JPH08330100A - Inner duct surface working method - Google Patents

Inner duct surface working method

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JPH08330100A
JPH08330100A JP13004695A JP13004695A JPH08330100A JP H08330100 A JPH08330100 A JP H08330100A JP 13004695 A JP13004695 A JP 13004695A JP 13004695 A JP13004695 A JP 13004695A JP H08330100 A JPH08330100 A JP H08330100A
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JP
Japan
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broach
duct
cutting
protrusions
cut
Prior art date
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Application number
JP13004695A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Osamu Sato
佐藤  修
Toshiaki Kobari
利明 小針
Mamoru Katane
守 片根
Nobuo Hirano
暢夫 平野
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Abstract

PURPOSE: To lessen a force required for drawing out a broach by preventing the clogging of a broach tooth and the clogging of the broach in a duct. CONSTITUTION: Rectangular parallelepiped protrusions 2, integral protrusions 9, or cylindrical protrusions 10 are provided on the broach rake faces 3 of a broach tooth 1 so that cut chips 11 hit these protrusions. The cut chips 8 are bent and cut by the force of the advancing broach tooth 1 or the force of an advancing work to be cut. Wedge-shaped protrusions 13 are provided on the broach rake faces 3 so that cracks are produced in parallel with an advancing direction of the cut chips 11. Protrusions with round edges 14 are provided on the broach rake faces 3 so that the bending radii of the cut chips 11 are lessened. A broach shaft is formed into hollow, and using this space as a main path 15 a jet path 16 is provided toward the broach rake faces 3 from the main path 15 so that gas or liquid is jetted to collide with the broach rake faces 3 so as to finely chip the cut chips 11 soon after the formation thereof by this jetting force.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は荷電粒子加速器の真空容
器であるビームダクトのブローチ加工による表面処理法
に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface treatment method by broaching a beam duct which is a vacuum container of a charged particle accelerator.

【0002】[0002]

【従来の技術】荷電粒子加速器で、荷電粒子を高エネル
ギで加速するためには、荷電粒子と残留ガスとの衝突に
よる散乱を防止し、荷電粒子の損失を防ぐ必要がある。
この損失を防ぐためには、荷電粒子が加速される環境を
超高真空にしなければならない。この超高真空環境を実
現するために、ダクトなどの真空容器が用いられる。圧
力を低下させ、高真空あるいは超高真空を実現するため
には、真空ポンプの排気速度を大きくする以外に、真空
容器などからのガス放出を小さくすることが最重要課題
となる。真空容器内表面からのガス放出を低減するため
の表面処理法にはいくつかの方法がある。ビームダクト
と呼ばれる荷電粒子加速器の真空容器は、通常アルミニ
ウム合金やステンレス鋼及び銅などが用いられる。真空
容器からのガス放出は、表面に吸着していたガス分子
が、熱エネルギによって脱離する、いわゆる熱脱離が支
配的である。しかし、荷電粒子加速器では、真空容器内
部に高エネルギ粒子が存在するために、通常の熱脱離以
外の要因によるガスの脱離が、圧力に大きな影響を及ぼ
すことになる。例えば、電子蓄積リングでは、偏向磁場
などによって軌道を変えられた電子や陽電子は、制動輻
射による放射光と呼ばれる電磁波を発生する。この放射
光は、ビームダクト内壁を照射し、光刺激脱離と呼ばれ
るビームダクト内表面からのガス放出を引き起こす。光
刺激脱離に関しては、例えば、文献バキューム,ボリュ
ーム33,ナンバー7(1983),第397頁から第
406頁(Vacuum, volume33, number7(1983) page 397
to 406)で述べられている。光刺激脱離によって生じた
ガス放出は、ビームダクト内部の圧力を上昇させる。こ
の結果、蓄積電子の散乱、そして減衰が起こる。これら
のガス放出をできる限り低く押さえるために、ビームダ
クト内壁表面を清浄化し、ガス放出の原因となる化合物
や汚染物質などを除去することを目的として各種表面処
理が行われてきた。例えば、酸洗やアルカリエッチング
等の化学処理は最も一般的な方法である。化学処理の例
としては、文献バキューム、ボリューム38、ナンバー
8−10(1988)、第933頁から第936頁(Va
cuum, volume38, number8−10(1988) page 933 to 93
6)で述べられている。化学処理以外にも、放電によっ
て生成されたイオンによって真空容器内表面を衝撃し、
表面の吸着質を除去する放電洗浄や、真空炉内で高温加
熱し、表面の化合物を蒸発除去させたり、材料内部に含
まれているガスを拡散によって材料外部へ放出除去する
プリベーキング処理などがある。
2. Description of the Related Art In a charged particle accelerator, in order to accelerate charged particles with high energy, it is necessary to prevent scattering due to collision between charged particles and residual gas and to prevent loss of charged particles.
In order to prevent this loss, the environment in which charged particles are accelerated must be in ultrahigh vacuum. In order to realize this ultra-high vacuum environment, a vacuum container such as a duct is used. In order to reduce the pressure and realize high vacuum or ultra-high vacuum, it is the most important issue to reduce the gas emission from the vacuum container and the like, in addition to increasing the exhaust speed of the vacuum pump. There are several surface treatment methods for reducing gas emission from the inner surface of the vacuum container. A vacuum container of a charged particle accelerator called a beam duct is usually made of aluminum alloy, stainless steel, copper or the like. The so-called thermal desorption, in which gas molecules adsorbed on the surface are desorbed by thermal energy, is dominant in the gas release from the vacuum container. However, in the charged particle accelerator, since high-energy particles exist inside the vacuum container, desorption of gas due to factors other than the usual thermal desorption greatly affects the pressure. For example, in an electron storage ring, electrons or positrons whose trajectories are changed by a deflection magnetic field or the like generate electromagnetic waves called synchrotron radiation due to bremsstrahlung. This radiated light irradiates the inner wall of the beam duct, and causes gas emission from the inner surface of the beam duct called photostimulation desorption. With regard to photostimulation desorption, for example, reference to Vacuum, volume 33, number 7 (1983), pages 397 to 406 (Vacuum, volume 33, number 7 (1983) page 397).
to 406). Outgassing caused by photostimulated desorption increases the pressure inside the beam duct. This results in scattering and decay of stored electrons. In order to suppress the release of these gases as low as possible, various surface treatments have been performed for the purpose of cleaning the inner surface of the inner wall of the beam duct and removing the compounds and contaminants that cause the release of gases. For example, chemical treatments such as pickling and alkali etching are the most common methods. Examples of the chemical treatment include literature vacuum, volume 38, number 8-10 (1988), pages 933 to 936 (Va
cuum, volume38, number8−10 (1988) page 933 to 93
6). In addition to chemical treatment, the inner surface of the vacuum container is bombarded by the ions generated by the discharge,
Discharge cleaning to remove adsorbates on the surface, pre-baking processing to evaporate and remove surface compounds by heating at high temperature in a vacuum furnace, and to release gas contained in the material to the outside by diffusion is there.

【0003】[0003]

【発明が解決しようとする課題】上記従来技術のうち、
ブローチ加工によるダクト内面加工の目的は、素材作製
時の高温処理による素材表面の不純物を含んだガス放出
源表面層や、素材からダクト成形時に用いられる潤滑剤
による表面汚染層などを切削により除去することにあ
る。図2に、パイプ内面を切削するブローチ加工の様子
を示す。図2に示すように、被切削物6の内断面と同一
断面形状で周方向に切削部を有するブローチ刃1が長手
方向に複数個配置されたブローチ7が被切削物6の内部
を移動することによって内面の切削処理が行われる。し
かし、加工中に生じる切削屑の大きさや形状は一定では
なく、大きな切削屑が生成した場合には、図2に示す隣
接するブローチ刃1と、被切削物6の内面によって構成
される空間であるチップストレージ8内での切削屑が占
める実質空間が大きくなり、ブローチ刃の目詰まりやブ
ローチのパイプ内での詰まりの原因となり、ブローチ引
き抜き力増加を引き起こしていた。このため、長尺パイ
プの加工性の悪さやブローチ刃の早期消耗、またブロー
チ引き抜きに要する電力などのエネルギ消費量アップや
設備増強による生産コスト上昇などの問題があった。さ
らに、大きな切削屑がダクト内面を引きずられた場合、
ダクト内面に擦り傷を生じさせ、切削仕上げ面の表面状
態を著しく悪化させていた。
Of the above-mentioned conventional techniques,
The purpose of the inner surface of the duct by broaching is to remove the gas emission source surface layer containing impurities on the surface of the material due to the high temperature processing during material preparation and the surface contamination layer due to the lubricant used during duct molding from the material. Especially. FIG. 2 shows a state of broaching for cutting the inner surface of the pipe. As shown in FIG. 2, a broach 7 in which a plurality of broaching blades 1 having the same cross-sectional shape as the inner cross section of the work 6 and having a cutting portion in the circumferential direction are arranged in the longitudinal direction moves inside the work 6. The inner surface is thereby cut. However, the size and shape of the cutting chips generated during processing are not constant, and when large cutting chips are generated, in the space formed by the adjacent broach blade 1 shown in FIG. 2 and the inner surface of the workpiece 6. The substantial space occupied by the cutting waste in a certain chip storage 8 becomes large, which causes clogging of the broach blade and clogging of the broach in the pipe, which causes an increase in the broach drawing force. Therefore, there have been problems such as poor workability of long pipes, early consumption of broach blades, increase in energy consumption such as electric power required for pulling out broaches, and increase in production cost due to equipment enhancement. In addition, if large chips are dragged on the inner surface of the duct,
The inner surface of the duct was scratched, and the surface condition of the cut finished surface was significantly deteriorated.

【0004】本発明の目的は、ダクトのブローチ加工生
産性を向上させ、長尺ダクトへ対応した低コストで切削
表面の処理状態の良い高性能な荷電粒加速器用ビームダ
クトを得ることにある。
An object of the present invention is to improve the productivity of broaching of ducts, to obtain a high-performance beam duct for charged particle accelerators, which corresponds to a long duct and has a good cutting surface treatment condition at a low cost.

【0005】[0005]

【課題を解決するための手段】上記課題は、ブローチ刃
のすくい面に突起を設けることや、ブローチ刃すくい面
にくさび形突起あるいはアール付き突起を設けることに
より解決することができる。さらに、ブローチ刃すくい
面にガスや流体を噴出衝突させることによって解決でき
る。
The above problems can be solved by providing a protrusion on the rake face of the broach blade, or by providing a wedge-shaped protrusion or a rounded protrusion on the broach blade rake face. Further, it can be solved by jetting and colliding gas or fluid with the rake face of the broach blade.

【0006】[0006]

【作用】本発明によれば、ダクト内面のブローチ加工を
行う際、切削により生成される切削屑を小さくすること
ができる。よって、ブローチ刃とダクト内面で構成され
る空間であるチップストレージ内に多くの切削屑をより
多く蓄積できる。また、チップストレージ内の切削屑の
占有体積を小さくできるので、ブローチ刃の目詰まり及
びダクト内でのブローチの詰まりを防ぎ、ブローチの引
き抜き力が小さくなることから、ブローチ刃の消耗を減
少させ、且つ加工の際に使用する電力などのエネルギを
節約することができる。また、大きな切削屑がブローチ
に引きずられることがないので切削面の擦り傷を減少さ
せ高品質な切削面を得ることができる。
According to the present invention, when performing broaching on the inner surface of the duct, it is possible to reduce the cutting waste generated by cutting. Therefore, a large amount of cutting chips can be accumulated in the chip storage, which is a space formed by the broach blade and the inner surface of the duct. Also, since the volume occupied by the cutting waste in the chip storage can be reduced, clogging of the broach blade and clogging of the brooch in the duct are prevented, and the pullout force of the broach is reduced, reducing wear of the broach blade, In addition, energy such as electric power used in processing can be saved. Further, since large cutting waste is not dragged by the broach, scratches on the cutting surface can be reduced and a high quality cutting surface can be obtained.

【0007】[0007]

【実施例】以下、本発明の実施例を図面を用いて説明す
る。初めに、図2にパイプ内面を切削するブローチ加工
の様子を示す。図2に示すように被切削物6の内断面と
同一断面形状で周方向に切削部を有するブローチ刃1が
長手方向に複数個配置されたブローチ7が被切削物6の
内部を移動することによって内面の切削処理が行われ
る。次に、本発明のダクト内表面切削処理に用いるブロ
ーチ刃の実施例を断面図として図1及び、図3および図
4に示す。図1は、矩形断面のダクト内面の切削に用い
られるブローチ刃1の切削屑をすくい上げるブローチ刃
すくい面3に直方体突起2を複数個配した図である。ま
た、図3にはこれら直方体突起2を数個ずつまとめたも
のを一体型直方体突起9としてブローチ刃すくい面3に
配したときの図である。図4は、図1に示す直方体突起
2に換え、円筒型突起10をブローチすくい面3に設け
た実施例である。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. First, FIG. 2 shows a state of broaching for cutting the inner surface of the pipe. As shown in FIG. 2, a broach 7 having a plurality of broach blades 1 having the same cross-sectional shape as the inner cross-section of the work 6 and having a cutting portion in the circumferential direction is moved inside the work 6. The inner surface is cut by. Next, examples of broaching blades used for the duct inner surface cutting treatment of the present invention are shown in cross-sectional views in FIGS. 1, 3 and 4. FIG. 1 is a view in which a plurality of rectangular parallelepiped projections 2 are arranged on a broach blade rake face 3 for scooping up cutting waste of a broach blade 1 used for cutting an inner surface of a duct having a rectangular cross section. Further, FIG. 3 is a diagram when a plurality of these rectangular parallelepiped projections 2 are put together on the broach blade rake face 3 as an integrated rectangular parallelepiped projection 9. FIG. 4 shows an embodiment in which a cylindrical projection 10 is provided on the broach rake face 3 instead of the rectangular parallelepiped projection 2 shown in FIG.

【0008】次に、図4を用いてブローチ刃すくい面3
に直方体突起2を設けたものを例にとって本発明を説明
する。ブローチ加工では、ブローチ刃1または被切削物
6のどちらか一方、もしくは両方がそれぞれブローチ刃
移動方向5、被切削物移動方向12に移動することによ
って切削が行われる。切削により生成する切削屑11
は、ブローチ刃すくい面3に沿って直方体突起2に当た
る。その後、切削屑11に対し相対的に移動しているブ
ローチ刃すくい面3によってブローチ移動方向5の方向
へ折り曲げられ切断される。生成直後に切削屑を切断す
るため小さな切削屑とすることができる。本実施例で
は、直方体突起及び円筒型の突起のみを取り上げている
が、ブローチすくい面上にあって、ブローチすくい面に
沿って生成する切削屑の進行を押さえるものであればど
のような形状でも良い。
Next, referring to FIG. 4, the broach blade rake face 3
The present invention will be described with reference to an example in which the rectangular parallelepiped projection 2 is provided. In broaching, cutting is performed by moving either or both of the broach blade 1 and the work piece 6 in the broach blade moving direction 5 and the work piece moving direction 12, respectively. Cutting scraps generated by cutting 11
Hits the rectangular parallelepiped protrusion 2 along the broach blade rake face 3. After that, the broach blade rake face 3 that is moving relative to the cutting wastes 11 bends and cuts in the direction of the broach moving direction 5. Since the cutting chips are cut immediately after the generation, small cutting chips can be obtained. In this embodiment, only rectangular parallelepiped projections and cylindrical projections are taken up, but any shape can be used as long as it is on the broach rake face and suppresses the progress of cutting chips generated along the broach rake face. good.

【0009】図5はブローチ刃すくい面3にくさび型突
起13を設けた図である。くさび型突起13の鋭角部は
切削面に向かって配置されており、このため切削屑11
を切削屑11の進行方向と平行に分断することができ
る。よって、切削屑11は連続して伸びることになる
が、断面積が小さくなっているため他の切削屑との衝突
などにより折れ曲がり、さらに分断されやすい切削屑と
することができる。
FIG. 5 is a view in which a wedge-shaped projection 13 is provided on the broaching blade rake face 3. The sharp-angled portion of the wedge-shaped projection 13 is arranged toward the cutting surface, and therefore the cutting waste 11
Can be divided in parallel with the traveling direction of the cutting waste 11. Therefore, although the cutting waste 11 continuously extends, since the cross-sectional area is small, the cutting waste can be bent due to a collision with another cutting waste, and can be further cut into pieces.

【0010】図7は図3に示す一体型直方体突起9を滑
らかなアールのついたアール付き突起14としたものを
設けた実施例を示す。ブローチすくい面3から滑らかに
アールのついたアール付き突起14により、アール付き
突起14が無い場合の切削屑と比較して、ブローチすく
い面3に沿って生成される切削屑の曲率半径を小さくす
ることができる。よって、同じ量の切削を行った場合、
アール付き突起14を設けたブローチ刃での切削による
切削屑は、図2に示す隣接するブローチ刃1と被切削物
内面で構成される空間のチップストレージ8内に占める
割合を小さくでき、チップストレージ8内にため込める
切削屑の量を多くすることができる。この、アール付き
突起14は図1に示すような、小さな突起としてブロー
チすくい面3に複数個配置してもかまわない。
FIG. 7 shows an embodiment in which the integral type rectangular parallelepiped projection 9 shown in FIG. 3 is provided with a smooth rounded rounded projection 14. The radiused protrusions 14 smoothly rounded from the broach rake face 3 reduce the radius of curvature of the cutting dust generated along the broach rake face 3 as compared with the cutting dust without the rounded protrusions 14. be able to. Therefore, if you cut the same amount,
It is possible to reduce the ratio of the cutting waste generated by the cutting with the broach blade provided with the rounded protrusions 14 in the chip storage 8 in the space formed by the adjacent broach blade 1 and the inner surface of the workpiece as shown in FIG. It is possible to increase the amount of cutting chips that can be accumulated in the inside 8. A plurality of the rounded protrusions 14 may be arranged on the broach rake face 3 as small protrusions as shown in FIG.

【0011】次にブローチ刃すくい面にガスまたは流体
を噴射させ生成直後の切削屑11を細断する本発明につ
いて説明する。図8はブローチ刃すくい面3にガスや液
体を噴射する一実施例を示すブローチ7の断面図であ
る。中空なブローチ軸の空間を主流路18とし、主流路
18よりブローチ刃すくい面3に向かってブローチ軸4
を貫通する一つ以上の噴出流路19がブローチ軸4の周
方向に設けられている。ブローチ7の一端からプラグ1
7によって接続されたホース18によって、ガスまたは
流体を主流路15へ供給し噴出流路16からブローチす
くい面3へ噴射衝突させる。このときのガスまたは流体
の噴射力を利用して切削により生成した切削屑を細断す
ることができる。この結果、切削屑がチップストレージ
内を自由に動けるために、切削屑によるブローチ刃への
かじりを防止することができる。さらに、切削屑がチッ
プストレージ内に占める実質空間が小さくなり多量の切
削屑を蓄積することができるので、長尺ダクトへのブロ
ーチ加工が可能となる。また、供給するガスに不活性ガ
スを用いれば被加工物の切削表面の酸化を防ぐことがで
きる。さらに、流体には潤滑油を用いることによって、
噴射流体を潤滑油を兼用させることもできる。図9に
は、以上に述べたブローチ加工による切削処理を施し
た、断面が矩形のダクト19の両端にフランジ20を溶
接した真空ダクトの一例を示す。また、荷電粒子加速器
のビームダクトに対して本発明のブローチ加工表面処理
を施せば、内面が切削加工を受けているためガス放出源
となる表面汚染層や変質層を除去でき、熱脱離や電子蓄
積リングにおける放射光照射に起因する光刺激脱離など
のガス放出を減少させ、荷電粒子の減少を抑えることが
できる。さらに加工表面が高品質な高性能加速器用ビー
ムダクトを得ることができる。
Next, the present invention will be described in which gas or fluid is jetted to the rake face of the broach blade to shred the cutting chips 11 immediately after they are produced. FIG. 8 is a cross-sectional view of the broach 7 showing an embodiment for injecting gas or liquid onto the broach blade rake face 3. The hollow space of the broach shaft serves as the main flow path 18, and the broach shaft 4 extends from the main flow path 18 toward the broach blade rake face 3.
One or more ejection passages 19 penetrating through are provided in the circumferential direction of the broach shaft 4. Plug 1 from one end of brooch 7
Gas or fluid is supplied to the main flow path 15 by the hose 18 connected by 7, and jetted and collided from the jet flow path 16 to the broach rake face 3. By using the jetting force of the gas or fluid at this time, it is possible to shred the cutting chips generated by cutting. As a result, since the cutting waste can freely move in the chip storage, it is possible to prevent the cutting waste from being galled by the broach blade. Furthermore, since the substantial space occupied by the cutting waste in the chip storage is reduced and a large amount of cutting waste can be accumulated, broaching into a long duct becomes possible. Further, if an inert gas is used as the gas to be supplied, it is possible to prevent the cutting surface of the workpiece from being oxidized. Furthermore, by using lubricating oil for the fluid,
Lubricating oil can also be used as the jet fluid. FIG. 9 shows an example of a vacuum duct in which flanges 20 are welded to both ends of a duct 19 having a rectangular cross section, which has been cut by the above-mentioned broaching process. In addition, if the beam duct of the charged particle accelerator is subjected to the broaching surface treatment of the present invention, the surface contamination layer and the alteration layer, which are gas emission sources, can be removed because the inner surface has undergone cutting, and thermal desorption and It is possible to reduce gas emission such as photostimulation desorption caused by irradiation of synchrotron radiation in the electron storage ring, and suppress reduction of charged particles. Further, it is possible to obtain a beam duct for a high-performance accelerator with a high-quality processed surface.

【0012】[0012]

【発明の効果】本発明によれば、ダクト内面のブローチ
加工を行う際、切削により生成する切削屑を小さくする
ことができる。このため、大きな切削屑が生成する場合
と比較すると、ブローチ刃とダクト内面で構成される空
間であるチップストレージ内により多くの量の切削屑を
蓄積できることにより、長尺ダクトへのブローチ加工が
可能となる。また、チップストレージ内の切削屑が占め
る体積が小さくなるので、ブローチ刃の目詰まり及びダ
クト内でのブローチの詰まりを防ぐことができ、ブロー
チの引き抜きに要する力を小さくできることから、ブロ
ーチ刃の消耗を抑えることができる。さらに、加工の際
に使用する電力などのエネルギを節約することができ
る。また、大きな切削屑がブローチに引きずられること
がないので、切削面の擦り傷を減少させ高品質な切削面
を得ることができる。よって、低コストで長尺ダクトへ
対応したブローチ加工による表面処理方法が得られ、ま
た高性能な荷電粒加速器用ビームダクトが得られる。
According to the present invention, when carrying out the broaching of the inner surface of the duct, it is possible to reduce the cutting waste generated by cutting. Therefore, compared to the case where large chips are generated, a larger amount of chips can be stored in the chip storage, which is the space formed by the broach blade and the inner surface of the duct, enabling broaching for long ducts. Becomes Also, since the volume of cutting chips in the chip storage is small, it is possible to prevent clogging of the broach blade and clogging of the broach in the duct, and the force required to pull out the broach can be reduced. Can be suppressed. Further, energy such as electric power used for processing can be saved. Further, since large cutting waste is not dragged by the broach, it is possible to reduce scratches on the cutting surface and obtain a high quality cutting surface. Therefore, it is possible to obtain a surface treatment method by broaching that corresponds to a long duct at low cost, and to obtain a beam duct for a charged particle accelerator with high performance.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】本発明の直方体突起付きブローチ刃の説明図。FIG. 1 is an explanatory view of a broach blade with a rectangular parallelepiped projection of the present invention.

【図2】被切削物内のブローチを示す説明図。FIG. 2 is an explanatory view showing a broach inside a workpiece.

【図3】本発明の一体型直方体突起付きのブローチ刃の
説明図。
FIG. 3 is an explanatory view of a broach blade with an integral type rectangular parallelepiped projection of the present invention.

【図4】突起付きブローチ刃による切削の様子を示す説
明図。
FIG. 4 is an explanatory view showing a state of cutting with a broach blade with protrusions.

【図5】突起付きブローチ刃による切削の様子を示す説
明図。
FIG. 5 is an explanatory view showing a state of cutting by a broach blade with a protrusion.

【図6】本発明の突起付きブローチ刃の一実施例の説明
図。
FIG. 6 is an explanatory view of an embodiment of a broach blade with protrusions of the present invention.

【図7】被切削物内のブローチを示す説明図。FIG. 7 is an explanatory view showing a broach in the object to be cut.

【図8】本発明のブローチ切削面にガスや液体を供給す
るブローチの説明図。
FIG. 8 is an explanatory view of a broach that supplies gas or liquid to the broach cutting surface of the present invention.

【図9】本発明の表面処理によって作製されたダクトに
用いた真空ダクトの一例の説明図。
FIG. 9 is an explanatory view of an example of a vacuum duct used for the duct produced by the surface treatment of the present invention.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…ブローチ刃、2…直方体突起、3…ブローチ刃すく
い面、4…ブローチ軸、5…ブローチ移動方向。
1 ... Brooch blade, 2 ... Rectangular projection, 3 ... Broach blade rake face, 4 ... Broach axis, 5 ... Broach moving direction.

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 平野 暢夫 茨城県土浦市神立町502番地 株式会社日 立製作所機械研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Nobuo Hirano 502 Kintate-cho, Tsuchiura-shi, Ibaraki Prefecture Hiritsu Manufacturing Co., Ltd. Mechanical Research Laboratory

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】ダクトやパイプ内表面をブローチ加工によ
って切削加工する表面処理法において、ブローチ刃のす
くい面に、少なくとも一つの突起を有するブローチ刃を
用いることを特徴とするダクト内面処理法。
1. A surface treatment method for cutting an inner surface of a duct or a pipe by broaching, wherein a broach blade having at least one protrusion is used on a rake face of the broach blade.
【請求項2】ダクトやパイプ内表面をブローチ加工によ
って切削加工する表面処理法において、ブローチ加工を
行うブローチのブローチ軸を中空とし、少なくとも一つ
の該中空部よりブローチ刃すくい面に向かった貫通孔を
有し、前記貫通孔よりガスまたは流体をブローチ刃すく
い面に噴射衝突させる構造を有するブローチを用いるこ
とを特徴とするダクト内面処理法。
2. A surface treatment method for cutting an inner surface of a duct or a pipe by broaching, wherein a broach shaft of the broach to be broached is hollow, and at least one of the hollow portions is a through hole extending toward the rake face of the broach blade. A method for treating the inner surface of a duct, characterized by using a broach having a structure in which a gas or a fluid is jetted and collides with the broach blade rake face through the through hole.
【請求項3】請求項1に記載の前記ブローチ刃を有する
請求項2に記載のダクト内面処理法。
3. The duct inner surface processing method according to claim 2, wherein the broach blade according to claim 1 is provided.
【請求項4】請求項1,2または3に記載のダクト内面
処理法によって容器内面を切削処理された真空容器。
4. A vacuum container whose inner surface has been cut by the duct inner surface processing method according to claim 1, 2.
【請求項5】請求項4に記載の前記真空容器で、荷電粒
子を前記真空容器内部で加速する荷電粒子加速器のビー
ムダクト。
5. The beam duct of the charged particle accelerator according to claim 4, wherein the charged particles are accelerated inside the vacuum container.
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