JPH08338713A - Illuminating device for image processor - Google Patents

Illuminating device for image processor

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Publication number
JPH08338713A
JPH08338713A JP16935895A JP16935895A JPH08338713A JP H08338713 A JPH08338713 A JP H08338713A JP 16935895 A JP16935895 A JP 16935895A JP 16935895 A JP16935895 A JP 16935895A JP H08338713 A JPH08338713 A JP H08338713A
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JP
Japan
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image processing
processing apparatus
lens
light
inspected
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Application number
JP16935895A
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Japanese (ja)
Inventor
Masayuki Ota
眞之 太田
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Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
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Publication date
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Abstract

PURPOSE: To miniaturize an illuminating device for image processor whose constitution is simplified and whose manufacture cost can be reduced. CONSTITUTION: A plurality of light sources 21a, 21b are disposed on two concentric circles on a light source board 11, and lenses 22a, 22b are provided at positions corresponding to the light sources 21, 21b on a lens holding board 12 respectively. Light outgoing from the light sources 21a, 21b is refracted by each lens 22a, 22b, optical paths are bent and converged and projected toward an object to be inspected 17. The object to be inspected 17 is photographed in a photographing part 18 through window parts 13, 14.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明はプリント基板や集積回路
等の外観検査を画像処理によって行う画像処理装置にお
ける被検査物を照明するための画像処理装置用照明装置
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an illuminating device for an image processing device for illuminating an object to be inspected in an image processing device for performing visual inspection of a printed circuit board, an integrated circuit or the like by image processing.

【0002】[0002]

【従来の技術】プリント基板や集積回路等の外観検査を
画像処理によって行う画像処理装置(外観検査装置とも
いう。)では、被検査物の形状を簡単にとらえることが
できるように被検査物に対して様々な角度から照明をし
て、形状から不良品と良品を判別できるような画像を得
るようにしている。そのための照明装置としては、例え
ば特開平6−300702号公報に示されるように、複
数の発光素子を立体的に配置して、必要な角度からの照
明光が得られるようにしたものがある。
2. Description of the Related Art In an image processing apparatus (also referred to as an appearance inspection apparatus) for performing an appearance inspection of a printed circuit board, an integrated circuit or the like by image processing, an object to be inspected is easily detected so that the shape of the object to be inspected can be easily grasped. On the other hand, the illumination is performed from various angles to obtain an image in which a defective product and a non-defective product can be discriminated from the shape. As an illuminating device therefor, for example, as disclosed in Japanese Patent Laid-Open No. 6-300702, there is an illuminating device in which a plurality of light emitting elements are three-dimensionally arranged so that illuminating light from a required angle can be obtained.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、複数の
発光素子を立体的に配置した照明装置では、照明装置が
大型化すると共に、構造が複雑になり製造が難しく、製
造コストが高くなるという問題点があった。
However, in a lighting device in which a plurality of light emitting elements are three-dimensionally arranged, the size of the lighting device becomes large, the structure becomes complicated, the manufacturing is difficult, and the manufacturing cost becomes high. was there.

【0004】本発明はかかる問題点に鑑みてなされたも
ので、その課題は、小型化でき、且つ構成が簡単で製造
コストを低減できるようにした画像処理装置用照明装置
を提供することにある。
The present invention has been made in view of the above problems, and an object thereof is to provide an illuminating device for an image processing apparatus, which can be miniaturized, has a simple structure, and can reduce the manufacturing cost. .

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】請求項1または2記載の
画像処理装置用照明装置は、同一平面内に配置された1
つ以上の発光部と、この発光部から出射された光を画像
処理装置における被検査物に向けて照射する光学部材と
を備えたものである。光学部材は、例えばレンズとミラ
ーの少なくとも一方を含む。
An illumination device for an image processing apparatus according to claim 1 or 2 is arranged in the same plane.
One or more light emitting units and an optical member that irradiates the light emitted from the light emitting units toward an object to be inspected in the image processing apparatus. The optical member includes, for example, at least one of a lens and a mirror.

【0006】請求項3または4記載の画像処理装置用照
明装置は、中央部に画像処理装置の撮像部用の窓部を有
する平板と、この平板上に配置された1つ以上の発光部
と、この発光部から出射された光を画像処理装置におけ
る被検査物に向けて照射する光学部材とを備えたもので
ある。光学部材は、例えばレンズとミラーの少なくとも
一方を含む。
According to a third aspect of the present invention, there is provided a lighting device for an image processing device, which has a flat plate having a window portion for an image pickup portion of the image processing device in a central portion, and one or more light emitting portions arranged on the flat plate. And an optical member for irradiating the light emitted from the light emitting unit toward an object to be inspected in the image processing apparatus. The optical member includes, for example, at least one of a lens and a mirror.

【0007】[0007]

【作用】請求項1または2記載の画像処理装置用照明装
置では、同一平面内に配置された1つ以上の発光部から
出射された光は、レンズ、ミラー等の光学部材によっ
て、画像処理装置における被検査物に向けて照射され
る。
In the illumination device for an image processing device according to claim 1 or 2, the light emitted from one or more light emitting portions arranged in the same plane is transmitted by the image processing device by an optical member such as a lens or a mirror. Is irradiated toward the inspection object in.

【0008】請求項3または4記載の画像処理装置用照
明装置では、平板上に配置された1つ以上の発光部から
出射された光は、レンズ、ミラー等の光学部材によっ
て、画像処理装置における被検査物に向けて照射され
る。画像処理装置の撮像部は、平板の中央部に設けられ
た窓部を通して被検査物を撮像する。
In the illumination device for an image processing device according to the third or fourth aspect, the light emitted from the one or more light emitting portions arranged on the flat plate is supplied to the image processing device by an optical member such as a lens and a mirror. It is irradiated toward the object to be inspected. The image capturing unit of the image processing apparatus captures an image of the object to be inspected through a window provided in the center of the flat plate.

【0009】[0009]

【実施例】以下、本発明の実施例について図面を参照し
て詳細に説明する。
Embodiments of the present invention will now be described in detail with reference to the drawings.

【0010】図1は本発明の第1の実施例に係る画像処
理装置用照明装置の構成を示す断面図、図2は図1に示
した画像処理装置用照明装置の底面図である。これらの
図に示したように、本実施例に係る画像処理装置用照明
装置10は、円形の平板状の光源用基板11と、この光
源用基板11と同径で、光源用基板11の下面に接合さ
れた円形の平板状のレンズ保持用基板12とを備えてい
る。光源用基板11およびレンズ保持用基板12には、
それぞれ中央部に、画像処理装置の撮像部用の円形の窓
部(孔)13,14が設けられている。窓部13,14
の中心軸は画像処理装置用照明装置10の光軸20と一
致している。光源用基板11およびレンズ保持用基板1
2は、支持装置15によって支持され、画像処理装置の
被検査物保持用基板16上で任意の位置に位置決めされ
るようになっている。なお、このとき、光源用基板11
およびレンズ保持用基板12は、光軸20が被検査物保
持用基板16に対して垂直になるように配置される。被
検査物保持用基板16上には被検査物17がマウントさ
るようになっている。光源用基板11の上側における光
軸20の延長線上には、画像処理装置の撮像部18が配
置されるようになっている。撮像部18には例えばCC
D(電荷結合素子)カメラが用いられる。
FIG. 1 is a sectional view showing the arrangement of an illumination device for an image processing apparatus according to the first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a bottom view of the illumination device for an image processing apparatus shown in FIG. As shown in these drawings, the illumination device 10 for an image processing device according to the present embodiment has a circular flat plate-shaped light source substrate 11, and a lower surface of the light source substrate 11 having the same diameter as the light source substrate 11. And a circular lens-shaped substrate 12 for holding a lens, which is bonded to the substrate. The light source substrate 11 and the lens holding substrate 12 include
Circular windows (holes) 13 and 14 for the image pickup unit of the image processing apparatus are provided in the center of each. Windows 13, 14
The central axis of is coincident with the optical axis 20 of the illumination device 10 for the image processing apparatus. Light source substrate 11 and lens holding substrate 1
2 is supported by a supporting device 15 and is positioned at an arbitrary position on the inspected object holding substrate 16 of the image processing apparatus. At this time, the light source substrate 11
The lens holding substrate 12 is arranged so that the optical axis 20 is perpendicular to the inspection object holding substrate 16. The inspection object 17 is mounted on the inspection object holding substrate 16. The image pickup unit 18 of the image processing apparatus is arranged on the extension line of the optical axis 20 above the light source substrate 11. The imaging unit 18 has, for example, a CC
A D (charge coupled device) camera is used.

【0011】図2に示したように、光源用基板11の下
面には、窓部13寄りの位置において、光軸20を中心
とする同心円上に、等間隔に4個の光源21aが配置さ
れ、更に、これらの光源21aの外側の位置において、
光軸20を中心とする同心円上に、等間隔に4個の光源
21bが配置されている。光源21a,21bには例え
ば発光ダイオードが用いられる。レンズ保持用基板12
には、各光源21a,21bに対応する位置に円形の孔
23が形成されている。光源21aに対応する位置の孔
23内には、保持部材24によって保持された内側レン
ズ22aが設けられている。光源21bに対応する位置
の孔23内には、保持部材24によって保持された外側
レンズ22bが設けられている。
As shown in FIG. 2, on the lower surface of the light source substrate 11, four light sources 21a are arranged at equal intervals on a concentric circle centered on the optical axis 20 at a position near the window 13. , And at positions outside these light sources 21a,
Four light sources 21b are arranged at equal intervals on a concentric circle centered on the optical axis 20. For example, light emitting diodes are used as the light sources 21a and 21b. Lens holding substrate 12
A circular hole 23 is formed at a position corresponding to each of the light sources 21a and 21b. An inner lens 22a held by a holding member 24 is provided in the hole 23 at a position corresponding to the light source 21a. An outer lens 22b held by a holding member 24 is provided in the hole 23 at a position corresponding to the light source 21b.

【0012】図3に示すように、各レンズ22a,22
bは、その光軸が画像処理装置用照明装置10の光軸2
0と一致し且つ光源21a,21bから出射された光を
被検査物保持用基板16上の同一領域に集光するように
設計された架空のレンズ25の一部をなすように形成さ
れている。従って、図1に示すように、各光源21a,
21bから出射された光は、各レンズ22a,22bで
屈折して光路が曲げられ且つ収束され、被検査物保持用
基板16上の被検査物17に向けて照射されるようにな
っている。架空のレンズ25の焦点距離等の条件は、各
レンズ22a,22bからの出射光が被検査物保持用基
板16となす角度26,27や、各レンズ22a,22
bと被検査物保持用基板16との距離に応じて決定され
る。
As shown in FIG. 3, each lens 22a, 22
In b, the optical axis is the optical axis 2 of the illumination device 10 for the image processing apparatus.
It is formed so as to form a part of an imaginary lens 25 designed to converge the light emitted from the light sources 21a and 21b, which coincides with 0, in the same area on the inspection object holding substrate 16. . Therefore, as shown in FIG. 1, each light source 21a,
The light emitted from 21b is refracted by the lenses 22a and 22b, the optical path is bent and converged, and the light is emitted toward the inspection object 17 on the inspection object holding substrate 16. The conditions such as the focal length of the imaginary lens 25 are defined by the angles 26 and 27 formed by the light emitted from the lenses 22a and 22b and the substrate 16 for holding the inspection object, and the lenses 22a and 22b.
It is determined according to the distance between b and the object holding substrate 16.

【0013】次に、本実施例に係る画像処理装置用照明
装置10の作用について説明する。画像処理装置を用い
て被検査物17の外観検査を行う場合には、図1に示し
たように、被検査物保持用基板16上に被検査物17を
マウントし、支持装置15によって、画像処理装置用照
明装置10の光軸20を被検査物17に合わせる。ま
た、画像処理装置の撮像部18は、図示しない支持装置
によって、光源用基板11の上側において光軸20の延
長線上に配置する。この状態で各光源21a,21bを
点灯すると、各光源21a,21bから出射された光
は、各レンズ22a,22bで屈折して光路が曲げられ
且つ収束されて、被検査物17に向けて照射される。こ
のようにして照明された被検査物17は、窓部13,1
4を通して撮像部18によって撮像され、この撮像部1
8によって撮像された画像を処理装置で処理することに
よって被検査物17について外観検査が行われる。な
お、使用用途に応じて、各光源21a,21bを同時に
全部を点灯させたり、1つずつ点灯させたり、あるいは
任意の組み合わせで点灯させたりするのは自由に選択す
ることができる。
Next, the operation of the illumination device 10 for the image processing apparatus according to this embodiment will be described. When the appearance inspection of the inspection object 17 is performed by using the image processing apparatus, the inspection object 17 is mounted on the inspection object holding substrate 16 as shown in FIG. The optical axis 20 of the processing device illumination device 10 is aligned with the inspection object 17. Further, the imaging unit 18 of the image processing apparatus is arranged on the extension line of the optical axis 20 above the light source substrate 11 by a supporting device (not shown). When the light sources 21a and 21b are turned on in this state, the light emitted from the light sources 21a and 21b is refracted by the lenses 22a and 22b, the optical path is bent and converged, and the light is irradiated toward the inspection object 17. To be done. The object 17 to be inspected illuminated in this manner has the windows 13, 1
The image is captured by the image capturing unit 18 through
The appearance inspection is performed on the inspection object 17 by processing the image captured by the processing device 8 by the processing device. In addition, it is possible to freely select to turn on all the light sources 21a and 21b at the same time, turn on one by one, or turn on in any combination according to the intended use.

【0014】以上説明したように、本実施例の画像処理
装置用照明装置10によれば、光源21a,21bを光
源用基板11の同一平面内に配置し、この光源21a,
21bから出射された光を、レンズ保持用基板12に設
けられたレンズ22a,22bによって被検査物17に
照射するようにしたので、従来の画像処理装置用照明装
置に比べて小型化でき、また構成が簡単で製造が容易に
なり、製造コストを低減することができる。また、構成
が簡単で製造が容易なことから、照明装置10の精度を
向上させることができる。また、光源用基板11および
レンズ保持用基板12に窓部13,14を設け、その周
囲に複数の光源21a,21bを配置したので、画像処
理装置の撮像部18の妨げとならず、且つ被検査物17
に対して均等に光を照射することが可能となる。
As described above, according to the illumination device 10 for the image processing apparatus of this embodiment, the light sources 21a and 21b are arranged on the same plane of the light source substrate 11, and the light sources 21a and 21b are arranged in the same plane.
Since the light emitted from 21b is applied to the object 17 to be inspected by the lenses 22a and 22b provided on the lens holding substrate 12, the size can be reduced as compared with the conventional illumination device for the image processing device, and The structure is simple, the manufacturing is easy, and the manufacturing cost can be reduced. Further, since the structure is simple and the manufacturing is easy, the accuracy of the lighting device 10 can be improved. Further, since the window portions 13 and 14 are provided on the light source substrate 11 and the lens holding substrate 12, and the plurality of light sources 21a and 21b are arranged around them, the window portions 13 and 14 do not interfere with the image pickup portion 18 of the image processing apparatus and are covered. Inspection item 17
It is possible to evenly irradiate the light.

【0015】図4は本発明の第2の実施例に係る画像処
理装置用照明装置の構成を示す断面図である。本実施例
に係る画像処理装置用照明装置30では、第1の実施例
に係る画像処理装置用照明装置10におけるレンズ保持
用基板12の代わりに、光学部材保持用基板32が設け
られている。光学部材保持用基板32には、中央部に、
画像処理装置の撮像部用の円形の窓部14が設けられ、
内側の光源21aに対応する位置に円形の孔23が形成
されているが、外側の光源21bに対応する位置には孔
23は設けられておらず、代わりに、斜面を有する反射
板取付部33が形成されている。反射板取付部33に
は、光源21bから出射された光を反射して被検査物保
持用基板16上の被検査物17に向けて照射する反射板
34が取り付けられている。反射板34は平面鏡でも良
いし凹面鏡でも良い。なお、孔23内には、保持部材2
4によって保持された内側レンズ22aが設けられてい
る。本実施例に係る画像処理装置用照明装置30のその
他の構成、作用および効果は第1の実施例に係る画像処
理装置用照明装置10と同様である。
FIG. 4 is a sectional view showing the arrangement of an illumination device for an image processing apparatus according to the second embodiment of the present invention. In the image processing device lighting device 30 according to the present embodiment, an optical member holding substrate 32 is provided instead of the lens holding substrate 12 in the image processing device lighting device 10 according to the first embodiment. In the optical member holding substrate 32, in the central portion,
A circular window portion 14 for an image pickup portion of the image processing device is provided,
A circular hole 23 is formed at a position corresponding to the inner light source 21a, but the hole 23 is not provided at a position corresponding to the outer light source 21b. Instead, a reflector mounting portion 33 having a slope is formed. Are formed. The reflection plate mounting portion 33 is provided with a reflection plate 34 that reflects the light emitted from the light source 21b and irradiates it to the inspection object 17 on the inspection object holding substrate 16. The reflector 34 may be a plane mirror or a concave mirror. In addition, in the hole 23, the holding member 2
An inner lens 22a held by 4 is provided. Other configurations, operations, and effects of the image processing device illumination device 30 according to the present exemplary embodiment are similar to those of the image processing device illumination device 10 according to the first exemplary embodiment.

【0016】図5は本発明の第3の実施例に係る画像処
理装置用照明装置の構成を示す断面図である。本実施例
に係る画像処理装置用照明装置40では、第1の実施例
に係る画像処理装置用照明装置10におけるレンズ保持
用基板12の代わりにフレネルレンズ44が設けられて
いる。このフレネルレンズ44は、光源用基板11の下
面における窓部13の周囲および外周部にそれぞれ設け
られリング状のスペーサ42を介して、光源用基板11
の下側に取り付けられている。フレネルレンズ44は円
板状に形成され、中央部に画像処理装置の撮像部用の円
形の窓部45を有している。
FIG. 5 is a sectional view showing the arrangement of an illumination device for an image processing apparatus according to the third embodiment of the present invention. In the illumination device 40 for an image processing apparatus according to the present embodiment, a Fresnel lens 44 is provided instead of the lens holding substrate 12 in the illumination device 10 for an image processing apparatus according to the first embodiment. The Fresnel lens 44 is provided on the lower surface of the light source substrate 11 around the window portion 13 and on the outer peripheral portion, respectively, via ring-shaped spacers 42, and the Fresnel lens 44 is provided.
It is attached to the underside of. The Fresnel lens 44 is formed in a disc shape, and has a circular window portion 45 for the image pickup unit of the image processing apparatus in the central portion.

【0017】図6はフレネルレンズ44の一部を拡大し
て示す断面図である。この図に示すように、フレネルレ
ンズ44は、半径の異なる複数の輪帯レンズ部44a,
44b,44c,…が連続的に形成されたものであり、
各輪帯レンズ部44a,44b,44c,…は、それぞ
れ光源21a,21bから出射された光を被検査物保持
用基板16上の被検査物17に向けて照射するように設
計されている。
FIG. 6 is an enlarged sectional view showing a part of the Fresnel lens 44. As shown in this figure, the Fresnel lens 44 includes a plurality of annular lens portions 44a having different radii,
44b, 44c, ... are formed continuously,
Each of the ring-shaped lens portions 44a, 44b, 44c, ... Is designed to irradiate the inspection object 17 on the inspection object holding substrate 16 with the light emitted from the light sources 21a, 21b.

【0018】本実施例に係る画像処理装置用照明装置4
0によれば、第1または第2の実施例に比べて、より小
型化でき、また構成が簡単で製造が容易になり、精度を
向上させることができる。本実施例に係る画像処理装置
用照明装置40のその他の構成、作用および効果は第1
の実施例に係る画像処理装置用照明装置10と同様であ
る。
Illumination device 4 for image processing apparatus according to the present embodiment
According to 0, as compared with the first or second embodiment, the size can be further reduced, the configuration is simple and the manufacturing is easy, and the accuracy can be improved. The other configurations, actions, and effects of the illumination device 40 for the image processing device according to the present embodiment are the first.
This is the same as the illumination device 10 for the image processing device according to the embodiment.

【0019】なお、本発明は上記各実施例に限定され
ず、例えば各実施例では光源用基板11に対して2つの
同心円上にそれぞれ4個ずつの光源21a,21bを設
けたが、光源用基板11に対する光源の取り付け位置お
よび個数は任意である。例えば、1つの同心円上に1つ
以上の光源を配置しても良いし、3つ以上の同心円上に
それぞれ1つ以上の光源を配置しても良い。
The present invention is not limited to the above-described embodiments. For example, in each embodiment, four light sources 21a and 21b are provided on two concentric circles for the light source substrate 11, but The mounting position and the number of light sources on the substrate 11 are arbitrary. For example, one or more light sources may be arranged on one concentric circle, or one or more light sources may be arranged on three or more concentric circles.

【0020】[0020]

【発明の効果】以上説明したように請求項1または2記
載の画像処理装置用照明装置によれば、同一平面内に1
つ以上の発光部を配置し、この発光部から出射された光
をレンズ、ミラー等の光学部材によって画像処理装置に
おける被検査物に向けて照射するようにしたので、画像
処理装置用照明装置を小型化でき、且つ構成が簡単にな
り製造コストを低減することができるという効果があ
る。
As described above, according to the illuminating device for an image processing device of the first or second aspect, the illuminating device for the image processing device is arranged in the same plane.
Since one or more light emitting units are arranged and the light emitted from the light emitting units is directed toward the object to be inspected in the image processing apparatus by the optical member such as the lens and the mirror, the illumination device for the image processing apparatus is provided. There is an effect that the size can be reduced, the structure can be simplified, and the manufacturing cost can be reduced.

【0021】請求項3または4記載の画像処理装置用照
明装置によれば、中央部に画像処理装置の撮像部用の窓
部を有する平板上に1つ以上の発光部を配置し、この発
光部から出射された光をレンズ、ミラー等の光学部材に
よって画像処理装置における被検査物に向けて照射する
ようにしたので、上記効果に加え、画像処理装置の撮像
部の妨げとならず、且つ被検査物に対して均等に光を照
射することが可能となるという効果がある。
According to the lighting device for an image processing apparatus of the third or fourth aspect, one or more light emitting sections are arranged on a flat plate having a window portion for the image pickup section of the image processing apparatus in the central portion, and the light emitting section is provided. Since the light emitted from the section is irradiated toward the object to be inspected in the image processing apparatus by an optical member such as a lens and a mirror, in addition to the above effects, it does not hinder the imaging section of the image processing apparatus, and There is an effect that it is possible to uniformly irradiate the inspection object with light.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例に係る画像処理装置用照
明装置の構成を示す断面図である。
FIG. 1 is a cross-sectional view showing a configuration of an illumination device for an image processing device according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1に示した画像処理装置用照明装置の底面図
である。
FIG. 2 is a bottom view of the illumination device for the image processing device shown in FIG.

【図3】図1におけるレンズの特性について説明するた
めの説明図である。
FIG. 3 is an explanatory diagram for explaining the characteristics of the lens in FIG.

【図4】本発明の第2の実施例に係る画像処理装置用照
明装置の構成を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a configuration of an illumination device for an image processing device according to a second embodiment of the present invention.

【図5】本発明の第3の実施例に係る画像処理装置用照
明装置の構成を示す断面図である。
FIG. 5 is a sectional view showing a configuration of an illumination device for an image processing device according to a third embodiment of the present invention.

【図6】図5におけるフレネルレンズの一部を拡大して
示す断面図である。
FIG. 6 is an enlarged sectional view showing a part of the Fresnel lens in FIG.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

10 画像処理装置用照明装置 11 光源用基板 12 レンズ保持用基板 13,14 窓部 20 光軸 21a,21b 光源 22a,22b レンズ 17 被検査物 18 撮像部 10 Lighting Device for Image Processing Device 11 Substrate for Light Source 12 Substrate for Lens Holding 13, 14 Window 20 Optical Axis 21a, 21b Light Source 22a, 22b Lens 17 Inspected Object 18 Imaging Section

Claims (4)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 同一平面内に配置された1つ以上の発光
部と、 この発光部から出射された光を画像処理装置における被
検査物に向けて照射する光学部材とを備えたことを特徴
とする画像処理装置用照明装置。
1. A light emitting device, comprising: one or more light emitting parts arranged in the same plane; and an optical member for irradiating light emitted from the light emitting parts toward an object to be inspected in the image processing apparatus. Lighting device for image processing device.
【請求項2】 前記光学部材はレンズとミラーの少なく
とも一方を含むことを特徴とする請求項1記載の画像処
理装置用照明装置。
2. The illumination device for an image processing apparatus according to claim 1, wherein the optical member includes at least one of a lens and a mirror.
【請求項3】 中央部に画像処理装置の撮像部用の窓部
を有する平板と、 この平板上に配置された1つ以上の発光部と、 この発光部から出射された光を画像処理装置における被
検査物に向けて照射する光学部材とを備えたことを特徴
とする画像処理装置用照明装置。
3. A flat plate having a window portion for an image pickup unit of the image processing apparatus in a central portion thereof, one or more light emitting units arranged on the flat plate, and light emitted from the light emitting unit. And an optical member for irradiating the object to be inspected, the illumination device for an image processing apparatus.
【請求項4】 前記光学部材はレンズとミラーの少なく
とも一方を含むことを特徴とする請求項3記載の画像処
理装置用照明装置。
4. The illumination device for an image processing apparatus according to claim 3, wherein the optical member includes at least one of a lens and a mirror.
JP16935895A 1995-06-13 1995-06-13 Illuminating device for image processor Pending JPH08338713A (en)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2007121120A (en) * 2005-10-28 2007-05-17 Naoetsu Electronics Co Ltd Wafer visual inspection device

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* Cited by examiner, † Cited by third party
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