JPH08276585A - インク噴射装置及びその製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【目的】 低い駆動電圧で文字や画像を形成するのに十
分な速度及び体積のインク液滴を噴射することが可能
で、電気的結合の信頼性を高くすること。 【構成】 圧電材料からなるアクチュエータプレート１
０２及び１０３で構成された側壁１１１及び１１６を有
するインク液室１１２と、側壁１１１及び１１６に電界
を発生させる電極２１３及び２１４とを有し、電極２１
３及び２１４への電圧の印加により前記側壁１１１及び
１１６を変位させ、前記インク液室１１２内のインクに
圧力を与えてインクを噴射するインク噴射装置２０１で
あって、少なくとも一部が電極２１３及び２１４を覆う
ように導電層２１５が形成される。この導電層２１５に
より電極２１３と電極２１４とが確実に電気的に接続さ
れる。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【産業上の利用分野】本発明は、インク噴射装置に関す
るものである。

【０００２】

【従来の技術】今日、これまでのインパクト方式の印字
装置にとってかわり、その市場を大きく拡大しつつある
ノンインパクト方式の印字装置の中で、原理が最も単純
で、かつ多階調化やカラー化が容易であるものとして、
インクジェット方式の印字装置が上げられる。中でも印
字に使用するインク滴のみを噴射するドロップ・オン・
デマンド型が、噴射効率の良さ、ランニングコストの安
さなどから急速に普及している。

【０００３】ドロップ・オン・デマンド型として特公昭
５３−１２１３８号公報に開示されているカイザー型、
あるいは特公昭６１−５９９１４号公報に開示されてい
るサーマルジェット型がその代表的な方式としてある。
このうち、前者は小型化が難しく、後者は高熱をインク
に加えるためにインクの耐熱性に対する要求が必要とさ
れ、それぞれに非常に困難な問題を抱えている。

【０００４】以上のような欠陥を同時に解決する新たな
方式として提案されたのが、特開昭６３−２４７０５１
号公報、特開昭６３−２５２７５０号公報及び特開平２
−１５０３５５号公報に開示されているせん断モード型
である。図３、図４、図５、図６及び図７に、それら従
来例の概略図を示す。

【０００５】以下、インク噴射装置の断面図を示す図３
によって、従来例の構成を具体的に説明する。インク噴
射装置１は、アクチュエータプレート２とカバープレー
ト３とノズルプレート３１（図５）とから構成されてい
る。アクチュエータプレート２は、強誘電性を有する圧
電材料、例えばチタン酸ジルコン酸鉛（ＰＺＴ）系のセ
ラミックス材料等で形成され、矢印５方向に分極処理が
施されており、複数の溝１５及び該溝１５を隔てる側壁
１１を有する。カバープレート３はセラミックス材料ま
たは樹脂材料等で形成される。前記アクチュエータプレ
ート２とカバープレート３とを、接着剤、例えばエポキ
シ系接着剤等からなる接合層４を介して接合すること
で、溝１５は横方向に互いに間隔を有する複数のインク
液室１２となる。インク液室１２は長方形断面の細長い
形状であり、側壁１１はインク液室１２の全長にわたっ
て伸びている。側壁１１の接合層４付近の側壁１１上部
から側壁１１中央部までの両表面には、駆動電圧印加用
の電極１３が形成されている。インク液室１２には、イ
ンク供給口２１（図５）からマニホールド２２（図５）
を通してインク８１が導入される。

【０００６】次に、インク噴射装置１の断面図を示す図
４によって、従来例の動作を説明する。該インク噴射装
置１において、所望の印字データに従って例えばインク
液室１２ｂが選択されると、電極１３ｃと１３ｄに急速
に正の駆動電圧が印加され、電極１３ｂと１３ｅは接地
される。これにより側壁１１ａには矢印１４ａの方向の
駆動電界が、側壁１１ｂには矢印１４ｂの方向の駆動電
界が作用する。このとき駆動電界方向１４ａ及び１４ｂ
と分極方向５とが直交しているため、側壁１１ａ及び１
１ｂは、圧電厚みすべり効果によってインク液室１２ｂ
の内部方向に急速に変形する。この変形によってインク
液室１２ｂの容積が減少してインク液室１２ｂ内部のイ
ンク８１の圧力が急速に増大し、圧力波が発生して、イ
ンク液室１２ｂに連通するノズル３２（図５）からイン
ク８１の一部がインク液滴となって噴射される。また、
駆動電圧の印加を停止すると、側壁１１ａ及び１１ｂが
変形前の位置（図３参照）に戻るため、インク液室１２
ｂ内部のインク８１の圧力が低下し、インク供給口２１
（図５）からマニホールド２２（図５）を通してインク
液室１２ｂ内にインク８１が供給される。

【０００７】但し、上記の動作は従来例の基本動作に過
ぎず、製品として具体化される場合には、まず駆動電圧
をインク液室１２ｂの容積が増加する方向に印加し、先
にインク液室１２ｂにインクを供給させた後に駆動電圧
の印加を停止して、側壁１１ａ及び１１ｂを変形前の位
置（図３参照）に戻してインクを噴射させることもあ
る。

【０００８】該インク噴射装置１では、隣接する２つの
インク液室に連通する２つのノズルから同時にインク液
滴を噴射することができないため、例えば、インク液室
１２ｂ及び１２ｄに連通するノズルからインク液滴を噴
射した後、インク液室１２ｃに連通するノズルからイン
ク液滴を噴射し、次に再びインク液室１２ｂ及び１２ｄ
に連通するノズルからインク液滴を噴射するというよう
に、インク液室１２及びノズル３２を複数のグループに
分割してインク液滴の噴射を行う。

【０００９】次に、インク噴射装置１の斜視図を示す図
５によって、従来例の構成及び製造法を説明する。分極
処理を施したアクチュエータプレート２に、薄い円板状
のダイヤモンドブレードを使用した研削加工等によっ
て、前記の形状のインク液室１２を形成する平行な溝１
５を作製する。溝１５はアクチュエータプレート２のほ
ぼ全域で同じ深さの平行な溝であるが、端面１７に近づ
くにつれて徐々に浅くなり、端面１７付近では浅く平行
な浅溝１８となるよう作製される。この溝１５及び浅溝
１８の内面には、電極が真空蒸着やスパッタリング等に
よって形成される。この電極形成時には、側壁１１の天
頂部にも電極が形成されるため、側壁１１の両側の電極
を分離する必要があり、そのために側壁１１の天頂部の
電極をラッピング等により除去している。それにより、
溝１５の内面にはその側面の上半分のみに電極１３が形
成され、浅溝１８の内面にはその側面及び底面全体に電
極１９が形成される。この電極１９によって、溝１５の
両側の側壁１１に形成された電極１３は電気的に接続さ
れている。

【００１０】また、セラミックス材料または樹脂材料等
からなるカバープレート３に、研削または切削加工等に
よって、インク導入口２１及びマニホールド２２を作成
する。

【００１１】次に、アクチュエータプレート２の溝１５
加工側の面とカバープレート３のマニホールド２２加工
側の面とを、エポキシ系接着剤等からなる接合層４（図
３）によって、各々の溝１５が前記の形状のインク液室
１２を形成するように接着する。次に、アクチュエータ
プレート２及びカバープレート３の端面１６に、各イン
ク液室１２の位置に対応した位置にノズル３２が設けら
れたノズルプレート３１を接着する。アクチュエータプ
レート２の溝１５加工側と反対側の面には、各浅溝１８
の位置に対応した位置に導電層のパターン４２が設けら
れた基板４１を、エポキシ系接着剤等によって接着す
る。

【００１２】そして、浅溝１８の底面の電極１９と導電
層のパターン４２とを導線４３で接続する。通常、この
ような接続には、周知のワイヤボンディングという手法
が用いられている。この導線４３の直径は通常非常に小
さく機械的強度が小さいため、隣接する導線４３どうし
の接触や断線、また大気中の水分や粉塵による腐食を防
ぐために、一般的にはエポキシ系などの樹脂を用いて保
護膜（図示せず）の形成（ポッティング）を行なう。そ
の保護膜は加熱硬化される。

【００１３】次に、制御部のブロック図を示す図６によ
って、従来例の制御部の構成を説明する。基板４１に設
けられた導電層のパターン４２は各々個々にＬＳＩチッ
プ５１に接続され、クロックライン５２、データライン
５３、電圧ライン５４及びアースライン５５もＬＳＩチ
ップ５１に接続されている。ＬＳＩチップ５１は、クロ
ックライン５２から供給された連続するクロックパルス
に基づいて、データライン５３上に現れるデータから、
どのノズル３２からインク液滴の噴射を行うべきかを判
断する。そして、ＬＳＩチップ５１は、インクを噴射す
るインク液室１２内の電極１３に導通する導電層のパタ
ーン４２に、電圧ライン５４の電圧Ｖを印加する。ま
た、ＬＳＩチップ５１は、前記インク液室１２以外の電
極１３に導通する導電層のパターン４２にアースライン
５５を接続する。

【００１４】次に、プリンタの斜視図を示す図７によっ
て、従来例の構成及び動作を説明する。インク噴射装置
１及びノズルプレート３１は、図３、図４、図５及び図
６で説明した構成、動作をもつものである。インク噴射
装置１はキャリッジ６２上に固定され、インク供給チュ
ーブ６３はインク供給口２１（図５）に連通し、ＬＳＩ
チップ５１（図６）はキャリッジ６２に内蔵され、フレ
キシブルケーブル６４は図６に示したクロックライン５
２、データライン５３、電圧ライン５４及びアースライ
ン５５に対応している。キャリッジ６２はスライダ６６
に沿って矢印６５方向に記録紙７１の全幅にわたって往
復移動し、インク噴射装置６１はキャリッジ６２が移動
している時にプラテンローラ７２に保持された記録紙７
１に対して、ノズルプレート３１に設けられたノズル３
２（図５）からインク液滴を噴射し、記録紙７１上にイ
ンク液滴を付着させる。

【００１５】また、記録紙７１はインク噴射装置１がイ
ンク液滴を噴射しているときは静止しているが、キャリ
ッジ６２が所定動作を行う度に紙送りローラ７３及び７
４によって矢印７５方向に一定量ずつ移送される。これ
によって、インク噴射装置１は記録紙７１の全面に所望
の文字や画像を形成することが可能となる。

【００１６】次に、特開平５−９２５６１号公報に開示
されている他の従来例のインク噴射装置を図８及び図９
を用いて説明する。インク噴射装置１０１は、アクチュ
エータプレート１０２及び１０３とノズルプレート（図
示せず）とから構成されている。アクチュエータプレー
ト１０２は、強誘電性を有する圧電材料で形成され、矢
印１０５方向に分極処理が施されており、複数の溝１１
５及び該溝１１５を隔てる側壁１１１を有する。側壁１
１１の両側面及び天頂部の一部には、駆動電圧印加用の
電極１１３が形成されている。また、アクチュエータプ
レート１０３は、強誘電性を有する圧電材料で形成さ
れ、矢印１０６方向に分極処理が施されており、複数の
溝１１７及び該溝１１７を隔てる側壁１１６を有する。
側壁１１６の両側面及び天頂部の一部には、駆動電圧印
加用の電極１１４が形成されている。

【００１７】前記アクチュエータプレート１０２の側壁
１１１の天頂部とアクチュエータプレート１０３の側壁
１１６の天頂部とを、接着剤からなる接合層１０４を介
して接合することで、溝１１５及び１１７は横方向に互
いに間隔を有する複数のインク液室１１２となる。また
側壁１１１の天頂部に形成された電極１１３と側壁１１
６の天頂部に形成された電極１１４とが接触し、導電関
係を形成する。インク液室１１２は長方形断面の細長い
形状であり、側壁１１１及び１１６はインク液室１１２
の全長にわたって伸びている。インク液室１１２には、
インク供給口（図示せず）からマニホールド（図示せ
ず）を通してインク１８１が導入される。電極１１３及
び１１４と駆動回路との電気的接続については説明を省
略する。

【００１８】該インク噴射装置１０１において、噴射す
るインク液室１１２の両側の側壁１１１及び１１６の表
面の電極１１３及び１１４に駆動電圧を印加することに
より、側壁１１１及び１１６に駆動電界が作用する。こ
のとき駆動電界方向と分極方向１０５及び１０６とが直
交しているため、側壁１１１及び１１６は、圧電厚みす
べり効果によってインク液室１１２の内部方向に急速に
変形する。この変形によってインク液室１１２の容積が
減少してインク液室１１２内部のインク１８１の圧力が
急速に増大し、圧力波が発生して、インク液室１１２に
連通するノズル（図示せず）からインク１８１の一部が
インク液滴となって噴射される。また、駆動電圧の印加
を停止すると、側壁１１１及び１１６が変形前の位置に
戻るため、インク液室１１２内部のインク１８１の圧力
が低下し、インク供給口（図示せず）からマニホールド
（図示せず）を通してインク液室１１２内にインク１８
１が供給される。

【００１９】但し、上記の動作は従来例の基本動作に過
ぎず、製品として具体化される場合には、まず駆動電圧
をインク液室１１２の容積が増加する方向に印加し、先
にインク液室１１２にインクを供給させた後に駆動電圧
の印加を停止して、側壁１１１及び１１６を変形前の位
置に戻してインクを噴射させることもある。

【００２０】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来のインク噴射装置１では、電極１３に印加さ
れた駆動電圧により側壁１１の上半分のみが圧電厚みす
べり変形し、下半分は上半分の変形により変位されるの
で、電極１３に印加された電気エネルギーと比較して側
壁１１の変形量が小さく、インク液室１２の容積の減少
量が少ない。このため、噴射されるインク液滴の速度及
び体積がインク噴射装置１と対向する紙面上等に文字や
画像を形成するには、駆動電圧を高くしなければならな
かった。このため、駆動回路が複雑化、大型化するた
め、装置の低コスト化、小型化に限界があった。

【００２１】そして、上記のような従来のインク噴射装
置１０１では、電極１１３に印加された駆動電圧により
側壁１１１及び１１６の両方が駆動されるので、インク
噴射装置１の半分の駆動電圧でインク噴射装置１と同じ
インクの圧力を発生することができる。よって、駆動電
圧を噴射装置１より低くすることができる。

【００２２】しかしながら、インク噴射装置１０１で
は、側壁１１１に形成された電極１１３と側壁１１６に
形成された電極１１４との電気的接続が、側壁１１１の
天頂部と側壁１１６の天頂部とを接合することによって
行なわれているので、この接触による電気的接続では、
側壁１１１及び１１６の天頂部の表面粗さやうねりが大
きいと確実に接続されないなど、信頼性が低いという問
題点があった。さらに、側壁１１１の天頂部と側壁１１
６の天頂部とを接着する接着剤のはみ出しによって、電
極１１３と電極１１４とが接続しないといった問題があ
った。また、電極１１３と１１４との接触面にインク１
８１が入り込んで電気的接続を阻害したり、側壁１１１
及び１１６の駆動による振動により電極１１３と１１４
との接触面に摩耗が生じ、電気的接続が切れたりして、
インク液滴の噴射が使用途中で停止し、信頼性が低いと
いう問題点があった。

【００２３】本発明は、上述した問題点を解決するため
になされたものであり、低い駆動電圧で文字や画像を形
成するのに十分な速度及び体積のインク液滴を噴射する
ことが可能で、電気的接続の信頼性が高いインク噴射装
置及びその製造方法を提供することを目的とする。

【００２４】

【課題を解決するための手段】この目的を達成するため
に本発明の請求項１では、複数の第一溝と、前記第一溝
を隔て、少なくとも一部が圧電材料で構成された第一壁
とを有する第一アクチュエータプレートと、複数の第二
溝と、前記第二溝を隔て、少なくとも一部が圧電材料で
構成された第二壁とを有する第二アクチュエータプレー
トと、前記第一壁の側面に形成された第一電極と、 前
記第二壁の側面に形成された第二電極とを備え、前記第
一アクチュエータプレートの第一壁の天頂部と前記第二
アクチュエータプレートの第二壁の天頂部とを接合し
て、前記第一溝及び第二溝からなるインク液室を構成す
るインク噴射装置において、前記インク液室内に形成さ
れ、前記第一電極及び前記第二電極に接続する第三電極
を有する。

【００２５】請求項２では、前記第三電極は、前記イン
ク液室が開口された前記第一及び第二アクチュエータプ
レートの端面側から蒸着法によって形成されたことを特
徴とする。

【００２６】請求項３では、前記第三電極は、前記イン
ク液室が開口された前記第一及び第二アクチュエータプ
レートの端面側からスパッタリング蒸着法によって形成
されたことを特徴とする。

【００２７】請求項４では、複数の第一溝と、前記第一
溝を隔て、少なくとも一部が圧電材料で構成された第一
壁とを有する第一アクチュエータプレートと、前記第一
溝に対応して設けられた複数の第二溝と、前記第二溝を
隔て、少なくとも一部が圧電材料で構成された第二壁と
を有する第二アクチュエータプレートと、前記第一壁の
側面に形成された第一電極と、前記第二壁の側面に形成
された第二電極とを備えたインク噴射装置の製造方法に
おいて、前記第一アクチュエータプレートの第一壁の天
頂部と前記第二アクチュエータプレートの第二壁の天頂
部とを接合して、前記第一溝及び第二溝からなるインク
液室を形成する工程と、前記インク液室が開口された前
記第一及び第二アクチュエータプレートの端面側から金
属物質を出射して、前記インク液室内に、前記第一電極
及び前記第二電極に接続する第三電極を形成する工程と
からなることを特徴とする。

【００２８】請求項５では、前記第三電極は、前記金属
物質の蒸着法によって形成されることを特徴とする。

【００２９】請求項６では、前記第三電極は、前記金属
物質のスパッタリング蒸着法によって形成されることを
特徴とする。

【００３０】

【作用】上記の構成を有する本発明のインク噴射装置で
は、前記インク液室内に形成される第三電極が、前記第
一電極及び前記第二電極上に形成されて、前記第一電極
と前記第二電極とが電気的に接続される。

【００３１】また、本発明のインク噴射装置の製造方法
では、まず、前記第一アクチュエータプレートの第一壁
の天頂部と前記第二アクチュエータプレートの第二壁の
天頂部とを接合して、前記第一溝及び第二溝からなるイ
ンク液室を形成し、次に、前記インク液室が開口された
前記第一及び第二アクチュエータプレートの端面側から
金属物質を出射することによって、前記インク液室内の
前記第一電極及び前記第二電極上に第三電極が形成さ
れ、前記第一電極と前記第二電極とが電気的に接続され
る。

【００３２】

【実施例】以下、本発明を具体化した一実施例を図面を
参照して説明する。尚、従来技術と同一の部材には同一
の符号を付し、その説明を一部省略する。

【００３３】まず、インク噴射装置の斜視図を示す図１
によって、本発明の一実施例の構成を具体的に説明す
る。インク噴射装置２０１は、アクチュエータプレート
１０２及び１０３とノズルプレート（図示せず）とから
構成されている。アクチュエータプレート１０２は、強
誘電性を有する圧電材料で形成され、矢印１０５（図
８）方向に分極されており、複数の溝１１５及び該溝１
１５を隔てる側壁１１１を有する。側壁１１１の両側面
には、駆動電圧印加用の電極２１３が形成されている。
また、アクチュエータプレート１０３は、強誘電性を有
する圧電材料で形成され、矢印１０６（図８）方向に分
極されており、複数の溝１１７及び該溝１１７を隔てる
側壁１１６を有する。側壁１１６の両側面には、駆動電
圧印加用の電極２１４が形成されている。

【００３４】前記アクチュエータプレート１０２とアク
チュエータプレート１０３とを、接着剤からなる接合層
１０４を介して接合することで、溝１１５及び１１７は
横方向に互いに間隔を有する複数のインク液室１１２と
なる。インク液室１１２は長方形断面の細長い形状であ
り、側壁１１１及び１１６はインク液室１１２の全長に
わたって伸びている。次に、インク液室１１２の長手方
向を基準として接合層１０４を含む面内にαの角度をな
す方向２９１及び２９２から、蒸着法、スパッタリング
蒸着法、溶射法等の方法により、ニッケル、金、銅、カ
ーボン等の導電材料の分子、分子クラスタまたは粒子
を、アクチュエータプレート１０２及び１０３に衝突さ
せる。これによって、インク噴射装置の一部の断面図を
示す図２に示すように、端面２９３付近の電極２１３及
び２１４の上に導電層２１５が形成される。角度αは０
〜９０゜の範囲ならばいくらでもよいが、導電層２１５
の厚みと、端面２９３からインク液室１１２の内部方向
に導電層２１５が形成される範囲を適切に保つために
は、蒸着法または溶射法により導電層を形成する場合で
１０〜８０゜、スパッタリング蒸着法により導電層を形
成する場合で０〜７０゜が最適である。このとき、端面
２９３にも導電層２１５が形成されるが、後で端面２９
３を研磨加工することにより除去する。

【００３５】本実施例のインク噴射装置２０１では、電
極２１３と電極２１４とが、それぞれを覆うように形成
された導電層２１５によって導電関係を形成しているの
で、側壁１１１及び１１６の天頂部の表面粗さやうね
り、接合層１０４の接着剤のはみ出しに関係なく確実な
電気的接続が得られ、インク液室１１２内に導入された
インクにより電気的接続が阻害されたり、側壁１１１及
び１１６の駆動による振動による摩耗で電気的接続が切
れたりすることがなく、電気的接続の信頼性が著しく高
くなる。

【００３６】また、側壁１１１及び側壁１１６の変形に
よってインクを噴射するので、低い駆動電圧で文字や画
像を形成するのに十分な速度及び体積のインク液滴を噴
射することが可能である。

【００３７】尚、本実施例では、インク液室１１２が隣
接していたが、各インク液室の間に空気が充填された空
気室を設けてもよい。この場合、全てのインク液室に連
通する２つのノズルから同時にインク液滴を噴射するこ
とができる。

【００３８】また、本実施例では、インク液室１１２の
長手方向を基準として接合層１０４を含む面内にαの角
度をなす方向２９１及び２９２の２方向から、蒸着法、
スパッタリング蒸着法、溶射法等の方法により、導電材
料の分子、分子クラスタまたは粒子を衝突させていた
が、方向２９１と２９２はインク液室１１２の長手方向
を基準として同じ角度αでなくてもよい。また、蒸着
法、スパッタリング蒸着法、溶射法等の方向は２方向で
なくてもよく、１方向、４方向など何方向でもよい。ま
た、これらの方向は、インク液室１１２の長手方向を基
準として接合層１０４を含む面内になくてもよい。

【００３９】また、本実施例では、端面２９３に形成さ
れた導電層２１５を全て除去していたが、導電層２１５
の一部を端面２９３に残して、駆動回路との接続に用い
てもよい。

【００４０】また、本実施例では、端面２９３を研磨加
工することにより端面２９３に形成された導電層２１５
を除去していたが、端面２９３にレジスト層等を形成し
ておいてから導電層２１５を形成し、その後機械的に剥
離したり、化学的に溶解したりすることによって、導電
層２１５をレジスト層等と同時に除去してもよい。

【００４１】また、本実施例では、側壁１１１及び１１
６がそれぞれ１つの圧電材料の部材（アクチュエータプ
レート１０２及び１０３）で形成されていたが、分極方
向に平行に積層された複数の圧電材料の部材や、非圧電
材料と圧電材料とが分極方向に平行に積層された部材で
形成されていてもよい。

【００４２】また、本実施例では、インク液室１１２を
３個示していたが、５０個、１００個等いくつであって
もよい。

【００４３】

【発明の効果】以上説明したことから明かなように本発
明によれば、前記第一アクチュエータプレートの第一壁
の天頂部と前記第二アクチュエータプレートの第二壁の
天頂部とを接合してインク液室を形成した後に、前記イ
ンク液室内に第三電極が形成されるので、前記第一電極
と前記第二電極とが電気的に接続される。よって、第一
壁及び第二壁の天頂部の表面粗さやうねり、接合のため
の接着剤等のはみ出しに関係なく確実な電気的接続が得
られ、インク液室内に導入されたインクにより電気的接
続が阻害されたり、第一壁及び第二壁の駆動による振動
による摩耗で電気的接続が切れたりすることがなく、電
気的接続の信頼性が著しく高くなる。また、第一壁及び
第二壁の変形によってインクを噴射するので、低い駆動
電圧で文字や画像を形成するのに十分な速度及び体積の
インク液滴を噴射することが可能である。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の一実施例のインク噴射装置を示す斜視
図である。

【図２】本発明の一実施例のインク噴射装置の一部を示
す断面図である。

【図３】従来例のインク噴射装置を示す断面図である。

【図４】従来例のインク噴射装置の動作を示す説明図で
ある。

【図５】従来例のインク噴射装置を示す斜視図である。

【図６】従来例の制御部を示すブロック図である。

【図７】従来例のプリンタを示す斜視図である。

【図８】従来例のインク噴射装置を示す断面図である。

【図９】従来例のインク噴射装置を一部を拡大して示す
説明図である。

【符号の説明】

２０１ インク噴射装置 １０２ アクチュエータプレート １０３ アクチュエータプレート １１１ 側壁 １１６ 側壁 １１２ インク液室 ２１３ 電極 ２１４ 電極 ２１５ 導電層

Claims (6)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 複数の第一溝と、前記第一溝を隔て、少
   なくとも一部が圧電材料で構成された第一壁とを有する
   第一アクチュエータプレートと、 前記第一溝に対応して設けられた複数の第二溝と、前記
   第二溝を隔て、少なくとも一部が圧電材料で構成された
   第二壁とを有する第二アクチュエータプレートと、 前記第一壁の側面に形成された第一電極と、 前記第二壁の側面に形成された第二電極と、を備え、前
   記第一アクチュエータプレートの第一壁の天頂部と前記
   第二アクチュエータプレートの第二壁の天頂部とを接合
   して、前記第一溝及び第二溝からなるインク液室を構成
   するインク噴射装置において、 前記インク液室内に形成され、前記第一電極及び前記第
   二電極に接続する第三電極を有することを特徴とするイ
   ンク噴射装置。
2. 【請求項２】 前記第三電極は、前記インク液室が開口
   された前記第一及び第二アクチュエータプレートの端面
   側から蒸着法によって形成されたことを特徴とする請求
   項１に記載のインク噴射装置。
3. 【請求項３】 前記第三電極は、前記インク液室が開口
   された前記第一及び第二アクチュエータプレートの端面
   側からスパッタリング蒸着法によって形成されたことを
   特徴とする請求項１に記載のインク噴射装置。
4. 【請求項４】 複数の第一溝と、前記第一溝を隔て、少
   なくとも一部が圧電材料で構成された第一壁とを有する
   第一アクチュエータプレートと、 前記第一溝に対応して設けられた複数の第二溝と、前記
   第二溝を隔て、少なくとも一部が圧電材料で構成された
   第二壁とを有する第二アクチュエータプレートと、 前記第一壁の側面に形成された第一電極と、 前記第二壁の側面に形成された第二電極と、を備えたイ
   ンク噴射装置の製造方法において、 前記第一アクチュエータプレートの第一壁の天頂部と前
   記第二アクチュエータプレートの第二壁の天頂部とを接
   合して、前記第一溝及び第二溝からなるインク液室を形
   成する工程と、 前記インク液室が開口された前記第一及び第二アクチュ
   エータプレートの端面側から金属物質を出射して、前記
   インク液室内に、前記第一電極及び前記第二電極に接続
   する第三電極を形成する工程とからなることを特徴とす
   るインク噴射装置の製造方法。
5. 【請求項５】 前記第三電極は、前記金属物質の蒸着法
   によって形成されることを特徴とする請求項４に記載の
   インク噴射装置の製造方法。
6. 【請求項６】 前記第三電極は、前記金属物質のスパッ
   タリング蒸着法によって形成されることを特徴とする請
   求項４に記載のインク噴射装置の製造方法。