JPH0886933A - Optical waveguide module - Google Patents
Optical waveguide moduleInfo
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- JPH0886933A JPH0886933A JP22198794A JP22198794A JPH0886933A JP H0886933 A JPH0886933 A JP H0886933A JP 22198794 A JP22198794 A JP 22198794A JP 22198794 A JP22198794 A JP 22198794A JP H0886933 A JPH0886933 A JP H0886933A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、光導波路モジュールに
関し、より具体的には光ファイバを光導波路素子の片端
若しくは両端面に接着固定する光導波路モジュールの構
造に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an optical waveguide module, and more particularly to a structure of an optical waveguide module in which an optical fiber is bonded and fixed to one end or both end faces of an optical waveguide element.
【0002】[0002]
【従来の技術】光通信技術の進展に伴い、従来の光源、
光ファイバ、受光器に加えて、光分岐器(スプリッタ)
や光スイッチ、光合分波器等の光部品が要求されてい
る。これらの光部品には、小型、量産性、高信頼性が不
可欠であった。従来のファイバ型、バルク型では前記の
ような要求に対応するのが非常に困難なため、導波型光
部品の実用化が望まれていた。2. Description of the Related Art With the progress of optical communication technology, conventional light sources,
In addition to optical fibers and receivers, optical splitters
Optical components such as optical switches, optical switches, and optical multiplexers / demultiplexers are required. Small size, mass productivity, and high reliability were essential for these optical components. Since it is very difficult for the conventional fiber type and bulk type to meet the above requirements, practical application of a waveguide type optical component has been desired.
【0003】現在、導波型光部品を実用化する上での最
大の問題点は、導波型光部品を構成する光導波路と入・
出力用光ファイバとの接続をいかに効率よくしかも安定
にするかという点にある。その光導波路と入・出力用光
ファイバの接続方法としては、低コスト化が期待できる
紫外線硬化型接着剤いわゆるUV接着剤を利用した方法
が一般的である。At the present time, the biggest problem in putting a waveguide type optical component into practical use is the combination of the optical waveguide that constitutes the waveguide type optical component.
The point is how to make the connection with the output optical fiber efficient and stable. As a method of connecting the optical waveguide and the input / output optical fiber, a method using a UV curable adhesive, which is expected to reduce cost, so-called UV adhesive is generally used.
【0004】ここで、1×4スプリッタ(分岐)モジュ
ールを例にとって光導波路モジュールの構造について説
明すると、図1に示したように、導波路ブロック9と入
射側光ファイバアレイ10と出射側光ファイバアレイ1
1とを備えており、導波路ブロック9は、光導波路が石
英基板上に形成された導波路素子1の上面にそれと同一
サイズの石英製ダミー板2を被せ、両者をUV接着剤で
接着固定して構成したものである。ダミー板2は光導波
路の両端面を研磨する際に光導波路(コア)部の欠けや
ダレ(曲面状態)が生じるのを防ぐためである。Here, the structure of the optical waveguide module will be described by taking a 1 × 4 splitter module as an example. As shown in FIG. 1, the waveguide block 9, the incident side optical fiber array 10 and the emitting side optical fiber are shown. Array 1
In the waveguide block 9, the optical waveguide is covered with a quartz dummy plate 2 of the same size as the upper surface of the waveguide element 1 in which the optical waveguide is formed on a quartz substrate, and both are fixed by adhesion with a UV adhesive. It has been configured. The dummy plate 2 is for preventing the optical waveguide (core) from being chipped or sagging (curved surface) when polishing both end surfaces of the optical waveguide.
【0005】他方、入射側光ファイバアレイはV溝が形
成された石英製の単心型V溝ブロック4と押さえ板5と
を有し、単心型V溝ブロック4上のV溝に入射側単心光
ファイバ3が配置されその上から押さえ板5を被せ、U
V接着剤で接着固定して構成したものである。一方の出
射側光ファイバアレイは4つのV溝が形成された石英製
の4心V溝ブロック7と押さえ板9とを有し、4心V溝
ブロック7の4つのV溝ブロックに出射側の4心テープ
ファイバ6の各心を配置しその上から押さえ板8を被
せ、UV接着剤で接着固定して構成したものである。On the other hand, the incident-side optical fiber array has a quartz single-core V-groove block 4 in which V-grooves are formed, and a pressing plate 5, and the V-grooves on the single-core V-groove block 4 are incident on the incident side. The single-core optical fiber 3 is arranged, and the pressing plate 5 is put on the optical fiber 3 and U
It is configured by adhering and fixing with a V adhesive. One output side optical fiber array has a four-core V-groove block 7 made of quartz in which four V-grooves are formed and a pressing plate 9, and has four V-groove blocks of the four-core V-groove block 7 on the output side. Each of the cores of the four-core tape fiber 6 is arranged, the pressing plate 8 is covered over the core, and the UV-adhesive is used to bond and fix the cores.
【0006】しかして、導波路ブロック9の両端面と光
ファイバアレイ10,11の端面は、鏡面研磨若しくは
鏡面研削切断され、接続損失の要因となる光ファイバ端
面及び光導波路(コア)部の傷がなくなるまで仕上げら
れる。研磨の完了した導波路ブロック9と光ファイバア
レイ10,11は、精密微動台上で入射側単心光ファイ
バ3から光を入射し、出射側4心テープファイバ6から
出射する光でパワーモニターしながら光軸調整を行い、
その光軸調整の後、導波路ブロック9と光ファイバアレ
イ10,11との端面(鏡面)同志をUV接着剤により
接着固定して、モジュール化を完了するのである。(特
開昭59−28416号)However, the both end surfaces of the waveguide block 9 and the end surfaces of the optical fiber arrays 10 and 11 are mirror-polished or mirror-ground, and scratches on the optical fiber end surface and the optical waveguide (core) portion which cause connection loss. It is finished until it disappears. The waveguide block 9 and the optical fiber arrays 10 and 11 that have been polished are subjected to power monitoring with light emitted from the incident side single-core optical fiber 3 and emitted from the emission side four-core tape fiber 6 on the precision fine movement table. While adjusting the optical axis,
After the optical axis adjustment, the end faces (mirror faces) of the waveguide block 9 and the optical fiber arrays 10 and 11 are bonded and fixed with a UV adhesive to complete the modularization. (JP-A-59-28416)
【0007】[0007]
【発明が解決しようとする課題】一般に、UV接着剤は
弾性率が小さく軟らかいため、導波路ブロックや光ファ
イバアレイの端面を鏡面研磨若しくは鏡面研削切断等を
行う際に、導波路ブロックにおける光導波路素子とダミ
ー板及び光ファイバアレイにおけるV溝ブロックと押さ
え板の相互間のUV接着剤固定部に欠けや割れが発生
し、信頼性を著しく損ねるばかりか、UV接着剤の剥離
が発生し易い。この結果、特に光ファイバアレイではV
溝部より光ファイバが浮き上がり、V溝の精度が光ファ
イバに反映されなくなり、モジュールの挿入損失増加の
最大要因となっていた。Generally, since the UV adhesive has a small elastic modulus and is soft, the optical waveguide in the waveguide block is subjected to mirror polishing or mirror cutting of the end face of the waveguide block or the optical fiber array. The UV adhesive fixing portion between the element, the dummy plate, and the V groove block and the pressing plate in the optical fiber array is chipped or cracked, which not only significantly deteriorates the reliability but also easily causes the peeling of the UV adhesive. As a result, especially in the optical fiber array, V
The optical fiber floats above the groove, and the accuracy of the V groove is not reflected in the optical fiber, which is the largest factor for increasing the insertion loss of the module.
【0008】そこで、本発明の目的は、前述した従来技
術の問題点を解決して信頼性に優れ且つ低損失となる光
導波路モジュールを提供することである。Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned problems of the prior art and to provide an optical waveguide module having excellent reliability and low loss.
【0009】[0009]
【課題を解決するための手段・作用】本発明により提供
する光導波路モジュール(第一の手段)は、導波路ブロ
ックとそのブロックの入射側端部及び出射側端部に設け
られた光ファイバアレイとを有し、導波路ブロックは光
導波路素子とこの素子に被さるダミー板よりなり、光フ
ァイバアレイはV溝ブロックとそのブロックに被さる押
さえ板とよりなる光導波路モジュールにおいて、導波路
ブロックにおける光導波路素子とダミー板との相互、及
びV溝ブロックと押さえ板との相互を、高弾性・耐熱接
着剤で接着固定してなり、もって、弾性率が大きく、硬
い且つ高耐熱性の接着固定部として、機械加工(研磨、
切削等)による欠けや割れを解消させたものである。The optical waveguide module (first means) provided by the present invention is a waveguide block and an optical fiber array provided at the incident side end and the emitting side end of the block. And a waveguide block comprising an optical waveguide element and a dummy plate covering the element, and an optical fiber array comprising an V-groove block and a pressing plate covering the block, an optical waveguide in the waveguide block. The element and the dummy plate, and the V-groove block and the pressing plate are bonded and fixed with a high-elasticity and heat-resistant adhesive, so that as a hard and highly heat-resistant adhesive fixing part with a large elastic modulus. , Machining (polishing,
It is the one that eliminates chipping and cracking due to cutting, etc.).
【0010】前記高弾性・耐熱接着剤として、弾性率1
GPa(104 kgf/cm2 )以上、耐熱温度130℃以上
の紫外線硬化型接着剤を用いると良い。The high elastic and heat resistant adhesive has an elastic modulus of 1
It is preferable to use an ultraviolet curable adhesive having a GPa (10 4 kgf / cm 2 ) or more and a heat resistance temperature of 130 ° C. or more.
【0011】また、本発明により提供する光導波路モジ
ュール(第二の手段)は、導波路ブロックとそのブロッ
クの入射側端部及び出射側端部に設けられた光ファイバ
アレイとを有し、導波路ブロックは光導波路素子とこの
素子に被さるダミー板よりなり、光ファイバアレイはV
溝ブロックとそのブロックに被さる押さえ板とよりなる
光導波路モジュールにおいて、前記導波路ブロックの入
射側及び出射側何れの端部においても、光導波路素子と
ダミー板の端面を鏡面研磨或いは鏡面研削切断するとと
もに、前記光ファイバアレイのV溝ブロック及び押さえ
板の端面を研磨或いは鏡面研削切断し、前記光導波路素
子の両端面に光軸が一致するように入射側及び出射側光
ファイバを屈折率の整合された光学接着剤で固定し、も
って、接着部の屈折率を最適なものとして低損失化を可
能にしたものである。Further, an optical waveguide module (second means) provided by the present invention has a waveguide block and optical fiber arrays provided at an incident side end portion and an output side end portion of the block. The waveguide block is composed of an optical waveguide element and a dummy plate covering this element, and the optical fiber array is V
In an optical waveguide module composed of a groove block and a pressing plate covering the block, the end faces of the optical waveguide element and the dummy plate are mirror-polished or ground-cut at both the entrance side and the exit side of the waveguide block. At the same time, the V groove block of the optical fiber array and the end faces of the pressing plate are polished or mirror-ground, and the incident side and the outgoing side optical fibers are matched in refractive index so that the optical axes coincide with both end faces of the optical waveguide device. It is fixed with the above-mentioned optical adhesive, and thus, the refractive index of the adhesive portion is optimized so that the loss can be reduced.
【0012】前記光学接着剤として、屈折率ηD =1.
45〜1.59の範囲で制御可能(0.005の精度)
である紫外線硬化型接着剤を用いると良い。As the optical adhesive, the refractive index η D = 1.
Controllable in the range of 45 to 1.59 (accuracy of 0.005)
It is preferable to use a UV-curable adhesive.
【0013】[0013]
【実施例】本発明の光導波路モジュールの実施例を図1
の1×4スプリッタモジュールを参照しながら説明する
と、先ず、導波路ブロック9において、光導波路素子1
の上にダミー板2を被せて、両者を高弾性・耐熱型UV
接着剤で接着固定する。他方、入射側の単心光ファイバ
3は、入射側単心型光ファイバアレイ10における石英
製のV溝ブロック4のV溝に配置され、その上から押さ
え板5を被せて、高弾性・耐熱型UV接着剤で接着固定
している。また、出射側4心テープファイバ6は、出射
側4心型光ファイバアレイ11における石英製のV溝ブ
ロック7のV溝(4心のファイバ対4つのV溝)に配置
され、その上から押さえ板8を被せて、高弾性・耐熱型
UV接着剤で接着固定している。Embodiment FIG. 1 shows an embodiment of the optical waveguide module of the present invention.
The 1 × 4 splitter module will be described. First, in the waveguide block 9, the optical waveguide device 1
Put a dummy plate 2 on top of them, and make them both highly elastic and heat resistant UV
Fix with adhesive. On the other hand, the incident-side single-core optical fiber 3 is arranged in the V-groove of the quartz V-groove block 4 in the incident-side single-core type optical fiber array 10, and is covered with the pressing plate 5 to provide high elasticity and heat resistance. It is adhesively fixed with a UV adhesive. Further, the outgoing side four-core tape fiber 6 is arranged in the V groove (four-core fiber pair four V grooves) of the quartz V groove block 7 in the outgoing side four-core optical fiber array 11, and is pressed from above. The plate 8 is covered and bonded and fixed with a high elasticity and heat resistant UV adhesive.
【0014】そして、上記のようにして組み立てられた
導波路ブロック9の入射側及び出射側の両端面と、入射
・出射両光ファイバアレイ10,11の端面とを、鏡面
研磨若しくは鏡面研削切断し、傷がなくなるまで仕上げ
る。鏡面仕上げ後の導波路ブロック9と光ファイバアレ
イ10,11は、精密微動台上で入射側単心光ファイバ
3から光を入射し、出射側4心テープファイバ6からの
出射光のパワーをモニターしながら光軸調整を行う。そ
の光軸調整の後、導波路ブロック9と光ファイバアレイ
10,11の端面同志を、光ファイバのコアの屈折率と
ほぼ等しいηD=1.45〜1.46のエポキシ系UV
接着剤により接着固定し、もって、1×4スプリッタモ
ジュールを構成してなるものである。光導波路素子が石
英系の場合、光ファイバのコアの屈折率ηD =1.45
〜1.46と同一の屈折率をもったエポキシ系UV接着
剤(ただし、硬化時の屈折率)を使用するのが最適であ
る。Then, both the entrance and exit end faces of the waveguide block 9 assembled as described above and the end faces of both the entrance and exit optical fiber arrays 10 and 11 are mirror-polished or ground-ground. , Finish until there are no scratches. The mirror-finished waveguide block 9 and optical fiber arrays 10 and 11 monitor the power of the light emitted from the incident side single-core optical fiber 3 on the precision fine movement table and emitted from the output side four-core tape fiber 6. While adjusting the optical axis. After the optical axis adjustment, the end faces of the waveguide block 9 and the optical fiber arrays 10 and 11 are made to have an epoxy-based UV of η D = 1.45 to 1.46 which is almost equal to the refractive index of the core of the optical fiber.
The adhesive is fixed by an adhesive to form a 1 × 4 splitter module. When the optical waveguide element is made of silica, the refractive index of the core of the optical fiber η D = 1.45
It is optimum to use an epoxy UV adhesive having the same refractive index as 1.46 (however, the refractive index at the time of curing).
【0015】表1には、本実施例において使用したUV
接着剤の特性例を示したものである。Table 1 shows the UV used in this example.
3 shows an example of characteristics of an adhesive.
【0016】[0016]
【表1】 [Table 1]
【0017】表1から明らかなように、本実施例による
接着剤を用いることで、接続過剰損失を0.2dB以内、
−25〜+70℃の温度特性±0.1dB以内となり、従
来のおよそ1/2の低損失化を実現できた。As is clear from Table 1, by using the adhesive according to this embodiment, connection excess loss is within 0.2 dB,
The temperature characteristic of −25 to + 70 ° C. is within ± 0.1 dB, and it is possible to realize the loss reduction of about 1/2 of the conventional one.
【0018】なお、光導波路素子の材質がLiNbO3
の場合、導波路と光ファイバの端面の接着固定には、光
ファイバのコアの屈折率とLiNbO3の光導波路の屈
折率の違いを考慮して、ηD =1.59の光学接着剤を
用いれば良い。また、光導波路素子の材質がその他の場
合であっても、ηD =1.45〜1.59の範囲で任意
に設定することが可能である。The material of the optical waveguide element is LiNbO3.
In the case of, the optical adhesive of η D = 1.59 is used for the adhesive fixation of the waveguide and the end face of the optical fiber, considering the difference in the refractive index of the core of the optical fiber and the refractive index of the optical waveguide of LiNbO3. Good. Even if the material of the optical waveguide element is other than the above, it can be arbitrarily set within the range of η D = 1.45 to 1.59.
【0019】[0019]
【発明の効果】以上説明したような本発明の光導波路モ
ジュールによれば、第一の手段;導波路ブロックにお
ける光導波路素子とダミー板との相互接着部、及び入射
・出射両光ファイバアレイのV溝ブロックと押さえ板と
の相互接着部を、高弾性・耐熱性の接着剤で接着固定し
たことから、光ファイバアレイや導波路ブロックの端面
の鏡面研磨若しくは鏡面研削切断しても、光導波路素子
とダミー板間、及びV溝ブロックと押さえ板間のUV接
着部に欠けや割れが発生せず、従来のこの種のモジュー
ルよりも信頼性に優れた光導波路モジュールを製作する
ことができる。(75℃、95%の湿熱試験4000h
rで剥離なし。従来では同一条件の試験の下で約100
時間で剥離発生。)第二の手段;光ファイバアレイと
導波路ブロック両端面との接着に、屈折率ηD =1.4
5〜1.59と任意に設定できる光学接着剤を用いたこ
とにより、光導波路素子の材質にかかわらず、最適な屈
折率を選んでより低損失な光導波路モジュールを提供す
ることができた。According to the optical waveguide module of the present invention as described above, the first means; the mutual adhesion portion between the optical waveguide element and the dummy plate in the waveguide block, and the incident and outgoing optical fiber array. Since the mutual adhesive portion between the V-groove block and the pressing plate is adhered and fixed with an adhesive having high elasticity and heat resistance, even if the end face of the optical fiber array or the waveguide block is mirror-polished or ground-polished, the optical waveguide It is possible to manufacture an optical waveguide module that is more reliable than the conventional module of this type without causing cracks or cracks in the UV bonding portions between the element and the dummy plate and between the V groove block and the pressing plate. (75 ° C, 95% wet heat test 4000h
No peeling at r. Conventionally, about 100 under the same test conditions
Delamination occurs in time. ) Second means: Refractive index η D = 1.4 for bonding the optical fiber array and both end faces of the waveguide block.
By using an optical adhesive that can be arbitrarily set to 5 to 1.59, it is possible to provide an optical waveguide module having a lower loss by selecting an optimum refractive index regardless of the material of the optical waveguide element.
【図1】光導波路モジュールとなる1×4スプリッタモ
ジュールの外観斜視図。FIG. 1 is an external perspective view of a 1 × 4 splitter module that is an optical waveguide module.
1 光導波路素子 2 ダミー板 3 入射用光ファイバ(単心光ファイバ) 4 V溝ブロック 5 押さえ板(入射側) 6 出射用光ファイバ(4心テープファイバ) 7 V溝ブロック 8 押さえ板(出射側) 9 導波路ブロック 10 光ファイバアレイ(入射側) 11 光ファイバアレイ(出射側) DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 Optical waveguide element 2 Dummy plate 3 Incident optical fiber (single-core optical fiber) 4 V groove block 5 Holding plate (incident side) 6 Emitting optical fiber (4 core tape fiber) 7 V groove block 8 Holding plate (emission side) ) 9 Waveguide block 10 Optical fiber array (incident side) 11 Optical fiber array (exit side)
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 高橋 龍太 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 (72)発明者 根本 博正 茨城県日立市日高町5丁目1番1号 日立 電線株式会社オプトロシステム研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of front page (72) Inventor Ryuta Takahashi 5-1, 1-1 Hidaka-cho, Hitachi-shi, Ibaraki Hitachi Cable Co., Ltd., Optro System Laboratory (72) Inventor Hiromasa Nemoto Hidaka-cho, Hitachi-shi, Ibaraki 5-1-1, Hitachi Cable Ltd., Optoro System Laboratories
Claims (4)
部及び出射側端部に設けられた光ファイバアレイとを有
し、導波路ブロックは光導波路素子とこの素子に被さる
ダミー板よりなり、光ファイバアレイはV溝ブロックと
そのブロックに被さる押さえ板とよりなる光導波路モジ
ュールにおいて、導波路ブロックにおける光導波路素子
とダミー板との相互、及びV溝ブロックと押さえ板との
相互を、高弾性・耐熱接着剤で接着固定してなることを
特徴とする光導波路モジュール。1. A waveguide block, and an optical fiber array provided at an entrance side end and an exit side end of the block, the waveguide block comprising an optical waveguide element and a dummy plate covering the element, The optical fiber array is an optical waveguide module including a V-groove block and a pressing plate covering the block, and the optical waveguide element and the dummy plate in the waveguide block and the V-groove block and the pressing plate have high elasticity. An optical waveguide module characterized by being bonded and fixed with a heat-resistant adhesive.
GPa(104 kgf/cm2 )以上、耐熱温度130℃以上
の紫外線硬化型接着剤を用いたことを特徴とする請求項
1記載の光導波路モジュール。2. The elastic modulus of 1 as the high-elasticity / heat-resistant adhesive.
The optical waveguide module according to claim 1, wherein an ultraviolet curable adhesive having a GPa (10 4 kgf / cm 2 ) or more and a heat resistant temperature of 130 ° C. or more is used.
部及び出射側端部に設けられた光ファイバアレイとを有
し、導波路ブロックは光導波路素子とこの素子に被さる
ダミー板よりなり、光ファイバアレイはV溝ブロックと
そのブロックに被さる押さえ板とよりなる光導波路モジ
ュールにおいて、前記導波路ブロックの入射側及び出射
側何れの端部においても、光導波路素子とダミー板の端
面を研磨或いは鏡面研削切断するとともに、前記光ファ
イバアレイのV溝ブロック及び押さえ板の端面を鏡面研
磨或いは鏡面研削切断し、前記光導波路素子の両端面に
光軸が一致するように入射側及び出射側光ファイバを屈
折率の整合された光学接着剤で固定したことを特徴とす
る光導波路モジュール。3. A waveguide block, and an optical fiber array provided at an incident side end portion and an output side end portion of the block, the waveguide block comprising an optical waveguide element and a dummy plate covering the element, The optical fiber array is an optical waveguide module including a V-groove block and a pressing plate covering the block. In the optical waveguide module, the end faces of the optical waveguide element and the dummy plate are polished or polished at both ends of the waveguide block on the incident side and the emitting side. In addition to the mirror-surface grinding and cutting, the V groove block of the optical fiber array and the end surface of the pressing plate are mirror-polished or mirror-ground, and the optical fibers on the incident side and the emitting side are aligned so that the optical axes coincide with both end surfaces of the optical waveguide device. An optical waveguide module, characterized in that is fixed by an optical adhesive having a matched refractive index.
45〜1.59の範囲で制御可能(0.005の精度)
である紫外線硬化型接着剤を用いたことを特徴とする請
求項3記載の光導波路モジュール。4. The refractive index η D = 1.
Controllable in the range of 45 to 1.59 (accuracy of 0.005)
4. The optical waveguide module according to claim 3, wherein the ultraviolet curable adhesive is used.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22198794A JPH0886933A (en) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | Optical waveguide module |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP22198794A JPH0886933A (en) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | Optical waveguide module |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0886933A true JPH0886933A (en) | 1996-04-02 |
Family
ID=16775308
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP22198794A Pending JPH0886933A (en) | 1994-09-16 | 1994-09-16 | Optical waveguide module |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPH0886933A (en) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006133666A (en) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Mitsumi Electric Co Ltd | Optical transmission module and method for manufacturing the same |
-
1994
- 1994-09-16 JP JP22198794A patent/JPH0886933A/en active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2006133666A (en) * | 2004-11-09 | 2006-05-25 | Mitsumi Electric Co Ltd | Optical transmission module and method for manufacturing the same |
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