JPH0829267A - Structure of temperature detection element in line-shaped heating element and its formation method - Google Patents
Structure of temperature detection element in line-shaped heating element and its formation methodInfo
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は、絶縁基板の表面に発熱
抵抗体をライン状に形成して成るライン型加熱体におい
て、その発熱抵抗体の温度を検出し、当該温度が所定値
になるようにフィードバック制御する場合に、前記発熱
抵抗体の温度を検出するための温度検出素子の構造、及
び、この温度検出素子の形成方法に関するものである。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention detects a temperature of a heating resistor in a line type heating body formed by linearly forming a heating resistor on the surface of an insulating substrate, and the temperature becomes a predetermined value. The present invention relates to the structure of a temperature detecting element for detecting the temperature of the heating resistor and the method for forming the temperature detecting element when performing feedback control as described above.
【0002】[0002]
【従来の技術】従来、この種の温度検出素子には、金属
酸化物を主成分とするセラミックを焼結して成るサーミ
スタチップ片を使用し、このサーミスタチップ片を、前
記ライン型加熱体における絶縁基板の裏面に、当該サー
ミスタチップ片の両端が絶縁基板の裏面に予め形成され
ている一対の電極パターンに対して電気的に導通するよ
うにしてダイボンディングし、このサーミスタチップ片
における抵抗値が温度によって変化することを利用し
て、発熱抵抗体に対する電力量を増減することにより、
その温度が所定値になるように制御すると言う構成であ
った。2. Description of the Related Art Conventionally, for this type of temperature detecting element, a thermistor chip piece formed by sintering a ceramic containing a metal oxide as a main component is used. The back surface of the insulating substrate is die-bonded so that both ends of the thermistor chip piece are electrically connected to a pair of electrode patterns previously formed on the back surface of the insulating substrate. By utilizing the fact that it changes with temperature, by increasing or decreasing the amount of power to the heating resistor,
The configuration is such that the temperature is controlled to reach a predetermined value.
【0003】しかし、このように、ライン型加熱体にお
ける絶縁基板の表面にサーミスタチップ片を、絶縁基板
の表面に予め形成されている一対の電極パターン間にダ
イボンディングすると言う構成では、サーミスタチップ
片が、絶縁基板の表面から電極パターンの厚さの分だけ
浮き上がっていることにより、応答性が低いのであり、
しかも、前記サーミスタチップ片が絶縁基板の表面から
突出していることにより、このライン型加熱体における
絶縁基板をその裏面側から支持するステージ部材には、
凹所を設けて、この凹所内に前記サーミスタチップ片を
嵌めるようにしなければならず、この凹所内が蓄熱空間
になるので、正しい温度を検出できないばかりか、サー
ミスタチップ片の製造工程と、このサーミスタチップ片
を絶縁基板に対してダイボンディングするための工程と
を必要とするから、前記ステージ部材に凹所を設けるこ
とと相俟って、製造コストが大幅にアップするのであ
る。However, in such a structure in which the thermistor chip piece is die-bonded between the pair of electrode patterns previously formed on the surface of the insulating substrate in the line type heating element, the thermistor chip piece is used. However, since it is lifted by the thickness of the electrode pattern from the surface of the insulating substrate, the response is low,
Moreover, since the thermistor chip piece is projected from the surface of the insulating substrate, the stage member that supports the insulating substrate in the line-type heating element from the back surface side thereof,
It is necessary to provide a recess so that the thermistor chip piece can be fitted in the recess, and since the interior of the recess becomes a heat storage space, not only the correct temperature cannot be detected, but also the thermistor chip piece manufacturing process, Since the step of die-bonding the thermistor chip piece to the insulating substrate is required, the manufacturing cost is significantly increased in combination with the provision of the recess in the stage member.
【0004】その上、前記サーミスタチップ片と絶縁基
板との間における熱膨張差によって、サーミスタチップ
片における温度抵抗値が微妙に変化するために、温度制
御の精度が低いと言う不具合があった。そこで、先行技
術としての特開平5−265350号公報は、前記のサ
ーミスタチップ片を使用することの不具合を解消するた
めに、ライン型加熱体における絶縁基板の裏面に、ダン
グステン、モリブデンを含むことによって正の高い抵抗
温度係数を有する抵抗体ペーストを、スクリーン印刷に
て膜状に塗着したのち焼成することによって、膜状の抵
抗体を形成し、この膜状抵抗体を温度検出素子にするこ
とを提案している。In addition, since the temperature resistance value of the thermistor chip changes subtly due to the difference in thermal expansion between the thermistor chip and the insulating substrate, the temperature control accuracy is low. Therefore, Japanese Patent Laid-Open No. 5-265350 as a prior art discloses that, in order to solve the problem of using the thermistor chip, the back surface of the insulating substrate in the line-type heating element contains dangsten and molybdenum. Forming a film-shaped resistor by applying a resistor paste having a high positive temperature coefficient of resistance to the film by screen printing and baking it, and using this film-shaped resistor as a temperature detection element. Is proposed.
【0005】[0005]
【発明が解決しようとする課題】しかし、この先行技術
のように、温度検出素子として使用する膜状抵抗体は、
ダングステン、モリブデンを含むことにより、図7に点
線の曲線Aで示すように、正の高い温度係数を有するも
のであって、高い温度域での抵抗値が高く、電流値が小
さいことにより、ノイズの影響を受け易いことに加え
て、高い温度域での抵抗値の変化量が大きいから、発熱
抵抗体に対する温度制御の精度が可成り低いと言う問題
があった。However, as in this prior art, the film resistor used as the temperature detecting element is
By including dangsten and molybdenum, as shown by the dotted curve A in FIG. 7, it has a positive high temperature coefficient and has a high resistance value in a high temperature range and a small current value, which causes noise. In addition to being easily affected by the above, there is a problem that the accuracy of temperature control for the heating resistor is considerably low because the amount of change in resistance value in a high temperature range is large.
【0006】本発明は、前記先行技術のように、ライン
型加熱体における絶縁基板の裏面に直接的に形成した膜
状抵抗体を、温度検出素子とする場合において、前記先
行技術のものが有する問題を解消するようにした温度検
出素子の構造と、その形成方法とを提供することを技術
的課題とするものである。The present invention has the above prior art in the case where the film-like resistor formed directly on the back surface of the insulating substrate in the line type heating element is used as the temperature detecting element as in the above prior art. It is a technical object to provide a structure of a temperature detecting element and a method for forming the temperature detecting element, which solve the problem.
【0007】[0007]
【課題を解決するための手段】この技術的課題を達成す
るため本発明は、「絶縁基板に発熱抵抗体を形成して成
るライン型加熱体において、前記絶縁基板に、コバルト
及びマンガンのうちいずれか一方又は両方を含む抵抗体
を膜状に形成して、この膜状の抵抗体を、前記発熱抵抗
体に対する温度検出素子にする。」と言う構成にした。In order to achieve this technical object, the present invention provides a "line type heating element comprising a heating resistor formed on an insulating substrate, wherein the insulating substrate is either cobalt or manganese. A resistor including one or both of them is formed in a film shape, and the film-shaped resistor serves as a temperature detection element for the heating resistor. "
【0008】また、本発明における形成方法は、「絶縁
基板に発熱抵抗体を形成して成るライン型加熱体におい
て、前記絶縁基板に、コバルト及びマンガンのうちいず
れか一方又は両方を含む抵抗体用ペーストを、スクリー
ン印刷にて膜状に塗布したのち焼成することによって膜
状の抵抗体を形成し、次いで、この膜状抵抗体の両端に
対する電極パターンを、当該両電極パターンが膜状抵抗
体の両端に対して重なるように形成する。」ことにし
た。Further, the forming method according to the present invention is a line type heating element comprising a heating resistor formed on an insulating substrate, wherein the insulating substrate contains one or both of cobalt and manganese. The paste is applied in a film form by screen printing and then fired to form a film-like resistor, and then electrode patterns for both ends of this film-like resistor are prepared. It is formed so that it overlaps with both ends. ”
【0009】[0009]
【作 用】このように構成した温度検出素子は、その
膜状抵抗体にコバルト及びマンガンのうちいずれか一方
又は両方を含むことにより、図7に実線の曲線Bで示す
ように、負の高い抵抗温度係数を有することにより、高
い温度域での抵抗値が低くなって電流値を高くすること
ができると共に、高い温度域での抵抗値の変化量を小さ
くできるのである。[Operation] The temperature detecting element configured as described above has a high negative resistance as shown by a solid curve B in FIG. 7 by including one or both of cobalt and manganese in the film resistor. By having the temperature coefficient of resistance, the resistance value in the high temperature range can be lowered and the current value can be increased, and the change amount of the resistance value in the high temperature range can be reduced.
【0010】ところで、絶縁基板に、抵抗体を膜状に形
成して、この膜状抵抗体を温度検出素子にする場合、そ
の抵抗温度係数を大きくすると共に、抵抗温度係数のバ
ラツキを小さくするには、前記膜状抵抗体における膜厚
さを薄くすると共に、膜状抵抗体における膜厚さを各所
において等しくすることが必要である。そして、前記絶
縁基板に、膜状抵抗体とその両端に対する電極パターン
とを形成するに際して、先づ、前記両電極パターンの方
を先に形成し、次いで、前記抵抗体用ペーストをスクリ
ーン印刷にて塗布することは、このスクリーン印刷に使
用するスクリーンが、両電極パターンの間の部分におい
て、絶縁基板に対して浮き上がった状態になるから、膜
状抵抗体における膜厚さを薄くすることには限界が存在
するばかりか、膜厚さを各所において同じに揃えること
ができないのである。By the way, when a resistor is formed in a film shape on an insulating substrate and the film resistor is used as a temperature detecting element, the temperature coefficient of resistance is increased and the variation in the temperature coefficient of resistance is reduced. It is necessary to reduce the film thickness of the film resistor and equalize the film thickness of the film resistor at various points. Then, when forming the film resistor and the electrode pattern for both ends thereof on the insulating substrate, first, the both electrode patterns are formed first, and then the resistor paste is screen-printed. Applying the film makes it difficult to reduce the film thickness of the film resistor because the screen used for this screen printing will float above the insulating substrate in the area between both electrode patterns. Not only does it exist, but it is not possible to make the film thickness uniform at every location.
【0011】これに対し、本発明は、前記絶縁基板に、
先づ、抵抗体用ペーストを、スクリーン印刷にて膜状に
塗布したのち焼成することによって膜状の抵抗体を形成
し、次いで、この膜状抵抗体の両端に対する電極パター
ンを、当該両電極パターンが膜状抵抗体の両端に対して
重なるように形成したもので、前記絶縁基板に対して抵
抗体用ペーストをスクリーン印刷にて塗布する場合に、
これに使用するスクリーンを、絶縁基板に密接すること
ができるから、膜状抵抗体における膜厚さを、薄くする
ことができると共に、その膜厚さのバラツキを小さくす
ることができるのである。On the other hand, according to the present invention, the insulating substrate is
First, a resistor paste is applied in a film form by screen printing and then fired to form a film resistor, and then electrode patterns for both ends of the film resistor are formed. Is formed so as to overlap with both ends of the film resistor, and when the resistor paste is applied to the insulating substrate by screen printing,
Since the screen used for this can be in close contact with the insulating substrate, the film thickness of the film resistor can be reduced and the variation in the film thickness can be reduced.
【0012】[0012]
【発明の効果】このように、本発明によると、絶縁基板
に対して直接的に形成した温度検出素子に、負の高い抵
抗温度係数を付与することができることにより、高い温
度域での電流値を高くして、ノイズの影響を低減できる
と共に、高い温度域での抵抗値の変化量を小さくできる
から、発熱抵抗体に対する温度制御の精度を大幅に向上
できる効果を有する。As described above, according to the present invention, the temperature detecting element formed directly on the insulating substrate can be provided with a high negative temperature coefficient of resistance, so that the current value in the high temperature range can be increased. Can be increased to reduce the influence of noise and reduce the amount of change in resistance value in a high temperature range, so that the accuracy of temperature control for the heating resistor can be significantly improved.
【0013】また、本発明による温度検出素子の形成方
法によると、ライン型加熱体における温度検出素子を、
高くすることができると共に、当該抵抗温度係数のバラ
ツキを小さくすることができる効果を有する。Further, according to the method of forming a temperature detecting element of the present invention, the temperature detecting element in the line type heating element is
It has the effect of increasing the temperature and reducing the variation in the temperature coefficient of resistance.
【0014】[0014]
【実施例】以下、本発明の実施例を、図1〜図6の図面
に基づいて説明する。図1は、絶縁基板2の表面に、発
熱抵抗体3をライン状に形成して成るライン型加熱体1
を示す。このライン型加熱体1を、図2に示すように、
裏返しにした状態で、その絶縁基板2の裏面に対して、
抵抗体形成用の抜き窓4aを穿設したスクリーン4を重
ね、このスクリーン4における抜き窓4a内に、コバル
ト及びマンガンのうちいずれか一方又は両方を含む抵抗
体用ペーストを充填と言うスクリーン印刷を行ったのち
焼成することにより、図3に示すように、膜状の抵抗体
5を形成する。Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings of FIGS. FIG. 1 shows a line type heating body 1 in which a heating resistor 3 is formed in a line on the surface of an insulating substrate 2.
Indicates. As shown in FIG. 2, this line-type heating body 1 is
With the inside upside down, with respect to the back surface of the insulating substrate 2,
Screen printing called filling a resistor paste containing one or both of cobalt and manganese in the aperture 4a of the screen 4 is overlapped with the screen 4 having the aperture 4a for resistor formation. After that, by firing, a film-shaped resistor 5 is formed as shown in FIG.
【0015】これにより、前記膜状抵抗膜5における膜
厚さを、そのスクリーン印刷に際して使用するスクリー
ンの板厚さまで薄くすることができると共に、各所均一
厚さにすることができるのである。次いで、前記絶縁基
板2の裏面に対して、図4に示すように、二本の電極パ
ターン形成用の抜き窓6a,6bを穿設したスクリーン
6を重ね、このスクリーン6における抜き窓6a,6b
内に、銀ペースト等の導電性ペーストを充填と言うスク
リーン印刷を行ったのち焼成することにより、図5及び
図6に示すように、一対の電極パターン7,8を、当該
両電極パターン7,8が前記膜状抵抗体5の両端に対し
て一部重なるようにして形成するのである。As a result, the film thickness of the membranous resistance film 5 can be reduced to the plate thickness of the screen used in the screen printing, and can be made uniform at each place. Next, as shown in FIG. 4, a screen 6 having two punched windows 6a and 6b for electrode pattern formation is overlaid on the back surface of the insulating substrate 2, and the punched windows 6a and 6b in the screen 6 are stacked.
By conducting screen printing called filling with a conductive paste such as silver paste in the inside and firing, a pair of electrode patterns 7 and 8 are formed, as shown in FIG. 5 and FIG. 8 is formed so as to partially overlap both ends of the film resistor 5.
【0016】なお、前記膜状抵抗体5は、その抵抗値が
所定値になるようにトリミングされたのち、ガラス等の
保護膜9にてオーバーコートされている。前記ライン型
加熱体1における絶縁基板2の裏面に形成した膜状抵抗
体5は、コバルト及びマンガンのうちいずれか一方又は
両方を含むことにより、図7に実線の曲線Bで示すよう
に、負の高い抵抗温度係数を有するから、高い温度域で
の抵抗値が低くなって電流値が高くなると共に、高い温
度域での抵抗値の変化量が小さくなるのである。The film resistor 5 is trimmed so that its resistance value becomes a predetermined value, and then overcoated with a protective film 9 such as glass. The film-shaped resistor 5 formed on the back surface of the insulating substrate 2 in the line-type heating element 1 contains one or both of cobalt and manganese, and thus, as shown by a solid curve B in FIG. Since it has a high temperature coefficient of resistance, the resistance value in the high temperature range becomes low and the current value becomes high, and the change amount of the resistance value in the high temperature range becomes small.
【0017】そこで、図5に示すように、発熱抵抗体3
に対する電源回路10を、前記膜状抵抗体5を流れる電
流を入力とする温度制御回路11によって、前記膜状抵
抗体5を流れる電流が高くなると発熱抵抗体3に対する
電力を下げるように制御することにより、前記発熱抵抗
体3における温度が所定値になるように、応答性良く正
確に制御することができるのである。Therefore, as shown in FIG.
The power supply circuit 10 is controlled by the temperature control circuit 11 which receives the current flowing through the film resistor 5 so as to reduce the power to the heating resistor 3 when the current flowing through the film resistor 5 increases. Thus, the temperature of the heating resistor 3 can be accurately controlled with good responsiveness so as to reach a predetermined value.
【図1】ライン型加熱体の斜視図である。FIG. 1 is a perspective view of a line-type heating body.
【図2】ライン型加熱体における絶縁基板の裏面に膜状
抵抗体を形成している状態を示す斜視図である。FIG. 2 is a perspective view showing a state where a film resistor is formed on the back surface of an insulating substrate in a line-type heating body.
【図3】ライン型加熱体における絶縁基板の裏面に膜状
抵抗体を形成した状態の斜視図である。FIG. 3 is a perspective view showing a state where a film resistor is formed on the back surface of the insulating substrate in the line-type heating body.
【図4】ライン型加熱体における絶縁基板の裏面に電極
パターン形成している状態を示す斜視図である。FIG. 4 is a perspective view showing a state in which an electrode pattern is formed on the back surface of an insulating substrate in a line-type heating body.
【図5】ライン型加熱体における絶縁基板の裏面に電極
パターン形成した状態の斜視図である。FIG. 5 is a perspective view showing a state where an electrode pattern is formed on the back surface of an insulating substrate in a line-type heating body.
【図6】図5のVI−VI視拡大断面図である。6 is an enlarged sectional view taken along line VI-VI of FIG.
【図7】膜状抵抗体における抵抗温度係数を示す図であ
る。FIG. 7 is a diagram showing a temperature coefficient of resistance of a film resistor.
1 ライン型加熱体 2 絶縁基板 3 発熱抵抗体 4 スクリーン 5 膜状抵抗体 7,8 電極パターン 1 Line type heating element 2 Insulating substrate 3 Heating resistor 4 Screen 5 Membrane resistor 7, 8 Electrode pattern
Claims (2)
ン型加熱体において、前記絶縁基板に、コバルト及びマ
ンガンのうちいずれか一方又は両方を含む抵抗体を膜状
に形成して、この膜状の抵抗体を、前記発熱抵抗体に対
する温度検出素子にすることを特徴とするライン型加熱
体における温度検出素子の構造。1. A line-type heating element comprising a heating resistor formed on an insulating substrate, wherein a resistor containing one or both of cobalt and manganese is formed in a film shape on the insulating substrate. A structure of a temperature detecting element in a line-type heating body, wherein a film-shaped resistor is used as a temperature detecting element for the heating resistor.
るライン型加熱体において、前記絶縁基板に、コバルト
及びマンガンのうちいずれか一方又は両方を含む抵抗体
用ペーストを、スクリーン印刷にて膜状に塗布したのち
焼成することによって膜状の抵抗体を形成し、次いで、
この膜状抵抗体の両端に対する電極パターンを、当該両
電極パターンが膜状抵抗体の両端に対して重なるように
形成することを特徴とするライン型加熱体における温度
検出素子の形成方法。2. A line-type heating element comprising a heating resistor formed on the surface of an insulating substrate, wherein a resistor paste containing one or both of cobalt and manganese is screen-printed on the insulating substrate. To form a film-like resistor by firing and then applying it to form a film.
A method for forming a temperature detecting element in a line-type heating element, characterized in that the electrode patterns for both ends of the film-shaped resistor are formed so that both electrode patterns overlap the both ends of the film-shaped resistor.
Priority Applications (1)
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---|---|---|---|
JP16778794A JP3406690B2 (en) | 1994-07-20 | 1994-07-20 | Method of forming temperature detecting element in line type heating element |
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Publication Number | Publication Date |
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Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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JP2000044511A (en) * | 1998-05-26 | 2000-02-15 | Mitsubishi Materials Corp | Production of cobalt salt or manganese salt, agent for forming thin film for thermistor and formation of its thin film |
JP2011530186A (en) * | 2008-08-07 | 2011-12-15 | エプコス アクチエンゲゼルシャフト | Sensor device and manufacturing method thereof |
-
1994
- 1994-07-20 JP JP16778794A patent/JP3406690B2/en not_active Expired - Fee Related
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US8705245B2 (en) | 2008-08-07 | 2014-04-22 | Epcos Ag | Sensor device and method for manufacture |
US9370109B2 (en) | 2008-08-07 | 2016-06-14 | Epcos Ag | Sensor device and method for manufacture |
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