JPH085799A - Ｘ線顕微鏡 - Google Patents
Ｘ線顕微鏡Info
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- JPH085799A JPH085799A JP6134721A JP13472194A JPH085799A JP H085799 A JPH085799 A JP H085799A JP 6134721 A JP6134721 A JP 6134721A JP 13472194 A JP13472194 A JP 13472194A JP H085799 A JPH085799 A JP H085799A
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- Japan
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- ray
- filter
- optical system
- sample
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Abstract
(57)【要約】
【目的】 試料にＸ線を照射しないで、或いは、試料へ
のＸ線照射量を低減して、焦点合わせを行うことができ
るＸ線顕微鏡を提供すること。 【構成】 少なくとも、Ｘ線及び可視光を発生する光源
１０６、該光源１０６から出射した光１０７のうちＸ線
だけを透過させるＸ線透過フィルター１０９、該Ｘ線透
過フィルター１０９を透過したＸ線を集光して試料１１
２を照明するコンデンサー光学系１１１、該試料１１２
を透過したＸ線を結像させる結像光学系１１３、該結像
光学系１１３による結像位置に配置された撮像手段１１
４、前記光源１０６から該撮像手段１１４までの光路を
真空にするための真空容器１０４、及び該真空容器内を
真空に排気するための排気手段を有するＸ線顕微鏡にお
いて前記コンデンサー光学系１１１及び前記結像光学系
１１３を反射型光学素子を用いた各光学系とし、かつ、
前記Ｘ線透過フィルター１０９と可換に可視光用減光フ
ィルター１０８を設けたことを特徴とするＸ線顕微鏡。
のＸ線照射量を低減して、焦点合わせを行うことができ
るＸ線顕微鏡を提供すること。 【構成】 少なくとも、Ｘ線及び可視光を発生する光源
１０６、該光源１０６から出射した光１０７のうちＸ線
だけを透過させるＸ線透過フィルター１０９、該Ｘ線透
過フィルター１０９を透過したＸ線を集光して試料１１
２を照明するコンデンサー光学系１１１、該試料１１２
を透過したＸ線を結像させる結像光学系１１３、該結像
光学系１１３による結像位置に配置された撮像手段１１
４、前記光源１０６から該撮像手段１１４までの光路を
真空にするための真空容器１０４、及び該真空容器内を
真空に排気するための排気手段を有するＸ線顕微鏡にお
いて前記コンデンサー光学系１１１及び前記結像光学系
１１３を反射型光学素子を用いた各光学系とし、かつ、
前記Ｘ線透過フィルター１０９と可換に可視光用減光フ
ィルター１０８を設けたことを特徴とするＸ線顕微鏡。
Description
【０００１】
【産業上の利用分野】本発明は、生体試料を高解像度で
観察できるＸ線顕微鏡に関する。
観察できるＸ線顕微鏡に関する。
【０００２】
【従来の技術】近年、急速に進歩している医学や生物工
学の分野では、通常の可視光（波長λ＝約400 〜 800n
m) を用いる顕微鏡よりも分解能が高く、しかも生きた
試料（生体試料、例えば、細胞、バクテリア、染色体、
ミトコンドリア、べん毛、など）も鮮明に観察すること
のできる高解像度顕微鏡を要求する声が日増しに高まっ
ている。
学の分野では、通常の可視光（波長λ＝約400 〜 800n
m) を用いる顕微鏡よりも分解能が高く、しかも生きた
試料（生体試料、例えば、細胞、バクテリア、染色体、
ミトコンドリア、べん毛、など）も鮮明に観察すること
のできる高解像度顕微鏡を要求する声が日増しに高まっ
ている。
【０００３】その理由は、従来の高解像度電子顕微鏡で
は空間分解能は高いが、電子線が透過する窓材が存在し
ないので、真空中に試料を置かねばならず、生きたまま
では試料を観察できなかったからである。そこで、この
ような生体試料の観察を可能とするために、可視光に代
えて波長λ＝２〜５ｎｍの軟Ｘ線を用いるＸ線顕微鏡が
検討され、具体的にも開発されつつある。
は空間分解能は高いが、電子線が透過する窓材が存在し
ないので、真空中に試料を置かねばならず、生きたまま
では試料を観察できなかったからである。そこで、この
ような生体試料の観察を可能とするために、可視光に代
えて波長λ＝２〜５ｎｍの軟Ｘ線を用いるＸ線顕微鏡が
検討され、具体的にも開発されつつある。
【０００４】例えば図３は、このようなＸ線顕微鏡の簡
単な構造と光学系を示したものである。図３において、
Ｘ線発生器１０から出射したＸ線は、Ｘ線照明光学系１
１で集光されて、生体試料１２を保持する試料カプセル
Ｃへ照射される。そして、試料１２及び試料カプセルＣ
を透過したＸ線は、Ｘ線拡大光学系１３により試料１２
の像をＸ線撮像装置１４上に結像させる。
単な構造と光学系を示したものである。図３において、
Ｘ線発生器１０から出射したＸ線は、Ｘ線照明光学系１
１で集光されて、生体試料１２を保持する試料カプセル
Ｃへ照射される。そして、試料１２及び試料カプセルＣ
を透過したＸ線は、Ｘ線拡大光学系１３により試料１２
の像をＸ線撮像装置１４上に結像させる。
【０００５】Ｘ線発生器１０からＸ線撮像装置１４まで
の光路長は、例えば、２ｍ程度である。また４は鏡筒用
真空容器で、Ｅはこの容器を真空にするための排気装
置、Ｍは撮像装置で検出された試料の像を表示する表示
装置である。軟Ｘ線領域では、Ｘ線の物質による吸収
は、Ｘ線の波長や物質の原子番号などによって変化す
る。一般には、Ｘ線の波長が長いほど吸収されやすく、
また物質の原子番号が大きいほど吸収されやすい。
の光路長は、例えば、２ｍ程度である。また４は鏡筒用
真空容器で、Ｅはこの容器を真空にするための排気装
置、Ｍは撮像装置で検出された試料の像を表示する表示
装置である。軟Ｘ線領域では、Ｘ線の物質による吸収
は、Ｘ線の波長や物質の原子番号などによって変化す
る。一般には、Ｘ線の波長が長いほど吸収されやすく、
また物質の原子番号が大きいほど吸収されやすい。
【０００６】特に、２３〜４４ÅのＸ線波長域では、酸
素原子を有する水は、蛋白質などの炭素原子を含んだ有
機物に比べて透過率が大きい。つまり、水と蛋白質との
間のＸ線吸収率の違いからコントラストがつき、染色す
ることなく細胞の水中での構造を見分けることができ
る。この波長域を水の窓（Ｗater Window)と呼び、生物
顕微鏡にとって非常に有用な領域である。
素原子を有する水は、蛋白質などの炭素原子を含んだ有
機物に比べて透過率が大きい。つまり、水と蛋白質との
間のＸ線吸収率の違いからコントラストがつき、染色す
ることなく細胞の水中での構造を見分けることができ
る。この波長域を水の窓（Ｗater Window)と呼び、生物
顕微鏡にとって非常に有用な領域である。
【０００７】軟Ｘ線は大気に容易に吸収される（１気圧
下で２×１０-3μｍ-1程度の吸収率を有する）ので、Ｘ
線顕微鏡の光学系全体を、その光路長に応じた高い真空
度に保つ必要がある。
下で２×１０-3μｍ-1程度の吸収率を有する）ので、Ｘ
線顕微鏡の光学系全体を、その光路長に応じた高い真空
度に保つ必要がある。
【０００８】
【発明が解決しようとする課題】生体試料はＸ線照射に
よって損傷を受け易く、試料観察に先立つ焦点合わせの
ためのＸ線照射で損傷してしまうということがよく起こ
る。そのために、結局は生きたままの試料を観察できな
いのではないかという懸念があり、この懸念ゆえにＸ線
顕微鏡の実用化が疑問視されている。
よって損傷を受け易く、試料観察に先立つ焦点合わせの
ためのＸ線照射で損傷してしまうということがよく起こ
る。そのために、結局は生きたままの試料を観察できな
いのではないかという懸念があり、この懸念ゆえにＸ線
顕微鏡の実用化が疑問視されている。
【０００９】そこで、Ｘ線顕微鏡の実用化を促進するた
めには、試料にＸ線を照射しないで或いは、試料へのＸ
線照射量を低減して、焦点合わせを行うことの確立が焦
眉の急である。本発明は、試料にＸ線を照射しないで、
或いは、試料へのＸ線照射量を低減して、焦点合わせを
行うことができるＸ線顕微鏡を提供することを目的とす
る。
めには、試料にＸ線を照射しないで或いは、試料へのＸ
線照射量を低減して、焦点合わせを行うことの確立が焦
眉の急である。本発明は、試料にＸ線を照射しないで、
或いは、試料へのＸ線照射量を低減して、焦点合わせを
行うことができるＸ線顕微鏡を提供することを目的とす
る。
【００１０】
【課題を解決するための手段】そのため、本発明は第一
に「少なくとも、Ｘ線及び可視光を発生する光源、該光
源から出射した光のうちＸ線だけを透過させるＸ線透過
フィルター、該Ｘ線透過フィルターを透過したＸ線を集
光して試料を照明するコンデンサー光学系、該試料を透
過したＸ線を結像させる結像光学系、該結像光学系によ
る結像位置に配置された撮像手段、前記光源から該撮像
手段までの光路を真空にするための真空容器、及び該真
空容器内を真空に排気するための排気手段を有するＸ線
顕微鏡において、 前記Ｘ線透過フィルターと可換に可
視光用減光フィルターを設けたことを特徴とするＸ線顕
微鏡（請求項１）」を提供する。
に「少なくとも、Ｘ線及び可視光を発生する光源、該光
源から出射した光のうちＸ線だけを透過させるＸ線透過
フィルター、該Ｘ線透過フィルターを透過したＸ線を集
光して試料を照明するコンデンサー光学系、該試料を透
過したＸ線を結像させる結像光学系、該結像光学系によ
る結像位置に配置された撮像手段、前記光源から該撮像
手段までの光路を真空にするための真空容器、及び該真
空容器内を真空に排気するための排気手段を有するＸ線
顕微鏡において、 前記Ｘ線透過フィルターと可換に可
視光用減光フィルターを設けたことを特徴とするＸ線顕
微鏡（請求項１）」を提供する。
【００１１】また、本発明は第二に「前記反射型光学素
子が回転楕円面多層膜鏡、回転放物面多層膜鏡、シュワ
ルツシルト鏡、又はウォルター鏡であることを特徴とす
る請求項１記載のＸ線顕微鏡（請求項２）」を提供す
る。また、本発明は第三に「前記光源がレーザーをター
ゲット材料上に集光、照射して生成させるプラズマから
の発光、又はシンクロトロン放射光を用いた光源である
ことを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線顕微鏡（請
求項３）」を提供する。
子が回転楕円面多層膜鏡、回転放物面多層膜鏡、シュワ
ルツシルト鏡、又はウォルター鏡であることを特徴とす
る請求項１記載のＸ線顕微鏡（請求項２）」を提供す
る。また、本発明は第三に「前記光源がレーザーをター
ゲット材料上に集光、照射して生成させるプラズマから
の発光、又はシンクロトロン放射光を用いた光源である
ことを特徴とする請求項１又は２記載のＸ線顕微鏡（請
求項３）」を提供する。
【００１２】
【作用】本発明のＸ線顕微鏡では、コンデンサー光学系
及び結像光学系を反射型の光学素子（例えば、回転楕円
面多層膜鏡、回転放物面多層膜鏡、シュワルツシルト
鏡、ウォルタ鏡など）を用いて構成しているので、Ｘ線
透過（可視光阻止）フィルターを外し、光源に可視光源
を用いれば、可視光顕微鏡としても機能する。
及び結像光学系を反射型の光学素子（例えば、回転楕円
面多層膜鏡、回転放物面多層膜鏡、シュワルツシルト
鏡、ウォルタ鏡など）を用いて構成しているので、Ｘ線
透過（可視光阻止）フィルターを外し、光源に可視光源
を用いれば、可視光顕微鏡としても機能する。
【００１３】このとき、Ｘ線源の位置に可視光源を一致
させれば、焦点合わせ後の光学系はＸ線源を用いた場合
と可視光源を用いた場合とで全く同じ配置となる。これ
は前記反射型光学素子の焦点距離が、Ｘ線および可視光
に対して等しいからである。ところで、高エネルギーパ
ルスレーザー光をターゲット材料上に集光、照射して生
成させるプラズマからの発光、又はシンクロトロン放射
光などを用いた光源は、Ｘ線と可視光とを同時に発生す
る。そのため、これらをＸ線源として用いるＸ線顕微鏡
においては、空間分解能の低下を来す可視光を除去し、
Ｘ線だけを通すＸ線透過フィルターを用いている。
させれば、焦点合わせ後の光学系はＸ線源を用いた場合
と可視光源を用いた場合とで全く同じ配置となる。これ
は前記反射型光学素子の焦点距離が、Ｘ線および可視光
に対して等しいからである。ところで、高エネルギーパ
ルスレーザー光をターゲット材料上に集光、照射して生
成させるプラズマからの発光、又はシンクロトロン放射
光などを用いた光源は、Ｘ線と可視光とを同時に発生す
る。そのため、これらをＸ線源として用いるＸ線顕微鏡
においては、空間分解能の低下を来す可視光を除去し、
Ｘ線だけを通すＸ線透過フィルターを用いている。
【００１４】このＸ線透過フィルターの代わりに可視光
用減光フィルターを用いれば、上述のように、光源から
の可視光を用いる可視光顕微鏡となる。この状態で焦点
合わせを行い、焦点を合わせ後に可視光用減光フィルタ
ーをＸ線透過フィルターに戻せば、観察試料にＸ線を照
射することなく、焦点合わせが終わっていることにな
る。
用減光フィルターを用いれば、上述のように、光源から
の可視光を用いる可視光顕微鏡となる。この状態で焦点
合わせを行い、焦点を合わせ後に可視光用減光フィルタ
ーをＸ線透過フィルターに戻せば、観察試料にＸ線を照
射することなく、焦点合わせが終わっていることにな
る。
【００１５】Ｘ線と可視光の波長の違いによる空間分解
能の違いで、このままではＸ線にとって焦点合わせが十
分でない場合でも、更なる焦点合わせのためのＸ線照射
量はごく少なくて済む。なお、可視光用減光フィルター
が必要な理由は、Ｘ線顕微鏡用の光源は一般に輝度が高
く、該光源からの可視光が観察試料や撮像器を傷める恐
れがあるからである。
能の違いで、このままではＸ線にとって焦点合わせが十
分でない場合でも、更なる焦点合わせのためのＸ線照射
量はごく少なくて済む。なお、可視光用減光フィルター
が必要な理由は、Ｘ線顕微鏡用の光源は一般に輝度が高
く、該光源からの可視光が観察試料や撮像器を傷める恐
れがあるからである。
【００１６】以下、本発明を実施例により更に具体的に
説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものでは
ない。
説明するが、本発明はこれらの例に限定されるものでは
ない。
【００１７】
【実施例】図１は第１実施例のＸ線顕微鏡の概略構成図
を示す。本実施例では、光源にレーザープラズマからの
発光を用い、集光（コンデンサー光学系）および結像
（結像光学系）にウォルタ鏡を用いている。高エネルギ
ーパルスレーザー装置からのレーザー光１０１が集光レ
ンズ１０２によって、レーザー光導入窓１０３を通して
真空容器１０４内の標的板（ターゲット）１０５上に集
光され、標的板１０５の表面にプラズマ１０６が生成す
る。プラズマ１０６は、Ｘ線や紫外線、可視光等のプラ
ズマ光１０７を放射するが、フィルター交換用直線導入
機１１０を用いて選択されたフィルターによって、フィ
ルターを透過する光が異なる。
を示す。本実施例では、光源にレーザープラズマからの
発光を用い、集光（コンデンサー光学系）および結像
（結像光学系）にウォルタ鏡を用いている。高エネルギ
ーパルスレーザー装置からのレーザー光１０１が集光レ
ンズ１０２によって、レーザー光導入窓１０３を通して
真空容器１０４内の標的板（ターゲット）１０５上に集
光され、標的板１０５の表面にプラズマ１０６が生成す
る。プラズマ１０６は、Ｘ線や紫外線、可視光等のプラ
ズマ光１０７を放射するが、フィルター交換用直線導入
機１１０を用いて選択されたフィルターによって、フィ
ルターを透過する光が異なる。
【００１８】焦点合わせのためには、観察試料や撮像器
を傷めない程度に減光された可視光が透過するように、
可視光用減光フィルター１０８を用いる。この可視光用
減光フィルターは、レーザープラズマＸ線源から放出さ
れる飛散粒子（標的材料のイオン、小片等）が集光鏡
（コンデンサー光学系の一例）１１１に到達するのを防
ぐ働きもしている。
を傷めない程度に減光された可視光が透過するように、
可視光用減光フィルター１０８を用いる。この可視光用
減光フィルターは、レーザープラズマＸ線源から放出さ
れる飛散粒子（標的材料のイオン、小片等）が集光鏡
（コンデンサー光学系の一例）１１１に到達するのを防
ぐ働きもしている。
【００１９】可視光による像を撮像器（撮像手段の一
例）１１４で観察しながら、集光用ウォルター鏡１１
１、および観察試料１１２、結像用ウォルター鏡（結像
光学系の一例）１１３の位置調整を行う。こうして焦点
合わせがなされた後に、フィルター交換用直線導入機１
１０を用いてフィルターをＸ線透過フィルター１０９に
換え、透過するＸ線で試料１１２を観察する。
例）１１４で観察しながら、集光用ウォルター鏡１１
１、および観察試料１１２、結像用ウォルター鏡（結像
光学系の一例）１１３の位置調整を行う。こうして焦点
合わせがなされた後に、フィルター交換用直線導入機１
１０を用いてフィルターをＸ線透過フィルター１０９に
換え、透過するＸ線で試料１１２を観察する。
【００２０】次に、第２実施例として、シンクロトロン
放射光を光源とし、集光（コンデンサー光学系）に回転
楕円面多層膜鏡を、結像（結像光学系）にシュワルツシ
ルト鏡を用いるＸ線顕微鏡の概略構成を図２に示す。電
子蓄積リングからのシンクロトロン放射光２０１は、Ｘ
線や紫外線、可視光等を含んでいる。シンクロトロン放
射光２０１は、電子蓄積リングにつながるビームライン
真空配管を介してＸ線顕微鏡用真空容器２０４に導入さ
れ、フィルター交換用直線導入機２１０を用いて選択さ
れたフィルターによって、用いる光の種類が選ばれる。
放射光を光源とし、集光（コンデンサー光学系）に回転
楕円面多層膜鏡を、結像（結像光学系）にシュワルツシ
ルト鏡を用いるＸ線顕微鏡の概略構成を図２に示す。電
子蓄積リングからのシンクロトロン放射光２０１は、Ｘ
線や紫外線、可視光等を含んでいる。シンクロトロン放
射光２０１は、電子蓄積リングにつながるビームライン
真空配管を介してＸ線顕微鏡用真空容器２０４に導入さ
れ、フィルター交換用直線導入機２１０を用いて選択さ
れたフィルターによって、用いる光の種類が選ばれる。
【００２１】焦点合わせのためには、観察試料や撮像器
を傷めない程度に減光された可視光が透過するように、
可視光用減光フィルター２０８を用いる。この可視光に
よる像を撮像器（撮像手段の一例）２１４で観察しなが
ら、集光用回転楕円面多層膜（コンデンサー光学系の一
例）２１１、および観察試料２１２、結像用シュワルツ
シルト鏡（結像光学系の一例）２１３の位置調整を行
う。
を傷めない程度に減光された可視光が透過するように、
可視光用減光フィルター２０８を用いる。この可視光に
よる像を撮像器（撮像手段の一例）２１４で観察しなが
ら、集光用回転楕円面多層膜（コンデンサー光学系の一
例）２１１、および観察試料２１２、結像用シュワルツ
シルト鏡（結像光学系の一例）２１３の位置調整を行
う。
【００２２】こうして焦点合わせがなされた後に、フィ
ルター交換用直線導入機２１０を用いてフィルターをＸ
線透過フィルター２０９に換え、透過するＸ線で試料２
１２を観察する。上記Ｘ線顕微鏡の構成において、第１
の実施例では、コンデンサー光学系及び結像光学系の反
射型光学素子（集光用光学素子及び結像用光学素子）と
してウォルタ鏡を用い、第２の実施例では、集光用光学
素子として回転楕円面多層膜鏡を、結像用光学素子とし
てシュワルツシルト鏡を用いたが、これら集光用光学素
子および結像用光学素子は、ふたつの構成において、相
互に可換である。
ルター交換用直線導入機２１０を用いてフィルターをＸ
線透過フィルター２０９に換え、透過するＸ線で試料２
１２を観察する。上記Ｘ線顕微鏡の構成において、第１
の実施例では、コンデンサー光学系及び結像光学系の反
射型光学素子（集光用光学素子及び結像用光学素子）と
してウォルタ鏡を用い、第２の実施例では、集光用光学
素子として回転楕円面多層膜鏡を、結像用光学素子とし
てシュワルツシルト鏡を用いたが、これら集光用光学素
子および結像用光学素子は、ふたつの構成において、相
互に可換である。
【００２３】また、シンクロトロン放射光は、平行光と
見なすことができるので、これを集光するのに回転放物
面多層膜鏡を用いることもできる。
見なすことができるので、これを集光するのに回転放物
面多層膜鏡を用いることもできる。
【００２４】
【発明の効果】本発明のＸ線顕微鏡を用いることによっ
て、試料にＸ線を照射しないで、或いは、試料へのＸ線
照射量を低減して、焦点合わせを行うことができる。
て、試料にＸ線を照射しないで、或いは、試料へのＸ線
照射量を低減して、焦点合わせを行うことができる。
【図１】は、第１実施例のＸ線顕微鏡を示す概略構成図
であり、レーザプラズマを光源とし、集光および結像に
ウォルタ鏡を用いる。
であり、レーザプラズマを光源とし、集光および結像に
ウォルタ鏡を用いる。
【図２】は、第２実施例のＸ線顕微鏡を示す概略構成図
であり、シンクロトロン放射光を光源とし、集光に回転
楕円面多層膜鏡を、結像にシュワルツシルト鏡を用い
る。
であり、シンクロトロン放射光を光源とし、集光に回転
楕円面多層膜鏡を、結像にシュワルツシルト鏡を用い
る。
【図３】は、従来のＸ線顕微鏡の例を示す概略構成図で
ある。
ある。
Ｃ 試料カプセル Ｅ 排気装置 Ｍ 表示装置 ４ 鏡筒用真空容器 １０ Ｘ線発生器 １１ Ｘ線照明光学系 １２ 生体試料 １３ Ｘ線拡大光学系 １４ Ｘ線撮像装置 １０１ レーザー光 １０２ レーザー光集光用レンズ １０３ レーザー光導入窓 １０４ 真空容器 １０５ 標的板（ターゲット） １０６ プラズマ（光源の一例） １０７ プラズマ光（光源からの発光の一例） １０８ 可視光用減光フィルター １０９ Ｘ線透過フィルター １１０ フィルター交換器 １１１ 集光用ウォルター鏡（コンデンサー光学系の一
例） １１２ 観察試料 １１３ 結像用ウォルター鏡（結像光学系の一例） １１４ 撮像器（撮像手段の一例） ２０１ シンクロトロン放射光（光源からの発光の一
例） ２０４ 真空容器 ２０８ 可視光用減光フィルター ２０９ Ｘ線透過フィルター ２１０ フィルター交換器 ２１１ 集光用回転楕円面多層膜鏡（コンデンサー光学
系の一例） ２１２ 観察試料 ２１３ 結像用シュワルツシルト鏡（結像光学系の一
例） ２１４ 撮像器（撮像手段の一例） 以 上
例） １１２ 観察試料 １１３ 結像用ウォルター鏡（結像光学系の一例） １１４ 撮像器（撮像手段の一例） ２０１ シンクロトロン放射光（光源からの発光の一
例） ２０４ 真空容器 ２０８ 可視光用減光フィルター ２０９ Ｘ線透過フィルター ２１０ フィルター交換器 ２１１ 集光用回転楕円面多層膜鏡（コンデンサー光学
系の一例） ２１２ 観察試料 ２１３ 結像用シュワルツシルト鏡（結像光学系の一
例） ２１４ 撮像器（撮像手段の一例） 以 上
Claims (3)
- 【請求項１】 少なくとも、Ｘ線及び可視光を発生する
光源、該光源から出射した光のうちＸ線だけを透過させ
るＸ線透過フィルター、該Ｘ線透過フィルターを透過し
たＸ線を集光して試料を照明するコンデンサー光学系、
該試料を透過したＸ線を結像させる結像光学系、該結像
光学系による結像位置に配置された撮像手段、前記光源
から該撮像手段までの光路を真空にするための真空容
器、及び該真空容器内を真空に排気するための排気手段
を有するＸ線顕微鏡において、前記コンデンサー光学系
及び前記結像光学系を反射型光学素子を用いた各光学系
とし、かつ、前記Ｘ線透過フィルターと可換に可視光用
減光フィルターを設けたことを特徴とするＸ線顕微鏡。 - 【請求項２】 前記反射型光学素子が回転楕円面多層膜
鏡、回転放物面多層膜鏡、シュワルツシルト鏡、又はウ
ォルター鏡であることを特徴とする請求項１記載のＸ線
顕微鏡。 - 【請求項３】 前記光源がレーザーをターゲット材料上
に集光、照射して生成させるプラズマからの発光、又は
シンクロトロン放射光を用いた光源であることを特徴と
する請求項１又は２記載のＸ線顕微鏡。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6134721A JPH085799A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | Ｘ線顕微鏡 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6134721A JPH085799A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | Ｘ線顕微鏡 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH085799A true JPH085799A (ja) | 1996-01-12 |
Family
ID=15135052
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6134721A Pending JPH085799A (ja) | 1994-06-16 | 1994-06-16 | Ｘ線顕微鏡 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH085799A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023203856A1 (ja) * | 2022-04-22 | 2023-10-26 | 株式会社リガク | 半導体検査装置、半導体検査システムおよび半導体検査方法 |
-
1994
- 1994-06-16 JP JP6134721A patent/JPH085799A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2023203856A1 (ja) * | 2022-04-22 | 2023-10-26 | 株式会社リガク | 半導体検査装置、半導体検査システムおよび半導体検査方法 |
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