JPH0886329A - Vibration damping device - Google Patents
Vibration damping deviceInfo
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- JPH0886329A JPH0886329A JP22306494A JP22306494A JPH0886329A JP H0886329 A JPH0886329 A JP H0886329A JP 22306494 A JP22306494 A JP 22306494A JP 22306494 A JP22306494 A JP 22306494A JP H0886329 A JPH0886329 A JP H0886329A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、制御装置に関し、より
詳細には、液体中に浮ぶ浮体が、液体の圧力により浮力
変化し移動することを利用して、精密測定装置等にとっ
て有害な振動を抑制する制御装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a control device, and more particularly, to a vibration that is harmful to a precision measuring device, etc. by utilizing the fact that a floating body floating in a liquid changes its buoyancy by the pressure of the liquid and moves. The present invention relates to a control device that suppresses
【０００２】[0002]
【従来の技術】微小領域の観測や微小変位を計測するた
めの、例えば、走査型プローブ顕微鏡、Ｘ線露光装置、
三次元測定装置等の高精度機器は、通常、テーブル等の
基台に載置され使用されるが、地盤の常微振動等の外来
振動がテーブルに加えられたとき、観測結果や測定結果
に悪影響を及ぼすため、上記、高精度機器を使用すると
きには、機器を除振台の上に搭載したり、機器の架台と
して除振台を利用したりしている。2. Description of the Related Art For observing a minute area or measuring a minute displacement, for example, a scanning probe microscope, an X-ray exposure apparatus,
High-precision equipment such as three-dimensional measuring devices are usually placed on a base such as a table and used.However, when external vibration such as microvibration of the ground is applied to the table, the results of observation and measurement are Because of adverse effects, when using the above-described high-precision equipment, the equipment is mounted on a vibration isolation table or the vibration isolation table is used as a stand for the equipment.
【０００３】この種の除振台には、コイルや空気ばねを
利用した受動型除振台、エネルギの供給を積極的に行う
能動型除振台、及び制御系のパラメータを切り換えたり
調整を行う準能動型除振台等が知られている。また、こ
れらの除振台は、前述のような高精度機器を使用する場
合に限らず、除振や制振が利用される分野、例えば、工
作機械や建築の分野にも利用されている。さらに、一般
的な制振技術として、質量にばねやダンパを介して他の
質量を付加した同調質量ダンパ（Tuned Mass Damper：
ＴＭＤ、以下、ＴＭＤと記す）が知られている。For this type of vibration isolating table, a passive vibration isolating table using a coil and an air spring, an active vibration isolating table for actively supplying energy, and switching and adjustment of control system parameters are performed. A semi-active vibration isolation table and the like are known. Further, these vibration isolation tables are used not only in the case of using the high-precision equipment as described above, but also in the field where vibration isolation and vibration control are used, for example, in the field of machine tools and construction. Furthermore, as a general damping technique, a tuned mass damper (Tuned Mass Damper:
TMD, hereinafter referred to as TMD) is known.
【０００４】上記ＴＭＤの、他の制振技術の一つとして
液体の動揺を応用し、液体の慣性力を利用した制振装置
である同調液体ダンパ（Tuned Liquid Damper：ＴＬ
Ｄ、以後ＴＬＤと記す）が知られている。ＴＬＤは容器
内に液体を収容した動吸振器で、液体としては通常水が
使用されている。ＴＬＤは、大形の振動体、例えば、構
造物や船舶等に取り付けられ、振動体の振動に従って振
動すると、ＴＬＤ内の液体は、容器内で往復運動する動
振動子となり振動を吸収する作用をもっている。ＴＬＤ
の方式には、容器や液体（水）の運動の形態によって大
別されたスロッシング型、開放液柱管型、および加圧液
柱管型の三種類の方式がある。As one of the other damping techniques of the above TMD, a tuned liquid damper (TL), which is a damping device utilizing the inertial force of the liquid by applying the vibration of the liquid, is used.
D, hereinafter referred to as TLD) is known. The TLD is a dynamic vibration absorber in which a liquid is contained in a container, and water is usually used as the liquid. The TLD is attached to a large vibrating body such as a structure or a ship, and when vibrating according to the vibration of the vibrating body, the liquid in the TLD becomes a dynamic oscillator that reciprocates in the container and has an action of absorbing the vibration. There is. TLD
There are three types of methods, a sloshing type, an open liquid column tube type, and a pressurized liquid column tube type, which are roughly classified according to the form of movement of a container or liquid (water).
【０００５】図１２は、従来のスロッシング型のＴＬＤ
を説明するための図であり、スロッシング型のＴＬＤは
図１２（ａ）に示すように、直径ｄの有底容器７０内に
液位ｈの液体７１を収容したもので、容器７０の形状
は、通常、図示のした円形のものや角形のものが用いら
れる。FIG. 12 shows a conventional sloshing type TLD.
12A is a view for explaining the sloshing type TLD in which a liquid 71 having a liquid level h is contained in a bottomed container 70 having a diameter d, as shown in FIG. Usually, the circular or rectangular shape shown is used.
【０００６】スロッシング型のＴＬＤは、例えば、図１
２（ｂ）に示すように質量Ｍｓ、ばね定数Ｋｓ、ダンピ
ング係数Ｃｓの等価ダンパ７３をもった構造物７２の屋
上に取り付けられ、容器７０内の液体７１の液位ｈを調
整し振動周期を構造物の基本周期に同調させることによ
り、液体７１が容器７０の側壁に作用して生ずる流体力
によって制振効果が得られる。液体７１、例えば、水の
振動の減衰は一般に小さいので、金網、浮遊物、増粘剤
を用いて適当な減衰を与えるようにしている。The sloshing type TLD is shown in FIG.
As shown in 2 (b), the structure is mounted on the roof of a structure 72 having an equivalent damper 73 having a mass Ms, a spring constant Ks, and a damping coefficient Cs, and the liquid level h of the liquid 71 in the container 70 is adjusted to change the vibration cycle. By synchronizing with the basic period of the structure, the damping effect is obtained by the fluid force generated by the liquid 71 acting on the side wall of the container 70. Since damping of vibration of the liquid 71, for example, water is generally small, a wire mesh, a suspended matter, and a thickener are used to provide appropriate damping.
【０００７】図１３は、従来の開放液柱管型のＴＬＤを
説明するための図であり、Ｕ字状の液柱管８０内に水等
の液体８１を液柱管８０の鉛直管部で大気開放するよう
に収容したもので、液柱管８０の水平部分を長くするこ
とにより液体８１の有効質量を増すことができる。FIG. 13 is a diagram for explaining a conventional open liquid column tube type TLD, in which a liquid 81 such as water is introduced into a vertical tube portion of the liquid column tube 80 in a U-shaped liquid column tube 80. It is housed so as to be open to the atmosphere, and the effective mass of the liquid 81 can be increased by lengthening the horizontal portion of the liquid column tube 80.
【０００８】開放液柱管型のＴＬＤの固有振動数は、液
柱管８０内に収容された液体８１の等価長さの１／２乗
に逆比例した値をもっているが、減衰率を高めるため
に、図１３（ｂ）に示すように液柱管８０内にオリフィ
ス８３を設たり、更には、大気開放された液柱管８０を
連通して連通管８２を構成し、連通管８２内にオリフィ
ス８４を設けるなどにより液体８１や空気の流動抵抗を
増加させるようにしている。The natural frequency of the open liquid column tube type TLD has a value inversely proportional to the 1/2 power of the equivalent length of the liquid 81 contained in the liquid column tube 80, but in order to increase the damping rate. Further, as shown in FIG. 13B, an orifice 83 is provided in the liquid column tube 80, and further, the liquid column tube 80 opened to the atmosphere is connected to form a communication tube 82. The orifice 84 is provided to increase the flow resistance of the liquid 81 and air.
【０００９】図１４は、従来の加圧液柱管型のＴＬＤを
説明するための図であり、図１４（ａ）に示した加圧液
柱管型のＴＬＤは図１３（ａ）に示した開放液柱型ＴＬ
ＤのＵ字状液柱管８０の気柱部が閉止され、閉止Ｕ字状
液柱管９０とし液体９１の開放部分に液面が上下動する
ことにより空気ばねとなる空気ばね室９３ａ，９３ｂを
構成している。通常、閉止Ｕ字状液柱管９０の水平部に
は金鋼９２等の流れ抵抗体を取り付け減衰率を高めてい
る。FIG. 14 is a diagram for explaining a conventional pressurized liquid column tube type TLD, and the pressurized liquid column tube type TLD shown in FIG. 14 (a) is shown in FIG. 13 (a). Open liquid column type TL
The air column portions of the U-shaped liquid column tube 80 of D are closed, and the closed U-shaped liquid column tube 90 becomes the closed 91. Are configured. Normally, a flow resistor such as gold steel 92 is attached to the horizontal portion of the closed U-shaped liquid column tube 90 to increase the damping rate.
【００１０】加圧液柱管型ＴＬＤの固有振動数は、液体
９１の密度や加圧液柱管９０の液体の等価長さや空気ば
ね室９３ａ，９３ｂの空気圧や空気の比熱比等により定
まるので、図１４（ｂ）に示すように固有振動数を制御
するために空気ばね室９３ａ，９３ｂの空気圧を調整す
ることが行われている。Since the natural frequency of the pressurized liquid column tube type TLD is determined by the density of the liquid 91, the equivalent length of the liquid in the pressurized liquid column tube 90, the air pressure in the air spring chambers 93a and 93b, the specific heat ratio of air, etc. As shown in FIG. 14B, the air pressure in the air spring chambers 93a and 93b is adjusted to control the natural frequency.
【００１１】図１４（ｂ）は、その一例を示す加圧液柱
管型ＴＬＤの固有振動数制御システムを説明するための
図である。まず、加圧液柱管９０の空気ばね室９３ａ，
９３ｂに、各々電磁弁９５ａ，９５ｂを介して空気源９
４から空気が導入され、空気の流入により変化した空気
ばね室９３ａ，９３ｂの圧力を圧力計（図示せず）によ
り検知される。制御装置９７は、検知された空気圧と、
設定された固有振動数に基づいて電磁弁９６ａ，９６ｂ
を設定された固有振動数となるように制御している。FIG. 14B is a diagram for explaining an example of the natural frequency control system of the pressurized liquid column tube type TLD. First, the air spring chamber 93a of the pressurized liquid column tube 90,
93b to the air source 9 via solenoid valves 95a and 95b, respectively.
Air is introduced from No. 4, and the pressure in the air spring chambers 93a and 93b changed by the inflow of air is detected by a pressure gauge (not shown). The control device 97 detects the detected air pressure,
Solenoid valves 96a, 96b based on the set natural frequency
Is controlled so that the set natural frequency is obtained.
【００１２】上述したＴＬＤは、動的振動子として液体
が用いられるので、ＴＭＤのように振動子に対する特別
な支承構造が不要で、構造が簡単であるから、故障しに
くく、維持管理が容易である等の長所がある。更に、Ｔ
ＭＤでは装置を振動振幅の分だけ幅広くする必要がある
が、ＴＬＤでは容器内で液体の水平振動を上下方向の振
動に変換されるので、ＴＬＤは液体の比重が小さく、従
って、振動子部分の体積が大きくなり大形になると云わ
れいる。Since the TLD described above uses a liquid as a dynamic oscillator, it does not require a special support structure for the oscillator unlike the TMD and has a simple structure, so that it does not easily break down and maintenance is easy. There are advantages such as being there. Furthermore, T
In MD, it is necessary to widen the device by the amount of vibration amplitude, but in TLD, horizontal vibration of liquid is converted into vertical vibration in the container, so that TLD has a small specific gravity of liquid, and accordingly It is said that the volume increases and becomes large.
【００１３】反面、ＴＬＤでは、減衰率を大きくするた
めに液体の流れに制動を与えるための金網、格子板、十
字断面棒や、オリフィスなどの抵抗体が用いられ、簡単
に減衰率の大きさを調整することができる。On the other hand, in the TLD, a resistance element such as a wire mesh, a grid plate, a cross-section rod, or an orifice for damping the flow of the liquid to increase the damping rate is used, and the damping rate can be easily increased. Can be adjusted.
【００１４】[0014]
【発明が解決しようとする課題】ところで、前述したよ
うな従来の制振技術には、以下のような不具合がある。
例えば、空気ばねを利用した除振台では、空気ばねと空
気源とを配管により接続しなければならないので、配管
によって設計の自由度が制限され、また、空気源を必要
とするので設置場所が制限されることがある。By the way, the conventional vibration damping technique as described above has the following problems.
For example, in an anti-vibration table using an air spring, the air spring and the air source must be connected by piping, so the piping limits the degree of freedom in design, and since an air source is required, the installation location is limited. May be limited.
【００１５】また、ＴＭＤが被制動部材を支承する機構
を有するのに対し、ＴＬＤでは、動的振動子として液体
が用いられ、被制動部材を支承する機能がない点におい
て有利である。しかし、ＴＬＤでは、液体の水平方向の
振動が上下方向の振動に変換されるので液体の液面が上
下方向に振動する振動に対するスペースを確保しなけれ
なばらないという設計上の制約がある。しかも、被制動
部材の固有振動数に合わせるため、ＴＬＤの液体の重量
を充分大きく設定しようとすると液体容器は大型になり
易くなる。Further, while the TMD has a mechanism for supporting the member to be braked, the TLD is advantageous in that a liquid is used as the dynamic oscillator and there is no function to support the member to be braked. However, in the TLD, the horizontal vibration of the liquid is converted into the vertical vibration, so that there is a design constraint that a space for the vibration in which the liquid surface of the liquid vibrates in the vertical direction must be secured. Moreover, in order to match the natural frequency of the member to be braked, if the weight of the liquid in the TLD is set to be sufficiently large, the liquid container tends to become large.
【００１６】一般に、動吸振動系では、反共振点の両側
に共振点が発生するので、最適な振動特性を得るための
重量比や減衰係数の設定が困難である。Generally, in the dynamic absorption and vibration system, resonance points are generated on both sides of the anti-resonance point, so that it is difficult to set the weight ratio and the damping coefficient for obtaining optimum vibration characteristics.
【００１７】本発明は、上述した課題に鑑みてなされた
もので、液体が充たされた容器中に浮体を浮ばせたと
き、浮体は液体を流動させることなく液体の静圧力の変
化に従って表面積が変化し容器中を上下浮動することを
利用した新しい方式の制振装置を提供することを目的と
するものである。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems, and when a floating body is floated in a container filled with a liquid, the floating body does not flow the liquid and changes in the static pressure of the liquid. It is an object of the present invention to provide a vibration damping device of a new type that utilizes the fact that the surface area changes and it floats up and down in a container.
【００１８】[0018]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記課題を解
決するために、液体が収容された第１容器と、外来振動
によって発生した力を前記液体の圧力変化に変換する力
・圧力変換手段と、前記液体内で浮かぶ浮体であって前
記液体の圧力変化に応じた浮力変化を受け、前記第１容
器内において浮力方向に変位する第２容器と、該第２容
器の変位を前記第１容器を貫通して該第１容器の上方に
伝達する変位伝達手段とからなり、該変位伝達手段に被
制振部材搭載盤を配設するようにしたことを特徴とする
ものである。In order to solve the above problems, the present invention provides a first container containing a liquid and a force / pressure conversion for converting a force generated by an external vibration into a pressure change of the liquid. A second container that floats in the liquid and is displaced in the buoyancy direction in the first container by receiving a buoyancy change in response to a pressure change of the liquid; It is characterized in that it comprises a displacement transmission means for penetrating one container and transmitting it to the upper side of the first container, and a vibration-damped member mounting board is arranged on the displacement transmission means.
【００１９】[0019]
【作用】液体が充たされた第１容器が、振動源と搭載盤
との間に設置され、搭載盤には被制振部分が搭載され
る。第１容器の底板は外力により容易に変形する薄板材
で構成されており、振動源側に設けられた与圧球上に載
置される。外来振動が発生すると第１容器の底板は与圧
球により押圧され第１容器内の液体の圧力が外来振動に
従って変化する。第１容器内には浮体である第２容器が
浮かべられており、第２容器は液体の圧力が大きくなる
と体積が減少し、浮力が小さくなり、液体の圧力が小さ
くなると体積が増加し浮力が大きくなり、第１容器内で
外来振動方向を打ち消すように反対方向に変位する。こ
の第２容器の変位は伝達ロッドを介して第１容器の外部
に設置され搭載盤に伝達され搭載盤上の被制振部材が制
振される。The first container filled with the liquid is installed between the vibration source and the mounting board, and the vibration-damped portion is mounted on the mounting board. The bottom plate of the first container is made of a thin plate material that is easily deformed by an external force, and is placed on a pressurizing ball provided on the vibration source side. When external vibration occurs, the bottom plate of the first container is pressed by the pressurizing ball, and the pressure of the liquid in the first container changes according to the external vibration. The second container, which is a floating body, is floated in the first container. The volume of the second container decreases as the pressure of the liquid increases and the buoyancy decreases, and the volume increases and the buoyancy increases as the pressure of the liquid decreases. It becomes larger and is displaced in the opposite direction so as to cancel the external vibration direction in the first container. This displacement of the second container is installed outside the first container via the transmission rod and is transmitted to the mounting board, so that the vibration-damped member on the mounting board is damped.
【００２０】[0020]
【実施例】図１は、本発明の適用される除振台の一例を
説明するための図で、図１（ａ）は側面図、図１（ｂ）
は正面図、図１（ｃ）は平面図であり、図中、１は除振
台、２は架台、３は支持板、４は制振装置、５は取付
板、６は搭載盤である。架台２は、脚部７ａ、脚連結部
材７ｂ、アジャスタ８、キャスタ９等により構成されて
いる。1 is a view for explaining an example of a vibration isolation table to which the present invention is applied. FIG. 1 (a) is a side view and FIG. 1 (b) is a view.
Is a front view, and FIG. 1C is a plan view. In the figure, 1 is a vibration isolation table, 2 is a pedestal, 3 is a support plate, 4 is a vibration damping device, 5 is a mounting plate, and 6 is a mounting plate. . The gantry 2 is composed of a leg portion 7a, a leg connecting member 7b, an adjuster 8, a caster 9, and the like.
【００２１】図１の除振台１は、搭載盤６に精密機器等
（図示せず）を載置し、地面Ｅ−Ｅ等から伝達してくる
外来振動を複数の制振装置４により抑制するようにした
装置である。この除振台には、精密測定・観察機器等を
載置することが可能である。The vibration isolation table 1 shown in FIG. 1 has precision equipment or the like (not shown) placed on the mounting board 6 and suppresses the external vibration transmitted from the ground E-E by a plurality of vibration damping devices 4. The device is designed to do so. Precise measurement / observation equipment and the like can be placed on this vibration isolation table.
【００２２】除振台１は制振装置４に支えられた搭載盤
６を有し、地面Ｅ−Ｅに略垂直な台板７ａ，７ｂと直角
に取り付けられた複数の架台２により支えられている。
また、各々の架台２の下端には上下移動調節可能な脚部
８が取り付けられており搭載盤６の水平位置の調節が可
能となっている。各々の脚部７ａの上端部近傍には脚部
７ａの柱軸と直角（水平方向）に支持板３が固着され支
持板３には制振装置４が取り付けられている。搭載盤６
は、制振装置４の上端側に取付板５を介して支持されて
いる。The vibration isolation table 1 has a mounting board 6 supported by a vibration control device 4, and is supported by a plurality of pedestals 2 mounted at right angles to base plates 7a and 7b substantially perpendicular to the ground E-E. There is.
Further, a leg portion 8 which can be vertically moved and adjusted is attached to the lower end of each pedestal 2 so that the horizontal position of the mounting board 6 can be adjusted. A support plate 3 is fixed near the upper end of each leg 7a at a right angle (horizontal direction) to the column axis of the leg 7a, and a vibration damping device 4 is attached to the support plate 3. Mounting board 6
Are supported on the upper end side of the vibration damping device 4 via a mounting plate 5.
【００２３】〔実施例１〕（請求項１に対応） 図２は、本発明による制振装置４の一例を説明するため
の図で、図２（ａ）は図２（ｂ）の矢視Ａ−Ａ線断面
図、図２（ｂ）は図２（ａ）の側面図であり、図中、１
０は与圧球、１１は第１容器、１２は第２容器、１３は
第１液体、１４は第２液体、１５は連結ロッドであり、
図１と同様の作用をする部分には図１と同じ参照番号が
付されている。[Embodiment 1] (corresponding to claim 1) FIG. 2 is a view for explaining an example of a vibration damping device 4 according to the present invention, and FIG. 2 (a) is an arrow view of FIG. 2 (b). 2A is a cross-sectional view taken along the line AA, and FIG. 2B is a side view of FIG.
0 is a pressurizing ball, 11 is a first container, 12 is a second container, 13 is a first liquid, 14 is a second liquid, and 15 is a connecting rod.
The same reference numerals as those in FIG. 1 are attached to the portions having the same functions as those in FIG.
【００２４】図１に示したように、制振装置４は、架台
２と搭載盤６との間で、架台２内の支持板３により支持
され、搭載盤５を支持するように介装されている。制振
装置４は、第１容器１１と第２容器１２とを有し、第１
容器１１および第２容器１２は、例えば、共に円筒形で
第２容器１２は第１容器１１内に収容されている。第１
容器１１には第１液体１３が充填されて、第２容器１２
は第１液体１３中に浮んでいる。このため、第２容器１
２には所定量の第２液体１４が注入されている。As shown in FIG. 1, the vibration damping device 4 is supported between the gantry 2 and the mounting board 6 by the support plate 3 in the gantry 2 and is interposed so as to support the mounting board 5. ing. The vibration damping device 4 has a first container 11 and a second container 12, and
The container 11 and the second container 12 are both cylindrical, for example, and the second container 12 is housed in the first container 11. First
The container 11 is filled with the first liquid 13, and the second container 12
Are floating in the first liquid 13. Therefore, the second container 1
A predetermined amount of the second liquid 14 is injected into 2.
【００２５】このように、第２容器１２には第１液体１
３による浮力が作用しており、第２容器には第１容器１
１の中で第１容器１１に接触することなく浮いているの
で、第２容器１２の外側面のほぼ全体に第１液体１３の
圧力が作用している。As described above, the first liquid 1 is stored in the second container 12.
The buoyancy of the first container 1 acts on the second container.
Since it floats in No. 1 without contacting the first container 11, the pressure of the first liquid 13 acts on almost the entire outer surface of the second container 12.
【００２６】第２容器１２の天板１２ａには、天板１２
ａの面と直角に連結ロッド１５の一端が連結されてい
る。連結ロッド１５は、第１容器１１の天板１１ａを液
密に上下移動可能に貫通し、連結ロッド１５の他端には
取付板５が固着され、取付板６には搭載盤６が取り付け
られている。すなわち、第２容器１２の変位を連結ロッ
ド１５を介して直接的に取り出すことが可能となってい
る。The top plate 12a of the second container 12 has a top plate 12
One end of the connecting rod 15 is connected at a right angle to the plane a. The connecting rod 15 penetrates the ceiling plate 11a of the first container 11 in a liquid-tight manner so as to be vertically movable, the mounting plate 5 is fixed to the other end of the connecting rod 15, and the mounting plate 6 is mounted to the mounting plate 6. ing. That is, the displacement of the second container 12 can be directly taken out via the connecting rod 15.
【００２７】第１容器１１は架台２の柱軸に直角に固着
された水平な支持板３の上に設置されている。支持板３
には第１容器１１の加圧部となる与圧球１０が設けられ
ていて、与圧球１０の一部は支持板３の板面から突出し
ている。このため、与圧球１０は第１容器１１の底板１
１ｂを与圧しながら底板１１ｂに接しており、底板１１
ｂには突出した与圧球１０に係合するように予め球面状
と加工された球面底板１１ｃを有している。The first container 11 is installed on a horizontal support plate 3 fixed at a right angle to the column axis of the gantry 2. Support plate 3
A pressurizing sphere 10 that serves as a pressurizing portion of the first container 11 is provided in the container, and a part of the pressurizing sphere 10 projects from the plate surface of the support plate 3. Therefore, the pressurizing ball 10 is the bottom plate 1 of the first container 11.
1b is in contact with the bottom plate 11b while pressurizing,
b has a spherical bottom plate 11c that has been previously processed into a spherical shape so as to engage with the protruding pressurizing ball 10.
【００２８】第１容器１１の肉圧は部分的に異なってい
る。すなわち、底板１１ｂの厚さをＴ1、周壁１１ｄの
厚さをＴ2、天板１１ａの厚さをＴ3とすると、Ｔ1，
Ｔ2，Ｔ3の間にはＴ1＜Ｔ2，Ｔ3の関係があり、底板１
１ｂの剛性は周壁１１ｄや天板１１ａよりも弱く外力に
より容易に変形されるようになっている。また、第２容
器１２の肉圧も部分的に異なっている。底板１２ｂの厚
さｔ1、周壁１２ｃの厚さｔ2、天板１２ａの厚さｔ3の
間には、ｔ1，ｔ2＜ｔ3の関係があり、天板１２ａを除
いた外壁は外圧により容易に変形されるようになってい
る。The meat pressure of the first container 11 is partially different. That is, if the thickness of the bottom plate 11b is T 1 , the thickness of the peripheral wall 11d is T 2 , and the thickness of the top plate 11a is T 3 , then T 1 ,
Between T 2, T 3 have the relationship T 1 <T 2, T 3 , the bottom plate 1
The rigidity of 1b is weaker than that of the peripheral wall 11d and the top plate 11a, and is easily deformed by an external force. The meat pressure of the second container 12 is also partially different. The thickness t 1 of the bottom plate 12b, the thickness t 2 of the peripheral wall 12c, between the thickness t 3 of the top plate 12a, there is the relationship of t 1, t 2 <t 3, the outer wall except for the top plate 12a is It is easily deformed by external pressure.
【００２９】第２容器１２の第１容器１１に対する浮力
方向の位置は、第２容器１２に作用する力関係によって
設定されている。すなわち、第２容器１２の上記位置
は、第１液体１３と第２液体１４の液圧・比重・重量比
と、第１容器１１と第２容器１２の比重・重量比、及
び、第１容器１１と第２容器１２の各部の剛性などがパ
ラメータであり、これらのパラメータは、第２容器１２
が第１容器１１中で、第１容器１１に干渉せずに静止す
ように設定されている。第２容器１２には搭載盤６の重
量が加わっているので、第２容器１２を静止させるため
に、搭載盤６の重量も考慮されている。次に、実施例１
による制振装置の制振作用の原理を説明する。The position of the second container 12 in the buoyancy direction with respect to the first container 11 is set by the force relationship acting on the second container 12. That is, the above-mentioned position of the second container 12 is the hydraulic pressure / specific gravity / weight ratio of the first liquid 13 and the second liquid 14, the specific gravity / weight ratio of the first container 11 and the second container 12, and the first container. 11 and the rigidity of each part of the second container 12 are parameters, and these parameters are the second container 12
Is set in the first container 11 so as to stand still without interfering with the first container 11. Since the weight of the mounting board 6 is added to the second container 12, the weight of the mounting board 6 is also considered in order to make the second container 12 stand still. Next, Example 1
The principle of the damping function of the damping device will be described.
【００３０】図３は、実施例１による制振装置の制振作
用の原理を説明するための図であり、図３（ａ）は第１
容器１１内が加圧された状態、図３（ｂ）は第１容器１
１内が減圧された状態を説明するための図であり、図
中、ｘ0は支持板３の変位、ｘ1は搭載盤６の変位で、支
持板３に対し上向きを正、下向きを負としており、図
１，２と同様の作用をする部分には、図１，２と同じ参
照番号が付されてある。FIG. 3 is a diagram for explaining the principle of the vibration damping action of the vibration damping device according to the first embodiment, and FIG.
The inside of the container 11 is pressurized, FIG. 3B shows the first container 1
1 is a diagram for explaining a state in which the pressure inside 1 is reduced, in which x 0 is the displacement of the support plate 3, x 1 is the displacement of the mounting plate 6, and the upward direction is positive with respect to the support plate 3 and the downward direction is negative. Therefore, the same reference numerals as those in FIGS. 1 and 2 are attached to the portions having the same functions as those in FIGS.
【００３１】図３（ａ）に示すように、支持板３の変位
ｘ1が正（ｘ1＞０）の場合、除振台１の架台２に外来振
動が伝わると、支持板３は架台２と一体となって変位す
る。支持板３の変位ｘ0がｘ0＞０の場合、予圧球１０が
第１容器１１の底板１１ｂを押上げることによって底板
１１ｂは内側に弾性変形し、第１容器内１１の第１液体
１３の圧力が高まる。第１液体１３の液圧の上昇に伴
い、第２容器１２の周壁１２ｃおよび底板１２ｂが圧縮
変形して、第２容器１２の体積が小となり、浮力が減
じ、第２容器１２は第１容器１１に対して相対的に下降
する。この場合、第２容器１２の変位ｘ1は負（ｘ1＜
０）である。As shown in FIG. 3 (a), when the displacement x 1 of the support plate 3 is positive (x 1 > 0), when the external vibration is transmitted to the mount 2 of the vibration isolation table 1, the support plate 3 is fixed to the mount 2. Displaces together with 2. When the displacement x 0 of the support plate 3 is x 0 > 0, the preload ball 10 pushes up the bottom plate 11b of the first container 11 to elastically deform the bottom plate 11b inward, so that the first liquid 13 in the first container 11 is deformed. Pressure increases. As the liquid pressure of the first liquid 13 increases, the peripheral wall 12c and the bottom plate 12b of the second container 12 are compressed and deformed, the volume of the second container 12 becomes small, and the buoyancy is reduced, and the second container 12 becomes the first container. It descends relative to 11. In this case, the displacement x 1 of the second container 12 is negative (x 1 <
0).
【００３２】図３（ｂ）に示すように、支持板３の変位
ｘ0が負（ｘ0＜０）の場合、支持板３とともに第１容器
１１の底板１１ｂが下方に変形し、予圧球１０から第１
容器１１に作用する力が減じ、第１液体１３の圧力が低
下する。第１液体１３の液圧の減少に伴い、第２容器１
２が膨張して、第２容器の体積が大となり浮力が増し、
第２容器１２は第１容器１１に対して相対的に上昇す
る。この場合、第２容器１２の変位ｘ1は正（ｘ1＞０）
である。As shown in FIG. 3B, when the displacement x 0 of the support plate 3 is negative (x 0 <0), the bottom plate 11b of the first container 11 is deformed downward together with the support plate 3 and the preload ball 10 to 1
The force acting on the container 11 is reduced, and the pressure of the first liquid 13 is reduced. As the liquid pressure of the first liquid 13 decreases, the second container 1
2 expands, the volume of the second container increases and the buoyancy increases,
The second container 12 rises relative to the first container 11. In this case, the displacement x 1 of the second container 12 is positive (x 1 > 0)
Is.
【００３３】第１容器１１と支持板３が、例えば、ボル
ト等を用いて連結されていれば、支持板３の変位ｘ0が
負（ｘ0＜０）の場合に、第１容器１１の底板１１ｂが
支持板３によって下方に引っ張られる。第１容器１１が
支持板１１ｂに連結されていなくても、支持板３の変位
ｘ0が負（ｘ0＜０）の場合に、第１容器１１の底板１１
ｂの弾性復元力を利用して第１液体１３の圧力を減じさ
せることができる。The first container 11 and the support plate 3, for example, if it is connected with bolts or the like, if the displacement x 0 of the support plate 3 is negative (x 0 <0), the first container 11 The bottom plate 11b is pulled downward by the support plate 3. Even if the first container 11 is not connected to the support plate 11b, if the displacement x 0 of the support plate 3 is negative (x 0 <0), the bottom plate 11 of the first container 11
The elastic restoring force of b can be used to reduce the pressure of the first liquid 13.
【００３４】上述のように、第２容器１２は外来振動の
方向に対して逆方向に変位するので、支持板３の変位量
ｘ0と第２容器１２の変位量ｘ1との和がｘ0よりも小さ
くなる。つまり、第２容器１２は｜ｘ0＋ｘ1｜の分だ
け、支持板３と同じ方向に変位したことになる。したが
って、外来振動の振幅の伝達が抑制され、搭載盤６の位
置は一定に保たれる。[0034] As described above, since the second container 12 is displaced in the opposite direction to the direction of the foreign vibration, the sum of the displacement x 0 of the support plate 3 and the displacement amount x 1 of the second container 12 is x It is smaller than 0 . That is, the second container 12 is displaced in the same direction as the support plate 3 by | x 0 + x 1 |. Therefore, the transmission of the amplitude of the external vibration is suppressed, and the position of the mounting board 6 is kept constant.
【００３５】外来振動により支持板３は正方向、負方向
に繰り返し変位するので、第２容器１２の変位は過度に
大きくならず、第２容器１２は変位の略中心位置（中立
位置）に留まる。第２容器１２の支持板３に対する位相
遅れの値が最適値に近いほど、第２容器１２の絶対的な
位置変動（｜ｘ0＋ｘ1｜）は小さくなる。Since the support plate 3 is repeatedly displaced in the positive direction and the negative direction by the external vibration, the displacement of the second container 12 does not become excessively large, and the second container 12 remains at the substantially central position (neutral position) of the displacement. . As the value of the phase delay of the second container 12 with respect to the support plate 3 is closer to the optimum value, the absolute position variation (| x 0 + x 1 |) of the second container 12 becomes smaller.
【００３６】第２容器に作用する第１液体１３による液
圧は全体に亘って均等なため、第２容器１２の水平方向
への移動に対し自己調心作用が働く。しかし、自己調心
作用による水平方向の移動を完全に取り除くことができ
ない場合には、水平方向に減衰力を働かせるための他の
手段を追加することによって、第２容器１２の水平変位
を抑制することができる。減衰力を与えるための手段と
して、一般的な減衰手段として知られている種々のもの
を採用することができる。Since the hydraulic pressure of the first liquid 13 acting on the second container is uniform over the whole, a self-centering action works on the horizontal movement of the second container 12. However, when the horizontal movement due to the self-centering action cannot be completely removed, the horizontal displacement of the second container 12 is suppressed by adding other means for exerting a damping force in the horizontal direction. be able to. Various means known as general damping means can be adopted as means for giving a damping force.
【００３７】なお、図２においては、第１容器１１の底
板１１ｂに天板１１ａ、周壁１１ｃと等しい材料として
説明したが、同一材料でなく、一般的なダイアフラム
や、皿ばね、板ばね等も利用できる。床面Ｅ−Ｅと架台
２との間や、支持板３と脚部８との間に、例えば、防振
ゴムや防振ゲル等の一般的な制振手段を介在させてもよ
い。第１液体１３と第２液体１４が同じであっても、異
なっていてもよい。In FIG. 2, the bottom plate 11b of the first container 11 is described as the same material as the top plate 11a and the peripheral wall 11c, but not the same material, but a general diaphragm, a disc spring, a leaf spring, or the like. Available. A general vibration-damping means such as a vibration-proof rubber or a vibration-proof gel may be interposed between the floor surface E-E and the gantry 2 or between the support plate 3 and the leg portion 8. The first liquid 13 and the second liquid 14 may be the same or different.
【００３８】上述のように、実施例１による制振装置に
よれば、浮力を利用して外来振動を絶縁することが可能
になり、従来のＴＭＤ式とは異なる新しい制振技術を提
供することができる。制振作用を与えるために液体の静
圧の変化を利用しているので、液体が動くことがない。
このため、液体の振幅分を考慮する必要がなく、小型な
制振装置及び除振装置を提供することができる。更に、
空気ばね式除振装置では、空気ばねを作動するための空
気源や空気配管が必要であるが実施例１による制振装置
では不要であり、この分、構造が簡略化され、さらに、
設置場所の制限が少なくなるので設計自由度が高まる。As described above, according to the vibration damping device of the first embodiment, it becomes possible to insulate external vibrations by utilizing buoyancy, and to provide a new vibration damping technique different from the conventional TMD type. You can Since the change in the static pressure of the liquid is used to provide the damping effect, the liquid does not move.
Therefore, it is not necessary to consider the amplitude of the liquid, and a small vibration damping device and vibration damping device can be provided. Furthermore,
The air spring type vibration damping device requires an air source and air piping for operating the air spring, but the vibration damping device according to the first embodiment does not need it. Therefore, the structure is simplified, and further,
Since there are fewer restrictions on the installation location, the degree of freedom in design is increased.
【００３９】実施例２ 実施例１による制振装置では、第１容器１１内に第２容
器１２が収容されており、第２容器１２に作用する第１
液体１３の圧力は均等であるため第２容器１２の水平方
向の移動には自己調心作用が働くが、第２容器１２自体
の重心位置姿勢に対しての自己調心作用はない。実施例
２による制振装置は、第２容器１２の姿勢制御を可能と
する制振装置を提供することを目的としてなされたもの
である。Embodiment 2 In the vibration damping device according to Embodiment 1, the second container 12 is housed in the first container 11, and the first container 11 acts on the second container 12.
Since the pressure of the liquid 13 is uniform, the horizontal movement of the second container 12 has a self-centering action, but the second container 12 itself does not have a self-centering action with respect to the position of the center of gravity. The vibration damping device according to the second embodiment is provided for the purpose of providing a vibration damping device capable of controlling the attitude of the second container 12.
【００４０】図４は、実施例２による制振装置を説明す
るための図であり、図中、１６は第２容器、１７は隔
板、１８ａ，１８ｂは第２液室、１９は貯液槽、２０は
給液管、２１はポンプ、２２ａ，２２ｂは電磁バルブ、
２３はバルブコントローラであり、図２と同様の作用を
する部分には、図２と同じ参照番号を付してある。FIG. 4 is a diagram for explaining the vibration damping device according to the second embodiment. In the figure, 16 is a second container, 17 is a partition plate, 18a and 18b are second liquid chambers, and 19 is a liquid storage. Tank, 20 liquid supply pipe, 21 pump, 22a and 22b electromagnetic valves,
Reference numeral 23 is a valve controller, and parts having the same functions as those in FIG. 2 are denoted by the same reference numerals as those in FIG.
【００４１】図４に示した制振装置は、第２容器１６の
天板１６ａと底板１６ｂとの間に周壁１６ｃと平行な隔
板１７が取り付けられ、隔板１７により第２容器１６を
複数の第２液室１８ａと１８ｂとに区分し、区分された
第２液室１８ａと１８ｂに、各々、所定量の第２液体１
９ａが充填される。第２液体１９ａは、貯液槽１９内に
収容されており、給液管２０を通り、ポンプ２１により
輸液後、給液管２０ａ，２０ｂに分岐され、各々、電磁
バルブ２２ａ，２２ｂにより流量コントロールされ、第
１容器１１、第２容器１６の各々の天板１１ａ，１６ａ
を貫通して第２液室１８ａ，１８ｂに充填される。In the vibration damping device shown in FIG. 4, a partition plate 17 parallel to the peripheral wall 16c is attached between the top plate 16a and the bottom plate 16b of the second container 16, and the partition plates 17 allow the plurality of second containers 16 to be arranged. Of the second liquid chambers 18a and 18b, and a predetermined amount of the second liquid 1
9a is filled. The second liquid 19a is contained in the liquid storage tank 19, passes through the liquid supply pipe 20, is infused by the pump 21, and is then branched into liquid supply pipes 20a and 20b, and the flow rate is controlled by the electromagnetic valves 22a and 22b, respectively. And the top plates 11a and 16a of the first container 11 and the second container 16 respectively.
And is filled in the second liquid chambers 18a and 18b.
【００４２】天板１１ａと１６ａとの間の給液管２０
ａ，２０ｂは、ベローズ等のフレキシブル管（図示せ
ず）からなり、フレキシブル管に変位を与える力は第２
容器１６が受ける浮力に対し無視できる程小さく選ばれ
ている。また、電磁バルブ２２ａ，２２ｂはバルブコン
トローラ２３により制御され、第２液室１８ａ，１８ｂ
の各液室に個別に定められた量の第２液体１９ａが充填
される。Liquid supply pipe 20 between the top plates 11a and 16a
a and 20b are made of a flexible tube (not shown) such as a bellows, and the force for displacing the flexible tube is the second.
It is chosen to be negligible with respect to the buoyancy experienced by the container 16. The electromagnetic valves 22a and 22b are controlled by the valve controller 23, and the second liquid chambers 18a and 18b are controlled.
Each of the liquid chambers is filled with the individually determined amount of the second liquid 19a.
【００４３】図５は、図４に示した第２容器の第２液室
を説明するための部分斜視図で、図５（ａ）は図４に示
した第２容器１６を１個の隔板１７により２個の第２液
室に区分した場合の斜視図、図５（ｂ）は２個の隔板１
７ａ，１７ｂにより４個の第２液室１８ａ，１８ｂ，
…，１８ｄに区分した場合の斜視図であり、区分された
各々の液室１８ａ〜１８ｄには個別に、所定量の第２液
体が充填されるようになっている。FIG. 5 is a partial perspective view for explaining the second liquid chamber of the second container shown in FIG. 4, and FIG. 5 (a) shows the second container 16 shown in FIG. FIG. 5B is a perspective view of the case where the plate 17 is divided into two second liquid chambers, and FIG.
Four second liquid chambers 18a, 18b by 7a, 17b,
18d is a perspective view in the case where the liquid chambers 18a to 18d are divided, and each of the divided liquid chambers 18a to 18d is individually filled with a predetermined amount of the second liquid.
【００４４】実施例２による制振装置では、第２容器１
６を隔板１７により複数に区分された各々の液室に定め
られた量の第２液体を充填することにより第２容器１６
の重心位置の自由な設定が可能となり、第２容器１６の
姿勢を制御することが可能となる。従って、第２液室の
数が多いほど第２容器１６の細密な姿勢制御が可能とな
る。In the vibration damping device according to the second embodiment, the second container 1
The second container 16 is formed by filling a predetermined amount of the second liquid into each liquid chamber divided into a plurality of parts by the partition plate 17.
It is possible to freely set the position of the center of gravity of the second container 16 and control the posture of the second container 16. Therefore, the greater the number of the second liquid chambers, the finer the posture control of the second container 16 becomes possible.
【００４５】前述した実施例１，２による制振装置は、
外来振動を第１容器１１内の圧力変化に換えての圧力変
化を、更に、第１容器１１内に収容された第２容器１
２，１６の浮力変化に換え、浮力変化による変位を被制
振部材が搭載される搭載板６に伝達させることにより制
振する受動的除振装置である。このため、制振装置自身
の固有振動の影響を充分に除去できない場合が考えられ
る。The vibration damping devices according to the first and second embodiments described above are
The pressure change obtained by changing the external vibration to the pressure change in the first container 11 is further converted into the second container 1 accommodated in the first container 11.
This is a passive vibration isolation device that suppresses vibrations by transmitting the displacement due to the change in buoyancy to the mounting plate 6 on which the member to be damped is mounted, instead of changing the buoyancy changes in 2 and 16. For this reason, it is possible that the influence of the natural vibration of the vibration damping device itself cannot be sufficiently removed.
【００４６】実施例３ 実施例３による制振装置は、制振装置自身の固有振動の
影響を抑える能動的制振装置を提供することを目的とし
てなされたもので、実施例１，２による受動的除振装置
構造の制振作用に、フィートバック制御による制振作用
を付加させたものである。Embodiment 3 The vibration damping device according to the third embodiment is intended to provide an active vibration damping device for suppressing the influence of the natural vibration of the vibration damping device itself. This is a system in which the damping action by footback control is added to the damping action of the dynamic vibration isolator structure.
【００４７】図６は、実施例３による制振装置を説明す
るためのブロック図であり、図中、１９は第２容器、２
０は励磁コイル、２１は加圧力センサ、２２は温度セン
サ、２３，３０は変位センサ、２４，２６，３１は増幅
器（アンプ）、２５，２７，３２はＡ／Ｄ（アナログ・
ディジタル）変換器、２８はＤ／Ａ（ディジタル・アナ
ログ）変換器、２９はコントローラであり、図１，２と
同様の作用をする部分には、図１と同じ参照番号が付さ
れてある。FIG. 6 is a block diagram for explaining the vibration damping device according to the third embodiment, in which 19 is a second container and 2 is a second container.
0 is an exciting coil, 21 is a pressure sensor, 22 is a temperature sensor, 23 and 30 are displacement sensors, 24, 26 and 31 are amplifiers, and 25, 27 and 32 are A / D (analog / analog).
1 is a digital / analog converter, 28 is a D / A (digital / analog) converter, and 29 is a controller. The parts having the same functions as those in FIGS.
【００４８】図６において、第１容器１１には、周壁１
１ｃの外側に励磁コイル２０が、底板１１ｂに加圧力セ
ンサ２１が、天板１１ａに温度センサ２２が、各々取り
付けられており、搭載板５には変位センサ２３が、支持
板３には変位センサ３０が取り付けられている。支持板
３の側の変位センサ３０は、外来振動を検出するための
ものである。このため、変位センサ３０の取付位置を、
支持板３の他に、架台２の脚部７ａ，脚連結材７ｂ，或
いは、床上等に設定してもよい。コントローラ（制御駆
動装置）２９には、加圧力センサ２１、温度センサ２
２、変位センサ２３，３０の各々の信号が入力され、コ
ントローラ２９の出力により励磁コイル２０が駆動され
るようになっている。上記において、温度センサ２２に
よる第１液体１３の温度信号は、アンプ２６、Ａ／Ｄ変
換器２７を介し、変位センサによる搭載板５の変位信号
は、各々アンプ２４，３１、Ａ／Ｄ変換器２５，３２を
介し、各々コントローラ２９に接続され、コントローラ
２９からはＤ／Ａ変換器２８を介して励磁コイル２０に
接続されている。In FIG. 6, the first container 11 has a peripheral wall 1
An excitation coil 20 is attached to the outside of 1c, a pressure sensor 21 is attached to the bottom plate 11b, and a temperature sensor 22 is attached to the top plate 11a. A displacement sensor 23 is mounted on the mounting plate 5 and a displacement sensor is mounted on the support plate 3. 30 is attached. The displacement sensor 30 on the side of the support plate 3 is for detecting an external vibration. Therefore, the mounting position of the displacement sensor 30 is
In addition to the support plate 3, it may be set on the leg portion 7a of the gantry 2, the leg connecting member 7b, or on the floor. The controller (control drive device) 29 includes a pressure sensor 21 and a temperature sensor 2.
2. The respective signals of the displacement sensors 23 and 30 are input, and the exciting coil 20 is driven by the output of the controller 29. In the above, the temperature signal of the first liquid 13 from the temperature sensor 22 passes through the amplifier 26 and the A / D converter 27, and the displacement signal of the mounting plate 5 from the displacement sensor passes through the amplifiers 24 and 31, the A / D converter, respectively. 25 and 32, each is connected to the controller 29, and the controller 29 is connected to the exciting coil 20 via the D / A converter 28.
【００４９】一方、第２容器１９は、天板１９ａと底板
１９ｂ側に各々磁極を有する永久磁石となっている。こ
のような永久磁石は、天板１９ａおよび底板１９ｂを各
々、厚さ方向に同じ磁極を有する板状の永久磁石とし、
二枚の永久磁石板の間に強磁性材からなる周壁１９ｃを
挟むことにより得られる。On the other hand, the second container 19 is a permanent magnet having magnetic poles on the side of the top plate 19a and the bottom plate 19b. In such a permanent magnet, the top plate 19a and the bottom plate 19b are plate-shaped permanent magnets having the same magnetic poles in the thickness direction,
It is obtained by sandwiching the peripheral wall 19c made of a ferromagnetic material between two permanent magnet plates.
【００５０】次に、上述のように構成された制御装置の
動作を説明する。まず、外来振動が発生すると、外来振
動は、支持板３に伝達され、更に、支持板３、与圧球１
０を介して第１容器１１に伝達される。第１容器１１に
伝達された外来振動が加圧力センサ２１により検知され
コントローラ２９に入力される。コントローラ２９から
の出力信号は、Ｄ／Ａ変換器２８を介してアナログ電流
に変換されて励磁コイル２０が励磁される。Next, the operation of the control device configured as described above will be described. First, when external vibration is generated, the external vibration is transmitted to the support plate 3, and the support plate 3 and the pressurizing ball 1 are further transmitted.
It is transmitted to the first container 11 via 0. The external vibration transmitted to the first container 11 is detected by the pressure sensor 21 and input to the controller 29. The output signal from the controller 29 is converted into an analog current via the D / A converter 28 to excite the exciting coil 20.
【００５１】励磁コイル２０が励磁されることにより発
生した磁界は、永久磁石からなる第２容器１９を駆動す
る磁力を発生し、第２容器は上下何れかの方向に駆動さ
れる。第２容器１９と連結された搭載板６の変位は、変
位センサ２３により検出され、検出された変位信号はコ
ントローラ２９に入力され、変位が零となるような逆位
相の力を励磁コイル２０を介して第２容器１９に与え
る。更に、支持板３に伝達される外来振動を変位センサ
３０で検知して、この振動を打ち消すようにアンプ３
１、Ａ／Ｄ変換器３２、コントローラ２９、Ｄ／Ａ変換
器２８を介してコイル２０を駆動することも可能であ
る。変位センサ２３，３０としては一般的なセンサが利
用できるが、加速度センサや速度センサを用い、出力信
号を積分して変位信号としてもよい。The magnetic field generated by exciting the exciting coil 20 generates a magnetic force for driving the second container 19 made of a permanent magnet, and the second container is driven in either the upper or lower direction. The displacement of the mounting plate 6 connected to the second container 19 is detected by the displacement sensor 23, the detected displacement signal is input to the controller 29, and the exciting coil 20 is caused to apply an antiphase force such that the displacement becomes zero. To the second container 19 via Further, the displacement sensor 30 detects the external vibration transmitted to the support plate 3 and cancels this vibration.
It is also possible to drive the coil 20 via 1, the A / D converter 32, the controller 29, and the D / A converter 28. A general sensor can be used as the displacement sensors 23 and 30, but an acceleration sensor or a velocity sensor may be used and the output signal may be integrated to obtain a displacement signal.
【００５２】第１容器１１に取り付けられた温度センサ
２２は第１液体１３の温度を検知し、コントローラ１９
は、温度変化による第１液体１３の密度を算出し、密度
に応じた最適な保持力を励磁コイル２０を介して第２容
器１９に与えるように設定されている。従って、制振装
置が、クリーンルーム等のように気温が一定に保たれた
室内で使用される場合には、温度センサ２２を取り除
き、温度変化に対する補正を省いてもよい。The temperature sensor 22 attached to the first container 11 detects the temperature of the first liquid 13, and the controller 19
Is set so as to calculate the density of the first liquid 13 due to the temperature change and give an optimum holding force corresponding to the density to the second container 19 via the exciting coil 20. Therefore, when the vibration damping device is used in a room where the temperature is kept constant, such as in a clean room, the temperature sensor 22 may be removed and the correction for the temperature change may be omitted.
【００５３】実施例３による制振装置によると、第１液
体１３が充填された第１容器１１内に第２容器１９を有
する制振装置が第２容器１９を非接触で駆動する励磁コ
イル２０を取り付けることによりアクチュエータとして
利用され、受動的な制振作用に加えてフィードバック制
御による制振作用を有するので応答性が優れた制振装置
とすることができる。しかも、第２容器１９の周壁１９
ｃを永久磁石としたので励磁コイル２０に通電すること
により第２容器１９の軸方向の位置が安定される。な
お、フィードバック制御にフィードフォワード制御を付
加して能動的な制振を行うことも考えられる。According to the vibration damping device of the third embodiment, the vibration damping device having the second container 19 in the first container 11 filled with the first liquid 13 drives the second container 19 in a non-contact manner. It is used as an actuator by attaching a vibration damping device and has a vibration damping action by feedback control in addition to a passive vibration damping action, so that a vibration damping device having excellent responsiveness can be obtained. Moreover, the peripheral wall 19 of the second container 19
Since c is a permanent magnet, the exciting coil 20 is energized to stabilize the axial position of the second container 19. It is also conceivable to add feedforward control to feedback control to perform active damping.
【００５４】実施例４ 図７は、実施例４による制振装置を説明するためのブロ
ック図であり、図中、３３は第１容器、３４は第２容
器、３５は変位量検出コイル、３６は変換器、３７はコ
ントローラ、３８はアクチュエータ、３９は支持柱であ
り、図６と同様の作用をする部分には、図６と同じ参照
番号を付してある。Fourth Embodiment FIG. 7 is a block diagram for explaining a vibration damping device according to a fourth embodiment. In the figure, 33 is a first container, 34 is a second container, 35 is a displacement amount detecting coil, 36. Is a converter, 37 is a controller, 38 is an actuator, 39 is a support column, and the portions having the same functions as in FIG. 6 are denoted by the same reference numerals as in FIG.
【００５５】図７において、第１容器３３の天板３３ａ
には、貫通孔がなく閉止され、第１液体１３が充たされ
た第１容器３３内には、図６に示した第２容器１９と同
様な、上下に磁極を有する永久磁石からなる第２容器３
４が浮んでいる。第１容器３３の周壁３３ｃの外側には
変位量検出コイル３５が第１容器３３と非接触に配置さ
れ、変位量検出コイル３５は、搭載板６に固定された支
持柱３９に固着されている。変位量検出コイル３５は、
加圧力センサ２１、温度センサ２２、変位センサ２３は
各々の変換器を介してコントローラ３７に接続され、コ
ントローラ３７により、アクチュエータ３８が駆動され
る。In FIG. 7, the top plate 33a of the first container 33 is shown.
In the first container 33 filled with the first liquid 13, the first container 33 is closed without a through hole, and is made of a permanent magnet having upper and lower magnetic poles similar to the second container 19 shown in FIG. 2 containers 3
4 is floating. A displacement amount detection coil 35 is arranged outside the peripheral wall 33c of the first container 33 so as not to contact the first container 33, and the displacement amount detection coil 35 is fixed to a support column 39 fixed to the mounting plate 6. . The displacement amount detection coil 35 is
The pressure sensor 21, the temperature sensor 22, and the displacement sensor 23 are connected to a controller 37 via respective converters, and the controller 37 drives an actuator 38.
【００５６】実施例４による制振装置は、実施例３と同
様の目的をもってなされた能動的除振装置の一例を示す
ものである。外来振動が発生し、支持板３、与圧球１０
を介して外来振動が第１容器３３に加えられると、第１
液体１３の圧力は外来振動に応じて変化し、第２容器３
４は、第１液体１３の圧力変化に応じて変位する。この
変位は変位量検出コイル３５内での磁束変化をもたら
し、変位量検出コイル３５には第２容器３４の変位速度
に比例した電流が流れ、第２容器３４の変位変化が間接
的に取り出される。The vibration damping device according to the fourth embodiment is an example of an active vibration damping device having the same purpose as that of the third embodiment. External vibration is generated, and the support plate 3 and the pressurizing ball 10
When an external vibration is applied to the first container 33 via the
The pressure of the liquid 13 changes according to the external vibration, and the second container 3
4 is displaced according to the pressure change of the first liquid 13. This displacement causes a magnetic flux change in the displacement amount detection coil 35, a current proportional to the displacement speed of the second container 34 flows in the displacement amount detection coil 35, and the displacement change of the second container 34 is indirectly taken out. .
【００５７】変位量検出コイル３５に生じた電流は、変
換器３６によりディジタル量に変換され、コントローラ
３７に入力される。コントローラ３７によりアクチュエ
ータ３８が駆動され、アクチュエータ３８により搭載盤
６が駆動される。一方、応答性を高めるために搭載盤６
には変位センサ２３が、支持板３には変位センサ３０お
よび加圧力センサ２１が取り付けられており、変位セン
サ２３，３０および加圧力センサ２１により検出された
搭載盤６、支持板３の変位信号はコントローラ３７に帰
還され、搭載盤６の変位を零とする方向にアクチュエー
タ３８が駆動される。ここで、アクチュエータ３８は、
電気−機械量変換可能なものであればよく、変換方式は
問われない。なお、温度センサ２２の作用は実施例３と
同様であり説明を省く。The current generated in the displacement amount detecting coil 35 is converted into a digital amount by the converter 36 and input to the controller 37. The controller 37 drives the actuator 38, and the actuator 38 drives the mounting board 6. On the other hand, the mounting board 6 to improve responsiveness
The displacement sensor 23 is attached to the support plate 3, and the displacement sensor 30 and the pressure sensor 21 are attached to the support plate 3. The displacement signals of the mounting board 6 and the support plate 3 detected by the displacement sensors 23, 30 and the pressure sensor 21 are attached to the support plate 3. Is returned to the controller 37, and the actuator 38 is driven in the direction in which the displacement of the mounting board 6 becomes zero. Here, the actuator 38 is
Any conversion method may be used as long as it can be converted into an electric-mechanical quantity. The operation of the temperature sensor 22 is the same as that of the third embodiment and will not be described.
【００５８】上述した実施例４の制振装置によれば、外
来振動によって生じた浮力変化による第２容器３４の変
位を間接時に取り出して搭載盤６の変位変化を零とする
ようにアクチュエータが駆動されるので、駆動力が大き
く応答性の優れた制振装置とすることができる。According to the vibration damping device of the fourth embodiment described above, the actuator is driven so that the displacement of the second container 34 due to the buoyancy change caused by the external vibration is taken out indirectly and the displacement change of the mounting board 6 becomes zero. Therefore, the vibration damping device having a large driving force and excellent responsiveness can be obtained.
【００５９】上述した実施例１〜４においては、特に、
精密機械を搭載する除振台等用の制振装置について好適
であるが、同様に、除振を必要とする実験装置や製造設
備等の大型な制振装置に適用させることも可能である。In the above-mentioned first to fourth embodiments, in particular,
Although it is suitable for a vibration damping device for a vibration isolation table or the like equipped with a precision machine, it can be similarly applied to a large vibration damping device such as an experimental device or a manufacturing facility that requires vibration isolation.
【００６０】実施例５ 図８は、実施例５による制振装置の操作順序を説明する
ための図であり、図８（ａ）は第１準備段階、図８
（ｂ）は第２準備段階、図８（ｃ）は準備完了段階を示
し、図中、４０は基盤、４１は液槽、４２は扉、４３は
浮体、４４は階段、４５は作業者、４６は貯液槽、４７
は給液管、４８はポンプである。Fifth Embodiment FIG. 8 is a diagram for explaining the operation sequence of the vibration damping device according to the fifth embodiment. FIG. 8A shows the first preparation stage, FIG.
8B shows a second preparation stage, and FIG. 8C shows a preparation completion stage. In the figure, 40 is a base, 41 is a liquid tank, 42 is a door, 43 is a floating body, 44 is stairs, 45 is an operator, 46 is a liquid storage tank, 47
Is a liquid supply pipe, and 48 is a pump.
【００６１】図８（ａ）に示した第１準備段階におい
て、液槽４１は、液密に開閉可能な扉４２を有し、底板
４１ａが基盤４０に発生した外来振動に応じて変位する
低剛性体であるが、その他は、剛性は高い壁面で囲まれ
た容器で空室となっている。浮体４３は液槽４１内に収
容され、液密に開閉可能な扉（図閉せず）を有する容器
で、後述する液体の圧力に応動して容積が変化するよう
な剛性の低い壁面からなり内部に実験装置（図示せず）
が設置されている。In the first preparatory stage shown in FIG. 8A, the liquid tank 41 has a door 42 that can be opened and closed in a liquid-tight manner, and the bottom plate 41a is displaced to a low level which is displaced according to an external vibration generated on the base 40. Although it is a rigid body, the others are emptied by a container surrounded by a highly rigid wall surface. The floating body 43 is a container that is housed in the liquid tank 41 and has a door (not shown) that can be opened and closed in a liquid-tight manner, and is composed of a low-rigidity wall surface whose volume changes in response to the pressure of the liquid described later. Experimental device inside (not shown)
Is installed.
【００６２】第１準備段階では、液槽４１、浮体４３の
扉が開けられており、浮体４３は液槽４１とともに基盤
４０上に設置されている。従って、作業者４５は、扉４
２から液槽４１内に入り、更に、浮体４３内に入り扉が
閉じられる。In the first preparation stage, the doors of the liquid tank 41 and the floating body 43 are opened, and the floating body 43 is installed on the base 40 together with the liquid tank 41. Therefore, the worker 45 is
The liquid enters into the liquid tank 41 from 2, and further enters into the floating body 43, and the door is closed.
【００６３】図８（ｂ）に示した第２準備段階において
は、作業者４５が浮体４３内に入り、すべての扉が密閉
されている。液槽４１内には、貯液槽４６に蓄えられて
いた液体がポンプ４８で圧送され、給液管４７を通って
充填される。In the second preparatory stage shown in FIG. 8B, the worker 45 enters the floating body 43 and all the doors are closed. The liquid stored in the liquid storage tank 46 is pumped into the liquid tank 41 by a pump 48 and filled through the liquid supply pipe 47.
【００６４】図８（ｃ）に示した準備完了段階では、液
槽４１への液体充填が完了し、浮体４３は基盤４０から
離れて浮上し、液槽４１と非接触の状態で静止してい
る。この状態とするために、浮体４３内に設置収納され
る実験装置や作業者４５等の重量は予め定められてい
る。外来振動が基盤４０を介して底板４１ａに伝わると
底板４１ａが変位して液槽４１内の液体に外来振動に応
じた圧力変化を発生させる。この圧力変位は浮体４３の
体積に変化を与えるので浮体４３は外来振動と反対の向
きに変位し、浮体４３は外来振動の影響を打ち消された
安定位置を保つ。At the stage of completion of preparation shown in FIG. 8C, the liquid filling into the liquid tank 41 is completed, the floating body 43 floats away from the base 40, and stands still without contacting the liquid tank 41. There is. In order to achieve this state, the weight of the experimental device, the worker 45, etc. installed and stored in the floating body 43 is predetermined. When the external vibration is transmitted to the bottom plate 41a through the base plate 40, the bottom plate 41a is displaced and a pressure change is generated in the liquid in the liquid tank 41 according to the external vibration. Since this pressure displacement changes the volume of the floating body 43, the floating body 43 is displaced in the direction opposite to the external vibration, and the floating body 43 maintains a stable position in which the influence of the external vibration is canceled.
【００６５】図９は、図８に示した浮体４３の内部と液
槽４１の外部との間で通信を行うための例を示す図であ
り、図中、４９は実験装置、５０は中央制御装置、５１
は入力装置、５２は表示装置、５３は室内側送受信装
置、５４は室外側送受信装置である。FIG. 9 is a diagram showing an example for performing communication between the inside of the floating body 43 shown in FIG. 8 and the outside of the liquid tank 41, in which 49 is an experimental device and 50 is a central control unit. Device, 51
Is an input device, 52 is a display device, 53 is an indoor transmission / reception device, and 54 is an outdoor transmission / reception device.
【００６６】浮体４３内に設置された実験装置４９によ
り得られた実験データ等は、入力装置５１に入力され、
入力された実験データは、中央制御装置５０によって演
算処理され、処理結果は表示装置５２に表示され作業者
４５に報知されるとともに室内側送受信装置５３から室
外側送受信装置５４に処理結果等のデータが送信され
る。また、作業者４５に外部との間で情報交換すること
ができる。The experimental data and the like obtained by the experimental device 49 installed in the floating body 43 is input to the input device 51,
The input experimental data is arithmetically processed by the central control device 50, the processing result is displayed on the display device 52 and is notified to the worker 45, and data such as the processing result is transmitted from the indoor transmitter / receiver device 53 to the outdoor transmitter / receiver device 54. Will be sent. In addition, the worker 45 can exchange information with the outside.
【００６７】実施例５による制振装置では、浮体４３を
一つの大きい実験室として作業者が出入できるようにし
てあり、しかも実験時には浮体４３に外来振動が伝わら
ないので、浮体４３内に設置された実験装置４９によ
り、高精度の実験が可能となる。また、実験中は、外部
との間で通信が可能であるから効率よく実験を進めるこ
とができる。In the vibration damping device according to the fifth embodiment, the floating body 43 is set as one large laboratory for workers to enter and leave, and since external vibration is not transmitted to the floating body 43 during the experiment, it is installed in the floating body 43. The experimental apparatus 49 described above enables highly accurate experiments. Further, during the experiment, communication can be performed with the outside, so that the experiment can be efficiently advanced.
【００６８】実施例６ 図１０は、実施例６による制振装置を説明するための図
であり、図中、５５は基盤、５６は与圧球、５７は液
槽、５８は浮体、５９は製造機器、６０は浮体側通信器
である。Sixth Embodiment FIG. 10 is a diagram for explaining a vibration damping device according to a sixth embodiment. In the figure, 55 is a base, 56 is a pressure ball, 57 is a liquid tank, 58 is a floating body, and 59 is Manufacturing equipment, 60 is a floating body side communication device.
【００６９】図１０において、液槽５７は、密閉可能な
扉（図示せず）を有する密閉された大形容器であり、天
板５７ａ、周壁５７ｃは高い剛性の壁面で、底板５７ｂ
は外力により容易に変形される低い剛性の壁面からなっ
ており、底板５７ｂの中央部が球状凹部５７ｄとなって
いる。液槽５７は、基盤５５上に設置され、基盤５５に
は、液槽５７の底板の球状凹部５７ｄと係合される与圧
球５６が設けられている。基盤５５に伝わる外来振動は
与圧球５６を介して液槽５７の底板５７ｂに伝わるよう
になっている。In FIG. 10, the liquid tank 57 is a sealed large container having a sealable door (not shown). The top plate 57a and the peripheral wall 57c are highly rigid wall plates, and the bottom plate 57b.
Has a low-rigidity wall surface that is easily deformed by an external force, and the central portion of the bottom plate 57b is a spherical recess 57d. The liquid tank 57 is installed on the base 55, and the base 55 is provided with a pressurizing ball 56 to be engaged with the spherical recess 57d of the bottom plate of the liquid tank 57. The external vibration transmitted to the base 55 is transmitted to the bottom plate 57b of the liquid tank 57 via the pressurizing balls 56.
【００７０】液槽５７内には、水等の液体５７Ｌが充た
され、液体５７Ｌ中には、液槽５７内壁と触れることな
く浮体５８が浮んでいる。浮体５８は、液体５７Ｌの液
圧に応動して変形される低剛性の壁面をもっており、浮
体５８内には製造機器５９、製造機器５９を制御するた
めの後述する図１１に示された中央制御装置６１、浮体
側送受信装置６０等が設置されており、浮体５８の大き
さは浮体５８内に設置された上記機器の総重量を勘案し
て浮力が得られるように定められている。A liquid 57L such as water is filled in the liquid tank 57, and a floating body 58 floats in the liquid 57L without touching the inner wall of the liquid tank 57. The floating body 58 has a low-rigidity wall surface that is deformed in response to the liquid pressure of the liquid 57L. Inside the floating body 58, the manufacturing equipment 59 and a central control shown in FIG. A device 61, a floating body side transmitting / receiving device 60, and the like are installed, and the size of the floating body 58 is determined so that buoyancy can be obtained in consideration of the total weight of the above equipment installed in the floating body 58.
【００７１】基盤５５からの外来振動が液槽５７の底板
５７ｂに加えられると、底板５７ｂは外来振動の振幅に
等しい変形を受け液体５７Ｌの液圧が変化する。浮体５
８は、液圧変化に従って体積変化し、液槽５７に対し外
来振動と反対向きに相対変位することにより制振されて
いる。When the external vibration from the base 55 is applied to the bottom plate 57b of the liquid tank 57, the bottom plate 57b is deformed by the amplitude of the external vibration and the liquid pressure of the liquid 57L changes. Floating body 5
The volume of 8 is changed according to the change of the liquid pressure, and is relatively damped by the liquid tank 57 in the direction opposite to the external vibration.
【００７２】図１１は、図１０に示した製造機器の情報
伝達手段を説明するためのブロック図であり、図中、６
１は中央制御装置、６２は室外側送受信装置で、図１０
と同様の作用をする部分には図１０と同じ参照番号が付
されてある。FIG. 11 is a block diagram for explaining the information transmitting means of the manufacturing equipment shown in FIG.
1 is a central controller, 62 is an outdoor transmitter / receiver, and FIG.
The same reference numerals as in FIG. 10 are attached to the portions having the same functions as.
【００７３】浮体５８内に設置された製造機器５９は、
中央制御装置６１の指令に従って操作駆動される。中央
制御装置６１は、液槽５７の外部に設置された室外側送
受信装置６２との間で送受信される浮体側送受信装置６
０の指令に従って駆動される。The manufacturing equipment 59 installed in the floating body 58 is
It is operated and driven according to a command from the central controller 61. The central control device 61 transmits / receives data to / from the outdoor transmission / reception device 62 installed outside the liquid tank 57.
It is driven according to the 0 command.
【００７４】実施例６による制振装置では、浮体５８は
外来振動に対して絶縁されるので特に、外来振動によっ
て精度に悪影響が及ぶ製造機器５９を、例えば、微細な
エッチング加工機等を駆動するのに好適であり、しか
も、製造機器５９は、室外側と浮体側の送受信装置６
２，６０間で行われる通信指令により駆動される中央制
御装置６１の命令に従って無人で操作することが可能と
なる。In the vibration damping device according to the sixth embodiment, since the floating body 58 is insulated from external vibrations, the manufacturing equipment 59 which adversely affects the accuracy due to the external vibrations, particularly the fine etching processing machine, is driven. In addition, the manufacturing equipment 59 is a transmitter / receiver 6 for the outdoor side and the floating body side.
It becomes possible to operate unattended according to the command of the central control unit 61 driven by the communication command performed between the No. 2 and the No. 60.
【００７５】[0075]
【発明の効果】以上の説明から明らかなように、本発明
によれば、下記に示す効果がある。 （１）浮体の浮力を利用して外来振動を絶縁することが
可能となり、しかも、浮力は液体の静圧の変化を利用し
ているので液体の流動がなく、従来のＴＬＤのように液
体の流動振幅を考慮する必要がないので、小型の制振装
置を提供することができる。また、従来の空気ばねを利
用した制振装置に設けられているような空気源や空気配
管が不要で、設置場所の制限が少なく設計の自由度が高
まる。 （２）浮体となる第２容器を複数内液室に区分して各々
の液室には第２液体を充填したので、請求項１の効果に
加え、第２容器の重心位置を自由に設定し姿勢制御する
ことが可能となる。 （３）第２容器を永久磁石製として、第２容器に連結さ
れた被制振部材の搭載台の振動の変位が検出され、外来
振動による第１容器の加圧力に従って励磁される磁石コ
イルと第２容器との間に作用する電磁力により搭載台の
変位が零となるように第２容器が駆動されるので応答の
優れた制振装置とすることができ、しかも、第２容器は
励磁コイルの励磁により位置が定められるので安定した
姿勢が保たれる。 （４）第２容器を、外来振動に応じて浮力が変化し変位
する変位検出体として第２容器の位置の変化を間接的に
検出し、検出信号に基づいてアクチュエータを駆動する
ことにより搭載盤の変位が打ち消されるので、駆動力が
大きく応答性の優れた制振装置とすることができる。 （５）浮体を大きい実験室として作業者が出入可能とな
り外来振動を受けることがなく、高精度の実験が可能と
なり、外部との通信ができるので効率のよい実験を可能
にする。 （６）外部振動から絶縁された浮体とすることができる
ので浮体内に高精度な製造機器、特に、外来振動によっ
て精度に悪影響が及ぶ製造機器を設置するのに好適であ
り、しかも製造機器は外部との間で行われる通信により
無人運転することが可能となる。As is apparent from the above description, the present invention has the following effects. (1) External vibration can be insulated by utilizing the buoyancy of the floating body. Moreover, since the buoyancy utilizes the change in the static pressure of the liquid, there is no flow of the liquid, and it is possible to maintain Since it is not necessary to consider the flow amplitude, it is possible to provide a small vibration damping device. In addition, the air source and the air pipe, which are provided in the conventional vibration damping device using the air spring, are not required, so that there are few restrictions on the installation place and the degree of freedom in design is increased. (2) Since the second container serving as a floating body is divided into a plurality of internal liquid chambers and each liquid chamber is filled with the second liquid, the position of the center of gravity of the second container can be freely set in addition to the effect of claim 1. The posture can be controlled. (3) A magnet coil, in which the second container is made of a permanent magnet, the displacement of vibration of the mounting base of the vibration-damped member connected to the second container is detected, and the magnet coil is excited according to the pressing force of the first container due to external vibration. Since the second container is driven by the electromagnetic force acting between it and the second container so that the displacement of the mounting table becomes zero, a vibration damping device with excellent response can be obtained, and the second container is excited. Since the position is determined by exciting the coil, a stable posture is maintained. (4) The mounting board by indirectly detecting a change in the position of the second container as a displacement detection body whose buoyancy changes and is displaced in response to external vibration, and driving the actuator based on the detection signal. Since the displacement is canceled out, a vibration damping device having a large driving force and excellent responsiveness can be obtained. (5) Workers can move in and out using a floating body as a large laboratory, and it is possible to carry out highly accurate experiments without being subject to external vibrations, and because communication with the outside is possible, efficient experiments are possible. (6) Since the floating body can be insulated from external vibration, it is suitable for installing a highly accurate manufacturing device, particularly, a manufacturing device that adversely affects accuracy due to external vibration, and the manufacturing device is It is possible to drive unmanned by communication with the outside.
【図１】 実施例１に係る除振台の一例を説明するため
の図である。FIG. 1 is a diagram for explaining an example of a vibration isolation table according to a first embodiment.
【図２】 本実施例による制振装置４の一例を説明する
ための図である。FIG. 2 is a diagram for explaining an example of the vibration damping device 4 according to the present embodiment.
【図３】 実施例１による制振装置の制振作用の原理を
説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the principle of the damping action of the damping device according to the first embodiment.
【図４】 実施例２による制振装置を説明するための図
である。FIG. 4 is a diagram for explaining a vibration damping device according to a second embodiment.
【図５】 図４に示した第２容器の第２液室を説明する
ための部分斜視図である。5 is a partial perspective view for explaining a second liquid chamber of the second container shown in FIG.
【図６】 実施例３による制振装置を説明するためのブ
ロック図である。FIG. 6 is a block diagram illustrating a vibration damping device according to a third embodiment.
【図７】 実施例４による制振装置を説明するためのブ
ロック図である。FIG. 7 is a block diagram illustrating a vibration damping device according to a fourth embodiment.
【図８】 実施例５による制振装置の操作順序を説明す
るための図である。FIG. 8 is a diagram for explaining the operation sequence of the vibration damping device according to the fifth embodiment.
【図９】 図８に示した浮体４３内と液槽４１外との通
信の例を示す図である。9 is a diagram showing an example of communication between the inside of the floating body 43 and the outside of the liquid tank 41 shown in FIG.
【図１０】 実施例６による制振装置を説明するための
図である。FIG. 10 is a diagram for explaining a vibration damping device according to a sixth embodiment.
【図１１】 図１０に示した製造機器の情報伝達手段を
説明するためのブロック図である。11 is a block diagram for explaining the information transmission means of the manufacturing apparatus shown in FIG.
【図１２】 従来のスロッシング型のＴＬＤを説明する
ための図である。FIG. 12 is a diagram for explaining a conventional sloshing type TLD.
【図１３】 従来の開放液柱管型のＴＬＤを説明するた
めの図である。FIG. 13 is a diagram for explaining a conventional open liquid column tube type TLD.
【図１４】 従来の加圧液柱管型のＴＬＤを説明するた
めの図である。FIG. 14 is a diagram for explaining a conventional pressurized liquid column tube type TLD.
１…除振台、２…架台、３…支持板、４…制振装置、５
…取付板、６…搭載盤、７ａ…脚部、７ｂ…脚部連結部
材、８…アジャスタ、９…キャスタ、１０…与圧球、１
１…第１容器、１２…第２容器、１３…第１液体、１４
…第２液体、１５…連結ロッド、１６…第２容器、１７
…隔板、１８ａ，１８ｂ…第２液室、１９…貯液槽、２
０…給液管、２１…ポンプ、２２ａ，２２ｂ…電磁バル
ブ、２３…バルブコントローラ、１９…第２容器、２０
…励磁コイル、２１…加圧力センサ、２２…温度セン
サ、２３，３０…変位センサ、２４，２６，３１…増幅
器（アンプ）、２５，２７，３２…Ａ／Ｄ（アナログ・
ディジタル）変換器、２８…Ｄ／Ａ（ディジタル・アナ
ログ）変換器、２９…コントローラ、３３…第１容器、
３４…第２容器、３５…変位量検出コイル、３６…変換
器、３７…コントローラ、３８…アクチュエータ、３９
…支持柱、４０…基盤、４１…液槽、４２…扉、４３…
浮体、４４…階段、４５…作業者、４６…貯液槽、４７
…給液管、４８…ポンプ、４９…実験装置、５０，６１
…中央制御装置、５１…入力装置、５２…表示装置、５
３…室内側送受信装置、５４，６２…室外側送受信装
置、５５…基盤、５６…与圧球、５７…液槽、５８…浮
体、５９…製造機器、６０…浮体側通信器。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Vibration isolation table, 2 ... Stand, 3 ... Support plate, 4 ... Vibration damping device, 5
... Mounting plate, 6 ... Mounting board, 7a ... Leg part, 7b ... Leg part connecting member, 8 ... Adjuster, 9 ... Caster, 10 ... Pressurizing ball, 1
1 ... 1st container, 12 ... 2nd container, 13 ... 1st liquid, 14
... second liquid, 15 ... connecting rod, 16 ... second container, 17
... Partition plates, 18a, 18b ... Second liquid chamber, 19 ... Liquid storage tank, 2
0 ... Liquid supply pipe, 21 ... Pump, 22a, 22b ... Electromagnetic valve, 23 ... Valve controller, 19 ... Second container, 20
... Excitation coil, 21 ... Pressure sensor, 22 ... Temperature sensor, 23, 30 ... Displacement sensor, 24, 26, 31 ... Amplifier (amplifier), 25, 27, 32 ... A / D (analog
Digital) converter, 28 ... D / A (digital / analog) converter, 29 ... controller, 33 ... first container,
34 ... 2nd container, 35 ... Displacement amount detection coil, 36 ... Transducer, 37 ... Controller, 38 ... Actuator, 39
... support pillars, 40 ... base, 41 ... liquid tank, 42 ... doors, 43 ...
Floating body, 44 ... Stairs, 45 ... Worker, 46 ... Liquid storage tank, 47
... Liquid supply pipe, 48 ... Pump, 49 ... Experimental device, 50, 61
... Central control device, 51 ... Input device, 52 ... Display device, 5
3 ... Indoor side transmitter / receiver device, 54, 62 ... Outdoor side transmitter / receiver device, 55 ... Board, 56 ... Prestressing ball, 57 ... Liquid tank, 58 ... Floating body, 59 ... Manufacturing equipment, 60 ... Floating body side communication device.
Claims (1)
によって発生した力を前記液体の圧力変化に変換する力
・圧力変換手段と、前記液体内で浮かぶ浮体であって前
記液体の圧力変化に応じた浮力変化を受け、前記第１容
器内において浮力方向に変位する第２容器と、該第２容
器の変位を前記第１容器を貫通して該第１容器の上方に
伝達する変位伝達手段とからなり、該変位伝達手段に被
制振部材搭載盤を配設するようにしたことを特徴とする
制振装置。1. A first container containing a liquid, a force / pressure conversion means for converting a force generated by an external vibration into a pressure change of the liquid, and a floating body floating in the liquid, the pressure of the liquid. A second container that is displaced in the buoyancy direction in the first container in response to a change in buoyancy according to the change, and a displacement that transmits the displacement of the second container through the first container and above the first container. A vibration damping device comprising a transmission means, and a vibration damping member mounting board is disposed on the displacement transmission means.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22306494A JP3499013B2 (en) | 1994-09-19 | 1994-09-19 | Damping device |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22306494A JP3499013B2 (en) | 1994-09-19 | 1994-09-19 | Damping device |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
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| JPH0886329A true JPH0886329A (en) | 1996-04-02 |
| JP3499013B2 JP3499013B2 (en) | 2004-02-23 |
Family
ID=16792268
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22306494A Expired - Lifetime JP3499013B2 (en) | 1994-09-19 | 1994-09-19 | Damping device |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP3499013B2 (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2005061584A (en) * | 2003-08-19 | 2005-03-10 | Natl Space Development Agency Of Japan | Electromagnetic valve for space system with operation monitoring device |
| WO2008146877A1 (en) * | 2007-05-31 | 2008-12-04 | Nikon Corporation | Vibration control equipment, control method of vibration control equipment, and exposure device |
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| CN107775367A (en) * | 2016-08-26 | 2018-03-09 | 中石化石油工程技术服务有限公司 | A kind of floating box type pipe maintenance support frame |
-
1994
- 1994-09-19 JP JP22306494A patent/JP3499013B2/en not_active Expired - Lifetime
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| CN107775367A (en) * | 2016-08-26 | 2018-03-09 | 中石化石油工程技术服务有限公司 | A kind of floating box type pipe maintenance support frame |
| CN107775367B (en) * | 2016-08-26 | 2024-06-07 | 中石化石油工程技术服务有限公司 | Floating box type pipe maintenance support frame |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP3499013B2 (en) | 2004-02-23 |
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