JPH0875639A - Light-absorption-spectrum measuring apparatus making use of slab optical waveguide - Google Patents
Light-absorption-spectrum measuring apparatus making use of slab optical waveguideInfo
- Publication number
- JPH0875639A JPH0875639A JP21574294A JP21574294A JPH0875639A JP H0875639 A JPH0875639 A JP H0875639A JP 21574294 A JP21574294 A JP 21574294A JP 21574294 A JP21574294 A JP 21574294A JP H0875639 A JPH0875639 A JP H0875639A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- optical waveguide
- layer
- incident
- absorption spectrum
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、スラブ光導波路を利用
して界面、表面吸着物、薄膜、極微量の試料などの光吸
収スペクトルを高感度に測定するための装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an apparatus for highly sensitively measuring an optical absorption spectrum of an interface, a surface adsorbate, a thin film, an extremely small amount of a sample, etc. by using a slab optical waveguide.
【0002】[0002]
【従来の技術】光導波路を利用した従来技術として、レ
ーザーを光源とする光導波路センサーがある。レーザー
を光源とする光導波路センサーは、プリズムあるいはグ
レーティングを利用してレーザーからの光を光導波路内
に導入し、光導波路内を全反射した光をプリズムあるい
はグレーティングを利用して取り出し、光検出器で検出
して光強度を測定することにより、圧力や電場、磁場な
どの物理的測定や物質の濃度などの化学的測定を行うも
のである。またエバネッセント光を利用した試料の光吸
収スペクトルの測定方法として、ATR法が知られてい
る。ATR法とは、表面に試料を乗せた内部反射エレメ
ント(IRE)と呼ばれる厚さ数mmの台形の結晶に光
を導入し、エレメント内を全反射した光を取り出して、
光強度を測定することにより、試料の光吸収スペクトル
を測定するものである。従来の光吸収測定装置では、L
B膜中に単分子層相当の濃度に対して、1/2又は1/
10の濃度のポルフィリン色素が含まれている場合、即
ち0.5分子層相当あるいは0.1分子層相当の表面濃
度程度の極低濃度になると、通常の方法で測定される吸
光度は、例えば、数万から数十万という非常にモル吸光
度が高い試料であっても、0.5分子層に対して、0.
05程度、0.1分子層に対して、0.01程度とな
り、通常の分光測定装置では色素の光吸収スペクトルを
測定することが非常に困難となる。通常の分光測定装置
の検出下限は、吸光度に換算して0.001abs程度
である。2. Description of the Related Art As a conventional technique using an optical waveguide, there is an optical waveguide sensor using a laser as a light source. An optical waveguide sensor that uses a laser as a light source uses a prism or a grating to introduce light from the laser into the optical waveguide, and the light that is totally reflected inside the optical waveguide is extracted using a prism or a grating. By measuring the light intensity by detecting with, the physical measurement of pressure, electric field, magnetic field, etc., or chemical measurement of the concentration of a substance is carried out. Further, the ATR method is known as a method for measuring the light absorption spectrum of a sample using evanescent light. The ATR method is to introduce light into a trapezoidal crystal having a thickness of several mm called an internal reflection element (IRE) with a sample placed on the surface, and take out the light totally reflected inside the element,
The light absorption spectrum of the sample is measured by measuring the light intensity. In the conventional optical absorption measuring device, L
For the concentration equivalent to a monolayer in the B film, 1/2 or 1 /
When the porphyrin dye is contained at a concentration of 10, that is, when the surface concentration is as low as about 0.5 molecular layer or 0.1 molecular layer, the absorbance measured by a usual method is, for example, Even for a sample having a very high molar absorptance of tens of thousands to hundreds of thousands, it is possible to obtain 0.5.
About 0.05, about 0.01 for 0.1 molecular layer, it becomes very difficult to measure the light absorption spectrum of the dye with a usual spectroscopic measurement device. The lower limit of detection of a normal spectroscopic measurement device is about 0.001 abs in terms of absorbance.
【0003】[0003]
【発明が解決しようとする課題】光導波路層内では、い
わゆる導波路モードと呼ばれるモードが形成されている
ため、特定の角度の光しか光導波路層内に入射できな
い。また光導波路層内への光の入射角度は波長毎に異な
るため、プリズムもしくはグレーティングの単独使用で
は、光導波路層内に特定の波長の光、例えばレーザー光
しか入出射させることしかできない。そのため、従来の
光導波路センサーでは、光吸収スペクトルを測定するこ
とは不可能であった。一方ATR法は、光吸収スペクト
ルを測定することができるが、エレメントの厚さが数m
mと厚いため、光の反射回数はせいぜい数回〜数十回程
度となり、十分な感度が得られず、感度を向上するため
にエレメントの厚さを薄くすると、機械的強度が保てな
いという問題点があった。また測定の際、バックグラウ
ンド光の影響を受けないように、光導波路又はエレメン
ト、及びその周辺は暗くする必要があった。さらに光導
波路は、光の透過モードがあり、入射角度が極めて限ら
れているため、光の入射、及び出射角度を定めることは
困難な作業であった。本発明は、上述の問題点に鑑み、
高感度の光吸収スペクトルの測定が可能であり、またバ
ックグラウンド光の影響を受けることなく光吸収スペク
トルを測定でき、さらに光の入射、及び出射角度を容易
に設定することができるスラブ光導波路を利用した光吸
収スペクトル測定装置を提供することを目的とする。Since a mode called a so-called waveguide mode is formed in the optical waveguide layer, only light having a specific angle can enter the optical waveguide layer. Further, since the incident angle of light into the optical waveguide layer differs for each wavelength, only using a prism or a grating can cause only light of a specific wavelength, for example, laser light, to enter and exit the optical waveguide layer. Therefore, it is impossible for the conventional optical waveguide sensor to measure the light absorption spectrum. On the other hand, the ATR method can measure the optical absorption spectrum, but the thickness of the element is several meters.
Since it is thick as m, the number of reflections of light is at most several to several tens of times, and sufficient sensitivity cannot be obtained. If the thickness of the element is reduced to improve the sensitivity, mechanical strength cannot be maintained. There was a problem. In addition, it was necessary to darken the optical waveguide or the element and its periphery so as not to be affected by the background light during the measurement. Further, since the optical waveguide has a light transmission mode and the incident angle is extremely limited, it has been difficult to determine the incident and outgoing angles of the light. The present invention, in view of the above problems,
A slab optical waveguide that can measure a high-sensitivity light absorption spectrum, can measure the light absorption spectrum without being affected by background light, and can easily set the incident and exit angles of light. It is an object of the present invention to provide an optical absorption spectrum measuring device using the same.
【0004】[0004]
【課題を解決するための手段】本発明者らは、上記課題
に鑑み、種々検討した結果、一定の波長幅を持つ光を入
射光側レンズで集光し、入射光側プリズムに入射するこ
とにより、一度に広い波長範囲の光を光導波路層内に導
入することができ、また光導波路内において全反射を繰
返した光を出射光側プリズムから出射光側レンズで一度
に取り出し、検出器で測定することにより、スラブ光導
波路を利用した高感度の光吸収スペクトルの測定が可能
となることを見い出した。本発明はこれらの知見に基づ
きなされるに至ったものである。As a result of various studies in view of the above problems, the inventors of the present invention collect light having a constant wavelength width by an incident light side lens and make it incident on an incident light side prism. By this, light in a wide wavelength range can be introduced into the optical waveguide layer at once, and light that has undergone total internal reflection in the optical waveguide is extracted from the prism on the output light side by the lens on the output light side at once, and the detector It has been found that the measurement makes it possible to measure a highly sensitive optical absorption spectrum using a slab optical waveguide. The present invention has been accomplished based on these findings.
【0005】すなわち本発明は、(1)光源、光源から
発射された光を集光する入射光側レンズ、該入射光側レ
ンズと所定間隔を有し、かつ光導波路層内に該入射光レ
ンズで集光した光を導入する入射光側プリズム、該入射
光側プリズムを出射した光を導入する光導波路層を有す
るスラブ光導波路、該光導波路層内部で全反射を繰返し
た光を導入する出射光側プリズム、及び該出射光側プリ
ズムと所定間隔を有し、かつ該出射光側プリズムから出
射した光を導入する出射光側レンズよりなる試料測定部
を有し、試料測定部からの出射光をとり出しスペクトル
を測定するようにしたことを特徴とするスラブ光導波路
を利用した光吸収スペクトル測定装置、(2)光源が白
色光であることを特徴とする(1)項に記載のスラブ光
導波路を利用した光吸収スペクトル測定装置、(3)光
源と入射光側レンズの間に、光源からの光を一定周期の
断続光にする装置を有し、かつ出射した断続光のみを増
幅する装置を有することを特徴とする(1)項又は
(2)項に記載のスラブ光導波路を利用した光吸収スペ
クトル測定装置、及び(4)光源と入射光側レンズの
間、及び出射光側レンズと分光器の間に、光ファイバー
を使用することを特徴とする(1)項、(2)項又は
(3)項に記載のスラブ光導波路を利用した光吸収スペ
クトル測定装置を提供するものである。That is, according to the present invention, (1) a light source, an incident light side lens for condensing light emitted from the light source, a predetermined distance from the incident light side lens, and the incident light lens in the optical waveguide layer. The incident light side prism for introducing the light condensed by the, the slab optical waveguide having the optical waveguide layer for introducing the light emitted from the incident light side prism, and the light for which the total reflection is repeated inside the optical waveguide layer Emission light from the sample measuring unit, which has a sample measuring unit including an emitting light side prism and an emitting light side lens having a predetermined distance from the emitting light side prism and introducing light emitted from the emitting light side prism And an optical absorption spectrum measuring apparatus using a slab optical waveguide, wherein (2) the light source is white light. Utilizing a waveguide Absorption spectrum measuring device, (3) A device for converting the light from the light source into intermittent light with a constant period between the light source and the lens on the incident light side, and a device for amplifying only the emitted intermittent light. And (4) an optical absorption spectrum measuring apparatus using the slab optical waveguide according to (1) or (2), and (4) a light source and an incident light side lens, and an emission light side lens and a spectroscope. An optical absorption spectrum measuring apparatus using the slab optical waveguide according to item (1), (2) or (3), characterized in that an optical fiber is used.
【0006】次に本発明を詳細に説明する。本発明のス
ラブ光導波路を利用した光吸収スペクトル測定装置は、
レンズとプリズムの組合わせを利用し一度に広い波長範
囲の光を光導波路層内に入出射することができるため、
スラブ光導波路を利用して高感度の光吸収スペクトルの
測定が可能となることを特徴とする。本発明において、
光源は、遠紫外から遠赤外までのうち任意の波長範囲を
持つ光を発射するものから選ばれる。このうち、白色光
を発射するものを光源として選択することが好ましい。
この場合、白色光は、ある波長幅を持つ光ということで
あり、白い色の光という意味ではない。本発明におい
て、光源からの光を他の光と明確に区別するために、光
源からの光を一定の周期の断続光にすることは好まし
い。光源からの光を一定の周期の断続光にして、光導波
路層に入射させ、光導波路層内を透過した断続光を出射
させ、出射光を測定することにより、バックグラウンド
光の影響を受けることなく光吸収スペクトルを測定でき
るようになる。光源からの光を一定の周期の断続光にす
るのに、光チョッパーを使用するのが望ましい。またこ
の場合、光導波路層内からの出射光のみを増幅すること
も好ましい。本発明において、光の位置や方向を変える
ために、光源と入射光側レンズの間、及び出射光側レン
ズと分光器の間に光ファイバーを使用することは、好ま
しい。光源と入射光側レンズの間、及び出射光側レンズ
と分光器の間に光ファイバーを使用することにより、レ
ンズと入射光側又は出射光側プリズムの距離や入射角度
や出射角度を容易かつ微妙に調整できるようになる。本
発明においても、屈折率の高い光導波路層内に光を入出
射するために、プリズムが使用されているが、一度に広
い波長範囲の光を光導波路層内に入出射するために、入
射光側には、入射光側プリズムと一定の距離を隔てて入
射光側レンズが、出射光側には、出射光側プリズムと一
定の距離を隔てて出射光側レンズが設けられている。本
発明に使用するスラブ光導波路は、基板の上に透明な光
導波路層を乗せたものである。基板は屈折率は空気より
も高いガラス板、石英板などの透明な板を使用する。短
波長の透過度を良好にするために、無蛍光スライドガラ
スを使用してもよい。基板の厚さは全体の形を支えるこ
とができればよく、特に制限はないが0.5mm位〜数
十mm程度であるが、好ましくは、1mm程度〜数mm
程度である。光導波路層は基板より屈折率が高いことが
要求され、0.1μm〜数十μmの厚さであり、ソーダ
ガラスの表面のナトリウムイオンを、カリウムイオンや
タリウムイオンのようなガラスの屈折率を高くする効果
のある物質とイオン交換することにより、又はゾル・ゲ
ル法、もしくはスピンコート法などの方法で高屈折率の
物質を薄くコートすることにより作成されることが好ま
しい。本発明において、出射光側レンズから一度に広い
波長範囲の光が取り出され、光導波路層内から出射した
光は分光器で分光され、光電子増倍管に送られる。Next, the present invention will be described in detail. The optical absorption spectrum measuring apparatus using the slab optical waveguide of the present invention,
Using a combination of a lens and a prism, light in a wide wavelength range can enter and exit the optical waveguide layer at once.
It is characterized in that it is possible to measure a highly sensitive light absorption spectrum by using a slab optical waveguide. In the present invention,
The light source is selected from those that emit light having an arbitrary wavelength range from far ultraviolet to far infrared. Of these, it is preferable to select a light source that emits white light.
In this case, white light means light having a certain wavelength width, and does not mean light of white color. In the present invention, in order to clearly distinguish the light from the light source from the other light, it is preferable that the light from the light source is an intermittent light with a constant period. The light from the light source is made into intermittent light of a certain cycle, is made incident on the optical waveguide layer, and the intermittent light transmitted through the inside of the optical waveguide layer is emitted, and the emitted light is measured, so that it is affected by the background light. It becomes possible to measure the light absorption spectrum without using it. It is desirable to use an optical chopper to turn the light from the light source into intermittent light with a constant period. In this case, it is also preferable to amplify only the light emitted from the optical waveguide layer. In the present invention, it is preferable to use an optical fiber between the light source and the incident light side lens and between the output light side lens and the spectroscope in order to change the position and direction of the light. By using an optical fiber between the light source and the lens on the incident light side, and between the lens on the outgoing light side and the spectroscope, it is possible to easily and subtly adjust the distance between the lens and the prism on the incoming light side or the outgoing light side, the incident angle and the outgoing angle. You will be able to adjust. In the present invention as well, a prism is used to enter and exit light in the optical waveguide layer having a high refractive index, but in order to enter and exit light in a wide wavelength range at once into the optical waveguide layer, the incident light is incident. An incident light side lens is provided on the light side at a constant distance from the incident light side prism, and an outgoing light side lens is provided on the outgoing light side at a constant distance from the outgoing light side prism. The slab optical waveguide used in the present invention has a transparent optical waveguide layer placed on a substrate. As the substrate, a transparent plate such as a glass plate or a quartz plate whose refractive index is higher than that of air is used. Non-fluorescent glass slides may be used to improve the short wavelength transmission. The thickness of the substrate is not particularly limited as long as it can support the entire shape, but is about 0.5 mm to several tens of mm, preferably about 1 mm to several mm.
It is a degree. The optical waveguide layer is required to have a higher refractive index than the substrate, has a thickness of 0.1 μm to several tens of μm, and has a refractive index of sodium ions on the surface of soda glass and glass such as potassium ions and thallium ions. It is preferably prepared by ion exchange with a substance having a high effect or by thinly coating a substance having a high refractive index by a method such as a sol-gel method or a spin coating method. In the present invention, light in a wide wavelength range is extracted at once from the outgoing light side lens, and the light emitted from the inside of the optical waveguide layer is dispersed by the spectroscope and sent to the photomultiplier tube.
【0007】[0007]
【実施例】次に本発明の一実施例を図面に基づき、さら
に詳細に説明する。なお本発明は実施例に限定されな
い。本発明のスラブ光導波路を利用した光吸収スペクト
ル測定装置の一例の装置の構成を模式図として図1に示
す。図中、10は光源、30は光チョッパー、31は入
射光側光ファイバー、11は入射光側レンズ、12は入
射光側プリズムである。13はスラブ光導波路、14は
出射光側プリズム、15は出射光側プリズム、32は光
ファイバー、41は分光器、42はコンピュータであ
る。43は光電子増倍管、44は増幅器である。16は
スラブ光導波路の位置、角度の制御機構である。33、
34はレンズを示す。図1において、光源10は、遠紫
外から遠赤外までのうち任意の波長範囲を持つ光を発射
するものであり、白色光源としてXeランプを使用す
る。光チョッパー30は光源からの光を一定の周期の断
続光にするものであり、光源10と入射光側光ファイバ
ー31の間に設けられる。試料測定部は入射光側レンズ
11、出射光側レンズ15、入射光側プリズム12、出
射光側プリズム14、スラブ光導波路13、位置制御機
構16を有している。入射光側レンズ11は、入射光側
光ファイバー31の出口側の先端に、出射光側レンズ1
5は、出射光側光ファイバー32の入口側の先端に、設
けられる。上記のスラブ光導波路の部分を図2に平面図
で、図3に断面図で示す。両図に示すように入射光側プ
リズム12、及び出射光側プリズム14は、スラブ光導
波路13上に配置され、試料と参照部分をプリズムを付
け直すことなく測定可能にするため、細長いものを使用
する。スラブ光導波路13は、光導波路層52を支持す
るための基板51と、光導波路層52からなる。スラブ
光導波路13の片側部分に帯状に試料54が乗り、その
反対側、即ち試料54のない部分は、参照部分53とな
る。図1に示すように検出部は分光器41、光電子増倍
管43、増幅器44、及びコンピュータ42を有してい
る。光源10から発射された白色光は、光チョッパー3
0で一定の周期の断続光にされた後、入射光側光ファイ
バー31に導入される。入射光側光ファイバー31に導
入された断続光は、入射光側光ファイバー31を通り、
出光側の先端に設けられた入射光側レンズ11で集光さ
れ、適当な角度で入射光側プリズム12に導入される。
入射光側レンズ11で集光された断続光は、入射光側プ
リズム12に導入された後、スラブ光導波路13の光導
波路層52内に入射する。光導波路層52内に入射した
断続光は、光導波路層52内で全反射を繰返した後、光
導波路層52内から出射し、出射光側プリズム14に導
入される。出射光側プリズム14に導入された断続光
は、出射光側光ファイバー32の入光側の先端に設けら
れた出射光側レンズ15により取り出され、出射光側光
ファイバー32によって、分光器41に送られる。分光
器41によって分光された断続光は、光電子増倍管4
3、増幅器44を経て、コンピュータ42に送られ分析
されることにより、光吸収スペクトルが得られる。An embodiment of the present invention will now be described in more detail with reference to the drawings. The present invention is not limited to the embodiments. FIG. 1 is a schematic diagram showing the configuration of an example of an optical absorption spectrum measuring apparatus using the slab optical waveguide of the present invention. In the figure, 10 is a light source, 30 is an optical chopper, 31 is an incident light side optical fiber, 11 is an incident light side lens, and 12 is an incident light side prism. 13 is a slab optical waveguide, 14 is an outgoing light side prism, 15 is an outgoing light side prism, 32 is an optical fiber, 41 is a spectroscope, and 42 is a computer. 43 is a photomultiplier tube and 44 is an amplifier. Reference numeral 16 is a control mechanism for the position and angle of the slab optical waveguide. 33,
Reference numeral 34 represents a lens. In FIG. 1, a light source 10 emits light having an arbitrary wavelength range from far ultraviolet to far infrared, and uses a Xe lamp as a white light source. The optical chopper 30 converts the light from the light source into intermittent light having a constant cycle, and is provided between the light source 10 and the incident light side optical fiber 31. The sample measuring section has an incident light side lens 11, an outgoing light side lens 15, an incident light side prism 12, an outgoing light side prism 14, a slab optical waveguide 13, and a position control mechanism 16. The incident light side lens 11 is provided at the exit side end of the incident light side optical fiber 31 at the exit light side lens 1.
5 is provided at the tip of the exit side optical fiber 32 on the entrance side. FIG. 2 is a plan view and FIG. 3 is a sectional view of the above-mentioned slab optical waveguide. As shown in both figures, the incident-light side prism 12 and the outgoing-light side prism 14 are arranged on the slab optical waveguide 13, and are elongated so that the sample and the reference portion can be measured without reattaching the prism. To do. The slab optical waveguide 13 includes a substrate 51 for supporting the optical waveguide layer 52 and an optical waveguide layer 52. The sample 54 rides on one side of the slab optical waveguide 13 in a band shape, and the opposite side, that is, the part without the sample 54 becomes the reference part 53. As shown in FIG. 1, the detection unit has a spectroscope 41, a photomultiplier tube 43, an amplifier 44, and a computer 42. The white light emitted from the light source 10 is emitted by the light chopper 3
After being made into intermittent light with a constant period of 0, it is introduced into the incident light side optical fiber 31. The intermittent light introduced into the incident light side optical fiber 31 passes through the incident light side optical fiber 31,
It is condensed by an incident light side lens 11 provided at the tip on the light emission side, and is introduced into the incident light side prism 12 at an appropriate angle.
The intermittent light collected by the incident light side lens 11 is introduced into the incident light side prism 12 and then enters the optical waveguide layer 52 of the slab optical waveguide 13. The intermittent light that has entered the optical waveguide layer 52 undergoes total reflection within the optical waveguide layer 52, then exits from the optical waveguide layer 52, and is introduced into the outgoing light side prism 14. The intermittent light introduced into the outgoing light side prism 14 is extracted by the outgoing light side lens 15 provided at the tip of the outgoing light side optical fiber 32 on the incoming side, and is sent to the spectroscope 41 by the outgoing light side optical fiber 32. . The intermittent light separated by the spectroscope 41 is supplied to the photomultiplier tube 4
3. The light absorption spectrum is obtained by being sent to the computer 42 for analysis via the amplifier 44.
【0008】[0008]
【作用】光源から発射された光は、入射光側レンズで集
光され、入射光側プリズムに入射させることにより、一
度に広い波長範囲の光が光導波路層内に導入できる。光
導波路層内に導入された光は、光導波路層内部で極めて
多数回の全反射をする。このような内部多重反射によ
り、光導波路層表面の光の波長程度の極近傍に、エバネ
ッセント光が発生する。光導波路層内に入射した光が試
料のある部分の真下の光導波路層を通過すると、光導波
路層表面に発生したエバネッセント光は試料に吸収され
るので、入射光は弱められ、光導波路層から出射する光
の強度は減少する。光導波路内において全反射を繰返し
た光は、出射光側プリズムを通過し、出射光側レンズか
ら一度に取り出され、分光器を経て検出器に送られる。
従って、試料がある側、及び試料がない側、即ち参照部
分の両側について、光導波路層内に光を導入し、光導波
路層内で全反射を繰返して出射した光の強度を測定し、
測定結果をパーソナルコンピュータ等で比較分析するこ
とにより、試料の光吸収スペクトルを得ることができ
る。The light emitted from the light source is condensed by the lens on the incident light side and is incident on the prism on the incident light side, whereby light in a wide wavelength range can be introduced into the optical waveguide layer at once. The light introduced into the optical waveguide layer undergoes a large number of total reflections inside the optical waveguide layer. Due to such internal multiple reflection, evanescent light is generated in the vicinity of the wavelength of light on the surface of the optical waveguide layer. When the light entering the optical waveguide layer passes through the optical waveguide layer directly below the part where the sample exists, the evanescent light generated on the surface of the optical waveguide layer is absorbed by the sample, so the incident light is weakened and The intensity of the emitted light decreases. The light that has undergone total internal reflection in the optical waveguide passes through the exit light side prism, is extracted at one time from the exit light side lens, and is sent to the detector via the spectroscope.
Therefore, the side with the sample, and the side without the sample, ie, both sides of the reference portion, introduces light into the optical waveguide layer, and measures the intensity of light emitted by repeating total reflection in the optical waveguide layer,
The light absorption spectrum of the sample can be obtained by comparing and analyzing the measurement results with a personal computer or the like.
【0009】次に本発明を試験例に基づき、さらに詳細
に説明する。 試験例1 図1の装置を使用し、レンズと入射光側又は出射光側プ
リズムとの距離を変化させた場合の各波長における透過
度を測定して、光導波路層の光透過特性を調べた。 直
径3mm、有効直径2mm、焦点距離5mm程度のレン
ズを使用した。プリズムは、4×5×15mmで、屈折
率が光導波路層(1.52)、基板(1.516)、空
気(1)よりも大きい1.87のものを使用した。基板
にはソーダガラスを使用し、ソーダガラス表面を、40
0℃の溶融硝酸カリウム浴に30分間浸漬して、硝酸カ
リウム溶融塩処理することにより光導波路層を作成し
た。得られた光導波路層の厚さはHe−Neレーザーに
よる光の導波路モードで測定し1〜2μm程度であっ
た。光ファイバーは、コア径250μmのマルチモード
のものを使用した。試料は、アラキン酸カドニウムを主
成分とし、色素としてポルフィリン銅錯体を1.5mo
l%加えたLB膜を使用した。図4に、図1の装置を使
用し、レンズと入射光側又は出射光側プリズムの距離を
変化させた場合の各波長における透過度の関係を示す。
レンズを入射光側又は出射光側プリズムに近づけること
により、長波長側の広い範囲で透過度が良好になり、よ
り広い範囲の白色光が透過可能であることがわかった。Next, the present invention will be described in more detail based on test examples. Test Example 1 Using the device shown in FIG. 1, the transmittance at each wavelength was measured when the distance between the lens and the incident light side prism or the outgoing light side prism was changed to examine the light transmission characteristics of the optical waveguide layer. . A lens having a diameter of 3 mm, an effective diameter of 2 mm and a focal length of about 5 mm was used. A prism having a size of 4 × 5 × 15 mm and a refractive index of 1.87, which is larger than those of the optical waveguide layer (1.52), the substrate (1.516), and the air (1), was used. Soda glass is used for the substrate, and the surface of the soda glass is
An optical waveguide layer was prepared by immersing in a molten potassium nitrate bath at 0 ° C. for 30 minutes and treating with a potassium nitrate molten salt. The thickness of the obtained optical waveguide layer was about 1 to 2 μm as measured by the waveguide mode of light using a He—Ne laser. The optical fiber used was a multimode one having a core diameter of 250 μm. The sample contains cadmium arachiate as a main component, and a porphyrin copper complex as a pigment is added at 1.5 mo.
An LB membrane with 1% added was used. FIG. 4 shows the relationship of transmittance at each wavelength when the distance between the lens and the prism on the incident light side or the prism on the outgoing light side is changed by using the apparatus of FIG.
It was found that the transmittance is improved in a wide range on the long wavelength side and the white light in a wider range can be transmitted by bringing the lens closer to the incident light side prism or the outgoing light side prism.
【0010】試験例2 光導波路層表面にアラキン酸カドニウムにポルフィリン
銅錯体を加えた二種類のLB膜を作成し、これらを試料
として図1の装置を使用して、光吸収スペクトルの測定
を行った。二種類のLB膜のポルフィリン銅錯体の濃度
は、(A)1.5mol%、即ち約0.1分子層相当と
(B)13mol%、即ち約0.5分子層相当とし、入
射光側レンズと入射光側プリズムの距離は、23mmと
した。このようにして得られた光吸収スペクトルを
(A)、(B)として図5に示した。従来、色素である
ポルフィリン銅錯体の濃度が0.1分子層相当と極めて
低濃度である場合、高濃度の場合と比較して色素の状態
が変化するため、色素の濃度を高めたり、試料の厚みを
増やしたりしても、正しいスペクトルを測定することが
困難であったが、本発明の装置によれば図5に示すよう
に、光吸収スペクトルを高感度で測定することができ
た。Test Example 2 Two types of LB films were prepared by adding a porphyrin copper complex to cadmium arachiate on the surface of the optical waveguide layer, and using these as samples, the optical absorption spectrum was measured using the apparatus of FIG. It was The concentration of the porphyrin copper complex in the two kinds of LB films is (A) 1.5 mol%, that is, approximately 0.1 molecular layer equivalent, and (B) 13 mol%, that is, approximately 0.5 molecular layer equivalent, and the incident light side lens The distance between the incident light side prism and the incident light side prism was 23 mm. The light absorption spectra thus obtained are shown in FIG. 5 as (A) and (B). Conventionally, when the concentration of the porphyrin copper complex, which is a dye, is extremely low, which is equivalent to 0.1 molecular layer, the state of the dye changes compared to the case of high concentration, so the concentration of the dye can be increased or the sample Although it was difficult to measure the correct spectrum even if the thickness was increased, the apparatus of the present invention could measure the light absorption spectrum with high sensitivity as shown in FIG.
【0011】[0011]
【発明の効果】本発明の光吸収スペクトル測定装置は、
ある一定の波長幅を持つ光、例えば白色光をレンズで集
光して、レンズと所定間隔に設定したプリズムから光を
スラブ光導波路の光導波路層に入射し、光導波路層内を
全反射した光をプリズムを経てプリズムと所定間隔に設
定したレンズで取り出し、分光器で出射光を分光し、検
出器に送ることにより、極めて大きな反射回数が得ら
れ、高感度の光吸収スペクトルの測定が可能であり、こ
れにより、高価な光源が不要になり、磁場、電場、光、
熱、化学的な処理、圧力、音、生物的処理などの様々な
作用を行わせながらのスペクトル測定が可能になる。本
発明の光吸収スペクトル測定装置は、光源から発射され
た光を断続波にして光導波路層内を通過させることによ
り、光源から発射した光を他の光と明確に区別できるよ
うになり、光導波路部及びその周辺を遮光する必要がな
く、装置が簡便になるだけではなく、別の光を照射しな
がら光スペクトル測定が可能である。本発明の光吸収ス
ペクトル測定装置は、光ファイバーを使用することによ
り、レンズとプリズムの距離、光の方向を自由に変える
ことができ、光の入射、及び出射角度を容易に定めるこ
とができ、装置の構造を簡易化することができる。The optical absorption spectrum measuring device of the present invention is
Light having a certain wavelength width, for example, white light is condensed by a lens, the light is incident on the optical waveguide layer of the slab optical waveguide from a prism set at a predetermined distance from the lens, and is totally reflected inside the optical waveguide layer. Light is extracted through a prism with a lens set at a predetermined distance from the prism, and the emitted light is separated by a spectroscope and sent to a detector, which enables a very large number of reflections and a highly sensitive optical absorption spectrum to be measured. This eliminates the need for expensive light sources, magnetic fields, electric fields, light,
Spectral measurement is possible while performing various actions such as heat, chemical treatment, pressure, sound, and biological treatment. The optical absorption spectrum measuring apparatus of the present invention makes it possible to clearly distinguish the light emitted from the light source from other light by making the light emitted from the light source an intermittent wave and passing through the inside of the optical waveguide layer. It is not necessary to shield the waveguide part and its periphery from the light, and not only the device becomes simple, but also optical spectrum measurement is possible while irradiating another light. The optical absorption spectrum measuring device of the present invention can change the distance between the lens and the prism and the direction of the light freely by using the optical fiber, and can easily determine the incident and outgoing angles of the light. The structure of can be simplified.
【図1】本発明の光吸収スペクトル測定装置の実施例の
一例の構成を示す模式図である。FIG. 1 is a schematic view showing a configuration of an example of an embodiment of an optical absorption spectrum measuring apparatus of the present invention.
【図2】本発明の光吸収スペクトル測定装置におけるス
ラブ光導波路の一例を示す平面図であるFIG. 2 is a plan view showing an example of a slab optical waveguide in the optical absorption spectrum measuring apparatus of the present invention.
【図3】本発明の光吸収スペクトル測定装置におけるス
ラブ光導波路の一例を示す断面図であるFIG. 3 is a sectional view showing an example of a slab optical waveguide in the optical absorption spectrum measuring apparatus of the present invention.
【図4】 本発明の光吸収スペクトル測定装置における
入射光側レンズと入射光側プリズム間との距離を変化さ
せた場合の光導波路層の光透過特性を示すグラフであ
る。FIG. 4 is a graph showing the light transmission characteristics of the optical waveguide layer when the distance between the incident light side lens and the incident light side prism in the optical absorption spectrum measuring apparatus of the present invention is changed.
【図5】本発明の光吸収スペクトル測定装置の実施例の
一例を使用し、LB膜を試料とした場合の光吸収スペク
トルの測定結果を示すグラフである。FIG. 5 is a graph showing a measurement result of an optical absorption spectrum when an LB film is used as a sample by using an example of an example of the optical absorption spectrum measuring apparatus of the present invention.
10 光源 11 入射光側レンズ 12 入射光側プリズム 13 スラブ光導波路 14 出射光側プリズム 15 出射光側レンズ 16 位置制御機構 30 光チョッパー 31 入射光側光ファイバー 32 出射光側光ファイバー 41 分光器 42 コンピュータ 43 光電子増倍管 44 増幅器 51 基板 52 光導波路層 53 参照部分 54 試料 10 light source 11 incident light side lens 12 incident light side prism 13 slab optical waveguide 14 emission light side prism 15 emission light side lens 16 position control mechanism 30 optical chopper 31 incident light side optical fiber 32 emission light side optical fiber 41 spectroscope 42 computer 43 optoelectronic Multiplier tube 44 Amplifier 51 Substrate 52 Optical waveguide layer 53 Reference portion 54 Sample
Claims (4)
入射光側レンズ、該入射光側レンズと所定間隔を有し、
かつ光導波路層内に該入射光レンズで集光した光を導入
する入射光側プリズム、該入射光側プリズムを出射した
光を導入する光導波路層を有するスラブ光導波路、該光
導波路層内部で全反射を繰返した光を導入する出射光側
プリズム、及び該出射光側プリズムと所定間隔を有し、
かつ該出射光側プリズムから出射した光を導入する出射
光側レンズよりなる試料測定部を有し、試料測定部から
の出射光をとり出しスペクトルを測定するようにしたこ
とを特徴とするスラブ光導波路を利用した光吸収スペク
トル測定装置。1. A light source, an incident light side lens that collects light emitted from the light source, and a predetermined distance from the incident light side lens,
An slab optical waveguide having an incident light side prism for introducing the light condensed by the incident light lens into the optical waveguide layer, an optical waveguide layer for introducing the light emitted from the incident light side prism, and inside the optical waveguide layer An outgoing light side prism that introduces light that is repeatedly totally reflected, and a predetermined interval with the outgoing light side prism,
Further, the slab optical waveguide is characterized in that it has a sample measuring section composed of an outgoing light side lens for introducing light emitted from the outgoing light side prism, and takes out outgoing light from the sample measuring section to measure a spectrum. Optical absorption spectrum measurement device using waveguide.
求項1に記載のスラブ光導波路を利用した光吸収スペク
トル測定装置。2. The optical absorption spectrum measuring apparatus using a slab optical waveguide according to claim 1, wherein the light source is white light.
の光を一定周期の断続光にする装置を有し、かつ出射し
た断続光のみを増幅する装置を有することを特徴とする
請求項1又は2に記載のスラブ光導波路を利用した光吸
収スペクトル測定装置。3. A device for converting light from the light source into intermittent light having a constant period between the light source and the incident light side lens, and a device for amplifying only the emitted intermittent light. Item 1. An optical absorption spectrum measurement device using the slab optical waveguide according to item 1 or 2.
側レンズと分光器の間に、光ファイバーを使用すること
を特徴とする請求項1、2又は3に記載のスラブ光導波
路を利用した光吸収スペクトル測定装置。4. The slab optical waveguide according to claim 1, wherein an optical fiber is used between the light source and the incident light side lens and between the output light side lens and the spectroscope. Optical absorption spectrum measuring device.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6215742A JP2807777B2 (en) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | Optical absorption spectrum measuring device using slab optical waveguide |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP6215742A JP2807777B2 (en) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | Optical absorption spectrum measuring device using slab optical waveguide |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPH0875639A true JPH0875639A (en) | 1996-03-22 |
JP2807777B2 JP2807777B2 (en) | 1998-10-08 |
Family
ID=16677458
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP6215742A Expired - Lifetime JP2807777B2 (en) | 1994-09-09 | 1994-09-09 | Optical absorption spectrum measuring device using slab optical waveguide |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP2807777B2 (en) |
Cited By (11)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001090728A1 (en) * | 2000-05-25 | 2001-11-29 | Katayanagi Institute | Differential spr sensor and measuring method using it |
WO2003021239A1 (en) * | 2001-08-28 | 2003-03-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for measuring information on particular component |
JP2007093590A (en) * | 2005-09-05 | 2007-04-12 | Canon Inc | Sensor device |
WO2007108328A1 (en) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Kurashiki Boseki Kabushiki Kaisha | Total reflection attenuation optical probe and aqueous solution spectrometric device |
US7295294B2 (en) | 2003-10-28 | 2007-11-13 | Rohm Co., Ltd. | Optical waveguide sensor and measuring apparatus using said optical waveguide sensor, and measuring method using a sensor |
WO2008062582A1 (en) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Kabushiki Kaisha Atsumitec | Hydrogen sensor and hydrogen gas detector |
JP2008224240A (en) * | 2007-03-08 | 2008-09-25 | Kurabo Ind Ltd | Attenuated total reflection probe and aqueous solution spectrometric device by using the same |
WO2009110463A1 (en) * | 2008-03-04 | 2009-09-11 | 倉敷紡績株式会社 | Total reflection attenuation type far-ultraviolet spectroscopy and concentration measurement device using the spectroscopy |
JP2014535060A (en) * | 2011-11-14 | 2014-12-25 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | Cluster detection device |
JP2015075448A (en) * | 2013-10-11 | 2015-04-20 | Dic株式会社 | Atr element, and immersion probe |
WO2018105455A1 (en) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Component sensor |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4516803B2 (en) | 2004-08-24 | 2010-08-04 | システム・インスツルメンツ株式会社 | Optical absorption measurement method and apparatus |
Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52102094A (en) * | 1976-02-20 | 1977-08-26 | Kaiser Nils | Measuring apparatus for metabolism product contents in blood |
JPS61178622A (en) * | 1985-02-04 | 1986-08-11 | Tokyo Gas Co Ltd | Optical fiber spectrophotometry |
JPS61184442A (en) * | 1984-12-10 | 1986-08-18 | プルーテック リミティド | Optical solution analyzing unit |
JPS61187622A (en) * | 1985-02-15 | 1986-08-21 | Hochiki Corp | Flame detection apparatus |
JPS61191965A (en) * | 1984-12-10 | 1986-08-26 | プルーテック リミティド | Method and device for optically confirming parameter of seedin liquefied material to be analyzed |
JPS6249240A (en) * | 1985-07-01 | 1987-03-03 | プルーテック リミティド | Wave guide as optical probe for spectroscopic analysis |
JPS63259444A (en) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Akira Fujishima | Measurement of physical and chemical reaction in solution |
JPS6459018A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | Japan Res Dev Corp | Method and measuring instrument for long time resolution total reflection spectrum analyzing |
JPH01221667A (en) * | 1988-02-29 | 1989-09-05 | Daikin Ind Ltd | Instrument and method for immunological inspection |
JPH0372264A (en) * | 1989-08-11 | 1991-03-27 | Daikin Ind Ltd | Optical apparatus for measurement |
JPH03183935A (en) * | 1989-08-11 | 1991-08-09 | Hoechst Ag | Polyimide waveguide and use thereof |
JPH03265883A (en) * | 1990-03-16 | 1991-11-26 | Toppan Printing Co Ltd | Hologram using evanescent wave and formation thereof |
JPH06109636A (en) * | 1992-09-29 | 1994-04-22 | Daikin Ind Ltd | Optical measuring device |
-
1994
- 1994-09-09 JP JP6215742A patent/JP2807777B2/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (13)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS52102094A (en) * | 1976-02-20 | 1977-08-26 | Kaiser Nils | Measuring apparatus for metabolism product contents in blood |
JPS61184442A (en) * | 1984-12-10 | 1986-08-18 | プルーテック リミティド | Optical solution analyzing unit |
JPS61191965A (en) * | 1984-12-10 | 1986-08-26 | プルーテック リミティド | Method and device for optically confirming parameter of seedin liquefied material to be analyzed |
JPS61178622A (en) * | 1985-02-04 | 1986-08-11 | Tokyo Gas Co Ltd | Optical fiber spectrophotometry |
JPS61187622A (en) * | 1985-02-15 | 1986-08-21 | Hochiki Corp | Flame detection apparatus |
JPS6249240A (en) * | 1985-07-01 | 1987-03-03 | プルーテック リミティド | Wave guide as optical probe for spectroscopic analysis |
JPS63259444A (en) * | 1987-04-16 | 1988-10-26 | Akira Fujishima | Measurement of physical and chemical reaction in solution |
JPS6459018A (en) * | 1987-08-31 | 1989-03-06 | Japan Res Dev Corp | Method and measuring instrument for long time resolution total reflection spectrum analyzing |
JPH01221667A (en) * | 1988-02-29 | 1989-09-05 | Daikin Ind Ltd | Instrument and method for immunological inspection |
JPH0372264A (en) * | 1989-08-11 | 1991-03-27 | Daikin Ind Ltd | Optical apparatus for measurement |
JPH03183935A (en) * | 1989-08-11 | 1991-08-09 | Hoechst Ag | Polyimide waveguide and use thereof |
JPH03265883A (en) * | 1990-03-16 | 1991-11-26 | Toppan Printing Co Ltd | Hologram using evanescent wave and formation thereof |
JPH06109636A (en) * | 1992-09-29 | 1994-04-22 | Daikin Ind Ltd | Optical measuring device |
Cited By (21)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2001090728A1 (en) * | 2000-05-25 | 2001-11-29 | Katayanagi Institute | Differential spr sensor and measuring method using it |
WO2003021239A1 (en) * | 2001-08-28 | 2003-03-13 | Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. | Apparatus for measuring information on particular component |
JPWO2003021239A1 (en) * | 2001-08-28 | 2004-12-16 | 松下電器産業株式会社 | Information measuring device for specific components |
US7295294B2 (en) | 2003-10-28 | 2007-11-13 | Rohm Co., Ltd. | Optical waveguide sensor and measuring apparatus using said optical waveguide sensor, and measuring method using a sensor |
JP4481967B2 (en) * | 2005-09-05 | 2010-06-16 | キヤノン株式会社 | Sensor device |
JP2007093590A (en) * | 2005-09-05 | 2007-04-12 | Canon Inc | Sensor device |
WO2007108328A1 (en) * | 2006-03-16 | 2007-09-27 | Kurashiki Boseki Kabushiki Kaisha | Total reflection attenuation optical probe and aqueous solution spectrometric device |
US7978331B2 (en) | 2006-03-16 | 2011-07-12 | Kurashiki Boseki Kabushiki Kaisha | Attenuated total reflection optical probe and apparatus therewith for spectroscopic measurement of aqueous solution |
EP2085768A4 (en) * | 2006-11-22 | 2013-04-03 | Atsumitec Kk | Hydrogen sensor and hydrogen gas detector |
EP2085768A1 (en) * | 2006-11-22 | 2009-08-05 | Kabushiki Kaisha Atsumitec | Hydrogen sensor and hydrogen gas detector |
JP2008128884A (en) * | 2006-11-22 | 2008-06-05 | Atsumi Tec:Kk | Hydrogen sensor and hydrogen gas detector |
US8025844B2 (en) | 2006-11-22 | 2011-09-27 | Kabushiki Kaisha Atsumitec | Hydrogen sensor and hydrogen gas detecting apparatus |
WO2008062582A1 (en) * | 2006-11-22 | 2008-05-29 | Kabushiki Kaisha Atsumitec | Hydrogen sensor and hydrogen gas detector |
KR101332974B1 (en) * | 2006-11-22 | 2013-11-25 | 도꾸리쯔교세이호진상교기쥬쯔소고겡뀨죠 | Hydrogen sensor and hydrogen gas detector |
JP2008224240A (en) * | 2007-03-08 | 2008-09-25 | Kurabo Ind Ltd | Attenuated total reflection probe and aqueous solution spectrometric device by using the same |
WO2009110463A1 (en) * | 2008-03-04 | 2009-09-11 | 倉敷紡績株式会社 | Total reflection attenuation type far-ultraviolet spectroscopy and concentration measurement device using the spectroscopy |
US8390816B2 (en) | 2008-03-04 | 2013-03-05 | Kurashiki Boseki Kabushiki Kaisha | Method for attenuated total reflection far ultraviolet spectroscopy and an apparatus for measuring concentrations therewith |
JP2014535060A (en) * | 2011-11-14 | 2014-12-25 | コーニンクレッカ フィリップス エヌ ヴェ | Cluster detection device |
US9863863B2 (en) | 2011-11-14 | 2018-01-09 | Koninklijke Philips N.V. | Apparatus for cluster detection |
JP2015075448A (en) * | 2013-10-11 | 2015-04-20 | Dic株式会社 | Atr element, and immersion probe |
WO2018105455A1 (en) * | 2016-12-07 | 2018-06-14 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | Component sensor |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2807777B2 (en) | 1998-10-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
Lieberman et al. | A distributed fiber optic sensor based on cladding fluorescence | |
US5521703A (en) | Diode laser pumped Raman gas analysis system with reflective hollow tube gas cell | |
JP4933271B2 (en) | Handheld device with a disposable element for chemical analysis of multiple specimens | |
US8759767B2 (en) | Combined raman and IR fiber-based sensor for gas detection | |
EP0507883A1 (en) | Thin-film spectroscopic sensor | |
JP2011075513A (en) | Gas spectroscopic analysis device | |
JP2807777B2 (en) | Optical absorption spectrum measuring device using slab optical waveguide | |
FI95322C (en) | Spectroscopic measuring sensor for analyzing media | |
US5644125A (en) | Spectrometer employing a Mach Zehnder interferometer created by etching a waveguide on a substrate | |
JPH01253634A (en) | Reflection density measuring apparatus | |
US4181441A (en) | Internal reflectance spectrometer | |
JP2000186998A (en) | Living body spectrum measuring device | |
EP0305428A1 (en) | In vivo blood testing | |
US20150253296A1 (en) | Method for detecting analytes | |
JP4406702B2 (en) | Formaldehyde detection method and detection apparatus | |
JPS6189543A (en) | Method and device for measuring dual beam spectral transmittance | |
WO2005100955A1 (en) | Method and apparatus for determining the absorption of weakly absorbing and/or scattering liquid samples | |
JPH06281568A (en) | Analyzer for liquid component | |
JPH0610636B2 (en) | Gas spectroscope | |
JP2004294099A (en) | Raman probe and raman scattering measuring device using it | |
JP4470939B2 (en) | Biospectrum measurement device | |
CN115808407B (en) | Sensor based on image correlation detection and testing method | |
CN115290587A (en) | Multichannel solution concentration detection method and device based on hollow optical fiber | |
JP2000304694A (en) | Method and apparatus for grading of tea leaf | |
CN114152583A (en) | Multi-optical-fiber two-dimensional spectrum analysis device based on CCD detection |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
S531 | Written request for registration of change of domicile |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314531 |
|
S804 | Written request for registration of cancellation of exclusive license |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R314805 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
EXPY | Cancellation because of completion of term |