JPH08336992A - Recording device and manufacture thereof - Google Patents

Recording device and manufacture thereof

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JPH08336992A
JPH08336992A JP16799595A JP16799595A JPH08336992A JP H08336992 A JPH08336992 A JP H08336992A JP 16799595 A JP16799595 A JP 16799595A JP 16799595 A JP16799595 A JP 16799595A JP H08336992 A JPH08336992 A JP H08336992A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
recording
recording material
material layer
layer
dye
Prior art date
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Pending
Application number
JP16799595A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Shuji Sato
修司 佐藤
Toshimasa Kobayashi
俊雅 小林
Eiki Hirano
栄樹 平野
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Sony Corp
Original Assignee
Sony Corp
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Sony Corp filed Critical Sony Corp
Priority to JP16799595A priority Critical patent/JPH08336992A/en
Publication of JPH08336992A publication Critical patent/JPH08336992A/en
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Abstract

PURPOSE: To enhance recording performance and facilitate the working process to a specified shape by laminating a first, and a second material layer and recording material shifting parts sequentially on a base providing a recording material transfer path to the recording material shifting part through the first and the second material layer from a common recording material passage for the base member. CONSTITUTION: In the dye gasification part 17 of a printer head 70, a cluster of small columns 80 are part of a gasification structure 101 at a dye storing part 87 recessed on an insulating plate 56. In addition, a liquid checking band 55 is provided around the cluster of small pillars 80, and a spacer 52 is arranged in a band fashion between the gasification structure 101 and a printing sheet 50. Further, a heating element 65 is provided on the lower surface of the small pillar and an electrode is provided on both sides of the heating element 65. Besides, an introducing path 53 is formed branching out of a common dye passage 27 in a first material layer 62 and a second material layer 51, and is opened on the side of the dye storing part 67. A liquefied dye 22 is continuously guided into the dye storing part 87 through the dye introducing path 53 and then is supplied to the gasification structure 101. The first material layer 62 is junctioned and fixed to a base material 63 with the dye passage 27.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、記録装置及びその製造
方法に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a recording device and its manufacturing method.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、ビデオカメラ、テレビジョン、コ
ンピュータグラフィクス等の画像記録において、モノカ
ラーの記録は勿論のこと、ハードコピーのカラー化に対
するニーズが高まっている。これに対応して、色々な方
式のプリンタが開発され、様々な分野に展開している。
2. Description of the Related Art In recent years, in image recording of video cameras, televisions, computer graphics and the like, there is an increasing need for colorization of hard copy as well as recording of mono color. In response to this, various types of printers have been developed and deployed in various fields.

【0003】これらの記録方式の中で、適当なバインダ
樹脂中に高濃度の転写染料が分散してなるインク層が塗
布されたインクシートと、転写された染料を受容する染
着樹脂がコーティングされた印画紙等の被転写体とを一
定の圧力で密着させ、インクシート上に位置する感熱記
録ヘッドから画像情報に応じた熱を加え、この加熱に応
じてインクシートから染料受容層に転写染料を熱転写さ
せる方式がある。
Among these recording methods, an ink sheet coated with an ink layer in which a high-concentration transfer dye is dispersed in a suitable binder resin, and a dyeing resin that receives the transferred dye are coated. The heat-sensitive recording head located on the ink sheet applies heat according to the image information, and the heat-sensitive recording head located on the ink sheet applies heat according to the image information. There is a method of thermal transfer.

【0004】上記の操作を例えば、減法混色の三原色で
あるイエロー、マゼンタ、シアンに分解された画像信号
についてそれぞれ繰り返すことによって、フルカラー画
像を得るようにしたいわゆる熱転写方式は、小型化、保
守が容易で、即時性を備え、銀塩カラー写真並の高品位
な画像を得る優れた技術として注目を集めてはいる。
The so-called thermal transfer system, which obtains a full-color image by repeating the above-mentioned operation for each of the image signals decomposed into yellow, magenta, and cyan, which are the three primary colors of subtractive color mixture, is compact and easy to maintain. Therefore, it is attracting attention as an excellent technology that has an immediacy and obtains a high-quality image comparable to a silver salt color photograph.

【0005】図31は、こうした熱転写方式のプリンタの
要部の概略正面図である。このプリンタによれば、感熱
記録ヘッド(以下、サーマルヘッドと称する。)1とプ
ラテンローラ3とが対向し、これらの間に、ベースフィ
ルム4b上にインク層4aを設けたインクシート4と、
紙5b上に染着樹脂層(染料受容層)5aを設けた被記
録紙(被転写体)5とが挟着された状態で、プラテンロ
ーラ3によってサーマルヘッド1に押し付けられる。
FIG. 31 is a schematic front view of the main part of such a thermal transfer type printer. According to this printer, a thermal recording head (hereinafter referred to as a thermal head) 1 and a platen roller 3 face each other, and an ink sheet 4 having an ink layer 4a provided on a base film 4b between them,
The recording paper (transferred material) 5 having the dyeing resin layer (dye receiving layer) 5a provided on the paper 5b is sandwiched and pressed against the thermal head 1 by the platen roller 3.

【0006】そして、サーマルヘッド1によって選択的
に加熱されたインク層4a中のインク(転写染料)が被
転写体5の染着樹脂層5aにドット状に転写され、熱転
写記録が遂行される。このような熱転写記録には、一般
に、長手状のサーマルヘッドを被記録紙走行方向に直交
させ固定して配したライン方式や、サーマルヘッドを記
録紙走行方向に直交する方向に往復動させるシリアル方
式が採用されている。
Then, the ink (transfer dye) in the ink layer 4a selectively heated by the thermal head 1 is transferred to the dyeing resin layer 5a of the transfer-receiving member 5 in a dot shape, and thermal transfer recording is performed. In such thermal transfer recording, generally, a line system in which a long thermal head is arranged orthogonally to the recording paper traveling direction and fixed and a serial system in which the thermal head reciprocates in a direction orthogonal to the recording paper traveling direction. Has been adopted.

【0007】ところで、本出願人は、上記した如き熱転
写記録方式の利点を生かしつつ、廃棄物及び転写エネル
ギーを低減し、プリンタを小型、軽量化するために、図
32に示すような非接触方式の染料気化型レーザビームプ
リンタを既に提案した。
By the way, the applicant of the present invention has been able to reduce the waste and the transfer energy, and to make the printer small and lightweight while taking advantage of the above-mentioned thermal transfer recording system.
We have already proposed a non-contact type dye vaporization type laser beam printer as shown in 32.

【0008】この記録方式によれば、熱溶融性の染料層
22を気化部17に有する記録ヘッド(例えばシリアル型の
プリンタヘッド)40と、気化した(或いは昇華した)染
料32を受容する受容層50aを持つ被記録体(印画紙)50
との間に1μm〜1mmの範囲の微小空隙17aを設けてい
る。
According to this recording method, a heat-fusible dye layer
A recording head (printing paper) 50 having a recording head (for example, a serial type printer head) 40 having 22 in the vaporizing section 17 and a receiving layer 50a for receiving the vaporized (or sublimated) dye 32.
A minute gap 17a in the range of 1 μm to 1 mm is provided between and.

【0009】そして、レーザ光Lの照射によって、記録
ヘッド40の気化部17の染料収容部37に収容した液化染料
22をその沸点近傍まで選択的に加熱して気化させ、気化
染料32を空隙17a内で飛翔させて、気化穴23から被記録
体である印画紙50上に転写し、連続的な階調を持つ画像
を得る。この操作を減法混色の三原色であるイエロー、
マゼンタ、シアンに分解された画像信号についてそれぞ
れ繰り返すことによって、フルカラー化を達成できる。
Then, by irradiating the laser beam L, the liquefied dye stored in the dye storing portion 37 of the vaporizing portion 17 of the recording head 40.
22 is selectively heated to near its boiling point to be vaporized, the vaporized dye 32 is caused to fly in the void 17a, and transferred from the vaporization hole 23 onto the photographic printing paper 50 which is a recording medium to obtain continuous gradation. Get the image you have. This operation is the three primary colors of subtractive color, yellow,
Full colorization can be achieved by repeating each of the image signals decomposed into magenta and cyan.

【0010】なお、この記録方式では、印画紙50を記録
ヘッド40に対して例えば上方側で対向させ、気化部17の
上面付近に、レーザ18から出射されてレンズ19で集光さ
れたレーザ光Lを照射して気化染料32を上方に飛翔若し
くは移行させるのがよい。
In this recording method, the photographic printing paper 50 is opposed to the recording head 40, for example, on the upper side, and the laser light emitted from the laser 18 and condensed by the lens 19 is near the upper surface of the vaporizing section 17. It is advisable to irradiate L to cause the vaporized dye 32 to fly or move upward.

【0011】この場合、転写染料が加熱手段により空隙
17aを移動するためには、気化現象の他に、高出力レー
ザが照射された時にしばしば見られ、染料分子の結合が
効率よく切断されてそのエネルギーを利用して非常に大
きい速度でエッチングされる現象や、沸騰や爆発により
発生したガスのエネルギーを利用して非常に大きい速度
でエッチングされる現象も利用できる(こうした気化機
構以外の転写機構をアブレーションと称する:以下、同
様)。
In this case, the transfer dye is emptied by the heating means.
In order to move 17a, in addition to the vaporization phenomenon, it is often seen when irradiated with a high-power laser, and the bonds of dye molecules are efficiently cut and the energy is used to etch at a very high rate. Phenomena and the phenomenon that gas energy generated by boiling or explosion is used to etch at a very high rate can also be used (a transfer mechanism other than such a vaporization mechanism is referred to as ablation: hereinafter the same).

【0012】また、レーザ光透過性のあるヘッドベース
14に染料溜め15を設け、ヘッドベース14上に固定した蓋
体13との間に液化染料22を収容し、ここから染料供給路
27を経て気化部17に液化染料22を供給する。この場合、
気化部17への染料の供給効率及び気化効率の向上のため
に、発熱によって生じる染料の表面張力低下による染料
逃げを防止し、毛細管現象を利用して継続的な染料の供
給及び保持を行うために、小さなビーズ21からなるビー
ズ集合体20を気化部17に設けている。
Further, a head base having a laser beam transmitting property.
The dye reservoir 15 is provided on the head 14, and the liquefied dye 22 is housed between the head 13 and the lid 13 fixed on the head base 14.
The liquefied dye 22 is supplied to the vaporizer 17 via 27. in this case,
In order to improve the efficiency of supplying the dye to the vaporizing section 17 and the vaporizing efficiency, to prevent the dye from escaping due to a decrease in the surface tension of the dye caused by heat generation, and to continuously supply and hold the dye by utilizing the capillary phenomenon. Further, a bead aggregate 20 composed of small beads 21 is provided in the vaporization section 17.

【0013】そして、上記の空隙17aを保持し、X方向
(紙面垂直方向)に移動する印画紙50をガイドするため
に、蓋体13上に保護板(図示せず)を固定している。こ
の保護板には、上記の染料の液化状態を保持するための
ヒータが埋設されていてよいが、ここではヒータ26は染
料収容部(上記の通路27)内に配設する。
A protective plate (not shown) is fixed on the lid 13 in order to hold the gap 17a and guide the photographic printing paper 50 moving in the X direction (the direction perpendicular to the paper surface). A heater for maintaining the liquefied state of the dye may be embedded in the protective plate. Here, the heater 26 is arranged in the dye containing portion (the passage 27).

【0014】固体染料収納槽41内の固形粉末状の熱溶融
性染料42は、逆止弁44によって供給口43から供給され、
ヒータ26により融解点まで加熱されて溶融(液化)され
る。この液化染料22は、ビーズ集合体20による毛細管現
象によって気化部17のビーズ集合体20の上面に定量ずつ
高速に供給される。
The solid powder heat-meltable dye 42 in the solid dye storage tank 41 is supplied from a supply port 43 by a check valve 44,
It is heated to the melting point by the heater 26 and melted (liquefied). The liquefied dye 22 is supplied at a constant rate to the upper surface of the bead aggregate 20 of the vaporization section 17 at a high rate by the capillary phenomenon of the bead aggregate 20.

【0015】また、このプリンタヘッドを含むプリンタ
全体は、例えばフルカラー用として図33に示すように、
イエロー、マゼンタ、シアンの各染料溜め15Y、15M、
15Cをそれぞれ共通のベース14に設けて各染料供給部又
は供給ヘッド部37Y、37M、37Cを構成し、そこから各
色の染料を12〜24個の多数のドットを形成する列状の気
化部17Y、17M、17Cに供給する。
Further, the entire printer including this printer head is, for example, for full color as shown in FIG.
Yellow, magenta, and cyan dye reservoirs 15Y, 15M,
15C is provided on each common base 14 to form each dye supply section or supply head section 37Y, 37M, 37C, and from there, 12 to 24 dots of each color dye are formed in rows to form a vaporization section 17Y. , 17M, 17C.

【0016】各気化部に対しては、対応するレーザ(特
に半導体レーザチップ)18を各12〜24個アレイ状に配し
たマルチレーザアレイ30から出射される各レーザ光を多
数の集光レンズ19を配したマイクロレンズアレイ31によ
ってそれぞれ集光する(36はレーザ光Lを直角方向に導
くためのミラー)。
For each vaporizing part, a large number of condenser lenses 19 are provided for each laser beam emitted from a multi-laser array 30 in which 12 to 24 corresponding lasers (particularly semiconductor laser chips) 18 are arranged in an array. The light is condensed by the microlens array 31 in which is arranged (36 is a mirror for guiding the laser light L in the perpendicular direction).

【0017】集光レンズとしては、図示したレンズ系で
もよいが、仮想線で示す1枚の径大の集光レンズ38を使
用してよい。このレンズ38は、光入射位置に応じて光出
射位置が上記の各気化部17C、17M、17Yに相当するよ
うに屈折経路が変化するように形成されたものである。
なお、マルチレーザアレイ30は、基板33に設けたコント
ロールIC34によって駆動制御し、またヒートシンク35
によって十分に放熱できるようになっている。
As the condenser lens, the illustrated lens system may be used, but a single large-diameter condenser lens 38 indicated by an imaginary line may be used. The lens 38 is formed so that the refraction path changes so that the light emission position corresponds to the vaporization parts 17C, 17M, and 17Y described above according to the light incident position.
The multi-laser array 30 is driven and controlled by the control IC 34 provided on the substrate 33, and the heat sink 35 is also provided.
Is designed to allow sufficient heat dissipation.

【0018】なお、モノカラー印刷の場合は、図34に示
すように、1次元レーザアレイ30を作製し、それぞれの
レーザ素子を独立かつ並列に動作できる構造にすること
によって、簡単にビーム数の一倍以上の印刷速度が得ら
れる(例えば24ビームのレーザアレイを用いれば24倍の
速度となる)。
In the case of mono-color printing, as shown in FIG. 34, a one-dimensional laser array 30 is produced, and each laser element can be operated independently and in parallel. Printing speeds of more than one time can be obtained (for example, 24 times speed is obtained by using a laser array with 24 beams).

【0019】上記した各プリンタヘッドはいずれも、染
料収容部37を記録ドット数に対応した個数分だけ液化染
料22をドット状に収容すると共に、レーザ18も記録ドッ
ト数の各発光点を有するアレイ状に配したものである。
レーザ18に依らない上記の熱転写方式のプリンタでも、
サーマルヘッド1の加熱部も同様にドット状に配列され
ている。
Each of the printer heads described above accommodates as many liquefied dyes 22 as the number of recording dots corresponding to the number of recording dots in the dye accommodating portion 37, and the laser 18 also has an array having light emitting points corresponding to the number of recording dots. It is arranged in a shape.
Even with the above thermal transfer printer that does not rely on the laser 18,
The heating units of the thermal head 1 are also arranged in a dot pattern.

【0020】上記したように、この染料気化型レーザビ
ームプリンタによれば、記録に消費される染料について
は、その失われた分だけを染料溜めから溶融状態で気化
部へ自発的若しくは強制的に流すことにより、或いは、
適当な基体上に連続的に塗布され、その基体が転写部に
移動することにより、気化部へ連続的に供給することが
できる。これは、染料がバインダ樹脂を殆ど含有しない
ために、可能となる。従って、記録に関与する気化部
は、繰り返して多数回使用できるので、上述した熱転写
方式においてはインクシートが1回限りの使い捨てであ
るのに対し、省資源及び環境保護の面で有利である。
As described above, according to this dye vaporization type laser beam printer, regarding the dye consumed for recording, only the lost portion is voluntarily or forcibly in the molten state from the dye reservoir to the vaporization part. By pouring, or
It can be continuously applied onto an appropriate substrate, and the substrate can be continuously supplied to the vaporizing unit by moving to the transfer unit. This is possible because the dye contains little binder resin. Therefore, since the vaporizing section involved in recording can be repeatedly used many times, the ink sheet is disposable only once in the above-mentioned thermal transfer method, which is advantageous in terms of resource saving and environmental protection.

【0021】また、気化型又はアブレーション型である
ために、染料層と被記録体(印画紙)とが接触しないで
記録を行え、従って、2回目以降のプリント時に上述し
た熱転写方式でみられるような染料の逆転写、混色は生
じることがないと共に、加熱部分は気化部を含むヘッド
のみとなり、上述した熱転写方式に比べて著しく消費電
力が低減する。同時に、染料の供給に上述したインクシ
ートではなく小体積の染料溜めを使用するために、プリ
ンタを小型、軽量化できる。
Further, since it is a vaporization type or an ablation type, recording can be carried out without contact between the dye layer and the recording medium (printing paper), so that it can be seen in the above-mentioned thermal transfer system at the time of the second and subsequent printing. The reverse transfer of the dyes and the color mixture do not occur, and the heating portion is only the head including the vaporizing portion, and the power consumption is remarkably reduced as compared with the above-mentioned thermal transfer method. At the same time, the printer can be made smaller and lighter because a small volume dye reservoir is used for supplying the dye instead of the above-described ink sheet.

【0022】また、この記録方式は、染料の気化又は昇
華を利用したものであるために、上述の熱転写方式のよ
うに被記録体の染料受容層を加熱する必要がなく、イン
クシートと被記録体とを高い圧力で押し付ける必要もな
く、この点でもプリンタの小型化、軽量化に有利であ
る。そして、気化部の染料層と被記録体とが接触しない
ために、それらの間で熱融着が起こり得ないだけではな
く、染料と受容層樹脂の相溶性が小さくても記録可能で
ある。従って、染料及び受容層樹脂の設計、選択の幅が
著しく広がる。
Further, since this recording system utilizes vaporization or sublimation of the dye, it is not necessary to heat the dye receiving layer of the recording medium as in the above-mentioned thermal transfer system, and the ink sheet and the recording medium are not recorded. It is not necessary to press the body against the body with high pressure, and this is also advantageous in reducing the size and weight of the printer. Since the dye layer in the vaporized portion and the recording medium do not come into contact with each other, heat fusion cannot occur between them, and recording is possible even if the compatibility between the dye and the receiving layer resin is small. Therefore, the range of design and selection of the dye and the resin for the receiving layer is remarkably expanded.

【0023】また、染料の気化(或いは昇華)のための
熱エネルギー供給源として、光源に半導体レーザ18を用
いることを基本としているが、半導体レーザは電力から
光への変換効率が高く、その上、指向性、集光性に優れ
ているので、染料の熱エネルギー伝達効率も非常に高
い。従って、従来方式(上記のサーマルヘッドによる熱
転写やインクジェット)に比べてトータルのエネルギー
利用効率が格段に高くなり、小型化や省電力化に有利に
なるという特徴も有する。
Further, the semiconductor laser 18 is basically used as a light source as a heat energy supply source for vaporizing (or sublimating) the dye, but the semiconductor laser has a high conversion efficiency from electric power to light. Since the dye has excellent directivity and light collecting property, the heat energy transfer efficiency of the dye is also very high. Therefore, the total energy utilization efficiency is markedly higher than that of the conventional method (thermal transfer by the above-mentioned thermal head or ink jet), which is advantageous in downsizing and power saving.

【0024】さらに、従来のインクジェット方式のカラ
ープリンタでは、階調表現が難しいが、半導体レーザは
出力パワーやパルス幅等の制御が容易であるため、上記
の記録方式では簡単に多階調表現が実現できる。即ち、
カラービデオカメラ等で作りだされた電気的な画像を半
導体レーザによって画像信号に応じた染料転写に変換
し、銀塩写真に匹敵する少なくとも1色当たり 128階調
を持つフルカラー画像を形成することができる。
Further, in the conventional ink jet type color printer, it is difficult to express gradation, but since the semiconductor laser can easily control the output power, the pulse width and the like, the above recording method can easily express multi gradation. realizable. That is,
An electric image created by a color video camera or the like can be converted into a dye transfer corresponding to an image signal by a semiconductor laser to form a full-color image having at least 128 gradations per color, which is comparable to silver halide photography. it can.

【0025】なお、この染料気化型の記録方法に適した
転写体としてのヘッド40は、転写時に瞬間的に加わる熱
量に対して十分耐える性質と、気化部(転写部)へ毛細
管現象により自発的に液状の染料を供給するための表面
積が大きくかつ転写時にも強固に染料を保持することの
できる構造(図32での20)とを有することが好ましい。
また、適当な保温装置を設けることによって、融点が室
温以上である染料又は染料混合物の使用も可能になる。
The head 40, which is a transfer member suitable for the dye vaporization type recording method, has the property of sufficiently withstanding the amount of heat instantaneously applied at the time of transfer, and spontaneously due to the capillary phenomenon to the vaporization part (transfer part). It is preferable to have a structure (20 in FIG. 32) having a large surface area for supplying a liquid dye and capable of firmly holding the dye even during transfer.
Further, by providing an appropriate heat retaining device, it becomes possible to use a dye or a dye mixture having a melting point of room temperature or higher.

【0026】また、この記録方法に適した転写染料は、
適当な気化速度又はアブレーション速度を有し、単独若
しくは混合状態で 200℃以下において流動状態を示し、
かつ必要十分な耐熱性を具備していれば、どのような染
料でもよい。具体的には、分散染料、油溶性染料、塩基
性染料、酸性染料などが挙げられる。特に、アブレーシ
ョン機構が気化機構よりも優位を占める場合は、直接染
料のように分子量が大きくて気化速度が小さい染料や、
カーボンブラックや顔料でさえも転写は可能である。融
点が室温以上にある染料でも、染料同士を混合すること
により、或いは染料と揮発性の低分子量物質を混合する
ことにより、融点は低下する。
A transfer dye suitable for this recording method is
It has an appropriate vaporization rate or ablation rate, and shows a fluid state at 200 ° C or lower in a single or mixed state,
Any dye may be used as long as it has necessary and sufficient heat resistance. Specific examples thereof include disperse dyes, oil-soluble dyes, basic dyes and acid dyes. In particular, when the ablation mechanism is superior to the vaporization mechanism, a dye having a large molecular weight and a low vaporization rate, such as a direct dye,
Even carbon black and pigments can be transferred. Even for a dye having a melting point of room temperature or higher, the melting point is lowered by mixing the dyes with each other or by mixing the dye and a volatile low molecular weight substance.

【0027】また、この記録方法に適した印画紙は、転
写染料と適当な相溶性を有し、転写染料を容易に受容し
て染料本来の発色を促進し、かつ染料を固定する作用が
あれば、どのような印画紙でもよい。例えば、分散染料
に対しては、分散染料と相溶性の良いポリエステル樹
脂、ポリ塩化ビニル樹脂、アセテート樹脂等を表面にコ
ートした紙などが好ましい。印画紙に転写された染料の
定着は、転写後の画像を加温して、表面の転写染料を受
像層内部に浸透させる方式も可能である。
Further, the photographic printing paper suitable for this recording method has a proper compatibility with the transfer dye, easily accepts the transfer dye, accelerates the original color development of the dye, and fixes the dye. Any photographic paper can be used. For example, for the disperse dye, a paper having a surface coated with a polyester resin, a polyvinyl chloride resin, an acetate resin, or the like, which has good compatibility with the disperse dye, is preferable. The fixing of the dye transferred onto the printing paper may be performed by heating the transferred image so that the transferred dye on the surface penetrates into the image receiving layer.

【0028】染料転写方式の加熱手段は、大別して、熱
ヘッドによる方法と、レーザ光と、レーザ光の波長領域
を含む波長領域に吸収を示し、光エネルギーを熱エネル
ギーに変換する材料(光熱変換体)(図示せず)とレー
ザ光とを組み合わせる方法とが挙げられる。
The heating means of the dye transfer system is roughly classified into a method using a thermal head, a material that absorbs laser light and a wavelength range including the wavelength range of the laser light, and converts light energy into heat energy (photothermal conversion). A method of combining a body (not shown) and laser light can be mentioned.

【0029】レーザ光を使用する場合には、解像度が著
しく向上すると共に、レーザ光密度を光学系で大きくす
ることにより集中的な加熱が可能となり、到達温度が上
がり、この結果、熱効率が向上するという特徴がある。
特に、マルチレーザを使用することによって、1画面を
転写する時間は大幅に短縮される。
When a laser beam is used, the resolution is remarkably improved, and by increasing the laser beam density in the optical system, it becomes possible to perform intensive heating, and the ultimate temperature is increased. As a result, the thermal efficiency is improved. There is a feature called.
Particularly, by using the multi-laser, the time for transferring one screen is significantly shortened.

【0030】但し、光熱変換体は、連続的に光エネルギ
ーのレーザ光を吸収するために耐熱性を十分に満足する
ものでなければならない。従って、この方式に用いる光
熱変換体としては、レーザの発光波長に一致する吸収を
示す金属薄膜、金属薄膜と高誘電率を持つセラミック薄
膜との2層膜等の薄膜系光吸収体を直接転写部に設ける
他に、カーボンブラック、金属微粒子等の微粒子系光吸
収体や、フタロシアニン系色素、ナフタロシアニン系色
素、シアニン系色素、アントラキノン系色素等の有機系
色素又は有機金属系色素等の如く耐熱性の優れた染料又
は顔料を転写染料に均一に分散して使用してもよい。
However, the photothermal converter must be sufficiently heat resistant in order to continuously absorb the laser light of light energy. Therefore, as the photothermal converter used in this system, a thin film type light absorber such as a metal thin film that exhibits absorption matching the emission wavelength of a laser, or a two-layer film of a metal thin film and a ceramic thin film having a high dielectric constant is directly transferred. In addition to being provided on the part, heat resistance such as fine particle type light absorbers such as carbon black and metal fine particles, organic dyes such as phthalocyanine dyes, naphthalocyanine dyes, cyanine dyes, anthraquinone dyes or organometallic dyes A dye or pigment having excellent properties may be used by uniformly dispersing it in a transfer dye.

【0031】[0031]

【発明に至る経過】また、本出願人は、インクシート及
び感熱ヘッドを必要としないで、省電力、小型化及び低
コストを図った他の昇華型カラービデオプリンタを特願
平5−236541号、特願平4−300587号、特願平5−1124
1 号、特願平5−12106 号等において提案している。
Further, the applicant of the present invention has proposed another sublimation type color video printer, which does not require an ink sheet and a thermal head, and which saves power, is small in size, and is low in cost. , Japanese Patent Application No. 4-300587, Japanese Patent Application No. 5-1124
No. 1 and Japanese Patent Application No. 5-12106.

【0032】このプリンタの類似構造を図35〜図39によ
って具体的に説明する(但し、図32のヘッドと共通する
部分には共通符号を付す。)と、ヘッド部60は、分散染
料としての固形粉末状の昇華染料42を収納する染料槽41
と、下側に位置する高強度材からなる耐摩耗性の保護層
61と、中央に位置するスペーサ62と、上側に位置するヘ
ッドベース63とによって構成されている。なお、図36
は、図35とは上下を逆にして示したものである。
A similar structure of this printer will be concretely described with reference to FIGS. 35 to 39 (however, common parts to those in the head of FIG. 32 are designated by common reference numerals), and the head part 60 serves as a disperse dye. Dye tank 41 containing solid powder sublimation dye 42
And a wear-resistant protective layer made of high-strength material located underneath
61, a spacer 62 located in the center, and a head base 63 located on the upper side. Note that FIG.
35 is shown upside down from FIG.

【0033】そして更に、染料収納槽41内の固形粉末状
の昇華染料42を加熱液化して導く液化染料供給路64と、
この液化染料供給路64に沿って所定間隔毎に複数配置さ
れ、この液化染料供給路64から供給された液化分散染料
22を気化熱によって気化させる各気化部17と、この気化
部内にて染料22の液面下に設けた気化用発熱体65と、そ
れを支える断熱材(ブロック)66と、発熱体65上におい
て染料22の保持及び供給を行う多孔性構造体である小柱
体80の群とを有している。断熱材66の両側面には発熱体
の電極65A、65Bが設けられ、図示省略した構造を介し
て取り出されている(但し、ヒータ68との間の絶縁構造
は図示省略)。
Further, a liquefied dye supply path 64 for heating and liquefying the solid powder sublimation dye 42 in the dye storage tank 41 to guide it.
A plurality of liquefied disperse dyes supplied from the liquefied dye supply passage 64 are arranged at predetermined intervals along the liquefied dye supply passage 64.
On each vaporization section 17 for vaporizing 22 by the heat of vaporization, a vaporization heating element 65 provided below the liquid surface of the dye 22 in this vaporization section, a heat insulating material (block) 66 for supporting it, and on the heating element 65 And a group of trabecular bodies 80 which are porous structures for holding and supplying the dye 22. Electrodes 65A and 65B of heating elements are provided on both side surfaces of the heat insulating material 66, and are taken out through a structure not shown (however, an insulating structure with the heater 68 is not shown).

【0034】保護層61は、印画紙50に軽圧で接触する際
に各気化部17の気化穴23内に汚れや塵、埃や異物等が混
入するのを防止する機能を有しており、熱伝導率がよ
く、耐熱性、耐摩耗性に優れたタンタル等の金属系やガ
ラス系の材料によって形成されている。また、保護層61
には、各気化部17の気化穴23の一部になる四角柱状の複
数の穴61aをエッチング技術等の微細加工により形成し
てある。
The protective layer 61 has a function of preventing dirt, dust, dust, foreign matter, etc. from entering the vaporization holes 23 of each vaporization section 17 when it comes into contact with the photographic printing paper 50 with a light pressure. It is formed of a metal-based or glass-based material such as tantalum, which has good thermal conductivity and excellent heat resistance and wear resistance. In addition, the protective layer 61
In this case, a plurality of square columnar holes 61a which become a part of the vaporization holes 23 of each vaporization part 17 are formed by fine processing such as an etching technique.

【0035】スペーサ62は、例えばガラス系やセラミッ
ク系、ポリエチレン系樹脂、タンタル等の金属系で形成
され、材料や厚み及びその組み合わせにより、液化分散
染料22の溶融温度の調整と、保護層61への伝熱による印
画紙50の染料受容層50aの温度の調整とを行う機能を有
している。
The spacer 62 is made of, for example, a glass-based or ceramic-based resin, a polyethylene-based resin, a metal-based resin such as tantalum, etc., and the melting temperature of the liquefied disperse dye 22 is adjusted and the protective layer 61 is adjusted depending on the material, thickness and combination thereof. It has a function of adjusting the temperature of the dye receiving layer 50a of the photographic printing paper 50 by the heat transfer of.

【0036】なお、印画紙50は、実際には、セルロース
系の樹脂などによって形成され、分散染料を吸収する染
料受容層50aと、ベース材50bとからなっている。ベー
ス材50bは、耐熱性が強く、非吸湿性の良いポリプロピ
レン層と、ベース紙と、ポリプロピレン層に対するバラ
ンスをとり、印画紙50が反らないようにするための別の
ポリプロピレン層とが積層された構造になっており、ま
た光吸収層(これは省略可能である。)が設けられてい
てもよい。
The photographic printing paper 50 is actually composed of a cellulosic resin or the like, and comprises a dye receiving layer 50a which absorbs disperse dyes, and a base material 50b. The base material 50b is formed by laminating a polypropylene layer having high heat resistance and good non-hygroscopicity, a base paper, and another polypropylene layer for balancing the polypropylene layer and preventing the photographic printing paper 50 from warping. The structure may be different, and a light absorption layer (which can be omitted) may be provided.

【0037】スペーサ62には、図35、図36、図38に示す
ように、各気化部17の気化穴23の一部になる四角柱状の
複数の穴62aをそれぞれ形成していると共に、染料収納
槽41(イエロー用41Y、マゼンタ用41M、シアン用41
C)側からヘッドベース63の他端側に延びて各気化部17
の気化穴23に連通する複数の溝穴(染料供給路)64を形
成している。
As shown in FIGS. 35, 36, and 38, the spacer 62 is provided with a plurality of square columnar holes 62a each of which is a part of the vaporizing hole 23 of each vaporizing section 17, and the dye Storage tank 41 (41Y for yellow, 41M for magenta, 41 for cyan
Each vaporizing portion 17 extends from the C) side to the other end side of the head base 63.
A plurality of slots (dye supply paths) 64 communicating with the vaporization holes 23 are formed.

【0038】更に、保護層61とスペーサ62との間には染
料液止め層67が設けられている。この染料液止め層67
は、耐熱性があって化学的に安定しているフッ素系やシ
リコン系の樹脂材料によって形成され、液化分散染料22
が保護層61の壁面を経由して外部へ漏れて印画紙50の染
料受容層50aに付着するのを防止するものである。
Further, a dye solution stopping layer 67 is provided between the protective layer 61 and the spacer 62. This dye liquid stop layer 67
Is a liquefied disperse dye formed of a fluorine-based or silicon-based resin material that is heat resistant and chemically stable.
Is prevented from leaking to the outside through the wall surface of the protective layer 61 and adhering to the dye receiving layer 50a of the photographic printing paper 50.

【0039】また、図35、図36、図37に示すように、液
止め層67には、各気化部17の気化穴23の一部になる四角
柱状の複数の穴67aをそれぞれ形成している。なお、保
護層61と染料液止め層67とスペーサ62とは、耐熱性があ
る接着剤でそれぞれ接着されている。
Further, as shown in FIGS. 35, 36 and 37, the liquid stop layer 67 is formed with a plurality of square columnar holes 67a each of which is a part of the vaporization hole 23 of each vaporization section 17. There is. The protective layer 61, the dye solution stopping layer 67, and the spacer 62 are adhered to each other with a heat-resistant adhesive.

【0040】ヘッドベース63は、融点が高く、熱成形性
がなく、低熱伝導性である例えばガラス、セラミックス
等によってなるべく薄く形成されている。また、図35に
示すように、ヘッドベース63の各染料収納槽41側には、
各液化染料供給路64に連通する供給口(接続穴)43を形
成している。
The head base 63 is formed as thin as possible, for example, glass, ceramics or the like having a high melting point, no thermoformability, and low thermal conductivity. Further, as shown in FIG. 35, on the dye storage tank 41 side of the head base 63,
A supply port (connection hole) 43 communicating with each liquefied dye supply path 64 is formed.

【0041】更に、ヘッドベース63の各液化染料供給路
64側の面には、各染料槽41内まで板状のヒータ(発熱
体)68を取り付けている。このヒータ68は、例えばカー
ボン又はシリコン系化合物で形成され、通電により50℃
〜300 ℃の熱を発して固形粉末状の分散染料42を液化す
ると共に、液化状態で保温する機能を有する。
Further, each liquefied dye supply path of the head base 63
A plate-shaped heater (heating element) 68 is attached to the surface on the 64 side up to the inside of each dye bath 41. The heater 68 is made of, for example, carbon or a silicon compound, and is heated to 50 ° C.
It has a function of liquefying the disperse dye 42 in the form of a solid powder by generating heat of ˜300 ° C. and keeping the temperature in the liquefied state.

【0042】図35に示すように、ヒータ68の一方の端部
は、上方に垂直に折り曲げられて各染料収納槽41内に挿
入されていると共に、その他方の端部は各液化染料供給
路64の終端部側まで伸びている。また、図39に示すよう
に、ヒータ68はヘッドベース63の全面に配置されてお
り、スペーサ62及び保護層61を保温して印画紙50の染料
受容層50aも加熱できるようになっている。
As shown in FIG. 35, one end of the heater 68 is bent vertically upward and inserted into each dye storage tank 41, and the other end is connected to each liquefied dye supply path. It extends to the terminal end side of 64. Further, as shown in FIG. 39, the heater 68 is arranged on the entire surface of the head base 63, and the spacer 62 and the protective layer 61 are kept warm so that the dye receiving layer 50a of the photographic printing paper 50 can also be heated.

【0043】図35〜図39に示した上記のプリンタヘッド
60によれば、図32〜図34に示したプリンタヘッド40で述
べた特長を有している上に、このプリンタヘッド40と比
較すると、以下に述べるような利点を有している。
The above printer head shown in FIGS. 35 to 39.
According to 60, in addition to having the features described with respect to the printer head 40 shown in FIGS. 32 to 34, it has the following advantages when compared with this printer head 40.

【0044】まず、各気化部17における気化のための染
料加熱は、レーザ光Lを使用するのではなく、各気化部
に設けた発熱体65の発熱によって行っているので、高価
な半導体レーザ(特に並列に複数本設けるマルチレーザ
アレイ)の代わりに低コストの発熱体の使用が可能とな
り、また、気化効率はレーザの電気光変換効率に依存せ
ずにヒータの発熱を直接利用することになり、全体とし
ての効率が向上する。
First, since the heating of the dye for vaporization in each vaporization section 17 is performed not by using the laser light L but by the heat generation of the heating element 65 provided in each vaporization section, an expensive semiconductor laser ( In particular, it is possible to use a low-cost heating element instead of multiple laser arrays that are provided in parallel), and the vaporization efficiency directly uses the heat generated by the heater without depending on the electro-optical conversion efficiency of the laser. , The efficiency as a whole is improved.

【0045】図35、図36に示したプリンタヘッド60にお
いては、気化構造体81の一部を構成する断熱材ブロック
66を、穴62a内でヒータ68上に接着剤により固定してス
ペーサ62とは離間させており、気化構造体の機械的強度
が充分とは言えない。
In the printer head 60 shown in FIGS. 35 and 36, a heat insulating material block forming a part of the vaporization structure 81.
Since the 66 is fixed on the heater 68 in the hole 62a with an adhesive and separated from the spacer 62, the mechanical strength of the vaporization structure cannot be said to be sufficient.

【0046】そこで、図40に示すように、スペーサ751
に気化構造体781 を一体に設け、気化構造体781 に接続
する染料導入路としての貫通孔753 をスペーサ751 に設
けて前記の機械的強度の不足を解消することができる。
Therefore, as shown in FIG. 40, a spacer 751
The vaporization structure 781 is integrally provided with the through hole 753 as a dye introduction path connecting to the vaporization structure 781 in the spacer 751 to eliminate the above-mentioned lack of mechanical strength.

【0047】しかしながら、本発明者が図40のプリンタ
ヘッドについて検討を加えた結果、次に述べるような改
善すべき点が残されていることを見出した。
However, as a result of the inventor's examination of the printer head of FIG. 40, it was found that the following points to be improved remain.

【0048】上記各部品は微小サイズの部品であり、例
えば図40に示すプリンタヘッド700において、染料導入
路727 の径は 0.1μmと極めて小さく、これを 0.8mmの
厚さのスペーサ751 に1行程であける簡単な方法がない
ため、裏面に染料供給通路727 としての溝を加工し、こ
の部分の板厚を薄くしてからパウダービームエッチング
等の特殊な加工法によって貫通孔753 を設ける等の複雑
な工程が必要である。しかも、薄板のため割れ易い上に
作業性が悪く、また、染料導入路727 をウエットエッチ
ングにより加工する場合は、予め加工されている染料供
給通路727 のマスクが非常に難しい。
Each of the above-mentioned parts is a minute size part. For example, in the printer head 700 shown in FIG. 40, the diameter of the dye introduction path 727 is as small as 0.1 μm. Since there is no simple method to do so, it is complicated to form a groove as the dye supply passage 727 on the back side, reduce the plate thickness of this part, and then provide a through hole 753 by a special processing method such as powder beam etching. Various steps are required. Moreover, since it is a thin plate, it is easily broken and has poor workability. Further, when the dye introduction path 727 is processed by wet etching, it is very difficult to mask the dye supply path 727 that has been processed in advance.

【0049】また、気化部と配線端子間に大きな段差を
設ける場合は、微細加工による大量のスペーサの切削が
必要である。従って、上記のような作業性の悪さがコス
ト高の要因となっている。
When a large step is provided between the vaporizing portion and the wiring terminal, it is necessary to cut a large amount of spacers by fine processing. Therefore, the poor workability as described above is a factor of high cost.

【0050】[0050]

【発明が解決しようとする課題】本発明は、上記の事情
に鑑みてなされたものであって、前述した熱転写記録装
置の特長を生かしながら、染料等の記録材を被記録体に
良好に移行させて記録性能を向上させると共に、所定形
状への加工が容易で、この加工の際の破損が防止されて
歩留りの向上及びコスト低減を図ることができる記録装
置及びその製造方法を提供することを目的としている。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has been made in view of the above-mentioned circumstances, and makes good use of the features of the thermal transfer recording apparatus described above while favorably transferring a recording material such as a dye to a recording medium. (EN) Provided is a recording apparatus and a manufacturing method thereof which can improve recording performance, can be easily processed into a predetermined shape, can prevent damage during the processing, and can improve yield and cost. Has an aim.

【0051】[0051]

【課題を解決するための手段】本発明は、被記録体に対
向する複数の記録材移行部を有し、記録材を加熱してこ
の加熱した記録材を前記被記録体へ移行して記録を行う
ように構成され、ベース材の上に、第1の材料層、第2
の材料層及び前記複数の記録材移行部がこの順に積層さ
れた構造を有し、前記記録材移行部へ前記記録材を移動
させるための共通の記録材通路が前記ベース材に設けら
れ、前記共通の記録材通路から前記第1の材料層及び前
記第2の材料層を経由して前記記録材移行部へ至る記録
材導入路が設けられている記録装置に係るものである。
SUMMARY OF THE INVENTION The present invention has a plurality of recording material transfer portions facing a recording medium, heats the recording material, and transfers the heated recording material to the recording medium for recording. A first material layer, a second material layer, and a second material layer on the base material.
The material layer and the plurality of recording material transition portions are laminated in this order, and a common recording material passage for moving the recording material to the recording material transition portion is provided in the base material, The present invention relates to a recording apparatus in which a recording material introducing path is provided from a common recording material passage to the recording material transition portion via the first material layer and the second material layer.

【0052】本発明はまた、被記録体に対向する記録材
移行部を有し、記録材を加熱してこの加熱した記録材を
前記被記録体へ移行して記録を行うように構成され、第
1の材料層と、第2の材料層と、前記記録材移行部と、
前記被記録体に直接対向したスペーサとがこの順に積層
された積層構造を有し、この積層構造が耐熱温度の高い
材料から低い材料の順に積層された構造部分を有してい
る記録装置にも係るものである。
The present invention also has a recording material transfer portion facing the recording medium, and is configured to heat the recording material and transfer the heated recording material to the recording medium for recording. A first material layer, a second material layer, the recording material transition portion,
A recording apparatus having a laminated structure in which a spacer directly facing the recording medium is laminated in this order, and the laminated structure has a structural portion in which materials having a high heat resistance temperature are laminated in this order It is related.

【0053】本発明において、各記録材導入路が、共通
の記録材通路から各記録材移行部へ1対1に連通してい
ることが望ましい。
In the present invention, it is desirable that each recording material introduction path communicates from the common recording material passage to each recording material transition portion in a one-to-one correspondence.

【0054】本発明において、複数の記録材移行部へ通
じるようにこれらの記録材移行部に共通の記録材導入路
が形成されているように構成することもできる。
In the present invention, a common recording material introducing passage may be formed in these recording material transition portions so as to communicate with a plurality of recording material transition portions.

【0055】また、本発明において、第1の材料層が、
共通の記録材導入路を形成した状態に成形され、この記
録材導入路が形成された状態で焼結して作製されたもの
であることが望ましい。
In the present invention, the first material layer is
It is desirable that the recording medium is formed in a state in which a common recording material introducing path is formed, and is sintered in the state in which the recording material introducing path is formed.

【0056】また、本発明において、第2の材料層の上
に更にスペーサが設けられていることが望ましい。
Further, in the present invention, it is desirable that a spacer is further provided on the second material layer.

【0057】また、本発明において、記録材移行部を支
持する第2の材料層が局部的に欠除され、この欠除部以
外の領域に記録材移行部が設けられていることが望まし
い。
Further, in the present invention, it is desirable that the second material layer that supports the recording material transition portion is locally removed, and the recording material transition portion is provided in an area other than the removed portion.

【0058】上記において、第1の材料層に設けられた
記録材導入路の上に部分的に第2の材料層が積層されて
段差が形成され、この段差によって前記第2の材料層の
欠除部が形成されていることが望ましい。
In the above, a step is formed by partially laminating the second material layer on the recording material introducing path provided in the first material layer, and the step causes a gap in the second material layer. It is desirable that the removed portion is formed.

【0059】また、上記において、欠除部以外の領域に
おいて第2の材料層上にスペーサが設けられていること
が望ましい。
Further, in the above, it is desirable that the spacer is provided on the second material layer in the region other than the cutout portion.

【0060】また、本発明において、エッチング制御層
が、第2の材料層と記録材移行部との間に介在している
ことが望ましい。
Further, in the present invention, it is desirable that the etching control layer is interposed between the second material layer and the recording material transition portion.

【0061】また、本発明において、液状記録材を被記
録体へ飛翔させて記録を行う記録材飛翔用構造体が記録
部に設けられていることが望ましい。
Further, in the present invention, it is desirable that a recording material flying structure for flying the liquid recording material to the recording medium to perform recording is provided in the recording portion.

【0062】上記において、記録材供給構造部上に記録
材飛翔用構造体が一体に設けられていることが望まし
い。
In the above, it is desirable that the recording material flying structure is integrally provided on the recording material supply structure portion.

【0063】また、上記において、液状記録材を加熱し
て飛翔させるための発熱体が記録材飛翔用構造体に設け
られていることが望ましい。
Further, in the above, it is desirable that a heating element for heating the liquid recording material to fly is provided in the recording material flying structure.

【0064】上記に替えて、記録材飛翔用構造体の液状
記録材を加熱ビームにより加熱して飛翔させるように構
成することもできる。
Alternatively, the liquid recording material of the recording material flying structure may be heated by a heating beam to fly.

【0065】前記において、毛細管現象により液状記録
材を開口側に供給しかつ保持する記録材飛翔用構造体が
設けられていることが望ましい。
In the above, it is desirable to provide a recording material flying structure for supplying and holding the liquid recording material to the opening side by the capillary phenomenon.

【0066】上記において、毛細管現象を生ずる多孔質
構造物が記録材飛翔用構造体に設けられていることが望
ましい。
In the above, it is desirable that the recording material flying structure is provided with a porous structure that causes a capillary phenomenon.

【0067】上記において、多孔性構造体が小柱体の集
合体によって形成されていることが望ましい。
In the above, it is desirable that the porous structure is formed of an aggregate of small pillars.

【0068】更に、本発明において、液状記録材が気化
又はアブレーションして、前記液状記録材と非接触状態
で対向した被記録体へ飛翔するようにすることが望まし
い。
Further, in the present invention, it is desirable that the liquid recording material is vaporized or ablated so as to fly to the recording medium facing the liquid recording material in a non-contact state.

【0069】本発明はまた、被記録体に対向する複数の
記録材移行部を有し、記録材を加熱してこの加熱した記
録材を前記被記録体へ移行して記録を行うように構成さ
れ、ベース材の上に、第1の材料層、第2の材料層及び
前記複数の記録材移行部がこの順に積層された構造を有
し、前記記録材移行部へ前記記録材を移動させるための
共通の記録材通路が前記ベース材に設けられ、前記共通
の記録材通路から前記第1の材料層及び前記第2の材料
層を経由して前記記録材移行部へ至る記録材導入路が設
けられている記録装置を製造するに際し、前記共通の記
録材通路を有する前記ベース材上に積層する前記第1の
材料層に、前記記録材導入路部分を形成する工程と、前
記第1の材料層の上に前記第2の材料層を積層する工程
と、前記記録材移行部を形成する記録材移行部材料層を
前記第2の材料層上に積層する工程と、前記記録材移行
部材料層から前記第2の材料層を通り前記第1の材料層
の前記記録材導入路部分に通じてなる前記記録材導入路
を形成する工程と、前記記録材移行部材料層に前記記録
材移行部を形成する工程と、しかる後に前記第1の材料
層に設けた前記記録材導入路部分が前記ベース材に設け
た前記共通の記録材通路と連通し合うように前記第1の
材料層を前記ベース材に固定する工程とを有する、記録
装置の製造方法をも提供するものである。
The present invention also has a plurality of recording material transfer portions facing the recording material, and is configured to heat the recording material and transfer the heated recording material to the recording material for recording. And has a structure in which the first material layer, the second material layer, and the plurality of recording material transition portions are laminated in this order on the base material, and moves the recording material to the recording material transition portion. A common recording material passage is provided in the base material, and a recording material introduction path from the common recording material passage to the recording material transition portion via the first material layer and the second material layer is provided. And a step of forming the recording material introducing path portion in the first material layer laminated on the base material having the common recording material path, Laminating the second material layer on the material layer of Stacking a recording material transitional part material layer forming a part on the second material layer, and passing through the second material layer from the recording material transitional part material layer to the recording material of the first material layer Forming the recording material introducing passage leading to the introducing passage portion; forming the recording material transition portion in the recording material transition portion material layer; and then performing the recording provided on the first material layer. And a step of fixing the first material layer to the base material so that a material introduction path portion communicates with the common recording material path provided in the base material. It is a thing.

【0070】本発明はまた、被記録体に対向する記録材
移行部を有し、記録材を加熱してこの加熱した記録材を
前記被記録体へ移行して記録を行うように構成され、第
1の材料層と、第2の材料層と、前記記録材移行部と、
前記被記録体に直接対向したスペーサとがこの順に積層
された積層構造を有し、この積層構造が耐熱温度の高い
材料から低い材料の順に積層された構造部分を有してい
る記録装置を製造するに際し、前記第1の材料層の上に
前記第2の材料層を積層する第1工程と、前記記録材移
行部を形成する記録材移行部材料層を前記第2の材料層
上に積層する第2工程と、前記記録材移行部材料層に前
記記録材移行部を形成する第3工程と、前記記録材移行
部材料層上に前記スペーサを積層する第4工程とを有
し、前記第1工程から前記第4工程への順において処理
温度を順次低下させる処理工程を含む、記録装置の製造
方法をも提供するものである。
The present invention also has a recording material transfer portion facing the recording medium, and is configured to heat the recording material and transfer the heated recording material to the recording medium for recording. A first material layer, a second material layer, the recording material transition portion,
A recording device having a laminated structure in which a spacer directly opposed to the recording medium is laminated in this order, and the laminated structure has a structural portion in which materials having a high heat resistance temperature are laminated in this order In doing so, a first step of laminating the second material layer on the first material layer, and a recording material transition part material layer forming the recording material transition part are laminated on the second material layer. And a third step of forming the recording material transition portion in the recording material transition portion material layer, and a fourth step of laminating the spacer on the recording material transition portion material layer, The present invention also provides a method for manufacturing a recording apparatus, which includes processing steps of sequentially lowering the processing temperature from the first step to the fourth step.

【0071】上記において、記録材移行部を複数とし、
第1工程に先立って、共通の記録材通路を有するベース
材上に積層する前記第1の材料層に、記録材導入路部分
を形成する工程と、第2工程と第3工程との間で、記録
材移行部材料層から前記第2の材料層を通り前記第1の
材料層の前記記録材導入路部分に通じてなる前記記録材
導入路を形成する工程とを有するのが望ましい。
In the above, a plurality of recording material transition parts are provided,
Prior to the first step, between the step of forming the recording material introducing path portion in the first material layer laminated on the base material having the common recording material passage, and the second step and the third step. It is preferable that the method further includes the step of forming the recording material introducing passage that extends from the recording material transition portion material layer to the recording material introducing passage portion of the first material layer through the second material layer.

【0072】本発明に基づく方法において、第1の材料
層の原料を成形して成形体とし、この成形体に記録材導
入路部分を形成し、しかる後に、この記録材導入路部分
が形成された前記成形体を焼結して前記第1の材料層と
するのが望ましい。
In the method according to the present invention, the raw material of the first material layer is molded into a molded body, and a recording material introducing passage portion is formed in this molded body, and thereafter, this recording material introducing passage portion is formed. It is desirable to sinter the formed body to form the first material layer.

【0073】また、本発明に基づく方法において、第1
の材料層に設けた記録材導入路部分の上部に部分的にグ
レーズ層を積層して段差を形成し、この段差による欠除
部を有するグレーズ層を焼成して第2の材料層とするの
が望ましい。
In the method according to the present invention, the first
The step of forming a step by partially laminating the glaze layer on the recording material introducing path portion provided in the material layer of No. 2, and firing the glaze layer having a cutout portion due to the step to form the second material layer. Is desirable.

【0074】また、本発明に基づく方法において、発熱
体及びこの発熱体の電極を第2の材料層上に形成した
後、この第2の材料層、前記発熱体及び前記電極を含む
表面に、絶縁膜、エッチング制御層及び記録材移行部材
料層をこの順に積層し、この記録材移行部材料層に記録
材移行部及び液止め用の溝を形成するのが望ましい。
In the method according to the present invention, after the heating element and the electrode of the heating element are formed on the second material layer, the surface including the second material layer, the heating element and the electrode, It is desirable that the insulating film, the etching control layer, and the recording material transition portion material layer are laminated in this order, and the recording material transition portion and the liquid stop groove are formed in the recording material transition portion material layer.

【0075】また、本発明に基づく方法において、記録
材移行部材料層の上に部分的にグレーズ層を被着し、こ
のグレーズ層を焼成してスペーサとするのが望ましい。
Further, in the method according to the present invention, it is desirable that a glaze layer is partially deposited on the recording material transition portion material layer and the glaze layer is baked to form a spacer.

【0076】更に、本発明に基づく方法において、記録
材移行部材料層と第2の材料層とを互いに逆の側からエ
ッチングして記録材導入路を形成するのが望ましい。
Further, in the method according to the present invention, it is desirable to form the recording material introducing path by etching the recording material transition material layer and the second material layer from opposite sides.

【0077】[0077]

【実施例】以下、本発明の実施例を更に詳細に説明する
が、本発明が以下の実施例のみに限定されるものでない
ことは勿論である。
EXAMPLES Examples of the present invention will be described in more detail below, but it goes without saying that the present invention is not limited to the following examples.

【0078】図1〜図21は、本発明を非接触方式の染料
気化型プリンタ(例えばビデオプリンタ:以下、同様)
に適用した第1の実施例を示すものである。
FIGS. 1 to 21 show a non-contact type dye vaporization printer according to the present invention (for example, a video printer: hereinafter the same).
1 shows a first embodiment applied to.

【0079】まず、図1〜図3について、本実施例によ
る発熱体方式のプリンタヘッド70の特徴的構成を説明す
る。
First, the characteristic structure of the printer head 70 of the heating element type according to this embodiment will be described with reference to FIGS.

【0080】このプリンタヘッド70の染料気化部17にお
いては、厚さが例えば6〜15μmのSiO2 層からなる
絶縁板56に染料収容部87が凹状に形成され、この収容部
に絶縁板56の微細加工による幅及び径が例えば1〜2μ
mの微細な小柱体80の群が気化構造体101 の一部として
設けられている。そして、小柱体80の群を囲んで液止帯
55が設けられ、また、これらを挟むようにして気化構造
体101 と印画紙50との間隙を一定に保つためのスペーサ
52が帯状に配されている。
In the dye vaporization section 17 of the printer head 70, the dye accommodating section 87 is formed in a concave shape in the insulating plate 56 made of a SiO 2 layer having a thickness of, for example, 6 to 15 μm. The width and diameter of the fine processing are, for example, 1-2 μ
A group of m small pillars 80 is provided as part of the vaporization structure 101. And a liquid stop surrounding the group of pillars 80
55 is provided, and a spacer for keeping a constant gap between the vaporization structure body 101 and the photographic paper 50 by sandwiching them.
52 are arranged in strips.

【0081】この小柱体80は、収容部87の底面からその
上面に至るまでの高さに設けられ、かつ、各小柱体間に
は微小空隙92を有しており、この空隙によって全体とし
て多孔性構造を構成している。空隙92は、その毛細管作
用によって収容部87内で液化染料22を保持すると共に、
プリンタの1ドット分の時系列的動作に必要な十分な量
の液化染料22を上方(気化面又は液面)へ供給する作用
をなすものである。
The small pillars 80 are provided at a height from the bottom surface of the accommodating portion 87 to the upper surface thereof, and have minute voids 92 between the small pillars. As a porous structure. The void 92 holds the liquefied dye 22 in the housing portion 87 by its capillary action, and
It serves to supply a sufficient amount of the liquefied dye 22 necessary for the time-series operation of one dot of the printer to the upper side (vaporization surface or liquid surface).

【0082】そして、この小柱体80の下面に接して、小
柱体群の幅の中央部には厚さが例えば1μm又はそれ以
下の発熱体65が設けられている。
A heating element 65 having a thickness of, for example, 1 μm or less is provided in the center of the width of the small pillar body group so as to be in contact with the lower surface of the small pillar body 80.

【0083】発熱体65は、カーボンやポリシリコン等の
シリコン系化合物からなり、染料収容部87の底面上に形
成されていて、その両側には一対のアルミニウム電極69
Aと69Bとが設けられている。
The heating element 65 is made of a silicon compound such as carbon or polysilicon, is formed on the bottom surface of the dye containing portion 87, and has a pair of aluminum electrodes 69 on both sides thereof.
A and 69B are provided.

【0084】電極69A−69B間にはマトリックス駆動に
よって画像信号に基づく信号電圧が印加され、これによ
る通電で発熱体65において50〜500 ℃の発熱を生じ、こ
の熱で液化染料22を効率良く加熱して気化させるもので
ある。そして、絶縁板56下に高融点ガラスからなる第2
の材料層51及びセラミックスからなる第1の材料層62が
一体化して設けられているために、これらが断熱材とし
て作用し、上記の発熱体65による熱は殆ど放散されるこ
とはない。
A signal voltage based on an image signal is applied between the electrodes 69A and 69B by matrix driving, and the energization generates heat at 50 to 500 ° C. in the heating element 65, and this heat efficiently heats the liquefied dye 22. To vaporize. Then, under the insulating plate 56, a second glass made of high melting point glass is used.
Since the material layer 51 and the first material layer 62 made of ceramics are integrally provided, they act as a heat insulating material, and the heat generated by the heating element 65 is hardly dissipated.

【0085】第1の材料層62及び第2の材料層51には、
共通の染料通路27から分岐して液化染料22の導入路53が
形成され、これが染料収容部87の側面に開口している。
従って、液化染料22は、連続的に染料導入路53を経由し
て染料収容部87内に導入され、気化構造体101 へ供給さ
れることになる。
The first material layer 62 and the second material layer 51 include
An introduction passage 53 for the liquefied dye 22 is formed by branching from the common dye passage 27, and the introduction passage 53 opens at the side surface of the dye containing portion 87.
Therefore, the liquefied dye 22 is continuously introduced into the dye containing portion 87 via the dye introduction path 53 and is supplied to the vaporization structure 101.

【0086】ここで注目すべきことは、印画紙50より遠
い位置から熱処理温度の高い材料の順に層が形成され、
セラミックスからなる第1の材料層62の上に部分的に第
2の材料層51を設けて段差を形成し、その突出部に気化
部17を設け、その凹部に発熱体65の接続端子69aや結線
のスペースを確保することにより気化部と印画紙との間
隔を狭めていることである。
It should be noted here that layers are formed in order from the material farther from the printing paper 50 in order of higher heat treatment temperature,
The second material layer 51 is partially provided on the first material layer 62 made of ceramics to form a step, the vaporizing portion 17 is provided on the projecting portion, and the connecting terminal 69a of the heating element 65 is provided on the concave portion. That is, the space between the vaporizing portion and the printing paper is narrowed by securing a space for connection.

【0087】従って、染料収容部87や小柱体80、更には
染料導入路53等を加工するときに効率的な工程を組むこ
とができ、割れや破壊を生じることなく、取扱性及び信
頼性、更には歩留り及びコストパフォーマンスを向上さ
せることができる。
Therefore, it is possible to construct an efficient process when processing the dye containing portion 87, the columnar body 80, the dye introducing path 53, etc., without causing cracks or breakage, and handling and reliability. Moreover, the yield and cost performance can be improved.

【0088】また、小柱体80及び染料収容部87を第2の
材料層51上での絶縁板56のエッチング加工によって形成
して気化構造体101 を形成しているから、これを接着剤
によって個々に固定する方式とは異なり、マスキング時
の位置合わせのみでよいために小柱体80及び染料収容部
87、更には別途レジストを用いて行う染料導入路53の加
工が容易かつ高精度に行え、記録特性を改善することが
できる。
Further, since the columnar body 80 and the dye accommodating portion 87 are formed by etching the insulating plate 56 on the second material layer 51 to form the vaporization structure 101, this is formed by an adhesive. Unlike the method of fixing individually, only the alignment at the time of masking is required, so the columnar body 80 and the dye accommodating part
87, and the dye introduction path 53 can be easily and accurately processed by using a separate resist, and the recording characteristics can be improved.

【0089】そして、第1の材料層62は更に、染料通路
27を有する石英ガラス板からなるベース材63に接合、固
定されているので、このベース材63が補強材として作用
し、ヘッドの機械的強度が一層十分となっている。
The first material layer 62 further includes a dye channel.
Since it is bonded and fixed to the base material 63 made of a quartz glass plate having 27, the base material 63 acts as a reinforcing material, and the mechanical strength of the head is further sufficient.

【0090】段差を形成した突出部の一部には、小柱体
80の群が所定間隔で配され、この各小柱体80の群を囲ん
で液止め帯55が設けられてそれぞれの気化部領域を形成
している。そしてこの液止め帯55は、フッ素系又はシリ
コン系の材料からなり、液化染料22の流出を防止してい
る。更にこれら気化部17の領域を挟むようにして低融点
ガラスからなるスペーサ52が設けられて気化部17と印画
紙との間の間隙を保っている。
A small columnar body is formed on a part of the protrusion having the step.
A group of 80 is arranged at a predetermined interval, and a liquid stop band 55 is provided so as to surround each group of the small pillars 80 to form each vaporization part region. The liquid retaining band 55 is made of a fluorine-based or silicon-based material and prevents the liquefied dye 22 from flowing out. Further, a spacer 52 made of low-melting glass is provided so as to sandwich the region of the vaporizing section 17 to maintain a gap between the vaporizing section 17 and the printing paper.

【0091】このように要部が形成された気化部17は、
図3に示すように配されてプリンタヘッド70を構成して
いる。図3における固形染料槽41の固形粉末状の熱溶融
性染料42は、ヒータ68によって融解点以上に加熱されて
液化され、染料通路27を通り、この染料通路27に連通し
て各気化部17毎に設けた染料導入路53を経由し、各小柱
体80の群の染料収容部87へ供給される。
The vaporizing section 17 in which the main part is formed is
The printer heads 70 are arranged as shown in FIG. The solid powdery heat-meltable dye 42 in the solid dye tank 41 shown in FIG. 3 is heated to a melting point or higher by the heater 68 and liquefied, passes through the dye passage 27, communicates with the dye passage 27, and vaporizes 17 respectively. It is supplied to the dye accommodating portion 87 of each group of the small pillars 80 via the dye introducing path 53 provided for each.

【0092】上記のように構成された気化部17は、図1
〜図3では1ドット又は2ドット分示したが、ヘッド70
において実際には、図33及び図37〜図39に示したと同様
に、フルカラー用として各色(イエローY、マゼンタ
M、シアンC)毎に複数ドットが配置される。従って、
この場合、図1〜図3の構造がライン状に配設される。
The vaporizing section 17 configured as described above is shown in FIG.
-In FIG. 3, one or two dots are shown, but the head 70
In practice, a plurality of dots are arranged for each color (yellow Y, magenta M, cyan C) for full color, as shown in FIGS. 33 and 37 to 39. Therefore,
In this case, the structures of FIGS. 1 to 3 are arranged in a line.

【0093】そして、印画紙50をカラー印画する際に、
画像信号に応じて発熱体65により熱が発生する。この熱
によって各気化部の染料が気化し、気化構造体101 と印
画紙50との間隙92を飛翔して、印画紙50の受容層50aに
Y、M、Cの順で転写される。
When color printing the photographic printing paper 50,
Heat is generated by the heating element 65 according to the image signal. Due to this heat, the dye in each vaporization portion is vaporized, fly through the gap 92 between the vaporization structure 101 and the printing paper 50, and are transferred to the receiving layer 50a of the printing paper 50 in the order of Y, M, and C.

【0094】本実施例によるプリンタヘッド70は、図35
に示したヘッド60と同様、染料22を加熱して間隙を通し
て印画紙50へ飛翔させる熱転写方式のものであるから、
既述した小型化、保守容易性、即時性、画像の高品位
化、高階調性等の特長を有している。
The printer head 70 according to this embodiment is shown in FIG.
Similar to the head 60 shown in (4), it is of a thermal transfer system that heats the dye 22 to fly to the printing paper 50 through the gap,
It has the features of miniaturization, ease of maintenance, immediacy, high-quality images, and high gradation described above.

【0095】なお、小柱体80は、SiO2 で形成した
が、他の材料でも形成可能である。例えば、ポリイミド
等の高分子材、セラミックス系、シリコン系、金属系等
又はこれらの組み合わせで形成することもできる。高分
子材で形成できるのは、プリンタヘッド70を印画紙50に
対して押し付けない構造としているため、大きな圧力を
受けないことに依るものであり、また、発熱体65の作動
時に熱放散も少なく、熱的絶縁性が良好となる。
Although the small columns 80 are made of SiO 2 , they can be made of other materials. For example, a polymer material such as polyimide, a ceramic material, a silicon material, a metal material, or a combination thereof can be used. The polymer material can be formed because it does not press the printer head 70 against the printing paper 50, and therefore it does not receive a large pressure, and the heat dissipation during the operation of the heating element 65 is small. , Thermal insulation becomes good.

【0096】次に、本実施例によるヘッド70の製造方法
の一例を図4〜図21について説明する。
Next, an example of a method of manufacturing the head 70 according to this embodiment will be described with reference to FIGS.

【0097】まず、図4のように、固形粉末状の原料の
セラミックスを圧縮成形して 0.8〜1.0mmt(厚さ)の圧
粉体62Aとし、染料導入路となる貫通孔53を設けてから
焼結して第1の材料層62を形成する。セラミックスの圧
粉体は、焼結すると収縮するため 0.1mmφ程度の穴加工
が簡単に行える。
First, as shown in FIG. 4, solid powdery raw material ceramics is compression molded into a powder compact 62A of 0.8 to 1.0 mmt (thickness), and a through hole 53 to be a dye introduction path is provided. Sintering forms the first material layer 62. Ceramic green compact shrinks when sintered, so holes of about 0.1 mmφ can be easily drilled.

【0098】次いで、図5のように、第1の材料層62に
設けた貫通孔53にレジスト57を充填して貫通孔53を埋
め、その上面にスパッタにより耐熱材及び貫通孔閉塞用
としてSiO2 層54を2μm厚程度に成膜し、貫通孔53
に充填したレジスト57を除去する。
Next, as shown in FIG. 5, the through holes 53 provided in the first material layer 62 are filled with a resist 57 to fill the through holes 53, and the upper surface thereof is sputtered to form a heat-resistant material and SiO 2 for closing the through holes. Two layers 54 are formed to a thickness of about 2 μm, and through holes 53
The resist 57 filled in is removed.

【0099】次いで、図6のように、貫通孔53の上部に
部分的な帯状の高融点ガラスのグレーズを印刷法により
100μm程度の厚さに積層して生の第2の材料層51Aを
形成する。この幅は2〜4mm程度が望ましい。
Next, as shown in FIG. 6, a partial band-shaped high-melting-point glass glaze is printed on the upper part of the through hole 53 by a printing method.
The raw second material layer 51A is formed by stacking the layers to a thickness of about 100 μm. This width is preferably about 2 to 4 mm.

【0100】次いで、図7のように、積層した生の第2
の材料層51を 900℃程度で焼成して第2の材料層51と
し、その表面を研磨して面出しを行う。このように第2
の材料層51を部分的に高くするのは、配線端子結線のス
ペースを確保することと、気化部と印画紙との間隙を小
さくして気化した染料が拡散しないうちに転写を行い画
質の向上を図るためである。
Then, as shown in FIG. 7, the stacked raw second
This material layer 51 is baked at about 900 ° C. to form the second material layer 51, and the surface thereof is polished to make the surface. Second like this
The material layer 51 is partially raised in order to secure a space for wiring terminal connection and to improve the image quality by making the gap between the vaporizing part and the printing paper small and transferring before the vaporized dye diffuses. This is because

【0101】次いで、図8のように、発熱体を形成する
ための素材P−Si(ポリシリコン)65AをプラズマC
VDにより成膜し、 600℃程度にてアニール処理する。
Then, as shown in FIG. 8, the material P-Si (polysilicon) 65A for forming the heating element is plasma C.
A film is formed by VD and annealed at about 600 ° C.

【0102】次いで、図9のように、P−Si層65Aを
パターニングして発熱体65を形成する。
Next, as shown in FIG. 9, the P-Si layer 65A is patterned to form the heating element 65.

【0103】次いで、図10のように、電極及び配線の素
材となるアルミニウム(Al)69を蒸着して成膜する。
Next, as shown in FIG. 10, aluminum (Al) 69, which is a material for electrodes and wiring, is vapor-deposited to form a film.

【0104】次いで、図11のように、パターニングによ
り余分なアルミニウム膜部分を除去し、電極69A、69B
及び端子部69a、69bを形成する。
Then, as shown in FIG. 11, the excess aluminum film portion is removed by patterning, and electrodes 69A and 69B are removed.
And terminal portions 69a and 69b are formed.

【0105】次いで、図12のように、発熱体65、電極69
A、69B及び端子部69a、69b等を含む全表面に、絶縁
のためスパッタにより 0.1μm以下の厚みでSiO2
よる絶縁膜58Aを成膜する。
Then, as shown in FIG. 12, a heating element 65 and an electrode 69 are provided.
An insulating film 58A made of SiO 2 is formed on the entire surface including A, 69B and the terminals 69a, 69b by sputtering for insulation to a thickness of 0.1 μm or less.

【0106】次いで、図13のように、絶縁膜58Aの上に
クロム又はニッケルからなるエッチング制御材の層58B
をスパッタにより成膜する。この層は、後述する小柱体
と発熱体65とに段差を形成するためのものであり、この
層上に次に設けるSiO2 の層56よりもエッチング速度
が遅い金属を材料としている。
Then, as shown in FIG. 13, a layer 58B of an etching control material made of chromium or nickel is formed on the insulating film 58A.
Is formed by sputtering. This layer is for forming a step between the post-shaped body and the heating element 65, which will be described later, and is made of a metal whose etching rate is slower than that of the SiO 2 layer 56 provided next on this layer.

【0107】次いで、図14のように、染料飛翔用気化構
造体101 を形成するためのSiO2による材料層56を積
層する。この厚さは3〜6μmがよい。
Then, as shown in FIG. 14, a material layer 56 made of SiO 2 for forming the vaporizing structure for flying dye 101 is laminated. This thickness is preferably 3 to 6 μm.

【0108】次いで、図15のように、先ず同図(b)
(平面図)の如く、小柱体80の群及び液止め用溝55aを
形成するためのメタルマスク85、83を蒸着により作製
し、その上に、これを保護するために1μm以下のSi
2 を成膜する。図15(b)において、符号85は小柱体
80形成用のマスク、同じく84a及び84bは液止め溝55a
形成用のマスクである。図15(a)は、このように作製
したマスク83が最上層56の表面を覆っている状態を示し
ている。なお、図示省略したが、このマスク83には後述
するスペーサ用の切除部が設けられている。
Next, as shown in FIG. 15, first, FIG.
As shown in the plan view, metal masks 85 and 83 for forming the group of small pillars 80 and the liquid stop groove 55a are formed by vapor deposition, and Si of 1 μm or less is formed on the metal masks 85 and 83 to protect them.
O 2 is formed into a film. In FIG. 15 (b), reference numeral 85 is a small pillar body.
A mask for forming 80, and liquid stopper grooves 55a for 84a and 84b as well.
It is a mask for formation. FIG. 15A shows a state in which the mask 83 thus manufactured covers the surface of the uppermost layer 56. Although not shown, the mask 83 is provided with a cutout portion for a spacer, which will be described later.

【0109】次いで、図16のように、前工程において設
けたメタルマスク83の上に染料導入路53形成用の穴71a
を有するレジスト71を形成する。
Then, as shown in FIG. 16, a hole 71a for forming the dye introducing path 53 is formed on the metal mask 83 provided in the previous step.
Forming a resist 71 having

【0110】次いで、図17に示す矢印のように、セラミ
ックスからなる第1の材料層62に接している第2の材料
層51を、第1の材料層62をレジスト代わりにしてウエッ
トエッチングを行い、その他の部分に対してはレジスト
71側からウエットエッチングを行うことにより、貫通し
た染料導入路53が容易に形成される。このウエットエッ
チング時に、エッチング制御材層58Bでは、上下方向か
らのエッチング速度が遅くなり、染料導入路53の貫通時
に内径が甚だしく拡大するのが防止される。
Then, as shown by the arrow in FIG. 17, the second material layer 51 in contact with the first material layer 62 made of ceramics is wet-etched by using the first material layer 62 as a resist. , Resist for other parts
By performing wet etching from the 71 side, the penetrating dye introducing path 53 is easily formed. At the time of this wet etching, the etching control material layer 58B has a slower etching rate from the up and down direction, which prevents the inner diameter from significantly expanding when penetrating the dye introduction path 53.

【0111】次いで、図18のようにレジスト71を除去
し、しかる後に、図19に示すように、染料導入路53を形
成後の上面に、低融点ガラス(450℃)を印刷法により積
層し、焼成してグレーズのスペーサ52を図15において前
記したマスクの切除部に形成する。
Then, the resist 71 is removed as shown in FIG. 18, and thereafter, as shown in FIG. 19, a low melting point glass (450 ° C.) is laminated on the upper surface after the dye introducing path 53 is formed by a printing method. By firing, the glaze spacers 52 are formed on the cutout portions of the mask described above with reference to FIG.

【0112】次いで、図20のように、先に設けたメタル
マスク83をマスクとしてリアクティブ・イオン・エッチ
ング(RIE)により小柱体80及び液止め溝55aを形成
し、更に接続端子69a、69bを形成する。この小柱体形
成時には、前述したように、小柱体構成材料の層56の下
には、発熱体65上をも含めてエッチング速度の遅いエッ
チング制御材層58Bが存在しているので、エッチング制
御材層58Bがエッチングされきった時点でエッチングを
停止するようにできる。
Then, as shown in FIG. 20, the columnar body 80 and the liquid stop groove 55a are formed by reactive ion etching (RIE) using the metal mask 83 previously provided as a mask, and the connection terminals 69a and 69b are formed. To form. At the time of forming the small pillars, as described above, the etching control material layer 58B having a low etching rate is present below the small pillar-constituting material layer 56, including on the heating element 65. The etching can be stopped when the control material layer 58B is completely etched.

【0113】従って、図1中のA部拡大図に示すよう
に、小柱体80の下にはエッチング制御材層58Bが残り、
発熱体65上のエッチング制御材層は除去され、小柱体80
と発熱体65との表面の高低差がエッチング制御材層の厚
さだけ助長される。その結果、両者間の段差が大きくな
って発熱体上の液化染料が多くなり、その気化による記
録が効率的になされる。液止め溝55aには、フッ素系又
はシリコン系の材料を充填して液止め帯55を形成する。
Therefore, as shown in the enlarged view of the portion A in FIG. 1, the etching control material layer 58B remains below the small pillar 80,
The etching control material layer on the heating element 65 is removed, and the pillar body 80 is removed.
The height difference between the surfaces of the heating element 65 and the heating element 65 is promoted by the thickness of the etching control material layer. As a result, the level difference between the two becomes large, and the amount of liquefied dye on the heating element increases, so that the recording is efficiently performed by the vaporization. The liquid stop groove 55 is filled with a fluorine-based or silicon-based material to form the liquid stop band 55.

【0114】次いで、以上のような工程によりヘッド部
材の集合体が形成されるので、これを図21のように個々
に分割して単一のヘッド部材の製造工程は完了する。そ
して、これを別途製造しておいた、染料通路27を有する
ベース材63と接合し、一体化させてプリンタヘッドが完
成する。
Next, since the aggregate of head members is formed by the above steps, this is divided into individual parts as shown in FIG. 21 to complete the manufacturing process of a single head member. Then, this is joined to a separately manufactured base material 63 having the dye passage 27, and integrated to complete a printer head.

【0115】このような製造工程により、発熱体65等に
エッチング制御材層が設けられているために小柱体80と
発熱体65とに段差が形成される。なお、上記した第2の
材料層51及びスペーサ52はガラス材の代わりに耐熱性高
分子材又は金属系等の材料を使用することもできる。
By the manufacturing process as described above, a step is formed between the columnar body 80 and the heating element 65 because the etching control material layer is provided on the heating element 65 and the like. The second material layer 51 and the spacer 52 may be made of a heat-resistant polymer material or a metal material instead of the glass material.

【0116】以上のように、セラミックスを焼結するに
先立って貫通孔を設けることにより、この穴加工が容易
に行え、大幅な工数削減が可能になる。また、熱処理温
度の異なる構成材料を使用することにより、各層の順次
積層が可能となる。更に、第2の材料層をグレーズの印
刷によって形成するので、気化部と配線端子間に簡単に
段差を形成することかできる。従って、端子部における
結線箇所のふくらみもこの段差によって吸収されるの
で、それだけ気化部と印画紙との距離が縮められ、画質
が向上することになり、信頼性の高い気化部構造が得ら
れる。
As described above, by providing the through-holes before sintering the ceramics, this hole processing can be performed easily and the number of steps can be greatly reduced. Further, by using constituent materials having different heat treatment temperatures, it becomes possible to sequentially stack each layer. Furthermore, since the second material layer is formed by glaze printing, it is possible to easily form a step between the vaporization portion and the wiring terminal. Therefore, the bulge of the wire connection portion in the terminal portion is also absorbed by this step, so that the distance between the vaporizing portion and the printing paper is shortened accordingly, the image quality is improved, and a highly reliable vaporizing portion structure is obtained.

【0117】図22は、第1の実施例の変形例を示す要部
の概略断面図である。図示の如く、本例によるプリンタ
ヘッド90は、液化染料22を気化させるための加熱手段と
して、第1の実施例における発熱体65に代えて加熱ビー
ム(レーザビーム)Lを使用している点が第1の実施例
とは異なり、その他は同様の構造になっている。
FIG. 22 is a schematic sectional view of the essential parts showing a modification of the first embodiment. As shown in the figure, the printer head 90 according to the present embodiment uses a heating beam (laser beam) L as the heating means for vaporizing the liquefied dye 22 in place of the heating element 65 in the first embodiment. Unlike the first embodiment, the other parts have the same structure.

【0118】この記録方式では、既述した図32及び図33
と同様に、レーザ18から出射されてレンズ19で集光され
たレーザ光Lを照射して液化染料22を気化させる。これ
以後、気化染料が上方へ飛翔して印画紙50に転写する方
式は、発熱体による場合と同じである。
In this recording method, the above-described FIG. 32 and FIG. 33 are used.
Similarly, the laser light L emitted from the laser 18 and condensed by the lens 19 is irradiated to vaporize the liquefied dye 22. After that, the method in which the vaporized dye flies upward and is transferred to the photographic printing paper 50 is the same as that by the heating element.

【0119】従って、この方式でも第1の実施例と同様
の効果が奏せられる他に、レーザ関係の設備を余分に伴
うものの、各気化部毎の発熱体作製に伴う工数が大幅に
削減される。
Therefore, in this system as well, the same effects as those of the first embodiment can be obtained, and the number of man-hours required for producing the heating element for each vaporization section is significantly reduced although the laser-related equipment is additionally provided. It

【0120】図23〜図25は、本発明の第2の実施例を示
し、図23はプリンタヘッド100 の要部の平面図、図24は
図23のXXIV−XXIV線断面図、図25は同 XXV−XXV 線断面
図である。
23 to 25 show a second embodiment of the present invention, FIG. 23 is a plan view of the main part of the printer head 100, FIG. 24 is a sectional view taken along the line XXIV-XXIV of FIG. 23, and FIG. It is the XXV-XXV sectional view taken on the line.

【0121】この実施例の特長は、複数の気化部17の隣
接位置に共通の染料溜め93を有していることである。こ
の染料溜め93へは、染料通路27から各気化部に共通の染
料導入路95を通って液化染料22が補給され、各気化部17
へは染料溜め93から専用の染料供給口94を通って最短距
離で液化染料22が供給される。即ち、この例では、染料
導入路95と染料溜め93とにより、前記の記録材導入路が
構成される。
The feature of this embodiment is that a common dye reservoir 93 is provided at a position adjacent to a plurality of vaporizing parts 17. The liquefied dye 22 is replenished to the dye reservoir 93 from the dye passage 27 through the dye introducing passage 95 common to each vaporizing section, and each vaporizing section 17 is supplied.
The liquefied dye 22 is supplied from the dye reservoir 93 through the dedicated dye supply port 94 at the shortest distance. That is, in this example, the dye introducing path 95 and the dye reservoir 93 constitute the recording material introducing path.

【0122】図示の如く、このヘッド110 は、上記した
染料溜め93、染料供給口94及び染料導入路95以外は前記
第1の実施例と全く同様の構造となっている。即ち、各
気化部17に隣接する位置に共通の染料溜め93を設けてい
るので、染料導入路95を例えば両端の2箇所に設けるこ
とにより、その製作工数を減らすと共に染料供給口94を
短くすることにより液化染料22の供給効率を高めること
ができる。
As shown in the figure, the head 110 has the same structure as that of the first embodiment except for the dye reservoir 93, the dye supply port 94 and the dye introduction path 95 described above. That is, since the common dye reservoir 93 is provided at a position adjacent to each vaporizing section 17, the dye introducing passages 95 are provided at, for example, two locations on both ends, thereby reducing the number of manufacturing steps and shortening the dye supply port 94. As a result, the supply efficiency of the liquefied dye 22 can be increased.

【0123】従って、この例によれば、上記の如く、前
記第1の実施例に比べ、染料導入路の数を少なくして製
作工数が削減されることにより製造コストの低減が図ら
れ、液化染料22の供給が効率よく行われることにより、
良好な記録が実現され、更に信頼性を向上させることが
できる。また、この例についても図22に示すように、加
熱ビーム方式を採用することも可能であり、それによれ
ば、図22の例におけると同じ効果が得られる。
Therefore, according to this example, as described above, as compared with the first embodiment, the number of dye introduction paths is reduced and the manufacturing man-hours are reduced, thereby reducing the manufacturing cost and liquefying. By efficiently supplying the dye 22,
Good recording can be realized and reliability can be further improved. Also in this example, as shown in FIG. 22, it is possible to adopt a heating beam system, and the same effect as in the example of FIG. 22 can be obtained.

【0124】図26〜図28は、第2の実施例の変形例を示
し、図26はプリンタヘッド110 の要部の平面図、図27は
図26の XXVII−XXVII 線断面図、図28は同XXVIII−XXVI
II線断面図である。
26 to 28 show a modification of the second embodiment. FIG. 26 is a plan view of the main part of the printer head 110, FIG. 27 is a sectional view taken along line XXVII-XXVII of FIG. 26, and FIG. Same as XXVIII-XXVI
It is a II sectional view.

【0125】この実施例の第2の実施例と異なる点は、
第2の実施例における染料供給口94を設けていないこと
である。即ち、第2の実施例における染料供給口94の領
域迄この例においては染料溜め96を拡大し、染料溜め96
と直接気化構造体110 との境に通用口97を設けて連通さ
せている。
The difference of this embodiment from the second embodiment is that
That is, the dye supply port 94 in the second embodiment is not provided. That is, in this example, the dye reservoir 96 is expanded to the area of the dye supply port 94 in the second embodiment, and the dye reservoir 96 is expanded.
A communication port 97 is provided at the boundary between the vaporization structure 110 and the direct vaporization structure 110 for communication.

【0126】従って、この例によれば、染料の供給効率
は、狭い染料供給口を液化染料が通ることによる抵抗が
減少して更に良くなり、第2の実施例と比較しても染料
供給口94を設ける工数も削減される効果が付加されるこ
とになる。なお、この例についても、第2の実施例と同
様に加熱ビーム方式を採用することが可能であり、こう
した場合に前記と同様の効果も得ることができる。
Therefore, according to this example, the dye supply efficiency is further improved because the resistance due to the liquefied dye passing through the narrow dye supply port is reduced, and the dye supply port is compared with the second embodiment. The effect of reducing the number of man-hours for providing 94 will be added. Also in this example, the heating beam system can be adopted similarly to the second embodiment, and in such a case, the same effect as the above can be obtained.

【0127】上記した各例による各プリンタヘッドは同
様の機能を有しており、例えばプリンタヘッド70を有す
るカラービデオプリンタ200 は、図29に示すように、縦
方向(X方向)の紙送りと、X方向と直交方向のヘッド
の横方向(Y方向)スキャンとによって、印刷を行うも
のであり、これらの縦方向の紙送りと横方向のヘッドス
キャンは交互に行うように構成されている。
Each of the printer heads according to the above-described examples has the same function. For example, a color video printer 200 having the printer head 70 can feed paper in the vertical direction (X direction) as shown in FIG. , The X direction and the horizontal direction (Y direction) scan of the head in the orthogonal direction perform printing, and the vertical paper feed and the horizontal head scan are alternately performed.

【0128】このプリンタ200 において、各色のヘッド
部Y、M、Cからなるプリンタヘッド70は、シリアル型
ヘッドとして、送りねじ機構からなるヘッド送り軸201
とヘッド支軸202 により印画紙50の紙送り方向Xと直交
するヘッド送り方向Yに往復移動自在にしてある。
In the printer 200, the printer head 70 including the head portions Y, M, and C of each color is a serial type head, and the head feed shaft 201 including a feed screw mechanism.
The head support shaft 202 allows the print paper 50 to reciprocate in the head feed direction Y which is orthogonal to the paper feed direction X.

【0129】また、プリンタヘッド70の上側には、印画
紙50を挟むように支持するヘッド受けローラ(プラテン
ローラ)203が回転自在に設けられている。そして、印画
紙50は、紙送り駆動ローラ204 と従動ローラ205 との間
に挟持されて紙送り方向Xに移動するようになってい
る。
A head receiving roller (platen roller) 203 that supports the printing paper 50 so as to sandwich the printing paper 50 is rotatably provided above the printer head 70. The photographic printing paper 50 is sandwiched between the paper feed drive roller 204 and the driven roller 205 and moved in the paper feed direction X.

【0130】1ラインの印画が終了したら、ヘッド支え
を兼ねた紙送り駆動ローラ203 で印画紙50を1ライン分
送る。印画スタートは1色毎に順次に行われるが、3ド
ット以降は同時に印画される。なお、複数の発熱体65が
ある場合は、交互に稼働させ、選択された発熱体65は印
画に供される一方、非印画の発熱体65は余熱を利用して
染料の液化や保温に使用し、温度をコントロールするこ
とができる。
When the printing of one line is completed, the printing paper 50 is fed by one line by the paper feed drive roller 203 which also serves as a head support. Printing is started sequentially for each color, but after 3 dots, printing is performed simultaneously. If there are multiple heating elements 65, they are operated alternately, and the selected heating element 65 is used for printing, while the non-printing heating element 65 uses residual heat to liquefy and retain heat of the dye. However, the temperature can be controlled.

【0131】図30は、ライン型に構成されたヘッド70を
有するカラービデオプリンタ200 を示すものであり、印
画紙50の幅方向に亘って各色のヘッド部Y、M、Cが並
置されている。
FIG. 30 shows a color video printer 200 having a head 70 of a line type, in which head portions Y, M and C of respective colors are arranged side by side in the width direction of the photographic printing paper 50. .

【0132】以上、本発明の実施例を説明したが、上述
の実施例は本発明の技術的思想に基づいて更に変形が可
能である。
Although the embodiments of the present invention have been described above, the above embodiments can be further modified based on the technical idea of the present invention.

【0133】例えば、記録装置を構成する積層体の各層
を積層するに当たり、この積層の順に層の処理温度を低
くするほか、一部を同じ温度で処理する、或いは一部の
層をこの層の直下の層よりも若干高い温度で処理するこ
とも可能である。
For example, when laminating each layer of the laminated body constituting the recording apparatus, the treatment temperature of the layers is lowered in the order of laminating, part of the layers is treated at the same temperature, or part of the layers is laminated. It is also possible to process at a temperature slightly higher than the layer immediately below.

【0134】また、第2の材料層及びスペーサはガラス
材の代わりに耐熱性高分子材又は金属系の材料を用いる
こともでき、また、発熱体65の材料、形状等についても
これ以外の材料の組み合わせでも形成可能である。
Further, the second material layer and the spacer may be made of a heat-resistant polymer material or a metallic material instead of the glass material, and the heating element 65 may be made of any other material. It can also be formed by a combination of.

【0135】また、気化部に形成する多孔性構造物は上
記のものに限定することなく、例えば柱体の場合は、高
さや断面形状及び密度を変えてもよく、柱状体以外の例
えばビーズ集合体又は繊維体等で形成することもでき
る。
Further, the porous structure formed in the vaporization part is not limited to the above-mentioned ones. For example, in the case of a columnar body, the height, cross-sectional shape and density may be changed. It can also be formed of a body or a fibrous body.

【0136】また、染料を収容する染料収容部の数やド
ット数、及びこれに対応した発熱体や気化部の数も変更
可能であり、その配列の形状やサイズ等も上記に限定さ
れるものではなく、転写方式もアブレーションによる転
写方式も可能である。
Further, the number of dye containing parts and the number of dots containing dyes, and the corresponding number of heating elements and vaporizing parts can be changed, and the shape and size of the array are also limited to the above. Instead, a transfer method or a transfer method by ablation is also possible.

【0137】また、染料通路もベース材にではなく、第
1の材料層に設けることも可能であり、ヘッドやプリン
タの構造や形状も上記以外の適宜な構造、形状にしても
よい。更に、染料についても、既述の3原色の他に黒を
加えたフルカラーの他、2色、1色のモノカラー又は白
黒の記録を行うことも可能である。
Further, the dye passage may be provided not in the base material but in the first material layer, and the structure and shape of the head and the printer may be appropriate structures and shapes other than the above. Further, with respect to the dye, it is also possible to perform recording in full color in which black is added in addition to the above-described three primary colors, as well as in two colors, one color of mono color or black and white.

【0138】また、染料を気化させるための発熱手段と
して、上記のような発熱体とレーザとの組み合わせも可
能であり、この場合には加熱手段のパワーを下げても良
好な気化が得られる。
Further, as the heating means for vaporizing the dye, a combination of the above heating element and a laser can be used. In this case, good vaporization can be obtained even if the power of the heating means is lowered.

【0139】また、染料も上記の他、固形染料をレーザ
光によって加熱して直接気化させて記録を行うこともで
きる他、レーザ光をヘッドの上方から照射して印画紙を
下側に位置させて記録を行うこともできる。
In addition to the above dyes, solid dyes can be heated by laser light to be vaporized directly for recording, and laser light can be irradiated from above the head to position the printing paper on the lower side. It is also possible to record.

【0140】また、本発明は、記録材とこの記録材を溶
解若しくは分散させかつ加熱により体積膨張する物質と
を含有する記録液を供給し、加熱によりこの記録液の状
態を変化させて液滴を生成させ、この液滴を記録ヘッド
と対向配置された被記録体へ移行させるインクジェット
方式にも適用可能である。
The present invention also supplies a recording liquid containing a recording material and a substance which dissolves or disperses the recording material and expands in volume by heating, and the state of the recording liquid is changed by heating to form droplets. It is also applicable to an ink jet system in which the liquid droplets are generated and the droplets are transferred to a recording medium arranged opposite to the recording head.

【0141】[0141]

【発明の作用効果】本発明に基づく記録装置は、ベース
材の上に、第1の材料層、第2の材料層及び前記複数の
記録材移行部がこの順に積層された構造を有し、前記記
録材移行部へ前記記録材を移動させるための共通の記録
材通路が前記ベース材に設けられ、前記共通の記録材通
路から前記第1の材料層及び前記第2の材料層を経由し
て前記記録材移行部へ至る記録材導入路が設けられてお
り、その製造方法は、前記第1の材料層の上に前記第2
の材料層を積層する工程と、前記記録材移行部を形成す
る記録材移行部材料層を前記第2の材料層上に積層する
工程と、前記記録材移行部材料層から前記第2の材料層
を通り前記第1の材料層の前記記録材導入路部分に通じ
てなる前記記録材導入路を形成する工程と、前記記録材
移行部材料層に前記記録材移行部を形成する工程と、し
かる後に前記第1の材料層に予め設けた前記記録材導入
路部分が前記ベース材に設けた前記共通の記録材通路と
連通し合うように前記第1の材料層を前記ベース材に固
定する工程とを有するので、記録材導入路を前記第1及
び第2の材料層に亘って設けることにより、両材料層の
トータルの厚さが大きくなって機械的に強くなり、破損
が防止される上に、前記第2の材料層に形成する前記記
録材導入路の形成が容易で歩留りが向上し、製造原価が
低減する。
The recording apparatus according to the present invention has a structure in which the first material layer, the second material layer, and the plurality of recording material transition portions are laminated in this order on the base material, A common recording material passage for moving the recording material to the recording material transferring portion is provided in the base material, and passes from the common recording material passage through the first material layer and the second material layer. A recording material introducing path to the recording material transition portion is provided, and the manufacturing method is such that the second material is provided on the first material layer.
The step of laminating the material layer of the recording material transition part, the step of laminating the recording material transition part material layer forming the recording material transition part on the second material layer, A step of forming the recording material introducing passage that passes through a layer and communicates with the recording material introducing passage portion of the first material layer; and a step of forming the recording material transition portion in the recording material transition portion material layer, Then, the first material layer is fixed to the base material so that the recording material introduction path portion previously provided in the first material layer communicates with the common recording material passage provided in the base material. Since the recording material introducing passage is provided over the first and second material layers, the total thickness of both material layers is increased and mechanically strengthened, and damage is prevented. Forming the recording material introducing passage formed on the second material layer Improved easy yield, production cost is reduced.

【0142】そして、本発明に基づく記録装置は、記録
材を加熱して被記録体へ移行させる熱転写方式そのもの
であるから、既述した小型化、保守容易性、即時性、得
られる記録像の高品位化、高階調性等の特長を有してい
る。
Since the recording apparatus according to the present invention is the thermal transfer system itself in which the recording material is heated and transferred to the recording medium, the above-mentioned miniaturization, easiness of maintenance, immediacy, and the obtained recorded image can be obtained. It has features such as high quality and high gradation.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の第1の実施例によるプリンタヘッド主
要部の断面図(図2のI−I線断面図)である。
FIG. 1 is a sectional view (a sectional view taken along line I-I of FIG. 2) of a main part of a printer head according to a first embodiment of the present invention.

【図2】図1の平面図である。FIG. 2 is a plan view of FIG.

【図3】同プリンタヘッドの概略断面図である。FIG. 3 is a schematic sectional view of the printer head.

【図4】同プリンタヘッドの主要部の作製工程の一段階
を示す断面図である。
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a step in the manufacturing process of the main parts of the printer head.

【図5】同作製工程の他の段階を示す断面図である。FIG. 5 is a cross-sectional view showing another stage of the manufacturing process.

【図6】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 6 is a cross-sectional view showing still another stage of the manufacturing process.

【図7】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 7 is a cross-sectional view showing still another stage of the manufacturing process.

【図8】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 8 is a cross-sectional view showing still another stage of the manufacturing process.

【図9】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 9 is a cross-sectional view showing still another stage of the manufacturing process.

【図10】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 10 is a cross-sectional view showing still another stage of the same manufacturing process.

【図11】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 11 is a cross-sectional view showing still another stage of the same manufacturing process.

【図12】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 12 is a cross-sectional view showing yet another stage in the manufacturing process.

【図13】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 13 is a cross-sectional view showing yet another stage in the manufacturing process.

【図14】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 14 is a cross-sectional view showing yet another stage in the manufacturing process.

【図15】同作製工程の更に他の段階を示し、同図(a)
は断面図、(b)はその工程に用いるメタルマスク要部
の拡大図である。
FIG. 15 shows still another stage of the manufacturing process, and FIG.
Is a cross-sectional view, and (b) is an enlarged view of a main part of a metal mask used in the process.

【図16】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 16 is a cross-sectional view showing yet another stage in the manufacturing process.

【図17】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 17 is a cross-sectional view showing yet another stage in the manufacturing process.

【図18】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 18 is a cross-sectional view showing still another stage of the manufacturing process.

【図19】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 19 is a cross-sectional view showing still another stage in the manufacturing process.

【図20】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 20 is a cross-sectional view showing yet another stage in the manufacturing process.

【図21】同作製工程の更に他の段階を示す断面図であ
る。
FIG. 21 is a cross-sectional view showing yet another stage in the manufacturing process.

【図22】同変形例によるプリンタヘッドを示す断面図で
ある。
FIG. 22 is a cross-sectional view showing a printer head according to the modification.

【図23】本発明の第2の実施例によるプリンタヘッド主
要部の平面図である。
FIG. 23 is a plan view of the main part of the printer head according to the second embodiment of the present invention.

【図24】同図23のXXIV−XXIV線断面図である。24 is a sectional view taken along line XXIV-XXIV of FIG.

【図25】同図23の XXV−XXV 線断面図である。25 is a sectional view taken along line XXV-XXV of FIG. 23.

【図26】同変形例によるプリンタヘッド主要部の平面図
である。
FIG. 26 is a plan view of a main part of a printer head according to the modification.

【図27】同図26の XXVII−XXVII 線断面図である。27 is a sectional view taken along line XXVII-XXVII of FIG. 26.

【図28】同図26のXXVIII−XXVIII線断面図である。FIG. 28 is a sectional view taken along line XXVIII-XXVIII in FIG. 26.

【図29】本発明の実施例によるプリンタヘッドを有する
プリンタの概略斜視図である。
FIG. 29 is a schematic perspective view of a printer having a printer head according to an embodiment of the present invention.

【図30】同プリンタヘッドを有する他のプリンタの概略
斜視図である。
FIG. 30 is a schematic perspective view of another printer having the printer head.

【図31】従来の感熱記録ヘッドを用いたプリンタの要部
正面図である。
FIG. 31 is a front view of essential parts of a printer using a conventional thermal recording head.

【図32】本発明の完成前に案出されたプリンタヘッドの
概略断面図である。
FIG. 32 is a schematic cross-sectional view of a printer head devised before the completion of the present invention.

【図33】同プリンタヘッドの分解斜視図である。FIG. 33 is an exploded perspective view of the printer head.

【図34】同他のプリンタヘッドの分解斜視図である。FIG. 34 is an exploded perspective view of the other printer head.

【図35】本発明の案出前に出願されたプリンタヘッドの
概略断面図である。
FIG. 35 is a schematic cross-sectional view of a printer head filed before the invention of the present invention.

【図36】同プリンタヘッド主要部の拡大断面斜視図であ
る。
FIG. 36 is an enlarged cross-sectional perspective view of the main part of the printer head.

【図37】同プリンタヘッドの一部分の斜視図である。FIG. 37 is a perspective view of a part of the printer head.

【図38】同プリンタヘッドの他の一部分の斜視図であ
る。
FIG. 38 is a perspective view of another portion of the printer head.

【図39】同プリンタヘッドの一部分の平面図である。FIG. 39 is a plan view of a part of the printer head.

【図40】本発明の完成前に案出された他のプリンタヘッ
ドの要部断面図である。
FIG. 40 is a cross-sectional view of essential parts of another printer head devised before the completion of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

17・・・気化部 18・・・レーザ 19・・・レンズ 22・・・液化染料 27・・・染料通路 51・・・第2の材料層 52・・・スペーサ 53、95・・・染料導入路 54、58A・・・絶縁層 55・・・液止め帯 56・・・気化部材料層 58B・・・エッチング制御材層 62・・・第1の材料層 63・・・ベース材 65・・・発熱体 65A・・・発熱体材料層 68・・・ヒータ 69・・・アルミニウム 69A、69B・・・電極 69a、69b・・・端子部 70、90、100 、110 ・・・プリンタヘッド 80・・・小柱体 87・・・染料収容部 92・・・空隙 93、96・・染料溜め 94・・・染料供給口 97・・・通用口 L・・・レーザ光 17 ... Vaporizer 18 ... Laser 19 ... Lens 22 ... Liquefied dye 27 ... Dye passage 51 ... Second material layer 52 ... Spacer 53, 95 ... Dye introduction Channels 54, 58A ... Insulating layer 55 ... Liquid retaining zone 56 ... Vaporization material layer 58B ... Etching control material layer 62 ... First material layer 63 ... Base material 65 ...・ Heating element 65A ・ ・ ・ Heating material layer 68 ・ ・ ・ Heater 69 ・ ・ ・ Aluminum 69A, 69B ・ ・ ・ Electrodes 69a, 69b ・ ・ ・ Terminals 70, 90, 100, 110 ・ ・ ・ Printer head 80 ・・ ・ Small pillars 87 ・ ・ ・ Dye storage 92 ・ ・ ・ Voids 93, 96 ・ ・ Dye reservoir 94 ・ ・ ・ Dye supply port 97 ・ ・ ・ General purpose port L ・ ・ ・ Laser

Claims (38)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被記録体に対向する複数の記録材移行部
を有し、記録材を加熱してこの加熱した記録材を前記被
記録体へ移行して記録を行うように構成され、ベース材
の上に、第1の材料層、第2の材料層及び前記複数の記
録材移行部がこの順に積層された構造を有し、前記記録
材移行部へ前記記録材を移動させるための共通の記録材
通路が前記ベース材に設けられ、前記共通の記録材通路
から前記第1の材料層及び前記第2の材料層を経由して
前記記録材移行部へ至る記録材導入路が設けられている
記録装置。
1. A base having a plurality of recording material transferring portions facing a recording medium, the recording material being heated, and the heated recording material being transferred to the recording medium for recording. The first material layer, the second material layer, and the plurality of recording material transition portions are laminated on the material in this order, and are common for moving the recording material to the recording material transition portion. Recording material passage is provided in the base material, and a recording material introducing passage is provided from the common recording material passage to the recording material transition portion via the first material layer and the second material layer. Recording device.
【請求項2】 各記録材導入路が、共通の記録材通路か
ら各記録材移行部へ1対1に連通している、請求項1に
記載した記録装置。
2. The recording apparatus according to claim 1, wherein each recording material introduction path communicates from a common recording material path to each recording material transition portion in a one-to-one correspondence.
【請求項3】 複数の記録材移行部へ通じるようにこれ
らの記録材移行部に共通の記録材導入路が形成されてい
る、請求項1に記載した記録装置。
3. The recording apparatus according to claim 1, wherein a common recording material introduction path is formed in these recording material transition portions so as to communicate with the plurality of recording material transition portions.
【請求項4】 第1の材料層が、共通の記録材導入路を
形成した状態に成形され、この記録材導入路が形成され
た状態で焼結して作製されたものである、請求項1に記
載した記録装置。
4. The first material layer is formed by molding in a state where a common recording material introducing path is formed, and is sintered in a state where the recording material introducing path is formed. The recording device described in 1.
【請求項5】 第2の材料層の上に更にスペーサが設け
られている、請求項1に記載した記録装置。
5. The recording apparatus according to claim 1, further comprising a spacer provided on the second material layer.
【請求項6】 記録材移行部を支持する第2の材料層が
局部的に欠除され、この欠除部以外の領域に記録材移行
部が設けられている、請求項1に記載した記録装置。
6. The recording according to claim 1, wherein the second material layer that supports the recording material transition portion is locally cut away, and the recording material transition portion is provided in an area other than the cutout portion. apparatus.
【請求項7】 第1の材料層に設けられた記録材導入路
の上に部分的に第2の材料層が積層されて段差が形成さ
れ、この段差によって前記第2の材料層の欠除部が形成
されている、請求項6に記載した記録装置。
7. A step is formed by partially laminating a second material layer on a recording material introducing path provided in the first material layer, and the step eliminates the second material layer by the step. The recording apparatus according to claim 6, wherein a portion is formed.
【請求項8】 欠除部以外の領域において第2の材料層
上にスペーサが設けられている、請求項6に記載した記
録装置。
8. The recording device according to claim 6, wherein a spacer is provided on the second material layer in a region other than the cutout portion.
【請求項9】 エッチング制御層が、第2の材料層と記
録材移行部との間に介在している、請求項1に記載した
記録装置。
9. The recording apparatus according to claim 1, wherein the etching control layer is interposed between the second material layer and the recording material transition portion.
【請求項10】 被記録体に対向する記録材移行部を有
し、記録材を加熱してこの加熱した記録材を前記被記録
体へ移行して記録を行うように構成され、第1の材料層
と、第2の材料層と、前記記録材移行部と、前記被記録
体に直接対向したスペーサとがこの順に積層された積層
構造を有し、この積層構造が耐熱温度の高い材料から低
い材料の順に積層された構造部分を有している記録装
置。
10. A recording material transferring portion facing a recording medium, wherein the recording material is heated and the heated recording material is transferred to the recording medium to perform recording. A material layer, a second material layer, the recording material transition portion, and a spacer that directly faces the recording medium are laminated in this order, and the laminated structure is formed of a material having a high heat resistance temperature. A recording device having a structural portion laminated in order of low material.
【請求項11】 記録材移行部を複数有し、ベース材上
に、第1の材料層を前記ベース材側にして積層構造が固
定され、前記ベース材に設けられた共通の記録材通路か
ら前記第1の材料層及び第2の材料層を経由して前記記
録材移行部へ至る記録材導入路が設けられている、請求
項10に記載した記録装置。
11. A recording material transition portion is provided, and a laminated structure is fixed on a base material with the first material layer facing the base material, and a common recording material passage provided in the base material is used. 11. The recording apparatus according to claim 10, further comprising a recording material introduction path that leads to the recording material transition portion via the first material layer and the second material layer.
【請求項12】 各記録材導入路が、共通の記録材通路か
ら各記録材移行部へ1対1に連通している、請求項11に
記載した記録装置。
12. The recording apparatus according to claim 11, wherein each recording material introducing passage communicates with a recording material transition portion from a common recording material passage in a one-to-one correspondence.
【請求項13】 複数の記録材移行部へ通じるようにこれ
らの記録材移行部に共通の記録材導入路を形成してい
る、請求項11に記載した記録装置。
13. The recording apparatus according to claim 11, wherein a common recording material introducing path is formed in these recording material transition portions so as to communicate with the plurality of recording material transition portions.
【請求項14】 第1の材料層が共通の記録材導入路を形
成した状態に成形され、この記録材導入路が形成された
状態で焼結して作製されたものである、請求項10に記載
した記録装置。
14. The method according to claim 10, wherein the first material layer is formed in a state where a common recording material introducing passage is formed, and is sintered in a state where the recording material introducing passage is formed. The recording device described in 1.
【請求項15】 記録材移行部を支持する第2の材料層が
局部的に欠除され、この欠除部以外の領域に記録材移行
部が設けられている、請求項10に記載した記録装置。
15. The recording according to claim 10, wherein the second material layer that supports the recording material transition portion is locally removed, and the recording material transition portion is provided in an area other than the removed portion. apparatus.
【請求項16】 欠除部以外の領域において第2の材料層
上にスペーサが設けられている、請求項10に記載した記
録装置。
16. The recording device according to claim 10, wherein a spacer is provided on the second material layer in a region other than the cutout portion.
【請求項17】 エッチング制御層が、第2の材料層と前
記記録材移行部との間に介在している、請求項10に記載
した記録装置。
17. The recording apparatus according to claim 10, wherein the etching control layer is interposed between the second material layer and the recording material transition section.
【請求項18】 液状記録材を被記録体へ飛翔させて記録
を行う記録材飛翔用構造体が記録部に設けられている、
請求項1又は10に記載した記録装置。
18. A recording material flying structure for flying a liquid recording material to a recording medium to perform recording is provided in a recording section.
The recording device according to claim 1.
【請求項19】 記録材供給構造部上に記録材飛翔用構造
体が一体に設けられている、請求項18に記載した記録装
置。
19. The recording apparatus according to claim 18, wherein the recording material flying structure is integrally provided on the recording material supply structure portion.
【請求項20】 液状記録材を加熱して飛翔させるための
発熱体が記録材飛翔用構造体に設けられている、請求項
18に記載した記録装置。
20. The recording material flying structure is provided with a heating element for heating and flying the liquid recording material.
The recording device described in 18.
【請求項21】 記録材飛翔用構造体の液状記録材を加熱
ビームにより加熱して飛翔させるようになっている、請
求項18に記載した記録装置。
21. The recording apparatus according to claim 18, wherein the liquid recording material of the recording material flying structure is heated by a heating beam to fly.
【請求項22】 毛細管現象により液状記録材を開口側に
供給しかつ保持する記録材飛翔用構造体が設けられてい
る、請求項18に記載した記録装置。
22. The recording apparatus according to claim 18, further comprising a recording material flying structure that supplies and holds the liquid recording material to the opening side by a capillary phenomenon.
【請求項23】 毛細管現象を生ずる多孔質構造物が記録
材飛翔用構造体に設けられている、請求項22に記載した
記録装置。
23. The recording apparatus according to claim 22, wherein a porous structure that causes a capillary phenomenon is provided in the recording material flying structure.
【請求項24】 多孔性構造体が小柱体の集合体によって
形成されている、請求項23に記載した記録装置。
24. The recording device according to claim 23, wherein the porous structure is formed by an assembly of pillars.
【請求項25】 液状記録材が気化又はアブレーションし
て、前記液状記録材と非接触状態で対向した被記録体へ
飛翔するようにした、請求項1又は10に記載した記録装
置。
25. The recording apparatus according to claim 1 or 10, wherein the liquid recording material is vaporized or ablated so as to fly to a recording medium facing the liquid recording material in a non-contact state.
【請求項26】 被記録体に対向する複数の記録材移行部
を有し、記録材を加熱してこの加熱した記録材を前記被
記録体へ移行して記録を行うように構成され、ベース材
の上に、第1の材料層、第2の材料層及び前記複数の記
録材移行部がこの順に積層された構造を有し、前記記録
材移行部へ前記記録材を移動させるための共通の記録材
通路が前記ベース材に設けられ、前記共通の記録材通路
から前記第1の材料層及び前記第2の材料層を経由して
前記記録材移行部へ至る記録材導入路が設けられている
記録装置を製造するに際し、 前記共通の記録材通路を有する前記ベース材上に積層す
る前記第1の材料層に、前記記録材導入路部分を形成す
る工程と、 前記第1の材料層の上に前記第2の材料層を積層する工
程と、 前記記録材移行部を形成する記録材移行部材料層を前記
第2の材料層上に積層する工程と、 前記記録材移行部材料層から前記第2の材料層を通り前
記第1の材料層の前記記録材導入路部分に通じてなる前
記記録材導入路を形成する工程と、 前記記録材移行部材料層に前記記録材移行部を形成する
工程と、 しかる後に前記第1の材料層に設けた前記記録材導入路
部分が前記ベース材に設けた前記共通の記録材通路と連
通し合うように前記第1の材料層を前記ベース材に固定
する工程とを有する、記録装置の製造方法。
26. A plurality of recording material transfer portions facing a recording medium, wherein the recording material is heated and the heated recording material is transferred to the recording medium to perform recording, The first material layer, the second material layer, and the plurality of recording material transition portions are laminated on the material in this order, and are common for moving the recording material to the recording material transition portion. Recording material passage is provided in the base material, and a recording material introducing passage is provided from the common recording material passage to the recording material transition portion via the first material layer and the second material layer. A step of forming the recording material introducing passage portion in the first material layer laminated on the base material having the common recording material passage, and the first material layer. A step of laminating the second material layer on the recording layer, and forming the recording material transition part. Stacking a recording material transitional part material layer on the second material layer, and passing from the recording material transitional part material layer through the second material layer to the recording material introduction path part of the first material layer. A step of forming the recording material introducing path formed therethrough; a step of forming the recording material transferring part in the recording material transferring part material layer; and thereafter, the recording material introducing path part provided in the first material layer Fixing the first material layer to the base material so as to communicate with the common recording material passage provided in the base material.
【請求項27】 第1の材料層の原料を成形して成形体と
し、この成形体に記録材導入路部分を形成し、しかる後
に、この記録材導入路部分が形成された前記成形体を焼
結して前記第1の材料層とする、請求項26に記載した、
記録装置の製造方法。
27. A raw material of the first material layer is molded into a molded body, a recording material introducing path portion is formed in the molded body, and thereafter, the molded body having the recording material introducing path portion is formed. 27. The sintering according to claim 26, wherein the first material layer is sintered.
Recording device manufacturing method.
【請求項28】 第1の材料層に設けた記録材導入路部分
の上部に部分的にグレーズ層を積層して段差を形成し、
この段差による欠除部を有するグレーズ層を焼成して第
2の材料層とする、請求項26に記載した、記録装置の製
造方法。
28. A step is formed by partially laminating a glaze layer on an upper portion of a recording material introducing path portion provided in the first material layer,
27. The method for manufacturing a recording device according to claim 26, wherein the glaze layer having a cutout portion due to the step is fired to form a second material layer.
【請求項29】 発熱体及びこの発熱体の電極を第2の材
料層上に形成した後、この第2の材料層、前記発熱体及
び前記電極を含む表面に、絶縁膜、エッチング制御層及
び記録材移行部材料層をこの順に積層し、この記録材移
行部材料層に記録材移行部及び液止め用の溝を形成す
る、請求項26に記載した、記録装置の製造方法。
29. After forming a heating element and an electrode of the heating element on a second material layer, an insulating film, an etching control layer, and an etching control layer are formed on a surface including the second material layer, the heating element, and the electrode. 27. The method of manufacturing a recording apparatus according to claim 26, wherein the recording material transition portion material layers are laminated in this order, and the recording material transition portion and the liquid stop groove are formed in the recording material transition portion material layer.
【請求項30】 記録材移行部材料層の上に部分的にグレ
ーズ層を被着し、このグレーズ層を焼成してスペーサと
する、請求項26に記載した、記録装置の製造方法。
30. The method for manufacturing a recording device according to claim 26, wherein a glaze layer is partially deposited on the recording material transition portion material layer, and the glaze layer is baked to form spacers.
【請求項31】 記録材移行部材料層及び第2の材料層と
第1の材料層とを互いに逆の側からエッチングして記録
材導入路を形成する、請求項26に記載した、記録装置の
製造方法。
31. The recording device according to claim 26, wherein the recording material introducing portion is formed by etching the recording material transition portion material layer, the second material layer, and the first material layer from opposite sides. Manufacturing method.
【請求項32】 被記録体に対向する記録材移行部を有
し、記録材を加熱してこの加熱した記録材を前記被記録
体へ移行して記録を行うように構成され、第1の材料層
と、第2の材料層と、前記記録材移行部と、前記被記録
体に直接対向したスペーサとがこの順に積層された積層
構造を有し、この積層構造が耐熱温度の高い材料から低
い材料の順に積層された構造部分を有している記録装置
を製造するに際し、 前記第1の材料層の上に前記第2の材料層を積層する第
1工程と、 前記記録材移行部を形成する記録材移行部材料層を前記
第2の材料層上に積層する第2工程と、 前記記録材移行部材料層に前記記録材移行部を形成する
第3工程と、 前記記録材移行部材料層上に前記スペーサを積層する第
4工程とを有し、前記第1工程から前記第4工程への順
において処理温度を順次低下させる処理工程を含む、記
録装置の製造方法。
32. A recording material transferring portion facing a recording medium is provided, which is configured to heat the recording material and transfer the heated recording material to the recording medium to perform recording. A material layer, a second material layer, the recording material transition portion, and a spacer that directly faces the recording medium are laminated in this order, and the laminated structure is formed of a material having a high heat resistance temperature. When manufacturing a recording apparatus having a structure portion in which the materials are stacked in order from a low material, a first step of stacking the second material layer on the first material layer, and a recording material transition part A second step of laminating a recording material transition part material layer to be formed on the second material layer; a third step of forming the recording material transition part on the recording material transition part material layer; and the recording material transition part A fourth step of stacking the spacer on a material layer, the first step to the fourth step A method of manufacturing a recording apparatus, comprising a processing step of sequentially lowering a processing temperature in order.
【請求項33】 被記録体に対向する記録材移行部を複数
有し、記録材を加熱してこの加熱した記録材を前記被記
録体へ移行して記録を行うように構成され、第1の材料
層と、第2の材料層と、前記記録材移行部と、前記被記
録体に直接対向したスペーサとがこの順に積層された積
層構造を有し、この積層構造が耐熱温度の高い材料から
低い材料の順に積層された構造部分を有している記録装
置を製造するに際し、 第1工程に先立って、共通の記録材通路を有するベース
材上に積層する前記第1の材料層に、記録材導入路部分
を形成する工程と、 第2工程と第3工程との間で、記録材移行部材料層から
前記第2の材料層を通り前記第1の材料層の前記記録材
導入路部分に通じてなる前記記録材導入路を形成する工
程とを有する、請求項32に記載した、記録装置の製造方
法。
33. A plurality of recording material transfer portions facing a recording medium are provided, and the recording material is heated, and the heated recording material is transferred to the recording medium to perform recording. Material layer, a second material layer, the recording material transition portion, and a spacer that directly faces the recording medium are laminated in this order, and the laminated structure has a high heat resistance temperature. In manufacturing a recording device having a structural portion laminated in order from a low material to a first material layer, the first material layer laminated on a base material having a common recording material passage, prior to the first step, Between the step of forming the recording material introducing path portion and the second step and the third step, the recording material introducing path of the first material layer is passed from the recording material transition portion material layer through the second material layer. The method according to claim 32, further comprising the step of forming the recording material introducing path communicating with a portion. And a method of manufacturing a recording device.
【請求項34】 第1の材料層の原料を成形して成形体と
し、この成形体に記録材導入路部分を形成し、しかる後
に、この記録材導入路部分が形成された前記成形体を焼
結して前記第1の材料層とする、請求項32に記載した、
記録装置の製造方法。
34. A raw material of the first material layer is molded into a molded body, a recording material introducing path portion is formed in the molded body, and thereafter, the molded body having the recording material introducing path portion is formed. 33. The sintering according to claim 32, wherein the first material layer is sintered.
Recording device manufacturing method.
【請求項35】 第1の材料層に設けた記録材導入路部分
の上部に部分的にグレーズ層を積層して段差を形成し、
この段差による欠除部を有するグレーズ層を焼成して第
2の材料層とする、請求項33に記載した、記録装置の製
造方法。
35. A step is formed by partially laminating a glaze layer on an upper portion of a recording material introducing path portion provided in the first material layer,
34. The method for manufacturing a recording device according to claim 33, wherein the glaze layer having a cutout portion due to the step is fired to form a second material layer.
【請求項36】 発熱体及びこの発熱体の電極を第2の材
料層上に形成した後、この第2の材料層、前記発熱体及
び前記電極を含む表面に、絶縁膜、エッチング制御層及
び記録材移行部材料層をこの順に積層し、この記録材移
行部材料層に記録材移行部及び液止め用の溝を形成す
る、請求項32に記載した、記録装置の製造方法。
36. After forming a heating element and an electrode of the heating element on a second material layer, an insulating film, an etching control layer, and an etching control layer on the surface including the second material layer, the heating element and the electrode. 33. The method for manufacturing a recording apparatus according to claim 32, wherein the recording material transition portion material layers are laminated in this order, and the recording material transition portion and the liquid stop groove are formed in the recording material transition portion material layer.
【請求項37】 記録材移行部材料層の上に部分的にグレ
ーズ層を被着し、このグレーズ層を焼成してスペーサと
する、請求項32に記載した、記録装置の製造方法。
37. The method for manufacturing a recording device according to claim 32, wherein a glaze layer is partially deposited on the recording material transition portion material layer, and the glaze layer is baked to form spacers.
【請求項38】 記録材移行部材料層と第2の材料層とを
互いに逆の側からエッチングして記録材導入路を形成す
る、請求項34に記載した、記録装置の製造方法。
38. The method of manufacturing a recording apparatus according to claim 34, wherein the recording material transition portion material layer and the second material layer are etched from opposite sides to form a recording material introduction path.
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* Cited by examiner, † Cited by third party
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Cited By (2)

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JP2013527809A (en) * 2010-03-18 2013-07-04 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ Printing apparatus and method for controlling printing apparatus
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