JPH0863971A - Semiconductor device - Google Patents

Semiconductor device

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JPH0863971A
JPH0863971A JP6203446A JP20344694A JPH0863971A JP H0863971 A JPH0863971 A JP H0863971A JP 6203446 A JP6203446 A JP 6203446A JP 20344694 A JP20344694 A JP 20344694A JP H0863971 A JPH0863971 A JP H0863971A
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JP
Japan
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circuit
control signal
word line
memory cell
generation circuit
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Application number
JP6203446A
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Japanese (ja)
Inventor
Masahiro Ishiyama
裕浩 石山
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Panasonic Holdings Corp
Original Assignee
Matsushita Electronics Corp
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Filing date
Publication date
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Abstract

PURPOSE: To provide a reliable operation of memory function using an internal control signal with a minute error by supplying a control signal generated by using the control signal generation circuit to peripheral circuits of the semiconductor device provided with a memory cell array through a signal line equivalent to a word ling in capacity. CONSTITUTION: The internal control signals generated by the use of the circuit signal generation circuit 2 are fed to the input/output circuit 1, a column decoder 4, a sense amplifier 6, a row decoder 3, a precharge circuit 7 and an equalizer circuit 8 which compose the peripheral circuits of the memory cell array 5 through the word line capacity equivalent signal line 9. Through this system, the internal control signal with a minimum error taking account of the actual word line operation is easily generated to enable a reliable operation of memory function, providing a fast, energy-saving semiconductor memory device.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、メモリセルアレイを備
えた半導体装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a semiconductor device having a memory cell array.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、半導体装置のメモリセルアレイを
制御する場合には、入出力回路から入力したアドレス情
報等にもとづいて、制御信号発生回路より制御信号を発
生し、発生した制御信号をメモリセルアレイの周辺回路
に供給することにより、メモリセルアレイへの書き込み
あるいは読み出し動作を行っている。この周辺回路とし
ては、たとえば、入出力回路、ロウデコーダ、コラムデ
コーダ、センスアンプ、プリチャージ回路、イコライズ
回路等がある。
2. Description of the Related Art Conventionally, when controlling a memory cell array of a semiconductor device, a control signal generating circuit generates a control signal based on address information input from an input / output circuit, and the generated control signal is applied to the memory cell array. By supplying the data to the peripheral circuit of, the writing or reading operation to the memory cell array is performed. The peripheral circuits include, for example, an input / output circuit, a row decoder, a column decoder, a sense amplifier, a precharge circuit, an equalize circuit and the like.

【0003】以下、従来の半導体装置について図面を参
照しながら説明する。図5は、従来の半導体装置のブロ
ック図であり、1は入出力回路、2は入出力回路1から
入力された情報にもとづいて制御信号を発生する制御信
号発生回路、3は制御信号発生回路2から発生された選
択信号からロウアドレスを選択するロウデコーダ、4は
制御信号発生回路2から発生された選択信号からコラム
アドレスを選択するコラムデコーダ、5はロウデコーダ
3とコラムデコーダ4で選択されたデータを記憶するメ
モリセルアレイ、6は制御信号発生回路2から発生され
たセンスアンプ駆動信号によりメモリセルアレイ5から
ロウデコーダ3とコラムデコーダ6で選択されたメモリ
情報を増幅させるセンスアンプ、7は制御信号発生回路
2から発生されたプリチャージ回路駆動信号によりメモ
リセルアレイ5のプリチャージを行うプリチャージ回
路、8は制御信号発生回路2から発生されたイコライズ
回路駆動信号によりメモリセルアレイ5のイコライズを
行うイコライズ回路である。
A conventional semiconductor device will be described below with reference to the drawings. FIG. 5 is a block diagram of a conventional semiconductor device, in which 1 is an input / output circuit, 2 is a control signal generation circuit for generating a control signal based on information input from the input / output circuit 1, and 3 is a control signal generation circuit. 2 is a row decoder that selects a row address from a selection signal generated from 2; 4 is a column decoder that selects a column address from a selection signal generated from the control signal generation circuit 2; and 5 is selected by the row decoder 3 and the column decoder 4. A memory cell array for storing the data, 6 is a sense amplifier for amplifying the memory information selected by the row decoder 3 and the column decoder 6 from the memory cell array 5 by the sense amplifier drive signal generated by the control signal generating circuit 2, and 7 is a control circuit. A precharge circuit drive signal generated from the signal generation circuit 2 is used to precharge the memory cell array 5. Charge circuit, 8 is a equalizing circuit for performing the equalization of the memory cell array 5 by equalization circuit drive signal generated from the control signal generation circuit 2.

【0004】以上のように構成された半導体装置につい
て、以下その動作を説明する。まず、入出力回路1によ
り入力されたアドレスaとメモリからの読み出し信号r
が、制御信号発生回路2で選択される。このとき、制御
信号発生回路2では、ロウデコーダ選択信号をロウデコ
ーダ3に送る。同時に制御信号発生回路2では、コラム
デコーダ選択信号をコラムデコーダ4に送る。するとメ
モリセルアレイ5の中から入出力回路1で入力されたア
ドレスaのメモリセルが選択される。選択されたメモリ
セルからの読み出し情報は、制御信号発生回路2から発
生したセンスアンプ駆動信号によりセンスアンプ6で増
幅される。増幅された情報は制御信号発生回路2から発
生した出力駆動信号により入出力回路1から出力され
る。
The operation of the semiconductor device configured as described above will be described below. First, the address a input by the input / output circuit 1 and the read signal r from the memory
Are selected by the control signal generation circuit 2. At this time, the control signal generation circuit 2 sends a row decoder selection signal to the row decoder 3. At the same time, the control signal generation circuit 2 sends a column decoder selection signal to the column decoder 4. Then, the memory cell at the address a input by the input / output circuit 1 is selected from the memory cell array 5. The read information from the selected memory cell is amplified by the sense amplifier 6 by the sense amplifier drive signal generated from the control signal generation circuit 2. The amplified information is output from the input / output circuit 1 by the output drive signal generated from the control signal generation circuit 2.

【0005】また読み出し信号rが入出力回路1から入
力されない場合には、制御信号発生回路2から発生した
プリチャージ駆動信号でプリチャージ回路7を駆動し、
メモリセルアレイ5のプリチャージをする。同時に、制
御信号発生回路2から発生したイコライズ駆動信号でイ
コライズ回路8を駆動し、メモリセルアレイ5のイコラ
イズを行う。
When the read signal r is not input from the input / output circuit 1, the precharge drive signal generated by the control signal generation circuit 2 drives the precharge circuit 7,
The memory cell array 5 is precharged. At the same time, the equalizing circuit 8 is driven by the equalizing drive signal generated from the control signal generating circuit 2 to equalize the memory cell array 5.

【0006】[0006]

【発明が解決しようとする課題】上記の構成の半導体装
置について設計をする場合、制御信号発生回路と各周辺
回路との接続情報等の他に各配線や素子の遅延情報、た
とえばメモリセルアレイ内部のワードラインの容量値等
を考慮して設計しなければならない。しかしながら、現
実のワードラインの容量値等と設計段階におけるシミュ
レーションによってのみ把握できる容量値には多少の誤
差がある。この誤差はメモリセルアレイ全体の容量が小
さい場合には問題にならないが、全体の容量が大きい場
合にはシミュレーション誤差も大きくなる。
When designing the semiconductor device having the above-mentioned structure, in addition to connection information between the control signal generating circuit and each peripheral circuit, delay information of each wiring or element, for example, in the memory cell array. It must be designed in consideration of the capacitance value of the word line. However, there is some error between the actual capacitance value of the word line and the capacitance value that can be grasped only by simulation at the design stage. This error is not a problem when the capacity of the entire memory cell array is small, but the simulation error becomes large when the capacity of the entire memory cell is large.

【0007】このため各周辺回路を制御する信号のタイ
ミングにずれが発生し、たとえば、ワードラインが選択
される前にセンスアンプを駆動し誤動作を起こすという
問題があり、また、この誤動作を考慮して余分なマージ
ンをとって設計をすると、読み出し動作が遅くなり過ぎ
るという問題がある。また、このようなタイミングのず
れは選択したメモリのワードラインが開く前に入出力回
路から情報が出力するという問題になる場合もあり、ま
た、読み出しメモリのワードラインが開いているのにプ
リチャージや、イコライズが行われ、そのためにメモリ
へ書き込みミスが発生するという問題があった。さら
に、ワードラインの選択が必要でない場合にもロウアド
レスと、コラムアドレスが選択されるので余分な消費電
力が必要になるという問題もあった。
Therefore, there is a problem that the timings of signals for controlling the peripheral circuits are deviated, and for example, the sense amplifier is driven before the word line is selected to cause a malfunction, and this malfunction is taken into consideration. If a design is made with an extra margin, the read operation becomes too slow. In addition, such a timing shift may cause a problem that information is output from the input / output circuit before the word line of the selected memory is opened, and the pre-charge occurs even when the word line of the read memory is opened. In addition, there is a problem that a write error occurs in the memory due to the equalization. Further, there is a problem that extra power consumption is required because the row address and the column address are selected even when the word line is not required to be selected.

【0008】本発明は上記従来の問題を解決するもの
で、各周辺回路を制御する信号とワードライン動作との
タイミングのずれを小さくし、高速で低消費電力なメモ
リの開発を可能にした半導体装置を提供することを目的
とする。
The present invention solves the above-mentioned conventional problems, and reduces the deviation of the timing between the signal for controlling each peripheral circuit and the word line operation, and makes it possible to develop a high speed and low power consumption semiconductor. The purpose is to provide a device.

【0009】[0009]

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、請求項1記載の半導体装置は、メモリセルアレイ
と、メモリセルアレイへ情報を書き込みあるいは読み出
しするために動作する周辺回路と、周辺回路を制御する
信号を発生する制御信号発生回路と、メモリセルアレイ
内部のワードラインと等価な容量を有するワードライン
等価容量信号線を備え、制御信号発生回路が発生した制
御信号をワードライン等価容量信号線を介してから周辺
回路に供給するものである。
To achieve this object, a semiconductor device according to a first aspect of the present invention includes a memory cell array, a peripheral circuit that operates to write or read information to and from the memory cell array, and a peripheral circuit. A control signal generation circuit for generating a control signal and a word line equivalent capacitance signal line having a capacitance equivalent to that of a word line in the memory cell array are provided. It is to be supplied to the peripheral circuit through.

【0010】また、請求項2記載の構成では、請求項1
記載の周辺回路が、制御信号発生回路からのセンスアン
プ駆動信号で駆動するセンスアンプ回路を含むことを特
徴とするものである。
According to the second aspect of the invention,
The peripheral circuit described includes a sense amplifier circuit driven by a sense amplifier drive signal from the control signal generation circuit.

【0011】また、請求項3記載の構成では、周辺回路
が制御信号発生回路からのプリチャージ駆動信号で駆動
するプリチャージ回路を含むことを特徴とするものであ
る。
According to a third aspect of the invention, the peripheral circuit includes a precharge circuit driven by the precharge drive signal from the control signal generation circuit.

【0012】また、請求項4記載の構成では、周辺回路
が制御信号発生回路からのイコライズ駆動信号で駆動す
るイコライズ回路を含むことを特徴とするものである。
Further, the structure according to claim 4 is characterized in that the peripheral circuit includes an equalizing circuit driven by the equalizing drive signal from the control signal generating circuit.

【0013】また、請求項5記載の構成では、周辺回路
が制御信号発生回路からのロウデコーダ選択信号で選択
動作を行うロウデコーダを含むことを特徴とするもので
ある。
According to a fifth aspect of the present invention, the peripheral circuit includes a row decoder that performs a selection operation with a row decoder selection signal from the control signal generation circuit.

【0014】また、請求項6記載の構成では、周辺回路
が制御信号発生回路からのコラムデコーダ選択信号で選
択動作を行うコラムデコーダを含むことを特徴とするも
のである。
According to a sixth aspect of the present invention, the peripheral circuit includes a column decoder which performs a selection operation by a column decoder selection signal from the control signal generation circuit.

【0015】また、請求項7記載の構成では、周辺回路
が、制御信号発生回路からの入出力回路選択信号で選択
動作を行う入出力回路を含むことを特徴とするものであ
る。
According to a seventh aspect of the present invention, the peripheral circuit includes an input / output circuit that performs a selection operation by the input / output circuit selection signal from the control signal generation circuit.

【0016】また、請求項8記載の半導体装置は、メモ
リセルアレイと、メモリセルアレイの情報を読み出すた
めに動作するセンスアンプと、センスアンプを制御する
信号を発生する制御信号発生回路と、メモリセルアレイ
内部のワードラインと等価な容量を有するワードライン
等価容量信号線を備え、制御信号発生回路は発生した制
御信号を前記ワードライン等価容量信号線を介してから
センスアンプに供給する構成であって、ワードライン等
価容量信号線はメモリセルアレイを挟んで制御信号発生
回路の反対側の位置に配されたことを特徴とするもので
ある。
According to another aspect of the semiconductor device of the present invention, a memory cell array, a sense amplifier that operates to read information from the memory cell array, a control signal generation circuit that generates a signal for controlling the sense amplifier, and a memory cell array internal. A word line equivalent capacitance signal line having a capacitance equivalent to that of the word line, and the control signal generating circuit supplies the generated control signal to the sense amplifier via the word line equivalent capacitance signal line, The line equivalent capacitance signal line is arranged at a position opposite to the control signal generating circuit with the memory cell array interposed therebetween.

【0017】[0017]

【作用】制御信号は実際のワードライン動作と同様の動
作を行ってから各周辺回路を駆動するため、たとえば、
センスアンプの誤動作を未然に防止することができ、ま
た設計時のシミュレーション誤差マージンを含めずに構
成できることから、その分、高速動作が可能になる。ま
た、ワードラインが開いていない時にプリチャージとイ
コライズを確実に行うことができるため、メモリへの書
き込みミスが防止できて、低消費電力化することができ
る。また、ワードラインを開く必要がある期間だけロウ
デコーダとコラムデコーダでメモリセルの選択ができる
のでビット線で消費される電力を少なくすることができ
る。また、ワードラインが開いてから入出力回路を選択
するため、間違えてワードラインが開く前の情報を出力
することを防止でき、低消費電力化を図ることができ
る。
Since the control signal drives each peripheral circuit after performing the same operation as the actual word line operation, for example,
Since the malfunction of the sense amplifier can be prevented in advance, and since the sense amplifier can be configured without including the simulation error margin at the time of designing, the high speed operation can be performed accordingly. Further, since the precharge and the equalization can be surely performed when the word line is not open, it is possible to prevent a writing error in the memory and reduce the power consumption. Further, since the memory cell can be selected by the row decoder and the column decoder only during the period when the word line needs to be opened, the power consumed by the bit line can be reduced. In addition, since the input / output circuit is selected after the word line is opened, it is possible to prevent the output of information before the word line is opened by mistake, and it is possible to reduce the power consumption.

【0018】[0018]

【実施例】以下、本発明の一実施例について、図面を参
照しながら説明する。図1は本発明の一実施例における
半導体装置のブロック図を示すものである。図1におい
て、9はメモリセルアレイ内部のワードラインとほぼ同
じ容量のワードライン等価容量信号線、2はワードライ
ン等価容量信号線からの信号と入出力回路1からの入力
信号を選択的に合成し、入出力回路1、ロウデコーダ
3、コラムデコーダ4、センスアンプ6、プリチャージ
回路7、イコライズ回路8、ワードライン等価容量信号
線9に制御信号を発生する制御信号発生回路である。
An embodiment of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention. In FIG. 1, 9 is a word line equivalent capacitance signal line having substantially the same capacitance as a word line in the memory cell array, 2 is a signal from the word line equivalent capacitance signal line and an input signal from the input / output circuit 1 are selectively combined. , The input / output circuit 1, the row decoder 3, the column decoder 4, the sense amplifier 6, the precharge circuit 7, the equalize circuit 8, and the word line equivalent capacitance signal line 9 for generating a control signal.

【0019】なお、1は入出力回路、3はロウデコー
ダ、4はコラムデコーダ、5はメモリセルアレイ、6は
センスアンプ、7はプリチャージ回路、8はイコライズ
回路で、これらは図5の構成と同じものである。
Reference numeral 1 is an input / output circuit, 3 is a row decoder, 4 is a column decoder, 5 is a memory cell array, 6 is a sense amplifier, 7 is a precharge circuit, and 8 is an equalize circuit. Are the same.

【0020】以上のように構成された半導体装置につい
て、以下その動作を説明する。まず、図1の入出力回路
1により入力されたメモリからの読み出し信号rが制御
信号発生回路2で選択される。このとき、制御信号発生
回路2ではワードライン等価容量信号線9に信号を出力
する。ワードライン等価容量信号線9はこの信号を受け
て、実際にメモリセルが選択された状態のワードライン
動作と同様の動作を行って、再び信号を制御信号発生回
路2に送る。このワードライン等価容量信号線9から送
られた信号と、入出力回路1により制御信号発生回路2
に入力されたアドレスaと読み出し信号rとの組合せに
より、制御信号発生回路2から各周辺回路に向けて実際
のワードライン動作のタイミングに合った読み出し信号
を発生することができる。具体的には、制御信号発生回
路2は、ロウデコーダ選択信号をロウデコーダ3に送
り、また、コラムデコーダ選択信号をコラムデコーダ4
に送る。するとメモリセルアレイ5の中から入出力回路
1で入力されたアドレスのメモリセルが選択される。選
択されたメモリセルからの読み出し情報は制御信号発生
回路2から発生したセンスアンプ駆動信号によりセンス
アンプ6で増幅され、制御信号発生回路2から発生した
出力駆動信号により入出力回路1から出力される。
The operation of the semiconductor device configured as described above will be described below. First, the read signal r from the memory input by the input / output circuit 1 of FIG. 1 is selected by the control signal generation circuit 2. At this time, the control signal generation circuit 2 outputs a signal to the word line equivalent capacitance signal line 9. The word line equivalent capacitance signal line 9 receives this signal, performs the same operation as the word line operation when the memory cell is actually selected, and sends the signal to the control signal generation circuit 2 again. The signal sent from the word line equivalent capacitance signal line 9 and the control signal generation circuit 2 by the input / output circuit 1
By the combination of the address a and the read signal r input to the control signal generating circuit 2, the control signal generating circuit 2 can generate a read signal toward each peripheral circuit at the timing of the actual word line operation. Specifically, the control signal generation circuit 2 sends the row decoder selection signal to the row decoder 3, and also sends the column decoder selection signal to the column decoder 4.
Send to Then, the memory cell of the address input by the input / output circuit 1 is selected from the memory cell array 5. The read information from the selected memory cell is amplified by the sense amplifier 6 by the sense amplifier drive signal generated by the control signal generation circuit 2, and output from the input / output circuit 1 by the output drive signal generated by the control signal generation circuit 2. .

【0021】また、読み出し信号rが入出力回路1から
入力されない場合にも、制御信号発生回路2からワード
ライン等価容量信号線9に信号を出力する。ワードライ
ン等価容量信号線9はこの信号を受けて、実際にメモリ
セルが選択されない状態のワードライン動作と同様の動
作を行った後、信号を制御信号発生回路2に送る。ワー
ドライン等価容量信号線9から送られた信号にもとづい
て制御信号発生回路2が各周辺回路に向けて制御信号を
発生する。具体的には、制御信号発生回路2で発生した
プリチャージ駆動信号でプリチャージ回路7を駆動し、
メモリセルアレイ5のプリチャージを行う。同時に制御
信号発生回路2から発生したイコライズ駆動信号でイコ
ライズ回路8を駆動し、メモリセルアレイ5のイコライ
ズを行う。
Even when the read signal r is not input from the input / output circuit 1, the control signal generating circuit 2 outputs a signal to the word line equivalent capacitance signal line 9. The word line equivalent capacitance signal line 9 receives this signal, performs the same operation as the word line operation in which no memory cell is actually selected, and then sends the signal to the control signal generation circuit 2. The control signal generation circuit 2 generates a control signal to each peripheral circuit based on the signal sent from the word line equivalent capacitance signal line 9. Specifically, the precharge circuit 7 is driven by the precharge drive signal generated by the control signal generation circuit 2,
The memory cell array 5 is precharged. At the same time, the equalizing circuit 8 is driven by the equalizing drive signal generated from the control signal generating circuit 2 to equalize the memory cell array 5.

【0022】次に、以上の半導体装置がSRAMの場合
を例にして、ワードライン等価容量信号線のさらに具体
的な構成について図2〜図4を用いて説明する。
Next, taking the case where the above semiconductor device is an SRAM as an example, a more specific structure of the word line equivalent capacitance signal line will be described with reference to FIGS.

【0023】図2はロウデコーダ3のデコード部の回路
図であり、10は3入力NAND回路、11は2入力N
OR回路である。アドレス入力a1,a2,a3,a4
が全てHレベルで、制御信号発生回路2からの制御信号
cがHレベルの場合デコード出力w1からHレベルが出
力される。それ以外の場合はデコード出力w1からLレ
ベルが出力される。
FIG. 2 is a circuit diagram of the decoding section of the row decoder 3, where 10 is a 3-input NAND circuit and 11 is a 2-input N circuit.
It is an OR circuit. Address input a1, a2, a3, a4
Is H level and the control signal c from the control signal generating circuit 2 is H level, the decode output w1 outputs H level. Otherwise, the decode output w1 outputs the L level.

【0024】また図3はメモリセルアレイの回路図であ
り、13,14はN型MOSトランジスタ、15はイン
バータ、12はメモリセルである。メモリセル12をコ
ラム数及びロウ数配置したものが図1におけるメモリセ
ルアレイ5である。ワードラインw2によってメモリセ
ルが選択され、ビットラインb1,b2でメモリセルの
内容を出力できる。
FIG. 3 is a circuit diagram of the memory cell array, in which 13 and 14 are N-type MOS transistors, 15 is an inverter, and 12 is a memory cell. The memory cell array 5 in FIG. 1 is one in which the memory cells 12 are arranged in the number of columns and the number of rows. A memory cell is selected by the word line w2, and the contents of the memory cell can be output by the bit lines b1 and b2.

【0025】図4はワードライン等価容量信号線の一実
施例を示す。これは、図2に示したロウデコーダ3のデ
コード部のアドレス入力a1,a2,a3,a4を電源
17で固定したものと、図3に示したメモリセル12の
N型MOSトランジスタ13および14と同じトランジ
スタをそれぞれ電源17とグランドに接地しているメモ
リセルワードライン等価容量16をメモリセルアレイ5
と同じコラム数分配置したもので構成している。
FIG. 4 shows an embodiment of the word line equivalent capacitance signal line. This is because the address inputs a1, a2, a3, a4 of the decoding section of the row decoder 3 shown in FIG. 2 are fixed by the power supply 17, and the N-type MOS transistors 13 and 14 of the memory cell 12 shown in FIG. The memory cell word line equivalent capacitance 16 in which the same transistor is grounded to the power supply 17 and the ground is connected to the memory cell array 5
It consists of the same number of columns as the above.

【0026】この構成により、制御信号発生回路2から
の制御信号cがHレベルの場合には、ワードライン等価
容量信号線のデコード出力w1もHレベルになり、実際
の遅延と同様のワードライン動作をメモリセルワードラ
イン等価容量16の出力w3に反映してHレベルを出力
することができる。具体的には、読み出し信号rが入出
力回路1から制御信号発生回路2に入力された場合に制
御信号cがHレベルとなり、Hレベル信号が制御信号発
生回路2からワードライン等価容量信号線に出力され
る。
With this configuration, when the control signal c from the control signal generating circuit 2 is at H level, the decode output w1 of the word line equivalent capacitance signal line also becomes H level, and word line operation similar to actual delay is performed. Can be reflected on the output w3 of the memory cell word line equivalent capacitance 16 to output the H level. Specifically, when the read signal r is input from the input / output circuit 1 to the control signal generation circuit 2, the control signal c becomes H level, and the H level signal is transmitted from the control signal generation circuit 2 to the word line equivalent capacitance signal line. Is output.

【0027】特にワードライン等価容量信号線9と制御
信号発生回路2とをもっとも離した状態で配置すると、
配線長分の容量がさらに増加するので、ワードライン等
価容量信号線9の出力w3からは実際の遅延が最大の状
態を反映してHレベルが出力される。このような配置に
することにより、制御信号の遅延量を増加し、調整する
ことができる。たとえば、センスアンプの駆動タイミン
グを調整する場合に、ワードライン等価容量信号線の容
量だけでは充分でない場合に、このような配置を採れ
ば、センスアンプ駆動のタイミングをワードライン選択
のタイミングよりも確実に遅くすることができる。この
ようにセンスアンプ動作の確実性を担保したい場合に適
している。なお、もっとも離した状態の配置位置として
は、たとえば図1に示すように制御信号発生回路2に対
してメモリセルアレイ5を挟んで反対側の位置にワード
ライン等価容量信号線9を設ければよい。
In particular, when the word line equivalent capacitance signal line 9 and the control signal generating circuit 2 are arranged in the most distant state,
Since the capacitance corresponding to the wiring length is further increased, the H level is output from the output w3 of the word line equivalent capacitance signal line 9 reflecting the state in which the actual delay is maximum. With such an arrangement, the delay amount of the control signal can be increased and adjusted. For example, when adjusting the drive timing of the sense amplifier, if the capacitance of the word line equivalent capacitance signal line is not sufficient, such an arrangement ensures that the sense amplifier drive timing is more reliable than the word line selection timing. Can be late. This is suitable when it is desired to ensure the reliability of the sense amplifier operation. As the arrangement position in the farthest state, for example, as shown in FIG. 1, the word line equivalent capacitance signal line 9 may be provided at a position opposite to the control signal generating circuit 2 with the memory cell array 5 interposed therebetween. .

【0028】また、読み出し信号rが入出力回路1から
制御信号発生回路2に入力されない場合は制御信号発生
回路2から制御信号cとしてLレベルの信号が出力され
る。このときも、ワードライン等価容量信号線9を制御
信号発生回路2とメモリセルアレイ5からもっとも離し
た状態で配置すると、ワードライン等価容量信号線9の
出力w3からは実際の遅延の最大の状態を反映してLレ
ベルの信号を出力することができる。ワードライン等価
容量信号線9の出力w3と入出力回路1からの情報を制
御信号発生回路2が選択的に判断し、制御信号発生回路
2からプリチャージ回路の駆動信号、イコライズ回路の
駆動信号を発生することができる。また必要に応じてセ
ンスアンプの駆動信号、ロウデコーダの選択信号、コラ
ムデコーダの選択信号、入出力回路の選択信号を発生す
ることもでき、それぞれ周辺回路をワードライン動作に
合わせて駆動することができる。
When the read signal r is not input from the input / output circuit 1 to the control signal generation circuit 2, the control signal generation circuit 2 outputs an L level signal as the control signal c. Also at this time, if the word line equivalent capacitance signal line 9 is arranged farthest from the control signal generation circuit 2 and the memory cell array 5, the actual maximum delay state from the output w3 of the word line equivalent capacitance signal line 9 is obtained. It is possible to output an L-level signal by reflecting it. The control signal generation circuit 2 selectively determines the output w3 of the word line equivalent capacitance signal line 9 and the information from the input / output circuit 1, and the control signal generation circuit 2 outputs the drive signal of the precharge circuit and the drive signal of the equalize circuit. Can occur. It is also possible to generate a sense amplifier drive signal, a row decoder selection signal, a column decoder selection signal, and an input / output circuit selection signal as needed, and each peripheral circuit can be driven according to the word line operation. it can.

【0029】以上のように本実施例によれば、ワードラ
イン等価容量信号線9を新たに設けることにより、ワー
ドライン動作と各周辺回路の制御動作とのタイミングを
合わせることができ、誤動作を防止することができる。
また、制御信号発生回路2とワードライン等価容量信号
線9をもっとも離した状態で配置したことにより、さら
に動作タイミングの調整を図ることができ、特にセンス
アンプ動作の確実性を担保することができる。
As described above, according to the present embodiment, by newly providing the word line equivalent capacitance signal line 9, the timing of the word line operation and the control operation of each peripheral circuit can be matched, and malfunction can be prevented. can do.
Further, by arranging the control signal generating circuit 2 and the word line equivalent capacitance signal line 9 in the most distant state, the operation timing can be further adjusted, and the reliability of the sense amplifier operation can be ensured in particular. .

【0030】なお、上記実施例では、ワードライン等価
容量信号線9を制御信号発生回路2からもっとも離した
状態で配置したが、場合によってはワードライン等価容
量信号線9を制御信号発生回路2にもっとも近い状態で
配置し、ワードライン動作がもっとも速い場合のメモリ
内部制御信号発生に使用するようにしても良い。
Although the word line equivalent capacitance signal line 9 is arranged farthest from the control signal generation circuit 2 in the above embodiment, the word line equivalent capacitance signal line 9 may be arranged in the control signal generation circuit 2 in some cases. It may be arranged in the closest state and used for generating the memory internal control signal when the word line operation is the fastest.

【0031】[0031]

【発明の効果】本発明はワードライン等価容量信号線を
設けることにより、実際のワードライン動作を考えた誤
差の小さいメモリ内部制御信号を発生することが容易に
実現でき、確実なメモリ機能動作が可能になる。このた
め高速で低消費電力のメモリの開発をすることができ
る。
According to the present invention, by providing the word line equivalent capacitance signal line, it is possible to easily generate a memory internal control signal with a small error in consideration of the actual word line operation, and to perform a reliable memory function operation. It will be possible. Therefore, it is possible to develop a high-speed memory with low power consumption.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例における半導体装置のブロッ
ク図
FIG. 1 is a block diagram of a semiconductor device according to an embodiment of the present invention.

【図2】本発明の一実施例におけるロウデコーダの回路
FIG. 2 is a circuit diagram of a row decoder according to an embodiment of the present invention.

【図3】本発明の一実施例におけるメモリセルアレイの
回路図
FIG. 3 is a circuit diagram of a memory cell array according to an embodiment of the present invention.

【図4】本発明の一実施例におけるワードライン等価容
量信号線の回路図
FIG. 4 is a circuit diagram of a word line equivalent capacitance signal line according to an embodiment of the present invention.

【図5】従来の半導体装置のブロック図FIG. 5 is a block diagram of a conventional semiconductor device.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 入出力回路 2 制御信号発生回路 3 ロウデコーダ 4 コラムデコーダ 5 メモリセルアレイ 6 センスアンプ 7 プリチャージ回路 8 イコライズ回路 9 ワードライン等価容量信号線 10 3入力NAND回路 11 2入力NOR回路 12 メモリセル 13 N型MOSトランジスタ 14 N型MOSトランジスタ 15 インバータ 16 メモリセルワードライン等価容量 17 電源 1 Input / Output Circuit 2 Control Signal Generation Circuit 3 Row Decoder 4 Column Decoder 5 Memory Cell Array 6 Sense Amplifier 7 Precharge Circuit 8 Equalize Circuit 9 Word Line Equivalent Capacitance Signal Line 10 3 Input NAND Circuit 11 2 Input NOR Circuit 12 Memory Cell 13 N Type MOS transistor 14 N type MOS transistor 15 Inverter 16 Memory cell Word line equivalent capacity 17 Power supply

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01L 21/8242 7735−4M H01L 27/10 681 A ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification code Internal reference number FI Technical display location H01L 21/8242 7735-4M H01L 27/10 681 A

Claims (8)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 メモリセルアレイと、前記メモリセルア
レイへ情報を書き込みあるいは読み出すために動作する
周辺回路と、前記周辺回路を制御する信号を発生する制
御信号発生回路と、前記メモリセルアレイ内部のワード
ラインと等価な容量を有するワードライン等価容量信号
線を備え、前記制御信号発生回路は発生した制御信号を
前記ワードライン等価容量信号線を介してから前記周辺
回路に供給することを特徴とする半導体装置。
1. A memory cell array, a peripheral circuit that operates to write or read information to and from the memory cell array, a control signal generation circuit that generates a signal that controls the peripheral circuit, and a word line inside the memory cell array. A semiconductor device comprising a word line equivalent capacitance signal line having an equivalent capacitance, wherein the control signal generation circuit supplies the generated control signal to the peripheral circuit via the word line equivalent capacitance signal line.
【請求項2】 周辺回路は制御信号発生回路からのセン
スアンプ駆動信号で駆動するセンスアンプ回路を含むこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
2. The semiconductor device according to claim 1, wherein the peripheral circuit includes a sense amplifier circuit driven by a sense amplifier drive signal from the control signal generation circuit.
【請求項3】 周辺回路は制御信号発生回路からのプリ
チャージ駆動信号で駆動するプリチャージ回路を含むこ
とを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
3. The semiconductor device according to claim 1, wherein the peripheral circuit includes a precharge circuit driven by a precharge drive signal from the control signal generation circuit.
【請求項4】 周辺回路は制御信号発生回路からのイコ
ライズ駆動信号で駆動するイコライズ回路を含むことを
特徴とする請求項1記載の半導体装置。
4. The semiconductor device according to claim 1, wherein the peripheral circuit includes an equalizing circuit driven by an equalizing drive signal from the control signal generating circuit.
【請求項5】 周辺回路は制御信号発生回路からのロウ
デコーダ選択信号で選択動作を行うロウデコーダを含む
ことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
5. The semiconductor device according to claim 1, wherein the peripheral circuit includes a row decoder that performs a selection operation with a row decoder selection signal from the control signal generation circuit.
【請求項6】 周辺回路は制御信号発生回路からのコラ
ムデコーダ選択信号で選択動作を行うコラムデコーダを
含むことを特徴とする請求項1記載の半導体装置。
6. The semiconductor device according to claim 1, wherein the peripheral circuit includes a column decoder which performs a selection operation by a column decoder selection signal from the control signal generation circuit.
【請求項7】 周辺回路は制御信号発生回路からの入出
力回路選択信号で選択動作を行う入出力回路を含むこと
を特徴とする請求項1記載の半導体装置。
7. The semiconductor device according to claim 1, wherein the peripheral circuit includes an input / output circuit which performs a selection operation by an input / output circuit selection signal from the control signal generation circuit.
【請求項8】 メモリセルアレイと、前記メモリセルア
レイの情報を読み出すために動作するセンスアンプと、
前記センスアンプを制御する信号を発生する制御信号発
生回路と、前記メモリセルアレイ内部のワードラインと
等価な容量を有するワードライン等価容量信号線を備
え、前記制御信号発生回路は発生した制御信号を前記ワ
ードライン等価容量信号線を介してから前記センスアン
プに供給する構成であって、前記ワードライン等価容量
信号線は前記メモリセルアレイを挟んで前記制御信号発
生回路の反対側の位置に配されていることを特徴とする
半導体装置。
8. A memory cell array, and a sense amplifier which operates to read information from the memory cell array.
A control signal generation circuit for generating a signal for controlling the sense amplifier and a word line equivalent capacitance signal line having a capacitance equivalent to a word line in the memory cell array are provided, and the control signal generation circuit outputs the generated control signal to the control circuit. The configuration is such that the word line equivalent capacitance signal line is supplied to the sense amplifier through the word line equivalent capacitance signal line, and the word line equivalent capacitance signal line is arranged at a position opposite to the control signal generation circuit with the memory cell array interposed therebetween. A semiconductor device characterized by the above.
JP6203446A 1994-08-29 1994-08-29 Semiconductor device Pending JPH0863971A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US7006396B2 (en) 2004-03-25 2006-02-28 Fujitsu Limited Semiconductor memory device and precharge control method

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