JPH0861859A - Roller hearth type heat treatment furnace - Google Patents

Roller hearth type heat treatment furnace

Info

Publication number
JPH0861859A
JPH0861859A JP19253694A JP19253694A JPH0861859A JP H0861859 A JPH0861859 A JP H0861859A JP 19253694 A JP19253694 A JP 19253694A JP 19253694 A JP19253694 A JP 19253694A JP H0861859 A JPH0861859 A JP H0861859A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
roller
hearth
muffle
furnace
heat treatment
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Granted
Application number
JP19253694A
Other languages
Japanese (ja)
Other versions
JP3430653B2 (en
Inventor
Makoto Haga
誠 葉賀
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Murata Manufacturing Co Ltd
Original Assignee
Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Murata Manufacturing Co Ltd filed Critical Murata Manufacturing Co Ltd
Priority to JP19253694A priority Critical patent/JP3430653B2/en
Publication of JPH0861859A publication Critical patent/JPH0861859A/en
Application granted granted Critical
Publication of JP3430653B2 publication Critical patent/JP3430653B2/en
Anticipated expiration legal-status Critical
Expired - Fee Related legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Heat Treatments In General, Especially Conveying And Cooling (AREA)
  • Tunnel Furnaces (AREA)

Abstract

PURPOSE: To provide a roller hearth type heat treatment furnace capable of performing a precise control of a concentration of atmospheric gas, and performing an effective utilization of heat energy. CONSTITUTION: A roller hearth type heat treatment furnace is comprised of a muffle 2 arranged to enclose a transporting passage for an item S to be treated and a hearth roller 3 arranged to be crossed within the muffle 2. It further includes a roller receiving pipe 6 communicated with and connected to each of an outer side surface of the muffle 2 and for storing each of end portions 3a, 3b of a hearth roller 3, and of supporting parts 9, 10 for rotatably and sealingly supporting the end portions 3a, 3b of the hearth roller 3. The supporting parts 9 (10) are constructed such that a roller side graphite parts 13 fixed to the end portions 3a (3b) of the hearth roller 3 and the receiving pipe side graphite parts fixed at the inner surface of the roller receiving pipe 6 are fitted to each other.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はローラハース形熱処理炉
に係り、詳しくは、ハースローラの支持構造に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a roller hearth type heat treatment furnace, and more particularly to a support structure for a hearth roller.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来から、セラミック製品に対する焼成
などの熱処理を実行するに際しては、図4で横断面構造
を示すようなローラハース形熱処理炉(以下、RH炉と
いう)が用いられている。すなわち、このRH炉は、所
定厚みの断熱材からなる炉体21と、炉内空間内を横切
る水平方向に沿って配設され、かつ、炉体21の長手方
向(紙面とは垂直の方向)に沿って並列配置された多数
本のハースローラ22と、炉体21外にまで両端部が突
出した各ハースローラ22を回転駆動する電動機などの
ような回転駆動装置23とを備えて構成されたものであ
る。そして、これらの回転駆動装置23はハースローラ
22それぞれの駆動側端部に連結される一方、各ハース
ローラ22の反駆動側端部は軸受24によって回転自在
に支持されており、セラミック製品を収容した処理用匣
などの被処理物Sはハースローラ22の回転動作に伴っ
て炉内空間内を搬送されていくことになっている。な
お、この際、炉体21と各ハースローラ22との間に
は、炉内空間内を気密封止するための不定形な断熱ファ
イバー25などが詰め込まれている。
2. Description of the Related Art Conventionally, a roller hearth type heat treatment furnace (hereinafter referred to as an RH furnace) having a cross-sectional structure shown in FIG. 4 has been used to perform heat treatment such as firing on a ceramic product. That is, this RH furnace is arranged along a furnace body 21 made of a heat insulating material of a predetermined thickness and in a horizontal direction that traverses the inside of the furnace space, and in the longitudinal direction of the furnace body 21 (direction perpendicular to the paper surface). A plurality of hearth rollers 22 arranged in parallel along each other, and a rotary drive device 23 such as an electric motor for rotationally driving each hearth roller 22 protruding at both ends outside the furnace body 21. is there. The rotary drive devices 23 are connected to the drive-side end portions of the hearth rollers 22, respectively, while the anti-drive-side end portions of the hearth rollers 22 are rotatably supported by bearings 24. The processing object S such as a jar is to be transported in the furnace space as the hearth roller 22 rotates. At this time, an amorphous heat insulating fiber 25 for hermetically sealing the inside of the furnace is packed between the furnace body 21 and each hearth roller 22.

【0003】また、このRH炉は、炉内空間内に雰囲気
ガス(または冷却ガス)Gを導入するためのガス導入管
26と、搬送中の被処理物Sを加熱するための電熱ヒー
タ27とをそれぞれ具備しており、炉体21を貫通して
炉内空間内に突出したガス導入管26の内端は炉内空間
内に向かって開口させられている。さらにまた、電熱ヒ
ータ27は、ハースローラ22の上下位置それぞれに配
置されたうえで炉内空間内を横切る水平方向に沿って配
設されており、炉内空間内に導入された雰囲気ガスGを
介しての対流伝熱もしくは直接的な輻射伝熱によって被
処理物Sを加熱するものとなっている。
Further, this RH furnace includes a gas introducing pipe 26 for introducing an atmospheric gas (or a cooling gas) G into an inner space of the furnace, and an electric heater 27 for heating an object to be processed S being conveyed. And the inner end of the gas introduction pipe 26 that penetrates the furnace body 21 and projects into the furnace interior space is opened toward the furnace interior space. Furthermore, the electric heaters 27 are respectively arranged at the upper and lower positions of the hearth roller 22 and are arranged along the horizontal direction that traverses the furnace interior space, and the atmosphere gas G introduced into the furnace interior space is used. The object S to be processed is heated by all convective heat transfer or direct radiant heat transfer.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、前記従
来構造とされたRH炉においては、ガス導入管26を通
じて導入された雰囲気ガスGが炉内空間の全域にわたっ
て均一な状態で行きわたることにはなり難く、雰囲気ガ
スGの濃度分布や温度分布がばらつくことになり易いと
いう不都合が生じていた。また、ハースローラ22の熱
膨張に伴って断熱ファイバー25が変形し、変形した断
熱ファイバー25を通じて雰囲気ガスGが炉体21外へ
漏れ出すことも起こりかねないため、炉内空間内に導入
された雰囲気ガスGの濃度を精密に調整しながら維持す
るのは大変に難しいこととなっていた。さらにまた、高
温状態にさらされる炉体21の内表面や電熱ヒータ27
などからの剥離物が被処理物S上に落下してくることも
あり、被処理物Sの特性に悪影響を与えることも起こっ
ていた。
However, in the RH furnace having the above-mentioned conventional structure, the atmospheric gas G introduced through the gas introducing pipe 26 spreads in a uniform state over the entire space in the furnace. It is difficult to do so, and the concentration distribution and temperature distribution of the atmospheric gas G are likely to vary, which is a disadvantage. Further, since the heat insulating fiber 25 is deformed due to the thermal expansion of the hearth roller 22 and the atmospheric gas G may leak out of the furnace body 21 through the deformed heat insulating fiber 25, the atmosphere introduced into the furnace space may be changed. It has been very difficult to maintain the gas G concentration while adjusting it precisely. Furthermore, the inner surface of the furnace body 21 exposed to high temperature and the electric heater 27
There is also a case where a peeled object from the above is dropped on the object to be processed S, which adversely affects the characteristics of the object to be processed S.

【0005】ところで、雰囲気ガスGの濃度を精密に制
御する必要がある際には、図示していないが、被処理物
Sの搬送経路を取り囲む構成とされた耐熱合金板製のマ
ッフルを炉内空間内に配設しておき、このマッフル内に
雰囲気ガスGを導入することが行われる。しかし、マッ
フルを備えて構成された熱処理炉における被処理物Sの
搬送手段としては耐熱合金などからなるメッシュベルト
を用いるのが一般的であり、メッシュベルトを用いた場
合にはメッシュベルト自体が炉内での加熱と炉外での冷
却とを繰り返して熱エネルギーを持ち出すことになる結
果、熱エネルギー損失の大幅な増大を招いてしまう。ま
た、ハースローラ22を用いた場合には被処理物Sの搬
送速度を所定範囲ごとに変更することができ、最適プロ
ファイルを得るための調整が可能であるのに対し、メッ
シュベルトを用いた場合には所定範囲ごとにおける搬送
速度の変更を行うことができないため、最適プロファイ
ルの実現が難しいという不都合が生じることになってい
た。
By the way, when it is necessary to precisely control the concentration of the atmospheric gas G, a muffle made of a heat-resistant alloy plate, which is not shown in the drawing, is constructed so as to surround the transportation path of the object S to be processed in the furnace. It is arranged in the space and the atmosphere gas G is introduced into this muffle. However, a mesh belt made of a heat-resistant alloy or the like is generally used as a conveying means of the object S in the heat treatment furnace configured with a muffle, and when the mesh belt is used, the mesh belt itself is a furnace. As a result of repeating the heating inside and the cooling outside the furnace to bring out the heat energy, the heat energy loss is greatly increased. Further, when the hearth roller 22 is used, the transport speed of the object S to be processed can be changed in each predetermined range, and adjustment for obtaining an optimum profile is possible, whereas when the mesh belt is used, Since it is not possible to change the transport speed in each predetermined range, it is difficult to realize the optimum profile.

【0006】本発明は、これらの不都合に鑑みて創案さ
れたものであって、雰囲気ガスの濃度を精密に制御する
ことができ、雰囲気ガスの濃度分布や温度分布を改善す
るとともに、熱エネルギーの有効利用を図りつつ被処理
物に応じた最適プロファイルを実現することが可能なR
H炉の提供を目的としている。
The present invention was devised in view of these disadvantages. It is possible to precisely control the concentration of the atmospheric gas, improve the concentration distribution and temperature distribution of the atmospheric gas, and improve the thermal energy. R that can realize an optimum profile according to the object to be processed while making effective use
The purpose is to provide an H furnace.

【0007】[0007]

【課題を解決するための手段】本発明に係るRH炉は、
このような目的を達成するために、被処理物の搬送経路
を取り囲んで配設されたマッフルと、該マッフル内を横
切って配設されたハースローラとを備えるとともに、前
記マッフルの側面外側それぞれに連通接続されて前記ハ
ースローラの端部それぞれを収納するローラ受け管と、
各ローラ受け管内に取着されて前記ハースローラの端部
を回転可能かつ気密封止可能に支持する支持部品とを具
備していることを特徴とするものである。なお、この際
における支持部品は、ハースローラの端部に固着された
ローラ側黒鉛部品と、ローラ受け管の内面に固着された
受け管側黒鉛部品とを嵌め合わせたものである。
The RH furnace according to the present invention comprises:
In order to achieve such an object, a muffle that is arranged so as to surround the conveyance path of the object to be processed and a hearth roller that is arranged so as to traverse the inside of the muffle are provided, and the muffle is connected to each of the outer side surfaces of the muffle. A roller receiving tube that is connected and stores each end of the hearth roller;
And a support component that is attached to each roller receiving tube and that supports the end portion of the hearth roller in a rotatable and airtightly sealable manner. In this case, the supporting component is a fitting of the roller-side graphite component fixed to the end of the hearth roller and the receiving-tube side graphite component fixed to the inner surface of the roller receiving pipe.

【0008】[0008]

【作用】上記構成によれば、マッフルを用いていること
により、雰囲気ガスの濃度を精密に制御することが可能
となる結果、雰囲気ガスの濃度分布及び温度分布の均一
化が図れることになる。また、多数本のハースローラを
用いて被処理物の搬送を行うのであるから、所定範囲ご
とにおける被処理物の搬送速度を変更することが可能と
なるばかりか、熱エネルギー損失の抑制をも図り得るこ
とになる。
According to the above construction, since the muffle is used, the concentration of the atmospheric gas can be precisely controlled, so that the concentration distribution and the temperature distribution of the atmospheric gas can be made uniform. Further, since the object to be processed is carried by using a large number of hearth rollers, not only it is possible to change the carrying speed of the object to be processed in each predetermined range, but also it is possible to suppress the heat energy loss. It will be.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面に基づいて説明
する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings.

【0010】図1は本実施例に係るRH炉の横断面構造
を示す概略断面図、図2及び図3のそれぞれはハースロ
ーラの支持構造を簡略化して示す分解斜視図であり、図
2はハースローラにおける駆動側端部の支持構造を示す
一方、図3は反駆動側端部の支持構造を示している。
FIG. 1 is a schematic sectional view showing a cross-sectional structure of an RH furnace according to this embodiment, FIGS. 2 and 3 are exploded perspective views showing a simplified supporting structure of a hearth roller, and FIG. 2 is a hearth roller. 3 shows the support structure of the drive side end portion in FIG. 3, while FIG. 3 shows the support structure of the non-drive side end portion.

【0011】本実施例に係るRH炉は、所定厚みの断熱
材からなる炉体1と、この炉体1によって取り囲まれた
炉内空間内に配置され、かつ、セラミック製品を収容し
た処理用匣などのような被処理物Sが通過する搬送経路
を取り囲んで配設されたマッフル、例えば、インコネル
やステンレス鋼などのような耐熱合金板を用いて作製さ
れたマッフル2と、このマッフル2内を横切る水平方向
に沿って配設されたうえで炉体1の長手方向に沿って並
列配置された多数本のハースローラ3とを備えている。
そして、マッフル2の上下位置には断熱材ブロックの炉
内面上に電熱ヒータを配設してなる構成のモジュールヒ
ータ4がそれぞれ配設される一方、このマッフル2内に
は外部から供給された雰囲気ガス(または冷却ガス)G
を導入するためのガス導入管5が配設されている。さら
に、この際、ガス導入管5の側面には複数個のガス噴出
孔(図示していない)が並列形成されており、雰囲気ガ
スGはガス噴出孔のそれぞれを通って分散されながらマ
ッフル2内に導入されることになっている。なお、これ
らハースローラ3は、耐熱合金を用いたうえでの中空形
状もしくは中実形状として作製されたものである。ま
た、本実施例ではモジュールヒータ4を使用するとして
いるが、これらモジュールヒータ4に代えて従来例同様
の電熱ヒータ27を使用してもよいことは勿論である。
The RH furnace according to the present embodiment is provided with a furnace body 1 made of a heat insulating material having a predetermined thickness, and a processing case which is arranged in a furnace space surrounded by the furnace body 1 and which houses a ceramic product. A muffle provided around the transport path through which the object S to be processed passes, for example, a muffle 2 made using a heat-resistant alloy plate such as Inconel or stainless steel, and the inside of the muffle 2. It is provided with a large number of hearth rollers 3 arranged along the horizontal direction that traverses the furnace body 1 and arranged in parallel along the longitudinal direction of the furnace body 1.
At the upper and lower positions of the muffle 2, module heaters 4 each having an electric heater disposed on the inner surface of the furnace of the heat insulating material block are arranged, while the muffle 2 is supplied with an atmosphere supplied from the outside. Gas (or cooling gas) G
A gas introducing pipe 5 for introducing the gas is provided. Further, at this time, a plurality of gas ejection holes (not shown) are formed in parallel on the side surface of the gas introduction pipe 5, and the atmospheric gas G is dispersed in the muffle 2 while passing through each of the gas ejection holes. Is to be introduced in. The hearth rollers 3 are made of a heat-resistant alloy and have a hollow shape or a solid shape. Further, although the module heaters 4 are used in this embodiment, it goes without saying that the electric heaters 27 similar to the conventional example may be used instead of the module heaters 4.

【0012】一方、ここでの各ハースローラ3の駆動側
及び反駆動側端部3a,3bそれぞれは炉体1外にまで
突出する長さとされており、マッフル2の側面外側それ
ぞれには耐熱合金板からなる円筒形状として作製された
うえでハースローラ3の各端部3a,3bを収納するロ
ーラ受け管6が連通接続されている。そして、これらロ
ーラ受け管6のそれぞれは炉体1を貫通したうえで炉外
にまで突出しており、各ハースローラ3の駆動側端部3
aを収納したローラ受け管6の外端には駆動側端部3a
が挿通することになる開口7aを有するキャップ7がシ
ール材(図示していない)を介したうえでの螺合などに
よって取着される一方、各ハースローラ3の反駆動側端
部3bを収納したローラ受け管6の外端はキャップ8に
よって閉塞されている。
On the other hand, the driving-side and non-driving-side end portions 3a and 3b of each hearth roller 3 have a length protruding to the outside of the furnace body 1, and a heat-resistant alloy plate is provided on each of the outer side surfaces of the muffle 2. A roller receiving tube 6 for housing the respective end portions 3a and 3b of the hearth roller 3 is communicatively connected to the hearth roller 3 after being manufactured as a cylindrical shape. Each of these roller receiving tubes 6 penetrates through the furnace body 1 and then projects to the outside of the furnace.
The drive side end 3a is provided at the outer end of the roller receiving tube 6 accommodating a.
While the cap 7 having the opening 7a through which is inserted is attached by screwing or the like via a sealing material (not shown), the end portions 3b on the non-driving side of each hearth roller 3 are housed. The outer end of the roller receiving tube 6 is closed by a cap 8.

【0013】また、この際における各ローラ受け管6の
内部には、各ハースローラ3の端部3a,3bそれぞれ
を回転可能かつ気密封止可能に支持するための支持部品
9,10が取着されている。そして、一方側の支持部品
9、すなわち、ハースローラ3の駆動側端部3aを支持
するための支持部品9は、図2で示すように、所定厚み
の円環形状として作製されたうえで駆動側端部3aに外
嵌して固着されたローラ側黒鉛部品11と、より大径の
円環形状とされたうえでローラ受け管6の内面に固着さ
れた受け管側黒鉛部品12とを嵌め合わせたものとなっ
ており、ローラ側及び受け管側それぞれの黒鉛部品1
1,12同士の嵌合面によってはローラ受け管6内つま
りマッフル2内が気密封止されている。一方、この際、
ハースローラ3の反駆動側端部3bを支持すべく取着さ
れた支持部品10は、図3で示すように、所定厚みの円
板形状として作製されたうえで駆動側端部3bに割り込
み固着されたローラ側黒鉛部品14と、より大径の円環
形状とされたうえでローラ受け管6の内面に固着された
受け管側黒鉛部品15とを嵌め合わせて構成されたもの
であり、これら両黒鉛部品14,15同士の嵌合面によ
ってもローラ受け管6内ひいてはマッフル2内が気密封
止されることになっている。
Further, at this time, inside the respective roller receiving tubes 6, supporting parts 9 and 10 for supporting the respective end portions 3a and 3b of the respective hearth rollers 3 in a rotatable and airtightly sealable manner are attached. ing. The support component 9 on one side, that is, the support component 9 for supporting the drive-side end portion 3a of the hearth roller 3 is formed in an annular shape having a predetermined thickness as shown in FIG. The roller-side graphite component 11 externally fitted and fixed to the end portion 3a and the receiving-tube-side graphite component 12 fixed to the inner surface of the roller receiving pipe 6 after being formed into an annular shape having a larger diameter are fitted together. The graphite parts 1 on the roller side and the receiving tube side, respectively
The inside of the roller receiving pipe 6, that is, the inside of the muffle 2 is hermetically sealed depending on the fitting surfaces of the first and the second members. On the other hand, at this time,
As shown in FIG. 3, the support component 10 attached to support the counter-drive side end 3b of the hearth roller 3 is made into a disk shape having a predetermined thickness and then fixed to the drive-side end 3b by interruption. The roller-side graphite component 14 and the receiving-pipe-side graphite component 15 that is fixed to the inner surface of the roller-receiving pipe 6 after being formed into a ring shape having a larger diameter are fitted to each other. The fitting surfaces of the graphite parts 14 and 15 also hermetically seal the inside of the roller receiving pipe 6 and the inside of the muffle 2.

【0014】さらにまた、支持部品9を構成するローラ
側黒鉛部品11が固着された各ハースローラ3の駆動側
端部3aはローラ受け管6の外端に取着されたキャップ
7の開口7aを挿通したうえで突出しており、この駆動
側端部3aには電動機などのような回転駆動装置13が
連結されている。そこで、これらのハースローラ3は回
転駆動装置13を用いたうえでの任意の搬送速度でもっ
て回転動作させられることになり、セラミック製品を収
容した処理用匣などの被処理物Sはハースローラ3の回
転動作に伴ってマッフル2内を搬送されていくことにな
る。そして、この際における各ハースローラ3の回転動
作は、各ローラ受け管6内に取着された支持部品9,1
0を構成するローラ側黒鉛部品11,14の各々と、受
け管側黒鉛部品12,15の各々との組み合わせによっ
て支持されていることになる。なお、本実施例において
は、1本ごとのハースローラ3の端部3a,3bそれぞ
れをローラ受け管6の各々によって収納するとしている
が、例えば、ハースローラ3の複数本ずつの端部3a,
3bをローラ受け管6に代わる大きなローラ受け箱(図
示していない)によって一括的に収納してもよいことは
勿論である。
Further, the driving side end portion 3a of each hearth roller 3 to which the roller side graphite component 11 constituting the support component 9 is fixed is inserted through the opening 7a of the cap 7 attached to the outer end of the roller receiving tube 6. In addition, the rotary drive device 13 such as an electric motor is connected to the drive side end 3a. Therefore, these hearth rollers 3 are rotated at an arbitrary transport speed using the rotation drive device 13, and the object S to be processed such as a processing box containing the ceramic product is rotated by the rotation of the hearth rollers 3. It will be transported in the muffle 2 as it moves. Then, the rotating operation of each hearth roller 3 at this time is performed by the supporting parts 9 and 1 attached to each roller receiving tube 6.
It is supported by the combination of each of the roller-side graphite parts 11 and 14 forming 0 and each of the receiving tube-side graphite parts 12 and 15. In the present embodiment, the end portions 3a and 3b of each hearth roller 3 are housed in the roller receiving tubes 6, respectively.
Needless to say, 3b may be collectively stored in a large roller receiving box (not shown) instead of the roller receiving tube 6.

【0015】[0015]

【発明の効果】以上説明したように、本発明に係るRH
炉においては、マッフルを用いていることによって雰囲
気ガスの濃度を精密に制御することが可能となり、ま
た、ガス濃度の精密な制御が行える結果としてマッフル
内に導入された雰囲気ガスにおける温度分布の均一化を
図ることができる。そして、炉体の内表面などから剥離
物が落下してきたとしても、落下してきた剥離物はマッ
フルによって受け止められることになり、被処理物の特
性に悪影響が及ぶことは起こり得ないこととなる。
As described above, the RH according to the present invention
In the furnace, the use of a muffle makes it possible to precisely control the concentration of the atmospheric gas, and as a result of the precise control of the gas concentration, the temperature distribution in the atmospheric gas introduced into the muffle can be made uniform. Can be realized. Then, even if the peeled matter falls from the inner surface of the furnace body or the like, the fallen peeled matter is received by the muffle, and the characteristics of the object to be treated cannot be adversely affected.

【0016】さらに、多数本のハースローラを用いて被
処理物を搬送する構造を採用しているから、所定範囲ご
とにおけるハースローラの回転数を変更することによっ
て被処理物の搬送速度を変更することが可能となり、被
処理物についての最適プロファイルを実現することがで
きる。また、熱エネルギー損失をメッシュベルトの場合
と比べて20〜30%程度に抑制することができるとい
う効果も得られる。
Further, since the structure for conveying the object to be processed is employed by using a large number of hearth rollers, the speed of conveying the object to be processed can be changed by changing the rotation speed of the hearth roller in each predetermined range. This makes it possible to realize the optimum profile for the object to be processed. Further, it is possible to obtain an effect that the heat energy loss can be suppressed to about 20 to 30% as compared with the case of the mesh belt.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本実施例に係るRH炉の横断面構造を示す概略
断面図である。
FIG. 1 is a schematic cross-sectional view showing a cross-sectional structure of an RH furnace according to this embodiment.

【図2】ハースローラにおける駆動側端部の支持構造を
簡略化して示す分解斜視図である。
FIG. 2 is an exploded perspective view showing a simplified support structure of a drive-side end portion of a hearth roller.

【図3】ハースローラにおける反駆動側端部の支持構造
を簡略化して示す分解斜視図である。
FIG. 3 is an exploded perspective view showing a simplified supporting structure of an end portion on a side opposite to a driving side of a hearth roller.

【図4】従来例に係るRH炉の横断面構造を示す概略断
面図である。
FIG. 4 is a schematic cross-sectional view showing a cross-sectional structure of a conventional RH furnace.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

2 マッフル 3 ハースローラ 3a 駆動側端部 3b 反駆動側端部 6 ローラ受け管 9 支持部品 10 支持部品 11 ローラ側黒鉛部品 12 受け管側黒鉛部品 13 ローラ側黒鉛部品 14 受け管側黒鉛部品 2 Muffle 3 Hearth roller 3a Drive end 3b Counter drive end 6 Roller receiving tube 9 Supporting part 10 Supporting part 11 Roller side graphite part 12 Receiving side graphite part 13 Roller side graphite part 14 Receiving side graphite part

Claims (2)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被処理物の搬送経路を取り囲んで配設さ
れたマッフルと、該マッフル内を横切って配設されたハ
ースローラとを備えるとともに、前記マッフルの側面外
側それぞれに連通接続されて前記ハースローラの端部そ
れぞれを収納するローラ受け管と、各ローラ受け管内に
取着されて前記ハースローラの端部を回転可能かつ気密
封止可能に支持する支持部品とを具備していることを特
徴とするローラハース形熱処理炉。
1. A hearth roller provided with a muffle arranged so as to surround a conveyance path of an object to be processed, and a hearth roller arranged across the inside of the muffle, and connected to the outside of each side surface of the muffle so as to communicate therewith. A roller receiving tube for accommodating each end of the hearth roller, and a support component mounted in each roller receiving tube to rotatably and hermetically seal the end of the hearth roller. Roller hearth type heat treatment furnace.
【請求項2】 支持部品は、ハースローラの端部に固着
されたローラ側黒鉛部品と、ローラ受け管の内面に固着
された受け管側黒鉛部品とを嵌め合わせたものであるこ
とを特徴とする請求項1記載のローラハース形熱処理
炉。
2. The support component is formed by fitting a roller-side graphite component fixed to an end portion of a hearth roller and a receiving tube-side graphite component fixed to an inner surface of a roller receiving pipe. The roller hearth type heat treatment furnace according to claim 1.
JP19253694A 1994-08-16 1994-08-16 Roller hearth heat treatment furnace Expired - Fee Related JP3430653B2 (en)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19253694A JP3430653B2 (en) 1994-08-16 1994-08-16 Roller hearth heat treatment furnace

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP19253694A JP3430653B2 (en) 1994-08-16 1994-08-16 Roller hearth heat treatment furnace

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JPH0861859A true JPH0861859A (en) 1996-03-08
JP3430653B2 JP3430653B2 (en) 2003-07-28

Family

ID=16292914

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP19253694A Expired - Fee Related JP3430653B2 (en) 1994-08-16 1994-08-16 Roller hearth heat treatment furnace

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JP3430653B2 (en)

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100484562B1 (en) * 1997-07-17 2005-08-29 주가이로 고교 가부시키가이샤 Roller Hearth Type Continuous Glass Board Sealing Furnace
JP2013100963A (en) * 2011-11-09 2013-05-23 Ngk Insulators Ltd Roller hearth kiln and workpiece heating method using the same
JP2014070873A (en) * 2012-10-02 2014-04-21 Koyo Thermo System Kk Muffle furnace
JP2017067438A (en) * 2016-12-08 2017-04-06 光洋サーモシステム株式会社 Muffle furnace
JP2021162225A (en) * 2020-03-31 2021-10-11 株式会社ノリタケカンパニーリミテド Roller conveyance-type heating furnace

Cited By (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
KR100484562B1 (en) * 1997-07-17 2005-08-29 주가이로 고교 가부시키가이샤 Roller Hearth Type Continuous Glass Board Sealing Furnace
JP2013100963A (en) * 2011-11-09 2013-05-23 Ngk Insulators Ltd Roller hearth kiln and workpiece heating method using the same
JP2014070873A (en) * 2012-10-02 2014-04-21 Koyo Thermo System Kk Muffle furnace
JP2017067438A (en) * 2016-12-08 2017-04-06 光洋サーモシステム株式会社 Muffle furnace
JP2021162225A (en) * 2020-03-31 2021-10-11 株式会社ノリタケカンパニーリミテド Roller conveyance-type heating furnace

Also Published As

Publication number Publication date
JP3430653B2 (en) 2003-07-28

Similar Documents

Publication Publication Date Title
US5452565A (en) Device for wrapping and welding under vacuum, used in the manufacture of a thermally insulated container
JPH0861859A (en) Roller hearth type heat treatment furnace
JP2005214453A (en) Atmospheric heating furnace
JP2004214283A (en) Semiconductor device manufacturing apparatus
CN104011844B (en) For heating the device of substrate
WO2021162029A1 (en) Microwave processing device, and microwave processing method
WO2021157693A1 (en) Microwave processing apparatus and microwave processing method
JPS5986888A (en) Heater
US9637817B2 (en) Process roller for receiving and guiding substrates in strip form in vacuum coating installations
JP2010169896A5 (en)
JPS61247624A (en) Raw material batch heat treatment equipment for glass manufacture
US2898099A (en) Rotating drum heat-treating furnace with internal fan
JPH08313161A (en) Continuous type heat treatment furnace and housing container for material to be treated
JP2002005575A (en) Vacuum heat-treating furnace having function of agitating granule
US20210190131A1 (en) Treatment machine, drive unit for a treatment machine and use of the treatment machine
JP2005111162A (en) Sterilizer
JPS61135620A (en) Apparatus for heating powdery substance
JPH11201660A (en) Atmospheric gas-generating device for heat treatment furnace
JPH01159365A (en) Ion carbonitriding furnace
JPS59200752A (en) Heater for film forming member
JP2000178837A (en) Activating furnace for carbon fiber
JP2020071005A (en) heating furnace
SU1089151A1 (en) Furnace for treating cylindrical products
JPS594021A (en) Vacuum heat-insulating spacer
JPH10202085A (en) Method of heat treating granular substances and device therefor

Legal Events

Date Code Title Description
FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090523

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20090523

Year of fee payment: 6

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100523

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20100523

Year of fee payment: 7

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20110523

Year of fee payment: 8

FPAY Renewal fee payment (prs date is renewal date of database)

Free format text: PAYMENT UNTIL: 20120523

Year of fee payment: 9

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees