JPH08254500A - Appearance inspection device - Google Patents

Appearance inspection device

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JPH08254500A
JPH08254500A JP7057408A JP5740895A JPH08254500A JP H08254500 A JPH08254500 A JP H08254500A JP 7057408 A JP7057408 A JP 7057408A JP 5740895 A JP5740895 A JP 5740895A JP H08254500 A JPH08254500 A JP H08254500A
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illuminating
illumination
reflected
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Yoshihiro Akiyama
吉宏 秋山
Sakie Akiyama
咲恵 秋山
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Saki Corp
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Saki Corp
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    • GPHYSICS
    • G01MEASURING; TESTING
    • G01NINVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
    • G01N21/00Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
    • G01N21/84Systems specially adapted for particular applications
    • G01N21/88Investigating the presence of flaws or contamination
    • G01N21/95Investigating the presence of flaws or contamination characterised by the material or shape of the object to be examined
    • G01N21/956Inspecting patterns on the surface of objects

Abstract

PURPOSE: To provide an appearance inspection device for the mounted condition of component parts on a printed circuit board, with which it is possible to draw out easily the contour of even an object bearing a similar color to the ground color or an object to be hidden behind the shade of a tall component and can perform a precision inspection while the configuration remains simple. CONSTITUTION: A CCD line sensor 2 is installed as a photographing element, and a frame 7 to support this sensor 2 and lighting systems 5, 6 is moved along a scanning guide 8 so that a printed circuit board 1 as object to be inspected is scanned, and the image of the board 1 is displayed on a monitor screen. At this time, the first lighting system 5 illuminates the board 1 so that the direction of the illuminating light to the board 1 is identical to the direction of the reflected light by the board 1 advancing to the line sensor 2, and the first image is produced. Then the second illuminating means 6 illuminates the board 1 so that the direction of the illuminating light differs from the direction of the reflected light advancing to the line sensor 2, and the second image is produced. From these images, the inspection of the component mounted condition on the board 1 can be performed.

Description

【発明の詳細な説明】Detailed Description of the Invention

【0001】[0001]

【産業上の利用分野】この発明は、特にプリント基板上
の電子回路部品の実装状態などを検査するのに好適な外
観検査装置に関するものである。
BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a visual inspection apparatus suitable for inspecting the mounting state of electronic circuit components on a printed circuit board.

【0002】[0002]

【従来の技術】従来、例えばプリント基板上の電子部品
の実装状態を検査する検査装置として、プリント基板を
撮像素子により走査し、その結果得られた画像から特定
の明るさの領域や特定の色の領域を抽出して各種の検査
を行うものが知られている。この代表的なものに、基板
上の灰色の領域を抽出して、基板上の銅箔部分に塗布さ
れたクリームハンダの面積や広がりを検査するものがあ
る。
2. Description of the Related Art Conventionally, for example, as an inspection device for inspecting the mounting state of electronic components on a printed circuit board, the printed circuit board is scanned by an image pickup device, and an image obtained as a result has a specific brightness region or a specific color. There are known methods for extracting various areas and performing various inspections. A typical example of this is to extract a gray area on the substrate and inspect the area and spread of the cream solder applied to the copper foil portion on the substrate.

【0003】また、上記と同一の撮像方法で基板上の部
品の実装位置のずれや傾きを検査し、製品としての品質
を調べることも行われている。この場合の検査方式は、
上述のクリームハンダの場合と異なり、読み取った画像
からあらかじめ記憶している基板の色と同一の色の領域
を除外して、残りの領域が部品であると認識するもので
ある。
In addition, the quality of a product is also checked by inspecting the displacement or inclination of the mounting position of the component on the board by the same imaging method as described above. The inspection method in this case is
Unlike the case of the cream solder described above, the area of the same color as the color of the substrate stored in advance is excluded from the read image, and the remaining area is recognized as a component.

【0004】図11は上記のような従来の外観検査装置
における撮像系の概略を示す図である。同図中、101
はプリント基板等の被検査物で、この被検査物101を
周囲から例えばリング状の蛍光管102で照明し、その
反射光を撮像レンズ103を通してCCD等のイメージ
センサ104に入射させる。これにより、イメージセン
サ104の受光面には被検査物101の像が結像し、そ
の画像光が光電変換されて電気信号に変換される。そし
て、この電気信号に変換された画像信号を処理すること
により、不図示のモニタ上に被検査物101の画像を表
示することができる。
FIG. 11 is a diagram showing an outline of an image pickup system in the conventional visual inspection apparatus as described above. In the figure, 101
Is an object to be inspected such as a printed circuit board, and the object to be inspected 101 is illuminated from the periphery by, for example, a ring-shaped fluorescent tube 102, and the reflected light is made incident on an image sensor 104 such as a CCD through an imaging lens 103. As a result, an image of the inspection object 101 is formed on the light receiving surface of the image sensor 104, and the image light is photoelectrically converted into an electric signal. Then, by processing the image signal converted into the electric signal, the image of the inspection object 101 can be displayed on a monitor (not shown).

【0005】上記の撮像系を持つ従来の検査装置は、被
検査物101を斜め横方向から照明して、その被検査物
101の色や明るさを測定するようにしたものであり、
検査者はモニタ上に表示された画像を見て被検査物10
1の中の検査対象の色や明るさを判断し、その判断結果
からプリント基板上の部品の実装状態などを知ることが
できる。
The conventional inspection apparatus having the above-mentioned image pickup system is designed to illuminate the inspection object 101 obliquely from the lateral direction and measure the color and brightness of the inspection object 101.
The inspector sees the image displayed on the monitor and inspects the inspection object 10
It is possible to judge the color and brightness of the inspection object in 1 and to know the mounting state of the components on the printed board from the judgment result.

【0006】図12は他の従来の撮像系の概略を示す図
である。この撮像系は、ハーフミラー105を使用して
被検査物101を照明するようにしたものであり、光源
106からの光を集光レンズ107を用いて平行光に
し、その光をハーフミラー105で反射させて被検査物
101に照射する。そして被検査物101で反射した画
像光を撮像レンズ103を通し、更に上記ハーフミラー
105を透過させてイメージセンサ104に入射させ
る。
FIG. 12 is a diagram showing the outline of another conventional image pickup system. This image pickup system uses a half mirror 105 to illuminate the object to be inspected 101. The light from the light source 106 is converted into parallel light using a condenser lens 107, and the light is reflected by the half mirror 105. The inspection object 101 is irradiated with the reflected light. Then, the image light reflected by the inspection object 101 passes through the image pickup lens 103, further passes through the half mirror 105, and enters the image sensor 104.

【0007】この撮像系の照明方法は、顕微鏡などて同
軸落射照明として利用されるものであり、このような照
明方法でも上記と同様プリント基板上の部品の実装状態
等を検査することができる。
The illumination method of this image pickup system is used as coaxial epi-illumination in a microscope or the like, and with such an illumination method as well, the mounting state of components on a printed circuit board can be inspected.

【0008】[0008]

【発明が解決しようとする課題】しかしながら、上記の
ような従来の外観検査装置にあっては、被検査物を斜め
横方向から照明しており、このため、検査対象の輪部を
正しく抽出することができず、精度の高い検査を行うこ
とができないという問題点があった。
However, in the conventional appearance inspection apparatus as described above, the object to be inspected is illuminated obliquely from the lateral direction, and therefore, the limbs of the object to be inspected are correctly extracted. However, there is a problem in that the inspection cannot be performed with high accuracy.

【0009】すなわち、被検査物の中の検査対象の色は
下地色と似通っている場合も多く、例えばプリント基板
上の白いシルク印刷領域の上に実装された白色のコンデ
ンサや、下地レジスト色が非常に暗い緑色のプリント基
板上に実装された黒色のトランジスタ、チップ抵抗など
は下地色と非常に似通っており、このような場合、特定
の色を抽出できても部品の輪郭を抽出することはできな
い。
That is, the color of the object to be inspected in the object to be inspected is often similar to the base color. For example, a white capacitor mounted on a white silk-printed area on a printed circuit board or a base resist color is Black transistors, chip resistors, etc. mounted on a very dark green printed circuit board are very similar to the background color.In such a case, it is possible to extract the outline of the component even if a specific color can be extracted. Can not.

【0010】また、これらの検査対象の色や明るさを抽
出する方式では、照明光の被検査物に対する入射角を大
きくとる必要があるので、高さの大きな部品の影になる
部分は色の差が認識できず、部品の輪郭を抽出すること
ができない。更に、プリント基板では多くの場合ハンダ
と部品の電極端子は同系統の金属色であるため、電極端
子を抽出することができず、よって電極端子のずれや曲
がり、浮きといった項目は検査対象外となってしまう。
Further, in these methods of extracting the color and brightness of the inspection object, it is necessary to set a large incident angle of the illumination light with respect to the inspection object. The difference cannot be recognized and the contour of the part cannot be extracted. Furthermore, in many cases, the electrode terminals of the solder and the parts on the printed circuit board are of the same metal color, so it is not possible to extract the electrode terminals, so items such as misalignment, bending, and floating of the electrode terminals are not subject to inspection. turn into.

【0011】更に、図12に示すような装置では、特に
画角の端部、つまり被検査物の端部では光学上の反射光
の方向がイメージセンサに向かう光軸と大きく異なり、
イメージセンサの入射光量が少なくなる。このため、検
査対象の色や明るさすら抽出できず、その検査対象の輪
郭を抽出することは到底できず、正確な検査を行うこと
ができないという問題点があった。
Further, in the apparatus as shown in FIG. 12, the direction of the reflected light on the optical axis is greatly different from the optical axis toward the image sensor, especially at the end portion of the angle of view, that is, the end portion of the object to be inspected.
The amount of incident light on the image sensor is reduced. Therefore, there is a problem in that even the color or brightness of the inspection target cannot be extracted, the contour of the inspection target cannot be extracted, and accurate inspection cannot be performed.

【0012】この発明は、上記のような問題点に着目し
てなされたもので、簡易な構成で、複雑な色抽出条件設
定などの処理を行うことなく、下地色と似通った色の検
査対象や高さの大きな検査対象があっても各々の輪郭を
正しく容易に抽出することができ、精度の高い検査を行
うことができる外観検査装置を提供することを目的とし
ている。
The present invention has been made by paying attention to the above problems, and has a simple structure and does not perform complicated color extraction condition setting processing and the like, and an inspection target of a color similar to the base color is inspected. It is an object of the present invention to provide an appearance inspection device that can accurately and easily extract each contour even when there is a large inspection target having a large height, and can perform highly accurate inspection.

【0013】[0013]

【課題を解決するための手段】この発明に係る外観検査
装置は、次のように構成したものである。
The visual inspection apparatus according to the present invention is configured as follows.

【0014】(1)被検査物を撮像素子により走査して
その外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であ
って、前記照明手段は第1の照明手段と第2の照明手段
とからなり、第1の照明手段は、被検査物を照明する照
明光の方向が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう
反射光と同一方向となるように照明するようにした。
(1) An appearance inspection apparatus comprising illumination means for scanning an object to be inspected with an image sensor to inspect its appearance, wherein the illumination means comprises a first illumination means and a second illumination means. Therefore, the first illuminating means illuminates so that the direction of the illumination light that illuminates the inspection object is the same direction as the reflected light that is reflected by the inspection object and is directed to the image pickup device.

【0015】(2)被検査物を撮像素子により走査して
その外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であ
って、前記照明手段は第1の照明手段と第2の照明手段
からなり、第1の照明手段は、被検査物を照明する照明
光の方向が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう反
射光と同一方向となるように照明し、第2の照明手段
は、被検査物を照明する照明光の方向が被検査物で反射
して前記撮像素子に向かう反射光と異なる方向となるよ
うに照明するようにした。
(2) A visual inspection apparatus comprising illumination means for scanning an object to be inspected with an image sensor to inspect its appearance, wherein the illumination means comprises a first illumination means and a second illumination means. The first illuminating means illuminates the object to be inspected so that the direction of the illuminating light that illuminates the object to be inspected is the same as the reflected light that is reflected by the object to be inspected and is directed toward the image pickup device. Illumination is performed so that the direction of the illumination light that illuminates the inspection object is different from the direction of the reflected light that is reflected by the inspection object and travels toward the image sensor.

【0016】(3)被検査物を撮像素子により走査して
その外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であ
って、前記照明手段は、被検査物を照明する照明光の方
向が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう反射光と
対称な方向となるように照明するようにした。
(3) A visual inspection apparatus comprising illumination means for scanning an object to be inspected with an image sensor to inspect its appearance, wherein the illumination means is arranged so that the direction of illumination light for illuminating the object to be inspected. Illumination is performed so as to be in a direction symmetrical to the reflected light reflected by the inspection object and directed to the image pickup device.

【0017】(4)被検査物を撮像素子により走査して
その外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であ
って、前記照明手段は第1の照明手段と第2の照明手段
からなり、第1の照明手段は、被検査物を照明する照明
光の方向が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう反
射光と対称な方向となるように照明し、第2の照明手段
は、被検査物を照明する照明光の方向が被検査物で反射
して前記撮像素子に向かう反射光と異なる方向となるよ
うに照明するようにした。
(4) A visual inspection apparatus comprising illumination means for scanning an object to be inspected by an image sensor to inspect its appearance, wherein the illumination means comprises first illumination means and second illumination means. The first illuminating means illuminates so that the direction of the illumination light illuminating the inspection object is symmetrical to the direction of the reflection light reflected by the inspection object and traveling toward the image sensor, and the second illuminating means The illumination is performed such that the direction of the illumination light that illuminates the inspection object is different from the direction of the reflected light that is reflected by the inspection object and travels toward the image sensor.

【0018】(5)上記(1)ないし(4)何れかの外
観検査装置において、照明手段は、発光光源と、この発
光光源からの光束を所定の方向にそろえる導光手段から
構成した。
(5) In the appearance inspection apparatus according to any one of (1) to (4) above, the illuminating means comprises a light emitting light source and a light guiding means for aligning the luminous flux from the light emitting source in a predetermined direction.

【0019】(6)上記(1)ないし(5)何れかの外
観検査装置において、撮像素子は、一次元イメージセン
サとした。
(6) In the visual inspection apparatus according to any one of (1) to (5) above, the image pickup device is a one-dimensional image sensor.

【0020】(7)上記(1)ないし(5)何れかの外
観検査装置において、撮像素子は、二次元イメージセン
サとした。
(7) In the visual inspection apparatus according to any one of (1) to (5) above, the image pickup device is a two-dimensional image sensor.

【0021】[0021]

【作用】この発明によれば、被検査物を照明する照明光
の方向が、被検査物で反射して撮像素子に向かう反射光
と同一方向となるように被検査物が照明されるので、被
検査物の高さに段差の生じる部分は暗く、平坦部は明る
く撮像され、凹凸を有する検査対象の輪郭が際立って表
示される。
According to the present invention, the object to be inspected is illuminated so that the direction of the illumination light for illuminating the object to be inspected is the same as the direction of the reflected light reflected by the object to be inspected and traveling toward the image pickup device. A portion where a step is generated in the height of the inspection object is dark, and a flat portion is imaged brightly, and the contour of the inspection target having unevenness is conspicuously displayed.

【0022】また、被検査物を照明する照明光の方向
が、被検査物で反射して撮像素子に向かう反射光と対称
な方向となるように被検査物が照明されるので、同様に
検査対象の輪郭が際立って表示される。
Further, since the inspection object is illuminated so that the direction of the illumination light for illuminating the inspection object is symmetrical to the reflected light which is reflected by the inspection object and is directed to the image pickup device, the inspection is performed in the same manner. The outline of the object is displayed prominently.

【0023】また、被検査物を照明する照明光の方向
が、被検査物で反射して撮像素子に向かう反射光と異な
る方向となるように被検査物が照明されるので、被検査
物の平坦部のマーク等も鮮明に表示される。
Further, since the object to be inspected is illuminated so that the direction of the illumination light illuminating the object to be inspected is different from the direction of the reflected light reflected by the object to be inspected and directed to the image pickup device, the object to be inspected is illuminated. Marks on the flat part are also clearly displayed.

【0024】[0024]

【実施例】図1はこの発明の第1実施例による外観検査
装置の構成を模式的に示す斜視図である。
1 is a perspective view schematically showing the construction of a visual inspection apparatus according to a first embodiment of the present invention.

【0025】図1において、1は被検査物であるプリン
ト基板で、検査対象となるコンデンサやトランジスタな
どの電子回路部品が実装されている。2はこのプリント
基板1を走査する撮像素子として設けられたCCDライ
ンセンサ(一次元イメージセンサ)で、被写体であるプ
リント基板1からの画像光を電気信号に光電変換する。
3はその画像光をCCDラインセンサ2の受光面に入射
させてプリント基板1の像を結像させる撮像レンズで、
プリント基板1で反射した画像光はハーフミラー4を介
してこのレンズ3を通過し、CCDラインセンサ2に入
射する。
In FIG. 1, reference numeral 1 denotes a printed circuit board which is an object to be inspected, on which electronic circuit parts such as capacitors and transistors to be inspected are mounted. Reference numeral 2 denotes a CCD line sensor (one-dimensional image sensor) provided as an image sensor for scanning the printed circuit board 1, and photoelectrically converts image light from the printed circuit board 1 which is a subject into an electric signal.
Reference numeral 3 denotes an image pickup lens that makes the image light of the printed board 1 incident on the light receiving surface of the CCD line sensor 2.
The image light reflected by the printed board 1 passes through this lens 3 via the half mirror 4 and enters the CCD line sensor 2.

【0026】5はプリント基板1を上方から照明する線
状の第1の照明装置(照明手段)で、その照明光の方向
がプリント基板1で反射してCCDラインセンサ2に向
かう反射光と同一方向となるように照明する。なおこの
例では、ハーフミラー4を通してプリント基板1を照明
するようになっている。
Reference numeral 5 denotes a linear first illuminating device (illuminating means) for illuminating the printed circuit board 1 from above. The direction of the illumination light is the same as the reflected light reflected by the printed circuit board 1 and directed to the CCD line sensor 2. Illuminate in the direction. In this example, the printed circuit board 1 is illuminated through the half mirror 4.

【0027】6,6はプリント基板1を斜め横方向から
照明する線状の第2の照明装置(照明手段)で、その照
明光の方向がプリント基板1で反射してCCDラインセ
ンサ2に向かう反射光と異なる方向となるよう照明す
る。この第2の照明装置6は本実施例では二つ設けてい
るが、一つでもまた三つ以上でも良く、その形状も線状
のものに限定されることはない。
Reference numerals 6 and 6 denote linear second illuminating devices (illuminating means) for illuminating the printed circuit board 1 obliquely laterally. The direction of the illumination light is reflected by the printed circuit board 1 toward the CCD line sensor 2. Illuminate in a direction different from the reflected light. Two second illuminating devices 6 are provided in this embodiment, but one or three or more second illuminating devices 6 may be provided, and the shape thereof is not limited to the linear one.

【0028】7は上記CCDラインセンサ2、撮像レン
ズ3、ハーフミラー4、第1の照明装置5及び第2の照
明装置6,6を一体的に支持しているフレームで、走査
ガイド8に沿って図の矢印方向に移動可能となってい
る。9はこのフレーム7を走査移動させるための駆動モ
ータである。
Reference numeral 7 denotes a frame which integrally supports the CCD line sensor 2, the image pickup lens 3, the half mirror 4, the first illuminating device 5 and the second illuminating devices 6 and 6, and extends along the scanning guide 8. It is possible to move in the direction of the arrow in the figure. Reference numeral 9 is a drive motor for scanning and moving the frame 7.

【0029】図2は上記第1の照明装置5の内部構成を
示したものであり、(a)は側面断面図、(b)は長手
方向の正面断面図となっている。
2A and 2B show the internal construction of the first illumination device 5, wherein FIG. 2A is a side sectional view and FIG. 2B is a longitudinal sectional front view.

【0030】この照明装置5は、発光光源と、この発光
光源からの光束を所定の方向にそろえる導光手段からな
り、本実施例では発光光源としてフレーム11に固定さ
れた複数のLED12を用いており、また導光手段とし
て集光レンズ13及びスリットアレー14を用いてい
る。
This illuminating device 5 comprises a light emitting source and a light guiding means for aligning the luminous flux from the light emitting source in a predetermined direction. In this embodiment, a plurality of LEDs 12 fixed to the frame 11 are used as the light emitting source. In addition, the condenser lens 13 and the slit array 14 are used as the light guiding means.

【0031】上記LED12から出た光は、集光レンズ
13に入り、ここから更にスリットアレー14に導かれ
る。このとき、LED12からの出射光は図の矢印で示
すように放射状であるが(図では一つおきに示してい
る)、フレーム11の短手方向は集レンズ13によって
平行化され、長手方向はスリットアレー14の隔壁によ
って遮断されるため、スリットアレー14の出口から出
射する光は略平行光となる。
The light emitted from the LED 12 enters the condenser lens 13 and is further guided to the slit array 14 from here. At this time, the light emitted from the LED 12 is radial as shown by the arrows in the figure (alternative in the figure), but the lateral direction of the frame 11 is collimated by the collecting lens 13 and the longitudinal direction is Since it is blocked by the partition walls of the slit array 14, the light emitted from the exit of the slit array 14 becomes substantially parallel light.

【0032】一方、第2の照明装置6,6は、図2の照
明装置5からスリットアレー14を除いた構造となって
おり、LED12からの光は集光レンズ13によって線
状に集光されるが、フレーム11の長手方向、つまりC
CDラインセンサ2の長手方向には平行化されない。
On the other hand, the second illuminators 6 and 6 have a structure in which the slit array 14 is removed from the illuminator 5 of FIG. 2, and the light from the LED 12 is linearly condensed by the condenser lens 13. However, the longitudinal direction of the frame 11, that is, C
The CD line sensor 2 is not parallelized in the longitudinal direction.

【0033】次に、上記のように構成された外観検査装
置の動作について説明する。
Next, the operation of the appearance inspection apparatus configured as described above will be described.

【0034】まず、第1の照明装置5でプリント基板1
を真上から照明し、フレーム7を駆動モータ9により図
1のスタート位置から矢印方向に移動させてプリント基
板1を走査する。このとき、プリント基板1で反射した
画像光はハーフミラー4及び撮像レンズ3を経てCCD
ラインセンサ2に入射し、プリント基板1の像がライン
毎に順次撮像レンズ3によってCCDラインセンサ2上
に結像する。そして、このCCDラインセンサ2で光電
変換された画像信号は、不図示のメモリに格納されて、
画像処理が施された後、モニタ(図示せず)に送出さ
れ、このモニタ上にプリント基板1の画像が第1の平面
画像として表示される。
First, the printed circuit board 1 is mounted in the first lighting device 5.
Is illuminated from directly above, the frame 7 is moved by the drive motor 9 from the start position in FIG. 1 in the arrow direction, and the printed circuit board 1 is scanned. At this time, the image light reflected by the printed circuit board 1 passes through the half mirror 4 and the image pickup lens 3 and then the CCD.
It is incident on the line sensor 2, and the image of the printed circuit board 1 is sequentially formed line by line on the CCD line sensor 2 by the imaging lens 3. The image signal photoelectrically converted by the CCD line sensor 2 is stored in a memory (not shown),
After the image processing, the image is sent to a monitor (not shown), and the image of the printed circuit board 1 is displayed on the monitor as a first plane image.

【0035】次に、駆動モータ9によりフレーム7を上
記スタート位置に戻し、第2の照明装置6,6でプリン
ト基板1を側方から照明する。そして、上記と同様フレ
ーム7を図の矢印方向に移動させてプリント基板1の走
査を行う。これにより、上記モニタ上にプリント基板1
の第2の平面画像が表示される。
Next, the drive motor 9 returns the frame 7 to the start position, and the second illuminating devices 6 and 6 illuminate the printed circuit board 1 from the side. Then, similarly to the above, the frame 7 is moved in the direction of the arrow in the figure to scan the printed circuit board 1. As a result, the printed circuit board 1 is placed on the monitor.
Second planar image of is displayed.

【0036】以上のようにして、プリント基板1の異な
る第1の平面画像と第2の平面画像が得られ、検査者は
これらの画像を観測することにより、プリント基板1上
の部品の実装状態を検査することができる。
As described above, the first plane image and the second plane image of the printed circuit board 1 which are different from each other are obtained, and the inspector observes these images to confirm the mounting state of the components on the printed circuit board 1. Can be inspected.

【0037】ここで、まず第1の照明装置5で図3に示
すようなプリント基板1を照明して走査したとき、照明
装置5からの出射光はハーフミラー4を透過してプリン
ト基板1を線状に照明する。本実施例では、その際の照
明光のプリント基板1に対する入射角を0度に設定して
いる。そして、プリント基板1で反射した画像光は、ハ
ーフミラー4で反射し、撮像レンズ3を通してCCDラ
インセンサ2に入射する。その際のプリント基板1で反
射して出射する画像光の出射角も0度である。
First, when the first illuminating device 5 illuminates and scans the printed circuit board 1 as shown in FIG. 3, light emitted from the illuminating device 5 passes through the half mirror 4 and passes through the printed circuit board 1. Illuminate linearly. In this embodiment, the incident angle of the illumination light on the printed circuit board 1 at that time is set to 0 degree. Then, the image light reflected by the printed board 1 is reflected by the half mirror 4 and enters the CCD line sensor 2 through the imaging lens 3. The emission angle of the image light reflected and emitted by the printed circuit board 1 at that time is also 0 degree.

【0038】このような照明装置5の照明下では、プリ
ント基板1上の水平面は正反射(全反射)となって明る
く観察される一方、実装されている部品の輪郭部やハン
ダを付着した傾斜面は、反射光が帰ってこないので暗い
部分(暗い線)として観察される。このときの部品の輪
郭部の暗い部分の線幅は、その部品の角部の丸みとテー
パーに依存し、またハンダ部の線幅はフィレット長さに
比例する。
Under such illumination of the illuminating device 5, the horizontal plane on the printed circuit board 1 is specularly reflected (total reflection) and brightly observed, while the contour of the mounted component and the inclination with the solder attached thereto. The surface is observed as a dark part (dark line) because the reflected light does not return. The line width of the dark portion of the contour of the component at this time depends on the roundness and taper of the corner of the component, and the line width of the solder portion is proportional to the fillet length.

【0039】図4は図3に示すプリント基板1を走査し
て読み取った読取り画像を示したものであり、(a)は
従来の照明下で得られた読取画像、(b)は本実施例の
照明装置5の照明下で得られた読取画像をそれぞれ示し
ている。
FIG. 4 shows a read image read by scanning the printed circuit board 1 shown in FIG. 3, where (a) is a read image obtained under conventional illumination and (b) is this embodiment. The read images obtained under the illumination of the illumination device 5 of FIG.

【0040】従来では、図4の(a)に示すように、プ
リント基板1の位置合わせのためのマークや部品の極性
を示すマークは良好に認識可能であるが、いくつかの認
識不能な部分が存在する。例えば、IC部品の1ピンを
示す極性マークはその部品本体の色に隠れて識別するこ
とができず、基板上のシルク印刷パターン領域上の同一
色のコンデンサなども区別することができず、場所の特
定が困難である。また、ハンダと電極端子が接合してい
る部品やIC部品のリード先端部分も同時に色の差がな
く、部品の輪郭が不明となり、したがって電極端子の位
置ずれや曲がりを検査することができない。
Conventionally, as shown in FIG. 4A, a mark for aligning the printed circuit board 1 and a mark indicating the polarity of a component can be recognized well, but some unrecognizable portions can be recognized. Exists. For example, the polarity mark indicating pin 1 of an IC component cannot be identified because it is hidden by the color of the component body, and capacitors of the same color on the silk-printed pattern area on the board cannot be distinguished. Is difficult to identify. Further, the parts where the solder and the electrode terminals are joined and the lead tips of the IC parts also have no color difference at the same time, and the contours of the parts are unknown, and therefore, the displacement and bending of the electrode terminals cannot be inspected.

【0041】また、高さの大きな部品は、その部品自身
の影の影響でサイズが大き目に読み取られ、誤認される
場合が多い、更に、この高さの大きな部品と隣接する小
型の部品には光が届かず、下地レジスト色との識別が不
可能となる。また製造上のばらつきによって両端の電極
端子の色が所定の色抽出範囲から外れるような部品に
は、電極端子がないものとして認識されてしまう。
Further, a component with a large height is often read as a large size due to the influence of the shadow of the component itself and is often mistakenly recognized. Furthermore, a component with a large height is adjacent to a small component. The light does not reach, making it impossible to distinguish from the underlying resist color. Further, due to manufacturing variations, a component in which the color of the electrode terminals at both ends deviates from the predetermined color extraction range is recognized as having no electrode terminal.

【0042】しかし、本実施例では図4の(b)に示す
ように、部品の輪郭部など凹凸の変化する部分は暗く、
平面部は明るいコントラストの強い画像が得られる。こ
のため、従来困難であった下地色と部品の色が非常に似
通っている場合や、高さの大きな部品の影に小型の部品
が入る場合、また電極端子の色がハンダなどの金属色と
同一系統の色の場合でも、それらの部品や電極端子の抽
出が容易となる。
However, in this embodiment, as shown in FIG. 4 (b), the portion where the irregularities change, such as the contour of the component, is dark.
An image with a bright contrast and a strong contrast can be obtained in the flat portion. For this reason, when the background color and the color of the parts, which was difficult in the past, are very similar to each other, when small parts are placed in the shadow of a part with a large height, and the color of the electrode terminals is different from the metal color such as solder. Even in the case of colors of the same system, it is easy to extract those parts and electrode terminals.

【0043】一方、上述のプリント基板1の位置合わせ
のためのマークや極性マークなどの明暗情報が得られな
い場合は、この画像に従来の照明・撮像方式を組み合わ
せれば良い。つまり、上記画像に第2の照明装置6,6
の照明下で得られた画像を組み合わせることにより、上
記のマーク等も容易に認識することができ、これにより
すべての検査項目の検査が可能となる。
On the other hand, when the brightness information such as the mark for the alignment of the printed circuit board 1 and the polar mark cannot be obtained, the conventional illumination / imaging method may be combined with this image. That is, the second illumination device 6, 6 is added to the image.
By combining the images obtained under the above illumination, the above-mentioned marks and the like can be easily recognized, whereby inspection of all inspection items becomes possible.

【0044】このように、簡易な構成で、複雑な色抽出
条件設定などの処理を行うことなく、下地色と似通った
色の検査対象や高さの大きな検査対象があっても各々の
輪郭を正しく容易に抽出することができ、精度の高い検
査を行うことができる。
As described above, even if there is an inspection target of a color similar to the background color or an inspection target of a large height, the contours of each of the outlines can be drawn with a simple structure without performing complicated color extraction condition setting processing. Correct and easy extraction can be performed, and highly accurate inspection can be performed.

【0045】なお、図1の例では、プリント基板1で反
射してCCDラインセンサ2に向かう画像光のプリント
基板1よりの出射角を0度と設定して、プリント基板1
に入射する第1の照明装置5からの照明光の入射角をハ
ーフミラー4で整合させているが、図5に示すように、
その出射角と入射角を等しくしたまま大きくすることに
より、ハーフミラー4を通さないでプリント基板1を照
明するようにしても良い。
In the example of FIG. 1, the output angle of the image light reflected by the printed board 1 and directed to the CCD line sensor 2 from the printed board 1 is set to 0 degree, and the printed board 1
The incident angle of the illumination light from the first illuminating device 5 that is incident on is matched by the half mirror 4, but as shown in FIG.
The printed circuit board 1 may be illuminated without passing through the half mirror 4 by increasing the output angle and the incident angle while keeping the same.

【0046】次に、この発明の第2実施例について説明
する。撮像レンズ3の画角(視野角)が小さい場合は、
図6に示すように照明装置5から出た平行光をそのまま
プリント基板1に照射することができるが、撮像レンズ
3の画角が大きい場合は上述の出射角が中央と両端で異
なるため、プリント基板1の両端側で撮像に必要な反射
光が充分得られない。
Next, a second embodiment of the present invention will be described. When the angle of view (viewing angle) of the imaging lens 3 is small,
As shown in FIG. 6, it is possible to irradiate the printed circuit board 1 with the parallel light emitted from the illuminating device 5 as it is. The reflected light required for imaging cannot be sufficiently obtained at both ends of the substrate 1.

【0047】そこで、本実施例では図7に示すように、
第1の照明装置5のスリットアレー15をフレーム11
の長手方向の外側程隔壁を内側に傾けたものにし、この
スリットアレー15から出射する照明光の方向がプリン
ト基板1で反射してCCDラインセンサ3に向かう反射
光と基板面に対して対称な方向となるように照明するよ
うにしている。その他の構成は図1の実施例と同様なの
で省略する。
Therefore, in this embodiment, as shown in FIG.
The slit array 15 of the first lighting device 5 is attached to the frame 11
The partition wall is inclined inward toward the outer side in the longitudinal direction, and the direction of the illumination light emitted from this slit array 15 is symmetrical with respect to the reflected light reflected by the printed circuit board 1 and directed to the CCD line sensor 3 with respect to the substrate surface. I try to illuminate in the direction. The other structure is the same as that of the embodiment shown in FIG.

【0048】このようにして、第1の照明装置5の導光
路を撮像レンズ3の画角に合わせて、長手方向に関して
内側に傾けることにより、CCDラインセンサ2に入射
する全反射光量を均一化することができ、前述の実施例
と同様の作用効果を得ることができる。また本実施例の
場合は、ハンダを付着した傾斜部の抽出が可能となり、
ハンダによる接合状態の検査も容易に行うことができ
る。
In this way, the light guide path of the first illuminating device 5 is tilted inward with respect to the longitudinal direction in accordance with the angle of view of the image pickup lens 3 to make the amount of total reflected light incident on the CCD line sensor 2 uniform. Therefore, it is possible to obtain the same effects as those of the above-described embodiment. Further, in the case of this embodiment, it is possible to extract the inclined portion to which the solder is attached,
It is possible to easily inspect the bonding state with solder.

【0049】次に、この発明の第3実施例について説明
する。前述の各実施例では撮像素子として一次元イメー
ジセンサを用いた場合について説明したが、本実施例で
は二次元イメージセンサを使用し、被検査物であるプリ
ント基板1を複数のブロックに分けて走査するようにし
ている。図8にその撮像系の概略を示す。
Next, a third embodiment of the present invention will be described. In each of the above-described embodiments, the case where the one-dimensional image sensor is used as the image pickup element has been described, but in the present embodiment, the two-dimensional image sensor is used, and the printed board 1 as the inspection object is divided into a plurality of blocks and scanned. I am trying to do it. FIG. 8 shows an outline of the image pickup system.

【0050】図8において、16は球状の発光光源、1
7はこの光源16からの光を略平行にするレンズ、18
はレンズ17を通過した光を更に平行化するスリットア
レー等の導光路板で、これらの光源16、レンズ17及
び導光路板18により第1の照明装置5が構成されてお
り、前述の各実施例と同様プリント基板1にハーフミラ
ー19を介して基板面に垂直な照明光を供給する構成と
なっている。
In FIG. 8, 16 is a spherical light emitting source, 1
Reference numeral 7 is a lens for making the light from the light source 16 substantially parallel, 18
Is a light guide plate such as a slit array for further collimating the light passing through the lens 17, and the light source 16, the lens 17, and the light guide plate 18 constitute the first illumination device 5. As in the example, the printed circuit board 1 is configured to supply illumination light perpendicular to the substrate surface via the half mirror 19.

【0051】なお、不図示のCCDエリアセンサ(二次
元イメージセンサ)にプリント基板1の像を結像させる
撮像レンズの画角が小さい場合は導光路板18はなくて
も良く、また図示していないがプリント基板1を側方か
ら照明する前述の第2の照明装置も設けられている。
The light guide plate 18 may be omitted if the angle of view of the image pickup lens for forming an image of the printed circuit board 1 on a CCD area sensor (two-dimensional image sensor) (not shown) is small. Although not provided, the above-mentioned second illumination device for illuminating the printed circuit board 1 from the side is also provided.

【0052】このようにして、エリアセンサを使用して
プリント基板1を各ブロック領域毎に走査する場合で
も、第1の照明装置5により前述の各実施例と同様の作
用効果が得られ、検査対象の凹凸に応じて輪郭の抽出を
容易に行うことができ、高い精度の実装部品検査が可能
となる。
In this way, even when the printed circuit board 1 is scanned for each block area by using the area sensor, the same operation and effect as those of the above-described embodiments can be obtained by the first illumination device 5, and the inspection can be performed. The contour can be easily extracted according to the unevenness of the object, and the mounting component inspection can be performed with high accuracy.

【0053】図9は上述の各実施例における外観検査装
置の回路構成を示すブロック図である。同図中、21は
全体を制御するメインのCPU、22は画像処理用のC
PUで、CCDラインセンサ2からの画像信号をメモリ
23に格納したり、モニタ24にその画像を表示させた
り制御するものである。
FIG. 9 is a block diagram showing the circuit arrangement of the appearance inspection apparatus in each of the above embodiments. In the figure, 21 is a main CPU that controls the whole, and 22 is a C for image processing.
The PU stores and controls the image signal from the CCD line sensor 2 in the memory 23 and displays the image on the monitor 24.

【0054】25は各照明装置5,6を制御する照明制
御部、26はフレーム7を走査ガイド8に沿って移動さ
せるX軸スキャニング機構27を制御するコントロー
ラ、28はプリント基板1を搬送するコンベア29と制
御信号のやり取りを行ったり、各インターフェース(I
/F)30との信号のやり取りを行うI/O(入出力)
制御部である。
Reference numeral 25 is a lighting control section for controlling the respective lighting devices 5, 6, 26 is a controller for controlling the X-axis scanning mechanism 27 for moving the frame 7 along the scanning guide 8, and 28 is a conveyor for carrying the printed circuit board 1. 29 for exchanging control signals with each other, and for each interface (I
/ F) I / O (input / output) for exchanging signals with 30
It is a control unit.

【0055】また、図10は上記外観検査装置における
検査方法の一例を示すフローチャートである。
FIG. 10 is a flow chart showing an example of the inspection method in the above appearance inspection apparatus.

【0056】前述のように、まず第1の照明装置5の照
明下でプリント基板1を走査して第1の画面を形成し
(ステップS1)、続いて第2の照明装置6,6の照明
下で同様に第2の画面を形成する(ステップS2)。そ
して、第2の画面から基板マークを抽出して(ステップ
S3)、基板セットずれを算出し(ステップS4)、基
板の位置を確定する(ステップS5)。
As described above, first, the printed board 1 is scanned under the illumination of the first illumination device 5 to form the first screen (step S1), and then the illumination of the second illumination devices 6 and 6 is performed. Similarly, a second screen is formed below (step S2). Then, the board mark is extracted from the second screen (step S3), the board set deviation is calculated (step S4), and the board position is determined (step S5).

【0057】次に、上記第1の画面からプリント基板1
に実装されている部品の輪郭候補を抽出し(ステップS
6)、その中から部品形状に合致する輪郭を抽出する。
そして、部品サイズの判定を行い(ステップS8)、部
品の搭載位置を確定する(ステップS9)。次いで、部
品の搭載位置から位置ずれの判定を行い(ステップS1
0)、続いて第2の画面から部品の色を抽出し(ステッ
プS11)、部品の誤搭載を判定する(ステップS1
2)。また、第2の画面から極性マークを抽出し(ステ
ップS13)、極性判定を行う(ステップS14)。
Next, the printed circuit board 1 is displayed from the first screen.
The contour candidates of the components mounted on the are extracted (step S
6) Then, the contour that matches the shape of the part is extracted.
Then, the component size is determined (step S8), and the mounting position of the component is determined (step S9). Next, the displacement is determined from the mounting position of the component (step S1
0), then the color of the component is extracted from the second screen (step S11), and it is determined whether the component is erroneously mounted (step S1).
2). Further, the polarity mark is extracted from the second screen (step S13), and the polarity determination is performed (step S14).

【0058】次に、第1の画面から電極輪郭候補を抽出
し(ステップS15)、その中から電極形状に合致する
輪郭を抽出して(ステップS16)、電極位置を確定す
る(ステップS17)。そして、電極の位置ずれの判定
を行い(ステップS18)、続いて第1の画面からハン
ダの輪郭を抽出し(ステップS19)、ブリッジの判定
(ステップS20)、ブローホールの判定(ステップS
21)、ハンダ浮きの判定(ステップS22)、ハンダ
量の判定(ステップS23)を順次行う。
Next, electrode contour candidates are extracted from the first screen (step S15), contours matching the electrode shape are extracted from them (step S16), and the electrode positions are determined (step S17). Then, the displacement of the electrodes is determined (step S18), the outline of the solder is extracted from the first screen (step S19), the bridge is determined (step S20), and the blowhole is determined (step S).
21), solder floating determination (step S22), and solder amount determination (step S23).

【0059】なお、上記ステップS6〜S23の処理は
各部品毎に行い、またステップS15〜S23の処理は
各電極毎に行うものである。
The processing of steps S6 to S23 is performed for each component, and the processing of steps S15 to S23 is performed for each electrode.

【0060】[0060]

【発明の効果】以上のように、この発明によれば、被検
査物を照明する照明光の方向が、被検査物で反射して撮
像素子に向かう反射光と同一方向となるように被検査物
を照明するようにしたため、高さに段差のある部分は暗
く、平坦部は明るく撮像され、簡易な構成で、複雑な色
抽出条件設定などの処理を行うことなく、下地色と似通
った色の検査対象や高さの大きな検査対象があっても各
々の輪郭を正しく容易に抽出することができ、精度の高
い検査を行うことができるという効果がある。
As described above, according to the present invention, the direction of the illumination light that illuminates the object to be inspected is the same as the reflected light reflected by the object to be inspected and directed toward the image pickup device. Since the object is illuminated, the part with a step in height is dark and the flat part is imaged brightly. With a simple configuration, a color similar to the background color can be obtained without performing complicated color extraction condition setting and other processing. Even if there is an inspection target or an inspection target having a large height, the contours of each can be correctly and easily extracted, and the inspection can be performed with high accuracy.

【0061】またこの発明によれば、被検査物を照明す
る照明光の方向が、被検査物で反射して撮像素子に向か
う反射光と対称な方向となるように被検査物を照明する
ようにしたため、上記と同様に検査対象の輪郭が際立っ
て表示され、精度の高い検査を行うことができる。
Further, according to the present invention, the object to be inspected is illuminated so that the direction of the illumination light illuminating the object to be inspected is symmetrical to the direction of the reflected light reflected by the object to be inspected and directed to the image pickup device. Therefore, similarly to the above, the contour of the inspection target is conspicuously displayed, and highly accurate inspection can be performed.

【0062】また、被検査物を照明する照明光の方向
が、被検査物で反射して撮像素子に向かう反射光と異な
る方向となるように被検査物を照明することにより、被
検査物の平坦部のマーク等も鮮明に表示される。
By illuminating the inspection object so that the direction of the illumination light for illuminating the inspection object is different from the direction of the reflected light reflected by the inspection object and traveling toward the image pickup device, the inspection object is illuminated. Marks on the flat part are also clearly displayed.

【図面の簡単な説明】[Brief description of drawings]

【図1】 この発明の第1実施例の構成を示す斜視図FIG. 1 is a perspective view showing a configuration of a first embodiment of the present invention.

【図2】 図1の第1の照明装置の内部構造を示す断面
FIG. 2 is a cross-sectional view showing the internal structure of the first lighting device of FIG.

【図3】 プリント基板の外観を示す斜視図FIG. 3 is a perspective view showing the appearance of a printed circuit board.

【図4】 プリント基板の撮像画面を示す説明図FIG. 4 is an explanatory diagram showing an image pickup screen of a printed circuit board.

【図5】 第1実施例の変化例を示す斜視図FIG. 5 is a perspective view showing a modification of the first embodiment.

【図6】 撮像レンズの画角が小さい場合の様子を示す
説明図
FIG. 6 is an explanatory diagram showing a state where the angle of view of the imaging lens is small.

【図7】 この発明の第2実施例を示す構成図FIG. 7 is a configuration diagram showing a second embodiment of the present invention.

【図8】 この発明の第3実施例の構成を示す模式図FIG. 8 is a schematic diagram showing the configuration of a third embodiment of the present invention.

【図9】 各実施例の回路構成を示すブロック図FIG. 9 is a block diagram showing a circuit configuration of each embodiment.

【図10】 各実施例における検査方法の一例を示すフ
ローチャート
FIG. 10 is a flowchart showing an example of an inspection method in each example.

【図11】 従来例を示す構成図FIG. 11 is a configuration diagram showing a conventional example.

【図12】 他の従来例を示す構成図FIG. 12 is a configuration diagram showing another conventional example.

【符号の説明】[Explanation of symbols]

1 プリント基板(被検査物) 2 CCDラインセンサ(撮像素子) 3 撮像レンズ 5 第1の照明装置(照明手段) 6 第2の照明装置(照明手段) 12 LED(発光光源) 13 集光レンズ(導光手段) 14 スリットアレー(導光手段) 15 スリットアレー(導光手段) 1 Printed Circuit Board (Inspection Object) 2 CCD Line Sensor (Imaging Element) 3 Imaging Lens 5 First Illumination Device (Illumination Means) 6 Second Illumination Device (Illumination Means) 12 LED (Light Emitting Light Source) 13 Condensing Lens ( Light guiding means) 14 Slit array (light guiding means) 15 Slit array (light guiding means)

Claims (7)

【特許請求の範囲】[Claims] 【請求項1】 被検査物を撮像素子により走査してその
外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であっ
て、前記照明手段は、被検査物を照明する照明光の方向
が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう反射光と同
一方向となるように照明することを特徴とする外観検査
装置。
1. A visual inspection apparatus comprising illumination means for scanning an object to be inspected by an image sensor to inspect its appearance, wherein the illumination means is such that the direction of illumination light for illuminating the object to be inspected is inspected. An appearance inspection apparatus, which illuminates light reflected by an object so as to be in the same direction as the reflected light toward the image pickup device.
【請求項2】 被検査物を撮像素子により走査してその
外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であっ
て、前記照明手段は第1の照明手段と第2の照明手段か
らなり、第1の照明手段は、被検査物を照明する照明光
の方向が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう反射
光と同一方向となるように照明し、第2の照明手段は、
被検査物を照明する照明光の方向が被検査物で反射して
前記撮像素子に向かう反射光と異なる方向となるように
照明することを特徴とする外観検査装置。
2. An appearance inspection apparatus comprising illumination means for scanning an object to be inspected with an image sensor to inspect its appearance, wherein the illumination means comprises first illumination means and second illumination means, The first illuminating means illuminates the object to be inspected so that the direction of the illuminating light is the same as the reflected light reflected by the object to be inspected and directed toward the image pickup device, and the second illuminating means is:
An appearance inspection apparatus, which illuminates an object to be inspected such that the direction of the illumination light illuminating the object to be inspected is different from the direction of the reflected light that is reflected by the object to be inspected and directed toward the image pickup device.
【請求項3】 被検査物を撮像素子により走査してその
外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であっ
て、前記照明手段は、被検査物を照明する照明光の方向
が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう反射光と対
称な方向となるように照明することを特徴とする外観検
査装置。
3. A visual inspection apparatus comprising illumination means for scanning an object to be inspected with an image sensor and inspecting its appearance, wherein the illumination means is an object to be inspected in a direction of illumination light for illuminating the object to be inspected. An appearance inspection apparatus, which illuminates light reflected by an object so as to be in a direction symmetrical to a reflected light toward the image pickup device.
【請求項4】 被検査物を撮像素子により走査してその
外観を検査する照明手段を備えた外観検査装置であっ
て、前記照明手段は第1の照明手段と第2の照明手段か
らなり、第1の照明手段は、被検査物を照明する照明光
の方向が被検査物で反射して前記撮像素子に向かう反射
光と対称な方向となるように照明し、第2の照明手段
は、被検査物を照明する照明光の方向が被検査物で反射
して前記撮像素子に向かう反射光と異なる方向となるよ
うに照明することを特徴とする外観検査装置。
4. An appearance inspection apparatus comprising illumination means for scanning an object to be inspected by an image sensor to inspect its appearance, wherein the illumination means comprises first illumination means and second illumination means, The first illuminating means illuminates the object to be inspected so that the direction of the illuminating light illuminating the object to be inspected is symmetrical to the reflected light that is reflected by the object to be inspected and is directed toward the image pickup device. An appearance inspection apparatus, which illuminates an object to be inspected such that the direction of the illumination light illuminating the object to be inspected is different from the direction of the reflected light that is reflected by the object to be inspected and directed toward the image pickup device.
【請求項5】 照明手段は、発光光源と、この発光光源
からの光束を所定の方向にそろえる導光手段からなるこ
とを特徴とする請求項1ないし4何れか記載の外観検査
装置。
5. The appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the illuminating means comprises a light emitting source and a light guiding means for aligning a light beam from the light emitting source in a predetermined direction.
【請求項6】 撮像素子は、一次元イメージセンサであ
ることを特徴とする請求項1ないし5何れか記載の外観
検査装置。
6. The appearance inspection apparatus according to claim 1, wherein the image pickup device is a one-dimensional image sensor.
【請求項7】 撮像素子は、二次元イメージセンサであ
ることを特徴とする請求項1ないし5何れか記載の外観
検査装置。
7. The visual inspection apparatus according to claim 1, wherein the image sensor is a two-dimensional image sensor.
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