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JPH08306080A - Information recording medium and its mold - Google Patents

Information recording medium and its mold

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Publication number
JPH08306080A
JPH08306080A JP12925895A JP12925895A JPH08306080A JP H08306080 A JPH08306080 A JP H08306080A JP 12925895 A JP12925895 A JP 12925895A JP 12925895 A JP12925895 A JP 12925895A JP H08306080 A JPH08306080 A JP H08306080A
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JP
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Patent type
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recording
grooves
guide
parts
land
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Pending
Application number
JP12925895A
Other languages
Japanese (ja)
Inventor
Noriyuki Arakawa
Shin Masuhara
慎 増原
宣之 荒川
Original Assignee
Sony Corp
ソニー株式会社
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Publication date

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Abstract

PURPOSE: To maintain the good transfer state of a recording surface in spite of narrowing a track pitch and to make it possible to deal more than sufficiently with high-density recording and to easily and rapidly make duplication.
CONSTITUTION: This information recording medium has guide grooves 4 and land parts 5 adjacent to these guide grooves. Recording is executed on the guide grooves 4 or/and the land parts 5. The ratio (L/G) of the width L of the land parts 5 and the width G of the guide grooves 4 is 0.47 to 2.0.
COPYRIGHT: (C)1996,JPO

Description

【発明の詳細な説明】 DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION

【0001】 [0001]

【産業上の利用分野】本発明は、情報記録媒体(例えば、書換え可能な光磁気ディスク)及びその成形型に関するものである。 The present invention relates to an information recording medium (e.g., a rewritable optical disk) relates and a mold.

【0002】 [0002]

【従来の技術】レーザビームを用いて情報の書込み、消去及び読出しを行うことができるいわゆる書換え可能の光ディスクとして、MO(Magnet optical recording) Writing information using BACKGROUND ART laser beam, as so-called rewritable optical disks capable of erasing and reading, MO (Magnet optical recording)
方式やMD(Mini disc)と称される光磁気ディスク又は相変化型の消去可能ディスクでは、グルーブと称されるトラッキングをとるための案内溝が作り込まれており、 The method and MD (Mini disc) called magneto-optical disk or phase-change erasable disc has been fabricated guide groove for taking tracking termed groove,
場合によっては信号ピット(例えばアドレスピット)も形成されている。 Sometimes the signal pits (e.g. address pits) are also formed.

【0003】これらの案内溝やピットは、それぞれの規格で幅や深さが定められているが、ランド部の幅Lとグルーブの幅Gとの比(L/G)はいずれのディスクでも [0003] These guide grooves or pits, the width and depth in the respective standards have been established, the ratio between the width L and the width G of the groove of the land portion (L / G) is at any of the disk
2.0を超え、ランド部を広くとっている。 2.0 beyond, are taking widely lands. しかも、グルーブの深さはλ/7〜λ/9(λ:入射光の波長)であり、ピットの深さがλ/4であるのに比べて1/2程度と浅くしている。 Moreover, the depth of the groove is λ / 7~λ / 9: a (lambda the wavelength of incident light), the depth of the pit is shallow as about 1/2 as compared to a lambda / 4.

【0004】このように、ランド部を広くとるのは、ディスクの作製時に複製用型として用いられるスタンパーにおいて、ランド部に対応する凹部(溝)を広くすることによって、転写し易くするためである。 [0004] Thus, the wider land portion, in the stamper used as a stamper at the time of manufacturing the disc, by widening the recess (groove) corresponding to the land portion, is to facilitate the transfer . また、グルーブを浅くするのは、転写性の問題もあるが、本来トラッキング用であるために浅くても(即ち、光出力が小さくても)差支えないとされているからである。 Further, to shallow the groove, there is a transfer of the problem, be shallow to be originally used for tracking because there is a (i.e., light output is small even) permissible not.

【0005】こうした光ディスクを複製するには、CD [0005] To duplicate these optical disks, CD
(Compact disc)の複製条件と基本的には同じであるが、CDにはない書込み及び読出しの機能のために、規格もさることながら、ディスク基板の複製には一層厳しい条件が要求されている。 Although the copy condition essentially of (Compact while discs) are the same, because of the not write and read function to CD, even more than standard, are more stringent conditions required for the replication of the disc substrate .

【0006】しかしながら、記録密度が増加した光ディスクでは、トラックピッチは 1.6μm以下と狭くなり、 However, in the optical disc recording density is increased, the track pitch is narrowed and 1.6μm or less,
ランド部又はグルーブのいずれかへの記録のみならず、 Not only the recording to any of the land portion or groove,
ランド部及びグルーブの両方へ記録することも行われている。 It is also made possible to record to both land portion and the groove. このような高密度ディスクでは、グルーブ深さが上記した如くピットの半分程度と浅い形状であると、トラッキング信号が十分に得られず、クロストークやジッター等が生じ易いという問題がある。 In such high-density disks, the groove depth is about half the shallow shape of the pit as described above, the tracking signal is not sufficiently obtained, is liable crosstalk and jitter or the like occurs.

【0007】これを避けるために、グルーブ深さをピット深さと同等にした場合には、トラックピッチの狭小化に対応してランド部幅とグルーブ幅の比(L/G)を小さくすると、ランド部に対応するスタンパーの凹部(溝)の幅が小さくなってしまい、この凹部内に樹脂が充填され難くなってランド部の転写性が不良となり易い。 [0007] To avoid this, when the groove depth equal to the pit depth and corresponds to narrowing of the track pitch to reduce the ratio of the land portion width and the groove width (L / G), Land the width of the recess of the stamper (groove) corresponding to the part becomes small, easy transferability of the land portion becomes a resin is hardly filled in the inside concave portion becomes poor. これは、特に射出成形により転写する際に顕著に生じる。 This occurs particularly conspicuously when transferred by injection molding.

【0008】この転写不良の問題は、溶融樹脂が幅の狭い深い溝には完全に充填しないために生じるが、これを解決するには金型温度を高くして樹脂の流動性を高めることが考えられるが、単に金型温度を上げても転写を満足に行えない。 [0008] The problem with this transfer failure, but occurs because the molten resin is not completely filled in the narrow deep grooves width, that by raising the mold temperature to solve this enhances the fluidity of the resin conceivable, but not be satisfactorily transferred even simply raising the mold temperature.

【0009】 [0009]

【発明が解決しようとする課題】本発明の目的は、ランド部又は/及び案内溝に記録を行う媒体として、トラックピッチを狭くしても記録面の転写状態が良好であり、 SUMMARY OF THE INVENTION It is an object of the present invention, as a medium for recording on a land portion or / and guide grooves, even by narrowing the track pitch was good transfer state of the recording surface,
高密度記録に十二分に対応でき、しかも複製が容易かつ短期間に可能となる情報記録媒体(特に光ディスク等の光学的情報記録媒体)と、その製造に使用される成形型を提供することにある。 Can handle more than enough for high density recording, yet replication may easily and short time to become the information recording medium (particularly an optical information recording medium such as an optical disk), to provide a mold used in its production It is in.

【0010】 [0010]

【課題を解決するための手段】本発明者は、上記の如き問題の解決について鋭意検討を重ねた結果、ランド部と案内溝の形状及びサイズについて両者間に特定の関係が充たされれば、意外にも、トラックピッチの狭小化及び記録の高密度化に十分に対応できると共に記録面の転写状態が著しく向上することを見出し、本発明に到達したものである。 Means for Solving the Problems The present inventor has conducted extensive study for solving the above-mentioned problems, if satisfied that a particular relationship between them the shape and size of the guide groove and the land portion , surprisingly, found that the transfer state of the recording surface can be significantly improved with sufficiently accommodate high density of the narrowing and recording track pitch is one that has reached the present invention.

【0011】即ち、本発明は、案内溝とこの案内溝に隣接したランド部とを有し、前記案内溝又は/及び前記ランド部に記録が行われる情報記録媒体において、前記ランド部の幅Lと前記案内溝の幅Gとの比(L/G)が0. [0011] Namely, the present invention includes a land portion adjacent to the guide groove and the guide groove in the guide grooves or / and the information recording medium in which recording is performed on the land portion, the width L of the land portion the ratio of the width G of the guide groove (L / G) is 0.
47〜2.0 であることを特徴とする情報記録媒体に係るものである。 Those of the information recording medium, which is a 47-2.0.

【0012】本発明の情報記録媒体によれば、上記のランド部及び案内溝の幅の比(L/G)が0.47〜2.0 と特定範囲に限定されることが、本発明の目的を達成する上で必須不可欠である。 According to the information recording medium of the present invention, the ratio of the width of the land portion and the guide groove (L / G) it is limited to a specific range and from 0.47 to 2.0 is, to achieve the object of the present invention essential essential is above. このL/Gは0.50以上がよく、0. The L / G is often equal to or greater than 0.50, 0.
60以上が更によく、1.80以下がよく、1.60以下が更によい。 60 or better, good 1.80, further it is 1.60.

【0013】これに反し、従来のようにL/Gが 2.0を超えると、転写状態は良好ではあるが、ランド幅が大きすぎて相対的にトラックピッチが拡大し、全体としての記録容量が減少し、高密度記録に適さない。 [0013] Contrary to this, if as in the conventional L / G exceeds 2.0, although the transcriptional state is as good, the land width is too large to expand relatively track pitch, the recording capacity as a whole decreases and, not suitable for high-density recording. また、これとは逆に、L/Gが小さすぎると、特に0.47未満になると、高密度記録の点では良いが、複製時の転写不良によって記録面の転写状態が悪くなってしまう。 Further, on the contrary, when L / G is too small, especially less than 0.47, but good in terms of high-density recording, transfer state of the recording surface deteriorates by at replication defective transfer.

【0014】本発明の情報記録媒体においては、案内溝がランド部の高さと同等の深さを有し、これらの案内溝又はランド部の幅が0.35〜0.7 μmであることが、上記した転写性を良好に保持する上で望ましい。 [0014] In the information recording medium of the present invention, the guide groove has a height equal to the depth of the land portion, that the width of these guide grooves or land portion is 0.35-0.7 [mu] m, and the transfer desirable for good retention sex.

【0015】そして、案内溝が信号ピットと同等の深さに形成されていると、案内溝を十分に深くでき、そこからの光出力を大きくしてトラッキング信号等を良好にとることができ、クロストークやジッター等を防止することができる。 [0015] Then, when the guide groove is formed on the signal pits equal depth, the guide groove can be sufficiently deep, to increase the light output therefrom can take a good tracking signal or the like, it is possible to prevent the cross talk and jitter and the like.

【0016】また、高密度記録のためにトラックピッチが 1.6μm以下であるのが望ましい。 Further, the track pitch for high-density recording is desirably at 1.6μm or less. そして、記録面にはグルーブと信号ピットとが混在するか或いはプリグルーブが存在しており、トラッキング信号等を十分にとるためにはグルーブ深さがλ/4〜λ/9(λ:入射光の波長)であるのがよい。 Then, the recording surface is present or pre-groove and the groove and the signal pits are mixed, in order to take a tracking signal or the like to sufficiently groove depth is λ / 4~λ / 9 (λ: incident light good in the range of wavelengths).

【0017】本発明の情報記録媒体は、実際には光ディスクとして構成されるが、その作製(複製)時には溶融樹脂のガラス転移点(Tg)が金型面側で低下して成形され、それ以外の領域のTgよりも低くなる独得の層構造をなしている。 The information recording medium of the present invention, is actually configured as an optical disk, a manufacturing (replication) sometimes a glass transition point of the molten resin (Tg) of the molding decreased in mold surface, otherwise It forms a Dokutoku layer structure is lower than the region Tg. 即ち、このような情報記録媒体は、案内溝及びランド部が存在する側における表面領域のガラス転移点が、前記表面領域以外の領域のガラス転移点より低くなっている。 That is, such an information recording medium has a glass transition point of the surface area on the side where the guide groove and a land portion exists is lower than the glass transition point of the region other than the surface region.

【0018】本発明はまた、本発明の情報記録媒体を製造するのに使用される成形型として、前記ランド部に対応する凹又は凸部の幅L'と前記案内溝に対応する凸又は凹部の幅G'との比(L'/G')が0.47〜2.0(好ましくは0.50以上、更には0.60以上がよく、また好ましくは1.80以下、更には1.60以下がよい。)であることを特徴とする、情報記録媒体(特に光ディスク)の成形型も提供するものである。 [0018] The present invention also provides a mold used to produce the information recording medium of the present invention, concave or corresponding to the land portion convex or concave corresponding to the width L 'and the guide groove of the protrusion 'ratio of (L' width G of / G ') is from 0.47 to 2.0 (preferably 0.50 or more, more often at least 0.60, and preferably 1.80 or less, more good than 1.60.) characterized in that it is that the mold of the information recording medium (particularly an optical disk) is also intended to provide.

【0019】この成形型においても、上記したと同様の理由から、案内溝に対応する凸又は凹部が、ランド部に対応する凹又は凸部の深さ又は高さと同等の高さ又は深さで、0.35〜0.7 μmの幅に形成されていること、案内溝に対応する凸又は凹部が、信号ピットに対応する凸又は凹部と同等の高さ又は深さに形成されていることが望ましい。 [0019] In this mold, for the same reason as described above, the convex or concave portions corresponding to the guide groove, concave or corresponding to the land portion equivalent to the depth or height of the convex portion in the height or depth , be formed in a width of from .35 to 0.7 [mu] m, the convex or concave portions corresponding to the guide groove, it is preferably formed to a height or depth equivalent to convex or concave corresponding to the signal pit.

【0020】また、この成形型は、トラックピッチが [0020] In addition, the mold, the track pitch
1.6μm以下であり、グルーブと信号ピットとが混在するか或いはプリグルーブが存在しており、グルーブ深さがλ/4〜λ/9(λ:入射光の波長)である情報記録媒体を製造するのに使用されることが望ましい。 And at 1.6μm or less, the grooves and the signal pits are present or pre-groove coexist, the groove depth is λ / 4~λ / 9: producing the information recording medium is (lambda the wavelength of incident light) it is desirable to be used for.

【0021】 [0021]

【実施例】以下、本発明の実施例を説明する。 EXAMPLES Hereinafter, an embodiment of the present invention.

【0022】図1〜図26は、本発明を光ディスクに適用した各種の実施例を示すものである。 [0022] FIGS. 26 shows various examples in which the present invention is applied to an optical disc.

【0023】図1〜図4に示す光ディスク1は、例えばMOやMD等の如く情報の書込み、消去及び読出しを行える書換え可能なものであって、プラスチック等の光学的に透明なディスク基板2の情報記録面3に、グルーブ又はプリグルーブ(案内溝)4とランド部5とをディスク半径方向に交互に所定ピッチで形成されている。 The optical disk 1 shown in FIGS. 1-4, for example, writing as information such as MO or MD, be those rewritable capable of performing erasing and reading, such as plastics optically transparent disk substrate 2 on the information recording surface 3 is formed at a predetermined pitch alternately grooves or pre-groove and (guide groove) 4 and the land portion 5 in the radial direction of the disk. グルーブ4とは光入射側からみて凹部、ランド部5とは光入射側からみて凸部になっている形状部分である(以下、 The groove 4 recessed portion when viewed from the light incident side, and the land portion 5 is a shaped part that is a protrusion when viewed from the light incident side (hereinafter,
同様)。 The same).

【0024】そして、所定のランド部5には、深さλ/ [0024] and, in a given land portion 5, depth λ /
4(λ:入射光6の波長)のアドレスピット7が形成されており、グルーブ4はアドレスピット7と同等の深さに形成されている。 4: are the address pits 7 (lambda the wavelength of the incident light 6) is formed, the grooves 4 are formed on the same depth and address pits 7.

【0025】なお、図示省略したが、この光ディスク1 [0025] Although not shown, the optical disk 1
が光磁気ディスクとして構成される場合は、記録面3には、TbFeCo等の磁性膜、紫外線硬化樹脂の保護膜が形成されている。 If is configured as a magneto-optical disk, the recording surface 3, the magnetic film such as TbFeCo, protective film of the ultraviolet curable resin is formed.

【0026】光磁気ディスクとしては、光磁気信号はグルーブ4内又はランド部5に記録され、グルーブ4に沿ってレーザビーム6を照射することにより、連続的にトラッキングサーボをかけながら記録又は再生等の操作を行い得るようになっている。 The magneto-optical disk, a magneto-optical signal is recorded in the groove 4 in or land portion 5, by irradiating the laser beam 6 along the groove 4, a recording or reproducing or the like while applying the continuous tracking servo which is adapted to be carried out of the operation.

【0027】この場合、サーボ信号は、レーザビーム6 [0027] In this case, the servo signal, a laser beam 6
が照射されるグルーブ4とランド部5との戻り光量の差に基づいて得ている。 There has been obtained based on the difference of the return light quantity of the groove 4 and the land portion 5 to be irradiated. このため、グルーブ4とランド部5の形状は、本来の記録信号とサーボ信号とが十分に得られるような形になっている。 Therefore, the shape of the groove 4 and the land portion 5 is in the form such that the original recording signal and a servo signal obtained sufficiently.

【0028】ここに示されたプリグルーブ入り光ディスクの規格としては、具体的には次の通りであってよい。 [0028] As the standard of the pre-groove containing an optical disc shown here, in particular may be as follows. MO:ISO/IEC 10089 (130mm),ISO/IE MO: ISO / IEC 10089 (130mm), ISO / IE
C 10090 (3.5インチ) MD:レインボーブック C 10090 (3.5 inch) MD: Rainbow Book

【0029】ここで注目すべきことは、本発明に基づいて、ランド部5の幅Lとグルーブ4の幅Gとの比(L/ [0029] It should be noted here that, in accordance with the present invention, the ratio of the width G of the width L and the groove 4 of the land portion 5 (L /
G)が0.47〜2.0 と特定範囲に設定されていることである。 G) is that it is set to a specific range and from 0.47 to 2.0. この場合の「幅」とは、図4に明示するように、 As this is the "width" of the case, clearly shown in FIG. 4,
(逆)台形状の凹部又は凸部の上底と下底との和の1/ The sum of the upper base and the lower base of the concave or convex portion of the (inverse) trapezoidal 1 /
2、即ち、L又はG=(W 1 +W 2 )/2の平均値とする(以下、同様)。 2, i.e., L or G = (W 1 + W 2 ) / 2 of the average value to (the same applies hereinafter).

【0030】このように、L/Gを特定範囲に設定することによって、次の如き顕著な効果を得ることができる。 [0030] Thus, by setting the L / G within a specific range, it can be obtained following such remarkable effects.

【0031】(1)ランド部5又はグルーブ4への記録において、トラックピッチを狭めても(特に 1.6μm以下と小さくしても)、十分な転写が得られ、信号圧縮技術との組み合わせにより5〜6倍の記録密度を達成できる。 [0031] (1) In recording of the land portion 5 or the grooves 4, (be smaller especially 1.6μm or less) narrowed even when the track pitch, a sufficient transfer is obtained, in combination with signal compression technology 5 the 6-fold recording density can be achieved.

【0032】(2)これまでの光ディスクのピットやグルーブが凸形状のスタンパーでしか成形できなかったが、凹形状のスタンパーでも支障なしに成形できることになり、各トラックが個別に分離されたディスクリートトラック型のハードディスクメディア等への転用が可能となる。 [0032] (2) Although the previous optical disk pits and grooves can not be formed only by a stamper having a convex shape, will be able molded without problem even in concave shape of the stamper, discrete tracks each track is separated individually diversion to the type of hard disk media, such as it is possible.

【0033】(3)CD等のROMディスクの高密度化のみならず、これまではメタルマスターかスタンパーでのみ可能であったのに対し、マザースタンパーでの成形も可能となり、納期短縮等の効果を期待できる。 [0033] (3) not only the high density of the ROM disk such as a CD, whereas it was possible only in the stamper or metal master ever, also enables molding in a mother stamper, the effect of the delivery time, etc. It can be expected. CDでは、スタンパーの複製で大量生産が可能となる。 In the CD, it is possible to mass production in the stamper of replication.

【0034】次に、これらの効果を図5〜図9に示すディスク製造プロセスに沿って更に詳細に説明する。 [0034] will now be described in detail with these effects in the disk manufacturing process shown in FIGS. 5-9.

【0035】まず、図5(A)のように、ガラス原板8 [0035] First, as shown in FIG. 5 (A), the glass original plate 8
の表面にフォトレジスト9をスピンコート法等で一様に塗布した後、カッティングシステムによって例えばHe After uniformly coating a photoresist 9 by spin coating or the like on the surface of, the cutting system such as He
−Cdレーザからのカッティングビームをカッティング信号で変調し、変調されたビームをフォトレジスト9に選択的に照射し、更に現像処理を経て、所定のパターンにフォトレジスト9を残す。 The cutting beam from -Cd laser modulated by cutting signal, selectively irradiating the modulated beam on the photoresist 9, further through the development process, leaving a photoresist 9 into a predetermined pattern. こうして原盤(マスター) Thus master (Master)
を作製する。 The to produce.

【0036】即ち、残されたレジスト9において、凸部9aが上記したランド部5に、凹部9bが上記したグルーブ4に対応している。 [0036] That is, in the resist 9 left, the land portion 5 in which the convex portion 9a described above, the concave portion 9b corresponds to the groove 4 described above. そして、凸部9aには、上記したアドレスピット7に対応したピット9cが形成される。 Then, the convex portions 9a, pits 9c corresponding to address pits 7 described above is formed.

【0037】次いで、図示は省略したが、フォトレジスト9を含む全面に無電解めっき、真空蒸着法又はスパッタ法によって金属膜を被着する。 [0037] Then, although not shown, an electroless plating on the entire surface including the photoresist 9, depositing a metal film by vacuum deposition or sputtering. この金属膜は、レジストの凹凸形状に追随した凹凸形状を呈している。 The metal film and has a follow the uneven shape on the resist concave-convex shape.

【0038】次いで、図5(A)に一点鎖線で示すように全面に電気めっきをかけ、例えばニッケルめっき層10 [0038] Then, over the entire surface electroplating as shown by a chain line in FIG. 5 (A), for example, a nickel plating layer 10
を被着する。 The deposited. そして、このめっき層を剥離して図5 Then, 5 is peeled off the plating layer
(B)に示すメタルマスター10を作製する。 To produce a metal master 10 shown in (B). このメタルマスター10は、その凹凸面には、グルーブ4とランド部5及びピット7にそれぞれ対応した凸部10a、凹部10 The metal master 10 is in its concavo-convex surface, a groove 4 and a land portion 5 and the convex portions 10a respectively corresponding to the pit 7, the concave portion 10
b、10cが形成されたものである。 b, in which 10c is formed.

【0039】次いで、図5(B)に一点鎖線で示すように全面に電気めっきをかけ、例えばニッケルめっき層11 [0039] Then, over the entire surface electroplating as shown by a chain line in FIG. 5 (B), for example, a nickel plated layer 11
を被着する。 The deposited. そして、このめっき層を剥離して図5 Then, 5 is peeled off the plating layer
(C)に示すマザースタンパー11を作製する。 Preparing a mother stamper 11 as shown in (C). このマザースタンパー11は、その凹凸面には、グルーブ4とランド部5及びピット7にそれぞれ対応した凹部11a、凸部 The mother stamper 11, Its uneven surface, the grooves 4 and the land portion 5 and the corresponding depressions 11a in the pit 7, the projecting portions
11b、11cが形成されたものである。 11b, in which 11c is formed.

【0040】次いで、図5(C)に一点鎖線で示すように全面に電気めっきをかけ、例えばニッケルめっき層12 [0040] Then, over the electroplating on the entire surface as shown by a chain line in FIG. 5 (C), for example, a nickel plating layer 12
を被着する。 The deposited. そして、このめっき層を剥離して図6 Then, 6 and peeling the plated layer
(A)に示すスタンパー12を作製する。 Making a stamper 12 shown in (A). このスタンパー The stamper
12は、その凹凸面には、グルーブ4とランド部5及びピット7にそれぞれ対応した凸部12a、凹部12b、12cが形成されたものである。 12, in its uneven surface, in which the convex portions 12a respectively corresponding to the groove 4 and the land portion 5 and pits 7, recesses 12b, 12c are formed.

【0041】次いで、図6(A)に一点鎖線で示すようにスタンパー12の凹凸面上に所定の樹脂2を射出成形(又はプレス成形)した後、図6(B)に示すように剥離してディスク基板2を作製する。 [0041] Then, after injection molding predetermined resin 2 on the uneven surface of the stamper 12, as shown by the dashed line (or press forming) in FIG. 6 (A), detached as shown in FIG. 6 (B) to produce a disk substrate 2 Te. この基板2は、図1 The substrate 2 is, FIG. 1
及び図2に示したものであり、グルーブ4とランド部5 And have the meanings indicated in FIG. 2, the grooves 4 and lands 5
及びピット7がそれぞれスタンパー12から転写によって形成されている。 And pits 7 are formed by a transfer from the stamper 12, respectively.

【0042】そして、図示省略したが、必要に応じて、 [0042] and, although not shown, if necessary,
ディスク基板2の転写凹凸面に磁性膜、保護膜、反射膜等を積層し、光ディスク1を完成する。 Magnetic film transfer uneven surface of the disc substrate 2, a protective film, laminating the reflective film or the like, thereby completing the optical disc 1.

【0043】上記したディスク製造プロセスによって本発明に基づく光ディスク1を作製するために、成形型としてのスタンパー12において、ランド部5に対応した凹部12bの幅L'とグルーブ4に対応した凸部12aの幅G'との比(L'/G')をディスク基板2でのL/G [0043] To produce an optical disk 1 according to the present invention by the disk fabrication process, the stamper 12 as a mold, the convex portions 12a corresponding width L of the recess 12b corresponding to the land portions 5 'and the groove 4 L / G 'ratio of (L' width G of / G ') of the disc substrate 2
に一致した0.47〜2.0 に設定している(図6(B)参照)。 It is set to 0.47 to 2.0 to match (see FIG. 6 (B)). ここでのL'及びG'の定義は、上記したL及びGと同様に、(逆)台形状の上底と下底との和の1/2 Defined herein of L 'and G', as in the above L and G, 1/2 of the sum of the upper base and the lower base of the (inverse) trapezoidal
の平均値とする。 And the average value.

【0044】L'/G'が0.47〜2.0 に特定されたスタンパー12を用いることによって、スタンパー12の凹部12 [0044] L '/ G' is by using a stamper 12 that were identified from 0.47 to 2.0, the concave portion 12 of the stamper 12
bが十分な幅を有している(L'/G'が0.47以上である)ために、ランド部5の転写を良好に行える。 b To have a sufficient width (L '/ G' is 0.47 or more), excellently perform the transfer of the land portion 5.

【0045】これは、図8に示すように、スタンパー12 [0045] This is because, as shown in FIG. 8, the stamper 12
を用いて射出成形等でディスク基板を成形する際、一点鎖線で示す溶融樹脂13が各凸部12aを乗り越えて各凹部 When molding the disc substrate by injection molding or the like using, each recess passes over the molten resin 13 shown by a one-dot chain line of each protrusion 12a
12b内に十分に入り込むように流動し、凹部12bにおいても良好に転写し、ランド部5が忠実に形成されるためである。 Flow so as to enter fully into the 12b, also satisfactorily transferred in the recess 12b, it is because the land portion 5 is faithfully formed. なお、凸部12aや12dについては、成形時に樹脂13中に突入することになるため、本質的にその形状は転写し易いものであり、得られたグルーブ4やピット7 Note that the convex portions 12a and 12d, because that will plunge into the resin 13 at the time of molding, essentially the shape are those easy to transfer the groove 4 obtained or pits 7
の形状(特に底部側)は忠実に再現される。 Shape (in particular the bottom side) is faithfully reproduced.

【0046】しかしながら、L'/G'が0.47未満であってスタンパー12の凹部12bの幅が狭すぎると、図7 [0046] However, if the width of the L '/ G' is less than 0.47 recess 12b of the stamper 12 is too narrow, 7
(A)に一点鎖線で示すように、狭い凹部12b内に樹脂 As shown by a chain line (A), the resin within a narrow recess 12b
13が成形時の加圧によっても完全に充填されなくなる。 13 will not be completely filled by pressure during molding.
この結果、図7(A)のようにはディスク基板2が作製されないで、図7(B)に示すように、得られたランド部5の高さが低くなったり、そのエッジの形状がくずれ易くなる。 As a result, not manufactured disk substrate 2 as in FIG. 7 (A), as shown in FIG. 7 (B), or lower the height of the resulting land portion 5, the collapsed shape of the edge easily. これでは、記録情報の読出しや書込みに支障が生じてしまう。 In this, trouble occurs in the reading or writing of recorded information.

【0047】このような問題が生じる原因は、図9に示すように、流動する溶融樹脂13が幅の狭すぎる凹部12b The cause of such problems, as shown in FIG. 9, the recess 12b molten resin 13 flowing too narrow width
内に完全に入り込めなくなるからである。 This is because not completely impenetrable within.

【0048】上記したように、本発明に基づくディスク基板2及びこれを用いた光ディスク1は、トラックピッチを 1.6μm以下と小さくして高密度化を図る場合でも、上記のL/G=0.47〜2.0 という特定の関係を記録面の凹凸形状に付与していることから、十分な転写形状を有したものとなっており、また従来の5〜6倍の高記録密度にも十分に対応できるものとなる。 [0048] As described above, the optical disk 1 using the disk substrate 2 and which according to the invention, even if with the track pitch as small as 1.6μm or less increase the density, the above L / G = 0.47~ since it is assigned a particular relationship to the uneven shape of the recording surface of 2.0, has a one having a sufficient transfer shape, but also a high recording density of the conventional 5-6 times can respond sufficiently to become.

【0049】また、グルーブ4の深さはランド部5の高さ及びアドレスピット7の深さと同等としているので、 [0049] In addition, since the depth of the grooves 4 are equal to the depth of the height and the address pits 7 of the land portion 5,
十分に深くなっており、そこからの光出力が大となり、 Has become sufficiently deep, the light output from there becomes large,
トラッキングサーボを良好に行うこともできる。 It is also possible to perform tracking servo well.

【0050】また、使用するスタンパー12の転写面の凹凸形状、即ち、L'/G'=0.47〜2.0 の如き凹凸形状は、スタンパー12以外のメタルマスター10やマザースタンパー11においても同様に形成されている。 [0050] Moreover, uneven shape of the transfer surface of the stamper 12 to be used, i.e., such as unevenness of L '/ G' = 0.47~2.0 is formed also in the metal master 10 and the mother stamper 11 except stamper 12 ing. 従って、図1及び図2、図6(B)に示したディスク基板2を複製するには、上記したようにスタンパー12からの転写によって可能であるが、メタルマスター10からの転写で直接成形することも勿論可能である。 Thus, FIGS. 1 and 2, to duplicate the disk substrate 2 shown in FIG. 6 (B) are possible by transcription from the stamper 12 as described above, molding directly transfer from the metal master 10 it is of course also possible.

【0051】なお、これまでの光ディスクでは、グルーブやピットはスタンパーの凸部の転写によって形成していたが、本発明に基づく上記のL'/G'の特定範囲を充たしさえすれば、スタンパーの凹部も十分に転写できる。 [0051] In the previous optical disk, but the grooves or pits have been formed by the transfer of the convex portions of the stamper, as long satisfies the specific range of the above L '/ G' in accordance with the present invention, the stamper recesses can be sufficiently transferred. 従って、そうした凹部の転写でグルーブやピット(これらは図6(B)のものとは断面形状が逆となる。)を形成でき、また、ディスクリートトラック型のディスク等にも転用可能である。 Therefore, grooves and pits (these. The cross-sectional shape is opposite to that of FIG. 6 (B)) in the transfer of such recesses can be formed, also, it is also transferable to the discrete track disk or the like of.

【0052】この意味では、図5(C)に示したマザースタンパー11から直接ディスク基板を成形することができる。 [0052] In this sense, it can be molded directly disk substrate from the mother stamper 11 shown in FIG. 5 (C). この場合は、グルーブやピットは図6(B)とは逆形状になるが、マザースタンパー11において、グルーブに対応する凸部11bの幅G'とランド部に対応する凹部11aの幅L'とをL'/G'=0.47〜2.0 とすれば、 In this case, the grooves and pits are reversed shape and FIG. 6 (B), the in mother stamper 11, the width G of the convex portions 11b corresponding to the groove and 'the width L of the recessed portion 11a corresponding to the land portion' Invite them to the L '/ G' = 0.47~2.0,
上記したと同様の理由から凹部11a内に樹脂が十分に充填されるため、凹凸形状を良好に転写することができる。 Since the resin is sufficiently filled in the recess 11a for the same reason as described above, it is possible to satisfactorily transfer the uneven shape.

【0053】このように、マザースタンパー11からの成形が可能となるから、ディスク基板の作製に要する期間を短縮でき、量産性が向上することになる。 [0053] Thus, since it is possible to mold from the mother stamper 11, it can reduce the period required for fabrication of the disk substrate, will improve the mass productivity.

【0054】図10及び図11は、他の光ディスク21を例示するものである。 [0054] FIGS. 10 and 11 illustrate the other optical disc 21.

【0055】この例による光ディスク21は、CD等の高密度ディスクとして、プラスチック等の光学的に透明なディスク基板22の情報記録面23に、グルーブ(案内溝) [0055] the optical disc 21 according to this example, as a high-density disc such as a CD, on the information recording surface 23 of the optically transparent disc substrate 22 such as plastic, the groove (guide groove)
24とランド部25とをディスク半径方向に交互に所定のピッチで形成されている。 It is formed at a predetermined pitch and 24 and land portion 25 alternately in the radial direction of the disk. アルミニウム等の光反射膜は図示省略した。 Light reflection film such as aluminum (not shown).

【0056】そして、所定のランド部5には、深さλ/ [0056] and, in a given land portion 5, depth λ /
4又はλ/6(λ:入射光6の波長)の信号ピット27が形成されており、グルーブ24はピット27と同等の深さに形成されている。 4 or lambda / 6: are the signal pits 27 (lambda the wavelength of the incident light 6) is formed, a groove 24 is formed in the same depth and the pit 27.

【0057】記録信号はピット27として記録され、グルーブ24に沿ってレーザビーム6を照射することにより、 [0057] recording signal is recorded as pits 27, by irradiating the laser beam 6 along the groove 24,
連続的にトラッキングサーボをかけながら再生操作を行い得るようになっている。 While continuously applying a tracking servo is adapted to be subjected to playback operation. この場合、サーボ信号は、レーザビーム6が照射されるグルーブ24とランド部25との戻り光量の差に基づいて得ている。 In this case, the servo signal is obtained based on the difference of the return light quantity of the groove 24 and the land portion 25 where the laser beam 6 is irradiated.

【0058】ここに示されたCDの規格は、CD Recor [0058] CD of the standard shown here, CD Recor
dable :オレンジブックであってよい。 dable: may be in the Orange Book.

【0059】ここで注目すべきことは、本発明に基づいて、ランド部25の幅Lとグルーブ24の幅Gとの比(L/ [0059] It should be noted here that, in accordance with the present invention, the ratio of the width G of the width L and the groove 24 of the land portion 25 (L /
G)が0.47〜2.0 と特定範囲に設定されていることである。 G) is that it is set to a specific range and from 0.47 to 2.0.

【0060】このように、L/Gを特定範囲に設定することによって、上述した例と同様の顕著な効果を得ることができる。 [0060] Thus, by setting the L / G within a specific range, it is possible to obtain a remarkable effect similar to the above example.

【0061】図12には、光ディスク21を成形する際に使用するスタンパー32を示す。 [0061] Figure 12 illustrates a stamper 32 used when forming the optical disc 21. このスタンパー32には、光ディスク21のグルーブ24に対応する凸部32aと、ランド部25に対応する凹部32bと、ピット27に対応する凸部32 The stamper 32, the convex portions 32a corresponding to the groove 24 of the optical disk 21, and the recess 32b corresponding to the land portion 25, the convex portion 32 corresponding to the pit 27
dとがそれぞれ形成されている。 And a d are formed.

【0062】そして、凹部32bの幅L'と凸部32aの幅G'との比(L'/G')が0.47〜2.0 に設定されており、スタンパー32から転写されたディスク基板22のランド部25の幅Lとグルーブ24の幅Gとの比がL/G=0.47 [0062] Then, is set to the ratio of the width L of the recess 32 b 'and the width G of the convex portions 32a' and (L '/ G') is from 0.47 to 2.0, the lands of the disk substrate 22 which has been transferred from the stamper 32 the ratio of the width G of the width L and the groove 24 of the part 25 is L / G = 0.47
〜2.0 となる。 A 2.0.

【0063】この場合も、スタンパー32においてL'/ [0063] In this case also, in the stamper 32 L '/
G'が上記範囲に特定されているため、転写時に溶融樹脂が凹部32b内に十分に充填されることになる。 Since G 'is specified in the above range, the molten resin at the time of transfer is to be sufficiently filled in the recess 32b. ピット pit
27となる凸部32d間は凹部32bに連なる凹部32eが存在しているので、この凹部32eを通しても樹脂が流動し、 Since between the projecting portions 32d to be 27 is present a recess 32e continuous to the recess 32b, the resin to flow even through the recess 32e,
凹部32e内にも十分に充填されると共に、凹部32bへスムーズに入り込むことができる。 While being sufficiently filled in the concave portion 32e, it is possible to enter smoothly into the recess 32b. こうして、良好な転写を再現性良く行うことができる。 Thus, it is possible to perform good transfer with good reproducibility.

【0064】これに反し、上記のL'/G'が小さすぎて0.47未満となれば、図13に示すように凹部32bの幅が狭くなりすぎ、図7で述べたと同様の理由から凹部32b [0064] Contrary to this, the above-mentioned L if '/ G' is accustomed less than too small 0.47, the width of the recess 32b as shown in FIG. 13 becomes too narrow, the recess 32b for the same reason as described in Figure 7
内への樹脂の充填量が不足し、転写不良が生じる。 Insufficient filling of the resin into the inner, transfer failure occurs.

【0065】次に、本実施例による光ディスクを具体例について更に詳細に説明する。 Next, it will be described in more detail a specific example an optical disk according to the present embodiment.

【0066】 例1図1〜図4に示した如き光ディスクの製造において、マスターカッティング時(図5(A))に、ランドとグルーブの幅比(L'/G')を変化させた各種スタンパーが得られるようにカッティングを行い、これらのスタンパーを用いて射出成形により各種ディスク基板を成形した。 [0066] In the manufacture of optical discs such as illustrated in Example 1 1-4, when the master cutting (Fig. 5 (A)), various stamper varying width ratio of the land and the groove of the (L '/ G') perform cutting so obtained was molded various disc substrate by injection molding using these stampers. ディスク基板の成形条件は次の通りであり、下記の表1にディスク半径方向での中心からの位置におけるランド幅/グルーブ幅(L/G)を示す。 Molding conditions of the disk substrate are as follows, showing the land width / groove width at the position from the center in the radial direction of the disc (L / G) in Table 1 below.

【0067】 <ディスク成形条件> 樹脂:帝人化成社製のAD−9000TG (光ディスクグレード、熱可塑性ポリカーボネート系、ガラス転移点 147℃) 射出成形機:日精樹脂社製のCD30E3ASE(光ディスク仕様) 樹脂溶融温度 345 ℃ ディスク冷却時間 16秒 金型表面温度 128 ℃〜133 ℃(可変) [0067] <disk molding conditions> Resin: Teijin Chemicals Ltd. of AD-9000TG (optical disk grade, thermoplastic polycarbonate type, a glass transition point 147 ° C.) injection molding machine: Nissei Resin Co. CD30E3ASE (optical type) resin melting temperature 345 ° C. disk cooling time 16 seconds mold surface temperature of 128 ° C. to 133 ° C. (variable)

【0068】 [0068]

*L/G(=L'/G') * L / G (= L '/ G')

【0069】そして、成形されたディスク基板について、走査型トンネル顕微鏡(以下、STMと称する。) [0069] Then, the disc substrate molded, scanning tunneling microscope (hereinafter referred to as STM.)
によってランド部の形状を観察し、そこでの転写高さ(スタンパーの凹部への樹脂の充填量に相当)を測定した。 Observing the shape of the land portion by, it was measured where transfer height (corresponding to the filling amount of resin into the recesses of the stamper). 結果を図14に示す(但し、スタンパーの凹部の深さは80nm)。 The results are shown in Figure 14 (however, the depth of the concave portion of the stamper 80 nm).

【0070】これによれば、STMでの測定のバラツキを5〜6%分考慮しても、ランド幅/グルーブ幅の比(L/G)が特に 0.5未満であると、転写が著しく劣化するのに対し、L/Gが特に 0.5以上、更には 0.6以上になると、転写量が増大し、転写性が向上することが分かる。 [0070] According to this, even if 5% to 6% amount considering the variations in measurements with STM, the ratio of the land width / groove width (L / G) is in particular less than 0.5, the transfer is significantly deteriorated whereas, L / G is particularly 0.5 or more, more comes to 0.6 or more, the transfer amount is increased, it can be seen that the improved transferability.

【0071】このように、L/Gが転写性を左右することは、本発明者によりはじめて見出されたものであり、 [0071] Thus, the L / G is left transferability are those first found by the present inventors,
L/Gが 0.5付近で転写量が大きく変化するという意外な事実が判明したのである。 L / G is the surprising fact was found that the amount of transcription in the vicinity of 0.5 is greatly changed. 転写量は95%以上(スタンパーの凹部深さ80nmに対し76nm以上)がよいので、L/ Since the transfer amount 95% or more (more 76nm to recess depth 80nm stamper) is good, L /
Gが特に0.50以上、更には0.60以上であることが望ましい。 G particularly 0.50 or more, it is desirable further is 0.60 or more.

【0072】また、金型(スタンパー)温度(金型表面温度:以下、同様)も転写性に影響を与えることも確認された。 [0072] Also, the mold (stamper) Temperature (surface temperature of a die: hereinafter the same) also was also confirmed that influence the transferability. 即ち、図14に示すように、金型温度を上げると転写は改善される傾向があり、金型温度を高くして転写性を向上させることができる。 That is, as shown in FIG. 14, there is a tendency for the transfer and raising the mold temperature is improved, it is possible to mold temperature increased to improve the transferability. この場合は、L/G≧0. In this case, L / G ≧ 0.
60で転写量の安定性が増す。 60 Stability of the transfer amount increases with.

【0073】但し、ディスク表面では、樹脂のオリゴマー(低分子量成分)が浸出するため、樹脂本来のガラス転移点(147℃)は 130〜135 ℃に低下している。 [0073] However, in the disk surface, since the resin oligomer (low molecular weight component) leaching original glass transition point resin (147 ° C.) is reduced to 130 to 135 ° C..

【0074】図15及び図16には、種類の異なるポリカーボネート樹脂について、オリゴマー量(重量%)がディスク基板2の表面領域のうち、20μm以下、特に10μm [0074] 15 and 16, for different types of polycarbonate resins, oligomers amount (wt%) of the surface area of ​​the disc substrate 2, 20 [mu] m or less, particularly 10μm
以下の厚み領域2aにおいて急に増えることが示され、 Been shown to rapidly increase in the following thickness regions 2a,
また、それに対応して表面領域2aのガラス転移点Tg The glass transition point Tg of the surface region 2a in correspondence thereto
が低下していることが示されている(横軸は対数目盛)。 There has been shown to be reduced (the abscissa logarithmic scale). なお、図6(B)においても、そうした低Tgの表面領域2aが転写時に生じた状態を破線で示した。 Also in FIG. 6 (B), the showing a state in which the surface region 2a of such low Tg occurs during the transfer by dashed lines.

【0075】このように、ディスク基板2の表面領域2 [0075] Thus, the surface area 2 of the disk substrate 2
aのTgは、金型温度を図14のようにした場合には金型温度とほぼ同じになる。 Tg of a is substantially the same as the mold temperature when the mold temperature was as shown in Figure 14. このため、ピットやグルーブが変形し易くなる。 For this reason, pits and grooves is easily deformed. 従って、金型温度の妥当な上限は、樹脂のガラス転移点Tgに対応して 130℃近傍(Tgより低い)とすると、転写を良好にする上でランド/グルーブの幅比(L/G)は 0.5付近が下限となり、 0.5以上とするのが望ましいことが分かる。 Thus, a reasonable upper limit of the mold temperature, the corresponds to the glass transition point Tg of the resin to 130 ° C. vicinity (below Tg), the width ratio of the land / groove on to improve the transfer (L / G) becomes lower is around 0.5, it can be seen that desirably 0.5 or more.

【0076】なお、図20(A)は、本発明に基づくディスク基板を 130℃の金型温度で成形したときの転写面のSEM(走査電子顕微鏡)写真を示し、転写が良好であることが分かる。 [0076] Incidentally, FIG. 20 (A) shows the SEM (scanning electron microscope) photograph of the transfer surface when the disk substrate according to the present invention were molded at a mold temperature of 130 ° C., it transfer is good It can be seen. 図20(B)は、金型温度を 120℃として成形したディスク基板の転写面のSEM写真を示すが、ランド高さが低くて転写量が不足しているが、これは金型温度が低いからであると思われる。 FIG. 20 (B) shows a SEM photograph of the transfer surface of the disc substrate formed by molding mold temperature as 120 ° C., although the transfer amount lower land height is insufficient, which has a low mold temperature it is believed to be from.

【0077】また、図21には、上述したSTMによる転写面の観察像を示し、凸部がランド部、凹部がグルーブに相当する。 [0077] Further, FIG. 21 shows an observation image of the transfer surface by the above-described STM, the convex portion is a land portion, the concave portion corresponds to the groove. 図22、図23、図24、図25及び図26は、L/ 22, 23, 24, 25 and 26, L /
Gを種々に変えた場合のSTM像(断面)をそれぞれ示すが、L/Gが大きい方がランド部の形状は良好となるが、L/Gが小さく、図26のような場合(L/G=0.3 Shows STM image when changing a G to various (cross-sectional), respectively, but who L / G is large is the shape of the land portion good, L / G is small, the case as shown in FIG. 26 (L / G = 0.3
7)ではランド部の形状、特にその上面の平坦度がくずれてしまう。 7) The shape of the land portion, thereby especially collapse flatness of the upper surface.

【0078】 例2例1と同様に、ランド部とグルーブ部の幅比(L'/ [0078] Similarly to Example 2 Example 1, the width ratio of the lands and grooves (L '/
G')が各々異なるスタンパーとして例1のものよりもグルーブ(凹部)を40nm深くしたスタンパーを作成し、 G ') is a groove (concave portion) than that of Example 1 creates a 40nm deep stamper as each different stamper,
下記に示す2種類のディスク材料を用い、例1と同様にして対応するディスク基板を射出成形した。 Using two kinds of disks the following materials were injection molded disc substrate corresponding in the same manner as in Example 1. ディスク基板の成形条件は次の通りであり、下記の表2にディスク半径方向での中心からの位置におけるランド幅/グルーブ幅(L/G)を示す。 Molding conditions of the disk substrate are as follows, showing the land width / groove width at the position from the center in the radial direction of the disc (L / G) in Table 2 below.

【0079】 樹脂:(1) ポリカーボネート樹脂 AD−9000TG (帝人化成社製、ガラス転移点 147℃) (2) ゼオネックス樹脂(オレフィン系) 280R (日本ゼオン社製、ガラス転移点 140℃) [0079] Resin: (1) a polycarbonate resin AD-9000TG (Teijin Chemicals Ltd., glass transition point 147 ° C.) (2) Zeonex resin (olefin) 280R (Nippon Zeon Co., Ltd., glass transition point 140 ° C.)

【0080】 [0080]

*L/G(=L'/G') * L / G (= L '/ G')

【0081】そして、成形されたディスク基板について、STMによってランド部の形状を観察し、そこでの転写高さ(スタンパーの凹部への樹脂の充填量に相当) [0081] Then, the disc substrate molded by observing the shape of the land portion by STM, (corresponding to the filling amount of resin into the recesses of the stamper) transfer height therein
を測定した。 It was measured. 結果を図17及び図18に示す(但し、スタンパーの凹部の深さは 120nm)。 The results are shown in FIGS. 17 and 18 (however, the depth of the concave portion of the stamper is 120 nm).

【0082】これによれば、STMでの測定のバラツキを5〜6%分考慮しても、樹脂の種類に依らず、ランド幅/グルーブ幅の比(L/G)が0.47未満であると、転写が著しく劣化するのに対し、L/Gが0.47以上、特に [0082] According to this, even if 5% to 6% amount considering the variations in measurements with STM, regardless of the type of resin, the ratio of the land width / groove width (L / G) is less than 0.47 , whereas transfer is significantly deteriorated, L / G is 0.47 or more, particularly
0.6以上になると、転写量が増大し、転写性が向上することが分かる。 Becomes 0.6 or more, the transfer amount is increased, it can be seen that the improved transferability.

【0083】この場合も、金型温度を高くすると転写性が向上し、L/G≧0.6 で転写量の安定性が増す。 [0083] Also in this case, improves the transferability and a higher mold temperature, the stability of the transfer amount is increased by L / G ≧ 0.6.

【0084】 例3例2と同様のゼオネックス樹脂を用い、金型温度(115 [0084] Using the same ZEONEX resin as Example 3 Example 2, mold temperature (115
℃)をガラス転移点よりも高くした以外は同様にして、 Except ° C.) was higher than the glass transition point in the same manner,
ディスク基板を成形した。 The disk substrate was formed. このディスク基板についてS About this disc substrate S
TMによるランド部の転写を観察したところ、図19に示す結果が得られた。 Observation of the transfer of the land portion by TM, the results shown in FIG. 19 were obtained.

【0085】これによれば、樹脂溶融温度は、全般的に転写性への寄与が低くなっている。 [0085] According to this, the resin melting temperature, the contribution is low to generally transferability.

【0086】以上に示した各例から、射出成形によるグルーブ転写(ランド部の成形)は、スタンパーのグルーブの溝深さの要因は少なく、グルーブ溝の幅に依存していることが明らかである。 [0086] From the examples shown above, the groove transferred by injection molding (molding of the land portion) is, the factors of the groove depth of the stamper groove less, it is clear that depending on the width of the groove groove . 即ち、ランド幅/グルーブ幅の比(L/G)が0.47未満では、転写量が著しく低下するので、L/Gは0.47以上とすべきである。 That is, it is less than the ratio of the land width / groove width (L / G) of 0.47, since the transfer amount is significantly decreased, L / G should be 0.47 or higher.

【0087】このように、L/Gが転写性を左右することは、本発明者によりはじめて見出されたものであり、 [0087] Thus, the L / G is left transferability are those first found by the present inventors,
L/Gが0.47付近で転写量が大きく変化するという意外な事実が判明したのである。 L / G is the surprising fact was found that the amount of transcription in the vicinity of 0.47 varies greatly. 但し、この幅比はあまり大きいと、全体としてのディスクの記録容量が小さくなってしまうので、 2.0以下(好ましくは1.80以下、更には However, this width ratio is too large, the recording capacity of the disk as a whole becomes small, 2.0 or less (preferably 1.80 or less, more
1.60以下)とすべきである。 1.60 or less) that it should be.

【0088】なお、図17と図18のデータを比較すると、 [0088] Incidentally, when comparing the data in FIGS. 17 and 18,
ポリカーボネート樹脂とゼオネックス樹脂とでは、同一金型温度(例えば 130℃)ではゼオネックス樹脂がランド幅/グルーブ幅の比=0.47又はそれ未満でも転写している。 And the polycarbonate resin and ZEONEX resin, the same mold temperature (e.g. 130 ° C.) in Zeonex resin is transferred in a ratio = 0.47 or less of the land width / groove width. これは、ポリカーボネート樹脂とゼオネックス樹脂の樹脂本来のガラス転移点が約10℃異なる(ポリカーボネート樹脂のTg=147 ℃、ゼオネックス樹脂のTg This resin original glass transition temperature of the polycarbonate resin and ZEONEX resin is different about 10 ℃ (Tg = 147 ℃ polycarbonate resin, ZEONEX resin Tg
=140 ℃)ためである。 = It is 140 ° C.) for. 但し、機械特性であるSKEW However, a mechanical properties SKEW
値(反り)は、CDのスペック(0.6度)を越えると光ディスクとして使用できなのいで、これを考慮して、ガラス転移点が低くて熱変形温度が相対的に下がりすぎないような種類の樹脂を選択することが望ましい。 Value (camber) exceeds the specifications (0.6 degree) of the CD Ide of such can be used as an optical disc, in consideration of this type of resin, such as by a low glass transition heat distortion temperature is not too low relatively it is desirable to select.

【0089】一方、ランド(又はグルーブ)の幅は、下記の表3に示すように、例1〜例3ともゾーン1〜9 [0089] On the other hand, the width of the land (or groove), as shown in Table 3 below, Examples 1 to 3 both zones 1-9
(L/G=0.50又はL/G≧0.47)までは0.35μm以上であり、ゾーン10(L/G<0.50、L/G<0.47)では To (L / G = 0.50 or L / G ≧ 0.47) is at 0.35μm or more, the zone 10 (L / G <0.50, L / G <0.47)
0.35μm以下である。 It is 0.35μm or less.

【0090】 [0090]

【0091】ランド幅、即ちスタンパーの溝幅も重要な要因であり、溝幅が狭いだけでも上述した理由から転写は難しくなるので、ランド幅は0.35μm以上、 0.7μm [0091] land width, i.e. stamper groove width is also an important factor, since the groove width alone transfer becomes difficult for the reasons described above narrow, the land width is 0.35μm or more, 0.7 [mu] m
以下とするのがよく、この条件でL/G=0.47〜2.0 を充たすことが望ましい。 Often not more than, it is desirable to meet the L / G = 0.47~2.0 in this condition. これは、フラットな板に彫られた幅狭の溝と幅広の溝とでは、粘性流体が浸入する量が異なり、前者の方が浸入し難いためである。 This is because the narrow groove and a wide groove carved into a flat plate, different amounts viscous fluid intrudes, is because the former is hard to penetrate.

【0092】以上、本発明を実施例について説明したが、上述の実施例は本発明の技術的思想に基づいて更に変形が可能である。 [0092] While the invention has been described embodiment, the above-described embodiments are possible modified based on the technical idea of ​​the present invention.

【0093】例えば、上述した幅比(L/G)を本発明による範囲に設定した条件において、トラックピッチ(望ましくは 1.6μm以下)を種々に変更したり、またグルーブ深さについても、λ/4〜λ/9(λ:入射光の波長)の範囲で変化させてよい。 [0093] For example, in the condition set above width ratio (L / G) in the range of the present invention, to change the track pitch (preferably 1.6μm or less) different, and for even groove depth, lambda / 4~λ / 9: it may vary in the range (lambda the wavelength of incident light).

【0094】また、光ディスクの成形型として、本発明を適用できるものは、スタンパーに限らず、メタルマスターやマザースタンパーでもよい。 [0094] Further, as the mold of the optical disc, which the present invention can be applied is not limited to the stamper, it may be a metal master or mother stamper.

【0095】また、光ディスクの転写面は公知のように、グルーブとピットが混在した上述の例をはじめ、プリグルーブが設けられたMO等に対応する形状を有していてよい。 [0095] Furthermore, the transfer surface of the optical disk, as is known, the above example in which grooves and pits are mixed initially, may have a shape corresponding to the MO like the pre-grooves are provided. 記録は、グルーブとランド部の少なくとも一方に行うことができる。 Recording can be performed on at least one of the groove and the land portion.

【0096】 [0096]

【発明の作用効果】本発明は上述した如く、ランド部の幅Lと案内溝の幅Gとの比(L/G)を0.47〜2.0 と特定しているので、ランド部又は/及びグルーブへの記録において、トラックピッチを狭めても(特に 1.6μm以下と小さくしても)、充分な転写が得られ、信号圧縮技術との組み合わせにより高記録密度を達成できる。 The present invention effects of the Invention As described above, since the ratio of the width G of the width L and the guide groove of the land portion (L / G) specified as 0.47 to 2.0, a land portion or / and to the groove in the recording, (be smaller especially 1.6μm or less) by narrowing the track pitch, sufficient transfer is obtained, a high recording density can be achieved by a combination of signal compression techniques.

【0097】また、凹形状の成形型でも支障なしに媒体を作製できることになり、使用可能な型の範囲を広げることができる。 [0097] Furthermore, it becomes able to produce medium without problem even in concave mold, it is possible to widen the range of available types.

【図面の簡単な説明】 BRIEF DESCRIPTION OF THE DRAWINGS

【図1】本発明に基づく光ディスクの要部の破断拡大斜視図である。 1 is a cutaway enlarged perspective view of a main part of an optical disk according to the present invention.

【図2】同光ディスクの要部の拡大断面図である。 2 is an enlarged sectional view of a main part of the optical disc.

【図3】同光ディスクの概略平面図である。 3 is a schematic plan view of the optical disc.

【図4】同光ディスクの記録面形状を説明するための概略図である。 Figure 4 is a schematic diagram for explaining a recording surface shape of the optical disc.

【図5】同光ディスクの基板の作製方法を工程順に示す要部拡大断面図である。 5 is an enlarged fragmentary cross-sectional views showing a method for producing a substrate for the optical disk in the order of steps.

【図6】同光ディスクの基板の作製方法を工程順に示す要部拡大断面図である。 6 is an enlarged sectional view showing a method for producing a substrate for the optical disk in the order of steps.

【図7】同光ディスクの基板の作製方法を転写不良状態について示す要部拡大断面図である。 7 is an enlarged sectional view showing a transfer failure state substrate manufacturing method of the same optical disk.

【図8】同光ディスクの基板の作製に用いるスタンパーの要部の破断拡大斜視図及び断面図である。 8 is a cutaway enlarged perspective view of a main portion of the stamper and a cross-sectional view for use in the production of a substrate of the same optical disk.

【図9】同光ディスクの基板の作製に用いるスタンパーの要部拡大断面図である。 9 is an enlarged fragmentary cross-sectional view of a stamper used for manufacturing a substrate of the optical disc.

【図10】本発明に基づく他の光ディスクの要部の破断拡大斜視図である。 10 is a cutaway enlarged perspective view of a main part of another optical disc according to the present invention.

【図11】同光ディスクの要部の拡大断面図である。 11 is an enlarged sectional view of a main part of the optical disc.

【図12】同光ディスクの基板の作製に用いるスタンパーの要部の破断拡大斜視図である。 12 is a cutaway enlarged perspective view of a main portion of the stamper used for manufacturing the substrate of the optical disc.

【図13】同光ディスクの基板の作製に用いる他のスタンパーの要部の破断拡大斜視図である。 13 is a cutaway enlarged perspective view of a main part of another stamper for use in manufacturing a substrate of the optical disc.

【図14】光ディスクの基板のランド幅/グルーブ幅の比(L/G)による転写性を示すグラフである。 14 is a graph showing the transfer due to the ratio of the land width / groove width of the substrate of the optical disc (L / G).

【図15】同光ディスクの表面層の厚みとオリゴマー量との関係を示すグラフである。 15 is a graph showing the relationship between the thickness and the oligomer amount of the surface layer of the optical disc.

【図16】同光ディスクの表面層の厚みとガラス転移点(Tg)との関係を示すグラフである。 16 is a graph showing the relationship between the thickness and the glass transition point of the surface layer of the optical disc (Tg).

【図17】他の光ディスクの基板のランド幅/グルーブ幅の比(L/G)による転写性を示すグラフである。 17 is a graph showing the transfer due to the ratio of the land width / groove width of the substrate of another optical disc (L / G).

【図18】他の光ディスクの基板のランド幅/グルーブ幅の比(L/G)による転写性を示すグラフである。 18 is a graph showing the transfer due to the ratio of the land width / groove width of the substrate of another optical disc (L / G).

【図19】更に他の光ディスクの基板のランド幅/グルーブ幅の比(L/G)による樹脂溶融温度と転写性を示すグラフである。 19 is a further graph showing the resin melting temperature and the transfer due to the ratio of the land width / groove width of the substrate of another optical disc (L / G).

【図20】光ディスクの表面の転写状態を示すSEM写真のスケッチ図である。 Figure 20 is a sketch of the SEM photograph showing the transfer state of the surface of the optical disc.

【図21】光ディスクの表面のSTM像である。 Figure 21 is a STM image of the surface of the optical disc.

【図22】光ディスクの表面性を示すグラフである。 22 is a graph showing the surface of the optical disc.

【図23】他の光ディスクの表面性を示すグラフである。 23 is a graph showing the surface of the other optical discs.

【図24】他の光ディスクの表面性を示すグラフである。 FIG. 24 is a graph showing the surface of the other optical discs.

【図25】他の光ディスクの表面性を示すグラフである。 Figure 25 is a graph showing the surface of the other optical discs.

【図26】更に他の光ディスクの表面性を示すグラフである。 26 is a further graph showing the surface of the other optical discs.

【符号の説明】 DESCRIPTION OF SYMBOLS

1・・・光ディスク 2、22・・・基板 2a・・・表面領域 3、23・・・情報記録面 4、24・・・グルーブ 5、25・・・ランド部 6・・・入射光 7、27・・・アドレスピット 8・・・原盤(マスター) 9・・・フォトレジスト 9a、10a、11b、12a、12d、32a、32d・・・凸部 9b、9c、10b、10c、12b、12c、32b・・・凹部 10・・・メタルマスター 11・・・マザースタンパー 12、32・・・スタンパー 13・・・樹脂 G、G'・・・グルーブ幅 L、L'・・・ランド幅 1 ... optical disc 2, 22 ... substrate 2a ... surface region 3, 23 ... information recording surface 4, 24 ... groove 5,25 ... land portion 6 ... incident light 7, 27 ... address pits 8 ... master (master) 9 ... photoresist 9a, 10a, 11b, 12a, 12d, 32a, 32d ··· protrusion 9b, 9c, 10b, 10c, 12b, 12c, 32 b ... recess 10 ... metal master 11 ... mother stamper 12, 32 ... stamper 13 ... resin G, G '... groove width L, L' ... land width

Claims (11)

    【特許請求の範囲】 [The claims]
  1. 【請求項1】 案内溝とこの案内溝に隣接したランド部とを有し、前記案内溝又は/及び前記ランド部に記録が行われる情報記録媒体において、前記ランド部の幅Lと前記案内溝の幅Gとの比(L/G)が0.47〜2.0 であることを特徴とする情報記録媒体。 1. A and a land portion adjacent to the guide groove and the guide groove in the guide grooves or / and the information recording medium in which recording is performed on the land portion, the guide groove and the width L of the land portion information recording medium the ratio of the width G of (L / G) is characterized in that it is a 0.47 to 2.0.
  2. 【請求項2】 案内溝がランド部の高さと同等の深さを有し、これらの案内溝又はランド部の幅が0.35〜0.7 μ 2. A guide groove has a height equal to the depth of the land portion, the width of these guide grooves or land portion .35 to .7 mu
    mである、請求項1に記載した情報記録媒体。 Is m, the information recording medium as claimed in claim 1.
  3. 【請求項3】 案内溝が信号ピットと同等の深さに形成されている、請求項1に記載した情報記録媒体。 3. A guide groove is formed on the signal pits equal depth, the information recording medium as claimed in claim 1.
  4. 【請求項4】 トラックピッチが 1.6μm以下であり、 4. A track pitch is at 1.6μm or less,
    グルーブと信号ピットとが混在するか或いはプリグルーブが存在しており、グルーブ深さがλ/4〜λ/9 The grooves and the signal pits are present or pre-groove coexist, the groove depth is λ / 4~λ / 9
    (λ:入射光の波長)である、請求項1に記載した情報記録媒体。 Is: (lambda the wavelength of incident light), the information recording medium as claimed in claim 1.
  5. 【請求項5】 案内溝及びランド部が存在する側における表面領域のガラス転移点が、前記表面領域以外の領域のガラス転移点より低い、請求項1に記載した情報記録媒体。 5. A guide groove and the glass transition point of the surface area on the side where the land portion is present, below the glass transition point of the region other than the surface area, the information recording medium as claimed in claim 1.
  6. 【請求項6】 光ディスクとして構成された、請求項1 6. configured as an optical disc, according to claim 1
    に記載した情報記録媒体。 Information recording medium according to.
  7. 【請求項7】 案内溝とこの案内溝に隣接したランド部とを有し、前記案内溝又は/及び前記ランド部に記録が行われる情報記録媒体を製造するのに使用される成形型において、前記ランド部に対応する凹又は凸部の幅L' 7. and a land portion adjacent to the guide groove and the guide groove in the guide grooves and / or mold recorded in the land portion is used to produce the information recording medium to be performed, concave or corresponding to the land portion width L of the convex portion '
    と前記案内溝に対応する凸又は凹部の幅G'との比(L'/G')が0.47〜2.0 であることを特徴とする、 The 'ratio of (L' width G of the convex or concave portions corresponding to the guide groove / G ') is characterized in that it is a 0.47 to 2.0 and,
    情報記録媒体の成形型。 Mold information recording medium.
  8. 【請求項8】 案内溝に対応する凸又は凹部が、ランド部に対応する凹又は凸部の深さ又は高さと同等の高さ又は深さで、0.35〜0.7 μmの幅に形成されている、請求項7に記載した成形型。 8. A convex or concave corresponding to the guide grooves, concave or corresponding to the land portion equivalent to the depth or height of the convex portion in the height or depth, are formed in a width of 0.35 to .7 [mu] m , the mold according to claim 7.
  9. 【請求項9】 案内溝に対応する凸又は凹部が、信号ピットに対応する凸又は凹部と同等の高さ又は深さに形成されている、請求項7に記載した成形型。 9. convex or concave corresponding to the guide grooves are formed in a convex or equivalent to the recess height or depth corresponding to the signal pit, the mold according to claim 7.
  10. 【請求項10】 トラックピッチが 1.6μm以下であり、 10. The track pitch is at 1.6μm or less,
    グルーブと信号ピットとが混在するか或いはプリグルーブが存在しており、グルーブ深さがλ/4〜λ/9 The grooves and the signal pits are present or pre-groove coexist, the groove depth is λ / 4~λ / 9
    (λ:入射光の波長)である情報記録媒体を製造するのに使用される、請求項1に記載した成形型。 Used to produce the information recording medium is: (lambda the wavelength of incident light), the mold according to claim 1.
  11. 【請求項11】 光ディスクを製造するのに使用される、 11. are used to manufacture an optical disc,
    請求項1に記載した成形型。 Mold according to claim 1.
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