JPH09159047A - Switch drive device for valve - Google Patents
Switch drive device for valveInfo
- Publication number
- JPH09159047A JPH09159047A JP31616695A JP31616695A JPH09159047A JP H09159047 A JPH09159047 A JP H09159047A JP 31616695 A JP31616695 A JP 31616695A JP 31616695 A JP31616695 A JP 31616695A JP H09159047 A JPH09159047 A JP H09159047A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- opening
- valve
- signal
- valve body
- aperture
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Fluid-Driven Valves (AREA)
- Indication Of The Valve Opening Or Closing Status (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は弁の開閉駆動装置、
詳しくは、プラグ弁やスライド弁などのように、高温触
媒の流量コントロールなどに使用されるもので、弁本体
内部の流体通路の開度を弁体の直線運動や摺動運動によ
って調整したり、開閉するように構成してなる弁の開閉
駆動装置に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a valve opening / closing drive device,
Specifically, it is used for controlling the flow rate of high temperature catalysts such as plug valves and slide valves, and the opening of the fluid passage inside the valve body can be adjusted by linear movement and sliding movement of the valve body, The present invention relates to a valve opening / closing drive device configured to open / close.
【0002】[0002]
【従来の技術】この種の弁の開閉駆動装置として、従来
一般には、図4に示すような構成のものが用いられてい
た。図4において、10はプラグ弁やスライド弁などの
弁であり、この弁10における弁本体内の内部流体通路
(図示省略する)を開閉する弁体(図示省略する)の開
閉駆動装置としての油圧シリンダなどの流体圧シリンダ
11の可動ロッド12が連結されている。この流体圧シ
リンダ11には弁体の開度位置を検出する開度センサ1
3が付設されており、この開度センサ13による開度位
置信号S1と外部から操作入力される開度指令信号S2
とを入力させて、それら両信号S1,S2の偏差を検出
するサーボアンプ14が設けられているとともに、この
サーボアンプ14から出力される上記偏差に対応する制
御信号S3に基づいてサーボ弁15を介して上記流体圧
シリンダ11の作動を自動制御して上記弁体の開度が指
令開度になるように調整するように構成している。2. Description of the Related Art As a valve opening / closing driving device of this type, a device having a structure shown in FIG. 4 has been generally used. In FIG. 4, reference numeral 10 denotes a valve such as a plug valve or a slide valve, and a hydraulic pressure as an opening / closing drive device for a valve body (not shown) that opens and closes an internal fluid passage (not shown) in the valve body of the valve 10. A movable rod 12 of a fluid pressure cylinder 11 such as a cylinder is connected. The fluid pressure cylinder 11 has an opening sensor 1 for detecting the opening position of the valve body.
3 is additionally provided, and an opening position signal S1 from the opening sensor 13 and an opening command signal S2 that is externally input.
Is provided to detect the deviation between the signals S1 and S2, and the servo valve 15 is operated based on the control signal S3 corresponding to the deviation output from the servo amplifier 14. Through this, the operation of the fluid pressure cylinder 11 is automatically controlled to adjust the opening degree of the valve element to the command opening degree.
【0003】また、上記開度センサ13による開度位置
信号S1と外部から操作入力される開度指令信号S2と
を入力させて、それら両信号S1,S2の偏差が設定値
(約2%程度)を超え、かつ、所定時間(全開全閉時間
の20%増し程度の数秒〜10数秒)を経過したか否か
を検知する検知器16を設け、この検知器16が作動し
たとき、スティックなどの作動不良、作動不能の発生が
あったと判断してアラーム信号S4を出力させ、そのア
ラーム信号S4に基づいて開度指令信号S2の入力を停
止するなどのフェイルセーフ動作を行うように構成され
ている。Further, an opening position signal S1 from the opening sensor 13 and an opening command signal S2 that is externally input are input, and the deviation between these signals S1 and S2 is set to a set value (about 2%). ) And a predetermined time (several seconds to several tens of seconds, which is about 20% increase of the fully open and fully closed time), is provided with a detector 16, and when the detector 16 is activated, a stick or the like is provided. It is configured to perform the fail-safe operation such as determining that there is a malfunction or inoperability of the alarm signal S4, outputting the alarm signal S4, and stopping the input of the opening degree instruction signal S2 based on the alarm signal S4. There is.
【0004】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上記のように構成され
ている従来の弁の開閉駆動装置においては、スティック
などの作動不良、作動不能の発生に対しても適確な開度
調整機能を発揮するものの、例えば弁体が開度指令信号
に反して逆方向に作動するなどの制御トラブルによる異
常動作発生時には、正常時における動作遅れ、つまりス
ティックなどの作動不良、作動不能の発生であるのか否
かの見きわめ時間(数秒〜10数秒)が必要なために、
対応がどうしても遅れることになり、その間に弁体の開
度が進み全開あるいは全閉となってトラブルが助長さ
れ、弁開度が暴走してしまうという問題があった。In the conventional valve opening / closing drive configured as described above, a proper opening adjusting function is exhibited even when malfunctions or inoperability of sticks and the like occur. However, if an abnormal operation occurs due to a control trouble, such as the valve element operating in the opposite direction against the opening command signal, it may be an operation delay during normal operation, that is, whether the stick or the like is malfunctioning or inoperable. Because it takes time to find out (several seconds to 10 seconds),
The response was inevitably delayed, and during that time, the opening of the valve element advanced and became fully open or fully closed, which promoted troubles and the valve opening went out of control.
【0005】そこで本発明は上記実情に鑑みてなされた
もので、正常動作時におけるスティックなどの作動不
良、作動不能の発生に対して適確な開度調整機能を発揮
するのはもちろん、制御トラブルなどの異常動作を素早
く検知して緊急停止することができる弁の開閉駆動装置
を提供することを目的としている。Therefore, the present invention has been made in view of the above circumstances, and it is of course possible to exert a proper opening adjustment function against occurrence of malfunction or inoperability of a stick or the like during normal operation, as well as control trouble. It is an object of the present invention to provide a valve opening / closing drive device capable of quickly detecting an abnormal operation such as and performing an emergency stop.
【0006】[0006]
【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、本発明に係る弁の開閉駆動装置は、弁本体の内部流
体通路を開閉する弁体と、この弁体の開度位置を検出す
る開度センサと、この開度センサによる開度位置信号と
開度指令信号との偏差を検出して、その偏差に対応する
制御信号に基づいて上記弁体の開度を自動制御する開度
自動制御装置とを備えてなる弁の開閉駆動装置におい
て、上記開度センサによる開度位置信号を微分して弁体
開度の変化方向を検知する手段と、上記開度指令信号を
微分してその指令信号の変化方向を検知する手段と、こ
れら両変化方向検知信号の符号をチェックして両符号が
不一致のとき、停止信号を出力する手段とを具備してい
ることを特徴とするものであり、正常動作時には、開度
センサによる開度位置信号と外部から入力される開度指
令信号との偏差を検出して、その偏差に対応する制御信
号に基づいて弁体の開度を自動制御して、例えばスティ
ックなどの作動不良、作動不能に対しても適確な開度調
整機能を果たしつつ、常に上記両信号を微分してそれら
の変化方向を検知しており、この状態で、例えば弁体が
開度指令信号に反して逆方向に作動するなどの制御トラ
ブルによる異常動作が発生したならば、上記両変化方向
検知信号の符号のチェックにより素早く停止信号を出力
させて、トラブルを拡大することのないように、開度調
整動作を緊急停止することが可能である。In order to achieve the above object, a valve opening / closing drive device according to the present invention detects a valve body for opening and closing an internal fluid passage of a valve body and an opening position of the valve body. An opening sensor that detects a deviation between the opening position signal and the opening command signal by the opening sensor, and automatically controls the opening of the valve body based on a control signal corresponding to the deviation. In a valve opening / closing drive device comprising an automatic control device, a means for differentiating the opening position signal by the opening sensor to detect the changing direction of the valve opening, and a differentiation of the opening command signal. It is characterized by comprising means for detecting the changing direction of the command signal, and means for checking the signs of both the changing direction detection signals and outputting a stop signal when the signs do not match. Yes, during normal operation, the opening position by the opening sensor The deviation between the signal and the opening command signal input from the outside is detected, and the opening of the valve element is automatically controlled based on the control signal corresponding to the deviation, for example, a malfunction of the stick or the like can be disabled. On the other hand, while always performing the appropriate opening adjustment function, the two signals are always differentiated to detect their changing directions.In this state, for example, the valve body moves in the opposite direction against the opening command signal. If an abnormal operation occurs due to control trouble such as operation, the stop adjustment signal is output promptly by checking the sign of both change direction detection signals, and the opening adjustment operation is urgent so as not to expand the trouble. It is possible to stop.
【0007】ここで、弁体の開度を自動制御するための
制御信号としては、流体圧式駆動装置の作動を制御する
ためのサーボ弁へのサーボ電流が用いられる。また、上
記停止信号の出力に並行してブザーなどの警報を作動さ
せることが望ましい。Here, as a control signal for automatically controlling the opening degree of the valve body, a servo current to a servo valve for controlling the operation of the fluid pressure type drive device is used. Further, it is desirable to activate an alarm such as a buzzer in parallel with the output of the stop signal.
【0008】[0008]
【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態を図面
に基づいて説明する。図1は本発明に係る弁の開閉駆動
装置の全体構成図であり、同図に記した10〜15,S
1,S2,S3は図4に示す従来例と同一の構成である
ため、同一の符号を付して、それらの詳しい説明は省略
する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is an overall configuration diagram of a valve opening / closing drive device according to the present invention.
Since 1, S2 and S3 have the same configuration as the conventional example shown in FIG. 4, the same reference numerals are given and detailed description thereof is omitted.
【0009】図1において、17,18は微分回路で、
そのうち一方の微分回路17は開度センサ13による開
度位置信号S1を微分して弁体開度の変化方向を検知す
る手段を、また、他方の微分回路18は外部から入力さ
れる開度指令信号S2を微分してその開度指令信号S2
の変化方向を検知する手段をそれぞれ構成している。1
9は方向判定回路で、これは上記両変化方向検知信号の
符号(+,−)をチェックして両符号(+,−)が不一
致のとき、サーボ弁15に対して停止信号S5を出力す
る手段を構成し、この停止信号S5が出力された時、流
体圧シリンダとしての油圧シリンダ11の作動を緊急停
止するように構成されている。In FIG. 1, 17 and 18 are differentiating circuits,
One of the differentiating circuits 17 is means for differentiating the opening position signal S1 from the opening sensor 13 to detect the direction of change of the valve opening, and the other differentiating circuit 18 is an opening command input from the outside. The signal S2 is differentiated and its opening command signal S2
And a means for detecting the direction of change of the respective. 1
Reference numeral 9 denotes a direction determination circuit, which checks the signs (+,-) of the both changing direction detection signals and outputs a stop signal S5 to the servo valve 15 when the signs (+,-) do not match. When the stop signal S5 is output, the operation of the hydraulic cylinder 11 as the fluid pressure cylinder is stopped urgently.
【0010】図2は上記弁10の一例として適用したス
ライド弁の断面構造を示すもので、1は弁本体で、その
内部には触媒などの流体通路1Aを有しており、流体配
管2に接続されている。3がスライド弁体で、該スライ
ド弁体3は、上記弁本体1内部の流体通路1Aの両側に
形成された段部1B,1Bとこれら段部1B,1Bに対
向配置されて弁本体1に固定されたガイド4,4に摺接
案内されて、上記流体通路1Aを横断する方向に摺動運
動可能に支持されており、その摺動運動により上記流体
通路1Aの開度を調整し、かつ、開閉するように構成さ
れている。そして、スライド弁体3の一端が上記油圧シ
リンダ11の可動ロッド12に連結されている。FIG. 2 shows a sectional structure of a slide valve applied as an example of the valve 10. Reference numeral 1 denotes a valve main body, which has a fluid passage 1A for a catalyst or the like, and a fluid pipe 2 It is connected. Reference numeral 3 denotes a slide valve body, and the slide valve body 3 is provided on the valve body 1 so as to face the step portions 1B and 1B formed on both sides of the fluid passage 1A inside the valve body 1 and the step portions 1B and 1B. It is slidably guided by the fixed guides 4 and 4 and supported so as to be slidable in a direction traversing the fluid passage 1A. The sliding movement adjusts the opening of the fluid passage 1A, and , Is configured to open and close. One end of the slide valve body 3 is connected to the movable rod 12 of the hydraulic cylinder 11.
【0011】上記のように構成されたスライド弁10の
開閉駆動装置においては、通常、外部から入力される開
度指令信号S2と開度センサ13により検出される現在
の開度位置信号S1との偏差がサーボアンプ14によっ
て検出され、その検出された偏差に対応する制御信号S
3に基づいてサーボ弁15を介して上記油圧シリンダ1
1の作動を自動制御して上記スライド弁体3の開度が指
令開度になるように調整され、所定の流量コントロール
が行われる。In the opening / closing drive device for the slide valve 10 configured as described above, normally, the opening command signal S2 input from the outside and the current opening position signal S1 detected by the opening sensor 13 are provided. A deviation is detected by the servo amplifier 14, and a control signal S corresponding to the detected deviation is detected.
3 through the servo valve 15 based on the hydraulic cylinder 1
The operation of No. 1 is automatically controlled to adjust the opening of the slide valve body 3 to the command opening, and a predetermined flow rate control is performed.
【0012】このような通常の流量コントロール動作時
においても、上記両信号S1,S2はそれぞれ常に微分
回路17,18で微分されて、弁体開度の変化方向およ
び開度指令信号S2の変化方向が検知されているととも
に、それら両変化方向検知信号の符号(+,−)が方向
判定回路19でチェックされており、例えばスライド弁
体3が開度指令信号S2に反して逆方向に作動するなど
の制御トラブルが発生した場合は、上記両変化方向検知
信号の符号(+,−)が不一致となって、上記方向判定
回路19から即座に停止信号S5が出力され、これによ
って、サーボ弁15を介して油圧シリンダ11による弁
体3の開度調整動作が緊急停止されることになり、トラ
ブルの拡大を阻止することができる。Even in such a normal flow rate control operation, the two signals S1 and S2 are always differentiated by the differentiating circuits 17 and 18, respectively, and the changing directions of the valve opening and the opening command signal S2 are changed. Is detected, and the signs (+, −) of the both change direction detection signals are checked by the direction determination circuit 19, and the slide valve body 3 operates in the opposite direction against the opening command signal S2, for example. When a control trouble such as the above occurs, the signs (+, −) of the both change direction detection signals become inconsistent, and the stop signal S5 is immediately output from the direction determination circuit 19, which causes the servo valve 15 to operate. The opening degree adjusting operation of the valve body 3 by the hydraulic cylinder 11 is urgently stopped via the, so that the trouble can be prevented from spreading.
【0013】なお、上記実施の形態では、スライド弁1
0に適用したものについて説明したが、これ以外に、例
えば図3に示すように、先端にリフトエアaの噴出に伴
って高温の触媒bを吸引するコーン状のシート部5aが
形成されている流体管5(弁本体)と油圧シリンダ11
を介して上記流体管5の軸線方向に沿って直線的に往復
駆動運動されるステムチューブ6の先端に固着されて、
その直線運動により上記コーン状シート部5aに出入り
して流体管5内の流路5Aを開閉するプラグ7(弁体)
とから構成されるプラグ弁に適用しても、上記と同様な
効果を奏するものである。In the above embodiment, the slide valve 1
However, other than this, for example, as shown in FIG. 3, a fluid in which a cone-shaped seat portion 5a for sucking the high temperature catalyst b with the ejection of lift air a is formed at the tip is formed. Pipe 5 (valve body) and hydraulic cylinder 11
Is fixed to the tip of the stem tube 6 which is linearly reciprocally driven along the axial direction of the fluid pipe 5 via
The plug 7 (valve body) that moves in and out of the cone-shaped seat portion 5a by the linear movement to open and close the flow path 5A in the fluid pipe 5
Even if it is applied to a plug valve composed of, the same effects as above can be obtained.
【0014】また、図1の仮想線で示すように、上記方
向判定回路19からの停止信号S5の出力に並行してブ
ザーなどの警報器8を作動させるようにすることで、ト
ラブルの発生を報知することができる。Further, as indicated by the phantom line in FIG. 1, by causing the alarm device 8 such as a buzzer to operate in parallel with the output of the stop signal S5 from the direction determination circuit 19, the occurrence of trouble is prevented. Can be notified.
【0015】[0015]
【発明の効果】以上のように、本発明によれば、正常動
作時には、開度センサによる開度位置信号と外部から入
力される開度指令信号との偏差に対応する制御信号に基
づいて弁体の開度を自動制御して、例えばスティックな
どの作動不良、作動不能に対しても適確な開度調整機能
を果たすことができるものでありながら、例えば弁体が
開度指令信号に反して逆方向に作動するなどの制御トラ
ブルによる異常動作が発生したときは、その異常動作を
素早く検知して緊急停止することができ、したがって、
異常動作が長い時間にわたって継続することによるトラ
ブルの拡大、暴走を防止して、安全性の向上を達成でき
るという効果を奏する。As described above, according to the present invention, during normal operation, the valve is operated based on the control signal corresponding to the deviation between the opening position signal from the opening sensor and the opening command signal input from the outside. Although it is possible to automatically control the opening of the body and perform an accurate opening adjustment function even for malfunctions and inoperability of, for example, sticks, for example, the valve body does not respond to the opening command signal. If an abnormal operation occurs due to control trouble, such as operating in the opposite direction, it is possible to quickly detect the abnormal operation and perform an emergency stop.
It is possible to prevent the trouble from spreading and the runaway caused by the abnormal operation continuing for a long time, and to improve the safety.
【図1】本発明に係る弁の開閉駆動装置の全体構成図で
ある。FIG. 1 is an overall configuration diagram of a valve opening / closing drive device according to the present invention.
【図2】本発明を適用したスライド弁の具体構造を示す
縦断面図である。FIG. 2 is a vertical sectional view showing a specific structure of a slide valve to which the present invention is applied.
【図3】本発明を適用可能なプラグ弁の具体構造を示す
要部の縦断面図である。FIG. 3 is a vertical cross-sectional view of a main part showing a specific structure of a plug valve to which the present invention can be applied.
【図4】従来の弁の開閉駆動装置の全体構成図である。FIG. 4 is an overall configuration diagram of a conventional valve opening / closing drive device.
1 弁本体 1A 流体通路 3 弁体 10 弁 11 油圧シリンダ 13 開度センサ 17,18 微分回路 19 方向判定回路 S1 開度位置信号 S2 開度指令信号 S3 制御信号 S5 停止信号 1 valve body 1A fluid passage 3 valve body 10 valve 11 hydraulic cylinder 13 opening sensor 17, 18 differentiating circuit 19 direction determining circuit S1 opening position signal S2 opening command signal S3 control signal S5 stop signal
Claims (1)
と、この弁体の開度位置を検出する開度センサと、この
開度センサによる開度位置信号と開度指令信号との偏差
を検出して、その偏差に対応する制御信号に基づいて上
記弁体の開度を自動制御する開度自動制御装置とを備え
てなる弁の開閉駆動装置において、 上記開度センサによる開度位置信号を微分して弁体開度
の変化方向を検知する手段と、 上記開度指令信号を微分してその指令信号の変化方向を
検知する手段と、 これら両変化方向検知信号の符号をチェックして両符号
が不一致のとき、停止信号を出力する手段とを具備して
いることを特徴とする弁の開閉駆動装置。1. A valve body for opening and closing an internal fluid passage of a valve body, an opening sensor for detecting an opening position of the valve body, and a deviation between an opening position signal and an opening command signal by the opening sensor. And an opening and closing drive device for automatically controlling the opening degree of the valve element based on a control signal corresponding to the deviation, A means for differentiating the signal to detect the changing direction of the valve opening, a means for differentiating the opening command signal to detect the changing direction of the command signal, and the signs of both changing direction detection signals are checked. And a means for outputting a stop signal when the two signs do not match, the valve opening / closing drive device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31616695A JPH09159047A (en) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Switch drive device for valve |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP31616695A JPH09159047A (en) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Switch drive device for valve |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09159047A true JPH09159047A (en) | 1997-06-17 |
Family
ID=18074027
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP31616695A Pending JPH09159047A (en) | 1995-12-05 | 1995-12-05 | Switch drive device for valve |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09159047A (en) |
Cited By (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008169986A (en) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Yamatake Corp | Actuator |
JP2008169987A (en) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Yamatake Corp | Actuator |
JP2015047470A (en) * | 2013-09-05 | 2015-03-16 | ホーチキ株式会社 | Firefighting apparatus |
WO2016002557A1 (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-07 | 三菱重工業株式会社 | Multi-stage compression system, control device, control method, and program |
WO2023155406A1 (en) * | 2022-02-15 | 2023-08-24 | 中船动力研究院有限公司 | Valve control device applied to waste gas treatment system |
-
1995
- 1995-12-05 JP JP31616695A patent/JPH09159047A/en active Pending
Cited By (7)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2008169986A (en) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Yamatake Corp | Actuator |
JP2008169987A (en) * | 2007-01-15 | 2008-07-24 | Yamatake Corp | Actuator |
JP2015047470A (en) * | 2013-09-05 | 2015-03-16 | ホーチキ株式会社 | Firefighting apparatus |
WO2016002557A1 (en) * | 2014-07-01 | 2016-01-07 | 三菱重工業株式会社 | Multi-stage compression system, control device, control method, and program |
CN106460834A (en) * | 2014-07-01 | 2017-02-22 | 三菱重工业株式会社 | Multi-stage compression system, control device, control method, and program |
US10400774B2 (en) | 2014-07-01 | 2019-09-03 | Mitsubishi Heavy Industries Compressor Corporation | Multi-stage compression system, control device, control method, and program |
WO2023155406A1 (en) * | 2022-02-15 | 2023-08-24 | 中船动力研究院有限公司 | Valve control device applied to waste gas treatment system |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
CA2637713A1 (en) | Versatile emergency shutdown device controller | |
US4129141A (en) | Scram valve | |
US4188972A (en) | Gas valve assembly | |
US3107693A (en) | Pneumatic relay | |
WO2003058187A1 (en) | Pressure sensor, pressure controller and temperature drift corrector of pressure type flow controller | |
KR20160095148A (en) | Method and system for diagnose of a solenoid valve | |
US20100089473A1 (en) | Method for checking the operability of an actuator | |
JPH09159047A (en) | Switch drive device for valve | |
JP2587723B2 (en) | Vehicle door re-opening / closing control device | |
CN105955098A (en) | Logic circuit and electromagnetic valve of nuclear power station isolating valve, and nuclear power station isolating valve comprising logic circuit and electromagnetic valve | |
US3393699A (en) | Over pressure limiter | |
JPS6014923B2 (en) | Monitor device for double safety valve | |
JPH0327762B2 (en) | ||
JP3134458B2 (en) | Control method of hydraulic servo valve | |
US3059621A (en) | Pressure control mechanism | |
US11608910B2 (en) | Piezo valve, fluid control device and piezo valve diagnosis method | |
US3030928A (en) | Compressor unloader | |
JP2020193649A (en) | Abnormality detection device | |
JPH05296452A (en) | Controller for proportional valve | |
US20230304603A1 (en) | Testing the operability of a safety valve for a safety case | |
US20210016316A1 (en) | Method of operating drippage prevention system | |
WO2016156518A1 (en) | Low power failsafe valve | |
JPH0314010A (en) | Mass flow controller | |
JP2545411Y2 (en) | Control device for multi-hole variable orifice valve | |
JPH0110527Y2 (en) |