JPH08298432A - Surface acoustic wave device and antenna branching filter using it - Google Patents
Surface acoustic wave device and antenna branching filter using itInfo
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- JPH08298432A JPH08298432A JP10395495A JP10395495A JPH08298432A JP H08298432 A JPH08298432 A JP H08298432A JP 10395495 A JP10395495 A JP 10395495A JP 10395495 A JP10395495 A JP 10395495A JP H08298432 A JPH08298432 A JP H08298432A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、弾性表面波共振子とイ
ンダクタンス素子とで構成された弾性表面波装置及びこ
の弾性表面波装置を備えたアンテナ分波器に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a surface acoustic wave device composed of a surface acoustic wave resonator and an inductance element, and an antenna duplexer provided with this surface acoustic wave device.
【０００２】[0002]
【従来の技術】弾性表面波装置は、極めて大量に生産さ
れているＬＳＩ（大規模集積回路）と同様に、フォトリ
ソグラフィ技術を応用して製造可能であるので、その量
産性に優れていることから、民生機器や通信機器等で広
範に使用されている。特に、最近では弾性表面波装置の
小形かつ軽量という特徴を活かした応用として、ポケッ
トベル、携帯電話等の移動体通信において、高周波フィ
ルタとして使用されることが多い。2. Description of the Related Art A surface acoustic wave device can be manufactured by applying a photolithography technique like an LSI (Large Scale Integrated Circuit) which is produced in a very large amount, and therefore it is excellent in mass productivity. Therefore, it is widely used in consumer equipment and communication equipment. In particular, recently, as an application that takes advantage of the small size and light weight of the surface acoustic wave device, it is often used as a high frequency filter in mobile communication such as pagers and mobile phones.
【０００３】上記移動体通信で使用される弾性表面波装
置は、特に低損失で急峻な周波数特性が要求されるの
で、ＩＩＤＴ（Interdigitated Interdigital Transduc
ers)型フィルタや弾性表面波共振子を使用して構成され
ている。The surface acoustic wave device used in the above-mentioned mobile communication is required to have a steep frequency characteristic with a particularly low loss. Therefore, the IDT (Interdigitated Interdigital Transducer) is used.
ers) type filters and surface acoustic wave resonators.
【０００４】上記のような弾性表面波共振子を使用して
構成した弾性表面波装置の例として、電子情報通信学会
技術研究報告、ＵＳ９２−５２（１９９２−０９）、第
９頁〜１６頁に記載された技術がある。この技術は、梯
子型フィルタの直列、並列素子に弾性表面波共振子を用
いて、帯域通過型フィルタを構成するものである。ま
た、上記弾性表面波装置に関連した技術として、特開平
６−６９７５０号公報に記載の技術がある。As an example of the surface acoustic wave device constructed by using the surface acoustic wave resonator as described above, see Technical Report of IEICE, US92-52 (1992-09), pp. 9-16. There is a described technology. This technique uses a surface acoustic wave resonator as a series and parallel element of a ladder type filter to form a band pass type filter. Further, as a technique related to the surface acoustic wave device, there is a technique described in JP-A-6-69750.
【０００５】また、他の技術としては、エレクトロニク
スレター、１９８５年、２１巻、２５／２６号、第１２
１１〜１２１２頁（ＥＬＥＣＴＲＯＮＩＣＳ ＬＥＴＴ
ＥＲＳ ５ｔｈ Ｄｅｃｅｍｂｅｒ １９８５，Ｖｏ
ｌ．２１，Ｎｏ．２５／２６，ｐｐ．１２１１〜１２１
２）に記載のように、梯子型フィルタの直列素子にイン
ダクタンスを、並列素子に弾性表面波共振子を用いて、
フィルタを構成する技術がある。As another technique, Electronics Letter, 1985, Volume 21, No. 25/26, No. 12
11-1212 (ELECTRONICS LETT
ERS 5th December 1985, Vo
l. 21, No. 25/26, pp. 1211-121
As described in 2), using an inductance in the series element of the ladder filter and a surface acoustic wave resonator in the parallel element,
There is a technology that constitutes a filter.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】ところで、上述した弾
性表面波装置は、一開口弾性表面波共振子、インダクタ
ンス素子、パッケージ、これらを電気的に接続する配線
ワイヤ等で構成され、例えば、梯子型フィルタの直列素
子に２つのインダクタンス素子を、また並列素子に弾性
表面波共振子を使用して低域通過型フィルタが構成され
る。The surface acoustic wave device described above is composed of a single-aperture surface acoustic wave resonator, an inductance element, a package, a wiring wire for electrically connecting them, and the like, for example, a ladder type. A low-pass filter is constructed by using two inductance elements as series elements of the filter and surface acoustic wave resonators as parallel elements.
【０００７】一開口弾性表面波共振子は、ＬｉＮｂＯ
3、ＬｉＴａＯ3等の圧電性基板の上にすだれ状電極、つ
まり、複数の電極指が形成されたくし状電極が形成され
て構成されている。The single aperture surface acoustic wave resonator is made of LiNbO.
3, a comb-shaped electrode having a plurality of electrode fingers is formed on a piezoelectric substrate made of LiTaO3 or the like.
【０００８】また、インダクタンス素子は、セラミッ
ク、ガラス、有機材料等の誘電体基板の上に、メッキに
よりマイクロストリップ線路を形成して構成される。一
般的には、上記の弾性表面波共振子とインダクタンス素
子は、要求される周波数特性に応じて、梯子形構造に任
意に直列および並列に組み合わされ、所望のフィルタと
して動作するよう構成される。The inductance element is constructed by forming a microstrip line by plating on a dielectric substrate made of ceramic, glass, organic material or the like. Generally, the surface acoustic wave resonator and the inductance element described above are arbitrarily combined in series and in parallel with a ladder structure according to the required frequency characteristics, and are configured to operate as a desired filter.
【０００９】上述した構成では、通過帯域に阻止帯域を
有する低域通過型特性の弾性表面波装置を構成すること
ができる。阻止帯域と高周波域の減衰量は、梯子型フィ
ルタの段数を増すことで増加することができ、要求され
る特性により、適当な段数が選択される。With the above structure, a surface acoustic wave device having a low-pass characteristic having a stop band in the pass band can be formed. The amount of attenuation in the stop band and the high frequency region can be increased by increasing the number of stages of the ladder filter, and an appropriate number of stages is selected according to the required characteristics.
【００１０】弾性表面波装置の応用の一つとして、携帯
電話のアンテナ分波器がある。アンテナ分波器は、送信
側の弾性表面波装置と受信側の弾性表面波装置が並接さ
れて構成され、送信機からの送信信号をアンテナへ、ま
たアンテナからの受信信号を受信機へ分波伝送する働き
をする。送信電力、受信感度等から使用される弾性表面
波装置には、特に低損失であることが要求される。One of the applications of the surface acoustic wave device is an antenna duplexer of a mobile phone. The antenna duplexer is composed of a transmitting surface acoustic wave device and a receiving surface acoustic wave device in parallel, and divides the transmitting signal from the transmitter to the antenna and the receiving signal from the antenna to the receiver. It works to transmit waves. The surface acoustic wave device used for transmission power, reception sensitivity, etc. is required to have a particularly low loss.
【００１１】上記弾性表面波装置の損失には、使用する
インダクタンス素子のインダクタンス値、Ｑ、弾性表面
波共振子の静電容量、コンダクタンス値などが関係し、
これらの値が適正になるように、設計することが重要で
ある。The loss of the surface acoustic wave device is related to the inductance value of the used inductance element, Q, the capacitance of the surface acoustic wave resonator, the conductance value, etc.
It is important to design so that these values are appropriate.
【００１２】例えば、図２０に周波数特性を示した低域
通過型の周波数特性を有する弾性表面波装置の場合、通
過帯域と阻止帯域は、それぞれ同図に示したＴｘ、Ｒｘ
であり、弾性表面波共振子のコンダクタンスは、図２１
に示した周波数特性を示し、阻止帯域Ｒｘは共振周波数
近傍に相当し、通過帯域Ｔｘは共振周波数から離れた高
周波数側に位置する。従って、阻止帯域ではコンダクタ
ンスは大きな値となり、一方、通過帯域では、コンダク
タンスは小さな値となる。For example, in the case of a surface acoustic wave device having a low-pass type frequency characteristic whose frequency characteristic is shown in FIG. 20, the pass band and the stop band are Tx and Rx shown in FIG.
And the conductance of the surface acoustic wave resonator is
The stop band Rx corresponds to the vicinity of the resonance frequency, and the pass band Tx is located on the high frequency side away from the resonance frequency. Therefore, the conductance has a large value in the stop band, while the conductance has a small value in the pass band.
【００１３】弾性表面波装置の通過損失の低減には、弾
性表面波共振子のコンダクタンスを小さくすることが必
要であるが、通過帯域Ｔｘにおけるコンダクタンスを零
にすることはできない。これは、弾性表面波共振子にお
いて、共振周波数では表面波が主として励振されるが、
通過帯域に相当する周波数では、バルクモードの弾性波
が励振され、このため共振周波数から離れているにもか
かわらず、あるコンダクタンスを有するからである。In order to reduce the pass loss of the surface acoustic wave device, it is necessary to reduce the conductance of the surface acoustic wave resonator, but the conductance in the pass band Tx cannot be zero. This is because in the surface acoustic wave resonator, the surface wave is mainly excited at the resonance frequency,
This is because the bulk mode elastic wave is excited at the frequency corresponding to the pass band, and thus has a certain conductance even though it is separated from the resonance frequency.
【００１４】上記コンダクタンスの値は、圧電性基板材
料、すだれ状電極の開口長および電極対数などによって
決まり、通過損失以外の周波数特性の仕様も考慮して、
最適な設計が行われる。The value of the conductance is determined by the material of the piezoelectric substrate, the opening length of the interdigital transducer, the number of electrode pairs, and the like. Considering the specifications of frequency characteristics other than the passage loss,
Optimal design is done.
【００１５】従来、上記弾性表面波装置には、圧電性基
板上に多数対のすだれ状電極が形成された弾性表面波共
振子が使用されている。つまり、幅Ｌの複数の電極指が
互いに間隔３Ｌを有して形成された２つのくし状電極が
あり、これら２つのくし状電極の互いの電極指が交互に
配置され、隣接する電極指と電極指との間隔がＬ（電極
ピッチ２Ｌ）となるように構成された弾性表面波共振子
が使用されている。Conventionally, a surface acoustic wave resonator having a large number of pairs of interdigital electrodes formed on a piezoelectric substrate has been used in the surface acoustic wave device. That is, there are two comb-shaped electrodes in which a plurality of electrode fingers each having a width L are formed with a distance 3L from each other, and the electrode fingers of these two comb-shaped electrodes are alternately arranged, and adjacent electrode fingers are A surface acoustic wave resonator configured so that the distance from the electrode fingers is L (electrode pitch 2L) is used.
【００１６】ところが、弾性表面波共振子は、上述した
ように、均一な電極ピッチ２Ｌで形成されたすだれ状電
極で構成されており、このような電極設計では、通過域
におけるコンダクタンス値を、小さく設計することは限
界に達しており、弾性表面波装置の一層の損失低減が困
難であった。However, the surface acoustic wave resonator is composed of interdigital electrodes formed with a uniform electrode pitch 2L as described above, and in such an electrode design, the conductance value in the pass band is small. The design has reached the limit, and it has been difficult to further reduce the loss of the surface acoustic wave device.
【００１７】通過損失の低減は、上記の例として取り上
げた低域通過型の弾性表面波装置だけでなく、弾性表面
波共振子とインダクタンス素子で構成した帯域通過型の
周波数特性を有する弾性表面波装置の場合についても、
同様に問題となる。Passage loss can be reduced not only by the low-pass surface acoustic wave device taken as an example above, but also by a surface acoustic wave having a band-pass frequency characteristic composed of a surface acoustic wave resonator and an inductance element. As for the device,
It is also a problem.
【００１８】本発明の目的は、通過帯域におけるコンダ
クタンス値を低減し、送信電力の低減及び受信感度の向
上が可能な弾性表面波装置及びそれを用いたアンテナ分
波器を実現することである。An object of the present invention is to realize a surface acoustic wave device capable of reducing a conductance value in a pass band, reducing transmission power and improving receiving sensitivity, and an antenna duplexer using the same.
【００１９】[0019]
【課題を解決するための手段】本発明は、上記目的を達
成するため、次のように構成される。複数の電極指を有
する第１のくし状電極と、この第１の電極の複数の電極
指と交互に配置される複数の電極指を有する第２のくし
状電極とを、少なくとも有し、これら第１及び第２のく
し状電極が圧電性基板上に形成された弾性表面波共振子
と、誘電体基板にマイクロストリップ線路が形成された
インダクタンス素子とで構成された梯子型フィルタ構造
の弾性表面波装置において、第１の電極の電極指と、第
２の電極の電極指とは、複数の異なる電極ピッチを有し
て配置されている。In order to achieve the above object, the present invention is configured as follows. At least a first comb-shaped electrode having a plurality of electrode fingers and a second comb-shaped electrode having a plurality of electrode fingers arranged alternately with the plurality of electrode fingers of the first electrode, An elastic surface of a ladder-type filter structure including a surface acoustic wave resonator having first and second comb-shaped electrodes formed on a piezoelectric substrate and an inductance element having a microstrip line formed on a dielectric substrate. In the wave device, the electrode fingers of the first electrode and the electrode fingers of the second electrode are arranged with a plurality of different electrode pitches.
【００２０】好ましくは、上記弾性表面波装置におい
て、複数の異なる電極ピッチは２種類であり、かつ、２
種類の電極ピッチを交互に有して、第１の電極の電極指
と第２の電極の電極指とが配置されている。また、好ま
しくは、上記弾性表面波装置において、第１の電極の電
極指の幅と、上記第２の電極指の幅とは、互いに異な
る。Preferably, in the surface acoustic wave device, the plurality of different electrode pitches are of two types, and
The electrode fingers of the first electrode and the electrode fingers of the second electrode are arranged with alternating electrode pitches of different types. Further, preferably, in the surface acoustic wave device, the width of the electrode finger of the first electrode and the width of the second electrode finger are different from each other.
【００２１】また、好ましくは、上記弾性表面波装置に
おいて、複数の異なる電極ピッチは３種類以上であり、
かつ、３種類以上の電極ピッチを、所定の順序で周期的
に有して、第１の電極の電極指と第２の電極の電極指と
が配置されている。また、好ましくは、上記弾性表面波
装置において、複数の異なる電極ピッチは２種類であ
り、かつ、一種類の電極ピッチを２回連続した次に他の
電極ピッチとなる電極ピッチの周期を有して、第１の電
極指と第２の電極指とが配置されている。Preferably, in the surface acoustic wave device, the plurality of different electrode pitches are three or more,
Further, the electrode fingers of the first electrode and the electrode fingers of the second electrode are arranged so as to have three or more kinds of electrode pitches periodically in a predetermined order. Further, preferably, in the surface acoustic wave device, the plurality of different electrode pitches are of two types, and the electrode pitch has a cycle in which one type of electrode pitch is continued twice and then another electrode pitch is obtained. Thus, the first electrode finger and the second electrode finger are arranged.
【００２２】また、好ましくは。上記弾性表面波装置に
おいて、複数の異なる電極ピッチは、互いに０．１μｍ
以上の差を有する。また、アンテナ分波器において、上
記弾性表面波装置を、受信用フィルタ及び送信用フィル
タとして使用する。Also preferably. In the surface acoustic wave device, the plurality of different electrode pitches may be 0.1 μm from each other.
It has the above difference. In the antenna duplexer, the surface acoustic wave device is used as a reception filter and a transmission filter.
【００２３】[0023]
【作用】弾性表面波共振子において、第１の電極の電極
指と第２の電極の電極指とが複数の電極ピッチを有する
場合、従来のように均一な電極ピッチで形成された場合
に比べ、同じ電極開口長、かつ同じ電極対数であって
も、共振周波数から離れた周波数における放射コンダク
タンスは小さな値となる。In the surface acoustic wave resonator, when the electrode fingers of the first electrode and the electrode fingers of the second electrode have a plurality of electrode pitches, compared with the conventional case where the electrode fingers are formed with a uniform electrode pitch. , The radiation conductance is small at a frequency away from the resonance frequency even if the electrode opening length is the same and the number of electrode pairs is the same.
【００２４】したがって、本発明が係わる弾性表面波装
置を構成するのに重要な、弾性表面波共振子の静電容量
の値を従来と同一に設計しても、従来の弾性表面波装置
に比べ、通過帯域の損失を低減することができる。Therefore, even if the electrostatic capacitance value of the surface acoustic wave resonator, which is important in constructing the surface acoustic wave device according to the present invention, is designed to be the same as the conventional one, it is compared with the conventional surface acoustic wave device. The loss in the pass band can be reduced.
【００２５】弾性表面共振子の電極から放射されるバル
ク波の放射特性は、電極の各波源の放射特性と各波源の
周期的配置、つまり、電極のピッチが重要である。バル
ク波は、波源から表面に対して角度θで基板内部に向か
って伝播する波として表される。Regarding the radiation characteristic of the bulk wave radiated from the electrode of the surface acoustic resonator, the radiation characteristic of each wave source of the electrode and the periodic arrangement of each wave source, that is, the pitch of the electrodes are important. The bulk wave is represented as a wave propagating from the wave source toward the inside of the substrate at an angle θ with respect to the surface.
【００２６】多数の波源がある場合、表面波と同様に、
バルク波についても位相が等しくなる条件では、強く放
射されることになる。したがって、電極が複数の異なる
電極ピッチで配置されている場合の放射特性と、電極の
ピッチが等しい場合の放射特性とは異なることが予想で
きる。If there are multiple wave sources, as with surface waves,
Bulk waves are also strongly radiated under the condition that the phases are equal. Therefore, it can be expected that the radiation characteristics when the electrodes are arranged at a plurality of different electrode pitches are different from the radiation characteristics when the electrode pitches are equal.
【００２７】[0027]
【実施例】以下、添付図面を参照して本発明の実施例を
説明する。図１は、本発明の第１の実施例である弾性表
面波装置を構成する弾性表面波共振子の構成を示す図で
あり、圧電性基板６の上にすだれ状電極７が形成されて
いる。また、図２は、図１に示した弾性表面波共振子を
用いた弾性表面波装置の外観図である。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a surface acoustic wave resonator that constitutes a surface acoustic wave device according to a first embodiment of the present invention, in which a comb-shaped electrode 7 is formed on a piezoelectric substrate 6. . 2 is an external view of a surface acoustic wave device using the surface acoustic wave resonator shown in FIG.
【００２８】図２において、弾性表面波共振子１は、Ｌ
ｉＮｂＯ3、ＬｉＴａＯ3等の圧電性基板６の表面に、ア
ルミニウム薄膜又はアルミニウム合金薄膜からなる多数
対のすだれ状電極が形成され構成される。インダクタン
ス素子２は、セラミック、ガラスあるいは有機材料等の
誘電体基板に、メッキ銅膜によるマイクロストリップ線
路が形成され、さらに表面保護膜と配線接続用のボンデ
ィングパッドが形成され、構成される。In FIG. 2, the surface acoustic wave resonator 1 has an L
On the surface of the piezoelectric substrate 6 made of iNbO 3 , LiTaO 3 or the like, a large number of pairs of interdigital electrodes made of an aluminum thin film or an aluminum alloy thin film are formed. The inductance element 2 is configured by forming a microstrip line made of a plated copper film on a dielectric substrate such as ceramic, glass or an organic material, and further forming a surface protection film and a bonding pad for wiring connection.
【００２９】圧電性基板及び誘電性基板の各素子基板
は、パッケージ３に接着され、配線ワイヤ４で相互に接
続されるとともに、パッケージ３の端子５と接続され
る。なお、図２に示した例は、パッケージ３内部の状態
が分かるように、パッケージ３の蓋を取り去った状態を
示している。The element substrates of the piezoelectric substrate and the dielectric substrate are adhered to the package 3 and connected to each other by the wiring wires 4 and the terminals 5 of the package 3. The example shown in FIG. 2 shows a state in which the lid of the package 3 is removed so that the state inside the package 3 can be seen.
【００３０】同図の弾性表面波装置は、低域通過型のフ
ィルタ特性が得られるように、梯子型フィルタの直列素
子にインダクタンス素子２を、並列素子に弾性表面波共
振子１を使用して構成されている。The surface acoustic wave device shown in FIG. 1 uses an inductance element 2 as a series element and a surface acoustic wave resonator 1 as a parallel element of a ladder filter so that a low-pass filter characteristic can be obtained. It is configured.
【００３１】次に、図１において、すだれ状電極７は、
一対のくし状電極７０及び７１を有している。くし状電
極７０には、幅Ｌ1の複数の電極指７０ａ〜７０ｉが形
成されている。そして、これら電極指７０ａ〜７０ｉの
ピッチはＰ1＋Ｐ2であり、間隔はＰ1＋Ｐ2−Ｌ1となっ
ている。ただし、Ｐ1はＰ2より小である。また、くし状
電極７１には、幅Ｌ2の複数の電極指７１ａ〜７１ｈが
形成されている。これら電極指７１ａ〜７１ｈのピッチ
はＰ1＋Ｐ2であり、間隔はＰ1＋Ｐ2−Ｌ2となってい
る。ただし、Ｌ2はＬ1より大である。Next, in FIG. 1, the interdigital transducer 7 is
It has a pair of comb-shaped electrodes 70 and 71. The comb-shaped electrodes 70, a plurality of electrode fingers 70a~70i width L 1 is formed. Then, the pitch of the electrodes fingers 70a~70i is P 1 + P 2, the interval has a P 1 + P 2 -L 1. However, P 1 is smaller than P 2 . Further, the comb-shaped electrode 71 is formed with a plurality of electrode fingers 71a to 71h having a width L 2 . Pitch of electrode fingers 71a~71h is P 1 + P 2, the interval has a P 1 + P 2 -L 2. However, L 2 is larger than L 1 .
【００３２】そして、くし状電極７０の電極指７０ａ〜
７０ｉと、くし状電極７１の電極指７１ａ〜７１ｈと
は、互いに交互となるように配置され、電極指７０ａと
７１ａとのピッチはＰ1、電極指７１ａと電極指７０ｂ
とのピッチはＰ2となっている。また、電極指７０ｂと
７１ｂとのピッチはＰ1、電極指７１ｂと電極指７０ｃ
とのピッチはＰ2となっている。以降、同様に、ピッチ
Ｐ1とＰ2とが交互となるようにくし状電極７０の電極指
とくし状電極７１の電極指とが配置される。Then, the electrode fingers 70a of the comb-shaped electrode 70.
70i and the electrode fingers 71a to 71h of the comb-shaped electrode 71 are arranged alternately with each other, the pitch between the electrode fingers 70a and 71a is P 1 , the electrode fingers 71a and 70b.
The pitch with is P 2 . The pitch between the electrode fingers 70b and 71b is P 1 , and the pitch between the electrode fingers 71b and 71c is 70.
The pitch with is P 2 . Thereafter, similarly, the electrode fingers of the comb-shaped electrode 70 and the electrode fingers of the comb-shaped electrode 71 are arranged so that the pitches P 1 and P 2 are alternately arranged.
【００３３】上記図１の例に対して、従来のすだれ状電
極１０の構成例を図１９に示す。図１９において、すだ
れ状電極１０は、一対のくし状電極１００及び１１０を
有している。くし状電極１００には、幅Ｌの複数の電極
指１００ａ〜１００ｉが形成されている。そして、これ
ら電極指１００ａ〜１００ｉのピッチは、２Ｐとなって
いる。FIG. 19 shows an example of the configuration of a conventional interdigital transducer 10 in contrast to the example of FIG. In FIG. 19, the interdigital electrode 10 has a pair of comb electrodes 100 and 110. A plurality of electrode fingers 100a to 100i having a width L are formed on the comb-shaped electrode 100. The pitch of the electrode fingers 100a to 100i is 2P.
【００３４】また、くし状電極１１０には、幅Ｌの複数
の電極指１１０ａ〜１１０ｈが形成されている。これら
電極指１１０ａ〜１１０ｈのピッチは、２Ｐとなってい
る。そして、くし状電極１００の電極指１００ａ〜１０
０ｉと、くし状電極１１０の電極指１１０ａ〜１１０ｈ
とは、互いに交互となるように配置され、電極指１００
ａと１１０ａとのピッチはＰ、電極指１１０ａと電極指
１００ｂとのピッチは、同じくＰとなっている。以降、
同様に、くし状電極１００の電極指とくし状電極１１０
の電極指とは、ピッチがＰとなるように配置される。A plurality of electrode fingers 110a to 110h having a width L are formed on the comb-shaped electrode 110. The pitch of these electrode fingers 110a to 110h is 2P. Then, the electrode fingers 100a to 10a of the comb-shaped electrode 100
0i and the electrode fingers 110a to 110h of the comb-shaped electrode 110.
Are arranged alternately with each other, and the electrode fingers 100
The pitch between a and 110a is P, and the pitch between the electrode fingers 110a and 100b is P as well. Or later,
Similarly, the electrode fingers of the comb-shaped electrode 100 and the comb-shaped electrode 110
The electrode fingers are arranged so that the pitch is P.
【００３５】次に、図１の例と図１９の例との特性を比
較して説明する。図３は、波源を線状波源と仮定した場
合の図１の例におけるバルク波放射の説明図、図４は、
同様に、図１９の例におけるバルク波放射の説明図であ
る。Next, characteristics of the example of FIG. 1 and the example of FIG. 19 will be compared and described. FIG. 3 is an explanatory view of bulk wave radiation in the example of FIG. 1 when the wave source is assumed to be a linear wave source, and FIG.
Similarly, it is an explanatory view of the bulk wave radiation in the example of FIG. 19.
【００３６】すだれ状電極から放射されるバルク波の放
射特性は、すだれ状電極の各波源の放射特性と各波源の
周期的配置で決まる。一つの波源の放射特性は、主に圧
電性基板によって決まる。弾性表面波装置の場合、所望
のフィルタ特性を得るには損失の点から、通過帯域にお
けるバルク波放射が小さいことが必要である。このた
め、使用する圧電性基板としては、３６°Ｙ−Ｘ Ｌｉ
ＴａＯ3は、バルク波放射が大きく不適当であり、１２
８°Ｙ−Ｘ ＬｉＮｂＯ3が、この点で適する。The radiation characteristic of the bulk wave radiated from the interdigital electrode is determined by the radiation characteristic of each wave source of the interdigital electrode and the periodic arrangement of each wave source. The radiation characteristics of one wave source are mainly determined by the piezoelectric substrate. In the case of the surface acoustic wave device, in order to obtain a desired filter characteristic, it is necessary that the bulk wave radiation in the pass band is small in terms of loss. Therefore, the piezoelectric substrate used is 36 ° Y-X Li.
TaO 3 is unsuitable because of its large bulk wave radiation.
8 ° Y—X LiNbO 3 is suitable in this respect.
【００３７】基板材料と同様に、複数の波源の周期的配
置、つまり、すだれ状電極のピッチも重要な点である。
バルク波は、波源から表面に対して角度θで基板内部に
向かって伝播する波として表される。Similar to the substrate material, the periodic arrangement of a plurality of wave sources, that is, the pitch of the interdigital electrodes is also an important point.
The bulk wave is represented as a wave propagating from the wave source toward the inside of the substrate at an angle θ with respect to the surface.
【００３８】多数の波源がある場合、表面波と同様に、
バルク波についても位相が等しくなる条件では、強く放
射されることになる。従って、電極のピッチがＰ1とＰ2
との交互となる図３の例の放射特性と、電極のピッチが
等しくＰとなる図４の例の放射特性とは異なることが予
想できる。If there are multiple wave sources, as with surface waves,
Bulk waves are also strongly radiated under the condition that the phases are equal. Therefore, the electrode pitch is P 1 and P 2
It can be expected that the radiation characteristic of the example of FIG. 3 and the radiation characteristic of the example of FIG.
【００３９】図５は、中心周波数ｆcが８２０ＭＨｚの
場合の、図１に示した例と、図１９に示した例とのバル
ク波放射コンダクタンス特性の計算結果を示すグラフで
ある。なお、図５において、縦軸はバルク波放射コンダ
クタンスを示し、横軸は周波数を示す。そして、破線１
２が従来例であり実線１１が本発明の例を示す。FIG. 5 is a graph showing the calculation results of the bulk wave radiation conductance characteristics of the example shown in FIG. 1 and the example shown in FIG. 19 when the center frequency f c is 820 MHz. In addition, in FIG. 5, the vertical axis represents the bulk wave radiation conductance, and the horizontal axis represents the frequency. And dashed line 1
2 is a conventional example, and a solid line 11 is an example of the present invention.
【００４０】図５に示すように、本発明の例１１の場
合、従来例１２と比較して、バルク波の放射コンダクタ
ンスのピークが、低周波側にずれ、高周波側の放射コン
ダクタンスの値は、同一周波数において、小さな値とな
っていることが分かる。As shown in FIG. 5, in the case of Example 11 of the present invention, the peak of the radiative conductance of the bulk wave is shifted to the low frequency side, and the value of the radiative conductance of the high frequency side is It can be seen that the values are small at the same frequency.
【００４１】また、励起される表面波の中心周波数をｆ
c、音速をｖとすると、従来例の場合には、中心周波数
ｆc＝ｖ／（２Ｐ）となり、本発明の例の場合には、中
心周波数ｆc≒ｖ（１／（２Ｐ1）＋１／（２Ｐ2））／
４となる。つまり、本発明の例のように、２つの電極ピ
ッチですだれ状電極を構成しても、従来例と同様な中心
周波数で、表面波を励振することも可能である。The center frequency of the surface wave to be excited is f
c and the sound velocity are v, the center frequency f c = v / (2P) in the case of the conventional example, and the center frequency f c ≉v (1 / (2P 1 ) +1 in the case of the example of the present invention. / (2P 2 )) /
It becomes 4. That is, even if the interdigital electrodes are constructed with two electrode pitches as in the example of the present invention, it is possible to excite the surface wave at the same center frequency as in the conventional example.
【００４２】図６は、弾性表面波共振子のコンダクタン
ス特性で、共振周波数から離れた通過帯域Ｔｘでのコン
ダクタンス値を、従来例と本発明の例とについて比較し
て示したグラフである。同図において、横軸にはすだれ
状電極のメタライゼーション・レシオαをとっており、
電極指のライン幅をＬ、Ｌ1、Ｌ2とすると、従来例の場
合Ｌ＝α・Ｐ、本発明の例の場合Ｌ1＝α・Ｐ1、Ｌ2＝
α・Ｐ2である。FIG. 6 is a graph showing the conductance characteristics of the surface acoustic wave resonator in the pass band Tx distant from the resonance frequency in comparison with the conventional example and the example of the present invention. In the figure, the horizontal axis represents the metallization ratio α of the interdigital electrode,
Assuming that the line widths of the electrode fingers are L, L 1 and L 2 , L = α · P in the conventional example and L 1 = α · P 1 and L 2 = in the example of the present invention.
α · P 2 .
【００４３】具体的には、Ｐ＝２．３５μｍ、Ｐ1＝
２．３μｍ、Ｐ2＝２．４μｍである。通過帯域Ｔｘ
は、９４０〜９５６ＭＨｚで、図のコンダクタンス値は
９５０ＭＨｚでの値である。圧電性基板は１２８°Ｙ−
Ｘ ＬｉＮｂＯ3基板を使用し、電極材料はアルミニウ
ム薄膜である。そして、１３は従来例を示し、１４は本
発明の例を示す。Specifically, P = 2.35 μm, P 1 =
2.3 μm and P 2 = 2.4 μm. Pass band Tx
Is 940 to 956 MHz, and the conductance value in the figure is a value at 950 MHz. The piezoelectric substrate is 128 ° Y-
An X LiNbO 3 substrate is used and the electrode material is an aluminum thin film. And, 13 shows a conventional example, and 14 shows an example of the present invention.
【００４４】図６において、メタライゼーション・レシ
オに対して両者は同様の傾向を示しているが、同じメタ
ライゼーション・レシオでは、本発明の例１４の方が従
来例１３よりも、小さなコンダクタンス値が得られてい
る。これにより、上記の本発明の例による弾性表面波共
振子を使用して、図２に示した弾性表面波装置を構成し
た場合、通過帯域の損失を、約０．１ｄＢ改善すること
ができた。ここで、弾性表面波共振子とインダクタンス
素子で構成した弾性表面波装置の構成において重要な点
は、使用する弾性表面波共振子の共振周波数から離れた
周波数におけるコンダクタンスの値を小さくすることで
ある。In FIG. 6, the two show the same tendency with respect to the metallization ratio, but at the same metallization ratio, Example 14 of the present invention has a smaller conductance value than Conventional Example 13. Has been obtained. As a result, when the surface acoustic wave device shown in FIG. 2 is constructed using the surface acoustic wave resonator according to the example of the present invention, the loss in the pass band can be improved by about 0.1 dB. . Here, an important point in the configuration of the surface acoustic wave device including the surface acoustic wave resonator and the inductance element is to reduce the value of the conductance at a frequency apart from the resonance frequency of the surface acoustic wave resonator used. .
【００４５】以上のように、本発明の第１の実施例にお
いては、くし状電極７０の電極指とくし状電極７１の電
極指とのピッチが、交互にＰ1とＰ2（Ｐ1＜Ｐ2）となる
ように構成したので、通過帯域におけるコンダクタンス
値が低減し、送信電力の低減及び受信感度の向上が可能
な弾性表面波装置を実現することができる。As described above, in the first embodiment of the present invention, the pitch between the electrode fingers of the comb-shaped electrode 70 and the electrode fingers of the comb-shaped electrode 71 is P 1 and P 2 (P 1 <P 1 Since it is configured to be 2 ), it is possible to realize a surface acoustic wave device in which the conductance value in the pass band is reduced, the transmission power can be reduced, and the reception sensitivity can be improved.
【００４６】図７は、本発明の第２の実施例である弾性
表面波装置を構成する弾性表面波共振子の構造を示す図
である。本実施例は、２種類の電極ピッチＰ1とＰ2とが
交互に配置されているのは第１の実施例と同じである
が、スペース幅ｓ1は電極ピッチに拘らず一定になるよ
うに形成してある。FIG. 7 is a view showing the structure of a surface acoustic wave resonator which constitutes a surface acoustic wave device according to a second embodiment of the present invention. This embodiment is the same as the first embodiment in that the two types of electrode pitches P 1 and P 2 are alternately arranged, but the space width s 1 is constant regardless of the electrode pitch. It is formed on.
【００４７】つまり、すだれ状電極１５は、一対のくし
状電極１５０及び１５１を有している。くし状電極１５
０には、幅Ｌ1の複数の電極指１５０ａ〜１５０ｉが形
成されている。そして、これら電極指１５０ａ〜１５０
ｉのピッチは、Ｐ1＋Ｐ2となっている。ただし、Ｐ1は
Ｐ2より小である。また、くし状電極１５１には、幅Ｌ3
の複数の電極指１５１ａ〜１５１ｈが形成されている。
これら電極指１５１ａ〜１５１ｈのピッチは、Ｐ1＋Ｐ2
となっている。ただし、Ｌ3はＬ1より大である。That is, the interdigital electrode 15 has a pair of comb electrodes 150 and 151. Comb electrode 15
At 0, a plurality of electrode fingers 150a to 150i having a width L 1 are formed. Then, these electrode fingers 150a to 150
The pitch of i is P 1 + P 2 . However, P 1 is smaller than P 2 . Further, the comb electrode 151 has a width L 3
A plurality of electrode fingers 151a to 151h are formed.
The pitch of these electrode fingers 151a to 151h is P 1 + P 2
Has become. However, L 3 is larger than L 1 .
【００４８】そして、くし状電極１５０の電極指１５０
ａ〜１５０ｉと、くし状電極１５１の電極指１５１ａ〜
１５１ｈとは、互いに交互となるように配置され、電極
指１５０ａと１５１ａとのピッチはＰ1、電極指１５１
ａと電極指１５０ｂとのピッチはＰ2となっている。以
降、同様に、くし状電極１５０の電極指とくし状電極１
５１の電極指とは、ピッチがＰ1とＰ2とが交互となるよ
うに配置される。また、くし状電極１５０の電極指と、
くし状電極１５１の電極指との間隔は、全てｓ1となっ
ている。The electrode fingers 150 of the comb-shaped electrode 150
a-150i and electrode fingers 151a of the comb-shaped electrode 151
151h are arranged so as to alternate with each other, the pitch between the electrode fingers 150a and 151a is P 1 , and the electrode finger 151 is
The pitch between a and the electrode finger 150b is P 2 . Thereafter, similarly, the electrode fingers of the comb-shaped electrode 150 and the comb-shaped electrode 1
The electrode fingers of 51 are arranged so that the pitches P 1 and P 2 alternate. In addition, the electrode fingers of the comb-shaped electrode 150,
The intervals between the comb-shaped electrodes 151 and the electrode fingers are all s 1 .
【００４９】以上のように、構成された第２の実施例に
おいても、上述した第１の実施例と同様な効果が得られ
る。また、この第２の実施例においては、くし状電極１
５０の電極指とくし状電極１５１の電極指との間隔は、
全てｓ1となっており、微細な電極パターン内で一定寸
法の部分があるので、フォトリソグラフィでのパターン
形成条件が緩和されることが期待でき、製作効率の向上
を図ることができる。As described above, also in the second embodiment constructed, the same effect as that of the first embodiment described above can be obtained. In addition, in this second embodiment, the comb-shaped electrode 1
The distance between the electrode finger of 50 and the electrode finger of the comb-shaped electrode 151 is
Since all are s 1 and there is a portion with a constant dimension in the fine electrode pattern, it can be expected that the pattern formation conditions in photolithography will be relaxed, and the manufacturing efficiency can be improved.
【００５０】図８は、本発明の第３の実施例である弾性
表面波装置を構成する弾性表面波共振子の構造を示す図
である。本実施例においては、すだれ状電極１６のくし
状電極１６０及び１６１共に、電極指のライン幅は一定
の幅Ｌ4となるように形成してある。FIG. 8 is a diagram showing the structure of a surface acoustic wave resonator which constitutes a surface acoustic wave device according to a third embodiment of the present invention. In this embodiment, both the comb-shaped electrodes 160 and 161 of the interdigital electrode 16 are formed such that the line width of the electrode fingers is a constant width L 4 .
【００５１】つまり、くし状電極１６０には、幅Ｌ4の
複数の電極指１６０ａ〜１６０ｉが形成されている。そ
して、これら電極指１６０ａ〜１６０ｉのピッチは、Ｐ
1＋Ｐ2となっている。ただし、Ｐ1はＰ2より小である。
また、くし状電極１６１には、幅Ｌ4の複数の電極指１
６１ａ〜１６１ｈが形成されている。これら電極指１６
１ａ〜１６１ｈのピッチは、Ｐ1＋Ｐ2となっている。[0051] That is, the comb-shaped electrodes 160, a plurality of electrode fingers 160a~160i width L 4 is formed. The pitch of the electrode fingers 160a to 160i is P
It is 1 + P 2 . However, P 1 is smaller than P 2 .
In addition, the comb-shaped electrode 161 includes a plurality of electrode fingers 1 having a width L 4.
61a to 161h are formed. These electrode fingers 16
The pitch of 1a to 161h is P 1 + P 2 .
【００５２】そして、くし状電極１６０の電極指１６０
ａ〜１６０ｉと、くし状電極１６１の電極指１６１ａ〜
１６１ｈとは、互いに交互となるように配置され、電極
指１６０ａと１６１ａとのピッチはＰ1、電極指１６１
ａと電極指１６０ｂとのピッチはＰ2となっている。以
降、同様に、くし状電極１６０の電極指とくし状電極１
６１の電極指とは、ピッチがＰ1とＰ2とが交互となるよ
うに配置される。また、くし状電極１６１の電極指１６
１ａと、くし状電極１６０の電極指１６０ｂとの間隔は
ｓ2となっている。この間隔ｓ2は、電極指１６０ａと１
６１ａとの間隔より大である。以降の電極指についても
同様となっている。The electrode fingers 160 of the comb-shaped electrode 160
a to 160i and the electrode fingers 161a to 161a of the comb-shaped electrode 161.
161h are arranged so as to alternate with each other, and the pitch between the electrode fingers 160a and 161a is P 1 , and the electrode fingers 161 are
The pitch between a and the electrode finger 160b is P 2 . Thereafter, similarly, the electrode fingers of the comb-shaped electrode 160 and the comb-shaped electrode 1
The electrode fingers 61 are arranged such that the pitches P 1 and P 2 alternate. In addition, the electrode finger 16 of the comb-shaped electrode 161
The distance between 1a and the electrode finger 160b of the comb-shaped electrode 160 is s 2 . This interval s 2 is equal to the electrode finger 160a and 1
It is larger than the distance from 61a. The same applies to the subsequent electrode fingers.
【００５３】以上のように、構成された第３の実施例に
おいても、上述した第１の実施例と同様な効果が得られ
る。また、この第３の実施例においては、くし状電極１
６０の電極指の幅とくし状電極１６１の電極指幅とは、
全てＬ4となっており、上記第２の実施例と同様に、微
細な電極パターン内で一定寸法の部分があるので、フォ
トリソグラフィでのパターン形成条件が緩和されること
が期待でき、製作効率の向上化を図ることができる。As described above, also in the third embodiment thus constructed, the same effect as that of the first embodiment can be obtained. Also, in this third embodiment, the comb-shaped electrode 1
The electrode finger width of 60 and the electrode finger width of the comb-shaped electrode 161 are
All of them are L 4 , and like the second embodiment, since there is a portion having a constant dimension in the fine electrode pattern, it can be expected that the pattern forming conditions in photolithography can be relaxed, and the manufacturing efficiency is improved. Can be improved.
【００５４】図９は、本発明の第４の実施例である弾性
表面波装置を構成する弾性表面波共振子の構造を示す図
である。本実施例は、２種類の電極ピッチが交互に配置
されたすだれ状電極が２つ直列に接続されて、１つの弾
性表面波共振子が構成されている。FIG. 9 is a diagram showing the structure of a surface acoustic wave resonator which constitutes a surface acoustic wave device according to a fourth embodiment of the present invention. In this example, two interdigital electrodes in which two types of electrode pitches are alternately arranged are connected in series to form one surface acoustic wave resonator.
【００５５】つまり、すだれ状電極１７は、くし状電極
１７０、１７１、１７２を有しており、くし状電極１７
１は、くし状電極１７０の電極指と交互に配置される第
１の電極指部と、くし状電極１７２の電極指と交互に配
置される第２の電極指部とを有している。そして、第１
の電極指部の各電極指と、第２の電極指部の各電極指と
は、互いに反対側に形成されている。つまり、第１の電
極指部は、図の上方向に延びて形成され、第２の電極指
部は、図の下方向に延びて形成されている。That is, the comb-shaped electrode 17 has the comb-shaped electrodes 170, 171, and 172.
Reference numeral 1 has first electrode finger portions alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 170, and second electrode finger portions alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 172. And the first
The electrode fingers of the electrode finger portion and the electrode fingers of the second electrode finger portion are formed on opposite sides. That is, the first electrode finger portion is formed so as to extend upward in the figure, and the second electrode finger portion is formed so as to extend downward in the figure.
【００５６】また、くし状電極１７０の電極指の幅は、
くし状電極１７２の電極指の幅より、大となっている。
そして、くし状電極１７１のくし状電極１７０の電極指
と交互に配置される電極指の幅は、くし状電極１７２の
電極指の幅と同等となっている。また、くし状電極１７
１のくし状電極１７２の電極指と交互に配置される電極
指の幅は、くし状電極１７０の電極指の幅と同等となっ
ている。そして、電極指と電極指との間隔は、図７の例
と同様となっている。The width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 170 is
It is larger than the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 172.
The widths of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 171 that are alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 170 are the same as the widths of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 172. In addition, the comb-shaped electrode 17
The width of the electrode fingers alternately arranged with the electrode fingers of one comb-shaped electrode 172 is equal to the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 170. The distance between the electrode fingers is the same as in the example of FIG.
【００５７】本発明の第４の実施例においても、上述し
た第１の実施例と同様な効果を得ることができる。とこ
ろで、弾性表面波共振子とインダクタンス素子とを、梯
子型に組み合わせて構成した弾性表面波装置は、要求さ
れる周波数特性により弾性表面波共振子の静電容量を、
所望の値になるように設計する必要がある。このため、
設計条件によって静電容量の値を極端に小さな値にしな
ければならない場合、複数のすだれ状電極を直列に接続
して１つの弾性表面波共振子を構成する手段がとられ
る。上記の場合についても、本発明の第４の実施例のよ
うに、２種類の電極ピッチですだれ状電極を構成する方
法は有効である。Also in the fourth embodiment of the present invention, the same effect as in the above-mentioned first embodiment can be obtained. By the way, a surface acoustic wave device configured by combining a surface acoustic wave resonator and an inductance element in a ladder type has a capacitance of the surface acoustic wave resonator depending on required frequency characteristics.
It is necessary to design it so that it has a desired value. For this reason,
When the capacitance value must be extremely small depending on the design conditions, a means for connecting a plurality of interdigital electrodes in series to form one surface acoustic wave resonator is used. Also in the above case, the method of forming the interdigital electrode with two kinds of electrode pitches as in the fourth embodiment of the present invention is effective.
【００５８】図１０は、本発明の第５の実施例である弾
性表面波装置を構成する弾性表面波共振子の構造を示す
図である。この第５の実施例も、第４の実施例と同様
に、２種類の電極ピッチが交互に配置されたすだれ状電
極が２つ直列に接続され、１つの弾性表面波共振子が構
成されている。FIG. 10 is a view showing the structure of a surface acoustic wave resonator which constitutes a surface acoustic wave device according to a fifth embodiment of the present invention. In the fifth embodiment, as in the fourth embodiment, two interdigital electrodes having two kinds of electrode pitches alternately arranged are connected in series to form one surface acoustic wave resonator. There is.
【００５９】ただし、この第５の実施例においては、く
し状電極１７１に対応するくし状電極１８１には、くし
状電極１７１のように両側ではなく、指側にのみ、複数
の電極指が形成されており、これら電極指は、ほぼ同様
な幅を有している。また、くし状電極１８０及び１８２
の電極指も、くし状電極１８１の電極指の幅と、ほぼ同
様な幅を有している。However, in the fifth embodiment, the comb-shaped electrode 181 corresponding to the comb-shaped electrode 171 is formed with a plurality of electrode fingers only on the finger side, not on both sides like the comb-shaped electrode 171. The electrode fingers have substantially the same width. Also, the comb electrodes 180 and 182
The electrode finger of (1) also has a width substantially similar to the width of the electrode finger of the comb-shaped electrode 181.
【００６０】そして、くし状電極１８０の電極指は、く
し状電極１８１の図の左半分側にて、くし状電極１８１
の電極指と、互いに交互に配置され、くし状電極１８２
の電極指は、くし状電極１８１の図の右半分側にて、く
し状電極１８１の電極指と、互いに交互に配置される。
電極指と電極指との間隔は、図８の例と同様となってい
る。The electrode fingers of the comb-shaped electrode 180 are located on the left half side of the comb-shaped electrode 181 in the drawing.
Electrode fingers of the comb electrode 182, which are arranged alternately with each other.
The electrode fingers of are arranged alternately with the electrode fingers of the comb electrode 181 on the right half side of the comb electrode 181 in the drawing.
The distance between the electrode fingers is the same as in the example of FIG.
【００６１】この第５の実施例においても、上述した第
４の例と同様な効果を得ることができる。この第５の実
施例の場合は、パッケージへの素子チップの配置におい
て、図９に示した例の電極配置でスペース的に問題があ
る場合、本実施例の配置により、パッケージのスペース
を有効に利用することが可能である。Also in the fifth embodiment, the same effect as that of the above-mentioned fourth embodiment can be obtained. In the case of the fifth embodiment, when there is a space problem in the arrangement of the element chips in the package in the electrode arrangement of the example shown in FIG. 9, the arrangement of the present embodiment makes the package space effective. It is possible to use.
【００６２】図１１は、本発明の第６の実施例である弾
性表面波装置を構成する弾性表面波共振子の構造を示す
図である。本実施例は、２種類の電極ピッチが交互に配
置されたすだれ状電極が３つ直列に接続されており、第
４又は第５実施例より更に小さな静電容量の値が必要な
場合に、使用することができる。FIG. 11 is a diagram showing the structure of a surface acoustic wave resonator which constitutes a surface acoustic wave device according to a sixth embodiment of the present invention. In this embodiment, three interdigital electrodes in which two kinds of electrode pitches are alternately arranged are connected in series, and when a capacitance value smaller than that in the fourth or fifth embodiment is required, Can be used.
【００６３】つまり、すだれ状電極１９は、くし状電極
１９０、１９１、１９２、１９３を有しており、くし状
電極１９１は、くし状電極１９０の電極指と交互に配置
される第１の電極指部と、くし状電極１９２の電極指と
交互に配置される第２の電極指部とを有している。そし
て、第１の電極指部の各電極指と、第２の電極指部の各
電極指とは、互いに反対側に形成されている。つまり、
第１の電極指部は、図の上方向に延びて形成され、第２
の電極指部は、図の下方向に延びて形成されている。That is, the interdigital electrode 19 has comb-shaped electrodes 190, 191, 192, and 193, and the comb-shaped electrodes 191 are the first electrodes alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrodes 190. It has a finger portion and a second electrode finger portion which is arranged alternately with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 192. The electrode fingers of the first electrode finger portion and the electrode fingers of the second electrode finger portion are formed on the opposite sides of each other. That is,
The first electrode finger portion is formed so as to extend upward in the drawing, and
The electrode finger portion of is formed so as to extend downward in the drawing.
【００６４】また、くし状電極１９２は、くし状電極１
９１の電極指と交互に配置される第１の電極指部と、く
し状電極１９３の電極指と交互に配置される第２の電極
指部とを有している。そして、第１の電極指部の各電極
指と、第２の電極指部の各電極指とは、互いに反対側に
形成されている。つまり、第１の電極指部は、図の上方
向に延びて形成され、第２の電極指部は、図の下方向に
延びて形成されている。Further, the comb-shaped electrode 192 is the comb-shaped electrode 1
It has first electrode finger portions alternately arranged with the electrode fingers of 91 and second electrode finger portions alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 193. The electrode fingers of the first electrode finger portion and the electrode fingers of the second electrode finger portion are formed on the opposite sides of each other. That is, the first electrode finger portion is formed so as to extend upward in the figure, and the second electrode finger portion is formed so as to extend downward in the figure.
【００６５】また、くし状電極１９０の電極指の幅は、
くし状電極１９３の電極指の幅より、小となっている。
そして、くし状電極１９１のくし状電極１９０の電極指
と交互に配置される電極指の幅は、くし状電極１９３の
電極指の幅と同等となっている。また、くし状電極１９
１のくし状電極１９２の電極指と交互に配置される電極
指の幅は、くし状電極１９０の電極指の幅と同等となっ
ている。The width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 190 is
The width is smaller than the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 193.
The width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 191 alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 190 is equal to the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 193. In addition, the comb-shaped electrode 19
The width of the electrode fingers alternately arranged with the electrode fingers of one comb-shaped electrode 192 is the same as the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 190.
【００６６】また、くし状電極１９２のくし状電極１９
１の電極指と交互に配置される電極指の幅は、くし状電
極１９３の電極指の幅と同等となっている。また、くし
状電極１９２のくし状電極１９３の電極指と交互に配置
される電極指の幅は、くし状電極１９０の電極指の幅と
同等となっている。そして、電極指と電極指との間隔
は、図１の例と同様となっている。本発明の第６の実施
例においても、上述した第４の実施例と同様な効果を得
ることができる。Further, the comb-shaped electrode 19 of the comb-shaped electrode 192
The width of the electrode fingers arranged alternately with the one electrode finger is equal to the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 193. The width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 192, which are alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 193, is equal to the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 190. The distance between the electrode fingers is similar to that in the example of FIG. Also in the sixth embodiment of the present invention, it is possible to obtain the same effect as that of the above-mentioned fourth embodiment.
【００６７】図１２は、本発明の第７の実施例である弾
性表面波装置を構成する弾性表面波共振子の構造を示す
図である。本実施例は、２種類の電極ピッチが交互に配
置されたすだれ状電極が３つ直列に接続されており、弾
性表面波の伝播方向にすだれ状電極の１つを配置して、
スペースの効率的利用を図った例であり、図１０の例
に、さらに、もう一つのすだれ状電極が追加された例で
ある。ただし、電極指と電極指との間隔は、図１０の例
と異なっている。FIG. 12 is a diagram showing the structure of a surface acoustic wave resonator which constitutes a surface acoustic wave device according to a seventh embodiment of the present invention. In this example, three interdigital electrodes in which two types of electrode pitches are alternately arranged are connected in series, and one interdigital electrode is arranged in the propagation direction of the surface acoustic wave.
This is an example of efficient utilization of space, and is an example in which another interdigital transducer is further added to the example of FIG. 10. However, the distance between the electrode fingers is different from the example shown in FIG.
【００６８】図１２において、すだれ状電極２０は、く
し状電極２００、２０１、２０２、２０３を有してお
り、くし状電極２０２は、くし状電極２０１の電極指と
交互に配置される第１の電極指部と、くし状電極２０３
の電極指と交互に配置される第２の電極指部とを有して
いる。そして、第１の電極指部の各電極指と、第２の電
極指部の各電極指とは、互いに反対側に形成されてい
る。つまり、第１の電極指部は、図の上方向に延びて形
成され、第２の電極指部は、図の下方向に延びて形成さ
れている。In FIG. 12, the comb-shaped electrode 20 has comb-shaped electrodes 200, 201, 202 and 203. The comb-shaped electrodes 202 are arranged alternately with the electrode fingers of the comb-shaped electrodes 201. Electrode fingers and the comb-shaped electrode 203
Electrode fingers and second electrode finger portions arranged alternately. The electrode fingers of the first electrode finger portion and the electrode fingers of the second electrode finger portion are formed on the opposite sides of each other. That is, the first electrode finger portion is formed so as to extend upward in the figure, and the second electrode finger portion is formed so as to extend downward in the figure.
【００６９】また、くし状電極２００の電極指の幅と、
くし状電極２０３の電極指の幅とは、ほぼ同一となって
おり、くし状電極２０１の電極指の幅よりも大となって
いる。また、くし状電極２０２のくし状電極２０３の電
極指と交互に配置される電極指の幅は、くし状電極２０
１の電極指の幅と、ほぼ同一であり、くし状電極２０２
のくし状電極２０１の電極指と交互に配置される電極指
の幅は、くし状電極２００及び２０３の電極指の幅と、
ほぼ同一である。The width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 200,
The width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 203 is almost the same and is larger than the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 201. Further, the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrode 202, which are alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 203, is equal to the width of the comb-shaped electrode 20.
The width of one electrode finger is almost the same, and the comb-shaped electrode 202
The width of the electrode fingers alternately arranged with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 201 is equal to the width of the electrode fingers of the comb-shaped electrodes 200 and 203.
It is almost the same.
【００７０】くし状電極２００の電極指は、くし状電極
２０１の図の左半分側にて、くし状電極２０１の電極指
と、互いに交互に配置され、くし状電極２０２の電極指
は、くし状電極２０１の図の右半分側にて、くし状電極
２０１の電極指と、互いに交互に配置される。そして、
電極指と電極指との間隔は、図１の例と同様となってい
る。本発明の第７の実施例においても、第４実施例と同
様な効果を得ることができる。The electrode fingers of the comb-shaped electrode 200 are arranged alternately with the electrode fingers of the comb-shaped electrode 201 on the left half side of the comb-shaped electrode 201 in the drawing, and the electrode fingers of the comb-shaped electrode 202 are The electrode fingers of the comb-shaped electrode 201 and the electrode fingers of the comb-shaped electrode 201 are alternately arranged on the right half side of the electrode 201 in the drawing. And
The distance between the electrode fingers is similar to that in the example of FIG. Also in the seventh embodiment of the present invention, the same effect as in the fourth embodiment can be obtained.
【００７１】以上、第１乃至第７の実施例では、２種類
の電極ピッチですだれ状電極が構成されているが、図１
３に示す第８の実施例である弾性表面波装置を構成する
弾性表面波共振子は、３種類の電極ピッチですだれ状電
極が構成されている。本実施例の電極構成は、電極形成
の寸法精度の点から２種類の電極ピッチだけでは、所望
の共振周波数の調整が難しい場合に有効である。As described above, in the first to seventh embodiments, the interdigital electrodes are constructed with two kinds of electrode pitches.
The surface acoustic wave resonator that constitutes the surface acoustic wave device according to the eighth embodiment shown in FIG. 3 has comb-shaped electrodes with three types of electrode pitches. The electrode configuration of the present embodiment is effective when it is difficult to adjust a desired resonance frequency with only two types of electrode pitches in terms of dimensional accuracy of electrode formation.
【００７２】図１３において、すだれ状電極２１は、く
し状電極２１０と２１１とを有しており、くし状電極２
１０の複数の電極指のピッチは、Ｐ1＋Ｐ2、Ｐ1＋Ｐ3、
Ｐ2＋Ｐ3、Ｐ1＋Ｐ2、Ｐ1＋Ｐ3、Ｐ2＋Ｐ3、・・・とな
っており、くし状電極２１１の複数の電極指のピッチも
同様となっている。ただし、Ｐ1＜Ｐ2＜Ｐ3である。そ
して、くし状電極２１０の電極指と、くし状電極２１１
の電極指とが交互に配置され、電極指と電極指とのピッ
チは、Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3、Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3、Ｐ1、Ｐ2、Ｐ3
・・・となっている。この本発明の第８の実施例におい
ても、第１の実施例と同様な効果を得ることができる。In FIG. 13, the comb-shaped electrode 21 has comb-shaped electrodes 210 and 211.
The pitch of the plurality of 10 electrode fingers is P 1 + P 2 , P 1 + P 3 ,
P 2 + P 3 , P 1 + P 2 , P 1 + P 3 , P 2 + P 3 , ... And the pitch of the plurality of electrode fingers of the comb-shaped electrode 211 is also the same. However, P 1 <P 2 <P 3 . Then, the electrode fingers of the comb-shaped electrode 210 and the comb-shaped electrode 211
Electrode fingers are alternately arranged, and the pitches of the electrode fingers are P 1 , P 2 , P 3 , P 1 , P 2 , P 3 , P 1 , P 2 , P 3
It has become. Also in the eighth embodiment of the present invention, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.
【００７３】図１４は、本発明の第９実施例である弾性
表面波装置を構成する弾性表面波共振子の構造を示す図
である。本実施例は、電極指２本おきに異なるピッチで
電極指が形成されており、第７実施例と同様に、共振周
波数の微妙な調整が必要な場合に有効である。FIG. 14 is a diagram showing the structure of a surface acoustic wave resonator which constitutes a surface acoustic wave device according to a ninth embodiment of the present invention. In this embodiment, electrode fingers are formed every two electrode fingers at different pitches, and like the seventh embodiment, this is effective when fine adjustment of the resonance frequency is required.
【００７４】つまり、図１４において、すだれ状電極２
２は、くし状電極２２０と２２１とを有しており、くし
状電極２２０の複数の電極指のピッチは２Ｐ1、Ｐ1＋Ｐ
2、Ｐ1＋Ｐ2、２Ｐ1、Ｐ1＋Ｐ2、Ｐ1＋Ｐ2、・・・とな
っており、くし状電極２２１の複数の電極指のピッチも
同様となっている。ただし、Ｐ1＜Ｐ2である。そして、
くし状電極２２０の電極指と、くし状電極２２１の電極
指とが交互に配置され、電極指と電極指とのピッチは、
Ｐ1（２２０ａと２２１ａ）、Ｐ1（２２１ａと２２０
ｂ）、Ｐ2（２２０ｂと２２１ｂ）、Ｐ1（２２１ｂと２
２０ｃ）、Ｐ1（２２０ｃと２２１ｃ）、Ｐ2（２２１ｃ
と２２０ｄ）、・・・となっている。この本発明の第９
の実施例においても、第１の実施例と同様な効果を得る
ことができる。That is, in FIG. 14, the interdigital transducer 2
2 has comb-shaped electrodes 220 and 221 and the pitch of the plurality of electrode fingers of the comb-shaped electrode 220 is 2P 1 , P 1 + P.
2 , P 1 + P 2 , 2P 1 , P 1 + P 2 , P 1 + P 2 , ... And the pitch of the plurality of electrode fingers of the comb-shaped electrode 221 is also the same. However, P 1 <P 2 . And
The electrode fingers of the comb-shaped electrode 220 and the electrode fingers of the comb-shaped electrode 221 are alternately arranged, and the pitch between the electrode fingers is:
P 1 (220a and 221a), P 1 (221a and 220a
b), P 2 (220b and 221b), P 1 (221b and 2)
20c), P 1 (220c and 221c), P 2 (221c)
220d), and so on. This ninth aspect of the present invention
Also in this embodiment, the same effect as in the first embodiment can be obtained.
【００７５】図１５は、本発明の第１０実施例である弾
性表面波装置を構成する弾性表面波共振子の構造を示す
図である。本実施例は、電極指３本おきに異なるピッチ
で電極指が形成されており、第８及び９の実施例と同様
に、共振周波数の微妙な調整が必要な場合に有効であ
る。FIG. 15 is a diagram showing the structure of a surface acoustic wave resonator which constitutes a surface acoustic wave device according to a tenth embodiment of the present invention. This embodiment is such that electrode fingers are formed with a pitch of every three electrode fingers at different pitches, and like the eighth and ninth embodiments, it is effective when a fine adjustment of the resonance frequency is required.
【００７６】つまり、図１５において、すだれ状電極２
３は、くし状電極２３０と２３１とを有しており、くし
状電極２３０の複数の電極指のピッチは２Ｐ1、Ｐ1＋Ｐ
2、２Ｐ1、Ｐ1＋Ｐ2、２Ｐ1、・・・となっており、く
し状電極２３１の複数の電極指のピッチも同様となって
いる。ただし、Ｐ1＜Ｐ2である。そして、くし状電極２
２０の電極指と、くし状電極２２１の電極指とが交互に
配置され、電極指と電極指とのピッチは、Ｐ1（２３０
ａと２３１ａ）、Ｐ1（２３１ａと２３０ｂ）、Ｐ1（２
３０ｂと２３１ｂ）、Ｐ2（２３１ｂと２３０ｃ）、Ｐ1
（２３０ｃと２３１ｃ）、Ｐ1（２３１ｃと２３０
ｄ）、Ｐ1（２３０ｄと２３１ｄ）、Ｐ2（２３１ｄと２
３０ｅ）、・・・となっている。この本発明の第１０の
実施例においても、第１の実施例と同様な効果を得るこ
とができる。That is, in FIG. 15, the interdigital transducer 2
3 has comb-shaped electrodes 230 and 231 and the pitch of the plurality of electrode fingers of the comb-shaped electrode 230 is 2P 1 , P 1 + P.
2 , 2P 1 , P 1 + P 2 , 2P 1 , ... And the pitch of the plurality of electrode fingers of the comb-shaped electrode 231 is also the same. However, P 1 <P 2 . And the comb-shaped electrode 2
The electrode fingers of 20 and the electrode fingers of the comb-shaped electrode 221 are alternately arranged, and the pitch between the electrode fingers is P 1 (230
a and 231a), P 1 (231a and 230b), P 1 (2
30b and 231b), P 2 (231b and 230c), P 1
(230c and 231c), P 1 (231c and 230
d), P 1 (230d and 231d), P 2 (231d and 2)
30e), ... Also in the tenth embodiment of the present invention, the same effect as that of the first embodiment can be obtained.
【００７７】以上、第８乃至第１０の実施例は、１つの
すだれ状電極で構成した弾性表面波共振子の場合のみ示
しているが、第４乃至第７の実施例と同様に２つ、ある
いは３つのすだれ状電極を直列接続した弾性表面波共振
子を構成することも可能である。As described above, the eighth to tenth embodiments have been shown only in the case of the surface acoustic wave resonator constituted by one interdigital transducer, but like the fourth to seventh embodiments, there are two. Alternatively, it is also possible to configure a surface acoustic wave resonator in which three interdigital electrodes are connected in series.
【００７８】図１６は、帯域通過型の弾性表面波装置に
本発明を適用した例の外観図であり、梯子型フィルタの
直列素子に２つのインダクタンス素子と１つの弾性表面
波共振子を、また並列素子に４つの弾性表面波共振子を
使用して構成されている。図１７は、上記弾性表面波装
置の周波数特性である。FIG. 16 is an external view of an example in which the present invention is applied to a band-pass type surface acoustic wave device, in which two inductance elements and one surface acoustic wave resonator are connected to a series element of a ladder filter. It is configured by using four surface acoustic wave resonators in the parallel element. FIG. 17 shows frequency characteristics of the surface acoustic wave device.
【００７９】図１８は、既に説明した図１の低域通過型
の弾性表面波装置を送信用フィルタ８として、図１６に
示した帯域通過型の弾性表面波装置を受信用フィルタ９
として使用して構成されたアンテナ分波器の概略構成図
である。In FIG. 18, the low pass type surface acoustic wave device of FIG. 1 described above is used as a transmitting filter 8, and the band pass type surface acoustic wave device shown in FIG. 16 is used as a receiving filter 9.
It is a schematic block diagram of the antenna demultiplexer comprised using as.
【００８０】この図１８の例においては、通過帯域にお
けるコンダクタンス値を低減し、送信電力の低減及び受
信感度の向上が可能なアンテナ分波器を実現することが
できる。In the example of FIG. 18, it is possible to realize an antenna duplexer capable of reducing the conductance value in the pass band, reducing the transmission power and improving the reception sensitivity.
【００８１】以上、本発明の具体的な弾性表面波装置の
構成実施例として、図１に示した低域通過型の弾性表面
波装置、あるいは図１６に示した帯域通過型の弾性表面
波装置の例を示したが、本発明は、上記の実施例に限ら
れることなく、弾性表面波共振子とインダクタンス素子
で構成された梯子型構造の弾性表面波装置に、一般的に
適用可能である。The low-pass surface acoustic wave device shown in FIG. 1 or the band-pass surface acoustic wave device shown in FIG. 16 has been described above as a specific configuration example of the surface acoustic wave device of the present invention. However, the present invention is not limited to the above-described embodiments, but is generally applicable to a surface acoustic wave device having a ladder structure including a surface acoustic wave resonator and an inductance element. .
【００８２】なお、上述した実施例において、ピッチＰ
1とＰ2との差及びピッチＰ2とＰ3との差は、０．１μｍ
以上あれば有効である。In the above embodiment, the pitch P
The difference between 1 and P 2 and the difference between pitches P 2 and P 3 are 0.1 μm
The above is effective.
【００８３】[0083]
【発明の効果】本発明は、以上説明したように構成され
ているので、次のような効果がある。第１のくし状電極
の電極指と、第２のくし状電極の電極指とは、複数の異
なる電極ピッチを有して配置されているので、通過帯域
におけるコンダクタンス値を低減し、送信電力の低減及
び受信感度の向上が可能な弾性表面波装置を実現するこ
とができる。Since the present invention is constructed as described above, it has the following effects. Since the electrode fingers of the first comb-shaped electrode and the electrode fingers of the second comb-shaped electrode are arranged with a plurality of different electrode pitches, the conductance value in the pass band is reduced and the transmission power is reduced. It is possible to realize a surface acoustic wave device capable of reducing the reception sensitivity and improving the reception sensitivity.
【００８４】また、複数の異なる電極ピッチは３種類以
上であり、かつ、第１の電極の電極指と第２の電極の電
極指とは、３種類以上の電極ピッチを、所定の順序で周
期的に有して配置されるように構成すれば、通過帯域に
おけるコンダクタンス値を低減し、送信電力の低減及び
受信感度の向上が可能であるとともに、共振周波数の微
調整が可能な弾性表面波装置を実現することができる。Further, the plurality of different electrode pitches are three or more kinds, and the electrode fingers of the first electrode and the electrode fingers of the second electrode have three or more kinds of electrode pitches in a predetermined order. If the surface acoustic wave device is configured so as to be arranged, the surface acoustic wave device can reduce the conductance value in the pass band, reduce the transmission power and improve the reception sensitivity, and can finely adjust the resonance frequency. Can be realized.
【００８５】また、アンテナ分波器に、上記弾性表面波
装置を、受信用フィルタ及び送信用フィルタとして使用
すれば、通過帯域におけるコンダクタンス値を低減し、
送信電力の低減及び受信感度の向上が可能なアンテナ分
波器を実現することができる。If the surface acoustic wave device is used as a receiving filter and a transmitting filter in the antenna demultiplexer, the conductance value in the pass band can be reduced,
An antenna duplexer capable of reducing transmission power and improving reception sensitivity can be realized.
【図１】本発明第１実施例である弾性表面波装置におけ
る弾性表面波共振子の構成を示す図である。FIG. 1 is a diagram showing a configuration of a surface acoustic wave resonator in a surface acoustic wave device that is a first embodiment of the present invention.
【図２】図１の例の弾性表面共振子を用いた弾性表面波
装置の外観図である。FIG. 2 is an external view of a surface acoustic wave device using the surface acoustic wave resonator of the example of FIG.
【図３】本発明の原理を説明するための図である。FIG. 3 is a diagram for explaining the principle of the present invention.
【図４】本発明の原理と従来例の原理とを比較して説明
するための図である。FIG. 4 is a diagram for explaining a comparison between the principle of the present invention and the principle of a conventional example.
【図５】バルク波放射コンダクタンスの周波数特性につ
いて、本発明と従来例とを比較するグラフである。FIG. 5 is a graph comparing the present invention and a conventional example with respect to the frequency characteristics of the bulk wave radiation conductance.
【図６】通過帯域でのコンダクタンスの大きさのメタラ
イゼーション・レシオ依存性を、従来の弾性表面波共振
子と本発明の弾性表面波共振子について比較して示すグ
ラフである。FIG. 6 is a graph showing the metallization ratio dependence of the conductance magnitude in the pass band for comparison between the conventional surface acoustic wave resonator and the surface acoustic wave resonator of the present invention.
【図７】本発明の第２の実施例である弾性表面波装置に
使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 7 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to a second embodiment of the present invention.
【図８】本発明の第３の実施例である弾性表面波装置に
使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 8 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to a third embodiment of the present invention.
【図９】本発明の第４の実施例である弾性表面波装置に
使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 9 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to a fourth embodiment of the present invention.
【図１０】本発明の第５の実施例である弾性表面波装置
に使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 10 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to a fifth embodiment of the present invention.
【図１１】本発明の第６の実施例である弾性表面波装置
に使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 11 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to a sixth embodiment of the present invention.
【図１２】本発明の第７の実施例である弾性表面波装置
に使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 12 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to a seventh embodiment of the present invention.
【図１３】本発明の第８の実施例である弾性表面波装置
に使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 13 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to an eighth embodiment of the present invention.
【図１４】本発明の第９の実施例である弾性表面波装置
に使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 14 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to a ninth embodiment of the present invention.
【図１５】本発明の第１０の実施例である弾性表面波装
置に使用する弾性表面波共振子の構造を示す図である。FIG. 15 is a diagram showing a structure of a surface acoustic wave resonator used in a surface acoustic wave device according to a tenth embodiment of the present invention.
【図１６】本発明による帯域通過型の弾性表面波装置の
外観を示す図である。FIG. 16 is a diagram showing an appearance of a band-pass surface acoustic wave device according to the present invention.
【図１７】図１６に示す帯域通過型の弾性表面波装置の
周波数特性を示すグラフである。17 is a graph showing frequency characteristics of the band-pass type surface acoustic wave device shown in FIG.
【図１８】本発明の弾性表面波装置を使用して構成した
アンテナ分波器の概略構成図である。FIG. 18 is a schematic configuration diagram of an antenna duplexer configured using the surface acoustic wave device of the present invention.
【図１９】従来における弾性表面波共振子の構成を示す
図である。FIG. 19 is a diagram showing a configuration of a conventional surface acoustic wave resonator.
【図２０】本発明が係わる弾性表面波共振子の損失の周
波数特性を示すグラフである。FIG. 20 is a graph showing frequency characteristics of loss of the surface acoustic wave resonator according to the present invention.
【図２１】本発明が係わる弾性表面波共振子の、コンダ
クタンス特性の一例を示すグラフである。FIG. 21 is a graph showing an example of conductance characteristics of the surface acoustic wave resonator according to the present invention.
１ 弾性表面波共振子 ２ インダクタンス素子 ３ パッケージ ４ 配線ワイヤ ５ 端子 ６ 圧電性基板 ７、１５、１６ すだれ状電極 ８ 送信用フィルタ ９ 受信用フィルタ １７、１８、１９ すだれ状電極 ２０、２１、２２ すだれ状電極 ２３ すだれ状電極 ７０、７１ くし状電極 ７０ａ〜７０ｉ 電極指 ７１ａ〜７１ｈ 電極指 １５０、１５１ くし状電極 １５０ａ〜１５０ｉ 電極指 １５１ａ〜１５１ｈ 電極指 １６０、１６１ くし状電極 １６０ａ〜１６０ｉ 電極指 １６１ａ〜１６１ｈ 電極指 １７０、１７１、１７２くし状電極 １８０、１８１、１８２くし状電極 １９０、１９１ くし状電極 １９２、１９３ くし状電極 ２００、２０１ くし状電極 ２０２、２０３ くし状電極 ２１０、２１１ くし状電極 ２２０、２２１ くし状電極 ２３０、２３１ くし状電極 1 surface acoustic wave resonator 2 inductance element 3 package 4 wiring wire 5 terminal 6 piezoelectric substrate 7, 15, 16 interdigital electrode 8 transmission filter 9 reception filter 17, 18, 19 interdigital electrode 20, 21, 22 interdigital Electrode 23 comb-shaped electrode 70, 71 comb-shaped electrode 70a-70i electrode finger 71a-71h electrode finger 150, 151 comb-shaped electrode 150a-150i electrode finger 151a-151h electrode finger 160, 161 comb-shaped electrode 160a-160i electrode finger 161a ~ 161h Electrode fingers 170, 171, 172 Comb electrodes 180, 181, 182 Comb electrodes 190, 191 Comb electrodes 192, 193 Comb electrodes 200, 201 Comb electrodes 202, 203 Comb electrodes 210, 211 Comb electrodes 220, 221 comb-shaped electrode 230 231 comb electrodes
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 湯原 章綱 神奈川県横浜市戸塚区吉田町292番地 株 式会社日立製作所映像メディア研究所内 (72)発明者 射手 眞弓 神奈川県横浜市戸塚区戸塚町216番地 株 式会社日立製作所情報映像事業部内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Shobara Yubara, 292 Yoshida-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa, Ltd. Inside the Hitachi Media Visual Media Laboratory (72) Inventor Mayumi 216 Totsuka-cho, Totsuka-ku, Yokohama-shi, Kanagawa Banchi Co., Ltd. Hitachi, Ltd.
Claims (7)
と、この第１の電極の複数の電極指と交互に配置される
複数の電極指を有する第２のくし状電極とを、少なくと
も有し、これら第１及び第２のくし状電極が圧電性基板
上に形成された弾性表面波共振子と、誘電体基板にマイ
クロストリップ線路が形成されたインダクタンス素子と
で構成された梯子型フィルタ構造の弾性表面波装置にお
いて、 上記第１の電極の電極指と、第２の電極の電極指とは、
複数の異なる電極ピッチを有して配置されていることを
特徴とする弾性表面波装置。1. A first comb-shaped electrode having a plurality of electrode fingers, and a second comb-shaped electrode having a plurality of electrode fingers arranged alternately with the plurality of electrode fingers of the first electrode, A ladder type including at least a surface acoustic wave resonator having the first and second comb-shaped electrodes formed on a piezoelectric substrate and an inductance element having a microstrip line formed on a dielectric substrate. In the surface acoustic wave device having the filter structure, the electrode finger of the first electrode and the electrode finger of the second electrode are
A surface acoustic wave device having a plurality of different electrode pitches.
て、上記複数の異なる電極ピッチは２種類であり、か
つ、上記２種類の電極ピッチを交互に有して、上記第１
の電極の電極指と第２の電極の電極指とが配置されてい
ることを特徴とする弾性表面波装置。2. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the plurality of different electrode pitches are of two types, and the two types of electrode pitches are alternately provided, and
The surface acoustic wave device, wherein the electrode finger of the electrode and the electrode finger of the second electrode are arranged.
て、上記第１の電極の電極指の幅と、上記第２の電極指
の幅とは、互いに異なることを特徴とする弾性表面波装
置。3. The surface acoustic wave device according to claim 2, wherein the width of the electrode finger of the first electrode and the width of the second electrode finger are different from each other. .
て、上記複数の異なる電極ピッチは３種類以上であり、
かつ、上記３種類以上の電極ピッチを、所定の順序で周
期的に有して、上記第１の電極の電極指と第２の電極の
電極指とが配置されていることを特徴とする弾性表面波
装置。4. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the plurality of different electrode pitches are three or more,
In addition, the three or more kinds of electrode pitches are periodically provided in a predetermined order, and the electrode fingers of the first electrode and the electrode fingers of the second electrode are arranged. Surface wave device.
て、上記複数の異なる電極ピッチは２種類であり、か
つ、一種類の電極ピッチを２回連続した次に他の電極ピ
ッチとなる電極ピッチの周期を有して、上記第１の電極
指と第２の電極指とが配置されていることを特徴とする
弾性表面波装置。5. The surface acoustic wave device according to claim 1, wherein the plurality of different electrode pitches are of two types, and one type of electrode pitch is continuous twice and then the other electrode pitch. The surface acoustic wave device, wherein the first electrode fingers and the second electrode fingers are arranged with a period of.
表面波装置において、上記複数の異なる電極ピッチは、
互いに０．１μｍ以上の差を有することを特徴とする弾
性表面波装置。6. The surface acoustic wave device according to claim 1, 2, 3, 4, or 5, wherein the plurality of different electrode pitches are
A surface acoustic wave device having a difference of 0.1 μm or more.
表面波装置を、受信用フィルタ及び送信用フィルタとし
て使用していることを特徴とするアンテナ分波器。7. An antenna duplexer using the surface acoustic wave device according to claim 1, 2, 3, 4 or 5 as a receiving filter and a transmitting filter.
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