and a slit is used as the spatial filter 22 in this embodiment. The 0th-order light of the laser light emitted from the AOM module 10 is blocked by the spatial filter 22, and only the 1st-order light passes through the spatial filter 22. Therefore, AO
By switching the ultraviolet laser light 6 between the 0th-order light and the 1st-order light at high speed by the M module 10, it is possible to perform shuttering of the ultraviolet laser light 6 at a high speed corresponding to the scanning speed of the galvano mirrors 28 and 30 described later. Become. This makes it possible to irradiate only the necessary portion of the liquid resin 40 while scanning the ultraviolet laser light 6 at high speed.

【0015】また、凸レンズ24は、紫外線レーザ光6
の光軸方向に沿って移動可能となっている。この凸レン
ズ24の移動機構は、凸レンズ24のレンズホルダーを
パルスモータを用いたスライドステージ(いずれも図示
省略)に取り付けることによって構成されている。かか
る移動機構で凸レンズ24を移動させることによって、
紫外線レーザ光6の最小集光点が液状樹脂40の液面か
ら上下にずれ、この結果液状樹脂40の液面における紫
外線レーザ光6のスポット径が変化する。これによっ
て、後で図3について説明するように、紫外線レーザ光
6による液状樹脂40の硬化径を変えることなく液状樹
脂40の硬化深さを変化させることができる。
The convex lens 24 is connected to the ultraviolet laser beam 6
It is movable along the optical axis direction. The moving mechanism of the convex lens 24 is configured by attaching the lens holder of the convex lens 24 to a slide stage (not shown) using a pulse motor. By moving the convex lens 24 with such a moving mechanism,
The minimum focus point of the ultraviolet laser light 6 shifts vertically from the liquid surface of the liquid resin 40, and as a result, the spot diameter of the ultraviolet laser light 6 on the liquid surface of the liquid resin 40 changes. Thereby, as described later with reference to FIG. 3, the curing depth of the liquid resin 40 can be changed without changing the curing diameter of the liquid resin 40 by the ultraviolet laser light 6.

【0016】凸レンズ24から出射したビーム径が拡大
された紫外線レーザ光6は、二つ目の虹彩絞り26を通
過して、ガルバノミラー28及び30によって反射され
る。ガルバノミラー28は、図1の紙面に垂直な回転軸
を中心として回転し、ガルバノミラー30は、図1の紙
面内にある回転軸を中心として回転する。これによっ
て、図2に破線で示されるように、紫外線レーザ光6
は、ガルバノミラー30の下方に設けられた樹脂容器3
8の全面にわたって走査される。また、図2に示される
ように、ガルバノミラー30と樹脂容器38の間には、
fθレンズ32が設けられている。このfθレンズ32
は、数枚のレンズが組み合わされて構成されており、紫
外線レーザ光6を樹脂容器38内の液状樹脂40の表面
において、全面にわたって均一なスポット径で集光す
る。なお、二つの虹彩絞り18,26は、光硬化造形装
置2を組み立てる際に紫外線レーザ光6の光軸合わせを
するためにのみ用いられるものであり、光軸合わせが完
了した後は全開とされる。また、メカシャッター16は
樹脂容器38の周辺で作業をする場合等に作業者の安全
のために閉じられるものであり、光硬化造形装置2の使
用時には全開とされている。
The ultraviolet laser light 6 emitted from the convex lens 24 and having the expanded beam diameter passes through the second iris diaphragm 26 and is reflected by the Galvano mirrors 28 and 30. The galvano mirror 28 rotates about a rotation axis perpendicular to the paper surface of FIG. 1, and the galvano mirror 30 rotates about a rotation axis in the paper surface of FIG. As a result, as shown by the broken line in FIG.
Is a resin container 3 provided below the galvanometer mirror 30.
8 is scanned over the entire surface. Further, as shown in FIG. 2, between the galvano mirror 30 and the resin container 38,
An fθ lens 32 is provided. This fθ lens 32
Is composed of a combination of several lenses, and collects the ultraviolet laser light 6 on the entire surface of the liquid resin 40 in the resin container 38 with a uniform spot diameter. The two iris diaphragms 18 and 26 are used only for aligning the optical axis of the ultraviolet laser light 6 when assembling the photo-curing modeling apparatus 2, and are fully opened after the optical axis alignment is completed. It The mechanical shutter 16 is closed for the safety of the operator when working around the resin container 38, and is fully opened when the photocuring modeling apparatus 2 is used.

【0017】さらに、樹脂容器38の外側には、二つの
二次元光センサ34A,34Bが設けられている。これ
らの二次元光センサ34A,34Bは正方形の受光面を
有しており、光ビームが当たったときに正方形の受光面
のうちどの位置に当たったかを検出することができる。
ガルバノミラー28による紫外線レーザ光6の図1の左
右方向への走査を開始する際には、まず原位置として二
次元光センサ34Bに紫外線レーザ光6が照射される。
ガルバノミラー28のふれ角が正常であれば、紫外線レ
ーザ光6は二次元光センサ34Bの受光面の中心に当た
る。しかし、光硬化造形装置2の使用中の温度変化等に
よってガルバノミラー28のふれ角がずれると、原位置
における紫外線レーザ光6の当たる位置も二次元光セン
サ34Bの受光面の中心からずれてくる。そこで、この
ずれ量を二次元光センサ34Bで測定して、図示しない
制御ユニットによってガルバノミラー28のふれ角を修
正する。このようにして、長時間の使用によっても、ガ
ルバノミラー28による走査位置が常に正確に保たれる
ようにしている。同様にして、ガルバノミラー30のふ
れ角を、二次元光センサ34Aを用いて補正している。
Further, two two-dimensional optical sensors 34A and 34B are provided outside the resin container 38. These two-dimensional photosensors 34A and 34B have a square light receiving surface, and can detect which position of the square light receiving surface is hit when the light beam hits.
When the scanning of the ultraviolet laser light 6 by the galvanometer mirror 28 in the left-right direction in FIG. 1 is started, the ultraviolet laser light 6 is first irradiated to the two-dimensional optical sensor 34B as the original position.
If the deflection angle of the galvanometer mirror 28 is normal, the ultraviolet laser light 6 strikes the center of the light receiving surface of the two-dimensional optical sensor 34B. However, if the deflection angle of the galvano mirror 28 shifts due to a temperature change during use of the photo-curing modeling apparatus 2, the position where the ultraviolet laser beam 6 hits in the original position also shifts from the center of the light receiving surface of the two-dimensional optical sensor 34B. . Therefore, the displacement amount is measured by the two-dimensional optical sensor 34B, and the deflection angle of the galvanometer mirror 28 is corrected by a control unit (not shown). In this way, the scanning position by the galvano mirror 28 is always kept accurate even when used for a long time. Similarly, the deflection angle of the galvanometer mirror 30 is corrected using the two-dimensional optical sensor 34A.

【0018】この補正のための、ずれ量の求め方の具体
的な内容について説明する。ガルバノミラー28のふれ
角が正常である場合に紫外線レーザ光6が当たる二次元
光センサ34Bの面上の位置をE1とし、そのX方向
(図1の左右方向)の座標をx1,Y方向(図1の上下
方向)の座標をy1とする。また、ガルバノミラー30
のふれ角が正常である場合に紫外線レーザ光6が当たる
二次元光センサ34Aの面上の位置をE2とし、そのX
方向の座標をx2,Y方向の座標をy2とする。さら
に、光硬化造形装置2の使用中において実際に紫外線レ
ーザ光6が当たる位置(ずれ量を含む)の座標を、二次
元光センサ34BについてE3(x3,y3)、二次元
光センサ34AについてE4(x4,y4)とする。ガ
ルバノミラー28,30のずれ量(オフセット)のうち
ゼロオフセットをΔx,Δyとし、ゲインオフセットを
ΔGx,ΔGyとすると、次式(1),(2)が成り立
つ。 x3=ΔGx・x1+Δx … (1) x4=ΔGx・x2+Δx … (2) 従って、ΔGx,Δxの値は、次式(3),(4)によ
って与えられる。 ΔGx=(x3−x4)/(x1−x2) … (3) Δx=x3−ΔGx・x1 … (4) ΔGy,Δyの値も、同様にしてy1,y2,y3,y
4から求められる。
The specific contents of how to obtain the amount of deviation for this correction will be described. When the deflection angle of the galvanometer mirror 28 is normal, the position on the surface of the two-dimensional optical sensor 34B that the ultraviolet laser light 6 impinges is E1, and its X-direction (left-right direction in FIG. 1) coordinates are x1 and Y-direction ( The coordinates (up and down direction in FIG. 1) are defined as y1. Also, galvano mirror 30
The position on the surface of the two-dimensional optical sensor 34A that the ultraviolet laser light 6 impinges when the deflection angle of is normal is E2, and X
The coordinate in the direction is x2, and the coordinate in the Y direction is y2. Furthermore, the coordinates of the position (including the shift amount) that the ultraviolet laser beam 6 actually hits while using the photo-curing modeling apparatus 2 are E3 (x3, y3) for the two-dimensional optical sensor 34B and E4 for the two-dimensional optical sensor 34A. (X4, y4). Of the shift amounts (offsets) of the Galvano mirrors 28 and 30, if the zero offsets are Δx and Δy and the gain offsets are ΔGx and ΔGy, the following equations (1) and (2) are established. x3 = ΔGx · x1 + Δx (1) x4 = ΔGx · x2 + Δx (2) Therefore, the values of ΔGx and Δx are given by the following expressions (3) and (4). ΔGx = (x3−x4) / (x1−x2) (3) Δx = x3−ΔGx · x1 (4) The values of ΔGy and Δy are similarly y1, y2, y3, y.
Required from 4.

【0019】さて、かかる構成を有する本実施例の光硬
化造形装置2における硬化深さ及び硬化径の調節方法に
ついて、図1,図2を参照しつつ図3について説明す
る。図3は、液状樹脂40の表面における紫外線レーザ
光6の光強度分布を示すものである。図3の縦軸は紫外
線レーザ光6の光強度を示し、下に行くほど光強度が大
きくなる。光強度しきい値Pthは、これ以上の光強度で
液状樹脂40が照射された場合に光硬化を起こすしきい
値である。また、図3の横軸は、ビームスポット径を示
している。図3に示されるように、紫外線レーザ光6が
一点鎖線で示されるピーク強度P1の光強度分布で液状
樹脂40に照射された場合には、しきい値Pthを越える
部分D1が光硬化する。すなわち、硬化深さはD1とな
る。これに対して、図1,図2のAOMモジュール10
によって紫外線レーザ光6の強度を弱くして、破線で示
されるピーク強度P2の光強度分布で照射した場合に
は、液状樹脂40の硬化深さはD2となる。このよう
に、照射する紫外線レーザ光6の強度を調節することに
よって液状樹脂40の硬化深さを調節することができ
る。しかし、これに伴って図3に示されるように、液状
樹脂40の硬化径もW1からW2に変化して硬化径が細
くなってしまうため、先に述べたように製品の寸法精度
が劣化することになる。
Now, a method of adjusting the curing depth and the curing diameter in the photo-curing modeling apparatus 2 of the present embodiment having such a configuration will be described with reference to FIGS. FIG. 3 shows a light intensity distribution of the ultraviolet laser light 6 on the surface of the liquid resin 40. The vertical axis of FIG. 3 represents the light intensity of the ultraviolet laser light 6, and the light intensity increases toward the bottom. The light intensity threshold value Pth is a threshold value that causes photocuring when the liquid resin 40 is irradiated with light intensity higher than this. The horizontal axis of FIG. 3 indicates the beam spot diameter. As shown in FIG. 3, when the liquid laser 40 is irradiated with the ultraviolet laser light 6 with the light intensity distribution of the peak intensity P1 shown by the alternate long and short dash line, the portion D1 that exceeds the threshold Pth is photo-cured. That is, the curing depth is D1. On the other hand, the AOM module 10 shown in FIGS.
When the intensity of the ultraviolet laser light 6 is weakened by the irradiation with the light intensity distribution of the peak intensity P2 indicated by the broken line, the curing depth of the liquid resin 40 becomes D2. In this way, the curing depth of the liquid resin 40 can be adjusted by adjusting the intensity of the ultraviolet laser light 6 to be applied. However, along with this, as shown in FIG. 3, the hardening diameter of the liquid resin 40 also changes from W1 to W2, and the hardening diameter becomes smaller, so that the dimensional accuracy of the product deteriorates as described above. It will be.

【0020】そこで、本実施例の光硬化造形方法におい
ては、紫外線レーザ光6の強度を調節するとともにレー
ザビームのスポット径を調節することによって、硬化径
が一定になるようにしている。すなわち、まず図1,図
2の凸レンズ24を光軸方向に移動させて、紫外線レー
ザ光6のスポット径を大きくする。これによって、スポ
ット径が拡がった分だけピーク強度がP3まで下がり、
二点鎖線で示される光強度分布となる。同時に、AOM
モジュール10で紫外線レーザ光6の強度を弱くしてピ
ーク強度をP3からP2に低下させる。これによって、
図3に実線で示されるような、ピーク強度P2でしきい
値Pthにおけるビーム径がW1となるような光強度分布
が得られる。このような光強度分布を有する紫外線レー
ザ光6で液状樹脂40を照射することによって、液状樹
脂40の硬化深さをD2に変化させつつ、硬化径を一定
の大きさW1に保つことができる。このようにして、本
実施例の光硬化造形方法においては、紫外線レーザ光6
による液状樹脂40の硬化径を変えることなく液状樹脂
40の硬化深さを変化させることができる。
Therefore, in the photo-curing molding method of this embodiment, the curing diameter is made constant by adjusting the intensity of the ultraviolet laser light 6 and the spot diameter of the laser beam. That is, first, the convex lens 24 of FIGS. 1 and 2 is moved in the optical axis direction to increase the spot diameter of the ultraviolet laser light 6. As a result, the peak intensity decreases to P3 as the spot diameter increases,
The light intensity distribution is shown by the chain double-dashed line. At the same time, AOM
The module 10 reduces the intensity of the ultraviolet laser light 6 to reduce the peak intensity from P3 to P2. by this,
As shown by the solid line in FIG. 3, a light intensity distribution with a peak intensity P2 and a beam diameter W1 at the threshold Pth is obtained. By irradiating the liquid resin 40 with the ultraviolet laser light 6 having such a light intensity distribution, the hardening diameter of the liquid resin 40 can be changed to D2 and the hardening diameter can be maintained at a constant size W1. Thus, in the photo-curing modeling method of this embodiment, the ultraviolet laser light 6
The hardening depth of the liquid resin 40 can be changed without changing the hardening diameter of the liquid resin 40.

【0021】さらに、本実施例の光硬化造形方法におい
ては、紫外線レーザ光6の光強度分布を任意に変化させ
ることによって、光硬化の過程における製品の各層の各
部分において最適な硬化径と硬化深さを得ることができ
る。すなわち、上述の如く、凸レンズ24の移動によっ
て紫外線レーザ光6のスポット径を大きくすると、光強
度分布は一点鎖線で示されるものから二点鎖線で示され
るものへ変化する。図3に示されるように、この場合の
硬化径はW1からW3へと変化し、硬化深さはD1から
D3へと変化する。このように、スポット径を変化させ
るのみでも、光強度分布を変えることができる。これに
加えて、AOMモジュール10で紫外線レーザ光6の強
度を弱くすることによって、上述の如く、光強度分布を
二点鎖線で示されるものから実線で示されるものへと変
化させることができる。このように、スポット径を変化
させることによって、またはスポット径を変化させると
ともに光強度を変化させることによって、紫外線レーザ
光6の光強度分布を任意に変化させることができる。従
って、紫外線レーザ光6による硬化径と硬化深さを最適
な比率及び最適な大きさに調節することができ、光硬化
造形の際の製品の各層の各部分における硬化径と硬化深
さを最適化することが可能となる。これによって、より
高精度な光硬化造形を行うことができる。
Further, in the photo-curing modeling method of this embodiment, the light-intensity distribution of the ultraviolet laser light 6 is arbitrarily changed to obtain the optimum curing diameter and curing in each part of each layer of the product during the photo-curing process. You can get the depth. That is, as described above, when the spot diameter of the ultraviolet laser light 6 is increased by the movement of the convex lens 24, the light intensity distribution changes from the one shown by the one-dot chain line to the one shown by the two-dot chain line. As shown in FIG. 3, the hardening diameter in this case changes from W1 to W3, and the hardening depth changes from D1 to D3. In this way, the light intensity distribution can be changed only by changing the spot diameter. In addition to this, by weakening the intensity of the ultraviolet laser light 6 in the AOM module 10, as described above, the light intensity distribution can be changed from the one indicated by the chain double-dashed line to the one indicated by the solid line. As described above, the light intensity distribution of the ultraviolet laser light 6 can be arbitrarily changed by changing the spot diameter, or by changing the spot diameter and the light intensity. Therefore, the curing diameter and the curing depth by the ultraviolet laser light 6 can be adjusted to the optimal ratio and the optimal size, and the curing diameter and the curing depth in each part of each layer of the product at the time of photocuring modeling can be optimized. Can be converted. As a result, more accurate photo-curing modeling can be performed.

【0022】本実施例においては、光硬化性樹脂(液状
樹脂)40を硬化させるための光線として He-Cdレーザ
4から出射される紫外線レーザ光6を用いているが、Ar
レーザ等の他の紫外線レーザ光源による紫外線レーザ光
でも良い。また、光硬化性樹脂の種類によっては、他の
波長のレーザ光やレーザ光以外の光線を用いることもで
きる。また、本実施例においては、紫外線レーザ光6の
強度を調節する方法としてAOMモジュールによる0次
光と1次光との強度比率の変化を用いているが、光透過
率可変フィルターを用いる等の他の方式によることもで
きる。強度調節及び光偏向用として、AOMモジュール
の代わりにEOM(Electro-Optic Modulator,電気光
学式光変調器)モジュールを用いても良い。
In this embodiment, the ultraviolet laser beam 6 emitted from the He-Cd laser 4 is used as a light beam for curing the photocurable resin (liquid resin) 40.
Ultraviolet laser light from another ultraviolet laser light source such as a laser may be used. Further, depending on the type of the photo-curable resin, it is possible to use laser light of other wavelengths or light rays other than laser light. Further, in the present embodiment, as a method of adjusting the intensity of the ultraviolet laser light 6, the change of the intensity ratio of the 0th order light and the 1st order light by the AOM module is used, but a variable light transmittance filter is used. Other methods are also possible. An EOM (Electro-Optic Modulator) module may be used instead of the AOM module for intensity adjustment and light deflection.

【0023】さらに、本実施例では、紫外線レーザ光6
のスポット径を調節する方法としてビームエクスパンダ
を構成する凸レンズ24を光軸方向に沿って移動させる
方法を用いているが、fθレンズ32を光軸方向に沿っ
て移動させる(上下させる)ことによってもスポット径
を調節することができる。また、ビームエクスパンダ用
レンズ20,24、fθレンズ32以外のスポット径調
節専用のレンズを追加して、この専用レンズを光軸方向
に沿って移動させる等、その他の方法を用いても構わな
い。また、本実施例においては、空間フィルター22と
してスリットを用いているが、ガラス板上にマスクパタ
ーンを描いたもの等を空間フィルターとして用いても良
い。光硬化造形方法のその他の部分の構成,機能,数,
大きさ,接続関係等についても、本実施例に限定される
ものではない。
Further, in this embodiment, the ultraviolet laser light 6 is used.
A method of moving the convex lens 24 constituting the beam expander along the optical axis direction is used as a method of adjusting the spot diameter of the beam. However, by moving (up and down) the fθ lens 32 along the optical axis direction. Can also adjust the spot diameter. Other methods such as adding a lens dedicated to adjusting the spot diameter other than the beam expander lenses 20 and 24 and the fθ lens 32 and moving the dedicated lens along the optical axis direction may be used. . Further, in this embodiment, the slit is used as the spatial filter 22, but a mask pattern drawn on a glass plate or the like may be used as the spatial filter. Structure, function, number, etc. of other parts of the photo-curing method
The size, connection relationship, etc. are not limited to those in this embodiment.

【0024】[0024]

【発明の効果】請求項1に係る発明においては、光線の
ビーム径を変化させ、またはビーム径を変化させるとと
もに光線の強度を変化させることによって光強度分布を
変化させる光硬化造形方法を創出したために、光硬化の
過程における製品の各層の各部分においてレーザ光の光
強度分布を最適な形状とすることができ、光線の照射に
よる光硬化性樹脂の硬化径と硬化深さの比率を変化させ
て最適な硬化径と硬化深さを得ることができる。これに
よって、製品の各層の各部分における硬化径と硬化深さ
とを最適化して、より高精度な製品を造形することがで
きる実用的な光硬化造形方法となる。
According to the first aspect of the present invention, a photo-curing molding method is created in which the light intensity distribution is changed by changing the beam diameter of a light beam, or by changing the beam diameter and the light intensity. In addition, the light intensity distribution of the laser light can be optimized in each part of each layer of the product during the photocuring process, and the ratio of the cure diameter and the cure depth of the photocurable resin due to the irradiation of the light beam can be changed. Thus, the optimum hardening diameter and hardening depth can be obtained. As a result, it becomes a practical photo-curing molding method capable of optimizing the cured diameter and the cured depth in each part of each layer of the product to form a more accurate product.

【0025】また、請求項2に係る発明においては、光
硬化性樹脂に照射される光線の強度を変化させるととも
に光硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち消すように光線の
ビーム径を変化させる光硬化造形方法を創出したため
に、照射される際の光線の強度が変化しても光硬化性樹
脂の硬化径は変化せず、光硬化性樹脂の硬化径を一定に
保ったまま硬化深さを変化させることができる。これに
よって、光硬化させる層の厚さを変えつつ、造形される
製品の寸法精度を高精度に保つことができる実用的な光
硬化造形方法となる。
According to the second aspect of the present invention, the light for changing the beam diameter of the light beam so as to change the intensity of the light beam applied to the photocurable resin and cancel the change in the cure diameter of the photocurable resin. Due to the creation of a curing modeling method, the cured diameter of the photocurable resin does not change even if the intensity of the light beam when irradiated changes, and the curing depth is maintained while keeping the cured diameter of the photocurable resin constant. Can be changed. As a result, it becomes a practical photo-curing modeling method capable of maintaining the dimensional accuracy of the product to be molded with high accuracy while changing the thickness of the layer to be photo-cured.

【0026】また、請求項3に係る発明においては、光
線のビーム径の変化をビームエクスパンダを構成するレ
ンズを光軸方向に沿って移動させることによって行う光
硬化造形方法を創出したために、新たな光学要素を追加
することなく、容易かつ精密にビーム径を変化させるこ
とができる。このようにして、光線による光硬化性樹脂
の硬化径を変えることなく硬化深さを変えるという目的
を容易かつ確実に達成することができる実用的な光硬化
造形方法となる。
Further, in the invention according to claim 3, since a photo-curing modeling method for changing the beam diameter of the light beam by moving the lens constituting the beam expander along the optical axis direction is newly created. The beam diameter can be changed easily and precisely without adding a special optical element. In this way, a practical photo-curing modeling method can easily and surely achieve the purpose of changing the cure depth without changing the cure diameter of the photo-curable resin by light rays.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明に係る光硬化造形方法の一実施例に用い
られる光硬化造形装置の構成を示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a configuration of a photo-curing modeling apparatus used in an embodiment of a photo-curing modeling method according to the present invention.

【図2】光硬化造形方法の一実施例に用いられる光硬化
造形装置の構成を示す正面図である。
FIG. 2 is a front view showing the configuration of a photo-curing modeling apparatus used in an embodiment of the photo-curing modeling method.

【図3】光硬化造形方法の一実施例における光硬化深さ
及び硬化径の調節の方法を示す説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram showing a method of adjusting a photo-curing depth and a curing diameter in an example of the photo-curing modeling method.

【図4】従来の光硬化造形方法を示す説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a conventional photo-curing modeling method.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 光硬化造形装置 6 光線 40 光硬化性樹脂 2 photo-curing modeling device 6 rays 40 photo-curing resin

Claims (3)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光硬化性樹脂に選択的に光線を照射して
該光硬化性樹脂を選択的に硬化させることによって三次
元の形状を造形する光硬化造形方法であって、 前記光硬化性樹脂に照射される前記光線のビーム径を変
化させ、または前記光線のビーム径を変化させるととも
に前記光線の強度を変化させることによって、前記光線
の前記光硬化性樹脂の表面における光強度分布を変化さ
せることを特徴とする光硬化造形方法。
1. A photocurable molding method for modeling a three-dimensional shape by selectively irradiating a photocurable resin with a light beam to selectively cure the photocurable resin, wherein the photocurable resin By changing the beam diameter of the light beam applied to the resin, or by changing the beam diameter of the light beam and the intensity of the light beam, the light intensity distribution of the light beam on the surface of the photocurable resin is changed. A photo-curing modeling method comprising:
【請求項2】 光硬化性樹脂に選択的に光線を照射して
該光硬化性樹脂を選択的に硬化させることによって三次
元の形状を造形する光硬化造形方法であって、 前記光硬化性樹脂に照射される際の前記光線の強度を変
化させるとともに、前記光線の強度の変化による前記光
硬化性樹脂の硬化径の変化を打ち消すように前記光硬化
性樹脂に照射される前記光線のビーム径を変化させるこ
とを特徴とする光硬化造形方法。
2. A photocurable molding method for molding a three-dimensional shape by selectively irradiating a photocurable resin with a light beam to selectively cure the photocurable resin, wherein the photocurable resin A beam of the light beam irradiated to the photocurable resin so as to change the intensity of the light beam when irradiated on the resin and cancel the change in the curing diameter of the photocurable resin due to the change in the intensity of the light beam. A photo-curing modeling method characterized by changing a diameter.
【請求項3】 請求項1または請求項2に記載の光硬化
造形方法であって、前記光線のビーム径の変化をビーム
エクスパンダを構成するレンズを光軸方向に沿って移動
させることによって行うことを特徴とする光硬化造形方
法。
3. The photo-curing modeling method according to claim 1, wherein the beam diameter of the light beam is changed by moving a lens constituting a beam expander along an optical axis direction. A photo-curing molding method characterized by the above.
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