JPH0875937A - Variable type optical delay circuit and variable type optical delay circuit array - Google Patents
Variable type optical delay circuit and variable type optical delay circuit arrayInfo
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- JPH0875937A JPH0875937A JP21443894A JP21443894A JPH0875937A JP H0875937 A JPH0875937 A JP H0875937A JP 21443894 A JP21443894 A JP 21443894A JP 21443894 A JP21443894 A JP 21443894A JP H0875937 A JPH0875937 A JP H0875937A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、ＡＴＭ光交換システ
ムに用いて好適な可変型光遅延回路およびそのアレイに
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a variable optical delay circuit suitable for use in an ATM optical switching system and its array.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の光遅延回路の一例が、文献１：
「特開平３−１０７８０３号公報」に記載されている。
この文献１に開示の技術によれば、半径が許容曲げ半径
以上の二つの接する円の円周に沿って巴上に折り返すら
せん状の光導波路パターンを具えている。このため、よ
り小さい面積に長い導波路をとることができる。また、
文献２：「特開平４−１０００１６号公報」には、温度
や印加電圧を制御することにより、導波路の屈折率を変
化させて位相制御を図る可変型光遅延回路の技術が開示
されている。上記の文献１および文献２に開示の技術を
組み合わせて、温度によって光ファイバ（光ケーブル）
等の導波路の屈折率を制御する場合、通常、光導波路パ
ターン全長にわたって加熱がされている。特に、長い時
間の光遅延を確保する場合、導波路長を長くしかつ導波
路の加熱温度を高くする必要がある。例えば、ガラス導
波路の屈折率ｎの温度Ｔ変化（∂ｎ／∂Ｔ）は、１０-5
程度である。従って、加熱温度を１００℃とし、導波路
長を８ｍ程度の長さにすれば、４０ｐｓｅｃの光遅延が
確保できる。2. Description of the Related Art An example of a conventional optical delay circuit is disclosed in Document 1:
It is described in "JP-A-3-107803".
According to the technique disclosed in Document 1, a spiral optical waveguide pattern is provided that is folded back on the side of the toe along the circumference of two contacting circles having a radius equal to or larger than the allowable bending radius. Therefore, a long waveguide can be formed in a smaller area. Also,
Document 2: "Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-100016" discloses a technique of a variable optical delay circuit for controlling the phase by changing the refractive index of the waveguide by controlling the temperature and the applied voltage. . By combining the techniques disclosed in the above Documents 1 and 2, the optical fiber (optical cable) is changed depending on the temperature.
When controlling the refractive index of the waveguide such as, the heating is usually performed over the entire length of the optical waveguide pattern. In particular, in order to secure a long optical delay, it is necessary to lengthen the waveguide length and raise the heating temperature of the waveguide. For example, the temperature T change (∂n / ∂T) of the refractive index n of the glass waveguide is 10 −5
It is a degree. Therefore, if the heating temperature is 100 ° C. and the length of the waveguide is about 8 m, an optical delay of 40 psec can be secured.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、導波路
全体を例えば８ｍもの長い領域にわたって加熱するとな
ると、上記文献１に開示のように小さいな面積に導波路
をとったとしても、加熱面積が大きくなりすぎてしま
う。その結果、加熱に要する消費電力の増大、駆動速度
の低減および装置の大型化といった問題が生じる。駆動
速度の低減は、主に以下の２つの理由から生じる。第１
の理由は、加熱面積を広くすると駆動電流が大きくなる
ため、高速動作する駆動電源の設計が困難になり、この
ため、立上がり時間が長くなってしまうためである。第
２の理由は、加熱面積を広くすると、加熱面に垂直な方
向（１次元方向）にしか熱が逃げられないため、微小面
積で３次元方向に（面に沿った方向にも）熱が逃げられ
る場合に比べて、放熱に時間がかかってしまうためであ
る。さらに、加熱面積が広くなり、発熱量が多くなる
と、数時間に及ぶ温度安定時間をとることが必要となる
こともある。温度安定時間を短くするために、例えば温
度安定回路を設ければ、その分だけさらに装置が大型化
してしまうという問題が生じる。However, if the entire waveguide is heated over a long region of, for example, 8 m, the heating area becomes large even if the waveguide is taken in a small area as disclosed in the above-mentioned Document 1. I will pass. As a result, there arise problems such as an increase in power consumption required for heating, a reduction in driving speed, and an increase in size of the device. The driving speed reduction mainly occurs for the following two reasons. First
The reason is that if the heating area is widened, the drive current becomes large, which makes it difficult to design a drive power supply that operates at high speed, and thus the rise time becomes long. The second reason is that when the heating area is widened, the heat can escape only in the direction (one-dimensional direction) perpendicular to the heating surface, so that the heat is released in a three-dimensional direction (even in the direction along the surface) with a small area. This is because it takes more time to dissipate heat than when it can escape. Further, when the heating area becomes large and the calorific value increases, it may be necessary to take a temperature stabilization time of several hours. If, for example, a temperature stabilizing circuit is provided to shorten the temperature stabilizing time, there is a problem in that the device becomes larger by that amount.
【０００４】このため、小さな加熱面積で所望の遅延時
間を確保できる可変型光遅延回路の実現が望まれてい
た。Therefore, it has been desired to realize a variable optical delay circuit which can secure a desired delay time with a small heating area.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】この出願にかかる第１の
発明の可変型光遅延回路によれば、温度により屈折率の
変化する媒質からなる、光信号を遅延させるための１本
の導波路を具えた可変型光遅延回路において、導波路
は、複数の直線導波路部分と複数の湾曲導波路部分とを
有し、この導波路の温度を制御するために設けられた加
熱領域に、複数の直線導波路部分を配列して具え、加熱
領域の各直線導波路部分は、湾曲導波路部分を介して、
加熱領域の他の直線導波路部分と連続して設けてなるこ
とを特徴とする。According to the variable optical delay circuit of the first invention of the present application, one waveguide for delaying an optical signal, which is composed of a medium whose refractive index changes with temperature, is provided. In the variable optical delay circuit including, the waveguide has a plurality of linear waveguide portions and a plurality of curved waveguide portions, and a plurality of heating regions provided to control the temperature of the waveguide, The linear waveguide portion of the heating region is arranged, and each linear waveguide portion of the heating region is provided with a curved waveguide portion.
It is characterized in that it is provided so as to be continuous with another linear waveguide portion in the heating region.
【０００６】また、好ましくは、少なくとも一部分の複
数の湾曲導波路部分を実質同心円状に配置してなること
が望ましい。Further, it is preferable that at least a plurality of curved waveguide portions are arranged substantially concentrically.
【０００７】また、好ましくは、導波路を周回パターン
を複数回周回させて設け、この周回上の直線導波路部分
の少なくとも一部分に加熱領域を設けており、この加熱
領域の直線導波路部分は、周回パターンを一周して、隣
接する直線導波路部分と連続してなることが望ましい。[0007] Preferably, the waveguide is provided with a circular pattern a plurality of turns, and a heating region is provided in at least a part of the linear waveguide portion on the circumference, and the linear waveguide portion of the heating region is It is desirable that the circular pattern is made one round and is continuous with the adjacent linear waveguide portion.
【０００８】また、この出願にかかる第２の発明の可変
型光遅延回路アレイによれば、上述の第１の発明の可変
型光遅延回路を複数個集積してなることを特徴とする。The variable optical delay circuit array of the second invention according to this application is characterized in that a plurality of variable optical delay circuits of the first invention described above are integrated.
【０００９】[0009]
【作用】第１の発明の可変型光遅延回路によれば、加熱
部分に複数の直線導波路を配列して具えている。そし
て、直線導波路部分と湾曲導波路部分とを設ける領域を
分離して直線導波路部分のみを加熱することにより、加
熱領域の面積を従来よりも小さくすることができる。
尚、加熱部分の直線導波路ののべ長さを充分に長くする
ことにより、直線導波路部分のみを加熱しても所望の遅
延時間を確保することができる。According to the variable optical delay circuit of the first invention, a plurality of linear waveguides are arranged in the heating portion. Then, the area in which the straight waveguide portion and the curved waveguide portion are provided is separated and only the straight waveguide portion is heated, whereby the area of the heating region can be made smaller than in the conventional case.
By sufficiently increasing the total length of the linear waveguide in the heating portion, a desired delay time can be secured even if only the linear waveguide portion is heated.
【００１０】また、湾曲導波路部分を実質同心円状に設
ければ、可変型遅延回路の占める面積をより小さくする
ことができる。If the curved waveguide portion is provided in a substantially concentric shape, the area occupied by the variable delay circuit can be further reduced.
【００１１】また、導波路を周回パターンを複数回周回
させて設け、この周回上の直線導波路部分の少なくとも
一部分に加熱領域を設ければ、湾曲導波路部分の形状を
半円集形状とすることができる。このため、湾曲導波路
部分の形状をほぼ全円周形状としたときよりも、湾曲導
波路部分の占める面積を小さくすることができる。If the waveguide is provided with a plurality of circular patterns and the heating region is provided in at least a part of the linear waveguide portion on the circumference, the curved waveguide portion has a semicircular shape. be able to. Therefore, the area occupied by the curved waveguide portion can be made smaller than that when the curved waveguide portion is formed into a substantially entire circumferential shape.
【００１２】また、第２の発明の可変型光遅延回路によ
れば、上述の第１の発明の、平面光回路で構成された個
々のユニットの面積を低減できた可変型光遅延回路を集
積するので、多数のチャネルを有する回路を容易に得る
ことができる。According to the variable optical delay circuit of the second invention, the variable optical delay circuit of the first invention, which is capable of reducing the area of each unit composed of the planar optical circuit, is integrated. Therefore, a circuit having a large number of channels can be easily obtained.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、図面を参照して、この出願に係る各発
明の実施例についてそれぞれ説明する。尚、図面はこれ
らの発明が理解できる程度に各構成成分の大きさ、形状
および配置関係を概略的に示してあるにすぎない。従っ
て、これらの発明は、図示例にのみ限定されるものでな
いことは明らかである。尚、図面は断面部分を表すハッ
チングを一部省略して示してある。DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Embodiments of each invention related to this application will be described below with reference to the drawings. It should be noted that the drawings only schematically show the sizes, shapes, and arrangement relationships of the respective constituent components to the extent that these inventions can be understood. Therefore, it is obvious that these inventions are not limited to the illustrated examples. In the drawings, hatching showing a cross-sectional portion is partially omitted.
【００１４】＜第１実施例＞先ず、図１の（Ａ）および
（Ｂ）を参照して、この発明の可変型光遅延回路の第１
実施例について説明する。図１の（Ａ）は、第１実施例
の可変型光遅延回路の平面図であり、図１の（Ｂ）は、
図１の（Ａ）のＩ−Ｉに沿った切り口での断面図であ
る。<First Embodiment> First, referring to FIGS. 1A and 1B, a first embodiment of the variable optical delay circuit of the present invention will be described.
Examples will be described. FIG. 1A is a plan view of the variable optical delay circuit of the first embodiment, and FIG.
FIG. 2 is a cross-sectional view taken along the line I-I in FIG. 1A.
【００１５】第１実施例の可変型光遅延回路によれば、
石英製の基板１０に、温度により屈折率の変化する媒質
からなる、光信号を遅延させるための全長８〜１０ｍの
１本の導波路１２を具えている。According to the variable optical delay circuit of the first embodiment,
A quartz substrate 10 is provided with a single waveguide 12 made of a medium whose refractive index changes with temperature and having a total length of 8 to 10 m for delaying an optical signal.
【００１６】この導波路１２は、複数の直線導波路部分
１２ａと複数の湾曲導波路部分１２ｂとを有しており、
この導波路１２の温度を制御するために設けられた加熱
領域１４に、複数の直線導波路部分１２ａを数十本配列
して具えている。隣接する直線導波路部分１２ａの間隔
は数μｍ程度の寸法であれば良く、従って、加熱領域１
４全体の幅は、数１００μｍの幅に納めることができ
る。また、加熱領域１４の長さは７〜６ｃｍとしてい
る。この実施例では、加熱領域１４の基板１０上に、抵
抗膜ヒータ１４ａを設けている。The waveguide 12 has a plurality of straight waveguide portions 12a and a plurality of curved waveguide portions 12b,
In the heating region 14 provided for controlling the temperature of the waveguide 12, several tens of linear waveguide portions 12a are arranged. The space between the adjacent straight waveguide portions 12a may be about several μm, and therefore the heating region 1
The width of the whole 4 can be accommodated within a width of several 100 μm. The length of the heating region 14 is 7 to 6 cm. In this embodiment, the resistive film heater 14a is provided on the substrate 10 in the heating region 14.
【００１７】そして、加熱領域１４の各直線導波路部分
１２ａは、加熱領域１４の両側に設けられた湾曲導波路
部分１２ｂをそれぞれ介して、加熱領域１４の他の直線
導波路部分１２ａと連続している。湾曲導波路部分１２
および曲率半径は、湾曲導波路部分１２ｂでの光信号の
損失（曲げ損失）を抑制するために、数センチ程度の大
きさにする必要がある。尚、湾曲導波路部分１２ｂは、
その曲率半径が曲げ損失を生じない程度の最小曲率半径
以上で、かつ、湾曲導波路部分１２ｂの占める面積がで
きるだけ小さくなる様な形状であることが望ましい。Each linear waveguide portion 12a of the heating region 14 is continuous with the other linear waveguide portions 12a of the heating region 14 via the curved waveguide portions 12b provided on both sides of the heating region 14, respectively. ing. Curved waveguide portion 12
The radius of curvature and the radius of curvature need to be about several centimeters in order to suppress the loss (bending loss) of the optical signal in the curved waveguide portion 12b. The curved waveguide portion 12b is
It is desirable that the radius of curvature be equal to or greater than the minimum radius of curvature that does not cause bending loss, and that the area occupied by the curved waveguide portion 12b be as small as possible.
【００１８】このように、この発明の可変型遅延回路に
よれば、加熱領域１４の面積を小さくすることができる
ので、発熱量を従来よりも少なくすることができる。そ
の結果、可変型遅延回路を長時間使用しても周囲の環境
の温度上昇が少なくて済む。また、発熱量が少ないの
で、消費電極を少なくすることができ、また、駆動速度
の低減を抑制することができる。また、温度安定回路を
設ける必要もないので、装置の大型化を避けることがで
きる。また、導波路の占める面積をより小さくすれば、
装置のより小型化が図れる。As described above, according to the variable delay circuit of the present invention, the area of the heating region 14 can be reduced, so that the heat generation amount can be reduced as compared with the conventional case. As a result, even if the variable delay circuit is used for a long time, the temperature rise in the surrounding environment is small. Further, since the amount of heat generated is small, it is possible to reduce the number of consumption electrodes, and it is possible to suppress the reduction in driving speed. Further, since it is not necessary to provide a temperature stabilizing circuit, it is possible to avoid increasing the size of the device. If the area occupied by the waveguide is made smaller,
The size of the device can be further reduced.
【００１９】尚、この実施例においては、導波路の全領
域で導波路同士の重なり部分がないように導波路を配置
してあるので、導波路の作製が容易である。In this embodiment, since the waveguides are arranged so that the waveguides do not overlap each other in the entire region of the waveguides, the waveguides can be easily manufactured.
【００２０】＜第２実施例＞次に、図２の（Ａ）および
（Ｂ）を参照して、この発明の可変型光遅延回路の第２
実施例について説明する。図２の（Ａ）は、第２実施例
の可変型光遅延回路の平面図であり、図２の（Ｂ）は、
図２の（Ａ）のII−IIに沿った切り口での断面図であ
る。尚、図２の（Ａ）において、II−IIは、直線導波路
部分上をさすが、図では、便宜上直線導波路部分からず
らして示す。<Second Embodiment> Next, referring to FIGS. 2A and 2B, a second embodiment of the variable optical delay circuit of the present invention will be described.
Examples will be described. 2A is a plan view of the variable optical delay circuit according to the second embodiment, and FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along the line II-II in FIG. In addition, in FIG. 2 (A), II-II refers to the straight waveguide portion, but in the figure, it is shown shifted from the straight waveguide portion for convenience.
【００２１】第２実施例の可変型光遅延回路によれば、
石英製の基板２０上に、温度により屈折率の変化する媒
質からなる、光信号を遅延させるための全長８〜１０ｍ
の１本の導波路２２を具えている。According to the variable optical delay circuit of the second embodiment,
On a quartz substrate 20, a total length of 8 to 10 m for delaying an optical signal, which is composed of a medium whose refractive index changes with temperature
1 of the waveguide 22.
【００２２】この導波路２２は、複数の直線導波路部分
２２ａと複数の湾曲導波路部分２２ｂとを有しており、
この導波路２２の温度を制御するために設けられた加熱
領域２４に、複数の直線導波路部分２２ａを数十本配列
して具えている。隣接する直線導波路部分２２ａの間隔
は数μｍ程度の寸法であれば良く、従って、加熱領域２
４全体の幅は、数１００μｍの幅に納めることができ
る。また、加熱領域２４の長さは７〜６ｃｍとしてい
る。この実施例では、加熱領域２４の基板２０上に、抵
抗膜ヒータ２４ａを設けている。そして、加熱領域２４
の各直線導波路部分２２ａは、加熱領域２４の両側に設
けられた湾曲導波路部分２２ｂをそれぞれ介して、加熱
領域２４の他の直線導波路部分２２ａと連続している。The waveguide 22 has a plurality of straight waveguide portions 22a and a plurality of curved waveguide portions 22b,
A plurality of dozens of linear waveguide portions 22a are arranged in a heating region 24 provided to control the temperature of the waveguide 22. The space between the adjacent linear waveguide portions 22a may be about several μm, and therefore the heating region 2
The width of the whole 4 can be accommodated within a width of several 100 μm. The length of the heating region 24 is 7 to 6 cm. In this embodiment, the resistive film heater 24a is provided on the substrate 20 in the heating region 24. Then, the heating area 24
Each of the linear waveguide portions 22a of the above is continuous with the other linear waveguide portions 22a of the heating region 24 via the curved waveguide portions 22b provided on both sides of the heating region 24, respectively.
【００２３】そして、第２実施例では、少なくとも一部
分の複数の湾曲導波路部分２２ｂを加熱領域２４の両端
で、実質同心円状に配置している。このように、湾曲導
波路部分２２ｂを実質的同心円状に配置することによ
り、湾曲導波路部分２２ｂの占める面積を小さくするこ
とができる。この結果、例えば、装置の大きさを第１実
施例の場合よりも小さくすることができる。Further, in the second embodiment, at least a part of the plurality of curved waveguide portions 22b are arranged at both ends of the heating region 24 in a substantially concentric shape. By arranging the curved waveguide portions 22b in a substantially concentric shape in this manner, the area occupied by the curved waveguide portions 22b can be reduced. As a result, for example, the size of the device can be made smaller than that of the first embodiment.
【００２４】また、図２の（Ｂ）に示すように、この実
施例では、直線導波路部分の１つの延長部分２２ｃが、
２層化領域２６で湾曲導波路部分で下側を潜って出力ポ
ート２８ｂへ達している。Further, as shown in FIG. 2B, in this embodiment, one extension portion 22c of the straight waveguide portion is
In the double-layered region 26, the curved waveguide portion goes under to reach the output port 28b.
【００２５】＜第３実施例＞次に、図３を参照して、こ
の発明の可変型光遅延回路の第３実施例について説明す
る。図３は、第３実施例の可変型光遅延回路の平面図で
ある。<Third Embodiment> Next, a third embodiment of the variable optical delay circuit of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a plan view of the variable optical delay circuit according to the third embodiment.
【００２６】第３実施例の可変型光遅延回路によれば、
石英製の基板３０に、温度により屈折率の変化する媒質
からなる、光信号を遅延させるための全長８〜１０ｍの
１本の導波路３２を具えている。According to the variable optical delay circuit of the third embodiment,
A quartz substrate 30 is provided with a single waveguide 32 having a total length of 8 to 10 m for delaying an optical signal, which is made of a medium whose refractive index changes with temperature.
【００２７】この導波路３２は、複数の直線導波路部分
３２ａと複数の湾曲導波路部分３２ｂとを有しており、
この導波路３２の温度を制御するために設けられた加熱
領域３４に、複数の直線導波路部分３２ａを数十本配列
して具えている。隣接する直線導波路部分３２ａの間隔
は数μｍ程度の寸法であれば良く、従って、加熱領域３
４全体の幅は、数１００μｍの幅に納めることができ
る。また、加熱領域３４の長さは７〜６ｃｍとしてい
る。この実施例では、この加熱領域３４の基板３０上
に、抵抗膜ヒータ３４ａを設けている。そして、加熱領
域３４の各直線導波路部分３２ａは、加熱領域の両側に
設けられた湾曲導波路部分３２ｂをそれぞれ介して、加
熱領域３４の他の直線導波路部分３２ａと連続してい
る。The waveguide 32 has a plurality of straight waveguide portions 32a and a plurality of curved waveguide portions 32b,
A plurality of dozens of linear waveguide portions 32a are arranged in the heating region 34 provided to control the temperature of the waveguide 32. The space between the adjacent linear waveguide portions 32a may be about several μm, and therefore the heating region 3
The width of the whole 4 can be accommodated within a width of several 100 μm. The length of the heating area 34 is 7 to 6 cm. In this embodiment, the resistance film heater 34a is provided on the substrate 30 in the heating region 34. Each linear waveguide portion 32a of the heating region 34 is continuous with the other linear waveguide portion 32a of the heating region 34 via the curved waveguide portions 32b provided on both sides of the heating region.
【００２８】そして、第３実施例では、導波路３２を周
回パターンを複数回周回させて設け、この周回上の直線
導波路部分３２ａの少なくとも一部分に加熱領域３４を
設けている。ここでは、周回上の対向する２箇所の直線
導波路部分３２ａに加熱領域３４を設けてある。また、
この各加熱領域３４の直線導波路部分３２ａは、周回パ
ターンを一周して、隣接する直線導波路部分３２ａと連
続している。Further, in the third embodiment, the waveguide 32 is provided with a plurality of circular patterns, and the heating region 34 is provided in at least a part of the linear waveguide portion 32a on the circumference. Here, the heating region 34 is provided in two linear waveguide portions 32a facing each other on the circumference. Also,
The linear waveguide portion 32a of each heating region 34 goes around the circular pattern and is continuous with the adjacent linear waveguide portion 32a.
【００２９】このように、導波路３２を周回パターンと
することにより、湾曲導波路部分３２ｂの形状を半円周
形状とすることができる。このため、湾曲導波路部分の
形状をほぼ全円周形状としたときよりも、湾曲導波路部
分の占める面積を第２実施例の場合よりも小さくするこ
とができる。また、この実施例では、半円周形状の湾曲
導波路部分３２ｂをさらに２箇所のそれぞれ分けて、１
／４円周ずつの湾曲導波路部分３２ｂとしている。ま
た、ここでは、周回パターンの一番内側の導波路３２の
延長部分３２ｃが２層化領域３６で周回パターンの導波
路の下側を潜って出力ポート３８ｂに達している。By thus forming the waveguide 32 in the circular pattern, the curved waveguide portion 32b can have a semicircular shape. Therefore, the area occupied by the curved waveguide portion can be made smaller than in the case of the second embodiment, as compared with the case where the curved waveguide portion has a substantially entire circumferential shape. Further, in this embodiment, the semicircular curved waveguide portion 32b is further divided into two portions, respectively, and
The curved waveguide portions 32b are formed by / 4 circles. Further, here, the extended portion 32c of the waveguide 32 on the innermost side of the circular pattern reaches the output port 38b under the waveguide of the circular pattern in the double-layered region 36.
【００３０】＜第４実施例＞次に、図４を参照して、こ
の発明の可変型光遅延回路アレイの一例について説明す
る。図４は、第４実施例の可変型光遅延回路アレイの平
面図である。<Fourth Embodiment> An example of the variable optical delay circuit array of the present invention will be described with reference to FIG. FIG. 4 is a plan view of the variable optical delay circuit array of the fourth embodiment.
【００３１】第４実施例の可変型光遅延回路アレイは、
第２実施例で説明した可変型光遅延回路４０をＮ個集積
したアレイである。例えば、ＡＴＭ交換機において、交
換機のチャネル数がＮ個ある場合、Ｎ個の可変型光遅延
回路が必要となる。ここでは、５ｍｍ程度の幅の各可変
型光遅延回路を４個〜２０個程度集積してアレイとす
る。The variable optical delay circuit array of the fourth embodiment is
This is an array in which N variable optical delay circuits 40 described in the second embodiment are integrated. For example, in an ATM switch, if the switch has N channels, N variable optical delay circuits are required. Here, 4 to 20 variable optical delay circuits each having a width of about 5 mm are integrated to form an array.
【００３２】このように、平面光回路で構成された個々
の可変型光遅延回路のユニットの面積を低減できたた
め、多数の回路を容易に集積化することができる。この
ため、この発明のアレイは、多数のチャネルを必要とす
るＡＴＭ交換機システムに用いて好適である。As described above, since the area of each variable optical delay circuit unit composed of a planar optical circuit can be reduced, a large number of circuits can be easily integrated. Therefore, the array of the present invention is suitable for use in ATM switch systems that require a large number of channels.
【００３３】上述した各実施例は、これらの発明を特定
の材料を使用し、特定の条件で構成した例について説明
したが、これらの発明は多くの変更および変形を行うこ
とができる。例えば、上述した各実施例では、石英製の
基板を使用したが、これらの発明では、基板の材料は、
大きな面積と耐熱製を有するもの適しており、石英の他
に、例えば誘電体や半導体材料を用いても良い。Although each of the above-described embodiments has been described with reference to an example in which these inventions are formed by using a specific material and under specific conditions, these inventions can be modified and modified in many ways. For example, in each of the above-described embodiments, a quartz substrate is used, but in these inventions, the material of the substrate is
A material having a large area and heat resistance is suitable, and besides quartz, for example, a dielectric material or a semiconductor material may be used.
【００３４】[0034]
【発明の効果】第１の発明の可変型光遅延回路によれ
ば、加熱部分に複数の直線導波路を配列して具えてい
る。そして、直線導波路部分と湾曲導波路部分とを設け
る領域を分離して直線導波路部分のみを加熱することに
より、加熱領域の面積を従来よりも小さくすることがで
きる。その結果、消費電力を抑制し、駆動速度の低減を
抑制し、装置の大型化を抑制することができる。According to the variable optical delay circuit of the first invention, a plurality of linear waveguides are arranged in the heating portion. Then, the area in which the straight waveguide portion and the curved waveguide portion are provided is separated and only the straight waveguide portion is heated, whereby the area of the heating region can be made smaller than in the conventional case. As a result, it is possible to suppress power consumption, suppress a reduction in driving speed, and suppress an increase in size of the device.
【００３５】さらに、湾曲導波路部分を実質同心円状に
設ければ、可変型遅延回路の占める面積をより小さくす
ることができる。このため、装置のより小型化を図るこ
とができる。Further, if the curved waveguide portion is provided substantially concentrically, the area occupied by the variable delay circuit can be further reduced. Therefore, the size of the device can be further reduced.
【００３６】さらに、導波路を周回パターンを複数回周
回させて設け、この周回上の直線導波路部分の少なくと
も一部分に加熱領域を設ければ、湾曲導波路部分の形状
を半円集形状とすることができる。このため、湾曲導波
路部分の形状をほぼ全円周形状としたときよりも、湾曲
導波路部分の占める面積を小さくすることができる。そ
の結果、装置のより小型化を図ることができる。Further, if the waveguide is provided by circling a plurality of circular patterns and a heating region is provided in at least a part of the linear waveguide portion on the circulation, the curved waveguide portion has a semi-circular shape. be able to. Therefore, the area occupied by the curved waveguide portion can be made smaller than that when the curved waveguide portion is formed into a substantially entire circumferential shape. As a result, the size of the device can be further reduced.
【００３７】また、第２の発明の可変型光遅延回路アレ
イによれば、平面光回路で構成された個々の可変型光遅
延回路のユニットの面積を低減できたため、多数の回路
を容易に集積化することができる。このため、この発明
のアレイは、多数のチャネルを必要とするＡＴＭ交換機
システムに用いて好適である。Further, according to the variable optical delay circuit array of the second invention, since the area of each variable optical delay circuit unit composed of the planar optical circuit can be reduced, a large number of circuits can be easily integrated. Can be converted. Therefore, the array of the present invention is suitable for use in ATM switch systems that require a large number of channels.
【図１】（Ａ）は、第１実施例の可変型光遅延回路の平
面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のＩ−Ｉに沿った切り口
での断面図である。FIG. 1A is a plan view of a variable optical delay circuit according to a first embodiment. (B) is a sectional view taken along the line I-I in (A).
【図２】（Ａ）は、第２実施例の可変型光遅延回路の平
面図である。（Ｂ）は、（Ａ）のII−IIに沿った切り口
での断面図である。FIG. 2A is a plan view of a variable optical delay circuit according to a second embodiment. (B) is a sectional view taken along the line II-II in (A).
【図３】第３実施例の可変型光遅延回路の平面図であ
る。FIG. 3 is a plan view of a variable optical delay circuit according to a third embodiment.
【図４】第４実施例の可変型光遅延回路アレイの平面図
である。FIG. 4 is a plan view of a variable optical delay circuit array according to a fourth embodiment.
１０：基板 １２、２２、３２：導波路 １２ａ、２２ａ、３２ａ：直線導波路部分 １２ｂ、２２ｂ、３２ｂ：湾曲導波路部分 ２２ｃ、３２ｃ：延長部分 １４、２４、３４：加熱領域 １４ａ、２４ａ、３４ａ：抵抗膜ヒータ ２６、３６：２層化領域 １８ａ、２８ａ、３８ａ：入力ポート １８ｂ、２８ｂ、３８ｂ：出力ポート ４０：可変型遅延回路 10: Substrate 12, 22, 32: Waveguide 12a, 22a, 32a: Straight waveguide portion 12b, 22b, 32b: Curved waveguide portion 22c, 32c: Extended portion 14, 24, 34: Heating region 14a, 24a, 34a : Resistive film heater 26, 36: two-layered region 18a, 28a, 38a: input port 18b, 28b, 38b: output port 40: variable delay circuit
Claims (4)
る、光信号を遅延させるための１本の導波路を具えた可
変型光遅延回路において、 前記導波路は、複数の直線導波路部分と複数の湾曲導波
路部分とを有し、 該導波路の温度を制御するために設けられた加熱領域
に、複数の前記直線導波路部分を配列して具え、 前記加熱領域の各直線導波路部分は、湾曲導波路部分を
介して、前記加熱領域の他の直線導波路部分と連続して
設けてなることを特徴とする可変型光遅延回路。1. A variable optical delay circuit comprising a single waveguide for delaying an optical signal, which is composed of a medium whose refractive index changes with temperature, wherein the waveguide comprises a plurality of linear waveguide portions. A plurality of curved waveguide portions, wherein a plurality of the linear waveguide portions are arranged in a heating region provided to control the temperature of the waveguide, and each linear waveguide portion of the heating region is provided. Is a variable optical delay circuit, wherein the variable optical delay circuit is provided continuously with another linear waveguide portion of the heating region through a curved waveguide portion.
いて、 少なくとも一部分の複数の湾曲導波路部分を実質同心円
状に配置してなることを特徴とする可変型遅延回路。2. The variable optical delay circuit according to claim 1, wherein at least a plurality of curved waveguide portions are arranged substantially concentrically.
いて、 前記導波路を周回パターンを複数回周回させて設け、該
周回上の直線導波路部分の少なくとも一部分に加熱領域
を設けており、 該加熱領域の直線導波路部分は、前記周回パターンを一
周して、隣接する直線導波路部分と連続してなることを
特徴とする可変型光遅延回路。3. The variable optical delay circuit according to claim 1, wherein the waveguide is provided by circling a circulation pattern a plurality of times, and a heating region is provided in at least a part of a linear waveguide portion on the circulation. The variable optical delay circuit, wherein the linear waveguide portion of the heating region is formed so as to go around the circular pattern and to be continuous with the adjacent linear waveguide portion.
数個集積してなることを特徴とする可変型光遅延回路ア
レイ。4. A variable optical delay circuit array comprising a plurality of variable optical delay circuits according to claim 1 integrated therein.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21443894A JPH0875937A (en) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Variable type optical delay circuit and variable type optical delay circuit array |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP21443894A JPH0875937A (en) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Variable type optical delay circuit and variable type optical delay circuit array |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0875937A true JPH0875937A (en) | 1996-03-22 |
Family
ID=16655784
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP21443894A Pending JPH0875937A (en) | 1994-09-08 | 1994-09-08 | Variable type optical delay circuit and variable type optical delay circuit array |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0875937A (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013003442A (en) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Thermo-optical phase shifter and variable optical attenuator, 1×m optical switch, and variable wavelength filter using the same |
| JP2018200388A (en) * | 2017-05-26 | 2018-12-20 | 株式会社フジクラ | Semiconductor optical integrated circuit |
| JP2019109442A (en) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | Optical modulator and optical module |
-
1994
- 1994-09-08 JP JP21443894A patent/JPH0875937A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2013003442A (en) * | 2011-06-20 | 2013-01-07 | Nippon Telegr & Teleph Corp <Ntt> | Thermo-optical phase shifter and variable optical attenuator, 1×m optical switch, and variable wavelength filter using the same |
| JP2018200388A (en) * | 2017-05-26 | 2018-12-20 | 株式会社フジクラ | Semiconductor optical integrated circuit |
| US10365507B2 (en) | 2017-05-26 | 2019-07-30 | Fujikura Ltd. | Semiconductor optical integrated circuit |
| JP2019109442A (en) * | 2017-12-20 | 2019-07-04 | 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 | Optical modulator and optical module |
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