JPH09127219A - Superconductive circuit - Google Patents
Superconductive circuitInfo
- Publication number
- JPH09127219A JPH09127219A JP7280157A JP28015795A JPH09127219A JP H09127219 A JPH09127219 A JP H09127219A JP 7280157 A JP7280157 A JP 7280157A JP 28015795 A JP28015795 A JP 28015795A JP H09127219 A JPH09127219 A JP H09127219A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- circuit
- comparator
- squid
- signal
- superconducting
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Electronic Switches (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
- Superconductor Devices And Manufacturing Methods Thereof (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【発明の属する技術分野】本発明は超電導体を用いて構
成された超電導回路に関し、より詳細には誤動作がな
く、また低雑音で高集積化することができる超電導回路
に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a superconducting circuit formed by using a superconductor, and more particularly to a superconducting circuit which has no malfunction and can be highly integrated with low noise.
【0002】[0002]
【従来の技術】デジタルSQUIDを実現する1つの方
法は、特開昭64−21379号公報において開示され
ている。また、そのデジタルSQUIDを複数個有する
多チャンネルデジタルSQUID磁束計の駆動方法に関
しては、例えば、特開平3−197885号公報に開示
されている。2. Description of the Related Art One method of realizing a digital SQUID is disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 64-21379. A method of driving a multi-channel digital SQUID magnetometer having a plurality of digital SQUIDs is disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 3-197885.
【0003】図4は、従来技術におけるデジタルSQU
IDを示す回路図である。従来技術におけるデジタルS
QUIDは、センサである超電導量子干渉素子が交流電
流源59で駆動され、入力された磁束の大きさに依存し
て正または負のパルスが出力される。この正または負の
パルスの数をカウントして、その差に比例する電流を帰
還することにより被測定磁束の大きさを求めることがで
きる。FIG. 4 shows a conventional digital SQ.
It is a circuit diagram which shows ID. Digital S in conventional technology
In the QUID, a superconducting quantum interference device that is a sensor is driven by an alternating current source 59, and a positive or negative pulse is output depending on the magnitude of the input magnetic flux. The magnitude of the magnetic flux to be measured can be obtained by counting the number of positive or negative pulses and feeding back a current proportional to the difference.
【0004】次に、このデジタルSQUIDの動作につ
いて図4を用いて説明する。ピックアップコイル700
で検出した信号磁束はインプットコイル220によって
SQUIDに入力される。SQUIDは交流電流源59
によりバイアスされ、ジョセフソン接合110とインダ
クタンス221から構成される。SQUIDには、イン
プットコイル220からの磁束信号量と帰還磁束量の差
に相当する入力磁束に応じた正または負の電流パルス
を、やはり交流電流源で駆動される論理積ゲート80
1、論理和ゲート800から構成される切り換え回路8
10を介して帰還回路に出力する。帰還回路は、インダ
クタンス223とジョセフソン接合111を含む超電導
ループ、および、切り換え回路810を介して送られる
パルスを磁束量子に変換する書き込みゲートからなる。
この書き込みゲートはインダクタンス223と磁気結合
する他のインダクタンス222からなる。書き込みゲー
トを通過したパルスは磁束量子に変換されインダクタン
ス224を含んで構成される超電導ループに蓄えられ
る。Next, the operation of this digital SQUID will be described with reference to FIG. Pickup coil 700
The signal magnetic flux detected in (1) is input to the SQUID by the input coil 220. SQUID is an alternating current source 59
And is composed of a Josephson junction 110 and an inductance 221. In the SQUID, a positive or negative current pulse according to the input magnetic flux corresponding to the difference between the magnetic flux signal amount from the input coil 220 and the feedback magnetic flux amount is supplied to the AND gate 80 which is also driven by the alternating current source.
1. Switching circuit 8 composed of OR gate 800
It outputs to the feedback circuit via 10. The feedback circuit consists of a superconducting loop including the inductance 223 and the Josephson junction 111, and a write gate that converts the pulses sent through the switching circuit 810 into flux quanta.
This write gate consists of another inductance 222 that is magnetically coupled to the inductance 223. The pulse passing through the write gate is converted into a flux quantum and stored in the superconducting loop including the inductance 224.
【0005】インダクタンス224はSQUIDのイン
ダクタンス221と磁気結合900しており、インダク
タンス224を含む超電導ループに蓄えられた磁束量子
はSQUIDに帰還される。従って、帰還回路はSQU
IDから出力されたパルスを計測し、その結果に応じた
磁束量子をSQUIDに帰還することができる。The inductance 224 is magnetically coupled 900 with the inductance 221 of the SQUID, and the magnetic flux quantum stored in the superconducting loop including the inductance 224 is fed back to the SQUID. Therefore, the feedback circuit is SQU
It is possible to measure the pulse output from the ID and feed back the magnetic flux quantum corresponding to the result to the SQUID.
【0006】[0006]
【発明が解決しようとする課題】前記従来技術において
は、SQUIDからの信号の大きさを弁別してデジタル
化することを目的として使用されるSQUID以外の回
路は、トンネル型のジョセフソン接合を用いた、ラッチ
ングタイプの回路が使用されている。SQUIDに対す
る雑音を小さくするためには、これらSQUID以外の
回路に、特にSQUIDに近接して配置される回路に用
いるジョセフソン素子の超伝導臨界電流を小さくするこ
とが有効である。しかし、ラッチングタイプの回路の場
合、熱雑音の影響で、一般には超伝導臨界電流を50μ
A以下にすると誤動作の発生確率が高くなる問題があ
る。特に、ラッチングタイプの回路では、一度誤動作が
発生すると、電源をゼロに戻さないかぎり誤った結果を
出力し続ける。このため、従来技術では超伝導臨界電流
を50μA以下にするとができず、従って、SQUID
以外の回路がSQUIDに与える雑音を小さくすること
ができなかった。In the above-mentioned prior art, the circuits other than the SQUID used for the purpose of discriminating the magnitude of the signal from the SQUID and digitizing it use a tunnel type Josephson junction. , A latching type circuit is used. In order to reduce the noise with respect to the SQUID, it is effective to reduce the superconducting critical current of the Josephson device used in the circuits other than these SQUIDs, especially in the circuits arranged close to the SQUID. However, in the case of a latching type circuit, the superconducting critical current is generally 50 μ due to the influence of thermal noise.
If it is A or less, there is a problem that the probability of occurrence of malfunction increases. In particular, in a latching type circuit, once a malfunction occurs, an incorrect result is continuously output unless the power supply is returned to zero. For this reason, it is not possible to reduce the superconducting critical current to 50 μA or less in the conventional technique, and therefore the SQUID
It was not possible to reduce the noise given to the SQUID by the circuits other than.
【0007】本発明の目的は、従来技術の問題点を解決
して、雑音に強く誤動作が少なくて、しかも集積化に好
適な、SQUIDを含んだ超伝導回路を提供することに
ある。SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the problems of the prior art and to provide a superconducting circuit including SQUID, which is resistant to noise, has less malfunctions, and is suitable for integration.
【0008】[0008]
【課題を解決するための手段】上記従来技術における問
題点は、少なくとも、SQUIDとコンパレータおよび
読み出し回路とからなる超電導回路において、前記コン
パレータはオーバーダンピングのノンラッチ型ジョセフ
ソン素子を用いて構成され、かつ前記SQUIDからの
アナログ出力信号の大きさを弁別する機能を有し、前記
読み出し回路は前記コンパレータからのデジタル出力信
号を読み出す機能を有するとともに、前記コンパレータ
が前記SQUIDからの信号の大きさを弁別している間
は、前記読み出し回路には電源電流が流れていないよう
に構成することによって解決することができる。A problem with the above-mentioned prior art is that at least in a superconducting circuit including an SQUID, a comparator and a readout circuit, the comparator is constructed by using an overdamping non-latch type Josephson element, and It has a function of discriminating the magnitude of the analog output signal from the SQUID, the reading circuit has a function of reading the digital output signal from the comparator, and the comparator discriminates the magnitude of the signal from the SQUID. This can be solved by configuring so that the power supply current does not flow in the reading circuit while the reading circuit is in operation.
【0009】[0009]
【発明の実施の形態】本発明について、以下の実施例に
より詳細に述べる。BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION The present invention will be described in detail by the following examples.
【0010】本発明による超電導回路は図1に示すよう
に、少なくともSQUID11と、オーバーダンピング
のノンラッチ型ジョセフソン素子を用いて構成されコン
パレータ12、および読み出し回路3とから構成されて
いる。図2に本発明によるコンパレータの回路図を示
す。コンパレータ2はrfSQUID201、およびd
cSQUID202とから構成されている。SQUID
11からの出力信号は、SQUID11に設けた負荷イ
ンダクタンス21および負荷抵抗22によって、磁気信
号として、rfSQUID201に入力される。rfS
QUID201に信号が入力されたことによるインダク
タンスの変化はdcSQUID202に伝達され、さら
にその変化は読み出し回路13に入力される。As shown in FIG. 1, the superconducting circuit according to the present invention is composed of at least SQUID 11, a comparator 12 formed by using an overdamping non-latch type Josephson element, and a reading circuit 3. FIG. 2 shows a circuit diagram of the comparator according to the present invention. Comparator 2 is rfSQUID 201, and d
and cSQUID 202. SQUID
The output signal from 11 is input to the rfSQUID 201 as a magnetic signal by the load inductance 21 and the load resistance 22 provided in the SQUID 11. rfS
The change in the inductance due to the input of the signal to the QUID 201 is transmitted to the dcSQUID 202, and the change is input to the read circuit 13.
【0011】本実施例に示す超電導回路は,超電導体に
Nb、ジョセフソン接合にNb/AlOx/Nb、抵抗
体にMoNxを用いて作製した。ジョセフソン接合の臨
界電流値は25μAとし、SQUID1のインダクタン
スは、臨界電流値の合計とインダクタンスの積が1磁束
量子(1Φ0)になるように構成した。同様に、コンパ
レータ2を構成するrfSQUID201、およびdc
SQUID202のジョセフソン接合241、242の
臨界電流値も25μAとし、インダクタンス231およ
び232は、それぞれの素子のジョセフソン接合24
1、242の臨界電流値とインダクタンスの積が1磁束
量子(1Φ0)に等しくなるように設定した。The superconducting circuit shown in this embodiment was manufactured by using Nb for the superconductor, Nb / AlO x / Nb for the Josephson junction, and MoN x for the resistor. The critical current value of the Josephson junction was set to 25 μA, and the inductance of SQUID1 was configured such that the product of the total critical current value and the inductance was 1 magnetic flux quantum (1Φ 0 ). Similarly, the rfSQUID 201 and dc forming the comparator 2
The critical current value of the Josephson junctions 241 and 242 of the SQUID 202 is also 25 μA, and the inductances 231 and 232 are the Josephson junctions 24 of the respective elements.
The product of the critical current value of 1,242 and the inductance was set to be equal to one magnetic flux quantum (1Φ 0 ).
【0012】図3にコンパレータ12を構成するrfS
QUID201、およびdcSQUID202のバイア
ス電流および電源電流に電流を流すタイミングを示す。
まず、rfSQUID201に電源電流Icp26を流
す。次にバイアス電流Icb25を流す。この時、rf
SQUID201はSQUIDからの信号の有無を弁別
し、SQUIDから信号電流Is29がある場合にはr
fSQUID201に1磁束量子が入力される。rfS
QUID201がその状態を保っている間に、dcSQ
UID202に電源電流Icrp27を流すと、端子2
8が電圧状態になるため、SQUID1からの信号が、
1であることが読み出し回路13に伝達される。一方、
SQUIDから信号電流Is29がない場合にはrfS
QUID201には磁束が入力されないため、dcSQ
UID202に電源電流Icrp27が流れても、端子
28には電圧が生じない。そのため、SQUID1から
の信号が、0、であることが読み出し回路13に伝達さ
れる。またコンパレータ12が、上記の動作を行ってい
る間は、読み出し回路13には電源電流を流さない。こ
のような構成とすることによって、コンパレータは他の
回路が発生する雑音の影響を受けることがないため、コ
ンパレータの誤動作を低減することができた。The rfS constituting the comparator 12 is shown in FIG.
The timings at which the bias current and the power supply current of the QUID 201 and the dcSQUID 202 are passed are shown.
First, the power supply current Icp26 is passed through the rfSQUID 201. Next, the bias current Icb25 is passed. At this time, rf
The SQUID 201 discriminates the presence or absence of a signal from the SQUID, and if there is a signal current Is29 from the SQUID, r
One magnetic flux quantum is input to fSQUID201. rfS
While QUID 201 keeps that state, dcSQ
When the power supply current Icrp27 is passed through the UID 202, the terminal 2
Since 8 is in the voltage state, the signal from SQUID1
The fact that it is 1 is transmitted to the read circuit 13. on the other hand,
If there is no signal current Is29 from SQUID, rfS
Since no magnetic flux is input to QUID 201, dcSQ
Even if the power supply current Icrp27 flows through the UID 202, no voltage is generated at the terminal 28. Therefore, it is transmitted to the read circuit 13 that the signal from SQUID1 is 0. Further, while the comparator 12 is performing the above operation, no power supply current is passed through the read circuit 13. With such a configuration, the comparator is not affected by noise generated by other circuits, so that malfunction of the comparator can be reduced.
【0013】さらに、本発明ではオーバーダンピングの
ノンラッチ型ジョセフソン素子を用いて、コンパレータ
などの回路を構成したため、熱雑音の影響があっても、
ごく短い時間で回路は元の状態に戻ることができる。従
ってラッチ型ジョセフソン素子を用いた場合のように、
熱雑音による誤動作が記憶されて長い時間蓄積されるこ
とがないので、誤動作の確率が減少する。これらの特長
は、本実施例に固有のものではなく、本発明の構成を用
いることによって得られる一般的な特長である。 オー
バーダンピングのノンラッチ型ジョセフソン素子はトン
ネル型のジョセフソン素子にシャント抵抗を設けて、電
流−電圧特性におけるヒステリシスを消すことによって
実現しても良い。また、マイクロブリッジ等の超伝導弱
結合によるノンラッチ型ジョセフソン素子を用いても良
い。Further, in the present invention, since the circuit such as the comparator is constructed by using the non-latch type Josephson element of overdamping, even if the influence of thermal noise is exerted,
The circuit can return to its original state in a very short time. Therefore, like when using the latch type Josephson element,
Since the malfunction due to thermal noise is not stored and accumulated for a long time, the probability of malfunction is reduced. These features are not unique to this embodiment, but are general features obtained by using the configuration of the present invention. The over-damping non-latch type Josephson element may be realized by providing a shunt resistor in the tunnel type Josephson element to eliminate the hysteresis in the current-voltage characteristic. Alternatively, a non-latch type Josephson element such as a microbridge due to superconducting weak coupling may be used.
【0014】ノンラッチ型ジョセフソン素子の超伝導臨
界電流は、従来のジョセフソン論理回路に用いられてい
る50μAと比べて小さく約30μAとすることができ
る。さらに小さくして10μA程度に選ぶことも可能で
ある。一般的には、SQUIDに用いられているジョセ
フソン接合素子の超伝導臨界電流と同じかそれよりも小
さくすることが、雑音の低減の観点からは望ましい。こ
の場合も、一般には10μA程度の値となる。The superconducting critical current of the non-latch type Josephson device can be about 30 μA, which is smaller than 50 μA used in the conventional Josephson logic circuit. It is possible to further reduce the size to about 10 μA. Generally, it is desirable from the viewpoint of noise reduction that the superconducting critical current of the Josephson junction element used for SQUID be equal to or smaller than that. Also in this case, the value is generally about 10 μA.
【0015】また、上記構成に加えて、読み出し回路1
3は前記コンパレータ12からのデジタル出力信号を複
数回繰り返して読み出し、出現頻度の最も多い読み出し
結果を最終的な確定値として出力するように構成するこ
とにより、回路全体の誤動作をさらに低減することがで
きた。読み出し回路13がコンパレータ12からの信号
を複数読み出すことにより、コンパレータ12が仮に誤
動作しても,回路全体の出力結果に影響をおよぼさな
い。そのため、コンパレータ12の臨界電流値を従来に
比較して小さくすることができる。In addition to the above configuration, the read circuit 1
3 is configured such that the digital output signal from the comparator 12 is repeatedly read a plurality of times and the read result with the highest appearance frequency is output as the final fixed value, so that malfunctions of the entire circuit can be further reduced. did it. Since the reading circuit 13 reads a plurality of signals from the comparator 12, even if the comparator 12 malfunctions, the output result of the entire circuit is not affected. Therefore, the critical current value of the comparator 12 can be made smaller than in the conventional case.
【0016】このように、本発明においては熱雑音によ
る誤動作が記憶されて長い時間蓄積されることがないの
で、誤動作の確率が減少し、従って繰り返して読みだし
て正しい結果を推定することも容易になる。これらの特
長は、本実施例に固有のものではなく、本発明の構成を
用いることによって得られる一般的な特長である。その
結果、コンパレータ12とSQUID11を接近して並
べても、コンパレータ12に流す電流が小さいため、両
者の磁気的な相互干渉を小さくすることができる。その
結果、SQUID11およびコンパレータ12を安定に
動作させることができ、かつ回路全体を集積化すること
がきる。As described above, in the present invention, since the malfunction due to thermal noise is not stored and accumulated for a long time, the probability of malfunction is reduced, and therefore it is easy to repeatedly read and estimate the correct result. become. These features are not unique to this embodiment, but are general features obtained by using the configuration of the present invention. As a result, even if the comparator 12 and the SQUID 11 are arranged close to each other, the current flowing through the comparator 12 is small, so that magnetic mutual interference between the two can be reduced. As a result, the SQUID 11 and the comparator 12 can be stably operated, and the entire circuit can be integrated.
【0017】[0017]
【発明の効果】以上詳述したごとく、超電導回路を本発
明のごとく構成することにより、誤動作が少なく、低雑
音で高集積化が可能な超電導回路を実現することができ
る。As described in detail above, by constructing the superconducting circuit as in the present invention, it is possible to realize a superconducting circuit which has few malfunctions and which can be highly integrated with low noise.
【0018】[0018]
【図1】本発明による超電導回路の構成図である。FIG. 1 is a configuration diagram of a superconducting circuit according to the present invention.
【図2】本発明によるコンパレ−タの回路図である。FIG. 2 is a circuit diagram of a comparator according to the present invention.
【図3】本発明による超電導回路の動作タイミングを示
す図である。FIG. 3 is a diagram showing an operation timing of the superconducting circuit according to the present invention.
【図4】従来例を示す図である。FIG. 4 is a diagram showing a conventional example.
11…SQUID、12…ノンラッチング型コンパレ−
タ、13…読み出し回路、21…負荷インダクタンス、
22…負荷抵抗、231,232…インダクタンス、2
41,242…ジョセフソン接合、25…バイアス電
流、26,27…電源電流、28…端子、59…交流電
流源、320…出力処理回路、表示回路への端子、11
0,111…ジョセフソン接合、220…インプットコ
イル、221,222,223,224…インダクタン
ス、320…信号出力用の端子、700…ピックアップ
コイル、800…論理和ゲ−ト、801…論理積ゲ−
ト、810…切り変え回路、900:磁気結合。11 ... SQUID, 12 ... Non-latching comparator
, 13 ... readout circuit, 21 ... load inductance,
22 ... Load resistance, 231, 232 ... Inductance, 2
41,242 ... Josephson junction, 25 ... Bias current, 26, 27 ... Power supply current, 28 ... Terminal, 59 ... AC current source, 320 ... Output processing circuit, terminal to display circuit, 11
0, 111 ... Josephson junction, 220 ... Input coil, 221, 222, 223, 224 ... Inductance, 320 ... Signal output terminal, 700 ... Pickup coil, 800 ... Logical sum gate, 801 ... Logical product gate
G, 810 ... Switching circuit, 900: Magnetic coupling.
Claims (3)
よび読み出し回路とからなる超電導回路において、前記
コンパレータはオーバーダンピングのノンラッチ型ジョ
セフソン素子を用いて構成され、かつ前記SQUIDか
らのアナログ出力信号の大きさを弁別する機能を有し、
前記読み出し回路は前記コンパレータからのデジタル出
力信号を読み出す機能を有するとともに、前記コンパレ
ータが前記SQUIDからの信号の大きさを弁別してい
る間は、前記読み出し回路には電源電流が流れていない
ことを特徴とする超電導回路。1. A superconducting circuit comprising at least an SQUID, a comparator and a readout circuit, wherein the comparator is constituted by using an overdamping non-latch type Josephson element and discriminates the magnitude of an analog output signal from the SQUID. Has the function to
The read circuit has a function of reading a digital output signal from the comparator, and a power supply current does not flow in the read circuit while the comparator discriminates the magnitude of the signal from the SQUID. And superconducting circuit.
に含まれるジョセフソン接合素子の超電導臨界電流は3
0μA以下であることを特徴とする請求項1に記載の超
電導回路。2. The superconducting critical current of a Josephson junction element included in the comparator and the readout circuit is 3
The superconducting circuit according to claim 1, which is 0 μA or less.
のデジタル出力信号を複数回繰り返して読み出し、出現
頻度の最も多い読み出し結果を最終的な確定値として出
力することを特徴とする請求項1および2に記載の超電
導回路。3. The read circuit according to claim 1, wherein the read circuit repeatedly reads the digital output signal from the comparator a plurality of times and outputs the read result having the highest appearance frequency as a final definite value. The superconducting circuit described.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7280157A JPH09127219A (en) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | Superconductive circuit |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7280157A JPH09127219A (en) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | Superconductive circuit |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH09127219A true JPH09127219A (en) | 1997-05-16 |
Family
ID=17621116
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP7280157A Pending JPH09127219A (en) | 1995-10-27 | 1995-10-27 | Superconductive circuit |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH09127219A (en) |
-
1995
- 1995-10-27 JP JP7280157A patent/JPH09127219A/en active Pending
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
US4983971A (en) | Josephson analog to digital converter for low-level signals | |
US4922250A (en) | Superconducting analog-to-digital converter with bidirectional counter | |
JP2838596B2 (en) | Superconducting toggle flip-flop circuit and counter circuit | |
Gheewala | Josephson-logic devices and circuits | |
US5162731A (en) | Superconducting quantum interference magnotometer having a feedback reset capability to extend the dynamic sensing range | |
SE512591C2 (en) | Digital information device and method | |
EP0446923B1 (en) | High-sensitive magnetometer | |
EP0505250B1 (en) | Superconducting circuit having a rectifier for converting a bipolar signal to a unipolar signal | |
US5192951A (en) | Analog-to-digital converter circuits and methods using superconductive elements | |
US5420586A (en) | Superconducting analog to digital converter type circuit | |
Radparvar | A wide dynamic range single-chip SQUID magnetometer | |
EP0527557A1 (en) | Signal arbitration circuits and methods using superconductive elements | |
JPH09127219A (en) | Superconductive circuit | |
US5467015A (en) | Superconducting magnetometer having increased bias current tolerance and producing digital output | |
Radparvar et al. | An integrated digital SQUID magnetometer with high sensitivity input | |
JP3144973B2 (en) | Digital SQUID and measurement system using the same | |
WO2006043300A2 (en) | Superconductng magnetometer device, and related method of measuring | |
JP2807519B2 (en) | Superconducting device | |
JP2694778B2 (en) | Superconducting neuron element | |
JP2711017B2 (en) | Superconducting bidirectional binary counter and superconducting analog-to-digital converter | |
JP2006268928A (en) | Dc power source drive type superconducting sense circuit | |
JP2550587B2 (en) | The Josephson Gate | |
Uhlmann et al. | Investigation of the design of a digital SQUID sensor | |
JP2871772B2 (en) | Superconducting circuit | |
JPH0654347B2 (en) | Magnetometer |