JPH08247938A - Infrared ray gas analyzer - Google Patents
Infrared ray gas analyzerInfo
- Publication number
- JPH08247938A JPH08247938A JP7738295A JP7738295A JPH08247938A JP H08247938 A JPH08247938 A JP H08247938A JP 7738295 A JP7738295 A JP 7738295A JP 7738295 A JP7738295 A JP 7738295A JP H08247938 A JPH08247938 A JP H08247938A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- passage
- infrared
- gas
- space
- gas analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】この発明は、測定用のセル窓が一
つで構成されガス供給管路（インライン）に直接設置す
ることが可能であり、内部構造も簡単で且つシ−ル構造
も堅牢な赤外線ガス分析計に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention has a single cell window for measurement and can be directly installed in a gas supply line (in-line), and has a simple internal structure and a seal structure. A robust infrared gas analyzer.
【０００２】[0002]
【従来の技術】試料ガス成分を特定の赤外線波長を吸収
させることにより測定する赤外線ガス分析計は、図３に
示すように、光源Ｌの前方に試料ガスを連続的に導入、
排出させる測定セルＣを配置し、該測定セルＣ方向に赤
外線を投射して検出器Ｄで受光しプリアンプＰで増幅
し、試料ガス中の測定成分濃度に応じた赤外線の吸収量
の変化を計測するように構成される。そして前記光源Ｌ
と検出器Ｄとの間に試料セルＣが配置され且つ赤外線を
通過させるという構成上従来の赤外線ガス分析計では少
なくとも２枚のセル窓Ｃ１及びＣ２が必要である。2. Description of the Related Art In an infrared gas analyzer for measuring a sample gas component by absorbing a specific infrared wavelength, a sample gas is continuously introduced in front of a light source L as shown in FIG.
A measurement cell C to be discharged is arranged, infrared rays are projected in the direction of the measurement cell C, received by a detector D, amplified by a preamplifier P, and the change in the absorption amount of infrared rays according to the concentration of the measurement component in the sample gas is measured. To be configured. And the light source L
In the conventional infrared gas analyzer, at least two cell windows C1 and C2 are required because of the configuration in which the sample cell C is arranged between the detector D and the detector D and infrared rays pass therethrough.
【０００３】[0003]
【発明が解決しようとする課題】半導体製造装置におい
ては各種の半導体用特殊材料ガス、例えばモノシラン
（SiH4）、ホスフィン（PH3 ）、アルシン（AsH3）等は
ガスボンベに充填され所定の成分ガス及び各成分濃度を
所定の流量で混合させてから半導体製造装置に供給され
るが、これらのガスは有毒且つ可燃性のものが多く流量
や成分濃度は厳重にチェックする必要がある。或いは病
院等の医療機関で手術を行う際使用される笑気ガスの取
り扱い及び供給量は厳重にチェックされる。かかる有毒
ガスや可燃性ガス或いは取り扱いに慎重を要するガス等
を測定する場合には赤外線ガス分析計がモニタ−として
使用されることが多い。そしてこのような赤外線ガス分
析計で試料ガスを測定かつ制御する場合、測定セル本体
とセル窓との間の気密性は確実に保たれなければならな
い。通常、セル窓としては赤外線をよく透過する光学結
晶材料を用いるが、測定セル（本体）の構造材である金
属（例えば、ステンレスやアルミニウム合金）と接着さ
せたり又はシ−リング部材によりシ−ル構造とする。し
かしながら光学結晶材料と金属部材との接着は難しく該
接着部からのガス（特に有毒ガス）の漏洩がよく問題と
なり、このような漏洩に対する信頼性をいかに確保する
かは常に重要な課題となっている。In semiconductor manufacturing equipment, various special material gases for semiconductors, such as monosilane (SiH 4 ), phosphine (PH 3 ), arsine (AsH 3 ), etc. Also, the respective component concentrations are mixed at a predetermined flow rate and then supplied to the semiconductor manufacturing apparatus, but many of these gases are toxic and flammable, and it is necessary to strictly check the flow rates and the component concentrations. Alternatively, the handling and supply amount of laughing gas used when performing surgery in a medical institution such as a hospital is strictly checked. An infrared gas analyzer is often used as a monitor when measuring such toxic gas, flammable gas, or gas that requires careful handling. When measuring and controlling the sample gas with such an infrared gas analyzer, the airtightness between the measurement cell body and the cell window must be surely maintained. Normally, an optical crystal material that transmits infrared rays well is used for the cell window, but it is adhered to a metal (for example, stainless steel or aluminum alloy) which is a structural material of the measurement cell (main body) or is sealed by a sealing member. The structure. However, it is difficult to bond the optical crystal material and the metal member, and leakage of gas (particularly toxic gas) from the bonded portion is often a problem, and how to secure reliability against such leakage is always an important issue. There is.
【０００４】この発明は上記する課題に着目してなされ
たものであり、セル窓は一つで済み構造も簡単で且つシ
−ル部が堅牢でガス漏れに対する信頼性も高い赤外線ガ
ス分析計を提供することを目的とする。The present invention has been made in view of the above-mentioned problems. An infrared gas analyzer having a single cell window, a simple structure, a robust seal portion, and high reliability against gas leakage is provided. The purpose is to provide.
【０００５】[0005]
【課題を解決するための手段】即ち、この発明は上記す
る課題を解決するために、赤外線ガス分析計が、セル
ブロックに測定ガス流通用の通路と該通路に対して所定
角度（直角方向）方向に赤外線投射用空間を設け、該空
間の前記通路に面するようにセル窓を、該空間の中間部
にはハ−フミラ−を斜方向に、また該空間の端部には赤
外線光源を、それぞれ設け、前記通路に面するように配
置したセル窓の該通路を挟んで対向する位置には凹面鏡
を設け、更に前記ハ−フミラ−の反射光方向には該ハ−
フミラ−で反射した光を受光するよう検出器を設けたこ
とを特徴とする。或いは、前記ハ−フミラ−に代え、
赤外線を透過する支持部材で周囲を支持され且つ遮蔽し
ない範囲の部分から投射される赤外線が直接凹面鏡に達
する程度の大きさの両面ミラ−としたことを特徴とす
る。That is, in order to solve the above-mentioned problems, the present invention provides an infrared gas analyzer in which a cell block has a passage for measuring gas flow and a predetermined angle (perpendicular direction) to the passage. A space for infrared projection is provided in a direction, a cell window is provided so as to face the passage of the space, a half mirror is obliquely provided at an intermediate portion of the space, and an infrared light source is provided at an end of the space. , A concave mirror is provided at a position facing each other of the cell windows arranged so as to face the passage with the passage sandwiched, and the concave mirror is provided in the reflected light direction of the half mirror.
It is characterized in that a detector is provided so as to receive the light reflected by the humor. Alternatively, instead of the above-mentioned harmylar,
A double-sided mirror having a size that allows infrared rays projected from a portion of the area which is supported by a supporting member that transmits infrared rays and is not shielded to reach the concave mirror directly.
【０００６】[0006]
【作用】赤外線ガス分析計を上記手段としたときの作用
について添付図とその符号を用いて説明する。の手段
では、光源４より投射される赤外線はハ−フミラ−３を
通過しセル窓２及び通路１ａを通過して凹面鏡５で受光
される。このとき通路１ａを通過する試料ガスにより特
定波長の赤外線は吸収され凹面鏡５に至る。該凹面鏡５
で受光された赤外線は反射且つ集光されてセル窓２を通
過してハ−フミラ−３で反射し、検出器６に達して試料
ガス成分の濃度が検出される。このとき赤外線は途中の
前記通路１ａで再び試料ガスにより吸収されることにな
る。即ち、光源４より投射された赤外線は検出器６に至
るまでに通路１ａの試料ガスにより二重に吸収されるこ
とになる。またの手段では、光源４より投射される赤
外線は両面ミラ−７で一部は遮蔽され、他はセル窓２及
び通路１ａを通過して凹面鏡５で受光される。このとき
通路１ａを通過する試料ガスにより特定波長の赤外線は
吸収され凹面鏡５に至る。該凹面鏡５で受光された赤外
線は反射且つ集光されてセル窓２を通過して両面ミラ−
７で反射し、検出器６に達する。このとき赤外線は途中
の前記通路１ａで再び試料ガスにより吸収されることに
なる。即ち、光源４より投射された赤外線は検出器６に
至るまでに通路１ａの試料ガスにより二重に吸収される
ことになる。そして検出器６によって試料ガス成分の濃
度が検出される。The operation of the infrared gas analyzer as the above means will be described with reference to the accompanying drawings and the reference numerals. In this means, the infrared light projected from the light source 4 passes through the half mirror-3, the cell window 2 and the passage 1a, and is received by the concave mirror 5. At this time, infrared rays of a specific wavelength are absorbed by the sample gas passing through the passage 1a and reach the concave mirror 5. The concave mirror 5
The infrared light received by is reflected and condensed, passes through the cell window 2, is reflected by the Hafmirra-3, reaches the detector 6, and the concentration of the sample gas component is detected. At this time, the infrared rays are again absorbed by the sample gas in the passage 1a on the way. That is, the infrared rays projected from the light source 4 are doubly absorbed by the sample gas in the passage 1a before reaching the detector 6. In the other means, the infrared rays projected from the light source 4 are partially shielded by the double-sided mirror 7, and the others pass through the cell window 2 and the passage 1a and are received by the concave mirror 5. At this time, infrared rays of a specific wavelength are absorbed by the sample gas passing through the passage 1a and reach the concave mirror 5. The infrared light received by the concave mirror 5 is reflected and condensed, passes through the cell window 2, and is mirrored on both sides.
It reflects at 7 and reaches the detector 6. At this time, the infrared rays are again absorbed by the sample gas in the passage 1a on the way. That is, the infrared rays projected from the light source 4 are doubly absorbed by the sample gas in the passage 1a before reaching the detector 6. Then, the detector 6 detects the concentration of the sample gas component.
【０００７】[0007]
【実施例】以下、この発明の具体的実施例について図面
を参照して説明する。図１はこの発明の赤外線ガス分析
計の内部構造を示す断面図である。セルブロック１には
試料ガス（例えば半導体用特殊材料ガス或いは笑気ガス
等の供給ガス）流通用の通路１ａが穿設されている。該
セルブロック１の両側には図示しないが配管用継手が取
り付けられるように雌ねじが設けてある。前記通路１ａ
に対して所定角度（直角）上方向には赤外線投射用空間
１ｂが穿設され、該空間１ｂの前記測定ガス用の通路１
ａに面する位置にはセル窓２が設置されているが、この
場合、セルブロック１と該セル窓２とは強固に固着さ
れ、例えば金属スパッタリング、鑞付け等により強固に
固着される。また、該空間１ｂの中央部にはハ−フミラ
−３が斜方向（この実施例ではほぼ４５度）に設置され
ている。更に、該空間１ｂの上端部には赤外線光源４が
設置されている。該光源４用のリ−ド線４ａはセル１０
にハ−メチックシ−ルされる。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS Specific embodiments of the present invention will be described below with reference to the drawings. FIG. 1 is a sectional view showing the internal structure of the infrared gas analyzer of the present invention. The cell block 1 is provided with a passage 1a for flowing a sample gas (for example, a supply gas such as a special material gas for semiconductors or a laughing gas). Although not shown, female threads are provided on both sides of the cell block 1 so that piping joints can be attached. The passage 1a
An infrared projection space 1b is bored upward by a predetermined angle (right angle) with respect to the space 1b, and the measurement gas passage 1 in the space 1b is formed.
A cell window 2 is installed at a position facing a, but in this case, the cell block 1 and the cell window 2 are firmly fixed to each other, for example, by metal sputtering, brazing or the like. In addition, at the center of the space 1b, a hammilla-3 is installed in an oblique direction (approximately 45 degrees in this embodiment). Further, an infrared light source 4 is installed at the upper end of the space 1b. The lead wire 4a for the light source 4 is a cell 10
Hermetically sealed.
【０００８】次に、前記セルブロック１の空間１ｂに配
置したセル窓２の通路１ａを挟んで対向する位置には凹
面鏡５が設置されている。この凹面鏡５はセルブロック
１の通路１ａに面する位置に直接形成しても良いし、或
いはセルブロック１に穴を穿設して別個に製作した凹面
鏡５を嵌め込むようにして設置しても良い。Next, a concave mirror 5 is installed at a position facing each other with the passage 1a of the cell window 2 arranged in the space 1b of the cell block 1 interposed therebetween. The concave mirror 5 may be directly formed at a position facing the passage 1a of the cell block 1, or may be installed by inserting a separately manufactured concave mirror 5 by making a hole in the cell block 1.
【０００９】また、前記ハ−フミラ−３を設置した空間
１ｂの横方向（該ハ−フミラ−３の前方）にも穴１ｃが
穿設され、ここには前記ハ−フミラ−３で反射した光を
受光するように検出器６が設置されている。該検出器６
としてツイン形の検出器を用いる場合、比較側検出素子
６ａの前部には試料ガスと同一の吸収波長域を有するバ
ンドパスフィルタを、試料側検出素子６ｂの前部には試
料ガスの吸収波長域を全く有しないバンドパスフィルタ
を配置する。或いは比較側にガスフィルタを配置しても
良い。この検出器６の比較側検出素子６ａ及び試料側検
出素子６ｂのそれぞれにプリアンプ６ｃ、６ｄが接続さ
れ増幅して測定するようになっている。Further, a hole 1c is also formed in the lateral direction of the space 1b in which the above-mentioned hummilla-3 is installed (in front of this hummilla-3), and the hole 1c is reflected here. The detector 6 is installed so as to receive light. The detector 6
When a twin type detector is used as the detector, a bandpass filter having the same absorption wavelength range as the sample gas is provided in front of the comparison side detection element 6a, and an absorption wavelength of the sample gas is provided in front of the sample side detection element 6b. Place a bandpass filter with no band. Alternatively, a gas filter may be arranged on the comparison side. Preamplifiers 6c and 6d are connected to the comparison-side detection element 6a and the sample-side detection element 6b of the detector 6, respectively, for amplification and measurement.
【００１０】この発明の構成は以上のようであるが、次
にその動作について説明する。光源４より投射される赤
外線はハ−フミラ−３を通過しセル窓２及び通路１ａを
通過して凹面鏡５で受光される。このとき通路１ａを通
過する試料ガスにより特定波長の赤外線は吸収され凹面
鏡５に至る。該凹面鏡５で受光された赤外線は反射且つ
集光されてセル窓２を通過してハ−フミラ−３で反射
し、検出器６に達して試料ガス成分濃度が検出される。
このとき赤外線は途中の前記通路１ａで再び試料ガスに
より吸収されることになる。即ち、光源４より投射され
た赤外線は検出器６に至るまでに通路１ａの試料ガスに
より二重に吸収されることになる。またこのとき、ハ−
フミラ−３の表面では約二分の一光量が検出器６に入射
されることになる。そして検出器６は、いずれにも感応
しない比較検出素子６ａ及び測定試料成分のみを検出す
る試料検出素子６ｂとで構成され、各検出素子からの信
号をプリアンプ６ｃ、６ｄにより増幅演算して試料ガス
成分濃度を検出する。The configuration of the present invention is as described above. Next, the operation will be described. Infrared rays projected from the light source 4 pass through the half mirror 3, pass through the cell window 2 and the passage 1a, and are received by the concave mirror 5. At this time, infrared rays of a specific wavelength are absorbed by the sample gas passing through the passage 1a and reach the concave mirror 5. The infrared light received by the concave mirror 5 is reflected and condensed, passes through the cell window 2 and is reflected by the half mirror-3, reaches the detector 6, and the sample gas component concentration is detected.
At this time, the infrared rays are again absorbed by the sample gas in the passage 1a on the way. That is, the infrared rays projected from the light source 4 are doubly absorbed by the sample gas in the passage 1a before reaching the detector 6. Also at this time,
On the surface of Fumira-3, about half the amount of light is incident on the detector 6. The detector 6 is composed of a comparative detection element 6a which is insensitive to any of them and a sample detection element 6b which detects only a measurement sample component, and a signal from each detection element is amplified by preamplifiers 6c and 6d to perform a sample gas operation. Detect the component concentration.
【００１１】図２（Ａ）はこの発明の赤外線ガス分析計
の第２の実施例の内部構造を示す断面図である。この実
施例でもセルブロック１には測定ガス流通用の通路１ａ
が穿設され、該通路１ａに対して所定角度（直角）上方
向には赤外線投射用の空間１ｂが穿設され、該空間１ｂ
の上部端部には赤外線光源４が設置されている。そして
該空間１ｂの前記測定ガス用の通路１ａに面する位置に
はセルブロック１に金属スパッタリング等で強固に固着
されたセル窓２が設置され、該セル窓２に対向する位置
には凹面鏡５が設置されている。図１に示す実施例では
セルブロック１の空間１ａの途中にはハ−フミラ−３を
設置したが、この実施例では前記ハ−フミラ−３の代わ
りに両面ミラ−７が斜方向に設置されている。この場
合、該両面ミラ−７は支持部材８により周囲を支持され
て設置される。また、前記両面ミラ−７の大きさ（直
径）は、図２（Ａ）のＷ矢視図である図２（Ｂ）に示す
ように、光源４から投射される赤外線が該両面ミラ−７
に遮蔽されない範囲の部分９より直進する赤外線が直接
凹面鏡５に達する程度の大きさとしてある。前記支持部
材８としては微細な針金でも良く、或いは赤外線を透過
する樹脂やガラス等であっても良い。FIG. 2A is a sectional view showing the internal structure of the second embodiment of the infrared gas analyzer of the present invention. Also in this embodiment, the cell block 1 has a passage 1a for flowing the measurement gas.
And a space 1b for infrared projection is formed at a predetermined angle (right angle) upward with respect to the passage 1a.
An infrared light source 4 is installed at the upper end of the. A cell window 2 firmly fixed to the cell block 1 by metal sputtering or the like is installed at a position of the space 1b facing the measurement gas passage 1a, and a concave mirror 5 is provided at a position facing the cell window 2. Is installed. In the embodiment shown in FIG. 1, a half mirror 3 is installed in the middle of the space 1a of the cell block 1, but in this embodiment, a double-sided mirror 7 is installed obliquely instead of the half mirror-3. ing. In this case, the double-sided mirror 7 is installed with its periphery supported by the support member 8. Further, the size (diameter) of the double-sided mirror 7 is such that the infrared rays projected from the light source 4 are the double-sided mirror 7 as shown in FIG.
The size is such that the infrared rays that go straight from the portion 9 in the area that is not shielded to reach the concave mirror 5. The supporting member 8 may be fine wire, or resin or glass that transmits infrared rays.
【００１２】この第２の実施例では、光源４より投射さ
れる赤外線は両面ミラ−７で一部は遮蔽され、他はセル
窓２及び通路１ａを通過して凹面鏡５で受光される。こ
のとき通路１ａを通過する試料ガスにより特定波長の赤
外線は吸収され凹面鏡５に至る。該凹面鏡５で受光され
た赤外線は反射し且つ集光されてセル窓２を通過して両
面ミラ−７で反射し、検出器６に達する。このとき赤外
線は途中の前記通路１ａで再び試料ガスにより吸収され
ることになる。即ち、光源４より投射された赤外線は検
出器６に至るまでに通路１ａの試料ガスにより二重に吸
収されることになる。そして検出器６によって試料成分
の濃度が検出される。In the second embodiment, the infrared rays projected from the light source 4 are partially shielded by the double-sided mirror 7, and the others pass through the cell window 2 and the passage 1a and are received by the concave mirror 5. At this time, infrared rays of a specific wavelength are absorbed by the sample gas passing through the passage 1a and reach the concave mirror 5. The infrared light received by the concave mirror 5 is reflected and condensed, passes through the cell window 2, is reflected by the double-sided mirror 7, and reaches the detector 6. At this time, the infrared rays are again absorbed by the sample gas in the passage 1a on the way. That is, the infrared rays projected from the light source 4 are doubly absorbed by the sample gas in the passage 1a before reaching the detector 6. Then, the detector 6 detects the concentration of the sample component.
【００１３】この発明の赤外線ガス分析計の詳細は以上
のようであるが、この赤外線ガス分析計を設置する通路
の前又は後方に、即ち、セルブロック１に接続する管路
の前後に試料ガスの流量検出器（例えば熱線素子、風速
計を利用したもの）を設けて試料ガス流量とこの発明の
赤外線ガス分析計との両信号をもって上記した半導体用
特殊材料ガス或いは笑気ガス等供給時の安全モニタ−と
して使用することも可能である。即ち、赤外線ガス分析
計の検出器６と試料ガス供給装置及び流量検出器とを制
御装置に接続しておき、該赤外線ガス分析計の検出器６
で検出する数値範囲と別個に設置した流量検出器で検出
する数値がほぼ同一の範囲にあるときは所定量の供給を
続けるように制御装置で制御し、若しいずれかが異常な
数値を示したら試料ガスの供給を停止するように制御す
ることも可能である。The details of the infrared gas analyzer of the present invention are as described above, but the sample gas is provided before or after the passage in which the infrared gas analyzer is installed, that is, before and after the pipe line connected to the cell block 1. Of the above-mentioned special material gas for semiconductors or laughing gas is supplied by using both the signal of the sample gas flow rate and the infrared gas analyzer of the present invention by providing a flow rate detector (for example, one using a heat wire element, anemometer). It can also be used as a safety monitor. That is, the detector 6 of the infrared gas analyzer, the sample gas supply device and the flow rate detector are connected to the control device, and the detector 6 of the infrared gas analyzer is connected.
When the value detected by the flow rate detector installed separately from the value detected by the above is within the same range, the control device controls so that the supply of the specified amount is continued, and either one shows an abnormal value. It is also possible to control so that the supply of the sample gas is stopped.
【００１４】[0014]
【発明の効果】以上詳述したように、この発明の赤外線
ガス分析計によれば、一つのセル窓で済み構造も簡単で
製作容易な赤外線ガス分析計とすることができる。ま
た、この赤外線ガス分析計は一つのセル窓であることか
らシ−ル部分が少なく堅牢な耐圧性に優れ供給用の管路
（インライン）にも直接設置することができる。更に、
小形かつ安価に製作することができる。As described above in detail, according to the infrared gas analyzer of the present invention, it is possible to provide an infrared gas analyzer which has a simple structure with one cell window and is easy to manufacture. Further, since this infrared gas analyzer has a single cell window, it has a small number of seal portions, is excellent in robust pressure resistance, and can be directly installed in a supply pipeline (in-line). Furthermore,
It is small and can be manufactured at low cost.
【図１】この発明の赤外線ガス分析計の内部構造を示す
断面図である。FIG. 1 is a cross-sectional view showing the internal structure of an infrared gas analyzer of the present invention.
【図２】図２（Ａ）はこの発明の赤外線ガス分析計の第
２の実施例の内部構造を示す断面図であり、図２（Ｂ）
は図２（Ａ）のＷ矢視断面図である。FIG. 2 (A) is a sectional view showing the internal structure of the second embodiment of the infrared gas analyzer of the present invention, and FIG.
FIG. 3 is a sectional view taken along the arrow W in FIG.
【図３】従来の赤外線ガス分析計の構成概要を示す図で
ある。FIG. 3 is a diagram showing a schematic configuration of a conventional infrared gas analyzer.
１ セルブロック １ａ ガス通路 １ｂ 空間 ２ セル窓 ３ ハ−フミラ− ４ 光源 ５ 凹面鏡 ６ 検出器 ７ 両面ミラ− ８ 支持部材 ９ 赤外線が両面ミラ−に遮蔽されない範囲 1 cell block 1a gas passage 1b space 2 cell window 3 haarmylar 4 light source 5 concave mirror 6 detector 7 double-sided mirror 8 support member 9 range where infrared rays are not shielded by double-sided mirror
Claims (2)
該通路に対して所定角度方向に赤外線投射用空間を設
け、該空間の前記通路に面するようにセル窓を、該空間
の中間部にはハ−フミラ−を斜方向に、また該空間の端
部には赤外線光源を、それぞれ設け、前記通路に面する
ように配置したセル窓の該通路を挟んで対向する位置に
は凹面鏡を設け、更に前記ハ−フミラ−の反射光方向に
は該ハ−フミラ−で反射した光を受光するよう検出器を
設けたことを特徴とする赤外線ガス分析計。1. A cell block is provided with a passage for flowing a measurement gas and an infrared projection space in a predetermined angle direction with respect to the passage, and a cell window is provided so as to face the passage in the space, and an intermediate portion of the space is provided. Is provided with an oblique light source, an infrared light source is provided at the end of the space, and a concave mirror is provided at a position facing the passage of the cell window arranged so as to face the passage. An infrared gas analyzer, characterized in that a detector is provided so as to receive the light reflected by the half mirror in the reflected light direction of the half mirror.
支持部材で周囲を支持され且つ遮蔽しない範囲の部分か
ら投射される赤外線が直接凹面鏡に達する程度の大きさ
の両面ミラ−としたことを特徴とする請求項第１項記載
の赤外線ガス分析計。2. A double-sided mirror having a size such that infrared rays projected from a portion in a range which is supported by a supporting member which transmits infrared rays and which is not shielded, directly reaches a concave mirror, instead of the half mirror. The infrared gas analyzer according to claim 1, wherein:
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7738295A JPH08247938A (en) | 1995-03-07 | 1995-03-07 | Infrared ray gas analyzer |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP7738295A JPH08247938A (en) | 1995-03-07 | 1995-03-07 | Infrared ray gas analyzer |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH08247938A true JPH08247938A (en) | 1996-09-27 |
Family
ID=13632349
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP7738295A Pending JPH08247938A (en) | 1995-03-07 | 1995-03-07 | Infrared ray gas analyzer |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH08247938A (en) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003501653A (en) * | 1999-06-08 | 2003-01-14 | ツェー・エス・クリーン・ジステームス・アクチエンゲゼルシャフト | Analysis equipment |
| US9128037B2 (en) | 2013-06-07 | 2015-09-08 | Sick Ag | Two-channeled measurement apparatus |
-
1995
- 1995-03-07 JP JP7738295A patent/JPH08247938A/en active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2003501653A (en) * | 1999-06-08 | 2003-01-14 | ツェー・エス・クリーン・ジステームス・アクチエンゲゼルシャフト | Analysis equipment |
| JP4790949B2 (en) * | 1999-06-08 | 2011-10-12 | ツェー・エス・クリーン・ジステームス・アクチエンゲゼルシャフト | Analysis equipment |
| US9128037B2 (en) | 2013-06-07 | 2015-09-08 | Sick Ag | Two-channeled measurement apparatus |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| CN100422716C (en) | Gas sensor | |
| KR101852802B1 (en) | Fastening structure for brittle-fracturable panel, and method for fastening light transmission window panel comprising brittle-fracturable panel employing same | |
| US5565984A (en) | Re-entrant illumination system for particle measuring device | |
| US20090323055A1 (en) | Crds brewster gas cell | |
| NO300078B1 (en) | Photo acoustic gas detector | |
| GB2323923A (en) | Device for measurement of infrared absorption of gases | |
| US5610400A (en) | Spectroscopic measuring sensor for the analysis of mediums | |
| EP1631807B1 (en) | Method and apparatus for large leak testing | |
| JP2023011020A (en) | Method and device for monitoring quality of gaseous media | |
| JPH08247938A (en) | Infrared ray gas analyzer | |
| US20060192968A1 (en) | Optical assembly | |
| CN101105441B (en) | Fluid flowing device and optical measurement equipment using such a device | |
| US5617212A (en) | Open-path gas monitoring | |
| JP2004138499A (en) | Gas concentration detection sensor | |
| JPH0843302A (en) | Ultravoilet analyzer | |
| KR102267044B1 (en) | Carbon dioxide gas sensor using non-dispersive infrared | |
| JP3012573B2 (en) | Particle measurement mechanism | |
| JP2589317Y2 (en) | Connection structure between cell and cell block | |
| NO300346B1 (en) | Photo-acoustic measuring device | |
| JPS62119434A (en) | Monitor for dust inside gas piping | |
| JPH08184556A (en) | Optical gas detector | |
| JP3448177B2 (en) | Direct gas analysis method | |
| JP3270192B2 (en) | Flow sensor | |
| JP3957333B2 (en) | Special material gas component concentration measuring device for semiconductors | |
| JP3172571B2 (en) | Gas concentration measuring method and device using reference gas concentration adjusting method |