JPH08333140A

JPH08333140A - 気体吹付け装置

Info

Publication number: JPH08333140A
Application number: JP13795095A
Authority: JP
Inventors: Keiji Niikura; 啓二新倉
Original assignee: Toshiba Corp
Current assignee: Toshiba Corp
Priority date: 1995-06-05
Filing date: 1995-06-05
Publication date: 1996-12-17

Abstract

(57)【要約】【目的】本発明は、気体の吹付けをより均一になし、品
質の向上に有効な気体吹付け装置を提供する。【構成】ガス供給源１に整圧箱３を連通し、この整圧箱
の一側面に複数のガス吹出し孔５を開口し、上記ガス吹
出し孔は、整圧箱の一側面に想定される複数の正三角形
の頂点位置に開口する。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、たとえば液晶ディスプ
レイ製造装置に係り、特にガラス板に対してたとえばガ
スなどを吹付けて付着させる気体吹付け装置に関する。

【０００２】

【従来の技術】液晶ディスプレイ装置は、液晶ディスプ
レイパネルと駆動回路および必要に応じて備えられる照
明装置から構成される。液晶ディスプレイパネルは、図
９に示すように構成される。図中ａ，ａは、互い矩形状
の一対のガラス板であって、極く狭小の間隙を、全面に
亘って均一に保持するよう、その周縁部に沿ってマイラ
フィルムやテフロンフィルムなどからなるスペーサｂが
介設される。

【０００３】上記ガラス板ａとスペーサｂの外周縁に沿
って封着剤ｃが塗布されていて、内部の気密が確実に保
持される。各ガラス板ａ，ａの相対向する面には、後述
する工程をもって形成される透明電極（金属電極）ｄ…
が設けられ、ここでは図示しない駆動回路に電気的に接
続される。

【０００４】各ガラス板ａ，ａとスペーサｂとで囲撓さ
れる間隙部には、液晶材ｅが封入される。ガラス板ａに
透明電極ｄを形成するには、図１０に示すようなアレイ
工程を行わなければならない。はじめに、素ガラス工程
があり、ついで、このガラス板の両面を完璧に洗浄する
洗浄工程がある。そして、たとえば酸化スズあるいはこ
の混合材料をガラス板に吹き付け、蒸着あるいはスパッ
タなどの手段で成膜する成膜工程がある。

【０００５】この成膜の上に、感光材であるレジストを
塗布する工程を経て、所定のパターンが形成されたマス
クを当てて露光する工程があり、さらにエッチング工程
からレジスト剥離工程を行うことにより、ガラス板に一
部の透明電極パターンが形成される。

【０００６】普通、このような一連の工程を複数回繰り
返して、はじめて完成された所定の透明電極ｄが得られ
ることになる。ここで得られたガラス板ａは、ついでセ
ル工程に回されて、狭小の間隙を存してはり合わされ
る。この間隙部分に上記液晶材ｅが注入され、かつ必要
に応じて偏光板が取付けられる。最後にモジュール工程
に回され、駆動回路を構成するＩＣが電気的に接続され
て、液晶ディスプレイパネルが完成することになる。

【０００７】

【発明が解決しようとする課題】ところで、上記アレイ
工程では、たとえば成膜工程やレジスト剥離工程等のド
ライ工程を行うのにあたって、ガラス板に対して特定の
ガスを吹付けて処理させる必要がある。

【０００８】特定のガスは、ガラス板に対して均一な吹
出しとしなければならない。それにはガス吹付け装置に
おいて、ガスをガラス板に対して直接吹付けるガス吹出
し部の配置を、最適位置に設定することが必要条件とな
る。

【０００９】上記ガラス板はある程度の大きな面積を有
する矩形状の平板であり、これに対応する面積を備え、
かつガス供給源と連通する整圧体である整圧箱をガラス
板に対向して配置する。

【００１０】整圧箱のガラス板対向面にはガス吹出し部
であるところのガス吹出し孔が設けられている。ガス供
給源から整圧箱内にガスが供給され、ここで整圧されて
からガス吹出し孔からガラス板に吹付けられる。

【００１１】ガラス板は、たとえば縦：約３００mm×
横：約４００mmほか数種類の大きさがあり、これとガス
吹出し孔が設けられる整圧箱面との間隔は約５mm程度し
か離間していない。ガス吹出し孔の直径は約１mm程度で
あって、ここから吹出されるガスをガラス板に対して均
一に吹付けるためには、ガス吹出し孔の位置設定が大き
な影響を及ぼすこととなる。

【００１２】従来、図７に示すように、整圧箱面に多数
の正四角状の仮想線ｌを想定して、これら仮想線の交点
位置にガス吹出し孔ｐを設けていた。すなわち、矩形状
のガラス板に対し、正四角状の交点位置にガス吹出し孔
ｐ…を設定することによって、均一に吹付けが得られる
ものとされている。

【００１３】実際には、図８に示すように、互いのガス
吹出し孔ｐ…から吹出されるガスが、ガラス板に対して
所定の円形面積Ａを描く状態で吹付けられる。これらの
円形は、その半径が隣接するガス吹出し孔ｐ相互の間隔
寸法ｕの半分の距離と同一であり、互いの円形は互いの
周縁一部が接する。

【００１４】このようにして、ガラス板に対して円形状
にガスが吹付けられ、処理させる工程がなされるが、円
形相互の間の空白部ｓでは、ガスが直接的に吹付けられ
ない。

【００１５】一旦、ガラス板に吹付けられて付着した残
りのガスが板面に沿って拡散し、空白部ｓに初めて到達
する。したがって、図における円形相互間の空白部ｓ
は、ガスが直接吹付けられる円形部Ａと比較してガス付
着量が少なく、その意味で均一化が阻害されている。

【００１６】ガス吹出し孔ｐからガスは円錐状に吹出さ
れ、ガラス板には円形状に付着することは常に変わりが
ないところから、ガス吹出し孔の位置をより有効に設定
することにより、空白部ｓ面積をより縮小化して均一な
吹付けをなすことは極めて重要な条件となっている。

【００１７】請求項１ないし請求項４に記載の発明は、
上述した事情に鑑みなされたものであり、その目的とす
るところは、気体の吹付けをより均一になし、品質の向
上に有効な気体吹付け装置を提供しようとするものであ
る。

【００１８】

【課題を解決するための手段】上記目的を満足するため
第１の発明の気体吹付け装置は、請求項１として、気体
供給源と、この気体供給源に連通される整圧体と、この
整圧体の一側面に開口される複数の気体吹出し孔とを具
備し、上記気体吹出し部の位置を、互いに千鳥状配置に
設定したことを特徴とする。

【００１９】上記目的を満足するため第２の発明の気体
吹付け装置は、請求項２として、気体供給源と、この気
体供給源に連通される整圧体と、この整圧体の一側面に
開口される複数の気体吹出し孔とを具備し、上記気体吹
出し孔は、整圧体の一側面に想定される複数の正三角形
の頂点位置に位置するよう開口されることを特徴とす
る。

【００２０】上記目的を満足するため第３の発明の気体
吹付け装置は、請求項３として、気体供給源と、この気
体供給源に連通される整圧体と、この整圧体の一側面に
想定される複数の正三角形の頂点位置に開口される気体
吹出し口と、この整圧体の一側面に想定される複数の正
三角形の重心位置に開口される補助気体吹出し口とを具
備したことを特徴とする。

【００２１】請求項４として、請求項２および請求項３
記載の上記整圧体の一側面に想定される複数の正三角形
は、互いに共有する辺を備えるよう想定されることを特
徴とする。

【００２２】

【作用】請求項１の発明によれば、ガスの少ないエリア
を最小にする。請求項２の発明によれば、実際の装置構
成として、ガスの少ないエリアが最小ですむ。

【００２３】請求項３の発明によれば、実際の装置構成
として、ガスの少ないエリアを全く存在させない。請求
項４の発明によれば、所定のスペースを有効に用いて多
数の正三角形を想定することができ、したがって多数の
ガス吹出し口が得られる。

【００２４】

【実施例】以下、気体吹き付け装置として、たとえば液
晶ディスプレイ製造装置の一部を構成するガス吹付け装
置の一実施例を図面にもとづいて説明する。図６は、ガ
ス吹付け装置の概略構成を示す。

【００２５】図中１は、ガスを貯溜するタンクと、この
タンクからガスを強制的に送り出すポンプを備えたガス
供給源である。このガス供給源１には、配管部２を介し
て整圧体である整圧箱３が連通される。

【００２６】上記整圧箱３は、被吹付け体であるガラス
板４と狭小の間隙を存して対向して配置されていて、ガ
ラス板とほとんど同一の形状面積を有する。ガラス板４
が矩形状であるので、整圧箱３も平面矩形状をなす。そ
して、所定の厚さを有する内部が空洞の箱体である。

【００２７】整圧箱３の下面であるガラス板４対向面に
は、複数のガス吹出し孔５…が後述するように開口され
る。すなわち、図１に示すように、上記整圧箱３のガラ
ス板４対向面には、水平方向と左右斜め方向に平行な複
数の仮想線ｉ…が想定され、描かれる。水平方向の仮想
線ｉに対する左右斜め方向の仮想線ｉはそれぞれ正しく
６０°の角度を持って交差するように設定されるととも
に、左右斜め線自体の対頂角も正しく６０°に設定され
る。したがって、これら仮想線ｉ…によって互いに共有
する辺を備えた複数の正三角形が想定される。

【００２８】上記ガス吹出し孔５は、これら正三角形の
頂点位置全てに開口される。これらガス吹出し孔５の直
径およびガラス板４との間隔寸法は、ガス吹出し孔から
円錐状に吹出されるガスがガラス板において円形状に拡
開して吹付けられたとき、その円形相互が互いに接する
ように設定される。

【００２９】このようにして構成されるガス吹付け装置
であって、整圧箱３にガラス板４を対向して配置し、ガ
ス供給源１からガスを整圧箱に供給する。ガスは整圧箱
３内で充満して整圧され、ガス吹出し孔５から所定のガ
ス圧で吹出される。

【００３０】ガスはガス吹出し孔５から円錐状に吹出さ
れ、図２に示すように、ガラス板４に吹付けられた状態
で円形をなす。そして、互いの円形は周縁一部で接す
る。ここで形成される円形相互間の空白部６面積は、従
来の正四角形の交点にガス吹出し孔を位置設定したもの
と比較して極く縮小化される。すなわち、均一に吹付け
られるガス面積が増大して均一性が向上する。

【００３１】図３で、その証明をなす。同図（Ａ）は、
本発明の正三角形状の仮想線ｉでの頂点部分にガス吹出
し孔５があるものである。同図（Ｂ）は、従来例とし
て、正四角形状の仮想線ｌでの交差点位置にガス吹出し
孔ｐがあるものである。

【００３２】いずれも、ガス吹出し孔５，ｐを中心とし
て、その形状内で描く円が互いに接するよう各辺部の長
さが同一に設定される。円の半径をａとしたとき、各辺
の長さは２ａとなる。空白部６，ｓ面積を求めるには、
全体面積を求め、扇形の合計面積を求め、全体面積から
扇形の合計面積を差し引けばよい。

【００３３】本発明の同図（Ａ）では、正三角形の面積Ａ＝２ａ×３^1/2 ａ×1/2 ＝３^1/2 ａ² ３つの扇形の面積Ｂ＝ａ×ａ×π×180 °／360 °＝ 1/2 πａ² 空白部面積Ｓａ＝Ａ−Ｂ＝３^1/2 ａ² − 1/2 πａ² ＝（３^1/2 −1/2 π）ａ² となって、これを整数化すると、約０．１６ａ² とな
る。

【００３４】従来例の同図（Ｂ）では、正四角形の面積Ｃ＝２ａ×２ａ＝４ａ² ４つの扇形の面積Ｄ＝ａ×ａ×π＝πａ² 空白部面積Ｓｂ＝Ｃ−Ｄ＝４ａ² −πａ²
＝（４−π）ａ² となって、これを整数化すると、約０．８６ａ² とな
る。

【００３５】したがって、ガス吹出し孔から吹付けられ
たガスが、ガラス板において描く円形の半径が同一の条
件下では、本発明の空白部面積Ｓａは、従来例の空白部
面積Ｓｂに対して約２０％でしかなく、換言すれば、実
に８０％の空白部分面積の縮小が得られる。

【００３６】つぎに、設定基準を正三角形および正四角
形とも互いに同一面積であることを前提にして計算して
みる。図４（Ｂ）に示すように、従来例の正四角形の面
積を４ａ² としたとき、同図（Ａ）に示す正三角形の面
積を同一の４ａ² に設定するには、一辺の長さｎは約３
ａとなる。すなわち、４ａ² ＝ｎ×（３^1/2 ×1/2 ）ｎ×1/2 １６ａ² ＝３^1/2 ×ｎ² ｎ² ＝１６／３^1/2 ａ² ｎ ≒ ３ａそして、本発明の同図（Ａ）における３つの扇形の面積
Ｅは、Ｅ＝ (3/2)ａ× (3/2)ａ×π×180 °／360 ° ＝ 9/4ａ² π×1/2 空白部面積Ｓｃ＝４ａ² − 9/4ａ² π×1/2 となって、これを整数化し、従来例の同図（Ｂ）に示す
空白部面積Ｓｂと比較すると、約５６．５％の減少とな
る。

【００３７】図５は、請求項３の発明に対応する一実施
例である。ここでも、正三角形の頂点位置にガス吹出し
口５が設けられていることは変わりがない。

【００３８】そして、この正三角形の各頂点から対向す
る辺部に降ろした垂直二等分線の交点位置であり、各辺
部に内接する内接円の中心位置であり、各頂点を結ぶ図
示しない外接円の中心位置等の全てを兼ねる重心位置に
補助ガス吹出し孔１０が設けられる。

【００３９】ガスは、ガス吹出し孔５とともに補助ガス
吹出し孔１０からも吹出される。したがって、ここでは
空白部が全く生じないことになり、さらなる均一性を得
られる。

【００４０】なお上記実施例においては、上記ガス吹出
し孔５から吹付けられるガスは、平面であるガラス板４
に対向して位置設定したが、これに限定されるものでは
なく、ガスが吹付けられる対象物として立体状のものも
あり、当然、これに対応した形態でガス吹出し孔が位置
設定される。

【００４１】

【発明の効果】以上説明したように、請求項１の発明に
よれば、気体吹出し部の位置を、互いに千鳥状位置に設
定したから、気体の少ないエリアを最小にする。請求項
２の発明によれば、整圧体の一側面に描かれる複数の正
三角形の頂点位置に開口される気体吹出し孔から気体を
吹出すようにしたから、気体の少ないエリアが最小で吹
出しの均一性を得る。

【００４２】請求項３の発明によれば、整圧体の一側面
に描かれる複数の正三角形の頂点位置にガス吹出し口を
開口し、かつ正三角形の重心位置に補助気体吹出し口を
開口したから、気体の少ないエリアは全く存在しない。

【００４３】請求項４の発明によれば、整圧体の一側面
に描かれる複数の正三角形は、互いに共有する辺を備え
ているから、所定のスペース内に無駄のない状態で多く
の正三角形を描くことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】請求項１および請求項２の発明に対応する一実
施例の、ガス吹出し孔の位置設定説明図。

【図２】同実施例を示す、ガス吹出し状態の説明図。

【図３】（Ａ），（Ｂ）は、本発明の正三角形の各辺
と、従来例の正四角形の各辺とを同一長さに設定した条
件下での、空白部を算出するための参考図。

【図４】（Ａ），（Ｂ）は、本発明の正三角形の面積
と、従来例の正四角形の面積とを同一に設定した条件下
での、空白部を算出するための参考図。

【図５】請求項３の発明に対応する一実施例の、ガス吹
出し孔と補助ガス吹出し孔の位置設定説明図。

【図６】本発明の一実施例の、ガス吹付け装置の概略構
成図。

【図７】従来例の、ガス吹出し孔の位置設定説明図。

【図８】同従来例の、ガス吹出し状態の説明図。

【図９】一般的な液晶ディスプレイ装置の概略の縦断面
図。

【図１０】一般的な液晶ディスプレイ装置の製造工程を
説明するフローチャート図。

【符号の説明】

１…ガス供給源、３…整圧箱、５…ガス吹出し孔、１０
…補助ガス吹出し孔。

Claims

【特許請求の範囲】

【請求項１】気体供給源と、この気体供給源に連通される整圧体と、この整圧体の一側面に開口される複数の気体吹出し孔と
を具備し、上記気体吹出し部の位置を、互いに千鳥状配置に設定し
たことを特徴とする気体吹付け装置。
【請求項２】気体供給源と、この気体供給源に連通される整圧体と、この整圧体の一側面に開口される複数の気体吹出し孔と
を具備し、上記気体吹出し孔は、整圧体の一側面に想定される複数
の正三角形の頂点位置に位置するよう開口されることを
特徴とする気体吹付け装置。
【請求項３】気体供給源と、この気体供給源に連通される整圧体と、この整圧体の一側面に想定される複数の正三角形の頂点
位置に開口される気体吹出し口と、この整圧体の一側面に想定される複数の正三角形の重心
位置に開口される補助気体吹出し口とを具備したことを
特徴とする気体吹付け装置。
【請求項４】上記整圧体の一側面に想定される複数の正
三角形は、互いに共有する辺を備えるよう想定されるこ
とを特徴とする請求項２および請求項３記載の気体吹付
け装置。