JPH08287726A - Conductive composite material and high frequency circuit board - Google Patents
Conductive composite material and high frequency circuit boardInfo
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- JPH08287726A JPH08287726A JP7343574A JP34357495A JPH08287726A JP H08287726 A JPH08287726 A JP H08287726A JP 7343574 A JP7343574 A JP 7343574A JP 34357495 A JP34357495 A JP 34357495A JP H08287726 A JPH08287726 A JP H08287726A
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Abstract
Description
【0001】[0001]
【産業上の利用分野】本発明は透明導電体や高周波回路
基板にとくに好適に用いられる導電性複合材料に関す
る。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a conductive composite material which is particularly preferably used for transparent conductors and high frequency circuit boards.
【0002】[0002]
【従来の技術】高分子のフィルムまたはシートの表面に
導電膜を設けたもののうち、全体が透明なものは透明導
電体として有用である。すなわち透明導電体は、液晶表
示素子、エレクトロルミネッセンス表示素子などの各種
表示素子類の透明電極や、自動車・航空機などの防曇用
窓ガラスに用いる抵抗発熱体等において使用されてい
る。2. Description of the Related Art A polymer film or sheet provided with a conductive film on the surface thereof, which is entirely transparent, is useful as a transparent conductor. That is, transparent conductors are used in transparent electrodes of various display elements such as liquid crystal display elements and electroluminescence display elements, and resistance heating elements used in anti-fog window glasses of automobiles and aircraft.
【0003】ところで透明導電体として従来から使用さ
れているものの多くは、酸化スズ膜、酸化インジウム膜
などの金属酸化物透明導電膜をガラス基板上に形成した
ものである。しかしガラスは大面積化に限界があり、厚
みも精々0.3mm程度迄しか薄くすることができず、重
量も重く、脆くも壊れ易く、打ち抜きや切り抜きなどの
加工性も悪く、連続生産性にも難点がある。By the way, most of the transparent conductors that have been conventionally used are those in which a metal oxide transparent conductive film such as a tin oxide film or an indium oxide film is formed on a glass substrate. However, there is a limit to the large area of glass, and the thickness can only be thinned to about 0.3 mm, the weight is heavy, it is brittle and fragile, the workability such as punching and cutting is bad, and continuous productivity is high. But there are drawbacks.
【0004】そこで近年になりガラスの代わりに高分子
フィルムやシート(以下両者をあわせてフィルムと略称
する)を基板とした透明導電性フィルムが開発され始め
ている。この高分子フィルムを基板とする透明導電性フ
ィルムは、薄くて軽く、割れない、フレキシブルであ
り、加工性もよく、大面積化が可能で連続生産性に優れ
るといった透明導電性ガラスにない種々の特長を持って
いる。この透明導電性フィルムの基板として使用されて
いる高分子フィルムとしては、ポリエチレンテレフタレ
ートのようなポリエステルフィルムが知られている。し
かしポリエステルフィルムは、強酸や強アルカリに容易
に侵されるうえ、吸水して加水分解を起こす虞がある。
とくに透明導電性フィルムをディスプレイ用途に用いる
場合には、導電膜を所定形状にパターニング化する必要
があり、従来よりフォトエッチング方式が利用されてい
るが、レジストの剥離液としてアルカリが必要な場合も
あるので耐アルカリ性の欠如は重大な欠点である。ま
た、真空蒸着法やスパッター法などで薄膜形成する際
に、ポリエステル中の水分は、真空度を上げることを困
難にして目的の真空度に上げるまで長時間要し生産性が
悪く、また膜の酸化の程度をコントロールすることを困
難にする問題がある。Therefore, in recent years, a transparent conductive film using a polymer film or sheet (hereinafter, both are abbreviated as a film) as a substrate instead of glass has been developed. The transparent conductive film using this polymer film as a substrate is thin, light, does not break, is flexible, has good processability, can be made into a large area, and has excellent continuous productivity. It has features. A polyester film such as polyethylene terephthalate is known as a polymer film used as a substrate for the transparent conductive film. However, the polyester film is easily attacked by a strong acid or a strong alkali and may absorb water to cause hydrolysis.
Especially when a transparent conductive film is used for a display application, it is necessary to pattern the conductive film into a predetermined shape, and a photo-etching method has been conventionally used. As such, the lack of alkali resistance is a serious drawback. Further, when forming a thin film by a vacuum vapor deposition method or a sputtering method, it is difficult to raise the degree of vacuum of water in the polyester, and it takes a long time to reach the desired degree of vacuum, resulting in poor productivity. There is a problem that makes it difficult to control the degree of oxidation.
【0005】また、高分子フィルムの表面に導電膜を設
けた複合材料の別の用途として電気回路基板があり、と
くに高周波用の電気回路基板に期待がかけられている。
すなわち、電磁波を通信に用いる場合、より高い周波数
の波を用いればより広い周波数帯域がとれ、故により多
量の情報を送ることができる。また周波数が高くなれば
波長がそれに反比例して短くなり、その結果小型で高性
能のアンテナを作れるようになるという利点もある。Another application of the composite material in which a conductive film is provided on the surface of a polymer film is an electric circuit board, and there are particular expectations for an electric circuit board for high frequencies.
That is, when an electromagnetic wave is used for communication, a wider frequency band can be obtained by using a higher frequency wave, and thus a larger amount of information can be transmitted. Further, as the frequency becomes higher, the wavelength becomes shorter in inverse proportion to it, and as a result, there is an advantage that a small size and high performance antenna can be manufactured.
【0006】ところで、このような高周波を対象とする
電気回路の基板には、誘電率および誘電損失が小さく耐
熱性のある材質が求められる。つまり、高周波において
電気信号の伝播速度は回路基板の誘導率が小さい程速く
なり、電気信号の減衰は回路基板の誘電損失が小さい程
少なくなる。したがって、誘電率および誘電損失の小さ
い材料程、高速化、高SN化が計れる。また、電気回路
の製造過程において、ハンダ浸漬やハンダ付作業では2
00℃を越える温度がかかるので、このような温度下で
も変形しないだけの耐熱性が求められる。By the way, a substrate having a low dielectric constant and a low dielectric loss and high heat resistance is required for a substrate of an electric circuit for such a high frequency. That is, at high frequencies, the propagation speed of an electric signal becomes faster as the inductivity of the circuit board becomes smaller, and the attenuation of the electric signal becomes smaller as the dielectric loss of the circuit board becomes smaller. Therefore, a material having a smaller dielectric constant and dielectric loss can achieve higher speed and higher SN. Also, in the process of manufacturing the electric circuit, 2
Since a temperature exceeding 00 ° C is applied, heat resistance is required so as not to deform even under such a temperature.
【0007】このような状況下、現在種々の材料を使用
した基板が提案され、たとえばフッ素樹脂、エポキシ樹
脂、ポリイミド、ポリプロピレン等で作られた基板が提
案されている。しかしフッ素樹脂は導電層となる金属と
の接着性が劣っていたり、低剛性でありさらに極めて高
価格であるという問題がある。エポキシ樹脂あるいはポ
リイミドは低周波用、中周波用の回路基板として従来か
ら使用されているが、高周波用として使用するには誘電
率、誘電損失が大き過ぎて適さない。ポリプロピレンは
誘電率、誘電損失に優れるものの耐熱性が不足し、変形
を生じ易い。Under these circumstances, substrates using various materials are currently proposed, for example, substrates made of fluororesin, epoxy resin, polyimide, polypropylene or the like. However, there are problems that the fluororesin has poor adhesion to the metal that forms the conductive layer, has low rigidity, and is extremely expensive. Epoxy resin or polyimide has been conventionally used as a circuit board for low frequency and medium frequency, but it is not suitable for use for high frequency because its dielectric constant and dielectric loss are too large. Polypropylene has excellent dielectric constant and dielectric loss, but lacks heat resistance and is apt to be deformed.
【0008】以上の如く、従来から提案されている高周
波用電気回路も一長一短があり、全ての面で優れた性能
を示すものは知られていなかった。As described above, conventionally proposed high frequency electric circuits also have advantages and disadvantages, and none have been known to exhibit excellent performances in all aspects.
【0009】[0009]
【発明が解決しようとする問題点】そこで本発明者らは
機械的性質、光学的性質、電気的性質、熱的性質、化学
的性質に優れた透明導電性フィルムや高周波用として好
適なる電気回路基板を提供せんものと検討した結果、特
定の重合体を基材に使用すると目的を達成できることを
見い出した。DISCLOSURE OF THE INVENTION Therefore, the inventors of the present invention have a transparent conductive film excellent in mechanical properties, optical properties, electrical properties, thermal properties, and chemical properties, and an electric circuit suitable for high frequencies. As a result of studying that a substrate is not provided, it was found that the purpose can be achieved by using a specific polymer as a base material.
【0010】[0010]
【問題点を解決するための手段】すなわち本発明は、テ
トラシクロドデセンまたはその誘導体:50〜100モ
ル%およびノルボルネンまたはその誘導体:0〜50モ
ル%からなる開環重合体を水添反応させて得られる重合
体の延伸または無延伸のシートまたはフィルムの表面に
導電性の半導体膜、酸化物半導体膜または多層膜が設け
られたことを特徴とする導電性複合材料である。That is, according to the present invention, a ring-opening polymer comprising tetracyclododecene or its derivative: 50 to 100 mol% and norbornene or its derivative: 0 to 50 mol% is subjected to a hydrogenation reaction. It is a conductive composite material characterized in that a conductive semiconductor film, an oxide semiconductor film or a multilayer film is provided on the surface of a stretched or unstretched sheet or film of the polymer obtained as described above.
【0011】さらに本発明は、テトラシクロドデセンま
たはその誘導体:50〜100モル%およびノルボルネ
ンまたはその誘導体:0〜50モル%からなる開環重合
体を水添反応させて得られる重合体の延伸または無延伸
のシートまたはフィルムの表面に、導電性の有機膜、無
機膜、半導体膜、酸化物半導体膜または多層膜が設けら
れた導電性複合材料からなる高周波回路基板である。Further, the present invention is directed to stretching of a polymer obtained by hydrogenating a ring-opening polymer comprising tetracyclododecene or its derivative: 50 to 100 mol% and norbornene or its derivative: 0 to 50 mol%. Alternatively, the high-frequency circuit board is made of a conductive composite material in which a conductive organic film, an inorganic film, a semiconductor film, an oxide semiconductor film, or a multilayer film is provided on the surface of an unstretched sheet or film.
【0012】[0012]
【作用】本発明の導電性複合材料の基板となるシートあ
るいはフィルム(以下フィルムと略称)を構成する重合
体は、テトラシクロドデセンまたはその誘導体の単独開
環重合体もしくはテトラシクロドデセン類とノルボルネ
ンまたはその誘導体との開環共重合体のいずれかの開環
重合体を水添して得られる重合体からなる。したがっ
て、該重合体の骨格中には、開環重合に基づく不飽和結
合を実質的に含まず、よって水添前の重合体に比べて耐
薬品性、耐溶剤性、耐油性および耐熱性、耐候安定性に
優れた性質を示す。The polymer constituting the sheet or film (hereinafter abbreviated as film) which is the substrate of the conductive composite material of the present invention is a homocyclic ring-opening polymer of tetracyclododecene or its derivative or tetracyclododecenes. It comprises a polymer obtained by hydrogenating a ring-opening polymer of norbornene or a derivative thereof with a ring-opening copolymer. Therefore, in the skeleton of the polymer, substantially no unsaturated bond based on ring-opening polymerization is contained, and thus chemical resistance, solvent resistance, oil resistance and heat resistance as compared with the polymer before hydrogenation, Shows excellent weather stability.
【0013】かかる水添重合体の原料モノマーは市販品
を使用してもよいが、市販品中に含まれる雑モノマーが
目的とする重合体の重合を阻害することもありうるので
必要に応じて精製するのが好ましい。また、とくにテト
ラシクロドデセン類は入手困難な場合もありうるので、
その場合は米国特許第3557072号、特公昭46−
14910号公報、特開昭57−154133号公報な
どに開示された方法によって合成すればよい。As the raw material monomer for the hydrogenated polymer, a commercially available product may be used, but a miscellaneous monomer contained in the commercially available product may hinder the polymerization of the intended polymer, so that it is necessary. It is preferably purified. Also, especially tetracyclododecenes may be difficult to obtain, so
In that case, U.S. Pat. No. 3,557,072, Japanese Patent Publication No. 46-
It may be synthesized by the method disclosed in Japanese Patent Publication No. 14910, Japanese Patent Laid-Open No. 57-154133, or the like.
【0014】テトラシクロドデセン類とノルボルネン類
とを重合して開環重合体を製造する技術は既に知られて
おり、たとえば特公昭46−14910号公報、特開昭
58−127728号公報に開示されている方法を採用
することができる。テトラシクロドデセン類の開環重合
体中における割合は、耐熱性の点から通常は50モル%
以上、とくには70モル%以上が好ましい。ノルボルネ
ン類の開環重合体中における割合は、通常50モル%未
満、とくに30モル%未満である。分子量は、特開昭5
8−127728号公報に示されているようにオレフィ
ン類を添加して調整されるが、一般に1000〜100
万、好ましくは1万〜50万である。また、流動性の指
標であるメルトフローインデックスMFR(260℃、
2.16kg)は、0.001〜1000、好ましくは0.
05〜200、特に好ましくは0.1〜100g/10m
inの範囲である。A technique for producing a ring-opening polymer by polymerizing tetracyclododecenes and norbornenes is already known, and disclosed in, for example, Japanese Patent Publication No. 46-14910 and Japanese Patent Publication No. 58-127728. It is possible to adopt the method that is used. The ratio of tetracyclododecenes in the ring-opening polymer is usually 50 mol% from the viewpoint of heat resistance.
Above, especially 70 mol% or more is preferable. The proportion of norbornenes in the ring-opening polymer is usually less than 50 mol%, particularly less than 30 mol%. For the molecular weight, see
It is adjusted by adding olefins as shown in JP-A-8-127728.
It is 10,000, preferably 10,000 to 500,000. Further, the melt flow index MFR (260 ° C., which is an index of fluidity,
2.16 kg) is 0.001-1000, preferably 0.1.
05-200, particularly preferably 0.1-100 g / 10 m
The range of in.
【0015】開環重合体の水添反応は通常の方法により
行われ、触媒の種類により均一系または不均一系で1〜
150気圧の水素圧下、0〜180℃、好ましくは20
〜100℃の温度範囲で行われる。そして水素圧、反応
温度、反応時間、触媒濃度等を変化させることにより、
水添率を任意に調整できる。The hydrogenation reaction of the ring-opening polymer is carried out by an ordinary method, and depending on the type of catalyst, it may be a homogeneous system or a heterogeneous system.
Under hydrogen pressure of 150 atm, 0 to 180 ° C, preferably 20
It is performed in a temperature range of -100 ° C. And by changing the hydrogen pressure, reaction temperature, reaction time, catalyst concentration, etc.,
The hydrogenation rate can be adjusted arbitrarily.
【0016】水添触媒としては、オレフィン化合物の水
添に際し使用されているものであれば如何なるものでも
よく、たとえば不均一系触媒としてニッケル、パラジウ
ム、白金、またはこれらの金属をカーボン、シリカ、ケ
イソウ土、アルミナ、酸化チタン等の担体に担持させた
触媒すなわちニッケル/シリカ、ニッケル/ケイソウ
土、パラジウム/カーボン、パラジウム/シリカ、パラ
ジウム/ケイソウ土、パラジウム/アルミナなどを挙げ
ることができる。また均一系触媒としては、ナフテン酸
ニッケル/トリエチルアルミニウム、オクテン酸コバル
ト/n-ブチルリチウム、ニッケルアセチルアセトネート
/トリエチルアルミニウムなどのニッケル、コバルト化
合物と周期律表第I〜III族金属の有機金属化合物から
なるもの、あるいはRh化合物などを挙げることができ
る。The hydrogenation catalyst may be any as long as it is used in the hydrogenation of an olefin compound. For example, a heterogeneous catalyst may be nickel, palladium, platinum, or a metal thereof such as carbon, silica or diatom. Examples thereof include catalysts supported on a carrier such as soil, alumina and titanium oxide, that is, nickel / silica, nickel / diatomaceous earth, palladium / carbon, palladium / silica, palladium / diatomaceous earth and palladium / alumina. The homogeneous catalysts include nickel naphthenate / triethylaluminum, cobalt octenoate / n-butyllithium, nickel acetylacetonate / triethylaluminum, etc., nickel compounds, cobalt compounds and organometallic compounds of Group I to III metals And Rh compounds and the like.
【0017】開環重合体水添物が前述した優れた諸性質
を示すためには、重合体主鎖中の不飽和結合部分の80
%以上、好ましくは90%以上、とくに95%以上が水
添されるべきである。また水添率が80%以上とくに9
0%以上になると、水添前の重合体とは異なる溶解度パ
ラメーター(SP値)を持つようになり、耐有機溶剤性
が向上するという効果も発揮する。さらに、耐湿性の面
から水添物は極性基を有しないことが望ましい。In order for the hydrogenated product of the ring-opening polymer to exhibit the above-mentioned various excellent properties, the unsaturated bond portion in the main chain of the polymer is 80
% Or more, preferably 90% or more, in particular 95% or more, should be hydrogenated. The hydrogenation rate is 80% or more, especially 9
When it is 0% or more, the polymer has a solubility parameter (SP value) different from that of the polymer before hydrogenation, and the effect of improving the organic solvent resistance is also exhibited. Further, from the viewpoint of moisture resistance, it is desirable that the hydrogenated product has no polar group.
【0018】基材となるフィルムを製造するには、開環
重合体水添物を押出、射出、圧縮、湿式キャストなどの
公知の種々の方法によって成形することができる。この
成形の際には、必要に応じて通常樹脂に用いられる種々
の配合剤を添加してもよい。また、得られたフィルムに
は1軸延伸や同時2軸延伸あるいは逐次2軸延伸といっ
た延伸処理を施し、強度などをさらに高めてやってもよ
い。In order to produce a film as a base material, the ring-opening polymer hydrogenated product can be formed by various known methods such as extrusion, injection, compression and wet casting. At the time of this molding, various compounding agents usually used for resins may be added if necessary. Further, the obtained film may be subjected to a stretching treatment such as uniaxial stretching, simultaneous biaxial stretching or sequential biaxial stretching to further enhance the strength and the like.
【0019】前記開環重合体水添物を原料としてフィル
ムを製造すると、分解、ゲル化が生じず均一な透明フィ
ルムが得られる。これらは通常85%以上の光線透過
率、多くは90%以上の光線透過率を示す。When a film is produced by using the hydrogenated ring-opening polymer as a raw material, a uniform transparent film is obtained without decomposition and gelation. These usually show a light transmittance of 85% or more, and most of them show a light transmittance of 90% or more.
【0020】また、透明性を必要としない高周波用基板
用途には、本重合体に、性質をそこなわない限り、50
wt%以下のポリオレフィン(ポリエチレン、ポリプロピ
レン、ポリ-4-メチルペンテン-1など)をブレンドして
おいても良い。For high frequency substrate applications which do not require transparency, unless the properties of the polymer are impaired, 50
You may blend the polyolefin (polyethylene, polypropylene, poly-4-methylpentene-1, etc.) of wt% or less beforehand.
【0021】請求項1に記載の導電性複合材料では、導
電性の膜として、In2O3(Sn)、SnO2(S
b)、SnO2(Fe)、CdO、Cd2O3、CdSn
O4、TiO2、ZrO2、CuIなどの半導体膜または
酸化物半導体膜あるいはTiOx/Ag/TiOx(x
≦2)などの多層薄膜が用いられる。In the conductive composite material according to the first aspect, In 2 O 3 (Sn) and SnO 2 (S are used as the conductive film.
b), SnO 2 (Fe), CdO, Cd 2 O 3 , CdSn
A semiconductor film such as O 4 , TiO 2 , ZrO 2 , or CuI or an oxide semiconductor film or TiOx / Ag / TiOx (x
A multilayer thin film such as ≦ 2) is used.
【0022】請求項4に記載の高周波回路基板では、導
電性膜は必ずしも透明である必要はなく、導電性の有機
膜、金属膜、半導体膜、酸化物半導体膜または多層膜が
用いられる。In the high frequency circuit board according to the fourth aspect, the conductive film is not necessarily transparent, and a conductive organic film, metal film, semiconductor film, oxide semiconductor film or multilayer film is used.
【0023】これらの導電性の膜は、シート、フィル
ム、箔として接着されたり、プラズマ重合、スパッタ
ー、蒸着、メッキ等の手段でフィルム上に積層される。
たとえば高周波回路基板に用いる場合、この導電膜は通
常重合体フィルムの表面のみ、表面と裏面の2層、内部
にも成形された3層以上の複合層の態様を採ることがで
きる。回路の形成は、種々の公知のリソグラフィー法に
より、例えばエッチング法で行うことができる。また、
別の方法として、本発明の重合体または本発明の重合体
の不飽和カルボン酸変性物を含むポリマー成分と導電性
材料(金属、有機物)とからなる塗料を形成し(導電性
塗料)、スクリーン印刷法などで回路形成することがで
きる。もちろん、導電性塗料の回路を形成したうえで、
さらに無電解メッキなどの方法により、より高導電回路
を形成することもできる。These conductive films are adhered as a sheet, a film or a foil, or laminated on the film by means of plasma polymerization, sputtering, vapor deposition, plating or the like.
For example, when used for a high-frequency circuit board, this conductive film can take the form of a composite layer of usually only the front surface, two layers of the front surface and the back surface, and three or more layers formed inside. The circuit can be formed by various known lithography methods, for example, an etching method. Also,
As another method, a paint comprising a polymer component containing the polymer of the present invention or an unsaturated carboxylic acid modified product of the polymer of the present invention and a conductive material (metal, organic substance) is formed (conductive paint), and a screen is formed. A circuit can be formed by a printing method or the like. Of course, after forming the circuit of conductive paint,
Furthermore, a higher conductive circuit can be formed by a method such as electroless plating.
【0024】さらに、重合体層と導電膜(金属、ポリマ
ー、有機物、導電塗料など)の間に接着層を介在させて
もよい。かかる接着層としては、エポキシ樹脂、ポリイ
ミド、ポリブタジエン、フェノール樹脂、ポリエーテル
エーテルケトン等の耐熱性樹脂を例示することができ
る。これらの中ではポリイミド、エポキシ樹脂が耐熱
性、高周波での誘電特性、金属との接着性に優れていて
好ましい。このような接着層を介在させる場合、注意す
べきことは、重合体層と接着層の厚み割合によって回路
基板としての誘電特性が左右されることである。すなわ
ち、(重合体層の厚さ)<(接着層の厚さ)の場合に
は、回路基板の誘電特性は主として接着層の誘電特性に
大きく影響され、全体として悪くなる。勿論、用途によ
ってたとえば高周波としてそこそこの周波数を対象に
し、誘電特性が厳しい要望ではなく、むしろ表層の導電
膜との接着強度等が要求されるようなケースでは、接着
剤層の厚みを比較的厚くしてもかまわない。しかし、高
周波用として良好なる誘電特性を発現させるには、重合
体層の厚み/接着剤層の厚みの比が2以上、とくに3以
上になるように構成するのが好適である。また、この厚
み比は後述する複数の積層体の場合にも各の層の合計厚
みに対して適用できる。Further, an adhesive layer may be interposed between the polymer layer and the conductive film (metal, polymer, organic material, conductive paint, etc.). Examples of the adhesive layer include heat resistant resins such as epoxy resin, polyimide, polybutadiene, phenol resin, and polyether ether ketone. Of these, polyimide and epoxy resins are preferable because they are excellent in heat resistance, dielectric properties at high frequencies, and adhesiveness to metals. When interposing such an adhesive layer, it should be noted that the dielectric properties of the circuit board depend on the thickness ratio of the polymer layer and the adhesive layer. That is, in the case of (thickness of polymer layer) <(thickness of adhesive layer), the dielectric property of the circuit board is largely affected by the dielectric property of the adhesive layer and deteriorates as a whole. Of course, depending on the application, for example, a high frequency is targeted, and in a case where the dielectric property is not a strict requirement but rather the adhesive strength with the conductive film on the surface layer is required, the thickness of the adhesive layer is relatively large. It doesn't matter. However, in order to exhibit good dielectric properties for high frequencies, it is preferable that the ratio of the thickness of the polymer layer / the thickness of the adhesive layer is 2 or more, particularly 3 or more. Further, this thickness ratio can be applied to the total thickness of each layer also in the case of a plurality of laminated bodies described later.
【0025】また別には、接着層として基板を構成する
前記重合体の高分子量体([η]0.3以上のもの)お
よび前記重合体にα,β-不飽和カルボン酸、その無水
物、エステル等をグラフト共重合させたものを使用する
と基板の誘電特性を変化させることがないので好まし
い。Alternatively, a high molecular weight polymer ([η] of 0.3 or more) constituting the substrate as an adhesive layer and the polymer containing α, β-unsaturated carboxylic acid, or an anhydride thereof, It is preferable to use a graft-copolymerized ester or the like because it does not change the dielectric properties of the substrate.
【0026】本発明の別の態様として、重合体層および
/または接着層に補強材として耐熱性、絶縁性の繊維状
物を混入してもかまわない。かかる補強繊維状物として
は、石英繊維、ガラス繊維、芳香族ポリアミド繊維、高
強度高弾性ポリエチレン繊維などの短繊維、編織布、不
織布等を例示できる。As another embodiment of the present invention, a heat-resistant and insulating fibrous material may be mixed as a reinforcing material in the polymer layer and / or the adhesive layer. Examples of such reinforcing fibrous substances include quartz fibers, glass fibers, aromatic polyamide fibers, short fibers such as high-strength and high-elasticity polyethylene fibers, knitted fabrics, and non-woven fabrics.
【0027】また別の態様として、重合体層と接着層を
複数組合せた積層体の形で回路基板を形成してもよい。
尚この場合、各層を好ましくは2層以上30層以下に積
層すればよい。また必要に応じ前述の如く繊維状物を各
層にまたは一部の層に混入してもよい。As another aspect, the circuit board may be formed in the form of a laminate in which a plurality of polymer layers and adhesive layers are combined.
In this case, each layer may be preferably laminated in the range of 2 to 30 layers. If necessary, the fibrous material may be mixed in each layer or a part of the layers as described above.
【0028】さらに別の態様として、重合体層を架橋剤
によって架橋してもかまわない。架橋剤は加熱、放射線
照射などによって3次元的構造を形成し、重合体層の熱
的特性と寸法安定性をさらに改善する。架橋剤としては
公知の種々のものが利用でき、たとえばジビニルベンゼ
ン、ジアリルフタレート、エチレングリコールジメタク
リレート、トリメチロールプロパントリメタクリレー
ト、トリアリルイソシアヌレート、液状ポリブタジエン
等を挙げることができる。As a further embodiment, the polymer layer may be crosslinked with a crosslinking agent. The cross-linking agent forms a three-dimensional structure by heating, irradiation with radiation, etc., and further improves the thermal properties and dimensional stability of the polymer layer. Various known crosslinking agents can be used, and examples thereof include divinylbenzene, diallyl phthalate, ethylene glycol dimethacrylate, trimethylolpropane trimethacrylate, triallyl isocyanurate, and liquid polybutadiene.
【0029】本発明の複合材料を透明導電性シートとし
て用いる場合には、導電膜として可視光透過率すなわち
JIS K 6714に準拠して測定した値が50%以
上、とくに70%以上で、比抵抗が100Ωcm以下、と
くに50Ωcm以下のものを用いる。より具体的にはIn
2O3(Sn)、SnO2(Sb)、SnO2(Fe)、C
dO、Cd2O3、CdSnO4、TiO2、ZrO2、C
uIなどの半導体膜および酸化物半導体薄膜、TiOx
/Ag/TiOx(x≦2)などの多層薄膜などを挙げ
ることができる。When the composite material of the present invention is used as a transparent conductive sheet, the visible light transmittance of the conductive film, that is, the value measured according to JIS K 6714 is 50% or more, particularly 70% or more, and the specific resistance is Is 100 Ωcm or less, especially 50 Ωcm or less. More specifically, In
2 O 3 (Sn), SnO 2 (Sb), SnO 2 (Fe), C
dO, Cd 2 O 3 , CdSnO 4 , TiO 2 , ZrO 2 , C
semiconductor films such as uI and oxide semiconductor thin films, TiOx
Examples thereof include multilayer thin films such as / Ag / TiOx (x ≦ 2).
【0030】また本発明に係る高周波回路基板では、導
電性膜として、特に透明性は要求されないが、比抵抗が
100Ωcm以下とくに50Ωcm以下のものを用いること
が好ましい。より具体的には、Au、Ag、Cu、P
t、Al、Cr、Rhなどの金属薄膜、In2O3(S
n)、SnO2(Sb)、SnO2(Fe)、CdO、C
d 2O3、CdSnO4、TiO2、ZrO2、CuIなど
の半導体膜および酸化物半導体薄膜、TiOx/Ag/
TiOx(x≦2)などの多層薄膜、ポリビニルベンジ
ルトリメチルアンモニウムクロライド、オリゴ(ポリ)
スチレンスルホン酸塩などの高分子電解質薄膜系、ポリ
アニリン類、ポリチオフェン類、ポリピロール類などの
導電性有機膜を挙げることができる。In the high frequency circuit board according to the present invention,
As an electrically conductive film, transparency is not particularly required, but specific resistance is
Use less than 100Ωcm, especially less than 50Ωcm
Is preferred. More specifically, Au, Ag, Cu, P
t, Al, Cr, Rh, and other metal thin films, In2O3(S
n), SnO2(Sb), SnO2(Fe), CdO, C
d 2O3, CdSnOFour, TiO2, ZrO2, CuI, etc.
Semiconductor film and oxide semiconductor thin film, TiOx / Ag /
Multi-layer thin film such as TiOx (x ≦ 2), polyvinylbenz
Rutrimethylammonium chloride, oligo (poly)
Polyelectrolyte thin film system such as styrene sulfonate, poly
Anilines, polythiophenes, polypyrroles, etc.
A conductive organic film can be mentioned.
【0031】これらの導電膜は、前述した高周波回路基
板と同じように周知の方法でもって重合体フィルム上に
積層される。また導電性高分子は、電解重合法または気
相法によってフィルム中内部に形成することもできる。
また、TTF−TCNQ(テトラチオフルバレン−テト
ラシアノキノジメタン)などの錯体を含浸させることに
よって導電性を発現させることもできる。These conductive films are laminated on the polymer film by a well-known method like the above-mentioned high frequency circuit board. The conductive polymer can also be formed inside the film by an electrolytic polymerization method or a gas phase method.
Also, conductivity can be exhibited by impregnating a complex such as TTF-TCNQ (tetrathiofulvalene-tetracyanoquinodimethane).
【0032】[0032]
【発明の効果】以上述べてきたように本発明の導電性複
合材料は、透明性に優れる、酸およびアルカリに対
して強い抵抗性を示す、耐溶剤性に優れる、加工性
がよく大面積化が可能である、軽量でフレキシビリテ
ィに富む、薄膜化ができる、耐熱性に優れる、耐
熱老化性、耐光安定性に優れる、電気特性に優れると
いった種々の特長を有している。As described above, the conductive composite material of the present invention is excellent in transparency, exhibits strong resistance to acids and alkalis, is excellent in solvent resistance, has good workability, and has a large area. It has various features, such as high heat resistance, light weight and flexibility, thin film formation, excellent heat resistance, heat aging resistance, light stability, and electrical characteristics.
【0033】したがって高周波用電気回路基板に利用す
ると、 (i)誘電率が小さいので高周波電気信号の伝播速度が
速くなり、また誘電損失が小さいので電気信号の減衰が
小さくなるので、情報伝達の高速化が実現でき、微弱信
号の高感度受信も実現できる。 (ii)耐熱性に富むので、回路基板製造における加熱加
圧工程において軟化、溶融が発生せず変形することがな
い。したがって回路基板の厚みを正確にコントロールす
ることができる。 (iii)耐ハンダ性に優れている。 (iv)吸水性が小さく、優れた電気的性質を長期間に亘
り安定して発揮できる。 (v)寸法安定性に優れる。 といった特長を有している。Therefore, when it is used for an electric circuit board for high frequency, (i) the dielectric constant is small, the propagation speed of the high frequency electric signal is high, and the dielectric loss is small, so that the attenuation of the electric signal is small, so that the high speed information transmission Can be realized, and highly sensitive reception of weak signals can also be realized. (Ii) Since it is rich in heat resistance, it is not deformed by being softened or melted in the heating / pressurizing step in manufacturing a circuit board. Therefore, the thickness of the circuit board can be accurately controlled. (Iii) It has excellent solder resistance. (Iv) The water absorption is small, and excellent electrical properties can be stably exhibited over a long period of time. (V) Excellent dimensional stability. It has the following features.
【0034】したがって各種回路基板、フラットアンテ
ナ、筺体一体型基板、フレキシブル基板などに利用でき
る。また透明導電性フィルムは次のような用途に使用で
きる。すなわち導電膜上に必要に応じてポリビニルカル
バゾールや硫化カドミウムなどの光導電体や誘導体の薄
膜を形成させて、OHP、第2原図、スライドフィル
ム、マイクロフィルムなどの電子写真記録用途、EL
(エレクトロルミネッセンス)、液晶、エレクトロクロ
ミック、電気泳動表示などの固体ディスプレイ用途、サ
ーモプラスチックレコーディング、強誘電体メモリーな
どの光メモリー用途、透明タブレットなどの端末機器、
メーター類の窓、TVブラウン管、クリーンルームの窓
や床、半導体包装材料、電磁波遮蔽用途、太陽電池の
窓、光増幅器などの光電変換素子、熱線反射用途、自動
車や航空機のデフロスタなどの面発熱体用途等に好適で
ある。Therefore, it can be used for various circuit boards, flat antennas, housing-integrated boards, flexible boards and the like. The transparent conductive film can be used for the following purposes. That is, if necessary, a thin film of a photoconductor or derivative such as polyvinylcarbazole or cadmium sulfide is formed on the conductive film, and electrophotographic recording applications such as OHP, second original drawing, slide film and microfilm, EL
(Electroluminescence), liquid crystal, electrochromic, solid-state display applications such as electrophoretic display, thermoplastic recording, optical memory applications such as ferroelectric memory, terminal devices such as transparent tablets,
Meter windows, TV cathode-ray tubes, clean room windows and floors, semiconductor packaging materials, electromagnetic wave shielding applications, solar cell windows, photoelectric conversion elements such as optical amplifiers, heat ray reflection applications, surface heating elements applications such as automobile and aircraft defrosters. And so on.
【0035】[0035]
【0036】[0036]
【参考例1〜6】メチルテトラシクロドデセン[Reference Examples 1 to 6] Methyltetracyclododecene
【0037】[0037]
【化1】 Embedded image
【0038】およびメチルノルボルネンAnd methyl norbornene
【0039】[0039]
【化2】 Embedded image
【0040】とを、塩化ルテニウム(RuCl2・3H2
O)のn-ブタノール溶液の存在下に、ガラス製アンプル
内で100℃で約3時間反応させた後、生成物をテトラ
ヒドロフランおよびメタノールを用いて洗浄、乾燥し
た。And and ruthenium chloride (RuCl 2 · 3H 2
After reacting for about 3 hours at 100 ° C. in a glass ampoule in the presence of n-butanol solution of O), the product was washed with tetrahydrofuran and methanol and dried.
【0041】次に前記生成重合体をテトラヒドロフラン
に溶解し、パラジウム/シリカ触媒の存在下、水素圧5
0kg/cm2・G、10℃で30分間撹拌後、50℃に昇
温しさらに18時間撹拌した。得られた沈澱生成物をシ
クロヘキサンに溶解し、フィルターで濾過後メタノール
で再沈させ乾燥した。Next, the produced polymer is dissolved in tetrahydrofuran and hydrogen pressure is set to 5 in the presence of a palladium / silica catalyst.
After stirring at 0 kg / cm 2 · G and 10 ° C for 30 minutes, the temperature was raised to 50 ° C and stirring was continued for 18 hours. The resulting precipitated product was dissolved in cyclohexane, filtered through a filter, reprecipitated with methanol and dried.
【0042】得られた重合体の水添率はNMRスペクト
ルにより、TgはDSCにより、光透過率はJIS K
6717、吸水率はJIS K 6911により測定
した。結果を表1に示す。The hydrogenation rate of the obtained polymer was measured by NMR spectrum, Tg was measured by DSC, and light transmittance was measured by JIS K.
6717 and the water absorption were measured according to JIS K 6911. The results are shown in Table 1.
【0043】[0043]
【表1】 [Table 1]
【0044】次にこれらの重合体を用いて種々の導電性
複合材料を作成し、それらを透明導電性フィルムまたは
高周波回路基板として評価した。以下にその例を示す。Next, various conductive composite materials were prepared using these polymers and evaluated as transparent conductive films or high-frequency circuit boards. An example is shown below.
【0045】[0045]
【実施例1】参考例2で得られた重合体を用いて、Tダ
イにより厚さ0.1mm、巾20cmの透明フィルムを成形
した。Example 1 Using the polymer obtained in Reference Example 2, a transparent film having a thickness of 0.1 mm and a width of 20 cm was formed by a T-die.
【0046】2極マグネトロンスパッター(日電アネル
バ)により、13.56MHzの高周波電源を用い、基
板温度50℃、ターゲットはIn2O3/SnO2=90
/10(%)合金ターゲットを用い、Arガス流入下、
スパッター圧力1×10-2Torr、RF出力50W、
スパッター速度250Å/minでITO膜を形成した。
フィルム性能は、タイリーステップ(Taylor Hobson
製)により測定したITO膜厚3000Å、四探針法に
より測定した比抵抗2×10-3Ω・cm、自己分光光度計
UV365(島津製作所)で測定した光透過率(400
nm〜750nm)は80%であり、良好な導電性フィルム
が得られた。またカーボンアーク燈で35時間照射した
後も変化はなかった。By a bipolar magnetron sputter (Nichiden Anelva), a high frequency power supply of 13.56 MHz was used, the substrate temperature was 50 ° C., and the target was In 2 O 3 / SnO 2 = 90.
/ 10 (%) alloy target, Ar gas inflow,
Sputter pressure 1 × 10 -2 Torr, RF output 50W,
An ITO film was formed at a sputter speed of 250Å / min.
The film performance is based on Taylor Hobson
ITO thickness 3000Å was measured by Ltd.), a specific resistance 2 × 10 -3 Ω measured by the four probe method · cm, the light transmittance measured by a self-spectrophotometer UV365 (manufactured by Shimadzu) (400
nm to 750 nm) was 80%, and a good conductive film was obtained. There was no change even after irradiation with a carbon arc lamp for 35 hours.
【0047】[0047]
【実施例2】参考例6で得られた重合体を用いて厚さ
0.1mm、巾20cmのフィルムを成形した。Example 2 Using the polymer obtained in Reference Example 6, a film having a thickness of 0.1 mm and a width of 20 cm was formed.
【0048】ターゲットはCdO2/SnO2=2/1
(重量比)、反応ガスはO2/Ar=5/95(%)、
スパッター圧2×10-2Torr、RF出力50W、ス
パッター速度200Å/minでTO膜を形成した。その
結果、導電層膜2500Å、光透過率83%、比抵抗3
×10-3Ωcmの透明導電性フィルムが得られた。またカ
ーボンアーク燈で35時間照射した後も変化はなかっ
た。The target is CdO 2 / SnO 2 = 2/1
(Weight ratio), the reaction gas is O 2 / Ar = 5/95 (%),
A TO film was formed at a sputter pressure of 2 × 10 -2 Torr, an RF output of 50 W, and a sputter rate of 200 Å / min. As a result, the conductive layer film 2500Å, the light transmittance 83%, the specific resistance 3
A transparent conductive film of × 10 -3 Ωcm was obtained. There was no change even after irradiation with a carbon arc lamp for 35 hours.
【0049】[0049]
【比較例1〜3】参考例1、3、5に示した重合体を使
用して、参考例1の重合体は実施例1、参考例3の重合
体は実施例3、参考例5の重合体は実施例2の条件と同
様にして透明導電性フィルムを作製した。その後カーボ
ンアーク燈で35時間光を照射した。各透明導電性フィ
ルムは黄色に変色し、また比抵抗も低下した。Comparative Examples 1 to 3 Using the polymers shown in Reference Examples 1, 3 and 5, the polymer of Reference Example 1 was used in Example 1, the polymer of Reference Example 3 was used in Example 3 and Reference Example 5. A transparent conductive film was prepared from the polymer under the same conditions as in Example 2. Then, light was irradiated with a carbon arc lamp for 35 hours. Each transparent conductive film turned yellow and its specific resistance also decreased.
【0050】以上の実施例を見ても判るとおり、本発明
の透明導電性フィルムは長時間に亘り安定した性質を示
すが、比較例の如く水素添加前の開環重合体を使用した
ものは光に長時間あたると変色等が生じ、長期間の使用
に耐えないことが判る。また光の代りに長期間熱を加え
ても同様な結果を示し、故に水素添加前の開環重合体を
使用した透明導電性フィルムは、該フィルムの具体的用
途である液晶表示素子等の透明電極や抵抗発熱体などに
実質使用できない。As can be seen from the above examples, the transparent conductive film of the present invention shows stable properties over a long period of time. However, as in the comparative example, those using the ring-opening polymer before hydrogenation are used. It can be seen that when it is exposed to light for a long period of time, discoloration occurs and it cannot withstand long-term use. Also, similar results are shown when heat is applied for a long period of time instead of light. Therefore, a transparent conductive film using a ring-opening polymer before hydrogenation is transparent for liquid crystal display devices, which is a specific application of the film. It cannot be practically used for electrodes or resistance heating elements.
【0051】[0051]
【実施例3】参考例2の重合体をサーモプラスチック製
30mmφ、Tダイ成形機により厚さ1.5mm、巾20cm
のシートを作製した。[Example 3] The polymer of Reference Example 2 was 30 mm in diameter made of thermoplastic resin, thickness was 1.5 mm and width was 20 cm by a T-die molding machine.
The sheet of was produced.
【0052】このシート(10cm×10cm)に、三井金
属鉱業社製 電解銅箔(35μm厚さ)を両面にはりつ
け、260℃でプレス成形機より融着させた。両面銅張
板での誘電率、誘電損失は、それぞれ2.2、4.5×1
0-4であり剥離強度は1.0kg/cmであった。この銅張
板に、フォトレジスト(富士合成化学研究所No.20
0)をコートし、アルカリ現像液およびエッチング処理
(塩化第2鉄飽和溶液)で微細パターンを形成した。そ
の結果、100μ以下の微細パターンが形成できた。To this sheet (10 cm × 10 cm), electrolytic copper foil (35 μm thick) manufactured by Mitsui Mining & Smelting Co., Ltd. was stuck on both sides and fused at 260 ° C. by a press molding machine. The dielectric constant and the dielectric loss of the double-sided copper clad plate are 2.2 and 4.5 × 1, respectively.
The peel strength was 0 -4 and the peel strength was 1.0 kg / cm. Photoresist (Fuji Synthetic Chemical Research Laboratory No. 20
0) was coated, and a fine pattern was formed with an alkali developing solution and an etching treatment (ferric chloride saturated solution). As a result, a fine pattern of 100 μm or less could be formed.
【0053】[0053]
【実施例4】参考例2の重合体に無水マレイン酸をグラ
フト共重合し、無水マレイン酸含量1.5wt%の変性物
を得た。このポリマーを参考例2の重合体に、10wt%
混合し、シート成形して、両面銅箔を融着した。両面銅
張板の誘電率は2.3、誘電正接は6.5×10-4であっ
た。また、剥離強度は1.6kg/cmであった。Example 4 Maleic anhydride was graft-copolymerized with the polymer of Reference Example 2 to obtain a modified product having a maleic anhydride content of 1.5 wt%. This polymer was added to the polymer of Reference Example 2 at 10 wt%
They were mixed, formed into a sheet, and fused with double-sided copper foil. The double-sided copper clad plate had a dielectric constant of 2.3 and a dielectric loss tangent of 6.5 × 10 −4 . The peel strength was 1.6 kg / cm.
【0054】[0054]
【実施例5】参考例4の重合体をシクロヘキサンに溶解
し、プリント基板用ガラスクロスに含浸させ、乾燥させ
た。ポリマー含浸ガラスクロスを6枚重ね、260℃で
プレス圧着し、厚さ1.5mmでヤング率8×1010dyne
/cm2の高剛性体を得た。その後、実施例5に記載の変
性物を裏面に10μ厚にコートした銅箔を積層体両面に
誘着させた。その結果、両面銅張板の誘電率は2.8、
誘電正接は5.8×10-4、剥離強度は1.1kg/cmであ
った。Example 5 The polymer of Reference Example 4 was dissolved in cyclohexane, impregnated in a glass cloth for printed circuit boards, and dried. Six pieces of polymer-impregnated glass cloth are stacked and press-pressed at 260 ° C, and the thickness is 1.5 mm, Young's modulus is 8 × 10 10 dyne
A high-rigidity body of / cm 2 was obtained. Thereafter, a copper foil having a back surface coated with the modified product described in Example 5 to a thickness of 10 μm was attracted to both surfaces of the laminate. As a result, the dielectric constant of the double-sided copper clad board is 2.8,
The dielectric loss tangent was 5.8 × 10 −4 , and the peel strength was 1.1 kg / cm.
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 FI 技術表示箇所 H01P 3/08 H01P 3/08 H05K 1/03 610 7511−4E H05K 1/03 610H ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI Technical display location H01P 3/08 H01P 3/08 H05K 1/03 610 7511-4E H05K 1/03 610H
Claims (4)
体:50〜100モル%およびノルボルネンまたはその
誘導体:0〜50モル%からなる開環重合体を水添反応
させて得られる重合体の延伸または無延伸のシートまた
はフィルムの表面に、導電性の半導体膜、酸化物半導体
膜または多層膜が設けられていることを特徴とする導電
性複合材料。1. A polymer obtained by hydrogenation of a ring-opening polymer comprising tetracyclododecene or its derivative: 50 to 100 mol% and norbornene or its derivative: 0 to 50 mol%. A conductive composite material, wherein a conductive semiconductor film, an oxide semiconductor film, or a multilayer film is provided on the surface of the sheet or film.
び100Ωcm以下の比抵抗を有している請求項1記載の
導電性複合材料。2. The conductive composite material according to claim 1, wherein the conductive film has a light transmittance of 50% or more and a specific resistance of 100 Ωcm or less.
求項1または2に記載の導電性複合材料。3. The conductive composite material according to claim 1, which is used as a transparent conductive film.
体:50〜100モル%およびノルボルネンまたはその
誘導体:0〜50モル%からなる開環重合体を水添反応
させて得られる重合体の延伸または無延伸のシートまた
はフィルムの表面に、導電性の有機膜、金属膜、半導体
膜、酸化物半導体膜または多層膜が設けられている導電
性複合材料からなることを特徴とする高周波回路基板。4. A polymer obtained by hydrogenation of a ring-opening polymer comprising tetracyclododecene or its derivative: 50 to 100 mol% and norbornene or its derivative: 0 to 50 mol%. 2. A high frequency circuit board comprising a conductive composite material in which a conductive organic film, a metal film, a semiconductor film, an oxide semiconductor film or a multilayer film is provided on the surface of the sheet or film.
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP7343574A JP2790993B2 (en) | 1995-12-28 | 1995-12-28 | Conductive composite materials and high-frequency circuit boards |
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Publication Number | Publication Date |
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JPH08287726A true JPH08287726A (en) | 1996-11-01 |
JP2790993B2 JP2790993B2 (en) | 1998-08-27 |
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- 1995-12-28 JP JP7343574A patent/JP2790993B2/en not_active Expired - Lifetime
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EXPY | Cancellation because of completion of term |