JPH0868617A - Pattern inspection apparatus - Google Patents
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- JPH0868617A JPH0868617A JP6204795A JP20479594A JPH0868617A JP H0868617 A JPH0868617 A JP H0868617A JP 6204795 A JP6204795 A JP 6204795A JP 20479594 A JP20479594 A JP 20479594A JP H0868617 A JPH0868617 A JP H0868617A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はパターン検査装置に関
し、特に液晶画像表示装置の製品検査工程において、Ｌ
ＣＤパネル装置とバックライトとの間の介在するゴミに
より生じる黒点の検出用として利用されるパターン検査
装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a pattern inspection apparatus, and more particularly, to a pattern inspection apparatus in a product inspection process of a liquid crystal image display device.
The present invention relates to a pattern inspection apparatus used for detecting a black spot caused by dust interposed between a CD panel device and a backlight.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来の、この種のパターン検査装置にお
いては、検査対象のＬＣＤパネル製品を暗所に配置し、
バックライトを点灯させて、作業者が黒点の有無を観察
することにより行われており、このパターン検査装置の
自動化を図る際には、バックライトの照明むらにより黒
点の検出が困難となるという問題がある。また従来のパ
ターン検査装置の一例として、例えば特開平３−１４６
９９３号公報において提案されているカラー液晶画像表
示装置の検査方法においては、表示画面上の点欠陥また
は「むら」の検出が可能なものがあるが、当該「むら」
の中から黒点を安定に検出する手法については何等の提
案も為されていない。2. Description of the Related Art In a conventional pattern inspection apparatus of this type, an LCD panel product to be inspected is placed in a dark place,
This is done by turning on the backlight and observing the presence or absence of black spots by the operator. When automating this pattern inspection device, it is difficult to detect black spots due to uneven illumination of the backlight. There is. As an example of a conventional pattern inspection apparatus, for example, Japanese Patent Laid-Open No. 3-146.
In the inspection method of the color liquid crystal image display device proposed in Japanese Patent No. 993, there is one that can detect a point defect or "unevenness" on the display screen.
No method has been proposed for a method for stably detecting a black point from among the above.
【０００３】また、他の従来例としては、特開平４−５
２０９４号公報にパターン検査装置が提案されている。
図４（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、（ｅ）および
（ｆ）は、上記の特開平４−５２０９４号公報において
提案されているパターン検査装置の検査方法を説明する
ための模式図である。この従来例においては、表示欠陥
を安定して検出するために、２枚の画像の差をとること
により、ＬＣＤを撮像する際に取り込まれるパックライ
ト等に起因する「むら」の除去が行われている。図４
（ａ）および（ｂ）は、それぞれ全消灯パターンおよび
全点灯パターンを示しており、それぞれパターン上に欠
陥ｎが表示されている。これらの欠陥に対応する検査方
法としては、これらの両パターンが比較されて、両パタ
ーンにおける差画像が検出される。図４（ｃ）の比較パ
ターンに示されるように、全消灯パターンにおける欠陥
ｎの位置は、画像の濃淡レベルが低くなり、２値化した
場合に“０”レベルとして検出される。一方、図４
（ｄ）の基準パターンにおいては、欠陥検査を行う有効
エリアには点灯すべきパターンが作られており、これら
の比較パターンと基準パターンとは相互に比較されて、
その結果として、図４（ｆ）に示されるように有効な欠
陥ｎのみが検出される。Another conventional example is Japanese Patent Laid-Open No. 4-5.
No. 2094 proposes a pattern inspection apparatus.
4 (a), (b), (c), (d), (e) and (f) illustrate the inspection method of the pattern inspection apparatus proposed in the above-mentioned Japanese Patent Laid-Open No. 4-52094. FIG. In this conventional example, in order to stably detect a display defect, the difference between two images is taken to remove "unevenness" caused by a pack light or the like that is captured when the LCD is imaged. ing. FIG.
(A) and (b) show an all-off pattern and an all-on pattern, respectively, and a defect n is displayed on each pattern. As an inspection method corresponding to these defects, these two patterns are compared, and a difference image between the two patterns is detected. As shown in the comparison pattern of FIG. 4C, the position of the defect n in the all extinguished pattern has a low gray level of the image, and is detected as a “0” level when binarized. On the other hand, FIG.
In the reference pattern of (d), patterns to be lit are formed in the effective area where the defect inspection is performed, and these comparison patterns and the reference pattern are compared with each other.
As a result, only valid defects n are detected as shown in FIG.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】上述した従来のパター
ン検査装置においては、特開平３−１４６９９３号公報
による提案の場合には、ＬＣＤ表示画面上における「む
ら」の中に存在する黒点を安定に検出する手法が示され
ておらず、バックライトの照明「むら」により背景との
分離が困難な黒点を有効に検出することができないとい
う欠点がある。In the above-described conventional pattern inspection apparatus, in the case of the proposal of Japanese Patent Laid-Open No. 3-146993, the black spots existing in "mura" on the LCD display screen are stabilized. The method of detection is not shown, and there is a drawback in that it is not possible to effectively detect a black dot that is difficult to separate from the background due to the illumination “unevenness” of the backlight.
【０００５】また、特開平４−５２０９４号公報による
提案においては、２枚の画像の差をとることにより、Ｌ
ＣＤを撮像する際に取り込まれるバックライト等に起因
する「むら」を除去することはできるものの、ＬＣＤと
バックライトとの間に存在するゴミまたは異物による生
じる黒点に対しては、バックライトによる照射光という
同一条件においては、黒点部分のレベルが同一となるた
めに、２枚の画像の差をとることにより当該黒点が消滅
してしまい、当該黒点の検出が不可能になるという欠点
があり、更に、一枚の画像では、上記の「むら」が存在
するために、単純な２値化処理では黒点のみの分離が不
可能であるという欠点がある。Also, in the proposal of Japanese Patent Application Laid-Open No. 4-52094, the difference between two images is calculated to obtain
Although it is possible to remove "unevenness" caused by a backlight or the like taken in when capturing a CD, the backlight irradiates a black point caused by dust or foreign matter existing between the LCD and the backlight. Under the same condition of light, since the level of the black point portion is the same, there is a disadvantage that the black point disappears by taking the difference between the two images, making it impossible to detect the black point. Furthermore, since there is the above-mentioned "unevenness" in one image, there is a disadvantage that it is impossible to separate only the black points by simple binarization processing.
【０００６】[0006]
【課題を解決するための手段】本発明のパターン検査装
置は、ＬＣＤパネルとバックライトとの間に介在するゴ
ミによって生じる黒点部を検出するパターン検査装置に
おいて、所定の暗所内に配置される被検査物としての前
記ＬＣＤパネルに対する照射光を発生するバックライト
と、前記照射光の前記被検査物による透過光を受けて撮
像し、デジタル画像データを生成して出力する画像デー
タ生成手段と、前記画像データ生成手段より出力される
画像データを相関係数データに変換して出力する相関係
数変換手段と、前記相関係数データを２値化して２値画
像を生成して出力する２値化手段と、前記２値画像を参
照して、所定のＬＣＤパネルと前記バックライトとの間
に介在する黒点部の位置を、欠陥位置情報として検出し
て出力する欠陥位置検出手段と、を少なくとも備えて構
成されることを特徴としている。A pattern inspection apparatus according to the present invention is a pattern inspection apparatus for detecting a black dot portion caused by dust interposed between an LCD panel and a backlight, and is placed in a predetermined dark place. A backlight for generating irradiation light to the LCD panel as an inspection object; image data generating means for receiving and capturing an image of the irradiation light transmitted by the inspection object; and generating and outputting digital image data; Correlation coefficient conversion means for converting the image data output from the image data generation means into correlation coefficient data for output, and binarization for binarizing the correlation coefficient data to generate and output a binary image. Unit and the binary image, the position of a black dot portion interposed between a predetermined LCD panel and the backlight is detected as defect position information and is output as a defect position. Is characterized by being configured to include a detection means, at least.
【０００７】なお、前記画像データ生成手段は、前記透
過光を受けて光電変換し、前記被検査物に対応するアナ
ログ画像データを生成して出力する光電変換スキャナ
と、前記アナログ画像データをデジタル画像データに変
換して出力するＡ／Ｄ変換回路と、当該デジタル画像デ
ータを入力して一旦格納する画像メモリ回路とを備えて
構成してもよく、また、前記相関係数変換手段は、前記
画像メモリ回路から出力されるデジタル画像データを平
滑化し、平滑化画像データを生成して出力する平滑化回
路と、前記平滑化画像データを相関係数データに変換し
て出力する相関係数変換回路とを備えて構成してもよ
い。The image data generating means photoelectrically converts the transmitted light to generate analog image data corresponding to the object to be inspected and outputs the photoelectric conversion scanner, and the analog image data as a digital image. It may be configured to include an A / D conversion circuit for converting and outputting the data, and an image memory circuit for inputting and temporarily storing the digital image data, and the correlation coefficient converting means may be the image conversion circuit. A smoothing circuit that smoothes digital image data output from the memory circuit, generates smoothed image data and outputs the smoothed image data, and a correlation coefficient conversion circuit that converts the smoothed image data into correlation coefficient data and outputs the correlation coefficient data. May be provided.
【０００８】[0008]
【実施例】次に、本発明について図面を参照して説明す
る。Next, the present invention will be described with reference to the drawings.
【０００９】図１は本発明の一実施例を示すブロック図
である。図１に示されるように、本実施例は、暗所１２
内に配置される被試験物１に対して、当該被試験物１に
対応して、同じく暗所１２内に配置されるバックライト
２と、バックライトを点灯させるための駆動信号１０１
を出力するバックライト点灯回路３と、駆動信号１０１
によりバックライト２より出力される照射光１０２を受
けて、 試験物１から出力される透過光１０３を入力し
て光電変換し、画像情報に対応するアナログ信号１０４
を出力する光電変換スキャナ４と、当該アナログ信号１
０４を入力してデジタル信号１０５に変換して出力する
Ａ／Ｄ変換回路５と、デジタル信号１０５を入力して格
納する画像メモリ回路６と、画像メモリ回路６より出力
される画像データ１０６を受けて平滑化し、平滑化画像
信号１０７を出力する平滑化回路７と、平滑化画像デー
タ１０７を入力して相関係数データ１０８を出力する相
関係数変換回路８と、この相関係数データ１０８を２値
化して２値画像データ１０９を出力する２値化回路９
と、２値画像データ１０９を入力して欠陥位置情報１１
０を検出して出力する位置検出回路１０と、この欠陥位
置情報１１０を入力して格納する欠陥位置情報メモリ回
路１１とを備えて構成される。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention. As shown in FIG.
For the DUT 1 disposed in the inside, a backlight 2 also disposed in the dark place 12 corresponding to the DUT 1 and a driving signal 101 for lighting the backlight.
Backlight lighting circuit 3 that outputs
Receives the irradiating light 102 output from the backlight 2, inputs the transmitted light 103 output from the test object 1, performs photoelectric conversion, and converts the transmitted light 103 into an analog signal 104 corresponding to image information.
Photoelectric conversion scanner 4 for outputting the analog signal 1
A / D conversion circuit 5 that inputs 04 to convert it into a digital signal 105 and outputs it, an image memory circuit 6 that inputs and stores the digital signal 105, and image data 106 output from the image memory circuit 6 Smoothing circuit 7 for smoothing and outputting smoothed image signal 107, correlation coefficient conversion circuit 8 for inputting smoothed image data 107 and outputting correlation coefficient data 108, and this correlation coefficient data 108 Binarization circuit 9 for binarizing and outputting binary image data 109
And the binary image data 109 are input and the defect position information 11 is input.
It comprises a position detection circuit 10 for detecting and outputting 0, and a defect position information memory circuit 11 for inputting and storing the defect position information 110.
【００１０】図２（ａ）、（ｂ）、（ｃ）、（ｄ）、
（ｅ）および（ｆ）と、図３（ａ）および（ｂ）は、本
実施例における前記相関係数回路８および２値化回路９
の動作を説明するための図である。図２（ｄ）、（ｅ）
および（ｆ）は、それぞれ画像表示画面における黒点部
２０１および２０２の位置関係の一例を示しており、こ
れらの図においては、黒点部２０１および２０２の座標
系は、それぞれ（ｘ1 、ｙ1 ）および（ｘ2 、ｙ1 ）と
して示されている。また、図２（ａ）は、平滑化回路７
より出力される平滑化画像データ１０７を示しており、
図２（ｄ）に対応して、ｙ＝ｙ1 の線上における輝度レ
ベル（平滑化画像データ１０７）の分布がｘ軸に沿って
示されている。図２（ｂ）は、相関係数変換回路８より
出力される相関係数データ１０８を示しており、図２
（ｅ）に対応して、同じくｙ＝ｙ1 の線上における輝度
レベルの相関係数データ１０８の分布がｘ軸に沿って示
されている。図２（ｃ）は、図２（ｂ）に示されている
２値化レベル“Ｌ”を介して、２値化回路９より出力さ
れる２値画像１０９を示しており、図２（ｆ）に対応し
て、同じくｙ＝ｙ1 の線上における２値画像１０９の分
布がｘ軸に沿って示されている。また、図３（ａ）は、
ウィンドウサイズにおける画素の配置関係を示す図であ
り、図３（ｂ）は、直線度を算出するための相関係数関
係式を示す図である。2 (a), (b), (c), (d),
FIGS. 3E and 3F and FIGS. 3A and 3B show the correlation coefficient circuit 8 and the binarization circuit 9 in this embodiment.
6 is a diagram for explaining the operation of FIG. 2 (d), (e)
And (f) show an example of the positional relationship between the black spots 201 and 202 on the image display screen. In these figures, the coordinate systems of the black spots 201 and 202 are (x 1 , y 1 ), respectively. And (x 2 , y 1 ). Further, FIG. 2A shows a smoothing circuit 7
It shows the smoothed image data 107 output by
Corresponding to FIG. 2 (d), the distribution of luminance levels (smoothed image data 107) in the line of y = y 1 are shown along the x-axis. FIG. 2B shows the correlation coefficient data 108 output from the correlation coefficient conversion circuit 8.
Corresponding to (e), the distribution of the luminance level correlation coefficient data 108 on the line of y = y 1 is also shown along the x axis. 2C shows a binary image 109 output from the binarization circuit 9 via the binarization level “L” shown in FIG. 2B, and FIG. Similarly, the distribution of the binary image 109 on the line of y = y 1 is shown along the x-axis. In addition, FIG.
It is a figure which shows the arrangement | positioning relationship of the pixel in window size, and FIG.3 (b) is a figure which shows the correlation coefficient relational expression for calculating linearity.
【００１１】図１において、相関係数変換回路８におい
ては、平滑化回路７より出力される平滑化画像データ１
０７（図２（ａ）参照）は、相関係数変換回路８におい
て相関係数データ１０８（図２（ｂ）参照）に変換され
て、２値化回路９に入力される。この場合において、相
関係数変換回路８においては、図２（ａ）、図３（ａ）
および図３（ｂ）に示されるように、ウィンドウが設定
されて、その中において、位置ｘに対する輝度の相関係
数を直線度として、当該ウィンドウを１画素づつ逐次移
動させることにより、前記相関係数データ１０８が求め
られる。２値化回路９においては、前記相関係数データ
１０８が２値化されて、２値画像１０９が生成されて出
力されるが、図２（ａ）に示されるように、平滑化画像
データ１０７にノイズが殆んど存在しない場合には、
表示画面上における“むら”の輝度レベルの変化が広範
囲に亘って生じることと、黒点部２０１および２０２
の輝度レベルの変化が狭い範囲内において生じることの
２点より、輝度レベルの直線度を利用することによっ
て、黒点部２０１および２０２の部分の強調が図２
（ｂ）に示されるよう行われる。具体的には、直線度の
算出に当っては相関係数が用いられているために、緩や
かに変化する表示額面上の“むら”の部分においては直
線度が高くなり、黒点部２０１および２０２においては
直線度は低い値となる。逆に、ノイズの多い画像データ
の場合には、黒点部２０１および２０２を含む範囲にお
ける直線度が高くなり、周囲の直線度が低くなることに
よりノイズとの差別化を行うことができる。また、従来
のように微分値を用いる場合には、周囲との差分基準と
なるために、黒点部２０１および２０２とノイズとの区
別が困難になる。In FIG. 1, in a correlation coefficient conversion circuit 8, smoothed image data 1 output from a smoothing circuit 7 is output.
07 (see FIG. 2A) is converted into correlation coefficient data 108 (see FIG. 2B) in the correlation coefficient conversion circuit 8 and input to the binarization circuit 9. In this case, in the correlation coefficient conversion circuit 8, FIG. 2A and FIG.
As shown in FIG. 3 (b), a window is set, and the correlation coefficient of the luminance with respect to the position x is set as the linearity, and the window is sequentially moved pixel by pixel. The numerical data 108 is obtained. In the binarization circuit 9, the correlation coefficient data 108 is binarized and a binary image 109 is generated and output. However, as shown in FIG. 2A, the smoothed image data 107 is generated. If there is almost no noise in
The variation of the brightness level of "unevenness" on the display screen occurs over a wide range, and the black dots 201 and 202
Since the change in the brightness level occurs within a narrow range, the linearity of the brightness level is used to emphasize the black spots 201 and 202 in FIG.
This is performed as shown in FIG. More specifically, since the correlation coefficient is used in the calculation of the linearity, the linearity increases in the “uneven” portion on the display face, which changes gradually, and the black spots 201 and 202 are increased. Has a low linearity. Conversely, in the case of image data with a lot of noise, the linearity in the range including the black spots 201 and 202 is high, and the linearity in the surroundings is low, so that it is possible to differentiate from noise. Further, when a differential value is used as in the related art, it becomes difficult to distinguish between the black spots 201 and 202 and noise because the differential value is used as a reference for the difference from the surroundings.
【００１２】次に、相関係数データ１０８が入力される
２値化回路９においては、当該相関係数データ１０８が
２値化され、図２（ｃ）に示されるように、黒点部２０
１および２０２の位置に対応する２値画像１０９のみが
残留する状態で出力される。この２値画像１０９は、位
置検出回路１０に入力され、位置検出回路１０において
は、当該位置検出回路１０より黒点部２０１および２０
２に対応する位置情報が欠陥位置情報１１０として出力
され、欠陥位置情報メモリ回路１１に入力されて格納さ
れる。従って、本実施例においては、従来の微分値を使
用する場合に比較して、ノイズレベルに影響されること
がなく、また、微分値の大小に依存せずに、黒点部を強
調することが可能であり、表示画面における黒点部を安
定に検出することができる。Next, in the binarization circuit 9 to which the correlation coefficient data 108 is input, the correlation coefficient data 108 is binarized, and as shown in FIG.
Only the binary image 109 corresponding to the positions of 1 and 202 is output in a state where it remains. The binary image 109 is input to the position detection circuit 10, and in the position detection circuit 10, the black dot portions 201 and 20 are output from the position detection circuit 10.
The position information corresponding to 2 is output as the defect position information 110, and is input and stored in the defect position information memory circuit 11. Therefore, in the present embodiment, it is possible to emphasize the black spot portion without being affected by the noise level and irrespective of the magnitude of the differential value, as compared with the case where the conventional differential value is used. It is possible, and a black spot on the display screen can be stably detected.
【００１３】[0013]
【発明の効果】以上説明したように、本発明は、製品検
査工程におけるＬＣＤパネル装置とバックライトの間に
介在するゴミに起因する黒点部を検出するパターン検査
装置に適用されて、バックライトによる被検査物からの
透過光を介して得られる画像データの相関係数データを
求め、当該相関係数データを所定レべルを介して２値化
することにより、ノイズに影響されることなく前記黒点
部の位置を確実に検出することができるという効果があ
る。As described above, the present invention is applied to a pattern inspection apparatus for detecting a black spot caused by dust between an LCD panel device and a backlight in a product inspection process. The correlation coefficient data of the image data obtained through the transmitted light from the inspection object is obtained, and the correlation coefficient data is binarized through a predetermined level, so that the correlation coefficient data is not affected by noise. There is an effect that the position of the black spot can be reliably detected.
【図１】本発明の一実施例を示すブロック図である。FIG. 1 is a block diagram showing an embodiment of the present invention.
【図２】本実施例における相関係数回路および２値化回
路の動作説明図である。FIG. 2 is an operation explanatory diagram of a correlation coefficient circuit and a binarization circuit in the present embodiment.
【図３】直線度の算出およびウィンドウサイズを示す図
である。FIG. 3 is a diagram illustrating calculation of linearity and a window size.
【図４】従来例の表示変化方法を示す模式図である。FIG. 4 is a schematic diagram showing a conventional display change method.
１ 被検査物 ２ バックライト ３ バックライト点灯回路 ４ 光電変換スキャナ ５ Ａ／Ｄ変換回路 ６ 画像メモリ回路 ７ 平滑化回路 ８ 相関係数変換回路 ９ ２値化回路 １０ 位置検出回路 １１ 欠陥位置情報メモリ回路 １２ 暗所 REFERENCE SIGNS LIST 1 inspection object 2 backlight 3 backlight lighting circuit 4 photoelectric conversion scanner 5 A / D conversion circuit 6 image memory circuit 7 smoothing circuit 8 correlation coefficient conversion circuit 9 binarization circuit 10 position detection circuit 11 defect position information memory Circuit 12 dark place
Claims (3)
トとの間に介在するゴミまたは異物によって生じる黒点
部を検出するパターン検査装置において、 所定の暗所内に配置される被検査物としての前記ＬＣＤ
パネルに対する照射光を発生するバックライトと、 前記照射光の前記被検査物による透過光を受けて撮像
し、デジタル画像データを生成して出力する画像データ
生成手段と、 前記画像データ生成手段より出力される画像データを相
関係数データに変換して出力する相関係数変換手段と、 前記相関係数データを２値化して２値画像を生成して出
力する２値化手段と、 前記２値画像を参照して、所定のＬＣＤパネルと前記バ
ックライトとの間に介在する黒点部の位置を、欠陥位置
情報として検出して出力する欠陥位置検出手段と、 を少なくとも備えて構成されることを特徴とするパター
ン検査装置。1. A pattern inspection apparatus for detecting a black dot portion caused by dust or foreign matter interposed between an LCD (liquid crystal display) panel and a backlight, wherein the LCD as an inspection object placed in a predetermined dark place.
A backlight that generates irradiation light for the panel, an image data generation unit that receives the transmitted light of the irradiation light by the inspection object, captures an image, generates digital image data, and outputs the image data, and outputs from the image data generation unit Coefficient conversion means for converting the image data to be converted into correlation coefficient data for output, binarization means for binarizing the correlation coefficient data to generate and output a binary image, and the binary value A defect position detecting means for detecting the position of a black dot portion interposed between a predetermined LCD panel and the backlight as defect position information with reference to the image and outputting the defect position information. Characteristic pattern inspection device.
を受けて光電変換し、前記被検査物に対応するアナログ
画像データを生成して出力する光電変換スキャナと、前
記アナログ画像データをデジタル画像データに変換して
出力するＡ／Ｄ変換回路と、当該デジタル画像データを
入力して一旦格納する画像メモリ回路とを備えて構成さ
れる請求項１記載のパターン検査装置。2. A photoelectric conversion scanner, wherein the image data generating means photoelectrically converts the transmitted light to generate analog image data corresponding to the object to be inspected, and outputs the analog image data as a digital image. 2. The pattern inspection apparatus according to claim 1, comprising an A / D conversion circuit that converts the data into data and outputs the data, and an image memory circuit that receives and temporarily stores the digital image data.
リ回路から出力されるデジタル画像データを平滑化し、
平滑化画像データを生成して出力する平滑化回路と、前
記平滑化画像データを相関係数データに変換して出力す
る相関係数変換回路とを備えて構成される請求項１記載
のパターン検査装置。3. The correlation coefficient conversion means smoothes the digital image data output from the image memory circuit,
The pattern inspection according to claim 1, further comprising a smoothing circuit that generates and outputs smoothed image data, and a correlation coefficient conversion circuit that converts the smoothed image data into correlation coefficient data and outputs the correlation coefficient data. apparatus.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6204795A JP2595906B2 (en) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | Pattern inspection equipment |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6204795A JP2595906B2 (en) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | Pattern inspection equipment |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0868617A true JPH0868617A (en) | 1996-03-12 |
| JP2595906B2 JP2595906B2 (en) | 1997-04-02 |
Family
ID=16496491
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6204795A Expired - Lifetime JP2595906B2 (en) | 1994-08-30 | 1994-08-30 | Pattern inspection equipment |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2595906B2 (en) |
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1994
- 1994-08-30 JP JP6204795A patent/JP2595906B2/en not_active Expired - Lifetime
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