JPH0854368A - Oxygen sensor - Google Patents
Oxygen sensorInfo
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- JPH0854368A JPH0854368A JP6189551A JP18955194A JPH0854368A JP H0854368 A JPH0854368 A JP H0854368A JP 6189551 A JP6189551 A JP 6189551A JP 18955194 A JP18955194 A JP 18955194A JP H0854368 A JPH0854368 A JP H0854368A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、酸素センサーに関す
るものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an oxygen sensor.
【０００２】[0002]
【従来の技術】図４に従来の酸素センサーを示す。ジル
コニアセル１は、イットリア安定化ジルコニア質等から
なり、円柱状の形状を有している。2. Description of the Related Art FIG. 4 shows a conventional oxygen sensor. The zirconia cell 1 is made of yttria-stabilized zirconia or the like and has a columnar shape.
【０００３】中空部材３は、アルミナチューブ等からな
り、ジルコニアセル１と同様に円柱状の形状を有し、内
部は空洞となっている。The hollow member 3 is made of an alumina tube or the like, has a cylindrical shape like the zirconia cell 1, and has a hollow inside.
【０００４】ジルコニアセル１は、内部の気密性を損な
うことのないように、中空部材３の先端部の開口部に挿
入され、融着またはアルミナ系接着剤等により取り付け
られている。The zirconia cell 1 is inserted into the opening at the tip of the hollow member 3 so as not to impair the airtightness inside, and is attached by fusion bonding or an alumina adhesive.
【０００５】また、ジルコニアセル１の被測定ガスに接
する測定極１ａおよび基準ガスに接する基準極１ｂに
は、電圧を取り出すためのＰｔ線７ａ、７ｂがそれぞれ
に取り付けられている。Further, Pt wires 7a and 7b for extracting a voltage are attached to the measurement electrode 1a of the zirconia cell 1 which is in contact with the gas to be measured and the reference electrode 1b which is in contact with the reference gas.
【０００６】この測定電極２ａ、基準電極２ｂは、ジル
コニアセル１の両面に多孔質Ｐｔペーストを塗布し、そ
の上にＰｔ線７ａ、７ｂを置いて、例えば１０００゜Ｃ
で１〜２時間焼成して焼き付け、Ｐｔ線７ａ、７ｂの取
り付けと同時に形成される。The measuring electrode 2a and the reference electrode 2b are formed by applying a porous Pt paste on both surfaces of the zirconia cell 1 and placing Pt wires 7a and 7b on the porous Pt paste, for example at 1000 ° C.
The Pt wires 7a and 7b are formed at the same time as baking and baking for 1-2 hours.
【０００７】このようにして形成された酸素センサーを
用いて、中空部材３の内部の基準ガスと図示しない測定
空間内の被測定ガスとの酸素分圧差を、ジルコニアセル
に生じる起電力によって測定する。Using the oxygen sensor thus formed, the oxygen partial pressure difference between the reference gas inside the hollow member 3 and the gas to be measured in the measurement space (not shown) is measured by the electromotive force generated in the zirconia cell. .
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】ところが、従来の酸素
センサーでは、Ｎ2−Ｏ2あるいはＡｒ−Ｏ2等の通常の
雰囲気中では、例えば約２年の長期間にわたって問題な
く動作するが、Ｈ2−Ｎ2あるいはＨ2等の強還元雰囲気
中では、約３〜４カ月という短期間でジルコニアセル１
の起電力のバラツキ、低下等が発生し、測定が不可能に
なってしまうという問題点があった。However, the conventional oxygen sensor operates in a normal atmosphere of N 2 —O 2 or Ar—O 2 for a long period of time, for example, about 2 years without any problem. In a strongly reducing atmosphere such as 2- N 2 or H 2 , zirconia cell 1 can be used in a short period of about 3 to 4 months.
There is a problem that the measurement becomes impossible because the electromotive force varies and decreases.
【０００９】すなわち、Ｐｔ線７ａを取り付けるために
塗布および焼き付けた測定電極２ａが、Ｈ2との反応に
より剥がれ落ちて、Ｐｔ線７ａとジルコニアセル１との
接触が不良となるため、接触抵抗の増加、導通不良等が
発生した。That is, the measuring electrode 2a applied and baked to attach the Pt wire 7a is peeled off due to the reaction with H 2 , and the contact between the Pt wire 7a and the zirconia cell 1 becomes poor, so that the contact resistance is reduced. Increased, conduction failure etc. occurred.
【００１０】この発明は、上述のような背景の下になさ
れたものであり、測定電極の飛散を防ぎ、長期間でも安
定した動作を行う酸素センサーを提供することを目的と
する。The present invention has been made under the background described above, and an object of the present invention is to provide an oxygen sensor which prevents scattering of measuring electrodes and operates stably even for a long period of time.
【００１１】[0011]
【課題を解決するための手段】この発明は、上記のよう
な問題点を解決するためになされたもので、内部に空洞
を有する所定形状の中空部材と、前記中空部材に内部の
気密性を損なうことなく配設されるとともに、前記中空
部材の内部の基準ガスに接する基準極と被測定ガスに接
する測定極とを有し、基準ガスと被測定ガスとの酸素分
圧差により起電力を発生するジルコニアセルと、前記ジ
ルコニアセルの基準極側に設けられた基準電極と、前記
ジルコニアセルの測定極側に設けられた測定電極と、前
記測定電極を覆うように設けられた電極保護層とを有す
ることを特徴とするものである。SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made to solve the above-mentioned problems, and a hollow member having a predetermined shape having a cavity therein and an airtightness inside the hollow member are provided. It is arranged without damage and has a reference electrode in contact with the reference gas inside the hollow member and a measurement electrode in contact with the measured gas, and an electromotive force is generated by the oxygen partial pressure difference between the reference gas and the measured gas. A zirconia cell, a reference electrode provided on the reference electrode side of the zirconia cell, a measurement electrode provided on the measurement electrode side of the zirconia cell, and an electrode protective layer provided so as to cover the measurement electrode. It is characterized by having.
【００１２】また、この発明は、前記電極保護層は、複
数の孔が設けられていることを特徴とするものである。Further, the present invention is characterized in that the electrode protective layer is provided with a plurality of holes.
【００１３】また、この発明は、前記電極保護層は、前
記ジルコニアセルと同材質からなることを特徴とするも
のである。Further, the present invention is characterized in that the electrode protective layer is made of the same material as the zirconia cell.
【００１４】また、この発明は、前記基準電極および前
記測定電極は、Ｐｔからなる電極であることを特徴とす
るものである。Further, the present invention is characterized in that the reference electrode and the measurement electrode are electrodes made of Pt.
【００１５】[0015]
【作用】この発明の酸素センサーは、ジルコニアセルの
被測定ガスに接する測定極側に設けられた測定電極を覆
うように電極保護層が設けられているため、例えばＨ2
−Ｎ2あるいはＨ2等の強還元雰囲気中であっても、測定
電極がＨ2との反応により剥がれ落ちたり、接触不良を
起こしたりすることを防止できるというように、測定電
極が被測定ガスとの反応により剥がれ落ちたり、接触不
良を起こしたりすることを防止できる。[Action] oxygen sensor of the present invention, the electrode protective layer is provided so as to cover the measurement electrode provided on the measuring electrode side in contact with the measurement gas zirconia cell, such as H 2
Even if the measurement electrode is in a strongly reducing atmosphere such as N 2 or H 2 , it is possible to prevent the measurement electrode from peeling off due to reaction with H 2 or causing contact failure. It can be prevented from peeling off or causing poor contact due to the reaction with.
【００１６】また、電極保護層に複数の孔が設けられて
いる場合には、電極保護層とジルコニアセルとの通気性
をよくし、酸素ガスが被測定ガス内へ拡散することがで
きる。Further, when the electrode protective layer is provided with a plurality of holes, the gas permeability between the electrode protective layer and the zirconia cell is improved, and oxygen gas can diffuse into the gas to be measured.
【００１７】また、電極保護層がジルコニアセルと同材
質からなる場合には、熱膨張率が同じであるために、高
温下での破損等を防止できる。When the electrode protective layer is made of the same material as the zirconia cell, since the coefficient of thermal expansion is the same, it is possible to prevent damage at high temperatures.
【００１８】また、基準電極および測定電極がＰｔから
なる電極である場合には、Ｐｔが多孔質性を有するため
に、ジルコニアセルとの通気性がよくなり、酸素ガスが
被測定ガス内へ拡散することができる。Further, when the reference electrode and the measurement electrode are electrodes made of Pt, since Pt has porosity, air permeability with the zirconia cell is improved, and oxygen gas diffuses into the gas to be measured. can do.
【００１９】[0019]
【実施例】以下、図１、図２、図３を参照して、この発
明の一実施例である酸素センサーについて説明する。こ
の酸素センサーは、イットリア安定化ジルコニア質等か
らなる円柱状の形状を有するジルコニアセル１と、アル
ミナチューブ等からなり円柱状の形状を有し、内部は空
洞となっている中空部材３と、ジルコニアセル１の測定
極１ａに設けられた測定電極２ａと、ジルコニアセル１
の基準極１ｂに設けられた基準電極２ｂと、ジルコニア
セル１の測定極を覆うように設けられたジルコニア保護
層９とを備えている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An oxygen sensor according to an embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS. 1, 2 and 3. This oxygen sensor includes a zirconia cell 1 having a cylindrical shape made of yttria-stabilized zirconia, a hollow member 3 having a cylindrical shape made of an alumina tube and the like, and a zirconia hollow member. Measuring electrode 2a provided on measuring electrode 1a of cell 1 and zirconia cell 1
The reference electrode 2b provided on the reference electrode 1b and the zirconia protective layer 9 provided so as to cover the measurement electrode of the zirconia cell 1.
【００２０】ジルコニアセル１は、気密性を損なうこと
のないように、中空部材３の先端部に挿入され、融着ま
たはアルミナ系接着剤等により取り付けられている。The zirconia cell 1 is inserted into the tip of the hollow member 3 so as not to impair the airtightness, and is attached by fusion bonding or an alumina-based adhesive.
【００２１】測定電極２ａは、図２に示すように、Ｐｔ
板電極５と、Ｐｔ線７ａと、Ｐｔ焼付膜１１とから構成
されている。Ｐｔ板電極５は、直径３〜４ｍｍ、厚さ
０．１〜０．５ｍｍ程度の円板状の形状をしており、通
気性をよくするために、φ０．１ｍｍ程度の孔５ａ、５
ａ、…が無数に設けられている。The measuring electrode 2a is made of Pt as shown in FIG.
It is composed of a plate electrode 5, a Pt wire 7 a, and a Pt baking film 11. The Pt plate electrode 5 has a disk-like shape having a diameter of 3 to 4 mm and a thickness of 0.1 to 0.5 mm, and has holes 5a and 5 having a diameter of about 0.1 mm in order to improve air permeability.
Innumerable a, ... Are provided.
【００２２】Ｐｔ線７ａは、φ０．３〜０．５ｍｍ程度
のＰｔ線であって、ジルコニアセル１の測定極１ａに、
Ｐｔ板電極５に溶接して取り付けられている。The Pt wire 7a is a Pt wire having a diameter of about 0.3 to 0.5 mm, and is connected to the measuring electrode 1a of the zirconia cell 1.
It is attached to the Pt plate electrode 5 by welding.
【００２３】Ｐｔ焼付膜１１は、ジルコニアセル１の測
定極１ａにＰｔペーストを塗布して焼き付けることによ
り形成されており、多孔質である。これにより、Ｐｔ焼
付膜１１を介してジルコニアセル１とＰｔ板電極５との
通気性がよくなっている。The Pt baking film 11 is formed by applying Pt paste to the measuring electrode 1a of the zirconia cell 1 and baking it, and is porous. This improves the air permeability between the zirconia cell 1 and the Pt plate electrode 5 through the Pt baking film 11.
【００２４】基準電極２ｂは、φ０．３〜０．５ｍｍ程
度のＰｔ線７ｂを、多孔質のＰｔペーストが塗布された
ジルコニアセル１の基準極１ｂの上に置き、例えば１０
００゜Ｃで１〜２時間焼成して基準極１ｂの表面に焼き
付けて取り付けることにより形成されている。As the reference electrode 2b, a Pt wire 7b having a diameter of about 0.3 mm to 0.5 mm is placed on the reference electrode 1b of the zirconia cell 1 coated with a porous Pt paste, for example, 10
It is formed by baking at 00 ° C. for 1 to 2 hours and baking on the surface of the reference electrode 1b.
【００２５】ジルコニア保護層９は、ジルコニアセル１
と同材質であり、測定極１ａの表面をＰｔ板電極５を覆
うように形成されている。また、気孔率８０％以上の多
孔質であり、これにより、ジルコニアセル１から発生し
た酸素ガスが被測定ガス中へ拡散しやすいようにしてい
る。The zirconia protective layer 9 is a zirconia cell 1
It is made of the same material as, and is formed so as to cover the surface of the measurement electrode 1a with the Pt plate electrode 5. Further, it is porous with a porosity of 80% or more, which makes it easy for oxygen gas generated from the zirconia cell 1 to diffuse into the gas to be measured.
【００２６】ここで、ジルコニアセル１の測定極１ａへ
の測定電極の形成方法について説明する。 （１）測定極１ａの表面に、Ｐｔ板電極５の形状に合わ
せてＰｔペーストを塗布する。Now, a method of forming the measuring electrode on the measuring electrode 1a of the zirconia cell 1 will be described. (1) Pt paste is applied to the surface of the measurement electrode 1a in conformity with the shape of the Pt plate electrode 5.
【００２７】（２）これを約１０００゜Ｃ、１時間で焼
き付ける。(2) This is baked at about 1000 ° C. for 1 hour.
【００２８】（３）Ｐｔ線７を孔５ａ、５ａ、…を無数
に設けたＰｔ板電極５に溶接して取り付ける。(3) The Pt wire 7 is attached by welding to the Pt plate electrode 5 having a large number of holes 5a, 5a, ...
【００２９】（４）Ｐｔ板電極５のジルコニアセル１側
にＰｔペーストを塗布して、測定極１ａの表面のＰｔペ
ーストを塗布した部分に焼き付ける。(4) Pt paste is applied to the zirconia cell 1 side of the Pt plate electrode 5 and baked on the Pt paste applied portion of the surface of the measuring electrode 1a.
【００３０】（５）測定極１ａを覆うようにペースト状
のジルコニアを塗布して、乾燥させた後、約１５００゜
Ｃで焼成してジルコニア保護層９を形成する。(5) A zirconia paste is applied so as to cover the measuring electrode 1a, dried and then baked at about 1500 ° C. to form the zirconia protective layer 9.
【００３１】このようにして形成された酸素センサーを
用いて、中空部材３の内部の基準ガスと図示しない測定
空間内の測定ガスとの酸素分圧差を、酸素センサーに生
じる起電力によって測定する。Using the oxygen sensor thus formed, the oxygen partial pressure difference between the reference gas inside the hollow member 3 and the measurement gas in the measurement space (not shown) is measured by the electromotive force generated in the oxygen sensor.
【００３２】ところで、上記実施例のような酸素センサ
ーでは、中空部材の先端部にジルコニアセルを配設して
いるが、この発明はこれに限定されるものではなく、気
密性を損なうことがなければ中空部材のどの位置に配設
してもよい。By the way, in the oxygen sensor of the above-mentioned embodiment, the zirconia cell is arranged at the tip of the hollow member, but the present invention is not limited to this, and the airtightness should be impaired. For example, it may be arranged at any position on the hollow member.
【００３３】また、上記実施例では、中空部材はアルミ
ナチューブ等からなる円柱状の形状を有し、内部は空洞
となっているが、この発明はこれに限定されるものでは
なく、例えば、アルミナ以外の他のセラミックス材料か
らなるものや、円柱状以外の角柱状などの筒形状やその
他の異形状のものなど、種々の材質および形状の中空部
材を用いることが可能である。Further, in the above embodiment, the hollow member has a cylindrical shape made of alumina tube or the like, and the inside is hollow, but the present invention is not limited to this, and for example, alumina is used. Other than these, it is possible to use hollow members of various materials and shapes, such as those made of other ceramic materials, cylindrical shapes such as prismatic shapes other than cylindrical shapes, and other irregular shapes.
【００３４】また、上記実施例では、円柱状のジルコニ
アセルを用いているが、この発明はこれに限定されるも
のではなく、中空部材の形状に応じた形状のジルコニア
セルを用いることが可能である。Further, although the columnar zirconia cell is used in the above embodiment, the present invention is not limited to this, and a zirconia cell having a shape corresponding to the shape of the hollow member can be used. is there.
【００３５】また、上記実施例では、Ｐｔ板電極、Ｐｔ
焼付膜、およびジルコニア保護層に複数の孔が設けられ
ているが、この発明はこれに限定されるものではなく、
例えば、スリットのようなものを設けることによって、
通気性をよくすることができれば特に制限はない。In the above embodiment, the Pt plate electrode, Pt
Although a plurality of holes are provided in the baking film and the zirconia protective layer, the present invention is not limited to this.
For example, by providing something like a slit,
There is no particular limitation as long as the air permeability can be improved.
【００３６】なお、この発明は、上記実施例である酸素
センサーに限定されるものではなく、種々の酸素センサ
ーにおいて、上記実施例のような電極構造にすることに
よって、電極の飛散を防ぎ、長期間でも安定することが
可能である。The present invention is not limited to the oxygen sensor of the above embodiment, and various oxygen sensors are provided with the electrode structure as in the above embodiment to prevent the scattering of the electrode and increase the longevity. It is possible to stabilize during the period.
【００３７】この発明は、さらにその他の点において
も、上記実施例に限定されるものではなく、Ｐｔ板電極
またはＰｔ線またはＰｔ焼付膜の材質や具体的形状、ジ
ルコニア保護層の材質や具体的形状などに関し、この発
明の要旨の範囲内において、種々の応用、変形を加える
ことが可能である。The present invention is not limited to the above embodiments in other points as well, and the material and specific shape of the Pt plate electrode or the Pt wire or the Pt baked film, the material and specific shape of the zirconia protective layer. With regard to the shape and the like, various applications and modifications can be made within the scope of the present invention.
【００３８】[0038]
【発明の効果】この発明の酸素センサーは、ジルコニア
セルの被測定ガスに接する測定極側に設けられた測定電
極を覆うように電極保護層が設けられているため、例え
ばＨ2−Ｎ2あるいはＨ2等の強還元雰囲気中であって
も、測定電極がＨ2との反応により剥がれ落ちたり、接
触不良を起こしたりすることを防止できるというよう
に、測定電極が被測定ガスとの反応により剥がれ落ちた
り、接触不良を起こしたりすることを防止できるので、
測定電極の飛散を防ぎ、長期間でも安定させることが可
能である。Since the oxygen sensor of the present invention is provided with the electrode protective layer so as to cover the measurement electrode provided on the measurement electrode side of the zirconia cell in contact with the gas to be measured, for example, H 2 —N 2 or Even in a strongly reducing atmosphere such as H 2 , the measuring electrode can be prevented from peeling off due to the reaction with H 2 or causing contact failure. As it can be prevented from peeling off and causing poor contact,
It is possible to prevent scattering of the measurement electrode and stabilize it for a long period of time.
【００３９】また、電極保護層に複数の孔が設けられて
いる場合には、電極保護層とジルコニアセルとの通気性
をよくし、ジルコニアセルから発生した酸素ガスが被測
定ガス中へ拡散することができるので、正確でかつ安定
した測定が可能である。When the electrode protective layer is provided with a plurality of holes, the gas permeability between the electrode protective layer and the zirconia cell is improved, and the oxygen gas generated from the zirconia cell diffuses into the gas to be measured. Therefore, accurate and stable measurement is possible.
【００４０】また、電極保護層がジルコニアセルと同材
質からなる場合には、熱膨張率が同じであるために、高
温下での破損等を防止できるので、長期間でもより一層
安定させることができる。When the electrode protective layer is made of the same material as the zirconia cell, since it has the same coefficient of thermal expansion, it is possible to prevent damage and the like at high temperatures, so that it can be further stabilized for a long period of time. it can.
【００４１】また、基準電極および測定電極がＰｔから
なる電極である場合には、Ｐｔが多孔質性を有するため
に、ジルコニアセルとの通気性がよくなり、酸素ガスが
被測定ガス内へ拡散することができるのでより一層正確
でかつ安定した測定が可能である。さらに、Ｐｔの耐熱
性、耐腐食性により、長期間でもより一層安定させるこ
とが可能である。When the reference electrode and the measurement electrode are electrodes made of Pt, since Pt has porosity, the gas permeability to the zirconia cell is improved, and oxygen gas diffuses into the gas to be measured. Therefore, more accurate and stable measurement is possible. Furthermore, due to the heat resistance and corrosion resistance of Pt, it is possible to further stabilize it for a long period of time.
【図１】この発明の一実施例にかかる酸素センサーを示
す断面図。FIG. 1 is a sectional view showing an oxygen sensor according to an embodiment of the present invention.
【図２】この発明の一実施例にかかる酸素センサーの構
成を示す図。FIG. 2 is a diagram showing a configuration of an oxygen sensor according to an embodiment of the present invention.
【図３】この発明の一実施例にかかる酸素センサーの構
成を示す図。FIG. 3 is a diagram showing a configuration of an oxygen sensor according to an embodiment of the present invention.
【図４】従来の酸素センサーを示す断面図。FIG. 4 is a sectional view showing a conventional oxygen sensor.
１ ジルコニアセル １ａ 測定極 １ｂ 基準極 ２ａ 測定電極 ２ｂ 基準電極 ３ 中空部材 ５ Ｐｔ板電極 ５ａ 孔 ７ａ、７ｂ Ｐｔ線 ９ ジルコニア保護層（電極保護層） １１ Ｐｔ焼付膜 1 Zirconia Cell 1a Measurement Electrode 1b Reference Electrode 2a Measurement Electrode 2b Reference Electrode 3 Hollow Member 5 Pt Plate Electrode 5a Hole 7a, 7b Pt Wire 9 Zirconia Protective Layer (Electrode Protective Layer) 11 Pt Baking Film
Claims (4)
と、前記中空部材に内部の気密性を損なうことなく配設
されるとともに、前記中空部材の内部の基準ガスに接す
る基準極と被測定ガスに接する測定極とを有し、基準ガ
スと被測定ガスとの酸素分圧差により起電力を発生する
ジルコニアセルと、前記ジルコニアセルの基準極側に設
けられた基準電極と、前記ジルコニアセルの測定極側に
設けられた測定電極と、前記測定電極を覆うように設け
られた電極保護層とを有することを特徴とする酸素セン
サー。1. A hollow member having a predetermined shape having a hollow inside, a reference electrode which is disposed in the hollow member without impairing the internal airtightness, and which is in contact with a reference gas inside the hollow member and a measured object. With a measurement electrode in contact with the gas, a zirconia cell that generates an electromotive force due to the oxygen partial pressure difference between the reference gas and the gas to be measured, a reference electrode provided on the reference electrode side of the zirconia cell, and the zirconia cell. An oxygen sensor, comprising: a measurement electrode provided on the measurement electrode side; and an electrode protective layer provided so as to cover the measurement electrode.
ていることを特徴とする請求項１記載の酸素センサー。2. The oxygen sensor according to claim 1, wherein the electrode protection layer is provided with a plurality of holes.
と同材質からなることを特徴とする請求項１または２記
載の酸素センサー。3. The oxygen sensor according to claim 1, wherein the electrode protection layer is made of the same material as the zirconia cell.
ｔからなる電極であることを特徴とする請求項１ないし
３記載の酸素センサー。4. The reference electrode and the measurement electrode are P
The oxygen sensor according to claim 1, wherein the oxygen sensor is an electrode made of t.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6189551A JPH0854368A (en) | 1994-08-11 | 1994-08-11 | Oxygen sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP6189551A JPH0854368A (en) | 1994-08-11 | 1994-08-11 | Oxygen sensor |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0854368A true JPH0854368A (en) | 1996-02-27 |
Family
ID=16243221
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP6189551A Pending JPH0854368A (en) | 1994-08-11 | 1994-08-11 | Oxygen sensor |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0854368A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003279528A (en) * | 2002-03-27 | 2003-10-02 | Kyocera Corp | Oxygen sensor electrode |
| JP2008008857A (en) * | 2006-06-30 | 2008-01-17 | Denso Corp | Gas sensor |
| JP2008101965A (en) * | 2006-10-18 | 2008-05-01 | Shimadzu Corp | Thermal mass flowmeter |
| KR101041324B1 (en) * | 2009-03-25 | 2011-06-14 | 서울대학교산학협력단 | A gas sensor comprising yttria-stabilized zirconia and Method of preparing the same |
-
1994
- 1994-08-11 JP JP6189551A patent/JPH0854368A/en active Pending
Cited By (4)
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| KR101041324B1 (en) * | 2009-03-25 | 2011-06-14 | 서울대학교산학협력단 | A gas sensor comprising yttria-stabilized zirconia and Method of preparing the same |
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