JPH0896596A - Semiconductor storage device, its testing method and its testing device - Google Patents

Semiconductor storage device, its testing method and its testing device

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JPH0896596A
JPH0896596A JP6224925A JP22492594A JPH0896596A JP H0896596 A JPH0896596 A JP H0896596A JP 6224925 A JP6224925 A JP 6224925A JP 22492594 A JP22492594 A JP 22492594A JP H0896596 A JPH0896596 A JP H0896596A
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JP
Japan
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test
data
external terminal
semiconductor memory
memory cell
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Application number
JP6224925A
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Japanese (ja)
Inventor
Katsuhiko Kabashima
勝彦 椛島
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Fujitsu Ltd
Original Assignee
Fujitsu Ltd
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Publication date
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Withdrawn legal-status Critical Current

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Abstract

PURPOSE: To improve efficiency of the testing and to simplify constitution of a testing device by discriminating the test operating mode with a signal from the testing device, supplying input data to plural memory blocks and outputting discriminated results. CONSTITUTION: A self-testing circuit 100 is provided in the semiconductor storage device of multibit-constitution having plural memory blocks M1 to Mn . When a voltage higher than that at the time of a normal use is applied from the testing device to an p external terminal DQ2, a mode discriminating part 11 transmits the discrimination signal S11 of the test operating mode to a control part 12= Thc control part 12 outputs a mode changeover signal S12 and then a data distributing part 13 supplies testing data DIN inputted from the testing device to the external terminal DQ1 to plural memory blocks M1 to Mn on parallel by receiving the signal S12. A data discriminating part 14 inspects readout data from the memory blocks M1 to Mn and outputs discriminated results DOUT from the external terminal DQ1 to the testing device via a data changeover part 15 as a serial data string.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、半導体記憶装置,その
試験方法及びその試験装置に関するものであり、更に詳
しく言えば、自己試験機能を備えた多ビット構成の半導
体メモリのデータ入出力機能及びその試験機能の改善に
関するものである。近年,各種情報処理装置の高性能
化,多機能化に伴い、半導体メモリの用途が益々拡大さ
れ、その多様化及び大容量化と共に、多ビット構成の半
導体メモリが要求される傾向にある。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor memory device, a test method therefor, and a test device therefor. It relates to the improvement of the test function. 2. Description of the Related Art In recent years, as information processing apparatuses have become more sophisticated and have more functions, the applications of semiconductor memories have expanded more and more, and along with the diversification and increase in capacity, there is a tendency for semiconductor memories having a multi-bit configuration.

【0002】これに伴い、メモリの入出力端子数は増加
の一途を辿っており、アドレス入力の多重化や入出力の
共通化といった方式が採用され、入出力端子数の増加が
抑制されている。また、実装時の外形寸法や実装配線数
の増加が抑制され、試験装置内のドライバやコンパレー
タ数の削減が図られている。しかしながら、メモリのビ
ット構成の変化は、4,8,16…2n のように倍々に
増加しており、当然のことながらメモリの入出力端子数
も倍旧の増加となっている。このような多ビット構成の
メモリの動作確認を行うためには、試験装置にも当然の
ことながらビット構成に見合う数のコンパレータが必要
となってくる。
Along with this, the number of input / output terminals of the memory has been increasing, and a method such as multiplexing of address input or commonization of input / output is adopted to suppress the increase of the number of input / output terminals. . Further, it is possible to suppress the increase in the external dimensions and the number of mounting wirings at the time of mounting, and reduce the number of drivers and comparators in the test apparatus. However, the change in the bit configuration of the memory has doubled like 4, 8, 16 ... 2 n , and naturally the number of input / output terminals of the memory has also doubled. In order to confirm the operation of the memory having such a multi-bit structure, the test device naturally requires the number of comparators corresponding to the bit structure.

【0003】そこで、メモリ試験時の入出力データの送
受機能及び自己試験機能を工夫して、多ビット構成のメ
モリセルを効率良く試験をすること、及び、試験コスト
の低減化を図ることができるメモリ,方法及び装置が望
まれている。
Therefore, by devising the input / output data transmission / reception function and the self-test function during the memory test, it is possible to efficiently test a memory cell having a multi-bit structure and to reduce the test cost. A memory, method and apparatus is desired.

【0004】[0004]

【従来の技術】図8,9は、従来例に係る説明図であ
る。図8は、従来例に係る多ビットメモリの構成図であ
り、図9は、その試験時の半導体メモリと試験装置との
接続図をそれぞれ示している。例えば、試験切り換え機
能を備えた8ビット構成の半導体メモリは、図8に示す
ように、モード判定部1,制御部2及びセレクタ3と、
8つの入力バッファ4と、8つの出力バッファ5と、8
つのメモリセルブロックM1〜M8から成る。
2. Description of the Related Art FIGS. 8 and 9 are explanatory views according to a conventional example. FIG. 8 is a configuration diagram of a multi-bit memory according to a conventional example, and FIG. 9 is a connection diagram of a semiconductor memory and a test device at the time of the test. For example, an 8-bit semiconductor memory having a test switching function includes a mode determination unit 1, a control unit 2 and a selector 3, as shown in FIG.
8 input buffers 4, 8 output buffers 5, 8
It consists of one memory cell block M1 to M8.

【0005】当該半導体メモリの通常動作時の機能は、
モード判定部1が非動作状態となり制御部2からセレク
タ3に、例えば、モード信号Sm=「L」レベルを供給
する。これにより、セレクタ3は各メモリセルブロック
M1〜M8のI/Oゲートと、外部端子DQ1〜DQ8
の入力バッファ4及び出力バッファ5とをそれぞれ接続
する。これにより、書込み又は読出し動作に応じて8ビ
ットのデータがアサートされる。
The function of the semiconductor memory during normal operation is
The mode determination unit 1 becomes inoperative, and the control unit 2 supplies the selector 3, for example, with a mode signal Sm = “L” level. As a result, the selector 3 has the I / O gates of the memory cell blocks M1 to M8 and the external terminals DQ1 to DQ8.
The input buffer 4 and the output buffer 5 are connected to each other. As a result, 8-bit data is asserted according to the write or read operation.

【0006】また、当該半導体メモリの試験動作時の機
能は、まず、図9に示すように、半導体メモリ6と試験
装置7とが接続され、外部端子DQ2に、図9に示すよ
うな試験装置7の出力ドライバ9により、通常使用時の
電圧よりも高い電圧VHHが印加される。これにより、図
8に示すようなメモリ内部のモード判定部1が試験動作
モードを判定し、その判定信号は制御部2に転送され
る。制御部2では判定信号に基づいてモード信号Sm=
「H」レベルをセレクタ3に供給する。
As for the function of the semiconductor memory in the test operation, first, as shown in FIG. 9, the semiconductor memory 6 and the test apparatus 7 are connected, and the external terminal DQ2 is connected to the test apparatus as shown in FIG. A voltage VHH higher than the voltage during normal use is applied by the output driver 9 of 7. As a result, the mode determination unit 1 inside the memory as shown in FIG. 8 determines the test operation mode, and the determination signal is transferred to the control unit 2. In the controller 2, the mode signal Sm = based on the determination signal
The “H” level is supplied to the selector 3.

【0007】ここで、8つのメモリセルブロックM1〜
M8を,例えば、半分づつ試験をする場合、セレクタ3
は前半のメモリセルブロックM1〜M4のI/Oゲート
と、例えば、4つの外部端子DQ3〜DQ6の各々の入
力バッファ4及び出力バッファ5とをそれぞれ接続す
る。これにより、試験時の書込み又は読出し動作に応じ
てメモリセルブロックM1〜M4の4ビットの入出力デ
ータがアサートされる。具体的には図9に示すような試
験装置7の4つの入出力ドライバ8により、入データD
IN又は出力データDOUT が送受される。
Here, the eight memory cell blocks M1 to M1
When M8 is tested half by half, for example, the selector 3
Connects the I / O gates of the memory cell blocks M1 to M4 in the first half to the input buffer 4 and the output buffer 5 of each of the four external terminals DQ3 to DQ6. As a result, 4-bit input / output data of the memory cell blocks M1 to M4 is asserted according to the write or read operation during the test. Specifically, the input data D is input by the four input / output drivers 8 of the test apparatus 7 as shown in FIG.
IN or output data DOUT is transmitted and received.

【0008】同様に、セレクタ3は後半のメモリセルブ
ロックM5〜M8のI/Oゲートと、4つの外部端子D
Q3〜DQ6の入力バッファ4及び出力バッファ5とを
それぞれ接続する。これにより、試験時の書込み又は読
出し動作に応じてメモリセルブロックM5〜M8の4ビ
ットの入出力データがアサートされ、8つのメモリセル
ブロックM1〜M8からの読出しデータが試験装置内の
データ比較判定部により,例えば、期待値データと比較
され、当該メモリが試験される。
Similarly, the selector 3 includes the I / O gates of the latter half memory cell blocks M5 to M8 and four external terminals D.
The input buffer 4 and the output buffer 5 of Q3 to DQ6 are connected to each other. As a result, 4-bit input / output data of the memory cell blocks M5 to M8 is asserted according to the write or read operation during the test, and the read data from the eight memory cell blocks M1 to M8 is compared and judged in the test device. The memory is tested, for example, by comparison with expected value data.

【0009】[0009]

【発明が解決しようとする課題】ところで、従来例の試
験切り換え機能を備えた多ビット構成の半導体メモリに
よれば、試験動作モードに基づいてメモリセルブロック
M1〜M8の半分づつのI/Oゲートを4つの外部端子
DQ3〜DQ6にそれぞれ接続するセレクタ3が設けら
れる。
By the way, according to the conventional multi-bit semiconductor memory having the test switching function, the I / O gates of the memory cell blocks M1 to M8 are divided by half based on the test operation mode. Is provided to connect the four external terminals DQ3 to DQ6, respectively.

【0010】このため、メモリセルブロックM1〜M4
又はM5〜M8の4ビットの入出力データに基づいて試
験装置7により書込み又は読出し試験をすることができ
る。しかし、入力データDINに対する読出しデータDOU
T の一致・不一致の判定処理は、試験装置内部に設けら
れたデータ比較判定部に依存される。このことで、半導
体メモリ6の多ビット化が進み、外部端子数が増加をす
ると、試験装置7のデータ比較判定部の負担が益々増加
する。
Therefore, the memory cell blocks M1 to M4 are
Alternatively, the writing or reading test can be performed by the test device 7 based on the 4-bit input / output data of M5 to M8. However, the read data DOU for the input data DIN
The process of determining whether T matches or does not match depends on the data comparison and determination unit provided inside the test apparatus. As a result, as the number of bits of the semiconductor memory 6 increases and the number of external terminals increases, the load on the data comparison / determination unit of the test apparatus 7 increases more and more.

【0011】また、従来例の多ビット構成の半導体メモ
リの試験方法によれば、ある外部端子DQ2に高電圧を
印加して、試験動作モードを識別させ、4つの外部端子
DQ3〜DQ6を使用して、メモリセルブロックM1〜
M8の半分づつの入出力データDIN/DOUT を試験装置
7との間で送受している。このため、試験装置7で全メ
モリセルの動作確認をするためには、少なくとも、4ビ
ットの入出力ドライバ8やコンパレータを設ける必要が
ある。このことで、半導体メモリ6の多ビット化が進
み、外部端子数が増加されると、既存の試験装置7のド
ライバ/コンパレータ数が半導体メモリ6のビット数よ
りも少ない場合には、もはや、試験ができなくなる。
According to the conventional method for testing a semiconductor memory having a multi-bit configuration, a high voltage is applied to a certain external terminal DQ2 to identify the test operation mode, and four external terminals DQ3 to DQ6 are used. Memory cell blocks M1 to
Input / output data DIN / DOUT for each half of M8 is transmitted / received to / from the test apparatus 7. Therefore, in order to confirm the operation of all the memory cells in the test apparatus 7, it is necessary to provide at least a 4-bit input / output driver 8 and a comparator. As a result, when the number of bits of the semiconductor memory 6 is increased and the number of external terminals is increased, if the number of drivers / comparators of the existing test device 7 is smaller than the number of bits of the semiconductor memory 6, the test is no longer performed. Can not be.

【0012】また、メモリ単品の試験では試験装置7の
ドライバ/コンパレータ数が十分足りる場合であって
も、2個以上の半導体メモリ6を一斉に測定するような
高速試験の要求があった場合には、試験装置7のドライ
バ/コンパレータ数の大幅な増加が余儀無くされる。こ
れにより、試験装置が高価となったり、試験コストパフ
ォーマンスが悪くなるという問題がある。
Even when the number of drivers / comparators of the test apparatus 7 is sufficient for the test of a single memory, when a high speed test is required to measure two or more semiconductor memories 6 simultaneously, Requires a large increase in the number of drivers / comparators of the test apparatus 7. As a result, the test apparatus becomes expensive and the test cost performance becomes poor.

【0013】本発明は、かかる従来例の問題点に鑑み創
作されたものであり、メモリ試験時の入出力データの送
受機能及び自己試験機能を工夫して、多ビット構成のメ
モリセルを効率良く試験をすること、及び、試験コスト
の低減化を図ることが可能となる半導体記憶装置,その
試験方法及びその試験装置の提供を目的とする。
The present invention has been made in view of the problems of the conventional example, and devises the input / output data transmission / reception function and the self-test function at the time of the memory test to efficiently make a memory cell having a multi-bit structure. An object of the present invention is to provide a semiconductor memory device, a test method therefor, and a test device capable of performing a test and reducing the test cost.

【0014】[0014]

【課題を解決するための手段】図1,2は、本発明に係
る半導体記憶装置の原理図(その1,2)を示してい
る。本発明の第1の半導体記憶装置は図1に示すよう
に、複数のメモリセルブロックを有した多ビット構成の
半導体記憶装置において、第1の外部端子の入力情報か
ら通常動作又は試験動作モードを判定し、前記試験動作
モードを判定したときに、第2の外部端子からの入力デ
ータを前記複数のメモリセルブロックに並列に供給し、
前記複数のメモリセルブロックからの読出しデータを判
定してシリアル列の判定結果データを前記第2の外部端
子を介して外部に出力する自己試験回路100 を有するこ
とを特徴とする。
1 and 2 show principle diagrams (Nos. 1 and 2) of a semiconductor memory device according to the present invention. As shown in FIG. 1, a first semiconductor memory device of the present invention is a semiconductor memory device having a multi-bit structure having a plurality of memory cell blocks, which indicates a normal operation mode or a test operation mode from input information of a first external terminal. When the determination is made and the test operation mode is determined, the input data from the second external terminal is supplied in parallel to the plurality of memory cell blocks,
A self-test circuit 100 for judging read data from the plurality of memory cell blocks and outputting the judgment result data of the serial column to the outside through the second external terminal.

【0015】本発明の第1の半導体記憶装置において、
前記自己試験回路100 は、図1に示すように、第1の外
部端子からの入力情報を検出して通常動作又は試験動作
モードを判定するモード判定部11と、前記モード判定
部11からの判定信号S11に基づいてモード切換信号S
12を発生する制御部12と、前記制御部12からのモー
ド切換信号S12に応じて第2の外部端子からの入力デー
タDINを前記複数のメモリセルブロックM1〜Mnにパ
ラレルに供給するデータ配給部13と、前記複数のメモ
リセルブロックM1〜Mnからの読出しデータD1〜D
nを判定してシリアル列の判定結果データDOUT を出力
するデータ判定部14と、前記データ判定部14からの
判定結果データDOUT を前記モード切換信号S12に応じ
て前記第2の外部端子を介して出力するデータ切換部1
5とを有することを特徴とする。
In the first semiconductor memory device of the present invention,
As shown in FIG. 1, the self-test circuit 100 includes a mode determination unit 11 that detects input information from a first external terminal to determine a normal operation or test operation mode, and a determination from the mode determination unit 11. Mode switching signal S based on signal S11
12, and a data distribution unit for supplying input data DIN from a second external terminal to the plurality of memory cell blocks M1 to Mn in parallel in response to a mode switching signal S12 from the control unit 12. 13 and read data D1 to D from the plurality of memory cell blocks M1 to Mn
A data judging section 14 for judging n and outputting the judgment result data DOUT of the serial string, and the judgment result data DOUT from the data judging section 14 through the second external terminal in response to the mode switching signal S12. Output data switching unit 1
5 and.

【0016】本発明の第2の半導体記憶装置は、図2に
示すように、複数のメモリセルブロックを有した多ビッ
ト構成の半導体記憶装置において、第1の外部端子の入
力情報から通常動作又は試験動作モードを判定し、前記
試験動作モードを判定したときに、第2の外部端子から
の入力データを前記複数のメモリセルブロックにパラレ
ル又はシリアルに供給し、前記複数のメモリセルブロッ
クからのいずれかの読出しデータ又は前記複数のメモリ
セルブロックからの読出しデータを判定したシリアル列
の判定結果データを前記第2の外部端子を介して外部に
出力する自己試験回路200 を有することを特徴とする。
As shown in FIG. 2, the second semiconductor memory device of the present invention is a semiconductor memory device having a multi-bit structure having a plurality of memory cell blocks, and a normal operation from the input information of the first external terminal or The test operation mode is determined, and when the test operation mode is determined, the input data from the second external terminal is supplied to the plurality of memory cell blocks in parallel or serially, and any one of the plurality of memory cell blocks is supplied. The self-test circuit 200 outputs the read data or the determination result data of the serial column that determines the read data from the plurality of memory cell blocks to the outside through the second external terminal.

【0017】本発明の第2の半導体記憶装置において、
前記自己試験回路200 は図2に示すように、第1の外部
端子からの入力情報を検出して通常動作又は試験動作モ
ードを判定するモード判定部21と、第2の外部端子及
び前記第1の外部端子以外からの入力情報をデコードし
て前記複数のメモリセルブロックM1〜Mnのいずれか
1つを選択するブロック選択信号S22を出力するデコー
ド部22と、前記モード判定部21からの判定信号S21
及びデコード部22からのブロック選択信号S22に基づ
いて入出力制御信号S23を発生する制御部23と、前記
制御部23からの入出力制御信号S23に応じて第2の外
部端子からの入力データDINを前記複数のメモリセルブ
ロックM1〜Mnにパラレル又はシリアルに供給するデ
ータ配給部24と、前記複数のメモリセルブロックM1
〜Mnからのいずれかの読出しデータDi又は前記複数
のメモリセルブロックM1〜Mnからの読出しデータD
1〜Dnを判定したシリアル列の判定結果データDOUT
を前記入出力制御信号S23に応じて前記第2の外部端子
を介して出力するデータ判定出力部25とを有すること
を特徴とする。
In the second semiconductor memory device of the present invention,
As shown in FIG. 2, the self-test circuit 200 detects the input information from the first external terminal to determine a normal operation or test operation mode, a second external terminal and the first external terminal and the first external terminal. And a determination signal from the mode determination unit 21 and a decoding unit 22 that decodes input information from other than the external terminal and outputs a block selection signal S22 that selects one of the plurality of memory cell blocks M1 to Mn. S21
And a control section 23 for generating an input / output control signal S23 based on the block selection signal S22 from the decoding section 22, and input data DIN from a second external terminal in response to the input / output control signal S23 from the control section 23. And a data distribution unit 24 that supplies the plurality of memory cell blocks M1 to Mn in parallel or serially, and the plurality of memory cell blocks M1.
Read data Di from any of the memory cell blocks M1 to Mn.
Judgment result data DOUT of the serial string for judging 1 to Dn
Is output via the second external terminal in response to the input / output control signal S23.

【0018】本発明の半導体記憶装置の第1の試験方法
は、複数のメモリセルブロックを有し自己試験機能を備
えた半導体記憶装置の試験方法において、前記半導体記
憶装置の第1の外部端子に試験動作モードを識別させる
入力情報を供給し、前記試験動作モードに移行した半導
体記憶装置の第2の外部端子を介して試験信号を供給
し、前記半導体記憶装置からの試験結果信号を前記第2
の外部端子を介して試験装置に取り込むことを特徴とす
る。
A first test method for a semiconductor memory device according to the present invention is a test method for a semiconductor memory device having a plurality of memory cell blocks and having a self-test function, wherein the first external terminal of the semiconductor memory device is Input information for identifying a test operation mode is supplied, a test signal is supplied via a second external terminal of the semiconductor memory device that has shifted to the test operation mode, and a test result signal from the semiconductor memory device is supplied to the second external terminal.
It is characterized in that it is taken into the test device through the external terminal of.

【0019】本発明の半導体記憶装置の第2の試験方法
は、第1の試験方法において、前記半導体記憶装置から
の試験結果信号を第2の外部端子を使用して試験装置に
取り込む際に、前記複数のメモリセルブロックのいずれ
か1つのメモリセルブロックを選択する選択データを前
記第1の外部端子及び第2の外部端子以外の空いている
外部端子に供給することを特徴とする。
A second test method for a semiconductor memory device according to the present invention is the same as the first test method, except that the test result signal from the semiconductor memory device is input to the test device by using a second external terminal. It is characterized in that selection data for selecting any one of the plurality of memory cell blocks is supplied to vacant external terminals other than the first external terminal and the second external terminal.

【0020】本発明の半導体記憶装置の試験装置は、自
己試験機能を備えた半導体記憶装置の試験装置におい
て、複数の半導体記憶装置の各々の第1の外部端子に試
験動作モードを識別させる入力情報をそれぞれ供給し、
前記試験動作モードに移行した半導体記憶装置の各々の
第2の外部端子を介して試験信号をそれぞれ供給し、前
記半導体記憶装置からの各々の試験結果信号を前記第2
の外部端子を介してそれぞれ取り込み、同時に複数の前
記半導体記憶装置を試験することを特徴とし、上記目的
を達成する。
According to another aspect of the present invention, there is provided a semiconductor memory device testing apparatus which is a semiconductor memory device testing device having a self-test function, wherein input information for identifying a test operation mode at a first external terminal of each of the plurality of semiconductor memory devices. Supply each,
A test signal is supplied via each second external terminal of the semiconductor memory device that has shifted to the test operation mode, and each test result signal from the semiconductor memory device is supplied to the second external terminal.
In order to achieve the above-mentioned object, it is characterized in that each of the semiconductor memory devices is taken in through the external terminals of (1) and simultaneously tested for a plurality of semiconductor memory devices.

【0021】[0021]

【作 用】次に、図1を参照しながら本発明の第1の半
導体記憶装置の動作を説明する。例えば、自己試験回路
100 により、第1の外部端子の入力情報からの通常動作
又は試験動作モードが判定され、それが「試験動作モー
ド」と判定されると、第2の外部端子からの入力データ
が自己試験回路100 から複数のメモリセルブロックに供
給される。
[Operation] Next, the operation of the first semiconductor memory device of the present invention will be described with reference to FIG. For example, a self-test circuit
The normal operation or the test operation mode is determined from the input information of the first external terminal by 100, and when it is determined to be the “test operation mode”, the input data from the second external terminal is changed to the self-test circuit 100. To a plurality of memory cell blocks.

【0022】すなわち、図1において、第1の外部端子
からの入力情報が、自己試験回路100 のモード判定部1
1により検出され、通常動作又は試験動作モードの別が
判定されると、モード判定部11からの判定信号S11に
基づいて制御部12ではモード切換信号S12が発生され
る。これにより、データ配給部13では制御部12から
のモード切換信号S12に応じて第2の外部端子からの入
力データDINが複数のメモリセルブロックM1〜Mnに
パラレルに供給される。
That is, in FIG. 1, the input information from the first external terminal is the mode determination unit 1 of the self-test circuit 100.
When it is detected by 1 and whether the normal operation mode or the test operation mode is determined, the control unit 12 generates the mode switching signal S12 based on the determination signal S11 from the mode determination unit 11. As a result, the data distribution unit 13 supplies the input data DIN from the second external terminal in parallel to the plurality of memory cell blocks M1 to Mn in response to the mode switching signal S12 from the control unit 12.

【0023】また、各メモリセルブロックからの読出し
データは自己試験回路100 により判定され、この際の判
定結果データDOUT が第2の外部端子を介して外部に出
力される。例えば、複数のメモリセルブロックM1〜M
nからの読出しデータD1〜Dnは、データ判定部14
により判定され、この際のシリアル列の判定結果データ
DOUT がデータ切換部15に出力される。データ判定部
14からの判定結果データDOUT は、モード切換信号S
12に応じて第2の外部端子を介してデータ切換部15か
ら試験装置に出力される(第1の試験方法)。
The read data from each memory cell block is judged by the self-test circuit 100, and the judgment result data DOUT at this time is output to the outside through the second external terminal. For example, a plurality of memory cell blocks M1 to M
The read data D1 to Dn from the data n
The determination result data DOUT of the serial string at this time is output to the data switching unit 15. The determination result data DOUT from the data determination unit 14 is the mode switching signal S
The data is output from the data switching unit 15 to the test device via the second external terminal in accordance with 12 (first test method).

【0024】このため、メモリ試験時の入力データを第
2の外部端子を使用して試験装置から受信すること、及
び、その判定結果データを同じ外部端子を使用して試験
装置に送信することが可能となる。また、従来例とは異
なり、入力データDINに対する各メモリセルブロックM
1〜Mnからの読出しデータD1〜Dnの一致・不一致
は、半導体記憶装置内部で自己判定することができる。
すなわち、nビットの入出力データに基づく書込み又は
読出し試験の判定結果データDOUT は、第2の外部端子
を介して試験装置に転送され、従来例のような試験装置
内部のデータ比較判定部に依存しなくなる。
Therefore, it is possible to receive the input data at the time of the memory test from the test apparatus by using the second external terminal and to send the judgment result data to the test apparatus by using the same external terminal. It will be possible. Also, unlike the conventional example, each memory cell block M for the input data DIN
Matching / mismatching of read data D1 to Dn from 1 to Mn can be self-determined inside the semiconductor memory device.
That is, the determination result data DOUT of the write or read test based on the n-bit input / output data is transferred to the test apparatus via the second external terminal and depends on the data comparison / determination unit inside the test apparatus as in the conventional example. Will not do.

【0025】これにより、半導体記憶装置の多ビット化
が進み、外部端子数が増加した場合であっても、試験装
置のデータ比較判定部やドライバ/コンパレータ数の増
加を抑えることができる。また、多ビット構成のメモリ
セルブロックを効率良く試験をすること、及び、試験コ
ストの低減化を図ることが可能となる。次に、図2を参
照しながら、本発明の第2の半導体記憶装置の動作を説
明する。例えば、自己試験回路200 により、第1の外部
端子の入力情報からの通常動作又は試験動作モードが判
定され、それが「試験動作モード」と判定されると、第
2の外部端子からの入力データが、自己試験回路200 か
ら複数のメモリセルブロックにパラレル又はシリアルに
供給される。
As a result, even if the number of bits of the semiconductor memory device is increased and the number of external terminals is increased, it is possible to suppress an increase in the number of data comparison / determination units and the number of drivers / comparators in the test apparatus. Further, it is possible to efficiently test a memory cell block having a multi-bit structure and to reduce the test cost. Next, the operation of the second semiconductor memory device of the present invention will be described with reference to FIG. For example, the self-test circuit 200 determines the normal operation or the test operation mode from the input information of the first external terminal, and when it is determined to be the "test operation mode", the input data from the second external terminal is input. Are supplied from the self-test circuit 200 to a plurality of memory cell blocks in parallel or serially.

【0026】すなわち、図2に示すように、自己試験回
路200 のモード判定部21より、第1の外部端子からの
入力情報が検出され、それが「試験動作モード」と判定
され、しかも、第2の外部端子及び第1の外部端子以外
からの入力情報をデコードしたブロック選択信号S22が
デコード部22から制御部23に出力されると、モード
判定部21からの判定信号S21及びデコード部22から
のブロック選択信号S22に基づいて制御部23では入出
力制御信号S23が発生される。
That is, as shown in FIG. 2, the input information from the first external terminal is detected by the mode determining section 21 of the self-test circuit 200, which is determined to be the "test operation mode". When the block selection signal S22 obtained by decoding the input information from other than the second external terminal and the first external terminal is output from the decoding unit 22 to the control unit 23, the determination signal S21 from the mode determination unit 21 and the decoding unit 22 The control section 23 generates an input / output control signal S23 based on the block selection signal S22.

【0027】これにより、データ配給部24では制御部
23からの入出力制御信号S23に応じて第2の外部端子
からの入力データDINが複数のメモリセルブロックM1
〜Mnにパラレル又はシリアルに供給される。また、複
数のメモリセルブロックからのいずれかの読出しデータ
又はこのメモリセルブロックからの読出しデータを判定
した判定結果データが、第2の外部端子を介して外部の
試験装置に出力される。
As a result, in the data distribution unit 24, the input data DIN from the second external terminal is supplied to the plurality of memory cell blocks M1 in response to the input / output control signal S23 from the control unit 23.
To Mn in parallel or serially. Further, any read data from the plurality of memory cell blocks or the determination result data obtained by determining the read data from this memory cell block is output to the external test apparatus via the second external terminal.

【0028】この際に、複数のメモリセルブロックM1
〜Mnからのいずれかの読出しデータDiが直接,又
は、複数のメモリセルブロックM1〜Mnからの読出し
データD1〜Dnを判定したシリアル列の判定結果デー
タDOUT が、入出力制御信号S23に応じて第2の外部端
子を介してデータ判定出力部25から出力される(第2
の試験方法)。
At this time, a plurality of memory cell blocks M1
~ Mn read data Di directly, or the serial column judgment result data DOUT for judging the read data D1 to Dn from a plurality of memory cell blocks M1 to Mn, according to the input / output control signal S23. It is output from the data determination output unit 25 via the second external terminal (second
Test method).

【0029】このため、メモリ試験時の入データを第2
の外部端子を使用して試験装置から受信すること、及
び、その判定結果データ又は読出しデータを直接,同じ
外部端子を使用して試験装置に送信することが可能とな
る。また、第1の半導体記憶装置とは異なり、各メモリ
セルブロックからの読出しデータをそのまま試験装置に
転送することができ、全メモリセルの動作確認及び特定
のメモリセルブロックの動作確認の2通りの試験を実行
することが可能となる。
Therefore, the input data at the time of the memory test is the second
It is possible to receive from the test apparatus using the external terminal of 1 and to send the judgment result data or read data directly to the test apparatus using the same external terminal. Further, unlike the first semiconductor memory device, the read data from each memory cell block can be transferred to the test device as it is, and there are two types of operation confirmation of all memory cells and operation confirmation of a specific memory cell block. It becomes possible to carry out the test.

【0030】これにより、半導体記憶装置の多ビット化
が進み、外部端子数が増加した場合であっても、試験装
置のデータ比較判定部やドライバ/コンパレータ数の増
加を抑えることができる。また、多ビット構成のメモリ
セルブロックを効率良く試験をすること、及び、試験コ
ストの低減化を図ることが可能となる。本発明の半導体
記憶装置の試験装置の動作を説明する。例えば、複数の
半導体記憶装置の各々の第1の外部端子に入力情報がそ
れぞれ供給されると、試験動作モードに移行した各々の
半導体記憶装置の第2の外部端子を介して試験信号がそ
れぞれ供給され、各半導体記憶装置からの各々の試験結
果信号が第2の外部端子を介してそれぞれ試験装置に取
り込まれる。
As a result, even when the number of bits of the semiconductor memory device is increased and the number of external terminals is increased, it is possible to suppress an increase in the number of data comparison / determination units and the number of drivers / comparators in the test apparatus. Further, it is possible to efficiently test a memory cell block having a multi-bit structure and to reduce the test cost. The operation of the semiconductor memory device testing apparatus of the present invention will be described. For example, when the input information is respectively supplied to the first external terminals of each of the plurality of semiconductor memory devices, the test signals are respectively supplied through the second external terminals of each semiconductor memory device that has shifted to the test operation mode. Then, the respective test result signals from the respective semiconductor memory devices are taken into the respective test devices via the second external terminals.

【0031】このため、1ビット分の入出力ドライバや
コンパレータにより、1つの半導体記憶装置の全メモリ
セルを動作確認することが可能となる。このことで、半
導体記憶装置の多ビット化が進み、外部端子数が増加さ
れた場合であっても、既存のドライバ/コンパレータ数
だけ、半導体記憶装置を同時に試験することができる。
Therefore, it is possible to confirm the operation of all the memory cells of one semiconductor memory device by the input / output driver and the comparator for 1 bit. As a result, even when the number of bits of the semiconductor memory device is increased and the number of external terminals is increased, the semiconductor memory device can be simultaneously tested by the number of existing drivers / comparators.

【0032】これにより、2個以上の半導体記憶装置を
一斉に測定するような試験の高速化の要求に十分対処す
ることが可能となる。また、試験装置の簡易化と低廉化
を図ること、及び、試験コストパフォーマンスを向上さ
せることが可能となる。
As a result, it becomes possible to sufficiently meet the demand for speeding up the test such that two or more semiconductor memory devices are simultaneously measured. Further, it is possible to simplify the test apparatus, reduce the cost, and improve the test cost performance.

【0033】[0033]

【実施例】次に、図を参照しながら本発明の実施例につ
いて説明をする。図3〜7は、本発明の実施例に係る半
導体記憶装置,その試験方法及びその試験装置を説明す
る図である。 (1)第1の実施例の説明 図3は、本発明の第1の実施例に係る自己試験機能付き
多ビットメモリの構成図であり、図4は当該多ビットメ
モリと試験装置との接続図である。図5は、そのメモリ
試験時の等価回路図であり、図6は、その通常動作時の
等価回路図をそれぞれ示している。
Embodiments of the present invention will now be described with reference to the drawings. 3 to 7 are views for explaining a semiconductor memory device, a test method therefor, and a test apparatus therefor according to an embodiment of the present invention. (1) Description of First Embodiment FIG. 3 is a configuration diagram of a multi-bit memory with a self-test function according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 4 is a diagram showing a connection between the multi-bit memory and a test apparatus. It is a figure. FIG. 5 is an equivalent circuit diagram during the memory test, and FIG. 6 shows an equivalent circuit diagram during the normal operation.

【0034】例えば、自己試験機能付き8ビット構成の
半導体メモリは図3に示すように、自己試験回路 100,
8つのメモリセルブロックM1〜M8,7つの入出力デ
ータ切換部16,8つの入力バッファ17及び8つの出
力バッファ18を備える。自己試験回路 100は、図3に
おいて、モード判定部11,制御部12,データ配給部
13,データ判定部14及びデータ切換部15とを有す
る。
For example, a semiconductor memory having an 8-bit structure with a self-test function has a self-test circuit 100, as shown in FIG.
The memory cell block includes eight memory cell blocks M1 to M8, seven input / output data switching units 16, eight input buffers 17 and eight output buffers 18. The self-test circuit 100 includes a mode determination unit 11, a control unit 12, a data distribution unit 13, a data determination unit 14, and a data switching unit 15 in FIG.

【0035】モード判定部11は、外部端子DQ2から
の入力情報を検出して通常動作又は試験動作モードを判
定し、判定信号S11を制御部12に出力する回路であ
る。入力情報には、通常動作時の電圧よりも高い電圧が
使用される。制御部12は、モード判定部11からの判
定信号S11に基づいてモード切換信号S12を発生する回
路である。信号S12はデータ配給部13,データ判定部
14,データ切換部15及び入出力データ切換部16に
出力される。
The mode determination unit 11 is a circuit that detects the input information from the external terminal DQ2 to determine the normal operation or test operation mode and outputs the determination signal S11 to the control unit 12. A voltage higher than the voltage during normal operation is used as the input information. The control unit 12 is a circuit that generates a mode switching signal S12 based on the determination signal S11 from the mode determination unit 11. The signal S12 is output to the data distribution unit 13, the data determination unit 14, the data switching unit 15, and the input / output data switching unit 16.

【0036】データ配給部13は、制御部12からのモ
ード切換信号S12に応じて外部端子DQ1からの入力デ
ータDINを8つのメモリセルブロックM1〜M8にパラ
レルに供給する回路である。例えば、データ配給部13
は2回路1選択スイッチ素子から成り、その中点は入力
バッファ17を介して外部端子DQ1に接続され、a点
がメモリセルブロックMIのI/Oゲートの通常入力に
接続され、b点がそのI/Oゲートの試験入力にそれぞ
れ接続される。
The data distribution unit 13 is a circuit for supplying the input data DIN from the external terminal DQ1 to the eight memory cell blocks M1 to M8 in parallel in response to the mode switching signal S12 from the control unit 12. For example, the data distribution unit 13
Is composed of two circuits and one selection switch element, the middle point of which is connected to the external terminal DQ1 via the input buffer 17, the point a is connected to the normal input of the I / O gate of the memory cell block MI, and the point b is Each is connected to the test input of the I / O gate.

【0037】データ判定部14は、8つのメモリセルブ
ロックM1〜M8からの読出しデータD1〜D8を判定
してシリアル列の判定結果データDOUT をデータ切換部
15に出力する回路である。この際の判定条件は、入力
データDINに対する読出しデータD1〜D8の一致又は
不一致を見い出す。データ切換部15は、データ判定部
14からの判定結果データDOUT をモード切換信号S12
に応じて出力バッファ18に出力する回路である。例え
ば、データ切換部15は2回路1選択スイッチ素子から
成り、その中点は出力バッファ18を介して外部端子D
Q1に接続され、a点がメモリセルブロックMIのI/
Oゲートの通常出力に接続され、b点がそのI/Oゲー
トの試験出力にそれぞれ接続される。
The data judging section 14 is a circuit for judging the read data D1 to D8 from the eight memory cell blocks M1 to M8 and outputting the judgment result data DOUT of the serial column to the data switching section 15. The determination condition at this time is to find out whether the read data D1 to D8 match or do not match the input data DIN. The data switching unit 15 outputs the determination result data DOUT from the data determination unit 14 to the mode switching signal S12.
It is a circuit for outputting to the output buffer 18 in accordance with. For example, the data switching unit 15 is composed of two circuits and one selection switch element, and the midpoint thereof is connected to the external terminal D via the output buffer 18.
It is connected to Q1 and point a is I / I of the memory cell block MI.
It is connected to the normal output of the O gate, and point b is connected to the test output of the I / O gate.

【0038】なお、入出力データ切換部16はモード切
換信号S12に応じて入出力を選択する回路である。入出
力データ切換部16は、1組の2回路1選択スイッチ素
子から成り、一方の中点は入力バッファ17を介して外
部端子DQ2に接続され、a点がメモリセルブロックM
2のI/Oゲートの通常入力に接続され、b点がそのI
/Oゲートの試験入力にそれぞれ接続される。他方の中
点は出力バッファ18を介して外部端子DQ2に接続さ
れ、a点がメモリセルブロックM2のI/Oゲートの通
常出力に接続され、b点がそのI/Oゲートの試験出力
にそれぞれ接続される。
The input / output data switching unit 16 is a circuit for selecting input / output according to the mode switching signal S12. The input / output data switching unit 16 is composed of a pair of two-circuit / one-selection switch element, one middle point is connected to the external terminal DQ2 via the input buffer 17, and point a is the memory cell block M.
2 is connected to the normal input of the I / O gate, and point b is its I
Each is connected to the test input of the / O gate. The other middle point is connected to the external terminal DQ2 via the output buffer 18, the a point is connected to the normal output of the I / O gate of the memory cell block M2, and the b point is the test output of the I / O gate. Connected.

【0039】同様に、他の入出力データ切換部16は、
一方の中点が入力バッファ17を介して外部端子DQ3
〜DQ8にそれぞれ接続され、a点がメモリセルブロッ
クM3〜M8のI/Oゲートの通常入力にそれぞれ接続
され、b点がそのI/Oゲートの試験入力にそれぞれ接
続される。他方の中点は出力バッファ18を介して外部
端子DQ3〜DQ8にそれぞれ接続され、a点がメモリ
セルブロックM3〜M8のI/Oゲートの通常出力にそ
れぞれ接続され、b点がそのI/Oゲートの試験出力に
それぞれ接続される。
Similarly, the other input / output data switching section 16 is
One of the middle points is connected to the external terminal DQ3 via the input buffer 17.
To DQ8, the point a is connected to the normal input of the I / O gate of each of the memory cell blocks M3 to M8, and the point b is connected to the test input of the I / O gate. The other middle point is connected to the external terminals DQ3 to DQ8 via the output buffer 18, the a point is connected to the normal output of the I / O gate of the memory cell blocks M3 to M8, and the b point is the I / O. Each is connected to the test output of the gate.

【0040】これにより、入力データ切換部13,デー
タ切換部15及び入出力データ切換部16をモード切換
信号S12に応じて一斉にa点又はb点に接続することが
できる。a点の選択は通常動作モードを示し、b点の選
択は試験動作モードを示している。次に、本発明の第1
の実施例に係る多ビットメモリの試験方法について、当
該メモリの自己試験回路100 の試験時の動作について説
明をする。例えば、4つの自己試験機能付きメモリ101
〜104 を同時に試験をする場合、図4に示すように、ま
ず、メモリ101 〜104 と試験装置105 とを接続する。
As a result, the input data switching unit 13, the data switching unit 15, and the input / output data switching unit 16 can be simultaneously connected to the point a or the point b according to the mode switching signal S12. The selection of point a indicates the normal operation mode, and the selection of point b indicates the test operation mode. Next, the first of the present invention
With respect to the test method of the multi-bit memory according to the embodiment, the operation at the time of the test of the self-test circuit 100 of the memory will be described. For example, four memory 101 with self-test function
When testing up to 104 at the same time, as shown in FIG. 4, first, the memories 101 to 104 and the test apparatus 105 are connected.

【0041】ここで、試験装置105 は1つのメモリに付
き、出力ドライバ51及び入出力ドライバ52を備え
る。出力ドライバ51は通常動作時の電圧より高い電圧
(入力情報)VHHを各メモリ101 〜104 の外部端子DQ
2に供給するものである。入出力ドライバ52は、各メ
モリ101 〜104 の外部端子DQ1に接続され、入力デー
タDIN及び判定結果データDOUT の送受をするものであ
る。
Here, the test apparatus 105 has an output driver 51 and an input / output driver 52 for one memory. The output driver 51 supplies a voltage (input information) VHH higher than the voltage during normal operation to the external terminals DQ of the memories 101 to 104.
2 is supplied. The input / output driver 52 is connected to the external terminal DQ1 of each of the memories 101 to 104 and sends and receives the input data DIN and the judgment result data DOUT.

【0042】このように接続された多ビットメモリを試
験する場合、各メモリ101 〜104 のそれぞれの外部端子
DQ2に試験動作モードを識別させる入力情報VHHを供
給する。例えば、1つのメモリ内では図5に示すよう
に、外部端子DQ2からの入力情報VHHが、自己試験回
路100 のモード判定部11により検出され、通常動作又
は試験動作モードの別が判定されると、モード判定部1
1からの判定信号S11に基づいて制御部12ではモード
切換信号S12が発生される。
When testing the multi-bit memory thus connected, the input information VHH for identifying the test operation mode is supplied to the respective external terminals DQ2 of the memories 101-104. For example, in one memory, as shown in FIG. 5, when the input information VHH from the external terminal DQ2 is detected by the mode determination unit 11 of the self-test circuit 100, it is determined whether the operation mode is the normal operation or the test operation mode. , Mode determination unit 1
Based on the determination signal S11 from 1, the control unit 12 generates the mode switching signal S12.

【0043】これにより、試験動作モードに移行した各
メモリ101 〜104 の外部端子DQ1を介して入力データ
DINを供給すると、データ配給部13では制御部12か
らのモード切換信号S12に応じて外部端子DQ1からの
入力データDINが8つのメモリセルブロックM1〜M8
にパラレルに供給される。また、8つのメモリセルブロ
ックM1〜M8からの読出しデータD1〜D8は、デー
タ判定部14により判定され、この際のシリアル列の判
定結果データDOUT がデータ切換部15に出力される。
データ判定部14からの判定結果データDOUT は、モー
ド切換信号S12に応じて外部端子DQ1を介してデータ
切換部15から試験装置105 に出力される。
As a result, when the input data DIN is supplied through the external terminal DQ1 of each of the memories 101 to 104 which has shifted to the test operation mode, the data distribution unit 13 receives the external terminal in response to the mode switching signal S12 from the control unit 12. Input data DIN from DQ1 has eight memory cell blocks M1 to M8
Are supplied in parallel. Further, the read data D1 to D8 from the eight memory cell blocks M1 to M8 are judged by the data judging section 14, and the judgment result data DOUT of the serial column at this time are output to the data switching section 15.
The determination result data DOUT from the data determination unit 14 is output from the data switching unit 15 to the test apparatus 105 via the external terminal DQ1 according to the mode switching signal S12.

【0044】この結果、各メモリ101 〜104 からの判定
結果データDOUT が外部端子DQ1を介して試験装置10
5 に取り込まれる(第1の試験方法)。これにより、4
つの自己試験機能付きメモリ101 〜104 を同時に試験を
することができる。なお、メモリ試験時には、モード切
換信号S12に応じて入力データ切換部13,データ切換
部15及び入出力データ切換部16が一斉にb点に接続
されることから、外部端子DQ2〜DQ8に接続された
入力バッファ17及び出力バッファ18は非動作状態に
なる。
As a result, the judgment result data DOUT from each of the memories 101 to 104 is sent to the test apparatus 10 via the external terminal DQ1.
Incorporated in 5 (first test method). This gives 4
It is possible to simultaneously test the memories 101 to 104 with the self-test function. During the memory test, the input data switching unit 13, the data switching unit 15, and the input / output data switching unit 16 are simultaneously connected to the point b in response to the mode switching signal S12, and therefore are connected to the external terminals DQ2 to DQ8. The input buffer 17 and the output buffer 18 are deactivated.

【0045】また、外部端子DQ2から入力情報VHHを
取り去ると、入力データ切換部13,データ切換部15
及び入出力データ切換部16が一斉にa点に接続される
ことから、図6に示すように、外部端子DQ1〜DQ8
に接続された入力バッファ17及び出力バッファ18は
各メモリセルブロックM1〜M8にそれぞれ接続され
る。モード判定部11,制御部12及びデータ判定部1
4は非動作状態となる。
When the input information VHH is removed from the external terminal DQ2, the input data switching section 13 and the data switching section 15 are removed.
Since the input / output data switching unit 16 is simultaneously connected to the point a, as shown in FIG. 6, the external terminals DQ1 to DQ8 are connected.
The input buffer 17 and the output buffer 18 connected to are connected to the memory cell blocks M1 to M8, respectively. Mode determination unit 11, control unit 12, and data determination unit 1
4 is in a non-operating state.

【0046】このようにして、本発明の実施例に係る多
ビットメモリによれば、図3に示すように、試験動作モ
ードが判定されると、1つの外部端子DQ1を使用して
入力データDINを8つのメモリセルブロックM1〜M8
に供給し、このメモリセルブロックM1〜M8からの判
定結果データDOUT を同じ外部端子DQ1を介して試験
装置105 に出力する自己試験回路100 を有する。
In this way, according to the multi-bit memory of the embodiment of the present invention, as shown in FIG. 3, when the test operation mode is determined, the input data DIN is input using one external terminal DQ1. To eight memory cell blocks M1 to M8
And a self-test circuit 100 for outputting the judgment result data DOUT from the memory cell blocks M1 to M8 to the test apparatus 105 via the same external terminal DQ1.

【0047】このため、メモリ試験時の入力データDIN
を外部端子DQ1を使用して試験装置105 から受信する
こと、及び、その判定結果データDOUT を同じ外部端子
DQ1を使用して試験装置105 に送信することが可能と
なる。また、従来例とは異なり、入力データDINに対す
る各メモリセルブロックM1〜M8からの読出しデータ
D1〜D8の一致・不一致は、各メモリ101 〜104 内部
で自己判定することができる。すなわち、8ビットの入
出力データDIN/D1〜D8に基づく書込み又は読出し
試験の判定結果データDOUT は、外部端子DQ1を介し
て試験装置105 に転送され、従来例のような試験装置内
部のデータ比較判定部に依存しなくなる。
Therefore, the input data DIN during the memory test is
Can be received from the test apparatus 105 using the external terminal DQ1, and the determination result data DOUT can be transmitted to the test apparatus 105 using the same external terminal DQ1. Further, unlike the conventional example, the coincidence / non-coincidence of the read data D1 to D8 from the memory cell blocks M1 to M8 with respect to the input data DIN can be self-determined inside each of the memories 101 to 104. That is, the judgment result data DOUT of the write or read test based on the 8-bit input / output data DIN / D1 to D8 is transferred to the test device 105 via the external terminal DQ1 and the data comparison inside the test device as in the conventional example is performed. No longer depends on the judgment unit.

【0048】これにより、半導体メモリの多ビット化が
進み、外部端子数が増加した場合であっても、試験装置
105 のデータ比較判定部やドライバ/コンパレータ数の
増加を抑えることができる。また、多ビット構成のメモ
リセルブロックM1〜M8を効率良く試験をすること、
及び、試験コストの低減化を図ることが可能となる。ま
た、本発明の実施例に係る試験装置によれば、試験動作
モードに移行した各メモリ101 〜104 が4つの出力ドラ
イバ51や入出力ドライバ52により一斉に試験され
る。
As a result, even when the number of bits of the semiconductor memory is increased and the number of external terminals is increased, the test device
It is possible to suppress an increase in the number of data comparison / determination units 105 and the number of drivers / comparators. In addition, efficiently test the memory cell blocks M1 to M8 having a multi-bit configuration,
In addition, it is possible to reduce the test cost. Further, according to the test apparatus according to the embodiment of the present invention, each of the memories 101 to 104 which has shifted to the test operation mode is simultaneously tested by the four output drivers 51 and the input / output drivers 52.

【0049】このため、1つのメモリの全メモリセルを
1ビット分の入出力ドライバ51やコンパレータにより
動作確認することが可能となる。このことで、メモリの
多ビット化が進み、外部端子数が増加された場合であっ
ても、既存のドライバ/コンパレータ数だけのメモリ試
験を同時に行うことができる。例えば、nビットのメモ
リ単品試験用に装備されたN個のドライバ/コンパレー
タを用いて、N個のnビットのメモリを同時に試験する
ことが可能となる。
Therefore, it is possible to confirm the operation of all the memory cells of one memory by the 1-bit input / output driver 51 and the comparator. As a result, even when the number of bits of the memory is increased and the number of external terminals is increased, it is possible to simultaneously perform the memory test for the existing driver / comparator number. For example, it becomes possible to simultaneously test N n-bit memories by using N drivers / comparators equipped for n-bit memory single-unit testing.

【0050】これにより、2個以上の多ビットメモリを
一斉に試験するような高速試験の要求に十分対処するこ
とが可能となる。また、試験装置105 の簡易化及びその
低廉化を図ること、及び、試験コストパフォーマンスを
向上させることが可能となる。 (2)第2の実施例の説明 図7は、本発明の第2の実施例に係る自己試験機能付き
多ビットメモリの構成図を示している。第2の実施例で
は第1の実施例と異なり、入力データDIN,判定結果デ
ータDOUT 及び読出しデータDiを選択的に入出力する
自己試験回路200 が設けられる。
As a result, it becomes possible to sufficiently meet the demand for a high-speed test in which two or more multi-bit memories are simultaneously tested. Further, it is possible to simplify the test apparatus 105, reduce its cost, and improve the test cost performance. (2) Description of Second Embodiment FIG. 7 shows a block diagram of a multi-bit memory with a self-test function according to a second embodiment of the present invention. Unlike the first embodiment, the second embodiment is provided with a self-test circuit 200 which selectively inputs / outputs input data DIN, judgment result data DOUT and read data Di.

【0051】すなわち、本発明の第2の多ビットメモリ
は、図7に示すように、自己試験回路 200, 8つのメモ
リセルブロックM1〜M8,7つの入出力データ切換部
26,8つの入力バッファ27及び8つの出力バッファ
28を備える。自己試験回路200 は、モード判定部2
1,デコード部22,制御部23,データ配給部24及
びデータ判定出力部25を有する。
That is, as shown in FIG. 7, the second multi-bit memory of the present invention comprises a self-test circuit 200, eight memory cell blocks M1 to M8, seven input / output data switching units 26, and eight input buffers. 27 and eight output buffers 28. The self-test circuit 200 includes the mode determination unit 2
1, a decoding unit 22, a control unit 23, a data distribution unit 24, and a data determination output unit 25.

【0052】モード判定部21は、外部端子DQ2から
の入力情報を検出して通常動作又は試験動作モードを判
定し判定信号S21を制御部23に出力する回路である。
デコード部22は、外部端子DQ3〜DQ8からの入力
情報をデコードしてブロック選択信号S22を制御部23
に出力する回路である。入力情報は、8つのメモリセル
ブロックM1〜M8のいずれか1つを選択する二値化デ
ータである。
The mode determination section 21 is a circuit which detects the input information from the external terminal DQ2 to determine the normal operation or test operation mode and outputs the determination signal S21 to the control section 23.
The decoding unit 22 decodes the input information from the external terminals DQ3 to DQ8 and outputs the block selection signal S22 to the control unit 23.
Is a circuit that outputs to. The input information is binary data that selects any one of the eight memory cell blocks M1 to M8.

【0053】制御部23は、モード判定部21からの判
定信号S21及びデコード部22からのブロック選択信号
S22に基づいて入出力制御信号S23を発生する回路であ
る。信号S23は、データ配給部24,データ判定出力部
25及び入出力データ切換部26にそれぞれ出力され
る。データ配給部24は、制御部23からの入出力制御
信号S23に応じて外部端子DQ1からの入力データDIN
を8つのメモリセルブロックM1〜M8にパラレル又は
シリアルに供給する。データ判定出力部25は、8つの
メモリセルブロックM1〜M8からのいずれかの読出し
データDi,〔i=1〜8〕又はシリアル列の判定結果
データDOUT を入出力制御信号S23に応じて、外部端子
DQ1に接続された出力バッファ28に出力する。
The control section 23 is a circuit for generating an input / output control signal S23 based on the determination signal S21 from the mode determination section 21 and the block selection signal S22 from the decoding section 22. The signal S23 is output to the data distribution unit 24, the data determination output unit 25, and the input / output data switching unit 26, respectively. The data distribution unit 24 receives the input data DIN from the external terminal DQ1 according to the input / output control signal S23 from the control unit 23.
Are supplied to eight memory cell blocks M1 to M8 in parallel or serially. The data judgment output unit 25 outputs the read data Di, [i = 1 to 8] from any of the eight memory cell blocks M1 to M8 or the judgment result data DOUT of the serial column in accordance with the input / output control signal S23. It outputs to the output buffer 28 connected to the terminal DQ1.

【0054】判定結果データDOUT は8つのメモリセル
ブロックM1〜M8からの読出しデータD1〜D8を判
定したものである。この際の判定条件は、入力データD
INに対する読出しデータD1〜D8の一致又は不一致を
見い出す。なお、メモリセルブロックM1の通常入力は
試験入力を兼ね、通常出力は試験出力をそれぞれ兼ね
る。その他、第1の実施例と同じ名称のものは、同じ機
能を有するため、その説明を省略する。
The determination result data DOUT is obtained by determining the read data D1 to D8 from the eight memory cell blocks M1 to M8. The judgment condition at this time is the input data D
Find out whether the read data D1 to D8 match the IN. The normal input of the memory cell block M1 also serves as a test input, and the normal output thereof also serves as a test output. Others having the same names as those in the first embodiment have the same functions, and thus the description thereof will be omitted.

【0055】次に、図7を参照しながら、本発明の第2
の実施例に係る多ビットメモリの試験時の動作を説明す
る。例えば、自己試験回路200 のモード判定部21よ
り、外部端子DQ2からの入力情報が検出され、それが
「試験動作モード」と判定され、しかも、外部端子DQ
3〜DQ8からの入力情報をデコードしたブロック選択
信号S22がデコード部22から制御部23に出力される
と、モード判定部21からの判定信号S21及びデコード
部22からのブロック選択信号S22に基づいて制御部2
3では入出力制御信号S23が発生される。
Next, referring to FIG. 7, the second embodiment of the present invention will be described.
The operation at the time of testing the multi-bit memory according to the embodiment will be described. For example, the mode determination unit 21 of the self-test circuit 200 detects the input information from the external terminal DQ2, determines that it is the "test operation mode", and further, the external terminal DQ2.
When the block selection signal S22 obtained by decoding the input information from 3 to DQ8 is output from the decoding unit 22 to the control unit 23, based on the determination signal S21 from the mode determination unit 21 and the block selection signal S22 from the decoding unit 22. Control unit 2
At 3, the input / output control signal S23 is generated.

【0056】これにより、データ配給部24では制御部
23からの入出力制御信号S23に応じて外部端子DQ1
からの入力データDINが8つのメモリセルブロックM1
〜M8にパラレル又はシリアルに供給される。また、8
つのメモリセルブロックM1〜M8からのいずれかの読
出しデータDi,〔i=1〜8〕が直接,又は、シリア
ル列の判定結果データDOUT が、入出力制御信号S23に
応じて外部端子DQ1を介してデータ判定出力部25か
ら外部の試験装置に出力される(第2の試験方法)。
As a result, the data distribution unit 24 receives the external terminal DQ1 in response to the input / output control signal S23 from the control unit 23.
The input data DIN from the memory cell block M1 has eight
Is supplied to M8 in parallel or serially. Also, 8
The read data Di, [i = 1 to 8] from any one of the memory cell blocks M1 to M8 is directly output, or the determination result data DOUT of the serial column is transmitted via the external terminal DQ1 in accordance with the input / output control signal S23. And is output from the data determination output unit 25 to an external test device (second test method).

【0057】このようにして、本発明の第2の実施例に
係る多ビットメモリによれば、図7に示すように、自己
試験回路 200, 8つのメモリセルブロックM1〜M8,
7つの入出力データ切換部26,8つの入力バッファ2
7及び8つの出力バッファ28を備え、自己試験回路20
0 が、モード判定部21,デコード部22,制御部2
3,データ配給部24及びデータ判定出力部25を有す
る。
In this way, according to the multi-bit memory of the second embodiment of the present invention, as shown in FIG. 7, the self-test circuit 200, the eight memory cell blocks M1 to M8,
7 input / output data switching units 26, 8 input buffers 2
Self test circuit 20 with 7 and 8 output buffers 28
0 is the mode determination unit 21, the decoding unit 22, the control unit 2
3. It has a data distribution unit 24 and a data judgment output unit 25.

【0058】このため、メモリ試験時の入力データDIN
を外部端子DQ1を使用して試験装置から受信するこ
と、及び、その判定結果データDOUT 又は読出しデータ
Diを直接,同じ外部端子DQ1を使用して試験装置に
送信することが可能となる。また、第1の実施例とは異
なり、各メモリセルブロックM1〜M8からの読出しデ
ータDiをそのまま試験装置に転送することができ、全
メモリセルの動作確認及び特定のメモリセルブロックM
iの動作確認の2通りの試験を実行することが可能とな
る。
Therefore, the input data DIN during the memory test is
Can be received from the test apparatus using the external terminal DQ1 and the determination result data DOUT or read data Di can be directly transmitted to the test apparatus using the same external terminal DQ1. Further, unlike the first embodiment, the read data Di from each of the memory cell blocks M1 to M8 can be directly transferred to the test apparatus, and the operation check of all the memory cells and the specific memory cell block M can be performed.
It is possible to execute two types of tests for confirming the operation of i.

【0059】これにより、半導体メモリの多ビット化が
進み、外部端子数が増加した場合であっても、複数の自
己試験機能付きメモリを同時に試験をすること、及び、
試験装置のデータ比較判定部やドライバ/コンパレータ
数の増加を抑えることができる。また、第1の実施例と
同様に、多ビット構成のメモリセルブロックを効率良く
試験をすること、及び、試験コストの低減化を図ること
が可能となる。
As a result, even if the number of bits of the semiconductor memory is increased and the number of external terminals is increased, a plurality of memories with a self-test function are simultaneously tested, and
It is possible to suppress an increase in the number of data comparison / determination units and the number of drivers / comparators in the test apparatus. Further, similarly to the first embodiment, it is possible to efficiently test the memory cell block having a multi-bit structure and to reduce the test cost.

【0060】なお、本発明の各実施例では複数の自己試
験機能付きメモリ単体を同時に試験をする場合について
説明をしたが、複数の自己試験機能付きメモリをモジュ
ール化した実装基板を試験する場合や、メモリの信頼性
試験のためのバーンイン試験装置にも本発明の試験方法
を適用することができ、同様な効果が得られる。
In each of the embodiments of the present invention, the case where a plurality of memory units with a self-test function are tested at the same time is explained. However, the case where a mounting board in which a plurality of memories with a self-test function are modularized is tested, The test method of the present invention can be applied to a burn-in test device for a memory reliability test, and similar effects can be obtained.

【0061】[0061]

【発明の効果】以上説明したように、本発明の半導体記
憶装置によれば、試験動作モードを判定し、1つの外部
端子を使用して複数のメモリセルブロックに入力データ
を供給し、このメモリセルブロックからの読出しデータ
を自己判定した判定結果データを同じ外部端子を介して
外部出力する自己試験回路を有する。
As described above, according to the semiconductor memory device of the present invention, the test operation mode is determined, input data is supplied to a plurality of memory cell blocks using one external terminal, and this memory is used. It has a self-test circuit that outputs the determination result data obtained by self-determining the read data from the cell block via the same external terminal.

【0062】このため、最少限の外部端子を使用した自
己試験回路によるメモリ動作試験をすることができ、半
導体記憶装置の多ビット化が進み、外部端子数が増加し
た場合であっても、試験装置のデータ比較判定部やドラ
イバ/コンパレータ数の増加を抑えることができる。本
発明の他の半導体記憶装置によれば、1つの外部端子を
使用して、複数のメモリセルブロックに入力データをパ
ラレル又はシリアルに供給し、メモリセルブロックの読
出しデータ又は判定結果データを同じ外部端子を介して
外部出力する自己試験回路を有する。
Therefore, the memory operation test can be performed by the self-test circuit using the minimum number of external terminals, and even if the number of external terminals is increased due to the increase in the number of bits of the semiconductor memory device, the test can be performed. It is possible to suppress an increase in the number of data comparison / determination units and the number of drivers / comparators in the device. According to another semiconductor memory device of the present invention, one external terminal is used to supply input data to a plurality of memory cell blocks in parallel or serially, and read data of a memory cell block or determination result data is output to the same external device. It has a self-test circuit that outputs to the outside through a terminal.

【0063】このため、各メモリセルブロックからの読
出しデータをそのまま試験装置に転送することができ、
全メモリセルの動作確認及び特定のメモリセルブロック
の動作確認の2通りの試験を実行することが可能とな
る。本発明の半導体記憶装置の試験方法及び試験装置に
よれば、試験動作モードに移行した半導体記憶装置の各
々の1つの外部端子を介して試験信号をそれぞれ供給
し、半導体記憶装置からの各々の試験結果信号を同じ外
部端子を介してそれぞれ装置内に取り込み、複数の半導
体記憶装置が一斉に試験される。
Therefore, the read data from each memory cell block can be directly transferred to the test apparatus,
It is possible to execute two types of tests, that is, the operation confirmation of all memory cells and the operation confirmation of a specific memory cell block. According to the test method and the test apparatus for a semiconductor memory device of the present invention, a test signal is supplied via one external terminal of each semiconductor memory device that has transitioned to the test operation mode, and each test from the semiconductor memory device is performed. The result signal is taken into each device through the same external terminal, and a plurality of semiconductor memory devices are tested at the same time.

【0064】このため、1ビット分の入出力ドライバや
コンパレータにより、1つの半導体記憶装置の全メモリ
セルを動作確認することが可能となる。このことで、半
導体記憶装置の多ビット化が進み、外部端子数が増加さ
れた場合であっても、既存のドライバ/コンパレータ数
だけ、半導体記憶装置を同時に試験することができる。
Therefore, it is possible to confirm the operation of all the memory cells of one semiconductor memory device by the 1-bit input / output driver and the comparator. As a result, even when the number of bits of the semiconductor memory device is increased and the number of external terminals is increased, the semiconductor memory device can be simultaneously tested by the number of existing drivers / comparators.

【0065】これにより、2個以上の半導体記憶装置を
一斉かつ高速に試験をすること、また、試験装置の簡易
化及びその低廉化を図ることが可能となる。また、試験
コストの低減化に寄与するところが大きい。
As a result, it is possible to test two or more semiconductor memory devices simultaneously and at a high speed, and to simplify the test device and reduce its cost. Moreover, it greatly contributes to the reduction of the test cost.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明に係る半導体記憶装置の原理図(その
1)である。
FIG. 1 is a principle diagram (1) of a semiconductor memory device according to the present invention.

【図2】本発明に係る半導体記憶装置の原理図(その
2)である。
FIG. 2 is a principle diagram (No. 2) of the semiconductor memory device according to the present invention.

【図3】本発明の第1の実施例に係る自己試験機能付き
多ビットメモリの構成図である。
FIG. 3 is a configuration diagram of a multi-bit memory with a self-test function according to the first embodiment of the present invention.

【図4】本発明の各実施例に係る多ビットメモリの試験
時の接続図である。
FIG. 4 is a connection diagram at the time of testing a multi-bit memory according to each embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第1の実施例に係るメモリ試験時の等
価回路図である。
FIG. 5 is an equivalent circuit diagram during a memory test according to the first embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第1の実施例に係る多ビットメモリの
通常動作時の等価回路図である。
FIG. 6 is an equivalent circuit diagram of the multi-bit memory according to the first embodiment of the present invention during normal operation.

【図7】本発明の第2の実施例に係る自己試験機能付き
多ビットメモリの構成図である。
FIG. 7 is a configuration diagram of a multi-bit memory with a self-test function according to a second embodiment of the present invention.

【図8】従来例に係る多ビットメモリの構成図である。FIG. 8 is a configuration diagram of a multi-bit memory according to a conventional example.

【図9】従来例に係る問題点を説明する多ビットメモリ
の試験時の接続図である。
FIG. 9 is a connection diagram at the time of a test of a multi-bit memory for explaining the problems related to the conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

100, 200…自己試験回路、 11,21…モード判定部、 12,23…制御部、 13,24…データ配給部、 14…データ判定部、 15…データ切換部、 16…入出力データ切換部、 17,27…入力バッファ、 18,28…出力バッファ、 22…デコーダ、 25…データ判定出力部、 DQ1〜DQ8…外部端子、 M1〜Mn…メモリセルブロック、 DIN…入力データ、 VHH…入力情報、 DOUT …判定結果データ、 D1〜D8…読出しデータ、 S11,S21…判定信号、 S12…モード選択信号、 S22…ブロック選択信号、 S23…入出力制御信号。 100, 200 ... Self-test circuit, 11, 21 ... Mode determination unit, 12, 23 ... Control unit, 13, 24 ... Data distribution unit, 14 ... Data determination unit, 15 ... Data switching unit, 16 ... Input / output data switching unit , 17, 27 ... Input buffer, 18, 28 ... Output buffer, 22 ... Decoder, 25 ... Data determination output section, DQ1 to DQ8 ... External terminals, M1 to Mn ... Memory cell block, DIN ... Input data, VHH ... Input information , DOUT ... Judgment result data, D1-D8 ... Read data, S11, S21 ... Judgment signal, S12 ... Mode selection signal, S22 ... Block selection signal, S23 ... Input / output control signal.

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のメモリセルブロックを有した多ビ
ット構成の半導体記憶装置において、 第1の外部端子の入力情報から通常動作又は試験動作モ
ードを判定し、前記試験動作モードを判定したときに、
第2の外部端子からの入力データを前記複数のメモリセ
ルブロックに供給し、前記複数のメモリセルブロックか
らの読出しデータを判定した判定結果データを前記第2
の外部端子を介して外部に出力する自己試験回路を有す
ることを特徴とする半導体記憶装置。
1. A multi-bit semiconductor memory device having a plurality of memory cell blocks, wherein a normal operation or a test operation mode is determined from input information of a first external terminal, and the test operation mode is determined. ,
The determination result data obtained by determining the read data from the plurality of memory cell blocks by supplying the input data from the second external terminal to the plurality of memory cell blocks
A semiconductor memory device having a self-test circuit for outputting to the outside through an external terminal of.
【請求項2】 前記自己試験回路は、第1の外部端子か
らの入力情報を検出して通常動作又は試験動作モードを
判定するモード判定部と、 前記モード判定部からの判定信号に基づいてモード切換
信号を発生する制御部と、 前記制御部からのモード切換信号に応じて第2の外部端
子からの入力データを前記複数のメモリセルブロックに
パラレルに供給するデータ配給部と、 前記複数のメモリセルブロックからの読出しデータを判
定してシリアル列の判定結果データを出力するデータ判
定部と、 前記データ判定部からの判定結果データを前記モード切
換信号に応じて前記第2の外部端子を介して出力するデ
ータ切換部とを有することを特徴とする請求項1記載の
半導体記憶装置。
2. The self-test circuit detects the input information from the first external terminal to determine a normal operation or test operation mode, and a mode determination section based on a determination signal from the mode determination section. A control unit that generates a switching signal; a data distribution unit that supplies input data from a second external terminal to the plurality of memory cell blocks in parallel in response to a mode switching signal from the control unit; A data determination unit that determines read data from the cell block and outputs determination result data of the serial column, and a determination result data from the data determination unit via the second external terminal according to the mode switching signal. The semiconductor memory device according to claim 1, further comprising a data switching unit for outputting.
【請求項3】 複数のメモリセルブロックを有した多ビ
ット構成の半導体記憶装置において、 第1の外部端子の入力情報から通常動作又は試験動作モ
ードを判定し、前記試験動作モードを判定したときに、
第2の外部端子からの入力データを前記複数のメモリセ
ルブロックにパラレル又はシリアルに供給し、前記複数
のメモリセルブロックからのいずれかの読出しデータ又
は前記複数のメモリセルブロックからの読出しデータを
判定したシリアル列の判定結果データを前記第2の外部
端子を介して外部に出力する自己試験回路を有すること
を特徴とする半導体記憶装置。
3. A multi-bit semiconductor memory device having a plurality of memory cell blocks, wherein a normal operation or a test operation mode is determined from input information of a first external terminal, and when the test operation mode is determined. ,
Input data from the second external terminal is supplied to the plurality of memory cell blocks in parallel or serially to determine any read data from the plurality of memory cell blocks or read data from the plurality of memory cell blocks. A semiconductor memory device having a self-test circuit for outputting the determination result data of the serial column to the outside through the second external terminal.
【請求項4】 前記自己試験回路は、第1の外部端子か
らの入力情報を検出して通常動作又は試験動作モードを
判定するモード判定部と、 第2の外部端子及び前記第1の外部端子以外からの入力
情報をデコードして前記複数のメモリセルブロックのい
ずれか1つを選択するブロック選択信号を出力するデコ
ード部と、 前記モード判定部からの判定信号及びデコード部からの
ブロック選択信号に基づいて入出力制御信号を発生する
制御部と、 前記制御部からの入出力制御信号に応じて第2の外部端
子からの入力データを前記複数のメモリセルブロックに
パラレル又はシリアルに供給するデータ配給部と、 前記複数のメモリセルブロックからのいずれかの読出し
データ又は前記複数のメモリセルブロックからの読出し
データを判定したシリアル列の判定結果データを前記入
出力制御信号応じて前記第2の外部端子を介して出力す
るデータ判定出力部とを有することを特徴とする請求項
3記載の半導体記憶装置。
4. The self-test circuit includes a mode determination unit that detects input information from the first external terminal and determines a normal operation or test operation mode, a second external terminal and the first external terminal. A decoding unit that decodes input information from other than the above and outputs a block selection signal that selects one of the plurality of memory cell blocks; and a determination signal from the mode determination unit and a block selection signal from the decoding unit. A control unit for generating an input / output control signal based on the control unit, and a data distribution for supplying input data from a second external terminal to the plurality of memory cell blocks in parallel or serially in response to the input / output control signal from the control unit Section, and serial data for determining read data from any of the plurality of memory cell blocks or read data from the plurality of memory cell blocks. The determination result data semiconductor memory device according to claim 3, wherein a and a data decision output unit for outputting the output control signal corresponding through said second external terminals a.
【請求項5】 複数のメモリセルブロックを有し自己試
験機能を備えた半導体記憶装置の試験方法において、 前記半導体記憶装置の第1の外部端子に試験動作モード
を識別させる入力情報を供給し、前記試験動作モードに
移行した半導体記憶装置の第2の外部端子を介して試験
信号を供給し、前記半導体記憶装置からの試験結果信号
を前記第2の外部端子を介して試験装置に取り込むこと
を特徴とする半導体記憶装置の試験方法。
5. A method of testing a semiconductor memory device having a plurality of memory cell blocks and having a self-test function, wherein input information for identifying a test operation mode is supplied to a first external terminal of the semiconductor memory device, A test signal is supplied via a second external terminal of the semiconductor memory device that has shifted to the test operation mode, and a test result signal from the semiconductor memory device is fetched into the test device via the second external terminal. A method for testing a semiconductor memory device having a feature.
【請求項6】 前記半導体記憶装置からの試験結果信号
を第2の外部端子を使用して試験装置に取り込む際に、
前記複数のメモリセルブロックのいずれか1つのメモリ
セルブロックを選択する選択データを前記第1の外部端
子及び第2の外部端子以外の空いている外部端子に供給
することを特徴とする請求項5記載の半導体記憶装置の
試験方法。
6. When the test result signal from the semiconductor memory device is input to the test device using the second external terminal,
6. The selection data for selecting any one of the plurality of memory cell blocks is supplied to vacant external terminals other than the first external terminal and the second external terminal. A method for testing a semiconductor memory device as described.
【請求項7】 自己試験機能を備えた半導体記憶装置の
試験装置において、 複数の半導体記憶装置の各々の第1の外部端子に試験動
作モードを識別させる入力情報をそれぞれ供給し、前記
試験動作モードに移行した半導体記憶装置の各々の第2
の外部端子を介して試験信号をそれぞれ供給し、前記半
導体記憶装置からの各々の試験結果信号を前記第2の外
部端子を介してそれぞれ取り込み、複数の半導体記憶装
置を一斉に試験することを特徴とする半導体記憶装置の
試験装置。
7. A test device for a semiconductor memory device having a self-test function, wherein input information for identifying a test operation mode is supplied to first external terminals of each of the plurality of semiconductor memory devices, and the test operation mode is supplied. Of each of the semiconductor memory devices that have been moved to
A test signal is supplied from each of the semiconductor memory devices via the second external terminal, and a test signal is supplied from each of the semiconductor memory devices via the second external terminal. Semiconductor memory device test equipment.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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KR100695432B1 (en) * 2005-09-28 2007-03-16 주식회사 하이닉스반도체 Multi port memory device with serial input/output interface
US8429319B2 (en) 2005-09-28 2013-04-23 Hynix Semiconductor Inc. Multi-port memory device with serial input/output interface

Cited By (2)

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Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100695432B1 (en) * 2005-09-28 2007-03-16 주식회사 하이닉스반도체 Multi port memory device with serial input/output interface
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