JPH09120070A - Method for dividing orientation of liquid crystal oriented film and liquid crystal display device using liquid crystal oriented film obtained by the method - Google Patents

Method for dividing orientation of liquid crystal oriented film and liquid crystal display device using liquid crystal oriented film obtained by the method

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Publication number
JPH09120070A
JPH09120070A JP27928495A JP27928495A JPH09120070A JP H09120070 A JPH09120070 A JP H09120070A JP 27928495 A JP27928495 A JP 27928495A JP 27928495 A JP27928495 A JP 27928495A JP H09120070 A JPH09120070 A JP H09120070A
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JP
Japan
Prior art keywords
liquid crystal
group
ether
methyl
alignment film
Prior art date
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Withdrawn
Application number
JP27928495A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Michinori Nishikawa
通則 西川
Tsutomu Shimokawa
努 下川
Masayuki Endo
昌之 遠藤
Yasuo Matsuki
安生 松木
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
JSR Corp
Original Assignee
Japan Synthetic Rubber Co Ltd
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Publication date
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Priority to JP27928495A priority Critical patent/JPH09120070A/en
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Abstract

PROBLEM TO BE SOLVED: To suppress decrease in the pretilt angle of a liquid crystal display element or deterioration in orientation of a liquid crystal by using a specified solvent to remove a resist pattern. SOLUTION: A radiation-sensitive resin compsn. is applied on a liquid crystal oriented film and irradiated with radiation to form a resist pattern so as to partially protect the liquid crystal oriented film. The liquid crystal oriented film in exposed area is oriented in the different direction from the protected part. Then, the resist pattern is removed by using at least one kind of solvent selected from among 4-10C alkylketones, solvents expressed by R<1> -(O-R<2> )n -O-R<3> (R<1> is hydrogen atom or a 1-4C alkyl group, R<2> is a 2-3C alkylene group, R<3> is hydrogen atom or a 1-4C alkyl group, and n is 1 or 2) or solvents expressed by the formula. In the formula, R<4> -R<8> are each independently hydrogen atom, a 1-4C alkoxy group, etc., and R<9> is a 1-5C alkyl group.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【発明の属する技術分野】本発明は、液晶配向膜の配向
分割方法および得られた液晶配向膜を用いた液晶装置に
関する。さらに詳しくは、液晶表示素子のプレチルト角
の低下が少なくしかも液晶配向特性に優れた液晶配向膜
の配向分割方法および得られた液晶配向膜を用いた液晶
表示素子に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an alignment division method for a liquid crystal alignment film and a liquid crystal device using the obtained liquid crystal alignment film. More specifically, the present invention relates to an alignment division method of a liquid crystal alignment film which has a small decrease in pretilt angle of a liquid crystal display device and is excellent in liquid crystal alignment characteristics, and a liquid crystal display device using the obtained liquid crystal alignment film.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、正の誘電異方性を有するネマチッ
ク型液晶を、ポリイミドなどからなる液晶配向膜を有す
る透明電極付き基板でサンドイッチ構造にし、液晶分子
の長軸が基板間で90〜270度連続的に捻れるように
してなるTN型またはSTN型液晶セルを有する液晶表
示素子(TN型またはSTN型液晶表示素子)が知られ
ている。しかしながら、このTN型またはSTN型液晶
表示素子は、屈折率異方性を有する液晶分子の立ち上が
りおよび立ち下がりを利用して、表示のON・OFFを
行っているため、特に中間調表示において、表示の視野
角が狭いという問題を有している。これを解決するた
め、あらかじめ配向処理を行った液晶配向膜上に感放射
線性樹脂組成物を塗布し、部分的にレジストパターンを
形成して液晶配向膜を保護してから、上記配向の方向と
異なる方向に配向処理を行うことで配向分割を行い、表
示の視野角を広くする方法が報告されている(SID’
92Digest,p.792、Japan Displ
ay’92 Digest,p.591)。しかしなが
ら、感放射線性樹脂組成物を除去した後に、液晶表示素
子のプレチルト角が低下し、液晶表示素子に配向不良が
発生するという問題を有していた。
2. Description of the Related Art Conventionally, a nematic liquid crystal having a positive dielectric anisotropy is sandwiched by a substrate with a transparent electrode having a liquid crystal alignment film made of polyimide or the like, and the long axis of liquid crystal molecules is 90 to 270 between the substrates. There is known a liquid crystal display element (TN type or STN type liquid crystal display element) having a TN type or STN type liquid crystal cell that is twisted continuously. However, since this TN type or STN type liquid crystal display element uses the rising and falling edges of liquid crystal molecules having a refractive index anisotropy to turn the display on and off, the display is particularly performed in the halftone display. Has a problem of a narrow viewing angle. In order to solve this, the radiation-sensitive resin composition is applied onto the liquid crystal alignment film that has been subjected to an alignment treatment in advance, and a resist pattern is partially formed to protect the liquid crystal alignment film, and then the alignment direction and A method has been reported in which the orientation is divided in different directions to widen the viewing angle of display (SID ').
92 Digest, p.792, Japan Displ
ay'92 Digest, p.591). However, after removing the radiation-sensitive resin composition, the pretilt angle of the liquid crystal display element is lowered, and there is a problem in that alignment failure occurs in the liquid crystal display element.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、上記
従来の問題点を解決して、液晶表示素子のプレチルト角
の低下や液晶の配向特性の劣化が起こりにくい液晶配向
膜の配向分割方法を提供することにある。
SUMMARY OF THE INVENTION An object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art, and to reduce the pretilt angle of the liquid crystal display device and the alignment characteristics of the liquid crystal so that the alignment characteristics of the liquid crystal alignment film are less likely to occur. To provide.

【0004】本発明の他の目的は、上記配向分割方法で
配向分割された液晶配向膜を備えた液晶表示素子を有す
る液晶表示素子を提供することにある。本発明のさらに
他の目的および利点は以下の説明から明らかとなろう。
Another object of the present invention is to provide a liquid crystal display device having a liquid crystal display device having a liquid crystal alignment film that is alignment-divided by the above-mentioned alignment division method. Still other objects and advantages of the present invention will be apparent from the following description.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】本発明によれば、本発明
の上記目的および利点は、下記の液晶配向膜の配向分割
方法により達成することができる。 (1)基板上の配向された液晶配向膜上に感放射線性樹
脂組成物を塗布し、所定のパターンを通して放射線を照
射し、現像を行ってレジストパターンを形成して液晶配
向膜を部分的に保護し、露出した部分の液晶配向膜を上
記配向と異なる方向に配向せしめ、次いでレジストパタ
ーンを除去する液晶配向膜の配向分割方法であって、レ
ジストパターンの除去を、炭素数4〜10のアルキルケ
トン類、一般式(A)
According to the present invention, the above objects and advantages of the present invention can be achieved by the following method for alignment division of a liquid crystal alignment film. (1) A radiation-sensitive resin composition is applied onto an oriented liquid crystal alignment film on a substrate, irradiated with radiation through a predetermined pattern, and developed to form a resist pattern to partially form the liquid crystal alignment film. A method for alignment division of a liquid crystal alignment film, which comprises protecting and exposing the exposed liquid crystal alignment film in a direction different from the above alignment, and then removing the resist pattern. Ketones, general formula (A)

【0006】R1−(O−R2n−O−R3 R 1- (O-R 2 ) n -O-R 3

【0007】(ここで、R1は水素原子または炭素数1
〜4のアルキル基を示し、R2は炭素数2または3のア
ルキレン基を示し、R3は水素原子、炭素数1〜4のア
ルキル基、アセチル基またはプロピオニル基を示し、n
は1または2である。)で示される溶剤、および一般式
(B)
(Where R 1 is a hydrogen atom or 1 carbon atom)
To R 4 are alkyl groups, R 2 is an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms, R 3 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an acetyl group or a propionyl group, and n
Is 1 or 2. ) And a general formula (B)

【0008】[0008]

【化2】 Embedded image

【0009】(ここで、R4〜R8は互いに独立して水素
原子、炭素数1〜4のアルコキシル基または炭素数1〜
3のアルキル基を示し、R9は炭素数1〜5のアルキル
基を示す。)で表される溶剤よりなる群から選ばれる少
なくとも1種の溶剤で行うことを特徴とする液晶配向膜
の配向分割方法。
(Here, R 4 to R 8 are independently of each other a hydrogen atom, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms or 1 to 4 carbon atoms.
3 represents an alkyl group, and R 9 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. ) A method for alignment division of a liquid crystal alignment film, which is carried out with at least one solvent selected from the group consisting of solvents represented by

【0010】[0010]

【発明の実施の形態】本発明で使用される液晶配向膜と
しては、テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合物の
反応により得られるポリアミック酸および/またはその
イミド化重合体であるポリイミドが好ましく用いられ
る。
BEST MODE FOR CARRYING OUT THE INVENTION As a liquid crystal alignment film used in the present invention, a polyamic acid obtained by a reaction of a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound and / or a polyimide which is an imidized polymer thereof is preferably used. .

【0011】この際のテトラカルボン酸二無水物として
は、例えばブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,
3,4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,3
−ジメチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボ
ン酸二無水物、1,2,3,4−テトラメチル−1,2,3,
4−シクロブタンテトラカルボン酸二無水物、1,2,
3,4−シクロペンタンテトラカルボン酸二無水物、2,
3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物、
テトラシクロ[6.2.1.1.02,7]ドデカ−4,5,9,
10−テトラカルボン酸二無水物、3,5,6−トリカル
ボキシノルボルナン−2−酢酸二無水物、2,3,4,5
−テトラヒドロフランテトラカルボン酸二無水物、1,
3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5(テトラヒドロ
−2,5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−
c]−フラン−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b
−ヘキサヒドロ−5−メチル−5(テトラヒドロ−2,
5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]
−フラン−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b−ヘ
キサヒドロ−7−メチル−5(テトラヒドロ−2,5−
ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]−フ
ラン−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサ
ヒドロ−8−メチル−5(テトラヒドロ−2,5−ジオ
キソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]−フラン
−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒド
ロ−9−メチル−5(テトラヒドロ−2,5−ジオキソ
−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]−フラン−1,
3−ジオン、5−(2,5−ジオキソテトラヒドロフラ
ル)−3−メチル−3−シクロヘキセン−1,2−ジカ
ルボン酸二無水物、ビシクロ[2.2.2]−オクト−7
−エン−2,3,5,6−テトラカルボン酸二無水物など
の脂肪族および脂環族テトラカルボン酸二無水物;ピロ
メリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ベンゾフェノ
ンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフ
ェニルスルホンテトラカルボン酸二無水物、1,4,5,
8−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、2,3,6,
7−ナフタレンテトラカルボン酸二無水物、3,3’,
4,4’−ビフェニルエーテルテトラカルボン酸二無水
物、3,3’,4,4’−ジメチルジフェニルシランテト
ラカルボン酸二無水物、3,3’,4,4’−テトラフェ
ニルシランテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−
フランテトラカルボン酸二無水物、4,4’−ビス(3,
4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルスルフィド二
無水物、4,4’−ビス(3,4−ジカルボキシフェノキ
シ)ジフェニルスルホン二無水物、4,4’−ビス(3,
4−ジカルボキシフェノキシ)ジフェニルプロパン二無
水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソプロピリデ
ンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニル
テトラカルボン酸二無水物、ビス(フタル酸)フェニル
ホスフィンオキサイド二無水物、p−フェニレン−ビス
(トリフェニルフタル酸)二無水物、m−フェニレン−
ビス(トリフェニルフタル酸)二無水物、ビス(トリフ
ェニルフタル酸)−4,4’−ジフェニルエーテル二無
水物、ビス(トリフェニルフタル酸)−4,4’−ジフ
ェニルメタン二無水物などの芳香族テトラカルボン酸二
無水物を挙げることができる。
Examples of the tetracarboxylic dianhydride at this time include butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,
3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,3
-Dimethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-tetramethyl-1,2,3,
4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,
3,4-cyclopentanetetracarboxylic dianhydride, 2,
3,5-tricarboxycyclopentyl acetic acid dianhydride,
Tetracyclo [6.2.1.1.0 2,7 ] dodeca-4,5,9,
10-Tetracarboxylic acid dianhydride, 3,5,6-tricarboxynorbornane-2-acetic acid dianhydride, 2,3,4,5
-Tetrahydrofuran tetracarboxylic dianhydride, 1,
3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5 (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-
c] -furan-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b
-Hexahydro-5-methyl-5 (tetrahydro-2,
5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c]
-Furan-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-7-methyl-5 (tetrahydro-2,5-
Dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] -furan-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-8-methyl-5 (tetrahydro-2,5- Dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] -furan-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-9-methyl-5 (tetrahydro-2,5- Dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] -furan-1,
3-dione, 5- (2,5-dioxotetrahydrofural) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid dianhydride, bicyclo [2.2.2] -oct-7
Aliphatic and alicyclic tetracarboxylic dianhydrides such as -ene-2,3,5,6-tetracarboxylic dianhydride; pyromellitic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-benzophenone Tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ', 4,4'-biphenylsulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 1,4,5,
8-naphthalenetetracarboxylic dianhydride, 2,3,6,
7-naphthalene tetracarboxylic dianhydride 3,3 ′,
4,4'-biphenyl ether tetracarboxylic dianhydride, 3,3 ', 4,4'-dimethyldiphenylsilane tetracarboxylic dianhydride, 3,3', 4,4'-tetraphenylsilane tetracarboxylic acid Dianhydride, 1,2,3,4-
Furantetracarboxylic dianhydride, 4,4'-bis (3,
4-dicarboxyphenoxy) diphenyl sulfide dianhydride, 4,4'-bis (3,4-dicarboxyphenoxy) diphenyl sulfone dianhydride, 4,4'-bis (3,
4-Dicarboxyphenoxy) diphenylpropane dianhydride, 3,3 ', 4,4'-perfluoroisopropylidene diphthalic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyltetracarboxylic dianhydride , Bis (phthalic acid) phenylphosphine oxide dianhydride, p-phenylene-bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, m-phenylene-
Aromatic such as bis (triphenylphthalic acid) dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenylether dianhydride, bis (triphenylphthalic acid) -4,4'-diphenylmethane dianhydride A tetracarboxylic dianhydride can be mentioned.

【0012】これらのうちではブタンテトラカルボン酸
二無水物、1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン
酸二無水物、1,3−ジメチル−1,2,3,4−シクロブ
タンテトラカルボン酸二無水物、1,2,3,4−テトラ
メチル−1,2,3,4−シクロブタンテトラカルボン酸
二無水物、2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢
酸二無水物、テトラシクロ[6.2.1.1.02,7]ドデ
カ−4,5,9,10−テトラカルボン酸二無水物、5−
(2,5−ジオキソテトラヒドロフラル)−3−メチル
−3−シクロヘキセン−1,2−ジカルボン酸二無水
物、1,3,3a,4,5,9b−ヘキサヒドロ−5(テト
ラヒドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト
[1,2−c]−フラン−1,3−ジオン、1,3,3a,
4,5,9b−ヘキサヒドロ−5−メチル−5(テトラヒ
ドロ−2,5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,
2−c]−フラン−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,
9b−ヘキサヒドロ−7−メチル−5(テトラヒドロ−
2,5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−
c]−フラン−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b
−ヘキサヒドロ−8−メチル−5(テトラヒドロ−2,
5−ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]
−フラン−1,3−ジオン、1,3,3a,4,5,9b−ヘ
キサヒドロ−9−メチル−5(テトラヒドロ−2,5−
ジオキソ−3−フラニル)−ナフト[1,2−c]−フ
ラン−1,3−ジオン、ピロメリット酸二無水物、3,
3’,4,4’−ベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水
物、3,3’,4,4’−ビフェニルスルホンテトラカル
ボン酸二無水物、3,3’,4,4’−パーフルオロイソ
プロピリデンジフタル酸二無水物、3,3’,4,4’−
ビフェニルテトラカルボン酸二無水物などが好ましい。
これらは単独でまたは2種以上を組合せて使用できる。
Of these, butanetetracarboxylic dianhydride, 1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride, 1,3-dimethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic dianhydride Anhydride, 1,2,3,4-tetramethyl-1,2,3,4-cyclobutanetetracarboxylic acid dianhydride, 2,3,5-tricarboxycyclopentylacetic acid dianhydride, tetracyclo [6.2. 1.1.0 2,7 ] dodeca-4,5,9,10-tetracarboxylic dianhydride, 5-
(2,5-Dioxotetrahydrofural) -3-methyl-3-cyclohexene-1,2-dicarboxylic acid dianhydride, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-5 (tetrahydro-2,5 -Dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] -furan-1,3-dione, 1,3,3a,
4,5,9b-Hexahydro-5-methyl-5 (tetrahydro-2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,
2-c] -furan-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,
9b-hexahydro-7-methyl-5 (tetrahydro-
2,5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-
c] -furan-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b
-Hexahydro-8-methyl-5 (tetrahydro-2,
5-dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c]
-Furan-1,3-dione, 1,3,3a, 4,5,9b-hexahydro-9-methyl-5 (tetrahydro-2,5-
Dioxo-3-furanyl) -naphtho [1,2-c] -furan-1,3-dione, pyromellitic dianhydride, 3,
3 ', 4,4'-benzophenone tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3', 4,4'-biphenyl sulfone tetracarboxylic acid dianhydride, 3,3 ', 4,4'-perfluoroisopropylidene dihydrate Phthalic acid dianhydride 3,3 ', 4,4'-
Biphenyltetracarboxylic dianhydride and the like are preferable.
These can be used alone or in combination of two or more.

【0013】また、ジアミン化合物としては、例えばp
−フェニレンジアミン、m−フェニレンジアミン、4,
4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミノ
ジフェニルエタン、4,4’−ジアミノジフェニルスル
フィド、4,4’−ジアミノジフェニルスルホン、4,
4’−ジアミノジフェニルエーテル、1,5−ジアミノ
ナフタレン、3,3’−ジメチル−4,4’−ジアミノビ
フェニル、4,4’−ジアミノベンズアニリド、3,4’
−ジアミノジフェニルエーテル、3,3’−ジアミノベ
ンゾフェノン、3,4’−ジアミノベンゾフェノン、4,
4’−ジアミノベンゾフェノン、2,2−ビス[4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル]プロパン、2,2
−ビス[4−(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキ
サフルオロプロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニ
ル)ヘキサフルオロプロパン、ビス[4−(4−アミノ
フェノキシ)フェニル]スルホン、1,4−ビス(4−
アミノフェノキシ)ベンゼン、4,4’−(p−フェニ
レンジイソプロピリデン)ビスアニリン、4,4’−
(m−フェニレンジイソプロピリデン)ビスアニリン、
1,3−ビス(4−アミノフェノキシ)ベンゼン、1,3
−ビス(3−アミノフェノキシ)ベンゼン、9,9−ビ
ス(4−アミノフェニル)−10−ヒドロアントラセ
ン、9,9−ビス(4−アミノフェニル)フルオレン、
4,4’−メチレン−ビス(2−クロロアニリン)、2,
2’,5,5’−テトラクロロ−4,4’−ジアミノビフ
ェニル、2,2’−ジクロロ−4,4’−ジアミノ−5,
5’−ジメトキシビフェニル、3,3’−ジメトキシ−
4,4’−ジアミノビフェニルなどの芳香族ジアミン;
ジアミノテトラフェニルチオフェンなどのヘテロ原子を
有する芳香族ジアミン;1,1−メタキシリレンジアミ
ン、1,2−エチレンジアミン、1,3−プロパンジアミ
ン、テトラメチレンジアミン、ペンタメチレンジアミ
ン、ヘキサメチレンジアミン、ヘプタメチレンジアミ
ン、オクタメチレンジアミン、ノナメチレンジアミン、
1,4−ジアミノシクロヘキサン、イソホロンジアミ
ン、テトラヒドロジシクロペンタジエニレンジアミン、
ヘキサヒドロ−4,7−メタノインダニレンジメチレン
ジアミン、トリシクロ[6.2.1.02,7]−ウンデシレ
ンジメチルジアミン、4,4’−メチレンビス(シクロ
ヘキシルアミン)などの脂肪族または脂環族ジアミン;
As the diamine compound, for example, p
-Phenylenediamine, m-phenylenediamine, 4,
4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenylethane, 4,4'-diaminodiphenyl sulfide, 4,4'-diaminodiphenyl sulfone, 4,
4'-diaminodiphenyl ether, 1,5-diaminonaphthalene, 3,3'-dimethyl-4,4'-diaminobiphenyl, 4,4'-diaminobenzanilide, 3,4 '
-Diaminodiphenyl ether, 3,3'-diaminobenzophenone, 3,4'-diaminobenzophenone, 4,
4'-diaminobenzophenone, 2,2-bis [4-
(4-Aminophenoxy) phenyl] propane, 2,2
-Bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane, bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] sulfone, 1,4- Bis (4-
Aminophenoxy) benzene, 4,4 '-(p-phenylenediisopropylidene) bisaniline, 4,4'-
(M-phenylenediisopropylidene) bisaniline,
1,3-bis (4-aminophenoxy) benzene, 1,3
-Bis (3-aminophenoxy) benzene, 9,9-bis (4-aminophenyl) -10-hydroanthracene, 9,9-bis (4-aminophenyl) fluorene,
4,4'-methylene-bis (2-chloroaniline), 2,
2 ', 5,5'-tetrachloro-4,4'-diaminobiphenyl, 2,2'-dichloro-4,4'-diamino-5,
5'-dimethoxybiphenyl, 3,3'-dimethoxy-
Aromatic diamines such as 4,4′-diaminobiphenyl;
Aromatic diamine having a hetero atom such as diaminotetraphenylthiophene; 1,1-metaxylylenediamine, 1,2-ethylenediamine, 1,3-propanediamine, tetramethylenediamine, pentamethylenediamine, hexamethylenediamine, heptamethylene Diamine, octamethylenediamine, nonamethylenediamine,
1,4-diaminocyclohexane, isophoronediamine, tetrahydrodicyclopentadienylenediamine,
Hexahydro-4,7-methanoindanylene dimethylenediamine, tricyclo [6.2.1.0 2,7 ] -undecylenedimethyldiamine, 4,4'-methylenebis (cyclohexylamine) and other aliphatic or alicyclic diamines ;

【0014】 H2N-(CH2)p-(Si(R)2-O)q-Si(R)2-(CH2)p-NH2 H 2 N- (CH 2 ) p- (Si (R) 2 -O) q -Si (R) 2- (CH 2 ) p -NH 2

【0015】(式中、Rはメチル基、エチル基、プロピ
ル基などのアルキル基、シクロヘキシル基などのシクロ
アルキル基またはフェニル基などのアリール基のような
炭素数1〜12の炭化水素基を示し、pは1〜3、qは
1〜20の整数を示す)などで表されるジアミノオルガ
ノシロキサン;下記式(1)〜(7)など
(In the formula, R represents an alkyl group such as a methyl group, an ethyl group, a propyl group, a cycloalkyl group such as a cyclohexyl group, or a hydrocarbon group having 1 to 12 carbon atoms such as an aryl group such as a phenyl group. , P is 1 to 3 and q is an integer of 1 to 20) and the like; and the following formulas (1) to (7)

【0016】[0016]

【化3】 Embedded image

【0017】[0017]

【化4】 Embedded image

【0018】[0018]

【化5】 Embedded image

【0019】[0019]

【化6】 [Chemical 6]

【0020】[0020]

【化7】 Embedded image

【0021】[0021]

【化8】 Embedded image

【0022】[0022]

【化9】 Embedded image

【0023】で表されるステロイド骨格を含有するジア
ミンを挙げることができる。
A diamine containing a steroid skeleton represented by

【0024】これらのうち、p−フェニレンジアミン、
4,4’−ジアミノジフェニルメタン、4,4’−ジアミ
ノジフェニルエーテル、2,2−ビス[4−(4−アミ
ノフェノキシ)フェニル]プロパン、9,9−ビス(4
−アミノフェニル)フルオレン 、2,2−ビス[4−
(4−アミノフェノキシ)フェニル]ヘキサフルオロプ
ロパン、2,2−ビス(4−アミノフェニル)ヘキサフ
ルオロプロパンおよび上記式(1)〜(7)などで表さ
れるステロイド骨格を含有するジアミンが好ましい。こ
れらは単独でまたは2種以上を組み合わせて使用でき
る。また、これらジアミンは市販品をそのまま使用して
も、再還元して使用してもよい。
Of these, p-phenylenediamine,
4,4'-diaminodiphenylmethane, 4,4'-diaminodiphenyl ether, 2,2-bis [4- (4-aminophenoxy) phenyl] propane, 9,9-bis (4
-Aminophenyl) fluorene, 2,2-bis [4-
(4-Aminophenoxy) phenyl] hexafluoropropane, 2,2-bis (4-aminophenyl) hexafluoropropane and a diamine containing a steroid skeleton represented by the above formulas (1) to (7) are preferable. These can be used alone or in combination of two or more. These diamines may be used as they are, or may be used after being reduced again.

【0025】本発明に用いられるポリアミック酸は、テ
トラカルボン酸二無水物とジアミン化合物の反応により
得られる。かかる反応は有機溶媒中で、通常0〜150
℃、好ましくは0〜100℃の温度で行われる。
The polyamic acid used in the present invention is obtained by reacting a tetracarboxylic dianhydride and a diamine compound. Such a reaction is usually performed in an organic solvent at 0 to 150.
C., preferably at a temperature of 0-100.degree.

【0026】反応に用いられる上記有機溶媒としては、
テトラカルボン酸二無水物、ジアミン化合物および反応
で生成するポリアミック酸を溶解しうるものであれば特
に制限はない。例えばγ−ブチロラクトン、N−メチル
−2−ピロリドン、N,N−ジメチルホルムアミド、N,
N−ジメチルアセトアミド、ジメチルスルホキシド、テ
トラメチル尿素、ヘキサメチルホスホルトリアミドなど
の非プロトン系極性溶媒;m−クレゾール、キシレノー
ル、フェノール、ハロゲン化フェノールなどのフェノー
ル系溶媒を挙げることができる。これらは単独でまたは
2種以上を組合せて使用できる。
The above-mentioned organic solvent used in the reaction includes
There is no particular limitation as long as it can dissolve the tetracarboxylic acid dianhydride, the diamine compound and the polyamic acid produced by the reaction. For example, γ-butyrolactone, N-methyl-2-pyrrolidone, N, N-dimethylformamide, N,
Aprotic polar solvents such as N-dimethylacetamide, dimethylsulfoxide, tetramethylurea and hexamethylphosphortriamide; and phenolic solvents such as m-cresol, xylenol, phenol and halogenated phenol. These can be used alone or in combination of two or more.

【0027】なお、上記有機溶媒には、ポリアミック酸
の貧溶媒であるアルコール類、ケトン類、エステル類、
エーテル類、ハロゲン化炭化水素類、炭化水素類など
を、生成するポリアミック酸が析出しない範囲で併用す
ることができる。かかる貧溶媒の具体例としては、例え
ばメチルアルコール、エチルアルコール、イソプロピル
アルコール、シクロヘキサノール、エチレングリコー
ル、プロピレングリコール、1,4−ブタンジオール、
トリエチレングリコール、エチレングリコールモノメチ
ルエーテル、アセトン、メチルエチルケトン、メチルイ
ソブチルケトン、シクロヘキサノン、酢酸メチル、酢酸
エチル、酢酸ブチル、シュウ酸ジエチル、マロン酸ジエ
チル、ジエチルエーテル、エチレングリコールエチルエ
ーテル、エチレングリコール−n−プロピルエーテル、
エチレングリコール−i−プロピルエーテル、エチレン
グリコール−n−ブチルエーテル、エチレングリコール
−n−ヘキシルエーテル、エチレングリコールジメチル
エーテル、エチレングリコールエチルエーテルアセテー
ト、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコール
モノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチル
エーテル、ジエチレングリコールモノブチルエーテル、
ジエチレングリコールモノメチルエーテルアセテート、
ジエチレングリコールモノエチルエーテルアセテート、
エチレングリコールメチルエーテルアセテート、エチレ
ングリコール−n−プロピルエーテルアセテート、エチ
レングリコール−i−プロピルエーテルアセテート、エ
チレングリコール−n−ブチルエーテルアセテート、エ
チレングリコール−n−ヘキシルエーテルアセテート、
4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノン、2−ヒ
ドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メ
チルプロピオン酸エチル、2−ヒドロキシ−2−メチル
プロピオン酸メチル、エトキシ酢酸エチル、ヒドロキシ
酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチルブタン酸メチ
ル、3−メトキシプロピオン酸メチル、3−メトキシプ
ロピオン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸エチル、
3−エトキシプロピオン酸メチル、テトラヒドロフラ
ン、ジクロロメタン、1,2−ジクロロエタン、1,4−
ジクロロブタン、トリクロロエタン、クロルベンゼン、
o−ジクロルベンゼン、ヘキサン、ヘプタン、オクタ
ン、ベンゼン、トルエン、キシレンなどを挙げることが
できる。
The above organic solvents include alcohols, ketones, esters which are poor solvents for polyamic acid,
Ethers, halogenated hydrocarbons, hydrocarbons and the like can be used in combination as long as the generated polyamic acid does not precipitate. Specific examples of such poor solvents include, for example, methyl alcohol, ethyl alcohol, isopropyl alcohol, cyclohexanol, ethylene glycol, propylene glycol, 1,4-butanediol,
Triethylene glycol, ethylene glycol monomethyl ether, acetone, methyl ethyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, methyl acetate, ethyl acetate, butyl acetate, diethyl oxalate, diethyl malonate, diethyl ether, ethylene glycol ethyl ether, ethylene glycol-n-propyl ether,
Ethylene glycol-i-propyl ether, ethylene glycol-n-butyl ether, ethylene glycol-n-hexyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol ethyl ether acetate, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol Monobutyl ether,
Diethylene glycol monomethyl ether acetate,
Diethylene glycol monoethyl ether acetate,
Ethylene glycol methyl ether acetate, ethylene glycol-n-propyl ether acetate, ethylene glycol-i-propyl ether acetate, ethylene glycol-n-butyl ether acetate, ethylene glycol-n-hexyl ether acetate,
4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone, ethyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, methyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl ethoxyacetate, ethyl hydroxyacetate, 2 -Methyl hydroxy-3-methylbutanoate, methyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate,
Methyl 3-ethoxypropionate, tetrahydrofuran, dichloromethane, 1,2-dichloroethane, 1,4-
Dichlorobutane, trichloroethane, chlorobenzene,
Examples thereof include o-dichlorobenzene, hexane, heptane, octane, benzene, toluene and xylene.

【0028】有機溶媒の使用量は、通常、テトラカルボ
ン酸二無水物および全アミン化合物の総量が、反応溶液
の全量に対して0.1〜30重量%になるようにするの
が好ましい。
The amount of the organic solvent used is usually preferably such that the total amount of the tetracarboxylic dianhydride and all the amine compounds is 0.1 to 30% by weight based on the total amount of the reaction solution.

【0029】テトラカルボン酸二無水物とジアミン化合
物の使用割合は、ジアミン化合物中のアミノ基1当量に
対してテトラカルボン酸二無水物の酸無水物基が0.2
〜2当量となる割合が好ましく、より好ましくは0.3
〜1.4当量となる割合である。
The ratio of the tetracarboxylic dianhydride and the diamine compound used is such that the acid anhydride group of the tetracarboxylic dianhydride is 0.2 with respect to 1 equivalent of the amino group in the diamine compound.
The ratio of about 2 equivalents is preferable, and more preferably 0.3.
It is a ratio of about 1.4 equivalents.

【0030】本発明に用いられるポリイミドは、上記し
たポリアミック酸を、加熱して、または脱水剤およびイ
ミド化触媒の存在下でイミド化することにより得られ
る。加熱によりイミド化する場合の反応温度は、通常6
0〜200℃、好ましくは100〜170℃である。反
応温度が60℃未満では反応の進行が遅れ、また200
℃を越えると可溶性ポリイミドの分子量が大きく低下す
ることがある。また、脱水剤およびイミド化触媒の存在
下でイミド化する場合の反応は、上記した有機溶媒中で
行うことができる。反応温度は、通常0〜180℃、好
ましくは60〜150℃である。脱水剤としては、無水
酢酸、無水プロピオン酸、無水トリフルオロ酢酸などの
酸無水物を用いることができる。また、イミド化触媒と
しては、例えばピリジン、コリジン、ルチジン、トリエ
チルアミンなどの3級アミンを用いることができるが、
これらに限定されるものではない。脱水剤の使用量は、
ポリアミック酸の繰り返し単位1モルに対して1.6〜
20モルとするのが好ましい。また、イミド化触媒の使
用量は使用する脱水剤1モルに対し、0.5〜10モル
とするのが好ましい。なお、上記イミド化反応におい
て、反応温度を調節することにより、ポリアミック酸の
イミド化率を調節することができる。
The polyimide used in the present invention is obtained by heating the above-mentioned polyamic acid or by imidizing it in the presence of a dehydrating agent and an imidizing catalyst. The reaction temperature for imidization by heating is usually 6
It is 0 to 200 ° C, preferably 100 to 170 ° C. If the reaction temperature is less than 60 ° C, the reaction progresses slowly,
If the temperature exceeds ℃, the molecular weight of the soluble polyimide may be significantly reduced. In addition, the reaction in the case of imidization in the presence of a dehydrating agent and an imidization catalyst can be carried out in the above-mentioned organic solvent. The reaction temperature is generally 0 to 180 ° C, preferably 60 to 150 ° C. As the dehydrating agent, acid anhydrides such as acetic anhydride, propionic anhydride, and trifluoroacetic anhydride can be used. Further, as the imidization catalyst, for example, tertiary amines such as pyridine, collidine, lutidine, and triethylamine can be used.
It is not limited to these. The amount of dehydrating agent used is
From 1.6 to 1 mol of repeating unit of polyamic acid
It is preferably 20 mol. Further, the amount of the imidization catalyst used is preferably 0.5 to 10 mol with respect to 1 mol of the dehydrating agent used. In the imidization reaction, the imidization ratio of the polyamic acid can be adjusted by adjusting the reaction temperature.

【0031】このようにして得られるポリアミック酸お
よび/またはポリイミドの固有粘度[ηinh=ln ηr
el/C、C=0.5g/dl、30℃、N−メチル−
2−ピロリドン中、以下同条件にて測定]は、通常、
0.05〜10dl/g、好ましくは0.05〜5dl/
gである。
Intrinsic viscosity [ηinh = ln ηr of the polyamic acid and / or polyimide thus obtained
el / C, C = 0.5 g / dl, 30 ° C., N-methyl-
In 2-pyrrolidone, the following measurement is performed under the same conditions]
0.05-10 dl / g, preferably 0.05-5 dl / g
g.

【0032】以上の合成反応によって、ポリアミック酸
および/またはポリイミドを溶解してなる重合体溶液が
得られる。そして、この重合体溶液を大量の貧溶媒中に
注いで析出物を得、この析出物を減圧下乾燥することに
よりポリアミック酸および/またはポリイミドを得るこ
とができる。また、このポリアミック酸および/または
ポリイミドを再び有機溶媒に溶解させ、次いで貧溶媒で
析出する工程を1回または数回行うことにより、ポリア
ミック酸および/またはポリイミドの精製を行うことが
できる。
By the above synthesis reaction, a polymer solution obtained by dissolving polyamic acid and / or polyimide can be obtained. Then, the polymer solution is poured into a large amount of a poor solvent to obtain a precipitate, and the precipitate is dried under reduced pressure to obtain a polyamic acid and / or a polyimide. Further, the polyamic acid and / or polyimide can be purified by repeating the step of dissolving the polyamic acid and / or polyimide again in the organic solvent and then precipitating with the poor solvent once or several times.

【0033】本発明に用いる感放射線性樹脂組成物は、
(a)アルカリ可溶性樹脂および(b)放射線照射によ
り酸を生成する化合物(以下、「感放射線性酸生成化合
物」という)を含有する。
The radiation-sensitive resin composition used in the present invention is
It contains (a) an alkali-soluble resin and (b) a compound that produces an acid upon irradiation with radiation (hereinafter referred to as "radiation-sensitive acid-producing compound").

【0034】アルカリ可溶性樹脂(a)としては、フェ
ノール性水酸基、カルボン酸基、スルホン酸基、イミド
基、スルホンアミド基、N−スルホンアミド基、N−ス
ルホンウレタン基、活性メチレン基などの、酸性水素原
子を含有する有機基を有する樹脂が挙げられる。好適な
アルカリ可溶性樹脂としては、フェノールホルムアルデ
ヒド樹脂、キシレノール−ホルムアルデヒド樹脂、o−
クレゾール−ホルムアルデヒド樹脂、m−クレゾール−
ホルムアルデヒド樹脂、p−クレゾール−ホルムアルデ
ヒド樹脂、もしくはこれらの共縮合物などのノボラック
フェノール樹脂;アクリル酸、メタクリル酸などの不飽
和カルボン酸の(共)重合体を挙げることができる。
Examples of the alkali-soluble resin (a) include acidic groups such as phenolic hydroxyl group, carboxylic acid group, sulfonic acid group, imide group, sulfonamide group, N-sulfonamide group, N-sulfone urethane group and active methylene group. A resin having an organic group containing a hydrogen atom may be mentioned. Suitable alkali-soluble resins include phenol formaldehyde resin, xylenol-formaldehyde resin, o-
Cresol-formaldehyde resin, m-cresol-
Examples thereof include novolak phenol resins such as formaldehyde resin, p-cresol-formaldehyde resin, and co-condensates thereof; and (co) polymers of unsaturated carboxylic acids such as acrylic acid and methacrylic acid.

【0035】感放射線性酸生成化合物としては、例えば
1,2−ベンゾキノンジアジドスルホン酸エステル、1,
2−ナフトキノンジアジドスルホン酸エステル、1,2
−ベンゾキノンジアジドスルホン酸アミド、1,2−ナ
フトキノンジアジドスルホン酸アミドなどを挙げること
ができる。具体的にはJ.Kosar著“Light−
Sensitive Systems”339〜352
(1965)、John Wiley & Sons社
(New York)やW.S.De Forest著
“Photoresist”50(1975)、McG
raw−Hill、Inc.(New York)に記
載されている1,2−キノンジアジド化合物を挙げるこ
とができる。
Examples of the radiation-sensitive acid-forming compound include 1,2-benzoquinonediazide sulfonic acid ester, 1,2
2-naphthoquinonediazide sulfonic acid ester, 1,2
Examples thereof include benzoquinone diazide sulfonic acid amide and 1,2-naphthoquinone diazide sulfonic acid amide. Specifically, J. Kosar's “Light-
Sensitive Systems "339-352
(1965), John Wiley & Sons (New York) and WS De Forest, "Photoresist" 50 (1975), McG.
The 1,2-quinonediazide compounds described in raw-Hill, Inc. (New York) can be mentioned.

【0036】具体的には、1,2−ジヒドロキシジフェ
ニルメタン、2,4’−ジヒドロキシジフェニルメタ
ン、4,4’−ジヒドロキシジフェニルメタンなどの1,
2−ナフトキノンジアジド−4または5−スルホン酸エ
ステル;1−(4−ヒドロキシフェニル)−1−(4’
−ヒドロキシフェニル)エタンの1,2−ナフトキノン
ジアジド−4または5−スルホン酸エステル;2−(4
−ヒドロキシフェニル)−2−(4’−ヒドロキシフェ
ニル)プロパンの1,2−ナフトキノンジアジド−4ま
たは5−スルホン酸エステル;2,3,4−トリヒドロキ
シベンゾフェノン、2,4,6−トリヒドロキシベンゾフ
ェノン、2,3,4,4’−テトラヒドロキシベンゾフェ
ノンまたは2,3,4,2',4'−ペンタヒドロキシベンゾ
フェノンの1,2−ナフトキノンジアジド−4または5
−スルホン酸エステル;2,2’,2’’−トリヒドロキ
シトリフェニルメタン、2,2’,4’’−トリヒドロキ
シトリフェニルメタン、2,4’,4’’−トリヒドロキ
シトリフェニルメタン、4,4’,4’’−トリヒドロキ
シフェニルメタンなどのトリヒドロキシトリフェニルメ
タンの1,2−ナフトキノンジアジド−4または5−ス
ルホン酸エステル;
Specifically, 1,2-dihydroxydiphenylmethane, 2,4'-dihydroxydiphenylmethane, 4,4'-dihydroxydiphenylmethane and the like
2-naphthoquinonediazide-4 or 5-sulfonic acid ester; 1- (4-hydroxyphenyl) -1- (4 '
1,2-naphthoquinonediazide-4 or 5-sulfonic acid ester of -hydroxyphenyl) ethane; 2- (4
-Hydroxyphenyl) -2- (4'-hydroxyphenyl) propane 1,2-naphthoquinonediazide-4 or 5-sulfonic acid ester; 2,3,4-trihydroxybenzophenone, 2,4,6-trihydroxybenzophenone 1,2, naphthoquinonediazide-4 or 5 of 2,3,4,4'-tetrahydroxybenzophenone or 2,3,4,2 ', 4'-pentahydroxybenzophenone
-Sulfonic acid ester; 2,2 ', 2 "-trihydroxytriphenylmethane, 2,2', 4" -trihydroxytriphenylmethane, 2,4 ', 4 "-trihydroxytriphenylmethane, 1,2-naphthoquinonediazide-4 or 5-sulfonic acid ester of trihydroxytriphenylmethane such as 4,4 ′, 4 ″ -trihydroxyphenylmethane;

【0037】2,2’,2’’−トリヒドロキシトリフェ
ニルエタン、2,2’,4’’−トリヒドロキシトリフェ
ニルエタン、2,4’,4’’−トリヒドロキシトリフェ
ニルエタン、4,4’,4’’−トリヒドロキシトリフェ
ニルエタンなどのトリヒドロキシフェニルエタンの1,
2−ナフトキノンジアジド−4または5−スルホン酸エ
ステル;(4−(1,1−ジメチル−1−(p−ヒドロ
キシフェニル)メチル)フェニル)−ビス(p−ヒドロ
キシフェニル)メタンの1,2−ナフトキノンジアジド
−4または5−スルホン酸エステル;1−(4−(p−
ヒドロキシフェニルメチル)フェニル)−2,2−ビス
(p−ヒドロキシフェニル)エタンの1,2−ナフトキ
ノンジアジド−4または5−スルホン酸エステルが好ま
しい。
2,2 ', 2 "-trihydroxytriphenylethane, 2,2', 4" -trihydroxytriphenylethane, 2,4 ', 4 "-trihydroxytriphenylethane, 4, A trihydroxyphenylethane such as 4 ′, 4 ″ -trihydroxytriphenylethane,
2-naphthoquinonediazide-4 or 5-sulfonic acid ester; (2- (1,1-dimethyl-1- (p-hydroxyphenyl) methyl) phenyl) -bis (p-hydroxyphenyl) methane 1,2-naphtho Quinonediazide-4 or 5-sulfonic acid ester; 1- (4- (p-
Preferred is the 1,2-naphthoquinonediazide-4 or 5-sulphonic acid ester of hydroxyphenylmethyl) phenyl) -2,2-bis (p-hydroxyphenyl) ethane.

【0038】感放射線性酸生成化合物の添加量は、アル
カリ可溶性樹脂100重量部に対して、好ましくは5〜
100重量部であり、特に好ましくは10〜50重量部
である。5重量部未満であると、放射線を吸収して生成
する酸の量が少なくなるので、放射線照射前後のアルカ
リ水溶液に対する感放射線性樹脂組成物の溶解度に差を
つけることが難しくなり、パターニングが困難となる。
また、100重量部を超えると、短時間の放射線照射で
は添加した感放射線性酸生成化合物の大半が未だそのま
まの形で残存するため、アルカリ水溶液への不溶化効果
が高過ぎて感放射線性樹脂組成物の現像が困難となる場
合がある。
The amount of the radiation-sensitive acid-forming compound added is preferably 5 to 100 parts by weight of the alkali-soluble resin.
100 parts by weight, particularly preferably 10 to 50 parts by weight. When the amount is less than 5 parts by weight, the amount of acid generated by absorbing radiation is small, and it is difficult to make a difference in the solubility of the radiation-sensitive resin composition in an alkaline aqueous solution before and after irradiation with radiation, and patterning is difficult. Becomes
On the other hand, if it exceeds 100 parts by weight, most of the added radiation-sensitive acid-forming compound remains in its original form in a short-time irradiation, so that the insolubilizing effect in the alkaline aqueous solution is too high and the radiation-sensitive resin composition is too high. It may be difficult to develop the product.

【0039】本発明に用いられる感放射線性樹脂組成物
は、上述した各成分を均一に混合することによって容易
に調製することができる。混合する際、適当な溶媒に溶
解させて溶液の形で使用に供される。用いる溶媒として
は、アルカリ可溶性樹脂および感放射線性酸生成化合物
を均一に溶解させることができ、各成分と反応しないも
のが用いられる。
The radiation-sensitive resin composition used in the present invention can be easily prepared by uniformly mixing the above-mentioned components. When mixing, it is dissolved in a suitable solvent and used in the form of a solution. As the solvent to be used, a solvent that can uniformly dissolve the alkali-soluble resin and the radiation-sensitive acid-forming compound and does not react with each component is used.

【0040】かかる溶媒としては、例えばメタノール、
エタノールなどのアルコール類;テトラヒドロフランな
どのエーテル類;エチレングリコールモノメチルエーテ
ル、エチレングリコールモノエチルエーテルなどのグリ
コールエーテル類;メチルセロソルブアセテート、エチ
ルセロソルブアセテートなどのエチレングリコールアル
キルエーテルアセテート類;ジエチレングリコールモノ
メチルエーテル、ジエチレングリコールモノエチルエー
テル、ジエチレングリコールジメチルエーテルなどのジ
エチレングリコール類;プロピレングリコールメチルエ
ーテルアセテート、プロピレングリコールプロピルエー
テルアセテートなどのプロピレングリコールアルキルエ
ーテルアセテート類;トルエン、キシレンなどの芳香族
炭化水素類;メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、
4−ヒドロキシ−4−メチル−2−ペンタノンなどのケ
トン類;2−ヒドロキシプロピオン酸エチル、2−ヒド
ロキシ−2−メチルプロピオン酸エチル、2−ヒドロキ
シ−2−メチルプロピオン酸エチル、エトキシ酢酸エチ
ル、ヒドロキシ酢酸エチル、2−ヒドロキシ−3−メチ
ルブタン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸メチル、
3−メトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプロピ
オン酸エチル、3−エトキシプロピオン酸メチル、酢酸
エチル、酢酸ブチルなどのエステル類を用いることがで
きる。
Examples of such a solvent include methanol,
Alcohols such as ethanol; ethers such as tetrahydrofuran; glycol ethers such as ethylene glycol monomethyl ether and ethylene glycol monoethyl ether; ethylene glycol alkyl ether acetates such as methyl cellosolve acetate and ethyl cellosolve acetate; diethylene glycol monomethyl ether and diethylene glycol mono Diethylene glycols such as ethyl ether and diethylene glycol dimethyl ether; propylene glycol alkyl ether acetates such as propylene glycol methyl ether acetate and propylene glycol propyl ether acetate; aromatic hydrocarbons such as toluene and xylene; methyl ethyl ketone, cyclohexanone,
Ketones such as 4-hydroxy-4-methyl-2-pentanone; ethyl 2-hydroxypropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl 2-hydroxy-2-methylpropionate, ethyl ethoxyacetate, hydroxy Ethyl acetate, methyl 2-hydroxy-3-methylbutanoate, methyl 3-methoxypropionate,
Esters such as ethyl 3-methoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl acetate and butyl acetate can be used.

【0041】さらに、N−メチルホルムアミド、N,N
−ジメチルホルムアミド、N−メチルホルムアニリド、
N−メチルアセトアミド、N,N−ジメチルアセトアミ
ド、N−メチルピロリドン、ジメチルスルホキシド、ベ
ンジルエチルエーテル、ジヘキシルエーテル、アセトニ
ルアセトン、イソホロン、カプロン酸、カプリル酸、1
−オクタノール、1−ノナノール、ベンジルアルコー
ル、酢酸ベンジル、安息香酸エチル、シュウ酸ジエチ
ル、マレイン酸ジエチル、γ−ブチロラクトン、炭酸エ
チレン、炭酸プロピレン、フェニルセロソルブアセテー
トなどの高沸点溶剤を添加することもできる。
Further, N-methylformamide, N, N
-Dimethylformamide, N-methylformanilide,
N-methylacetamide, N, N-dimethylacetamide, N-methylpyrrolidone, dimethylsulfoxide, benzylethylether, dihexylether, acetonylacetone, isophorone, caproic acid, caprylic acid, 1
It is also possible to add a high-boiling solvent such as -octanol, 1-nonanol, benzyl alcohol, benzyl acetate, ethyl benzoate, diethyl oxalate, diethyl maleate, γ-butyrolactone, ethylene carbonate, propylene carbonate, phenyl cellosolve acetate.

【0042】これらの溶剤の中では、溶解性、各成分と
の反応性および塗膜の形成のし易さから、エチレングリ
コールモノエチルエーテルなどのグリコールエーテル
類;エチルセロソルブアセテートなどのエチレングリコ
ールアルキルエーテルアセテート類;2−ヒドロキシプ
ロピオン酸エチルなどのエステル類;ジエチレングリコ
ールモノメチルエーテルなどのジエチレングリコール
類;シクロヘキサノン、4−ヒドロキシ−4−メチル−
2−ペンタノンなどのケトン類が好適である。
Among these solvents, glycol ethers such as ethylene glycol monoethyl ether; ethylene glycol alkyl ethers such as ethyl cellosolve acetate are used because of their solubility, reactivity with each component, and ease of forming a coating film. Acetates; Esters such as ethyl 2-hydroxypropionate; Diethylene glycols such as diethylene glycol monomethyl ether; Cyclohexanone, 4-hydroxy-4-methyl-
Ketones such as 2-pentanone are preferred.

【0043】また、溶液の調製にあたっては、例えばア
ルカリ可溶性樹脂の溶液、感放射線性酸生成化合物の溶
液およびその他の配合剤の溶液それぞれを別に調製して
おき、使用直前にこれら溶液を所定の割合で混合するこ
ともできる。以上のようにして調製した組成物溶液は、
孔径0.2μmのミリポアフィルターなどを用いて瀘過
した後、使用に供するのが好ましい。
In preparing the solution, for example, a solution of the alkali-soluble resin, a solution of the radiation-sensitive acid-forming compound and a solution of other compounding agents are separately prepared, and these solutions are mixed at a predetermined ratio immediately before use. Can be mixed with. The composition solution prepared as described above,
It is preferably used after being filtered with a Millipore filter having a pore size of 0.2 μm.

【0044】本発明における感放射線性樹脂組成物の現
像液としては、例えば水酸化ナトリウム、水酸化カリウ
ム、炭酸ナトリウム、珪酸ナトリウム、メタ珪酸ナトリ
ウム、アンモニア水などの無機アルカリ類;エチルアミ
ン、n−プロピルアミンなどの第一級アミン類;ジエチ
ルアミン、ジ−n−プロピルアミンなどの第二級アミン
類;トリメチルアミン、ジメチルエチルアミン、トリエ
チルアミン、メチルジエチルアミン、トリ−n−プロピ
ルアミンなどの脂肪族3級アミン;メチルジエタノール
アミン、ジメチルエタノールアミン、エチルジエタノー
ルアミン、ジエチルエタノールアミン、トリエタノール
アミンなどの3級アルコールアミン;ピリジン、コリジ
ン、ルチジン、キノリンなどの芳香族3級アミン;ピロ
ール、ピペリジン、ピロリジン、N−メチルピペリジ
ン、N−メチルピロリジン、1,8−ジアザビシクロ−
[5.4.0]−7−ウンデセン、1,5−ジアザビシク
ロ−[4.3.0]−5−ノナンなどの環状3級アミン;
テトラメチルアンモニウムヒドロオキサイド、テトラエ
チルアンモニウムヒドロオキサイド、コリンなどの第四
級アンモニウム塩などを挙げることができる。また、現
像特性を劣化させない範囲で、メタノール、エタノール
などの水溶性有機溶媒や界面活性剤を適量現像液に添加
してもよい。
The developer of the radiation-sensitive resin composition in the present invention includes, for example, inorganic alkalis such as sodium hydroxide, potassium hydroxide, sodium carbonate, sodium silicate, sodium metasilicate, aqueous ammonia; ethylamine, n-propyl. Primary amines such as amines; secondary amines such as diethylamine and di-n-propylamine; aliphatic tertiary amines such as trimethylamine, dimethylethylamine, triethylamine, methyldiethylamine, tri-n-propylamine; methyl Tertiary alcohol amines such as diethanolamine, dimethylethanolamine, ethyldiethanolamine, diethylethanolamine and triethanolamine; aromatic tertiary amines such as pyridine, collidine, lutidine and quinoline; pyrrole and piperidine Pyrrolidine, N- methylpiperidine, N- methylpyrrolidine, 1,8-diazabicyclo -
Cyclic tertiary amine such as [5.4.0] -7-undecene, 1,5-diazabicyclo- [4.3.0] -5-nonane;
Examples thereof include quaternary ammonium salts such as tetramethylammonium hydroxide, tetraethylammonium hydroxide and choline. Further, an appropriate amount of a water-soluble organic solvent such as methanol or ethanol or a surfactant may be added to the developing solution as long as the developing characteristics are not deteriorated.

【0045】本発明において、感放射線性樹脂組成物の
除去に用いる溶剤は、炭素数4〜10のアルキルケトン
類、一般式(A) 下記一般式(1)
In the present invention, the solvent used for removing the radiation-sensitive resin composition is an alkyl ketone having 4 to 10 carbon atoms, a general formula (A), and a general formula (1) shown below.

【0046】R1−(O−R2n−O−R3 R 1- (OR 2 ) n -OR 3

【0047】(ここで、R1は水素原子または炭素数1
〜4のアルキル基を示し、R2は炭素数2または3のア
ルキレン基を示し、R3は水素原子、炭素数1〜4のア
ルキル基、アセチル基またはプロピオニル基を示し、n
は1または2である。)で表される溶剤、および一般式
(B)
(Here, R 1 is a hydrogen atom or a carbon number 1
To R 4 are alkyl groups, R 2 is an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms, R 3 is a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an acetyl group or a propionyl group, and n
Is 1 or 2. ), And a general formula (B)

【0048】[0048]

【化10】 Embedded image

【0049】(ここで、R4〜R8は互いに独立して水素
原子、炭素数1〜4のアルコキシル基または炭素数1〜
3のアルキル基を示し、R9は炭素数1〜5のアルキル
基を示す。)で表される溶剤よりなる群から選ばれる少
なくとも1種の溶剤である。
(Here, R 4 to R 8 are independently of each other a hydrogen atom, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms, or 1 to 4 carbon atoms.
3 represents an alkyl group, and R 9 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. ) At least one solvent selected from the group consisting of solvents represented by

【0050】炭素数4〜10のアルキルケトン類として
は、例えばメチルエチルケトン、メチルイソプロピルケ
トン、メチルイソブチルケトン、シクロヘキサノン、2
−ペンタノン、3−ペンタノン、2−ヘキサノン、3−
ヘキサノン、2−ヘプタノン、3−ヘプタノン、4−ヘ
プタノン、2−オクタノン、3−オクタノン、4−オク
タノン、2−ノナノン、3−ノナノン、4−ノナノン、
5−ノナノン、2−デカノン、3−デカノン、4−デカ
ノン、5−デカノンなどが挙げられる。
Examples of the alkyl ketones having 4 to 10 carbon atoms include methyl ethyl ketone, methyl isopropyl ketone, methyl isobutyl ketone, cyclohexanone, 2
-Pentanone, 3-pentanone, 2-hexanone, 3-
Hexanone, 2-heptanone, 3-heptanone, 4-heptanone, 2-octanone, 3-octanone, 4-octanone, 2-nonanone, 3-nonanone, 4-nonanone,
5-nonanone, 2-decanone, 3-decanone, 4-decanone, 5-decanone and the like can be mentioned.

【0051】上記一般式(A)におけるR1およびR3
表す炭素数1〜4のアルキル基としては、直鎖状であっ
ても分岐鎖状であってもよく、例えばメチル基、エチル
基、n−プロピル基、iso−プロピル基、n−ブチル
基、iso−ブチル基、sec−ブチル基およびter
t−ブチル基を挙げることができる。また、R2が表す
炭素数2または3のアルキレン基としては、例えば1,
2−エチレン基、1,3−プロピレン基、1,2−プロピ
レン基を挙げることができる。
The alkyl group having 1 to 4 carbon atoms represented by R 1 and R 3 in the above general formula (A) may be linear or branched, and examples thereof include a methyl group and an ethyl group. , N-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, iso-butyl group, sec-butyl group and ter
A t-butyl group may be mentioned. The alkylene group having 2 or 3 carbon atoms represented by R 2 is, for example, 1,
A 2-ethylene group, a 1,3-propylene group and a 1,2-propylene group can be mentioned.

【0052】かかる上記一般式(A)で表される溶剤の
具体例としては、例えばエチレングリコール、ジエチレ
ングリコール、プロピレングリコール、ジプロピレング
リコールなどのアルキレングリコール類;
Specific examples of the solvent represented by the general formula (A) include alkylene glycols such as ethylene glycol, diethylene glycol, propylene glycol and dipropylene glycol;

【0053】エチレングリコールモノメチルエーテル、
エチレングリコールモノエチルエーテル、エチレングリ
コールモノプロピルエーテル、エチレングリコールモノ
−n−ブチルエーテル、エチレングリコールジメチルエ
ーテル、エチレングリコールジエチルエーテル、エチレ
ングリコールメチルエチルエーテル、ジエチレングリコ
ールモノメチルエーテル、ジエチレングリコールモノエ
チルエーテル、ジエチレングリコールモノプロピルエー
テル、ジエチレングリコールモノ−n−ブチルエーテ
ル、ジエチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレ
ングリコールジエチルエーテル、ジエチレングリコール
メチルエチルエーテル、プロピレングリコールモノメチ
ルエーテル、プロピレングリコールモノエチルエーテ
ル、プロピレングリコールモノプロピルエーテル、プロ
ピレングリコールモノ−n−ブチルエーテル、プロピレ
ングリコールジメチルエーテル、プロピレングリコール
ジエチルエーテル、プロピレングリコールメチルエチル
エーテル、ジプロピレングリコールモノメチルエーテ
ル、ジプロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプ
ロピレングリコールモノプロピルエーテル、ジプロピレ
ングリコールモノ−n−ブチルエーテル、ジプロピレン
グリコールジメチルエーテル、ジプロピレングリコール
ジエチルエーテル、ジプロピレングリコールメチルエチ
ルエーテルなどのアルキレングリコールアルキルエーテ
ル類;
Ethylene glycol monomethyl ether,
Ethylene glycol monoethyl ether, ethylene glycol monopropyl ether, ethylene glycol mono-n-butyl ether, ethylene glycol dimethyl ether, ethylene glycol diethyl ether, ethylene glycol methyl ethyl ether, diethylene glycol monomethyl ether, diethylene glycol monoethyl ether, diethylene glycol monopropyl ether, diethylene glycol Mono-n-butyl ether, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, propylene glycol monopropyl ether, propylene glycol mono n-butyl ether, propylene glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, propylene glycol methyl ethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monopropyl ether, dipropylene glycol mono-n-butyl ether, dipropylene Alkylene glycol alkyl ethers such as glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol methyl ethyl ether;

【0054】エチレングリコールメチルエーテルアセテ
ート、エチレングリコールエチルエーテルアセテート、
エチレングリコールプロピルエーテルアセテート、エチ
レングリコール−n−ブチルエーテルアセテート、エチ
レングリコールメチルエーテルプロピオネート、エチレ
ングリコールエチルエーテルプロピオネート、エチレン
グリコールプロピルエーテルプロピオネート、エチレン
グリコール−n−ブチルエーテルプロピオネート、プロ
ピレングリコールメチルエーテルアセテート、プロピレ
ングリコールエチルエーテルアセテート、プロピレング
リコールプロピルエーテルアセテート、プロピレングリ
コール−n−ブチルエーテルアセテート、プロピレング
リコールメチルエーテルプロピオネート、プロピレング
リコールエチルエーテルプロピオネート、プロピレング
リコールプロピルエーテルプロピオネート、プロピレン
グリコール−n−ブチルエーテルプロピオネートなどの
アルキレングリコールアルキルエーテルエステル類など
を挙げることができる。
Ethylene glycol methyl ether acetate, ethylene glycol ethyl ether acetate,
Ethylene glycol propyl ether acetate, ethylene glycol-n-butyl ether acetate, ethylene glycol methyl ether propionate, ethylene glycol ethyl ether propionate, ethylene glycol propyl ether propionate, ethylene glycol n-butyl ether propionate, propylene glycol Methyl ether acetate, propylene glycol ethyl ether acetate, propylene glycol propyl ether acetate, propylene glycol-n-butyl ether acetate, propylene glycol methyl ether propionate, propylene glycol ethyl ether propionate, propylene glycol propyl ether propionate, propylene glycol -N- And alkylene glycol alkyl ether esters, such as chill ether propionate can be mentioned.

【0055】上記一般式(B)におけるR4〜R9が表す
アルキル基およびアルコキシル基としては、直鎖状であ
っても、分岐鎖状であってもよい。R4〜R8が表す炭素
数1〜3のアルキル基としては、メチル基、エチル基、
n−プロピル基およびiso−プロピル基を挙げることが
でき、R9が表す炭素数1〜5のアルキル基としては、
メチル基、エチル基、n−プロピル基、iso−プロピル
基、n−ブチル基、iso−ブチル基、sec−ブチル基、te
rt−ブチル基、n−アミル基、iso−アミル基、sec−ア
ミル基およびtert−アミル基を挙げることができる。
The alkyl group and alkoxyl group represented by R 4 to R 9 in the above general formula (B) may be linear or branched. Examples of the alkyl group having 1 to 3 carbon atoms represented by R 4 to R 8 include a methyl group, an ethyl group,
Examples thereof include an n-propyl group and an iso-propyl group, and as the alkyl group having 1 to 5 carbon atoms represented by R 9 ,
Methyl group, ethyl group, n-propyl group, iso-propyl group, n-butyl group, iso-butyl group, sec-butyl group, te
Examples thereof include rt-butyl group, n-amyl group, iso-amyl group, sec-amyl group and tert-amyl group.

【0056】また、R4〜R8が表す炭素数1〜4のアル
コキシル基としては、メトキシル基、エトキシル基、プ
ロポキシル基、ブトキシル基などを挙げることができ
る。かかる上記一般式(B)で表される溶剤の具体例と
しては、例えば酢酸メチル、酢酸エチル、酢酸プロピ
ル、酢酸−n−ブチル、酢酸−iso−ブチル、酢酸−n
−アミル、酢酸−iso−アミル、プロピオン酸メチル、
プロピオン酸エチル、メトキシ酢酸メチル、メトキシ酢
酸エチル、メトキシ酢酸プロピル、メトキシ酢酸ブチ
ル、エトキシ酢酸メチル、エトキシ酢酸エチル、エトキ
シ酢酸プロピル、エトキシ酢酸ブチル、プロポキシ酢酸
メチル、プロポキシ酢酸エチル、プロポキシ酢酸プロピ
ル、プロポキシ酢酸ブチル、ブトキシ酢酸メチル、ブト
キシ酢酸エチル、ブトキシ酢酸プロピル、ブトキシ酢酸
ブチル、2−メトキシプロピオン酸メチル、2−メトキ
シプロピオン酸エチル、2−メトキシプロピオン酸プロ
ピル、2−メトキシプロピオン酸ブチル、2−エトキシ
プロピオン酸メチル、2−エトキシプロピオン酸エチ
ル、2−エトキシプロピオン酸プロピル、2−エトキシ
プロピオン酸ブチル、2−プロポキシプロピオン酸メチ
ル、2−プロポキシプロピオン酸エチル、2−プロポキ
シプロピオン酸プロピル、2−プロポキシプロピオン酸
ブチル、2−ブトキシプロピオン酸メチル、2−ブトキ
シプロピオン酸エチル、2−ブトキシプロピオン酸プロ
ピル、2−ブトキシプロピオン酸ブチル、3−メトキシ
プロピオン酸メチル、3−メトキシプロピオン酸エチ
ル、3−メトキシプロピオン酸プロピル、3−メトキシ
プロピオン酸ブチル、3−エトキシプロピオン酸メチ
ル、3−エトキシプロピオン酸エチル、3−エトキシプ
ロピオン酸プロピル、3−エトキシプロピオン酸ブチ
ル、3−プロポキシプロピオン酸メチル、3−プロポキ
シプロピオン酸エチル、3−プロポキシプロピオン酸プ
ロピル、3−プロポキシプロピオン酸ブチル、3−ブト
キシプロピオン酸メチル、3−ブトキシプロピオン酸エ
チル、3−ブトキシプロピオン酸プロピル、3−ブトキ
シプロピオン酸ブチルなどのアルコキシカルボン酸エス
テル類が挙げられる。
Examples of the alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms represented by R 4 to R 8 include methoxyl group, ethoxyl group, propoxyl group and butoxyl group. Specific examples of the solvent represented by the above general formula (B) include, for example, methyl acetate, ethyl acetate, propyl acetate, -n-butyl acetate, acetic acid-iso-butyl, acetic acid-n.
-Amyl, acetic acid-iso-amyl, methyl propionate,
Ethyl propionate, methyl methoxyacetate, ethyl methoxyacetate, propyl methoxyacetate, butyl methoxyacetate, methyl ethoxyacetate, ethyl ethoxyacetate, propyl ethoxyacetate, butyl ethoxyacetate, methyl propoxyacetate, ethyl propoxyacetate, propyl propoxyacetate, propoxyacetic acid Butyl, methyl butoxyacetate, ethyl butoxyacetate, propyl butoxyacetate, butyl butoxyacetate, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-methoxypropionate, propyl 2-methoxypropionate, butyl 2-methoxypropionate, 2-ethoxypropione. Acid methyl, ethyl 2-ethoxypropionate, propyl 2-ethoxypropionate, butyl 2-ethoxypropionate, methyl 2-propoxypropionate, 2-propoxyp Ethyl pionate, propyl 2-propoxypropionate, butyl 2-propoxypropionate, methyl 2-butoxypropionate, ethyl 2-butoxypropionate, propyl 2-butoxypropionate, butyl 2-butoxypropionate, 3-methoxypropionate Methyl acid, ethyl 3-methoxypropionate, propyl 3-methoxypropionate, butyl 3-methoxypropionate, methyl 3-ethoxypropionate, ethyl 3-ethoxypropionate, propyl 3-ethoxypropionate, 3-ethoxypropionic acid Butyl, methyl 3-propoxypropionate, ethyl 3-propoxypropionate, propyl 3-propoxypropionate, butyl 3-propoxypropionate, methyl 3-butoxypropionate, 3-butoxypropionate Ethyl phosphate, 3-butoxy-propionic acid propyl, alkoxy carboxylic acid esters such as 3-butoxy-propionic acid butyl.

【0057】これらの中では特に、2−ヘプタノン、ジ
エチレングリコールジメチルエーテル、ジエチレングリ
コールジエチルエーテル、ジエチレングリコールメチル
エチルエーテル、プロピレングリコールモノメチルエー
テル、プロピレングリコールモノエチルエーテル、ジプ
ロピレングリコールモノメチルエーテル、ジプロピレン
グリコールモノエチルエーテル、プロピレングリコール
ジメチルエーテル、プロピレングリコールジエチルエー
テル、ジプロピレングリコールジメチルエーテル、ジプ
ロピレングリコールジエチルエーテル、酢酸−n−ブチ
ル、酢酸−iso−ブチル、2−メトキシプロピオン酸メ
チル、2−エトキシプロピオン酸エチルなどが好まし
い。
Among these, particularly, 2-heptanone, diethylene glycol dimethyl ether, diethylene glycol diethyl ether, diethylene glycol methyl ethyl ether, propylene glycol monomethyl ether, propylene glycol monoethyl ether, dipropylene glycol monomethyl ether, dipropylene glycol monoethyl ether, propylene. Glycol dimethyl ether, propylene glycol diethyl ether, dipropylene glycol dimethyl ether, dipropylene glycol diethyl ether, acetic acid-n-butyl, acetic acid-iso-butyl, methyl 2-methoxypropionate, ethyl 2-ethoxypropionate and the like are preferable.

【0058】本発明の液晶配向膜の配向分割方法を用い
て得られる液晶表示素子は、例えば次の方法によって製
造することができる。
The liquid crystal display device obtained by using the method of alignment division of the liquid crystal alignment film of the present invention can be manufactured, for example, by the following method.

【0059】まず、透明導電膜が設けられた基板の透明
導電膜側に、液晶配向剤を例えば印刷法により塗布し、
80〜200℃、好ましくは120〜200℃の温度で
加熱して塗膜を形成させる。この塗膜は、通常、0.0
01〜1μm、好ましくは0.005〜0.5μmであ
る。
First, a liquid crystal aligning agent is applied to the transparent conductive film side of the substrate provided with the transparent conductive film by, for example, a printing method,
The coating film is formed by heating at a temperature of 80 to 200 ° C, preferably 120 to 200 ° C. This coating is usually 0.0
It is from 01 to 1 μm, preferably from 0.005 to 0.5 μm.

【0060】上記の様に形成された塗膜は、ナイロンな
どの合成繊維からなる布を巻き付けたロールでラビング
処理を行う。次に、感放射線性樹脂組成物を液晶配向膜
上に、スピンコート法や印刷法により塗布し、50〜1
80℃、好ましくは50〜120℃の温度で加熱して塗
膜を形成させる。この塗膜は、通常、0.1〜10μ
m、好ましくは0.3〜5μmである。
The coating film formed as described above is subjected to a rubbing treatment with a roll wound with a cloth made of synthetic fiber such as nylon. Next, the radiation-sensitive resin composition is applied onto the liquid crystal alignment film by a spin coating method or a printing method, and then 50 to 1 is applied.
The coating film is formed by heating at a temperature of 80 ° C, preferably 50 to 120 ° C. This coating is usually 0.1-10μ
m, preferably 0.3-5 μm.

【0061】次に、得られた液晶配向膜上の感放射線性
樹脂組成物に所定のパターンのマスクを介して、例えば
紫外線を照射した後、現像液を用いて現像し、不要な部
分を除去し、レジストパターンを形成し、部分的に液晶
配向膜を保護する。
Next, the obtained radiation-sensitive resin composition on the liquid crystal alignment film is irradiated with, for example, ultraviolet rays through a mask having a predetermined pattern, and then developed with a developing solution to remove unnecessary portions. Then, a resist pattern is formed to partially protect the liquid crystal alignment film.

【0062】現像時間は通常10〜240秒間であり、
また現像の手法は、液盛り法、ディッピング法などのい
ずれでもよい。現像後は、流水洗浄を30〜180秒間
行い、圧縮空気や圧縮窒素で風乾させる。
The developing time is usually 10 to 240 seconds,
Further, the developing method may be any of a puddle method and a dipping method. After the development, washing with running water is carried out for 30 to 180 seconds, followed by air drying with compressed air or compressed nitrogen.

【0063】次に、部分的にレジストパターンを形成し
て液晶配向膜を保護した基板に、ラビング処理を前述と
は逆方向に行う。次に、得られた基板を、上記特定の溶
剤で基板を洗浄し、レジストパターンだけを除去する。
Next, a rubbing process is performed in the opposite direction to the above on the substrate on which the resist pattern is partially formed to protect the liquid crystal alignment film. Next, the obtained substrate is washed with the above specific solvent to remove only the resist pattern.

【0064】このようにして液晶配向膜が形成された基
板は、その2枚を液晶配向膜の対向する箇所のラビング
方向が直交または逆平行となるよう対向させ、基板の間
の周辺部をシール剤でシールし、液晶を充填し、充填孔
を封止して液晶表示素子とし、偏光板をその両面に偏光
方向がそれぞれ基板の液晶配向膜のラビング方向と一致
または直交するように張り合わせることにより液晶表示
素子とされる。
The two substrates thus formed with the liquid crystal alignment film are made to face each other so that the rubbing directions of the facing portions of the liquid crystal alignment film are orthogonal or antiparallel, and the peripheral portion between the substrates is sealed. Seal with an agent, fill the liquid crystal, seal the filling hole to make a liquid crystal display element, and stick the polarizing plates on both sides so that the polarization direction matches or is orthogonal to the rubbing direction of the liquid crystal alignment film of the substrate, respectively. To be a liquid crystal display element.

【0065】上記シール剤としては、例えば硬化剤およ
びスペーサーとしての酸化アルミニウム球を含有したエ
ポキシ樹脂などを用いることができる。
As the sealant, for example, a curing agent and an epoxy resin containing aluminum oxide spheres as a spacer can be used.

【0066】また、上記液晶としては、ネマティック型
液晶、スメクティック型液晶などを挙げることができ、
その中でもネマティック型液晶を形成させるものが好ま
しく、例えばシッフベース系液晶、アゾキシ系液晶、ビ
フェニル系液晶、フェニルシクロヘキサン系液晶、エス
テル系液晶、ターフェニル系液晶、ビフェニルシクロヘ
キサン系液晶、ピリミジン系液晶、ジオキサン系液晶、
ビシクロオクタン系液晶、キュバン系液晶などが用いら
れる。また、これらの液晶に、例えばコレスチルクロラ
イド、コレステリルノナエート、コレステリルカーボネ
ートなどのコレステリック液晶や商品名C−15、CB
−15(Merck Ltd.)として販売されているよ
うなカイラル剤などを添加して使用することもできる。
さらに、p−デシロキシベンジリデン−p−アミノ−2
−メチルブチルシンナメートなどの強誘電性液晶も使用
することができる。
Examples of the above-mentioned liquid crystals include nematic liquid crystals and smectic liquid crystals.
Among them, those which form a nematic liquid crystal are preferable, for example, Schiff base liquid crystals, azoxy liquid crystals, biphenyl liquid crystals, phenylcyclohexane liquid crystals, ester liquid crystals, terphenyl liquid crystals, biphenylcyclohexane liquid crystals, pyrimidine liquid crystals, dioxane liquid crystals. liquid crystal,
Bicyclooctane liquid crystal, Cuban liquid crystal, etc. are used. In addition to these liquid crystals, for example, cholesteric liquid crystals such as cholesteryl chloride, cholesteryl nonaate and cholesteryl carbonate, and trade names C-15 and CB.
It is also possible to add and use a chiral agent such as that sold as -15 (Merck Ltd.).
Furthermore, p-decyloxybenzylidene-p-amino-2
Ferroelectric liquid crystals such as methylbutyl cinnamate can also be used.

【0067】なお、液晶表示素子の外側に使用される偏
光板としては、ポリビニルアルコールを延伸配向させな
がら、ヨウ素を吸収させたH膜と呼ばれる偏光膜を酢酸
セルロース保護膜で挟んだ偏光板、またはH膜そのもの
からなる偏光板などを挙げることができる。
As a polarizing plate used outside the liquid crystal display element, a polarizing film in which polyvinyl alcohol is stretched and oriented while a polarizing film called an H film absorbing iodine is sandwiched between cellulose acetate protective films, or Examples thereof include a polarizing plate made of the H film itself.

【0068】[0068]

【実施例】以下、本発明を実施例により、さらに具体的
に説明するが、本発明はこれらの実施例に制限されるも
のではない。なお、以下の実施例および比較例により作
製された各液晶表示素子について、液晶表示素子のプ
レチルト角および液晶表示素子配向性を評価した。評
価方法は以下の通りである。
EXAMPLES Hereinafter, the present invention will be described more specifically with reference to examples, but the present invention is not limited to these examples. The pretilt angle of the liquid crystal display element and the orientation of the liquid crystal display element were evaluated for each of the liquid crystal display elements produced in the following examples and comparative examples. The evaluation method is as follows.

【0069】[液晶表示素子のプレチルト角]液晶表示
素子のプレチルト角は、[T. J. Schffer et al., J. A
ppl. Phys.,19, 2013 (1980)]に記載の方法に準拠し、
He-Neレーザー光を用いる結晶回転法により行った。
[Pretilt Angle of Liquid Crystal Display Element] The pretilt angle of the liquid crystal display element is [TJ Schffer et al., J. A.
ppl. Phys., 19, 2013 (1980)],
It was performed by a crystal rotation method using He-Ne laser light.

【0070】[液晶表示素子の配向性]液晶表示素子の
配向性評価は、電圧をオン・オフさせた時の液晶表示素
子中の異常ドメインの有無を、偏光顕微鏡で観察し、異
常ドメインの認められない場合を良好と判断した。
[Orientation of Liquid Crystal Display Element] The orientation of the liquid crystal display element was evaluated by observing the presence or absence of an abnormal domain in the liquid crystal display element when a voltage was turned on and off with a polarizing microscope and recognizing the abnormal domain. If not, it was judged as good.

【0071】合成例1 2,3,5−トリカルボキシシクロペンチル酢酸二無水物
44.83gおよびp−フェニレンジアミン20.55g
および上記式(1)で表されるステロイド骨格を有する
ジアミン5.21gをN−メチル−2−ピロリドン67
2gに溶解させ、室温で6時間反応させた。次いで、反
応混合物を大過剰のメタノールに注ぎ、反応生成物を沈
澱させた。その後、メタノールで洗浄し、減圧下40℃
で15時間乾燥させて、固有粘度1.24dl/gのポ
リアミック酸Ia65.2gを得た。
Synthesis Example 1 44.83 g of 2,3,5-tricarboxycyclopentyl acetic acid dianhydride and 20.55 g of p-phenylenediamine
And 5.21 g of a diamine having a steroid skeleton represented by the above formula (1) was added to N-methyl-2-pyrrolidone 67
It was dissolved in 2 g and reacted at room temperature for 6 hours. The reaction mixture was then poured into a large excess of methanol, causing the reaction product to precipitate. Then, wash with methanol and depressurize at 40 ℃.
After drying for 15 hours, 65.2 g of polyamic acid Ia having an intrinsic viscosity of 1.24 dl / g was obtained.

【0072】合成例2 合成例1で得られたポリアミック酸Ia30gを570
gのγ−ブチロラクトンに溶解し、21.6gのピリジ
ンと16.74gの無水酢酸を添加し、110℃で3時
間イミド化反応を行った。次いで、反応生成液を合成例
1と同様に沈澱させ、固有粘度1.26dl/gのポリ
イミドIIa25.8gを得た。
Synthesis Example 2 30 g of the polyamic acid Ia obtained in Synthesis Example 1 was added to 570
It was dissolved in g of γ-butyrolactone, 21.6 g of pyridine and 16.74 g of acetic anhydride were added, and an imidization reaction was performed at 110 ° C. for 3 hours. Then, the reaction product solution was precipitated in the same manner as in Synthesis Example 1 to obtain 25.8 g of polyimide IIa having an intrinsic viscosity of 1.26 dl / g.

【0073】合成例3 合成例1において、ジアミンを4,4’−ジアミノジフ
ェニルメタン37.67gとした以外は、合成例1と同
様にしてポリアミック酸Ibを得、さらにこのポリアミ
ック酸Ibを用いて合成例2と同様にして、固有粘度
1.06dl/gのポリイミドIIb25.2gを得た。
Synthesis Example 3 Polyamic acid Ib was obtained in the same manner as in Synthesis Example 1, except that 37.67 g of 4,4′-diaminodiphenylmethane was used as the diamine, and the polyamic acid Ib was used for synthesis. In the same manner as in Example 2, 25.2 g of polyimide IIb having an intrinsic viscosity of 1.06 dl / g was obtained.

【0074】合成例4 合成例1において、テトラカルボン酸二無水物をシクロ
ブタンテトラカルボン酸二無水物39.22gとした以
外は合成例1と同様にして、固有粘度1.16dl/g
ポリアミック酸Ic60.5gを得た。
Synthetic Example 4 Intrinsic viscosity 1.16 dl / g in the same manner as in Synthetic Example 1, except that 39.22 g of cyclobutanetetracarboxylic dianhydride was used as the tetracarboxylic dianhydride.
60.5 g of polyamic acid Ic was obtained.

【0075】合成例5 m−クレゾール17.0g、3,5−キシレノール52.
2g、37重量%ホルムアルデヒド水溶液130.3g
およびシュウ酸二水和物0.73gをセパラブルフラス
コ中で、攪拌しながら100℃で35分間重縮合を行っ
た後、m−クレゾール108.0gおよび3,5−キシレ
ノール13.1gを加え、さらに2時間反応を行った。
反応後、反応容器内の圧力を30〜40mmHgまで減
圧にし、水、シュウ酸、未反応のホルムアルデヒド、m
−クレゾール、3,5−キシレノールなどを除去した。
次いで、反応生成物をエチルセロソルブアセテートに固
形分濃度が20重量%となるよう溶解した後、この溶液
に対して2倍量のメタノールおよび等量の水を加えて攪
拌放置した。溶液が2層に分離した後、下層を取り出
し、濃縮・脱水・乾燥して、ノボラックフェノール樹脂
からなるアルカリ可溶性樹脂を回収した。その後、固形
分濃度が25重量%になるようにジエチレングリコール
を用いて溶液とした。
Synthesis Example 5 m-cresol 17.0 g, 3,5-xylenol 52.
2g, 37% by weight formaldehyde aqueous solution 130.3g
And 0.73 g of oxalic acid dihydrate were subjected to polycondensation in a separable flask at 100 ° C. for 35 minutes while stirring, and then 108.0 g of m-cresol and 13.1 g of 3,5-xylenol were added, The reaction was continued for another 2 hours.
After the reaction, the pressure in the reaction vessel was reduced to 30 to 40 mmHg, and water, oxalic acid, unreacted formaldehyde, m
-Cresol, 3,5-xylenol etc. were removed.
Then, the reaction product was dissolved in ethyl cellosolve acetate so that the solid content concentration became 20% by weight, and then twice the amount of methanol and an equal amount of water were added to this solution and the mixture was left to stir with stirring. After the solution was separated into two layers, the lower layer was taken out, concentrated, dehydrated and dried to recover an alkali-soluble resin consisting of novolac phenol resin. Then, a solution was prepared using diethylene glycol so that the solid content concentration became 25% by weight.

【0076】合成例6 フラスコ内を窒素置換した後、2,2’−アゾビスイソ
ブチロニトリル9gを溶解したジエチレングリコールジ
メチルエーテル溶液459gを仕込んだ 。引き続きブ
タジエン6g、スチレン30g、メタクリル酸42gお
よびジシクロペンタニルメタクリレート42gを仕込ん
だ後、ゆるやかに攪拌を始めた。溶液の温度を80℃に
上昇させ、この温度を5時間保持した後、90℃で1時
間加熱させて重合を終結させた。重合後、反応生成溶液
を多量の水に滴下し反応生成物を凝固させた。この凝固
物を水洗後、テトラヒドロフラン200gに再溶解し、
多量の水で再度、凝固させた。この再溶解−凝固操作を
計3回行った後、得られた凝固物を60℃で48時間真
空乾燥し、不飽和カルボン酸を含有する化合物の共重合
体からなるアルカリ可溶性樹脂を得た。その後固形分濃
度が25重量%になるようにジエチレングリコールを用
いて溶液とした。
Synthesis Example 6 After replacing the inside of the flask with nitrogen, 459 g of a diethylene glycol dimethyl ether solution in which 9 g of 2,2′-azobisisobutyronitrile was dissolved was charged. Subsequently, 6 g of butadiene, 30 g of styrene, 42 g of methacrylic acid and 42 g of dicyclopentanyl methacrylate were charged, and then gently stirring was started. The temperature of the solution was raised to 80 ° C., and this temperature was maintained for 5 hours, and then heated at 90 ° C. for 1 hour to terminate the polymerization. After the polymerization, the reaction product solution was dropped into a large amount of water to solidify the reaction product. After washing this coagulated product with water, it is redissolved in 200 g of tetrahydrofuran,
It was solidified again with a large amount of water. This redissolving-coagulation operation was performed three times in total, and the obtained coagulated product was vacuum dried at 60 ° C. for 48 hours to obtain an alkali-soluble resin composed of a copolymer of a compound containing an unsaturated carboxylic acid. Then, a solution was prepared using diethylene glycol so that the solid content concentration became 25% by weight.

【0077】調製例1 合成例5で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液100gに
ジエチレングリコールジメチルエーテル13.64gを
添加した後、さらに4,4’−[1−[4−(1−(4
−ヒドロキシフェニル)−1−メチルエチル)フェニ
ル]エチリデン]ジフェノールの1,2−ナフトキノン
ジアジド−5−スルホン酸エステル(平均エステル化率
66.7モル%)7.5gを溶解し、孔径0.22μmの
ミリポアフィルターで瀘過して感放射線性樹脂組成物溶
液aを調製した。
Preparation Example 1 After adding 13.64 g of diethylene glycol dimethyl ether to 100 g of the alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 5, 4,4 '-[1- [4- (1- (4
-Hydroxyphenyl) -1-methylethyl) phenyl] ethylidene] diphenol 1,2-naphthoquinonediazide-5-sulfonic acid ester (average esterification rate: 66.7 mol%) (7.5 g) was dissolved and the pore size was adjusted to 0. A radiation-sensitive resin composition solution a was prepared by filtering with a 22 μm Millipore filter.

【0078】調製例2 合成例5で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液の代わり
に、合成例6で得られたアルカリ可溶性樹脂溶液を用い
た以外は、調製例1と同様にして感放射線性樹脂組成物
溶液bを調製した。
Preparation Example 2 Radiation-sensitive resin composition was prepared in the same manner as in Preparation Example 1 except that the alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 6 was used instead of the alkali-soluble resin solution obtained in Synthesis Example 5. Product solution b was prepared.

【0079】実施例1 合成例1で得られたポリアミック酸Ia5gをN−メチ
ル−2−ピロリドンに溶解させて、固形分濃度4重量%
の溶液とし、この溶液を孔径1μmのフィルターで濾過
し、液晶配向剤を調製した。この液晶配向剤を、液晶配
向膜塗布用印刷機を用いて、ITO膜からなる透明電極
付きガラス基板の上に透明電極面に塗布し、180℃で
1時間乾燥し、乾燥膜厚0.05μmの塗膜を形成し
た。この塗膜にナイロン製の布を巻き付けたロールを有
するラビングマシーンにより、ロールの回転数500r
pm、ステージの移動速度1cm/秒でラビング処理を
行った。
Example 1 5 g of the polyamic acid Ia obtained in Synthesis Example 1 was dissolved in N-methyl-2-pyrrolidone to give a solid content of 4% by weight.
And a liquid crystal aligning agent was prepared by filtering this solution with a filter having a pore size of 1 μm. This liquid crystal aligning agent was applied to a transparent electrode surface on a glass substrate with a transparent electrode made of an ITO film using a printer for applying a liquid crystal aligning film, and dried at 180 ° C. for 1 hour to give a dry film thickness of 0.05 μm. Was formed. The number of rotations of the roll is 500 r by a rubbing machine having a roll in which a nylon cloth is wrapped around this coating film.
The rubbing treatment was performed at pm at a stage moving speed of 1 cm / sec.

【0080】次に、上記液晶配向膜上に、調製例1で得
られた感放射線性樹脂組成物溶液aをスピンコート法に
より塗布し、100℃で30分間乾燥し、1μmの塗膜
を形成させた。得られた感放射線性樹脂組成物の塗膜に
100μm×100μmのパターンのマスクを介して、
波長365nmの光を200mJ/cm2の強度で照射
した後、2.38重量%のテトラメチルアンモニウムヒ
ドロオキサイド水溶液を用いて60秒間現像した。この
後、塗膜表面を流水で120秒間洗浄し、圧縮窒素で風
乾させて、部分的に液晶配向膜をレジストパターンで保
護した基板を形成した。その後、上記基板を用い、ラビ
ング処理を前述とは逆方向に行い、得られた基板を、ジ
エチレングリコールジメチルエーテルで240秒間洗浄
した。次に、一対のラビング処理された基板の液晶配向
膜を有するそれぞれの外縁に、直径17μmの酸化アル
ミニウム球入りエポキシ樹脂接着剤をスクリーン印刷塗
布した後、一対の基板を液晶配向膜面が相対するよう
に、しかもラビング方向が直交するように重ね合わせて
圧着し、接着剤を硬化させた。次いで、液晶注入口より
一対の基板間に、ネマティック型液晶(メルク社製、Z
LI−4792)を充填した後、エポキシ系接着剤で液
晶注入口を封止し、基板の外側の両面に偏光板を、偏光
板の偏光方向がそれぞれの基板の液晶配向膜のラビング
方向と一致するように張り合わせ、液晶表示素子を作製
したところ、液晶の配向性は良好であった。また、液晶
表示素子のプレチルト角は4.2゜と高い値であり、電
圧印加時も表示不良は認められなかった。これらの結果
を表1に示す。
Next, the radiation-sensitive resin composition solution a obtained in Preparation Example 1 was applied onto the above liquid crystal alignment film by spin coating and dried at 100 ° C. for 30 minutes to form a 1 μm coating film. Let On the coating film of the obtained radiation sensitive resin composition, through a mask having a pattern of 100 μm × 100 μm,
After irradiation with light having a wavelength of 365 nm at an intensity of 200 mJ / cm 2 , development was performed for 60 seconds using a 2.38 wt% tetramethylammonium hydroxide aqueous solution. After that, the surface of the coating film was washed with running water for 120 seconds and air-dried with compressed nitrogen to form a substrate in which the liquid crystal alignment film was partially protected by a resist pattern. Then, using the above substrate, rubbing treatment was performed in the opposite direction to that described above, and the obtained substrate was washed with diethylene glycol dimethyl ether for 240 seconds. Next, an epoxy resin adhesive containing aluminum oxide spheres having a diameter of 17 μm is screen-printed and applied to each outer edge of the pair of rubbed substrates having the liquid crystal alignment film, and then the pair of substrates face each other. As described above, the rubbing direction was perpendicular to the rubbing direction, and the adhesive was cured by pressing. Then, a nematic type liquid crystal (Merck & Co., Z
After filling LI-4792), the liquid crystal injection port is sealed with an epoxy adhesive, polarizing plates are provided on both sides of the substrate, and the polarization direction of the polarizing plate matches the rubbing direction of the liquid crystal alignment film of each substrate. When the liquid crystal display element was produced by laminating the liquid crystal as described above, the alignment of the liquid crystal was good. In addition, the pretilt angle of the liquid crystal display element was a high value of 4.2 °, and no display defect was observed even when a voltage was applied. Table 1 shows the results.

【0081】実施例2〜18 実施例1において、液晶配向膜、感放射線性樹脂組成物
溶液、現像液および除去液を表1に示した組合せにした
以外は、実施例1と同様にして液晶表示素子作製を行っ
た。液晶表示素子の配向性およびプレチルト角を評価
し、結果を表1(実施例2〜10)および表2(実施例
11〜18)に示す。
Examples 2 to 18 Liquid crystals were prepared in the same manner as in Example 1 except that the liquid crystal alignment film, the radiation-sensitive resin composition solution, the developing solution and the removing solution were combined as shown in Table 1. A display element was manufactured. The orientation and pretilt angle of the liquid crystal display device were evaluated, and the results are shown in Table 1 (Examples 2 to 10) and Table 2 (Examples 11 to 18).

【0082】比較例1 実施例1において、除去液としてエチルセロソルブアセ
テートを用いた以外は実施例1と同様にして液晶表示素
子を作製して、同様の評価を行った。結果を表2に示
す。この除去液では、プレチルト角の低下が生じ、電圧
印加時に表示不良が発生した。
Comparative Example 1 A liquid crystal display device was prepared in the same manner as in Example 1 except that ethyl cellosolve acetate was used as the removing liquid, and the same evaluation was carried out. Table 2 shows the results. With this removing liquid, the pretilt angle was reduced, and a display defect occurred when a voltage was applied.

【0083】比較例2 実施例1において、除去液としてアセトンを用いた以外
は実施例1と同様にして液晶表示素子を作製して、同様
の評価を行った。結果を表2に示す。この除去液では、
プレチルト角の低下が生じ、電圧印加時に表示不良が発
生した。
Comparative Example 2 A liquid crystal display device was prepared in the same manner as in Example 1 except that acetone was used as the removing liquid, and the same evaluation was performed. Table 2 shows the results. With this remover,
The pretilt angle was reduced, and a display defect occurred when a voltage was applied.

【0084】[0084]

【表1】 [Table 1]

【0085】[0085]

【表2】 [Table 2]

【0086】[0086]

【発明の効果】本発明の液晶配向膜の配向分割方法によ
れば、液晶表示素子のプレチルト角の低下や液晶配向特
性の劣化が起こりにくく、且つ優れた液晶配向特性を有
する液晶表示素子が得られる。また、本発明の液晶配向
膜の配向分割方法を用いて作製した液晶表示素子は、使
用する液晶を選択することにより、TN型、STN型液
晶表示素子のみならず、SH型(Super Homeotropi
c)、強誘電性および反強誘電性液晶表示素子において
も好適に使用することができる。さらに、本発明の液晶
配向膜の配向分割方法を用いて作製した液晶表示素子
は、液晶の配向性および信頼性に優れ、種々の装置に有
効に使用でき、例えば卓上計算機、腕時計、置時計、係
数表示板、ワードプロセッサ、パーソナルコンピュータ
ー、液晶テレビなどの表示装置に用いられる。
According to the liquid crystal alignment film alignment division method of the present invention, it is possible to obtain a liquid crystal display device having excellent liquid crystal alignment characteristics, in which a decrease in the pretilt angle of the liquid crystal display element and deterioration of the liquid crystal alignment characteristics hardly occur. To be In addition, the liquid crystal display device manufactured by using the liquid crystal alignment film alignment division method of the present invention can be used not only in TN type and STN type liquid crystal display devices but also in SH type (Super Homeotropi) by selecting the liquid crystal to be used.
c), it can be preferably used also in ferroelectric and antiferroelectric liquid crystal display devices. Furthermore, the liquid crystal display element produced by using the method for dividing the alignment of the liquid crystal alignment film of the present invention has excellent liquid crystal orientation and reliability, and can be effectively used in various devices. For example, desktop calculators, wrist watches, clocks, and coefficients. It is used for display devices such as display boards, word processors, personal computers, and liquid crystal televisions.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 松木 安生 東京都中央区築地二丁目11番24号 日本合 成ゴム株式会社内 ──────────────────────────────────────────────────続 き Continuing on the front page (72) Inventor Yasuo Matsuki 2-11-24 Tsukiji, Chuo-ku, Tokyo Inside Nippon Gosei Rubber Co., Ltd.

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 基板上の配向された液晶配向膜上に感放
射線性樹脂組成物を塗布し、所定のパターンを通して放
射線を照射し、現像を行ってレジストパターンを形成し
て液晶配向膜を部分的に保護し、露出した部分の液晶配
向膜を上記配向の方向と異なる方向に配向せしめ、次い
でレジストパターンを除去する液晶配向膜の配向分割方
法であって、レジストパターンの除去を、炭素数4〜1
0のアルキルケトン類、一般式(A) R1−(O−R2n−O−R3 (ここで、R1は水素原子または炭素数1〜4のアルキ
ル基を示し、R2は炭素数2または3のアルキレン基を
示し、R3は水素原子、炭素数1〜4のアルキル基、ア
セチル基またはプロピオニル基を示し、nは1または2
である。)で表される溶剤、および一般式(B) 【化1】 (ここで、R4〜R8は互いに独立して水素原子、炭素数
1〜4のアルコキシル基または炭素数1〜3のアルキル
基を示し、R9は炭素数1〜5のアルキル基を示す。)
で表される溶剤よりなる群から選ばれる少なくとも1種
の溶剤で行うことを特徴とする液晶配向膜の配向分割方
法。
1. A liquid crystal alignment film is formed by applying a radiation-sensitive resin composition on an oriented liquid crystal alignment film on a substrate, irradiating radiation through a predetermined pattern, and developing to form a resist pattern. Of the liquid crystal alignment film, in which the exposed portion of the liquid crystal alignment film is aligned in a direction different from the above alignment direction, and then the resist pattern is removed. ~ 1
Alkyl ketones of 0, general formula (A) R 1- (O-R 2 ) n- O-R 3 (wherein R 1 represents a hydrogen atom or an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, and R 2 is Represents an alkylene group having 2 or 3 carbon atoms, R 3 represents a hydrogen atom, an alkyl group having 1 to 4 carbon atoms, an acetyl group or a propionyl group, and n represents 1 or 2
It is. ) And a solvent represented by the general formula (B): (Here, R 4 to R 8 each independently represent a hydrogen atom, an alkoxyl group having 1 to 4 carbon atoms or an alkyl group having 1 to 3 carbon atoms, and R 9 represents an alkyl group having 1 to 5 carbon atoms. .)
The method for aligning and splitting a liquid crystal alignment film is performed by using at least one solvent selected from the group consisting of solvents represented by
【請求項2】 請求項1の方法で配向分割された液晶配
向膜を備えた液晶表示素子。
2. A liquid crystal display device comprising a liquid crystal alignment film that is alignment-divided by the method of claim 1.
JP27928495A 1995-10-26 1995-10-26 Method for dividing orientation of liquid crystal oriented film and liquid crystal display device using liquid crystal oriented film obtained by the method Withdrawn JPH09120070A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
TWI426333B (en) * 2010-06-01 2014-02-11 Snu R&Db Foundation Liquid crystal display device, method for manufacturing the same and method for manufacturing substrate for alignment of liquid crystal

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TWI426333B (en) * 2010-06-01 2014-02-11 Snu R&Db Foundation Liquid crystal display device, method for manufacturing the same and method for manufacturing substrate for alignment of liquid crystal

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