JPH09133832A - Surface matching mechanism for connection surface between optical components and connecting device for optical component using same mechanism - Google Patents

Surface matching mechanism for connection surface between optical components and connecting device for optical component using same mechanism

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JPH09133832A
JPH09133832A JP28879695A JP28879695A JPH09133832A JP H09133832 A JPH09133832 A JP H09133832A JP 28879695 A JP28879695 A JP 28879695A JP 28879695 A JP28879695 A JP 28879695A JP H09133832 A JPH09133832 A JP H09133832A
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optical
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component
connection
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祥吾 芹澤
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豪夫 山本
Shigeru Fujiwara
茂 藤原
Fumiaki Hanawa
文明 塙
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress optical component connection loss low by matching the end surfaces of optical components with each other without increasing the manufacture precision of the optical components unnecessarily. SOLUTION: Component holding bodies 105F and 105S which clamp optical components 65 and 69 float in internal spaces 107F and 107S in housings 99F and 99S, and 101F and 101S with air blown by nozzles 113F and 113S, and 117F and 117S, and are balanced by springs 109F and 109S, so when the end surfaces of the optical components 65 and 69 are pressed against the end surface of one optical component 9, the surfaces are matched by free rotation and swinging without any frictional resistance. When only the nozzles 113F and 113S or 117F and 117S are placed in operation, the optical components 105F and 105S are pressed against the internal walls of the internal spaces 107F and 107S with the blown air, so the optical components 105F and 105S can be fixed at the positions where the surfaces are matched. In this state, they are connected by a connecting means.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】この発明は、接続する光部品
の端面を合せる光部品間接続面の面合せ機構およびこの
機構を用いた光部品の接続装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface alignment mechanism for inter-optical component connection surfaces for aligning end faces of optical components to be connected, and an optical component connection device using this mechanism.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来より、この分野では微妙な加圧力に
より揺動が生じるように、接続面を合せる有効な技術は
非常に困難で皆無に近い。また、光部品の接続において
は、部品が接続装置における旋回中心から離れた位置に
取付けられるため、部品の端面同士を合せることが困難
であった。
2. Description of the Related Art Heretofore, in this field, an effective technique for aligning connecting surfaces has been extremely difficult and almost nonexistent so that a slight pressure force causes oscillation. Further, in connecting optical components, it is difficult to align the end faces of the components because the components are mounted at positions away from the turning center of the connection device.

【0003】すなわち、光部品の接続における加圧力を
小さく抑えて正確な面合せを行うことにより接続時の光
部品接続損失を低く抑えるためには、部品の製作精度を
向上させることが要求されていた。
That is, in order to suppress the optical component connection loss at the time of connection by suppressing the pressure applied to the connection of the optical parts to be small and to perform accurate face-to-face bonding, it is required to improve the manufacturing precision of the parts. It was

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前述の
ように光部品の製作精度をあげることは、コストの面で
問題がある。また、接続装置における光部品の装着部分
を旋回中心に一致させることも構造的に困難であり、現
実には光部品接続損失が避けられない状態である。
However, increasing the manufacturing precision of the optical component as described above has a problem in terms of cost. Further, it is structurally difficult to match the mounting portion of the optical device in the connection device with the center of rotation, and in reality, optical component connection loss is inevitable.

【0005】また、操作性をよくするため、光回路部品
を水平に置いて左右に位置する入出力用の光部品を同時
に接続する装置が望まれていた。
Further, in order to improve the operability, there has been a demand for a device in which the optical circuit parts are placed horizontally and the input / output optical parts positioned on the left and right are simultaneously connected.

【0006】この発明の目的は、以上のような従来の技
術に着目してなされたものであり、光部品の製作精度を
あげることなく光部品の端面同士を一致させて光部品接
続損失を低く抑えることのできる光部品の面合せ機構お
よびこの機構を用いた光部品の接続装置を提供すること
にある。
The object of the present invention has been made by paying attention to the above-mentioned conventional techniques, and the optical element connection loss can be reduced by matching the end faces of the optical components without increasing the manufacturing precision of the optical components. It is an object of the present invention to provide an optical component aligning mechanism that can be suppressed and an optical component connecting device using this mechanism.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】上記の目的を達成するた
めに、請求項1による発明の光部品間接続面の面合せ機
構は、光部品同士を接続する場合に前記光部品の端面同
士を合せる光部品間接続面の面合せ機構であって、一方
の光部品が固定される光部品固定ホルダと、他方の光部
品がクランプされるクランパを前記光部品固定ホルダに
対向させて備えた光部品保持体と、この光部品保持体を
所定の隙間をもって内部空間に含むと共に前記クランパ
を外部に突出せしめるハウジングと、このハウジングの
内壁に設けられると共に前記光部品保持体に空気を吹き
付ける空気ノズルと、前記光部品保持体を前記内部空間
に吊下げてバランスを取るための弾性体と、を備えてな
ることを特徴とするものである。
In order to achieve the above-mentioned object, the surface aligning mechanism of the connection surface between optical parts of the invention according to the first aspect of the present invention makes the end surfaces of the optical parts contact each other when connecting the optical parts. A face aligning mechanism for connecting optical components, which comprises an optical component fixing holder for fixing one optical component, and a clamper for clamping the other optical component facing the optical component fixing holder. A component holder, a housing that includes the optical component holder in a space with a predetermined gap and projects the clamper to the outside, and an air nozzle that is provided on the inner wall of the housing and blows air to the optical component holder. And an elastic body for suspending and balancing the optical component holder in the internal space.

【0008】従って、前記他方の光部品をクランプする
部品保持体は吹き付けられる空気によりハウジングの内
部空間において宙に浮いており、またスプリングにより
バランスを保持されているので、この他方の光部品端面
が前記一方の光部品の端面に軽く押し付けられるだけで
自由に回転,揺動して面合せが行われる。
Therefore, since the component holder for clamping the other optical component is suspended in the interior space of the housing by the blown air and is balanced by the spring, the end face of the other optical component is Only by lightly pressing against the end face of the one optical component, the face is aligned by freely rotating and swinging.

【0009】請求項2による発明の光部品間接続面の面
合せ機構は、請求項1記載の光部品保持体が部分球面形
状であると共に、前記内部空間が前記光部品保持体に対
応した部分球面形状であることを特徴とするものであ
る。
According to a second aspect of the present invention, there is provided a surface matching mechanism for connecting surfaces between optical components, wherein the optical component holder according to the first aspect has a partially spherical shape, and the internal space corresponds to the optical component holder. It is characterized by having a spherical shape.

【0010】従って、部品保持体はハウジングの内部空
間において摩擦抵抗がなく自由に回転および揺動が可能
となる。
Therefore, the component holder can freely rotate and swing without frictional resistance in the internal space of the housing.

【0011】請求項3による発明の光部品間接続面の面
合せ機構は、請求項1記載の空気ノズルが、前記内部空
間の前内壁および後内壁に設けられていると共に、選択
的に作動可能であることを特徴とするものである。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a surface aligning mechanism for connecting optical components, wherein the air nozzles according to the first aspect are provided on the front inner wall and the rear inner wall of the internal space and are selectively operable. It is characterized by being.

【0012】従って、前後一方のノズルのみを作動させ
た場合には、吹き付けられる空気により前記光部品保持
体が内部空間における内壁に押付けられるので、面合せ
が行われた位置に光部品保持体を固定することができ
る。
Therefore, when only one of the front and rear nozzles is operated, the optical component holder is pressed against the inner wall in the internal space by the blown air, so that the optical component holder is placed at the position where the face-alignment is performed. Can be fixed.

【0013】請求項4による発明の光部品間接続面の面
合せ機構を用いた光部品の接続装置は、架台中央に設け
られた光回路部品固定用の光部品固定ホルダと、この光
部品固定ホルダの一方の側に設けられてX,Y,Z,C
軸方向に移動・位置決め自在の第一ステージと、前記光
部品固定ホルダの他方の側に設けられてX,Y,Z,C
軸方向に移動・位置決め自在の第二ステージと、前記第
一ステージの前記光部品固定ホルダ側に設けられて光部
品を保持する第一の面合せ機構と、前記第二ステージの
前記光部品固定ホルダ側に設けられて光部品を保持する
第二の面合せ機構と、前記面合せされた接続面を接続す
る接続手段とを有し、前記第一の面合せ機構および第二
の面合せ機構が、一方の光部品が固定される光部品固定
ホルダと、他方の光部品がクランプされるクランパを前
記光部品固定ホルダに対向させて備えた光部品保持体
と、この光部品保持体を所定の隙間をもって内部空間に
含むと共に前記クランパを外部に突出せしめるハウジン
グと、このハウジングの内壁に設けられると共に前記光
部品保持体に空気を吹き付ける空気ノズルと、前記光部
品保持体を前記内部空間に吊下げてバランスを取るため
の弾性体と、を備えてなることを特徴とするものであ
る。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an optical component connecting device using an inter-optical component connecting surface aligning mechanism, and an optical component fixing holder for fixing an optical circuit component provided in the center of a frame and the optical component fixing. X, Y, Z, C provided on one side of the holder
A first stage that can be moved and positioned in the axial direction and X, Y, Z, C provided on the other side of the optical component fixing holder.
A second stage that is movable and positionable in the axial direction, a first face-matching mechanism that is provided on the optical component fixing holder side of the first stage and holds an optical component, and the optical component fixing of the second stage A second face-aligning mechanism that is provided on the holder side and holds the optical component, and a connecting means that connects the face-to-face connecting surfaces, and the first face-aligning mechanism and the second face-aligning mechanism. However, an optical component holding holder provided with an optical component fixing holder for fixing one optical component and a clamper for clamping the other optical component facing the optical component fixing holder, and a predetermined optical component holding body. A housing for containing the gap in the inner space and projecting the clamper to the outside, an air nozzle provided on the inner wall of the housing for blowing air to the optical component holder, and the optical component holder for the internal portion. An elastic member for balancing and hung between and is characterized in that it comprises an.

【0014】従って、第一の面合せ機構により光部品を
保持した第一ステージおよび第二の面合せ機構により光
部品を保持した第二ステージをX,Y,Z,C軸方向に
移動・位置決めし、光部品をクランプして吹き付けられ
る空気によりハウジング内部において宙に浮くと共にス
プリングによりバランスが保持されている光部品保持体
が自由に回転,揺動して面合せを行い、その後接続手段
により接続を行う。
Therefore, the first stage holding the optical component by the first face-aligning mechanism and the second stage holding the optical component by the second face-aligning mechanism are moved / positioned in the X-, Y-, Z-, and C-axis directions. Then, the optical component is floated in the air by the air blown by being clamped and the balance of the optical component is held by the spring. I do.

【0015】請求項5による発明の光部品間接続面の面
合せ機構を用いた光部品の接続装置は、請求項4記載の
光部品保持体が部分球面形状であると共に、前記内部空
間が前記光部品保持体に対応した部分球面形状であるこ
とを特徴とするものである。
According to a fifth aspect of the present invention, there is provided an optical component connecting apparatus using the inter-optical component connection surface aligning mechanism, wherein the optical component holder according to the fourth aspect has a partially spherical shape, and the internal space is the same. It is characterized in that it has a partially spherical shape corresponding to the optical component holder.

【0016】従って、光部品保持体はハウジングの内部
空間において摩擦抵抗がなく自由に回転および揺動が可
能となり、光部品の接続面の面合せが正確に行われるの
で、その後接続手段により確実な接続を行なうことがで
きる。
Therefore, the optical component holder can be freely rotated and swung without frictional resistance in the internal space of the housing, and the connection surfaces of the optical components can be accurately aligned. The connection can be made.

【0017】請求項6による発明の光部品間接続面の面
合せ機構を用いた光部品の接続装置は、請求項4記載の
空気ノズルが、前記内部空間の前内壁および後内壁に設
けられていると共に、選択的に作動可能であることを特
徴とするものである。
According to a sixth aspect of the present invention, there is provided an optical component connecting apparatus using the inter-optical component connection surface aligning mechanism, wherein the air nozzles according to the fourth aspect are provided on the front inner wall and the rear inner wall of the internal space. It is characterized by being selectively operable.

【0018】従って、前後一方のノズルから吹き付けら
れる空気の働きにより、面合せが行われた位置に部品保
持体の移動を拘束し、その位置において接続手段により
接続が行われる。
Therefore, the action of the air blown from one of the front and rear nozzles restrains the movement of the component holder at the position where the surfaces are aligned, and the connection means makes the connection at that position.

【0019】[0019]

【発明の実施の形態】以下、この発明の実施の形態の例
を図面に基づいて説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Hereinafter, embodiments of the present invention will be described with reference to the drawings.

【0020】図3および図4には,この発明に係る部品
間接続面の面合せ機構を適用する接続装置1の全体が示
されている。この接続装置1は接着剤の滴下および搬送
の関係から横型となっている。
FIG. 3 and FIG. 4 show the whole of the connecting device 1 to which the inter-part connecting surface mating mechanism according to the present invention is applied. This connection device 1 is of a horizontal type in view of the relationship between the dropping and transportation of the adhesive.

【0021】図3において、中空構造の架台3の上には
左側に調心用の第一ステージ5Fと右側に第二ステージ
5Sを有し、その間に光部品固定ホルダ7が立設されて
いる。光部品固定ホルダ7には光部品である光回路部品
9が装着されている。
In FIG. 3, on the frame 3 having a hollow structure, there is a first stage 5F for alignment on the left side and a second stage 5S on the right side, and an optical component fixing holder 7 is erected between them. . An optical circuit component 9, which is an optical component, is mounted on the optical component fixing holder 7.

【0022】ここで、第一ステージ5Fと第二ステージ
5Sは光部品固定ホルダ7を挟んで互いに水平な位置に
対向して設けられており、大部分の構成については共通
しているので、符号にF(第一ステージ)またはS(第
二ステージ)を付して区別することとして、共通する部
分については第一ステージ5Fについて説明することと
する。
Here, the first stage 5F and the second stage 5S are provided facing each other in a horizontal position with the optical component fixing holder 7 interposed therebetween, and since most of the configurations are common, reference numerals Will be distinguished by adding F (first stage) or S (second stage) to each other, and the common part will be described for the first stage 5F.

【0023】第一ステージ5Fにおいては、中空の支柱
11Fが架台3の上板13に吊り下げられた状態で内部
空間15に設けられており、前記支柱11Fの下端には
ベースプレート17Fが水平に設けられている。このベ
ースプレート17Fの下側にはY軸モータ19Fが回転
軸を上向きにして設けられており、この回転軸には前記
支柱11Fの内部で回転自在に設けられているY軸ボー
ルネジ21Fの下端部が連結されている。
In the first stage 5F, a hollow support 11F is provided in the internal space 15 in a state of being suspended from the upper plate 13 of the gantry 3, and a base plate 17F is provided horizontally at the lower end of the support 11F. Has been. A Y-axis motor 19F is provided below the base plate 17F with the rotation axis facing upward. The lower end of a Y-axis ball screw 21F rotatably provided inside the support 11F is provided on the rotation axis. Are linked.

【0024】また、前記ベースプレート17Fの上面に
は複数のバランスシリンダ23F,23Fが設けられて
おり、このバランスシリンダ23F,23Fの上側には
Y軸ブロック25Fが設けられている。このY軸ブロッ
ク25Fは、厚い平板状のプレート部27Fとこのプレ
ート部27Fの中央部において下方に伸びる棒状部分2
9Fからなり、この棒状部分29Fは前記支柱11の内
部に上下動自在に挿嵌されている。そして、その棒状部
分29Fには前記Y軸ボールネジ21Fが螺合するボー
ルナット31Fが取付けられている。
A plurality of balance cylinders 23F and 23F are provided on the upper surface of the base plate 17F, and a Y-axis block 25F is provided above the balance cylinders 23F and 23F. The Y-axis block 25F includes a thick flat plate portion 27F and a bar portion 2 extending downward in the central portion of the plate portion 27F.
9F, and the rod-shaped portion 29F is vertically movably inserted into the column 11. A ball nut 31F to which the Y-axis ball screw 21F is screwed is attached to the rod portion 29F.

【0025】従って、Y軸モータ19Fを駆動させてY
軸ボールネジ21Fを回転駆動すると、Y軸ブロック2
5Fが上下動するが、このとき棒状部分29Fが支柱1
1内部に沿って上下動することおよびバランスシリンダ
23F,23Fの働きによりY軸ブロック25Fはより
小さな駆動力で上下動および位置決めすることができ
る。
Therefore, by driving the Y-axis motor 19F,
When the shaft ball screw 21F is rotationally driven, the Y-axis block 2
5F moves up and down. At this time, the rod-like portion 29F
Due to the vertical movement along the inside and the action of the balance cylinders 23F and 23F, the Y-axis block 25F can be vertically moved and positioned with a smaller driving force.

【0026】Y軸ブロック25Fの上面にはガイドレー
ル33FがZ軸方向に設けられており、このガイドレー
ル33Fに沿ってZ軸方向へ往復動自在のZ軸プレート
35Fが設けられている。このZ軸プレート35Fには
図示しないZ軸ボールナットが取付けられている。
A guide rail 33F is provided on the upper surface of the Y-axis block 25F in the Z-axis direction, and a Z-axis plate 35F is provided which is reciprocally movable in the Z-axis direction along the guide rail 33F. A Z-axis ball nut (not shown) is attached to the Z-axis plate 35F.

【0027】前記Y軸ブロック25Fの側端面には上向
きに伸びたブラケット37Fが取付けられており、この
ブラケット37FにはZ軸モータ39Fが取付けられて
いる。Z軸モータ39Fの回転軸にはZ軸ボールネジ4
1Fが設けられており、前述のZ軸ボールナットに螺合
している。
A bracket 37F extending upward is attached to the side end surface of the Y-axis block 25F, and a Z-axis motor 39F is attached to the bracket 37F. The Z-axis ball screw 4 is attached to the rotary shaft of the Z-axis motor 39F.
1F is provided and is screwed to the Z-axis ball nut described above.

【0028】従って、Z軸モータ39Fを駆動させる
と、Z軸ボールネジ41Fが回転してZ軸プレート35
FをY軸ブロック25Fに対して相対的にZ軸方向に移
動・位置決めすることができる。
Therefore, when the Z-axis motor 39F is driven, the Z-axis ball screw 41F rotates to rotate the Z-axis plate 35.
F can be moved / positioned in the Z-axis direction relative to the Y-axis block 25F.

【0029】Z軸プレート35Fの上面にはX軸方向に
ガイドレール43Fが設けられており、このガイドレー
ル43Fに沿ってX軸方向へ往復動自在のX軸ブロック
45Fが設けられている。このX軸ブロック45Fには
図示しないX軸ボールナットが取付けられている。
A guide rail 43F is provided in the X-axis direction on the upper surface of the Z-axis plate 35F, and an X-axis block 45F is provided which is reciprocally movable in the X-axis direction along the guide rail 43F. An X-axis ball nut (not shown) is attached to the X-axis block 45F.

【0030】図4を参照するに、前記Z軸プレート35
Fの側端面から上向きに伸びたブラケット47Fが取付
けられており、このブラケット47FにはX軸モータ4
9Fが取付けられている。X軸モータ49Fの回転軸に
はX軸ボールネジ51Fが設けられており、前述のX軸
ボールナットに螺合している。
Referring to FIG. 4, the Z-axis plate 35
A bracket 47F extending upward from the side end surface of F is attached to the bracket 47F.
9F is attached. An X-axis ball screw 51F is provided on the rotation shaft of the X-axis motor 49F, and is screwed to the above-described X-axis ball nut.

【0031】従って、X軸モータ49Fを駆動させる
と、X軸ボールネジ51Fが回転してX軸ブロック45
FをZ軸プレート35Fに対して相対的にX軸方向に移
動・位置決めすることができる。
Therefore, when the X-axis motor 49F is driven, the X-axis ball screw 51F is rotated to rotate the X-axis block 45.
F can be moved and positioned in the X-axis direction relative to the Z-axis plate 35F.

【0032】再び図3に戻って、X軸ブロック45Fに
はX軸ブロック45FをZ軸方向に貫通する主軸53F
が取付けられており、この主軸53FをC軸回転(Z軸
回り)させるC軸モータ55Fが設けられている。この
主軸53Fの光部品固定ホルダ7側先端部には、面合せ
機構57Fが取付けられている。一方、反対側の端部に
はロードセル59Fが取付けられている。
Returning to FIG. 3 again, the X-axis block 45F has a main shaft 53F penetrating the X-axis block 45F in the Z-axis direction.
Is mounted, and a C-axis motor 55F for rotating the main shaft 53F in the C-axis (around the Z-axis) is provided. A face-matching mechanism 57F is attached to the end of the main shaft 53F on the optical component fixing holder 7 side. On the other hand, a load cell 59F is attached to the opposite end.

【0033】前記ロードセル59F,59Sはアンプ6
1を介してパーソナルコンピュータ63に接続されてい
る。また、前記第一ステージ5Fの面合せ機構57Fに
は光部品としての入力側光ファイバ部品65が装着さ
れ、その先端部にはLD光源67が接続されている。
The load cells 59F and 59S are amplifiers 6
1 is connected to a personal computer 63. Further, an input side optical fiber component 65 as an optical component is mounted on the surface alignment mechanism 57F of the first stage 5F, and an LD light source 67 is connected to the tip portion thereof.

【0034】一方、第二ステージ5Sの面合せ機構57
Sには光部品としての出力側光ファイバ部品69が装着
されており、その先端部には光エネルギーを電圧に変換
するO/E変換器71が接続されている。さらに、第二
ステージ5Sの面合せ機構57Sの後述するハウジング
99Sにはイメージファイバ73が取付けられており、
前記O/E変換器71に接続されている。このイメージ
ファイバ73は光回路部品9の出力側の数に応じて分岐
されたものである。
On the other hand, the surface alignment mechanism 57 of the second stage 5S.
An output-side optical fiber component 69 as an optical component is attached to S, and an O / E converter 71 for converting light energy into a voltage is connected to a tip end portion thereof. Further, an image fiber 73 is attached to a housing 99S, which will be described later, of the surface alignment mechanism 57S of the second stage 5S,
It is connected to the O / E converter 71. The image fiber 73 is branched according to the number of output sides of the optical circuit component 9.

【0035】一方、図4を参照するに、前記第一ステー
ジ5Fと第二ステージ5Sの間の架台3の上面後ろ側部
分(図4中上側)には、W軸移動機構75が設けられて
いる。このW軸移動機構75はW軸方向へ延びる本体フ
レーム77を有している。この本体フレーム77の図中
左側にはW軸モータ79が設けられており、このW軸モ
ータ79の回転軸にはW軸ボールネジ81が取付けられ
ている。
On the other hand, referring to FIG. 4, a W-axis moving mechanism 75 is provided at a rear portion (upper side in FIG. 4) of the upper surface of the gantry 3 between the first stage 5F and the second stage 5S. There is. The W-axis moving mechanism 75 has a main body frame 77 extending in the W-axis direction. A W-axis motor 79 is provided on the left side of the main body frame 77 in the drawing, and a W-axis ball screw 81 is attached to the rotation shaft of the W-axis motor 79.

【0036】W軸移動機構75の本体フレーム77に
は、前記W軸ボールネジ81に螺合する図示しないW軸
ボールナットを有するスライダ83がW軸方向へ往復動
自在に設けられている。
The body frame 77 of the W-axis moving mechanism 75 is provided with a slider 83 having a W-axis ball nut (not shown) that is screwed into the W-axis ball screw 81 so as to reciprocate in the W-axis direction.

【0037】従って、W軸モータ79を駆動してW軸ボ
ールネジ81を回転させることによりスライダ83を本
体フレーム77に沿ってW軸方向へ移動・位置決めする
ことができる。
Therefore, by driving the W-axis motor 79 and rotating the W-axis ball screw 81, the slider 83 can be moved and positioned in the W-axis direction along the main body frame 77.

【0038】前記スライダ83には左右のブラケット8
5L,85Rが設けられており、図中左側のブラケット
85Lにはロータリアクチュエータ87Lが設けられて
いる。このロータリアクチュエータ87Lにはアーム部
材89が上方へ回動自在に設けられており、前記アーム
部材89の先端にはUV接着剤を塗布するためのディス
ペンサノズル91が設けられている。
Left and right brackets 8 are attached to the slider 83.
5L and 85R are provided, and a rotary actuator 87L is provided on the bracket 85L on the left side in the figure. An arm member 89 is provided on the rotary actuator 87L so as to be rotatable upward. A dispenser nozzle 91 for applying a UV adhesive is provided at a tip of the arm member 89.

【0039】従って、UV接着剤を塗布する場合には下
ろし、必要でない場合にはロータリアクチュエータ87
Lを作動させて前記ディスペンサノズル91を上方へ退
避できるようになっている。ここでは、上方へ約60°
回動可能となっている。
Therefore, when the UV adhesive is applied, it is lowered, and when it is not necessary, the rotary actuator 87 is used.
By operating L, the dispenser nozzle 91 can be retracted upward. Here, about 60 ° upward
It is rotatable.

【0040】前記スライダ83に設けられている右側の
ブラケット85Rにはロータリアクチュエータ87Rが
設けられている。このロータリアクチュエータ87Rに
はアームブロック93が上方へ回動自在に設けられてい
る。
A rotary actuator 87R is provided on the right bracket 85R provided on the slider 83. An arm block 93 is provided on the rotary actuator 87R so as to be rotatable upward.

【0041】このアームブロック93には、前記ディス
ペンサノズル91によりUV接着剤を塗布する位置の割
り出しを確認するためのCCDカメラ95,95および
UV接着剤を乾燥・固着させるために接続部に紫外線を
照射するUV照射ライトヘッド97,97が設けられて
いる。このUV照射ライトヘッド97,97は、光回路
部品9の前後の接続部を同時に照射するように間隔を調
整できるようになっている。
The arm block 93 is provided with CCD cameras 95, 95 for confirming the index of the position where the UV adhesive is applied by the dispenser nozzle 91, and ultraviolet rays to the connecting portion for drying and fixing the UV adhesive. UV irradiation light heads 97, 97 for irradiating are provided. The UV irradiation light heads 97, 97 can be adjusted in interval so as to irradiate the front and rear connecting portions of the optical circuit component 9 at the same time.

【0042】従って、UV接着剤を塗布する場合および
UV接着剤を乾燥させる場合にはアームブロック93を
下ろし、必要でない場合にはロータリアクチュエータ8
7Rを作動させてアームブロック93を上昇させて、前
記CCDカメラ95,95およびUV照射ライトヘッド
97を退避できるようになっている。ここでは、上方へ
90°回動可能となっている。
Therefore, when applying the UV adhesive and when drying the UV adhesive, the arm block 93 is lowered, and when not necessary, the rotary actuator 8 is used.
7R is operated to raise the arm block 93, so that the CCD cameras 95, 95 and the UV irradiation light head 97 can be retracted. Here, it can rotate upward by 90 °.

【0043】次に、図1および図2に基づいて、この発
明に係る光ファイバ部品の面合せ機構57Fを説明す
る。
Next, with reference to FIG. 1 and FIG. 2, the face alignment mechanism 57F of the optical fiber component according to the present invention will be described.

【0044】この面合せ機構57Fは、Z軸方向に二分
されて光部品固定ホルダ7側に設けられている球面押え
99Fと、反対側に設けられている球面受け101F
と、光回路部品9を保持する可動ホルダ103Fを備え
た光部品保持体としての球面座105F等から構成され
る。
The surface aligning mechanism 57F is divided into two parts in the Z-axis direction and is provided on the optical component fixing holder 7 side with a spherical pressing member 99F, and the opposite side is provided with a spherical receiving member 101F.
And a spherical seat 105F as an optical component holder provided with a movable holder 103F for holding the optical circuit component 9.

【0045】前記球面押え99Fは、可動ホルダ103
Fにセットされている入力側光ファイバ部品65の接続
面である図1において右端の傾斜面の中心をほぼ中心と
する部分球面の内壁115Fを有し、同じく球面受け1
01Fは内壁115Fと同一中心の部分球面の内壁11
1Fを有し、両内壁115F,111F間に部分球形の
空間107Fが形成されており、この空間107Fに前
記球面座105Fが両内壁115F,111Fとの間に
5μm程度の隙間をおいてバランス保持用の弾性体とし
てのスプリング109Fにより吊下げられている。
The spherical pressing member 99F is a movable holder 103.
In FIG. 1, which is the connection surface of the input side optical fiber component 65 set to F, the inner wall 115F of the partial spherical surface whose center is substantially the center of the inclined surface at the right end is provided.
01F is an inner wall 11 of a partial spherical surface having the same center as the inner wall 115F.
1F, and a partially spherical space 107F is formed between both inner walls 115F and 111F. In this space 107F, the spherical seat 105F maintains a balance of about 5 μm between both inner walls 115F and 111F to maintain balance. It is suspended by a spring 109F as an elastic body for use.

【0046】前記球面受け101Fの内壁111Fに
は、空気軸受を構成するように、図示しない空気源から
の空気を球面座105Fに向けて吹き出す後側空気ノズ
ル113Fが上下及び図示されていない左右に設けられ
ている。また、球面押え99Fの内壁115Fには、図
示しない空気源からの空気を球面座105Fに向けて吹
き出す前側空気ノズル117Fが上下左右に設けられて
いる。
On the inner wall 111F of the spherical receiver 101F, rear air nozzles 113F for blowing air from an air source (not shown) toward the spherical seat 105F are arranged vertically and horizontally (not shown) so as to constitute an air bearing. It is provided. Further, front air nozzles 117F for blowing air from an air source (not shown) toward the spherical seat 105F are provided on the inner wall 115F of the spherical retainer 99F vertically and horizontally.

【0047】従って、わずかな外力の作用により球面座
105Fは球面に沿って移動および回動可能となってい
る。
Therefore, the spherical seat 105F can be moved and rotated along the spherical surface by the action of a slight external force.

【0048】次に、前述の接続装置1を用いて図5に示
されるように、入力側光ファイバ部品65,光回路部品
9としての1×8分岐導波路,出力側光ファイバ部品6
9の面合せの動作について説明する。
Next, as shown in FIG. 5 using the above-mentioned connecting device 1, the input side optical fiber component 65, the 1 × 8 branch waveguide as the optical circuit component 9, and the output side optical fiber component 6
The operation of face-to-face contact 9 will be described.

【0049】固定ホルダ7に光回路部品9をセットす
る。また、第一ステージ57F側の球面座105Fの可
動ホルダ103Fに入力側光ファイバ部品65を、また
第二ステージ57S側の球面座105Sの可動ホルダ1
03Sに出力側光ファイバ部品69を、それぞれの接続
面が球面座105F,105Sの球面中心にほぼ一致す
るように位置させてセットする(図1(A)参照)。
The optical circuit component 9 is set in the fixed holder 7. Further, the input side optical fiber component 65 is mounted on the movable holder 103F of the spherical seat 105F on the first stage 57F side, and the movable holder 1 of the spherical seat 105S on the second stage 57S side is mounted.
The output side optical fiber component 69 is set at 03S so that the connecting surfaces thereof are substantially aligned with the spherical centers of the spherical seats 105F and 105S (see FIG. 1A).

【0050】Y軸モータ19Fの駆動によリY軸方向位
置を合せ、X軸モータ49Fの駆動によりX軸方向位置
を合せ、Z軸モータ39Fの駆動によりZ軸方向軸送り
する。このときC軸モータ55Fの駆動により主軸53
FをC軸回転(Z軸回り)させて入力側光ファイバ部品
65の端面を光回路部品9の端面にできるだけ合せてお
く。
The Y-axis motor 19F drives to align the Y-axis direction position, the X-axis motor 49F drives to align the X-axis direction position, and the Z-axis motor 39F drives to feed the Z-axis direction shaft. At this time, the main shaft 53 is driven by the drive of the C-axis motor 55F.
The end face of the input side optical fiber component 65 is aligned with the end face of the optical circuit component 9 as much as possible by rotating F about the C axis (about the Z axis).

【0051】続いて、Z軸送りにより前記両端面を当接
させ、光回路部品9に対する入力側光ファイバ部品65
の接続面をほぼ中心とする球面座105Fの自由な移動
により面合せを行う。このとき、移動抵抗を極めて小さ
くするように、前後の空気ノズル117F,113Fか
ら球面座105Fに向けて空気が吹き出している(図1
(B)参照)。このため、この面合せは、より的確に行
れる。
Subsequently, the both end faces are brought into contact with each other by Z-axis feeding, and the input side optical fiber component 65 for the optical circuit component 9 is provided.
The spherical seat 105F is moved freely about the center of the connection surface to perform surface matching. At this time, air is blown from the front and rear air nozzles 117F and 113F toward the spherical seat 105F so as to make the movement resistance extremely small (FIG. 1).
(B)). Therefore, this face-to-face contact can be performed more accurately.

【0052】面合せが完了すると、後側空気ノズル11
3Fを締めて空気を止め、前側空気ノズル117Fから
吹き出す空気により球面座105Fを球面受け101F
の内壁へ押付けて入力側光ファイバ部品65を面合せ位
置に固定する(図1(C)参照)。
When the surface matching is completed, the rear air nozzle 11
3F is tightened to stop the air, and the air blown from the front air nozzle 117F holds the spherical seat 105F in the spherical seat 101F.
Then, the input side optical fiber component 65 is fixed to the face-to-face position by pressing it against the inner wall (see FIG. 1C).

【0053】このようにして面合せ機構57Fにより面
合せを行った後、Z軸送りにより所定の隙間を開けて粗
調心を行う。ここで、粗調心の条件は、検索範囲200 μ
m四方,送りピッチは3〜5μm,隙間は100 μmを標
準とする。
After the surfaces are aligned by the surface alignment mechanism 57F in this way, a predetermined gap is opened by Z-axis feed to perform coarse alignment. Here, the condition for coarse alignment is the search range 200 μ
The standard dimensions are m square, feed pitch 3 to 5 μm, and gap 100 μm.

【0054】粗調心は、LD光源67から入力側光ファ
イバ部品65に光を送り、この光が光回路部品9を通し
てイメージファイバ73に入射する光量を、光エネルギ
ーを電圧に変換するO/E変換器71を介してパーソナ
ルコンーピュータ63に入力し、所望のレベルの光量に
なるまで各軸を自動的に制御して行う。
In the coarse alignment, light is sent from the LD light source 67 to the input side optical fiber component 65, and the amount of this light incident on the image fiber 73 through the optical circuit component 9 is converted into light voltage into O / E. It is input to the personal computer 63 via the converter 71, and each axis is automatically controlled until the light amount reaches a desired level.

【0055】以上の手順で第一ステージ5F側の粗調心
が完了すると、第二ステージ5S側の先端に、O/E変
換器71につながった出力側光ファイバ部品69と、イ
メージファイバ73をY軸モータ19Sを作動させてY
軸送りにより入換える。
When the rough alignment on the first stage 5F side is completed by the above procedure, the output side optical fiber component 69 connected to the O / E converter 71 and the image fiber 73 are attached to the tip on the second stage 5S side. Operate the Y-axis motor 19S to perform Y
Replace by axis feed.

【0056】光回路部品9と入力側光ファイバ部品65
の面合せと同様にして、出力側光ファイバ部品69と光
回路部品9の面合せを行い、その後所定の隙間を開けて
粗調心を行う。
Optical circuit component 9 and input side optical fiber component 65
The optical fiber component 69 on the output side and the optical circuit component 9 are face-aligned in the same manner as the face alignment, and then a predetermined gap is opened to perform coarse alignment.

【0057】粗調心が完了すると、さらに精度を高める
ために、微調心を行う。この微調心の条件は、検索範囲
30〜40μm四方,送りピッチは0.1 μm,隙間は10μm
を標準とする。
When the coarse alignment is completed, fine alignment is performed to further improve the accuracy. The condition of this fine adjustment is the search range
30-40 μm square, feed pitch 0.1 μm, gap 10 μm
Is the standard.

【0058】第一ステージ5Fおよび第二ステージ5S
について微調心が完了すると、続いて接続を行う。
First stage 5F and second stage 5S
When the fine alignment is completed, the connection is continued.

【0059】以下に、接続の手順について説明する。The connection procedure will be described below.

【0060】まず、W軸移動機構75を制御してディス
ペンサノズル91を入力側光ファイバ部品65と光回路
部品9との隙間、または光回路部品9と出力側光ファイ
バ部品69との隙間に合わせて、ディスペンサノズル9
1の中に入ったUV接着剤を前記隙間に落とす。このと
き、CCDカメラ95,95により映し出された画像を
見て確認することができる。
First, the W-axis moving mechanism 75 is controlled to align the dispenser nozzle 91 with the gap between the input side optical fiber component 65 and the optical circuit component 9 or the gap between the optical circuit component 9 and the output side optical fiber component 69. And dispenser nozzle 9
The UV adhesive in 1 is dropped into the gap. At this time, the image displayed by the CCD cameras 95, 95 can be checked and confirmed.

【0061】接着剤を塗布した後、W軸移動機構75を
制御してスライダ83に搭載されているUV照射ライト
ヘッド97,97を接続面に位置決めした後、紫外線を
照射して接着剤を乾燥させて固着させる。
After applying the adhesive, the W-axis moving mechanism 75 is controlled to position the UV irradiation light heads 97, 97 mounted on the slider 83 on the connection surface, and then ultraviolet rays are irradiated to dry the adhesive. Let it stick.

【0062】以上のようにして接続を行うが、光回路部
品9を変えた場合には長さおよび幅が変化するので、こ
れに合わせてW軸上でCCDカメラ95のストロークと
UV照射ライトヘッド97,97の間隔およびストロー
クを適宜変える。
The connection is performed as described above, but when the optical circuit component 9 is changed, the length and the width are changed, and accordingly, the stroke of the CCD camera 95 and the UV irradiation light head on the W axis are adjusted accordingly. The intervals and strokes of 97 and 97 are appropriately changed.

【0063】以上の結果から、軸合せ、さらには接続を
的確に行うことができる。
From the above results, axis alignment and further connection can be performed accurately.

【0064】また、入力側光ファイバ部品65および出
力側光ファイバ部品69を保持する球面座105が宙に
浮いた状態でスプリング109によりバランスして保持
されているので、わずかな押圧力で端面を光回路部品9
の端面に当接させて面合せを行うことができる。さら
に、接続面の状態を画面により確認することができる。
Further, since the spherical seat 105 for holding the input side optical fiber part 65 and the output side optical fiber part 69 is balanced and held by the spring 109 in a state of being suspended in the air, the end faces can be held with a slight pressing force. Optical circuit component 9
Can be brought into contact with the end face of the to make face-to-face matching. Further, the state of the connection surface can be confirmed on the screen.

【0065】なお、この発明は前述の実施の形態に限定
されることなく、適宜な変更を行なうことにより、その
他の態様で実施し得るものである。すなわち、弾性体と
してスプリング109F,109Sを用いたが、バラン
ス保持用のスプリング109F,109Sは、球面座1
05F,105Sが保持する光ファイバ部品65,69
の重量等により球面座105F,105Sの挙動が変化
するので、最適なバネ定数のものを使用するようにしな
ければならない。
The present invention is not limited to the above-described embodiment, but can be implemented in other modes by making appropriate changes. That is, although the springs 109F and 109S are used as the elastic bodies, the springs 109F and 109S for maintaining the balance are
Optical fiber parts 65 and 69 held by 05F and 105S
Since the behaviors of the spherical seats 105F and 105S change depending on the weight and the like, it is necessary to use an optimum spring constant.

【0066】[0066]

【発明の効果】以上説明したように、請求項1の発明に
よる光部品間接続面の面合せ機構では、前記他方の光部
品をクランプする部品保持体は吹き付けられる空気によ
りハウジングの内部空間において宙に浮いており、また
スプリングによりバランスを保持されているので、光部
品端面が前記一方の光部品の端面に押し付けられた場合
に自由に回転,揺動して面合せが行われる。これによ
り、わずかな押圧力により面合せができる。
As described above, in the surface aligning mechanism for connecting optical components according to the first aspect of the invention, the component holder that clamps the other optical component is suspended in the internal space of the housing by the air blown. Since the optical component is floated on and the balance is maintained by the spring, when the end face of the optical component is pressed against the end face of the one optical component, the end face of the optical component is freely rotated and swung to perform the face-to-face alignment. As a result, the surfaces can be aligned with a slight pressing force.

【0067】請求項2による発明の光部品間接続面の面
合せ機構では、部品保持体がハウジングの内部空間にお
いて摩擦抵抗がなく自由に回転および揺動が可能なの
で、光部品同士を押付ける押圧力は小さくて十分であ
り、光部品を傷めずに面合せを行うことができる。
In the surface aligning mechanism for connecting the optical components according to the second aspect of the present invention, since the component holder can freely rotate and swing without frictional resistance in the internal space of the housing, it is possible to press the optical components against each other. A small pressure is sufficient, and the optical components can be faced without being damaged.

【0068】請求項3による発明の光部品間接続面の面
合せ機構では、前後一方のノズルのみを作動させた場合
に、吹き付けられる空気により前記光部品保持体が内部
空間における内壁に押付けられるので、面合せが行われ
た位置に光部品を固定することができる。
In the surface aligning mechanism for connecting surfaces between optical components according to the third aspect of the present invention, when only one of the front and rear nozzles is operated, the optical component holder is pressed against the inner wall in the internal space by the blown air. The optical component can be fixed at the position where the surfaces are aligned.

【0069】請求項4による発明の光部品間接続面の面
合せ機構を用いた光部品の接続装置では、第一の面合せ
機構により光部品を保持した第一ステージおよび第二の
面合せ機構により光部品を保持した第二ステージをX,
Y,Z,C軸方向に移動・位置決めし、光部品をクラン
プして吹き付けられる空気によりハウジング内部におい
て宙に浮くと共にスプリングによりバランスが保持され
ている光部品保持体が自由に回転,揺動して面合せを行
い、その後接続手段により接続を行うので、正確に面合
せが行われて接続される。このため、光接続損失が小さ
な接続を行うことができる。
According to a fourth aspect of the present invention, there is provided an optical component connecting apparatus using an inter-optical-component connection surface interfacing mechanism, wherein the first stage and the second interfacing mechanism hold the optical component by the first interfacing mechanism. The second stage that holds the optical component is X,
The optical component holder is moved / positioned in the Y, Z, and C axis directions, floats in the air inside the housing by the air blown by clamping the optical component, and the optical component holder, which is held in balance by the spring, freely rotates and swings. Since the surfaces are aligned with each other and then the connection is performed by the connecting means, the surfaces are accurately aligned and connected. Therefore, it is possible to make a connection with a small optical connection loss.

【0070】請求項5による発明の光部品間接続面の面
合せ機構を用いた光部品の接続装置では、光部品保持体
はハウジングの内部空間において摩擦抵抗がなく自由に
回転および揺動が可能となり、光部品の接続面の面合せ
が正確に行われるので、その後接続手段により確実な接
続を行なうことができる。
In the optical component connecting device using the surface aligning mechanism for connecting the optical components according to the fifth aspect of the present invention, the optical component holder can freely rotate and swing without frictional resistance in the internal space of the housing. As a result, the connection surfaces of the optical components are accurately aligned with each other, so that reliable connection can be performed by the connecting means.

【0071】また、請求項6による発明の光部品間接続
面の面合せ機構を用いた光部品の接続装置では、前後一
方のノズルから吹き付けられる空気の働きにより、面合
せが行われた位置に部品保持体の移動を拘束し、その位
置において接続手段により接続が行われるので、面合せ
が行われた位置において正確に接続が行われる。
According to the sixth aspect of the present invention, in the optical component connecting device using the inter-optical component connection surface aligning mechanism, the air blown from one of the front and rear nozzles serves to bring the face to the aligned position. Since the movement of the component holder is restrained and the connection is made at that position, the connection is accurately made at the position where the face-to-face matching is performed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of the drawings]

【図1】この発明に係る光部品間接続面の面合せ機構お
よび面合せ動作を示す説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram showing a face-aligning mechanism and a face-aligning operation of a connection surface between optical components according to the present invention.

【図2】この発明に係る光部品間接続面の面合せ機構を
示す正面図である。
FIG. 2 is a front view showing a surface aligning mechanism of a connection surface between optical components according to the present invention.

【図3】この発明に係る面合せ装置を用いた光部品の接
続装置を示す側面図である。
FIG. 3 is a side view showing an optical component connecting device using the surface aligning device according to the present invention.

【図4】図2中IV方向から見た平面図である。FIG. 4 is a plan view seen from the IV direction in FIG.

【図5】光部品としての入力側光ファイバ部品、光回路
部品、出力側光ファイバ部品の接続を示す説明図であ
る。
FIG. 5 is an explanatory diagram showing connection of an input side optical fiber component, an optical circuit component, and an output side optical fiber component as optical components.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 光部品の接続装置 3 架台 5F 第一ステージ 5S 第二ステージ 7 光部品固定ホルダ 9 光回路部品(一方の光部品) 57F,57S 面合せ機構 65 入力側光ファイバ部品(他方の光部品) 69 出力側光ファイバ部品(他方の光部品) 99F,99S 球面押え(ハウジング) 101F,101S 球面受け(ハウジング) 103F,103S 可動ホルダ(クランパ) 105F,105S 球面座(光部品保持体) 107F,105S 内部空間 109F,109S スプリング 111F,111S,115F,115S 内壁 113F,113S,117F,117S 空気ノズル DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical component connection device 3 Frame 5F First stage 5S Second stage 7 Optical component fixing holder 9 Optical circuit component (one optical component) 57F, 57S Face matching mechanism 65 Input side optical fiber component (other optical component) 69 Output side optical fiber component (other optical component) 99F, 99S Spherical retainer (housing) 101F, 101S Spherical receiver (housing) 103F, 103S Movable holder (clamper) 105F, 105S Spherical seat (optical component holder) 107F, 105S Inside Space 109F, 109S Spring 111F, 111S, 115F, 115S Inner wall 113F, 113S, 117F, 117S Air nozzle

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 藤原 茂 静岡県沼津市大岡2068の3 東芝機械株式 会社沼津事業所内 (72)発明者 塙 文明 東京都新宿区西新宿3丁目19番2号 日本 電信電話株式会社内 ─────────────────────────────────────────────────── --- Continuation of the front page (72) Shigeru Fujiwara Shigeru Fujiwara 2068 Ooka, Numazu City, Shizuoka Prefecture Numazu Works, Toshiba Machine Co., Ltd. (72) Fumiaki Hanawa 3-19-2 Nishishinjuku, Shinjuku-ku, Tokyo Japan Telegraph Phone Co., Ltd.

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光部品同士を接続する場合に前記光部品
の端面同士を合せる光部品間接続面の面合せ機構であっ
て、一方の光部品が固定される光部品固定ホルダと、他
方の光部品がクランプされるクランパを前記光部品固定
ホルダに対向させて備えた光部品保持体と、この光部品
保持体を所定の隙間をもって内部空間に含むと共に前記
クランパを外部に突出せしめるハウジングと、このハウ
ジングの内壁に設けられると共に前記光部品保持体に空
気を吹き付ける空気ノズルと、前記光部品保持体を前記
内部空間に吊下げてバランスを取るための弾性体と、を
備えてなることを特徴とする光部品間接続面の面合せ機
構。
1. An optical component fixing holder for fixing one optical component to another, which is a surface alignment mechanism for inter-optical component connection surfaces for aligning end faces of the optical components when connecting the optical components. An optical component holder provided with a clamper for clamping an optical component facing the optical component fixing holder, and a housing for including the optical component holder in an internal space with a predetermined gap and projecting the clamper to the outside. An air nozzle that is provided on the inner wall of the housing and blows air to the optical component holder, and an elastic body that suspends the optical component holder in the internal space for balancing. A mating mechanism for the connection surface between optical components.
【請求項2】 前記光部品保持体が部分球面形状である
と共に、前記内部空間が前記光部品保持体に対応した部
分球面形状であることを特徴とする請求項1記載の光部
品間接続面の面合せ機構。
2. The inter-optical component connecting surface according to claim 1, wherein the optical component holder has a partially spherical shape, and the internal space has a partially spherical shape corresponding to the optical component holder. Aligning mechanism.
【請求項3】 前記空気ノズルが、前記内部空間の前内
壁および後内壁に設けられていると共に、選択的に作動
可能であることを特徴とする請求項1記載の光部品間接
続面の面合せ機構。
3. The surface of the connecting surface between optical components according to claim 1, wherein the air nozzle is provided on a front inner wall and a rear inner wall of the internal space and is selectively operable. Matching mechanism.
【請求項4】 架台中央に設けられた光回路部品固定用
の光部品固定ホルダと、この光部品固定ホルダの一方の
側に設けられてX,Y,Z,C軸方向に移動・位置決め
自在の第一ステージと、前記光部品固定ホルダの他方の
側に設けられてX,Y,Z,C軸方向に移動・位置決め
自在の第二ステージと、前記第一ステージの前記光部品
固定ホルダ側に設けられて光部品を保持する第一の面合
せ機構と、前記第二ステージの前記光部品固定ホルダ側
に設けられて光部品を保持する第二の面合せ機構と、前
記面合せされた接続面を接続する接続手段とを有し、前
記第一の面合せ機構および第二の面合せ機構が、一方の
光部品が固定される光部品固定ホルダと、他方の光部品
がクランプされるクランパを前記光部品固定ホルダに対
向させて備えた光部品保持体と、この光部品保持体を所
定の隙間をもって内部空間に含むと共に前記クランパを
外部に突出せしめるハウジングと、このハウジングの内
壁に設けられると共に前記光部品保持体に空気を吹き付
ける空気ノズルと、前記光部品保持体を前記内部空間に
吊下げてバランスを取るための弾性体と、を備えてなる
ことを特徴とする光部品間接続面の面合せ機構を用いた
光部品の接続装置。
4. An optical component fixing holder for fixing an optical circuit component provided at the center of a gantry, and movable / positionable in X, Y, Z and C axial directions provided on one side of the optical component fixing holder. No. 1 stage, a second stage provided on the other side of the optical component fixing holder and movable / positionable in the X, Y, Z, and C axis directions; and the optical component fixing holder side of the first stage. A first surface-aligning mechanism that is provided on the optical component fixing holder side of the second stage and that holds the optical component; An optical component fixing holder to which one of the optical components is fixed, and the other optical component to be clamped, wherein the first surface aligning mechanism and the second surface aligning mechanism have connection means for connecting the connection surfaces. An optical unit provided with a clamper facing the optical component fixing holder An article holder, a housing for containing the optical component holder in a space with a predetermined gap and projecting the clamper to the outside, and an air nozzle provided on the inner wall of the housing and for blowing air to the optical component holder. And an elastic body for suspending and balancing the optical component holder in the internal space. An optical component connection device using an inter-optical component connection surface aligning mechanism.
【請求項5】 前記光部品保持体が部分球面形状である
と共に、前記内部空間が前記光部品保持体に対応した部
分球面形状であることを特徴とする請求項4記載の光部
品間接続面の面合せ機構を用いた光部品の接続装置。
5. The inter-optical component connection surface according to claim 4, wherein the optical component holder has a partially spherical shape, and the internal space has a partially spherical shape corresponding to the optical component holder. Device for optical parts using the face-to-face matching mechanism.
【請求項6】 前記空気ノズルが、前記内部空間の前内
壁および後内壁に設けられていると共に、選択的に作動
可能であることを特徴とする請求項4記載の光部品間接
続面の面合せ機構を用いた光部品の接続装置。
6. The surface of the inter-optical component connection surface according to claim 4, wherein the air nozzles are provided on a front inner wall and a rear inner wall of the internal space and are selectively operable. A device for connecting optical components that uses a matching mechanism.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2007160565A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Toshiba Mach Co Ltd Transfer apparatus equipped with gimbal mechanism and transfer method using it
JP2008049543A (en) * 2006-08-23 2008-03-06 Toshiba Mach Co Ltd Transfer device equipped with gimbal mechanism
WO2020209075A1 (en) * 2019-04-11 2020-10-15 ソニー株式会社 Optical connector, optical cable, and electronic device

Cited By (4)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2003015007A (en) * 2001-06-29 2003-01-15 Toshiba Mach Co Ltd Device and method for joining faces
JP2007160565A (en) * 2005-12-09 2007-06-28 Toshiba Mach Co Ltd Transfer apparatus equipped with gimbal mechanism and transfer method using it
JP2008049543A (en) * 2006-08-23 2008-03-06 Toshiba Mach Co Ltd Transfer device equipped with gimbal mechanism
WO2020209075A1 (en) * 2019-04-11 2020-10-15 ソニー株式会社 Optical connector, optical cable, and electronic device

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