JPH0896354A - Magnetic recording medium and its production - Google Patents
Magnetic recording medium and its productionInfo
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- JPH0896354A JPH0896354A JP22784894A JP22784894A JPH0896354A JP H0896354 A JPH0896354 A JP H0896354A JP 22784894 A JP22784894 A JP 22784894A JP 22784894 A JP22784894 A JP 22784894A JP H0896354 A JPH0896354 A JP H0896354A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、画像情報や大容量のデ
ータ情報等の高密度記録に用いられる磁気記録媒体及び
その製造方法に関し、特に磁性層上に形成する保護膜の
改良に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a magnetic recording medium used for high-density recording of image information, large-capacity data information, etc., and a method for manufacturing the same, and more particularly to improvement of a protective film formed on a magnetic layer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】非磁性支持体上に蒸着法等の手法により
金属磁性薄膜を被着形成し、これを磁性層とした、所謂
金属磁性薄膜型の磁気記録媒体は、原理的に高密度記録
が可能であることから、近年注目を集めている。2. Description of the Related Art A so-called metal magnetic thin film type magnetic recording medium in which a metal magnetic thin film is deposited on a non-magnetic support by a method such as vapor deposition and used as a magnetic layer is, in principle, a high density recording medium. Since it is possible, it has attracted attention in recent years.
【０００３】即ち、この金属磁性薄膜の磁気記録媒体に
おいては、磁性層の厚みを極めて薄くできるため、記録
減磁や再生時の厚み損失を小さくすることができるとと
もに、磁性層中の強磁性金属原子の占有体積率を大きく
できるため、高保磁力、高磁束密度を得ることができ
る。That is, in the magnetic recording medium of this metal magnetic thin film, the thickness of the magnetic layer can be made extremely small, so that the thickness loss at the time of recording demagnetization and reproduction can be reduced, and the ferromagnetic metal in the magnetic layer can be reduced. Since the occupied volume ratio of atoms can be increased, high coercive force and high magnetic flux density can be obtained.
【０００４】ところで、磁気記録においては、磁性層と
磁気ヘッドとの隙間が大きい場合には損失を生じる。特
に、高記録周波数領域では損失が顕著であり、高密度記
録化を図るためにはこの問題を極力小さくすることが必
要である。Incidentally, in magnetic recording, loss occurs when the gap between the magnetic layer and the magnetic head is large. In particular, the loss is remarkable in the high recording frequency region, and it is necessary to minimize this problem in order to achieve high density recording.
【０００５】ハードディスクにおいては、記録再生時に
ヘッドは媒体と非接触であるが、上述のような金属磁性
薄膜型の磁気記録媒体、特にテープ状媒体等に画像情報
や大密度データを記録する場合では、媒体とヘッドは接
触されることが多い。このため、上記金属磁性薄膜型の
磁気記録媒体等においては、保護膜に対して１０ｎｍ以
下の非常に薄い膜厚でハードディスクの保護膜以上の高
い耐久性と信頼性を確保できることが要求されている。In a hard disk, the head is not in contact with the medium at the time of recording / reproducing, but in the case of recording image information or large-density data on the above-mentioned metal magnetic thin film type magnetic recording medium, particularly a tape-shaped medium. The medium and the head are often in contact with each other. Therefore, in the above-mentioned metal magnetic thin film type magnetic recording medium and the like, it is required to secure high durability and reliability higher than the protective film of the hard disk with a very thin film thickness of 10 nm or less with respect to the protective film. .
【０００６】実際に、上記金属磁性薄膜型の磁気記録媒
体では、磁性層そのものに耐摩耗性、潤滑性等の向上を
求めようとすると、磁性層の磁気的特性の劣化が避けら
れなくなる。即ち、媒体表面が金属であるために、該金
属磁性薄膜型の磁気記録媒体と磁気ヘッド及び走行系部
品材料との摩擦係数が大きく、テープを走行させる際の
磁気ヘッド等との摩擦摩耗のために、短時間で記録層
（磁性層）又は磁気ヘッドが損傷を受けるという問題が
生じる。In fact, in the above-mentioned metal magnetic thin film type magnetic recording medium, if it is desired to improve the wear resistance and the lubricity of the magnetic layer itself, the magnetic characteristics of the magnetic layer are inevitably deteriorated. That is, since the surface of the medium is metal, the friction coefficient between the magnetic recording medium of the metal magnetic thin film type and the magnetic head and the materials of the traveling system parts is large, and the frictional wear between the magnetic head and the like when the tape is traveling. In addition, there is a problem that the recording layer (magnetic layer) or the magnetic head is damaged in a short time.
【０００７】また、最近の磁気記録媒体では、磁性層表
面の平滑性が極めて良好であるため、磁気ヘッドやガイ
ドローラ等の摺動部材に対する実質的な接触面積が大き
く、従って摩擦係数が大きくなり凝着現象（所謂、張り
付き）が起き易く、走行性や耐久性に欠ける等問題点も
多い。In recent magnetic recording media, the smoothness of the surface of the magnetic layer is extremely good, so that a substantial contact area with a sliding member such as a magnetic head or a guide roller is large, and therefore a friction coefficient is large. Adhesion phenomenon (so-called sticking) easily occurs, and there are many problems such as lack of running property and durability.
【０００８】そこで、このような問題を改善するため
に、磁性層の表面に保護膜を形成することが検討されて
いる。しかし、この保護膜は、磁性層と磁気ヘッドとの
間隔を大きくするものであるため、その厚みはできるだ
け小さくしなければならない。また、保護膜と各種潤滑
剤を使用する方法が提案されている。例えば、保護膜と
してスパッタリング法により成膜したカーボン膜を用
い、潤滑剤に高級脂肪酸やそのエステル等を上記磁気記
録媒体の磁性層に内添、或いはトップコートすることに
より摩擦係数を抑え、テープ走行性を改善しようとする
試みがなされている（N.Savvides and B.Window,J.Vac.
Sci.Technol,A3 2386,1985等参照。）。Therefore, in order to improve such a problem, formation of a protective film on the surface of the magnetic layer has been studied. However, since this protective film increases the distance between the magnetic layer and the magnetic head, its thickness must be made as small as possible. Further, a method of using a protective film and various lubricants has been proposed. For example, a carbon film formed by a sputtering method is used as a protective film, and a higher fatty acid or its ester is added as a lubricant to the magnetic layer of the above-mentioned magnetic recording medium by internal addition or top coating to suppress the friction coefficient and to run the tape. Attempts have been made to improve the quality (N. Savvides and B. Window, J. Vac.
See Sci.Technol, A3 2386, 1985 etc. ).
【０００９】ところで、磁気記録媒体に使用される保護
膜においては、通常該保護膜上に形成される潤滑剤と合
わせて、その性質上非常に厳しい特性が要求され、従来
用いられている保護膜及び潤滑剤では対応することが難
しいのが現状である。By the way, in a protective film used for a magnetic recording medium, a very strict characteristic is required in its properties together with a lubricant usually formed on the protective film. At present, it is difficult to deal with the problem with lubricants.
【００１０】即ち、磁気記録媒体の保護層に使用される
保護膜及び潤滑剤には、（１）寒冷地での使用に際して
所定の潤滑効果及び耐久性が確保されるように低温特性
に優れること、（２）磁気ヘッドとのスペーシングが問
題となるので極めて薄く塗布できること、且つその場合
にも十分な耐久性及び潤滑特性が発揮されること、
（３）長時間の使用に耐え、耐久性及び潤滑効果が長時
間持続すること、等が要求される。That is, the protective film and the lubricant used for the protective layer of the magnetic recording medium are (1) excellent in low-temperature characteristics so as to ensure a predetermined lubricating effect and durability when used in cold regions. (2) Spacing with the magnetic head poses a problem, so that it can be applied very thinly, and in that case also sufficient durability and lubrication characteristics can be exhibited.
(3) It is required to endure long-term use and to maintain durability and lubricating effect for a long time.
【００１１】ところが、従来より保護膜としては、スパ
ッタリング法等により形成されたカーボン膜等が広く使
用されているが、この保護膜には次のような欠点があ
る。However, conventionally, a carbon film formed by a sputtering method or the like has been widely used as a protective film, but this protective film has the following drawbacks.
【００１２】（１）潤滑剤がない状態でスパッタカーボ
ン膜の摩擦係数が大きい。従って、万一潤滑剤が剥がれ
た場合、その部分の摩擦係数が大きくなり、下層に存在
する磁性層が摩耗損傷を受ける可能性がある。(1) The friction coefficient of the sputtered carbon film is large in the absence of lubricant. Therefore, in the unlikely event that the lubricant is peeled off, the friction coefficient at that portion increases, and the magnetic layer existing thereunder may be damaged by wear.
【００１３】（２）媒体の表面平滑性が向上し、ヘッド
とテープとのギャップが小さくなった場合、耐摩耗性等
の耐久性に問題が生じる。(2) When the surface smoothness of the medium is improved and the gap between the head and the tape is reduced, there arises a problem in durability such as abrasion resistance.
【００１４】（３）カーボン膜表面に水酸基等の活性な
極性基が少ないため、保護膜に適した良好な潤滑剤が少
ない。(3) Since there are few active polar groups such as hydroxyl groups on the surface of the carbon film, there are few good lubricants suitable for the protective film.
【００１５】（４）１０ｎｍ以下の膜厚では高い耐腐食
性を保持することが困難である。(4) It is difficult to maintain high corrosion resistance with a film thickness of 10 nm or less.
【００１６】このような問題を解決する目的で、例えば
特開昭６１─２１０５１８号公報等に開示されるよう
に、プラズマＣＶＤ法で形成したダイヤモンドカーボン
膜を保護膜として使用する方法等が提案されている。For the purpose of solving such a problem, a method of using a diamond carbon film formed by a plasma CVD method as a protective film has been proposed, as disclosed in, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 61-210518. ing.
【００１７】しかしながら、このダイヤモンドカーボン
膜では、磁気記録媒体の保護膜として要求される１０ｎ
ｍ以下の非常に薄い膜厚とした場合には、十分な耐久性
が得られず、また膜表面の活性基が少ない等、問題点は
依然として残っている。However, this diamond carbon film has a film thickness of 10n required as a protective film for a magnetic recording medium.
When the film thickness is very thin, such as m or less, sufficient durability cannot be obtained, and there are still problems such as a small number of active groups on the film surface.
【００１８】[0018]
【発明が解決しようとする課題】以上のように、磁気記
録媒体の分野においては、使用される保護膜又は保護膜
と併用される潤滑剤の能力不足に起因して、特に高い信
頼性が要求される応用分野での高密度な記録媒体として
は、走行性、耐腐食性、耐久性等の実用特性に不満を残
しているのが実情である。As described above, in the field of magnetic recording media, particularly high reliability is required due to the insufficient capacity of the protective film used or the lubricant used in combination with the protective film. As a high-density recording medium for various applied fields, it is the actual situation that the practical characteristics such as running property, corrosion resistance, and durability remain unsatisfactory.
【００１９】そこで、本発明はこのような実情に鑑みて
提案されたものであって、優れた走行性、耐腐食性、耐
久性を得ることができ、高密度記録化に十分対応するこ
とが可能な磁気記録媒体及びその製造方法を提供するこ
とを目的とする。Therefore, the present invention has been proposed in view of such circumstances, and it is possible to obtain excellent running property, corrosion resistance, and durability, and to sufficiently cope with high density recording. An object of the present invention is to provide a possible magnetic recording medium and a manufacturing method thereof.
【００２０】[0020]
【課題を解決するための手段】本発明者等は、上述の目
的を達成せんものと鋭意研究の結果、磁性層の保護膜と
してスパッタリング法、ＣＶＤ法、蒸着法等により成膜
されるジルコニア系酸化物材料を使用することにより、
走行性、耐腐食性、耐久性の向上を図ることができるこ
とを見出し、本発明を完成するに至ったものである。Means for Solving the Problems The inventors of the present invention have earnestly studied that they cannot achieve the above-mentioned object, and as a result, as a protective film of a magnetic layer, a zirconia-based film formed by a sputtering method, a CVD method, an evaporation method or the like. By using an oxide material,
The inventors have found that the running property, corrosion resistance, and durability can be improved, and have completed the present invention.
【００２１】即ち、本発明の磁気記録媒体は、非磁性支
持体上に少なくとも磁性層及び保護膜を有してなるテー
プ状の磁気記録媒体において、上記保護膜が少なくとも
ジルコニウム酸化物を含む複数の材料、特に１種以上の
セラミクス酸化物材料がドーピングされているジルコニ
ア酸化物を含む複数の硬質酸化物材料から構成されてな
ることを特徴とするものである。That is, the magnetic recording medium of the present invention is a tape-shaped magnetic recording medium having at least a magnetic layer and a protective film on a non-magnetic support, and the protective film contains a plurality of zirconium oxides. It is characterized in that it is composed of a plurality of hard oxide materials including a zirconia oxide doped with a material, particularly one or more ceramic oxide materials.
【００２２】また、本発明の磁気記録媒体の製造方法
は、非磁性支持体上に少なくとも磁性層及び保護膜を有
してなる磁気記録媒体を製造するに際し、上記保護膜の
構成材料としてジルコニウム酸化物にセラミクス酸化物
材料がドーピングされているジルコニア系酸化物材料を
用い、且つ該ジルコニア系酸化物材料をスパッタリング
法又はＣＶＤ法又は蒸着法により成膜することを特徴と
するものである。In the method of manufacturing a magnetic recording medium of the present invention, when a magnetic recording medium having at least a magnetic layer and a protective film on a non-magnetic support is manufactured, zirconium oxide is used as a constituent material of the protective film. The present invention is characterized in that a zirconia-based oxide material doped with a ceramics oxide material is used as a material, and the zirconia-based oxide material is formed into a film by a sputtering method, a CVD method, or an evaporation method.
【００２３】本発明が適用される磁気記録媒体として
は、基本的に非磁性支持体上に蒸着法等の手法により成
膜される金属磁性薄膜が磁性層として形成される、所謂
金属磁性薄膜型の磁気記録媒体、或いは非磁性支持体上
に主として磁性粉末と結合剤から構成されてなる磁性層
を有する塗布型の磁気記録媒体が挙げられる。A magnetic recording medium to which the present invention is applied is basically a so-called metal magnetic thin film type in which a metal magnetic thin film formed on a non-magnetic support by a method such as vapor deposition is formed as a magnetic layer. Or a coating type magnetic recording medium having a magnetic layer mainly composed of magnetic powder and a binder on a non-magnetic support.
【００２４】上記金属磁性薄膜型の磁気記録媒体が適用
される場合、上記磁性層と上記非磁性支持体の間には、
いわゆる下塗り層としての中間層が設けられた構成とさ
れても良く、また上記磁性層上に潤滑剤層が形成された
構成とされても良い。When the above-mentioned metal magnetic thin film type magnetic recording medium is applied, between the magnetic layer and the non-magnetic support,
A so-called undercoat layer may be provided with an intermediate layer, or a lubricant layer may be formed on the magnetic layer.
【００２５】更に、上記非磁性支持体の磁性層形成面と
反対側の面上に、磁気記録媒体の走行性の向上や帯電防
止および転写防止などを目的として、バックコート層が
設けられても良い。Further, a back coat layer may be provided on the surface of the non-magnetic support opposite to the surface on which the magnetic layer is formed for the purpose of improving the running property of the magnetic recording medium, preventing charging and preventing transfer. good.
【００２６】このバックコート層は、上記塗布型の磁気
記録媒体における磁性層を構成する結合剤と同様の樹脂
結合剤に、導電性を付与するためのカーボン系微粉末や
表面粗度をコントロールするための無機顔料を添加した
バックコート層用塗料を塗布形成することによって得ら
れるものである。This back coat layer controls the carbon-based fine powder for imparting conductivity to the resin binder similar to the binder constituting the magnetic layer in the above-mentioned coating type magnetic recording medium and the surface roughness. It is obtained by applying and forming a coating material for a back coat layer to which an inorganic pigment is added.
【００２７】これら非磁性支持体、磁性層等としては、
何等限定されるものではなく、従来公知の材料がいずれ
も使用可能である。The non-magnetic support, magnetic layer, etc. are as follows:
The material is not limited in any way, and any conventionally known material can be used.
【００２８】具体的に例示するならば、上記非磁性支持
体としては、ポリエチレンテレフタレート、ポリエチレ
ン-2,6- ナフタレートなどのポリエステル類、ポリプロ
ピレンなどのポリオレフィン類、セルローストリアセテ
ート、セルロースジアセテートなどのセルロース類、ビ
ニル系樹脂、ポリイミド類、ポリカーボネート類に代表
されるような高分子材料により形成される支持体等が挙
げられる。また、この非磁性支持体においては、その表
面性をコントロールするために、微細な凹凸が形成され
るような表面処理を施しても良い。As a specific example, as the non-magnetic support, polyesters such as polyethylene terephthalate and polyethylene-2,6-naphthalate, polyolefins such as polypropylene, celluloses such as cellulose triacetate and cellulose diacetate. Examples of the support include a support formed of a polymer material represented by vinyl resins, polyimides, and polycarbonates. Further, the non-magnetic support may be subjected to a surface treatment for forming fine irregularities in order to control the surface property thereof.
【００２９】上記金属磁性薄膜としては、メッキ法やス
パッタリング法、真空蒸着法等のＰＶＤの手法により連
続膜として形成されるもので、Ｆｅ、Ｃｏ，Ｎｉなどの
金属材料やＣｏ−Ｎｉ系合金、Ｃｏ−Ｐｔ系合金、Ｃｏ
−Ｐｔ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ系
合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ系合金、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｂ系合
金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｂ系合金、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｂ系合
金等の合金材料からなる面内磁化記録金属薄膜、或いは
Ｃｏ−Ｃｒ系合金等の合金材料が挙げられる。The above-mentioned metal magnetic thin film is formed as a continuous film by a PVD method such as a plating method, a sputtering method or a vacuum deposition method, and is made of a metal material such as Fe, Co or Ni or a Co-Ni type alloy, Co-Pt alloy, Co
-Pt-Ni system alloy, Fe-Co system alloy, Fe-Ni system alloy, Fe-Co-Ni system alloy, Fe-Ni-B system alloy, Fe-Co-B system alloy, Fe-Co-Ni-B An in-plane magnetization recording metal thin film made of an alloy material such as a group-based alloy, or an alloy material such as a Co—Cr-based alloy can be used.
【００３０】特に、上記面内磁化記録金属薄膜の場合、
予め非磁性支持体上にＢｉ、Ｓｂ、Ｐｂ、Ｓｎ、Ｇａ、
Ｉｎ、Ｇｅ、Ｓｉ、Ｔｌ等の低融点非磁性材料の下地層
を形成しておき、該下地層上に金属磁性材料を垂直方向
から蒸着或いはスパッタして、得られた金属磁性薄膜中
に上記低融点非磁性材料を拡散せしめ、配向性を解消し
て面内等方性を確保するとともに、抗磁力を向上するよ
うにしても良い。In particular, in the case of the in-plane magnetization recording metal thin film,
Bi, Sb, Pb, Sn, Ga, on the non-magnetic support in advance
An underlayer of a low-melting point nonmagnetic material such as In, Ge, Si, Tl is formed in advance, and a metallic magnetic material is vapor-deposited or sputtered on the underlayer from the vertical direction. The low melting point non-magnetic material may be diffused to eliminate the orientation, thereby ensuring the in-plane isotropic property and improving the coercive force.
【００３１】また、上記塗布型の磁気記録媒体における
磁性層は、磁性粉末を結合剤中に分散させ、適当な有機
溶剤と共に混練して調製された磁性塗料を上記非磁性支
持体上に塗布することにより形成することができる。In the magnetic layer of the coating type magnetic recording medium, magnetic powder prepared by dispersing magnetic powder in a binder and kneading with a suitable organic solvent is coated on the non-magnetic support. Can be formed.
【００３２】上記磁性粉末としては、例えばＦｅ、Ｃ
ｏ，Ｎｉなどの金属材料、Ｆｅ−Ｃｏ、Ｆｅ−Ｎｉ、Ｆ
ｅ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ａｌ、Ｆｅ−Ａｌ−Ｐ、Ｆｅ−
Ｎｉ−Ｓｉ−Ａｌ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｓｉ−Ａｌ−Ｍｎ、Ｆ
ｅ−Ｍｎ−Ｚｎ、Ｆｅ−Ｎｉ−Ｚｎ、Ｃｏ−Ｎｉ、Ｃｏ
−Ｐ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ、Ｆｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｃｒ、Ｆ
ｅ−Ｃｏ−Ｎｉ−Ｐ、Ｆｅ−ＣｏーＢ、ＦｅーＣｏ−Ｃ
ｒ−Ｂ、Ｍｎ−Ｂｉ、Ｍｎ−Ａｌ，Ｆｅ−Ｃｏ−Ｖ等の
合金材料、或いは窒化鉄、炭化鉄等が挙げられる。Examples of the magnetic powder include Fe and C
Metal materials such as o and Ni, Fe-Co, Fe-Ni, F
e-Al, Fe-Ni-Al, Fe-Al-P, Fe-
Ni-Si-Al, Fe-Ni-Si-Al-Mn, F
e-Mn-Zn, Fe-Ni-Zn, Co-Ni, Co
-P, Fe-Co-Ni, Fe-Co-Ni-Cr, F
e-Co-Ni-P, Fe-Co-B, Fe-Co-C
Examples thereof include alloy materials such as r-B, Mn-Bi, Mn-Al, and Fe-Co-V, and iron nitride and iron carbide.
【００３３】また、還元時の焼結防止または形状維持等
の目的で添加されるＡｌ，Ｓｉ、Ｐ，Ｂなどの軽金属元
素が適当量含有されても良い。Further, a suitable amount of a light metal element such as Al, Si, P, B added for the purpose of preventing sintering during reduction or maintaining the shape may be contained.
【００３４】更に、γ−Ｆｅ2 Ｏ3 ，Ｆｅ3 Ｏ4 ，γ−
Ｆｅ2 Ｏ3 とＦｅ3 Ｏ4 とのベルトライド化合物やＣｏ
含有γ−Ｆｅ2 Ｏ3 、Ｃｏ含有Ｆｅ3 Ｏ4 、Ｃｏを含有
するγ−Ｆｅ2 Ｏ3 とＦｅ3 Ｏ4 とのベルトライド化合
物等の強磁性酸化鉄粒子、ＣｒＯ2 に１種又はそれ以上
の金属元素、たとえばＴｅ，Ｓｂ，Ｆｅ，Ｂｉなどを含
有させた強磁性二酸化クロム粒子、六角板状の六方晶フ
ェライト微粒子等もいずれも使用可能である。Further, γ-Fe 2 O 3 , Fe 3 O 4 , γ-
Betride compound of Fe 2 O 3 and Fe 3 O 4 or Co
Ferromagnetic iron oxide particles such as γ-Fe 2 O 3 , Co-containing Fe 3 O 4 , and Co-containing γ-Fe 2 O 3 and Fe 3 O 4 such as ferro-iron oxide particles, one of CrO 2 or Any of the above-mentioned metallic elements such as ferromagnetic chromium dioxide particles containing Te, Sb, Fe, Bi, etc., hexagonal plate-shaped hexagonal ferrite fine particles, etc. can be used.
【００３５】これら磁性粉末は、それぞれ一種を用いる
ことができるが、二種以上を併用することができる。These magnetic powders may be used alone or in combination of two or more.
【００３６】また、上記磁性層に含有される結合剤とし
ては、従来公知の結合剤がいずれも使用可能であり、熱
可塑性樹脂、熱硬化性樹脂を問わない。As the binder contained in the magnetic layer, any conventionally known binder can be used, and it does not matter whether it is a thermoplastic resin or a thermosetting resin.
【００３７】上記磁性塗料を調製する際に使用される有
機溶剤においても、同様に従来公知のものがいずれも使
用可能である。As the organic solvent used when preparing the above-mentioned magnetic coating material, any conventionally known organic solvent can be used as well.
【００３８】なお、上記磁性層を構成する磁性材料とし
ては、上述した磁性粉末や結合剤等の他、添加剤として
分散剤、研磨剤、帯電防止剤等が加えられても良い。こ
れら分散剤、研磨剤、帯電防止剤としては、通常この種
の磁気記録媒体において用いられている材料であれば良
く、特に限定されない。As the magnetic material forming the magnetic layer, a dispersant, an abrasive, an antistatic agent or the like may be added as an additive in addition to the above-mentioned magnetic powder and binder. These dispersants, abrasives and antistatic agents are not particularly limited as long as they are materials that are usually used in this type of magnetic recording medium.
【００３９】かかる磁気記録媒体においては、上記非磁
性支持体上に少なくとも上記磁性層と保護膜が形成され
る。In such a magnetic recording medium, at least the magnetic layer and the protective film are formed on the non-magnetic support.
【００４０】本発明では、上記保護膜として、少なくと
もジルコニウム酸化物を含む複数の材料（より好ましく
は硬質酸化物材料）が使用される。これにより、摩擦係
数が低減され、摩擦摩耗が抑えられる。従って、良好な
走行性、耐摩耗性、耐久性を確保することができる。In the present invention, a plurality of materials containing at least zirconium oxide (more preferably hard oxide materials) are used as the protective film. This reduces the coefficient of friction and suppresses frictional wear. Therefore, good runnability, wear resistance, and durability can be ensured.
【００４１】このジルコニウム酸化物としては、結晶系
が室温付近で正方晶系又は立方晶系を含む部分安定化さ
れた構造を有するものが好ましい。The zirconium oxide is preferably one having a partially stabilized structure whose crystal system includes a tetragonal system or a cubic system around room temperature.
【００４２】このジルコニウム酸化物には、アルミニウ
ム酸化物、イットリウム酸化物、マグネシウム酸化物、
カルシウム酸化物、セリウム酸化物、ハフニウム酸化物
等のセラミクス酸化物材料が少なくとも１種ドーピング
されていることが望ましい。The zirconium oxide includes aluminum oxide, yttrium oxide, magnesium oxide,
It is desirable that at least one ceramic oxide material such as calcium oxide, cerium oxide, or hafnium oxide is doped.
【００４３】これらセラミクス酸化物材料のドープ量と
しては、数重量％（例えば５〜２０重量％程度）である
ことが好ましい。The doping amount of these ceramic oxide materials is preferably several% by weight (for example, about 5 to 20% by weight).
【００４４】このようにジルコニウム酸化物にセラミク
ス酸化物材料がドーピングされているジルコニア系酸化
物材料からなる保護膜の厚さは、１０ｎｍ以下であるこ
とが好ましい。このジルコニア系酸化物材料の厚さを１
０ｎｍより厚くすると、磁気ヘッドとのスペーシングが
問題となる。ジルコニア系酸化物材料の薄膜は、結晶の
粒径が小さく密に分布しているため、１０ｎｍ程度の薄
膜でも非常に硬く、自己潤滑性を有するので、それ自身
でも摩擦係数がスパッタカーボン膜よりも小さい。As described above, the thickness of the protective film made of the zirconia-based oxide material obtained by doping the zirconium oxide with the ceramic oxide material is preferably 10 nm or less. The thickness of this zirconia-based oxide material is 1
If the thickness is greater than 0 nm, the spacing with the magnetic head becomes a problem. Since a thin film of zirconia-based oxide material has a small crystal grain size and is densely distributed, even a thin film of about 10 nm is very hard and has self-lubricating property. small.
【００４５】また、このジルコニア系酸化物材料のマイ
クロビッカース硬度は、７５０以上であることが好まし
い。該マイクロビッカース硬度が７５０よりも小さい
と、十分な強度が得られず、走行性、耐摩耗性、耐久性
の劣化を招く虞れがある。The micro Vickers hardness of this zirconia-based oxide material is preferably 750 or more. When the micro Vickers hardness is less than 750, sufficient strength cannot be obtained, and running properties, wear resistance, and durability may be deteriorated.
【００４６】このようなジルコニア酸化物を主成分とす
る保護膜を上記磁気記録媒体に形成する方法としては、
磁性層表面にトップコートする方法等がある。As a method for forming such a protective film containing zirconia oxide as a main component on the magnetic recording medium,
There is a method of topcoating the surface of the magnetic layer.
【００４７】ここで、上記ジルコニア系酸化物材料は、
スパッタリング法又はＣＶＤ法又は蒸着法により成膜さ
れることが好ましい。Here, the zirconia-based oxide material is
The film is preferably formed by a sputtering method, a CVD method, or a vapor deposition method.
【００４８】また、上記保護膜を成膜する前処理とし
て、上記磁性層の表面にプラズマ又はイオンを照射して
表面処理を行うことが望ましい。Further, as a pretreatment for forming the protective film, it is desirable to perform surface treatment by irradiating the surface of the magnetic layer with plasma or ions.
【００４９】更に、この保護膜上には、潤滑剤層を形成
し、必要に応じて防錆剤等を併用しても良い。Further, a lubricant layer may be formed on this protective film, and a rust preventive agent or the like may be used together if necessary.
【００５０】この場合、上記潤滑剤層を構成する潤滑剤
としては、通常この種の磁気記録媒体において使用され
るものであれば良いが、パーフルオロポリエーテルジオ
ール等の低摩擦潤滑剤が好適である。In this case, the lubricant constituting the above-mentioned lubricant layer may be one normally used in this kind of magnetic recording medium, but a low friction lubricant such as perfluoropolyether diol is suitable. is there.
【００５１】上記防錆剤としては、通常この種の磁気記
録媒体において使用されるものであればいずれも使用可
能であり、例えばフェノール類、ナフトール類、キノン
類、窒素原子を含む複素環化合物、酸素原子を含む複素
環化合物、硫黄原子を含む複素環化合物等が挙げられ
る。As the rust preventive, any of those usually used in magnetic recording media of this kind can be used. Examples thereof include phenols, naphthols, quinones, and heterocyclic compounds containing a nitrogen atom. Examples thereof include a heterocyclic compound containing an oxygen atom and a heterocyclic compound containing a sulfur atom.
【００５２】これら防錆剤は、上記潤滑剤と併用して用
いても良いが、非磁性支持体上に磁性層、又は磁性層と
保護膜を形成し、その上に防錆剤層を塗布形成した後、
上記潤滑剤層を形成するというように、２層以上に分け
て形成するとより高い効果が得られる。These rust preventives may be used in combination with the above lubricants, but a magnetic layer or a magnetic layer and a protective film are formed on a non-magnetic support, and a rust preventive agent layer is applied thereon. After forming
Higher effects can be obtained by forming the lubricant layer in two or more layers.
【００５３】また、上記潤滑剤は、上記バックコート層
に内添、或いはトップコートされても良く、更に磁性塗
膜、金属磁性薄膜とバックコート層に内添、或いはトッ
プコートする等、種々の組み合わせても良い。The above-mentioned lubricant may be internally added or top-coated to the above-mentioned back coat layer, and further variously added internally to the magnetic coating film, the metal magnetic thin film and the back-coat layer, or top-coated. May be combined.
【００５４】[0054]
【作用】磁気記録媒体、特にテープ状の磁気記録媒体の
保護膜として少なくともジルコニウム酸化物を含む複数
の材料を用いることにより、ドライブでの繰り返し記録
再生時においても磁性層の摩擦が低減し、良好な走行
性、耐摩耗性、耐久性が得られる。By using a plurality of materials containing at least zirconium oxide as a protective film for a magnetic recording medium, particularly a tape-shaped magnetic recording medium, the friction of the magnetic layer is reduced even during repeated recording / reproduction by a drive, which is excellent. Excellent running performance, wear resistance and durability are obtained.
【００５５】この理由は、次のように考えられる。The reason for this is considered as follows.
【００５６】ジルコニウム酸化物（ジルコニア）の結晶
型は、室温から１４４０℃までは単斜晶系、１４４０℃
から２６００℃までは正方晶系、２６００℃以上は立方
晶系である。このジルコニアに他の材料（特に、アルミ
ニウム酸化物、イットリウム酸化物、マグネシウム酸化
物、カルシウム酸化物、セリウム酸化物、ハフニウム酸
化物等のセラミクス酸化物材料のうちの１種以上が好適
である。）をドーピングすることにより、ジルコニアの
結晶型を変化させることができ、室温で正方晶系と立方
晶系の混合結晶となる。このような正方晶系のジルコニ
アを部分的に安定化したジルコニア（ＰＳジルコニア、
ここではジルコニア系酸化物材料と称する。）は、純粋
なジルコニアと比較して機械的な強度に優れる。従っ
て、このジルコニア系酸化物材料を磁気記録媒体の保護
膜として用いることにより、良好な潤滑性能が得られ
る。The crystal form of zirconium oxide (zirconia) is a monoclinic system from room temperature to 1440 ° C., 1440 ° C.
To 2600 ° C. are tetragonal, and above 2600 ° C. are cubic. Other materials for this zirconia (in particular, one or more kinds of ceramic oxide materials such as aluminum oxide, yttrium oxide, magnesium oxide, calcium oxide, cerium oxide, and hafnium oxide are suitable). The crystal type of zirconia can be changed by doping with, and a mixed crystal of a tetragonal system and a cubic system is formed at room temperature. Zirconia obtained by partially stabilizing such tetragonal zirconia (PS zirconia,
Here, it is referred to as a zirconia-based oxide material. ) Is superior in mechanical strength to pure zirconia. Therefore, by using this zirconia-based oxide material as a protective film of a magnetic recording medium, good lubricating performance can be obtained.
【００５７】また、このジルコニア系酸化物材料の薄膜
は、グレインの粒径が小さく密に分布しているため、１
０ｎｍ以下の膜厚でも非常に硬く、自己潤滑性を有する
ことから、その自身でも摩擦係数がスパッタカーボン膜
よりも小さい。更に、酸化物であるため、保護膜表面の
活性基も多く、保護膜の表面上に潤滑剤を形成した場合
でも、カーボン保護膜に比べ潤滑性能が優れている。In the thin film of this zirconia-based oxide material, the grain size is small and the particles are densely distributed.
Even with a film thickness of 0 nm or less, it is very hard and has a self-lubricating property, so that it itself has a smaller friction coefficient than the sputtered carbon film. Further, since it is an oxide, there are many active groups on the surface of the protective film, and even when a lubricant is formed on the surface of the protective film, the lubricating performance is superior to that of the carbon protective film.
【００５８】従って、このようなジルコニウム酸化物を
主成分とする保護膜を形成することにより、摩擦係数が
低減され、摩耗量が抑えられる。この結果、走行性、耐
摩耗性、耐久性が向上する。Therefore, by forming such a protective film containing zirconium oxide as a main component, the friction coefficient is reduced and the amount of wear is suppressed. As a result, the running property, wear resistance and durability are improved.
【００５９】更に、上記ジルコニウム酸化物に上述のよ
うなセラミクス酸化物材料をドーピングすることによ
り、材料の粒径が一層細かくなり、走行性、耐摩耗性、
耐久性がより向上する。Further, by doping the zirconium oxide with the above-mentioned ceramic oxide material, the particle diameter of the material becomes finer, and the running property, wear resistance, and
The durability is further improved.
【００６０】[0060]
【実施例】以下、本発明の具体的な実施例について説明
するが、本発明はこの実施例に限定されるものではない
ことはいうまでもない。EXAMPLES Hereinafter, specific examples of the present invention will be described, but it goes without saying that the present invention is not limited to these examples.
【００６１】実施例１ 本実施例は、磁性層が金属磁性薄膜からなる金属磁性薄
膜型の磁気テープにおいて、上記磁性層上にイットリウ
ム酸化物を含有するジルコニア系酸化物材料を用いた保
護膜を形成した例である。 Example 1 In this example, in a metal magnetic thin film type magnetic tape having a magnetic layer composed of a metal magnetic thin film, a protective film using a zirconia-based oxide material containing yttrium oxide was formed on the magnetic layer. It is an example of forming.
【００６２】先ず、本実施例の磁気テープの構成につい
て説明する。First, the structure of the magnetic tape of this embodiment will be described.
【００６３】この磁気テープは、図１に示すように、１
０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートからなるベース
フィルム１上に、斜方蒸着法により成膜されたＣｏ−Ｎ
ｉ膜が磁性層２として設けられ、該磁性層２上に保護膜
３及び潤滑剤層４が順次積層形成された構成からなる。This magnetic tape, as shown in FIG.
Co-N film formed by the oblique vapor deposition method on the base film 1 made of polyethylene terephthalate having a thickness of 0 μm.
The i film is provided as the magnetic layer 2, and the protective film 3 and the lubricant layer 4 are sequentially laminated on the magnetic layer 2.
【００６４】上記保護膜３としては、スパッタリング法
により成膜されたジルコニア系酸化物材料が使用され
る。As the protective film 3, a zirconia-based oxide material formed by a sputtering method is used.
【００６５】また、上記潤滑剤層４は、パーフルオロポ
リエーテル系潤滑剤を塗布形成することによって得られ
るものである。The lubricant layer 4 is obtained by coating and forming a perfluoropolyether lubricant.
【００６６】以上のような構成を有する磁気テープは、
以下の手順により作製した。The magnetic tape having the above structure is
It was produced by the following procedure.
【００６７】即ち、上記ベースフェルム上に斜方蒸着法
によりＣｏ−Ｎｉ膜を被着させ、膜厚１００ｎｍの金属
磁性薄膜を形成した後、この金属磁性薄膜表面にスパッ
タリング法により膜厚１０ｎｍのイットリウム酸化物を
５重量％含有させて安定化したジルコニア系酸化物から
なる保護膜を形成した。That is, a Co-Ni film is deposited on the base ferm by the oblique evaporation method to form a metal magnetic thin film having a film thickness of 100 nm, and then yttrium having a film thickness of 10 nm is formed on the surface of the metal magnetic thin film by a sputtering method. A protective film made of a stabilized zirconia-based oxide containing 5% by weight of oxide was formed.
【００６８】このジルコニア系酸化物の成膜に際し、成
膜装置としてはマグネトロンスパッタ装置を使用し、ス
パッタターゲットにはジルコニウム酸化物にイットリウ
ム酸化物を重量分率で５％含有させた材料を用いた。When forming the zirconia-based oxide film, a magnetron sputtering device was used as a film forming device, and a sputtering target was made of zirconium oxide containing 5% yttrium oxide by weight. .
【００６９】また、使用ガスはアルゴンと酸素との混合
ガスとし、基板温度は５０〜８０℃の範囲とした。The gas used was a mixed gas of argon and oxygen, and the substrate temperature was in the range of 50 to 80 ° C.
【００７０】更に、スパッタリングを行う際の前処理と
して、磁性層表面にアルゴンイオンを照射して処理を行
い、磁性層と保護膜との密着性を改善した。Further, as a pretreatment for performing the sputtering, the surface of the magnetic layer was irradiated with argon ions to perform the treatment to improve the adhesion between the magnetic layer and the protective film.
【００７１】次に、このように安定化したジルコニウム
酸化物材料からなる保護膜の表面にパーフルオロポリエ
ーテル系潤滑剤を濃度が０．１〜３ｍＭとなるように塗
布し、これを８ｍｍ幅に裁断してサンプルテープを得
た。Next, a perfluoropolyether lubricant was applied to the surface of the protective film made of the zirconium oxide material thus stabilized to a concentration of 0.1 to 3 mM, and this was applied to a width of 8 mm. It cut and obtained the sample tape.
【００７２】そこで、以上のようにして作製したサンプ
ルテープ、及び上記保護膜のトライボロジー特性を比較
するために、上記実施例１と同様の蒸着法により形成し
た磁性層上にジルコニア系酸化物からなる保護膜のみを
形成した場合（比較例１）、スパッタ法で成膜した膜厚
１０ｎｍのカーボン膜からなる保護膜を形成した場合
（比較例２）、プラズマＣＶＤ法で成膜したカーボン膜
と上記実施例１と同様のパーフルオロポリエーテル系潤
滑剤からなる潤滑剤層を形成した場合（比較例３）につ
いて、摩擦特性、スチル耐久性、シャトル走行性をそれ
ぞれ評価した。Therefore, in order to compare the tribological characteristics of the sample tape manufactured as described above and the above-mentioned protective film, a zirconia-based oxide is formed on the magnetic layer formed by the same vapor deposition method as in the above-mentioned Example 1. When only the protective film is formed (Comparative Example 1), when the protective film made of a carbon film having a film thickness of 10 nm formed by the sputtering method is formed (Comparative Example 2), the carbon film formed by the plasma CVD method and the above When a lubricant layer made of the same perfluoropolyether-based lubricant as in Example 1 was formed (Comparative Example 3), the friction characteristics, the still durability, and the shuttle traveling property were evaluated.
【００７３】摩擦係数は、常温常湿（温度２５℃湿度６
０％）のとき、低温（温度−１０℃）のとき、高温多湿
（温度４０℃湿度８０％）のときについてそれぞれ測定
を行った。The friction coefficient is normal temperature and normal humidity (temperature 25 ° C., humidity 6
0%), low temperature (temperature -10 ° C), high temperature and high humidity (temperature 40 ° C, humidity 80%).
【００７４】スチル耐久性は、ポーズ状態での出力の−
３ｄＢまでの減衰時間により評価した。Still durability is the output of the pause state.
It was evaluated by the decay time up to 3 dB.
【００７５】また、シャトル耐久性は、１回につき２分
間のシャトル走行を行い、出力が３ｄＢ低下するまでの
シャトル回数により評価した。The shuttle durability was evaluated by the number of shuttles until the output decreased by 3 dB after the shuttle traveled for 2 minutes each time.
【００７６】この結果を下記表１に示す。The results are shown in Table 1 below.
【００７７】[0077]
【表１】 [Table 1]
【００７８】表１に示すように、本実施例のように、保
護膜としてジルコニア系酸化物材料を用いた場合と従来
公知のカーボン膜を用いた場合とを比較すると、種々の
条件下でおいてジルコニア系酸化物材料保護膜の摩擦係
数は、カーボン保護膜のそれに対して同等以下の良好な
特性が得られることが判った。As shown in Table 1, comparing the case where a zirconia-based oxide material is used as the protective film and the case where a conventionally known carbon film is used as in this example, under various conditions. As a result, it has been found that the zirconia-based oxide material protective film has good friction coefficient equal to or less than that of the carbon protective film.
【００７９】また、耐摩耗性も上記ジルコニア系酸化物
材料保護膜の方が上記カーボン保護膜よりも優れてお
り、良好なスチル耐久性、シャトル走行性が得られた。The wear resistance of the zirconia-based oxide material protective film was superior to that of the carbon protective film, and good still durability and shuttle running property were obtained.
【００８０】更に、環境加速試験を行ったところ、上記
ジルコニア系酸化物材料保護膜では、耐腐食性も上記カ
ーボン保護膜より改善されていることが判った。Further, an environmental acceleration test was carried out, and it was found that the zirconia-based oxide material protective film was also improved in corrosion resistance as compared with the carbon protective film.
【００８１】これらの結果から、保護膜としてイットリ
ウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材料
を使用することにより、種々の条件下においても摩擦係
数、スチル耐久性、シャトル耐久性が劣化することな
く、非常に良好な結果が得られることが判った。また、
このジルコニア系酸化物材料保護膜は、比較例と比べ
て、スチル耐久性、耐腐食性が向上していることが判っ
た。From these results, by using the zirconia-based oxide material containing 5 wt% of yttrium oxide as the protective film, the friction coefficient, the still durability and the shuttle durability are deteriorated even under various conditions. It was found that very good results could be obtained without Also,
It was found that the zirconia-based oxide material protective film had improved still durability and corrosion resistance as compared with the comparative example.
【００８２】また、測定終了後、上記実施例１及び比較
例１〜４で得られた磁気テープの磁気特性を評価した結
果、残留磁束密度、保磁力等のパラメータは測定前と比
較して殆ど変化していないことが判った。After the measurement, the magnetic characteristics of the magnetic tapes obtained in Example 1 and Comparative Examples 1 to 4 were evaluated. As a result, parameters such as residual magnetic flux density and coercive force were almost the same as those before the measurement. It turns out that it hasn't changed.
【００８３】なお、本実施例では、保護膜として上記イ
ットリウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化
物材料を使用し、潤滑剤としてパーフルオロポリエーテ
ル系潤滑剤を使用した例を示したが、上記潤滑剤以外の
潤滑剤材料を使用したり、又は潤滑剤に他の材料（例え
ば、防錆剤等）が更に混合されたりした場合であって
も、本実施例と同様の効果や磁気特性が得られた。In this example, the zirconia-based oxide material containing 5 wt% of the yttrium oxide was used as the protective film, and the perfluoropolyether-based lubricant was used as the lubricant. Even if a lubricant material other than the above-mentioned lubricant is used or the lubricant is further mixed with another material (for example, an anticorrosive agent), the same effects and magnetic properties as those of the present embodiment are obtained. The characteristics were obtained.
【００８４】また、薄膜硬度計を用いて、薄膜の硬度を
評価した結果、マイクロビッカース硬度の値（平均値）
として８５０が得られた。Further, as a result of evaluating the hardness of the thin film using a thin film hardness meter, the value of micro Vickers hardness (average value)
850 was obtained.
【００８５】実施例２ 本実施例は、磁性層が金属磁性薄膜からなる金属磁性薄
膜型の磁気テープにおいて、上記磁性層上にセリウム酸
化物を含有するジルコニア系酸化物材料を用いた保護膜
を形成した例である。 Example 2 In this example, in a metal magnetic thin film type magnetic tape in which the magnetic layer is a metal magnetic thin film, a protective film using a zirconia-based oxide material containing cerium oxide was formed on the magnetic layer. It is an example of forming.
【００８６】なお、本実施例の磁気テープは、上記実施
例１の磁気テープとその基本構成及び製造方法を同様と
するものであり、ここでは詳説を省略した。The magnetic tape of the present embodiment has the same basic structure and manufacturing method as the magnetic tape of the above-mentioned Embodiment 1, and detailed description thereof is omitted here.
【００８７】この磁気テープは、図１に示すように、１
０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートからなるベース
フィルム１上に、斜方蒸着法により成膜されたＣｏ−Ｎ
ｉ膜が磁性層２として設けられ、該磁性層２上にスパッ
タリング法により成膜されたジルコニア系酸化物材料か
らなる保護膜３及びパーフルオロポリエーテル系潤滑剤
の塗膜よりなる潤滑剤層４が順次積層形成された構成を
有する。This magnetic tape, as shown in FIG.
Co-N film formed by the oblique vapor deposition method on the base film 1 made of polyethylene terephthalate having a thickness of 0 μm.
An i film is provided as the magnetic layer 2, a protective film 3 made of a zirconia-based oxide material formed on the magnetic layer 2 by a sputtering method, and a lubricant layer 4 made of a coating film of a perfluoropolyether-based lubricant. Have a configuration in which they are sequentially laminated.
【００８８】このような構成を有する磁気テープは、上
記実施例１において保護膜として使用したイットリウム
酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材料を、
セリウム酸化物を１０重量％含有したジルコニア系酸化
物材料に変えて、その他は実施例１と同様の方法により
テープ化を行うことにより作製した。The magnetic tape having the above-mentioned structure comprises the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of yttrium oxide used as the protective film in Example 1 above.
A zirconia-based oxide material containing 10% by weight of cerium oxide was used, and the others were formed into a tape by the same method as in Example 1.
【００８９】なお、上記セリウム酸化物を１０重量％含
有したジルコニア系酸化物材料からなる保護膜を成膜す
るためには、使用するスパッタターゲットとして、セリ
ウム酸化物を１０重量％含有したジルコニア系酸化物材
料を使用すれば良い。In order to form a protective film made of a zirconia-based oxide material containing 10% by weight of the cerium oxide, a zirconia-based oxide containing 10% by weight of cerium oxide was used as a sputtering target. Material materials may be used.
【００９０】そこで、以上のようにして作製したサンプ
ルテープについて、上記実施例１の場合と同様にして摩
擦特性、スチル耐久性、シャトル走行性をそれぞれ評価
した。Therefore, with respect to the sample tape manufactured as described above, the friction characteristics, the still durability and the shuttle running property were evaluated in the same manner as in the case of Example 1 above.
【００９１】この結果を上記表１に併せて示す。The results are also shown in Table 1 above.
【００９２】表１に示すように、本実施例のように、保
護膜としてジルコニア系酸化物材料を用いた場合と従来
公知のカーボン膜を用いた場合とを比較すると、種々の
条件下でおいてジルコニア系酸化物材料保護膜の摩擦係
数は、カーボン保護膜のそれに対して同等以下の良好な
特性が得られることが判った。As shown in Table 1, comparing the case where a zirconia-based oxide material is used as the protective film and the case where a conventionally known carbon film is used as in this example, under various conditions. As a result, it has been found that the zirconia-based oxide material protective film has good friction coefficient equal to or less than that of the carbon protective film.
【００９３】また、耐摩耗性も上記ジルコニア系酸化物
材料保護膜の方が上記カーボン保護膜よりも優れてお
り、良好なスチル耐久性、シャトル走行性が得られた。The wear resistance of the zirconia-based oxide material protective film was superior to that of the carbon protective film, and good still durability and shuttle running property were obtained.
【００９４】更に、環境加速試験を行ったところ、上記
ジルコニア系酸化物材料保護膜では、耐腐食性も上記カ
ーボン保護膜より改善されていることが判った。Further, an environmental acceleration test was carried out, and it was found that the zirconia-based oxide material protective film was also improved in corrosion resistance as compared with the carbon protective film.
【００９５】これらの結果から、保護膜としてセリウム
酸化物を１０重量％含有したジルコニア系酸化物材料を
使用することにより、種々の条件下においても摩擦係
数、スチル耐久性、シャトル耐久性が劣化することな
く、非常に良好な結果が得られることが判った。また、
このジルコニア系酸化物材料保護膜は、比較例と比べ
て、スチル耐久性、耐腐食性が向上していることが判っ
た。From these results, by using a zirconia-based oxide material containing 10% by weight of cerium oxide as the protective film, the friction coefficient, the still durability and the shuttle durability are deteriorated even under various conditions. It was found that very good results could be obtained without Also,
It was found that the zirconia-based oxide material protective film had improved still durability and corrosion resistance as compared with the comparative example.
【００９６】また、測定終了後、上記サンプルテープの
磁気特性を評価した結果、残留磁束密度、保磁力等のパ
ラメータは測定前と比較して殆ど変化していないことが
判った。After the measurement, the magnetic characteristics of the sample tape were evaluated, and it was found that the parameters such as the residual magnetic flux density and the coercive force hardly changed as compared with those before the measurement.
【００９７】なお、本実施例では、保護膜として上記セ
リウム酸化物を１０重量％含有したジルコニア系酸化物
材料を使用し、潤滑剤としてパーフルオロポリエーテル
系潤滑剤を使用した例を示したが、上記潤滑剤以外の潤
滑剤材料を使用したり、又は潤滑剤に他の材料（例え
ば、防錆剤等）が更に混合されたりした場合であって
も、本実施例と同様の効果や磁気特性が得られた。In this example, the zirconia-based oxide material containing 10% by weight of the cerium oxide was used as the protective film, and the perfluoropolyether-based lubricant was used as the lubricant. Even if a lubricant material other than the above-mentioned lubricant is used or the lubricant is further mixed with another material (for example, an anticorrosive agent), the same effects and magnetic properties as those of the present embodiment are obtained. The characteristics were obtained.
【００９８】実施例３ 本実施例は、磁性層が金属磁性薄膜からなる金属磁性薄
膜型の磁気テープにおいて、上記磁性層上にマグネシウ
ム酸化物を含有するジルコニア系酸化物材料を用いた保
護膜を形成した例である。 Example 3 In this example, in a metal magnetic thin film type magnetic tape having a magnetic layer composed of a metal magnetic thin film, a protective film using a zirconia-based oxide material containing magnesium oxide was formed on the magnetic layer. It is an example of forming.
【００９９】なお、本実施例の磁気テープは、上記実施
例１の磁気テープとその基本構成及び製造方法を同様と
するものであり、ここでは詳説を省略した。The magnetic tape of this embodiment has the same basic structure and manufacturing method as those of the magnetic tape of Embodiment 1 described above, and detailed description thereof is omitted here.
【０１００】この磁気テープは、図１に示すように、１
０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートからなるベース
フィルム１上に、斜方蒸着法により成膜されたＣｏ−Ｎ
ｉ膜が磁性層２として設けられ、該磁性層２上にスパッ
タリング法により成膜されたジルコニア系酸化物材料か
らなる保護膜３及びパーフルオロポリエーテル系潤滑剤
の塗膜よりなる潤滑剤層４が順次積層形成された構成を
有する。This magnetic tape, as shown in FIG.
Co-N film formed by the oblique vapor deposition method on the base film 1 made of polyethylene terephthalate having a thickness of 0 μm.
An i film is provided as the magnetic layer 2, a protective film 3 made of a zirconia-based oxide material formed on the magnetic layer 2 by a sputtering method, and a lubricant layer 4 made of a coating film of a perfluoropolyether-based lubricant. Have a configuration in which they are sequentially laminated.
【０１０１】このような構成を有する磁気テープは、上
記実施例１において保護膜として使用したイットリウム
酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材料を、
マグネシウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸
化物材料に変えて、その他は実施例１と同様の方法によ
りテープ化を行うことにより作製した。The magnetic tape having the above-mentioned structure was obtained by using the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of yttrium oxide, which was used as the protective film in Example 1 above.
A zirconia-based oxide material containing 5% by weight of magnesium oxide was used, and the rest was formed into a tape by the same method as in Example 1.
【０１０２】なお、上記マグネシウム酸化物を５重量％
含有したジルコニア系酸化物材料からなる保護膜を成膜
するためには、使用するスパッタターゲットとして、マ
グネシウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化
物材料を使用すれば良い。The above magnesium oxide was added in an amount of 5% by weight.
In order to form a protective film made of the contained zirconia-based oxide material, a zirconia-based oxide material containing 5% by weight of magnesium oxide may be used as a sputtering target to be used.
【０１０３】そこで、以上のようにして作製したサンプ
ルテープについて、上記実施例１の場合と同様にして摩
擦特性、スチル耐久性、シャトル走行性をそれぞれ評価
した。Therefore, with respect to the sample tapes manufactured as described above, the frictional characteristics, the still durability and the shuttle traveling property were evaluated in the same manner as in the case of the above-mentioned Example 1.
【０１０４】この結果を上記表１に併せて示す。The results are also shown in Table 1 above.
【０１０５】表１に示すように、本実施例のように、保
護膜としてジルコニア系酸化物材料を用いた場合と従来
公知のカーボン膜を用いた場合とを比較すると、種々の
条件下でおいてジルコニア系酸化物材料保護膜の摩擦係
数は、カーボン保護膜のそれに対して同等以下の良好な
特性が得られることが判った。As shown in Table 1, comparing the case where a zirconia-based oxide material is used as the protective film and the case where a conventionally known carbon film is used as in this example, under various conditions. As a result, it has been found that the zirconia-based oxide material protective film has good friction coefficient equal to or less than that of the carbon protective film.
【０１０６】また、耐摩耗性も上記ジルコニア系酸化物
材料保護膜の方が上記カーボン保護膜よりも優れてお
り、良好なスチル耐久性、シャトル走行性が得られた。The wear resistance of the zirconia-based oxide material protective film was superior to that of the carbon protective film, and good still durability and shuttle running property were obtained.
【０１０７】更に、環境加速試験を行ったところ、上記
ジルコニア系酸化物材料保護膜では、耐腐食性も上記カ
ーボン保護膜より改善されていることが判った。Further, an environmental accelerated test revealed that the zirconia-based oxide material protective film had a better corrosion resistance than the carbon protective film.
【０１０８】これらの結果から、保護膜としてマグネシ
ウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材料
を使用することにより、種々の条件下においても摩擦係
数、スチル耐久性、シャトル耐久性が劣化することな
く、非常に良好な結果が得られることが判った。また、
このジルコニア系酸化物材料保護膜は、比較例と比べ
て、スチル耐久性、耐腐食性が向上していることが判っ
た。From these results, by using the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of magnesium oxide as the protective film, the friction coefficient, the still durability and the shuttle durability are deteriorated even under various conditions. It was found that very good results could be obtained without Also,
It was found that the zirconia-based oxide material protective film had improved still durability and corrosion resistance as compared with the comparative example.
【０１０９】また、測定終了後、上記サンプルテープの
磁気特性を評価した結果、残留磁束密度、保磁力等のパ
ラメータは測定前と比較して殆ど変化していないことが
判った。After the measurement, the magnetic characteristics of the sample tape were evaluated, and it was found that the parameters such as the residual magnetic flux density and the coercive force hardly changed as compared with those before the measurement.
【０１１０】なお、本実施例では、保護膜として上記マ
グネシウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化
物材料を使用し、潤滑剤としてパーフルオロポリエーテ
ル系潤滑剤を使用した例を示したが、上記潤滑剤以外の
潤滑剤材料を使用したり、又は潤滑剤に他の材料（例え
ば、防錆剤等）が更に混合されたりした場合であって
も、本実施例と同様の効果や磁気特性が得られた。In this example, the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of the above magnesium oxide was used as the protective film, and the perfluoropolyether-based lubricant was used as the lubricant. Even if a lubricant material other than the above-mentioned lubricant is used or the lubricant is further mixed with another material (for example, an anticorrosive agent), the same effects and magnetic properties as those of the present embodiment are obtained. The characteristics were obtained.
【０１１１】実施例４ 本実施例は、磁性層が金属磁性薄膜からなる金属磁性薄
膜型の磁気テープにおいて、上記磁性層上にイットリウ
ム酸化物とアルミニウム酸化物を含有するジルコニア系
酸化物材料を用いた保護膜を形成した例である。 Example 4 In this example, a metal magnetic thin film type magnetic tape having a magnetic layer made of a metal magnetic thin film was used, in which a zirconia-based oxide material containing yttrium oxide and aluminum oxide was used on the magnetic layer. This is an example of forming a protective film.
【０１１２】なお、本実施例の磁気テープは、上記実施
例１の磁気テープとその基本構成及び製造方法を同様と
するものであり、ここでは詳説を省略した。The magnetic tape of the present embodiment has the same basic structure and manufacturing method as the magnetic tape of the above-mentioned Embodiment 1, and detailed description thereof is omitted here.
【０１１３】この磁気テープは、図１に示すように、１
０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートからなるベース
フィルム１上に、斜方蒸着法により成膜されたＣｏ−Ｎ
ｉ膜が磁性層２として設けられ、該磁性層２上にスパッ
タリング法により成膜されたジルコニア系酸化物材料か
らなる保護膜３及びパーフルオロポリエーテル系潤滑剤
の塗膜よりなる潤滑剤層４が順次積層形成された構成を
有する。This magnetic tape, as shown in FIG.
Co-N film formed by the oblique vapor deposition method on the base film 1 made of polyethylene terephthalate having a thickness of 0 μm.
An i film is provided as the magnetic layer 2, a protective film 3 made of a zirconia-based oxide material formed on the magnetic layer 2 by a sputtering method, and a lubricant layer 4 made of a coating film of a perfluoropolyether-based lubricant. Have a configuration in which they are sequentially laminated.
【０１１４】このような構成を有する磁気テープは、上
記実施例１において保護膜として使用したイットリウム
酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材料を、
イットリウム酸化物を５重量％及びアルミニウム酸化物
を１５重量％含有したジルコニア系酸化物材料に変え
て、その他は実施例１と同様の方法によりテープ化を行
うことにより作製した。The magnetic tape having the above-mentioned structure comprises the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of yttrium oxide, which is used as the protective film in Example 1 above.
A zirconia-based oxide material containing 5% by weight of yttrium oxide and 15% by weight of aluminum oxide was used, and otherwise the tape was formed by the same method as in Example 1.
【０１１５】なお、上記イットリウム酸化物を５重量％
及びアルミニウム酸化物を１５重量％含有したジルコニ
ア系酸化物材料からなる保護膜を成膜するためには、使
用するスパッタターゲットとして、イットリウム酸化物
を５重量％及びアルミニウム酸化物を１５重量％含有し
たジルコニア系酸化物材料を使用すれば良い。The above-mentioned yttrium oxide was added in an amount of 5% by weight.
In order to form a protective film made of a zirconia-based oxide material containing 15% by weight and aluminum oxide, 5% by weight of yttrium oxide and 15% by weight of aluminum oxide were used as a sputtering target to be used. A zirconia-based oxide material may be used.
【０１１６】そこで、以上のようにして作製したサンプ
ルテープについて、上記実施例１の場合と同様にして摩
擦特性、スチル耐久性、シャトル走行性をそれぞれ評価
した。Therefore, with respect to the sample tape manufactured as described above, the friction characteristics, the still durability and the shuttle running property were evaluated in the same manner as in the case of Example 1 above.
【０１１７】この結果を上記表１に併せて示す。The results are also shown in Table 1 above.
【０１１８】表１に示すように、本実施例のように、保
護膜としてジルコニア系酸化物材料を用いた場合と従来
公知のカーボン膜を用いた場合とを比較すると、種々の
条件下でおいてジルコニア系酸化物材料保護膜の摩擦係
数は、カーボン保護膜のそれに対して同等以下の良好な
特性が得られることが判った。As shown in Table 1, comparing the case of using the zirconia-based oxide material as the protective film and the case of using the conventionally known carbon film as in the present example, under various conditions. As a result, it has been found that the zirconia-based oxide material protective film has good friction coefficient equal to or less than that of the carbon protective film.
【０１１９】また、耐摩耗性も上記ジルコニア系酸化物
材料保護膜の方が上記カーボン保護膜よりも優れてお
り、良好なスチル耐久性、シャトル走行性が得られた。Further, the wear resistance of the zirconia-based oxide material protective film was superior to that of the carbon protective film, and good still durability and shuttle running property were obtained.
【０１２０】更に、環境加速試験を行ったところ、上記
ジルコニア系酸化物材料保護膜では、耐腐食性も上記カ
ーボン保護膜より改善されていることが判った。Further, an environmental acceleration test was conducted, and it was found that the zirconia-based oxide material protective film also had improved corrosion resistance as compared with the carbon protective film.
【０１２１】これらの結果から、保護膜としてイットリ
ウム酸化物を５重量％及びアルミニウム酸化物を１５重
量％含有したジルコニア系酸化物材料を使用することに
より、種々の条件下においても摩擦係数、スチル耐久
性、シャトル耐久性が劣化することなく、非常に良好な
結果が得られることが判った。また、このジルコニア系
酸化物材料保護膜は、比較例と比べて、スチル耐久性、
耐腐食性が向上していることが判った。From these results, by using the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of yttrium oxide and 15% by weight of aluminum oxide as the protective film, the friction coefficient and the still durability were improved under various conditions. It was found that very good results can be obtained without deteriorating the durability and shuttle durability. Further, this zirconia-based oxide material protective film has a still durability,
It was found that the corrosion resistance was improved.
【０１２２】また、測定終了後、上記サンプルテープの
磁気特性を評価した結果、残留磁束密度、保磁力等のパ
ラメータは測定前と比較して殆ど変化していないことが
判った。After the measurement, the magnetic characteristics of the sample tape were evaluated, and it was found that the parameters such as the residual magnetic flux density and the coercive force hardly changed as compared with those before the measurement.
【０１２３】なお、本実施例では、保護膜として上記イ
ットリウム酸化物を５重量％及びアルミニウム酸化物を
１５重量％含有したジルコニア系酸化物材料を使用し、
潤滑剤としてパーフルオロポリエーテル系潤滑剤を使用
した例を示したが、上記潤滑剤以外の潤滑剤材料を使用
したり、又は潤滑剤に他の材料（例えば、防錆剤等）が
更に混合されたりした場合であっても、本実施例と同様
の効果や磁気特性が得られた。In this example, a zirconia-based oxide material containing 5% by weight of the above yttrium oxide and 15% by weight of aluminum oxide was used as the protective film.
An example of using a perfluoropolyether lubricant as the lubricant has been shown, but a lubricant material other than the above lubricant may be used, or another material (for example, a rust preventive agent) may be further mixed with the lubricant. Even in the case of such a case, the same effects and magnetic characteristics as those of this example were obtained.
【０１２４】実施例５ 本実施例は、磁性層が金属磁性薄膜からなる金属磁性薄
膜型の磁気テープにおいて、上記磁性層上にアルミニウ
ム酸化物を含有するジルコニア系酸化物材料を用いた保
護膜を形成した例である。 Example 5 This example is a metal magnetic thin film type magnetic tape in which the magnetic layer is a metal magnetic thin film, and a protective film using a zirconia-based oxide material containing aluminum oxide is provided on the magnetic layer. It is an example of forming.
【０１２５】なお、本実施例の磁気テープは、上記実施
例１の磁気テープとその基本構成及び製造方法を同様と
するものであり、ここでは詳説を省略した。The magnetic tape of this embodiment has the same basic structure and manufacturing method as those of the magnetic tape of Embodiment 1 described above, and detailed description thereof is omitted here.
【０１２６】この磁気テープは、図１に示すように、１
０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートからなるベース
フィルム１上に、斜方蒸着法により成膜されたＣｏ−Ｎ
ｉ膜が磁性層２として設けられ、該磁性層２上にスパッ
タリング法により成膜されたジルコニア系酸化物材料か
らなる保護膜３及びパーフルオロポリエーテル系潤滑剤
の塗膜よりなる潤滑剤層４が順次積層形成された構成を
有する。This magnetic tape, as shown in FIG.
Co-N film formed by the oblique vapor deposition method on the base film 1 made of polyethylene terephthalate having a thickness of 0 μm.
An i film is provided as the magnetic layer 2, a protective film 3 made of a zirconia-based oxide material formed on the magnetic layer 2 by a sputtering method, and a lubricant layer 4 made of a coating film of a perfluoropolyether-based lubricant. Have a configuration in which they are sequentially laminated.
【０１２７】このような構成を有する磁気テープは、上
記実施例１において保護膜として使用したイットリウム
酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材料を、
アルミニウム酸化物を１５重量％含有したジルコニア系
酸化物材料に変えて、その他は実施例１と同様の方法に
よりテープ化を行うことにより作製した。The magnetic tape having the above-mentioned structure comprises the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of yttrium oxide, which is used as the protective film in Example 1 above.
A zirconia-based oxide material containing 15% by weight of aluminum oxide was used, and the others were formed into a tape by the same method as in Example 1.
【０１２８】なお、上記アルミニウム酸化物を１５重量
％含有したジルコニア系酸化物材料からなる保護膜を成
膜するためには、使用するスパッタターゲットとして、
アルミニウム酸化物を１５重量％含有したジルコニア系
酸化物材料を使用すれば良い。In order to form a protective film made of a zirconia-based oxide material containing 15% by weight of the above aluminum oxide, the sputtering target used is
A zirconia-based oxide material containing 15% by weight of aluminum oxide may be used.
【０１２９】そこで、以上のようにして作製したサンプ
ルテープについて、上記実施例１の場合と同様にして摩
擦特性、スチル耐久性、シャトル走行性をそれぞれ評価
した。Therefore, with respect to the sample tape manufactured as described above, the friction characteristics, the still durability and the shuttle running property were evaluated in the same manner as in the case of Example 1 above.
【０１３０】この結果、本実施例のように、保護膜とし
てジルコニア系酸化物材料を用いた場合と従来公知のカ
ーボン膜を用いた場合とを比較すると、種々の条件下で
おいてジルコニア系酸化物材料保護膜の摩擦係数は、カ
ーボン保護膜のそれに対して同等以下の良好な特性が得
られることが判った。As a result, comparing the case of using the zirconia-based oxide material as the protective film and the case of using the conventionally known carbon film as in the present example, the zirconia-based oxidation was performed under various conditions. It has been found that the friction coefficient of the material protective film is as good as or lower than that of the carbon protective film.
【０１３１】また、耐摩耗性も上記ジルコニア系酸化物
材料保護膜の方が上記カーボン保護膜よりも優れてお
り、良好なスチル耐久性、シャトル走行性が得られた。Further, the wear resistance of the zirconia-based oxide material protective film was superior to that of the carbon protective film, and good still durability and shuttle running property were obtained.
【０１３２】更に、環境加速試験を行ったところ、上記
ジルコニア系酸化物材料保護膜では、耐腐食性も上記カ
ーボン保護膜より改善されていることが判った。Further, an environment acceleration test was conducted, and it was found that the above-mentioned zirconia-based oxide material protective film was also improved in corrosion resistance as compared with the above-mentioned carbon protective film.
【０１３３】これらの結果から、保護膜としてアルミニ
ウム酸化物を１５重量％含有したジルコニア系酸化物材
料を使用することにより、種々の条件下においても摩擦
係数、スチル耐久性、シャトル耐久性が劣化することな
く、非常に良好な結果が得られることが判った。また、
このジルコニア系酸化物材料保護膜は、比較例と比べ
て、スチル耐久性、耐腐食性が向上していることが判っ
た。From these results, by using the zirconia-based oxide material containing 15% by weight of aluminum oxide as the protective film, the friction coefficient, the still durability and the shuttle durability are deteriorated even under various conditions. It was found that very good results could be obtained without Also,
It was found that the zirconia-based oxide material protective film had improved still durability and corrosion resistance as compared with the comparative example.
【０１３４】また、測定終了後、上記サンプルテープの
磁気特性を評価した結果、残留磁束密度、保磁力等のパ
ラメータは測定前と比較して殆ど変化していないことが
判った。After the measurement, the magnetic characteristics of the sample tape were evaluated, and it was found that the parameters such as the residual magnetic flux density and the coercive force hardly changed as compared with those before the measurement.
【０１３５】なお、本実施例では、保護膜として上記ア
ルミニウム酸化物を１５重量％含有したジルコニア系酸
化物材料を使用し、潤滑剤としてパーフルオロポリエー
テル系潤滑剤を使用した例を示したが、上記潤滑剤以外
の潤滑剤材料を使用したり、又は潤滑剤に他の材料（例
えば、防錆剤等）が更に混合されたりした場合であって
も、本実施例と同様の効果や磁気特性が得られた。In this example, a zirconia-based oxide material containing 15% by weight of the above aluminum oxide was used as the protective film, and a perfluoropolyether-based lubricant was used as the lubricant. Even if a lubricant material other than the above-mentioned lubricant is used or the lubricant is further mixed with another material (for example, an anticorrosive agent), the same effects and magnetic properties as those of the present embodiment are obtained. The characteristics were obtained.
【０１３６】実施例６ 本実施例は、磁性層が金属磁性薄膜からなる金属磁性薄
膜型の磁気テープにおいて、上記磁性層上にカルシウム
酸化物を含有するジルコニア系酸化物材料を用いた保護
膜を形成した例である。 Example 6 In this example, in a metal magnetic thin film type magnetic tape having a magnetic layer composed of a metal magnetic thin film, a protective film using a zirconia-based oxide material containing calcium oxide was formed on the magnetic layer. It is an example of forming.
【０１３７】なお、本実施例の磁気テープは、上記実施
例１の磁気テープとその基本構成及び製造方法を同様と
するものであり、ここでは詳説を省略した。The magnetic tape of the present embodiment has the same basic structure and manufacturing method as the magnetic tape of the above-mentioned Embodiment 1, and detailed description thereof is omitted here.
【０１３８】この磁気テープは、図１に示すように、１
０μｍ厚のポリエチレンテレフタレートからなるベース
フィルム１上に、斜方蒸着法により成膜されたＣｏ−Ｎ
ｉ膜が磁性層２として設けられ、該磁性層２上にスパッ
タリング法により成膜されたジルコニア系酸化物材料か
らなる保護膜３及びパーフルオロポリエーテル系潤滑剤
の塗膜よりなる潤滑剤層４が順次積層形成された構成を
有する。This magnetic tape, as shown in FIG.
Co-N film formed by the oblique vapor deposition method on the base film 1 made of polyethylene terephthalate having a thickness of 0 μm.
An i film is provided as the magnetic layer 2, a protective film 3 made of a zirconia-based oxide material formed on the magnetic layer 2 by a sputtering method, and a lubricant layer 4 made of a coating film of a perfluoropolyether-based lubricant. Have a configuration in which they are sequentially laminated.
【０１３９】このような構成を有する磁気テープは、上
記実施例１において保護膜として使用したイットリウム
酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材料を、
カルシウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化
物材料に変えて、その他は実施例１と同様の方法により
テープ化を行うことにより作製した。The magnetic tape having the above-mentioned structure comprises the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of yttrium oxide, which is used as the protective film in Example 1 above.
It was produced by changing to a zirconia-based oxide material containing 5% by weight of calcium oxide, and forming a tape by the same method as in Example 1 except for the above.
【０１４０】なお、上記カルシウム酸化物を５重量％含
有したジルコニア系酸化物材料からなる保護膜を成膜す
るためには、使用するスパッタターゲットとして、カル
シウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材
料を使用すれば良い。In order to form a protective film made of a zirconia-based oxide material containing 5% by weight of calcium oxide, a zirconia-based oxide containing 5% by weight of calcium oxide was used as a sputtering target. Material materials may be used.
【０１４１】そこで、以上のようにして作製したサンプ
ルテープについて、上記実施例１の場合と同様にして摩
擦特性、スチル耐久性、シャトル走行性をそれぞれ評価
した。Therefore, with respect to the sample tape manufactured as described above, the friction characteristics, the still durability, and the shuttle running property were evaluated in the same manner as in Example 1 above.
【０１４２】この結果、本実施例のように、保護膜とし
てジルコニア系酸化物材料を用いた場合と従来公知のカ
ーボン膜を用いた場合とを比較すると、種々の条件下で
おいてジルコニア系酸化物材料保護膜の摩擦係数は、カ
ーボン保護膜のそれに対して同等以下の良好な特性が得
られることが判った。As a result, comparing the case of using the zirconia-based oxide material as the protective film and the case of using the conventionally known carbon film as in this example, the zirconia-based oxidation was performed under various conditions. It has been found that the friction coefficient of the material protective film is as good as or lower than that of the carbon protective film.
【０１４３】また、耐摩耗性も上記ジルコニア系酸化物
材料保護膜の方が上記カーボン保護膜よりも優れてお
り、良好なスチル耐久性、シャトル走行性が得られた。The wear resistance of the zirconia-based oxide material protective film was superior to that of the carbon protective film, and good still durability and shuttle running property were obtained.
【０１４４】更に、環境加速試験を行ったところ、上記
ジルコニア系酸化物材料保護膜では、耐腐食性も上記カ
ーボン保護膜より改善されていることが判った。Further, an environment acceleration test was conducted, and it was found that the above-mentioned zirconia-based oxide material protective film was also improved in corrosion resistance as compared with the above-mentioned carbon protective film.
【０１４５】これらの結果から、保護膜としてカルシウ
ム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物材料を
使用することにより、種々の条件下においても摩擦係
数、スチル耐久性、シャトル耐久性が劣化することな
く、非常に良好な結果が得られることが判った。また、
このジルコニア系酸化物材料保護膜は、比較例と比べ
て、スチル耐久性、耐腐食性が向上していることが判っ
た。From these results, by using the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of calcium oxide as the protective film, the friction coefficient, the still durability and the shuttle durability are deteriorated under various conditions. It was found that very good results could be obtained without Also,
It was found that the zirconia-based oxide material protective film had improved still durability and corrosion resistance as compared with the comparative example.
【０１４６】また、測定終了後、上記サンプルテープの
磁気特性を評価した結果、残留磁束密度、保磁力等のパ
ラメータは測定前と比較して殆ど変化していないことが
判った。After the measurement, the magnetic characteristics of the sample tape were evaluated, and it was found that the parameters such as the residual magnetic flux density and the coercive force hardly changed as compared with those before the measurement.
【０１４７】なお、本実施例では、保護膜として上記カ
ルシウム酸化物を５重量％含有したジルコニア系酸化物
材料を使用し、潤滑剤としてパーフルオロポリエーテル
系潤滑剤を使用した例を示したが、上記潤滑剤以外の潤
滑剤材料を使用したり、又は潤滑剤に他の材料（例え
ば、防錆剤等）が更に混合されたりした場合であって
も、本実施例と同様の効果や磁気特性が得られた。In this example, a zirconia-based oxide material containing 5% by weight of the above calcium oxide was used as the protective film, and a perfluoropolyether-based lubricant was used as the lubricant. Even if a lubricant material other than the above-mentioned lubricant is used or the lubricant is further mixed with another material (for example, an anticorrosive agent), the same effects and magnetic properties as those of the present embodiment are obtained. The characteristics were obtained.
【０１４８】実施例７〜１１ 本実施例は、磁性層が金属磁性薄膜からなる金属磁性薄
膜型の磁気テープにおいて、上記磁性層上にイットリウ
ム酸化物、アルミニウム酸化物、マグネシウム酸化物、
セリウム酸化物、ハフニウム酸化物、カルシウム酸化物
のうちの少なくとも１種を含有するジルコニア系酸化物
材料を用いた保護膜を形成した例である。 Examples 7 to 11 In Examples 7 to 11, a magnetic tape of a metal magnetic thin film type in which a magnetic layer is composed of a metal magnetic thin film is used, and yttrium oxide, aluminum oxide, magnesium oxide,
This is an example of forming a protective film using a zirconia-based oxide material containing at least one of cerium oxide, hafnium oxide, and calcium oxide.
【０１４９】なお、本実施例の磁気テープは、上記実施
例１の磁気テープとその基本構成及び製造方法を同様と
するものであり、ここでは説明を省略した。The magnetic tape of the present embodiment has the same basic structure and manufacturing method as the magnetic tape of the above-mentioned Embodiment 1, and the description thereof is omitted here.
【０１５０】本実施例の磁気テープは、上記実施例１に
おいて保護膜として使用したイットリウム酸化物を５重
量％含有したジルコニア系酸化物材料を、下記に示すセ
ラミクス酸化物材料をそれぞれ含有したジルコニア系酸
化物材料に変えて、その他は実施例１と同様の方法によ
りテープ化を行うことにより作製した。The magnetic tape of this example was prepared by using the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of the yttrium oxide used as the protective film in the above-described Example 1 and the zirconia-based oxide material containing the ceramic oxide material shown below. Other than the oxide material, a tape was formed by the same method as in Example 1 except for the above.
【０１５１】＜保護膜の構成材料＞ 実施例７ ：ジルコニア＋ハフニウム酸化物５重量％ 実施例８ ：ジルコニア＋セリウム酸化物５重量％＋マ
グネシウム酸化物５重量％ 実施例９ ：ジルコニア＋セリウム酸化物５重量％＋ア
ルミニウム酸化物５重量％ 実施例１０：ジルコニア＋イットリウム酸化物５重量％
＋マグネシウム酸化物５重量％ 実施例１１：ジルコニア＋イットリウム酸化物５重量％
＋カルシウム酸化物５重量％ そこで、以上のようにして作製したサンプルテープにつ
いて、上記実施例１の場合と同様にして摩擦特性、スチ
ル耐久性、シャトル走行性をそれぞれ評価した。<Constituent Material of Protective Film> Example 7: Zirconia + hafnium oxide 5% by weight Example 8: Zirconia + cerium oxide 5% by weight + magnesium oxide 5% by weight Example 9: Zirconia + cerium oxide 5 wt% + aluminum oxide 5 wt% Example 10: Zirconia + yttrium oxide 5 wt%
+ Magnesium oxide 5% by weight Example 11: Zirconia + Yttrium oxide 5% by weight
+ 5% by weight of calcium oxide Therefore, the sample tape manufactured as described above was evaluated for frictional properties, still durability, and shuttle running property in the same manner as in Example 1 above.
【０１５２】この結果を下記表２に示す。The results are shown in Table 2 below.
【０１５３】[0153]
【表２】 [Table 2]
【０１５４】表２に示すように、本実施例のように、保
護膜としてセラミクス酸化物材料を含有したジルコニア
系酸化物材料を用いた場合では、種々の条件下において
摩擦係数が低減され、良好なスチル耐久性、シャトル走
行性が得られた。As shown in Table 2, when a zirconia-based oxide material containing a ceramics oxide material was used as the protective film as in this example, the friction coefficient was reduced under various conditions, and good results were obtained. Excellent still durability and shuttle runnability were obtained.
【０１５５】また、環境加速試験を行ったところ、上記
ジルコニア系酸化物材料保護膜では、良好な耐腐食性が
得られることが判った。Further, when an environmental accelerated test was conducted, it was found that the above-mentioned zirconia-based oxide material protective film provided good corrosion resistance.
【０１５６】これらの結果から、保護膜として種々のセ
ラミクス酸化物材料を含有したジルコニア系酸化物材料
を使用することにより、種々の条件下においても摩擦係
数、スチル耐久性、シャトル耐久性が劣化することな
く、非常に良好な結果が得られることが判った。From these results, by using the zirconia-based oxide material containing various ceramic oxide materials as the protective film, the friction coefficient, the still durability and the shuttle durability are deteriorated even under various conditions. It was found that very good results could be obtained without
【０１５７】また、測定終了後、上記磁気テープの磁気
特性を評価した結果、残留磁束密度、保磁力等のパラメ
ータは測定前と比較して殆ど変化していないことが判っ
た。After the measurement, the magnetic characteristics of the magnetic tape were evaluated, and it was found that the parameters such as the residual magnetic flux density and the coercive force hardly changed as compared with those before the measurement.
【０１５８】なお、本実施例では、保護膜として少なく
とも１種のセラミクス酸化物材料を含有したジルコニア
系酸化物材料を使用し、潤滑剤としてパーフルオロポリ
エーテル系潤滑剤を使用した例を示したが、上記潤滑剤
以外の潤滑剤材料を使用したり、又は潤滑剤に他の材料
（例えば、防錆剤等）が更に混合されたりした場合であ
っても、本実施例と同様の効果や磁気特性が得られた。In this example, a zirconia-based oxide material containing at least one ceramic oxide material was used as the protective film, and a perfluoropolyether-based lubricant was used as the lubricant. However, even if a lubricant material other than the above-mentioned lubricant is used, or another material (for example, a rust preventive agent) is further mixed with the lubricant, the same effect as in this embodiment and Magnetic properties were obtained.
【０１５９】実施例１２，１３ 本実施例は、磁性層が金属磁性薄膜からなる金属磁性薄
膜型の磁気テープにおいて、上記磁性層上に膜厚５ｎｍ
のジルコニア系酸化物材料を用いた保護膜を形成した例
である。 Embodiments 12 and 13 In this embodiment, a metal magnetic thin film type magnetic tape in which the magnetic layer is a metal magnetic thin film is used.
It is an example of forming a protective film using the zirconia-based oxide material.
【０１６０】なお、本実施例の磁気テープは、上記実施
例１の磁気テープとその基本構成及び製造方法を同様と
するものであり、ここでは説明を省略した。The magnetic tape of the present embodiment has the same basic structure and manufacturing method as the magnetic tape of the above-mentioned Embodiment 1, and the description thereof is omitted here.
【０１６１】本実施例の磁気テープは、上記実施例１に
おいてイットリウム酸化物を５重量％含有したジルコニ
ア系酸化物材料からなる保護膜の膜厚を１０ｎｍとした
のを、保護膜の構成材料として下記に示すセラミクス酸
化物材料をそれぞれ含有したジルコニア系酸化物材料を
使用するとともに、該保護膜の膜厚を５ｎｍとし、その
他は実施例１と同様の方法によりテープ化を行うことに
より作製した。In the magnetic tape of this example, the thickness of the protective film made of the zirconia-based oxide material containing 5% by weight of yttrium oxide in Example 1 was set to 10 nm. A zirconia-based oxide material containing each of the following ceramic oxide materials was used, the protective film had a thickness of 5 nm, and the other steps were the same as in Example 1 to prepare a tape.
【０１６２】＜保護膜の構成材料＞ 実施例１２：ジルコニア＋イットリウム酸化物５重量％ 実施例１３：ジルコニア＋イットリウム酸化物５重量％
＋アルミニウム酸化物５重量％ そこで、以上のようにして作製したサンプルテープにつ
いて、上記実施例１の場合と同様にして摩擦特性、スチ
ル耐久性、シャトル走行性をそれぞれ評価した。<Constituent Material of Protective Film> Example 12: Zirconia + Yttrium oxide 5% by weight Example 13: Zirconia + Yttrium oxide 5% by weight
+ Aluminum oxide 5% by weight Therefore, the sample tape manufactured as described above was evaluated for friction characteristics, still durability, and shuttle traveling property in the same manner as in the case of Example 1 above.
【０１６３】この結果を上記表２に併せて示す。The results are also shown in Table 2 above.
【０１６４】表２に示すように、本実施例のように、保
護膜の膜厚を５ｎｍとした場合でも、種々の条件下にお
いて摩擦係数が低減され、良好なスチル耐久性、シャト
ル走行性が得られた。As shown in Table 2, even when the thickness of the protective film is 5 nm as in this embodiment, the friction coefficient is reduced under various conditions, and good still durability and shuttle traveling property are obtained. Was obtained.
【０１６５】また、環境加速試験を行ったところ、上記
ジルコニア系酸化物材料保護膜では、良好な耐腐食性が
得られることが判った。Further, when an environment accelerated test was conducted, it was found that the above-mentioned zirconia-based oxide material protective film provided good corrosion resistance.
【０１６６】これらの結果から、保護膜として種々のセ
ラミクス酸化物材料を含有したジルコニア系酸化物材料
を使用することにより、膜厚５ｎｍの薄膜であっても、
種々の条件下において摩擦係数、スチル耐久性、シャト
ル耐久性が劣化することなく、非常に良好な結果が得ら
れることが判った。From these results, by using zirconia-based oxide materials containing various ceramic oxide materials as the protective film, even a thin film having a film thickness of 5 nm can be obtained.
It has been found that under various conditions, very good results can be obtained without deterioration of the friction coefficient, still durability and shuttle durability.
【０１６７】また、測定終了後、上記磁気テープの磁気
特性を評価した結果、残留磁束密度、保磁力等のパラメ
ータは測定前と比較して殆ど変化していないことが判っ
た。After the measurement, the magnetic characteristics of the magnetic tape were evaluated, and it was found that the parameters such as the residual magnetic flux density and the coercive force hardly changed as compared with those before the measurement.
【０１６８】なお、本実施例では、保護膜として少なく
とも１種のセラミクス酸化物材料を含有したジルコニア
系酸化物材料を使用し、潤滑剤としてパーフルオロポリ
エーテル系潤滑剤を使用した例を示したが、上記潤滑剤
以外の潤滑剤材料を使用したり、又は潤滑剤に他の材料
（例えば、防錆剤等）が更に混合されたりした場合であ
っても、本実施例と同様の効果や磁気特性が得られた。In this example, a zirconia-based oxide material containing at least one ceramic oxide material was used as the protective film, and a perfluoropolyether-based lubricant was used as the lubricant. However, even if a lubricant material other than the above-mentioned lubricant is used, or another material (for example, a rust preventive agent) is further mixed with the lubricant, the same effect as in this embodiment and Magnetic properties were obtained.
【０１６９】また、上記実施例に含まれていない２種類
又は３種類のセラミクス酸化物材料を少量ドープしたジ
ルコニア系酸化物を保護膜として使用した場合において
も、上記セラミクス酸化物材料の総ドープ量が５〜５０
重量％であれば、本発明が有効であることは言うまでも
ない。Even when a small amount of zirconia-based oxide doped with two or three types of ceramic oxide materials, which is not included in the above examples, is used as the protective film, the total amount of the above-mentioned ceramic oxide materials doped. Is 5 to 50
It goes without saying that the present invention is effective if the content is% by weight.
【０１７０】更に、本実施例においては、上記潤滑剤と
してパーフルオロポリエーテル系潤滑剤を使用したが、
この他パーフルオロポリエーテルを分子内に含む各種誘
導体等の低摩擦潤滑剤を使用した場合でも、本発明が有
効であることは言うまでもない。Further, in this embodiment, a perfluoropolyether type lubricant is used as the above lubricant,
Needless to say, the present invention is effective even when a low friction lubricant such as various derivatives containing perfluoropolyether in the molecule is used.
【０１７１】上記ベースフィルムの材質として、本実施
例では、ポリエチレンテレフタレートを使用したが、こ
の他にも例えばポリイミド系又はポリアミド系材料を用
いた場合でも、本発明は有効である。As the material of the base film, polyethylene terephthalate was used in this embodiment, but the present invention is also effective when other materials such as polyimide or polyamide are used.
【０１７２】[0172]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
の磁気記録媒体においては、磁性層上にジルコニア系酸
化物材料を主成分とする保護膜を密着性良く形成してい
るので、磁気ヘッドとの接触がなされた状態で記録再生
を行った場合でも、上記ジルコニア系酸化物材料からな
る保護膜の硬度が大きく、摩擦係数が小さく、科学的に
安定であることにより、媒体走行中に磁気ヘッドに損傷
を与えることなく、磁性層を長期に亘って保護すること
ができる。As is apparent from the above description, in the magnetic recording medium of the present invention, since the protective film containing a zirconia-based oxide material as a main component is formed on the magnetic layer with good adhesion, Even when recording / reproducing is performed with the head contacted, the hardness of the protective film made of the zirconia-based oxide material is large, the friction coefficient is small, and it is scientifically stable. The magnetic layer can be protected for a long period of time without damaging the magnetic head.
【０１７３】また、本発明においては、上記ジルコニア
系酸化物材料からなる保護膜と低摩擦潤滑剤を併用すれ
ば、高温高湿、低温低湿等の厳しい使用条件下でも良好
な潤滑性を維持することができ、また長期に亘りその潤
滑性を保つことができる。従って、走行性、耐摩耗性、
耐久性に優れた磁気記録媒体を得ることができる。Further, in the present invention, if a protective film made of the above zirconia-based oxide material and a low friction lubricant are used in combination, good lubricity is maintained even under severe operating conditions such as high temperature and high humidity and low temperature and low humidity. It is possible to maintain the lubricity for a long period of time. Therefore, runnability, wear resistance,
A magnetic recording medium having excellent durability can be obtained.
【０１７４】更に、本発明は、上述のように走行性、耐
摩耗性、耐久性の向上を図ることができるので、強磁性
体金属を記録層とする磁気記録媒体を用いた高密度記録
を実現する上で極めて有効である。Further, according to the present invention, since the running property, wear resistance and durability can be improved as described above, high density recording using a magnetic recording medium having a ferromagnetic metal as a recording layer can be realized. It is extremely effective in realizing it.
【図１】本発明を適用した磁気記録媒体の一構成例を示
す断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing a structural example of a magnetic recording medium to which the present invention is applied.
１ ベースフィルム ２ 磁性層 ３ 保護膜 ４ 潤滑剤層 1 base film 2 magnetic layer 3 protective film 4 lubricant layer
Claims (10)
保護膜を有してなる磁気記録媒体において、 上記保護膜が少なくともジルコニウム酸化物を含む複数
の材料から構成されてなることを特徴とする磁気記録媒
体。1. A magnetic recording medium having at least a magnetic layer and a protective film on a non-magnetic support, wherein the protective film is composed of a plurality of materials containing at least zirconium oxide. Magnetic recording medium.
保護膜を有してなるテープ状の磁気記録媒体において、 上記保護膜が少なくともジルコニウム酸化物を含む複数
の硬質酸化物材料から構成されてなることを特徴とする
請求項１記載の磁気記録媒体。2. A tape-shaped magnetic recording medium having at least a magnetic layer and a protective film on a non-magnetic support, wherein the protective film is composed of a plurality of hard oxide materials containing at least zirconium oxide. The magnetic recording medium according to claim 1, wherein
物の結晶系が室温付近で正方晶系又は立方晶系を含む部
分安定化された構造を有することを特徴とする請求項２
記載の磁気記録媒体。3. The zirconium oxide crystal system constituting the protective film has a partially stabilized structure including a tetragonal system or a cubic system near room temperature.
The magnetic recording medium described.
セラミクス酸化物材料がドーピングされているジルコニ
ア系酸化物材料が用いられることを特徴とする請求項２
記載の磁気記録媒体。4. The zirconia-based oxide material obtained by doping zirconium oxide with a ceramic oxide material is used as the protective film.
The magnetic recording medium described.
ム酸化物、イットリウム酸化物、マグネシウム酸化物、
カルシウム酸化物、セリウム酸化物、ハフニウム酸化物
のうちの少なくとも１種であることを特徴とする請求項
２記載の磁気記録媒体。5. The ceramic oxide material is aluminum oxide, yttrium oxide, magnesium oxide,
The magnetic recording medium according to claim 2, wherein the magnetic recording medium is at least one of calcium oxide, cerium oxide, and hafnium oxide.
物材料の厚さが１０ｎｍ以下であることを特徴とする請
求項４記載の磁気記録媒体。6. The magnetic recording medium according to claim 4, wherein the thickness of the zirconia-based oxide material forming the protective film is 10 nm or less.
物材料の表面粗さＲａが５ｎｍ以下であることを特徴と
する請求項４記載の磁気記録媒体。7. The magnetic recording medium according to claim 4, wherein the zirconia-based oxide material forming the protective film has a surface roughness Ra of 5 nm or less.
物材料のマイクロビッカース硬度が７５０以上であるこ
とを特徴とする請求項４記載の磁気記録媒体。8. The magnetic recording medium according to claim 4, wherein the zirconia-based oxide material forming the protective film has a micro Vickers hardness of 750 or more.
保護膜を有してなる磁気記録媒体を製造するに際し、 上記保護膜の構成材料としてジルコニウム酸化物にセラ
ミクス酸化物材料がドーピングされているジルコニア系
酸化物材料を用い、且つ該ジルコニア系酸化物材料をス
パッタリング法又はＣＶＤ法又は蒸着法により成膜する
ことを特徴とする磁気記録媒体の製造方法。9. When manufacturing a magnetic recording medium having at least a magnetic layer and a protective film on a non-magnetic support, zirconium oxide is doped with a ceramic oxide material as a constituent material of the protective film. A method of manufacturing a magnetic recording medium, which comprises using a zirconia-based oxide material and forming the zirconia-based oxide material by a sputtering method, a CVD method, or an evaporation method.
上記磁性層の表面にプラズマ又はイオンを照射して表面
処理を行うことを特徴とする請求項９記載の磁気記録媒
体の製造方法。10. As a pretreatment for forming the protective film,
10. The method of manufacturing a magnetic recording medium according to claim 9, wherein the surface of the magnetic layer is irradiated with plasma or ions for surface treatment.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22784894A JPH0896354A (en) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Magnetic recording medium and its production |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22784894A JPH0896354A (en) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Magnetic recording medium and its production |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0896354A true JPH0896354A (en) | 1996-04-12 |
Family
ID=16867327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22784894A Withdrawn JPH0896354A (en) | 1994-09-22 | 1994-09-22 | Magnetic recording medium and its production |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0896354A (en) |
-
1994
- 1994-09-22 JP JP22784894A patent/JPH0896354A/en not_active Withdrawn
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