JPH09138326A - Photosemiconductor module - Google Patents

Photosemiconductor module

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Publication number
JPH09138326A
JPH09138326A JP29570195A JP29570195A JPH09138326A JP H09138326 A JPH09138326 A JP H09138326A JP 29570195 A JP29570195 A JP 29570195A JP 29570195 A JP29570195 A JP 29570195A JP H09138326 A JPH09138326 A JP H09138326A
Authority
JP
Japan
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fiber
optical
optical semiconductor
chip
fixed
Prior art date
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Pending
Application number
JP29570195A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Takuya Ishikawa
卓哉 石川
Tomoshi Arakawa
智志 荒川
Takahiro Ono
卓宏 小野
Akira Mugino
明 麦野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Furukawa Electric Co Ltd
Original Assignee
Furukawa Electric Co Ltd
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Filing date
Publication date
Application filed by Furukawa Electric Co Ltd filed Critical Furukawa Electric Co Ltd
Priority to JP29570195A priority Critical patent/JPH09138326A/en
Publication of JPH09138326A publication Critical patent/JPH09138326A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To obtain the photosemiconductor module which makes it easy to position a photosemiconductor chip and an optical fiber and has high coupling efficiency by joining and fixing a heat sink where the photosemiconductor chip is fixed and a fiber block where the optical fiber is fixed. SOLUTION: The photosemiconductor module 1 is equipped with a semiconductor optical amplifier chip 2 and fiber blocks 3 and 4 which are arranged on the light incidence and projection sides of the optical amplifier chip 2, and they are adhered and fixed with an adhesive 5. The optical amplifier chip 2 is fixed onto the heat sink 6. The optics amplifier chip 2 is provided with conversion parts 2a and 2b which enlarges a mode field nearby the incidence-side and projection-side end surfaces. The fiber blocks 3 and 4 have ribbon fibers 3b and 4b adhered and fixed in fiber holes 3a and 4a and, the end surfaces 3a and 4c are polished together with the ribbon fibers 3b and 4b.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、光半導体モジュー
ルに関する。
TECHNICAL FIELD The present invention relates to an optical semiconductor module.

【0002】[0002]

【従来の技術】半導体レーザ、半導体光増幅器のような
半導体光素子にシングルモードの光ファイバを結合した
光半導体モジュールが実現されている。このような光半
導体モジュールとして、例えば、光半導体チップから出
射される光を1組のレンズで集光し、光ファイバに結合
するものがあるが、構成部品数が多いため高価になると
いう欠点があった。
2. Description of the Related Art An optical semiconductor module in which a single mode optical fiber is coupled to a semiconductor optical device such as a semiconductor laser or a semiconductor optical amplifier has been realized. As such an optical semiconductor module, for example, there is an optical semiconductor module in which light emitted from an optical semiconductor chip is condensed by a set of lenses and coupled to an optical fiber, but it has a drawback that it is expensive because of the large number of constituent parts. there were.

【0003】そこで、上記欠点を解決するため、近年で
は、光半導体チップにモードフィールド変換部を設け、
シングルモードファイバとの結合効率を大きくすること
により、レンズを不要にすることが提案されている(IE
EE Photonics Technology Letters, Vol. 7, No. 5, Ma
y 1995, P. 476-478)。
Therefore, in order to solve the above drawbacks, in recent years, a mode field converter is provided in an optical semiconductor chip,
It has been proposed to eliminate the need for a lens by increasing the coupling efficiency with a single-mode fiber (IE
EE Photonics Technology Letters, Vol. 7, No. 5, Ma
y 1995, P. 476-478).

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記従来の
光半導体モジュールは、比屈折率差が0.3%のシングル
モードファイバ(光ファイバ)をファイバ固定板に形成
したV溝で位置決めすると共に、光半導体チップをチッ
プ固定板に固定している。そして、光半導体チップから
出射される光の光ファイバへの結合量が最大となるよう
に、光半導体チップと光ファイバとを位置合わせし、結
合量が最大の位置でファイバ固定板とチップ固定板とを
固定して組み立てられる。
In the conventional optical semiconductor module described above, a single mode fiber (optical fiber) having a relative refractive index difference of 0.3% is positioned by a V groove formed in a fiber fixing plate, and The optical semiconductor chip is fixed to the chip fixing plate. Then, the optical semiconductor chip and the optical fiber are aligned so that the amount of coupling of the light emitted from the optical semiconductor chip to the optical fiber is maximized, and the fiber fixing plate and the chip fixing plate are positioned at the position where the coupling amount is maximum. And can be fixed and assembled.

【0005】しかし、従来の光半導体モジュールは、光
半導体チップと光ファイバとの間の結合量が最大となる
位置合わせ、特に、光軸方向の最適位置を決定するため
に、光軸方向で非常に微妙な位置合わせを行う必要があ
り、製造に手数がかかる結果、高価になるという問題点
があった。本発明は上記の点に鑑みてなされたもので、
光半導体チップと光ファイバとの間の光軸方向における
位置合わせが容易で、安価に製造することが可能な高い
結合効率を有する光半導体モジュールを提供することを
目的とする。
However, in the conventional optical semiconductor module, the alignment in which the coupling amount between the optical semiconductor chip and the optical fiber is maximized, in particular, in order to determine the optimum position in the optical axis direction, the There is a problem in that it is necessary to perform a delicate position adjustment, and the manufacturing process is troublesome, resulting in an increase in cost. The present invention has been made in view of the above points,
It is an object of the present invention to provide an optical semiconductor module having high coupling efficiency, which facilitates alignment between an optical semiconductor chip and an optical fiber in the optical axis direction and can be manufactured at low cost.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
本発明の光半導体モジュールによれば、ヒートシンク上
に固定される光半導体チップと、光ファイバが固定さ
れ、前記光半導体チップの光の入射側あるいは出射側の
少なくとも一方に配置されるファイバブロックとを備
え、前記ヒートシンクとファイバブロックが接合固定さ
れている構成としたのである。
According to an optical semiconductor module of the present invention for achieving the above object, an optical semiconductor chip fixed on a heat sink and an optical fiber are fixed, and light from the optical semiconductor chip is incident. The fiber block is disposed on at least one of the side and the output side, and the heat sink and the fiber block are joined and fixed.

【0007】尚、ヒートシンクとファイバブロックの接
合固定には透光性や接合条件の観点から有機系の接着剤
を用いるのが通常であるが、透光性に悪影響を与えず、
接合時に素子の信頼性の低下等を生じるものでなけれ
ば、ハンダ等による接合や融着による接合固定を用いて
も良い。好ましくは、前記光ファイバは、コアとクラッ
ドとの間の比屈折率差を0.3%よりも大きく、3.5%よ
りも小さく設定する。ここで、比屈折率差とは、コアと
クラッドの屈折率差をコアの屈折率で除した値である。
It should be noted that an organic adhesive is usually used for joining and fixing the heat sink and the fiber block from the viewpoint of translucency and joining conditions, but the translucency is not adversely affected.
As long as the reliability of the element is not deteriorated at the time of joining, joining by soldering or joining and fixing by fusion may be used. Preferably, in the optical fiber, the relative refractive index difference between the core and the clad is set to be larger than 0.3% and smaller than 3.5%. Here, the relative refractive index difference is a value obtained by dividing the refractive index difference between the core and the clad by the refractive index of the core.

【0008】また好ましくは、前記ヒートシンク及び光
半導体チップと前記ファイバブロックとを、屈折率が1
以上の接着剤で接着する。更に好ましくは、前記光半導
体チップの、光の入・出射端面の少なくとも一方の端面
近傍にモードフィールド変換部を設ける。光半導体モジ
ュールにおいて、光半導体チップは、その出射端面がヒ
ートシンク端面とほぼ同一面かあるいは出射端面がヒー
トシンク端面より0〜5μm程内側となる様に配置固定
する。また、光増幅チップ等、入・出射両端面にて光フ
ァイバと結合させる場合には、光半導体チップとヒート
シンクとをほぼ同じ長さに設定すると、両部材の端面を
同一端面にすることができる。一方、ファイバブロック
は、光ファイバを接着固定した後、端面を研磨するの
で、ファイバブロック端面と光ファイバ端面が同一面と
なる。
Further, preferably, the heat sink and the optical semiconductor chip and the fiber block have a refractive index of 1
Bond with the above adhesive. More preferably, a mode field converter is provided near at least one of the light input / output end faces of the optical semiconductor chip. In the optical semiconductor module, the optical semiconductor chip is arranged and fixed such that the emission end face thereof is substantially flush with the heat sink end face or the emission end face is located inside the heat sink end face by about 0 to 5 μm. Further, in the case of coupling with an optical fiber at both input and output end faces of an optical amplification chip or the like, the end faces of both members can be made the same end face by setting the optical semiconductor chip and the heat sink to have substantially the same length. . On the other hand, in the fiber block, after the optical fiber is bonded and fixed, the end face is polished, so that the end face of the fiber block and the end face of the optical fiber become the same face.

【0009】従って、本発明の光半導体モジュールにお
いては、ヒートシンク上に固定した光半導体チップの光
の入射側あるいは出射側の少なくとも一方にファイバブ
ロックを配置するだけで、光半導体チップと光ファイバ
との間の光軸方向におけるギャップが非常に小さなもの
となり、光軸方向における位置合わせが極めて容易とな
る。
Therefore, in the optical semiconductor module of the present invention, the optical semiconductor chip and the optical fiber can be formed simply by disposing the fiber block on at least one of the light incident side and the light emitting side of the optical semiconductor chip fixed on the heat sink. The gap between them in the optical axis direction becomes very small, and the alignment in the optical axis direction becomes extremely easy.

【0010】このとき、請求項2の発明によれば、コア
とクラッドとの間の比屈折率差が通常のシングルモード
ファイバよりも大きいことから、光半導体チップと光フ
ァイバとの間の結合効率が向上し、両者の光軸方向にお
ける位置合わせが容易になる。また、請求項3の発明に
よれば、光ファイバとの界面における反射の影響を無視
でき、光半導体チップから出射した光の広がりが空気の
場合に比べて小さくなり、結合損失が一層小さくなる。
請求項3の発明に適用し得る接着剤としては、光ファイ
バと屈折率が整合したエポキシ系やアクリル系の接着剤
を用いることができ、例えば、アクリレート#4190
W等が好適である。
At this time, according to the second aspect of the invention, since the relative refractive index difference between the core and the clad is larger than that of a normal single mode fiber, the coupling efficiency between the optical semiconductor chip and the optical fiber is increased. And the alignment of the both in the optical axis direction becomes easy. Further, according to the invention of claim 3, the influence of reflection at the interface with the optical fiber can be ignored, the spread of the light emitted from the optical semiconductor chip becomes smaller than that in the case of air, and the coupling loss becomes further smaller.
As the adhesive that can be applied to the invention of claim 3, an epoxy-based or acrylic-based adhesive whose refractive index is matched with that of the optical fiber can be used, and for example, acrylate # 4190.
W and the like are preferable.

【0011】更に、請求項4の発明によれば、半導体チ
ップの端面近傍における光密度が小さくなり、端面にお
ける熱発生が抑制される。
Further, according to the invention of claim 4, the light density in the vicinity of the end face of the semiconductor chip is reduced, and heat generation at the end face is suppressed.

【0012】[0012]

【発明の実施の形態】以下、本発明の一実施例を図1乃
至図4に基づいて詳細に説明する。 実施例1 図1及び図2は、本発明の第1の実施例を説明するもの
で、光半導体モジュール1は、半導体光増幅器チップ
(以下、「光増幅器チップ」という)2と、光増幅器チ
ップ2の光の入・出射側に配置されるファイバブロック
3,4とを備え、接着剤5によって接着固定されてい
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION An embodiment of the present invention will be described in detail below with reference to FIGS. Embodiment 1 FIGS. 1 and 2 explain a first embodiment of the present invention. An optical semiconductor module 1 includes a semiconductor optical amplifier chip (hereinafter referred to as “optical amplifier chip”) 2 and an optical amplifier chip. 2 and the fiber blocks 3 and 4 arranged on the light input / output sides of the light, and are fixedly adhered by an adhesive 5.

【0013】光増幅器チップ2は、ヒートシンク6上に
固定され、ファイバブロック3,4との衝突を避けるた
めヒートシンク6よりも僅かに短い長さに設定されてい
る。光増幅器チップ2は、図1に示すように、端面反射
を抑えるために光軸を端面に対して約7度傾斜配置させ
てあり、入・出射側の端面近傍にモードフィールドを拡
大させる変換部2a,2bが設けられている。このた
め、光増幅器チップ2は、両端面に活性層が露出してい
ない。
The optical amplifier chip 2 is fixed on the heat sink 6 and is set to have a length slightly shorter than that of the heat sink 6 in order to avoid collision with the fiber blocks 3 and 4. As shown in FIG. 1, the optical amplifier chip 2 has an optical axis tilted by about 7 degrees with respect to the end face in order to suppress end face reflection, and a conversion unit for expanding a mode field near the end face on the input / output side. 2a and 2b are provided. Therefore, in the optical amplifier chip 2, the active layer is not exposed on both end faces.

【0014】ここで、ファイバブロック3,4は、いず
れも構造が同一なのでファイバブロック3のみについて
説明し、ファイバブロック4については図中対応する部
分に対応する符号を付して説明を省略する。ファイバブ
ロック3は、ファイバ孔3aにリボンファイバ3bを接
着固定し、端面3cをリボンファイバ3bと共に研磨し
たものである。ここで、ファイバ孔3aは、リボンファ
イバ3bを構成する光ファイバの端面反射を抑えるため
に、光増幅器チップ2の光軸の傾斜を考慮し、水平面内
において光増幅器チップ2への突き合わせ方向に対して
約17度傾斜させて形成されている。また、リボンファ
イバ3bを構成する光ファイバは、コアとクラッドとの
間の比屈折率差が通常のシングルモードファイバと同じ
0.3%である。
Here, since the fiber blocks 3 and 4 have the same structure, only the fiber block 3 will be described, and the fiber block 4 will be denoted by the corresponding reference numerals in the figure and will not be described. The fiber block 3 is formed by adhering and fixing the ribbon fiber 3b to the fiber hole 3a and polishing the end face 3c together with the ribbon fiber 3b. Here, the fiber hole 3a considers the inclination of the optical axis of the optical amplifier chip 2 in order to suppress the end facet reflection of the optical fiber forming the ribbon fiber 3b, and considers the direction of abutting with the optical amplifier chip 2 in the horizontal plane. And is formed with an inclination of about 17 degrees. The optical fiber forming the ribbon fiber 3b has the same relative refractive index difference between the core and the clad as a normal single mode fiber.
It is 0.3%.

【0015】従って、光半導体モジュール1は、例え
ば、ファイバブロック3のリボンファイバ3bを伝送さ
れてきた光は、光増幅器チップ2を通過する際に光増幅
されてファイバブロック4のリボンファイバ4bへ出射
される。このとき、光半導体モジュール1は、光増幅器
チップ2の両端面近傍に変換部2a,2bが設けられて
いる。従って、光増幅器チップ2は、端面近傍でモード
フィールドが拡大されて光密度が小さくなるので、端面
における熱発生が抑制されている。このため、光半導体
モジュール1は、光増幅器チップ2の端面に接着剤6が
付着していても何ら問題はなく、信頼性が低下すること
はない。
Therefore, in the optical semiconductor module 1, for example, the light transmitted through the ribbon fiber 3b of the fiber block 3 is optically amplified when passing through the optical amplifier chip 2 and emitted to the ribbon fiber 4b of the fiber block 4. To be done. At this time, the optical semiconductor module 1 is provided with the conversion units 2a and 2b near both end surfaces of the optical amplifier chip 2. Therefore, in the optical amplifier chip 2, since the mode field is expanded near the end face and the light density is reduced, heat generation at the end face is suppressed. Therefore, in the optical semiconductor module 1, even if the adhesive 6 is attached to the end surface of the optical amplifier chip 2, there is no problem and the reliability is not deteriorated.

【0016】以上のように構成される光半導体モジュー
ル1を製造したところ、光増幅器チップ2の各端面にフ
ァイバブロック3,4をそれぞれ位置合わせして接着固
定するのに各端面当たり約10分で済み、結合損失が各
端面当たり約3.5dBで、利得20dB以上の非常に良
好なモジュール1を複雑な工程なしに得ることができ
た。
When the optical semiconductor module 1 configured as described above is manufactured, it takes about 10 minutes for each end face to align and bond the fiber blocks 3 and 4 to each end face of the optical amplifier chip 2. As a result, a very good module 1 having a coupling loss of about 3.5 dB per end face and a gain of 20 dB or more could be obtained without complicated steps.

【0017】一方、光半導体チップとして同一構造の光
増幅器チップを用い、従来の技術で説明した光半導体モ
ジュールを製造したところ、光半導体チップとシングル
モードファイバとを最適位置に位置合わせするために、
各端面当たり約1時間必要であった。但し、結合損失は
各端面当たり約3.5dBであった。 実施例2 次に、本発明の第2の実施例を説明する。第2の実施例
の光半導体モジュールは、光ファイバのコアとクラッド
との間の比屈折率差が2.3%のリボンファイバを用いた
ことを除き、第1の実施例の光半導体モジュール1と構
成が同一であるので、図3においてリボンファイバ以外
の構成要素には同一の符号を付し、本実施例のリボンフ
ァイバの符号をそれぞれ3d,4dとすることにより、
説明を簡単にする。
On the other hand, when an optical amplifier chip having the same structure is used as the optical semiconductor chip to manufacture the optical semiconductor module described in the prior art, in order to align the optical semiconductor chip and the single mode fiber at the optimum position,
About 1 hour was required for each end face. However, the coupling loss was about 3.5 dB for each end face. Second Embodiment Next, a second embodiment of the present invention will be described. The optical semiconductor module of the second embodiment uses the optical semiconductor module 1 of the first embodiment except that a ribbon fiber having a relative refractive index difference of 2.3% between the core and the clad of the optical fiber is used. 3, the components other than the ribbon fiber are denoted by the same reference numerals, and the ribbon fibers of the present embodiment have the reference numerals 3d and 4d, respectively.
Make the explanation simple.

【0018】光半導体モジュール1は、ヒートシンク6
上に固定された光増幅器チップ2にファイバブロック
3,4が接着剤5で接着固定されている。ファイバブロ
ック3,4は、それぞれファイバ孔3a,4aにリボン
ファイバ3d,4dを接着固定し、端面3c,4cをリ
ボンファイバ3d,4dと共に研磨したものである。こ
こで、光半導体チップとして同一構造の光増幅器チップ
を用い、従来の技術で説明した比屈折率差が0.3%のシ
ングルモードファイバに代えて比屈折率差が2.3%の光
ファイバを用いて光半導体モジュールを製造した。その
結果、光半導体チップとシングルモードファイバとを最
適位置に位置合わせするために、各端面当たり約1時間
半を要した。
The optical semiconductor module 1 includes a heat sink 6
The fiber blocks 3 and 4 are bonded and fixed by an adhesive 5 to the optical amplifier chip 2 fixed above. The fiber blocks 3 and 4 are obtained by adhering and fixing the ribbon fibers 3d and 4d to the fiber holes 3a and 4a, respectively, and polishing the end faces 3c and 4c together with the ribbon fibers 3d and 4d. Here, an optical amplifier chip having the same structure is used as an optical semiconductor chip, and an optical fiber having a relative refractive index difference of 2.3% is used in place of the single mode fiber having a relative refractive index difference of 0.3% described in the prior art. Was used to manufacture an optical semiconductor module. As a result, it took about one and a half hours for each end face to align the optical semiconductor chip and the single mode fiber at the optimum positions.

【0019】これに対して、本実施例の光半導体モジュ
ール1では、光増幅器チップ2の各端面にファイバブロ
ック3,4をそれぞれ位置合わせして接着固定するのに
各端面当たり約10分で済み、結合損失は各端面当たり
約2.5dBで一層向上していた。ここで、光ファイバ
は、原理的には比屈折率差が大きい程、結合効率が向上
して良い。そこで、比屈折率差が1.4%,2.3%及び3.
1%の光ファイバを用いて光半導体モジュール1を組み
立て、各端面当たりの結合損失を測定したところ、それ
ぞれ1.8dB,2.5dB及び2.6dBであった。
On the other hand, in the optical semiconductor module 1 of this embodiment, it takes about 10 minutes for each end face to align and bond the fiber blocks 3 and 4 to each end face of the optical amplifier chip 2. , The coupling loss was about 2.5 dB per end face, which was further improved. Here, in principle, the larger the relative refractive index difference, the better the coupling efficiency of the optical fiber. Therefore, the relative refractive index difference is 1.4%, 2.3% and 3.
The optical semiconductor module 1 was assembled using 1% optical fiber, and the coupling loss per end face was measured and found to be 1.8 dB, 2.5 dB and 2.6 dB, respectively.

【0020】本発明の光半導体モジュールは、構成上、
光ファイバ端面と光半導体チップとの間に僅かなギャッ
プが存在するので、比屈折率差が大きくなり過ぎると比
屈折率差の大きい光ファイバを用いる利点が生かせなく
なる。従って、本発明においては、比屈折率差を通常の
シングルモードファイバの比屈折率差(=0.3%)より
も大きく、3.5%よりも小さく設定した。 実施例3 更に、光半導体モジュールは、図4に示す光半導体モジ
ュール10のように、半導体レーザチップ11の光の出
射側にファイバブロック12を接着剤13で接着固定し
た構成としてもよい。このような構成にすると、光半導
体モジュール10は、他方の端面が開放され、半導体レ
ーザチップ11の発光強度をモニタすることができる。
The optical semiconductor module of the present invention has the following structure.
Since there is a slight gap between the end face of the optical fiber and the optical semiconductor chip, if the relative refractive index difference becomes too large, the advantage of using the optical fiber having a large relative refractive index difference cannot be utilized. Therefore, in the present invention, the relative refractive index difference is set to be larger than the relative refractive index difference (= 0.3%) of a normal single mode fiber and smaller than 3.5%. Third Embodiment Further, the optical semiconductor module may have a configuration in which the fiber block 12 is adhered and fixed to the light emitting side of the semiconductor laser chip 11 with the adhesive 13 as in the optical semiconductor module 10 shown in FIG. With this configuration, the other end surface of the optical semiconductor module 10 is opened, and the emission intensity of the semiconductor laser chip 11 can be monitored.

【0021】ここで、半導体レーザチップ11は、ヒー
トシンク14上に固定され、ファイバブロック12との
衝突を避けるためヒートシンク14よりも僅かに短い長
さに設定されている。半導体レーザチップ11は、図4
に示すように、光軸が端面に対して垂直で、光の出射側
の端面近傍にモードフィールドを拡大させる変換部11
aが設けられている。
Here, the semiconductor laser chip 11 is fixed on the heat sink 14, and is set to have a length slightly shorter than that of the heat sink 14 in order to avoid collision with the fiber block 12. The semiconductor laser chip 11 is shown in FIG.
As shown in FIG. 5, the converter 11 has an optical axis perpendicular to the end face and expands the mode field near the end face on the light emission side.
a is provided.

【0022】また、ファイバブロック12は、ファイバ
孔12aにリボンファイバ12bを接着固定し、端面1
2cをリボンファイバ12bと共に研磨したものであ
る。ここで、ファイバ孔12aは、水平面内において半
導体レーザチップ11への突き合わせ方向と平行に形成
されている。また、リボンファイバ12bを構成する光
ファイバは、コアとクラッドとの間の比屈折率差が通常
のシングルモードファイバと同じ0.3%である。
In the fiber block 12, the ribbon fiber 12b is bonded and fixed to the fiber hole 12a, and the end face 1 is formed.
2c is polished together with the ribbon fiber 12b. Here, the fiber hole 12a is formed in a horizontal plane in parallel with the direction of butting to the semiconductor laser chip 11. In the optical fiber forming the ribbon fiber 12b, the relative refractive index difference between the core and the clad is 0.3%, which is the same as that of a normal single mode fiber.

【0023】[0023]

【発明の効果】以上の説明で明らかなように、本発明に
よれば、光半導体チップと光ファイバとの間の光軸方向
における位置合わせが容易で、安価に製造することが可
能な高い結合効率を有する光半導体モジュールを提供す
ることができる。このとき、請求項2の発明によれば、
コアとクラッドとの間の比屈折率差が通常のシングルモ
ードファイバよりも大きいことから、光半導体チップと
光ファイバとの間の結合効率が向上し、両者の光軸方向
における位置合わせを容易に行うことができる。
As is apparent from the above description, according to the present invention, it is easy to align the optical semiconductor chip and the optical fiber in the optical axis direction, and the high coupling which can be manufactured at low cost is provided. An optical semiconductor module having efficiency can be provided. At this time, according to the invention of claim 2,
Since the relative refractive index difference between the core and the clad is larger than that of a normal single-mode fiber, the coupling efficiency between the optical semiconductor chip and the optical fiber is improved, and the alignment of the both in the optical axis direction is facilitated. It can be carried out.

【0024】また、請求項3の発明によれば、光ファイ
バとの界面における反射の影響を無視でき、光半導体チ
ップから出射した光の広がりが空気の場合に比べて小さ
くなるので、結合損失を一層小さくすることができる。
更に、請求項4の発明によれば、半導体チップの端面近
傍における光密度が小さくなるので、端面における熱発
生を抑制することができ、光半導体モジュールの信頼性
が向上する。
According to the invention of claim 3, the influence of reflection at the interface with the optical fiber can be ignored, and the spread of the light emitted from the optical semiconductor chip becomes smaller than that in the case of air, so that the coupling loss is reduced. It can be made smaller.
Further, according to the invention of claim 4, since the light density in the vicinity of the end face of the semiconductor chip is reduced, heat generation at the end face can be suppressed, and the reliability of the optical semiconductor module is improved.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】本発明の光半導体モジュールの第1の実施例を
示す平面図である。
FIG. 1 is a plan view showing a first embodiment of an optical semiconductor module of the present invention.

【図2】図1の光半導体モジュールの側面図である。FIG. 2 is a side view of the optical semiconductor module of FIG.

【図3】本発明の光半導体モジュールの第2の実施例を
示す平面図である。
FIG. 3 is a plan view showing a second embodiment of the optical semiconductor module of the present invention.

【図4】本発明の光半導体モジュールの第3の実施例を
示す平面図である。
FIG. 4 is a plan view showing a third embodiment of the optical semiconductor module of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光半導体モジュール 2 光増幅器チップ 2a,2b 変換部(モードフィールドの) 3,4 ファイバブロック 3a,4a ファイバ孔 3b,4b リボンファイバ 3c,4c 端面 3d,4d リボンファイバ 5 接着剤 6 ヒートシンク 10 光半導体モジュール 11 半導体レーザチップ 11a 変換部(モードフィールドの) 12 ファイバブロック 12a ファイバ孔 12b リボンファイバ 12c 端面 13 接着剤 14 ヒートシンク DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical semiconductor module 2 Optical amplifier chip 2a, 2b Conversion part (mode field) 3,4 Fiber block 3a, 4a Fiber hole 3b, 4b Ribbon fiber 3c, 4c End surface 3d, 4d Ribbon fiber 5 Adhesive 6 Heat sink 10 Optical semiconductor Module 11 Semiconductor laser chip 11a Converter (for mode field) 12 Fiber block 12a Fiber hole 12b Ribbon fiber 12c End face 13 Adhesive 14 Heat sink

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 麦野 明 東京都千代田区丸の内2丁目6番1号 古 河電気工業株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Akira Muno 2-6-1, Marunouchi, Chiyoda-ku, Tokyo Furukawa Electric Co., Ltd.

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 ヒートシンク上に固定される光半導体チ
ップと、光ファイバが固定され、前記光半導体チップの
光の入射側あるいは出射側の少なくとも一方に配置され
るファイバブロックとを備え、前記ヒートシンクとファ
イバブロックが接合固定されていることを特徴とする光
半導体モジュール。
1. An optical semiconductor chip fixed on a heat sink, and a fiber block on which an optical fiber is fixed and arranged on at least one of a light incident side and a light emitting side of the optical semiconductor chip. An optical semiconductor module, in which a fiber block is bonded and fixed.
【請求項2】 前記光ファイバは、コアとクラッドとの
間の比屈折率差が0.3%よりも大きく、3.5%よりも小
さい、請求項1の光半導体モジュール。
2. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein the optical fiber has a relative refractive index difference between the core and the clad of more than 0.3% and less than 3.5%.
【請求項3】 前記ヒートシンク及び光半導体チップと
前記ファイバブロックとが、屈折率が1以上の接着剤で
接着されている、請求項1又は2の光半導体モジュー
ル。
3. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein the heat sink and the optical semiconductor chip are bonded to the fiber block with an adhesive having a refractive index of 1 or more.
【請求項4】 前記光半導体チップの、光の入・出射端
面の少なくとも一方の端面近傍にモードフィールド変換
部が設けられている、請求項1乃至3いずれかの光半導
体モジュール。
4. The optical semiconductor module according to claim 1, wherein a mode field converter is provided near at least one of the light input / output end faces of the optical semiconductor chip.
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Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2000261087A (en) * 1999-03-11 2000-09-22 Hitachi Cable Ltd Active device with three-dimensional light receiving wave guide circuit
WO2002099940A3 (en) * 2001-06-05 2003-09-12 Axcel Photonics Inc Powerpack laser diode assemblies
JP2021034450A (en) * 2019-08-20 2021-03-01 日亜化学工業株式会社 Semiconductor laser device and manufacturing method thereof

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