JPH08279590A - Multi-chip module lsi and method of assembling its package - Google Patents

Multi-chip module lsi and method of assembling its package

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JPH08279590A
JPH08279590A JP7078827A JP7882795A JPH08279590A JP H08279590 A JPH08279590 A JP H08279590A JP 7078827 A JP7078827 A JP 7078827A JP 7882795 A JP7882795 A JP 7882795A JP H08279590 A JPH08279590 A JP H08279590A
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JP
Japan
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package
lead
chip
die pad
bare chip
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Takashi Tada
考志 多田
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Toshiba Corp
Original Assignee
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Publication date
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    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
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    • H01L2224/42Wire connectors; Manufacturing methods related thereto
    • H01L2224/47Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process
    • H01L2224/48Structure, shape, material or disposition of the wire connectors after the connecting process of an individual wire connector
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    • HELECTRICITY
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    • H01L2224/48463Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond
    • H01L2224/48465Connecting portions the connecting portion on the bonding area of the semiconductor or solid-state body being a ball bond the other connecting portion not on the bonding area being a wedge bond, i.e. ball-to-wedge, regular stitch

Abstract

PURPOSE: To improve packaging of a multi-chip module and to realize the multi-chip module with a small package suitable to high density mounting. CONSTITUTION: Two bare chips 23 and 24 are arranged on both side of a die pad 22 facing each other. A lead 21 connected with the first bare chip 23 is led out from a side of a package mold 27 to the outside as in an ordinary package. A lead 25 connected with the second bare chip 24 is led out from the bottom of the package mold 27. Thus, a multi-chip module LSI having the same surface area and thickness as those of an ordinary single package is realized, and the mountability and functions of the LSI are improved.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、複数のチップを1個
のパケージに封止して構成されるマルチチップモジュー
ル型LSIおよびそのパッケージ組み立て方法に関す
る。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a multi-chip module type LSI constituted by sealing a plurality of chips in one package and a package assembling method thereof.

【0002】[0002]

【従来の技術】近年、半導体パッケージは、小形軽量
化、高速化、高機能化というコンピュータなどの電子機
器の要求に対応するため新しい形態が次々と開発され、
現在では多くの種類が存在する。現在使用されている典
型的なパッケージ構造の一例として、14ピンのSOP
(Small Out−line Package)を
図6に示す。
2. Description of the Related Art In recent years, new forms of semiconductor packages have been developed one after another in order to meet the demands of electronic devices such as computers such as small size, light weight, high speed, and high function.
There are many types today. As an example of a typical package structure currently used, a 14-pin SOP is used.
(Small Out-line Package) is shown in FIG.

【0003】図6に示されているように、ダイパッド1
1上にはベアチップ12が配置され、そのベアチップ1
2は外部回路との電気的導通を図るためのリード13と
ボンディングワイヤ14によって接続されている。これ
らダイパッド11、ベアチップ12、およびリード13
を含む基体は、パッケージモールド15によって封止さ
れている。
As shown in FIG. 6, the die pad 1
A bare chip 12 is placed on the bare chip 1 and the bare chip 1
Reference numeral 2 is connected to a lead 13 for establishing electrical connection with an external circuit and a bonding wire 14. These die pad 11, bare chip 12, and lead 13
The base body including is sealed by the package mold 15.

【0004】このような構造を持つLSIパッケージ
は、図7に示されているように各種電子機器のプリント
基板16上に実装されて使用される。
The LSI package having such a structure is used by being mounted on the printed circuit board 16 of various electronic devices as shown in FIG.

【0005】ところで、コンピュータなどの高機能が要
求される電子機器では、多数のLSIをシステムボード
上に実装する必要があるので、高密度実装が要求され
る。この場合、図6に示したような1チップを1つのパ
ッケージに収容するシングルチップ構造のLSIを使用
すると、必要となるLSI数が増え、これによってコン
ピュータシステム全体の実装面積が増加されるという問
題が生じる。
By the way, in an electronic device such as a computer which is required to have a high function, it is necessary to mount a large number of LSIs on a system board, so that high density mounting is required. In this case, if an LSI having a single chip structure in which one chip as shown in FIG. 6 is accommodated in one package is used, the number of required LSIs increases, which increases the mounting area of the entire computer system. Occurs.

【0006】そこで、最近では、複数のチップを1個の
パッケージ内に封止したマルチチップモジュール(MC
M)構造のLSIが注目されている。マルチチップモジ
ュールを採用すると、複数のチップを個々にパッケージ
ングして実装する場合に比べ、実装面積を低下できると
共に、信号のチップ間遅延が少なくなるためシステムの
高速化を図ることもできる。
Therefore, recently, a multi-chip module (MC
M) structured LSIs are drawing attention. When a multi-chip module is adopted, the mounting area can be reduced as compared with the case where a plurality of chips are individually packaged and mounted, and the inter-chip delay of signals is reduced, so that the system speed can be increased.

【0007】しかしながら、従来のマルチチップモジュ
ールはベース基板上に複数のチップを並べて配置し、そ
れらチップ間を薄膜配線層などを用いて接続する構造で
あるため、シングルチップ構造のLSIに比べ、パッケ
ージ自体が大きくなる問題がある。特に、メモリ容量の
増加やゲート数の増加を目的に同一の2つのチップを1
パッケージに収容する場合などにおいては、それら2つ
のチップを並べて配置する従来のMCM構造は高密度実
装には不向きである。なぜなら、このような場合にはチ
ップ間配線は基本的に不要であり、薄膜配線層を用いる
必要がないためである。
However, since the conventional multi-chip module has a structure in which a plurality of chips are arranged side by side on the base substrate and the chips are connected by using a thin film wiring layer or the like, compared to a single-chip structure LSI, There is a problem that it itself becomes large. In particular, two identical chips are used to increase the memory capacity and the number of gates.
The conventional MCM structure in which these two chips are arranged side by side is unsuitable for high-density mounting when they are housed in a package. This is because, in such a case, wiring between chips is basically unnecessary and it is not necessary to use a thin film wiring layer.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】このように、従来のマ
ルチチップモジュールはベース基板上に複数のチップを
並べて配置する構造であるため、シングルチップ構造の
LSIに比べてパッケージが大きくなり、十分に実装効
率を高める事ができない欠点があった。
As described above, since the conventional multi-chip module has a structure in which a plurality of chips are arranged side by side on a base substrate, the package becomes larger than that of an LSI having a single-chip structure, which is sufficient. There was a drawback that the mounting efficiency could not be increased.

【0009】この発明はこのような点に鑑みてなされた
もので、マルチチップモジュール内のチップ配置を改良
し、高密度実装に好適な小パッケージ且つ高機能のマル
チチップモジュール型LSIおよびそのパッケージ組み
立て方法を提供することを目的とする。
The present invention has been made in view of the above circumstances, and improves the chip arrangement in a multi-chip module and is suitable for high-density mounting in a small package and high-performance multi-chip module type LSI and its package assembly. The purpose is to provide a method.

【0010】[0010]

【課題を解決するための手段および作用】この発明は、
複数のチップを1個のパケージに封止して構成されるマ
ルチチップモジュール型LSIにおいて、ダイパッドを
有するリードフレームと、このリードフレームの前記ダ
イパットの表面上に搭載された第1のベアチップと、前
記ダイパットの裏面上に搭載された第2のベアチップと
を具備し、前記ダイパットの両面にそれぞれベアチップ
を配置したマルチチップ構造を有することを特徴とす
る。
Means and Actions for Solving the Problems
In a multi-chip module type LSI configured by sealing a plurality of chips in one package, a lead frame having a die pad, a first bare chip mounted on the surface of the die pad of the lead frame, A second bare chip mounted on the back surface of the die pad; and a multi-chip structure in which bare chips are arranged on both sides of the die pad.

【0011】このマルチチップモジュール型LSIにお
いては、2つのベアチップがダイパッドの表面および裏
面にそれぞれ対向配置されている。このため、ベース基
板上に2つのチップを並べて配置する従来の構造より
も、パッケージの表面積を1/2程度に小さくする事が
できる。
In this multi-chip module type LSI, two bare chips are arranged facing each other on the front surface and the back surface of the die pad. Therefore, the surface area of the package can be reduced to about 1/2 of that of the conventional structure in which two chips are arranged side by side on the base substrate.

【0012】また、第1のベアチップに接続された第1
リード部材については通常通りにパッケージの側面から
外部に導出し、第2のベアチップに接続された第2リー
ド部材についてはパッケージの底面から外部に導出する
ことにより、LSIの側面と底面にプリント基板との電
気的導通を取るためのリードが配置された構造を実現で
きる。
Also, the first bare chip connected to the first bare chip
The lead member is led out to the outside from the side surface of the package as usual, and the second lead member connected to the second bare chip is led to the outside from the bottom surface of the package. It is possible to realize a structure in which leads are arranged for electrical conduction.

【0013】このようなリード構造を採用すると、パッ
ケージングの厚みもシングルパッケージと同等にする事
ができる。したがって、小パッケージ且つ高機能のマル
チチップモジュール型LSIを実現できる。
By adopting such a lead structure, the thickness of packaging can be made equal to that of a single package. Therefore, a small package and high-performance multi-chip module type LSI can be realized.

【0014】また、外部に導出された第1および第2の
リード部材は、前記パッケージの側端に沿って交互に並
べて同一列状に配置することが好ましい。このようなリ
ード配置により、側面から導出される第1リード部材と
裏面から導出される第2のリード部材とを区分すること
無くパッケージ全体のリードを一度にテストできるよう
になり、部品実装後の検査やはんだ修正などを容易にす
ることが可能となる。
Further, it is preferable that the first and second lead members led out to the outside are arranged alternately in the same row along the side edge of the package. With such a lead arrangement, the leads of the entire package can be tested at one time without distinguishing the first lead member led out from the side surface and the second lead member led out from the back surface, and after mounting the components, It becomes possible to facilitate inspection and solder correction.

【0015】また、この発明のLSIは、絶縁部材と、
この絶縁部材の表面上に配置され、第1のリードと接続
される第1のベアチップと、前記絶縁部材の裏面上に配
置され、第2のリードと接続される第2のベアチップと
を具備する事を特徴とする。
Further, the LSI of the present invention comprises an insulating member,
A first bare chip arranged on the front surface of the insulating member and connected to the first lead; and a second bare chip arranged on the rear surface of the insulating member and connected to the second lead. Characterize things.

【0016】このように絶縁部材を介して2つのチップ
を対向位置すれば、ダイパッドを持たないテープキャリ
アパッケージなどにおいても、ダイパッドを持つプラス
チックパッケージなどと同様にしてチップを多層配置す
ることできる。
By thus arranging the two chips so as to face each other via the insulating member, even in a tape carrier package having no die pad, the chips can be arranged in multiple layers in the same manner as a plastic package having a die pad.

【0017】また、この発明は、複数のチップを1個の
パケージに封止して構成されるマルチチップモジュール
型LSIのパッケージ組み立て方法において、リードフ
レームのダイパッド表面上に第1のベアチップをダイボ
ンディングし、前記リードフレームのインナーリードと
前記第1のベアチップとをワイヤーボンディングし、前
記ダイパッドの裏面側近傍の領域に樹脂が注入されない
ようにその領域を保護した状態でモールド封止を行な
い、前記モールド封止された基体を上下反転して、前記
ダイパッドの裏面上に第2のベアチップをダイボンディ
ングし、前記基体上にリードフレームを配置して、その
リードフレームのインナーリードと前記第2のベアチッ
プとをワイヤーボンディングし、前記ダイパッドの裏面
側近傍の領域に樹脂を注入するためのモールド封止を行
なうことを特徴とする。
Further, according to the present invention, in a package assembling method of a multi-chip module type LSI constituted by encapsulating a plurality of chips in one package, a first bare chip is die-bonded on a die pad surface of a lead frame. Then, the inner lead of the lead frame and the first bare chip are wire-bonded, and mold sealing is performed in a state where the region is protected so that resin is not injected into the region near the back surface side of the die pad. The sealed substrate is turned upside down, the second bare chip is die-bonded on the back surface of the die pad, the lead frame is arranged on the substrate, and the inner lead of the lead frame and the second bare chip are arranged. Wire bonding, and apply resin to the area near the back side of the die pad. And performing mold sealing for injecting.

【0018】このパッケージ組み立て方法によれば、ダ
イボンディング、ワイヤボンディング、モールド封止と
いう通常のシングルパッケージの組み立て工程を基体表
面と裏面に対してそれぞれ行なうだけで、ダイパットの
両面にそれぞれベアチップを配置した前述のマルチチッ
プ構造を簡単に実現できる。
According to this package assembling method, bare chips are arranged on both sides of the die pad only by performing the usual single package assembling steps of die bonding, wire bonding, and mold sealing on the front surface and the back surface of the substrate. The aforementioned multi-chip structure can be easily realized.

【0019】[0019]

【実施例】以下、図面を参照してこの発明の実施例を説
明する。ここでは、この発明の一実施例に係るマルチチ
ップモジュール型LSIのパッケージ構造を、24ピン
SOPに適用した場合について説明する。
Embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. Here, a case where the package structure of the multi-chip module type LSI according to the embodiment of the present invention is applied to a 24-pin SOP will be described.

【0020】図1(A)は24ピンSOPの上面図、図
1(B)は側面図、図1(C)は図1(A)のB−B´
線に沿った断面図、および図1(D)は図1(A)のC
−C´線に沿った断面図である。
FIG. 1A is a top view of the 24-pin SOP, FIG. 1B is a side view, and FIG. 1C is BB 'of FIG. 1A.
A cross-sectional view taken along the line, and FIG. 1D is C in FIG.
It is sectional drawing which followed the -C 'line.

【0021】このマルチチップモジュール型LSIにお
いては、図1(C)、図1(D)に示されているよう
に、リードフレームのダイパット22の表面上に第1の
ベアチップ23が搭載されており、またそのダイパット
22の裏面上には第2のベアチップ24が搭載されてい
る。
In this multi-chip module type LSI, as shown in FIGS. 1 (C) and 1 (D), a first bare chip 23 is mounted on the surface of the die pad 22 of the lead frame. A second bare chip 24 is mounted on the back surface of the die pad 22.

【0022】これらベアチップ23および24は、例え
ば、メモリップ、またはASIC用のゲートアレイなど
から構成された互いに同一のチップである。
The bare chips 23 and 24 are the same chip composed of, for example, a memory chip or a gate array for ASIC.

【0023】第1のベアチップ23は、図1(C)に示
されているように、ダイパット22と同一のリードフレ
ーム上に存在するリード21のインナーリード部21a
とボンディングワイヤ26によって接続されている。リ
ード21は、第1のベアチップ23とプリント基板との
電気的導通のために、図示のように外部パッケージモー
ルド27の側面から外部に導出されている。外部に導出
されたリード21は、図示のように屈曲したガルウィン
グ形状に整形されている。
As shown in FIG. 1C, the first bare chip 23 has an inner lead portion 21a of the lead 21 existing on the same lead frame as the die pad 22.
And a bonding wire 26. The lead 21 is led out to the outside from the side surface of the external package mold 27 as illustrated in order to electrically connect the first bare chip 23 and the printed board. The lead 21 led out to the outside is shaped into a bent gull wing shape as illustrated.

【0024】第2のベアチップ23は、図1(D)に示
されているように、ダイパット22の下方に配置された
第2のリードフレーム上に存在するリード25のインナ
ーリード部25aとボンディングワイヤ28によって接
続されている。リード25は、第2のベアチップ24と
プリント基板との電気的導通のために、パッケージモー
ルド27の底面から外部に導出され、パッケージモール
ド27の底面延長線上に沿って外部に真っ直ぐに延存さ
れている。
As shown in FIG. 1D, the second bare chip 23 has the inner lead portion 25a of the lead 25 and the bonding wire existing on the second lead frame arranged below the die pad 22. Connected by 28. In order to electrically connect the second bare chip 24 and the printed board, the lead 25 is led out to the outside from the bottom surface of the package mold 27, and extends straight along the bottom extension line of the package mold 27 to the outside. There is.

【0025】このように、このマルチチップモジュール
型LSIにおいては、2つのベアチップ23,24がダ
イパッド22の表面および裏面にそれぞれ対向配置され
た構造を有している。このため、ベース基板上に2つの
チップを並べて配置する従来のマルチチップモジュール
構造に比し、パッケージの表面積を1/2程度に小さく
する事ができる。
As described above, the multi-chip module type LSI has a structure in which the two bare chips 23 and 24 are arranged to face each other on the front surface and the back surface of the die pad 22, respectively. Therefore, the surface area of the package can be reduced to about 1/2 of that of the conventional multi-chip module structure in which two chips are arranged side by side on the base substrate.

【0026】また、第1のベアチップ23に接続された
リード21については通常のSOP構造と同じくパッケ
ージモールド27の側面から外部に導出され、また第2
のベアチップ24に接続されたリード25についてはパ
ッケージモールド27の底面から外部に導出されている
ので、パッケージモールド27の側面と底面にプリント
基板との電気的導通を取るためのリードが配置された構
造が実現されている。
The leads 21 connected to the first bare chip 23 are led out to the outside from the side surface of the package mold 27, as in the normal SOP structure.
Since the lead 25 connected to the bare chip 24 is led out from the bottom surface of the package mold 27, a lead is arranged on the side surface and the bottom surface of the package mold 27 for electrical connection with the printed circuit board. Has been realized.

【0027】このようなリード構造により、パッケージ
ングの厚みもシングルパッケージと同等にする事ができ
る。したがって、通常のシングルパッケージの24ピン
SOPと同一の表面積および厚みで済み、実装効率が高
く且つ高機能のマルチチップモジュール型LSIを実現
できる。
With such a lead structure, the thickness of the packaging can be made equal to that of the single package. Therefore, the surface area and thickness are the same as those of a normal single-package 24-pin SOP, and it is possible to realize a multi-chip module type LSI with high mounting efficiency and high functionality.

【0028】また、外部に導出されたリード21,25
は、図1(A),(B)に示されているように、パッケ
ージモールド27の側端に沿って交互に並んで同一列状
に配置されている。このため、24ピンSOPを構成す
るパッケージモールド27の一側端側では、7本のリー
ド21と7本のリード25が配置されることになる。
Further, the leads 21 and 25 led out to the outside
As shown in FIGS. 1 (A) and 1 (B), are arranged alternately along the side edge of the package mold 27 in the same row. Therefore, the seven leads 21 and the seven leads 25 are arranged on one end side of the package mold 27 that constitutes the 24-pin SOP.

【0029】これにより、リード25をパッケージモー
ルド27内部で複雑に引き回すこと無く、簡潔なリード
レイアウトを実現できる。さらに、このようなリード配
置によれば、側面から導出されるリード21と裏面から
導出されるリード25とを区分すること無くパッケージ
全体のリードを一度にテストできるようになり、部品実
装後の検査やはんだ修正などを容易にすることが可能と
なる。
As a result, it is possible to realize a simple lead layout without complicatedly routing the leads 25 inside the package mold 27. Furthermore, according to such a lead arrangement, the leads of the entire package can be tested at one time without distinguishing the lead 21 led out from the side surface and the lead 25 led out from the back surface, and the inspection after the component mounting is performed. It is possible to easily correct solder and solder.

【0030】尚、この実施例では、リード21と25を
交互に並べて配置するリード配置は、パッケージモール
ド27の一側端においてリード21とリード25とをそ
れぞれ14本ずつ導出し、且つリード21とベアチップ
23との間のワイヤボンディングを1本おきに行なと共
に、リード25とベアチップ24との間のワイヤボンデ
ィングを1ピッチずらした状態で1本おきに行なうこと
によって実現されている。
In this embodiment, in the lead arrangement in which the leads 21 and 25 are alternately arranged, 14 leads 21 and 25 leads are drawn out at one end of the package mold 27, and It is realized by performing wire bonding with the bare chip 23 every other wire, and wire bonding with the lead 25 and the bare chip 24 every other wire while being shifted by one pitch.

【0031】この場合、リード21がプリント基板との
電気的導通を取るためのリード(ピン)として使用され
る位置(B−B´線に対応したピン位置)においては、
図1(C)に示されているように、リード25はワイヤ
ボンディングされずにベアチップ24と電気的に分離さ
れる。また、リード25がプリント基板との電気的導通
を取るためのリード(ピン)として使用される位置(C
−C´線に対応したピン位置)においては、図1(D)
に示されているように、今度は、リード21がワイヤボ
ンディングされずにベアチップ23と電気的に分離され
ることになる。
In this case, at the position where the lead 21 is used as a lead (pin) for establishing electrical connection with the printed circuit board (pin position corresponding to the line BB '),
As shown in FIG. 1C, the lead 25 is electrically separated from the bare chip 24 without wire bonding. In addition, the position (C) at which the lead 25 is used as a lead (pin) for establishing electrical conduction with the printed circuit board.
1 (D) at the pin position corresponding to the -C 'line).
As shown in FIG. 4, the lead 21 is now electrically separated from the bare chip 23 without being wire-bonded.

【0032】次に、図2および図3を参照して、図1の
LSIパッケージの組み立て方法を説明する。
Next, a method of assembling the LSI package shown in FIG. 1 will be described with reference to FIGS.

【0033】まず、図2(A)に示されているように、
図示のように加工された金型Aの上に、リード21とダ
イパッド22とが一体形成されているリードフレームを
配置し、次いで、ダイパッド22の表面上にダイシング
によって分離されたベアチップ23をダイボンディング
する。
First, as shown in FIG.
A lead frame in which the leads 21 and the die pad 22 are integrally formed is arranged on the die A processed as shown in the figure, and then the bare chip 23 separated by dicing is die-bonded on the surface of the die pad 22. To do.

【0034】このダイボンディング工程は、例えば、次
のような手順で行なわれる。すなわち、まず、ダイパッ
ド22の表面上にディスペンサなどによってペーストが
塗布される。次いで、ベアチップ23がダイパッド22
上に移動された後、加圧などによってダイパッド22の
表面上に接着される。
This die bonding process is performed, for example, in the following procedure. That is, first, the paste is applied on the surface of the die pad 22 by a dispenser or the like. Next, the bare chip 23 is attached to the die pad 22.
After being moved up, it is adhered on the surface of the die pad 22 by pressure or the like.

【0035】次に、図2(B)に示されているように、
ベアチップ23のボンディングパッドとリード21とを
アルミなどの極細線からなるボンディングワイヤ26で
接続するワイヤボンディング工程を行なう。
Next, as shown in FIG.
A wire bonding step is performed in which the bonding pad of the bare chip 23 and the lead 21 are connected by a bonding wire 26 made of an ultrafine wire such as aluminum.

【0036】次いで、図2(C)に示されているよう
に、金型Aの上に金型Bをかぶせて、リード21を図示
のように屈曲させると共に、そのリード21の余分な部
分をカットする。この後、樹脂注入ノズルから樹脂を注
入して、モールド封止を行なう。この場合、ダイパッド
22の下側に位置する金型Aの存在によってダイパッド
22の裏面側周囲への樹脂の注入は防止される。
Next, as shown in FIG. 2C, the mold B is placed on the mold A to bend the leads 21 as shown in the drawing, and the extra portions of the leads 21 are removed. To cut. After that, resin is injected from the resin injection nozzle to perform mold sealing. In this case, the presence of the mold A located below the die pad 22 prevents the resin from being injected into the periphery of the back surface side of the die pad 22.

【0037】次に、図2(D)に示されているように、
樹脂を硬化させ、金型Aを取り外した後、基体全体を上
下反転させる。そして、上側に位置するダイパッド22
の裏面側表面上にベアチップ24をダイボンディングす
る。
Next, as shown in FIG.
After the resin is cured and the mold A is removed, the entire substrate is turned upside down. The die pad 22 located on the upper side
The bare chip 24 is die-bonded on the rear surface of the.

【0038】次いで、図3(A)に示されているよう
に、図示のような形状に予め加工されたリード25を含
むリードフレームを配置し、ベアチップ24のボンディ
ングパッドとリード25とをアルミなどの極細線からな
るボンディングワイヤ28で接続するワイヤボンディン
グ工程を行なう。
Next, as shown in FIG. 3A, a lead frame including leads 25 preprocessed in the shape as shown is arranged, and the bonding pads of the bare chip 24 and the leads 25 are made of aluminum or the like. The wire bonding step of connecting with the bonding wire 28 made of the ultrafine wire is performed.

【0039】この後、図3(B)に示されているよう
に、金型Cを図示のようにかぶせ、樹脂注入ノズルから
樹脂を注入してモールド封止を行なう。そして、樹脂を
硬化させ、図3(C)に示されているように金型Bおよ
びCを取り外した後、バリ取り工程を行なう。
After that, as shown in FIG. 3B, the mold C is covered as shown in the figure, and resin is injected from the resin injection nozzle to perform mold sealing. Then, after curing the resin and removing the molds B and C as shown in FIG. 3C, a deburring step is performed.

【0040】このようにして、図1のパッケージ構造を
持つ24ピンSOPが組み立てられる。このパッケージ
組み立て方法によれば、ダイボンディング、ワイヤボン
ディング、モールド封止という通常のシングルパッケー
ジの組み立て工程を基体表面と裏面に対してそれぞれ行
なうだけで、ダイパット22の両面にそれぞれベアチッ
プ23,24を配置した前述のマルチチップ構造を簡単
に実現できる。
In this way, the 24-pin SOP having the package structure of FIG. 1 is assembled. According to this package assembling method, bare chips 23 and 24 are arranged on both surfaces of the die pad 22 only by performing the usual single package assembling steps such as die bonding, wire bonding, and mold sealing on the front surface and the back surface of the substrate. The above-mentioned multi-chip structure can be easily realized.

【0041】尚、図1のパッケージ構造、および図2、
図3を参照して説明したパッケージ組み立て方法は、S
OPのみならず、他の種々のパッケージにも同様にして
適用する事ができる。
The package structure of FIG. 1 and FIG.
The package assembly method described with reference to FIG.
Not only OP but also various other packages can be similarly applied.

【0042】図4には、図1のマルチチップモジュール
型LSIのパッケージ構造を、16ピンDIP(Dua
l In−line Package)に適用した場合
が示されている。図4(A)は24ピンDIPの上面
図、図4(B)は側面図、図4(C)は図4(A)のD
−D´線に沿った断面図である。
FIG. 4 shows a package structure of the multi-chip module type LSI of FIG.
1 In-line Package). 4A is a top view of the 24-pin DIP, FIG. 4B is a side view, and FIG. 4C is D of FIG. 4A.
It is sectional drawing which followed the -D 'line.

【0043】また、図5には、図1のマルチチップモジ
ュール型LSIのパッケージ構造を、32ピンQFP
(Quand Flat Package)に適用した
場合が示されている。図5(A)は32ピンQFPの上
面図、図4(B)は側面図、図4(C)は図4(A)の
E−E´線に沿った断面図である。
FIG. 5 shows a package structure of the multi-chip module type LSI of FIG.
(Quad Flat Package). 5A is a top view of the 32-pin QFP, FIG. 4B is a side view, and FIG. 4C is a cross-sectional view taken along the line EE ′ of FIG. 4A.

【0044】さらに、図1のパッケージ構造について
は、プラスチックパッケージだけでなく、ダイパッドを
持たないセラミックパッケージやテープキャリアパッケ
ージにも適用できる。
Further, the package structure of FIG. 1 can be applied not only to plastic packages but also to ceramic packages without die pads and tape carrier packages.

【0045】この場合には、ダイパッドの代わりに絶縁
部材を用意し、この絶縁部材の表面上に第1のベアチッ
プを配置してそれを第1リードと接続し、絶縁部材の裏
面上に第2のベアチップを配置してそれを第2リードと
接続すればよい。
In this case, an insulating member is prepared in place of the die pad, the first bare chip is arranged on the surface of this insulating member and connected to the first lead, and the second bare chip is formed on the rear surface of the insulating member. It is sufficient to dispose the bare chip and connect it to the second lead.

【0046】[0046]

【発明の効果】以上説明したように、この発明によれ
ば、マルチチップモジュール内のチップ配置を改良して
2つのベアチップをダイパッドの表面および裏面にそれ
ぞれ対向配置したことにより、高密度実装に好適な小パ
ッケージ且つ高機能のマルチチップモジュール型LSI
を実現できる。
As described above, according to the present invention, the chip arrangement in the multi-chip module is improved and the two bare chips are arranged opposite to each other on the front surface and the back surface of the die pad, which is suitable for high-density mounting. Small package and high-performance multi-chip module type LSI
Can be realized.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】この発明の一実施例に係るマルチチップモジュ
ール型LSIのパッケージ構造を示す図。
FIG. 1 is a diagram showing a package structure of a multi-chip module type LSI according to an embodiment of the present invention.

【図2】同実施例のマルチチップモジュール型LSIの
パッケージ組み立て工程の一部を説明するための断面
図。
FIG. 2 is a cross-sectional view for explaining a part of the process of assembling the package of the multi-chip module type LSI of the same embodiment.

【図3】同実施例のマルチチップモジュール型LSIの
パッケージ組み立て工程の残りの工程を説明するための
断面図。
FIG. 3 is a cross-sectional view for explaining the remaining steps of the package assembling step of the multi-chip module type LSI of the same embodiment.

【図4】同実施例のマルチチップモジュール型LSIの
パッケージ構造を適用したDIPの構造を示す図。
FIG. 4 is a diagram showing a structure of a DIP to which the package structure of the multi-chip module type LSI of the embodiment is applied.

【図5】同実施例のマルチチップモジュール型LSIの
パッケージ構造を適用したQFPの構造を示す図。
FIG. 5 is a diagram showing a structure of a QFP to which the package structure of the multi-chip module type LSI of the embodiment is applied.

【図6】従来のシングルパッケージのパッケージ構造を
示す図。
FIG. 6 is a view showing a package structure of a conventional single package.

【図7】図6のシングルパッケージをプリント基板上に
実装した状態を示す図。
FIG. 7 is a diagram showing a state in which the single package of FIG. 6 is mounted on a printed board.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

21…第1リード、22…ダイパッド、23…第1ベア
チップ、24…第2ベアチップ、25…第2リード、2
6…第1ボンディングワイヤ、27…パッケージモール
ド、28…第2ボンディングワイヤ。
21 ... First lead, 22 ... Die pad, 23 ... First bare chip, 24 ... Second bare chip, 25 ... Second lead, 2
6 ... 1st bonding wire, 27 ... Package mold, 28 ... 2nd bonding wire.

Claims (5)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 複数のチップを1個のパケージに封止し
て構成されるマルチチップモジュール型LSIにおい
て、 ダイパッドを有するリードフレームと、 このリードフレームの前記ダイパットの表面上に搭載さ
れた第1のベアチップと、 前記ダイパットの裏面上に搭載された第2のベアチップ
とを具備し、 前記ダイパットの両面にそれぞれベアチップを配置した
マルチチップ構造を有することを特徴とするマルチチッ
プモジュール型LSI。
1. A multi-chip module type LSI configured by sealing a plurality of chips in one package, a lead frame having a die pad, and a first frame mounted on the surface of the die pad of the lead frame. And a second bare chip mounted on the back surface of the die pad, and having a multi-chip structure in which bare chips are arranged on both surfaces of the die pad, respectively.
【請求項2】 前記第1のベアチップに接続され、前記
パッケージの側面から外部に導出された複数の第1リー
ド部材と、 前記第2のベアチップに接続され、前記パッケージの底
面から外部に導出された複数の第2リード部材とをさら
に具備し、 パッケージの側面と底面にプリント基板との電気的導通
を取るためのリードが配置された構造を有することを特
徴とする請求項1記載のマルチチップモジュール型LS
I。
2. A plurality of first lead members connected to the first bare chip and led out from a side surface of the package, and a plurality of first lead members connected to the second bare chip and led out to the outside from a bottom surface of the package. 2. The multi-chip according to claim 1, further comprising: a plurality of second lead members, wherein the leads are arranged on the side surface and the bottom surface of the package for electrical connection with the printed circuit board. Modular LS
I.
【請求項3】 前記外部に導出された第1および第2の
リード部材は、前記パッケージの側端に沿って交互に並
んで同一列状に配置されていることを特徴とする請求項
2記載のマルチチップモジュール型LSI。
3. The first and second lead members led out to the outside are alternately arranged along the side edge of the package in the same row. Multi-chip module type LSI.
【請求項4】 複数のチップを1個のパケージに封止し
て構成されるマルチチップモジュール型LSIにおい
て、 絶縁部材と、 この絶縁部材の表面上に配置され、第1のテープキャリ
アパッケージのインナーリードと接続される第1のベア
チップと、 前記絶縁部材の裏面上に配置され、第2のテープキャリ
アパッケージのインナーリードと接続される第2のベア
チップとを具備することを特徴とするマルチチップモジ
ュール型LSI。
4. A multi-chip module type LSI configured by sealing a plurality of chips in one package, wherein an insulating member and an inner portion of the first tape carrier package arranged on the surface of the insulating member. A multi-chip module comprising: a first bare chip connected to a lead; and a second bare chip arranged on a back surface of the insulating member and connected to an inner lead of a second tape carrier package. Type LSI.
【請求項5】 複数のチップを1個のパケージに封止し
て構成されるマルチチップモジュール型LSIのパッケ
ージ組み立て方法において、 リードフレームのダイパッド表面上に第1のベアチップ
をダイボンディングし、 前記リードフレームのインナーリードと前記第1のベア
チップとをワイヤーボンディングし、 前記ダイパッドの裏面側近傍の領域に樹脂が注入されな
いようにその領域を保護した状態でモールド封止を行な
い、 前記モールド封止された基体を上下反転して、前記ダイ
パッドの裏面上に第2のベアチップをダイボンディング
し、 前記基体上にリードフレームを配置して、そのリードフ
レームのインナーリードと前記第2のベアチップとをワ
イヤーボンディングし、 前記ダイパッドの裏面側近傍の領域に樹脂を注入するた
めのモールド封止を行なうことを特徴とするパッケージ
組み立て方法。
5. A method of assembling a multi-chip module type LSI package, comprising a plurality of chips sealed in one package, wherein a first bare chip is die-bonded on a die pad surface of a lead frame, and the lead is formed. The inner lead of the frame and the first bare chip are wire-bonded, and mold sealing is performed in a state in which the region near the back surface side of the die pad is protected from resin injection, and the mold sealing is performed. The base is turned upside down, the second bare chip is die-bonded on the back surface of the die pad, the lead frame is arranged on the base, and the inner lead of the lead frame and the second bare chip are wire-bonded. , For injecting resin into the region near the back surface side of the die pad A method of assembling a package, which comprises:
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KR20000040218A (en) * 1998-12-17 2000-07-05 윤종용 Multi chip package
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