JPH0915047A - Spectrum analyzer - Google Patents

Spectrum analyzer

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Publication number
JPH0915047A
JPH0915047A JP30637195A JP30637195A JPH0915047A JP H0915047 A JPH0915047 A JP H0915047A JP 30637195 A JP30637195 A JP 30637195A JP 30637195 A JP30637195 A JP 30637195A JP H0915047 A JPH0915047 A JP H0915047A
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JP
Japan
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light
spectrum analyzer
wavelength
optical system
analyzer according
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Application number
JP30637195A
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Japanese (ja)
Inventor
Tomoyasu Nakayabu
智康 中藪
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Publication of JPH0915047A publication Critical patent/JPH0915047A/en
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  • Spectrometry And Color Measurement (AREA)

Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To detect energy within a measuring wavelength band uniformly through a simple structure and to analyze the spectrum of incident light accurately. SOLUTION: An incident light passes through a slit 12 in a light receiving unit 10 and impinges on a dispersion prism 13 and projected, while being dispersed, onto a line sensor 14. The line sensor 14 is driven with a drive pulse delivered from a drive circuit 21 and each pixel outputs a signal having a magnitude corresponding to the intensity of every wavelength, in time series. Output signal from the line sensor 14 is amplified through an amplifier 22 and converted through an A/D converter 23 into a digital data which is corrected at a spectroscopic characteristics correcting section 24 before being outputted to a display section 25. Optical intensity of incident light is displayed for every wavelength at the display section 25.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、入射光のスペクト
ラムを分析するためのスペクトラム分析装置に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a spectrum analyzer for analyzing the spectrum of incident light.

【0002】[0002]

【従来の技術】カラーCRT(陰極線管)では、白色が
忠実に再現されるよう色信号のレベルを調節するホワイ
トバランス調整が行われている。このホワイトバランス
調整を行うためには、白色再現時におけるCRTの画面
からの光の色成分の比率を分析する必要がある。従来、
この分析にはカラー用CCD(電荷結合素子)センサが
用いられていた。
2. Description of the Related Art In a color CRT (cathode ray tube), white balance adjustment is performed to adjust the level of color signals so that white is reproduced faithfully. In order to perform this white balance adjustment, it is necessary to analyze the ratio of the color components of the light from the screen of the CRT when reproducing white. Conventionally,
A color CCD (charge coupled device) sensor was used for this analysis.

【0003】カラー用CCDセンサは、例えば特開平6
−205163号公報に示されるように、R(赤),G
(緑),B(青)の各色毎の画素を有し、この各色毎の
画素の前面にそれぞれ対応する色光を透過するフィルタ
が設けられたものである。このカラー用CCDセンサを
用いると、各色毎の画素の出力の比率から入射光の色成
分の比率が分かる。このカラー用CCDセンサは、任意
の物体の色を識別するためにも用いられる。
A color CCD sensor is disclosed in, for example, Japanese Unexamined Patent Publication No.
As disclosed in Japanese Patent Publication No. 205163, R (red), G
It has pixels for each color (green) and B (blue), and a filter for transmitting corresponding colored light is provided on the front surface of the pixel for each color. When this color CCD sensor is used, the ratio of the color components of the incident light can be known from the ratio of the pixel output for each color. This color CCD sensor is also used to identify the color of any object.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上述の
カラー用CCDセンサでは、R,G,Bの各色毎の画素
の相対分光感度特性(ピーク値で正規化した分光感度特
性)は例えば図7(a)に示すようになっており、各画
素は、それぞれ所定の幅を持ったR,G,Bの各波長域
内の光強度を検出することができるに過ぎない。従っ
て、カラー用CCDセンサでは、細かく分割された波長
毎の光強度を検出することができず、入射光のスペクト
ラムを分析することは困難である。
However, in the above-described color CCD sensor, the relative spectral sensitivity characteristic (spectral sensitivity characteristic normalized by the peak value) of the pixel for each color of R, G, B is shown in FIG. As shown in a), each pixel can only detect the light intensity within each wavelength region of R, G, B having a predetermined width. Therefore, the color CCD sensor cannot detect the light intensity for each wavelength that is finely divided, and it is difficult to analyze the spectrum of the incident light.

【0005】また、カラー用CCDセンサでは、図7
(a)に示したようにR,G,Bの各画素はそれぞれ
R,G,Bの各波長域にのみ感度を有するものである。
そのため、合成分光感度特性は図7(b)に示すように
なり、可視光域の全エネルギーを均等に検出することが
できない。また、カラー用CCDセンサでは、図7
(b)に示したように合成分光感度特性が平坦にならな
いが、所定の幅を持ったR,G,Bの各波長域の出力し
か得られないため、合成分光感度特性が平坦になるよう
に補正することができない。
Further, in the color CCD sensor, as shown in FIG.
As shown in (a), each pixel of R, G, B has sensitivity only in each wavelength region of R, G, B respectively.
Therefore, the composite spectral sensitivity characteristic is as shown in FIG. 7B, and it is impossible to detect all the energy in the visible light region uniformly. In addition, in the color CCD sensor, as shown in FIG.
As shown in (b), the composite spectral sensitivity characteristic does not become flat, but only the outputs in the R, G, and B wavelength regions having a predetermined width are obtained, so the composite spectral sensitivity characteristic becomes flat. Cannot be corrected.

【0006】また、カラー用CCDセンサでは、各色毎
の画素の分光感度特性が重なり合うことからクロストー
ク成分が生じるため、クロストーク成分を除去する回路
が必要になり、構成が複雑になる。
Further, in the color CCD sensor, since the spectral sensitivity characteristics of the pixels for each color are overlapped with each other, a crosstalk component is generated. Therefore, a circuit for removing the crosstalk component is required, and the configuration becomes complicated.

【0007】更に、カラー用CCDセンサでは、各色毎
に出力を増幅するためにアンプが3つ必要になり、構成
が複雑になると共に、温度ドリフト等により各アンプの
ゲインがずれた場合、各色毎の出力の比率が変化して測
定誤差を生じる。
Further, the color CCD sensor requires three amplifiers for amplifying the output for each color, which complicates the configuration and also causes a difference in the gain of each amplifier due to temperature drift or the like, for each color. The ratio of the output of changes, and causes a measurement error.

【0008】ところで、従来より、図8に示すような分
光器が知られている。この分光器は、入射光を平行光に
するコリメータ101と、このコリメータ101から出
射された光を分散して波長に応じて異なる方向に出射す
るプリズム102と、このプリズム102によって分散
された光、すなわちスペクトラムを観察するための望遠
鏡103とを備えている。コリメータ101は、スリッ
ト111と、このスリット111を通過した光を平行光
にするコリメータレンズ112とを有している。
By the way, conventionally, a spectroscope as shown in FIG. 8 has been known. This spectroscope includes a collimator 101 that collimates incident light, a prism 102 that disperses the light emitted from the collimator 101 and emits the light in different directions depending on the wavelength, and light dispersed by the prism 102. That is, it has a telescope 103 for observing the spectrum. The collimator 101 has a slit 111 and a collimator lens 112 that makes the light that has passed through the slit 111 parallel light.

【0009】しかしながら、このような従来の分光器で
は、入射光のスペクトラムを肉眼で観察することはでき
るが、波長毎の光強度を定量的に検出することができ
ず、入射光のスペクトラムの分析に使用するのは困難で
ある。また、図8に示したように、スリット111とコ
リメータレンズ112とによって平行光を生成する場合
には、スリット111を通過する光量が小さいため、ス
ペクトラムの輝度が小さくなるという問題点がある。一
方、スペクトラムの輝度を大きくするためにスリット1
11の径を大きくするとコリメータレンズ112からの
出射光が広がりを持ってしまい、分光器の精度が低下し
てしまう。また、従来の分光器では、測定範囲を変更す
るには、測定対象と分光器との間の距離を調整する必要
があり、操作が煩雑になるという問題点がある。
However, with such a conventional spectroscope, the spectrum of the incident light can be visually observed, but the light intensity for each wavelength cannot be quantitatively detected, and the spectrum of the incident light is analyzed. Is difficult to use. Further, as shown in FIG. 8, when the parallel light is generated by the slit 111 and the collimator lens 112, the amount of light passing through the slit 111 is small, so that there is a problem that the brightness of the spectrum becomes small. On the other hand, slit 1 is used to increase the brightness of the spectrum.
When the diameter of 11 is increased, the light emitted from the collimator lens 112 has a spread, and the accuracy of the spectroscope deteriorates. Further, in the conventional spectroscope, in order to change the measurement range, it is necessary to adjust the distance between the measurement target and the spectroscope, and there is a problem that the operation becomes complicated.

【0010】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その第1の課題は、簡単な構成で、測定波長帯域
内のエネルギーを均等に検出でき、入射光のスペクトラ
ムを正確に分析することができるようにしたスペクトラ
ム分析装置を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and the first problem is that the energy in the measurement wavelength band can be detected uniformly with a simple structure and the spectrum of incident light can be accurately analyzed. It is to provide a spectrum analyzer that is capable of performing the above.

【0011】また、本発明の第2の課題は、上記課題に
加え、分散する光の光量を大きくすることができるよう
にしたスペクトラム分析装置を提供することにある。
A second object of the present invention is, in addition to the above object, to provide a spectrum analyzer capable of increasing the amount of dispersed light.

【0012】また、本発明の第3の課題は、上記各課題
に加え、測定範囲を容易に変更することができるように
したスペクトラム分析装置を提供することにある。
A third object of the present invention is to provide a spectrum analyzer in which the measurement range can be easily changed in addition to the above-mentioned objects.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】請求項1記載のスペクト
ラム分析装置は、入射光を分散して波長に応じて異なる
方向に出射する分散手段と、この分散手段によって分散
された互いに異なる波長の光を受光する複数の画素を有
し、各画素が受光する各波長毎の光強度を検出する白黒
用固体撮像素子とを備えたものである。
According to a first aspect of the present invention, there is provided a spectrum analyzer which disperses incident light and emits the light in different directions according to wavelengths, and light having different wavelengths dispersed by the dispersive means. And a solid-state image pickup device for black and white for detecting the light intensity of each wavelength received by each pixel.

【0014】請求項2記載のスペクトラム分析装置は、
請求項1記載のスペクトラム分析装置において、白黒用
固体撮像素子の分光感度特性を補正する補正手段を更に
備えたものである。
The spectrum analyzer according to claim 2 is
The spectrum analyzer according to claim 1 further comprises a correction means for correcting the spectral sensitivity characteristic of the monochrome solid-state imaging device.

【0015】請求項3記載のスペクトラム分析装置は、
請求項1記載のスペクトラム分析装置において、分散手
段の出射光の分光特性および白黒用固体撮像素子の分光
感度特性を補正する補正手段を更に備えたものである。
The spectrum analyzer according to claim 3 is
The spectrum analyzer according to claim 1 further comprises a correction means for correcting the spectral characteristics of the emitted light of the dispersion means and the spectral sensitivity characteristics of the black and white solid-state imaging device.

【0016】請求項4記載のスペクトラム分析装置は、
焦点板と分析対象の像を焦点板上に結像する第1の光学
系と焦点板上に結像された像からの光を略平行光として
出射する第2の光学系とを有する平行光生成手段と、こ
の平行光生成手段から出射される光を分散して波長に応
じて異なる方向に出射する分散手段と、この分散手段に
よって分散された互いに異なる波長の光を受光する複数
の画素を有し、各画素が受光する各波長毎の光強度を検
出する白黒用固体撮像素子とを備えたものである。
The spectrum analyzer according to claim 4 is
Parallel light having a reticle and a first optical system for forming an image of an analysis target on the reticle and a second optical system for emitting light from the image formed on the reticle as substantially parallel light. A generating unit, a dispersing unit that disperses the light emitted from the parallel light generating unit and emits the light in different directions according to wavelengths, and a plurality of pixels that receive the light beams of different wavelengths dispersed by the dispersing unit. And a black and white solid-state image sensor for detecting the light intensity of each wavelength received by each pixel.

【0017】請求項5記載のスペクトラム分析装置は、
請求項4記載のスペクトラム分析装置において、第1の
光学系をズームレンズ系としたものである。
The spectrum analyzer according to claim 5 is
In the spectrum analyzer according to claim 4, the first optical system is a zoom lens system.

【0018】請求項6記載のスペクトラム分析装置は、
請求項4記載のスペクトラム分析装置において、第1の
光学系として一眼レフカメラの結像レンズ系を用い、焦
点板として一眼レフカメラのファインダの焦点板を用
い、第2の光学系として一眼レフカメラのファインダの
接眼レンズ系を用いたものである。
The spectrum analyzer according to claim 6 is
The spectrum analyzer according to claim 4, wherein an imaging lens system of a single-lens reflex camera is used as the first optical system, a focusing plate of a viewfinder of the single-lens reflex camera is used as the focusing plate, and a single-lens reflex camera is used as the second optical system. This is a viewfinder eyepiece system.

【0019】請求項7記載のスペクトラム分析装置は、
請求項6記載のスペクトラム分析装置において、結像レ
ンズ系をズームレンズ系としたものである。
The spectrum analyzer according to claim 7 is
In the spectrum analyzer according to claim 6, the image forming lens system is a zoom lens system.

【0020】請求項1記載のスペクトラム分析装置で
は、分散手段によって、入射光が分散されて波長に応じ
て異なる方向に出射され、白黒用固体撮像素子によって
各波長毎の光強度が検出される。
In the spectrum analyzer according to the first aspect of the present invention, the incident light is dispersed by the dispersion means and is emitted in different directions depending on the wavelength, and the light intensity for each wavelength is detected by the black and white solid-state image pickup device.

【0021】請求項2記載のスペクトラム分析装置で
は、補正手段によって白黒用固体撮像素子の分光感度特
性が補正される。
In the spectrum analyzer according to the second aspect, the spectral sensitivity characteristic of the monochrome solid-state image pickup device is corrected by the correction means.

【0022】請求項3記載のスペクトラム分析装置で
は、補正手段によって分散手段の出射光の分光特性およ
び白黒用固体撮像素子の分光感度特性が補正される。
In the spectrum analyzer according to the third aspect, the correction means corrects the spectral characteristic of the emitted light of the dispersion means and the spectral sensitivity characteristic of the black and white solid-state image pickup device.

【0023】請求項4記載のスペクトラム分析装置で
は、平行光生成手段によって、分析対象の像が焦点板上
に結像され、更にこの像からの光が略平行光として出射
され、この平行光生成手段から出射される光が、分散手
段によって分散されて波長に応じて異なる方向に出射さ
れ、白黒用固体撮像素子によって各波長毎の光強度が検
出される。
In the spectrum analyzer according to the fourth aspect, an image to be analyzed is formed on the focusing screen by the parallel light generating means, and the light from this image is emitted as substantially parallel light to generate the parallel light. The light emitted from the means is dispersed by the dispersion means and emitted in different directions depending on the wavelength, and the light intensity for each wavelength is detected by the monochrome solid-state imaging device.

【0024】請求項5記載のスペクトラム分析装置で
は、第1の光学系をズームレンズ系としたので、このズ
ームレンズ系によって、焦点板上に結像される像の範囲
を変えることができ、分析対象とスペクトラム分析装置
との位置関係を一定としたままで測定範囲の変更が可能
となる。
In the spectrum analyzer of the fifth aspect, since the first optical system is the zoom lens system, the range of the image formed on the focusing screen can be changed by the zoom lens system. The measurement range can be changed while keeping the positional relationship between the target and the spectrum analyzer constant.

【0025】請求項6記載のスペクトラム分析装置で
は、平行光生成手段として一眼レフカメラの結像レンズ
系およびファインダを用いたので、既存の一眼レフカメ
ラを利用して容易に平行光を生成することが可能とな
る。
In the spectrum analyzer according to the sixth aspect, since the image forming lens system and the finder of the single lens reflex camera are used as the parallel light generating means, it is possible to easily generate the parallel light by using the existing single lens reflex camera. Is possible.

【0026】請求項7記載のスペクトラム分析装置で
は、一眼レフカメラの結像レンズ系をズームレンズ系と
したので、このズームレンズ系によって、焦点板上に結
像される像の範囲を変えることができ、分析対象とスペ
クトラム分析装置との位置関係を一定としたままで測定
範囲の変更が可能となる。
In the spectrum analyzer according to the seventh aspect, since the image forming lens system of the single-lens reflex camera is a zoom lens system, the range of the image formed on the focusing screen can be changed by this zoom lens system. Therefore, the measurement range can be changed while keeping the positional relationship between the analysis target and the spectrum analyzer constant.

【0027】[0027]

【発明の実施の形態】以下、本発明の実施の形態につい
て図面を参照して詳細に説明する。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION Hereinafter, embodiments of the present invention will be described in detail with reference to the drawings.

【0028】図1は本発明の第1の実施の形態に係るス
ペクトラム分析装置の構成を示す説明図である。このス
ペクトラム分析装置は受光ユニット10を備えている。
受光ユニット10は、ハウジング11と、このハウジン
グ11の前端部に設けられたスリット12と、ハウジン
グ11内においてスリット12を通過した光の光路上に
配設された分散手段としての分散プリズム13と、ハウ
ジング11内において分散プリズム13の出射光を受光
する位置に配設された白黒用CCDラインセンサ(以
下、単にラインセンサという。)14とを備えている。
ラインセンサ14は、CCD型固体撮像素子を用いて構
成され、ライン状に配列された複数、例えば5000の
画素を有している。分散プリズム13は、スリット12
を通過した光を分散して、波長に応じて上下方向の異な
る方向に出射する。ラインセンサ14は画素の配列方向
が上下方向になるように配置されており、このラインセ
ンサ14上に分散プリズム13の出射光が投影される。
一般に、波長が短い程、屈折率が大きくなるので、ライ
ンセンサ14上には、長波長の光(赤色光)から短波長
の光(紫色光)までの各波長の光が上側から順に連続的
に並ぶ。ラインセンサ14の各画素は、それぞれ異なる
波長の光を受光し、各波長毎の光強度に応じた大きさの
信号を出力する。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing the configuration of the spectrum analyzer according to the first embodiment of the present invention. This spectrum analyzer includes a light receiving unit 10.
The light receiving unit 10 includes a housing 11, a slit 12 provided at a front end portion of the housing 11, a dispersion prism 13 as a dispersion means arranged on an optical path of light passing through the slit 12 in the housing 11, A black-and-white CCD line sensor (hereinafter, simply referred to as a line sensor) 14 arranged at a position where the light emitted from the dispersion prism 13 is received in the housing 11.
The line sensor 14 is configured by using a CCD type solid-state image sensor and has a plurality of, for example, 5000 pixels arranged in a line. The dispersion prism 13 has a slit 12
The light that has passed through is dispersed and emitted in different vertical directions depending on the wavelength. The line sensor 14 is arranged such that the pixels are arranged vertically, and the light emitted from the dispersion prism 13 is projected onto the line sensor 14.
In general, the shorter the wavelength, the larger the refractive index. Therefore, on the line sensor 14, light of each wavelength from long-wavelength light (red light) to short-wavelength light (purple light) is continuous from the upper side. Line up. Each pixel of the line sensor 14 receives light of a different wavelength, and outputs a signal having a magnitude corresponding to the light intensity of each wavelength.

【0029】スペクトラム分析装置は、更に、駆動パル
スを与えてラインセンサ14を駆動する駆動回路21
と、ラインセンサ14の出力信号を増幅するアンプ22
と、このアンプ22の出力信号をアナログ−ディジタル
(以下、A/Dと記す。)変換するA/D変換器23
と、このA/D変換器23の出力データに対して、ライ
ンセンサ14の分光感度特性に応じた補正を行う分光特
性補正部24と、この分光特性補正部24よって補正さ
れたデータを入力し、入射光の波長毎の光強度を表示す
る表示部25とを備えている。分光特性補正部24は、
例えばパーソナルコンピュータやマイクロコンピュータ
によって構成される。
The spectrum analysis apparatus further includes a drive circuit 21 for applying a drive pulse to drive the line sensor 14.
And an amplifier 22 for amplifying the output signal of the line sensor 14.
And an A / D converter 23 for converting the output signal of the amplifier 22 from analog to digital (hereinafter referred to as A / D).
Then, with respect to the output data of the A / D converter 23, the spectral characteristic correction unit 24 that performs correction according to the spectral sensitivity characteristic of the line sensor 14 and the data corrected by the spectral characteristic correction unit 24 are input. And a display unit 25 for displaying the light intensity of each wavelength of the incident light. The spectral characteristic correction unit 24
For example, it is configured by a personal computer or a microcomputer.

【0030】ここで、図2を用いて、分光特性補正部2
4における補正方法について説明する。分光特性補正部
24は、図2(a)に示すようにスペクトラム分析装置
の測定波長帯域である可視光域において波長にかかわら
ず強度が一定の光がスペクトラム分析装置に入射された
場合に、図2(c)に示すようにスペクトラム分析装置
によって得られる入射光の分光特性においても波長にか
かわらず強度が一定となるように補正を行うものであ
る。そこで、ラインセンサ14が例えば図2(b)にお
いて符号31で示すような相対分光感度特性を有してい
る場合、分光特性補正部24では、相対分光感度の逆数
を波長の関数として表した符号32で示すような補正係
数を持つ。そして、分光特性補正部24では、A/D変
換器23から時系列的に出力される各波長毎のデータに
対して、それぞれ波長に応じた補正係数を掛けて出力す
る。これにより、分光特性補正部24による補正後の分
光特性は、図2(c)に示すように波長にかかわらず強
度が一定のものとなる。
Here, referring to FIG. 2, the spectral characteristic correction unit 2
The correction method in 4 will be described. As shown in FIG. 2 (a), the spectral characteristic correction unit 24 displays the light when the intensity is constant regardless of the wavelength in the visible light region, which is the measurement wavelength band of the spectrum analyzer. As shown in FIG. 2 (c), the spectral characteristics of the incident light obtained by the spectrum analyzer are also corrected so that the intensity becomes constant regardless of the wavelength. Therefore, when the line sensor 14 has a relative spectral sensitivity characteristic as indicated by reference numeral 31 in FIG. 2B, for example, the spectral characteristic correction unit 24 represents the inverse of the relative spectral sensitivity as a function of wavelength. It has a correction coefficient as indicated by 32. Then, the spectral characteristic correction unit 24 multiplies the data for each wavelength, which is output from the A / D converter 23 in time series, by a correction coefficient corresponding to each wavelength, and outputs the result. As a result, the spectral characteristic corrected by the spectral characteristic correction unit 24 has a constant intensity regardless of the wavelength as shown in FIG.

【0031】なお、分散プリズム13が、波長にかかわ
らず強度が一定の光が入射したときに出力光の強度が波
長にかかわらず一定にはならない分光特性を有する場合
には、分光特性補正部24において、分散プリズム13
の出射光の分光特性とラインセンサ14の分光感度特性
とを含めて補正するようにしても良い。この場合には、
波長にかかわらず強度が一定の光がスペクトラム分析装
置に入射したときに、分光特性補正部24による補正後
の分光特性が波長にかかわらず強度が一定のものとなる
ように補正係数を決定すれば良い。
When the dispersion prism 13 has a spectral characteristic in which the intensity of the output light is not constant regardless of the wavelength when the light of which the intensity is constant regardless of the wavelength is incident, the spectral characteristic correction unit 24 At the dispersion prism 13
The correction may be made by including the spectral characteristic of the outgoing light and the spectral sensitivity characteristic of the line sensor 14. In this case,
If a light having a constant intensity regardless of the wavelength is incident on the spectrum analyzer, the correction coefficient is determined so that the spectral characteristic after the correction by the spectral characteristic correction unit 24 becomes constant regardless of the wavelength. good.

【0032】次に、本実施の形態に係るスペクトラム分
析装置の作用について説明する。図1では、本実施の形
態に係るスペクトラム分析装置によってカラーCRT2
6の画面からの光のスペクトラムを分析して、カラーC
RT26のホワイトバランス調整を行う場合の例を示し
ている。カラーCRT26の画面からの光は、受光ユニ
ット10のスリット12を通過して分散プリズム13に
入射し、この分散プリズム13によって分散されて出射
し、ラインセンサ14上に投影される。ラインセンサ1
4は、駆動回路21からの駆動パルスによって駆動さ
れ、各画素が受光した各波長毎の光強度に応じた大きさ
の信号を時系列的に出力する。ラインセンサ14の出力
信号は、アンプ22で増幅され、A/D変換器23でデ
ィジタルデータに変換されて分光特性補正部24に入力
される。
Next, the operation of the spectrum analyzer according to this embodiment will be described. In FIG. 1, the color CRT 2 is used by the spectrum analyzer according to the present embodiment.
The spectrum of the light from the screen of 6 is analyzed, and the color C
An example of performing white balance adjustment of the RT 26 is shown. The light from the screen of the color CRT 26 passes through the slit 12 of the light receiving unit 10, enters the dispersion prism 13, is dispersed by the dispersion prism 13 and is emitted, and is projected onto the line sensor 14. Line sensor 1
4 is driven by a drive pulse from the drive circuit 21, and outputs a signal having a magnitude corresponding to the light intensity of each wavelength received by each pixel in time series. The output signal of the line sensor 14 is amplified by the amplifier 22, converted into digital data by the A / D converter 23, and input to the spectral characteristic correction unit 24.

【0033】ここで、例えば図3(a)に示すような分
光特性を有する光がスペクトラム分析装置に入射された
場合、ラインセンサ14の持つ分光感度特性により、ラ
インセンサ14の出力信号の分光特性は例えば図3
(b)に示すようになる。分光特性補正部24は、図3
(c)に示すように、ラインセンサ14の相対分光感度
特性31の逆数である補正係数32をA/D変換器23
の出力データに掛けて補正を行う。これにより、分光特
性補正部24による補正後の分光特性は、図3(d)に
示すように、図3(a)に示した入射光の分光特性と略
一致したものとなる。
Here, for example, when light having a spectral characteristic as shown in FIG. 3A enters a spectrum analyzer, the spectral sensitivity characteristic of the line sensor 14 causes the spectral characteristic of the output signal of the line sensor 14. For example in Figure 3
The result is as shown in FIG. The spectral characteristic correction unit 24 is shown in FIG.
As shown in (c), the correction coefficient 32, which is the reciprocal of the relative spectral sensitivity characteristic 31 of the line sensor 14, is set to the A / D converter 23.
Correction is performed by multiplying the output data of. As a result, the spectral characteristic corrected by the spectral characteristic correction unit 24 becomes substantially the same as the spectral characteristic of the incident light shown in FIG. 3A, as shown in FIG. 3D.

【0034】分光特性補正部24の出力データは表示部
25に入力され、この表示部25において入射光の波長
毎の光強度が表示される。すなわち、入射光のスペクト
ラムの分析が行われる。そして、この分析結果に基づい
て、例えばカラーCRT26のホワイトバランス調整が
行われる。なお、表示部25における表示方法は、図3
(d)に示したようなグラフによって表示する方法でも
良いし、任意の波長の光強度を数値として表示する方法
でも良い。
The output data of the spectral characteristic correction unit 24 is input to the display unit 25, and the display unit 25 displays the light intensity for each wavelength of the incident light. That is, the spectrum of the incident light is analyzed. Then, based on this analysis result, for example, white balance adjustment of the color CRT 26 is performed. The display method on the display unit 25 is as shown in FIG.
The method of displaying by the graph as shown in (d) may be used, or the method of displaying the light intensity of an arbitrary wavelength as a numerical value may be used.

【0035】このように本実施の形態に係るスペクトラ
ム分析装置によれば、従来のカラー用CCDセンサを用
いる場合のようにクロストーク成分を除去する回路を設
けたり、各色毎にアンプを設けたりする必要がなく、分
散プリズム13と白黒用のラインセンサ14を用いた簡
単な構成で、入射光のスペクトラムを正確に分析するこ
とができる。
As described above, according to the spectrum analyzer of the present embodiment, a circuit for removing the crosstalk component is provided as in the case of using the conventional color CCD sensor, or an amplifier is provided for each color. There is no need, and the spectrum of the incident light can be accurately analyzed with a simple configuration using the dispersion prism 13 and the black and white line sensor 14.

【0036】また、本実施の形態に係るスペクトラム分
析装置によれば、ラインセンサ14の分光感度特性や分
散プリズム13の出射光の分光特性を補正できるので、
より正確なスペクトラム分析が可能となる。また、図2
(c)に示したように、測定波長帯域内の全エネルギー
を均等に検出することができる。
Further, according to the spectrum analyzer of the present embodiment, the spectral sensitivity characteristic of the line sensor 14 and the spectral characteristic of the outgoing light of the dispersion prism 13 can be corrected.
It enables more accurate spectrum analysis. FIG.
As shown in (c), the total energy within the measurement wavelength band can be detected evenly.

【0037】図4は本発明の第2の実施の形態に係るス
ペクトラム分析装置における受光ユニットを示す断面図
である。本実施の形態に係るスペクトラム分析装置で
は、第1の実施の形態における受光ユニット10に代え
て、図4に示した受光ユニット40を設けている。この
受光ユニット40は、スリット14の前側に、凸レンズ
41と凹レンズ42からなる集光レンズ群43を設けた
ものである。この集光レンズ群43は、凸レンズ41で
収束された光束を凹レンズ42で平行光束に変えてスリ
ット12に入射させる。
FIG. 4 is a sectional view showing a light receiving unit in a spectrum analyzer according to the second embodiment of the present invention. In the spectrum analyzer according to the present embodiment, the light receiving unit 40 shown in FIG. 4 is provided instead of the light receiving unit 10 in the first embodiment. The light receiving unit 40 is provided with a condenser lens group 43 including a convex lens 41 and a concave lens 42 on the front side of the slit 14. The condenser lens group 43 converts the light flux converged by the convex lens 41 into a parallel light flux by the concave lens 42 and makes it enter the slit 12.

【0038】このような構成により、本実施の形態に係
るスペクトラム分析装置では、第1の実施の形態に比べ
て測定領域が拡大され、ある程度大きい測定領域内にお
けるスペクトラムを分析するのに適したものとなる。そ
の他の構成、作用および効果は第1の実施の形態と同様
である。
With such a configuration, the spectrum analyzer according to the present embodiment is suitable for analyzing the spectrum within a somewhat large measurement area because the measurement area is expanded as compared with the first embodiment. Becomes Other configurations, operations and effects are similar to those of the first embodiment.

【0039】図5は本発明の第3の実施の形態に係るス
ペクトラム分析装置における受光ユニットを示す断面図
である。本実施の形態に係るスペクトラム分析装置で
は、第1の実施の形態における受光ユニット10に代え
て、図5に示した受光ユニット50を設けている。この
受光ユニット50は、ハウジング51と、このハウジン
グ51の前端部に設けられたスリット52と、ハウジン
グ51内においてスリット52を通過した光の光路上に
配設された分散手段としての反射型回折格子53と、ハ
ウジング51内において反射型回折格子53の出射光
(回折光)を受光する位置に配設されたラインセンサ1
4とを備えている。反射型回折格子53は、入射光を分
散して、波長に応じて上下方向の異なる方向に出射す
る。ラインセンサ14は画素の配列方向が上下方向にな
るように配置されており、このラインセンサ14上に反
射型回折格子53の出射光が投影される。
FIG. 5 is a sectional view showing a light receiving unit in a spectrum analyzer according to a third embodiment of the present invention. In the spectrum analyzer according to the present embodiment, the light receiving unit 50 shown in FIG. 5 is provided instead of the light receiving unit 10 in the first embodiment. The light receiving unit 50 includes a housing 51, a slit 52 provided at a front end portion of the housing 51, and a reflection type diffraction grating as a dispersion means arranged on an optical path of light passing through the slit 52 in the housing 51. 53 and the line sensor 1 disposed in the housing 51 at a position for receiving the emitted light (diffracted light) of the reflection type diffraction grating 53.
4 is provided. The reflective diffraction grating 53 disperses the incident light and emits it in different vertical directions depending on the wavelength. The line sensor 14 is arranged such that the pixels are arranged in the vertical direction, and the light emitted from the reflection type diffraction grating 53 is projected onto the line sensor 14.

【0040】本実施の形態に係るスペクトラム分析装置
では、反射型回折格子53によって入射光が分散され、
第1の実施の形態と同様にラインセンサ14によって各
波長毎の光強度が検出される。その他の構成、作用およ
び効果は第1の実施の形態と同様である。
In the spectrum analyzer according to the present embodiment, the incident light is dispersed by the reflection type diffraction grating 53,
Similar to the first embodiment, the line sensor 14 detects the light intensity for each wavelength. Other configurations, operations and effects are similar to those of the first embodiment.

【0041】図6は本発明の第4の実施の形態に係るス
ペクトラム分析装置の構成を示す断面図である。本実施
の形態に係るスペクトラム分析装置は、焦点板と分析対
象の像を焦点板上に結像する第1の光学系と焦点板上に
結像された像からの光を略平行光として出射する第2の
光学系とを有する平行光生成部60と、この平行光生成
部60に接続されたスペクトラム測定ユニット70とを
備えている。
FIG. 6 is a sectional view showing the structure of the spectrum analyzer according to the fourth embodiment of the present invention. The spectrum analyzer according to the present embodiment emits light from the first optical system that forms an image of the reticle and the analysis target on the reticle and the image formed on the reticle as substantially parallel light. The parallel light generation unit 60 having the second optical system and the spectrum measurement unit 70 connected to the parallel light generation unit 60.

【0042】本実施の形態では、平行光生成部60とし
て一眼レフカメラの結像レンズ系とファインダ光学系を
利用している。この平行光生成部60は、前端部に開口
を有し、後端部に接眼部62を有するカメラ本体61
と、このカメラ本体61の前端部の開口部分の前方に接
続されたズームレンズ部63とを備えている。ズームレ
ンズ部63は、複数のレンズ群からなる結像レンズ系と
してのズームレンズ系64と、このズームレンズ系64
を構成する各レンズ群を保持すると共に、各レンズ群の
位置関係を変化させてズーミングを行うズームレンズ系
駆動ユニット65とを有している。カメラ本体61内に
は、ファインダ光学系として、ズームレンズ系64と図
示しないフィルム面との間にズームレンズ系64の光軸
に対して45°の傾きで配置された可動ミラー66と、
ズームレンズ系64を通過し可動ミラー66によって反
射される光の光路上に配置された焦点板(ピントグラ
ス)67と、この焦点板67の上方に配置されたペンタ
プリズム68と、接眼部62内に収納された接眼レンズ
系69とが設けられている。
In the present embodiment, an image forming lens system of a single-lens reflex camera and a finder optical system are used as the parallel light generating section 60. The parallel light generator 60 has a camera body 61 having an opening at the front end and an eyepiece 62 at the rear end.
And a zoom lens unit 63 connected to the front of the opening at the front end of the camera body 61. The zoom lens unit 63 includes a zoom lens system 64 as an imaging lens system including a plurality of lens groups, and the zoom lens system 64.
And a zoom lens system drive unit 65 for holding each of the lens groups constituting the above and performing zooming by changing the positional relationship of each lens group. In the camera body 61, as a finder optical system, a movable mirror 66 arranged between the zoom lens system 64 and a film surface (not shown) at an inclination of 45 ° with respect to the optical axis of the zoom lens system 64,
A focusing plate (focus glass) 67 arranged on the optical path of the light passing through the zoom lens system 64 and reflected by the movable mirror 66, a pentaprism 68 arranged above the focusing plate 67, and an eyepiece section 62. And an eyepiece lens system 69 housed inside.

【0043】スペクトラム測定ユニット70は、平行光
生成部60の接眼部62に着脱自在に接続可能な接続部
72を有するハウジング71を備えている。ハウジング
71内には、接眼部62から出射される光の光路上に配
設された分散プリズム13と、この分散プリズム13の
出射光の前方に配設されたラインセンサ14と、分散プ
リズム13から出射される各波長毎の光をそれぞれライ
ンセンサ14の異なる画素上に集光するコリメータレン
ズ73とを備えている。
The spectrum measuring unit 70 includes a housing 71 having a connecting portion 72 detachably connectable to the eyepiece portion 62 of the parallel light generating portion 60. In the housing 71, the dispersion prism 13 arranged on the optical path of the light emitted from the eyepiece 62, the line sensor 14 arranged in front of the light emitted from the dispersion prism 13, and the dispersion prism 13 And a collimator lens 73 for condensing light of each wavelength emitted from each of them on different pixels of the line sensor 14, respectively.

【0044】ここで、まず、平行光生成部60として利
用する一眼レフカメラのファインダ光学系の作用につい
て説明する。一眼レフカメラのファインダ光学系では、
ズームレンズ系64を通過した光を可動ミラー66で上
方に反射して、ズームレンズ系64によって被写体の像
を焦点板67に結像させ、この像をペンタプリズム68
によって正像にして接眼レンズ系69を通して見るよう
になっている。ところで、接眼部62から被写体像を見
る者が眼鏡を使用しているか否かによって目と接眼レン
ズ系69との間の距離が変わるため、一眼レフカメラの
ファインダ光学系では、このような場合でも像倍率が変
化しないように設計されている。具体的には、焦点板6
7に結像された像からの光を接眼レンズ系69で平行光
にして出射するようになっている。本実施の形態では、
このような一眼レフカメラのファインダ光学系の特性を
利用して、分散プリズム13に入射させる平行光を生成
するようにしている。
First, the operation of the viewfinder optical system of the single-lens reflex camera used as the parallel light generator 60 will be described. In viewfinder optical system of single-lens reflex camera,
The light that has passed through the zoom lens system 64 is reflected upward by the movable mirror 66, and an image of the subject is formed on the focusing screen 67 by the zoom lens system 64.
A normal image is formed through the eyepiece lens system 69. By the way, since the distance between the eye and the eyepiece lens system 69 changes depending on whether or not a person who views the subject image through the eyepiece unit 62 uses glasses, in such a case, in the viewfinder optical system of the single-lens reflex camera, However, it is designed so that the image magnification does not change. Specifically, the focusing screen 6
The light from the image formed on the image plane 7 is collimated by the eyepiece lens system 69 and emitted. In this embodiment,
By utilizing the characteristics of the finder optical system of such a single-lens reflex camera, parallel light to be incident on the dispersion prism 13 is generated.

【0045】次に、本実施の形態に係るスペクトラム分
析装置の作用について説明する。カラーCRTの画面等
の分析対象の像は、ズームレンズ系64によって焦点板
67に結像され、この焦点板67に結像された像からの
光が接眼レンズ系69で平行光にされて接眼部62から
出射される。接眼部62から出射された光は、スペクト
ラム測定ユニット70内の分散プリズム13によって分
散される。分散された各波長毎の光は、それぞれ平行光
となって、各波長毎に異なる方向に出射される。この各
波長毎の光は、コリメータレンズ73によって、ライン
センサ14の異なる画素上に集光される。すなわち、分
析対象のスペクトラムがラインセンサ14上に投影され
る。従って、第1の実施の形態と同様にして、ラインセ
ンサ14の出力信号を用いて分析対象のスペクトラムを
分析することができる。また、ズームレンズ系駆動ユニ
ット65によって、ズームレンズ系64を構成する各レ
ンズ群の位置関係を変化させてズーミングを行うと、焦
点板67に結像される像の範囲が変化するので、分析対
象における測定範囲を変化させることができる。
Next, the operation of the spectrum analyzer according to this embodiment will be described. An image to be analyzed such as a screen of a color CRT is formed on the focusing screen 67 by the zoom lens system 64, and the light from the image formed on the focusing screen 67 is collimated by the eyepiece lens system 69 to be in contact with it. It is emitted from the eye portion 62. The light emitted from the eyepiece 62 is dispersed by the dispersion prism 13 in the spectrum measurement unit 70. The dispersed light of each wavelength becomes parallel light and is emitted in a different direction for each wavelength. The light of each wavelength is condensed by the collimator lens 73 on different pixels of the line sensor 14. That is, the spectrum to be analyzed is projected on the line sensor 14. Therefore, similarly to the first embodiment, the spectrum of the analysis target can be analyzed by using the output signal of the line sensor 14. Further, when the zoom lens system drive unit 65 changes the positional relationship between the lens groups that form the zoom lens system 64 to perform zooming, the range of the image formed on the focusing screen 67 changes, so the analysis target The measurement range at can be changed.

【0046】このように本実施の形態に係るスペクトラ
ム分析装置によれば、スリットを用いずに、一眼レフカ
メラのズームレンズ系64およびファインダ光学系を用
いて平行光を生成するようにしたので、スリットを用い
て平行光を生成する場合に比べて分散プリズム13に入
射する光の光量を大きくすることができ、その結果、ス
ペクトラムの輝度が大きくなり、分析精度を向上させる
ことができる。また、ズームレンズ系64によってズー
ミングを行うことによって、分析対象とスペクトラム分
析装置との位置関係を一定としたままで測定範囲を容易
に変更することができる。
As described above, according to the spectrum analyzer of the present embodiment, the parallel light is generated by using the zoom lens system 64 and the finder optical system of the single-lens reflex camera without using the slit. The amount of light incident on the dispersion prism 13 can be increased as compared with the case where parallel light is generated using a slit, and as a result, the brightness of the spectrum is increased and the analysis accuracy can be improved. Further, by performing zooming with the zoom lens system 64, it is possible to easily change the measurement range while keeping the positional relationship between the analysis target and the spectrum analyzer constant.

【0047】なお、本実施の形態では、平行光生成部6
0として一眼レフカメラのズームレンズ系64およびフ
ァインダ光学系を利用したが、これらと同様の作用をな
す光学系を別途構成して、平行光生成部としても良い。
また、分散手段としては、第3の実施の形態のように反
射型回折格子を用いても良い。その他の構成、作用およ
び効果は、第1の実施の形態と同様である。
In the present embodiment, the parallel light generating section 6
Although the zoom lens system 64 and the finder optical system of the single-lens reflex camera are used as 0, an optical system having the same operation as these may be separately configured to serve as the parallel light generation unit.
Further, as the dispersion means, a reflection type diffraction grating may be used as in the third embodiment. Other configurations, operations, and effects are similar to those of the first embodiment.

【0048】なお、本発明は上記各実施の形態に限定さ
れず、例えば、分散手段として透過型回折格子を設け、
この透過型回折格子の出射光を受光する位置にラインセ
ンサ14を配置しても良い。また、固体撮像素子として
はMOS型を用いても良い。
The present invention is not limited to the above embodiments, and for example, a transmission type diffraction grating is provided as a dispersion means,
The line sensor 14 may be arranged at a position where the light emitted from the transmission type diffraction grating is received. Further, a MOS type may be used as the solid-state image sensor.

【0049】また、第2ないし第4の実施の形態におい
ても、分光特性補正部24において、分散プリズム13
や反射型回折格子53の出射光の分光特性とラインセン
サ14の分光感度特性とを含めて補正するようにしても
良い。
Also in the second to fourth embodiments, the dispersion prism 13 is used in the spectral characteristic correction unit 24.
Alternatively, the spectral characteristics of the emitted light of the reflection type diffraction grating 53 and the spectral sensitivity characteristics of the line sensor 14 may be corrected.

【0050】また、本発明のスペクトラム分析装置は、
カラーCRTのホワイトバランス調整のためにカラーC
RTの画面からの光のスペクトラムを分析する場合に限
らず、任意の物体のスペクトラムを分析する場合にも用
いることができる。
Further, the spectrum analyzer of the present invention is
Color C for white balance adjustment of color CRT
It can be used not only when analyzing the spectrum of light from the RT screen, but also when analyzing the spectrum of an arbitrary object.

【0051】[0051]

【発明の効果】以上説明したように請求項1記載のスペ
クトラム分析装置によれば、分散手段によって入射光を
分散して波長に応じて異なる方向に出射し、この出射光
を受光する白黒用固体撮像素子によって各波長毎の光強
度を検出するようにしたので、簡単な構成で、測定波長
帯域内の全エネルギーを均等に検出でき、入射光のスペ
クトラムを正確に分析することができるという効果があ
る。
As described above, according to the spectrum analyzer of the first aspect, the black-and-white solid which receives the emitted light by dispersing the incident light by the dispersing means and emitting it in different directions depending on the wavelength. Since the light intensity for each wavelength is detected by the image sensor, the effect that the total energy within the measurement wavelength band can be detected uniformly with a simple configuration and the spectrum of the incident light can be accurately analyzed is provided. is there.

【0052】請求項2記載のスペクトラム分析装置によ
れば、白黒用固体撮像素子の分光感度特性を補正するよ
うにしたので、また、請求項3記載のスペクトラム分析
装置によれば、分散手段の出射光の分光特性および白黒
用固体撮像素子の分光感度特性を補正するようにしたの
で、それぞれ、請求項1記載のスペクトラム分析装置の
効果に加え、より正確なスペクトラム分析が可能となる
という効果がある。
According to the spectrum analyzer of the second aspect, the spectral sensitivity characteristic of the black and white solid-state image pickup device is corrected, and according to the spectrum analyzer of the third aspect, the dispersion means is provided. Since the spectral characteristics of the incident light and the spectral sensitivity characteristics of the black and white solid-state image sensor are corrected, there is an effect that more accurate spectrum analysis can be performed in addition to the effect of the spectrum analyzer according to claim 1. .

【0053】請求項4記載のスペクトラム分析装置によ
れば、焦点板と分析対象の像を焦点板上に結像する第1
の光学系と焦点板上に結像された像からの光を略平行光
として出射する第2の光学系とを有する平行光生成手段
によって、分散手段に入射させる平行光を生成するよう
にしたので、請求項1記載のスペクトラム分析装置の効
果に加え、分散する光の光量を大きくすることができる
という効果がある。
According to the spectrum analyzer of the fourth aspect, the first image is formed on the reticle and the image of the object to be analyzed.
The parallel light generating means having the second optical system that emits the light from the image formed on the focusing plate as substantially parallel light is generated by the parallel light generating means. Therefore, in addition to the effect of the spectrum analyzer according to the first aspect, there is an effect that the amount of dispersed light can be increased.

【0054】請求項5記載のスペクトラム分析装置によ
れば、第1の光学系をズームレンズ系としたので、請求
項4記載のスペクトラム分析装置の効果に加え、ズーム
レンズ系によって、焦点板上に結像される像の範囲を変
えることができ、分析対象とスペクトラム分析装置との
位置関係を一定としたままで測定範囲を容易に変更する
ことができるという効果がある。
According to the spectrum analyzer of the fifth aspect, since the first optical system is the zoom lens system, in addition to the effect of the spectrum analyzer of the fourth aspect, the zoom lens system allows the zoom lens system to move the focus lens on the focusing screen. There is an effect that the range of the image formed can be changed and the measurement range can be easily changed while keeping the positional relationship between the analysis target and the spectrum analyzer constant.

【0055】請求項6記載のスペクトラム分析装置によ
れば、平行光生成手段として一眼レフカメラの結像レン
ズ系およびファインダを用いたので、請求項4記載のス
ペクトラム分析装置の効果に加え、既存の一眼レフカメ
ラを利用して容易に平行光を生成することができるとい
う効果がある。
According to the spectrum analyzer of the sixth aspect, since the image forming lens system and the finder of the single-lens reflex camera are used as the collimated light generating means, in addition to the effect of the spectrum analyzer of the fourth aspect, the existing one is used. There is an effect that parallel light can be easily generated using a single-lens reflex camera.

【0056】請求項7記載のスペクトラム分析装置によ
れば、結像レンズ系をズームレンズ系としたので、請求
項6記載のスペクトラム分析装置の効果に加え、ズーム
レンズ系によって、焦点板上に結像される像の範囲を変
えることができ、分析対象とスペクトラム分析装置との
位置関係を一定としたままで測定範囲を容易に変更する
ことができるという効果がある。
According to the spectrum analyzer of the seventh aspect, since the image forming lens system is the zoom lens system, in addition to the effect of the spectrum analyzer of the sixth aspect, the zoom lens system is used to form the image on the focusing screen. There is an effect that the range of the image to be imaged can be changed, and the measurement range can be easily changed while keeping the positional relationship between the analysis target and the spectrum analyzer constant.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の第1の実施の形態に係るスペクトラム
分析装置の構成を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a configuration of a spectrum analyzer according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の分光特性補正部における補正方法につい
て説明するための特性図である。
FIG. 2 is a characteristic diagram for explaining a correction method in a spectral characteristic correction unit in FIG.

【図3】本発明の第1の実施の形態に係るスペクトラム
分析装置の作用を説明するための特性図である。
FIG. 3 is a characteristic diagram for explaining the operation of the spectrum analyzer according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の第2の実施の形態に係るスペクトラム
分析装置における受光ユニットの断面図である。
FIG. 4 is a sectional view of a light receiving unit in the spectrum analyzer according to the second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施の形態に係るスペクトラム
分析装置における受光ユニットの断面図である。
FIG. 5 is a cross-sectional view of a light receiving unit in a spectrum analyzer according to a third embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第4の実施の形態に係るスペクトラム
分析装置の構成を示す断面図である。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing the configuration of a spectrum analyzer according to a fourth embodiment of the present invention.

【図7】従来のカラー用CCDセンサの各色毎の相対分
光感度特性および合成分光感度特性を示す特性図であ
る。
FIG. 7 is a characteristic diagram showing a relative spectral sensitivity characteristic and a composite spectral sensitivity characteristic for each color of a conventional color CCD sensor.

【図8】従来の分光器の構成を示す断面図である。FIG. 8 is a cross-sectional view showing a configuration of a conventional spectroscope.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 受光ユニット 12 スリット 13 分散プリズム 14 白黒用CCDラインセンサ 24 分光特性補正部 25 表示部 10 Light-receiving unit 12 Slit 13 Dispersion prism 14 Monochrome CCD line sensor 24 Spectral characteristic correction unit 25 Display unit

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 入射光を分散して波長に応じて異なる方
向に出射する分散手段と、 この分散手段によって分散された互いに異なる波長の光
を受光する複数の画素を有し、各画素が受光する各波長
毎の光強度を検出する白黒用固体撮像素子とを備えたこ
とを特徴とするスペクトラム分析装置。
1. A dispersion means for dispersing incident light and emitting the light in different directions according to wavelengths, and a plurality of pixels for receiving light of different wavelengths dispersed by the dispersion means, each pixel receiving light. And a solid-state image pickup device for black and white for detecting the light intensity for each wavelength.
【請求項2】 前記白黒用固体撮像素子の分光感度特性
を補正する補正手段を更に備えたことを特徴とする請求
項1記載のスペクトラム分析装置。
2. The spectrum analyzer according to claim 1, further comprising a correction unit that corrects a spectral sensitivity characteristic of the monochrome solid-state image pickup device.
【請求項3】 前記分散手段の出射光の分光特性および
前記白黒用固体撮像素子の分光感度特性を補正する補正
手段を更に備えたことを特徴とする請求項1記載のスペ
クトラム分析装置。
3. The spectrum analyzer according to claim 1, further comprising a correction unit that corrects the spectral characteristic of the emitted light of the dispersion unit and the spectral sensitivity characteristic of the monochrome solid-state image sensor.
【請求項4】 焦点板と分析対象の像を前記焦点板上に
結像する第1の光学系と前記焦点板上に結像された像か
らの光を略平行光として出射する第2の光学系とを有す
る平行光生成手段と、 この平行光生成手段から出射される光を分散して波長に
応じて異なる方向に出射する分散手段と、 この分散手段によって分散された互いに異なる波長の光
を受光する複数の画素を有し、各画素が受光する各波長
毎の光強度を検出する白黒用固体撮像素子とを備えたこ
とを特徴とするスペクトラム分析装置。
4. A first optical system for forming an image of a focusing plate and an analysis target on the focusing plate and a second optical system for emitting light from the image formed on the focusing plate as substantially parallel light. A parallel light generating means having an optical system, a dispersing means for dispersing the light emitted from the parallel light generating means and emitting the light in different directions depending on the wavelength, and light of different wavelengths dispersed by the dispersing means. A spectrum analyzer having a plurality of pixels for receiving light, and a black and white solid-state image sensor for detecting the light intensity for each wavelength received by each pixel.
【請求項5】 前記第1の光学系はズームレンズ系であ
ることを特徴とする請求項4記載のスペクトラム分析装
置。
5. The spectrum analyzer according to claim 4, wherein the first optical system is a zoom lens system.
【請求項6】 前記第1の光学系として一眼レフカメラ
の結像レンズ系を用い、前記焦点板として一眼レフカメ
ラのファインダの焦点板を用い、前記第2の光学系とし
て一眼レフカメラのファインダの接眼レンズ系を用いた
ことを特徴とする請求項4記載のスペクトラム分析装
置。
6. An imaging lens system of a single-lens reflex camera is used as the first optical system, a focusing plate of a viewfinder of the single-lens reflex camera is used as the focusing plate, and a viewfinder of a single-lens reflex camera is used as the second optical system. 5. The spectrum analyzer according to claim 4, wherein the eyepiece lens system is used.
【請求項7】 前記結像レンズ系はズームレンズ系であ
ることを特徴とする請求項6記載のスペクトラム分析装
置。
7. The spectrum analyzer according to claim 6, wherein the imaging lens system is a zoom lens system.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2010210491A (en) * 2009-03-11 2010-09-24 Anritsu Corp Optical heterodyne spectrum analyzer

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JP2010210491A (en) * 2009-03-11 2010-09-24 Anritsu Corp Optical heterodyne spectrum analyzer

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