JPH0865926A - 自律式空圧発生装置 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 テーブル上や移動体上で加工・移動のための
ワークのクランピング等の無接触制御動作を図る。 【構成】 固定部から高周波誘導伝送を行うカップリン
グを介してテーブル上や移動体上へ電力の送電と情報の
授受を行い、そのテーブルや移動体に固定したパレット
上に展開し配設した自律空圧発生装置を駆動し制御して
成る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、真空吸着，エアアクチ
ュエータ駆動，エアブロー等空気圧を用いた一連の作業
を回転体や移動物体上においても自在に行えるように構
成した自立式空圧発生装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】従来技術としての工作機械，荷役機械等
の分野においては、エアアクチュエータの応答高速化と
クリーン化に照らし、パワー発生現は時代の推移と共に
流体から電気へと切り替わって来ている。然し、グリッ
パやクランパ，チャック等の加工物［以下、『ワーク』
という］を直接ハンドリングする部分における動力とし
ては、配管及びパワー断続等の問題点があるにもかかわ
らず、機構の簡便さ、トルクあるいは圧力制御の容易性
の観点より未だに空圧の適用が一般的である。これは、
電気アクチュエータが、配線やパワーの断続し易さの点
では優れているものの、基本的にはロータリタイプであ
り把持や締め付けのために、その先に取り付けられる機
構が複雑，大型化するためである。例えば、ワークを工
作機械のテーブル上の治具に固定して加工する場合、そ
の固定方法としては人手によるネジ、カムのクランピン
グが一般的であるが、一部ではその自動化のため空圧に
よるクランピングや真空チャッキングが採用されてい
る。この場合には通常コンプレッサユニットを固定側に
据置き、これを駆動させて空気を圧縮したのち送り込
み、レギュレータと電磁弁を経てシリンダを動かし空圧
アクチュエータを制御する、あるいは真空発生装置にお
いて真空状態を発生させ大気圧との差圧でワークをパレ
ットに吸着固定するなどを行っている。従って、いずれ
の場合にもコンプレッサからクランプあるいは吸着ユニ
ットまでは配管が不可欠である。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
従来の各手段では次のような問題点があった。すなわ
ち、横型マシニングセンタのパレット治具やトランスフ
ァーマシンの治具の場合はパレット（治具）が移動する
ため、このような配管を行うことはできず、結果的にワ
ーク固定には空圧がほとんど使用できなかった。また、
直動ローダなどにおいてグリッパがワークを把持して移
動する場合、グリッパ用空圧アクチュエータやバキュー
ムパッドと固定側の空気発生源との間は直動部の移動と
並送するケーブルベア内の配管によって行わざるを得な
い。この様な構成は、ダクトなど付帯設備への初期投資
の増加と長期稼働の長期信頼性低下に繋がっていた。さ
らにまた、マシニングセンタ用などのクランピング治具
を空圧で行うとしても、特定の場所以外では圧力を作動
させる必要がないため、加工物を固定した後は、圧力を
保持できればコンプレッサを駆動させなくとも良く、コ
ンプレッサ駆動用電動機への電源供給装置を特定の場所
に設置して自動給電することできれば、治具の加工物固
定装置（パレット）を自律化させ簡素な構成にすること
できることが想定される。ここにおいて、本発明は、電
極を用いない簡便な嵌合での電力及び情報の伝送を行
い、配管を張り巡らしたり空圧のカップラとバルブの操
作を人手に頼っていた従来の方法に替わる、画期的な空
圧駆動システムの着想に基づいた自律式空圧発生装置を
提供すことを目的とする。

【０００４】

【課題を解決するための手段】上記問題点を解決するた
めに、本発明は、高周波電磁誘導を用い固定部の給電部
から無接触で他の回転体や移動体の受電部へ電力を供給
する装置により、回転体や移動体に搭載したコンプレッ
サ用電動機，コンプレッサ，フィルタ，レギュレータ，
ルブリケータ，電磁弁および搭載アクチュエータの空気
シリンダから成る自律空圧発生装置を駆動して空圧を発
生するとともに、無接触で情報伝送により電磁弁切替え
を制御し、発生空圧のアクチュエータへの制御を行う自
律式空圧発生装置であり、また多回転テーブル上の空圧
制御に対しては回転対応型の、高周波電磁誘導を用いた
無接触電力および情報伝送装置をそれぞれ用いて連続し
て電力と情報を伝送し、テーブルや移動体上で空圧を発
生し、それを制御する自律式空圧発生装置であり、さら
に直動移動体上の空圧制御に対しては直動移動型の高周
波電磁誘導を用いた無接触電力および情報伝送装置をそ
れぞれ用いて連続して電力と情報を伝送し、テーブルや
移動体上で空圧を発生し、それを制御する自律式空圧発
生装置であり、さらにまた分離移動体上の空圧制御に対
しては、分離と結合が可能な分割型無接触での電力およ
び情報伝送装置を用い、移動体側を前記伝送装置の固定
側から分離状態においても逆止弁により空圧力を保持
し、電力および情報の入力が遮断されても空圧による吸
着パットやクランパを動作させ続ける自律式空圧発生装
置であり、しかも、逆止弁に代表される保持機構に替え
て常時のローディング力、クランプ力をばねに代表され
る機械力によって保ち、アンローディング、アンクラン
プ動作においては、機械力に対抗できる力を発生空圧に
より作り出して初期の作業を行う自律式空圧発生装置で
あり、しかもなおロボットハンドや工作機械主軸先端、
直動ローダ先端、あるいは円テーブル上の空圧アクチュ
エータ、真空パット、真空チャック、エアプロー、さら
には自律移動するパレット上のワーククランプあるいは
チャック等移動体への、固定部からの外部配管を施さ
ず、それぞれ移動体での自律空圧発生手段を機能させる
これまでの項のいずれかの項に記載の自律式空圧発生装
置である。

【０００５】

【作用】本発明は、回転体上にコンプレッサ、レギュレ
ータを始めとする空圧発生回路とそれを制御駆動する一
つの電気回路、さらには伝送高周波電力をコンプレッサ
用電動機駆動電力に変換制御するもう一つの電気回路を
搭載し、固定部である外部との切口は環境の影響を受け
にくい無接触の高周波電磁誘導による電力及び情報の伝
送部とすることによって空圧発生部を自律化し、その結
果、外部の空圧配管は一切無くなり、配管を張り巡らし
たり、空圧のカップラとバルブの操作など人手に頼って
いた従来の空圧駆動方法に替わって、自動化が可能とな
る。さらには、従来技術では不可能な工作機械加工等に
おける移動パレット上での空圧クランピングやチャッキ
ングが可能となるから、産業の全自動化ができる。

【０００６】

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。図１は、本発明の一実施例の空圧発生自律化の原
理を示す自律式空圧発生装置の概略構成図である。空圧
発生源のコンプレッサ１は、搭載移動が可能なように小
型化軽量化されており、無接点の電力および情報伝送に
よってその駆動用の電動機及び電磁弁等を制御するコン
トローラ15が駆動される。コンプレッサ１の圧縮動作に
よって圧力上昇した圧縮空気13は、フイルタ３によって
水分と塵を取り除かれたのち、レギュレータ４で圧力調
整される。さらに必要に応じてルプリケータ５を通して
配管内に霧状の油13a を送り込む。ルプリケータ５を通
過した圧縮空気13の空圧は電磁弁６によって流路を切替
えられ、空圧シリンダ７を例えば往復動（→Ａあるいは
Ｂ←）へと駆動制御する。

【０００７】 ここで、環境次第では上記の電力および
情報の伝送を接点により行うことも考えられるが、機械
加工現場においては切り粉の発生や切削油の問題により
安定な伝送は不可能である。これに対し、原理的には２
個のＥ型の高周波磁性体コア［図２(a) ］のそれぞれの
中心脚部に巻線を巻回して僅かの空隙を介して対向さ
せ、１次側伝送部と２次側伝送部とするような高周波磁
性材料コアを採用する、分割型変圧器を用いた高周波電
磁誘導による伝送手段［図２(b) ］を採用すれば、切り
粉による短絡、切削油の介入による導通不良、そして嵌
合不良による伝送断続などの問題が解決される。すなわ
ち、図２ないし図４に無接触高周波誘導による電力・情
報の伝送手段を幾つかの実施例を斜視図・ブロック結線
図で示す。

【０００８】 そこで、いずれのコアも高周波磁性体を
適用して、図３の回転対応型［(a) ある実施例の受電側
斜視図、(b) ある実施例の給電側斜視図、(c) ある実施
例の受電側・給電側を対向させたときの側面図、(d) ほ
かの実施例の受電側側断面図、(e) ほかの実施例の給電
側側断面図、(f) ほかの実施例の受電側正断面図］、図
４(a) のような直動対応型、そして、図４(b) に示すＣ
型の磁路開閉式高周波磁性体コアに１次側伝送部の一部
に巻線を巻回し、Ｃ型のコアの切れ目に図４(a) のよう
な２次側伝送部の多巻回された巻線の一辺が挿入され
て、図４(a) のように直動移動［挿入方向に対してその
前後(x) 移動］させるとともに、それと直角なＣ型［19
_a ］のコアの内部［19_b ］を縦方向に垂直(z) 移動も可
能［コアか巻線のいずれが固定か移動かは問わない］に
した分離／結合型などの分割変圧器を用いた高周波電磁
誘導による電力，情報の伝送手段が可能である。

【０００９】 ところで、電力伝送に関しては当然、接
点式に比べ伝送の効率は低いが、負荷としてのコンプレ
ッサ電動機１は短時間動作であり、パワ伝送効率や伝送
パワ密度が劣る点は実質的には問題とならない。なお、
電力伝送部は１次側と２次側の１対の高周波電磁誘導に
よる伝送手段で足りるが、情報伝送部は１次側と２次側
で４対の高周波電磁誘導による伝送手段［図２(b) 参
照］を設ける方が好ましい。

【００１０】 上述の無接触電力および情報伝送の形態
［回転対応・図３、直動対応図４(a) 、分離／結合型図
・４(b) ］に応じて、それぞれ多回転円テーブル上の空
圧駆動制御、リニアローダなど直動移動体上の空圧駆動
制御、そしてパレットなど分離移動体の上での空圧駆動
制御が実現される。この内、回転対応および直動対応の
伝送は、物理的に連続した伝送が可能であるので、コン
プレッサ１の定格の範囲内で連続して空圧の発生や真空
（バキューム）吸着が可能である。一方、分離／結合型
は［分離／結合型図・４(b) ］、移動体が固定部から離
れることによって電力および情報の伝送が中断するの
で、空圧の働かせ方や保持方法に一考を要する。

【００１１】 例示すれば図５に表すような、マシニン
グセンタ加工治具パレットの自動クランピングに空圧を
用いる場合、移動中にはコンプレッサ電動機への電力供
給が容易にはできない。例えば、ワーク30をワーク搬入
ローディング（Ｌ）で自動化対象31のパレット26にクラ
ンプ35_a , 35_b …( 例えば４個) を適用してクランプす
るときに、固定側クランプ動力源（例えば空圧）28から
配管など27_a を経て、リングカップリング29_a と29_b を
介して空圧力28_a が自動化対象31へ伝送されるが、ワー
ククランプ後にリングカップリング29_a と29_b を離脱さ
せ、長距離移動32を経由して、マシニングセンタ23にお
いてＮＣ制御盤22からの加工制御指令に基づき、工作機
主軸24に装置したツール25でワーク30が切削加工される
場合に、固定側クランプ動力源28は固定であるから、そ
れからマシニングセンタ23への配管など27_b を経て動力
などを加えることは不可能である。

【００１２】 つまり、動力などの供給点33における電
気配線も空圧用配管などは施行不可能である。また、ワ
ーク加工後に逆の経路を辿り、ワーク30をパレット26か
らアンクランプしワーク搬出アンローディング（Ｕ）す
るときも同様である。これに対しては、逆止弁のような
ものを使って圧力を保持することが着想されるが、空圧
の場合は油圧制御のようには圧力の保持機能が期待でき
ない。従って、自動化を実現するための方法として空圧
の働かせ方を図６の本発明の他の実施例のように変更す
る。すなわち、図６のマシニングセンタ加工用治具パレ
ット上の自動クランピング手段では、コンプレッサ１(
図１参照) が動作していない状態（移動時、加工時）で
は、バネ34の力によってワーク１がパレット26にクラン
プされている。ワーク取付け、取外し時のアンクランプ
およびクランプ作業はバネ力に抗したクランプアーム35
の持ち上げ、持ち下げの形で行われる。

【００１３】 ここで、パレット26の内部には、図１に
示した自律空圧発生回路150 ［主として１〜７,11,13〜
15を含む］が搭載されており、パレット26の外壁には図
４(b) の分離／結合対応型の電力および情報伝送装置が
取付けられている。図６に示す空圧とバネ反力を利用し
た自動クランピングの構成により、自動化されたクラン
ピングおよびアンクランピングの手順は以下の通りであ
る。まず、パレット26の給電のための位置決めは完了し
ているものとする。クランピング作業は、図７のクラン
ピングおよびアンクランピングの自動化システム構成図
に示すように、上位コントローラ例えばシーケンサ40の
指令に基づいて自動的に行う。

【００１４】 固定側の伝送装置45はシーケンサ40から
のクランプ開始信号に基づきスライダ(SL)を使った押出
し機構43により、図４(b) の分離／結合対応型の電力お
よび情報伝送装置の結合が行われる。リミットスイッチ
や光学的検出により嵌合完了を確認した後に、伝送装置
45は１次巻線電力伝送用と１次巻線情報伝送用における
高周波励磁を開始する。この高周波電力は高周波電磁誘
導によってパレット側に伝達され、図７中の整流回路11
で直流に変換された後、コンプレッサ電動機２に供給さ
れる。これによりコンプレッサ１を起動した後、ある時
間経過すると圧縮空気圧13が上昇し始めるが、さらに固
定側からの情報伝送によって電磁弁６をオンにすれば、
シリンダ７がバネ力に打ち勝ってクランプアーム35_a 〜
35_d を持ち上げる(L) 。

【００１５】 この状態で、パレット26上に加工ワーク
30を設置し芯出し作業を行う。ここで、電磁弁６の駆動
には先述の整流後の高周波パワの一部が使われる。芯出
し後、電磁弁６を切り替えてクランプアーム35_a ( 図６
参照) を下げる方向にシリンダ７を移動させることによ
って、バネ34( 図６参照) 力によるワーク30のクランピ
ング (Ｌ) が終了する。このクランピング完了を固定側
伝送装置45がパレット上のセンサ情報［帰還情報］など
で確認してから、電力および情報伝送用の機械的な結合
が解除される。このようにして作業パレット部26全体
は、バネ力によってワーク30をクランプしたまま固定側
装置200 から切り離され自律移動可能となるので、搬送
装置によりそのまま加工工程に搬入することができる。

【００１６】 一方、アンクランプ作業はクランプ時と
同様に、加工を終了し定位置に戻ったパレット部26に対
する電力、情報伝送装置の結合から始まる。動作はワー
ク30の芯出し作業に先立つクランピングの準備時の動作
と同様である。移動、加工時間が短時間であり、逆止弁
によって圧力（あるいは真空吸着）状態の保持が可能な
場合は、図８に示す本発明の別の実施例のような真空吸
着を用いたパレット部26上のワーククランピング装置を
構成することができる。ここで、作業パレット部26の上
面には、空圧分岐管52につながった複数の真空吸着ユニ
ット53_a,53_b,53_c …が取付けられており、作業パレット
部26内部には、このクランピングの自動化を可能にする
自律真空吸着回路160 ［１，３〜５, 13などで構成］が
配置されており、自律真空吸着回路160 から電磁弁（電
磁ソレノイド）６を介して空圧13_a は真空発生装置50を
経て、真空保持装置（逆止弁）51から空圧分岐管52を経
由して真空吸着ユニット53_a 〜53_c へ至り、ワーク30を
クランプする。つまり、自律真空吸着回路160 の中身
は、真空発生部50と真空保持装置( 逆止弁)51 などを除
いてほぼ図１の構成と同じである。

【００１７】 この構成にて、作業パレット部26上への
ワーククランピンプおよびアンクランプ作業の自動化を
可能にする手順は、バネ反力を利用する図６(b) 、図７
の場合と同様である。そこで、本発明のこの別の実施例
において説明した手段は、ロボットハンドや工作機械主
軸先端、直動ローダ先端、あるいは円テーブル上の空圧
アクチュエータ、真空パット、真空チャック、エアブロ
ー、さらには自律移動するパレット上のワーククランプ
あるいはチャックなどの搭載された移動体への、固定部
からの外部配管を施行を施さず、それぞれ機能させる自
律式空圧発生装置であると言える。

【００１８】

【発明の効果】以上述べたように本発明によれば、回転
体上にコンプレッサ、レギュレータを始めとする空圧発
生回路とそれを制御駆動する一つの電気回路、さらには
伝送高周波電力をコンプレッサ用電動機駆動電力に変換
制御するもう一つの電気回路を搭載し、固定部である外
部との切口は環境の影響を受けにくい無接触の高周波電
磁誘導による電力及び情報の伝送部とすることによって
空圧発生部を自律化し、その結果、外部の空圧配管は一
切無くなり、配管を張り巡らしたり、空圧のカップラと
バルブの操作など人手に頼っていた従来の空圧駆動方法
に替わって、自動化が可能であり、画期的な空圧駆動制
御システムが実現できる。特に、従来技術では難しかっ
た工作機械加工等における移動パレット上での空圧クラ
ンピングやチャッキングが可能となり、産業の自動化に
貢献するところが極めて大であるという特段の効果を奏
することができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明による空圧発生自律化の原理を表す一実
施例の構成ブロック図

【図２】本発明における無接触高周波電磁誘導に基づく
電力・情報の伝送を行う手段の説明図 (a) 原理的斜視図 (b) 回路構成を示すブロック結線図

【図３】本発明のある実施例［回転対応型］の無接触高
周波電磁誘導に基づく電力・情報の伝送を行う手段の説
明図 (a) ある実施例の受電側斜視図 (b) ある実施例の給電側斜視図 (c) ある実施例の受電側・給電側を対向させたときの側
面図 (d) ほかの実施例の受電側側断面図 (e) ほかの実施例の給電側側断面図 (f) ほかの実施例の受電側正断面図

【図４】本発明のさらなる実施例の無接触高周波電磁誘
導に基づく電力・情報の伝送を行う手段の斜視図 (a)直動型 (b)分離／結合型

【図５】マシニングセンタ加工用治具パレット上の自動
クランピングの説明図

【図６】本発明の一実施例における空圧とバネ力を利用
した自動クランピング作業の説明図

【図７】本発明の他の実施例におけるクランピングとア
ンクランピングの自動化システムを示す構成ブロック図

【図８】本発明の別の実施例におけるクランピングとア
ンクランピングの自動化システムを示す構成ブロック図

【符号の説明】

１ コンプレッサ ２ コンプレッサ電動機 ３ フィルタ ４ レギュレータ ５ ルプリケータ ６ 電磁弁 ７ 空圧シリンダ ８ 高周波分割変圧器 11 整流回路 12_a コンプレッサ等への直流電力 12b 情報処理部等への供給電源 13 圧縮空気 13_a 霧状の油［必要に応じて送り込む］ 13_p 流体圧 (空圧) 導管 14 情報処理部 14_a 制御情報 14_b 帰還情報 15 コンプレッサ電動機２及び電磁弁６のコントローラ 15_a コントローラ15からコンプレッサ電動機２及び電
磁弁６への制御情報 15_b コンプレッサ電動機２及び電磁弁６からコントロ
ーラ15への帰還情報 16 高周波電磁誘導電力 17 高周波電磁誘導情報 18 高周波磁性体コア［２次側・回転側ポットコア］ 189 高周波磁性体コア［直動型における１次側・２次
側兼用］ 19 高周波磁性体コア［１次側・固定側ポットコア］ 19_a 磁路開閉式高周波磁性体コア［固定部］ 19_b 磁路開閉式高周波磁性体コア［開閉移動部］ 20 受電側トランス 20_a ２次巻線［受電側巻線］ 20_b 受電側フレーム 21 給電側トランス 21_a １次巻線［給電側巻線］ 21_b 給電側フレーム 22 ＮＣ制御盤 23 マシニングセンタ 24 主軸 25 ツール 26 パレット 27_a,27_b 流体圧 (空圧) 導管 28 固定側クランプ動力源 29_a 自動流体カップリング［固定側］ 29_b 自動流体カップリング［移動側］ 30 ワーク 31 自動化対象 32 長距離移動 33 配線・配管不可能表示点 34 バネ 35_a,35_b クランプアーム［例えば４個35_a,35_b,35_c,35
_d 設置］ 40 上位コントローラ［シーケンサ等］ 41 上位コントローラ40からの指令情報 42 伝送装置45から上位コントローラ40への帰還情報 43 スライド押し出し機構制御部 44 スライド押し出し部 45 伝送装置 50 真空発生装置 51 真空保持装置( 逆止弁) 52 空圧分圧支管 53_a,53_b,53_c 真空吸着ユニット 100 固定部 200 自立空圧発生部［自律移動上あるいは多回転体
上］ Ａ→，Ｂ← 往復動 Ｌ ワーク搬入ローディング Ｕ ワーク搬入アンローディング ＳＬ スライド

フロントページの続き (72)発明者 平賀 義二 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内 (72)発明者 木場 龍彦 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内 (72)発明者 若生 秀明 福岡県北九州市八幡西区黒崎城石２番１号 株式会社安川電機内 (72)発明者 青山 義雄 愛知県名古屋市昭和区吹上町１丁目65番地 ２

Claims (9)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 高周波電磁誘導を用い固定部の給電部か
   ら無接触で他の回転体の受電部へ電力を供給する装置を
   備え、前記回転体に搭載したコンプレッサ用電動機，コ
   ンプレッサ，フィルタ，レギュレータ，ルブリケータ，
   電磁弁および搭載アクチュエータの空気シリンダ等から
   成る自律空圧発生装置を駆動して空圧を発生するととも
   に、無接触で前記高周波電磁誘導を用い情報伝送により
   電磁弁切替えを制御し、発生空圧のアクチュエータ等へ
   の制御を行うことを特徴とする自律式空圧発生装置。
2. 【請求項２】 高周波電磁誘導を用い固定部の給電部か
   ら無接触で他の移動体の受電部へ電力を供給する装置を
   備え、前記移動体に搭載したコンプレッサ用電動機，コ
   ンプレッサ，フィルタ，レギュレータ，ルブリケータ，
   電磁弁および搭載アクチュエータの空気シリンダ等から
   成る自律空圧発生装置を駆動して空圧を発生するととも
   に、無接触で前記高周波電磁誘導を用い情報伝送により
   電磁弁切替えを制御し、発生空圧のアクチュエータ等へ
   の制御を行うことを特徴とする自律式空圧発生装置。
3. 【請求項３】 多回転テーブル上の空圧制御に対しては
   回転対応型の、前記高周波電磁誘導を用いた無接触電力
   および情報伝送装置をそれぞれ用いて連続して電力と情
   報を伝送し、テーブル上で空圧を発生し、それを制御す
   ることを特徴とする自律式空圧発生装置。
4. 【請求項４】 多回転テーブル上の空圧制御に対しては
   回転対応型の、前記高周波電磁誘導を用いた無接触電力
   および情報伝送装置をそれぞれ用いて連続して電力と情
   報を伝送し、移動体上で空圧を発生し、それを制御する
   ことを特徴とする自律式空圧発生装置。
5. 【請求項５】 直動移動体上の空圧制御に対しては直動
   移動型の、前記高周波電磁誘導を用いた無接触電力およ
   び情報伝送装置をそれぞれ用いて連続して電力と情報を
   伝送し、テーブル上で空圧を発生し、それを制御するこ
   とを特徴とする自律式空圧発生装置。
6. 【請求項６】 直動移動体上の空圧制御に対しては直動
   移動型の、前記高周波電磁誘導を用いた無接触電力およ
   び情報伝送装置をそれぞれ用いて連続して電力と情報を
   伝送し、移動体上で空圧を発生し、それを制御すること
   を特徴とする自律式空圧発生装置。
7. 【請求項７】 分離移動体上の空圧制御に対しては、分
   離と結合が可能な分割型無接触での電力および情報伝送
   装置を用い、移動体側を前記伝送装置の固定側から分離
   状態においても逆止弁により空圧力を保持し、電力およ
   び情報の入力が遮断されても空圧による吸着パットやク
   ランパを動作させ続けることを特徴とする自律式空圧発
   生装置。
8. 【請求項８】 逆止弁等の保持機構に替えて常時のロー
   ディング力、クランプ力をばね等の機械力によって保
   ち、アンローディング、アンクランプ動作においては、
   前記機械力に対抗できる力を発生空圧により作り出して
   初期の作業を行うことを特徴とする自律式空圧発生装
   置。
9. 【請求項９】 ロボットハンドや工作機械主軸先端、直
   動ローダ先端、あるいは円テーブル上の空圧アクチュエ
   ータ、真空パット、真空チャック、エアプロー、さらに
   は自律移動するパレット上のワーククランプあるいはチ
   ャック等移動体への、固定部からの外部配管を施さず、
   それぞれ移動体での自律空圧発生手段を機能させること
   を特徴とする請求項１ないし請求項８のいずれかの項に
   記載の自律式空圧発生装置。