JPH0914120A - 検出機構を持った液圧モータと位置・速度制御装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 回転または直線運動が必要な用途において、
高精度・高速加減速を可能にし、同時に予防保全等を考
慮した位置・速度検出方法を持つ液圧モータ。流量制御
部にメカニカルフィードバック機構付流量制御弁を配
し、直線運動を行う場合は液圧モータ軸芯部に出力用ボ
ールねじを挿入した。また回転状態は電話回線を通じて
遠隔地へ送ることが出来る。 【構成】 液圧モータ内部にメカニカルフィードバック
機構付流量制御弁、直線出力用ボールねじと入力用サー
ボモータと出力シャフトにそれぞれ位置検出器を配し、
流量制御部にシール効果を高める工夫を取り入れて、内
部洩れを減らして制御剛性を高めた。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明はテーブルとか回転体駆動
に、位置指令をＤＣブラシレスサーボモータ，ＤＣサー
ボモータまたはステッピングモータを用い、指令信号に
対して内部にメカニカルフィードバック機能を備えた液
圧モータに関する。

【０００２】

【従来の技術】従来の液圧モータの位置・速度を制御す
る場合は、外部にサーボ弁とか比例流量制御弁を接続
し、この制御弁の流量の制御でこれを実現していたが、
液柱を介して制御するため、作動液の圧縮性の影響で高
速応答に限界があった。

【０００３】直径に対して全長の長いボールねじを使っ
たテーブル駆動機構は、高加減速駆動すると、ボールね
じの撓みとか縄跳び（振動）現象により、正確な位置決
めが困難であった。

【０００４】また制御弁の開度と液圧モータの位置関係
が正確に捕捉されていないため、トラブルに至る前の、
微妙な変化が把握できず、予防保全のための十分なモニ
ターが出来なかった。

【発明が解決しようとする課題】液圧モータの高精度・
高速位置制御を行うためには応答性の向上が必要である
が、通常の比例弁またはサーボ弁を使用する場合、液圧
モータと制御弁間は配管で接続され、作動液の量を変更
することで速度・位置制御を行うが、負荷変動等により
圧力が変動すると作動液の圧縮性の影響が出るため、制
御ループ全体のゲインを高める上で制限となっていた。

【０００５】本発明では制御ループの半分（フィードバ
ック部分）に機械構造物を用いることで、作動液の圧縮
性の影響が減少し、制御剛性が向上するため、制御ルー
プゲインを高くすることができ、高加減速・高精度の位
置決めが可能となる。

【０００６】また液圧モータとボールねじ等を組み合わ
せてテーブルを駆動する場合、通常はボールねじのボー
ルねじナット部とテーブルを固定し、アクチュエータは
ボールねじの一方の端部と接続し、液圧モータとアース
を固定することでテーブルを駆動させているが、テーブ
ルを押す方向に動かす時、ボールねじは縄跳び現象また
は曲がりのため、高速・高精度位置制御に制限があっ
た。

【０００７】ここでは液圧モータの駆動力はボールねじ
の内部から伝達されるため、ボールネジが押し方向に動
くと、ボールねじが曲がり、駆動力はボールねじの引っ
張り方向で得られるため、高速・高精度位置制御が可能
になる。

【０００８】液圧モータの位置検出とか、流量制御弁の
内部スプールの位置検出を行うことは実用化されている
が、流量制御弁と液圧モータは配管を介して接続されて
いるだけで、流量制御弁の内部スプールの位置指令によ
っては独自に移動している。

【０００９】従って流量制御弁の内部スプールの位置
は、制御指令のみで変化し、液圧モータの動きとは無関
係となり、この動きに微小な異常が発生した場合、液圧
モータの内部異常なのか、負荷側の異常なのか正確に分
離することができずトラブル予知が困難であった。

【００１０】本発明では流量制御弁内のスプール位置
と、液圧モータの出力シャフトの位置はメカニカルフィ
ードバック機構になっているため、この間で形成される
流量制御弁の開度は指令値と負荷条件の合成によって決
まり、指令値は既知であるためこの差を把握すると、負
荷の異常を把握したことになり、これを検出することで
トラブルに至るまでの僅かな変化を捉えることができ
る。

【００１１】

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するた
め、まず出力トルク変動の少ない液圧モータが必要であ
り、ここではピストンに液圧の倒れモーメントが働かな
いよう、液圧の集中合力が偏芯カム軸芯に働く構造の、
偏芯カム方式のラジアルピストン形液圧モータを用い
る。

【００１２】次に、回転形分配弁に内部洩れがあると、
制御弁の圧力ゲインを上げることが困難になるので、洩
れを少なくするため回転継手スリーブ部の高圧側にスプ
ールをごく僅か押し付ける構造を採用する。

【００１３】また、作動液の流量を制御する流量調整弁
は、液圧モータシャフトの回転量をメカニカルフィード
バックする機構と組み合わせ、液圧モータが連続に一方
向へ回転しても弁開度は大きく変化しない構成とする。

【００１４】また過負荷によってスプールが瞬時に一方
向に対してオーバランすると、逆転時に時間遅れが発生
するため、一定以上の進行に対してはスプールが制御弁
本体内端部に当たって進まないよう拘束する。

【００１５】ボールねじナットケース（５２）が回転し
て流量制御弁の弁スプール（３１）も共に回転すると、
スプールとスリーブ間の隙間にコンタミネーションが混
入した時に、この間で焼き付きが発生する危険性があ
る。

【００１６】そこで、図１に示すようにボールねじナッ
トケース（５２）が回転しても弁スプール（３１）が回
転しないよう、ボールねじナットケース（５２）と弁ス
プール（３１）間に、軸線方向の隙間が生じないようガ
タを無くたベアリング（５１）を挿入し、ボールねじナ
ット（５３）の直線運動のみを弁スプール（３１）に伝
達させる。

【００１７】流量制御弁で流量を制御するには、サーボ
モータの回転指令を弁スプールの直線運動に変換して成
立するが、この時ボールねじナットケース（５２）は固
定しておく必要がある。

【００１８】しかし、メカニカルフィードバック機構
は、逆にこのボールねじナット（５３）を逆転させるこ
とで成立する。

【００１９】そこで、サーボモータ側から回転させると
きは、ボールねじナット（５３）は固定され、メカニカ
ルフィードバック機構が働くときはボールねじナット
（５３）を逆転させる必要がある。

【００２０】ここでは、ボールねじナットケース（５
２）を直動ベアリング（５５Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）を介して
ギア（５０）に拘束し、ギア（５０）が停止している間
は弁スプール（３１）を直線運動させ、液圧モータの出
力シャフト（１１）が回転して、これに結合されたフィ
ードバックギア（４０）とギア（５０）が回転すること
によって、直動ベアリング（５５Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）を介
して、ボールねじナット（５３）を逆回転させることが
出来る。

【００２１】サーボモータも動き、ギア（５０）も動く
ときは、この差の分だけ弁スプール（３１）は直線運動
し、フィードバック量が多い場合は直線の運動方向は逆
転する。

【００２２】この結果、サーボモータの回転に相当する
ぶんだけ液圧モータは回転し、サーボモータが停止する
と、液圧モータも停止する。

【００２３】通常の液圧モータでは、出力軸と負荷とを
結合して回転運動させる場合が一般的であるが、負荷を
直線運動させたい場合は、この運動変換にボールねじと
か単なるねじ機構を利用することがある。

【００２４】ここでは、液圧モータの出力シャフト（１
１）の軸芯部を貫通させ、ここにボールねじ（１０４）
またはねじと、ボールねじナット（１０３）またはナッ
トを設けることで、テーブルを含む全体の軸線方向の長
さが短くなる。（図４参照）

【００２５】また、一般的なテーブル駆動では、液圧モ
ータとボールねじはカップリング等を介して、ボールね
じの軸端で結合されるが、ボールねじナットを介して負
荷が接続されている時、負荷を押し側に高速で移動させ
ると、負荷が大きいときはボールねじは撓むため、高速
加減速の制限を受ける。

【００２６】そこで、液圧モータの出力シャフト中心線
の軸芯部を貫通させ、ここにボールねじ（１０４）また
はねじと、ボールねじナット（１０３）またはナットを
設けて、テーブルを駆動すると、ボールねじは絶えず引
っ張りのみで駆動させることが出来る。（図６参照）

【００２７】ボールねじが液圧モータの軸芯を貫通して
いると、図４に示すように作動液伝達用の導通路を液圧
モータの出力シャフト内部に通せないため、作動液は出
力シャフト外周を通り、液圧回転継手部のスリーブ（２
０）の外周を経てピストンのラジアル方向外周端に導く
必要がある。

【００２８】液圧回転継手部のスリーブ（２０）外周か
ら作動液を導き、同時に出力シャフトの回転に合わせ
て、図５の液圧導入ポート（１０６Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，
Ｅ）を経て、順次作動液をピストン端部に配分する必要
があるため、出力シャフトと回転スリーブは締結されて
いる必要がある。

【００２９】ここでは、出力シャフトとスリーブ（２
０）はキー（１０８）で接続し、液圧回転継手の外周に
穿かれた円周溝（３４Ａ，Ｂ）を経て、図４に示す半円
周の切り欠きポート（１０５Ａ，Ｂ）からピストンヘッ
ドカバー（１８）内のポート（１０６Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，
Ｅ）を介してピストン（１２）端面に接続させ、出力シ
ャフト（１１）の回転によってこれに締結されたスリー
ブ（２０）も回転し、順次ピストン（１２）に作動液が
送られるよう構成した。

【００３０】図７のように流量制御弁の軸芯と液圧モー
タの軸芯を同軸上に配置することも可能であり、このよ
うな構成ではボールねじとか、メカニカルフィードバッ
ク用のギアのような要素も不要となる。

【００３１】この場合のように、回転型の流量制御弁を
用いる上で、従来の回転型流量調整弁では制御液圧の圧
力が上昇すると流量制御部の内部洩れが多くなり、高精
度の流量制御が出来ない欠点があった。

【００３２】そこで、図１１，１２のように入排出ポー
ト（３３Ａ）から導入された液圧は入力シャフト（５
９）外周に設けられた高圧ポート（１１４）を介してピ
ストンヘッドカバー内ポート（１０６Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，
Ｅ）へ送るように構成した流量制御弁で、この高圧ポー
トの１８０度反対位置に断面積を１〜１０％広くした高
圧バランス域（１１３Ａ，１１３Ｂ）を設けて入力シャ
フト（５０）を、出力シャフト（１１）の高圧側に押し
付けて切替部の隙間を減少させ洩れを減らす。

【００３３】同様の目的で図１１に示すように、出力シ
ャフト（１１）外周に、薄肉スリーブ（１１９）を設
け、ここに圧力ポット（１１１）を形成し、このポット
に圧力が立つと、薄肉スリーブはラジアル方向の軸芯方
向に変形し、出力シャフトとの隙間を減じさせて洩れを
減らす。

【００３４】入力シャフト（５９）と出力シャフト（１
１）で形成される流量制御弁の開度で出力シャフトの回
転速度は決まる。

【００３５】そこで、繰り返し動作を行う負荷条件の場
合、サーボモータ（６０）の位置検出器（７０）出力
と、液圧モータ出力シャフト（１１）に位置検出器（８
１，８２）出力との差を、図１３の制御ブロック図のよ
うに取り出し、この出力パターンを取り込み、前もって
記録していた出力差のパターンと比較すると、この変化
状態が把握できる。

【００３６】この変化のレベルが当初設定しておいた幅
を越えると、異常出力するように構成することで、シャ
フトとスリーブ間の焼き付きのような、トラブルに至る
前に予兆を捉えることができる。

【００３７】この結果、大きなトラブルの予防保全が可
能となる。

【００３８】同様の目的で、繰り返し動作を行う負荷条
件の場合、図１の作動液供給ポート（２３）および（２
４）に圧力ピックアップ（１１０Ａ，Ｂ）を設け、回転
位置とこの値の変化を記録し、前もって記録しておいた
圧力パターンと位置検出器の出力パターンを比較し、其
々が一定のバンドから外れている場合に異常を出力する
ことでより厳密な予防保全が可能となる。

【００３９】また液圧モータの回転状態とか異常状態の
圧縮された信号を、電話回線で遠隔地へ送ることでリモ
ートメンテナンスが可能となる。

【００４０】

【作用】制御方法については、（課題を解決するための
手段）の中で記述したので、ここでは、液圧モータが実
際にトルクを発生する原理について図１４に基づいて示
す。

【００４１】ピストン２本が高圧の場合の例で示すと、
ピストンに働く液圧力は、それぞれ出力シャフトの偏芯
中心に働き、この力の合成力のＸ軸方向分力に偏芯量ε
を乗じた値が、出力シャフトの駆動トルクとなる。

【００４２】ピストンが３本の場合はピストンに働く３
本の液圧合力が、同様に偏芯シャフトの偏芯中心に働
き、以下同様の計算で駆動トルクが得られる。

【００４３】

【実施例】直性方向の推力の大きな用途で高加減速・高
精度位置決めをしょうとすると、液圧シリンダを使用し
た制御が一般的であるが、液圧シリンダの内容積が大き
いと作動液の圧縮性の影響を受けて、高速応答性が困難
になる。

【００４４】ここで、液圧モータとボールねじを組み合
わせてを使用すると、液圧モータ内の、容積は殆ど変化
しないだけでなく、内容積自体も小さいため応答周波数
も高くなり、高加減速・高精度位置決めが可能となる。

【００４５】

【発明の効果】大出力が必要な回転または直線駆動機構
に於いて、高加減速・高精度位置制御が得られ、同時に
異常直前のモニタが出来るためシステムの大きなトラブ
ルを予防することが出来る。

【図面の簡単な説明】

【図１】液圧モータの正面図

【図２】液圧モータの側面図

【図３】逆転歯車の滑り機構

【図４】ボールねじ貫通型液圧モータの正面図

【図５】ボールねじ貫通型液圧モータの側面図

【図６】テーブル駆動機構

【図７】流量制御弁が同軸の液圧モータの正面図

【図８】流量制御弁が同軸の液圧モータの側面図

【図９】回転型流量制御弁正面図

【図１０】回転型流量制御弁側面図

【図１１】異なる構成の回転型流量制御弁正面図

【図１２】異なる構成の回転型流量制御弁側面図

【図１３】制御ブロック図

【図１４】液圧モータのトルク発生原理図

【図１５】液圧モータリモートメンテナンス系統図

【符号の説明】

１ 液圧モータ本体 ２ 回転型分配弁 ３ 流量制御弁 ４ 出力シャフトフィードバック機構 ５ 弁スプールフィードバック機構 ６ 出力シャフト位置検出機構 １０ シリンダバレル １１ 出力シャフト １２ ピストン １３ ピストンリング １４ シリンダバレル液圧ポート １５ モータケース １６ 液圧モータリアカバー １７ 液圧モータフロントカバー １８ ピストンヘッドカバー １９Ａ，１９Ｂ ベアリング ２０ スリーブ ２１ シール ２２ ロッドシール ２３Ａ，２３Ｂ 分配ポート ２４ 出力シャフト偏芯部分配弁 ２５Ａ，２５Ｂ シャフト内入排出ポート ３０ 弁スリーブ ３１ 弁スプール ３２ ボールねじ ３３Ａ，３３Ｂ 入排出ポート ３４Ａ，３４Ｂ コントロールポート ３５ シール ３６ ベアリング ３８Ａ，３８Ｂ シャフト分配弁部 ４０ フィードバックギア ４１ ベアリング ４２ スリーブバックアップカバー ４３ ギアケース ５０ ギア ５１ ベアリング ５２ ボールねじナットケース ５３ ボールねじナット ５４Ａ，５４Ｂ ベアリング ５５Ａ，５５Ｂ，５５Ｃ，５５Ｄ 直動ベアリング ５６ ギア内滑り部 ５７ 固定スリーブカバー ５８ プレートカップリング ５９ 入力シャフト ６０ ＤＣサーボモータ ６１ カップリング ６２ ロッドシール ６３ ベアリング ７０ モータ回転位置検出器 ７１ ベアリング ７２Ａ，７２Ｂ ベアリング ７３ フートマウント ７４ テーブル ７５ ワーク ７６ アース ８１ 回転位置検出器ロータ ８２ 回転位置検出器ステータ ８３ ベアリング ８４ シール ９２ ピストンリングカバー ９３ スプリング ９４ ステータピン ９５ ベアリング ９６ ベアリング ９７ 偏芯リング ９８ ボルト ９９ シール １０２ スペーサ １０３ 出力軸ボールねじナット １０４ 出力軸ボールねじ １０５Ａ，１０５Ｂ 等配ポート １０６Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，Ｅ ピストンヘッドカバー内ポ
ート １０７ ギア １０８ キー １０９ シール １１１ 圧力ポット １１２Ａ，１１２Ｂ 圧力仕切り部 １１３Ａ，１１３Ｂ 高圧バランスポート １１４ 高圧ポート １１５ 高圧導入ポート １１６ 低圧取り出しポート １１７ 低圧分岐部 １１８ 低圧戻りポート １１９ 変形スリーブ １２０ 円周溝 １２１ 導入ポート １２２Ａ，１２２Ｂ 分配切り欠き部 １２３ 連通ポート １２４ 弁スリーブ分配ポート

Claims (14)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 偏芯カム方式のラジアルピストン形液
   圧モータ（１）と、ここに作動液を送るための回転形分
   配弁（２）と、作動液の流量を制御する流量制御弁
   （３）と、液圧モータ出力シャフト（１１）の回転量を
   メカニカルフィードバックする機構（５）と、液圧モー
   タ出力シャフト（１１）の回転位置を検出する機構
   （６）と、流量制御弁を駆動するボールねじ（３２）お
   よびボールねじナット（５３）と、ボールねじナットの
   回転運動のみを拘束する弁スプールフィードバック機構
   （５）と、ボールねじ（３２）を回転させるサーボモー
   タ（６０）またはステッピングモータと、このモータ
   （６０）の回転位置を検出する位置検出器（７０）によ
   って構成される液圧モータ。
2. 【請求項２】 請求項１の液圧モータを制御する流量
   制御弁で、流量制御弁の弁スプール（３１）と、ボール
   ねじナットケース（５２）をベアリング（５１）を介し
   て接続させ、ボールねじナット（５３）の直線運動のみ
   弁スプール（３１）に伝達させ、回転運動は伝達させな
   い構造の流量制御弁スプール（３１）駆動機構。
3. 【請求項３】 請求項２の流量制御弁で、ボールねじ
   （３２）またはねじ機構により流量制御弁のスプール
   （３１）を動かす機構において、ボールねじナットケー
   ス（５２）を直動軸受（５５Ａ、５５Ｂ、５５Ｃ、５５
   Ｄ）を介してギア（５０）に拘束し、ボールねじ（３
   ２）が回転しギア（５０）が停止している間は弁スプー
   ル（３１）を直線運動させ、液圧モータの出力シャフト
   （１１）が回転すると、これに結合されたフィードバッ
   クギア（４０）とギア（５０）によって、直動ベアリン
   グ（５５Ａ、Ｂ、Ｃ、Ｄ）を介して、ボールねじナット
   （５３）が逆回転し、ボールねじナット（５３）の直線
   運動が減殺または逆転され、流量制御弁（３）内の弁ス
   リーブ（３０）と弁スプール（３１）間の開度を閉める
   方向に働くよう構成し、入力に対して弁の開度が自動的
   に復帰するよう構造の流量制御弁。
4. 【請求項４】 請求項１の液圧モータの変形として、
   流量制御弁の中心線と液圧モータ出力シャフト（１１）
   の中心線の軸線を偏芯して配置し、出力シャフト（１
   １）の軸芯部を貫通させ、ここに出力軸ボールねじ（１
   ０４）またはねじと、出力軸ボールねじナット（１０
   ３）またはナットを設けた液圧モータ。
5. 【請求項５】 請求項４の液圧モータの作動液供給方
   法で、液圧モータ駆動用の作動液は作動液回転継手部の
   スリーブ（２０）外周の円周に穿かれた溝（３４Ａ，
   Ｂ，Ｃ）から、外周の約半円周分を切り欠いたポート
   （１０５Ａ，Ｂ）を経て、ピストンヘッドカバー（１
   ８）内を貫通させたポート（１０６Ａ，Ｂ，Ｃ，Ｄ，
   Ｅ）を介して、ピストン（１２）端面に導通させ、出力
   シャフト（１１）の回転によってこれに締結された回転
   継手部のスリーブ（２０）が回転し、順次ピストン（１
   ２）端面に作動液が入出するよう構成した作動液供給方
   法。
6. 【請求項６】 請求項４の液圧モータで、出力シャフ
   ト（１１）の軸芯部を貫通させ、ここに出力軸ボールね
   じナット（１０３）またはナットを組込み、これと係合
   する出力軸ボールねじ（１０４）またはねじの両端に軸
   受け（７１，７２Ａ，Ｂ）を設け、この軸受けを介して
   テーブル（７４）を締結し、液圧モータのフートマウン
   ト（７３）はアース部（７６）に固定させ、テーブル
   （７４）を直線駆動させるよう構成した液圧モータ駆動
   によるテーブル駆動機構。
7. 【請求項７】 請求項１の液圧モータの変形で、流量
   制御弁（３０）の軸芯と液圧モータ出力シャフト（１
   １）の軸芯を同軸上に配置し、サーボモータ（６０）ま
   たは、ステッピングモータによって回転スリーブ駆動用
   シャフト（５９）の回転を、回転方向の剛性を高くし、
   軸線方向には剛性の低い弾性材のプレートカップリング
   （５８）を介して回転スリーブ（３０）に伝達させるよ
   うに構成した回転形流量制御弁の回転スリーブ（３０）
   駆動機構を持つ液圧モータ。
8. 【請求項８】 請求項７の回転形流量制御弁で、回転
   スリーブ（３０）から供給された作動液によって出力シ
   ャフト（１１）が回転され、この回転によって出力シャ
   フト（１１）と回転スリーブ（３０）で形成される回転
   形流量制御弁の開度が出力シャフト（１１）の回転量に
   相当する分だけポートを閉じる方向に働くよう構成し、
   入力に対して弁の開度が自動的に復帰するよう構造の回
   転形流量制御弁。
9. 【請求項９】 請求項８の液圧モータ用回転形流量制
   御弁の変形として、出力シャフト（１１）内に高圧ポー
   ト（１１４）を形成し、この１８０度反対側に高圧バラ
   ンスポート（１１３Ａ，Ｂ）を設け、この断面積を高圧
   ポート（１１４）より小さく形成させることにより、入
   力シャフト（５９）が出力シャフト（１１）の高圧ポー
   ト（１１４）方向に押し付けられる構成にした回転形流
   量制御弁。
10. 【請求項１０】 請求項９の回転流量制御弁の変形
    で、ケース（１６）内に薄肉スリーブ（１１９）を設
    け、ここに圧力ポット（１１１）を形成させ、この圧力
    ポット（１１１）に液圧が発生したとき、液圧により薄
    肉スリーブ（１１９）外周を軸芯側に変形させて、作動
    液のシール効果を高めるよう形成した回転型流量制御
    弁。
11. 【請求項１１】 液圧モータの位置・速度制御で、指
    令値に対するサーボモータ又はステッピングモータの回
    転位置と液圧モータの回転位置を検出し、この差を流量
    制御弁の開度とし、同時に液圧モータの目標位置・速度
    に対する現在位置・速度を比較してこの差を偏差とし、
    流量制御弁の開度と偏差を比較し、開度を連続的に大き
    くしても偏差が小さくならない場合に、異常発生と判断
    する液圧モータ異常検出機構。
12. 【請求項１２】 液圧モータが連続繰り返し動作を行
    うとき、ＤＣサーボモータの位置検出器出力パターン
    と、液圧モータ出力シャフトに接続した回転位置検出器
    の出力パターンを取り、前もって記録しておいた出力パ
    ターンとを比較して、これが一定の幅から外れている場
    合に異常と判断する液圧モータ異常検出機構。
13. 【請求項１３】 液圧モータの作動液供給ポート（２
    ３）、（２４）に圧力ピックアップ（１１０Ａ，Ｂ）を
    設け、各ポート間の圧力差を検出し、これと請求項１１
    の位置出力パターンを合わせ、前もって記録しておいた
    圧力差のパターンと位置検出器の出力パターンと比較
    し、其々が一定の幅から外れている場合に異常と判断す
    る液圧モータ異常検出機構。
14. 【請求項１４】 液圧モータの回転位置、流量制御弁
    の開度を検出し、この値を上位コントローラに伝え、上
    位コントローラでは開度と回転位置の偏差分のみを抽出
    して信号量を圧縮し、この値と異常信号をモデムを介し
    て、電話回線により遠隔地へ送信するように構成したモ
    ニタ機構。