JPH0895241A - Photosensitive resin composition and photosensitive element using same - Google Patents

Photosensitive resin composition and photosensitive element using same

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JPH0895241A
JPH0895241A JP22777694A JP22777694A JPH0895241A JP H0895241 A JPH0895241 A JP H0895241A JP 22777694 A JP22777694 A JP 22777694A JP 22777694 A JP22777694 A JP 22777694A JP H0895241 A JPH0895241 A JP H0895241A
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JP
Japan
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resin composition
photosensitive resin
weight
polymer
photosensitive
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Application number
JP22777694A
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Japanese (ja)
Inventor
Hideyasu Tachiki
秀康 立木
Masaru Sawabe
賢 沢辺
Mitsuyoshi Nakamura
三佳 中村
Shigeo Tachiki
繁雄 立木
Junichi Imaizumi
純一 今泉
Matsuo Kato
松生 加藤
Kazutaka Masaoka
和隆 正岡
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Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Abstract

PURPOSE: To provide a photosensitive resin compsn. excellent in followup ability and adhesion even to a substrate having high surface roughness and not causing exudation from the edge faces of a roll even when a photosensitive element using the resin compsn. is fed in a roll shape and to provide a photosensitive element using the resin compsn. CONSTITUTION: This photosensitive resin compsn. contains 100 pts.wt., in total, of 40-80 pts.wt. film property imparting polymer made of a vinyl copolymer having carboxyl groups and 20-60 pts.wt. crosslinking agent having an ethylenically unsatd. bond and 0.01-20 pts.wt. photopolymn. reaction initiator which generates free radicals under active rays. This resin compsn. has 20-100 MPa.sec viscosity at 30 deg.C and 10-70kPa.sec viscosity at 80 deg.C.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は感光性樹脂組成物、更に
詳しくは印刷配線板の製造、金属の精密加工等に用いら
れるエッチングレジスト又はめっきレジストとして、特
に優れた凹凸追従性と作業性を有する感光性樹脂組成物
及びこれを用いた感光性エレメントに関する。
FIELD OF THE INVENTION The present invention relates to a photosensitive resin composition, more specifically, as an etching resist or a plating resist used in the production of printed wiring boards, precision processing of metals, etc. The present invention relates to a photosensitive resin composition and a photosensitive element using the same.

【0002】[0002]

【従来の技術】印刷配線板の製造、金属の精密加工等の
分野において、エッチング、めっき等の基材の化学的、
電気的手法を用いる際に、レジスト材料として感光性樹
脂組成物及びこれを用いた感光性エレメントを使用する
ことが知られている。感光性エレメントとしては支持体
上に感光性樹脂組成物を積層したものが広く使用されて
いる。従来、印刷配線板の製造法には、テンティング法
とめっき法という2つの方法がある。テンティング法
は、チップ搭載等のためのスルーホールをレジストで保
護し、エッチング、レジスト剥離を経て、電気回路の形
成を行うのに対し、めっき法は、電気めっき等によって
スルーホールに銅を析出させ、はんだめっきで保護し、
レジスト剥離、エッチングによって電気回路の形成を行
う方法である。通常感光性エレメントは、加熱ロールに
よって加熱されて銅張積層板に積層され、露光、現像を
経て銅面上にレジスト回路が形成される。この場合、銅
面に対する感光性樹脂組成物の密着性あるいは追従性が
十分でないと、テンティング法においてはエッチングの
際に電気回路の欠けや断線が起こり、めっき法において
は、密着不良の部分にめっき液の浸透が起こり、めっき
もぐりあるいは電気回路のショートを誘発する。
2. Description of the Related Art In the fields of manufacturing printed wiring boards, precision processing of metals, etc., chemicals of base materials such as etching and plating,
It is known to use a photosensitive resin composition and a photosensitive element using the same as a resist material when an electrical method is used. As the photosensitive element, one in which a photosensitive resin composition is laminated on a support is widely used. Conventionally, there are two methods of manufacturing a printed wiring board, a tenting method and a plating method. In the tenting method, a through hole for mounting a chip is protected with a resist, and an electric circuit is formed through etching and resist peeling, whereas the plating method deposits copper in the through hole by electroplating or the like. And protect with solder plating,
This is a method of forming an electric circuit by removing the resist and etching. Usually, the photosensitive element is heated by a heating roll to be laminated on the copper clad laminate, and is exposed and developed to form a resist circuit on the copper surface. In this case, if the adhesiveness or followability of the photosensitive resin composition to the copper surface is not sufficient, chipping or disconnection of the electric circuit occurs during etching in the tenting method, and in the plating method, it may occur in areas where adhesion is poor. Penetration of the plating solution occurs, which induces chipping of the plating or short circuit of the electric circuit.

【0003】一方、従来の銅張積層板の表面粗さは3〜
5μmであったが、近年、銅張積層板の製造コスト低減
のため、7.5〜12μmの表面粗さを有する基材が市
販されている。特に表面粗さの大きい基材に、従来の感
光性エレメントを積層する場合、感光性樹脂組成物の基
材に対する密着性、追従性は更に悪化し、欠け、断線、
ショート不良が増加し、プリント配線板の製造収率を著
しく低下させる。この問題を解決する手段の1つとし
て、感光性樹脂組成物を軟質化して流動性を増加させる
方法が考えられる。しかし、感光性エレメントに張力を
かけ、ロール状で供給する際、感光性樹脂組成物が軟質
であると感光性樹脂組成物がロール端面より外部にしみ
出し、積層時、定常的に感光性エレメントを繰り出すこ
とが困難になるばかりか、しみ出した部分が基板上に転
写し、現像残りとなり、プリント配線板の製造収率を著
しく低下させる。
On the other hand, the surface roughness of the conventional copper clad laminate is 3 to.
Although it was 5 μm, in recent years, a substrate having a surface roughness of 7.5 to 12 μm is commercially available in order to reduce the manufacturing cost of the copper clad laminate. In particular, when laminating a conventional photosensitive element on a substrate having a large surface roughness, the adhesion of the photosensitive resin composition to the substrate, the followability is further deteriorated, chipping, disconnection,
Short circuit defects increase and the production yield of printed wiring boards is significantly reduced. As one of means for solving this problem, a method of softening the photosensitive resin composition to increase fluidity can be considered. However, when tension is applied to the photosensitive element and the photosensitive element is supplied in the form of a roll, if the photosensitive resin composition is soft, the photosensitive resin composition exudes to the outside from the end surface of the roll, and when the photosensitive element is laminated, the photosensitive element is steadily formed. Not only is it difficult to feed out, but the exuded portion is transferred onto the substrate and left undeveloped, which significantly reduces the production yield of the printed wiring board.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記した従
来の技術の問題点を解消し、表面粗さの大きい基材に対
しても追従性及び密着性に優れ、かつ、感光性エレメン
トをロール状で供給しても、感光性樹脂組成物がロール
端面からしみ出すことのない感光性樹脂組成物及びこれ
を用いた感光性エレメントを提供するものである。
DISCLOSURE OF THE INVENTION The present invention solves the above-mentioned problems of the prior art, has excellent followability and adhesion even to a substrate having a large surface roughness, and provides a photosensitive element. Provided is a photosensitive resin composition in which the photosensitive resin composition does not exude from the end face of the roll even when supplied in a roll form, and a photosensitive element using the same.

【0005】[0005]

【課題を達成するための手段】本発明は、カルボキシル
基含有ビニル系共重合体からなるフィルム性付与ポリマ
40〜80重量部、エチレン性不飽和結合を持つ架橋剤
20〜60重量部及び活性線により遊離ラジカルを生成
する光重合反応開始剤0.01〜20重量部(フィルム
性付与ポリマと架橋剤の総計が100重量部となる量で
用いる)を含む感光性樹脂組成物であって、30℃での
粘度が、20〜100MPa・sec、80℃での粘度が10
〜70kPa・secである感光性樹脂組成物及びこの感光性
樹脂組成物の層を支持体上に積層してなる感光性エレメ
ントに関する。
The present invention comprises 40 to 80 parts by weight of a film-forming polymer composed of a carboxyl group-containing vinyl copolymer, 20 to 60 parts by weight of a cross-linking agent having an ethylenically unsaturated bond, and actinic radiation. A photopolymerization initiator composition containing 0.01 to 20 parts by weight of a photopolymerization initiator that produces free radicals (used in such an amount that the total amount of the film-forming polymer and the crosslinking agent is 100 parts by weight). Viscosity at ℃ is 20-100MPasec, viscosity at 80 ℃ is 10
The present invention relates to a photosensitive resin composition having a viscosity of ˜70 kPa · sec and a photosensitive element formed by laminating a layer of the photosensitive resin composition on a support.

【0006】以下、本発明を詳述する。ロール状に巻い
た感光性エレメントの端面から感光性樹脂組成物がしみ
出すことを1カ月以上防止する点から、30℃における
感光性樹脂組成物の粘度が20MPa・sec以上であること
が必要であり、25MPa・sec以上であることが好まし
い。また、30℃における感光性樹脂組成物の粘度は1
00MPa・sec以下であることが必要であり、80MPa・sec
であることが好ましい。粘度が100MPa・secを超える
と感光性エレメントを切断する時に感光性樹脂組成物の
破片が発生し、この破片が積層基板に付着して露光不良
や現像残り等を引き起こす。
The present invention will be described in detail below. The viscosity of the photosensitive resin composition at 30 ° C. is required to be 20 MPa · sec or more in order to prevent the photosensitive resin composition from seeping out from the end surface of the photosensitive element wound in a roll for 1 month or more. Yes, and preferably 25 MPa · sec or more. The viscosity of the photosensitive resin composition at 30 ° C. is 1
It is necessary to be less than 00MPa ・ sec, 80MPa ・ sec
Is preferred. When the viscosity exceeds 100 MPa · sec, fragments of the photosensitive resin composition are generated when the photosensitive element is cut, and the fragments adhere to the laminated substrate to cause defective exposure or undeveloped residue.

【0007】感光性エレメントを加熱ロールで加熱して
基板にラミネートする時に基板の12μmの凹凸まで追
従させる点から、80℃における感光性樹脂組成物の粘
度が70kPa・sec以下であることが必要であり、50kPa
・sec以下であることが好ましい。また、80℃における
感光性樹脂組成物の粘度は10kPa・sec以上であること
が必要であり、15kPa・sec以上であることが好まし
い。80℃における感光性樹脂組成物の粘度が10kPa・
sec未満になると感光性エレメントを加熱ロールで加熱
して銅張積層板等に積層する際に、感光性樹脂組成物が
加熱ロールを汚染し、積層不良を引き起こす。以上のよ
うに、感光性樹脂組成物の粘度は、30℃で20〜10
0MPa・secとされ、好ましくは25〜80MPa・secであ
り、80℃で10〜70kPa・secとされ、好ましくは1
5〜50kPa・secである。なお、上記の粘度は、直径7m
m、厚さ2mmの該感光性樹脂組成物試料の厚さ方向に3
0℃では20g重の圧力を、80℃では2g重の圧力を
加えて厚さの変化速度を測定し、この変化速度からニュ
ートン流体を仮定して粘度に換算した値である。
The viscosity of the photosensitive resin composition at 80 ° C. is required to be 70 kPa · sec or less from the viewpoint that when the photosensitive element is heated with a heating roll and laminated on the substrate, the unevenness of 12 μm of the substrate is followed. Yes, 50kPa
-It is preferably sec or less. Further, the viscosity of the photosensitive resin composition at 80 ° C. needs to be 10 kPa · sec or more, and preferably 15 kPa · sec or more. The viscosity of the photosensitive resin composition at 80 ° C is 10 kPa
When it is less than sec, when the photosensitive element is heated by a heating roll and laminated on a copper clad laminate or the like, the photosensitive resin composition contaminates the heating roll and causes lamination failure. As described above, the viscosity of the photosensitive resin composition is 20 to 10 at 30 ° C.
0 MPa · sec, preferably 25 to 80 MPa · sec, and 10 to 70 kPa · sec at 80 ° C., preferably 1
It is 5 to 50 kPa · sec. The above viscosity is 7m in diameter.
3 in the thickness direction of the photosensitive resin composition sample having a thickness of m and a thickness of 2 mm
A pressure of 20 g weight at 0 ° C. and a pressure of 2 g weight at 80 ° C. are applied to measure the rate of change in thickness, and the value is a value converted into viscosity assuming a Newtonian fluid from this rate of change.

【0008】本発明による感光性樹脂組成物は、カルボ
キシル基含有ビニル系共重合体からなるフィルム性付与
ポリマ(以下、単にフィルム性付与ポリマとする)40
〜80重量部、エチレン性不飽和結合を持つ架橋剤が
(以下、単に架橋剤とする)20〜60重量部の範囲
で、フィルム性付与ポリマと架橋剤の総計が100重量
部となる量で用いる。この範囲外の配合では、感光性樹
脂組成物の粘度を30℃で20〜100MPa・sec、80
℃で10〜70kPa・secの範囲とすることが困難にな
る。従来の感光性樹脂組成物では、30℃の粘度と80
℃の粘度との差が十分ではなく、30℃の粘度を20〜
100MPa・secの範囲にし、かつ、80℃の粘度を10
〜70kPa・secの範囲にすることが困難であった。これ
に対し、本発明によれば、例えば、架橋剤として30〜
80℃に融点を持つ架橋剤とフィルム性付与ポリマとし
て30〜80℃に結晶化温度を持つ結晶性ポリマの一方
又は両方を用いることにより、感光性樹脂組成物の30
℃と80℃の粘度の差を大きくすることができ、30℃
での粘度を20MPa・sec以上、100MPa・sec以下にし、
かつ、80℃での粘度を70kPa・sec以下、10kPa・sec
以上にすることができる。なお、本発明では、分子量に
幅のある架橋剤の融点及び結晶性ポリマの結晶化温度
は、粘度の変化が最も大きくなる温度を指すこととす
る。
The photosensitive resin composition according to the present invention comprises a film-forming polymer (hereinafter simply referred to as a film-forming polymer) 40 composed of a carboxyl group-containing vinyl copolymer.
˜80 parts by weight, the cross-linking agent having an ethylenically unsaturated bond (hereinafter, simply referred to as a cross-linking agent) is in the range of 20 to 60 parts by weight, and the total amount of the film-forming polymer and the cross-linking agent is 100 parts by weight. To use. If the content is outside this range, the viscosity of the photosensitive resin composition is 20 to 100 MPa · sec at 30 ° C., 80
It becomes difficult to set the temperature in the range of 10 to 70 kPa · sec at a temperature of ℃. A conventional photosensitive resin composition has a viscosity of 30 ° C. and a viscosity of 80
The difference between the viscosity at 30 ° C and the viscosity at 30 ° C is not enough.
Adjust the viscosity at 80 ℃ to 10 MPa within the range of 100 MPa ・ sec.
It was difficult to set the range of up to 70 kPa · sec. On the other hand, according to the present invention, for example, as a crosslinking agent,
By using one or both of a crosslinking agent having a melting point at 80 ° C. and a crystalline polymer having a crystallization temperature at 30 to 80 ° C. as a film property imparting polymer, 30% of the photosensitive resin composition can be obtained.
The difference in viscosity between ℃ and 80 ℃ can be increased to 30 ℃
Viscosity at 20MPa ・ sec or more and 100MPa ・ sec or less,
And the viscosity at 80 ℃ is 70kPa ・ sec or less, 10kPa ・ sec
The above can be done. In the present invention, the melting point of the cross-linking agent having a wide range of molecular weight and the crystallization temperature of the crystalline polymer refer to the temperature at which the change in viscosity becomes the largest.

【0009】本発明における架橋剤は、特に制限はない
が、感度が高いという点から、メタクリレート単量体ま
たはアクリレート単量体の使用が好ましい。感光性樹脂
組成物の粘度調整の点から30〜80℃に融点を持つ架
橋剤の使用が好ましく、そのようなものとしては、例え
ば、トリス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、
トリス(メタクリロキシエチル)イソシアヌレート、メ
トキシポリエチレングリコール1000メタクリレー
ト、ポリエチレングリコール1000ジメタクリレー
ト、ポリスチリルエチルメタクリレート、4−(2,
2,6,6−テトラメチルピペリジニル)メタクリレー
ト、ビスフェノールAジメタクリレート、ビスフェノー
ル系エポキシアクリレート、ウレタンアクリレート等が
挙げられ、中でもトリス(アクリロキシエチル)イソシ
アヌレート、メトキシポリエチレングリコール1000
メタクリレート、ポリエチレングリコール1000ジメ
タクリレート、4−(2,2,6,6−テトラメチルピ
ペリジニル)メタクリレート、ビスフェノール系エポキ
シアクリレート、ウレタンアクリレート系単量体(分子
量1,000以上)が好ましく、トリス(アクリロキシ
エチル)イソシアヌレート、ポリエチレングリコール1
000ジメタクリレート、4−(2,2,6,6−テト
ラメチルピペリジニル)メタクリレートがより好まし
い。これらの架橋剤の使用は、フィルム性付与ポリマが
30〜80℃に結晶化温度を持たない場合特に有効であ
り、1種で又は2種以上を組み合わせて用いられる。3
0〜80℃に融点を持つ架橋剤を使用する場合、全架橋
剤の1〜90重量%となるように使用することが好まし
く、2〜75重量%となるように使用することがより好
ましい。90重量%を超えると、感光性樹脂組成物の3
0℃での粘度が大きくなりすぎる傾向があり、1重量%
未満では30℃と80℃の粘度差を十分に大きくする効
果が小さくなる傾向がある。
The crosslinking agent in the present invention is not particularly limited, but it is preferable to use a methacrylate monomer or an acrylate monomer from the viewpoint of high sensitivity. From the viewpoint of adjusting the viscosity of the photosensitive resin composition, it is preferable to use a cross-linking agent having a melting point of 30 to 80 ° C. Examples thereof include tris (acryloxyethyl) isocyanurate,
Tris (methacryloxyethyl) isocyanurate, methoxypolyethylene glycol 1000 methacrylate, polyethylene glycol 1000 dimethacrylate, polystyrylethyl methacrylate, 4- (2,
2,6,6-Tetramethylpiperidinyl) methacrylate, bisphenol A dimethacrylate, bisphenol epoxy acrylate, urethane acrylate and the like are mentioned, and among them, tris (acryloxyethyl) isocyanurate, methoxypolyethylene glycol 1000.
Methacrylate, polyethylene glycol 1000 dimethacrylate, 4- (2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl) methacrylate, bisphenol epoxy acrylate, urethane acrylate monomer (molecular weight of 1,000 or more) is preferable, and tris ( Acryloxyethyl) isocyanurate, polyethylene glycol 1
000 dimethacrylate and 4- (2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl) methacrylate are more preferred. The use of these cross-linking agents is particularly effective when the film-forming polymer does not have a crystallization temperature of 30 to 80 ° C., and may be used alone or in combination of two or more. Three
When a crosslinking agent having a melting point of 0 to 80 ° C. is used, it is preferably used in an amount of 1 to 90% by weight, more preferably 2 to 75% by weight, based on the total amount of the crosslinking agent. If it exceeds 90% by weight, 3 of the photosensitive resin composition
Viscosity at 0 ° C tends to be too high, 1% by weight
If it is less than the above, the effect of sufficiently increasing the viscosity difference between 30 ° C. and 80 ° C. tends to be small.

【0010】本発明における架橋剤として融点が30℃
未満の架橋剤を用いることもでき、そのようなものとし
ては、従来、光重合性モノマとして知られているものを
全て用いることができる。このような架橋剤には、ポリ
エチレングリコールジ(メタ)アクリレート(エチレン
基の数が2〜14のもの)、トリメチロールプロパンジ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパントリ
(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパンエトキ
シトリ(メタ)アクリレート、トリメチロールプロパン
プロポキシトリ(メタ)アクリレート、テトラメチロー
ルメタントリ(メタ)アクリレート、テトラメチロール
メタンテトラ(メタ)アクリレート、ポリプロピレング
リコールジ(メタ)アクリレート(プロピレン基の数が
2〜14のもの)、ジペンタエリスリトールペンタ(メ
タ)アクリレート、ジペンタエリスリトールヘキサ(メ
タ)アクリレート、ビスフェノールAポリオキシエチレ
ンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAジオキシ
エチレンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノールAト
リオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、ビスフェノ
ールAデカオキシエチレンジ(メタ)アクリレート、グ
リシジル基含有化合物にα,β−不飽和カルボン酸を付
加して得られる化合物、例えば、トリメチロールプロパ
ントリグリシジルエーテルトリ(メタ)アクリレート、
ビスフェノールAジグリシジルエーテルジアクリレー
ト、多価カルボン酸、例えば、無水フタル酸等と水酸基
及びエチレン性不飽和基を有する物質、例えば、β−ヒ
ドロキシエチル(メタ)アクリレート等とのエステル化
物、アクリル酸又はメタクリル酸のアルキルエステル、
例えば、(メタ)アクリル酸メチルエステル、(メタ)
アクリル酸エチルエステル、(メタ)アクリル酸ブチル
エステル、(メタ)アクリル酸2−エチルヘキシルエス
テルなどを挙げることができ、ビスフェノールAポリオ
キシエチレンジメタクリレート、ポリプロピレングリコ
ールジアクリレートが好ましい。これらの化合物は1種
で又は2種以上を組み合わせて用いられる。
The melting point of the crosslinking agent in the present invention is 30 ° C.
Less than a cross-linking agent may be used, and as such a compound, any of those conventionally known as photopolymerizable monomers can be used. Such cross-linking agents include polyethylene glycol di (meth) acrylate (having 2 to 14 ethylene groups), trimethylolpropane di (meth) acrylate, trimethylolpropane tri (meth) acrylate, trimethylolpropane ethoxy. Tri (meth) acrylate, trimethylolpropane propoxytri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tri (meth) acrylate, tetramethylolmethane tetra (meth) acrylate, polypropylene glycol di (meth) acrylate (the number of propylene groups is 2 to 14). ), Dipentaerythritol penta (meth) acrylate, dipentaerythritol hexa (meth) acrylate, bisphenol A polyoxyethylene di (meth) acrylate, bisphenol A Compounds obtained by adding α, β-unsaturated carboxylic acid to oxyethylene di (meth) acrylate, bisphenol A trioxyethylene di (meth) acrylate, bisphenol A decaoxyethylene di (meth) acrylate, glycidyl group-containing compound , For example, trimethylolpropane triglycidyl ether tri (meth) acrylate,
Bisphenol A diglycidyl ether diacrylate, polyvalent carboxylic acid, for example, an esterification product of a substance having a hydroxyl group and an ethylenically unsaturated group with phthalic anhydride and the like, for example, β-hydroxyethyl (meth) acrylate, acrylic acid or Alkyl ester of methacrylic acid,
For example, (meth) acrylic acid methyl ester, (meth)
Acrylic acid ethyl ester, (meth) acrylic acid butyl ester, (meth) acrylic acid 2-ethylhexyl ester and the like can be mentioned, and bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate and polypropylene glycol diacrylate are preferable. These compounds may be used alone or in combination of two or more.

【0011】本発明で用いるフィルム性付与ポリマは、
特に制限はないがビニル共重合によって得られる共重合
体であり、カルボキシル基を持つことが必須である。感
光性樹脂組成物の粘度調整の点からフィルム性付与ポリ
マが30〜80℃に結晶化温度を持つ結晶性ポリマであ
ることが好ましい。また、結晶性ポリマが、一般式
(I)
The film property imparting polymer used in the present invention is
Although not particularly limited, it is a copolymer obtained by vinyl copolymerization, and it is essential to have a carboxyl group. From the viewpoint of adjusting the viscosity of the photosensitive resin composition, the film property imparting polymer is preferably a crystalline polymer having a crystallization temperature of 30 to 80 ° C. Further, the crystalline polymer has the general formula (I)

【化2】 (式中、Rは水素原子又はメチル基を示し、nは12〜
24の整数である)で表されるモノマを共重合させたポ
リマであることが好ましい。フィルム性付与ポリマの合
成には、(a)アクリル酸、メタクリル酸、フマル酸、
ケイヒ酸、クロトン酸、イタコン酸等のカルボキシル基
を持つビニル重合性単量体、(b)一般式(I)で表さ
れるモノマ、(c)上記以外の単量体で、メチル(メ
タ)アクリレート、エチル(メタ)アクリレート、n−
プロピル(メタ)アクリレート、ブチル(メタ)アクリ
レート、ラウリル(メタ)アクリレート、2−エチルヘ
キシル(メタ)アクリレート、ビニルトルエン、N−ビ
ニルピロリドン、α−メチルスチレン、2′−ヒドロキ
シエチルメタクリレート、2−ヒドロキシエチルアクリ
レート、アクリルアミド、アクリロニトリル、ジメチル
アミノエチルメタクリレート、ジメチルアミノエチルア
クリレート等のビニル重合性単量体などが用いられる。
[Chemical 2] (In the formula, R represents a hydrogen atom or a methyl group, and n is 12 to
It is preferably a polymer obtained by copolymerizing a monomer represented by the formula (24 is an integer of 24). For the synthesis of the film property imparting polymer, (a) acrylic acid, methacrylic acid, fumaric acid,
A vinyl polymerizable monomer having a carboxyl group such as cinnamic acid, crotonic acid, and itaconic acid, (b) a monomer represented by the general formula (I), (c) a monomer other than the above, and methyl (meth). Acrylate, ethyl (meth) acrylate, n-
Propyl (meth) acrylate, butyl (meth) acrylate, lauryl (meth) acrylate, 2-ethylhexyl (meth) acrylate, vinyltoluene, N-vinylpyrrolidone, α-methylstyrene, 2′-hydroxyethyl methacrylate, 2-hydroxyethyl Vinyl polymerizable monomers such as acrylate, acrylamide, acrylonitrile, dimethylaminoethyl methacrylate and dimethylaminoethyl acrylate are used.

【0012】(a)成分の使用量は5〜40重量%とす
ることが好ましく、10〜30重量%とすることがより
好ましい。(a)成分が5重量%未満であるとアルカリ
現像性が劣る傾向があり、40重量%を超えると耐現像
液性が低下する傾向がある。(b)成分の使用量は、3
0〜80℃に融点を持つ架橋剤を用いる場合0〜95重
量%とすることが好ましく、30〜80℃に融点を持つ
架橋剤を用いない場合には高分子量体に30〜80℃の
結晶化温度を持たせるために40重量%以上とすること
が好ましく、50重量%以上とすることがより好まし
い。また、(b)成分の一般式(I)中の炭素数nは1
2〜24であり、炭素数nが12未満では、結晶化温度
が30℃未満となったり結晶性を示さなくなったりする
ことがあり、24を超えると結晶化温度が80℃より高
くなることがある。(c)成分の使用量は(a)、
(b)及び(c)成分の総量が100重量%となるよう
に適宜決定される。
The amount of component (a) used is preferably 5 to 40% by weight, more preferably 10 to 30% by weight. If the amount of the component (a) is less than 5% by weight, the alkali developability tends to be poor, and if it exceeds 40% by weight, the developer resistance tends to decrease. The amount of component (b) used is 3
When a cross-linking agent having a melting point of 0 to 80 ° C. is used, the content is preferably 0 to 95% by weight, and when a cross-linking agent having a melting point of 30 to 80 ° C. is not used, a high molecular weight polymer having a crystal of 30 to 80 ° C. It is preferably 40% by weight or more, and more preferably 50% by weight or more, in order to have the oxidization temperature. Further, the carbon number n in the general formula (I) of the component (b) is 1
It is 2 to 24, and if the carbon number n is less than 12, the crystallization temperature may be less than 30 ° C. or the crystallinity may not be exhibited, and if it exceeds 24, the crystallization temperature may be higher than 80 ° C. is there. The amount of component (c) used is (a),
It is appropriately determined so that the total amount of the components (b) and (c) is 100% by weight.

【0013】フィルム性付与ポリマの重量平均分子量
は、10,000〜300,000とすることが好まし
く、20,000〜150,000とすることがより好
ましい。重量平均分子量が小さすぎると可撓性、テンテ
ィング性が悪化する傾向があり、大きすぎると現像性、
剥離片形状が悪化する傾向がある。上記のフィルム性付
与ポリマは1種で又は2種以上を組み合わせて用いられ
るが、融点が30〜80℃である架橋剤を用いない場合
には30〜80℃に結晶化温度を有するフィルム性付与
ポリマを必須成分とし、フィルム性付与ポリマ総量の5
重量%以上の割合で用いるのが好ましく、10重量%以
上用いるのがより好ましい。結晶性ポリマの割合が5重
量%未満では、感光性樹脂組成物の30℃と80℃の粘
度差を十分に大きくすることが困難になる傾向がある。
本発明の感光性樹脂組成物は、架橋剤が、30〜80℃
に融点を持つ化合物を含有するものであり、かつフィル
ム性付与ポリマが、30〜80℃に結晶化温度を持つ結
晶性ポリマであることが粘度調整等の点から好ましい。
The weight average molecular weight of the film-forming polymer is preferably 10,000 to 300,000, more preferably 20,000 to 150,000. When the weight average molecular weight is too small, flexibility and tenting property tend to deteriorate, and when it is too large, developability,
The shape of the peeled piece tends to deteriorate. The above-mentioned film property imparting polymer is used alone or in combination of two or more, but when a crosslinking agent having a melting point of 30 to 80 ° C. is not used, a film property imparting property of 30 to 80 ° C. is obtained. A polymer is an essential component, and the total amount of film-forming polymer is 5
It is preferably used in an amount of not less than 10% by weight, more preferably not less than 10% by weight. If the proportion of the crystalline polymer is less than 5% by weight, it tends to be difficult to sufficiently increase the viscosity difference between 30 ° C. and 80 ° C. of the photosensitive resin composition.
The photosensitive resin composition of the present invention contains a crosslinking agent at 30 to 80 ° C.
It is preferable that the film-forming polymer contains a compound having a melting point and the film-forming polymer has a crystallization temperature of 30 to 80 ° C. from the viewpoint of viscosity adjustment.

【0014】本発明に用いる光重合反応開始剤には、特
に制限はなく、従来知られているものを用いることがで
きる。例えば、ベンゾフェノン、4,4′−ジメチルア
ミノベンゾフェノン、4,4′−ジエチルアミノベンゾ
フェノン、4,4′−ジクロルベンゾフェノン等のベン
ゾフェノン類、2−エチルアントラキノン、t−ブチル
アントラキノン等のアントラキノン類、2−クロロチオ
キサントン、ベンゾインエチルエーテル、ベンゾインイ
ソプロピルエーテル、ベンジル、2,4,5−トリアリ
ルイミダゾール二量体(ロフィン二量体)等の1種又は
2種以上が用いられる。光重合反応開始剤の使用量は、
フィルム性付与ポリマと架橋剤の総量100重量部に対
し、0.01〜20重量部とされ、0.05〜10重量
部とされることがより好ましい。この使用量が少なすぎ
ると、十分な光感度が得られず、多すぎると露光の際に
組成物の表面での光吸収が増加して内部の光硬化が不十
分となる。なお、本発明による感光性樹脂組成物には、
染料、可塑剤、顔料、難燃剤、安定剤等を必要に応じて
添加することもできる。また、密着性付与剤を使用する
ことも可能である。
The photopolymerization reaction initiator used in the present invention is not particularly limited, and conventionally known ones can be used. For example, benzophenones such as benzophenone, 4,4′-dimethylaminobenzophenone, 4,4′-diethylaminobenzophenone and 4,4′-dichlorobenzophenone, anthraquinones such as 2-ethylanthraquinone and t-butylanthraquinone, 2- One or more of chlorothioxanthone, benzoin ethyl ether, benzoin isopropyl ether, benzyl, 2,4,5-triallylimidazole dimer (rophin dimer) and the like are used. The amount of photopolymerization initiator used is
The amount is 0.01 to 20 parts by weight, and more preferably 0.05 to 10 parts by weight, based on 100 parts by weight of the total amount of the film-forming polymer and the crosslinking agent. If the amount used is too small, sufficient photosensitivity cannot be obtained, and if the amount is too large, the light absorption on the surface of the composition during exposure increases and the internal photocuring becomes insufficient. Incidentally, the photosensitive resin composition according to the present invention,
Dyes, plasticizers, pigments, flame retardants, stabilizers and the like can be added as required. It is also possible to use an adhesion promoter.

【0015】次に本発明の感光性エレメントについて詳
細に説明する。本発明の感光性エレメントは、公知の方
法で製造され、例えば、感光性樹脂組成物をメチルエチ
ルケトン、トルエン、塩化メチレン等の有機溶剤に均一
に溶解させ、この溶液を支持体フィルム上にナイフコー
ト法、ロールコート法、スプレーコート法等で塗布し、
乾燥した後、剥離可能なカバーフィルムを積層すること
によって得られる。感光性エレメントの感光層の厚さ
は、通常10〜100μmとされる。また、感光層中の
残存溶剤量は、特性保持のために2重量%以下に抑える
ことが好ましい。
Next, the photosensitive element of the present invention will be described in detail. The photosensitive element of the present invention is produced by a known method, for example, a photosensitive resin composition is uniformly dissolved in an organic solvent such as methyl ethyl ketone, toluene and methylene chloride, and this solution is knife-coated on a support film. , Roll coating, spray coating, etc.
After drying, it is obtained by laminating a peelable cover film. The thickness of the photosensitive layer of the photosensitive element is usually 10 to 100 μm. Further, the amount of residual solvent in the photosensitive layer is preferably suppressed to 2% by weight or less in order to maintain the characteristics.

【0016】本発明に用いられる支持体フィルムは、感
光性エレメントの製造時に必要な耐熱性、耐溶剤性を有
していることが好ましく、ポリエステルフィルム、ポリ
イミドフィルム、ポリアミドフィルム、ポリプロピレン
フィルム、ポリスチレンフィルム等、公知のフィルムが
用いられる。また、剥離可能なカバーフィルムにはポリ
エチレンフィルム、ポリプロピレンフィルム等、公知の
フィルムが用いられ、感光性樹脂組成物と支持体フィル
ムとの接着力よりも、感光性樹脂組成物とカバーフィル
ムとの接着力の方が小さいものであればよい。本発明の
感光性エレメントは、通常はロール状に巻いて供給さ
れ、カバーフィルムを剥離した後、加熱ロール等によっ
て加熱されて銅張積層板等に積層される。その後、既知
の方法、例えば、活性光線でネガマスクを通して積層さ
れた感光層が像的に露光され、現像され、さらに好まし
くは活性光線で露光されて、該銅張積層板等にレジスト
パターンが形成される。
The support film used in the present invention preferably has the heat resistance and solvent resistance required for the production of the photosensitive element, such as polyester film, polyimide film, polyamide film, polypropylene film, polystyrene film. Known films are used. A known film such as a polyethylene film or a polypropylene film is used as the peelable cover film, and the adhesive force between the photosensitive resin composition and the cover film is larger than the adhesive force between the photosensitive resin composition and the support film. Anything that has less force is sufficient. The photosensitive element of the present invention is usually wound and supplied in a roll shape, and after peeling off the cover film, it is heated by a heating roll or the like to be laminated on a copper clad laminate or the like. Thereafter, in a known method, for example, the photosensitive layer laminated through a negative mask with actinic rays is imagewise exposed, developed, and more preferably exposed with actinic rays to form a resist pattern on the copper clad laminate. It

【0017】また、本発明の感光性樹脂組成物の溶液を
ディップコート法、フローコート法等の方法で銅張積層
板等に直接塗布し、溶剤を乾燥後、直接あるいはポリエ
ステルフィルム等の活性光に透明なフィルムを積層後、
前記の感光性エレメントの場合と同様にして、ネガマス
クを通して像的に露光し、現像し、さらに好ましくは活
性光の露光をすることによっても前記と同様にレジスト
パターンを形成できる。
Further, the solution of the photosensitive resin composition of the present invention is directly applied to a copper clad laminate or the like by a method such as a dip coating method or a flow coating method, and the solvent is dried and then directly or with an active light such as a polyester film. After laminating a transparent film on
In the same manner as in the case of the photosensitive element described above, a resist pattern can be formed in the same manner as described above by imagewise exposing through a negative mask, developing, and more preferably exposing with actinic light.

【0018】[0018]

【実施例】次に、実施例により本発明をさらに具体的に
説明するが、本発明はこれによって制限されるものでは
ない。
EXAMPLES Next, the present invention will be described in more detail by way of examples, but the present invention is not limited thereto.

【0019】(結晶性ポリマの製造) 合成例1 トルエン500mlをフラスコに入れ、85℃に昇温し、
1時間放置した。その後、アクリル酸16.6g、2−
エチルヘキシルアクリレート14.0g、ステアリルア
クリレート70.8g及びアゾビスイソブチロニトリル
0.20gをトルエン31.2gに溶解したものを4時
間掛けて滴下し、反応させた。次いで、メチルセロソル
ブ7.1gを加え、2時間保温し、アクリル酸0.6g
及びアゾビスイソブチロニトリル0.54gをトルエン
4.8gに溶解したものを反応溶液に加え、さらに2時
間保温した。その後、アゾビスイソブチロニトリル0.
024gをメチルセロソルブ1.2gに溶解した溶液を
添加して、5時間保温した後、ハイドロキノン0.01
gをメチルセロソルブ0.2gに溶解した溶液を加え、
冷却し、結晶性ポリマ(K1)を得た。
(Production of Crystalline Polymer) Synthesis Example 1 500 ml of toluene was placed in a flask and heated to 85 ° C.
It was left for 1 hour. After that, 16.6 g of acrylic acid, 2-
A solution prepared by dissolving 14.0 g of ethylhexyl acrylate, 70.8 g of stearyl acrylate and 0.20 g of azobisisobutyronitrile in 31.2 g of toluene was added dropwise over 4 hours for reaction. Next, add 7.1 g of methyl cellosolve, keep warm for 2 hours, and add 0.6 g of acrylic acid.
Further, a solution prepared by dissolving 0.54 g of azobisisobutyronitrile in 4.8 g of toluene was added to the reaction solution, and the mixture was kept warm for 2 hours. Then, azobisisobutyronitrile 0.
A solution of 024 g dissolved in 1.2 g of methyl cellosolve was added and kept warm for 5 hours.
a solution of 0.2 g of methyl cellosolve dissolved therein,
Upon cooling, a crystalline polymer (K1) was obtained.

【0019】合成例2 トルエン500mlをフラスコに入れ、85℃に昇温し、
1時間放置した。その後、エチルアクリレート20.0
g、ステアリルアクリレート70.0g、アクリル酸1
0.5g及びアゾビスイソブチロニトリル0.20gを
トルエン31.2gに溶解したものを4時間掛けて滴下
し、反応させた。2時間保温した後、ヒドロキシエチル
アクリレート0.6g及びアゾビスイソブチロニトリル
0.54gをトルエン4.8gに溶解したものを反応溶
液に加え、さらに2時間保温した。その後、アゾビスイ
ソブチロニトリル0.024gをトルエン1.2gに溶
解した溶液を添加して、5時間保温した後、ハイドロキ
ノン0.01gをトルエン0.2gに溶解した溶液を加
え、冷却し、結晶性ポリマ(K2)を得た。結晶性ポリ
マ(K1)及び(K2)は、不揮発分がそれぞれ37.
8重量%及び40.5重量%であり、重量平均分子量が
それぞれ76,000及び78,000であった。ま
た、不揮発分の結晶化温度は、(K1)が41℃、(K
2)が40℃であった。
Synthesis Example 2 500 ml of toluene was placed in a flask and heated to 85 ° C.,
It was left for 1 hour. Then, ethyl acrylate 20.0
g, stearyl acrylate 70.0 g, acrylic acid 1
A solution prepared by dissolving 0.5 g and 0.20 g of azobisisobutyronitrile in 31.2 g of toluene was added dropwise over 4 hours for reaction. After keeping the temperature for 2 hours, a solution prepared by dissolving 0.6 g of hydroxyethyl acrylate and 0.54 g of azobisisobutyronitrile in 4.8 g of toluene was added to the reaction solution, and the temperature was kept for another 2 hours. Then, a solution prepared by dissolving 0.024 g of azobisisobutyronitrile in 1.2 g of toluene was added and kept warm for 5 hours, and then a solution prepared by dissolving 0.01 g of hydroquinone in 0.2 g of toluene was added and cooled, A crystalline polymer (K2) was obtained. The crystalline polymers (K1) and (K2) each have a nonvolatile content of 37.
8 wt% and 40.5 wt% and the weight average molecular weights were 76,000 and 78,000, respectively. Further, the crystallization temperature of the non-volatile component is 41 ° C. for (K1),
2) was 40 ° C.

【0020】(非結晶性ポリマの製造) 合成例3 メチルセロソルブ/トルエン=3:2(重量比)の溶液
(以下、溶液Aと称する)500mlをフラスコに入れ、
85℃に昇温し、1時間放置した。その後、メタクリル
酸23.7g、メタクリル酸メチル46.8g、アクリ
ル酸エチル31.2g、アクリル酸2−エチルヘキシル
1.5g及びアゾビスイソブチロニトリル0.17gを
溶液A31.2gに溶解したものを4時間掛けて滴下
し、反応させた。次いで、メチルセロソルブ7.1gを
加え、2時間保温し、メタクリル酸0.6g及びアゾビ
スイソブチロニトリル0.54gを溶液A4.8gに溶
解したものを反応溶液に加え、さらに2時間保温した。
その後、アゾビスイソブチロニトリル0.024gをメ
チルセロソルブ1.2gに溶解した溶液を添加して、5
時間保温した後、ハイドロキノン0.01gをメチルセ
ロソルブ0.2gに溶解した溶液を加え、冷却した。得
られた重合体は不揮発分が38.5重量%、重量平均分
子量が84,000であった。なお、重量平均分子量
は、ゲルパーミエーションクロマトグラフィーによって
測定し、標準ポリスチレンの検量線を用いて換算した値
である。
(Production of Amorphous Polymer) Synthesis Example 3 500 ml of a solution of methyl cellosolve / toluene = 3: 2 (weight ratio) (hereinafter referred to as solution A) was placed in a flask,
The temperature was raised to 85 ° C. and left for 1 hour. Then, 23.7 g of methacrylic acid, 46.8 g of methyl methacrylate, 31.2 g of ethyl acrylate, 1.5 g of 2-ethylhexyl acrylate and 0.17 g of azobisisobutyronitrile were dissolved in 31.2 g of solution A. It was added dropwise over 4 hours and reacted. Next, 7.1 g of methyl cellosolve was added, and the mixture was kept warm for 2 hours. A solution prepared by dissolving 0.6 g of methacrylic acid and 0.54 g of azobisisobutyronitrile in solution A 4.8 g was added to the reaction solution and kept warm for another 2 hours. .
Then, a solution prepared by dissolving 0.024 g of azobisisobutyronitrile in 1.2 g of methyl cellosolve was added, and 5
After keeping the temperature for a while, a solution of 0.01 g of hydroquinone in 0.2 g of methyl cellosolve was added and cooled. The obtained polymer had a nonvolatile content of 38.5% by weight and a weight average molecular weight of 84,000. The weight average molecular weight is a value measured by gel permeation chromatography and converted using a calibration curve of standard polystyrene.

【0021】(感光性エレメントの製造) 実施例1〜17及び比較例1〜4 30〜80℃に融点を持つ架橋剤として表1に示す架橋
剤を使用し、融点が30℃未満の架橋剤にはBPE−1
0(ビスフェノールAポリオキシエチレンジメタクリレ
ート、新中村化学株式会社製)を使用した。表2、表3
及び表4に示す配合(単位は重量部)で感光性樹脂組成
物溶液を調製し、各々の溶液を厚さ20μmのポリエチ
レンテレフタレートフィルム(PET)に乾燥後の膜厚
が40μmとなるように塗工し、乾燥し、厚さ35μm
のポリエチレンフィルムで被覆して感光性エレメントを
得た。
(Production of Photosensitive Element) Examples 1 to 17 and Comparative Examples 1 to 4 As the crosslinking agent having a melting point at 30 to 80 ° C., the crosslinking agent shown in Table 1 is used, and the melting point is less than 30 ° C. Has BPE-1
0 (bisphenol A polyoxyethylene dimethacrylate, manufactured by Shin Nakamura Chemical Co., Ltd.) was used. Table 2 and Table 3
And a photosensitive resin composition solution was prepared according to the formulation (unit is parts by weight) shown in Table 4, and each solution was applied to a polyethylene terephthalate film (PET) having a thickness of 20 μm so that the film thickness after drying would be 40 μm. Worked, dried, thickness 35μm
To obtain a photosensitive element.

【0022】[0022]

【表1】 [Table 1]

【0023】[0023]

【表2】 [Table 2]

【0024】[0024]

【表3】 [Table 3]

【0025】[0025]

【表4】 [Table 4]

【0026】得られた感光性エレメントについて、次に
示す試験を行い、得られた結果を表5、表6及び表7に
示した。
The following tests were conducted on the obtained photosensitive element, and the obtained results are shown in Table 5, Table 6 and Table 7.

【0027】(1)加熱ロール汚染 ラミネート速度1.5m/分、ロール温度110℃及び
ロールのシリンダー圧力4kgf/cm2に設定し、幅60cm
の感光性エレメント20mを50cm×50cmの基板に順
次ラミネートした後、加熱ロール表面を観察し、感光性
樹脂組成物の付着の有無を調べ、結果を表5、表6及び
表7に示した。
(1) Contamination of heated rolls Lamination speed is set to 1.5 m / min, roll temperature is set to 110 ° C. and roll cylinder pressure is set to 4 kgf / cm 2 , and width is 60 cm.
20 m of the photosensitive element of No. 1 was sequentially laminated on a substrate of 50 cm × 50 cm, the surface of the heating roll was observed, and the presence or absence of adhesion of the photosensitive resin composition was examined. The results are shown in Tables 5, 6, and 7.

【0028】(2)粘度 感光性エレメントを基材上に50回連続して積層し、直
径7mmのリングで打ち抜いて、厚さ2mm、直径7mmのサ
ンプル片を作成した。このサンプルを30℃及び80℃
で厚さ方向にそれぞれ20g及び2gの荷重をかけ、厚
さの減少速度を求めた。この減少速度からニュートン流
体に対する関係式(下記式)、を用いて粘度を計算し、
結果を表5、表6及び表7に示した。
(2) Viscosity The photosensitive element was continuously laminated 50 times on a substrate and punched with a ring having a diameter of 7 mm to prepare a sample piece having a thickness of 2 mm and a diameter of 7 mm. This sample is 30 ℃ and 80 ℃
The load of 20 g and 2 g was applied in the thickness direction, and the rate of decrease in thickness was determined. The viscosity is calculated from this decreasing rate using the relational expression for the Newtonian fluid (the following expression),
The results are shown in Table 5, Table 6 and Table 7.

【数1】 [Equation 1]

【0029】(3)追従性 35μm厚の銅箔を積層したガラスエポキシ基材(日立
化成工業(株)製、MCL−E−61)の銅箔の表面に1
0cmの長さの傷を、その深さを1本ごとに順次深くして
(1〜20μm)、複数本形成した。これらの傷は連続
荷重式引掻き器(HEIDON(株)製)を使用し荷重を
変えて形成した。次に、その銅面上に感光性エレメント
をラミネート速度1.5m/分、ロール温度110℃及
びロールのシリンダー圧力4kgf/cm2の条件でラミネー
トした。次に、100μmライン幅のネガティブ像を形
成するネガマスクを基材の傷の長さ方向と直角に交差す
る方向に置き、高圧水銀灯で露光した。ついで、PET
を除去し、現像処理し、基材上にレジスト像を得た。さ
らに、塩化第二銅エッチング液(50℃、スプレー圧力
3kgf/cm2)を60秒間スプレーしてレジストで保護さ
れていない部分の銅を溶解し、基材上に銅のラインを形
成した。基材上の傷に感光性エレメントが追従していな
い場合はレジストと基材間に空隙があるため、レジスト
と傷の交点部分でエッチング液が浸み込み、銅が溶解
し、銅ラインが接続しないこととなり、断線となる。こ
の断線が開始する傷深さ(μm)を追従性とし、結果を
表5、表6及び表7に示した。
(3) Follow-up property 1 on the surface of a copper foil of a glass epoxy base material (MCL-E-61 manufactured by Hitachi Chemical Co., Ltd.) on which a copper foil having a thickness of 35 μm is laminated.
A plurality of scratches having a length of 0 cm were formed by sequentially deepening the depth of each scratch (1 to 20 μm). These scratches were formed by changing the load using a continuous load type scratching device (manufactured by HEIDON). Next, a photosensitive element was laminated on the copper surface under the conditions of a laminating speed of 1.5 m / min, a roll temperature of 110 ° C. and a roll cylinder pressure of 4 kgf / cm 2 . Next, a negative mask for forming a negative image having a line width of 100 μm was placed in a direction intersecting at right angles with the length direction of the scratch on the substrate and exposed with a high pressure mercury lamp. Then, PET
Was removed and development processing was carried out to obtain a resist image on the substrate. Further, a cupric chloride etching solution (50 ° C., spraying pressure 3 kgf / cm 2 ) was sprayed for 60 seconds to dissolve the copper in the portion not protected by the resist, thereby forming a copper line on the substrate. If the photosensitive element does not follow the scratches on the substrate, there is a gap between the resist and the substrate, so the etching solution penetrates at the intersection of the resist and the scratches, copper dissolves, and the copper line connects. It will not be done and will be disconnected. The flaw depth (μm) at which the disconnection starts was taken as the followability, and the results are shown in Tables 5, 6, and 7.

【0030】(4)感光性樹脂組成物のしみ出し 感光性エレメント50mをロール状に巻き、30℃で1
カ月放置して感光性樹脂組成物のロール端面からのしみ
出しの有無を観察し、結果を表5、表6及び表7に示し
た。
(4) Exudation of Photosensitive Resin Composition A photosensitive element 50 m is wound into a roll and is allowed to stand at 30 ° C. for 1 hour.
After leaving for a month, the presence or absence of seepage from the roll end surface of the photosensitive resin composition was observed, and the results are shown in Tables 5, 6 and 7.

【0031】(5)破片の生成 感光性エレメントをラミネータの切断機で切断した時の
感光性樹脂組成物の破片の生成を観察し、結果を表5、
表6及び表7に示した。
(5) Fragment Generation Fragment generation of the photosensitive resin composition was observed when the photosensitive element was cut by a laminator cutter, and the results are shown in Table 5.
The results are shown in Table 6 and Table 7.

【0032】[0032]

【表5】 [Table 5]

【0033】[0033]

【表6】 [Table 6]

【0034】[0034]

【表7】 [Table 7]

【0035】表5、表6及び表7に示すように、感光性
樹脂組成物の粘度を、30℃で20〜100MPa・secの
範囲にし、かつ、80℃で10〜70kPa・secの範囲に
することにより、感光性エレメントのロール端面からの
感光性樹脂組成物のしみ出しがなく、かつ、すぐれた追
従性を得ることができる。また、このような感光性樹脂
組成物は例えば、30〜80℃に融点を持つ結晶性ポリ
マと架橋剤の一方又は両方を用いることにより得られる
ことがわかる。
As shown in Table 5, Table 6 and Table 7, the viscosity of the photosensitive resin composition is in the range of 20 to 100 MPa · sec at 30 ° C. and in the range of 10 to 70 kPa · sec at 80 ° C. By doing so, the photosensitive resin composition does not exude from the roll end surface of the photosensitive element, and excellent followability can be obtained. Further, it can be seen that such a photosensitive resin composition can be obtained, for example, by using one or both of a crystalline polymer having a melting point at 30 to 80 ° C. and a crosslinking agent.

【0036】[0036]

【発明の効果】本発明による感光性樹脂組成物を用いた
感光性エレメントでは、室温では感光性樹脂組成物が感
光性エレメントのロール端部からしみ出すことがなく、
かつ、基板等に積層する時には高い凹凸追従性を示すの
で、従来より表面の粗い基板等を用いてプリント配線板
等を製造する時の製造収率を向上させることができる。
In the photosensitive element using the photosensitive resin composition according to the present invention, the photosensitive resin composition does not exude from the roll end portion of the photosensitive element at room temperature,
In addition, since it exhibits high unevenness followability when laminated on a substrate or the like, it is possible to improve the production yield when a printed wiring board or the like is produced using a substrate or the like having a rougher surface than before.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 G03F 7/033 H05K 3/06 H 3/18 D 7511−4E (72)発明者 立木 繁雄 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社茨城研究所内 (72)発明者 今泉 純一 茨城県下館市大字五所宮1150番地 日立化 成工業株式会社結城工場内 (72)発明者 加藤 松生 茨城県下館市大字五所宮1150番地 日立化 成工業株式会社結城工場内 (72)発明者 正岡 和隆 茨城県日立市東町四丁目13番1号 日立化 成工業株式会社山崎工場内─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI Technical indication location G03F 7/033 H05K 3/06 H 3/18 D 7511-4E (72) Inventor Shigeo Tachiki Ibaraki prefecture 4-13-1 Higashimachi, Hitachi-shi Hitachi Chemical Co., Ltd. Ibaraki Research Institute (72) Inventor Junichi Imaizumi 1150 Goshomiya, Shimodate-shi, Ibaraki Hitachi Chemical Co., Ltd. Yuuki Factory (72) Inventor Matsuo Kato 1150 Goshonomiya, Shimodate City, Ibaraki Prefecture Inside Hitachi Chemical Co., Ltd. Yuki Plant (72) Inventor Kazutaka Masaoka 4-13-1 Higashimachi, Hitachi City, Ibaraki Hitachi Chemical Co., Ltd. Yamazaki Plant

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 カルボキシル基含有ビニル系共重合体か
らなるフィルム性付与ポリマ40〜80重量部、エチレ
ン性不飽和結合を持つ架橋剤20〜60重量部及び活性
線により遊離ラジカルを生成する光重合反応開始剤0.
01〜20重量部(フィルム性付与ポリマと架橋剤の総
計が100重量部となる量で用いる)を含む感光性樹脂
組成物であって、30℃での粘度が、20〜100MPa・
sec、80℃での粘度が10〜70kPa・secである感光性
樹脂組成物。
1. A photopolymerization which forms free radicals by 40 to 80 parts by weight of a film-forming polymer composed of a carboxyl group-containing vinyl copolymer, 20 to 60 parts by weight of a cross-linking agent having an ethylenically unsaturated bond, and an actinic ray. Reaction initiator 0.
A photosensitive resin composition containing 01 to 20 parts by weight (used in such an amount that the total amount of the film property imparting polymer and the crosslinking agent is 100 parts by weight), having a viscosity at 30 ° C. of 20 to 100 MPa.
A photosensitive resin composition having a viscosity of 10 to 70 kPa · sec at 80 ° C for sec.
【請求項2】 エチレン性不飽和結合を持つ架橋剤が、
30〜80℃に融点を持つ化合物を含有するものである
請求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. A cross-linking agent having an ethylenically unsaturated bond,
The photosensitive resin composition according to claim 1, which contains a compound having a melting point of 30 to 80 ° C.
【請求項3】 30〜80℃に融点を持つ化合物が、ト
リス(アクリロキシエチル)イソシアヌレート、メトキ
シポリエチレングリコール1000メタクリレート、ポ
リエチレングリコール1000ジメタクリレート、4−
(2,2,6,6−テトラメチルピペリジニル)メタク
リレート、ビスフェノール系エポキシアクリレート、ウ
レタンアクリレート系単量体(分子量1,000以上)
の内の1種類又は2種類以上である請求項2記載の感光
性樹脂組成物。
3. A compound having a melting point of 30 to 80 ° C. is tris (acryloxyethyl) isocyanurate, methoxy polyethylene glycol 1000 methacrylate, polyethylene glycol 1000 dimethacrylate, 4-
(2,2,6,6-tetramethylpiperidinyl) methacrylate, bisphenol epoxy acrylate, urethane acrylate monomer (molecular weight of 1,000 or more)
The photosensitive resin composition according to claim 2, which is one kind or two or more kinds of the above.
【請求項4】 カルボキシル基含有ビニル系共重合体か
らなるフィルム性付与ポリマが、30〜80℃に結晶化
温度を持つ結晶性ポリマを含有するものである請求項1
記載の感光性樹脂組成物。
4. The film property imparting polymer comprising a carboxyl group-containing vinyl copolymer contains a crystalline polymer having a crystallization temperature of 30 to 80 ° C.
The photosensitive resin composition described.
【請求項5】 結晶性ポリマが、一般式(I) 【化1】 (式中、Rは水素原子又はメチル基を示し、nは12〜
24の整数である)で表されるモノマを共重合させたポ
リマである請求項4記載の感光性樹脂組成物。
5. The crystalline polymer has the general formula (I): (In the formula, R represents a hydrogen atom or a methyl group, and n is 12 to
The photosensitive resin composition according to claim 4, which is a polymer obtained by copolymerizing a monomer represented by the formula (24 is an integer of 24).
【請求項6】 エチレン性不飽和結合を持つ架橋剤が、
30〜80℃に融点を持つ化合物を含有するものであ
り、かつカルボキシル基含有ビニル系共重合体からなる
フィルム性付与ポリマが、30〜80℃に結晶化温度を
持つ結晶性ポリマを含有するものである請求項1記載の
感光性樹脂組成物。
6. A cross-linking agent having an ethylenically unsaturated bond,
A polymer containing a compound having a melting point of 30 to 80 ° C., and a film-forming polymer made of a carboxyl group-containing vinyl copolymer containing a crystalline polymer having a crystallization temperature of 30 to 80 ° C. The photosensitive resin composition according to claim 1, which is
【請求項7】 請求項1、2、3、4、5又は6記載の
感光性樹脂組成物の層を支持体上に積層してなる感光性
エレメント。
7. A photosensitive element obtained by laminating a layer of the photosensitive resin composition according to claim 1, 2, 3, 4, 5 or 6 on a support.
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Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2002249504A (en) * 2001-02-22 2002-09-06 Fuji Photo Film Co Ltd Photopolymerizable composition
JP2002268229A (en) * 2001-03-08 2002-09-18 Asahi Kasei Corp Photosensitive resin laminate
US7645561B1 (en) 1997-09-19 2010-01-12 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive film
JP2014196410A (en) * 2013-03-29 2014-10-16 Dic株式会社 Active energy ray-curable composition, active energy ray-curable coating material, article coated with the same
JP2016172796A (en) * 2015-03-16 2016-09-29 東洋インキScホールディングス株式会社 Active energy ray-polymerizable resin composition for stereolithography, and three-dimensional molded object

Cited By (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7645561B1 (en) 1997-09-19 2010-01-12 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive film
US7687224B2 (en) 1997-09-19 2010-03-30 Hitachi Chemical Company, Ltd. Photosensitive film
JP2002249504A (en) * 2001-02-22 2002-09-06 Fuji Photo Film Co Ltd Photopolymerizable composition
JP4512281B2 (en) * 2001-02-22 2010-07-28 富士フイルム株式会社 Negative type planographic printing plate precursor
JP2002268229A (en) * 2001-03-08 2002-09-18 Asahi Kasei Corp Photosensitive resin laminate
JP2014196410A (en) * 2013-03-29 2014-10-16 Dic株式会社 Active energy ray-curable composition, active energy ray-curable coating material, article coated with the same
JP2016172796A (en) * 2015-03-16 2016-09-29 東洋インキScホールディングス株式会社 Active energy ray-polymerizable resin composition for stereolithography, and three-dimensional molded object

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