JPH09157738A - Gas dehydrator - Google Patents

Gas dehydrator

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JPH09157738A
JPH09157738A JP31996795A JP31996795A JPH09157738A JP H09157738 A JPH09157738 A JP H09157738A JP 31996795 A JP31996795 A JP 31996795A JP 31996795 A JP31996795 A JP 31996795A JP H09157738 A JPH09157738 A JP H09157738A
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光康 山田
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秀樹 岩本
Yoshinobu Tsuzaki
好信 津崎
Takashi Kuriyama
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To provide a gas dehydrator capable of preventing the lowering of the heat exchangeability in a cooler and capable of prolonging the period of inspection and maintenance in the cooler. SOLUTION: A cooler 1 is installed in a gas dehydrator, and a heat-transfer coil 9 consisting of a metallic tube, etc., and through which water is passed is furnished in the cooler 1. Both ends 9a and 9b of the coil 9 are connected to a water circulating pipeline 8 outside the cooler 1. A brine tank 4 for storing water, stop valves 7a and 7b and a pump 5 are arranged on the pipeline 8. further, a heat exchanger 6 is furnished to cool the water in the pipeline 8 with a refrigerant (CFC). The cooler for cooling the water in the pipeline 8 by the heat exchanger 6 is so constituted that the CFC is circulated through the inside of a CFC pipeline 18, a compressor 11 and a condenser 12 are arranged in the CFC pipeline 18, and a solenoid valve 14 and an expansion valve 15 are furnished between the condenser 12 and heat exchanger 6.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、熱処理炉にて使用され
る雰囲気ガスを冷却することにより、前記雰囲気ガス中
の水を低減するガス脱水装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a gas dehydrator for cooling the atmospheric gas used in a heat treatment furnace to reduce water in the atmospheric gas.

【0002】[0002]

【従来の技術】図2は、従来のガス脱水装置を示す模式
図である。この図2に示すように、従来のガス脱水装置
には冷却器21が設けられており、この冷却器21内に
蛇行した金属管等からなる熱交換部29が配置されてい
る。また、冷却器21には、熱処理炉にて使用される雰
囲気ガスを送り込む吹込口22が設けられ、また冷却さ
れた雰囲気ガスを送り出す吹出口23が設けられてい
る。
2. Description of the Related Art FIG. 2 is a schematic view showing a conventional gas dehydrator. As shown in FIG. 2, a conventional gas dehydrator is provided with a cooler 21, and in this cooler 21, a heat exchange section 29 made of a meandering metal tube or the like is arranged. Further, the cooler 21 is provided with a blow-in port 22 for feeding the atmospheric gas used in the heat treatment furnace, and a blow-out port 23 for feeding the cooled atmospheric gas.

【0003】熱交換部29の両管端29a、29bは、
冷却器21の外部において、その内部を冷媒(フロン)
が循環する流路管28に接続されている。この流路管2
8の途中には、圧縮機26及び凝縮器27が設けられて
おり、また凝縮器27と熱交換器29との間には膨張弁
25が設けられている。
Both tube ends 29a and 29b of the heat exchange section 29 are
Outside the cooler 21, the inside of the cooler 21 is a refrigerant (CFC).
Is connected to the flow path pipe 28. This channel tube 2
A compressor 26 and a condenser 27 are provided in the middle of 8, and an expansion valve 25 is provided between the condenser 27 and the heat exchanger 29.

【0004】このように構成された従来のガス脱水装置
では、次のようにして雰囲気ガスが冷却されることによ
り、雰囲気ガス中の水分が除去されている。先ず、流路
管28内のフロンは圧縮機26によって高温高圧の過熱
ガス状態となる。その後、このフロンガスは凝縮器27
へ送られると、熱を奪われ液化する。そして、液化した
フロンは膨張弁25を通過することにより、減圧され急
激に気化し、この気化したフロンは熱交換器29に送ら
れる。熱交換器29内の気化したフロンは冷却器21内
において蒸発熱を奪うことにより、冷却器21内を冷却
する。このとき、吹込口22から冷却器21内に送り込
まれた雰囲気ガスは冷却され、この雰囲気ガス中の水分
が熱交換部29の表面に付着することにより、雰囲気ガ
スは脱水される。そして、脱水された雰囲気ガスは冷却
器21の吹出口23から送り出されて熱処理炉に封入さ
れる。
In the conventional gas dehydrator having such a structure, the atmospheric gas is cooled in the following manner to remove the water content in the atmospheric gas. First, the CFCs in the flow path pipe 28 are brought into a high temperature and high pressure superheated gas state by the compressor 26. After that, this Freon gas is condensed in the condenser 27.
When it is sent to, it loses heat and liquefies. Then, the liquefied chlorofluorocarbon passes through the expansion valve 25 to be depressurized and rapidly vaporized, and the vaporized chlorofluorocarbon is sent to the heat exchanger 29. The vaporized CFCs in the heat exchanger 29 remove the heat of vaporization in the cooler 21 to cool the inside of the cooler 21. At this time, the atmospheric gas sent into the cooler 21 from the blowing port 22 is cooled, and the moisture in the atmospheric gas adheres to the surface of the heat exchange section 29, whereby the atmospheric gas is dehydrated. Then, the dehydrated atmospheric gas is sent out from the outlet 23 of the cooler 21 and is enclosed in the heat treatment furnace.

【0005】[0005]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、通常、
雰囲気ガス中には微小の塵等のゴミが存在しており、冷
却器21内において前記雰囲気ガスが冷却される際に
は、熱交換部29の表面に水分以外にゴミも付着するた
め、熱交換部29内のフロンによる熱交換性が低下して
しまう。このため、フロンは蒸発熱を得ることができ
ず、圧力が低下してしまう。その結果、脱水装置自体の
運転が止まってしまう場合もあり、定期的に熱交換部2
9の点検整備を行う必要がある。
However, usually,
There is dust such as minute dust in the atmosphere gas, and when the atmosphere gas is cooled in the cooler 21, dust in addition to water adheres to the surface of the heat exchange unit 29, so The heat exchange performance due to the CFCs in the exchange section 29 is deteriorated. For this reason, the chlorofluorocarbon cannot obtain the heat of vaporization, and the pressure drops. As a result, the operation of the dehydrator itself may stop, and the heat exchange unit 2 is regularly
It is necessary to perform the inspection and maintenance of 9.

【0006】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
のであって、冷却器における熱交換性の低下を防止する
ことができ、冷却器内の点検整備の周期を延長すること
ができるガス脱水装置を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above problems, and it is possible to prevent deterioration of heat exchange performance in the cooler and extend the cycle of inspection and maintenance in the cooler. The purpose is to provide a device.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明に係るガス脱水装
置は、熱処理炉にて使用される雰囲気ガスを冷却する冷
却器と、この冷却器内に配置され内部に水が通流する管
からなる熱交換コイルと、前記熱交換コイルに接続され
前記水が循環する流路管と、この流路管の途中に前記水
を冷却する冷却手段とを有し、前記冷却器内に送り込ま
れた前記雰囲気ガスを冷却することにより脱水して前記
冷却器から送り出すことを特徴とする。また、前記冷却
手段は、冷却フロンを前記流路管に接近させることによ
り、前記流路管内の水を冷却するものであることが好ま
しい。
A gas dehydrator according to the present invention comprises a cooler for cooling an atmospheric gas used in a heat treatment furnace, and a pipe arranged in the cooler and through which water flows. Which has a heat exchange coil, a flow path pipe connected to the heat exchange coil and through which the water circulates, and a cooling means for cooling the water in the middle of the flow path tube, and is fed into the cooler. It is characterized in that the atmospheric gas is cooled to be dehydrated and then sent out from the cooler. Further, it is preferable that the cooling means cools the water in the flow passage pipe by bringing a cooling flon close to the flow passage pipe.

【0008】[0008]

【作用】本発明においては、雰囲気ガスを冷却器にて冷
却し、雰囲気ガス中の水分を熱交換コイルの表面に付着
させることにより、雰囲気ガスの脱水を行う。このと
き、冷却器内に設けられている熱交換コイル内に、冷媒
として水を通流させて雰囲気ガスを冷却しているので、
前記熱交換コイルの表面に前記雰囲気ガス中のゴミ等が
付着して熱交換性が低下する場合であっても、前記水の
温度を低下させることにより、熱交換性の低下を防止す
ることができる。このため、本発明装置は熱交換コイル
が汚れても長期に亘って稼働することができ、雰囲気ガ
ス中の水分を除去することができる。
In the present invention, the atmospheric gas is dehydrated by cooling the atmospheric gas with a cooler and allowing the moisture in the atmospheric gas to adhere to the surface of the heat exchange coil. At this time, in the heat exchange coil provided in the cooler, the atmosphere gas is cooled by flowing water as a refrigerant,
Even when dust or the like in the atmosphere gas adheres to the surface of the heat exchange coil to lower the heat exchange property, it is possible to prevent the heat exchange property from decreasing by lowering the temperature of the water. it can. Therefore, the device of the present invention can operate for a long period of time even if the heat exchange coil is dirty, and can remove the moisture in the atmospheric gas.

【0009】また、熱交換コイル内を循環する水を冷却
する手段として、冷却フロンを前記水が通流する流路管
に接近させることにより、前記水の温度を容易に低下さ
せることができる。なお、冷却フロンとは、周囲から蒸
発熱を奪う気化状態のフロンをいう。
Further, as a means for cooling the water circulating in the heat exchange coil, the temperature of the water can be easily lowered by bringing the cooling freon close to the flow passage pipe through which the water flows. The cooling freon is a freon in a vaporized state in which heat of evaporation is taken from the surroundings.

【0010】[0010]

【実施例】以下、本発明の実施例について、添付の図面
を参照して具体的に説明する。図1は、本発明の実施例
に係るガス脱水装置を示す模式図である。この図1に示
すように、ガス脱水装置には冷却器1が設けられ、この
冷却器1内に金属管等からなり冷媒となる水が通流する
熱交換コイル9が設けられている。また、冷却器1には
雰囲気ガスを送り込む吹込口2が設けられ、また冷却後
の雰囲気ガスを送り出す吹出口3が設けられている。
Embodiments of the present invention will be specifically described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a schematic diagram showing a gas dehydrator according to an embodiment of the present invention. As shown in FIG. 1, the gas dehydrator is provided with a cooler 1, and in the cooler 1, a heat exchange coil 9 made of a metal tube or the like and through which water serving as a refrigerant flows is provided. Further, the cooler 1 is provided with a blowing port 2 for feeding the atmospheric gas, and is also provided with a blowing port 3 for feeding the cooled atmospheric gas.

【0011】熱交換コイル9の両管端9a、9bは、冷
却器1の外部において、水が循環する流路管8に接続さ
れている。この流路管8の途中には、水を貯留するブラ
インタンク4、開閉弁7a、7bが設けられ、開閉弁7
aと開閉弁7bとの間には水を循環させるポンプ5が設
けられている。更に、流路管8内の水を冷媒(フロン)
によって冷却する熱交換器6が設けられている。
Both pipe ends 9a and 9b of the heat exchange coil 9 are connected to a flow passage pipe 8 through which water circulates outside the cooler 1. A brine tank 4 for storing water and open / close valves 7a and 7b are provided in the middle of the flow path pipe 8.
A pump 5 for circulating water is provided between a and the on-off valve 7b. Further, the water in the flow path pipe 8 is made into a refrigerant (CFC).
A heat exchanger 6 for cooling is provided.

【0012】熱交換器6によって流路管8内の水を冷却
する冷却装置は、次のように構成されている。即ち、フ
ロン流路管18はその内部をフロンが循環するように構
成されており、フロン流路管18の途中に圧縮機11及
び凝縮器12が設けられている。更に、凝縮器12と熱
交換器6との間には電磁弁14及び膨張弁15が設けら
れている。
The cooling device for cooling the water in the flow path pipe 8 by the heat exchanger 6 is constructed as follows. That is, the chlorofluorocarbon channel 18 is configured so that chlorofluorocarbon circulates therein, and the compressor 11 and the condenser 12 are provided in the fluorocarbon channel 18. Further, an electromagnetic valve 14 and an expansion valve 15 are provided between the condenser 12 and the heat exchanger 6.

【0013】以上のように構成されたガス脱水装置にお
いては、次のようにして雰囲気ガスが冷却されることに
より脱水されている。先ず、熱交換器6において流路管
8内の水が冷却され、この冷水が流路管8を通流して冷
却器1内の熱交換コイル9へ送られる。このとき、冷却
器1の吹込口2から送り込まれた雰囲気ガスは、熱交換
コイル9の表面に接触することにより、冷却され、熱交
換コイル9の表面に雰囲気ガス中の水分が付着する。こ
れにより、雰囲気ガスを脱水することができ、脱水され
た雰囲気ガスは、冷却器1の吹出口3から通流ホース
(図示せず)等を介して熱処理炉内に封入される。
In the gas dehydrator constructed as described above, the atmospheric gas is cooled in the following manner for dehydration. First, the water in the flow path pipe 8 is cooled in the heat exchanger 6, and this cold water is sent through the flow path pipe 8 to the heat exchange coil 9 in the cooler 1. At this time, the atmospheric gas sent from the blow-in port 2 of the cooler 1 is cooled by coming into contact with the surface of the heat exchange coil 9, and the moisture in the atmospheric gas adheres to the surface of the heat exchange coil 9. As a result, the atmospheric gas can be dehydrated, and the dehydrated atmospheric gas is sealed in the heat treatment furnace from the blowout port 3 of the cooler 1 via a flow hose (not shown) or the like.

【0014】なお、このようにして雰囲気ガスを脱水す
ることにより、露点が40℃の雰囲気ガスを12℃以下
にすることができる。
By dehydrating the atmospheric gas in this manner, the atmospheric gas having a dew point of 40 ° C. can be lowered to 12 ° C. or lower.

【0015】その後、冷却器1内にて雰囲気ガスとの熱
交換により温度が高くなった水は、一旦ブラインタンク
4に貯留される。そして、流路管8に設けられている開
閉弁7a及び7bが開くと共に、ポンプ5が駆動するこ
とにより、ブラインタンク4から流れ出た水は、流路管
8を介して熱交換器6に送られて再度冷却される。
After that, the water whose temperature has risen in the cooler 1 due to heat exchange with the atmospheric gas is temporarily stored in the brine tank 4. Then, the on-off valves 7a and 7b provided in the flow path pipe 8 are opened, and the pump 5 is driven, whereby the water flowing out from the brine tank 4 is sent to the heat exchanger 6 through the flow path pipe 8. And cooled again.

【0016】また、熱交換器6においては、次のように
して流路管8内の水を冷却している。先ず、フロン流路
管18内のフロンは圧縮機11によって高温高圧の加熱
ガス状態となる。このガス状のフロンは凝縮器12へ送
られ、冷却水13によって熱を奪われ液化する。そし
て、電磁弁14が開き、液化したフロンは膨張弁15を
通過することにより、減圧され急激に気化し、この気化
したフロンは熱交換器6に送られる。熱交換器6内の気
化したフロンは周囲から蒸発熱を奪うことにより、熱交
換器6内を冷却する。これにより、熱交換器6内を通過
する流路管8内の水が冷却され、この冷水が冷却器1内
の熱交換コイル9に送られる。
Further, in the heat exchanger 6, the water in the flow path pipe 8 is cooled as follows. First, the freon in the freon flow path pipe 18 is brought into a high-temperature, high-pressure heated gas state by the compressor 11. This gaseous chlorofluorocarbon is sent to the condenser 12, and the cooling water 13 takes away heat to liquefy it. Then, the electromagnetic valve 14 is opened, and the liquefied chlorofluorocarbon passes through the expansion valve 15 to be depressurized and rapidly vaporized, and the vaporized chlorofluorocarbon is sent to the heat exchanger 6. The vaporized CFCs in the heat exchanger 6 cool the inside of the heat exchanger 6 by removing the heat of evaporation from the surroundings. As a result, the water in the flow path pipe 8 that passes through the heat exchanger 6 is cooled, and this cold water is sent to the heat exchange coil 9 in the cooler 1.

【0017】このようにして流路管8内を冷水が循環す
ることにより、冷却器1内にて雰囲気ガスを冷却してい
るが、吹込口2から冷却器1内に送り込まれる雰囲気ガ
スには、塵等のゴミも含まれているため、ゴミの付着に
より熱交換コイル9の表面が汚れてしまう。このため、
熱交換コイル9における熱交換性が低下してしまうが、
熱交換コイル9内の冷媒として水を使用しているため、
従来、冷媒として使用されていたフロンと異なり、熱交
換性が低下しても、冷媒の圧力低下によりガス脱水装置
自体の稼働が停止してしまうことはない。また、熱交換
性が低下する場合であっても、熱交換器6において流路
管8内を流れる水の温度をより一層低下させることによ
り、熱交換性の低下を防止することができる。このた
め、冷媒としてフロンを使用する従来の場合に比べて、
ガス脱水装置の稼働を継続させることができ、冷却器1
内の点検整備の周期を従来の2倍に延長することができ
る。
The ambient gas is cooled in the cooler 1 by circulating the cold water in the flow passage pipe 8 in this way, but the ambient gas sent from the blow-in port 2 into the cooler 1 is not Since dust such as dust is also included, the surface of the heat exchange coil 9 becomes dirty due to the attachment of dust. For this reason,
Although the heat exchange performance of the heat exchange coil 9 is reduced,
Since water is used as the refrigerant in the heat exchange coil 9,
Unlike CFCs that have been used as a refrigerant in the past, even if the heat exchange performance is deteriorated, the operation of the gas dehydrator itself does not stop due to the pressure decrease of the refrigerant. Further, even if the heat exchanging property is deteriorated, it is possible to prevent the heat exchanging property from being deteriorated by further lowering the temperature of the water flowing through the flow path pipe 8 in the heat exchanger 6. Therefore, compared with the conventional case where CFC is used as the refrigerant,
The operation of the gas dehydrator can be continued and the cooler 1
The internal inspection and maintenance cycle can be extended twice as long as before.

【0018】[0018]

【発明の効果】以上説明したように、本発明によれば、
冷却器内に配置された熱交換コイル内に、冷媒として水
を通流させて雰囲気ガスを冷却するため、前記熱交換コ
イルの表面が前記雰囲気ガス中のゴミ等の付着により汚
れて、熱交換性が低下する場合であっても、前記水の温
度を低下させることにより、熱交換性の低下を防止する
ことができる。このため、本発明装置を長期に亘って稼
働することができ、冷却器内の点検整備の期間を従来に
比べて2倍に延長することができる。
As described above, according to the present invention,
Water as a refrigerant is passed through the heat exchange coil arranged in the cooler to cool the atmospheric gas, so that the surface of the heat exchange coil becomes dirty due to adhesion of dust and the like in the atmospheric gas and heat exchange. Even if the property is lowered, the heat exchange property can be prevented from being lowered by lowering the temperature of the water. For this reason, the device of the present invention can be operated for a long period of time, and the period of inspection and maintenance in the cooler can be doubled as compared with the conventional case.

【0019】また、前記水の冷却手段として、冷却フロ
ンを前記水が通流する流路管に接近させることにより、
前記水の温度を容易に低下させることができる。
As a cooling means for the water, a cooling freon is brought close to a flow passage pipe through which the water flows,
The temperature of the water can be easily lowered.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の実施例に係るガス脱水装置を示す模式
図である。
FIG. 1 is a schematic diagram showing a gas dehydrator according to an embodiment of the present invention.

【図2】従来のガス脱水装置を示す模式図である。FIG. 2 is a schematic diagram showing a conventional gas dehydrator.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1,21;冷却器 2,22;吹込口 3,23;吹出口 4;ブラインタンク 5;ポンプ 6;熱交換器 7a,7b;開閉弁 8,18,28;流路管 9;熱交換コイル 9a,9b;熱交換コイルの管端 11,26;圧縮機 12,27;凝縮器 13;冷却水 14;電磁弁 15,25;膨張弁 29;熱交換部 29a,29b;熱交換部の管端 1, 21; Cooler 2, 22; Blow-in port 3, 23; Blow-out port 4; Brine tank 5; Pump 6; Heat exchanger 7a, 7b; Open / close valve 8, 18, 28; Flow pipe 9; Heat exchange coil 9a, 9b; tube ends of heat exchange coil 11, 26; compressor 12, 27; condenser 13; cooling water 14; solenoid valve 15, 25; expansion valve 29; heat exchange section 29a, 29b; tube of heat exchange section end

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 栗山 隆 東京都千代田区丸の内1丁目8番2号 株 式会社神戸製鋼所東京本社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Takashi Kuriyama 1-2-8 Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Incorporated company Kobe Steel, Ltd. Tokyo head office

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 熱処理炉にて使用される雰囲気ガスを冷
却する冷却器と、この冷却器内に配置され内部に水が通
流する管からなる熱交換コイルと、前記熱交換コイルに
接続され前記水が循環する流路管と、この流路管の途中
に前記水を冷却する冷却手段とを有し、前記冷却器内に
送り込まれた前記雰囲気ガスを冷却することにより脱水
して前記冷却器から送り出すことを特徴とするガス脱水
装置。
1. A cooler for cooling an atmospheric gas used in a heat treatment furnace, a heat exchange coil including a pipe arranged in the cooler and having water flowing therein, and connected to the heat exchange coil. The cooling water has a flow passage pipe and a cooling means for cooling the water in the middle of the flow passage pipe, and the atmosphere gas sent into the cooler is cooled to dehydrate and cool the atmosphere gas. A gas dehydrator characterized by being sent out from a container.
【請求項2】 前記冷却手段は、冷却フロンを前記流路
管に接近させることにより、前記流路管内の水を冷却す
るものであることを特徴とする請求項1に記載のガス脱
水装置。
2. The gas dehydrator according to claim 1, wherein the cooling unit cools water in the flow passage pipe by bringing a cooling flon close to the flow passage pipe.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002168551A (en) * 2000-11-30 2002-06-14 Tokyo Electron Ltd Cooling device for electrode of treating device

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JP2002168551A (en) * 2000-11-30 2002-06-14 Tokyo Electron Ltd Cooling device for electrode of treating device

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