JPH08292567A - Photosensitive resin composition and multilayered printed circuit board using its cured body as interlaminar insulating layer - Google Patents

Photosensitive resin composition and multilayered printed circuit board using its cured body as interlaminar insulating layer

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JPH08292567A
JPH08292567A JP10103895A JP10103895A JPH08292567A JP H08292567 A JPH08292567 A JP H08292567A JP 10103895 A JP10103895 A JP 10103895A JP 10103895 A JP10103895 A JP 10103895A JP H08292567 A JPH08292567 A JP H08292567A
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JP
Japan
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photosensitive resin
resin composition
epoxy
weight
parts
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Application number
JP10103895A
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Japanese (ja)
Inventor
Hiroyuki Fukai
弘之 深井
Shin Takanezawa
伸 高根沢
Kenichi Tomioka
健一 富岡
Tomoko Kawamoto
倫子 河本
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Showa Denko Materials Co Ltd
Original Assignee
Hitachi Chemical Co Ltd
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H05ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
    • H05KPRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
    • H05K3/00Apparatus or processes for manufacturing printed circuits
    • H05K3/46Manufacturing multilayer circuits
    • H05K3/4644Manufacturing multilayer circuits by building the multilayer layer by layer, i.e. build-up multilayer circuits
    • H05K3/4673Application methods or materials of intermediate insulating layers not specially adapted to any one of the previous methods of adding a circuit layer
    • H05K3/4676Single layer compositions

Abstract

PURPOSE: To provide a photosensitive resin compsn. developable with an aq. soln. and excellent in flame retarding property because of an added flame retardant causing no problem on safety, environment, etc., and to provide a printed circuit board using the resin compsn. CONSTITUTION: An acrylate which cures when irradiated with light and a photopolymn. initiator are blended with condensed phosphoric acid amide. At least one among epoxy resin, epoxy acrylate having an epoxy residue and carboxyl group-contg. epoxy acrylate having an epoxy residue and an epoxy resin curing agent are further incorporated.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】本発明は、難燃性に優れた感光性
樹脂組成物とそれを層間絶縁材料に用いたプリント配線
板に関する。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a photosensitive resin composition having excellent flame retardancy and a printed wiring board using the same as an interlayer insulating material.

【0002】[0002]

【従来の技術】電子機器の小型化、軽量化、多機能化に
伴い、多層プリント配線板には高密度化が求められてい
る。この為、近年、光を照射することにより硬化する絶
縁樹脂層を回路形成した絶縁基板上に形成し、フォトプ
ロセスにより絶縁樹脂に微小なバイアホ−ルを形成し、
このバイアホ−ルを経由して異なった層に形成した回路
間を電気的に接続する方法が提案されている(昭63−
126296号公報、特公平4−55555号公報参
照)。
2. Description of the Related Art As electronic devices have become smaller, lighter and more multifunctional, higher density has been required for multilayer printed wiring boards. For this reason, in recent years, an insulating resin layer that is cured by irradiation with light is formed on an insulating substrate on which a circuit is formed, and a minute via hole is formed in the insulating resin by a photo process.
A method of electrically connecting circuits formed in different layers via this via hole has been proposed (Sho 63-).
No. 126296, Japanese Patent Publication No. 4-55555).

【0003】層間絶縁材料は、フォトプロセスにおいて
使用する現像液の種類によって、溶剤現像型、準水現像
型及びアルカリ現像型に大別されている。層間絶縁材料
の難燃化には、一般に、溶剤現像型ではハロゲン化物が
使用され、準水現像型及びアルカリ現像型では三酸化ア
ンチモンが使用されている。
The interlayer insulating material is roughly classified into a solvent developing type, a quasi-water developing type and an alkali developing type according to the type of developing solution used in the photo process. In order to make the interlayer insulating material flame-retardant, a halide is generally used in the solvent development type, and antimony trioxide is used in the quasi-water development type and the alkali development type.

【0004】[0004]

【発明が解決しようとする課題】ところが、ハロゲン化
物は、燃焼時に発生するハロゲン系ガスの毒性が問題視
され、三酸化アンチモンについても、劇・毒物取締法の
第2条で定義される劇物に指定され、危規則の第3条告
示別表第4において毒物にも規定されていて、その取扱
いには注意を要する。さらに、現像液としてクロロセン
等の有機溶剤を用いる溶剤現像型の材料では、こうした
有機溶剤の使用のため安全および環境問題等が懸念され
る。
However, halides are regarded as a problem with the toxicity of halogen-based gas generated during combustion, and antimony trioxide is also a deleterious substance defined in Article 2 of the Act on Poisonous and Poisonous Control. It is designated as a toxic substance, and it is specified as a poisonous substance in Appended Table 4 of Article 3 of the Dangerous Goods Regulations. Furthermore, in a solvent-developable material that uses an organic solvent such as chlorothene as a developing solution, there are concerns about safety and environmental problems due to the use of such an organic solvent.

【0005】本発明の目的は、安全および環境等に問題
のない水溶液により現像が可能で、かつ安全および環境
等に問題のない難燃剤の添加により、難燃性に優れた感
光性樹脂組成物およびそれを用いたプリント配線板を提
供することにある。
An object of the present invention is to develop a photosensitive resin composition which is excellent in flame retardancy by adding a flame retardant which can be developed by an aqueous solution having no problem in safety and environment and which has no problem in safety and environment. And to provide a printed wiring board using the same.

【0006】[0006]

【課題を解決するための手段】本発明は、光を照射する
ことにより硬化するアクリレート及び光重合開始剤に縮
合リン酸アミドを配合してなる感光性樹脂組成物であ
る。
The present invention is a photosensitive resin composition comprising an acrylate which is cured by irradiation with light and a photopolymerization initiator and condensed phosphoric acid amide.

【0007】この感光性樹脂組成物は、接着性、耐熱性
を向上させるため、エポキシ樹脂、エポキシ残基を有す
るエポキシアクリレートおよびエポキシ残基を有するカ
ルボキシル基含有エポキシアクリレートからなる群の少
なくとも1種と、エポキシ樹脂硬化剤とを含ませ、光硬
化と熱硬化の併用によって硬化せしめるものであること
が好ましい。
This photosensitive resin composition contains at least one member selected from the group consisting of an epoxy resin, an epoxy acrylate having an epoxy residue and a carboxyl group-containing epoxy acrylate having an epoxy residue in order to improve adhesiveness and heat resistance. It is preferable that an epoxy resin curing agent is included and curing is performed by a combination of light curing and heat curing.

【0008】光を照射することにより硬化するアクリレ
ートは、不飽和カルボン酸と2価以上のポリヒドロキシ
化合物とのエステル反応によって得られる。不飽和カル
ボン酸と2価以上のポリヒドロキシ化合物とのエステル
反応によって得られる化合物としては、ポリエチレング
リコールジアクリレート、トリメチロールプロパントリ
アクリレート、ジエチレングリコールジアクリレート、
ブチレングリコールジアクリレート、ヘキサンジオール
ジアクリレート、トリエチレングリコールジアクリレー
ト、ネオペンチルグリコールジアクリレート、ペンタエ
リスリトールトリアクリレート、ジペンタエリスリトー
ルヘキサアクリレート、トリシクロデカンジメチロール
ジアクリレート、ポリカーボネートジオールジアクリレ
ート、フェノキシポリエチレングリコールアクリレー
ト、ビスフェノールAのアクリレート、フェノキシエチ
ルアクリレート、ノニルフェノキシエチルアクリレー
ト、テトラヒドロフルフリルオキシエチルアクリレー
ト、シクロヘキサンオキシエチルアクリレート、トリシ
クロデカニルオキシアクリレート、グリセロールアクリ
レートおよびこれらのメタクリレート等が挙げられる。
また、エポキシ樹脂とアクリル酸又はメタアクリル酸と
の反応によって得られるエポキシアクリレート、その
他、ウレタンアクリレート、ポリエステルアクリレート
等が挙げられる。配合量は特に限定されるものではない
が、5〜50重量部が良好である。
The acrylate which is cured by irradiation with light is obtained by an ester reaction of an unsaturated carboxylic acid and a polyhydroxy compound having a valence of 2 or more. Examples of the compound obtained by the ester reaction of an unsaturated carboxylic acid and a polyhydroxy compound having a valence of 2 or more include polyethylene glycol diacrylate, trimethylolpropane triacrylate, diethylene glycol diacrylate,
Butylene glycol diacrylate, hexanediol diacrylate, triethylene glycol diacrylate, neopentyl glycol diacrylate, pentaerythritol triacrylate, dipentaerythritol hexaacrylate, tricyclodecane dimethylol diacrylate, polycarbonate diol diacrylate, phenoxy polyethylene glycol acrylate , Bisphenol A acrylate, phenoxyethyl acrylate, nonylphenoxyethyl acrylate, tetrahydrofurfuryloxyethyl acrylate, cyclohexaneoxyethyl acrylate, tricyclodecanyloxy acrylate, glycerol acrylate and methacrylates thereof.
Further, epoxy acrylate obtained by reaction of an epoxy resin with acrylic acid or methacrylic acid, urethane acrylate, polyester acrylate and the like can be mentioned. The compounding amount is not particularly limited, but 5 to 50 parts by weight is preferable.

【0009】カルボキシル基含有エポキシアクリレート
は、エポキシ樹脂に不飽和カルボン酸を反応させた生成
物に、多塩基酸無水物を反応させて得られる。
The carboxyl group-containing epoxy acrylate is obtained by reacting a polybasic acid anhydride with a product obtained by reacting an epoxy resin with an unsaturated carboxylic acid.

【0010】カルボキシル基含有エポキシアクリレート
の合成に使用するエポキシ樹脂としては、ビスフェノー
ルA型エポキシ樹脂、ビスフェノールF型エポキシ樹
脂、ビスフェノールS型エポキシ樹脂、フェノールノボ
ラック型エポキシ樹脂、クレゾールノボラック型エポキ
シ樹脂、環式脂肪族エポキシ樹脂、グリシジルエステル
系樹脂、グリシジルアミン系樹脂、複素環式エポキシ樹
脂等が挙げられる。特に、耐熱性に優れたノボラック型
エポキシ樹脂が有用である。
As the epoxy resin used for the synthesis of the carboxyl group-containing epoxy acrylate, bisphenol A type epoxy resin, bisphenol F type epoxy resin, bisphenol S type epoxy resin, phenol novolac type epoxy resin, cresol novolac type epoxy resin, cyclic type Examples thereof include aliphatic epoxy resins, glycidyl ester resins, glycidyl amine resins, and heterocyclic epoxy resins. Particularly, a novolac type epoxy resin having excellent heat resistance is useful.

【0011】カルボキシル基含有エポキシアクリレート
の合成に使用する不飽和カルボン酸としては、アクリル
酸、メタアクリル酸、クロトン酸、ケイ皮酸等がある。
カルボキシル基含有エポキシアクリレートの合成に使用
する多塩基酸無水物としては、無水マレイン酸、無水コ
ハク酸、無水イタコン酸、無水フタル酸、テトラヒドロ
無水フタル酸、メチルテトラヒドロ無水フタル酸、エン
ドメチレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルエンドメ
チレンテトラヒドロ無水フタル酸、メチルブテニルテト
ラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ無水フタル酸、メ
チルヘキサヒドロ無水フタル酸、無水トリメリット酸、
無水ピロメリット酸、無水ベンゾフェノンテトラカルボ
ン酸、ドデセニル無水コハク酸、メチルシクロヘキセン
ジカルボン酸無水物、ポリアゼライン酸無水物などがあ
る。これら多塩基酸無水物の添加量は特に限定されるも
のではないが、得られるカルボキシル基含有エポキシア
クリレートの酸価が15〜100mgKOH/gの範囲
が好ましい。
The unsaturated carboxylic acid used for the synthesis of the carboxyl group-containing epoxy acrylate includes acrylic acid, methacrylic acid, crotonic acid, cinnamic acid and the like.
Polybasic acid anhydrides used in the synthesis of carboxyl group-containing epoxy acrylates include maleic anhydride, succinic anhydride, itaconic anhydride, phthalic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, methyltetrahydrophthalic anhydride, endomethylenetetrahydrophthalic anhydride. Acid, methylendomethylenetetrahydrophthalic anhydride, methylbutenyltetrahydrophthalic anhydride, hexahydrophthalic anhydride, methylhexahydrophthalic anhydride, trimellitic anhydride,
Examples thereof include pyromellitic anhydride, benzophenone tetracarboxylic acid anhydride, dodecenyl succinic anhydride, methylcyclohexene dicarboxylic acid anhydride, and polyazelaic anhydride. The addition amount of these polybasic acid anhydrides is not particularly limited, but the acid value of the obtained carboxyl group-containing epoxy acrylate is preferably in the range of 15 to 100 mgKOH / g.

【0012】エポキシ樹脂と不飽和カルボン酸との反応
は、エポキシ樹脂をメチルエチルケトン、メチルセロソ
ルブアセテート、エチルセロソルブアセテート、シクロ
ヘキサノン、プロピレングリコールモノメチルエーテル
アセテート等の等の有機溶剤に溶解し、触媒としてトリ
エチルアミン、トリ−n−ブチルアミン、ジエチルシク
ロヘキシルアミン等の三級アミン、塩化ベンジルトリメ
チルアンモニウム、塩化ベンジルトリエチルアンモニウ
ム等の四級アンモニウム塩など、また、重合禁止剤とし
てハイドロキノン、p−メトキシフェノール等を用い、
60〜150℃で攪拌混合して反応させる。さらに、多
塩基酸無水物を添加して同様に反応させることによりカ
ルボキシル基含有エポキシアクリレートが得られる。
The reaction between the epoxy resin and the unsaturated carboxylic acid is carried out by dissolving the epoxy resin in an organic solvent such as methyl ethyl ketone, methyl cellosolve acetate, ethyl cellosolve acetate, cyclohexanone, propylene glycol monomethyl ether acetate, etc., and using triethylamine or triethylamine as a catalyst. -N-butylamine, tertiary amines such as diethylcyclohexylamine, quaternary ammonium salts such as benzyltrimethylammonium chloride and benzyltriethylammonium chloride, and hydroquinone, p-methoxyphenol and the like as a polymerization inhibitor,
Stir and mix at 60 to 150 ° C to react. Further, a carboxyl group-containing epoxy acrylate is obtained by adding a polybasic acid anhydride and reacting it in the same manner.

【0013】光重合開始剤としては、ベンゾフェノン、
2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−
オン、2,4−ジエチルチオキサントン、p−ジメチル
アミノ安息香酸イソアミルエステル、1−ヒドロキシシ
クロヘキシルフェニルケトン、2−メチル−1−〔4−
(メチルチオ)フェニル〕−2−モンフォリノプロパノ
ン、2−ベンジル−2−ジメチルアミノ−1−(4−モ
ンフォリノフェニル)−ブタノン、2−ヒドロキシ−2
−メチル−1−フェニルプロパン−1−オン、2,4,
6−トリメチルベンゾイルジフェニルフォスヒンオキサ
イド、1−〔4−(2−ヒドロキシエトキシ)−フェニ
ル〕−2−ヒドロキシ−2−メチル−1−プロパン−1
−オン、ビス(シクロペンタジフェニル)−ビス〔2,
6−ジフルオロ−3−(ピル−1−イル)チタニウ
ム〕、ビスアシルフォスフィンオキサイド、(η5
2,2−シクロペンタジエン)〔(1,2,3,4,
5,6−η)−(1−メチルエチル)ベンゼン〕−アイ
アン(1+)−ヘキサフルオロフォスフェイト(1−)
等があり、これらの1種以上を用いることができる。ま
た、安息香酸系および第三級アミン系などの公知の光重
合促進剤を併用することもできる。このような光重合開
始剤の配合量は、0.2〜10重量部の範囲で用いられ
る。
As the photopolymerization initiator, benzophenone,
2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-
On, 2,4-diethylthioxanthone, p-dimethylaminobenzoic acid isoamyl ester, 1-hydroxycyclohexyl phenyl ketone, 2-methyl-1- [4-
(Methylthio) phenyl] -2-monforinopropanone, 2-benzyl-2-dimethylamino-1- (4-monforinophenyl) -butanone, 2-hydroxy-2
-Methyl-1-phenylpropan-1-one, 2,4
6-trimethylbenzoyldiphenylphosphine oxide, 1- [4- (2-hydroxyethoxy) -phenyl] -2-hydroxy-2-methyl-1-propane-1
-One, bis (cyclopentadiphenyl) -bis [2,2
6-difluoro-3- (pyrr-1-yl) titanium], bisacylphosphine oxide, (η 5
2,2-cyclopentadiene) [(1,2,3,4,
5,6-η)-(1-Methylethyl) benzene] -iron (1 +)-hexafluorophosphate (1-)
Etc., and one or more of these can be used. Further, known photopolymerization accelerators such as benzoic acid type and tertiary amine type may be used in combination. The blending amount of such a photopolymerization initiator is used in the range of 0.2 to 10 parts by weight.

【0014】縮合リン酸アミドは、りん酸アンモニウム
を縮合して得られる化合物で、通常りんを20〜40
%、窒素を5〜30%の範囲の割合で含有している。縮
合リン酸アミドの配合量は、1〜30重量%とする。
The condensed phosphoric acid amide is a compound obtained by condensing ammonium phosphate, and usually contains phosphorus in an amount of 20 to 40.
%, And nitrogen in the range of 5 to 30%. The content of the condensed phosphoric acid amide is 1 to 30% by weight.

【0015】エポキシ樹脂としては、カルボキシル基含
有エポキシアクリレートの合成に使用するエポキシ樹脂
として記載したものと同様のものが使用できる。これら
の配合量は、10〜50重量部が良好な配合量で、量が
多いと現像性が低下し、少ないと接着性、耐熱性が低下
する。
As the epoxy resin, the same ones as those described as the epoxy resin used for the synthesis of the carboxyl group-containing epoxy acrylate can be used. The content of these components is preferably 10 to 50 parts by weight. When the content is large, the developability is deteriorated, and when the content is small, the adhesiveness and heat resistance are deteriorated.

【0016】エポキシ残基を有するエポキシアクリレー
トは、上記エポキシ樹脂1当量に対し、上記不飽和カル
ボン酸を1当量未満反応させて得られる。また、エポキ
シ残基を有するカルボキシル基含有エポキシアクリレー
トは、上記エポキシ残基を有するエポキシアクリレート
と多塩基酸無水物とを反応させて得られる。
The epoxy acrylate having an epoxy residue is obtained by reacting less than 1 equivalent of the unsaturated carboxylic acid with 1 equivalent of the epoxy resin. The carboxyl group-containing epoxy acrylate having an epoxy residue is obtained by reacting the epoxy acrylate having an epoxy residue with a polybasic acid anhydride.

【0017】エポキシ樹脂硬化剤は、ジアミノジフェニ
ルスルホン、ジアミノジフェニルメタン、ピペリジン、
テトラメチルグアニジン等のアミン系硬化剤、無水トリ
メリット酸、テトラヒドロ無水フタル酸、ヘキサヒドロ
無水フタル酸等の酸無水物類、2−ヘプタデスルイミダ
ゾール、1−シアノエチル−2−エチル−4−メチルイ
ミダゾール等のイミダゾール類、三フッ化ホウ素アミン
錯体、ジシアンジアミドおよびその誘導体、有機酸ヒド
ラジッド、メラミン、芳香族ジアゾニウム塩、ジアリル
ヨードニウム塩、トリアリルスルホニウム塩、フェノー
ル樹脂、アミン樹脂、ポリビニルフェノール等が用いら
れ、これらの1種以上を組み合わせて使用してもよい。
Epoxy resin curing agents include diaminodiphenyl sulfone, diaminodiphenylmethane, piperidine,
Amine curing agents such as tetramethylguanidine, acid anhydrides such as trimellitic anhydride, tetrahydrophthalic anhydride, and hexahydrophthalic anhydride, 2-heptadesluimidazole, 1-cyanoethyl-2-ethyl-4-methylimidazole Imidazoles such as, boron trifluoride amine complex, dicyandiamide and its derivatives, organic acid hydrazide, melamine, aromatic diazonium salts, diallyl iodonium salts, triallyl sulfonium salts, phenol resins, amine resins, polyvinylphenol and the like are used, You may use it in combination of 1 or more types of these.

【0018】更に、本発明の感光性樹脂組成物には、微
粒子状充填剤として、微粉末シリカ、タルク、酸化チタ
ン、炭酸カルシウム、硫酸バリウム、ケイ酸ジルコニウ
ム、水酸化アルミニウム等を配合できる。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention may contain fine powder silica, talc, titanium oxide, calcium carbonate, barium sulfate, zirconium silicate, aluminum hydroxide or the like as a fine particle filler.

【0019】また、本発明の感光性樹脂組成物には、酸
化性の水溶液によって溶解するものとして、NBR、イ
ソプレンゴム、天然ゴム等のゴム成分や、ポリブタジエ
ン及びポリブタジエン変成物等が配合できる。そのほ
か、染料、顔料、分散剤、消泡剤等を含有してもよい。
Further, the photosensitive resin composition of the present invention may be blended with a rubber component such as NBR, isoprene rubber, natural rubber or the like, polybutadiene and polybutadiene modified product, etc., which are dissolved in an oxidizing aqueous solution. In addition, dyes, pigments, dispersants, defoaming agents and the like may be contained.

【0020】以上説明した感光性樹脂組成物を用いて、
図1に示した工程で多層配線板を製造する。図1に示し
た工程に従い詳しく説明する。
Using the photosensitive resin composition described above,
A multilayer wiring board is manufactured by the process shown in FIG. A detailed description will be given according to the steps shown in FIG.

【0021】先ず、第1の回路2を形成した絶縁基板1
を用意する(図1−(a))。この絶縁基板1の材質
は、特に限定されるものではなく、ガラス布−エポキシ
樹脂、紙−フェノール樹脂、紙−エポキシ樹脂、ガラス
布・ガラス紙−エポキシ樹脂、ガラス布−ポリイミド樹
脂等通常の配線板に用いられるものが使用できる。第1
の回路2を形成する方法としては、銅はくを絶縁基板1
に張り合わせた銅張り積層板を用い、銅はくの不要な部
分をエッチング除去するサブトラクティブ法や、絶縁基
板1の必要な箇所に無電解めっきによって回路を形成す
るアディティブ法等、通常の配線板製造法を用いること
ができる。
First, the insulating substrate 1 on which the first circuit 2 is formed
Are prepared (FIG. 1- (a)). The material of the insulating substrate 1 is not particularly limited, and ordinary wiring such as glass cloth-epoxy resin, paper-phenol resin, paper-epoxy resin, glass cloth / glass paper-epoxy resin, glass cloth-polyimide resin, etc. What is used for a board can be used. First
As a method of forming the circuit 2 of FIG.
Ordinary wiring board, such as a subtractive method of etching away unnecessary portions of copper foil by using a copper-clad laminate bonded to the substrate and an additive method of forming a circuit on the insulating substrate 1 by electroless plating Manufacturing methods can be used.

【0022】次に、第1の回路2の表面を含む前記絶縁
基板1の表面上に、本発明の感光性樹脂組成物からなる
層3を形成する(図1−(b))。この形成方法は、液
状の樹脂をロールコート、カーテンコート、ディップコ
ート等の方法で塗布する方式や、前記感光性樹脂組成物
をフィルム化してラミネートで張り合わせる方式を用い
ることができる。
Next, a layer 3 made of the photosensitive resin composition of the present invention is formed on the surface of the insulating substrate 1 including the surface of the first circuit 2 (FIG. 1- (b)). As the forming method, a method in which a liquid resin is applied by a method such as roll coating, curtain coating, or dip coating, or a method in which the photosensitive resin composition is formed into a film and laminated together can be used.

【0023】次に、感光性樹脂組成物層3に、第1の回
路2と第2の回路と接続するバイアホールを形成するた
めにフォトマスク41を介して露光し(図1−
(c))、未露光部分を現像液により食刻する方法によ
って感光性樹脂組成物層3にバイアホール61を形成す
る(図1−(d))。露光は、通常の配線板のレジスト
形成方法と同じ手法が用いられる。また、未露光部分を
食刻する現像液としては、感光性樹脂組成物をどのよう
な現像タイプにすることで決定されるが、アルカリ現像
液、準水現像液等を用いることができる。
Next, the photosensitive resin composition layer 3 is exposed through a photomask 41 to form a via hole connecting the first circuit 2 and the second circuit (FIG.
(C)), a via hole 61 is formed in the photosensitive resin composition layer 3 by a method of etching the unexposed portion with a developing solution (FIG. 1- (d)). For the exposure, the same method as the ordinary method for forming a resist on a wiring board is used. The developing solution for etching the unexposed portion is determined by the developing type of the photosensitive resin composition, but an alkaline developing solution, a semi-water developing solution or the like can be used.

【0024】次に、感光性樹脂組成物層3を酸化性粗化
液で処理して粗化面71を形成した後、感光性樹脂組成
物層3上に銅めっきを析出させて、第2の回路8の形成
及びバイアホールによる第1回路2と第2の回路8間の
層間接続を行う(図1−(e))。この場合、感光性樹
脂組成物層3を紫外線及び紫外線と熱で硬化させてから
酸化性粗化液に浸漬する手法を用いることもできる。酸
化性粗化液としては、クロム/硫酸粗化液、アルカリ過
マンガン酸粗化液、フッ化ナトリウム/クロム/硫酸粗
化液、ホウフッ酸粗化液等を用いることができる。
Next, the photosensitive resin composition layer 3 is treated with an oxidizing roughening solution to form a roughened surface 71, and then copper plating is deposited on the photosensitive resin composition layer 3 to form a second surface. And the interlayer connection between the first circuit 2 and the second circuit 8 is performed by the via hole (FIG. 1- (e)). In this case, it is also possible to use a method in which the photosensitive resin composition layer 3 is cured with ultraviolet rays and ultraviolet rays and heat and then immersed in an oxidizing roughening solution. As the oxidizing roughening liquid, a chromium / sulfuric acid roughening liquid, an alkali permanganate roughening liquid, a sodium fluoride / chromium / sulfuric acid roughening liquid, a borofluoric acid roughening liquid, etc. can be used.

【0025】第2の回路8を形成する方法としては、粗
化した感光性樹脂組成物層3の表面に無電解めっき用の
触媒を付与して全面に無電解めっき銅を析出させ、必要
な場合には電気めっきによって回路導体を必要な厚さに
して、不要な箇所をエッチング除去して形成する方法
や、めっき触媒を含有した感光性樹脂組成物層3を用い
て、めっきレジストを形成して必要な箇所のみ無電解め
っきにより回路形成する方法、及びめっき触媒を含有し
ない感光性樹脂組成物層3を粗化し、めっき触媒を付与
した後めっきレジストを形成して必要な箇所のみ無電解
めっきにより回路形成する方法等を用いることができ
る。
As a method of forming the second circuit 8, a catalyst for electroless plating is applied to the surface of the roughened photosensitive resin composition layer 3 to deposit electroless plated copper on the entire surface, and the necessary In that case, a plating resist is formed by a method of forming a circuit conductor by electroplating to a required thickness and removing unnecessary portions by etching, or by using a photosensitive resin composition layer 3 containing a plating catalyst. And a method for forming a circuit by electroless plating only at a necessary portion, and a step of roughening the photosensitive resin composition layer 3 containing no plating catalyst, applying a plating catalyst and then forming a plating resist, and performing electroless plating only at a necessary portion. The method of forming a circuit can be used.

【0026】配線層をさらに多層化する場合には、以上
(図1−(b)〜図1−(e))を繰り返す(図1−
(f)〜図1−(h))。すなわち、第2の回路8を形
成した上に第2の感光性樹脂組成物層9を形成し(図1
−(f))、フォトマスク42を介して露光し(図1−
(g))、未露光部分を現像液で食刻して、バイアホー
ル62を形成しさらに粗化面72を形成する(図1−
(h))。最後に、第3の回路10を形成する(図1−
(i))。この工程において、好ましくは、次の回路層
を支持する感光性樹脂組成物層を形成する前に、その下
になる回路導体表面を粗化して凹凸を形成したり、従来
の多層配線板に用いられているように回路導体表面を酸
化して凹凸を形成したり、酸化して形成した凹凸を水素
化ホウ素ナトリウムやジメチルアミンボラン等のアルカ
リ性還元剤を用いて還元して層間の接着力を高めること
ができる。
When the wiring layers are to be further multilayered, the above (FIG. 1- (b) to FIG. 1- (e)) is repeated (FIG. 1-).
(F) to FIG. 1- (h)). That is, the second photosensitive resin composition layer 9 is formed on the second circuit 8 (see FIG. 1).
-(F)), exposing through the photomask 42 (FIG. 1-).
(G)), the unexposed portion is etched with a developing solution to form a via hole 62 and a roughened surface 72 (FIG. 1-).
(H)). Finally, the third circuit 10 is formed (FIG. 1-
(I)). In this step, preferably, before forming a photosensitive resin composition layer that supports the next circuit layer, the underlying circuit conductor surface is roughened to form irregularities, or used in a conventional multilayer wiring board. As described above, the surface of the circuit conductor is oxidized to form irregularities, or the irregularities formed by oxidation are reduced using an alkaline reducing agent such as sodium borohydride or dimethylamine borane to increase the adhesive force between layers. be able to.

【0027】[0027]

【作用】本発明は、縮合りん酸アミドの添加により優れ
た難燃性を有し、安全性や環境等に問題のない光性樹脂
組成物とそれを用いたプリント配線板を提供できる。
The present invention can provide a light-sensitive resin composition having excellent flame retardancy by addition of condensed phosphoric acid amide and having no problem in safety and environment, and a printed wiring board using the same.

【0028】[0028]

【実施例】【Example】

実施例1 エポキシ当量190のフェノールノボラック型エポキシ
樹脂1当量とメタクリル酸1.05当量とをエチルセロ
ソルブアセテートに溶解し、触媒として塩化ベンジルト
リメチルアンモニウム、重合禁止剤としてハイドロキノ
ンを添加し、90℃で反応させてエポキシアクリレート
を得た。この得られた化合物65重量部とジエチレンジ
アクリレート10重量部及びメタアクリル酸付加アクリ
ロニトリルブタジエンゴム(PNR−1H:日本合成ゴ
ム株式会社製)20重量部、2,2−ジメトキシ−1,
2−ジフェニルエタン−1−オン5重量部、縮合リン酸
アミド(タイエン−S:太平化学産業株式会社製)5重
量部、水酸化アルミニウム(ハイジライトH−42M:
昭和電工株式会社製)10重量部を配合して感光性樹脂
組成物を得た。
Example 1 1 equivalent of a phenol novolac type epoxy resin having an epoxy equivalent of 190 and 1.05 equivalent of methacrylic acid were dissolved in ethyl cellosolve acetate, benzyltrimethylammonium chloride as a catalyst and hydroquinone as a polymerization inhibitor were added, and the mixture was reacted at 90 ° C. To obtain an epoxy acrylate. 65 parts by weight of the obtained compound, 10 parts by weight of diethylene diacrylate and 20 parts by weight of acrylonitrile-butadiene rubber (PNR-1H: manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) with methacrylic acid, 2,2-dimethoxy-1,
5 parts by weight of 2-diphenylethan-1-one, 5 parts by weight of condensed phosphoric acid amide (Taien-S: Taihei Chemical Industry Co., Ltd.), aluminum hydroxide (Hidilite H-42M:
10 parts by weight (manufactured by Showa Denko KK) was blended to obtain a photosensitive resin composition.

【0029】実施例2 エポキシ当量190のフェノールノボラック型エポキシ
樹脂1当量とメタクリル酸1.05当量とをエチルセロ
ソルブアセテートに溶解し、触媒として塩化ベンジルト
リメチルアンモニウム、重合禁止剤としてハイドロキノ
ンを添加し、90℃で反応させて得られる反応物に、テ
トラヒドロ無水フタル酸をヒドロキシル基1当量に対し
て0.5当量反応させてカルボキシル基含有エポキシア
クリレートを得た。この得られた化合物75重量部とメ
タアクリル酸付加アクリロニトリルブタジエンゴム(P
NR−1H:日本合成ゴム株式会社製)20重量部及び
2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−
オン5重量部、縮合リン酸アミド(タイエン−S:太平
化学産業株式会社製)5重量部、水酸化アルミニウム
(ハイジライトH−42M:昭和電工株式会社製)10
重量部を配合して感光性樹脂組成物を得た。
Example 2 1 equivalent of a phenol novolac type epoxy resin having an epoxy equivalent of 190 and 1.05 equivalent of methacrylic acid were dissolved in ethyl cellosolve acetate, and benzyltrimethylammonium chloride was added as a catalyst and hydroquinone was added as a polymerization inhibitor. Tetrahydrophthalic anhydride was reacted with the reaction product obtained by the reaction at 0 ° C. in an amount of 0.5 equivalent to 1 equivalent of a hydroxyl group to obtain a carboxyl group-containing epoxy acrylate. 75 parts by weight of the obtained compound and methacrylic acid-added acrylonitrile-butadiene rubber (P
NR-1H: manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) 20 parts by weight and 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-
5 parts by weight of ON, 5 parts by weight of condensed phosphoric acid amide (Taien-S: manufactured by Taihei Chemical Industry Co., Ltd.), aluminum hydroxide (Hidilite H-42M: manufactured by Showa Denko KK) 10
A photosensitive resin composition was obtained by blending parts by weight.

【0030】実施例3 実施例1で得られたエポキシアクリレート50重量部と
ジエチレンジアクリレート10重量部及びビスA型エポ
キシ樹脂(エピコート834:油化シェルエポキシ株式
会社製)12重量部、メタアクリル酸付加アクリロニト
リルブタジエンゴム(PNR−1H:日本合成ゴム株式
会社製)20重量部、2,4−ジアミノ−6−〔2−ウ
ンデシル−イミダゾリル−(1)〕−エチル−S−トリ
アジン3重量部、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェ
ニルエタン−1−オン5重量部、縮合リン酸アミド(ス
ミセーフP:住友化学工業株式会社製)5重量部、水酸
化アルミニウム(ハイジライトH−42M:昭和電工株
式会社製)10重量部を配合して感光性樹脂組成物を得
た。
Example 3 50 parts by weight of the epoxy acrylate obtained in Example 1, 10 parts by weight of diethylene diacrylate, 12 parts by weight of a bis A type epoxy resin (Epicoat 834: manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.), methacrylic acid. Addition acrylonitrile butadiene rubber (PNR-1H: manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) 20 parts by weight, 2,4-diamino-6- [2-undecyl-imidazolyl- (1)]-ethyl-S-triazine 3 parts by weight, 2 , 2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 5 parts by weight, condensed phosphoric acid amide (Sumisafe P: manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), 5 parts by weight, aluminum hydroxide (Hijilite H-42M: Showa Denko) (Manufactured by KK) was mixed to obtain a photosensitive resin composition.

【0031】実施例4 エポキシ当量190のフェノールノボラック型エポキシ
樹脂1当量とメタクリル酸0.6当量とをエチルセロソ
ルブアセテートに溶解し、触媒として塩化ベンジルトリ
メチルアンモニウム、重合禁止剤としてハイドロキノン
を添加し、90℃で反応させてエポキシアクリレートを
得た。この得られた化合物55重量部とジエチレンジア
クリレート15重量部及びメタアクリル酸付加アクリロ
ニトリルブタジエンゴム(PNR−1H:日本合成ゴム
株式会社製)20重量部、2,4−ジアミノ−6−〔2
−ウンデシル−イミダゾリル−(1)〕−エチル−S−
トリアジン5重量部、2,2−ジメトキシ−1,2−ジ
フェニルエタン−1−オン5重量部、縮合リン酸アミド
(スミセーフP:住友化学工業株式会社製)5重量部、
水酸化アルミニウム(ハイジライトH−42M:昭和電
工株式会社製)10重量部を配合して感光性樹脂組成物
を得た。
Example 4 1 equivalent of a phenol novolac type epoxy resin having an epoxy equivalent of 190 and 0.6 equivalent of methacrylic acid were dissolved in ethyl cellosolve acetate, and benzyltrimethylammonium chloride was added as a catalyst and hydroquinone was added as a polymerization inhibitor. The reaction was carried out at ° C to obtain an epoxy acrylate. 55 parts by weight of the obtained compound, 15 parts by weight of diethylenediacrylate and 20 parts by weight of methacrylic acid-added acrylonitrile-butadiene rubber (PNR-1H: manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.), 2,4-diamino-6- [2
-Undecyl-imidazolyl- (1)]-ethyl-S-
5 parts by weight of triazine, 5 parts by weight of 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one, 5 parts by weight of condensed phosphoric acid amide (Sumisafe P: manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.),
10 parts by weight of aluminum hydroxide (Hijilite H-42M: Showa Denko KK) was blended to obtain a photosensitive resin composition.

【0032】実施例5 エポキシ当量190のフェノールノボラック型エポキシ
樹脂1等量とメタクリル酸0.6当量とをエチルセロソ
ルブアセテートに溶解し、触媒として塩化ベンジルトリ
メチルアンモニウム、重合禁止剤としてハイドロキノン
を添加し、90℃で反応させて得られる反応物に、テト
ラヒドロ無水フタル酸をヒドロキシル基1当量に対して
0.5当量反応させてカルボキシル基含有エポキシアク
リレートを得た。この得られた化合物60重量部とジエ
チレンジアクリレート10重量部及びメタアクリル酸付
加アクリロニトリルブタジエンゴム(PNR−1H:日
本合成ゴム株式会社製)20重量部、2,4−ジアミノ
−6−〔2−ウンデシル−イミダゾリル−(1)〕−エ
チル−S−トリアジン5重量部、2,2−ジメトキシ−
1,2−ジフェニルエタン−1−オン5重量部、縮合リ
ン酸アミド(スミセーフP:住友化学工業株式会社製)
5重量部、水酸化アルミニウム(ハイジライトH−42
M:昭和電工株式会社製)10重量部を配合して感光性
樹脂組成物を得た。
Example 5 One equivalent of a phenol novolac type epoxy resin having an epoxy equivalent of 190 and 0.6 equivalent of methacrylic acid were dissolved in ethyl cellosolve acetate, and benzyltrimethylammonium chloride as a catalyst and hydroquinone as a polymerization inhibitor were added, The reaction product obtained by the reaction at 90 ° C. was reacted with tetrahydrophthalic anhydride in an amount of 0.5 equivalent to 1 equivalent of a hydroxyl group to obtain a carboxyl group-containing epoxy acrylate. 60 parts by weight of the obtained compound, 10 parts by weight of diethylene diacrylate and 20 parts by weight of methacrylic acid-added acrylonitrile butadiene rubber (PNR-1H: manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.), 2,4-diamino-6- [2- Undecyl-imidazolyl- (1)]-ethyl-S-triazine 5 parts by weight, 2,2-dimethoxy-
1,2-diphenylethan-1-one 5 parts by weight, condensed phosphoric acid amide (Sumisafe P: manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.)
5 parts by weight, aluminum hydroxide (Heidilite H-42
(M: Showa Denko KK) 10 parts by weight was blended to obtain a photosensitive resin composition.

【0033】実施例6 実施例2で得られたカルボキシル基含有エポキシアクリ
レート60重量部とビスA型エポキシ樹脂(エピコート
834:油化シェルエポキシ株式会社製)12重量部及
びメタアクリル酸付加アクリロニトリルブタジエンゴム
(PNR−1H:日本合成ゴム株式会社製)20重量
部、2,4−ジアミノ−6−〔2−ウンデシル−イミダ
ゾリル−(1)〕−エチル−S−トリアジン3重量部、
2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン−1−
オン5重量部、縮合リン酸アミド(スミセーフP:住友
化学工業株式会社製)5重量部、水酸化アルミニウム
(ハイジライトH−42M:昭和電工株式会社製)10
重量部を配合して感光性樹脂組成物を得た。
Example 6 60 parts by weight of the carboxyl group-containing epoxy acrylate obtained in Example 2, 12 parts by weight of a bis-A type epoxy resin (Epicoat 834: manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.) and methacrylic acid-added acrylonitrile-butadiene rubber. (PNR-1H: manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) 20 parts by weight, 2,4-diamino-6- [2-undecyl-imidazolyl- (1)]-ethyl-S-triazine 3 parts by weight,
2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethane-1-
On 5 parts by weight, condensed phosphoric acid amide (Sumisafe P: manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.) 5 parts by weight, aluminum hydroxide (Hidilite H-42M: manufactured by Showa Denko KK) 10
A photosensitive resin composition was obtained by blending parts by weight.

【0034】比較例1 実施例2で得られたカルボキシル基含有エポキシアクリ
レート60重量部とジエチレンジアクリレート10重量
部及びメタアクリル酸付加アクリロニトリルブタジエン
ゴム(PNR−1H:日本合成ゴム株式会社製)20重
量部、2,2−ジメトキシ−1,2−ジフェニルエタン
−1−オン7重量部、三酸化アンチモン3重量部、水酸
化アルミニウム(ハイジライトH−42M:昭和電工株
式会社製)10重量部を配合して感光性樹脂組成物を得
た。
Comparative Example 1 60 parts by weight of the carboxyl group-containing epoxy acrylate obtained in Example 2, 10 parts by weight of diethylene diacrylate, and 20 parts by weight of acrylonitrile butadiene rubber with added methacrylic acid (PNR-1H: manufactured by Nippon Synthetic Rubber Co., Ltd.) Parts, 2,2-dimethoxy-1,2-diphenylethan-1-one 7 parts by weight, antimony trioxide 3 parts by weight, and aluminum hydroxide (Hijilite H-42M: Showa Denko KK) 10 parts by weight. Then, a photosensitive resin composition was obtained.

【0035】比較例2 クレゾールノボラック型臭素化エポキシ樹脂(BREN
−S:日本化薬株式会社製)40重量部とビスフェノー
ルA型エポキシアクリレート(VR−60:昭和高分子
株式会社製)40重量部及びメタアクリル酸付加アクリ
ロニトリルブタジエンゴム(PNR−1H:日本合成ゴ
ム株式会社製)20重量部、2,4−ジアミノ−6−
〔2−ウンデシル−イミダゾリル−(1)〕−エチル−
S−トリアジン5重量部、2,2−ジメトキシ−1,2
−ジフェニルエタン−1−オン5重量部、水酸化アルミ
ニウム(ハイジライトH−42M:昭和電工株式会社製
10重量部を配合して感光性樹脂組成物を得た。
Comparative Example 2 Cresol novolac type brominated epoxy resin (BREN
-S: 40 parts by weight of Nippon Kayaku Co., Ltd. and 40 parts by weight of bisphenol A type epoxy acrylate (VR-60: Showa Polymer Co., Ltd.) and methacrylic acid-added acrylonitrile butadiene rubber (PNR-1H: Nippon Synthetic Rubber) 20 parts by weight, 2,4-diamino-6-
[2-undecyl-imidazolyl- (1)]-ethyl-
5 parts by weight of S-triazine, 2,2-dimethoxy-1,2
5 parts by weight of diphenylethane-1-one and 10 parts by weight of aluminum hydroxide (Hijilite H-42M: Showa Denko KK) were mixed to obtain a photosensitive resin composition.

【0036】これらの感光性樹脂組成物を銅張りガラス
布エポキシ樹脂積層板に塗布し、80℃で10分乾燥し
て、厚さ50μmの感光性樹脂組成物層を形成した。次
いで、バイアホールとなる箇所に遮蔽部を設けたフォト
マスクを介して、露光量300mJ/cm2 の紫外線を
照射して、さらに未露光部を現像液で30℃、2分間選
択的に除去してバイアホールを形成した。この時使用し
た現像液は、実施例1〜6及び比較例1の感光性樹脂組
成物に対しては、1%炭酸ナトリウム水溶液を用い、比
較例2の感光性樹脂組成物に対しては、N−メチルピロ
リドン溶液を用いた。その後、紫外線2J/cm2 を感
光性樹脂組成物層に照射して後露光した後、アルカリ過
マンガン酸溶液で室温に5分間浸漬して中和し、粗化凹
凸形状を感光性樹脂組成物層表面に形成した。その後、
感光性樹脂組成物層上にめっき触媒を付与し、無電解め
っきにより表面導体形成を行った。
These photosensitive resin compositions were applied to a copper-clad glass cloth epoxy resin laminate and dried at 80 ° C. for 10 minutes to form a photosensitive resin composition layer having a thickness of 50 μm. Then, an ultraviolet ray having an exposure dose of 300 mJ / cm 2 is irradiated through a photomask provided with a shielding portion at a position to be a via hole, and the unexposed portion is selectively removed with a developing solution at 30 ° C. for 2 minutes. To form a via hole. The developer used at this time was a 1% aqueous sodium carbonate solution for the photosensitive resin compositions of Examples 1 to 6 and Comparative Example 1, and for the photosensitive resin composition of Comparative Example 2, An N-methylpyrrolidone solution was used. After that, the photosensitive resin composition layer was irradiated with ultraviolet rays of 2 J / cm 2 for post-exposure, and then immersed in an alkaline permanganate solution at room temperature for 5 minutes for neutralization to form a roughened uneven shape on the photosensitive resin composition. It was formed on the layer surface. afterwards,
A plating catalyst was applied on the photosensitive resin composition layer, and a surface conductor was formed by electroless plating.

【0037】以上の様にして作製したプリント配線板に
ついて、バイアホール形成性、接着性及び難燃性を調べ
た。その結果を表1に示す。バイアホール形成性は、孔
径50〜300μmのマスクを介して露光し、現像後の
最小径を観察した。接着性は、銅めっき導体形成後17
0℃で30分加熱した後、接着強度を測定した。難燃性
は、UL規格に基づき測定した。
With respect to the printed wiring board produced as described above, the via hole forming property, the adhesive property and the flame retardancy were examined. Table 1 shows the results. Regarding the via hole formability, exposure was performed through a mask having a hole diameter of 50 to 300 μm, and the minimum diameter after development was observed. Adhesiveness is 17 after the copper plated conductor is formed.
After heating at 0 ° C. for 30 minutes, the adhesive strength was measured. Flame retardancy was measured according to UL standards.

【0038】[0038]

【表1】 注)A:バイアホール形成性、B:接着性、C:難燃性[Table 1] Note) A: Via hole formation, B: Adhesiveness, C: Flame retardance

【0039】[0039]

【発明の効果】以上のことから、本発明の感光性樹脂組
成物を用いることで、安全性や環境等に問題がなく、か
つ難燃性に優れた塗膜が形成でき、プリント配線板のソ
ルダーレジスト、めっきレジスト、層間絶縁層に用いる
ことができる。
From the above, by using the photosensitive resin composition of the present invention, it is possible to form a coating film having no problem in safety, environment and the like and excellent in flame retardancy, and It can be used as a solder resist, a plating resist, and an interlayer insulating layer.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】(a)〜(i)は、本発明の一実施例に関し、
多層プリント配線板の製造工程を説明するための断面図
である。
1 (a) to (i) relate to an embodiment of the present invention,
FIG. 9 is a cross-sectional view for illustrating the manufacturing process for the multilayer printed wiring board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1…絶縁基板 2…第1の回路 3…第1の感光性樹脂組成物層 4…フォトマスク 5…紫外線 61…バイアホール 62…バイアホール 71…粗化面 72…粗化面 8…第2の回路 9…第2の感光性樹脂組成物層 10…第3の回路 DESCRIPTION OF SYMBOLS 1 ... Insulating substrate 2 ... 1st circuit 3 ... 1st photosensitive resin composition layer 4 ... Photomask 5 ... Ultraviolet ray 61 ... Via hole 62 ... Via hole 71 ... Roughened surface 72 ... Roughened surface 8 ... 2nd Circuit 9 ... Second photosensitive resin composition layer 10 ... Third circuit

─────────────────────────────────────────────────────
─────────────────────────────────────────────────── ───

【手続補正書】[Procedure amendment]

【提出日】平成7年8月29日[Submission date] August 29, 1995

【手続補正1】[Procedure Amendment 1]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】請求項4[Name of item to be corrected] Claim 4

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【手続補正2】[Procedure Amendment 2]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0027[Name of item to be corrected] 0027

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0027】[0027]

【作用】本発明は、縮合りん酸アミドの添加により優れ
た難燃性を有し、安全性や環境等に問題のない光性樹
脂組成物とそれを用いたプリント配線板を提供できる。
DETAILED DESCRIPTION OF THE INVENTION The present invention has excellent flame retardancy by the addition of condensed phosphoric acid amides can provide safety and no sensitive photosensitive resin composition environmentally problematic such a printed wiring board using the same.

【手続補正3】[Procedure 3]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】0030[Name of item to be corrected] 0030

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【0030】実施例3 実施例1で得られたエポキシアクリレート50重量部と
ジエチレンジアクリレート10重量部及びビスフェノー
A型エポキシ樹脂(エピコート834:油化シェルエ
ポキシ株式会社製)12重量部、メタアクリル酸付加ア
クリロニトリルブタジエンゴム(PNR−1H:日本合
成ゴム株式会社製)20重量部、2,4−ジアミノ−6
−〔2−ウンデシル−イミダゾリル−(1)〕−エチル
−S−トリアジン3重量部、2,2−ジメトキシ−1,
2−ジフェニルエタン−1−オン5重量部、縮合リン酸
アミド(スミセーフP:住友化学工業株式会社製)5重
量部、水酸化アルミニウム(ハイジライトH−42M:
昭和電工株式会社製)10重量部を配合して感光性樹脂
組成物を得た。
Example 3 50 parts by weight of the epoxy acrylate obtained in Example 1, 10 parts by weight of diethylene diacrylate and bisphenone
Le A type epoxy resin (Epicoat 834: manufactured by Yuka Shell Epoxy Co., Ltd.) 12 parts by weight, methacrylic acid-added acrylonitrile butadiene rubber (PNR-1H: manufactured by Japan Synthetic Rubber Co., Ltd.) 20 parts by weight, 2,4-diamino- 6
3 parts by weight of-[2-undecyl-imidazolyl- (1)]-ethyl-S-triazine, 2,2-dimethoxy-1,
5 parts by weight of 2-diphenylethan-1-one, 5 parts by weight of condensed phosphoric acid amide (Sumisafe P: manufactured by Sumitomo Chemical Co., Ltd.), aluminum hydroxide (Hidilite H-42M:
10 parts by weight (manufactured by Showa Denko KK) was blended to obtain a photosensitive resin composition.

【手続補正4】[Procedure amendment 4]

【補正対象書類名】明細書[Document name to be amended] Statement

【補正対象項目名】符号の説明[Correction target item name] Explanation of code

【補正方法】変更[Correction method] Change

【補正内容】[Correction content]

【符号の説明】 1…絶縁基板 2…第1の回路 3…第1の感光性樹脂組成物層41,42 …フォトマスク 5…紫外線 61…バイアホール 62…バイアホール 71…粗化面 72…粗化面 8…第2の回路 9…第2の感光性樹脂組成物層 10…第3の回路[Explanation of Codes] 1 ... Insulating substrate 2 ... First circuit 3 ... First photosensitive resin composition layers 41, 42 ... Photomask 5 ... UV ray 61 ... Via hole 62 ... Via hole 71 ... Roughened surface 72 ... Roughened surface 8 ... Second circuit 9 ... Second photosensitive resin composition layer 10 ... Third circuit

───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (72)発明者 河本 倫子 茨城県下館市大字小川1500番地 日立化成 工業株式会社下館研究所内 ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (72) Inventor Rinko Kawamoto 1500 Ogawa, Shimodate City, Ibaraki Prefecture Hitachi Chemical Co., Ltd. Shimodate Research Center

Claims (6)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 光を照射することにより硬化するアクリ
レート、光重合開始剤及び縮合リン酸アミドを必須成分
とする感光性樹脂組成物。
1. A photosensitive resin composition comprising an acrylate, a photopolymerization initiator, and a condensed phosphoric acid amide, which are cured by irradiation with light, as essential components.
【請求項2】 光を照射することにより硬化するアクリ
レートの一部又は全部がエポキシアクリレートである請
求項1記載の感光性樹脂組成物。
2. The photosensitive resin composition according to claim 1, wherein a part or all of the acrylate that is cured by irradiation with light is epoxy acrylate.
【請求項3】 エポキシアクリレートの一部又は全部
が、エポキシ残基を有するエポキシアクリレートであ
り、さらに、エポキシ樹脂の硬化剤を配合してなること
を特徴とする請求項2記載の感光性樹脂組成物。
3. The photosensitive resin composition according to claim 2, wherein a part or all of the epoxy acrylate is an epoxy acrylate having an epoxy residue, and a curing agent for the epoxy resin is further mixed. Stuff.
【請求項4】 エポキシアクリレートが、カルボキシル
基を有するエポキシアクリレートであることを特徴とす
る縮請求項2又はに記載の感光性樹脂組成物。
4. The photosensitive resin composition according to claim 2, wherein the epoxy acrylate is an epoxy acrylate having a carboxyl group.
【請求項5】 光を照射することにより硬化するアクリ
レートに加えてエポキシ樹脂を配合してなる請求項1、
2、3又は4に記載の感光性樹脂組成物。
5. An epoxy resin is compounded in addition to an acrylate that is cured by irradiation with light.
The photosensitive resin composition according to 2, 3 or 4.
【請求項6】 導体層間の絶縁層が、請求項1、2、
3、4又は5に記載の感光性樹脂組成物の硬化物からな
る多層プリント配線板。
6. The insulating layer between the conductor layers is defined by claim 1,
A multilayer printed wiring board comprising the cured product of the photosensitive resin composition according to 3, 4, or 5.
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