JPH08320077A - Check valve provided with filter function - Google Patents
Check valve provided with filter functionInfo
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- JPH08320077A JPH08320077A JP15257295A JP15257295A JPH08320077A JP H08320077 A JPH08320077 A JP H08320077A JP 15257295 A JP15257295 A JP 15257295A JP 15257295 A JP15257295 A JP 15257295A JP H08320077 A JPH08320077 A JP H08320077A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】 本発明は、半導体製造工程等で
使用されるフィルタ機能を有する逆止弁に関するもので
ある。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a check valve having a filter function used in semiconductor manufacturing processes and the like.
【０００２】[0002]
【従来の技術】従来より、半導体製造工程において、ホ
トレジスト加工のエッチング等に腐食性ガスが使用され
ている。ホトレジスト加工（ホトレジスト塗布、露光、
現像、エッチング）は、半導体製造工程において腐食性
ガスの種類を変えて複数回繰り返されるため、実際の半
導体製造工程では、複数種類の腐食ガスを必要に応じて
供給するガス供給のためのマスフローユニットが使用さ
れている。マスフローユニットとは、本出願人らが特開
平６−２４１４００号で提案したガス供給装置である。
すなわち、マスフローユニットには、流量を正確に計測
するためのマスフローコントローラと、マスフローコン
トローラ内に腐食性ガス等の供給ガスを残留させないた
めにマスフローコントローラの前後に設けられる入口開
閉弁、出口開閉弁、及びパージ弁が一体化されている。2. Description of the Related Art Conventionally, corrosive gases have been used for etching in photoresist processing in semiconductor manufacturing processes. Photoresist processing (photoresist application, exposure,
(Development and etching) are repeated multiple times by changing the type of corrosive gas in the semiconductor manufacturing process. Therefore, in the actual semiconductor manufacturing process, a mass flow unit for supplying multiple types of corrosive gas as needed. Is used. The mass flow unit is a gas supply device proposed by the present applicants in JP-A-6-241400.
That is, in the mass flow unit, a mass flow controller for accurately measuring the flow rate, an inlet on-off valve, an outlet on-off valve provided before and after the mass flow controller to prevent supply gas such as corrosive gas from remaining in the mass flow controller, And the purge valve is integrated.
【０００３】図３に従来のマスフローユニットを示す。
入口開閉弁４３、パージ弁４２、マスフローコントロー
ラ４１、及び図示しない出口開閉弁によりマスフローユ
ニットが構成されている。ここで、パージ弁４２は、マ
スフローコントローラ内に残留する供給ガスを排除する
ための置換ガスである窒素ガスを供給するためのもので
ある。従って、パージ弁４２の入口ポートは、図４のパ
ージブロック２２、パージパイプ２３、逆止弁２１を介
して、パージガス共通流路２４に接続している。ここ
で、管路上に逆止弁２１を取り付けているのは、腐食ガ
ス等である供給ガスが、パージガス共通流路２４に逆流
するのを防止するためである。腐食ガスがパージガス共
通流路２４に逆流した場合に、パージガス共通流路２４
の内部が腐食され、パーティクルが発生する恐れがある
からである。FIG. 3 shows a conventional mass flow unit.
The inlet opening / closing valve 43, the purge valve 42, the mass flow controller 41, and the outlet opening / closing valve (not shown) constitute a mass flow unit. Here, the purge valve 42 is for supplying nitrogen gas which is a replacement gas for eliminating the supply gas remaining in the mass flow controller. Therefore, the inlet port of the purge valve 42 is connected to the purge gas common flow path 24 via the purge block 22, the purge pipe 23, and the check valve 21 of FIG. Here, the check valve 21 is attached to the pipe line to prevent the supply gas such as the corrosive gas from flowing back to the purge gas common flow path 24. When the corrosive gas flows back into the purge gas common flow path 24, the purge gas common flow path 24
This is because there is a risk that the inside will be corroded and particles will be generated.
【０００４】逆止弁２１の構造を図４に断面図で示す。
これは、実公平３−５９７、実公平３−５９８で開示さ
れている逆止弁である。外周に雄ネジが形成された雄ネ
ジ本体２５と、内周に雌ネジが形成された雌ネジ本体２
６とがネジ部で締結されている。雄ネジ本体２５と雌ネ
ジ本体２６とで形成される中空部には、樹脂製のガイド
２７が固設されている。ガイド２７の内側には、ピスト
ン弁体２８が摺動可能に嵌合されている。また、雄ネジ
本体２５の段部には、弾性体からなる弁座３０が固設さ
れている。弁座３０の中心孔は、入力ポート３１に連通
している。ピストン弁体２８には、弁座３０と当接して
流路を遮断する弁体部２８ａが形成されている。ピスト
ン弁体２８の中空部には、弁体部２８ａが弁座３０に当
接する方向にピストン弁体２８を付勢する復帰バネ２９
が装着されている。また、雌ネジ本体２６の中心には、
出力ポート３２が穿設されている。The structure of the check valve 21 is shown in a sectional view in FIG.
This is the check valve disclosed in Jpn. Pat. Appln. 3-597 and Jpn. 3-598. Male screw body 25 having male threads formed on the outer periphery and female screw body 2 having female threads formed on the inner periphery
6 and 6 are fastened together with a screw portion. A resin guide 27 is fixedly provided in a hollow portion formed by the male screw body 25 and the female screw body 26. A piston valve body 28 is slidably fitted inside the guide 27. Further, a valve seat 30 made of an elastic body is fixed to the stepped portion of the male screw body 25. The center hole of the valve seat 30 communicates with the input port 31. The piston valve body 28 is formed with a valve body portion 28 a that comes into contact with the valve seat 30 and blocks the flow path. In the hollow portion of the piston valve body 28, a return spring 29 that urges the piston valve body 28 in a direction in which the valve body portion 28 a contacts the valve seat 30.
Is installed. Further, in the center of the female screw body 26,
The output port 32 is provided.
【０００５】次に、上記構成を有する逆止弁２１の作用
を説明する。出力ポート３２の下流に付設されているパ
ージ弁４２が開かれると、出力ポート３２内の窒素ガス
がパージ弁４２に流れ、出力ポート３２の圧力が低下す
る。そして、入力ポート３１の圧力により、復帰バネ２
９が押し戻されてピストン弁体２８が右方向に移動し、
弁体部２８ａが弁座３０から離間する。これにより、窒
素ガスが弁座３０、ピストン弁体２８に形成された側面
孔２８ｂ、ピストン弁体２８の中空部を通って、出力ポ
ート３２へ流れる。Next, the operation of the check valve 21 having the above structure will be described. When the purge valve 42 attached downstream of the output port 32 is opened, the nitrogen gas in the output port 32 flows into the purge valve 42, and the pressure of the output port 32 drops. Then, due to the pressure of the input port 31, the return spring 2
9 is pushed back, the piston valve body 28 moves to the right,
The valve body portion 28a is separated from the valve seat 30. As a result, the nitrogen gas flows to the output port 32 through the valve seat 30, the side surface hole 28b formed in the piston valve body 28, and the hollow portion of the piston valve body 28.
【０００６】ここで、出力ポート３２側で窒素ガスが逆
流しようとする場合、逆流してきた窒素ガスにより、ピ
ストン弁体２８が左方向に付勢され、弁体部２８ａが弁
座３０に当接して窒素ガスの逆流を遮断する。次に、パ
ージ弁４２が閉じられると、出力ポート３２内の窒素ガ
スの圧力が高まり、復帰バネ２９によりピストン弁体２
８が左方向に付勢され、弁体部２８ａが弁座３０に当接
して窒素ガスの流れを遮断する。Here, when the nitrogen gas tries to flow backward at the output port 32 side, the piston valve body 28 is biased leftward by the backflowing nitrogen gas, and the valve body portion 28a abuts the valve seat 30. Shut off the reverse flow of nitrogen gas. Next, when the purge valve 42 is closed, the pressure of the nitrogen gas in the output port 32 increases, and the return spring 29 causes the piston valve element 2 to move.
8 is biased to the left, and the valve body portion 28a abuts the valve seat 30 to shut off the flow of nitrogen gas.
【０００７】[0007]
【発明が解決しようとする課題】しかしながら、従来の
逆止弁２１には次のような問題点があった。すなわち、
ピストン弁体２８がガイド２７と接触しながら摺動する
ため、摺動する部分からパーティクルが発生する問題が
あった。そして、発生したパーティクルは、窒素ガスと
共にマスフローコントローラ４１内に侵入し、マスフロ
ーコントローラ４１内の細管を詰まらせる等のトラブル
が発生する恐れがあった。また、逆止弁２１を取り付け
るためにパージパイプ２３等を接続しているが、パイプ
を接続するための溶接部でパーティクルが発生する問題
があった。However, the conventional check valve 21 has the following problems. That is,
Since the piston valve body 28 slides while contacting the guide 27, there is a problem that particles are generated from the sliding portion. Then, the generated particles enter the mass flow controller 41 together with the nitrogen gas, and there is a possibility that troubles such as clogging of the thin tubes in the mass flow controller 41 may occur. Further, although the purge pipe 23 and the like are connected to attach the check valve 21, there is a problem that particles are generated at a welded portion for connecting the pipe.
【０００８】本発明は、上記した問題点を解決するもの
であり、パージガスである窒素ガスの中にパーティクル
を含ませる恐れのない逆止弁を提供することを目的とす
る。The present invention is intended to solve the above-mentioned problems, and an object of the present invention is to provide a check valve in which nitrogen gas as a purge gas is not likely to contain particles.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に、本発明のフィルタ機能付逆止弁は、以下の様な構成
を有している。 （１）流路上に形成された弁座と、流体が順方向に流れ
るとき該弁座と離間して流体を通過させ、流体が逆方向
に流れようとするとき該弁座と当接して流体を遮断する
弁体と、弁体を弁座に当接する方向に付勢する復帰バネ
とを有する逆止弁であって、フィルタ材料から成り一端
に開口部を備える中空筒形状の弁本体と、弁本体の開口
部に形成された弁座と、弁座と当接または離間する弁体
を備え弁本体に摺動可能に嵌合されたピストン弁体と、
弁座と連通する入力ポートと、弁本体の中空筒の側面に
形成された出力ポートとを有している。In order to achieve this object, the check valve with a filter function of the present invention has the following structure. (1) A valve seat formed on the flow path, and when the fluid flows in the forward direction, the valve seat is separated from the valve seat to allow the fluid to pass therethrough. A check valve having a valve body for shutting off the valve body and a return spring for urging the valve body in the direction of abutting against the valve seat, the valve body being made of a filter material and having a hollow cylindrical shape having an opening at one end, A valve seat formed in the opening of the valve body, and a piston valve body slidably fitted to the valve body, which includes a valve body that abuts or separates from the valve seat,
It has an input port communicating with the valve seat and an output port formed on the side surface of the hollow cylinder of the valve body.
【００１０】（２）（１）に記載するものにおいて、前
記弁本体が、前記出力ポートが形成された第一流路ブロ
ックに穿設された孔に嵌合して固定され、前記弁座が、
前記第一ブロックと着脱可能で前記入力ポートが形成さ
れた第二ブロックに備えられていることを特徴とする。 （３）（１）または（２）に記載するものにおいて、前
記弁座が、前記弁本体と一体的に連結されていることを
特徴とする。(2) In the structure described in (1), the valve body is fitted and fixed in a hole formed in the first flow path block in which the output port is formed, and the valve seat is
The second block is detachable from the first block and has the input port formed therein. (3) In the structure described in (1) or (2), the valve seat is integrally connected to the valve body.
【００１１】[0011]
【作用】上記の構成を有する本発明のフィルタ機能付逆
止弁のピストン弁体は、流体が順方向に流れるとき、弁
本体の中空部内を、流体の圧力により復帰バネに抗して
弁体が弁座と離間する方向に移動する。これにより、入
力ポートにある流体が弁体と弁座との隙間を通って出力
ポートへ流れる。また、ピストン弁体は、流体が逆方向
に流れようとするとき、弁本体の中空部内を、流体の圧
力により弁体が弁座と当接する方向に移動する。これに
より、入力ポートと出力ポートとは遮断される。ここ
で、復帰バネは、ピストン弁体を弁体が弁座に当接する
方向に常に付勢している。これにより、流体が一定圧力
以下の場合には、弁体は弁座に当接し入力ポートと出力
ポートとを遮断している。The piston valve body of the check valve with a filter function according to the present invention having the above-described structure is such that when the fluid flows in the forward direction, the valve body resists the return spring by the pressure of the fluid in the hollow portion of the valve body. Moves in a direction away from the valve seat. As a result, the fluid in the input port flows to the output port through the gap between the valve body and the valve seat. When the fluid tries to flow in the opposite direction, the piston valve body moves in the hollow portion of the valve body in the direction in which the valve body abuts the valve seat due to the pressure of the fluid. As a result, the input port and the output port are cut off. Here, the return spring constantly urges the piston valve body in a direction in which the valve body comes into contact with the valve seat. As a result, when the pressure of the fluid is below a certain pressure, the valve element abuts the valve seat and shuts off the input port and the output port.
【００１２】入力ポートと出力ポートとの間には、弁本
体を構成するフィルタが存在するので、入力ポート及び
ピストン弁体の摺動部から出力ポートへ流れる流体は、
必ずフィルタを通過する。そのため、摺動部で発生した
パーティクルはフィルタにより除去され、出力ポートに
パーティクルが流れ込むことが防止される。また、逆止
弁全体がパージ弁を取り付ける第一流路ブロックに組み
込まれているので、パイプ等でパーティクルが発生する
ことがない。また、入力ポート及び弁座が第二流路ブロ
ックに形成されており、弁座が弁本体とかしめ加工によ
り一体的に連結されているので、第一流路ブロックを第
二流路ブロックから取り外すことにより、容易にフィル
タ全体を交換することができる。Since the filter which constitutes the valve body exists between the input port and the output port, the fluid flowing from the sliding portion of the input port and the piston valve body to the output port is
Be sure to pass the filter. Therefore, the particles generated in the sliding portion are removed by the filter, and the particles are prevented from flowing into the output port. Moreover, since the entire check valve is incorporated in the first flow path block to which the purge valve is attached, particles are not generated in the pipe or the like. Further, since the input port and the valve seat are formed in the second flow path block, and the valve seat is integrally connected to the valve body by caulking, the first flow path block should be removed from the second flow path block. Thus, the entire filter can be easily replaced.
【００１３】[0013]
【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例である逆
止弁について、図面を参照して説明する。図１にフィル
タ付逆止弁１１の構造を、パージ弁ブロック１５に組み
込まれた状態で示す。また、図２にフィルタ付逆止弁１
１の構造を分解斜視図で示す。第一流路ブロックである
パージ弁ブロック１５に穿設された孔に、セラミック、
ステンレス等の材質からなるフィルタ弁本体１２が嵌合
されている。フィルタ弁本体１２は、図２に示すよう
に、一端に開口部を有する中空筒形状をしている。フィ
ルタ弁本体１２の中空部には、ピストン弁体１３が摺動
可能に嵌合している。ピストン弁体１３は、フィルタ弁
本体１２と嵌合して摺動するピストン部１３ｂと、弁体
部１３ａとを備えている。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A check valve, which is an embodiment of the present invention, will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 shows the structure of the check valve with filter 11 in a state where it is incorporated in the purge valve block 15. In addition, the check valve with filter 1
The structure of 1 is shown in an exploded perspective view. Ceramics are provided in the holes formed in the purge valve block 15 which is the first flow path block.
A filter valve body 12 made of a material such as stainless steel is fitted. As shown in FIG. 2, the filter valve body 12 has a hollow cylindrical shape having an opening at one end. A piston valve body 13 is slidably fitted in the hollow portion of the filter valve body 12. The piston valve body 13 includes a piston portion 13b that fits and slides on the filter valve body 12, and a valve body portion 13a.
【００１４】弁体部１３ａの上端は開口しており、その
中空部１２ａには、コイルバネである復帰バネ１９が装
着されている。パージ弁ブロック１５は、第二流路ブロ
ックであるパージ共通流路ブロック３５に図示しないボ
ルトにより着脱自在に取り付けられている。パージ共通
流路ブロック３５には、ゴム製の弁座１４が装着されて
いる。本実施例では、弁座１４は、フィルタ弁本体１２
にかしめ加工により連結されている。復帰バネ１９は、
弁体部１３ａが弁座１４に当接する方向にピストン弁体
１３を付勢している。弁座１４の中央孔は、入力ポート
１８を介してパージ用ガスである窒素ガスの共通流路３
４に連通している。フィルタ弁本体１２の側面には、出
力ポート１７が形成されている。一方、パージ弁ブロッ
ク１５の上には、パージ弁４２が取り付けられている。
出力ポート１７は、パージ弁４２の入力ポートに接続し
ている。また、パージ弁４２の出力ポートは、パージ弁
ブロック１５に形成されたパージ流路３３に接続してい
る。The upper end of the valve body portion 13a is open, and a return spring 19 which is a coil spring is mounted in the hollow portion 12a. The purge valve block 15 is detachably attached to the purge common flow path block 35, which is the second flow path block, by a bolt (not shown). A valve seat 14 made of rubber is attached to the purge common flow path block 35. In this embodiment, the valve seat 14 is the filter valve body 12
It is connected by crimping. The return spring 19
The piston valve body 13 is urged in a direction in which the valve body portion 13 a comes into contact with the valve seat 14. The central hole of the valve seat 14 has a common flow path 3 for the nitrogen gas, which is a purging gas, through the input port 18.
It communicates with 4. An output port 17 is formed on the side surface of the filter valve body 12. On the other hand, a purge valve 42 is mounted on the purge valve block 15.
The output port 17 is connected to the input port of the purge valve 42. Further, the output port of the purge valve 42 is connected to the purge flow passage 33 formed in the purge valve block 15.
【００１５】次に、上記構成を有するフィルタ付逆止弁
１１の作用を説明する。パージ弁４２が開かれると、出
力ポート１７内の窒素ガスがパージ弁４２を介してパー
ジ流路３３に流れ、出力ポート１７の圧力が低下する。
そして、入力ポート１８の圧力により、復帰バネ１９が
押し戻されてピストン弁体１３が上方向に移動し、弁体
部１３ａが弁座１４から離間する。これにより、窒素ガ
スが弁座１４、フィルタ弁本体１２が出力ポート１７を
塞ぐ位置にあるフィルタ部１２ａを通過して出力ポート
１７に流れ、さらにパージ弁４２を通ってパージ流路３
３へ流れる。Next, the operation of the check valve with filter 11 having the above structure will be described. When the purge valve 42 is opened, the nitrogen gas in the output port 17 flows into the purge flow path 33 via the purge valve 42, and the pressure of the output port 17 decreases.
Then, the return spring 19 is pushed back by the pressure of the input port 18, the piston valve body 13 moves upward, and the valve body portion 13 a separates from the valve seat 14. As a result, the nitrogen gas flows through the valve seat 14 and the filter portion 12a at the position where the filter valve main body 12 closes the output port 17 to the output port 17, and further passes through the purge valve 42 and the purge flow path 3
Flow to 3.
【００１６】ここで、入力ポート１８と出力ポート１７
との間には、フィルタ弁本体１２を構成するフィルタ部
１２ａが存在するので、入力ポート１８及びピストン弁
体１３のピストン部１３ｂから出力ポート１７へ流れる
流体は、必ずフィルタ部１２ａを通過する。そのため、
摺動部で発生したパーティクルはフィルタ部１２ａによ
り除去され、出力ポート１７にパーティクルが流れ込む
ことが防止される。また、フィルタ付逆止弁１１全体が
パージ弁４２を取り付けるパージ弁ブロック１５に組み
込まれているので、パイプ等でパーティクルが発生する
ことがない。また、入力ポート１８及び弁座１４がパー
ジ共通流路ブロック３５に形成されており、弁座１４が
フィルタ弁本体１２にかしめ加工により連結されている
ので、パージ弁ブロック１５をパージ共通流路ブロック
３５から取り外すことにより、容易にフィルタ付逆止弁
１１全体を交換することができる。Here, the input port 18 and the output port 17
Since the filter portion 12a constituting the filter valve main body 12 exists between and, the fluid flowing from the input port 18 and the piston portion 13b of the piston valve body 13 to the output port 17 always passes through the filter portion 12a. for that reason,
The particles generated at the sliding portion are removed by the filter portion 12a, and the particles are prevented from flowing into the output port 17. Further, since the check valve with filter 11 as a whole is incorporated in the purge valve block 15 to which the purge valve 42 is attached, particles are not generated in the pipe or the like. Further, since the input port 18 and the valve seat 14 are formed in the purge common flow passage block 35 and the valve seat 14 is connected to the filter valve body 12 by caulking, the purge valve block 15 is replaced with the purge common flow passage block. By removing the check valve 35, the entire check valve with filter 11 can be easily replaced.
【００１７】また、出力ポート１７側で窒素ガスが逆流
しようとする場合、逆流してきた窒素ガスにより、ピス
トン弁体１３が下方向に付勢され、弁体部１３ａが弁座
１４に当接して窒素ガスの逆流を遮断する。次に、パー
ジ弁４２が閉じられると、出力ポート１７内の窒素ガス
の圧力が高まり、復帰バネ１９によりピストン弁体１３
が下方向に付勢され、弁体部１３ａが弁座１４に当接し
て窒素ガスの流れを遮断する。Further, when the nitrogen gas is about to flow backward on the output port 17 side, the backflowing nitrogen gas urges the piston valve body 13 downward so that the valve body portion 13a abuts on the valve seat 14. Shut off the reverse flow of nitrogen gas. Next, when the purge valve 42 is closed, the pressure of the nitrogen gas in the output port 17 increases, and the return spring 19 causes the piston valve element 13 to move.
Is urged downward, and the valve body portion 13a abuts the valve seat 14 to shut off the flow of nitrogen gas.
【００１８】以上詳細に説明したように、本実施例のフ
ィルタ付逆止弁１１によれば、フィルタ材料から成り一
端に開口部を備えるフィルタ弁本体１２と、フィルタ弁
本体１２の開口部に形成された弁座１４と、弁座１４と
当接または離間する弁体部１３ａを備えフィルタ弁本体
１２に摺動可能に嵌合されたピストン弁体１３と、弁座
１４と連通する入力ポート１８と、弁本体の中空筒の側
面に形成された出力ポート１７とを有しているので、入
力ポート１８及びピストン弁体１３のピストン部１３ｂ
から出力ポート１７へ流れる流体は、必ずフィルタ部１
２ａを通過するため、摺動部で発生したパーティクルは
フィルタ部１２ａにより除去され、出力ポート１７にパ
ーティクルが流れ込むことが防止される。また、フィル
タ付逆止弁１１全体がパージ弁４２を取り付けるパージ
弁ブロック１５に組み込まれているので、パイプ等でパ
ーティクルが発生することがない。As described above in detail, according to the check valve with filter 11 of this embodiment, the filter valve body 12 is made of the filter material and has the opening portion at one end, and the filter valve body 12 is formed at the opening portion. Piston valve body 13 slidably fitted to the filter valve body 12 and provided with a valve seat 14 and a valve body portion 13a that abuts or separates from the valve seat 14, and an input port 18 that communicates with the valve seat 14. And the output port 17 formed on the side surface of the hollow cylinder of the valve body, the input port 18 and the piston portion 13b of the piston valve body 13 are provided.
The fluid that flows from the
Since the particles pass through 2a, the particles generated at the sliding portion are removed by the filter portion 12a, and the particles are prevented from flowing into the output port 17. Further, since the check valve with filter 11 as a whole is incorporated in the purge valve block 15 to which the purge valve 42 is attached, particles are not generated in the pipe or the like.
【００１９】また、フィルタ弁本体１２が、出力ポート
１７が形成されたパージ弁ブロック１５に穿設された孔
に嵌合して固定され、弁座１４が、パージ弁ブロック１
５と着脱可能で入力ポート１８が形成されたパージ共通
流路ブロック３５に備えられ、かつ弁座１４がフィルタ
弁本体１２にかしめ加工により一体的に連結されている
ので、パージ弁ブロック１５をパージ共通流路ブロック
３５から取り外すことにより、容易にフィルタ付逆止弁
１１を交換することができる。Further, the filter valve body 12 is fitted and fixed in a hole formed in the purge valve block 15 in which the output port 17 is formed, and the valve seat 14 is fixed in the purge valve block 1.
5 is provided in the purge common flow path block 35 that is detachable from and has the input port 18, and the valve seat 14 is integrally connected to the filter valve body 12 by caulking, so the purge valve block 15 is purged. The check valve with filter 11 can be easily replaced by removing it from the common flow path block 35.
【００２０】以上、本発明の一実施例について詳細に説
明したが、本発明は、上記実施例に限定されることな
く、色々に変形実施することが可能である。例えば本実
施例では、弁座１４として弾性体を使用しているが、パ
ージ共通流路ブロック３５に直接形成しても良い。この
場合、ピストン弁体１３を樹脂等で構成しても良い。ま
た、本実施例では、フィルタ弁本体１２とピストン弁体
１３とを直接摺動させているが、フィルタ弁本体１２と
ピストン弁体１３との間に別のガイド部材を有していて
も良い。Although one embodiment of the present invention has been described in detail above, the present invention is not limited to the above embodiment, and various modifications can be made. For example, in this embodiment, an elastic body is used as the valve seat 14, but it may be directly formed in the purge common flow path block 35. In this case, the piston valve body 13 may be made of resin or the like. Although the filter valve body 12 and the piston valve body 13 are directly slid in this embodiment, another guide member may be provided between the filter valve body 12 and the piston valve body 13. .
【００２１】[0021]
【発明の効果】以上説明したことから明かなように、本
発明のフィルタ機能付逆止弁によれば、フィルタ材料か
ら成り一端に開口部を備える弁本体と、弁本体の開口部
に形成された弁座と、弁座と当接または離間する弁体を
備え弁本体に摺動可能に嵌合されたピストン弁体と、弁
座と連通する入力ポートと、弁本体の中空筒の側面に形
成された出力ポートとを有しているので、入力ポート及
びピストン弁体のピストン部から出力ポートへ流れる流
体は、必ずフィルタ部を通過するため、摺動部で発生し
たパーティクルはフィルタ部により除去され、出力ポー
トにパーティクルが流れ込むことが防止される。As is apparent from the above description, according to the check valve with a filter function of the present invention, the valve body is made of the filter material and has the opening portion at one end, and the valve body is formed in the opening portion of the valve body. Valve seat, a piston valve body that is slidably fitted to the valve body and has a valve body that contacts or separates from the valve seat, an input port that communicates with the valve seat, and a side surface of the hollow cylinder of the valve body. Since it has a formed output port, the fluid flowing from the input port and the piston part of the piston valve body to the output port always passes through the filter part, so particles generated in the sliding part are removed by the filter part. As a result, particles are prevented from flowing into the output port.
【図１】本発明の一実施例であるフィルタ付逆止弁１１
をパージ弁ブロック１５に取り付けた状態を示す断面図
である。FIG. 1 is a check valve with a filter 11 according to an embodiment of the present invention.
FIG. 4 is a cross-sectional view showing a state in which is attached to a purge valve block 15.
【図２】フィルタ付逆止弁１１の分解斜視図である。FIG. 2 is an exploded perspective view of a check valve with a filter 11.
【図３】従来の逆止弁をマスフローユニットに取り付け
た状態を示す斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state in which a conventional check valve is attached to a mass flow unit.
【図４】従来の逆止弁の構造を示す断面図である。FIG. 4 is a cross-sectional view showing the structure of a conventional check valve.
１１ フィルタ付逆止弁 １２ フィルタ弁本体 １２ａ フィルタ部 １３ ピストン弁体 １３ａ 弁体部 １３ｂ ピストン部 １４ 弁座 １５ パージ弁ブロック １７ 出力ポート １８ 入力ポート １９ 復帰バネ ３５ パージ共通流路ブロック 11 Check Valve with Filter 12 Filter Valve Body 12a Filter Section 13 Piston Valve Body 13a Valve Body Section 13b Piston Section 14 Valve Seat 15 Purge Valve Block 17 Output Port 18 Input Port 19 Return Spring 35 Purge Common Channel Block
Claims (3)
向に流れるとき該弁座と離間して流体を通過させ、流体
が逆方向に流れようとするとき該弁座と当接して流体を
遮断する弁体と、弁体を弁座に当接する方向に付勢する
復帰バネとを有する逆止弁において、 フィルタ材料から成り一端に開口部を備える中空筒形状
の弁本体と、 前記弁本体の開口部に形成された弁座と、 前記弁座と当接または離間する弁体を備え、前記弁本体
に摺動可能に嵌合されたピストン弁体と、 前記弁座と連通する入力ポートと、 前記弁本体の中空筒の側面に形成された出力ポートとを
有することを特徴とするフィルタ機能付逆止弁。1. A valve seat formed on a flow path, which separates from the valve seat when the fluid flows in the forward direction and allows the fluid to pass therethrough, and contacts the valve seat when the fluid tries to flow in the reverse direction. A check valve having a valve body that shuts off the fluid by a valve and a return spring that urges the valve body in the direction of abutting against the valve seat, and a hollow cylindrical valve body made of a filter material and having an opening at one end, A piston valve body, which includes a valve seat formed in an opening of the valve body, a valve body that abuts or separates from the valve seat, and is slidably fitted to the valve body, and communicates with the valve seat. A check valve with a filter function, the check valve having an input port and an output port formed on a side surface of the hollow cylinder of the valve body.
ロックに穿設された孔に嵌合して固定され、 前記弁座が、前記第一ブロックと着脱可能で前記入力ポ
ートが形成された第二ブロックに備えられていることを
特徴とするフィルタ機能付逆止弁。2. The valve body according to claim 1, wherein the valve main body is fitted and fixed in a hole formed in a first flow path block in which the output port is formed, and the valve seat is A check valve with a filter function, which is provided in a second block that is detachable from the first block and in which the input port is formed.
において、 前記弁座が、前記弁本体と一体的に連結されていること
を特徴とするフィルタ機能付逆止弁。3. The check valve with a filter function according to claim 1 or 2, wherein the valve seat is integrally connected to the valve body.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP15257295A JP2742399B2 (en) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | Check valve with filter function |
Applications Claiming Priority (1)
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|---|---|---|---|
| JP15257295A JP2742399B2 (en) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | Check valve with filter function |
Publications (2)
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|---|---|
| JPH08320077A true JPH08320077A (en) | 1996-12-03 |
| JP2742399B2 JP2742399B2 (en) | 1998-04-22 |
Family
ID=15543416
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP15257295A Expired - Fee Related JP2742399B2 (en) | 1995-05-25 | 1995-05-25 | Check valve with filter function |
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| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2742399B2 (en) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| KR100735911B1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-07-04 | 주식회사 영원코퍼레이션 | Apparatus for supplying water |
| KR20210016029A (en) * | 2018-07-11 | 2021-02-10 | 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 | Modular hydraulic control housing |
| CN114963234A (en) * | 2022-06-29 | 2022-08-30 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | Ignition device of semiconductor process equipment and semiconductor process equipment |
-
1995
- 1995-05-25 JP JP15257295A patent/JP2742399B2/en not_active Expired - Fee Related
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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| KR100735911B1 (en) * | 2006-04-07 | 2007-07-04 | 주식회사 영원코퍼레이션 | Apparatus for supplying water |
| KR20210016029A (en) * | 2018-07-11 | 2021-02-10 | 콘티넨탈 테베스 아게 운트 코. 오하게 | Modular hydraulic control housing |
| US11702057B2 (en) | 2018-07-11 | 2023-07-18 | Continental Teves Ag & Co. Ohg | Modular hydraulic control housing |
| CN114963234A (en) * | 2022-06-29 | 2022-08-30 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | Ignition device of semiconductor process equipment and semiconductor process equipment |
| CN114963234B (en) * | 2022-06-29 | 2024-05-17 | 北京北方华创微电子装备有限公司 | Ignition device of semiconductor process equipment and semiconductor process equipment |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JP2742399B2 (en) | 1998-04-22 |
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