JPH09137792A - Magnet pump - Google Patents
Magnet pumpInfo
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- JPH09137792A JPH09137792A JP29559495A JP29559495A JPH09137792A JP H09137792 A JPH09137792 A JP H09137792A JP 29559495 A JP29559495 A JP 29559495A JP 29559495 A JP29559495 A JP 29559495A JP H09137792 A JPH09137792 A JP H09137792A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は、半導体製造装置等
に薬液を給送するマグネットポンプに関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnet pump for feeding a chemical solution to a semiconductor manufacturing apparatus or the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来、この種のマグネットポンプは図２
に示すように、ポンプ本体Ｍに回転子６が対をなす軸受
４，５に支持されて回転可能に内装されていた。回転子
６の周方向には、マグネット２，２…が配列され、ポン
プ本体Ｍには、回転子６の回転方向に沿って電磁石１が
設けられ、電磁石１とマグネット２との磁気作用により
回転子６に回転力を付与して回転子６を回転させるよう
になっていた。またポンプ本体Ｍには、薬液の吸入口Ｍ
1と吸出口Ｍ2とが設けられ、回転子６の回転軸にはイン
ペラ（羽根車）３が取付けられており、回転子６の回転
によりインペラ３をもって吸入口Ｍ1からの薬液を吸出
口Ｍ2に給送するようにしていた。2. Description of the Related Art Conventionally, this type of magnet pump is shown in FIG.
As shown in (1), the rotor 6 was rotatably mounted in the pump body M by being supported by the pair of bearings 4 and 5. The magnets 2, 2, ... Are arranged in the circumferential direction of the rotor 6, and the electromagnet 1 is provided in the pump body M along the rotational direction of the rotor 6, and is rotated by the magnetic action of the electromagnet 1 and the magnet 2. The rotor 6 is designed to be rotated by applying a rotational force to the child 6. Further, the pump body M has a suction port M for the chemical liquid.
1 and a suction port M 2 are provided, and an impeller (impeller) 3 is attached to the rotating shaft of the rotor 6, and the rotation of the rotor 6 causes the impeller 3 to suck the chemical liquid from the suction port M 1. I was supposed to send it to M 2 .
【０００３】しかしながら図２に示すマグネットポンプ
は、軸受４，５が吸入口Ｍ1及び吸出口Ｍ2の薬液と接触
する構造であるため、軸受４，５の摩耗により発生した
パーティクルが薬液中に混入して半導体製造装置等に給
送されてしまうこととなり、そのパーティクルが半導体
集積回路の歩留りを低下させるという問題があった。However, the magnet pump shown in FIG. 2 has a structure in which the bearings 4 and 5 come into contact with the chemical liquid at the suction port M 1 and the suction port M 2 , so that particles generated due to wear of the bearings 4 and 5 are contained in the chemical liquid. There is a problem in that the particles are mixed and fed to a semiconductor manufacturing apparatus or the like, and the particles reduce the yield of the semiconductor integrated circuit.
【０００４】図２に示したマグネットポンプの問題点を
解決するために、図３に示すように軸受に動圧軸受９を
用いて、パーティクルの薬液への混入を阻止するマグネ
ットポンプが考案されている。In order to solve the problems of the magnet pump shown in FIG. 2, a magnet pump has been devised which uses a dynamic pressure bearing 9 as a bearing as shown in FIG. 3 to prevent particles from mixing into the chemical liquid. There is.
【０００５】またマグネットポンプとは異なるが、特開
昭６２−９８７４０号に開示された一般的な回転機構の
例では、回転機構の軸部を外部との圧力差を利用して排
気する構造のものが考案されている。Although different from the magnet pump, in the example of the general rotating mechanism disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 62-98740, the shaft portion of the rotating mechanism is exhausted by utilizing the pressure difference between the shaft and the outside. Things have been devised.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】図３に示すマグネット
ポンプでは、動圧軸受９を採用しており、定常運転時に
軸受部分が非接触のため、発塵を防止できるが、停止後
から起動時までは、軸受部分が面をもって接触するた
め、完全に発塵を防止することは困難であった。In the magnet pump shown in FIG. 3, the dynamic pressure bearing 9 is employed, and since the bearing portion is in non-contact during steady operation, dust generation can be prevented. Up until now, it was difficult to completely prevent dust generation because the bearing portions come into contact with each other with a surface.
【０００７】さらに特開昭６２−９８７４０号公報に開
示されたシステムは、軸部と外部の圧力差を発生させる
ための加圧機構を別途装備する必要があり、その分だけ
コストがアップするとともにメンテナンスが厄介である
という問題があった。Further, the system disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 62-98740 needs to be additionally equipped with a pressurizing mechanism for generating a pressure difference between the shaft portion and the outside, which increases the cost accordingly. There was a problem that maintenance was troublesome.
【０００８】本発明の目的は、軸受に接触する薬液を分
離して排液し、パーティクルの薬液への混入を防止する
マグネットポンプを提供することにある。An object of the present invention is to provide a magnet pump which separates and discharges a chemical solution that comes into contact with a bearing to prevent particles from mixing with the chemical solution.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】前記目的を達成するた
め、本発明に係るマグネットポンプは、回転子と、イン
ペラと、給液ラインと、排液ラインとを有するマグネッ
トポンプであって、回転子は、磁気作用により回転駆動
するものであり、インペラは、回転子により回転されて
薬液を給送するものであり、給液ラインと排液ラインと
は、隔離されており、給液ラインは、薬液をインペラに
より供給ラインに給送するものであり、排液ラインは、
回転子を支持した軸受に接触する薬液をインペラにより
排液するものである。To achieve the above object, a magnet pump according to the present invention is a magnet pump having a rotor, an impeller, a liquid supply line, and a liquid discharge line. Is driven to rotate by a magnetic action, the impeller is rotated by a rotor to feed the chemical liquid, the liquid supply line and the liquid discharge line are separated, and the liquid supply line is The chemical liquid is fed to the supply line by the impeller, and the drain line is
The impeller is used to drain the chemical liquid that comes into contact with the bearing that supports the rotor.
【００１０】また給液ラインは、ポンプ本体内に設けた
第１ポンプ室と、第１ポンプ室内に設けたインペラと、
第１ポンプ室に開口した吸入口及び吸出口とを有し、吸
出口は、供給ラインに接続されたものでありインペラ
は、回転子により回転されて吸入口から薬液を第１ポン
プ室内に吸入して吸出口から送出するものである。The liquid supply line includes a first pump chamber provided in the pump body, an impeller provided in the first pump chamber,
It has a suction port and a suction port opened in the first pump chamber, the suction port is connected to a supply line, and the impeller is rotated by a rotor to suck the liquid medicine into the first pump chamber from the suction port. Then, it is delivered from the suction port.
【００１１】また排液ラインは、ポンプ本体内に設けら
れ、かつ回転子を内装したモータ室に連通した第２ポン
プ室と、第２ポンプ室内に設けたインペラと、第２ポン
プ室に開口した排液口とを有し、モータ室は、回転子を
軸受に支持して該回転子を回転可能に内装したしたもの
であり、インペラは、回転子により回転されてモータ室
内の薬液を第２ポンプ室を介して排液口から排液するも
のである。The drainage line is opened in the second pump chamber, which is provided in the pump body and communicates with the motor chamber in which the rotor is installed, the impeller provided in the second pump chamber, and the second pump chamber. And a motor chamber in which the rotor is supported by a bearing and the rotor is rotatably mounted inside. The impeller is rotated by the rotor to move the chemical liquid in the motor chamber to the second position. The liquid is drained from the drain port via the pump chamber.
【００１２】また第１ポンプ室と第２ポンプ室は、分離
板により隔離されたものである。The first pump chamber and the second pump chamber are separated by a separating plate.
【００１３】またモータ室には、回転子の回転軸を通し
て薬液が供給されるものである。Further, the chemical liquid is supplied to the motor chamber through the rotary shaft of the rotor.
【００１４】回転子を支持した軸受に接触する薬液は、
給液ラインの薬液から隔離されている。半導体製造装置
等の供給ラインに給液ラインから薬液を給送する際に、
軸受に接触する薬液は、給液ラインとは独立した排液ラ
インより排液することにより、軸受から発生するパーテ
ィクルが半導体製造装置等に給送される薬液に混入して
汚染するのを阻止する。The chemical liquid that comes into contact with the bearing that supports the rotor is
Separated from chemicals in the liquid supply line. When supplying chemicals from the liquid supply line to the supply line of semiconductor manufacturing equipment,
The chemical liquid contacting the bearing is drained from a drain line independent of the liquid supply line, thereby preventing particles generated from the bearing from being mixed into the chemical liquid fed to the semiconductor manufacturing equipment and contaminated. .
【００１５】[0015]
【発明の実施の形態】以下、本発明を図により説明す
る。図１は、本発明の一実施形態に係るマグネットポン
プを示す断面図である。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing a magnet pump according to an embodiment of the present invention.
【００１６】図においてポンプ本体Ｍ内に回転子６が対
をなす軸受４，５を介して回転可能に支持されており、
回転子６の周方向にマグネット２が配列して設けられて
いる。またポンプ本体Ｍ内には、回転子６の回転方向に
沿って電磁石１が設けられており、電磁石１とマグネッ
ト２との磁気作用により回転子６が回転されるようにな
っている。In the figure, a rotor 6 is rotatably supported in a pump body M via bearings 4 and 5 forming a pair,
The magnets 2 are arranged in the circumferential direction of the rotor 6. An electromagnet 1 is provided in the pump body M along the rotation direction of the rotor 6, and the rotor 6 is rotated by the magnetic action of the electromagnet 1 and the magnet 2.
【００１７】またポンプ室Ｍ内には、回転子６に隣接し
て空腔Ｓが設けられており、空腔Ｓ内には、回転子６の
回転軸６ａが延長されている。空腔Ｓ内は、第１ポンプ
室Ｓ1と第２ポンプ室Ｓ2とに分離板７により分離されて
おり、外側の第１ポンプ室Ｓ1には吸入口Ｍ1が開口して
いる。A cavity S is provided in the pump chamber M adjacent to the rotor 6, and a rotary shaft 6a of the rotor 6 is extended in the cavity S. The inside of the cavity S is divided into a first pump chamber S 1 and a second pump chamber S 2 by a separation plate 7, and an intake port M 1 is opened in the outer first pump chamber S 1 .
【００１８】また回転子６の回転軸６ａには貫通孔６ｂ
が設けられており、貫通孔６ｂの一端は吸入口Ｍ1に向
けて開口している。また貫通孔６ｂの他端は、回転子６
が内装されたポンプ本体Ｍのモータ室Ｓ3に開口し、回
転子６の回転に伴ってモータ室Ｓ3内は負圧にならない
ように貫通孔６ｂを通して薬液をモータ室Ｓ3に補充す
るようになっている。The rotating shaft 6a of the rotor 6 has a through hole 6b.
Is provided, and one end of the through hole 6b opens toward the suction port M 1 . The other end of the through hole 6b is connected to the rotor 6
As but open to the motor chamber S 3 of the pump body M, which is furnished, to replenish the chemical in the motor chamber S 3 via the through-holes 6b as the motor chamber S 3 with the rotation of the rotor 6 does not become a negative pressure It has become.
【００１９】また第１ポンプ室Ｓ1には、回転軸６ａの
径方向に位置した吸出口Ｍ2が設けられ、第２ポンプ室
Ｓ2には、回転軸６ａの径方向に位置した排液口Ｍ3が設
けられている。Further, the first pump chamber S 1 is provided with a suction port M 2 located in the radial direction of the rotary shaft 6a, and the second pump chamber S 2 is provided with drainage located in the radial direction of the rotary shaft 6a. A mouth M 3 is provided.
【００２０】さらにポンプ本体Ｍの第１ポンプ室Ｓ1内
にインペラ３が回転子６の回転軸６ａに支持されて回転
可能に内装され、ポンプ本体Ｍの第２ポンプ室Ｓ2内に
インペラ８が回転子６の回転軸６ａに支持されて回転可
能に内装されている。インペラ３と８は、羽根の形状を
利用してポンプ室Ｓ1，Ｓ2内の薬液を吸出口Ｍ2，排液
口Ｍ3にそれぞれ給送するようになっている。インペラ
３と８の羽根の形状は、汎用のものを用いている。Further, the impeller 3 is rotatably mounted in the first pump chamber S 1 of the pump body M by being supported by the rotating shaft 6a of the rotor 6, and the impeller 8 is provided in the second pump chamber S 2 of the pump body M. Is rotatably mounted by being supported by the rotating shaft 6a of the rotor 6. The impellers 3 and 8 use the shape of the blades to feed the chemicals in the pump chambers S 1 and S 2 to the suction port M 2 and the drain port M 3 , respectively. The blades of the impellers 3 and 8 have a general-purpose shape.
【００２１】ここに吸入口Ｍ1，第１ポンプ室Ｓ1，吸出
口Ｍ2，インペラ３等は、第１ポンプ室Ｓ1内の薬液を半
導体製造装置等の供給ラインＬ3に送出する給液ライン
Ｌ1を構成している。一方、第２ポンプ室Ｓ2，排液口Ｍ
3，インペラ８等は、モータ室Ｓ3内の薬液を排液する排
液ラインＬ2を構成している。そして給液ラインＬ1の第
１ポンプ室Ｓ1と排液ラインＬ2の第２ポンプ室Ｓ2と
は、分離板７により隔離されている。[0021] Here the suction port M 1, the first pump chamber S 1, suction outlet M 2, the impeller 3, etc., supply delivering a drug solution in the first pump chamber S 1 to the supply line L 3 such as a semiconductor manufacturing device It constitutes the liquid line L 1 . On the other hand, the second pump chamber S 2 , the drain M
3 , the impeller 8 and the like constitute a drain line L 2 for draining the chemical liquid in the motor chamber S 3 . Then the first pump chamber S 1 of the liquid supply line L 1 and the drainage second pump chamber S 2 lines L 2 is isolated by the separation plate 7.
【００２２】本発明において、回転子６が回転駆動する
と、インペラ３，８が回転する。インペラ３は吸入口Ｍ
1から薬液を第１ポンプ室Ｓ1内に吸い込み、さらに第１
ポンプ室Ｓ1に吸い込んだ薬液を吸出口Ｍ2から半導体製
造装置等の供給ラインＬ3に送出する。In the present invention, when the rotor 6 is driven to rotate, the impellers 3 and 8 rotate. Impeller 3 has suction port M
The chemical liquid is sucked into the first pump chamber S 1 from 1
The chemical liquid sucked into the pump chamber S 1 is sent from the suction port M 2 to the supply line L 3 of the semiconductor manufacturing apparatus or the like.
【００２３】一方軸受４，５の領域には、回転子６の回
転軸６ａに設けた貫通孔６ｂを通して薬液が吸入口Ｍ1
から供給され、モータ室Ｓ3が回転子６の回転に伴って
負圧になることが阻止される。モータ室Ｓ3に薬液が供
給されると、その薬液は軸受４，５に接触し、この薬液
には、軸受４，５の摩耗等により発生するパーティクル
が含まれることとなる。On the other hand, in the area of the bearings 4 and 5, the chemical solution is sucked in through the through hole 6b provided in the rotating shaft 6a of the rotor 6 through the intake port M 1
The motor chamber S 3 is prevented from having a negative pressure as the rotor 6 rotates. When the chemical liquid is supplied to the motor chamber S 3 , the chemical liquid comes into contact with the bearings 4 and 5, and the chemical liquid contains particles generated by abrasion of the bearings 4 and 5.
【００２４】このパーティクルを含んだ薬液は、インペ
ラ８によりモータ室Ｓ3から第２ポンプ室Ｓ2内に吸い込
まれ、さらに第２ポンプ室Ｓ2内に吸い込まれ薬液は、
インペラ８により第２ポンプ室Ｓ2から排液口Ｍ3を介し
てよりポンプ本体Ｍ外に排液される。この場合、給液ラ
インＬ1の第１ポンプ室Ｓ1と排液ラインＬ2の第２ポン
プ室Ｓ2とは、分離板７により隔離されているため、第
１ポンプ室Ｓ1と第２ポンプ室Ｓ2との薬液が互いに混ざ
り合うことはない。The chemical liquid containing the particles is sucked from the motor chamber S 3 into the second pump chamber S 2 by the impeller 8 and further sucked into the second pump chamber S 2 to obtain the chemical liquid.
The impeller 8 drains the liquid from the second pump chamber S 2 to the outside of the pump body M via the drain port M 3 . In this case, the liquid supply first pump chamber S 1 line L 1 and the second pump chamber S 2 of the drain line L 2, because they are isolated by the separating plate 7, the first pump chamber S 1 and the second The chemicals in the pump chamber S 2 never mix with each other.
【００２５】したがって、モータ室Ｓ3内の軸受４，５
に接触した薬液は、給液ラインＬ1から隔離された排液
ラインＬ2を通して排液されることとなり、給液ライン
Ｌ1から送出される薬液には、軸受４，５から生じるパ
ーティクルが混入することはない。また排液ラインＬ2
から排液されて回収された薬液は、フィルタに通して瀘
過して再使用する。Therefore, the bearings 4, 5 in the motor chamber S 3
Chemical in contact with becomes a be drained through the drain line L 2 that is isolated from the supply fluid line L 1, the chemical solution is delivered from the liquid supply line L 1, the particle contamination arising from the bearing 4, 5 There is nothing to do. Also drain line L 2
The chemical liquid drained and collected from the filter is passed through a filter, filtered, and reused.
【００２６】[0026]
【発明の効果】以上説明したように本発明によれば、軸
受に接触する薬液を隔離して排液するようにしたため、
軸受から発生するパーティクルが清浄な薬液に混入する
ことを防止することができ、薬液の汚染による製造歩留
りの低下を防止できる。As described above, according to the present invention, the chemical liquid contacting the bearing is isolated and discharged.
It is possible to prevent particles generated from the bearing from being mixed into a clean chemical liquid, and prevent a reduction in manufacturing yield due to contamination of the chemical liquid.
【００２７】また２つのポンプ室相互間は、分離板によ
り隔離されているため、ポンプの停止時及び稼動時に拘
らず、常に２つのポンプ室内の薬液が混ざり合うことが
防止することができ、薬液の汚染による製造歩留りの低
下を防止できる。Further, since the two pump chambers are separated from each other by the separating plate, it is possible to prevent the chemical liquids in the two pump chambers from being constantly mixed, regardless of whether the pumps are stopped or operating. It is possible to prevent a decrease in manufacturing yield due to the contamination of.
【００２８】またパーティクルを含む薬液は、清浄な薬
液を送出する機構と同じようにインペラを用いており、
しかも回転子の回転軸を使って回転駆動するため、薬液
の混合を防止する機構を簡素化することができ、しかも
メンテナンスを容易に行なうことができる。The chemical solution containing particles uses an impeller as in the mechanism for delivering a clean chemical solution.
Moreover, since the rotary shaft of the rotor is used to drive the rotation, the mechanism for preventing the mixture of the chemicals can be simplified and the maintenance can be easily performed.
【図１】本発明の一実施形態に係るマグネットポンプを
示す断面図である。FIG. 1 is a sectional view showing a magnet pump according to an embodiment of the present invention.
【図２】従来のマグネットポンプを示す断面図である。FIG. 2 is a sectional view showing a conventional magnet pump.
【図３】従来のマグネットポンプを示す断面図である。FIG. 3 is a sectional view showing a conventional magnet pump.
１ 電磁石 ２ マグネット ３ インペラ ４ 軸受 ５ 軸受 ６ 回転子 ６ａ 回転子の回転軸 ６ｂ 回転子の貫通孔 ７ 分離板 ８ インペラ Ｍ ポンプ本体 Ｍ1 吸入口 Ｍ2 吸出口 Ｍ3 排液口 Ｓ1 第１ポンプ室 Ｓ2 第２ポンプ室 Ｓ3 モータ室1 Electromagnet 2 Magnet 3 Impeller 4 Bearing 5 Bearing 6 Rotor 6a Rotor rotating shaft 6b Rotor through hole 7 Separation plate 8 Impeller M Pump body M 1 Suction port M 2 Suction port M 3 Discharge port S 1 1st Pump room S 2 2nd pump room S 3 Motor room
Claims (5)
排液ラインとを有するマグネットポンプであって、 回転子は、磁気作用により回転駆動するものであり、 インペラは、回転子により回転されて薬液を給送するも
のであり、 給液ラインと排液ラインとは、隔離されており、 給液ラインは、薬液をインペラにより供給ラインに給送
するものであり、 排液ラインは、回転子を支持した軸受に接触する薬液を
インペラにより排液するものであることを特徴とするマ
グネットポンプ。1. A rotor, an impeller, a liquid supply line,
A magnet pump having a drain line, the rotor being rotationally driven by a magnetic action, the impeller being rotated by the rotor to feed the chemical liquid, the liquid feed line and the drain line. The line is isolated, the liquid supply line is for supplying the chemical liquid to the supply line by the impeller, and the liquid discharge line is for discharging the chemical liquid contacting the bearing supporting the rotor by the impeller. A magnet pump characterized in that.
１ポンプ室と、第１ポンプ室内に設けたインペラと、第
１ポンプ室に開口した吸入口及び吸出口とを有し、 吸出口は、供給ラインに接続されたものでありインペラ
は、回転子により回転されて吸入口から薬液を第１ポン
プ室内に吸入して吸出口から送出するものであることを
特徴とする請求項１に記載のマグネットポンプ。2. The liquid supply line has a first pump chamber provided in the pump body, an impeller provided in the first pump chamber, a suction port and a suction port opened in the first pump chamber, The outlet is connected to a supply line, and the impeller is rotated by a rotor to suck the chemical solution into the first pump chamber from the suction port and deliver it from the suction port. Magnet pump described in.
れ、かつ回転子を内装したモータ室に連通した第２ポン
プ室と、第２ポンプ室内に設けたインペラと、第２ポン
プ室に開口した排液口とを有し、 モータ室は、回転子を軸受に支持して該回転子を回転可
能に内装したものであり、 インペラは、回転子により回転されてモータ室内の薬液
を第２ポンプ室を介して排液口から排液するものである
ことを特徴とする請求項１に記載のマグネットポンプ。3. The drain line is provided in the pump body and communicates with a motor chamber having a rotor therein, a second pump chamber, an impeller provided in the second pump chamber, and an opening in the second pump chamber. The motor chamber has a rotor supported by a bearing and the rotor is rotatably mounted inside, and the impeller is rotated by the rotor to move the chemical liquid in the motor chamber to the second position. The magnet pump according to claim 1, wherein the magnet pump drains liquid from the drain port via the pump chamber.
により隔離されたものであることを特徴とする請求項２
又は３に記載のマグネットポンプ。4. The first pump chamber and the second pump chamber are separated by a separating plate.
Alternatively, the magnet pump according to item 3.
薬液が供給されるものであることを特徴とする請求項３
に記載のマグネットポンプ。5. The chemical solution is supplied to the motor chamber through a rotary shaft of a rotor.
Magnet pump described in.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7295594A JP2882325B2 (en) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | Magnet pump |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7295594A JP2882325B2 (en) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | Magnet pump |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH09137792A true JPH09137792A (en) | 1997-05-27 |
| JP2882325B2 JP2882325B2 (en) | 1999-04-12 |
Family
ID=17822655
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7295594A Expired - Fee Related JP2882325B2 (en) | 1995-11-14 | 1995-11-14 | Magnet pump |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2882325B2 (en) |
Cited By (3)
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1995
- 1995-11-14 JP JP7295594A patent/JP2882325B2/en not_active Expired - Fee Related
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