JPH08320729A - Body with installation height adjustment - Google Patents
Body with installation height adjustmentInfo
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- JPH08320729A JPH08320729A JP12460495A JP12460495A JPH08320729A JP H08320729 A JPH08320729 A JP H08320729A JP 12460495 A JP12460495 A JP 12460495A JP 12460495 A JP12460495 A JP 12460495A JP H08320729 A JPH08320729 A JP H08320729A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は設置高さ調整付き物体に
関し、設置場所（据付け場所）が頻繁に変えられる物体
の水平度を精密に設定する物体に適用して有効な技術に
関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to an object with an installation height adjustment, and more particularly to a technique effectively applied to an object whose installation location (installation location) is frequently changed to precisely set the levelness of the object.
【０００２】[0002]
【従来の技術】機械装置や電子装置には、装置の姿勢を
水平に設定して設置するものが多く、装置（物体）の下
面の四隅には高さ調整が可能なハイトアジャスタが設け
られている。従来の設置高さ調整付き装置（設置高さ調
整付き物体）では、ハイトアジャスタはネジ構造となっ
ていて、ハイトアジャスタを正転させるとハイトアジャ
スタは装置の下面からの突出長さが長くなり、逆転させ
るとハイトアジャスタは装置内に入り、装置下面からの
突出長さが短くなる。2. Description of the Related Art Many mechanical devices and electronic devices are installed with the posture of the device set horizontally, and height adjusters capable of height adjustment are provided at the four corners of the lower surface of the device (object). There is. In the conventional device with installation height adjustment (object with installation height adjustment), the height adjuster has a screw structure, and if the height adjuster is rotated in the normal direction, the height adjuster will have a longer protruding length from the bottom surface of the device. When reversed, the height adjuster enters the inside of the device, and the protruding length from the lower surface of the device becomes shorter.
【０００３】このような構造のハイトアジャスタが付い
た電子装置（機械装置）として、たとえば、日立東京エ
レクトロニクス株式会社発行「フレキシブルＬＯＣ組立
装置ＬＭ−１００」、カタログ番号ＬＭ−100、1992年
１月発行に記載されたものがある。As an electronic device (mechanical device) having a height adjuster having such a structure, for example, "Flexible LOC Assembly Device LM-100" issued by Hitachi Tokyo Electronics Co., Ltd., Catalog No. LM-100, issued in January 1992. There is one described in.
【０００４】[0004]
【発明が解決しようとする課題】設置した装置（物体）
の水平度調整（水平出し）は、作業者がハイトアジャス
タをスパナなどを用いて手で回して行うため手間暇を要
していた。また、狭い場所に装置を据付ける時は、作業
する場所（スペース）を充分取ることができず、苦労す
ることが多く作業性が悪くなる。また、各装置のレイア
ウトを頻繁に変える工場等においては、レイアウト変更
時間が長くなり、生産開始が遅れるという難点がある。[Problems to be Solved by the Invention] Installed device (object)
The level adjustment (horizontal alignment) of the worker requires time and effort because the worker manually rotates the height adjuster with a spanner or the like. In addition, when the device is installed in a narrow space, it is difficult to secure a working space (space), which is often difficult, resulting in poor workability. Further, in a factory or the like in which the layout of each device is frequently changed, there is a drawback that the layout change time becomes long and the production start is delayed.
【０００５】本発明の目的は、設置した物体の水平度調
整等を自動的に行うことができる設置高さ調整付き物体
を提供することにある。An object of the present invention is to provide an object with an installation height adjustment capable of automatically adjusting the levelness of an installed object.
【０００６】本発明の前記ならびにそのほかの目的と新
規な特徴は、本明細書の記述および添付図面からあきら
かになるであろう。The above and other objects and novel features of the present invention will be apparent from the description of the present specification and the accompanying drawings.
【０００７】[0007]
【課題を解決するための手段】本願において開示される
発明のうち代表的なものの概要を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。The outline of the representative ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
【０００８】（１）調整自在のハイトアジャスタを複数
有する設置高さ調整付き物体であって、前記物体の水平
Ｘ軸方向の水平度を検出するＸ軸水準センサと、前記物
体の水平Ｙ軸方向の水平度を検出するＹ軸水準センサ
と、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサの検出信
号に基づいて前記ハイトアジャスタの物体からの突出長
さを調整する高さ調整機構とを具備する。前記Ｘ軸水準
センサおよびＹ軸水準センサは水準器と水準器の気泡を
検出する複数の並んだ水準センサとからなり、前記Ｘ軸
水準センサおよびＹ軸水準センサのそれぞれの水準セン
サのＯＮ，ＯＦＦ状態に基づいて所定のハイトアジャス
タが制御される。前記ハイトアジャスタはネジ軸に螺合
しネジ軸に沿って移動する可動体に連結され、前記ネジ
軸は制御モータによって正逆回転制御される。(1) An object with installation height adjustment having a plurality of adjustable height adjusters, wherein an X-axis level sensor for detecting the horizontality of the object in the horizontal X-axis direction and a horizontal Y-axis direction of the object. And a height adjusting mechanism for adjusting the protrusion length of the height adjuster from the object based on the detection signals of the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor. The X-axis level sensor and the Y-axis level sensor are composed of a level and a plurality of aligned level sensors for detecting bubbles in the level. The X-axis level sensor and the Y-axis level sensor are turned on and off respectively. A predetermined height adjuster is controlled based on the state. The height adjuster is connected to a movable body that is screwed onto a screw shaft and moves along the screw shaft, and the screw shaft is controlled to rotate normally and reversely by a control motor.
【０００９】（２）前記手段（１）の構成に加えて、物
体の底面と設置する床との距離を検出する変位センサ
と、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサまたは前
記変位センサの検出信号に基づいて前記ハイトアジャス
タの物体からの突出長さを調整する高さ調整機構とを具
備する。(2) In addition to the configuration of the means (1), a displacement sensor for detecting the distance between the bottom surface of the object and the floor to be installed, and the detection of the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor or the displacement sensor. And a height adjusting mechanism for adjusting the protruding length of the height adjuster from the object based on a signal.
【００１０】[0010]
【作用】前記（１）の手段によれば、（ａ）Ｘ軸水準セ
ンサおよびＹ軸水準センサからの検出信号に基づいて前
記各高さ調整機構を制御してハイトアジャスタの調整を
行うことから、物体の水平度調整を自動的に行うことが
できる。According to the above-mentioned means (1), (a) each height adjusting mechanism is controlled based on the detection signals from the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor to adjust the height adjuster. , The horizontality of the object can be automatically adjusted.
【００１１】（ｂ）Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準セン
サのそれぞれ複数の水準センサのＯＮ，ＯＦＦ状態に基
づいて所定のハイトアジャスタが制御されて高さ調整が
行われることから、高精度の水平出しが達成できる。(B) Since a predetermined height adjuster is controlled to adjust the height based on the ON and OFF states of the plurality of level sensors of the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor, respectively, the height is adjusted with high accuracy. You can get out.
【００１２】（ｃ）ハイトアジャスタはネジ軸に螺合
し、ネジ軸は制御モータによって正逆回転制御されるこ
とから、ハイトアジャスタの調整は確実かつ正確にな
る。(C) Since the height adjuster is screwed onto the screw shaft and the screw shaft is controlled to rotate in the forward and reverse directions by the control motor, the adjustment of the height adjuster becomes reliable and accurate.
【００１３】前記（２）の手段によれば、前記手段
（１）の作用に加えて、（ａ）変位センサによって物体
の底面と設置する床との距離を検出でき、この検出信号
によって各ハイトアジャスタの突出長さ調整が行えるこ
とから、高精度な水平出しや姿勢修正が達成できる。According to the above-mentioned means (2), in addition to the operation of the above-mentioned means (1), (a) the displacement sensor can detect the distance between the bottom surface of the object and the floor to be installed, and each height signal is detected by this detection signal. Since the protrusion length of the adjuster can be adjusted, highly accurate leveling and posture correction can be achieved.
【００１４】（ｂ）物体を設置する床面の水平度，平坦
度がとれている場所へ設置する場合、変位センサからの
信号だけを元に、制御部で設定された位置まで電磁ブレ
ーキ付ステッピングモータを駆動させて、ハイトアジャ
スタを動かすことでセットアップが完了する。(B) When the object is to be installed on a place where the floor is level and flat, the stepping with the electromagnetic brake is performed up to the position set by the controller based on only the signal from the displacement sensor. The setup is completed by driving the motor and moving the height adjuster.
【００１５】[0015]
【実施例】以下、図面を参照して本発明の実施例を詳細
に説明する。Embodiments of the present invention will be described below in detail with reference to the drawings.
【００１６】なお、実施例を説明するための全図におい
て、同一機能を有するものは同一符号を付け、その繰り
返しの説明は省略する。In all the drawings for explaining the embodiments, parts having the same function are designated by the same reference numerals, and the repeated description thereof will be omitted.
【００１７】図１は、本発明の一実施例である設置高さ
調整付き物体の外観を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the appearance of an object with an installation height adjustment which is an embodiment of the present invention.
【００１８】設置高さ調整付き物体（装置）１は、所定
の処理，加工，表示等に係わる装置であるが、本発明が
装置の水平出し等に係わるものであることから、その内
容構造の説明については省略する。The object (apparatus) 1 with installation height adjustment is an apparatus related to predetermined processing, processing, display, etc., but since the present invention relates to leveling of the apparatus, its content structure is The description is omitted.
【００１９】物体（装置）１は、特に限定はされない
が、外観的に見て矩形体となり、下面からはハイトアジ
ャスタ２が突出している。このハイトアジャスタ２は、
装置１の下面の四隅に設けられ、装置１を支持する。ま
た、後述するが、これら４つのハイトアジャスタ２は、
高さ調整機構によってその突出長さを制御される。The object (device) 1 is not particularly limited, but has a rectangular shape in appearance, and the height adjuster 2 projects from the lower surface. This height adjuster 2
It is provided at four corners of the lower surface of the device 1 and supports the device 1. Also, as will be described later, these four height adjusters 2 are
The protrusion length is controlled by the height adjusting mechanism.
【００２０】一方、装置１の下面のハイトアジャスタ２
のやや内側には、４個のキャスター３が配設されてい
る。ハイトアジャスタ２を引っ込めた後は、キャスター
３が装置１を支えることから、装置１の移動は容易とな
る。On the other hand, the height adjuster 2 on the lower surface of the device 1
Four casters 3 are arranged slightly inside. After the height adjuster 2 is retracted, the caster 3 supports the device 1, so that the device 1 can be easily moved.
【００２１】装置１内には、装置および設置高さ調整を
行う機構部分を制御する制御装置４が内蔵されている。
また、物体１の正面には、前記制御装置４の制御パネル
５が配置されている。また、物体１の上面には水平度を
検出するＸ軸水準センサ６およびＹ軸水準センサ７が取
り付けられている。Ｘ軸水準センサ６は物体１の正面側
の辺に沿いＸ軸方向に沿う水平度を検出し、Ｙ軸水準セ
ンサ７は物体１の右側の辺に沿いＹ軸方向に沿う水平度
を検出する。A control device 4 for controlling the device and a mechanical portion for adjusting the installation height is built in the device 1.
A control panel 5 of the control device 4 is arranged in front of the object 1. Further, an X-axis level sensor 6 and a Y-axis level sensor 7 that detect the horizontality are attached to the upper surface of the object 1. The X-axis level sensor 6 detects horizontality along the front side of the object 1 along the X-axis direction, and the Y-axis level sensor 7 detects horizontalness along the right side of the object 1 along the Y-axis direction. .
【００２２】Ｘ軸水準センサ６およびＹ軸水準センサ７
は、図３に示す構造となっている。すなわち、Ｘ軸水準
センサ６およびＹ軸水準センサ７は、水準器１０と、水
準器１０の上面に気泡１３を検出するように並んだ４つ
の水準センサ１１とからなっている。X-axis level sensor 6 and Y-axis level sensor 7
Has the structure shown in FIG. That is, the X-axis level sensor 6 and the Y-axis level sensor 7 are made up of a level 10 and four level sensors 11 arranged on the upper surface of the level 10 so as to detect bubbles 13.
【００２３】気泡１３は水準器１０の管路１２内を移動
する。中央の２つの水準センサ１１が共に気泡１３を検
出した状態が水平が出た状態である。管路１２の両端の
水準センサ１１は気泡検出ＥＮＤセンサとなる。The bubbles 13 move in the conduit 12 of the level 10. The state in which the two level sensors 11 in the center detect the bubbles 13 is the state in which the level is horizontal. The level sensors 11 at both ends of the conduit 12 serve as bubble detection END sensors.
【００２４】したがって、中央の２つの水準センサ１１
と両端の気泡検出ＥＮＤセンサとの間に気泡１３が位置
する場合は、水準センサ１１で気泡１３を検出できない
状態も発生する（信号無し）。Therefore, the central two level sensors 11
When the bubble 13 is located between the bubble detecting END sensors at both ends of the level sensor 11, the level sensor 11 may not detect the bubble 13 (no signal).
【００２５】図２は高さ調整機構の要部を示す断面図で
ある。装置１はハイトアジャスタ２を介して床等の設置
面１５上に設置される。ハイトアジャスタ２は上下に延
在する軸体となり、装置１の筐体１６の底板１７に設け
られたガイド１８に案内され、上下に摺動自在となって
いる。FIG. 2 is a sectional view showing a main part of the height adjusting mechanism. The device 1 is installed on the installation surface 15 such as a floor via the height adjuster 2. The height adjuster 2 serves as a shaft body extending vertically, and is guided by a guide 18 provided on a bottom plate 17 of the housing 16 of the apparatus 1 so as to be vertically slidable.
【００２６】前記ハイトアジャスタ２の近傍には、ハイ
トアジャスタ２と平行にボールネジからなるネジ軸２０
が配設されている。このネジ軸２０の下端は底板１７に
固定された軸受部２１に支持され、上端には小歯車２２
が取り付けられている。また、小歯車２２には径の大き
な駆動歯車３２が噛み合っている。駆動歯車３２は電磁
ブレーキ付ステッピングモータからなる制御モータ３０
の駆動軸３１に固定されている。In the vicinity of the height adjuster 2, a screw shaft 20 made of a ball screw is provided in parallel with the height adjuster 2.
Is provided. The lower end of the screw shaft 20 is supported by a bearing portion 21 fixed to the bottom plate 17, and the small gear 22 is provided at the upper end.
Is attached. A drive gear 32 having a large diameter meshes with the small gear 22. The drive gear 32 is a control motor 30 including a stepping motor with an electromagnetic brake.
It is fixed to the drive shaft 31 of.
【００２７】前記ネジ軸２０には可動体２３が螺合され
ている。この可動体２３には、前記ハイトアジャスタ２
の上端が固定されている。A movable body 23 is screwed onto the screw shaft 20. The height adjuster 2 is attached to the movable body 23.
The upper end of is fixed.
【００２８】したがって、前記制御モータ３０の正転駆
動によって可動体２３が下降してハイトアジャスタ２が
底板１７の外に突出動作し、装置１が上昇する。また、
制御モータ３０の逆転駆動によって可動体２３が上昇し
てハイトアジャスタ２が筐体１６内に沈み動作し、装置
１が下降する。Accordingly, the movable body 23 is lowered by the normal rotation drive of the control motor 30, the height adjuster 2 is projected to the outside of the bottom plate 17, and the device 1 is raised. Also,
When the control motor 30 is driven in the reverse direction, the movable body 23 rises, the height adjuster 2 sinks into the housing 16, and the device 1 descends.
【００２９】前記駆動軸３１には円板状の１回転用スリ
ット板３５が同心円的に取り付けられている。駆動軸３
１の一側には、前記１回転用スリット板３５のスリット
を検出する１回転検出センサ３６が配設されている。A disk-shaped slit plate 35 for one rotation is concentrically attached to the drive shaft 31. Drive shaft 3
A one-rotation detection sensor 36 that detects a slit of the one-rotation slit plate 35 is disposed on one side of the one.
【００３０】前記可動体２３の一側には遮光板３７が突
出状態で固定されている。そして、この遮光板３７の移
動域には上から下に向けて、上限リミットセンサ３８、
原点用リミットセンサ３９、補助リミットセンサ４０，
下限リミットセンサ４１と４つのセンサが配設されてい
る。ハイトアジャスタ２の上下の移動によって、前記遮
光板３７は前記４つのセンサ内を通過して、各センサを
ＯＮ，ＯＦＦさせる。前記上限リミットセンサ３８は前
記駆動系および制御系とによって、ハイトアジャスタ２
の移動域の上限を規定する上限設定機構を構成し、前記
下限リミットセンサ４１は前記駆動系および制御系とに
よって、ハイトアジャスタ２の移動域の下限を規定する
下限設定機構を構成している。A light shielding plate 37 is fixed to one side of the movable body 23 in a protruding state. Then, in the moving range of the light shielding plate 37, from the top to the bottom, the upper limit sensor 38,
Origin limit sensor 39, auxiliary limit sensor 40,
The lower limit sensor 41 and four sensors are provided. As the height adjuster 2 moves up and down, the light blocking plate 37 passes through the four sensors to turn each sensor ON and OFF. The upper limit sensor 38 is connected to the height adjuster 2 by the drive system and the control system.
The upper limit setting mechanism that defines the upper limit of the movement range of the height adjuster 2 is configured by the drive system and the control system.
【００３１】また、前記制御装置４は、図示しないパル
ス発生器を制御して正転駆動（上昇用）用パルスまたは
逆転駆動用（下降用）パルスを発生する。これらのパル
スによって図示しないドライバが駆動し、ステッピング
モータからなる制御モータ３０を駆動させる。本実施例
の場合、たとえば、１パルス当たりハイトアジャスタ２
は０．００８３ｍｍ移動する。この数値は自由に選択で
きる。なお、前記１回転検出センサ３６および４つのセ
ンサの検出信号は制御装置４に送られる。また、ドライ
バの出力信号も制御装置４に送られる。Further, the control device 4 controls a pulse generator (not shown) to generate a forward rotation driving (up) pulse or a reverse driving (down) pulse. A driver (not shown) is driven by these pulses to drive the control motor 30 including a stepping motor. In the case of this embodiment, for example, the height adjuster 2 per pulse
Moves 0.0083 mm. This number can be freely selected. The detection signals of the one-rotation detection sensor 36 and the four sensors are sent to the control device 4. The output signal of the driver is also sent to the control device 4.
【００３２】前記制御モータ３０，ネジ構造，ハイトア
ジャスタ２，制御装置４等によって高さ調整機構が構成
されるが、この高さ調整機構は４つのハイトアジャスタ
２を含む。A height adjusting mechanism is constituted by the control motor 30, the screw structure, the height adjuster 2, the control device 4, etc., and this height adjusting mechanism includes four height adjusters 2.
【００３３】他方、装置１にはハイトアジャスタ２の突
出長さを検出する変位センサ４５が設けられている。こ
の変位センサ４５は制御装置４に接続されるとともに、
各ハイトアジャスタ２の近傍の底板１７の下面に取り付
けられ、設置面１５に放出した光４６の反射光４７を検
出して変位センサ４５から設置面１５に至る距離を求
め、隣接するハイトアジャスタ２の突出長さと判定する
構成となっている。On the other hand, the device 1 is provided with a displacement sensor 45 for detecting the protruding length of the height adjuster 2. This displacement sensor 45 is connected to the control device 4 and
The height adjuster 2 is attached to the lower surface of the bottom plate 17 near each height adjuster 2 and detects the reflected light 47 of the light 46 emitted to the installation surface 15 to obtain the distance from the displacement sensor 45 to the installation surface 15 to detect the adjacent height adjusters 2. It is configured to determine the protrusion length.
【００３４】高さ調整機構は、物体１を所定の設置面１
５に設置した後、制御パネル５の操作によって自動的に
原点復帰（原点出し）するようになっている。原点出し
は、原点用リミットセンサ３９，１回転検出センサ３
６，タイミングが同時にＯＮしたところとなる。すなわ
ち、上限リミットセンサ３８がＯＮした後、１回転検出
センサ３６がＯＮし、その後最初のタイミングパルスが
入ったところで制御モータ３０が停止して原点出しが行
われる。The height adjusting mechanism mounts the object 1 on a predetermined installation surface 1
After installation on the control panel 5, the control panel 5 is operated to automatically return to the origin (origin return). The origin is detected by the origin limit sensor 39, the one-rotation detection sensor 3
6, Timing is turned on at the same time. That is, after the upper limit sensor 38 is turned on, the one-rotation detection sensor 36 is turned on, and when the first timing pulse is input thereafter, the control motor 30 is stopped and home search is performed.
【００３５】この原点出し後、各キャスター３と設置面
１５までの間隔が数ｍｍ〜数十ｍｍとなるように、全て
のハイトアジャスタ２を均一に駆動させる。After the origin is set, all height adjusters 2 are uniformly driven so that the distance between each caster 3 and the installation surface 15 is several mm to several tens of mm.
【００３６】装置１の水平出しの一形態として、設置面
１５が水平でかつ平坦の場合には、この原点出しで装置
１の水平出しが終了することになる。As one form of leveling of the apparatus 1, when the installation surface 15 is horizontal and flat, the leveling of the apparatus 1 is completed by this origin setting.
【００３７】つぎに、床等の設置面１５の水平度や平坦
度が悪い状態での装置１の水平出しについて説明する。
以下の水平出しにおいては、水平出しの前に原点出しが
行われ、全てのキャスター３が浮き、装置１は４つのハ
イトアジャスタ２で支持された状態となる。Next, the leveling of the apparatus 1 when the installation surface 15 such as the floor has a poor levelness or flatness will be described.
In the following leveling, the origin is leveled before leveling, all the casters 3 float, and the device 1 is supported by the four height adjusters 2.
【００３８】水平出しに先立って、図４に示すように、
前記４つのハイトアジャスタ２，Ｘ軸水準センサ６およ
びＹ軸水準センサ７に以下のような記号を付ける。Prior to leveling, as shown in FIG.
The following four symbols are attached to the four height adjusters 2, the X-axis level sensor 6 and the Y-axis level sensor 7.
【００３９】同図に示すように、４つのハイトアジャス
タ２をＨ1，Ｈ2，Ｈ3，Ｈ4とも呼称する。Ｈ1は装置１
の後方左側、Ｈ2は装置１の前方左側、Ｈ3は装置１の前
方右側、Ｈ4は装置１の後方右側にそれぞれ位置する。
Ｘ軸水準センサ６はＸ軸に沿って配置され、装置１の左
側から右側に亘って４つの水準センサ１１が並ぶ。これ
らの水準センサ１１をＸ1，Ｘ2，Ｘ3，Ｘ4とも呼称す
る。また、Ｙ軸水準センサ７はＹ軸に沿って配置され、
装置１の後方側から前方側に亘って４つの水準センサ１
１が並ぶ。これらの水準センサ１１をＹ1，Ｙ2，Ｙ3，
Ｙ4とも呼称する。同図において、斜線を施した部分が
水準センサ１１である。As shown in the figure, the four height adjusters 2 are also referred to as H 1 , H 2 , H 3 and H 4 . H 1 is device 1
To the rear left side of the apparatus 1, H 2 to the front left side of the apparatus 1, H 3 to the front right side of the apparatus 1, and H 4 to the rear right side of the apparatus 1.
The X-axis level sensor 6 is arranged along the X-axis, and four level sensors 11 are arranged from the left side to the right side of the device 1. These level sensors 11 are also referred to as X 1 , X 2 , X 3 and X 4 . Further, the Y-axis level sensor 7 is arranged along the Y-axis,
Four level sensors 1 are provided from the rear side to the front side of the device 1.
1 is lined up. These level sensors 11 are connected to Y 1 , Y 2 , Y 3 ,
Also called Y 4 . In the figure, the shaded portion is the level sensor 11.
【００４０】図５は第１設置状態の水平出しを示すフロ
ーチャート（フロー１）である。この状態ではセンサ信
号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3がＯＮした状態であり、Ｘ軸の水
平度もＹ軸の水平度も出ている状態である。Ｘ軸水準セ
ンサ６においてＸ2，Ｘ3がＯＮの状態ではＸ軸の水平度
が出ていることであり、Ｙ軸水準センサ７において
Ｙ2，Ｙ3がＯＮの状態ではＹ軸の水平度が出ていること
である。したがって、このフロー１は水平度が出ている
ことを確認するフローである。FIG. 5 is a flow chart (flow 1) showing leveling in the first installation state. In this state is a state in which the sensor signals X 2, X 3, Y 2 , Y 3 is turned ON, a state where the horizontal degree of the X-axis is also emitted even levelness of the Y-axis. In the X-axis level sensor 6, when X 2 and X 3 are ON, the level of X-axis is high, and when the Y-axis level sensor 7 is Y 2 and Y 3 is ON, the level of Y-axis is horizontal. Is out. Therefore, this flow 1 is a flow for confirming that the horizontality is obtained.
【００４１】調整開始後、ハイトアジャスタＨ1を制御
モータ３０の駆動（モータ駆動）によって１パルスずつ
上昇させる。センサ信号Ｘ3，Ｙ3の内どちらか一方でも
ＯＦＦになったらモータ駆動を停止させる。その後制御
モータ３０を逆転させ、ハイトアジャスタＨ1をモータ
駆動によって１パルスずつ下降させ、センサ信号Ｘ2，
Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止さ
せる（ステップ１０１）。After the adjustment is started, the height adjuster H 1 is raised by one pulse by driving the control motor 30 (motor driving). When either one of the sensor signals X 3 and Y 3 is turned off, the motor drive is stopped. After that, the control motor 30 is rotated in the reverse direction, and the height adjuster H 1 is lowered by one pulse by driving the motor, and the sensor signal X 2 ,
When X 3 , Y 2 and Y 3 are simultaneously turned on, the motor drive is stopped (step 101).
【００４２】つぎに、ハイトアジャスタＨ3を制御モー
タ３０の駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ
信号Ｘ2，Ｙ2の内どちらか一方でもＯＦＦになったらモ
ータ駆動を停止させる。その後制御モータ３０を逆転さ
せ、ハイトアジャスタＨ3をモータ駆動によって１パル
スずつ下降させ、センサ信号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同時
にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ１０
２）。Next, the height adjuster H 3 is raised by one pulse by driving the control motor 30. When either one of the sensor signals X 2 and Y 2 is turned off, the motor drive is stopped. Thereafter, the control motor 30 is rotated in the reverse direction, the height adjuster H 3 is lowered by one pulse by the motor drive, and the motor drive is stopped when the sensor signals X 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are simultaneously turned on (step 10).
2).
【００４３】つぎに、ハイトアジャスタＨ2を制御モー
タ３０の駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ
信号Ｘ3，Ｙ2の内どちらか一方でもＯＦＦになったらモ
ータ駆動を停止させる。その後制御モータ３０を逆転さ
せ、ハイトアジャスタＨ2をモータ駆動によって１パル
スずつ下降させ、センサ信号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同時
にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ１０
３）。Next, the height adjuster H 2 is raised by one pulse by driving the control motor 30. When either one of the sensor signals X 3 and Y 2 is turned off, the motor drive is stopped. After that, the control motor 30 is rotated in the reverse direction, the height adjuster H 2 is lowered by one pulse by the motor drive, and the motor drive is stopped when the sensor signals X 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are simultaneously turned on (step 10).
3).
【００４４】つぎに、ハイトアジャスタＨ4を制御モー
タ３０の駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ
信号Ｘ2，Ｙ3の内どちらか一方でもＯＦＦになったらモ
ータ駆動を停止させる。その後制御モータ３０を逆転さ
せ、ハイトアジャスタＨ4をモータ駆動によって１パル
スずつ下降させ、センサ信号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同時
にＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ１０
４）。Next, the height adjuster H 4 is raised by one pulse by driving the control motor 30. When either one of the sensor signals X 2 and Y 3 is turned off, the motor drive is stopped. Thereafter, the control motor 30 is rotated in the reverse direction, the height adjuster H 4 is lowered by one pulse by the motor drive, and the motor drive is stopped when the sensor signals X 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are simultaneously turned on (step 10).
4).
【００４５】これによって装置１のＸ・Ｙ軸方向の水平
出しを確認し、水平出しを終了する。なお、前記フロー
１において、各ステップの順序はいずれが先でも後でも
良い。Thus, the leveling of the apparatus 1 in the X and Y axis directions is confirmed, and the leveling is completed. In the flow 1, the order of each step may be either first or second.
【００４６】図６は第２設置状態の水平出しを示すフロ
ーチャート（フロー２）である。この状態はＹ軸の水平
度が出ている状態（センサ信号Ｙ2，Ｙ3がＯＮ）で、Ｘ
軸の水平が出ていない状態、すなわち、装置１の左側が
高い状態（センサ信号Ｘ1またはＸ2がＯＮ）または装置
１の右側が高い状態（センサ信号Ｘ3またはＸ4がＯＮ）
の状態である。FIG. 6 is a flowchart (flow 2) showing the leveling in the second installed state. In this state, the horizontality of the Y-axis is obtained (sensor signals Y 2 and Y 3 are ON), and X
The axis is not level, that is, the left side of the device 1 is high (sensor signal X 1 or X 2 is ON) or the right side of the device 1 is high (sensor signal X 3 or X 4 is ON)
It is a state of.
【００４７】調整開始後、センサ信号Ｘ1またはＸ2がＯ
Ｎの場合はハイトアジャスタＨ3およびＨ4をモータ駆動
によって１パルスずつ上昇させて装置１の右側を上げ、
センサ信号Ｘ3，Ｘ4がＯＮの場合はハイトアジャスタＨ
1およびＨ3をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ
て装置１の左側を上昇させる。そして、いずれの場合で
も、センサ信号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3がＯＮしたらモータ
駆動を停止する（ステップ２０１）。After the adjustment is started, the sensor signal X 1 or X 2 becomes O.
In the case of N, the height adjusters H 3 and H 4 are raised by one pulse by the motor drive to raise the right side of the device 1,
If the sensor signals X 3 and X 4 are ON, the height adjuster H
1 and H 3 are raised one pulse at a time by the motor drive to raise the left side of the device 1. And, in any case, the sensor signals X 2, X 3, Y 2 , Y 3 stops ON Once you motor drive (step 201).
【００４８】つぎに、フロー１を実行して（ステップ２
０２）、水平出しを終了する。Next, the flow 1 is executed (step 2
02), and leveling is completed.
【００４９】図７は第３設置状態の水平出しを示すフロ
ーチャート（フロー３）である。この状態はＸ軸の水平
度が出ている状態（センサ信号Ｘ2，Ｘ3がＯＮ）で、Ｙ
軸の水平が出ていない状態、すなわち、装置１の後方側
が高い状態（センサ信号Ｙ1またはＹ2がＯＮ）または装
置１の前方側が高い状態（センサ信号Ｙ3，Ｙ4がＯＮ）
の状態である。FIG. 7 is a flow chart (flow 3) showing leveling in the third installation state. In this state, the horizontality of the X-axis is obtained (sensor signals X 2 and X 3 are ON).
The axis is not level, that is, the rear side of the device 1 is high (sensor signal Y 1 or Y 2 is ON) or the front side of the device 1 is high (sensor signals Y 3 and Y 4 are ON).
It is a state of.
【００５０】調整開始後、センサ信号Ｙ1またはＹ2がＯ
Ｎの場合はハイトアジャスタＨ2およびＨ3をモータ駆動
によって１パルスずつ上昇させて装置１の前方側を上
げ、センサ信号Ｙ3またはＹ4がＯＮの場合はハイトアジ
ャスタＨ1およびＨ4をモータ駆動によって１パルスずつ
上昇させて装置１の後方側を上昇させる。そして、いず
れの場合でも、センサ信号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3がＯＮし
たらモータ駆動を停止する（ステップ３０１）。After the adjustment is started, the sensor signal Y 1 or Y 2 becomes O.
In the case of N, the height adjusters H 2 and H 3 are raised by one pulse by motor drive to raise the front side of the apparatus 1, and when the sensor signal Y 3 or Y 4 is ON, the height adjusters H 1 and H 4 are driven in the motor. By driving, the pulse is raised one pulse at a time and the rear side of the device 1 is raised. And, in any case, the sensor signals X 2, X 3, Y 2 , Y 3 stops ON Once you motor drive (step 301).
【００５１】つぎに、フロー１を実行して（ステップ３
０２）、水平出しを終了する。Next, the flow 1 is executed (step 3
02), and leveling is completed.
【００５２】図８は第４設置状態の水平出しを示すフロ
ーチャート（フロー４）である。この状態は装置１の左
側が高く（Ｘ1，Ｘ2がＯＮ）、装置１の後方側が高い
（Ｙ1またはＹ2がＯＮ）かまたは装置１の前方側が高い
（Ｙ3，Ｙ4がＯＮ）状態である。FIG. 8 is a flow chart (flow 4) showing the leveling in the fourth installed state. In this state, the left side of the device 1 is high (X 1 and X 2 are ON) and the rear side of the device 1 is high (Y 1 or Y 2 is ON) or the front side of the device 1 is high (Y 3 and Y 4 are ON). ) It is a state.
【００５３】調整開始後、ハイトアジャスタＨ3（また
はＨ4）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ
る。センサ信号Ｘ2，Ｘ3またはＹ2，Ｙ3が同時にＯＮし
たらモータ駆動を停止させる（ステップ４０１）。After the adjustment is started, the height adjuster H 3 (or H 4 ) is increased by one pulse by driving the motor. When the sensor signals X 2 , X 3 or Y 2 , Y 3 are simultaneously turned on, the motor drive is stopped (step 401).
【００５４】この結果、ステップ４０２，４０３，４０
４の状態が派生する。As a result, steps 402, 403, 40
The state of 4 is derived.
【００５５】（１）センサ信号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同
時にＯＮする（ステップ４０２）。(1) The sensor signals X 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are simultaneously turned on (step 402).
【００５６】（２）センサ信号Ｘ2，Ｘ3およびＹ側信号
無しまたはＹ1またはＹ2（Ｙ3またはＹ4がＯＮする（ス
テップ４０３）。(2) No sensor signal X 2 , X 3 and Y side signal or Y 1 or Y 2 (Y 3 or Y 4 is turned on (step 403).
【００５７】（３）センサ信号Ｙ2，Ｙ3およびＸ側信号
無しまたはＸ1またはＸ2がＯＮする（ステップ４０
４）。(3) No sensor signal Y 2 , Y 3 and X side signal or X 1 or X 2 is turned on (step 40
4).
【００５８】つぎに、ステップ４０２の場合、ステップ
４０５に移り、フロー２を実行して水平出しを終了す
る。Next, in the case of step 402, the procedure moves to step 405, flow 2 is executed, and leveling is completed.
【００５９】また、ステップ４０３の場合、ステップ４
０６に移り、フロー５−１を実行して水平出しを終了す
る。In the case of step 403, step 4
Moving to 06, the flow 5-1 is executed to finish the leveling.
【００６０】さらに、ステップ４０４の場合、ステップ
４０７に移り、フロー５−２を実行して水平出しを終了
する。Further, in the case of step 404, the process moves to step 407 and the flow 5-2 is executed to end the leveling.
【００６１】図９はステップ４０３に至った場合行われ
る処理を示すフローチャート（フロー５−１）である。FIG. 9 is a flow chart (flow 5-1) showing the processing performed when step 403 is reached.
【００６２】調整開始後、ハイトアジャスタＨ2，Ｈ
3（またはＨ1，Ｈ4）をモータ駆動によって１パルスず
つ上昇させる。センサ信号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同時に
ＯＮしたらモータ駆動を停止させる（ステップ５０
１）。After the adjustment is started, the height adjusters H 2 , H
3 (or H 1 , H 4 ) is increased by one pulse by driving the motor. When the sensor signals X 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are turned on at the same time, the motor drive is stopped (step 50).
1).
【００６３】つぎに、フロー２を実行して（ステップ５
０２）、水平出しを終了する。Next, the flow 2 is executed (step 5
02), and leveling is completed.
【００６４】図１０はステップ４０４に至った場合行わ
れる処理を示すフローチャート（フロー５−２）であ
る。FIG. 10 is a flow chart (flow 5-2) showing the processing performed when step 404 is reached.
【００６５】調整開始後、ハイトアジャスタＨ3，Ｈ4を
モータ駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信
号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同時にＯＮしたらモータ駆動を
停止させる（ステップ５０５）。After the adjustment is started, the height adjusters H 3 and H 4 are raised by one pulse by driving the motor. When the sensor signals X 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are turned on at the same time, the motor drive is stopped (step 505).
【００６６】つぎに、フロー２を実行して（ステップ５
０６）、水平出しを終了する。Next, the flow 2 is executed (step 5
06), and leveling is completed.
【００６７】図１１は第５設置状態の水平出しを示すフ
ローチャート（フロー６）である。この状態は装置１の
右側が高く（Ｘ3またはＸ4がＯＮ）、装置１の後方側が
高い（Ｙ1またはＹ2がＯＮ）か、または装置１の前方側
が高い（Ｙ3，Ｙ4がＯＮ）状態である。FIG. 11 is a flowchart (flow 6) showing the horizontal alignment in the fifth installed state. In this state, the right side of the device 1 is high (X 3 or X 4 is ON) and the rear side of the device 1 is high (Y 1 or Y 2 is ON), or the front side of the device 1 is high (Y 3 , Y 4 is ON) state.
【００６８】調整開始後、ハイトアジャスタＨ2（また
はＨ1）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇させ
る。センサ信号Ｘ2，Ｘ3またはＹ2，Ｙ3が同時にＯＮし
たらモータ駆動を停止させる（ステップ６０１）。After the adjustment is started, the height adjuster H 2 (or H 1 ) is increased by one pulse by driving the motor. When the sensor signals X 2 , X 3 or Y 2 , Y 3 are simultaneously turned on, the motor drive is stopped (step 601).
【００６９】この結果、ステップ６０２，６０３，６０
４の状態が派生する。As a result, steps 602, 603 and 60
The state of 4 is derived.
【００７０】（１）センサ信号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同
時にＯＮする（ステップ６０２）。(1) The sensor signals X 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are simultaneously turned on (step 602).
【００７１】（２）センサ信号Ｘ2，Ｘ3およびＹ側信号
無しまたはＹ1またはＹ2（Ｙ3またはＹ4がＯＮする（ス
テップ６０３）。(2) No sensor signals X 2 , X 3 and Y side signal or Y 1 or Y 2 (Y 3 or Y 4 is turned on (step 603).
【００７２】（３）センサ信号Ｙ2，Ｙ3およびＸ側信号
無しまたはＸ3またはＸ4がＯＮする（ステップ６０
４）。(3) No sensor signal Y 2 , Y 3 and X side signal or X 3 or X 4 is turned on (step 60)
4).
【００７３】つぎに、ステップ６０２の場合、ステップ
６０５に移り、フロー２を実行して水平出しを終了す
る。Next, in the case of step 602, the process proceeds to step 605, flow 2 is executed, and leveling is completed.
【００７４】また、ステップ６０３の場合、ステップ６
０６に移り、フロー５−１を実行して水平出しを終了す
る。In the case of step 603, step 6
Moving to 06, the flow 5-1 is executed to finish the leveling.
【００７５】さらに、ステップ６０４の場合、ステップ
６０７に移り、フロー６−１を実行して水平出しを終了
する。Further, in the case of step 604, the process moves to step 607 and the flow 6-1 is executed to end the leveling.
【００７６】図１２はステップ６０４に至った場合行わ
れる処理を示すフローチャート（フロー６−１）であ
る。FIG. 12 is a flow chart (flow 6-1) showing the processing performed when the processing reaches step 604.
【００７７】調整開始後、ハイトアジャスタＨ1，Ｈ2を
モータ駆動によって１パルスずつ上昇させる。センサ信
号Ｘ2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3が同時にＯＮしたらモータ駆動を
停止させる（ステップ６０８）。After the adjustment is started, the height adjusters H 1 and H 2 are raised by one pulse by driving the motor. When the sensor signals X 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are turned on at the same time, the motor drive is stopped (step 608).
【００７８】つぎに、フロー２を実行して（ステップ６
０９）、水平出しを終了する。Next, the flow 2 is executed (step 6
09), and leveling is completed.
【００７９】図１３は第６設置状態の水平出しを示すフ
ローチャート（フロー７）である。この状態はＸ軸の水
平が出ている状態（Ｘ2，Ｘ3がＯＮ）であり、Ｙ信号無
しの状態である。FIG. 13 is a flow chart (flow 7) showing horizontal alignment in the sixth installation state. This state is a state in which the X axis is horizontal (X 2 , X 3 are ON) and there is no Y signal.
【００８０】調整開始後、ハイトアジャスタＨ1，Ｈ4を
モータ駆動によって１パルスずつ上昇させ（ステップ７
０１）、センサ信号Ｘ2，Ｘ3およびＹ1がＯＮした状態
を検出（ステップ７０２）するか、またはセンサ信号Ｘ
2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3がＯＮした状態を検出する（ステップ
７０３）。After the adjustment is started, the height adjusters H 1 and H 4 are raised by one pulse by driving the motor (step 7
01), the state in which the sensor signals X 2 , X 3 and Y 1 are turned on is detected (step 702), or the sensor signal X
The state in which 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are turned on is detected (step 703).
【００８１】ステップ７０２の場合、モータ駆動を停止
させて（ステップ７０４）、フロー４を実行させ（ステ
ップ７０５）、水平出しを終了する。In the case of step 702, the motor drive is stopped (step 704), the flow 4 is executed (step 705), and the leveling is completed.
【００８２】ステップ７０３の場合、モータ駆動を停止
させて（ステップ７０６）、フロー２を実行させ（ステ
ップ７０７）、水平出しを終了する。In the case of step 703, the motor drive is stopped (step 706), the flow 2 is executed (step 707), and the leveling is completed.
【００８３】図１４は第７設置状態の水平出しを示すフ
ローチャート（フロー８）である。この状態はＹ軸の水
平が出ている状態（Ｙ2，Ｙ3がＯＮ）であり、Ｘ信号無
しの状態である。FIG. 14 is a flow chart (flow 8) showing the leveling in the seventh installed state. This state is a state in which out horizontal Y axis is (Y 2, Y 3 is ON), the state without X signal.
【００８４】調整開始後、ハイトアジャスタＨ1，Ｈ2を
モータ駆動によって１パルスずつ上昇させ（ステップ８
０１）、センサ信号Ｙ2，Ｙ3およびＸ1がＯＮした状態
を検出（ステップ８０２）するか、またはセンサ信号Ｘ
2，Ｘ3，Ｙ2，Ｙ3がＯＮした状態を検出する（ステップ
８０３）。After the adjustment is started, the height adjusters H 1 and H 2 are increased by one pulse by driving the motor (step 8
01), the state in which the sensor signals Y 2 , Y 3 and X 1 are turned on is detected (step 802), or the sensor signal X
The state where 2 , X 3 , Y 2 and Y 3 are turned on is detected (step 803).
【００８５】ステップ８０２の場合、モータ駆動を停止
させて（ステップ８０４）、フロー５−２を実行させ
（ステップ８０５）、水平出しを終了する。In the case of step 802, the motor drive is stopped (step 804), the flow 5-2 is executed (step 805), and the leveling is completed.
【００８６】ステップ８０３の場合、モータ駆動を停止
させて（ステップ８０６）、フロー２を実行させ（ステ
ップ８０７）、水平出しを終了する。In the case of step 803, the motor drive is stopped (step 806), the flow 2 is executed (step 807), and the leveling is completed.
【００８７】図１５は第８設置状態の水平出しを示すフ
ローチャート（フロー９）である。この状態はセンサ信
号Ｘ1またはＸ2（Ｘ3またはＸ4）がＯＮしており、Ｙ信
号無しの状態である。FIG. 15 is a flow chart (flow 9) showing the leveling in the eighth installation state. In this state, the sensor signal X 1 or X 2 (X 3 or X 4 ) is ON and there is no Y signal.
【００８８】調整開始後、ハイトアジャスタＨ3，Ｈ
4（Ｈ1，Ｈ2）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇
させ、センサ信号Ｘ2，Ｘ3が同時にＯＮしたらモータ駆
動を停止させる（ステップ９０１）。After the adjustment is started, the height adjusters H 3 , H
4 (H 1 , H 2 ) is increased by one pulse by the motor drive, and when the sensor signals X 2 and X 3 are simultaneously turned on, the motor drive is stopped (step 901).
【００８９】つぎに、フロー７を実行し（ステップ９０
２）、水平出しを終了する。Next, the flow 7 is executed (step 90
2) Finish the leveling.
【００９０】図１６は第９設置状態の水平出しを示すフ
ローチャート（フロー１０）である。この状態はセンサ
信号Ｙ1またはＹ2（Ｙ3またはＹ4）がＯＮしており、Ｘ
信号無しの状態である。FIG. 16 is a flow chart (flow 10) showing horizontal alignment in the ninth installed state. In this state, the sensor signal Y 1 or Y 2 (Y 3 or Y 4 ) is ON, and X
There is no signal.
【００９１】調整開始後、ハイトアジャスタＨ2，Ｈ
3（Ｈ1，Ｈ4）をモータ駆動によって１パルスずつ上昇
させ、センサ信号Ｙ2，Ｙ3が同時にＯＮしたらモータ駆
動を停止させる（ステップ１００１）。After the adjustment is started, the height adjusters H 2 , H
3 (H 1 , H 4 ) is increased by one pulse by the motor drive, and the motor drive is stopped when the sensor signals Y 2 , Y 3 are simultaneously turned on (step 1001).
【００９２】つぎに、フロー８を実行し（ステップ１０
０２）、水平出しを終了する。Next, the flow 8 is executed (step 10
02), and leveling is completed.
【００９３】図１７は第１０設置状態の水平出しを示す
フローチャート（フロー１１）である。この状態はいず
れのセンサ（水準センサ１１）からの信号が無い状態で
ある。FIG. 17 is a flowchart (flow 11) showing the horizontal alignment in the tenth installed state. In this state, there is no signal from any sensor (level sensor 11).
【００９４】調整開始後、ハイトアジャスタＨ1，Ｈ2を
モータ駆動によって１パルスずつ上昇させ（ステップ１
１０１）、センサ信号Ｘ1がＯＮした状態を検出（ステ
ップ１１０２）するか、またはセンサ信号Ｘ2，Ｘ3がＯ
Ｎした状態を検出する（ステップ１１０３）。After the adjustment is started, the height adjusters H 1 and H 2 are raised by one pulse by driving the motor (step 1
101), the state where the sensor signal X 1 is ON is detected (step 1102), or the sensor signals X 2 and X 3 are O.
The state of N is detected (step 1103).
【００９５】ステップ１１０２の場合、モータ駆動を停
止させる（ステップ１１０３）。In the case of step 1102, the motor drive is stopped (step 1103).
【００９６】つぎに、ハイトアジャスタＨ3，Ｈ4をモー
タ駆動によって１パルスずつ上昇させ、センサ信号
Ｘ2，Ｘ3が同時にＯＮしたらモータ駆動を停止する（ス
テップ１１０４）。Next, the height adjusters H 3 and H 4 are increased by one pulse by driving the motor, and when the sensor signals X 2 and X 3 are simultaneously turned on, the driving of the motor is stopped (step 1104).
【００９７】つぎに、フロー７を実行し（ステップ１１
０５）、水平出しを終了する。Next, the flow 7 is executed (step 11
05), and leveling is completed.
【００９８】ステップ１１０３の場合、モータ駆動を停
止させる（ステップ１１０６）。In the case of step 1103, the motor drive is stopped (step 1106).
【００９９】つぎに、フロー７を実行し（ステップ１１
０７）、水平出しを終了する。Next, the flow 7 is executed (step 11
07), and leveling is completed.
【０１００】以上の水平出し処理によって、装置１はＸ
・Ｙ軸ともに高精度に水平出しができる。By the above-mentioned leveling processing, the apparatus 1 becomes X
・ The Y-axis can be leveled with high precision.
【０１０１】一方、本実施例の装置１は、各ハイトアジ
ャスタ２の近傍に変位センサ４５を配置し、光４６を設
置面１５に照射するとともに、その反射光４７を受光
し、間接的にハイトアジャスタ２の装置１の底板１７か
らの突出長さを高精度に検出できる。したがって、この
変位センサ４５を使用して装置１の水平出しを行うこと
もできる。On the other hand, in the apparatus 1 of this embodiment, the displacement sensor 45 is arranged in the vicinity of each height adjuster 2 so that the installation surface 15 is irradiated with the light 46 and the reflected light 47 is received to indirectly adjust the height. The protruding length of the adjuster 2 from the bottom plate 17 of the device 1 can be detected with high accuracy. Therefore, the displacement sensor 45 can be used to level the device 1.
【０１０２】また、前方側変位センサ４５を使用し、各
ハイトアジャスタ２を別々に制御することもできるた
め、制御パネル５からの入力情報によって、装置１の姿
勢を制御することもできる。Further, since the front side displacement sensor 45 can be used to control each height adjuster 2 separately, the posture of the apparatus 1 can be controlled by the input information from the control panel 5.
【０１０３】本実施例の設置高さ調整付き物体は以下の
効果を奏する。The object with installation height adjustment of this embodiment has the following effects.
【０１０４】（１）Ｘ軸水準センサ６およびＹ軸水準セ
ンサ７からの検出信号に基づいて前記各高さ調整機構を
制御してハイトアジャスタを調整することから、装置１
の水平度調整を自動的に行うことができる。(1) Since the height adjusters are adjusted by controlling the height adjusting mechanisms based on the detection signals from the X-axis level sensor 6 and the Y-axis level sensor 7, the apparatus 1
The horizontal level of can be adjusted automatically.
【０１０５】（２）Ｘ軸水準センサ６およびＹ軸水準セ
ンサ７のそれぞれ複数の水準センサ（Ｘ1〜Ｘ4およびＹ
1〜Ｙ4）のＯＮ，ＯＦＦ状態に基づいて所定のハイトア
ジャスタ２が制御されて高さ調整が行われることから、
高精度の水平出しが達成できる。(2) A plurality of level sensors (X 1 to X 4 and Y) of the X-axis level sensor 6 and the Y-axis level sensor 7, respectively.
Since the predetermined height adjuster 2 is controlled based on the ON and OFF states of 1 to Y 4 ) to adjust the height,
High precision leveling can be achieved.
【０１０６】（３）ハイトアジャスタ２はネジ軸２０に
螺合し、ネジ軸２０は制御モータ３０によって正逆回転
制御されることから、ハイトアジャスタ２の調整は確実
かつ正確になる。(3) The height adjuster 2 is screwed onto the screw shaft 20, and the screw shaft 20 is controlled to rotate in the forward and reverse directions by the control motor 30. Therefore, the adjustment of the height adjuster 2 becomes reliable and accurate.
【０１０７】（４）変位センサ４５によってハイトアジ
ャスタ２の突出長さを検出できることから、この検出信
号によって各ハイトアジャスタ２の突出長さ調整が行え
るため、装置１の高精度な水平出しや姿勢修正が達成で
きる。(4) Since the protrusion length of the height adjuster 2 can be detected by the displacement sensor 45, the protrusion length of each height adjuster 2 can be adjusted by this detection signal. Can be achieved.
【０１０８】（５）水平出しは高さ調整機構によって自
動的に行えることから、狭い場所に装置１を据付ける時
でも簡単に水平出しができる。(5) Leveling can be automatically performed by the height adjusting mechanism, so that leveling can be easily performed even when the apparatus 1 is installed in a narrow place.
【０１０９】（６）本実施例の装置１は、レイアウトを
頻繁に変える工場等において、レイアウト変更時間が短
縮され、生産開始を早めることができる。(6) The apparatus 1 of this embodiment can shorten the layout change time and accelerate the start of production in a factory or the like where the layout is frequently changed.
【０１１０】以上本発明者によってなされた発明を実施
例に基づき具体的に説明したが、本発明は上記実施例に
限定されるものではなく、その要旨を逸脱しない範囲で
種々変更可能であることはいうまでもない。物体の高さ
を調整する機構としては、ウオームギャ機構，油圧機構
等他の機構でも前記実施例同様な効果が得られる。たと
えば、ウオームギャ機構や油圧機構の場合には重量の重
い物体の高さ調整に適している。Although the invention made by the present inventor has been specifically described based on the embodiments, the present invention is not limited to the above embodiments, and various modifications can be made without departing from the scope of the invention. Needless to say. As a mechanism for adjusting the height of the object, other mechanisms such as a warm gear mechanism and a hydraulic mechanism can also obtain the same effect as the above embodiment. For example, a warm gear mechanism or a hydraulic mechanism is suitable for adjusting the height of a heavy object.
【０１１１】[0111]
【発明の効果】本願において開示される発明のうち代表
的なものによって得られる効果を簡単に説明すれば、下
記のとおりである。The effects obtained by the typical ones of the inventions disclosed in the present application will be briefly described as follows.
【０１１２】（１）Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準セン
サからの検出信号に基づいて前記各高さ調整機構を制御
してハイトアジャスタの調整を行うことから、物体の水
平度調整を自動的に行うことができる。(1) Since the height adjusters are adjusted by controlling the height adjusting mechanisms based on the detection signals from the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor, the levelness of the object is automatically adjusted. It can be carried out.
【０１１３】（２）Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準セン
サのそれぞれ複数の水準センサのＯＮ，ＯＦＦ状態に基
づいて所定のハイトアジャスタが制御されて高さ調整が
行われることから、高精度の水平出しが達成できる。(2) Since a predetermined height adjuster is controlled to adjust the height based on the ON and OFF states of the plurality of level sensors of the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor, respectively, the height adjustment is performed with high accuracy. You can get out.
【０１１４】（３）ハイトアジャスタはネジ軸に螺合
し、ネジ軸は制御モータによって正逆回転制御されるこ
とから、ハイトアジャスタの調整は確実かつ正確にな
る。(3) Since the height adjuster is screwed onto the screw shaft and the screw shaft is controlled to rotate in the forward and reverse directions by the control motor, the adjustment of the height adjuster becomes reliable and accurate.
【０１１５】（４）変位センサによってハイトアジャス
タの突出長さを検出でき、この検出信号によって各ハイ
トアジャスタの突出長さ調整が行えることから、高精度
な水平出しや姿勢修正が達成できる。(4) Since the protrusion length of the height adjuster can be detected by the displacement sensor and the protrusion length of each height adjuster can be adjusted by this detection signal, highly accurate leveling and posture correction can be achieved.
【図１】本発明の一実施例である設置高さ調整付き装置
の外観を示す斜視図である。FIG. 1 is a perspective view showing the external appearance of a device with installation height adjustment that is an embodiment of the present invention.
【図２】本実施例の設置高さ調整付き装置における高さ
調整機構の一部を示す断面図である。FIG. 2 is a cross-sectional view showing a part of a height adjusting mechanism in the installation height adjusting device of the present embodiment.
【図３】本実施例の設置高さ調整付き装置に取り付けら
れた水準センサを示す模式図である。FIG. 3 is a schematic view showing a level sensor attached to the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
【図４】本実施例の設置高さ調整付き装置におけるハイ
トアジャスタ，Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサを
示す平面的模式図である。FIG. 4 is a schematic plan view showing a height adjuster, an X-axis level sensor, and a Y-axis level sensor in the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
【図５】本実施例の設置高さ調整付き装置における第１
設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー１）
である。FIG. 5 is a first view of the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
Flowchart showing leveling in installed state (Flow 1)
Is.
【図６】本実施例の設置高さ調整付き装置における第２
設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー２）
である。FIG. 6 is a second view of the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
Flowchart showing leveling of installed state (Flow 2)
Is.
【図７】本実施例の設置高さ調整付き装置における第３
設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー３）
である。FIG. 7 is a third view of the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
Flowchart showing leveling of installed state (Flow 3)
Is.
【図８】本実施例の設置高さ調整付き装置における第４
設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー４）
である。FIG. 8 is a fourth view of the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
Flowchart showing leveling in installed state (Flow 4)
Is.
【図９】本実施例のステップ４０３に至った場合行われ
る処理を示すフローチャート（フロー５−１）である。FIG. 9 is a flowchart (flow 5-1) showing a process performed when reaching step 403 of the present embodiment.
【図１０】本実施例のステップ４０４に至った場合行わ
れる処理を示すフローチャート（フロー５−２）であ
る。FIG. 10 is a flowchart (flow 5-2) showing a process performed when step 404 of the present embodiment is reached.
【図１１】本実施例の設置高さ調整付き装置における第
５設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー
６）である。FIG. 11 is a flowchart (flow 6) showing leveling in a fifth installation state in the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
【図１２】本実施例のステップ６０４に至った場合行わ
れる処理を示すフローチャート（フロー６−１）であ
る。FIG. 12 is a flowchart (flow 6-1) showing a process performed when step 604 of the present embodiment is reached.
【図１３】本実施例の設置高さ調整付き装置における第
６設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー
７）である。FIG. 13 is a flowchart (flow 7) showing leveling in a sixth installation state in the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
【図１４】本実施例の設置高さ調整付き装置における第
７設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー
８）である。FIG. 14 is a flowchart (flow 8) showing leveling in a seventh installation state in the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
【図１５】本実施例の設置高さ調整付き装置における第
８設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー
９）である。FIG. 15 is a flowchart (flow 9) showing leveling in an eighth installation state in the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
【図１６】本実施例の設置高さ調整付き装置における第
９設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー１
０）である。FIG. 16 is a flowchart showing leveling in a ninth installation state in the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment (Flow 1).
0).
【図１７】本実施例の設置高さ調整付き装置における第
１０設置状態の水平出しを示すフローチャート（フロー
１１）である。FIG. 17 is a flowchart (flow 11) showing leveling in a tenth installation state in the apparatus with installation height adjustment according to the present embodiment.
１…物体（装置）、２…ハイトアジャスタ、３…キャス
ター、４…制御装置、５…制御パネル、６…Ｘ軸水準セ
ンサ、７…Ｙ軸水準センサ、１０…水準器、１１…水準
センサ、１２…管路、１３…気泡、１５…設置面、１６
…筐体、１７…底板、１８…ガイド、２０…ネジ軸、２
１…軸受部、２２…小歯車、２３…可動体、３０…制御
モータ、３１…駆動軸、３２…駆動歯車、３５…１回転
用スリット板、３６…１回転検出センサ、３７…遮光
板、３８…上限リミットセンサ、３９…原点用リミット
センサ、４０…補助リミットセンサ、４１…下限リミッ
トセンサ、４５…変位センサ、４６…光、４７…反射
光、Ｈ1〜Ｈ4…ハイトアジャスタ、Ｘ1〜Ｘ4…水準セン
サ、Ｙ1〜Ｙ4…水準センサ。DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Object (device), 2 ... Height adjuster, 3 ... Caster, 4 ... Control device, 5 ... Control panel, 6 ... X-axis level sensor, 7 ... Y-axis level sensor, 10 ... Level, 11 ... Level sensor, 12 ... Pipeline, 13 ... Air bubbles, 15 ... Installation surface, 16
... housing, 17 ... bottom plate, 18 ... guide, 20 ... screw shaft, 2
DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Bearing part, 22 ... Small gear, 23 ... Movable body, 30 ... Control motor, 31 ... Drive shaft, 32 ... Drive gear, 35 ... 1 rotation slit plate, 36 ... 1 rotation detection sensor, 37 ... Shading plate, 38 ... upper limit sensor, 39 ... limit sensor origin, 40 ... auxiliary limit sensor, 41 ... lower limit sensor, 45 ... displacement sensor, 46 ... light, 47 ... reflected light, H 1 to H 4 ... height adjuster, X 1 ~ X 4 ... level sensor, Y 1 ~ Y 4 ... level sensor.
Claims (5)
る設置高さ調整付き物体であって、前記物体の水平Ｘ軸
方向の水平度を検出するＸ軸水準センサと、前記物体の
水平Ｙ軸方向の水平度を検出するＹ軸水準センサと、前
記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサの検出信号に基
づいて前記ハイトアジャスタの物体からの突出長さを調
整する高さ調整機構とを具備することを特徴とする設置
高さ調整付き物体。1. An object with installation height adjustment having a plurality of adjustable height adjusters, comprising: an X-axis level sensor for detecting the horizontality of the object in the horizontal X-axis direction; and a horizontal Y-axis direction of the object. A Y-axis level sensor for detecting the levelness, and a height adjusting mechanism for adjusting the protruding length of the height adjuster from the object based on the detection signals of the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor. Characteristic object with installation height adjustment.
サは水準器と水準器の気泡を検出する複数の並んだ水準
センサとからなり、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準
センサのそれぞれの水準センサのＯＮ，ＯＦＦ状態に基
づいて所定のハイトアジャスタが制御されることを特徴
とする請求項１記載の設置高さ調整付き物体。2. The X-axis level sensor and the Y-axis level sensor each include a level and a plurality of side-by-side level sensors that detect bubbles in the level, and the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor each have a level. 2. The object with installation height adjustment according to claim 1, wherein a predetermined height adjuster is controlled based on the ON / OFF state of the sensor.
ネジ軸に沿って移動する可動体に連結され、前記ネジ軸
は制御モータによって正逆回転制御されることを特徴と
する請求項１記載の設置高さ調整付き物体。3. The height adjuster is connected to a movable body that is screwed onto a screw shaft and moves along the screw shaft, and the screw shaft is controlled to rotate in the forward and reverse directions by a control motor. Installation height adjustment object.
る設置高さ調整付き物体であって、前記物体の水平Ｘ軸
方向の水平度を検出するＸ軸水準センサと、前記物体の
水平Ｙ軸方向の水平度を検出するＹ軸水準センサと、前
記物体の底面と設置する床との距離を検出する変位セン
サと、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準センサまたは
前記変位センサの検出信号に基づいて前記ハイトアジャ
スタの物体からの突出長さを調整する高さ調整機構とを
具備することを特徴とする設置高さ調整付き物体。4. An object with installation height adjustment having a plurality of adjustable height adjusters, comprising: an X-axis level sensor for detecting the levelness of the object in the horizontal X-axis direction; and an object for measuring the horizontal Y-axis direction of the object. A Y-axis level sensor that detects the levelness, a displacement sensor that detects the distance between the bottom surface of the object and the floor to be installed, and the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor or the detection signals of the displacement sensor based on the detection signals. An object with an installation height adjustment, comprising: a height adjusting mechanism for adjusting a protruding length of the height adjuster from the object.
サは水準器と水準器の気泡を検出する複数の並んだ水準
センサとからなり、前記Ｘ軸水準センサおよびＹ軸水準
センサのそれぞれの水準センサのＯＮ，ＯＦＦ状態に基
づいて所定のハイトアジャスタが制御されることを特徴
とする請求項４記載の設置高さ調整付き物体。5. The X-axis level sensor and the Y-axis level sensor are composed of a level and a plurality of aligned level sensors for detecting bubbles in the level, and the respective levels of the X-axis level sensor and the Y-axis level sensor. The object with installation height adjustment according to claim 4, wherein a predetermined height adjuster is controlled based on the ON / OFF state of the sensor.
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|---|---|---|---|
| JP12460495A JP3555785B2 (en) | 1995-05-24 | 1995-05-24 | Object with installation height adjustment |
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|---|---|
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Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
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| JP2012163479A (en) * | 2011-02-08 | 2012-08-30 | Nec Corp | Device and control method for the same |
| CN103141187A (en) * | 2013-03-27 | 2013-06-12 | 江苏大学 | Electromechanical-type leveling device of seedling raising precision planter on farms |
| JP2017073538A (en) * | 2015-10-08 | 2017-04-13 | 東京エレクトロン株式会社 | Horizontal installation apparatus, and horizontal installation method for object to be installed |
| CN114353311A (en) * | 2022-02-15 | 2022-04-15 | 深圳市创辉业金属材料有限公司 | Air conditioning unit base capable of achieving self-balancing adjustment |
-
1995
- 1995-05-24 JP JP12460495A patent/JP3555785B2/en not_active Expired - Fee Related
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| CN114353311A (en) * | 2022-02-15 | 2022-04-15 | 深圳市创辉业金属材料有限公司 | Air conditioning unit base capable of achieving self-balancing adjustment |
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