JPH08340077A - Method for removing solvent - Google Patents

Method for removing solvent

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JPH08340077A
JPH08340077A JP14432095A JP14432095A JPH08340077A JP H08340077 A JPH08340077 A JP H08340077A JP 14432095 A JP14432095 A JP 14432095A JP 14432095 A JP14432095 A JP 14432095A JP H08340077 A JPH08340077 A JP H08340077A
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JP
Japan
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solvent
lead frame
air
suction
strip
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Teruo Goto
照男 後藤
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Hitachi Cable Ltd
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Hitachi Cable Ltd
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Abstract

PURPOSE: To provide a method by which a solvent adhering to a strip type lead frame can be easily and inexpensively drained. CONSTITUTION: In a method for removing solvent, a solvent adhering to a strip type lead frame 1 is removed in a housing case 2 by sucking the solvent by means of a suction blower while high-pressure air is blown upon the lead frame 1 from an air nozzle 3 connected to a high-pressure blower 7. Namely, the solvent is removed in the case 2 airtightly sealed with an upper cover section 8 which can be expanded and contracted in the horizontal direction and lower suction hood 5 by simultaneously performing the blowing of the high- pressure air and sucking of the solvent and moving the nozzle 3 in the horizontal direction.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、短冊型リードフレーム
の溶剤液切り方法に係り、トランジスタやICの短冊型
リードフレームの脱脂洗浄後に、リードフレームに付着
した洗浄溶剤液を気密な収納ケース内で液切りする溶剤
液切り方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a method for draining a strip-shaped lead frame from a solvent, and after cleaning the strip-shaped lead frame of a transistor or an IC with degreasing and cleaning, a cleaning solvent liquid adhering to the lead frame is placed in an airtight storage case. The present invention relates to a solvent liquid draining method for draining liquid with.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来のリードフレームは、ダイパッド
と、IC素子を取り付ける中央部と、IC素子上の電極
と接続される複数のアウタリードとを多数連続して形成
したものである。このようなリードフレームは、鉄、
銅、その合金等の条材で、IC素子を取り付ける中央部
と広幅側縁バーの不要部分をプレス金型にて打ち抜きア
ウタリードとを形成し、前記中央部と前記アウタリード
とはコネクター線で接続して構成するものである。
2. Description of the Related Art A conventional lead frame has a die pad, a central portion for mounting an IC element, and a plurality of outer leads connected to electrodes on the IC element, which are continuously formed. Such leadframes are made of iron,
With a strip material such as copper or its alloy, the central portion to which the IC element is attached and the unnecessary portion of the wide side edge bar are punched out with a press die to form an outer lead, and the central portion and the outer lead are connected by a connector wire. It is configured by.

【0003】上記のように、プレス金型で打ち抜いたリ
ードフレームには、プレス油が付着しているので、これ
を除去するため脱脂洗浄が施される。その際、使用され
た溶剤が製品に付着したまま乾燥すると、乾燥時間が長
くなり、洗浄溶剤液を消耗し、製品品質が悪くなる。ま
た、可燃性溶剤液の場合には安全性が悪くなる。
As described above, since the lead frame punched by the press die has the press oil attached thereto, it is degreased and washed to remove it. At that time, if the used solvent is dried while adhering to the product, the drying time becomes long, the cleaning solvent liquid is consumed, and the product quality deteriorates. Further, in the case of a flammable solvent liquid, the safety deteriorates.

【0004】そこで、従来の種々の液切り乾燥法を短冊
型リードフレームについて図5ないし図7を参照して説
明する。
Then, various conventional draining and drying methods will be described with reference to FIGS. 5 to 7 for a strip type lead frame.

【0005】図5は、従来の液切り乾燥法の一方法であ
るエアブロー法の説明図、図6は、従来の液切り乾燥法
の一方法である真空乾燥法の説明図、図6は、従来の液
切り乾燥法の一方法である吸引法の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory view of an air blow method which is one method of a conventional liquid draining drying method, FIG. 6 is an explanatory view of a vacuum drying method which is one method of a conventional liquid draining drying method, and FIG. It is explanatory drawing of the suction method which is one method of the conventional drainage drying method.

【0006】図5、6、7において、1は短冊型リード
フレーム、2aは洗浄ケース、3はエアブローノズル、
4は高圧ブロア、5は吸引フード、11は密閉容器、1
2は真空ポンプである。
In FIGS. 5, 6 and 7, 1 is a strip type lead frame, 2 a is a cleaning case, 3 is an air blow nozzle,
4 is a high pressure blower, 5 is a suction hood, 11 is a closed container, 1
2 is a vacuum pump.

【0007】図5において、(a)はエアブロー法の正
面、(b)はエアブロー法の側面を示しているが、図示
の如く、洗浄ケース2a内の溶剤が付着している短冊型
リードフレーム1に対し、その上部より高圧ブロア4に
接続された複数のエアブローノズル3から高圧エアを吹
き付けて、前記溶剤を除去排出する方法である。前記エ
アブローノズル3は均一な速度で往復させる移動式が多
い。
In FIG. 5, (a) shows the front surface of the air blow method and (b) shows the side surface of the air blow method. As shown, the strip-shaped lead frame 1 to which the solvent in the cleaning case 2a adheres. On the other hand, it is a method in which high pressure air is blown from a plurality of air blow nozzles 3 connected to the high pressure blower 4 from the upper part to remove and discharge the solvent. The air blow nozzle 3 is often a movable type that reciprocates at a uniform speed.

【0008】図6に示す真空乾燥法は、短冊型リードフ
レーム1を収納した洗浄ケース2a全体を密閉容器11
内に収め、高真空下にて付着溶剤を蒸発させ、前記蒸発
した溶剤蒸気を真空ポンプ12で排気する方法である。
In the vacuum drying method shown in FIG. 6, the cleaning case 2a accommodating the strip-shaped lead frame 1 is entirely covered with a closed container 11.
It is a method in which the adhering solvent is stored in a high vacuum and the evaporated solvent vapor is exhausted by the vacuum pump 12.

【0009】図7に示す吸引法は、短冊型リードフレー
ム1を収納した洗浄ケース2aと、吸引フード5とを気
密に接合し、この気密な吸引フード5の吸引口に接続し
た吸引ブロア7で、付着溶剤を吸引排出する方法であ
る。
In the suction method shown in FIG. 7, the cleaning case 2a accommodating the strip-shaped lead frame 1 and the suction hood 5 are airtightly joined to each other, and the suction blower 7 connected to the suction port of the airtight suction hood 5 is used. It is a method of sucking and discharging the attached solvent.

【0010】[0010]

【発明が解決しようとする課題】上記従来の各種の液切
り方法では、下記の問題を有していた。
The above-mentioned various conventional liquid draining methods have the following problems.

【0011】エアブロー法は、付着している溶剤を高圧
エアの機械的エネルギーで吹き飛ばす方法であるが、短
冊型リードフレーム表面の溶剤は除去できるが、リード
フレーム間に付着している溶剤は容易に除去できない。
この溶剤を除去するためには、高圧エアのブロー速度を
大にする必要があり、高圧ブロアを大容量にしなければ
ならず、設備費がかかるという問題があった。
The air blow method is a method of blowing off the adhering solvent with the mechanical energy of high-pressure air. Although the solvent on the surface of the strip-shaped lead frame can be removed, the solvent adhering between the lead frames can be easily removed. Cannot be removed.
In order to remove this solvent, it is necessary to increase the blowing speed of the high-pressure air, the high-pressure blower has to have a large capacity, and there is a problem that the equipment cost is high.

【0012】真空乾燥法においては、密閉容器や真空ポ
ンプ等の設備費が大であるのみならず、バツチ処理のた
め大量生産には不向きであり、また付着溶剤が蒸発する
際、蒸発潜熱によりリードフレームが冷却して、その温
度が下がると蒸発が停止するので、液切り処理前に60
〜80℃に加温しなければならず、コストが掛かり、面
倒でもあるという問題があった。
In the vacuum drying method, not only is the equipment cost of a closed container, a vacuum pump, etc. large, but it is not suitable for mass production due to the batch process, and when the adhering solvent evaporates, the latent heat of evaporation leads to lead. When the frame cools and its temperature drops, evaporation stops.
There was a problem that it had to be heated to -80 ° C, which was costly and troublesome.

【0013】吸引法では、洗浄ケースの下方から気密な
吸引フードを介して吸引するため、リードフレーム下部
の付着溶剤は除去しやすいが、上部や中間部に付着して
いる溶剤の除去は困難であるという問題があった。
In the suction method, since the suction is carried out from below the cleaning case through the air-tight suction hood, the solvent adhering to the lower portion of the lead frame can be easily removed, but the solvent adhering to the upper and middle portions is difficult to remove. There was a problem.

【0014】上記エアブロー法と吸引法とを併用する方
法も考えられるが、吸引法では吸引フード内を密閉状態
にしなければならないため、エアブロー法においても高
圧エアを吹き付けるブローノズルが配設されているリー
ドフレームの上部を気密にする必要がある。前記ブロー
ノズルを固定式にすれば、前記リードフレーム上部の気
密構造は比較的容易であるが、高圧エアが一個所から吹
き出すことになるため、ブロアの容量を大にしなけれ
ば、当該高圧エアに付着溶剤を吹き飛ばす機械的エネル
ギーを持たせることが困難であるという問題があった。
A method using both the air blowing method and the suction method is conceivable. However, since the suction hood must be hermetically closed in the suction method, a blow nozzle for blowing high pressure air is also provided in the air blowing method. The top of the leadframe needs to be airtight. If the blow nozzle is fixed, the airtight structure on the upper part of the lead frame is relatively easy, but high-pressure air will be blown out from one place, so if the blower capacity is not large, There is a problem that it is difficult to provide mechanical energy for blowing off the adhering solvent.

【0015】本発明は、上記従来技術の問題点を解決す
るためになされたもので、エアブロー法と吸引法の長所
を取り入れ、簡単、かつ安価な気密構造の容器内の短冊
型リードフレームに、上部からエアブローし、同時に、
下部から吸引し、確実にその付着溶剤を液切りする溶剤
液切り方法を提供することをその目的とするものであ
る。
The present invention has been made in order to solve the above-mentioned problems of the prior art, and incorporates the advantages of the air blow method and the suction method into a simple and inexpensive strip-shaped lead frame in a container having an airtight structure. Air blow from the top, at the same time,
It is an object of the present invention to provide a method for draining a solvent that sucks from a lower portion and drains the attached solvent reliably.

【0016】[0016]

【課題を解決するための手段】上記目的を達成するため
に、溶剤液切り方法に係る本発明の構成は、短冊型リー
ドフレームに付着した溶剤を、高圧ブロアと接続したエ
アノズルから高圧エアを吹き付けると共に吸引ブロアで
吸引させ、収納ケース内で液切りする溶剤液切り方法で
あって、前記吹き付けと前記吸引とを同時に行わせ、前
記エアノズルを水平方向に移動させ、水平方向に伸縮自
在な上部覆い部と下部吸引フードを取り付けた気密構造
の収納ケース内で液切りすることを特徴とするものであ
る。
In order to achieve the above object, the structure of the present invention relating to a solvent liquid draining method is such that a solvent attached to a strip-shaped lead frame is blown with high pressure air from an air nozzle connected to a high pressure blower. It is a solvent liquid draining method in which it is sucked with a suction blower and drained in the storage case, and the spraying and the suction are performed at the same time, the air nozzle is moved in the horizontal direction, and the horizontal upper and lower cover is expandable. It is characterized in that the liquid is drained in a storage case having an airtight structure in which a part and a lower suction hood are attached.

【0017】[0017]

【作用】上記各技術的手段の働きは次のとおりである。The function of each of the above technical means is as follows.

【0018】本発明の構成によれば、高圧ブロアと接続
したエアノズルから高圧エアを吹き付けると共に、同時
に吸引ブロアで吸引させ、前記エアノズルを水平方向に
移動させ、水平方向に伸縮自在な上部覆い部を取り付け
た気密構造の収納ケース内で短冊型リードフレームの付
着溶剤を液切りさせるので、前記短冊型リードフレーム
の表面、中間部、下部、リードフレーム間に付着してい
る溶剤をすべて除去することができ、さらに、エアノズ
ルから吹き付けと吸引ブロアの吸引とが相乗作用し、付
着溶剤除去の働きが一層強くなる。
According to the structure of the present invention, high-pressure air is blown from the air nozzle connected to the high-pressure blower and is simultaneously sucked by the suction blower to move the air nozzle in the horizontal direction, so that the upper cover portion which can be expanded and contracted in the horizontal direction is formed. Since the solvent attached to the strip-shaped lead frame is drained in the attached airtight structure storage case, it is possible to remove all the solvent attached to the surface, the middle part, the lower part and between the lead frames of the strip-shaped lead frame. Further, the spraying from the air nozzle and the suction of the suction blower act synergistically to further strengthen the function of removing the adhering solvent.

【0019】[0019]

【実施例】以下本発明の一実施例を図1ないし図4を参
照して説明する。
DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS An embodiment of the present invention will be described below with reference to FIGS.

【0020】図1は、本発明の一実施例に係る溶剤液切
り方法に用いられる液切り装置の説明図、図2は、図1
の液切り装置の伸縮カバーの一例の説明図、図3は、図
1の液切り装置の伸縮カバーの他の一例の説明図、図4
は図1の液切り装置における伸縮カバーの気密構造拡大
説明図である。図中、図5、6と同一符号は同等部分で
あるので、再度の説明を省略し、新たな符号のみ説明す
る。2は洗浄ケース、6は上部蓋、8はカバー、9は蛇
腹式カバー、10はスプライドプレート式カバー、13
は駆動チエーンである。
FIG. 1 is an explanatory view of a liquid draining device used in a solvent liquid draining method according to an embodiment of the present invention, and FIG. 2 is shown in FIG.
4 is an explanatory view of an example of an expandable cover of the liquid draining device of FIG. 3, FIG. 3 is an explanatory view of another example of the expandable cover of the liquid draining device of FIG. 1, FIG.
FIG. 2 is an enlarged explanatory view of an airtight structure of a stretchable cover in the liquid draining device of FIG. 1. In the figure, the same reference numerals as those in FIGS. 5 and 6 are the same parts, and therefore the repetitive description will be omitted and only new reference numerals will be described. 2 is a washing case, 6 is an upper lid, 8 is a cover, 9 is a bellows type cover, 10 is a splice plate type cover, 13
Is the drive chain.

【0021】図1において、(a)は、本発明に係る溶
剤液切り方法に用いられる液切り装置の正面図であり、
(b)は本発明に係る溶剤液切り方法に用いられる液切
り装置の側面図である。
In FIG. 1, (a) is a front view of a liquid draining device used in the solvent liquid draining method according to the present invention.
(B) is a side view of the liquid draining apparatus used for the solvent liquid draining method according to the present invention.

【0022】短冊リードフレーム1が収納されている洗
浄ケース2の下部には、吸引フード5が気密を保持して
接合され、その上部には上部蓋6が気密を保持して接合
されている。前記吸引フード5にはブロア7が連結さ
れ、エア吸引されている。
A suction hood 5 is airtightly joined to the lower portion of the cleaning case 2 in which the strip lead frame 1 is housed, and an upper lid 6 is airtightly joined to the upper portion thereof. A blower 7 is connected to the suction hood 5 to suck air.

【0023】前記上部蓋6には、水平方向に一定速度で
移動することができる複数のエアノズル3が取り付けら
れ、当該複数のエアノズル3には高圧ブロア4が連結さ
れている。
A plurality of air nozzles 3 that can move horizontally at a constant speed are attached to the upper lid 6, and a high pressure blower 4 is connected to the plurality of air nozzles 3.

【0024】前記上部蓋6には、前記複数のエアノズル
3が水平方向に一定速度で移動しているときにも気密を
保持したまま伸縮自在なカバー8が取り付けられてい
る。
A cover 8 is attached to the upper lid 6 so as to be expandable and contractible while maintaining airtightness even when the plurality of air nozzles 3 are horizontally moving at a constant speed.

【0025】上記エアノズル3は、その先端より高圧エ
アを下方に位置する前記洗浄ケース2中の短冊リードフ
レーム1に吹き付けながら、当該短冊リードフレーム1
上を順次水平方向に一定速度で移動する。前記伸縮自在
なカバー8の働きにより、洗浄ケース2および上部蓋6
並びに吸引フード5は気密に保持され、前記吹き付け、
吸引により効果的に付着溶剤を除去することができる。
The air nozzle 3 blows high-pressure air onto the strip lead frame 1 in the cleaning case 2 located below the tip of the air nozzle 3 while the strip lead frame 1 is being blown.
It moves upwards in the horizontal direction at a constant speed. By the function of the elastic cover 8, the cleaning case 2 and the upper lid 6 are
In addition, the suction hood 5 is kept airtight,
The suction can effectively remove the adhering solvent.

【0026】前記伸縮自在なカバー8の具体的構成が、
図2において蛇腹式カバー、図3においてスライドプレ
ート式カバーとして示されている。
The specific structure of the expandable cover 8 is as follows.
It is shown as a bellows type cover in FIG. 2 and as a slide plate type cover in FIG.

【0027】図2において、9は蛇腹式カバーであり、
(a)は蛇腹が縮んだ状態の説明図、(b)は蛇腹が伸
びた状態の説明図、(c)は側面図である。
In FIG. 2, 9 is a bellows type cover,
(A) is an explanatory view of a state where the bellows are contracted, (b) is an explanatory view of a state where the bellows are extended, and (c) is a side view.

【0028】図3において、10はスライドプレート式
カバーであり、(a)はスライドプレートが縮んだ状態
の説明図、(b)はスライドプレートが伸びた状態の説
明図、(c)は側面図である。
In FIG. 3, 10 is a slide plate type cover, (a) is an explanatory view of the slide plate in a contracted state, (b) is an explanatory view of the slide plate in an extended state, and (c) is a side view. Is.

【0029】次ぎに、図4を参照して前記伸縮自在なカ
バー8に上記蛇腹式カバー9を用いた場合の気密構造の
具体例を説明する。図4(a)は伸縮カバーの気密構造
の拡大平面図、図4(b)は伸縮カバーの気密構造拡大
断面図である。
Next, a specific example of the airtight structure in the case where the bellows type cover 9 is used as the expandable cover 8 will be described with reference to FIG. 4A is an enlarged plan view of the airtight structure of the expandable cover, and FIG. 4B is an enlarged sectional view of the airtight structure of the expandable cover.

【0030】図示するように、上部蓋6内に蛇腹式カバ
ー9が取付けられている。すなわち、前記蛇腹式カバー
9の短手方向の両面は前記上部蓋6の短手方向の両壁面
と気密に取り付けられ固定されている。前記蛇腹式カバ
ー9の長手方向の両面は前記上部蓋6の長手方向の壁面
と摺動しながら気密を保持するように取り付けられてい
る。
As shown in the drawing, a bellows type cover 9 is attached in the upper lid 6. That is, both lateral surfaces of the bellows-type cover 9 are airtightly attached and fixed to both lateral surfaces of the upper lid 6. Both sides of the bellows-type cover 9 in the longitudinal direction are attached so as to maintain airtightness while sliding on the wall surface of the upper lid 6 in the longitudinal direction.

【0031】前記蛇腹式カバー9のほぼ中央部には、エ
アノズル3を有する取付け筐体が前記蛇腹式カバー9を
二分するように配設され、前記取付け筐体の長手方向の
両面面には、前記蛇腹式カバー9がそれぞれ気密に取り
付けられている。前記エアノズル3の取付け筐体の両端
部には、駆動チエーン13が連結され、図示左右の水平
方向に移動するようになっている。
A mounting housing having an air nozzle 3 is arranged substantially in the center of the bellows type cover 9 so as to divide the bellows type cover 9 into two parts. The bellows-type covers 9 are attached airtightly. A drive chain 13 is connected to both ends of the mounting case of the air nozzle 3 so as to move horizontally in the left and right in the figure.

【0032】前記エアノズル3が左右の水平方向に移動
したときは図2の(a)、(b)に示すように前記蛇腹
式カバー9の蛇腹が伸縮し、前記上部蓋6との気密を保
持する。このようにして、洗浄ケース2内が気密に保持
され、上部からのエアブローし、同時に、下部からの吸
引が効果的に働き、その付着溶剤を液切りする。
When the air nozzle 3 moves horizontally to the left and right, the bellows of the bellows type cover 9 expands and contracts as shown in FIGS. 2 (a) and 2 (b) to maintain airtightness with the upper lid 6. To do. In this way, the inside of the cleaning case 2 is kept airtight, air is blown from the upper portion, and at the same time, suction from the lower portion works effectively to drain the attached solvent.

【0033】なお、上記において、蛇腹式カバー9につ
いて説明したが、スライドプレート式カバー10の場合
も同様である。
Although the bellows type cover 9 has been described above, the same applies to the slide plate type cover 10.

【0034】[0034]

【発明の効果】以上詳細に説明したように、本発明の構
成によれば、エアブロー法と吸引法の長所を取り入れ、
簡単、かつ安価な気密構造の容器内に収納した短冊型リ
ードフレームに、上部からエアブローし、同時に、下部
から吸引し、その付着溶剤を確実に液切りし、品質の向
上、液切り時間が短縮する溶剤液切り方法を提供するこ
とができる。
As described in detail above, according to the configuration of the present invention, the advantages of the air blow method and the suction method are introduced,
A strip-shaped lead frame housed in a simple and inexpensive airtight container is air blown from the top and at the same time sucked from the bottom to reliably drain the adhering solvent, improving quality and shortening the draining time. It is possible to provide a method for draining a solvent.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の一実施例に係る溶剤液切り方法に用い
る液切り装置の説明図である。
FIG. 1 is an explanatory diagram of a liquid draining device used in a solvent liquid draining method according to an embodiment of the present invention.

【図2】図1の液切り装置の伸縮カバーの一例の説明図
ある。
FIG. 2 is an explanatory diagram of an example of an expandable cover of the liquid draining device of FIG.

【図3】図1の液切り装置の伸縮カバーの他の一例の説
明図である。
FIG. 3 is an explanatory view of another example of the expandable cover of the liquid draining device of FIG.

【図4】図1の液切り装置における伸縮カバーの気密構
造拡大説明図である。
FIG. 4 is an enlarged explanatory view of an airtight structure of a telescopic cover in the liquid draining device of FIG.

【図5】従来の液切り乾燥法の一方法であるエアブロー
法の説明図である。
FIG. 5 is an explanatory diagram of an air blow method, which is one method of a conventional liquid draining and drying method.

【図6】従来の液切り乾燥法の一方法である真空乾燥法
の説明図である。
FIG. 6 is an explanatory diagram of a vacuum drying method which is one method of a conventional liquid draining drying method.

【図7】従来の液切り乾燥法の一方法である吸引法の説
明図である。
FIG. 7 is an explanatory diagram of a suction method, which is one of the conventional liquid draining and drying methods.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 短冊型リードフレーム 2、2a 洗浄ケース 3 エアブローノズル 4 高圧ブロア 5 吸引フード 6 上部蓋 7 吸引ブロア 8 カバー 9 蛇腹式カバー 10 スライドプレート式カバー 11 密閉容器 12 真空ポンプ 13 駆動チエーン 1 Strip Lead Frame 2, 2a Cleaning Case 3 Air Blow Nozzle 4 High Pressure Blower 5 Suction Hood 6 Top Lid 7 Suction Blower 8 Cover 9 Bellows Type Cover 10 Slide Plate Type Cover 11 Sealed Container 12 Vacuum Pump 13 Drive Chain

Claims (1)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】短冊型リードフレームに付着した溶剤を、
高圧ブロアと接続したエアノズルから高圧エアを吹き付
けると共に吸引ブロアで吸引させ、収納ケース内で液切
りする溶剤液切り方法であつて、前記吹き付けと前記吸
引とを同時に行わせ、前記エアノズルを水平方向に移動
させ、水平方向に伸縮自在な上部覆い部と下部吸引フー
ドを取り付けた気密構造の収納ケース内で液切りするこ
とを特徴とする溶剤液切り方法。
1. A solvent attached to a strip-shaped lead frame,
A method of solvent drainage in which high-pressure air is blown from an air nozzle connected to a high-pressure blower and is sucked by a suction blower, and liquid is drained in the storage case.The spraying and the suction are performed simultaneously, and the air nozzle is horizontally A method of draining a solvent, which comprises moving and draining in a storage case having an airtight structure in which an upper cover portion which is elastic in a horizontal direction and a lower suction hood are attached.
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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
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JP2013544183A (en) * 2010-11-17 2013-12-12 マイスナー,ゴーロ Industrial cleaning system

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