JPH09159055A - Detecting method for chamber inside moving object and device thereof - Google Patents
Detecting method for chamber inside moving object and device thereofInfo
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- JPH09159055A JPH09159055A JP31676795A JP31676795A JPH09159055A JP H09159055 A JPH09159055 A JP H09159055A JP 31676795 A JP31676795 A JP 31676795A JP 31676795 A JP31676795 A JP 31676795A JP H09159055 A JPH09159055 A JP H09159055A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、チャンバ内移動物
体の検出方法及び装置に関し、特に、移動物体の第１磁
石からの磁界に対し逆バイアス磁界を与えて、検出感度
を向上させるための新規な改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method and apparatus for detecting a moving object in a chamber, and more particularly to a novel method for applying a reverse bias magnetic field to the magnetic field from the first magnet of the moving object to improve the detection sensitivity. Related to improvements.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、用いられていたこの種のチャンバ
内移動物体の検出方法としては、一般に、図６で示すよ
うに、移動物体１（例えば、真空ゲートバルブの弁体）
に設けた磁石２の磁気をチャンバ３の外側に位置するリ
ードスイッチ４で検出し、移動物体１の位置を検出して
いた。また、他の従来例としては、ここでは図示してい
ないが、レーザー光を用いて移動物体の動きを検出する
光学式検出方法も採用されている。2. Description of the Related Art As a conventional method of detecting a moving object in a chamber of this type, as shown in FIG. 6, a moving object 1 (for example, a valve element of a vacuum gate valve) is generally used.
The reed switch 4 located outside the chamber 3 detects the magnetism of the magnet 2 provided at the position to detect the position of the moving object 1. Further, as another conventional example, although not shown here, an optical detection method for detecting the movement of a moving object using a laser beam is also adopted.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】従来のチャンバ内移動
物体の検出方法は、以上のように構成されていたため、
次のような課題が存在していた。すなわち、前述の図６
で示す構成の場合、移動物体に設けた磁石の磁界強度に
は限界があり、そのため、このチャンバの板厚を介して
リードスイッチで検出できる板厚は、１０mmが限度であ
った。従って、従来のように１０mm位の板厚のチャンバ
であれば検出可能であるが、最近のように、チャンバが
半導体の高集積化に伴って大型化かつ高真空度化してく
ると、板厚も２０mm、３０mmとなり、このような従来構
成の検出方法では不可能となっていた。また、前述の光
学式の検出方法の場合、レーザー光を反射させて受光す
る構成であるため、光学系の構成が複雑かつ高価とな
り、さらには、真空チャンバに適用する場合には、真空
雰囲気を保ちつつ光学部品を取付ける必要があるため、
装着が極めて困難であった。Since the conventional method for detecting a moving object in a chamber is configured as described above,
The following issues existed. That is, FIG.
In the case of the configuration shown in (1), the magnetic field strength of the magnet provided on the moving object is limited, so that the plate thickness that can be detected by the reed switch via the plate thickness of this chamber is limited to 10 mm. Therefore, it is possible to detect a chamber with a plate thickness of about 10 mm as in the conventional case, but as recently the chamber becomes larger and the vacuum degree increases with the high integration of semiconductors, the plate thickness can be increased. Also becomes 20 mm and 30 mm, which is impossible with the detection method having such a conventional configuration. Further, in the case of the above-mentioned optical detection method, since the laser light is reflected and received, the structure of the optical system becomes complicated and expensive, and when applied to a vacuum chamber, a vacuum atmosphere is required. Since it is necessary to install optical components while keeping it,
It was extremely difficult to wear.
【０００４】本発明は、以上のような課題を解決するた
めになされたもので、特に、移動物体の第１磁石からの
磁界に対し逆バイアス磁界を与えて、検出感度を向上さ
せるようにしたチャンバ内移動物体の検出方法及び装置
を提供することを目的とする。The present invention has been made in order to solve the above problems, and in particular, a reverse bias magnetic field is applied to the magnetic field from the first magnet of the moving object to improve the detection sensitivity. An object is to provide a method and apparatus for detecting a moving object in a chamber.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】本発明によるチャンバ内
移動物体の検出方法は、非磁性体よりなるチャンバ内で
移動する移動物体の動きを、前記移動物体に設けた第１
磁石からの磁気を前記チャンバの外部に設けたリードス
イッチで検出することによって、検出するようにしたチ
ャンバ内移動物体の検出方法において、前記第１磁石か
らの磁界に対して逆磁界バイアスを与える方法である。A method of detecting a moving object in a chamber according to the present invention is characterized in that the movement of a moving object moving in a chamber made of a non-magnetic material is provided in the moving object.
A method for detecting a moving object in a chamber by detecting the magnetism from a magnet with a reed switch provided outside the chamber, wherein a reverse magnetic field bias is applied to the magnetic field from the first magnet. Is.
【０００６】さらに詳細には、前記リードスイッチは、
磁性材ケースを除去して用いる方法である。More specifically, the reed switch is
This is a method in which the magnetic material case is removed and used.
【０００７】本発明によるチャンバ内移動物体の検出装
置は、非磁性体よりなるチャンバ内で移動する移動物体
の動きを、前記移動物体に設けた第１磁石からの磁気を
前記チャンバの外部に設けたリードスイッチで検出する
ことにより検出するようにしたチャンバ内移動物体の検
出装置において、前記第１磁石と対向しかつ前記リード
スイッチの外側に位置する第２磁石を有し、前記各磁石
の各磁極は互いに同一磁極同志が対向している構成であ
る。In the apparatus for detecting a moving object in a chamber according to the present invention, the movement of the moving object made of a non-magnetic material is provided outside the chamber by magnetizing the first magnet provided in the moving object. In a detection device for a moving object in a chamber, which is configured to detect by a reed switch, a second magnet that faces the first magnet and is located outside the reed switch is provided. The magnetic poles are configured such that the same magnetic poles face each other.
【０００８】さらに詳細には、前記移動物体は、真空ゲ
ートバルブの弁体よりなる構成である。従って、チャン
バの外側に位置するリードスイッチの外側位置に、移動
物体の第１磁石と対向して第２磁石を設け、この第２磁
石から第１磁石の磁界に対して逆磁界バイアスを与えて
いるため、磁束が狭く集中、すなわち、密集することに
なり、磁気が強くなるためリードスイッチの検出感度を
向上させることができる。また、このリードスイッチを
覆っている磁性材ケースを除去して用いることにより、
リードスイッチの部分に磁束が集中し、検出感度をさら
に高くすることができ、チャンバの板厚が３０mm〜５０
mmになった場合でも検出することができ、信頼性の向上
と、価格の低下を実現することができる。More specifically, the moving object is composed of a valve body of a vacuum gate valve. Therefore, a second magnet is provided at a position outside the reed switch located outside the chamber so as to face the first magnet of the moving object, and a reverse magnetic field bias is applied to the magnetic field of the first magnet from the second magnet. Therefore, the magnetic flux is narrowed and concentrated, that is, concentrated, and the magnetism is increased, so that the detection sensitivity of the reed switch can be improved. Also, by removing the magnetic material case that covers this reed switch,
The magnetic flux concentrates on the reed switch part, and the detection sensitivity can be further increased, and the chamber plate thickness is 30 mm to 50 mm.
Even when the size becomes mm, it can be detected, and the reliability can be improved and the price can be reduced.
【０００９】[0009]
【発明の実施の形態】以下、図面と共に本発明によるチ
ャンバ内移動物体の検出方法及び装置の好適な実施例に
ついて詳細に説明する。なお、従来例と同一又は同等部
分については同一符号を用いて説明する。図１において
符号１で示されるものは、チャンバ３内に移動自在に設
けられ、例えば、真空ゲート弁の弁体からなる移動物体
であり、この移動物体１の内面側には、Ｏリングシール
１ａを介して装着された蓋１ｂによりサマリウムコバル
トからなる第１磁石２が内設されている。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Preferred embodiments of a method and apparatus for detecting a moving object in a chamber according to the present invention will be described in detail below with reference to the drawings. Note that the same or equivalent parts as those in the conventional example will be described using the same reference numerals. A reference numeral 1 in FIG. 1 denotes a moving object that is movably provided in the chamber 3, and is, for example, a valve body of a vacuum gate valve. The moving object 1 has an O-ring seal 1 a on the inner surface side. The first magnet 2 made of samarium-cobalt is internally provided by the lid 1b attached via the.
【００１０】前記移動物体１は、このチャンバ３内にお
いて矢印Ａに沿って移動自在に設けられており、この移
動物体１の移動によりこのチャンバ３に形成された開口
（図示せず）の開閉を行うことができるように構成され
ている。なお、この移動物体１とチャンバ３の壁３ａと
の間隔Ｄ1は約３〜５mmに設定されている。The moving object 1 is movably provided in the chamber 3 along the arrow A, and an opening (not shown) formed in the chamber 3 is opened and closed by the movement of the moving object 1. It is configured to be able to do. The distance D 1 between the moving object 1 and the wall 3a of the chamber 3 is set to about 3-5 mm.
【００１１】前記チャンバ３の壁３ａの外面には、セン
サとしての周知のリードスイッチ４が設けられ、このリ
ードスイッチ４は、一般に用いられている薄い磁性材か
らなる磁性材ケースを除去して構成されていると共に、
この壁３ａの厚さは約３０mmのアルミニウムよりなる非
磁性材で構成されている。A well-known reed switch 4 as a sensor is provided on the outer surface of the wall 3a of the chamber 3, and the reed switch 4 is constructed by removing a magnetic material case made of a generally used thin magnetic material. Is being done,
The wall 3a has a thickness of about 30 mm and is made of a non-magnetic material made of aluminum.
【００１２】前記リードスイッチ４の外側位置には、前
記第１磁石２と対向してサマリウムコバルトから構成さ
れた第２磁石１０が設けられており、この第２磁石１０
は、このリードスイッチ４との距離Ｄ2を自在に可変と
することができるように、例えば、周知のモータ駆動の
ボールねじとナットの組合せ又はピニオンとラック等の
手段によって構成されている。A second magnet 10 made of samarium cobalt is provided outside the reed switch 4 so as to face the first magnet 2, and the second magnet 10 is provided.
In order that the distance D 2 from the reed switch 4 can be freely changed, it is constituted by means of a well-known motor-driven ball screw and nut combination or a pinion and rack means.
【００１３】前記各第１、第２磁石２，１０は、図３で
示すように構成されており、第１磁石２は左側からＳ極
及びＮ極の磁極の順に着磁されている。また、第２磁石
１０は、この第１磁石２の磁極の順と同様に、互いに同
一磁極同志が反発する状態で対向するように左側からＳ
極及びＮ極の磁極の順に着磁されている。従って、前記
第１磁石２の磁界２ａに対し、図２で示すように、第２
磁石１０の磁界１０ａはこの磁界２ａに対して逆磁界バ
イアスとして作用することにより、磁束が狭くなって密
集する幅の狭いシャープな状態となる。一方、この各磁
石２，１０の磁極を図５で示すように、互いに吸着する
ように正磁界とした磁界バイアスでは、磁束が広がって
幅の広い非シャープな状態となる。Each of the first and second magnets 2 and 10 is constructed as shown in FIG. 3, and the first magnet 2 is magnetized in the order of the S pole and the N pole from the left side. Also, the second magnets 10 are arranged from the left side in the same manner as the order of the magnetic poles of the first magnet 2 so that they face each other in a state where the same magnetic poles repel each other.
It is magnetized in the order of the pole and the N pole. Therefore, as shown in FIG. 2, the second magnetic field 2a of the first magnet 2
The magnetic field 10a of the magnet 10 acts as a reverse magnetic field bias with respect to the magnetic field 2a, so that the magnetic flux is narrowed and the magnetic field 10a is in a narrow and sharp state where the magnetic flux is concentrated. On the other hand, as shown in FIG. 5, in the magnetic field bias in which the magnetic poles of the magnets 2 and 10 are positive magnetic fields so as to be attracted to each other, the magnetic flux spreads and becomes a wide non-sharp state.
【００１４】従って、前述の状態で、チャンバ３内の移
動物体１が移動し、閉時位置Ａから開時位置Ｂに位置す
ると共に、第１磁石２と第２磁石１０が対向した状態と
なると、前述の第２磁石１０の磁界１０ａは第１磁石２
の磁界に対して逆磁界バイアスとして作用して図２に示
すように磁束はリードスイッチ４に集中することになる
と共に、このリードスイッチ４の磁性材ケースが除去さ
れた状態であるため、リードスイッチ４への磁束の集中
が極めて強くなり、リードスイッチ４は高感度の検出を
することができ、移動物体１の開時位置Ｂを検出するこ
とができる。Therefore, in the above-mentioned state, when the moving object 1 in the chamber 3 moves and is positioned from the closed position A to the open position B, the first magnet 2 and the second magnet 10 face each other. , The magnetic field 10a of the second magnet 10 is the same as the first magnet 2
2 acts as a reverse magnetic field bias to concentrate the magnetic flux in the reed switch 4 as shown in FIG. 2, and since the magnetic material case of the reed switch 4 is removed, The concentration of the magnetic flux on 4 is extremely strong, the reed switch 4 can detect with high sensitivity, and the open position B of the moving object 1 can be detected.
【００１５】なお、前述の検出状態下において、前記第
２磁石１０をリードスイッチ４に対して接近させるほ
ど、高感度検出を行うことができ、実験の結果による
と、チャンバ３の壁３ａの厚さが最大で５０mm迄正確な
検出を行うことが可能であった。Under the above-mentioned detection condition, the closer the second magnet 10 is to the reed switch 4, the higher the sensitivity can be detected. According to the result of the experiment, the thickness of the wall 3a of the chamber 3 can be increased. It was possible to perform accurate detection up to a maximum of 50 mm.
【００１６】[0016]
【発明の効果】本発明によるチャンバ内移動物体の検出
方法及び装置は、以上のように構成されているため、次
のような効果を得ることができる。すなわち、第１磁石
の磁界に対して第２磁石からの逆磁界バイアスをかけて
いるため、磁束がリードスイッチの部分に集中して検出
感度の向上を得ることができ、従来不可能とされていた
５０mmの板厚のチャンバに対しても検出が可能となり、
大型化かつ高真空度化されたチャンバにおける移動物体
の検出を容易かつ高精度に行うことができる。Since the method and apparatus for detecting a moving object in a chamber according to the present invention are configured as described above, the following effects can be obtained. That is, since the reverse magnetic field bias from the second magnet is applied to the magnetic field of the first magnet, the magnetic flux concentrates on the reed switch portion, and the detection sensitivity can be improved, which is conventionally impossible. It is possible to detect even a chamber with a plate thickness of 50 mm,
It is possible to easily and highly accurately detect a moving object in a chamber having a large size and a high degree of vacuum.
【図１】本発明によるチャンバ内移動物体の検出方法を
適用した装置を示す構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram showing an apparatus to which a method for detecting a moving object in a chamber according to the present invention is applied.
【図２】図１の逆磁界バイアスを付加した状態を示す説
明図である。FIG. 2 is an explanatory diagram showing a state in which a reverse magnetic field bias of FIG. 1 is added.
【図３】図１の各磁石を示す構成図である。3 is a configuration diagram showing each magnet of FIG. 1. FIG.
【図４】図１の逆磁界バイアスを付加しない状態を示す
説明図である。FIG. 4 is an explanatory diagram showing a state in which the reverse magnetic field bias of FIG. 1 is not added.
【図５】図４に対応した各磁石を示す構成図である。5 is a configuration diagram showing each magnet corresponding to FIG. 4. FIG.
【図６】従来の検出装置を示す構成図である。FIG. 6 is a configuration diagram showing a conventional detection device.
１ 移動物体 ２ 第１磁石 ３ チャンバ ４ リードスイッチ １０ 第２磁石 1 Moving Object 2 First Magnet 3 Chamber 4 Reed Switch 10 Second Magnet
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 相原 敏郎 東京都大田区下丸子３丁目30番２号 キヤ ノン株式会社内 (72)発明者 林 雄造 東京都中央区築地４丁目７番１号 築地三 井ビルディング９階 入江工研株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Toshiro Aihara 3-30-2 Shimomaruko, Ota-ku, Tokyo Canon Inc. (72) Yuzo Hayashi 4-7-1, Tsukiji, Chuo-ku, Tokyo Sanzo Tsukiji I Building 9F Irie Koken Co., Ltd.
Claims (4)
する移動物体(1)の動きを、前記移動物体(1)に設けた第
１磁石(2)からの磁気を前記チャンバ(3)の外部に設けた
リードスイッチ(4)で検出することによって、検出する
ようにしたチャンバ内移動物体の検出方法において、前
記第１磁石(2)からの磁界に対して逆磁界バイアスを与
えることを特徴とするチャンバ内移動物体の検出方法。1. The movement of a moving object (1) moving in a chamber (3) made of a non-magnetic material is converted into a magnetic field from a first magnet (2) provided in the moving object (1). ), A reverse magnetic field bias is applied to the magnetic field from the first magnet (2) in the method of detecting a moving object in a chamber by detecting with a reed switch (4) provided outside A method for detecting a moving object in a chamber, comprising:
スを除去して用いることを特徴とするチャンバ内移動物
体の検出方法。2. A method for detecting a moving object in a chamber, wherein the reed switch (4) is used after removing a magnetic material case.
する移動物体(1)の動きを、前記移動物体(1)に設けた第
１磁石(2)からの磁気を前記チャンバ(3)の外部に設けた
リードスイッチ(4)で検出することによって、検出する
ようにしたチャンバ内移動物体の検出装置において、前
記第１磁石(2)と対向しかつ前記リードスイッチ(4)の外
側に位置する第２磁石(10)を有し、前記各磁石(2,10)の
各磁極は互いに同一磁極同志が対向している構成よりな
ることを特徴とするチャンバ内移動物体の検出装置。3. The movement of a moving object (1) that moves in a chamber (3) made of a non-magnetic material, the magnetism from a first magnet (2) provided in the moving object (1) is transferred to the chamber (3). ) Outside the reed switch (4) in the detection device of the moving object in the chamber, which is detected by the reed switch (4) provided outside the reed switch (4). 2. An apparatus for detecting a moving object in a chamber, comprising: a second magnet (10) located at the position (2), and the respective magnetic poles of the respective magnets (2, 10) are arranged such that the same magnetic poles face each other.
の弁体よりなることを特徴とする請求項３記載のチャン
バ内移動物体の検出装置。4. The apparatus for detecting a moving object in a chamber according to claim 3, wherein the moving object (1) comprises a valve body of a vacuum gate valve.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31676795A JPH09159055A (en) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Detecting method for chamber inside moving object and device thereof |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP31676795A JPH09159055A (en) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Detecting method for chamber inside moving object and device thereof |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09159055A true JPH09159055A (en) | 1997-06-17 |
Family
ID=18080706
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP31676795A Pending JPH09159055A (en) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Detecting method for chamber inside moving object and device thereof |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH09159055A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2001055202A (en) * | 1999-02-03 | 2001-02-27 | Takazono Sangyo Kk | Medicine packaging apparatus, method for controlling the same, subdivision packing sheet, and paper tube for the subdivision packing sheet |
| JP2009227469A (en) * | 1999-02-03 | 2009-10-08 | Takazono Sangyo Co Ltd | Paper tube for wrapping paper and wrapping paper roll |
-
1995
- 1995-12-05 JP JP31676795A patent/JPH09159055A/en active Pending
Cited By (7)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| JP2001055202A (en) * | 1999-02-03 | 2001-02-27 | Takazono Sangyo Kk | Medicine packaging apparatus, method for controlling the same, subdivision packing sheet, and paper tube for the subdivision packing sheet |
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| JP2010149933A (en) * | 1999-02-03 | 2010-07-08 | Takazono Sangyo Co Ltd | Medicine packaging device, control method for medicine packaging device, and discrete packaging paper and paper tube for discrete packaging paper |
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| JP2012214255A (en) * | 1999-02-03 | 2012-11-08 | Takazono Sangyo Co Ltd | Medicine packaging device, method for controlling medicine packaging device, and discrete packaging paper and paper tube for discrete packaging paper |
| JP2014028662A (en) * | 1999-02-03 | 2014-02-13 | Takazono Corp | Medicine packaging device, method for controlling medicine packaging device, packaging paper and paper tube for packaging paper |
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Legal Events
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Effective date: 20050209 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 |
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