JPH08258090A - Method and apparatus for washing stamper - Google Patents
Method and apparatus for washing stamperInfo
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- JPH08258090A JPH08258090A JP9015495A JP9015495A JPH08258090A JP H08258090 A JPH08258090 A JP H08258090A JP 9015495 A JP9015495 A JP 9015495A JP 9015495 A JP9015495 A JP 9015495A JP H08258090 A JPH08258090 A JP H08258090A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はスタンパーの洗浄方法お
よび装置に関するものであり、特に、光ディスク用のプ
ラスチック基板を射出形成等で成形する際に用いられる
ニッケルスタンパーの洗浄方法および装置に関するもの
である。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a stamper cleaning method and apparatus, and more particularly to a nickel stamper cleaning method and apparatus used when molding a plastic substrate for an optical disk by injection molding or the like. .
【０００２】[0002]
【従来の技術】光ディスク等の高密度情報記録媒体のプ
ラスチック基板はミクロン〜サブミクロンの情報ピッ
ト、トラック等の凹凸を有している。プラスチック基板
は一般に射出成形で作られ、情報ピット、トラック等の
凹凸は射出金型に取付けたスタンパーから転写される。
このスタンパーは一般にガラス原盤にニッケルを電気鋳
造して作られる。2. Description of the Related Art A plastic substrate for a high-density information recording medium such as an optical disk has irregularities such as micron to submicron information pits and tracks. The plastic substrate is generally made by injection molding, and the irregularities such as information pits and tracks are transferred from a stamper attached to the injection mold.
This stamper is generally made by electroforming nickel on a glass master.
【０００３】スタンパーの電鋳は一般に以下のような工
程で行われる。先ず、ガラス原盤面に感光製樹脂膜を塗
布し、この感光製樹脂膜を所望バターンに従って露光
し、感光した部分をアルカリ性現像液でエッチングして
所望の微細な凹凸バターンを得る。この微細凹凸バター
ン上に導電膜を付けた後、ニッケルを電気メッキによっ
て所望厚さまで堆積（電鋳）させる。この電鋳膜をガラ
ス原盤から剥離し、裏面を研磨し、内外周をトリミング
すると光ディスク用スタンパーが得られる。スタンパー
の電鋳操作は公知であり、例えば株式会社トリケップ、
昭和61年２月20日発行の「光磁気ディスク」の第 231〜
239 頁を参照されたい。Electroforming of stampers is generally performed in the following steps. First, a photosensitive resin film is applied to the surface of a glass master plate, the photosensitive resin film is exposed according to a desired pattern, and the exposed portion is etched with an alkaline developer to obtain a desired fine uneven pattern. After applying a conductive film on the fine uneven pattern, nickel is deposited (electroformed) to a desired thickness by electroplating. This electroformed film is peeled from the glass master, the back surface is polished, and the inner and outer circumferences are trimmed to obtain an optical disk stamper. Electroforming operation of stamper is known, for example, Trikep Co., Ltd.,
No. 231 of "magneto-optical disk" issued on February 20, 1986
See page 239.
【０００４】製作したばかりの新しいスタンパー表面に
は感光製樹脂膜が残留している。また、プラスチックの
ディスク基板を射出成形する工程では、スタンパー表面
に油脂、樹脂、その他の汚れが付着する。スタンパー表
面の情報ピット、トラック等の凹凸はミクロン〜サブミ
クロンの大きさであるので、こうした汚れを完全に除去
しないと、成形されたプラスチックディスク基板は使い
ものにならない。A photosensitive resin film remains on the surface of the new stamper just manufactured. Also, in the step of injection molding a plastic disk substrate, grease, resin, and other stains adhere to the stamper surface. Since the unevenness of the information pits, tracks, etc. on the stamper surface has a size of micron to submicron, the molded plastic disk substrate cannot be used unless such dirt is completely removed.
【０００５】一般に、スタンパー表面の洗浄方法には、
有機溶剤とフレオンを用いた溶剤洗浄法、有機溶剤とア
ルカリ脱脂液との溶液中で超音波洗浄する方法、高圧水
を噴射する高圧洗浄方法および本発明者が提案 (特開平
1-275126 号公報) した電解脱脂洗浄法が知られてい
る。フレオンの使用が制限・禁止されるようになったこ
とと、効率、その他の利点の点から、現在では電解脱脂
洗浄法が次第に広く用いられるようになっている。Generally, the method of cleaning the stamper surface includes
A solvent cleaning method using an organic solvent and Freon, a method of ultrasonic cleaning in a solution of an organic solvent and an alkaline degreasing liquid, a high-pressure cleaning method of spraying high-pressure water, and the present inventor's proposal.
No. 1-275126), the electrolytic degreasing cleaning method is known. Due to the limitation and prohibition of the use of Freon, the efficiency, and other advantages, the electrolytic degreasing cleaning method is now widely used.
【０００６】この電解脱脂洗浄法では、図３に示すよう
に、アルカリ・界面活性剤混合物溶液35を収容した電解
脱脂洗浄槽30中にニッケル製フック32を用いてニッケル
スタンパー31を漬け、また、対向電極34を漬ける。アル
カリ・界面活性剤混合物溶液35を、図示していない任意
の適当な手段を用いて温度調節し且つ攪拌すると同時
に、ニッケルスタンパー31を陽極とし、対向電極34を陰
極として電解脱脂する。電解によってガスが激しく発生
し、その作用と攪拌作用および化学的作用によってスタ
ンパー表面上の汚れは確実に除去される。In this electrolytic degreasing cleaning method, as shown in FIG. 3, a nickel stamper 31 is dipped in an electrolytic degreasing cleaning tank 30 containing an alkali / surfactant mixture solution 35 using a nickel hook 32, and Immerse the counter electrode 34. The temperature of the alkali / surfactant mixture solution 35 is adjusted and stirred using any suitable means (not shown), and at the same time, electrolytic degreasing is performed using the nickel stamper 31 as an anode and the counter electrode 34 as a cathode. The electrolysis causes a vigorous generation of gas, and its action, stirring action and chemical action ensure removal of dirt on the stamper surface.
【０００７】この電解脱脂洗浄法は優れたものである
が、洗浄操作で行われる一連のバッチ操作（電解脱脂、
水洗、乾燥）のために個別のステーションが必要である
という欠点があり、また、作業効率が悪いという欠点も
ある。Although this electrolytic degreasing method is excellent, it is a series of batch operations (electrolytic degreasing,
It has the drawback that a separate station is required for washing and drying), and also has the drawback of poor work efficiency.
【０００８】[0008]
【発明が解決しようとする課題】従来、電解脱脂溶液は
溶液中にワークを浸して行うのが常識であったが、本発
明者達は、シャワー方式にすることによって電解脱脂操
作を小型化でき、高効率化できるということを発見し
た。従って、本発明の目的は上記の欠点を解決して、電
解脱脂洗浄法の一連の操作（電解脱脂、水洗、乾燥）を
同一ワーク中で連続的かつ自動的に実施できるようにす
ることにある。Conventionally, it has been common knowledge that the electrolytic degreasing solution is performed by immersing the work in the solution. However, the present inventors can downsize the electrolytic degreasing operation by using the shower method. , Has found that it can be highly efficient. Therefore, an object of the present invention is to solve the above-mentioned drawbacks and to enable a series of operations (electrolytic degreasing, water washing, and drying) of an electrolytic degreasing cleaning method to be continuously and automatically performed in the same work. .
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】本発明は、金属スタンパ
ーを電解脱脂溶液を用いて電解脱脂洗浄する方法におい
て、金属スタンパーを回転した状態で、金属スタンパー
の表面上に電解脱脂溶液を噴射しかつ金属スタンパーと
電解脱脂溶液との間に直流電流を流すことによって金属
スタンパーを電解脱脂することを特徴とする方法を提供
する。The present invention provides a method of electrolytically degreasing and cleaning a metal stamper using an electrolytic degreasing solution, in which the electrolytic degreasing solution is sprayed onto the surface of the metal stamper while the metal stamper is rotated. A method for electrolytically degreasing a metal stamper by passing a direct current between the metal stamper and the electrolytic degreasing solution.
【００１０】好ましくは、電解脱脂洗浄操作の前および
／または終了後に金属スタンパー上に洗浄水を噴射して
金属スタンパーを水洗し、水洗浄操作の終了後に金属ス
タンパーの乾燥操作を行う。これら一連の操作は同一の
回転手段に金属スタンパーを取付けて同一の作業場の中
で行うのが好ましい。Preferably, before and / or after the electrolytic degreasing cleaning operation, cleaning water is sprayed onto the metal stamper to wash the metal stamper with water, and after the water cleaning operation is completed, the metal stamper is dried. It is preferable that these series of operations be performed in the same workplace with the metal stamper attached to the same rotating means.
【００１１】本発明は、さらに、金属スタンパーを回転
自在に支持する回転台と、この回転台に支持された金属
スタンパーの表面上に電解脱脂溶液を噴射するノズルお
よび洗浄水を噴射するノズルと、金属スタンパーと電解
脱脂溶液との間で直流電流を流す手段とが単一の同じ作
業場の中に配置されていることを特徴とする金属スタン
パーの電解脱脂装置を提供する。好ましくは、金属スタ
ンパーを乾燥する手段も同じ作業場中に一緒に設けるの
が好ましい。The present invention further includes a turntable for rotatably supporting the metal stamper, a nozzle for injecting an electrolytic degreasing solution and a nozzle for injecting cleaning water onto the surface of the metal stamper supported by the turntable, Provided is an electrolytic degreasing device for a metal stamper, characterized in that the means for passing a direct current between the metal stamper and the electrolytic degreasing solution are arranged in the same work space. Preferably, means for drying the metal stamper are also provided together in the same workplace.
【００１２】[0012]
【作用】本発明方法では、一連の操作をクリーンルーム
内で実施し、洗浄水として純水を用い、洗浄水を循環し
て使用するのが好ましい。また、電解脱脂溶液としては
アルカリ・界面活性剤混合物を用い、この電解脱脂溶液
を循環して使用するのが好ましい。本発明装置では、回
転台を流しの中に設置し、各ノズルから噴射された電解
脱脂溶液および洗浄水を流し中でそれぞれ独立して回収
するのが好ましい。In the method of the present invention, it is preferable to carry out a series of operations in a clean room, use pure water as the cleaning water, and circulate the cleaning water. Further, it is preferable to use an alkali / surfactant mixture as the electrolytic degreasing solution and to circulate and use the electrolytic degreasing solution. In the apparatus of the present invention, it is preferable that the rotary table is installed in a sink and the electrolytic degreasing solution and the washing water sprayed from each nozzle are independently recovered in the sink.
【００１３】ノズルは金属スタンパーを放射方向に横切
って延びた細長いノズルにすることができる。この場
合、ノズルの長さは少なくとも金属スタンパーの半径に
等しくするのが好ましい。また、ノズルとして金属スタ
ンパーの表面の全部または少なくともその一部を被うよ
うな大面積のノズルにすることもできる。この場合には
液がノズルの外周から漏れないよにするために密封用の
シールまたはスカートをノズルに取付けることができ
る。本発明装置は、回収した電解脱脂溶液および洗浄水
を循環する手段を有し、この循環手段に濾過装置を設け
るのが好ましい。The nozzle may be an elongated nozzle extending radially across the metal stamper. In this case, the length of the nozzle is preferably at least equal to the radius of the metal stamper. Further, the nozzle may be a large-area nozzle that covers all or at least a part of the surface of the metal stamper. In this case, a sealing seal or skirt can be attached to the nozzle to prevent liquid from leaking from the outer circumference of the nozzle. It is preferable that the apparatus of the present invention has a means for circulating the recovered electrolytic degreasing solution and the washing water, and the circulating means is provided with a filtering device.
【００１４】アルカリ洗浄液と電解脱脂溶液の組成およ
び使用条件の例としては下記を挙げることができる。 1) アルカリ洗浄液 水酸化ナトリウム 20〜40 g/リットル 珪酸ナトリウム 5〜10 界面活性剤 1〜2 温度 50〜60℃ 2) 電解脱脂溶液 水酸化ナトリウム 20〜30 g/リットル 珪酸ナトリウム 30〜50 炭酸ナトリウム 10〜20 界面活性剤 1〜2 温度 50〜60℃ 電流密度 5〜15Ａ／ｄｍ2 The following can be mentioned as examples of the composition and use conditions of the alkaline cleaning liquid and the electrolytic degreasing solution. 1) Alkaline cleaning solution Sodium hydroxide 20-40 g / liter Sodium silicate 5-10 Surfactant 1-2 Temperature 50-60 ° C 2) Electrolytic degreasing solution Sodium hydroxide 20-30 g / liter Sodium silicate 30-50 Sodium carbonate 10-20 Surfactant 1-2 Temperature 50-60 ° C Current density 5-15A / dm 2
【００１５】以下、添付図面を用いて本発明を説明す
る。図１は本発明装置の概念的断面図で、この装置の作
業を行う部分はクリーンルーム（図示せず）内に設置さ
れている。洗浄すべき金属スタンパー１は回転台２に取
付けられる。この回転台２は流し５の略中心に形成した
孔を貫通して上向きに延びたシャスト３の頂部に固定さ
れている。シャスト３はモータ４によって回転駆動され
る。金属スタンパー１は回転台２に図示していない適当
なクランプ手段で確実に固定するのが好ましい。なお、
回転台として中心をクランプする形式のものを示した
が、スタンパーの外周部を支持する形式のもの、さらに
はスタンパー底面を吸引保持する形式の回転台にするこ
ともできる。The present invention will be described below with reference to the accompanying drawings. FIG. 1 is a conceptual cross-sectional view of the device of the present invention, and the part where the work of this device is performed is installed in a clean room (not shown). The metal stamper 1 to be cleaned is attached to the turntable 2. The turntable 2 is fixed to the top of a chest 3 which extends upward through a hole formed in the center of the sink 5. The chassis 3 is rotationally driven by the motor 4. It is preferable that the metal stamper 1 is securely fixed to the rotary table 2 by a suitable clamp means (not shown). In addition,
Although the center of the rotary table is clamped, the rotary table of the type that supports the outer peripheral portion of the stamper, or the rotary table of which the bottom surface of the stamper is held by suction can be used.
【００１６】流し５の上方には電解脱脂溶液を噴射する
ノズル10と、洗浄水を噴射するノズル６と、アルカリ洗
浄液を噴射するノズル20とが配置されている。これらの
ノズル10、６、20は使用しない時に後退できるようにす
ることもできる。図示した実施例では洗浄水を噴射する
ノズル 6、6'が金属スタンパー１の上と下の両方に設け
られている。流し５は電解脱脂溶液、アルカリ洗浄液お
よび洗浄水を回収するために排水孔を有し、これらの排
水孔は弁７、８よって開閉される。電解脱脂溶液、アル
カリ洗浄液および洗浄水を同時に使用することはないの
で、弁７、８は各々の液体を使用する時にのみ解放され
る。電解脱脂溶液、アルカリ洗浄液および洗浄水との使
用順序および使用回数は任意である。実際には、先ず最
初に水洗浄／アルカリ洗浄して、電解脱脂し、最後に再
度水洗浄するのが好ましい。A nozzle 10 for injecting an electrolytic degreasing solution, a nozzle 6 for injecting cleaning water, and a nozzle 20 for injecting an alkaline cleaning liquid are arranged above the sink 5. These nozzles 10, 6, 20 can also be retractable when not in use. In the illustrated embodiment, nozzles 6 and 6'for injecting cleaning water are provided both above and below the metal stamper 1. The sink 5 has drainage holes for collecting the electrolytic degreasing solution, the alkaline cleaning liquid and the cleaning water, and these drainage holes are opened and closed by valves 7 and 8. Since the electrolytic degreasing solution, the alkaline cleaning solution and the cleaning water are not used at the same time, the valves 7 and 8 are opened only when the respective liquids are used. The order and number of times of using the electrolytic degreasing solution, the alkaline cleaning solution and the cleaning water are arbitrary. In practice, it is preferable to first perform water cleaning / alkali cleaning, electrolytic degreasing, and finally water cleaning again.
【００１７】アルカリ洗浄水および洗浄水は使用後に原
則として廃水として廃水処理へ送るが、弁７を介して回
収して感光性樹脂残差、油脂等の汚染物を除去・精製し
た後に再使用することもできる。図示した実施例では、
アルカリ洗浄水はタンク17からボンプ18、弁19を介して
ノズル20へ送られる。一方、電解脱脂溶液は弁８を介し
てタンク11に回収され、そこからポンプ13を用いて濾過
器14へ送られ、そこからノズル10へ再循環される。電解
脱脂溶液の温度制御手段やその再生装置等を回収回路に
組み込むことができる。最終仕上げ時に未使用の純水を
用いる等の洗浄水の品質管理は当業者が適宜行い得るこ
とである。After use, the alkaline washing water and the washing water are, as a rule, sent to the wastewater treatment as wastewater, but are recovered through the valve 7 to remove and purify the photosensitive resin residue, contaminants such as fats and oils, and then reused. You can also In the illustrated embodiment,
The alkaline cleaning water is sent from the tank 17 to the nozzle 20 via the pump 18 and the valve 19. On the other hand, the electrolytic degreasing solution is collected in the tank 11 via the valve 8, sent from the tank 11 to the filter 14 using the pump 13, and then recirculated to the nozzle 10. The temperature control means for the electrolytic degreasing solution, its regeneration device, etc. can be incorporated in the recovery circuit. Those skilled in the art can appropriately control the quality of wash water such as using unused pure water at the time of final finishing.
【００１８】金属スタンパー１と電解脱脂溶液との間に
は直流電流が流される。実際には、回転台２およびノズ
ル10を導電材料、例えば金属で作り、回転台２およびノ
ズル10を陽極（＋）および陰極（−）として図示してい
ない直流電源から電流を供給することによって、ノズル
10から噴射された電解脱脂溶液を通る閉回路が形成され
る。なお、シャスト３とモータ４との間は絶縁するのが
好ましい。本発明装置には金属スタンパーを乾燥する手
段が設けられている。この乾燥手段自体は周知のもので
あり、図示していない。実際には加温したクリーンな空
気を金属スタンパー１表面へ吹付けながら金属スタンパ
ー１を回転することによって迅速に乾燥することができ
る。A direct current is passed between the metal stamper 1 and the electrolytic degreasing solution. In practice, the turntable 2 and the nozzle 10 are made of a conductive material such as a metal, and the turntable 2 and the nozzle 10 are supplied with an electric current from a DC power source (not shown) as an anode (+) and a cathode (-). nozzle
A closed circuit is formed through the electrolytic degreasing solution injected from 10. In addition, it is preferable to insulate the chassis 3 and the motor 4 from each other. The apparatus of the present invention is provided with means for drying the metal stamper. This drying means itself is well known and is not shown. Actually, the heated and clean air is blown onto the surface of the metal stamper 1, and the metal stamper 1 is rotated to be dried quickly.
【００１９】図２の(a) は電解脱脂溶液の噴射ノズル10
の概念的平面図であり、(b) はその概念的横側断念図で
ある。このノズル10は金属スタンパー１と噴射ノズル10
との間に所定量の電解脱脂溶液を保持して、電解脱脂が
実質的に行えるような寸法、形状であれば任意のもので
よく、例えば、６Ｘ２の底面積を有する平らな板の前面
に地位さな孔を均一に形成したノズルにすることができ
る。図２の(c) はルズルの変形実施例を示している。こ
のルズル10' は金属スタンパー１のほぼ全面を被うよう
な円板と、この円板の外周から下へ垂らしたスカートす
なわち密封シール部材30とで構成されている。FIG. 2A shows an injection nozzle 10 for electrolytic degreasing solution.
FIG. 3B is a conceptual plan view of FIG. 3B, and FIG. This nozzle 10 is a metal stamper 1 and an injection nozzle 10.
May be of any size and shape such that a predetermined amount of electrolytic degreasing solution can be held between them and the electrolytic degreasing can be substantially performed. For example, on the front surface of a flat plate having a bottom area of 6 × 2. It is possible to make a nozzle in which standing holes are uniformly formed. FIG. 2 (c) shows a modified embodiment of the slur. The louver 10 ′ is composed of a disc that covers almost the entire surface of the metal stamper 1 and a skirt, that is, a hermetic sealing member 30 that hangs downward from the outer periphery of the disc.
【００２０】本発明装置の中で作業を行う部分すなわち
は回転台２、流し５、ノズル10、6,20および乾燥空気の
供給ノズルはクリーンルーム（図示せず）内に設置され
る。また、本発明装置には各操作を自動的かつ連続的に
実行するための制御装置と、噴射される液体および空気
の温度を測定して操作時間等を制御する手段とが設けら
れている。これらは当業者が容易に設計できるものであ
る。以下、本発明の実施例を説明する。しかし、本発明
が下記実施例に限定されるものではない。In the apparatus of the present invention, the working portion, that is, the turntable 2, the sink 5, the nozzles 10, 6, 20 and the nozzle for supplying dry air are installed in a clean room (not shown). Further, the device of the present invention is provided with a control device for automatically and continuously executing each operation, and means for controlling the operation time and the like by measuring the temperature of the liquid and air to be jetted. These can be easily designed by those skilled in the art. Examples of the present invention will be described below. However, the present invention is not limited to the following examples.
【００２１】[0021]
【実施例】実施例１ 成形後のＣＤ用スタンパーの洗浄 ＣＤの成形に使用中の内径 37 mm、外径 138 mm のＣＤ
用ニッケルスタンパーを図１に記載の回転台２に取付
け、下記電解脱脂溶液を用い且つ下記洗浄シーケンスで
電解脱脂洗浄を行った： 電解脱脂溶液 水酸化ナトリウム 30 g/リットル 珪酸ナトリウム 40 g/リットル 炭酸ナトリウム 20 g/リットル 界面活性剤 1 g/リットル 温度 55 ℃ 電流密度 5 Ａ／ｄｍ2 Example 1 Cleaning of stamper for CD after molding CD having inner diameter of 37 mm and outer diameter of 138 mm used for molding of CD
The nickel stamper for use was attached to the rotary table 2 shown in FIG. 1, and electrolytic degreasing cleaning was performed using the following electrolytic degreasing solution and the following cleaning sequence: electrolytic degreasing solution sodium hydroxide 30 g / liter sodium silicate 40 g / liter carbonic acid Sodium 20 g / liter Surfactant 1 g / liter Temperature 55 ℃ Current density 5 A / dm 2
【００２２】 (注） 1) 電解脱脂は50℃に加温し、１ミクロンのフィルターを通して濾過し た後にノズル10へ循環。 2) 電解脱脂工程での電流密度： 5 A/dm2 [0022] (Note) 1) Electrolytic degreasing is heated to 50 ° C, filtered through a 1 micron filter, and then circulated to the nozzle 10. 2) Current density in electrolytic degreasing process: 5 A / dm 2
【００２３】図４は成形工程で使用中のスタンパーの洗
浄前後の光学顕微鏡写真 (1000倍)であり、図５は成形
工程で使用中のスタンパーを洗浄前後で光学顕微鏡撮影
し、ゴミ・傷の大きさとその変化をコンピュータで画像
処理した結果を示したものである。本発明方法で洗浄し
たスタンパーの洗浄結果は従来のバッチ式電解脱脂洗浄
操作の結果とほぼ同じであるが、洗浄作業の効率が著し
く向上した。FIG. 4 is an optical microscope photograph (1000 times) before and after cleaning the stamper used in the molding process, and FIG. 5 is an optical microscope photograph of the stamper used in the molding process before and after cleaning to show dust and scratches. It shows the result of image processing of the size and its change by a computer. The result of cleaning the stamper cleaned by the method of the present invention is almost the same as the result of the conventional batch type electrolytic degreasing cleaning operation, but the efficiency of the cleaning work is remarkably improved.
【００２４】実施例２ 感光樹脂が残っているＣＤ用スタンパーの洗浄 原盤製作工程を終わった新しいＣＤ用スタンパー（表面
に感光性樹脂が残っている）を下記アルカリ洗浄液と実
施例１と同じ電解脱脂液とを用いて洗浄した。 アルカリ洗浄液 ： 水酸化ナトリウム 30 g/リットル 珪酸ナトリウム 5 g/リットル 界面活性剤 1 g/リットル 温度 55 ℃[0024]Example 2 Cleaning of the stamper for CD with the remaining photosensitive resin New CD stamper (front surface)
The photosensitive resin remains on the
Cleaning was performed using the same electrolytic degreasing solution as in Example 1. Alkaline cleaning liquid : Sodium hydroxide 30 g / liter Sodium silicate 5 g / liter Surfactant 1 g / liter Temperature 55 ℃
【００２５】 [0025]
【００２６】実施例１と同じ評価方法で評価した。図６
はマスタリング工程終了後のスタンパーを洗浄前後で光
学顕微鏡撮影し、ゴミ・傷の大きさとその変化をコンピ
ュータで画像処理した結果を示したものである。本発明
方法で洗浄したスタンパーの洗浄結果は従来のバッチ式
電解脱脂洗浄操作の結果とほぼ同じであるが、洗浄作業
の効率は著しく向上した。Evaluation was carried out by the same evaluation method as in Example 1. Figure 6
Shows the result of the image processing of the size of dust and scratches and the change thereof by a computer by taking an optical microscope photograph of the stamper after the mastering process before and after cleaning. Although the result of cleaning the stamper cleaned by the method of the present invention is almost the same as the result of the conventional batch type electrolytic degreasing cleaning operation, the efficiency of the cleaning work is remarkably improved.
【００２７】[0027]
【発明の効果】本発明方法を用いると洗浄作業の効率が
著しく向上する。By using the method of the present invention, the efficiency of the cleaning operation is significantly improved.
【図１】 本発明装置の概念的断面図。FIG. 1 is a conceptual sectional view of a device of the present invention.
【図２】 電解脱脂溶液の噴射ノズルの概念的平面図。FIG. 2 is a conceptual plan view of an electrolytic degreasing solution injection nozzle.
【図３】 公知の電解脱脂洗浄法の説明図。FIG. 3 is an explanatory view of a known electrolytic degreasing cleaning method.
【図４】 成形工程での洗浄前後のスタンパーの光学顕
微鏡写真。FIG. 4 is an optical microscope photograph of a stamper before and after cleaning in a molding process.
【図５】 実施例１の洗浄前後のスタンパーのコンピュ
ータ処理画像。FIG. 5 is a computer-processed image of the stamper of Example 1 before and after cleaning.
【図６】 実施例２の洗浄前後のスタンパーのコンピュ
ータ処理画像。FIG. 6 is a computer-processed image of the stamper of Example 2 before and after cleaning.
１ 金属スタンパー１ ２ 回転台 ６ 洗浄水噴射ノズル 10 電解脱
脂溶液噴射ノズル 20 アルカリ洗浄溶液噴射ノズル1 Metal Stamper 1 2 Rotation Table 6 Cleaning Water Injection Nozzle 10 Electrolytic Degreasing Solution Injection Nozzle 20 Alkaline Cleaning Solution Injection Nozzle
───────────────────────────────────────────────────── フロントページの続き (51)Int.Cl.6 識別記号 庁内整理番号 ＦＩ 技術表示箇所 Ｃ２５Ｆ 7/02 Ｃ２５Ｆ 7/02 Ｇ１１Ｂ 7/26 ５１１ 8721−5Ｄ Ｇ１１Ｂ 7/26 ５１１ ─────────────────────────────────────────────────── ─── Continuation of the front page (51) Int.Cl. 6 Identification number Office reference number FI technical display location C25F 7/02 C25F 7/02 G11B 7/26 511 8721-5D G11B 7/26 511
Claims (10)
電解脱脂洗浄する方法において、 金属スタンパー１を回転した状態で、金属スタンパー１
の表面上に電解脱脂溶液を噴射しかつ金属スタンパー１
と電解脱脂溶液との間に直流電流を流すことによって金
属スタンパー１を電解脱脂することを特徴とする方法。1. A method of electrolytically degreasing and cleaning a metal stamper using an electrolytic degreasing solution, wherein the metal stamper 1 is rotated while the metal stamper 1 is rotated.
Electrolytic degreasing solution is sprayed on the surface of metal and metal stamper 1
A method of electrolytically degreasing the metal stamper 1 by applying a direct current between the metal stamper 1 and the electrolytic degreasing solution.
了後に金属スタンパー１上に洗浄水を噴射して金属スタ
ンパーを水洗し、水洗浄操作の終了後に金属スタンパー
１の乾燥操作を行い、これら一連の操作を同一回転手段
に金属スタンパー１を取付け、同一の作業場の中で行う
請求項１に記載の方法。2. Before and / or after the electrolytic degreasing cleaning operation, cleaning water is sprayed onto the metal stamper 1 to wash the metal stamper with water, and after the water cleaning operation is completed, the metal stamper 1 is dried to perform a series of these operations. 2. The method according to claim 1, wherein the operation is carried out in the same workplace by mounting the metal stamper 1 on the same rotating means.
し、洗浄水として純水を用い、洗浄水を循環して使用す
る請求項１または２に記載の方法。3. The method according to claim 1, wherein a series of operations is carried out in a clean room, pure water is used as cleaning water, and the cleaning water is circulated for use.
合物であり且つ電解脱脂溶液を循環して使用する請求項
１〜３のいずれか一項に記載の方法。4. The method according to claim 1, wherein the electrolytic degreasing solution is an alkali / surfactant mixture, and the electrolytic degreasing solution is circulated and used.
回転台２と、この回転台２に支持された金属スタンパー
１の表面上に電解脱脂溶液を噴射するノズル10および洗
浄水を噴射するノズル６と、金属スタンパー１と電解脱
脂溶液との間で直流電流を流す手段とが単一の同じ作業
場の中に配置されていることを特徴とする金属スタンパ
ーの電解脱脂装置。5. A rotary table 2 for rotatably supporting a metal stamper 1, a nozzle 10 for spraying an electrolytic degreasing solution and a nozzle 6 for spraying cleaning water onto the surface of the metal stamper 1 supported by the rotary table 2. An electrolytic degreasing device for a metal stamper, characterized in that, and a means for passing a direct current between the metal stamper 1 and the electrolytic degreasing solution are arranged in the same work place.
に有する請求項５に記載の装置。6. The apparatus according to claim 5, further comprising means for drying the metal stamper 1.
ズル10、６から噴射された電解脱脂溶液および洗浄水が
流し５中でそれぞれ独立して回収できるようになってい
る請求項５または６に記載の装置。7. The turntable 2 is installed in the sink 5 so that the electrolytic degreasing solution and the cleaning water sprayed from the nozzles 10 and 6 can be independently recovered in the sink 5. 5. The device according to 5 or 6.
放射方向に延び、ノズル10の長さが少なくとも金属スタ
ンパー１の半径に等しい請求項５〜７のいずれか一項に
記載の装置。8. A device according to claim 5, wherein the nozzle 10 extends radially across the metal stamper 1, the length of the nozzle 10 being at least equal to the radius of the metal stamper 1.
環する手段を有する請求項５〜８のいずれか一項に記載
の装置。9. The apparatus according to claim 5, further comprising means for circulating the recovered electrolytic degreasing solution and cleaning water.
記載の装置。10. The apparatus of claim 9, wherein the circulation means comprises a filtration device.
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9015495A JPH08258090A (en) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | Method and apparatus for washing stamper |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP9015495A JPH08258090A (en) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | Method and apparatus for washing stamper |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08258090A true JPH08258090A (en) | 1996-10-08 |
Family
ID=13990583
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP9015495A Pending JPH08258090A (en) | 1995-03-23 | 1995-03-23 | Method and apparatus for washing stamper |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08258090A (en) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6216304B1 (en) | 1997-04-10 | 2001-04-17 | Hotani Co., Ltd. | Apparatus for cleaning strips |
| WO2005108041A1 (en) * | 2004-05-06 | 2005-11-17 | Somax Co., Ltd. | Mold cleaning solution, mold cleaning method and mold cleaning apparatus |
| KR100800925B1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-02-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Anode cleaning apparatus in a cu electroplating process and method thereof |
| JP2012217909A (en) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Asahi Glass Co Ltd | Latent scratch evaluation method, and latent scratch evaluation apparatus for optical glass |
-
1995
- 1995-03-23 JP JP9015495A patent/JPH08258090A/en active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US6216304B1 (en) | 1997-04-10 | 2001-04-17 | Hotani Co., Ltd. | Apparatus for cleaning strips |
| WO2005108041A1 (en) * | 2004-05-06 | 2005-11-17 | Somax Co., Ltd. | Mold cleaning solution, mold cleaning method and mold cleaning apparatus |
| KR100800925B1 (en) * | 2006-12-21 | 2008-02-04 | 동부일렉트로닉스 주식회사 | Anode cleaning apparatus in a cu electroplating process and method thereof |
| JP2012217909A (en) * | 2011-04-07 | 2012-11-12 | Asahi Glass Co Ltd | Latent scratch evaluation method, and latent scratch evaluation apparatus for optical glass |
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