JPH0894347A - Scan rail device for measuring thickness - Google Patents

Scan rail device for measuring thickness

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JPH0894347A
JPH0894347A JP22750194A JP22750194A JPH0894347A JP H0894347 A JPH0894347 A JP H0894347A JP 22750194 A JP22750194 A JP 22750194A JP 22750194 A JP22750194 A JP 22750194A JP H0894347 A JPH0894347 A JP H0894347A
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ball screw
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film
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Noboru Kusafuka
昇 草深
Takeshi Okada
武 岡田
Kosuke Onaka
康祐 尾中
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Mitsubishi Heavy Industries Ltd
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Abstract

PURPOSE: To reduce cost by forming a structure where the vertical drop prevention structure of lubrication oil and lubrication material is simplified. CONSTITUTION: A running device of a film thickness meter for measuring the thickness of a film by running a transmission head 25 and a reception head 26 provided at the upper and lower portions of a running sheet-shaped film in synchronization on rails consists of a linear bearing guide rail 22 and a flat rail 31 which are mounted horizontally on the center vertical material side surface of a pair of H steels for constituting the upper and lower beams of the running device, a transmission head traveling stand 24 and a reception head traveling stand 34 with one set of horizontal rotary wheel which pinch a linear bearing 23 and a flat rail 31 guided by the linear bearing guide rail 22 from both sides and are guided by them, and a reciprocating running drive means of the same traveling stand.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は連続して送られているシ
ート状フィルムの厚みを全幅に亙って測定する厚み測定
用スキャンレール装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a thickness measuring scan rail device for measuring the thickness of a continuously fed sheet-shaped film over its entire width.

【0002】[0002]

【従来の技術】走行中のフィルムに赤外線、紫外線、β
線等を透過し、それら透過線の減衰量を測定し、シート
状フィルムの厚みをフィルム全幅に亙って測定するスキ
ャン方式の厚み計においては、発信ヘッドと受信ヘッド
を、被測定フィルムを挟んで対向配置し、同期してフィ
ルム幅方向に往復移動させる。この場合発信ヘッドと受
信ヘッドの相対位置にずれが生ずると測定誤差が発生す
るため、発信ヘッドと受信ヘッド走行用スキャンレール
は高精度に加工され、組立てられることが必要である。
従来の厚み測定用スキャンレール及び厚みセンサ台車
は、剛性の大きいフレームの一部を精密加工仕上げをし
てスキャンレールを形成し、これを上下から隙間なくセ
ンサ台付属の車輪で挟み、センサ台を走行させる構造で
あったが、最近はリニアモーションベアリングを利用し
たものが使われ出している。
2. Description of the Related Art Infrared rays, ultraviolet rays, β
In a scanning type thickness meter that transmits lines and the like, measures the amount of attenuation of the transmitted lines, and measures the thickness of the sheet-shaped film over the entire width of the film, the transmission head and the reception head sandwich the film to be measured. Are opposed to each other and are reciprocally moved in the film width direction in synchronization. In this case, a measurement error occurs when the relative position between the transmitting head and the receiving head is displaced, so that the transmitting head and the receiving head traveling scan rail must be processed and assembled with high accuracy.
In the conventional thickness measurement scan rail and thickness sensor dolly, a part of a frame with high rigidity is precision processed to form a scan rail, and the scan rail is sandwiched between the top and bottom without any gap, and the sensor base is attached. It used to run, but recently a linear motion bearing has been used.

【0003】図7は実公昭61−24886号公報にて
従来提案されている厚み測定用スキャンレール装置を示
す断面図である。図7において、11はH形鋼又はI形
鋼で構成された基台で、この基台11上には一対の軌道
台12が平行に設置(固定)されている。13はリニア
モーションベアリングで、その詳細構造は図8及び図9
で示される。ベアリング13に組込まれたボールは、軌
道台12に形成された4条の軌道溝(ボール外径と合致
した凹溝)12a及びベアリングケース13cの溝内を
転動し、ベアリング13の直線運動を可能にしている。
即ち、ベアリング13のボールが形成する4条のボール
列は、軌道台12の両肩部12bにそれぞれ2条ずつ配
置され、各ボール列は軌道溝12a内を負荷を受けて転
動する負荷ボール列部分13aと、軌道溝12aから外
れた位置を転動する逃げボール列部分13bとに分けら
れ、各ボールがこのボール列部分13a,13bの各部
分を転動することにより、ベアリング13の直線運動を
可能にしている。14はベアリング13上に設置された
センサ移動台で、この移動台14にセンサ15が取付け
られる。これによりセンサ15はスキャン方向(軌道台
12の長手方向)に移動できることになる。このような
構成のスキャンレールにおいては、基台11の片面のみ
を平面加工するだけでよく、加工誤差や組立の歪みが生
じたときも、スキャンレールに対しライナ調整でカバー
できるので、加工コストを少なくすることができる。
FIG. 7 is a sectional view showing a thickness measuring scan rail device conventionally proposed in Japanese Utility Model Publication No. 61-24886. In FIG. 7, 11 is a base made of H-shaped steel or I-shaped steel, and a pair of track rails 12 are installed (fixed) on the base 11 in parallel. 13 is a linear motion bearing, the detailed structure of which is shown in FIGS.
Indicated by. The balls incorporated in the bearing 13 roll in the four groove grooves (concave grooves matching the ball outer diameter) 12a formed in the raceway 12 and the groove of the bearing case 13c, and the linear motion of the bearing 13 is achieved. It is possible.
That is, the four rows of balls formed by the balls of the bearing 13 are arranged in two rows on each of the shoulders 12b of the raceway 12, and each row of balls receives a load in the raceway groove 12a and rolls under load. It is divided into a row portion 13a and a relief ball row portion 13b that rolls at a position deviated from the raceway groove 12a, and each ball rolls each portion of the ball row portions 13a and 13b, so that the straight line of the bearing 13 is formed. Allows exercise. Reference numeral 14 is a sensor moving base installed on the bearing 13, and a sensor 15 is attached to the moving base 14. This allows the sensor 15 to move in the scanning direction (longitudinal direction of the track 12). In the scan rail having such a configuration, only one surface of the base 11 needs to be machined flat, and even if a machining error or a distortion of assembly occurs, the scan rail can be covered by the liner adjustment. Can be reduced.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】従来のフィルム厚み測
定装置は、上側のセンサ移動台のスキャンレールは被測
定フィルムの全幅に亙って下向きに設けてある構造であ
るため、スキャンレールの潤滑油が漏れたり、飛び散っ
たりしたとき、製品フィルムを汚す可能性がある。また
基台である大型のH形鋼の数個所の面を高精度に加工し
なければならないので、多くの手間と工数がかかる欠点
があった。本発明は前記従来の問題を解決しようとする
もので、潤滑油、潤滑材等の垂落防止構造を簡素化した
構造として、コストの低下を図ることができる厚み測定
用スキャンレール装置を提供せんとするものである。
In the conventional film thickness measuring device, since the scan rail of the upper sensor moving base has a structure in which the scan rail is provided downward over the entire width of the film to be measured, the lubricating oil for the scan rail is used. Leakage or spills can contaminate the product film. In addition, since several large-sized H-section steels, which are the base, have to be machined with high accuracy on several surfaces, there is a drawback that it takes a lot of time and labor. SUMMARY OF THE INVENTION The present invention is intended to solve the above-mentioned conventional problems, and provides a thickness measuring scan rail device capable of reducing cost as a structure that simplifies the structure for preventing dripping of lubricating oil, lubricant, etc. To do.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】このため本発明は、走行
するシート状フィルムの上下に配設された発信ヘッド及
び受信ヘッドを、それぞれレール上で同期して走行させ
てフィルムの厚みを測定するフィルム厚み計の走行装置
において、前記走行装置の上下の水平桁を構成する一対
のH形鋼の中央縦材側面に水平に取付けられたリニアベ
アリングガイドレール及びフラットレールと、前記リニ
アベアリングガイドレールにガイドされるリニアベアリ
ング及び前記フラットレールを両側から挟んでこれにガ
イドされる1組の水平回転車輪とを備えた発信ヘッド及
び受信ヘッド移動台と、同移動台の往復走行駆動手段と
により構成してなるものであり、また発信ヘッド及び受
信ヘッド移動台の往復走行駆動手段が、上下一対のH形
鋼の中央縦材側面に水平に取付けてあって駆動モータに
より同期回転して駆動されるボールスクリュと、同ボー
ルスクリュに螺合し前記発信ヘッド及び受信ヘッド移動
台に固設されたボールスクリュナットとにより構成して
なるもので、これを課題解決のための手段とするもので
ある。
Therefore, according to the present invention, the transmitting head and the receiving head disposed above and below the traveling sheet-like film are made to synchronously run on the rails to measure the film thickness. In a traveling device of a film thickness gauge, a linear bearing guide rail and a flat rail horizontally attached to the side surfaces of a central vertical member of a pair of H-shaped steels constituting upper and lower horizontal girders of the traveling device, and the linear bearing guide rail. It comprises a transmitting head and a receiving head moving base provided with a guided linear bearing and a pair of horizontal rotating wheels sandwiching the flat rail from both sides, and a reciprocating traveling drive means of the moving base. In addition, the reciprocating traveling drive means of the transmitting head and the receiving head moving base is composed of a pair of upper and lower H-shaped steel central vertical member side surfaces. A ball screw which is mounted horizontally and is driven to rotate synchronously by a drive motor, and a ball screw nut which is screwed onto the ball screw and is fixed to the transmitting head and the receiving head moving base. Then, this is a means for solving the problems.

【0006】更に本発明は、走行するシート状フィルム
の上下に配設された発信ヘッド及び受信ヘッドを、それ
ぞれレール上で同期して走行させてフィルムの厚みを測
定するフィルム厚み計の走行装置において、前記走行装
置の上下の水平桁を構成する一対のH形鋼の中央縦材側
面に水平に取付けられた回転可能なボールスクリュ及び
固定フラットレールと、前記ボールスクリュと螺合する
ボールスクリュナット及びフラットレールを両側から挟
んでこれにガイドされる1組の水平回転車輪とを備えた
発信ヘッド及び受信ヘッド移動台と、前記上下一対のボ
ールスクリュを回して移動台を同期して往復走行させる
駆動モータとにより構成してなるもので、これを課題解
決のための手段とするものである。また本発明は、走行
するシート状フィルムの上下に配設された発信ヘッド及
び受信ヘッドを、それぞれレール上で同期して走行させ
てフィルムの厚みを測定するフィルム厚み計の走行装置
において、前記走行装置の上下の水平桁を構成する一対
のH形鋼の中央縦材側面に水平に取付けられた回転可能
なボールスクリュ及び固定山形レールと、前記ボールス
クリュと螺合するボールスクリュナット及び山形レール
の両斜面によってガイドされる1組の斜め回転車輪とを
備えた発信ヘッド及び受信ヘッド移動台と、前記上下一
対のボールスクリュを回して移動台を同期して往復走行
させる駆動モータとにより構成してなるもので、これを
課題解決のための手段とするものである。
Further, the present invention relates to a traveling device for a film thickness gauge, wherein an originating head and a receiving head disposed above and below a traveling sheet-like film are caused to travel synchronously on rails to measure the thickness of the film. A rotatable ball screw and a fixed flat rail that are horizontally attached to the side surfaces of a central vertical member of a pair of H-shaped steels that constitute upper and lower horizontal girders of the traveling device; a ball screw nut that is screwed with the ball screw; A drive for moving a transmitting head and a receiving head provided with a pair of horizontal rotating wheels guided by the flat rail sandwiched between the rails, and a drive for rotating the pair of upper and lower ball screws to synchronously reciprocate the moving base. It is composed of a motor and serves as a means for solving the problems. Further, the present invention relates to a traveling device of a film thickness gauge for measuring a film thickness by causing a transmitting head and a receiving head disposed above and below a traveling sheet-like film to synchronously travel on rails, respectively, in the traveling device. Of the pair of H-shaped steels constituting the upper and lower horizontal girders of the apparatus, the rotatable ball screw and fixed mountain rail horizontally mounted on the side surfaces of the central vertical member, and the ball screw nut and mountain rail screwed with the ball screw. The transmission head and the reception head moving base provided with a pair of diagonally rotating wheels guided by both slopes, and a drive motor for rotating the pair of upper and lower ball screws to reciprocate the moving base synchronously. And this is the means for solving the problems.

【0007】[0007]

【作用】発信ヘッド及び受信ヘッド移動台は、これに取
付けたリニアベアリングとフラットレールを両側から挟
んでいる1組の水平回転車輪を介して、一対のH形鋼に
取付けられたリニアベアリングガイドレール及びフラッ
トレールにより確実にガイドされ、駆動手段により同期
して往復走行する。発信ヘッド及び受信ヘッドは上下に
間隔を空けて対向して置かれ、その間を被測定フィルム
が走行し、フィルム側からみればフィルム面を稲妻形状
にスキャンニングしながら、両ヘッドの間を透過する赤
外線、紫外線、β線等の透過線の減衰量を測定すること
により、フィルムの厚みが算定される。リニアベアリン
グガイドレール及びフラットレール、ヘッド移動台のリ
ニアベアリング及び水平回転車輪、駆動機構等の要潤滑
部はすべてH形鋼の凹部に収まり、潤滑油、潤滑剤等の
垂落を防止できる構造となっている。
The transmitting head and the receiving head moving base are linear bearing guide rails mounted on a pair of H-shaped steels through a pair of horizontal rotating wheels sandwiching the linear bearings and flat rails mounted on them. Further, it is reliably guided by the flat rail, and reciprocally travels in synchronization with the driving means. The transmitting head and the receiving head are placed facing each other with a space above and below, the film to be measured runs between them, and while scanning the film surface in a lightning shape when seen from the film side, it penetrates between both heads. The thickness of the film is calculated by measuring the attenuation of transmitted rays such as infrared rays, ultraviolet rays and β rays. Linear bearings Guide rails and flat rails, linear bearings for head moving bases, horizontal rotating wheels, drive mechanisms, and other parts that require lubrication are all contained in recesses in H-shaped steel, and have a structure that can prevent dripping of lubricating oil, lubricant, etc. ing.

【0008】ヘッド移動台の駆動機構は通常チエンと減
速モータによるが、H形鋼の凹部にボールスクリュを回
転可能に取付け、ヘッド移動台にボールスクリュナット
を固設し、同一又はそれぞれに直結したモータによりボ
ールスクリュを回し、ヘッド移動台を同期して往復走行
させる構造であれば、発信ヘッド及び受信ヘッドの走行
は滑らかとなり、相対位置はより確実に保たれる。また
被測定フィルムの幅が小寸法の場合、ヘッド移動台駆動
機構としてボールスクリュとボールスクリュナットを使
用すれば、フラットレールと共にボールスクリュでヘッ
ド移動台の走行ガイドを兼用することができる。更にヘ
ッド移動台駆動機構としてボールスクリュとボールスク
リュナットを使用し、前記フラットレールの代わりに山
形レール、ヘッド移動台に山形レールの両斜面によって
ガイドされる1組の斜め回転車輪とを取付けたものは、
山形レールでヘッド移動台の重量を支えて上下左右をガ
イドし、移動台の回転方向の揺れをボールスクリュで抑
えることができる。
The driving mechanism of the head moving base is usually a chain and a reduction motor, but a ball screw is rotatably mounted in the recess of the H-shaped steel, and a ball screw nut is fixedly mounted on the head moving base, and they are directly or directly connected to each other. With the structure in which the motor rotates the ball screw to synchronously move the head moving base back and forth, the transmitting head and the receiving head travel smoothly, and the relative positions are more reliably maintained. When the width of the film to be measured is small, if the ball screw and the ball screw nut are used as the head moving base driving mechanism, the ball screw can serve as the traveling guide of the head moving base together with the flat rail. Further, a ball screw and a ball screw nut are used as a head moving base drive mechanism, and a mountain rail is attached instead of the flat rail, and a pair of diagonal rotating wheels guided by both slopes of the mountain rail are attached to the head moving base. Is
The mountain rail supports the weight of the head moving base and guides it up, down, left and right, and the swing of the moving base in the rotating direction can be suppressed by the ball screw.

【0009】[0009]

【実施例】以下本発明を図面の実施例について説明する
と、図1〜図4は本発明の第1実施例を示す。この第1
実施例は厚み測定用ヘッド移動台走行装置に、リニアベ
アリングとフラットレールと、チエン及びモータによる
駆動機構を用いたものであり、図1は厚み測定用ヘッド
移動台走行装置の全体斜視図、図2は上下のヘッド移動
台の構造及び配置を示す側断面図、図3は上側ヘッド移
動台及び周辺の構成を示す斜視図、図4は発信ヘッド移
動台の断面図である。図において21,21’は、走行
装置の上下の水平桁を構成するH形鋼よりなる主フレー
ムであり、支柱18,19に固設し支えられる。この主
フレーム21,21’のH形鋼の中央縦材側面に沿って
等ピッチに数個所ガイド支持部材41,41’が固設さ
れており、このガイド支持部材41,41’にリニアベ
アリングガイドレール22,22’及びフラットレール
31,31’が水平に取付けられている。24はリニア
ベアリングガイドレール22とフラットレール31にガ
イドされる上側ヘッド移動台、34はリニアベアリング
ガイドレール22’とフラットレール31’にガイドさ
れる下側ヘッド移動台である。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS The present invention will be described below with reference to embodiments of the drawings. FIGS. 1 to 4 show a first embodiment of the present invention. This first
In the embodiment, a linear bearing, a flat rail, and a drive mechanism including a chain and a motor are used in a thickness measuring head moving base traveling device, and FIG. 1 is an overall perspective view of the thickness measuring head moving base traveling device. 2 is a side sectional view showing the structure and arrangement of the upper and lower head moving bases, FIG. 3 is a perspective view showing the configuration of the upper head moving base and the surroundings, and FIG. 4 is a sectional view of the transmitting head moving base. In the figure, reference numerals 21 and 21 'are main frames made of H-shaped steel that constitute the upper and lower horizontal girders of the traveling device, and are fixedly supported by the columns 18 and 19. A plurality of guide support members 41, 41 'are fixedly installed at equal pitches along the side surface of the central vertical member of the H-shaped steel of the main frames 21, 21'. The guide support members 41, 41 'have linear bearing guides. The rails 22 and 22 'and the flat rails 31 and 31' are horizontally mounted. Reference numeral 24 denotes an upper head moving base guided by the linear bearing guide rail 22 and the flat rail 31, and 34 denotes a lower head moving base guided by the linear bearing guide rail 22 'and the flat rail 31'.

【0010】上側ヘッド移動台24は、リニアベアリン
グガイドレール22にガイドされる2個のリニアベアリ
ング23が直列に取付けてある移動台フレーム27、同
移動台フレーム27に固設されていて、フラットレール
31を両側から挟んでこれにガイドされる3個一組の車
輪32の軸33が固定してある車軸台29、同様に移動
台フレーム27に固設された支台28、支台28の両側
に取付けられた支板30、同支板30に高さ位置を調整
できるように取付けられた発信ヘッド25とにより構成
されている。下側ヘッド移動台34は、リニアベアリン
グ23’と車軸台29の取付け位置が上側と同じ上下関
係位置となっていること以外は、上側ヘッド移動台24
と上下反対の部品配置となっており、そのため移動台フ
レーム37の形状は上側の移動台フレーム27と少し異
なっている。その他の構成は上側と同様であるので詳細
は省略する。
The upper head moving table 24 has a moving table frame 27 on which two linear bearings 23 guided by the linear bearing guide rail 22 are mounted in series, and is fixedly mounted on the moving table frame 27. Axle base 29 to which shafts 33 of a set of three wheels 32 fixed by sandwiching 31 from both sides are fixed, similarly, an abutment 28 fixed to a moving base frame 27, both sides of the abutment 28. And a transmitting head 25 mounted on the support plate 30 so that the height position can be adjusted. The lower head moving base 34 has an upper head moving base 24 except that the mounting positions of the linear bearing 23 'and the axle base 29 are in the same vertical relationship as the upper side.
Since the parts are arranged upside down, the moving base frame 37 is slightly different in shape from the upper moving base frame 27. The other configurations are similar to those on the upper side, and thus details thereof will be omitted.

【0011】次に発信ヘッド及び受信ヘッド移動台2
4,34の往復走行駆動手段の構成を説明すると、図1
において下側の主フレーム21’に取付けられた駆動モ
ータ45の出力は、スプロケット46,チエン43,ス
プロケット47を介して中間軸44に伝えられ、同中間
軸44に取付けられたスプロケット48によりチエン4
2に伝えられる。チエン42の片端は、スプロケット5
0,52を経て、上側ヘッド移動台24の構成部品であ
る車軸台29に備えられたチエン止め具53aに結合さ
れ、チエン42のもう一方の端部は、スプロケット51
を経て同じ車軸台29の別側に備えられたチエン止め具
53bに結合されており、モータ45の回転により上側
ヘッド移動台24をどちらの方向でも移動することがで
きる。また中間軸44の回転は、同時にこれに取付けら
れたスプロケット61によりチエン42’に伝えられ、
チエン42’は、スプロケット62を介して前記と同様
の構成で下側ヘッド移動台34に結合されこれを駆動す
る。このようなチエン43,42,42’と同じ歯数の
各スプロケットの構成配置により上下のヘッド移動台2
4,34は相対位置を替えずに保持したまま同期移動が
できる。また図1に示した主フレーム21の上の両側に
備えられた近接センサ54は、移動中の上側ヘッド移動
台24を検出し、モータ45を停止した後逆転させ、上
下のヘッド移動台24,34をフィルムの厚み検査に必
要な距離だけ往復移動させるためのものである。
Next, the transmitting head and the receiving head moving base 2
The configuration of the reciprocating traveling drive means 4 and 34 will be described with reference to FIG.
, The output of the drive motor 45 attached to the lower main frame 21 ′ is transmitted to the intermediate shaft 44 via the sprocket 46, the chain 43, and the sprocket 47, and the sprocket 48 attached to the intermediate shaft 44 transmits the output to the chain 4.
2. One end of the chain 42 has a sprocket 5
0, 52, and is connected to a chain stopper 53a provided on an axle base 29 which is a component of the upper head moving base 24, and the other end of the chain 42 is connected to a sprocket 51.
Via a chain stopper 53b provided on the other side of the same axle base 29, and the upper head moving base 24 can be moved in either direction by rotation of the motor 45. Further, the rotation of the intermediate shaft 44 is simultaneously transmitted to the chain 42 'by the sprocket 61 attached thereto,
The chain 42 'is connected to the lower head moving base 34 via the sprocket 62 and drives the lower head moving base 34 in the same configuration as described above. The upper and lower head moving bases 2 are formed by the arrangement of the respective sprockets having the same number of teeth as those of the chains 43, 42, 42 '.
4, 34 can be moved synchronously while holding the relative positions without changing. Proximity sensors 54 provided on both sides of the main frame 21 shown in FIG. 1 detect the moving upper head moving table 24, stop the motor 45, and then reverse the head. This is for reciprocally moving 34 by a distance required for film thickness inspection.

【0012】次に前記の如く構成された第1実施例につ
いて作用を説明すると、発信ヘッド及び受信ヘッド移動
台24,34は、これらに取付けられたリニアベアリン
グ23,23’と車輪32を介して、主フレーム21,
21’に取付けられたリニアベアリングガイドレール2
2,22’及びフラットレール31,31’に確実にガ
イドされる。また発信ヘッド25及び受信ヘッド26は
上下に間隔を空けて対向して置かれ、モータ45とチエ
ン42,42’,43による駆動手段により同期し、近
接センサ54で移動幅を検出して往復走行する。両方の
ヘッドの間を被測定フィルムが走行し、フィルム側から
みればフィルム面を稲妻形状にスキャニングしながら、
両ヘッドの間を透過する赤外線,紫外線,β線等の透過
線の減衰量を測定することにより、フィルムの厚みが算
定される。上側のリニアベアリングガイドレール22及
びフラットレール31、上側ヘッド移動台24のリニア
ベアリング23及び水平回転車輪32,駆動チエン42
等の要潤滑部はすべて主フレーム21のH形鋼の凹部に
収まり、潤滑油、潤滑剤等の垂落を防止できる構造とな
っている。また下側の構成部品も同様に、すべて主フレ
ーム21’のH形鋼の凹部に収まり、機械の下側の床部
を汚さない構造となっている。
Next, the operation of the first embodiment constructed as described above will be described. The transmitting head and receiving head moving bases 24 and 34 are mounted on the linear bearings 23 and 23 'and the wheels 32, respectively. , Main frame 21,
Linear bearing guide rail 2 mounted on 21 '
2, 22 'and the flat rails 31, 31' are reliably guided. Further, the transmitting head 25 and the receiving head 26 are placed facing each other with a vertical space therebetween, and are synchronized by the drive means by the motor 45 and the chains 42, 42 ′, 43, and the proximity sensor 54 detects the movement width to reciprocate. To do. The film to be measured runs between both heads, and when viewed from the film side, scanning the film surface in a lightning shape,
The thickness of the film is calculated by measuring the attenuation of transmission lines such as infrared rays, ultraviolet rays, and β rays that pass between both heads. Upper linear bearing guide rail 22 and flat rail 31, linear bearing 23 of upper head moving base 24, horizontal rotating wheel 32, drive chain 42
All the required lubrication parts such as are contained in the recesses of the H-shaped steel of the main frame 21 and have a structure capable of preventing the dropping of the lubricating oil, the lubricant and the like. Similarly, all the lower components are also housed in the recesses of the H-shaped steel of the main frame 21 'so that the lower floor of the machine is not soiled.

【0013】また図4に示したように前記の発信ヘッド
及び受信ヘッド移動台の往復走行駆動機構が、主フレー
ム21,21’のH形鋼の凹部内に水平に取付けられた
ボールスクリュ70と、同ボールスクリュ70に螺合し
発信ヘッド及び受信ヘッドの移動台フレーム27、37
にナット支台68を介在して固設されたボールスクリュ
ナット62と、一対のボールスクリュ70を同時に駆動
する図示省略の駆動モータとにより構成すれば(下側の
ヘッド移動台は図示省略)、一対のボールスクリュ70
が同時に回転し、発信ヘッド及び受信ヘッド移動台2
4,34は相対位置を保ったまま往復駆動される。この
ような構成の駆動機構は十分な工作・組立精度が得られ
るので、発信ヘッド25及び受信ヘッド26の走行は滑
らかで、位置精度も良い。
Further, as shown in FIG. 4, the reciprocating drive mechanism of the transmitting head and the receiving head moving base is a ball screw 70 horizontally mounted in the recess of the H-shaped steel of the main frames 21, 21 '. , The moving base frames 27 and 37 of the transmitting head and the receiving head screwed to the ball screw 70.
If a ball screw nut 62 fixedly provided with a nut support 68 interposed therebetween and a drive motor (not shown) that drives a pair of ball screws 70 at the same time (the lower head moving base is not shown), A pair of ball screws 70
Rotate at the same time, and the transmitting head and receiving head moving base 2
4, 34 are reciprocally driven while maintaining their relative positions. Since the driving mechanism having such a structure can obtain sufficient working / assembling accuracy, the transmitting head 25 and the receiving head 26 travel smoothly and have good positional accuracy.

【0014】次に図5により本発明の第2実施例につい
て説明すると、この第2実施例は小寸法幅フィルムの厚
み測定に適用されるもので、上下のヘッド移動台の駆動
に、ボールスクリュ70、ボールスクリュナット62及
びモータによる駆動機構を用い、ヘッド移動台のガイド
にボールスクリュ70を兼用し、フラットレール31を
使用したものである。ボールスクリュ70は主フレーム
21のH形鋼の凹部に水平の回転可能に取付けられ、図
示省略のモータによって駆動され、同ボールスクリュ7
0と螺合するボールスクリュナット62は移動台フレー
ム27に固設される。またフラットレール31は主フレ
ーム21に取付けられたガイド支持部材63によって固
定して支えられており、同移動台フレーム27に固設さ
れた車軸台29には3個一組の車輪32の軸33が固定
してあり、同車輪32がフラットレール31を両側から
挟んでこれにガイドされる。その他の構成は第1実施例
と同様であるので説明を省略する。
Next, a second embodiment of the present invention will be described with reference to FIG. 5. This second embodiment is applied to the measurement of the thickness of a film having a small width, and is used for driving the upper and lower head moving bases. 70, a ball screw nut 62 and a drive mechanism by a motor are used, the ball screw 70 is also used as a guide of the head moving base, and the flat rail 31 is used. The ball screw 70 is horizontally rotatably attached to the H-shaped recess of the main frame 21 and is driven by a motor (not shown).
A ball screw nut 62 screwed with 0 is fixed to the moving base frame 27. The flat rail 31 is fixedly supported by a guide support member 63 attached to the main frame 21, and an axle base 29 fixedly mounted on the movable base frame 27 has a shaft 33 of a set of three wheels 32. Are fixed, and the wheels 32 are guided by the flat rail 31 with the flat rail 31 sandwiched from both sides. The other structure is similar to that of the first embodiment, and the description thereof is omitted.

【0015】また被測定フィルムの幅が小寸法の場合
に、ボールスクリュ70の長さが短く、径が適当に太く
て曲げ強度が十分であり、ヘッド移動台24又は34の
重量を支える場合は、ボールスクリュ70にヘッド移動
台24又は34の重量を担わせ、同時にフラットレール
と共にヘッド移動台の走行ガイドに兼用させることがで
きる。この場合も第1実施例と同様に、図示省略のモー
タにより一対のボールスクリュ70が同時に回転し、発
信ヘッド25及び受信ヘッド26が相対位置を保ったま
ま往復駆動し、両ヘッドの間を通るフィルムの厚みが測
定される。
When the width of the film to be measured is small, the ball screw 70 has a short length, an appropriately large diameter, and a sufficient bending strength to support the weight of the head moving table 24 or 34. The ball screw 70 can bear the weight of the head moving base 24 or 34, and at the same time can be used as a traveling guide for the head moving base together with the flat rail. Also in this case, as in the first embodiment, a pair of ball screws 70 are simultaneously rotated by a motor (not shown), and the transmitting head 25 and the receiving head 26 are reciprocally driven while maintaining their relative positions, and pass between both heads. The thickness of the film is measured.

【0016】次に図6により本発明の第3実施例につい
て説明すると、この第3実施例は厚み測定用ヘッドの駆
動に、ボールスクリュ70、ボールスクリュナット62
及びモータによる駆動機構を用い、ヘッド移動台のガイ
ドにボールスクリュ70を兼用すると共に、山形レール
65を使用したものである。ボールスクリュ70は主フ
レーム21のH形鋼の凹部に水平に回転可能に取付けら
れ、図示省略のモータによって駆動されており、同ボー
ルスクリュ70と螺合するボールスクリュナット62
は、移動台フレーム27に固設される。また山形レール
65は主フレーム21に取付けられたガイド支持部材6
4によって固定して支えられる。移動台フレーム27に
固設された車軸台66には3個一組の車輪32の軸33
が固定してあり、図6に示したように、2個の車輪32
は、山形レール65の片側斜面によってガイドされ、1
個の車輪32は、山形レール65の前記と対称の斜面に
よってガイドされるように配設されている。その他の構
成は第1実施例と同様であるので、説明を省略する。こ
の第3実施例においては、山形レール65でヘッド移動
台の重量を支え、上下左右をガイドし、ボールスクリュ
70はヘッド移動台24,34の脱線と回転方向揺れを
抑えることができる。またこの第3実施例も第1実施例
と同様に、図示省略のモータにより一対のボールスクリ
ュ70が同時に回転し、発信ヘッド25及び受信ヘッド
26が相対位置を保ったまま往復駆動し、両ヘッドの間
を通るフィルムの厚みが測定される。なお前記記載のH
形鋼とは、H形状の鋼材のことであり、フランジ部の少
ないI形鋼及びH形状に溶接した鋼材をも含むことは云
うまでもない。また各実施例において、フラットレール
31,31’及び山形レール65に代えて磨き棒鋼を採
用すれば、車輪32が転動する平面の切削加工を省略す
ることができる。
Next, referring to FIG. 6, a third embodiment of the present invention will be described. In the third embodiment, the ball screw 70 and the ball screw nut 62 are used for driving the thickness measuring head.
In addition, a ball screw 70 is also used as a guide of the head moving base by using a driving mechanism by a motor, and a chevron rail 65 is used. The ball screw 70 is horizontally rotatably attached to a recess of the H-shaped steel of the main frame 21, is driven by a motor (not shown), and is screwed with the ball screw 70.
Are fixedly mounted on the moving base frame 27. The chevron-shaped rail 65 is a guide support member 6 attached to the main frame 21.
It is fixedly supported by 4. The axle base 66 fixedly mounted on the moving base frame 27 includes the shafts 33 of the wheels 32 in groups of three.
Is fixed and, as shown in FIG. 6, the two wheels 32
Is guided by the slope on one side of the chevron rail 65, and
The individual wheels 32 are arranged so as to be guided by the slopes of the chevron-shaped rail 65 that are symmetrical with the above. The other structure is similar to that of the first embodiment, and the description thereof is omitted. In the third embodiment, the chevron rail 65 supports the weight of the head moving base and guides it vertically and horizontally, and the ball screw 70 can prevent the head moving bases 24 and 34 from derailing and swinging in the rotational direction. Also in this third embodiment, similarly to the first embodiment, a pair of ball screws 70 are simultaneously rotated by a motor (not shown), and the transmitting head 25 and the receiving head 26 are reciprocally driven while maintaining their relative positions. The thickness of the film passing between is measured. In addition, H described above
The shaped steel is an H-shaped steel material, and it goes without saying that it also includes an I-shaped steel with few flange portions and a steel material welded to the H shape. Further, in each of the embodiments, if a flat bar steel is used instead of the flat rails 31 and 31 'and the chevron-shaped rail 65, it is possible to omit the cutting work of the flat surface on which the wheels 32 roll.

【0017】[0017]

【発明の効果】以上詳細に説明した如く本発明による
と、リニアベアリングガイドレール及びフラットレー
ル、ヘッド移動台のリニアベアリング及び水平回転車
輪、駆動機構等の要潤滑部はすべてH形鋼の凹部に収ま
り、潤滑油、潤滑剤等の垂落を防止できる構造となって
いるので、被測定物である製品フィルムを汚さない。ま
たリニアベアリングガイドレール及びフラットレール
は、走行装置の上下の水平桁を構成する一対の剛性の大
きいH形鋼の中央縦材側面に沿って、シムを挟んで水平
度及び直線度をチェックしながら、適当なピッチで部分
取付けができるので、加工、組立(芯出し)等が容易で
ある。更にヘッド移動台の駆動に、ボールスクリュ、ボ
ールスクリュナット及びモータによる駆動機構を用いた
ものは、十分な工作・組立精度が得られるので、発信ヘ
ッド及び受信ヘッドの走行は滑らかで、測定ヘッドの相
対位置精度の向上が図れる。またフィルムの幅が小寸法
の場合は、リニアベアリングガイドレールを省き、ボー
ルスクリュでヘッド移動台のガイドを兼用することによ
り、構造を簡素化してコストの低下を図ることができ
る。一方ヘッド移動台の駆動にボールスクリュ、ボール
スクリュナット及びモータによる駆動機構を用い、フラ
ットレールの代わりに山形レールを用いたものは、山形
レールがヘッド移動台の重量を支えるので広幅のフィル
ムにも適用でき、リニアベアリングガイドレールを省
き、ボールスクリュでヘッド移動台のガイドを兼用する
ことにより、構造を簡素化してコストを低下することが
できる。
As described above in detail, according to the present invention, the linear bearing guide rails and flat rails, the linear bearings of the head moving base, the horizontal rotating wheels, the drive mechanism, and other necessary lubrication parts are all H-shaped steel recesses. It does not stain the product film, which is the object to be measured, because it has a structure that can be settled and the lubricating oil and lubricant can be prevented from dripping. In addition, the linear bearing guide rails and flat rails check the levelness and straightness across the shims along the sides of the central vertical member of the H-shaped steel with a high rigidity that constitutes the upper and lower horizontal girders of the traveling device. Since it can be partially attached at an appropriate pitch, processing, assembly (centering), etc. are easy. Furthermore, the one that uses a ball screw, a ball screw nut, and a drive mechanism by a motor to drive the head moving base can obtain sufficient machining and assembly accuracy, so that the transmitting head and the receiving head run smoothly, The relative position accuracy can be improved. When the width of the film is small, the linear bearing guide rail is omitted, and the ball screw also serves as the guide of the head moving table, whereby the structure can be simplified and the cost can be reduced. On the other hand, when the head moving base is driven by a ball screw, a ball screw nut, and a drive mechanism that uses a motor, and a mountain rail is used instead of the flat rail, the mountain rail supports the weight of the head moving base, so even a wide film can be used. The structure can be simplified and the cost can be reduced by omitting the linear bearing guide rail and using the ball screw as the guide of the head moving base.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1実施例に係る厚み測定用スキャン
レール装置の全体斜視図である。
FIG. 1 is an overall perspective view of a thickness measuring scan rail device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の発信、受信ヘッド移動台の詳細を示す側
断面図である。
FIG. 2 is a side sectional view showing details of the transmitter / receiver head moving base of FIG.

【図3】図1の発信ヘッド移動台の詳細を示す斜視図で
ある。
3 is a perspective view showing details of a transmission head moving base of FIG. 1. FIG.

【図4】図1の第1実施例と異なる他の構造の発信ヘッ
ド移動台の側断面図である。
FIG. 4 is a side sectional view of a transmission head moving base having another structure different from the first embodiment of FIG.

【図5】本発明の第2実施例に係る発信ヘッド移動台の
側断面図である。
FIG. 5 is a side sectional view of a transmitting head moving base according to a second embodiment of the present invention.

【図6】本発明の第3実施例に係る発信ヘッド移動台の
側断面図である。
FIG. 6 is a side sectional view of a transmission head moving base according to a third embodiment of the present invention.

【図7】従来の厚み測定用スキャンレールを示す側断面
図である。
FIG. 7 is a side sectional view showing a conventional thickness measuring scan rail.

【図8】図7のスキャンレールに用いられるリニアモー
ンベアリングの詳細断面図である。
FIG. 8 is a detailed cross-sectional view of a linear mone bearing used in the scan rail of FIG.

【図9】図8のリニアモーションベアリングの詳細断面
図である。
9 is a detailed cross-sectional view of the linear motion bearing of FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

18,19 支柱 21,21’ 主フレーム 22,22’ リニアベアリングガイドレール 23,23’ リニアベアリング 24 上側ヘッド移動台(発信ヘッド移動台) 25 発信ヘッド 26 受信ヘッド 27 移動台フレーム 28 支台 29 車軸台 30 支板 31,31’ フラットレール 32 車輪 33 軸 34 下側ヘッド移動台(受信ヘッド移動台) 37 移動台フレーム 41,41’ 支持部材 42,42’,43 チエン 44 中間軸 45 駆動モータ 46,47,48,50,51,52,61 スプロケ
ット 54 近接センサ 62 ボールスクリュナット 65 山形レール 70 ボールスクリュ
18, 19 Struts 21, 21 'Main frame 22, 22' Linear bearing guide rails 23, 23 'Linear bearing 24 Upper head moving table (transmitting head moving table) 25 Sending head 26 Receive head 27 Moving stand frame 28 Abutment 29 Axle Base 30 Support plate 31, 31 'Flat rail 32 Wheels 33 Shaft 34 Lower head moving base (reception head moving base) 37 Moving base frame 41, 41' Support member 42, 42 ', 43 Chain 44 Intermediate shaft 45 Drive motor 46 , 47, 48, 50, 51, 52, 61 Sprocket 54 Proximity sensor 62 Ball screw nut 65 Angle rail 70 Ball screw

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 走行するシート状フィルムの上下に配設
された発信ヘッド及び受信ヘッドを、それぞれレール上
で同期して走行させてフィルムの厚みを測定するフィル
ム厚み計の走行装置において、前記走行装置の上下の水
平桁を構成する一対のH形鋼の中央縦材側面に水平に取
付けられたリニアベアリングガイドレール及びフラット
レールと、前記リニアベアリングガイドレールにガイド
されるリニアベアリング及び前記フラットレールを両側
から挟んでこれにガイドされる1組の水平回転車輪とを
備えた発信ヘッド及び受信ヘッド移動台と、同移動台の
往復走行駆動手段とにより構成してなることを特徴とす
る厚み測定用スキャンレール装置。
1. A traveling device of a film thickness gauge, wherein a transmitting head and a receiving head arranged above and below a traveling sheet-like film are synchronized with each other on rails to measure the thickness of the film. The linear bearing guide rails and flat rails horizontally mounted on the side surfaces of the central longitudinal members of the pair of H-shaped steels constituting the upper and lower horizontal girders of the device, the linear bearings guided by the linear bearing guide rails, and the flat rails. For thickness measurement, the transmission head and the reception head moving base are provided with a pair of horizontal rotary wheels that are sandwiched from both sides and guided by the pair, and reciprocating traveling drive means of the moving base. Scan rail device.
【請求項2】 発信ヘッド及び受信ヘッド移動台の往復
走行駆動手段が、上下一対のH形鋼の中央縦材側面に水
平に取付けてあって駆動モータにより同期回転して駆動
されるボールスクリュと、同ボールスクリュに螺合し前
記発信ヘッド及び受信ヘッド移動台に固設されたボール
スクリュナットとにより構成してなることを特徴とする
請求項1記載の厚み測定用スキャンレール装置。
2. A ball screw in which reciprocating traveling drive means for the transmitting head and the receiving head moving base are horizontally mounted on the side surfaces of a central vertical member of a pair of upper and lower H-shaped steels and are driven to rotate synchronously by a drive motor. 2. The thickness measuring scan rail device according to claim 1, further comprising a ball screw nut screwed to the ball screw and fixed to the transmitting head and the receiving head moving base.
【請求項3】 走行するシート状フィルムの上下に配設
された発信ヘッド及び受信ヘッドを、それぞれレール上
で同期して走行させてフィルムの厚みを測定するフィル
ム厚み計の走行装置において、前記走行装置の上下の水
平桁を構成する一対のH形鋼の中央縦材側面に水平に取
付けられた回転可能なボールスクリュ及び固定フラット
レールと、前記ボールスクリュと螺合するボールスクリ
ュナット及びフラットレールを両側から挟んでこれにガ
イドされる1組の水平回転車輪とを備えた発信ヘッド及
び受信ヘッド移動台と、前記上下一対のボールスクリュ
を回して移動台を同期して往復走行させる駆動モータと
により構成してなることを特徴とする厚み測定用スキャ
ンレール装置。
3. A traveling device of a film thickness gauge for measuring a film thickness by causing a transmitting head and a receiving head, which are disposed above and below a traveling sheet-like film, to synchronously travel on rails respectively and to measure the film thickness. A rotatable ball screw and a fixed flat rail horizontally mounted on the side surfaces of a central vertical member of a pair of H-shaped steels constituting the upper and lower horizontal girders of the device, and a ball screw nut and a flat rail screwed with the ball screw. By a transmitting head and a receiving head moving base provided with a pair of horizontal rotating wheels which are sandwiched from both sides and guided by the horizontal rotating wheel, and a drive motor which rotates the pair of upper and lower ball screws to synchronously reciprocate the moving base. A scan rail device for thickness measurement, which is configured.
【請求項4】 走行するシート状フィルムの上下に配設
された発信ヘッド及び受信ヘッドを、それぞれレール上
で同期して走行させてフィルムの厚みを測定するフィル
ム厚み計の走行装置において、前記走行装置の上下の水
平桁を構成する一対のH形鋼の中央縦材側面に水平に取
付けられた回転可能なボールスクリュ及び固定山形レー
ルと、前記ボールスクリュと螺合するボールスクリュナ
ット及び山形レールの両斜面によってガイドされる1組
の斜め回転車輪とを備えた発信ヘッド及び受信ヘッド移
動台と、前記上下一対のボールスクリュを回して移動台
を同期して往復走行させる駆動モータとにより構成して
なることを特徴とする厚み測定用スキャンレール装置。
4. A traveling device of a film thickness gauge, wherein a transmitting head and a receiving head arranged above and below a traveling sheet-like film are synchronized with each other on rails to measure the thickness of the film. Of the pair of H-shaped steels constituting the upper and lower horizontal girders of the apparatus, the rotatable ball screw and fixed mountain rail horizontally mounted on the side surfaces of the central vertical member, and the ball screw nut and mountain rail screwed with the ball screw. The transmission head and the reception head moving base provided with a pair of diagonally rotating wheels guided by both slopes, and a drive motor for rotating the pair of upper and lower ball screws to reciprocate the moving base synchronously. A thickness measuring scan rail device.
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