JPH08247246A - Lubricating device of rack pinion for carrier - Google Patents
Lubricating device of rack pinion for carrierInfo
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- JPH08247246A JPH08247246A JP7186228A JP18622895A JPH08247246A JP H08247246 A JPH08247246 A JP H08247246A JP 7186228 A JP7186228 A JP 7186228A JP 18622895 A JP18622895 A JP 18622895A JP H08247246 A JPH08247246 A JP H08247246A
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Abstract
Description
【０００１】[0001]
【産業上の利用分野】本発明はプラズマＣＶＤ装置の基
板の各成膜室間の搬送装置に関する。BACKGROUND OF THE INVENTION 1. Field of the Invention The present invention relates to a transfer device for a substrate of a plasma CVD apparatus between film forming chambers.
【０００２】[0002]
【従来の技術】プラズマＣＶＤ装置ではガラス基に異る
複数の膜を重ねて付着させる。したがって、大気中から
真空中へ運び入れるための予備排気室、各成膜室を順に
移動する必要がある。それで各室間を移動する搬送台車
に前記ガラス基板をのせ前記各室間に設けられたゲート
弁を開いて出し入れする。2. Description of the Related Art In a plasma CVD apparatus, a plurality of films having different glass substrates are stacked and attached. Therefore, it is necessary to sequentially move the pre-evacuation chamber and the film forming chambers for carrying from the atmosphere into the vacuum. Then, the glass substrate is placed on a carrier truck that moves between the chambers, and a gate valve provided between the chambers is opened and taken out.
【０００３】従来例を図５によって説明する。図５は従
来例のプラズマＣＶＤ装置の台車搬送機構の模式図であ
る。図において搬送台車０１が図示しない軸受を介して
ガイド０３に取付けられたつば付ガイドローラ０３ａに
よって矢印アの方向に移動可能に支持されている。０１
ａは搬送台車０１の側面に取付けられたラックでモータ
０４の軸に取付けられた駆動用ピニオン０２と噛み合っ
ている。A conventional example will be described with reference to FIG. FIG. 5 is a schematic view of a carriage transport mechanism of a conventional plasma CVD apparatus. In the figure, a carrier vehicle 01 is supported by a guide roller 03a with a collar attached to a guide 03 via a bearing (not shown) so as to be movable in the direction of arrow A. 01
Reference numeral a denotes a rack mounted on the side surface of the carrier vehicle 01, which meshes with a drive pinion 02 mounted on the shaft of the motor 04.
【０００４】前記従来例の作用を説明する。モータ０４
の軸の回転を変化させることにより搬送台車０１を矢印
アの方向に前進後進停止させることができる。駆動用ピ
ニオン０２はラック０１ａの方向に複数配置されている
ので順次ラック０１ａに噛み合い搬送台車０１を移動さ
せる。プラズマＣＶＤ装置の成膜室は不純物のガスを嫌
うので１０-6ｔｏｒｒ以下の真空に排気した後原料ガス
を導入する。The operation of the conventional example will be described. Motor 04
By changing the rotation of the shaft of the carriage, the carrier carriage 01 can be moved forward and backward in the direction of arrow A and stopped. Since a plurality of drive pinions 02 are arranged in the direction of the rack 01a, the meshing transport carriage 01 is sequentially moved to the rack 01a. Since the film forming chamber of the plasma CVD apparatus does not like impurity gas, the raw material gas is introduced after evacuation to a vacuum of 10 −6 torr or less.
【０００５】したがってピニオン０２の潤滑には通常の
グリースは使用できない。真空用の特に蒸気圧の低いグ
リース（弗素化ポリエーテルを基油に使用したもの）を
使用することが考えられるが、潤滑部を密封する構造が
とれないので流れ出したり飛散したりして機器を汚染す
るので好ましくない。そこでピニオン０２は潤滑性のあ
る樹脂材料ＰＥＥＫ（ポリエーテルエーテルケトン樹
脂）を使用しラックにはステンレス鋼を使用していた。Therefore, ordinary grease cannot be used for lubricating the pinion 02. It is conceivable to use a grease with a low vapor pressure for vacuum (using fluorinated polyether as the base oil), but since the structure that seals the lubrication part cannot be taken, it may flow out or scatter and Contamination is not preferable. Therefore, for the pinion 02, a resin material PEEK (polyether ether ketone resin) having lubricity is used, and stainless steel is used for the rack.
【０００６】[0006]
【発明が解決しようとする課題】プラズマＣＶＤ装置で
生産効率を高めるために搬送台車の搬送速度を速くする
と、駆動するピニオンの歯にかかる荷重が大きくなる。
そのためＰＥＥＫ材料でできたピニオンでは強度が不足
するので、強度が樹脂より大きい金属材料で駆動用ピニ
オンを製作することが必要になる。よく知られているよ
うに真空中では金属は焼付を起しやすいために潤滑が必
要である。When the transport speed of the transport carriage is increased in order to increase the production efficiency in the plasma CVD apparatus, the load applied to the teeth of the driven pinion is increased.
Therefore, the strength of the pinion made of the PEEK material is insufficient, so it is necessary to manufacture the driving pinion from a metal material having a strength higher than that of the resin. As is well known, in vacuum, metal is susceptible to seizure, so lubrication is necessary.
【０００７】一般的に真空中の固体潤滑剤として使われ
るものは二硫化モリブデンであり、材料の表面にバイン
ダ成分とともに塗布した後焼成して潤滑皮膜を形成す
る。前記のようにして形成された皮膜は当初はラックと
ピニオンの焼付を有効に防止するが、運転の経過にとも
なって潤滑皮膜が摩耗し、やがてその効力を失う。そこ
で摩耗していく潤滑成分を補ってやることが必要にな
る。Generally used as a solid lubricant in a vacuum is molybdenum disulfide, which is applied on the surface of a material together with a binder component and then fired to form a lubricating film. The film formed as described above effectively prevents the seizure of the rack and the pinion at first, but the lubricating film wears over the course of operation and eventually loses its effectiveness. Therefore, it is necessary to supplement the lubricating component that wears.
【０００８】本発明の目的は前記必要に応じて搬送用ラ
ックピニオンに潤滑剤の補給装置を提供するにある。An object of the present invention is to provide a device for replenishing a lubricant to a rack and pinion for transportation as needed.
【０００９】[0009]
【課題を解決するための手段】第１発明の搬送用ラック
ピニオンの潤滑装置は雰囲気が真空にもなる空間を移動
する搬送台車にラックが取付けられこれに噛み合う駆動
用ピニオンによって駆動される搬送装置において、前記
ラックに噛み合い且回転に対しブレーキをかけ得る固体
潤滑剤を含有する樹脂製の潤滑用ピニオンを有してなる
ことを特徴としている。According to a first aspect of the present invention, there is provided a lubricating device for a transport rack and pinion in which a rack is mounted on a transport carriage that moves in a space where the atmosphere is also vacuum, and the transport device is driven by a drive pinion meshing with the rack. In the above, it is characterized by having a resin-made lubricating pinion containing a solid lubricant capable of engaging with the rack and braking the rotation.
【００１０】第２発明の搬送用ラックピニオンの潤滑装
置は雰囲気が真空にもなる空間を移動する搬送台車１に
ラック１ａが取付けられ之に噛み合う駆動用ピニオン２
によって駆動される搬送装置において、前記駆動用ピニ
オン２と噛み合い且回転に対しブレーキをかけ得る固体
潤滑剤を有する樹脂製の潤滑用ピニオン５を有してなる
ことを特徴としている。In the lubrication device for the rack rack and pinion of the second invention, the rack 1a is mounted on the transport carriage 1 which moves in a space where the atmosphere is also vacuum, and the drive pinion 2 meshes with each other.
The transport device driven by means of the present invention is characterized in that it has a resin-made lubricating pinion 5 having a solid lubricant that meshes with the driving pinion 2 and can brake the rotation.
【００１１】[0011]
【作用】固体潤滑剤を含有する樹脂でできた潤滑用ピニ
オンにブレーキをかけてラック又は駆動用ピニオンと噛
み合せ駆動すると、前記潤滑用ピニオンからその含有す
る固体潤滑剤が前記ラックへ塗りつけられ、その固体潤
滑剤はラック表面に留り駆動用ピニオンとの噛み合いの
際潤滑作用をする。塗りつけられる固体潤滑剤の量は、
ピニオンのブレーキを大きくすることにより増加するこ
とができる。潤滑用ピニオンを回転可能に支持する方法
によっては、摩擦力のみで十分ブレーキがかかり得るの
で、そのときはブレーキをかける機構を必要としない。When a braking pinion made of a resin containing a solid lubricant is braked and driven to engage with a rack or a driving pinion, the solid lubricant contained therein is applied to the rack from the lubricating pinion, The solid lubricant stays on the rack surface and acts as a lubricant when meshing with the drive pinion. The amount of solid lubricant applied is
It can be increased by increasing the pinion brake. Depending on the method of rotatably supporting the lubricating pinion, the frictional force alone can provide sufficient braking, and at that time, a mechanism for applying the braking is not required.
【００１２】[0012]
【実施例】第１発明に係る搬送用ラックピニオンの潤滑
装置の第１実施例を図１，２によって説明する。図１は
本発明に係る第１実施例のプラズマＣＶＤ装置の搬送機
構の模式図、図２は本発明に係る第１実施例の潤滑用ピ
ニオン支持構造の詳細図である。図において搬送台車１
が図示しない軸受を介してガイド３に取付けられたつば
付ガイドローラ３ａによって矢印アの方向に移動可能に
支えられている。１ａは搬送台車１の側面に矢印アの方
向に取付けられたラックでステンレス鋼（ＳＵＳ４４
０）の焼入れ、焼戻し材製である。DETAILED DESCRIPTION OF THE PREFERRED EMBODIMENTS A first embodiment of a lubricating device for a transport rack and pinion according to the first invention will be described with reference to FIGS. FIG. 1 is a schematic view of a transfer mechanism of a plasma CVD apparatus according to a first embodiment of the present invention, and FIG. 2 is a detailed view of a lubricating pinion support structure according to the first embodiment of the present invention. In the figure, a carriage 1
Is supported by a guide roller 3a with a collar attached to the guide 3 via a bearing (not shown) so as to be movable in the direction of arrow A. 1a is a rack mounted on the side surface of the carrier 1 in the direction of arrow A and made of stainless steel (SUS44).
It is made of the quenched and tempered material of 0).
【００１３】２は駆動用ピニオンでステンレス鋼（ＳＵ
Ｓ４４０）の焼入れ焼戻し材製で、モータ４の軸に取付
けられラック１ａに噛み合っている。５は潤滑用ピニオ
ンでラック１ａに噛み合い固体潤滑剤二硫化モリブデン
を含有したＰＥＥＫ樹脂で作られ、図２に示すように固
定軸６に軸受７を介して回転可能に取付けられている。
潤滑用ピニオン５の上部にはブレーキワッシャ８がスプ
リングワッシャ９を介してナット１０で押し当てられて
居り、ナット１０を締めこむことにより潤滑用ピニオン
５の側面に押しつけブレーキをかけることができる。Reference numeral 2 is a drive pinion made of stainless steel (SU
It is made of a quenched and tempered material of S440) and is attached to the shaft of the motor 4 and meshes with the rack 1a. A lubricating pinion 5 is made of PEEK resin containing a solid lubricant molybdenum disulfide that meshes with the rack 1a and is rotatably attached to a fixed shaft 6 via a bearing 7 as shown in FIG.
The brake washer 8 is pressed against the upper part of the lubrication pinion 5 by the nut 10 via the spring washer 9, and by tightening the nut 10, the brake can be pressed against the side surface of the lubrication pinion 5 to apply the brake.
【００１４】前記第１実施例の作用を説明する。モータ
４によって駆動用ピニオン２が回されてラック１ａを矢
印アの方向に駆動する。駆動用ピニオン２はステンレス
鋼（ＳＵＳ４４０）製であるから樹脂製のものより大き
な力に耐えうる。ラック１ａは潤滑用ピニオン５をその
側面に接するブレーキワッシャ８の摩擦に抗して駆動す
る。ナット１０の締め込みで前記摩擦の力は大きくでき
る。潤滑用ピニオン５の材料中に含有される固体潤滑剤
二硫化モリブデンがラック１ａの歯面に塗りつけられ、
前記塗りつけられた二硫化モリブデンはラック１ａと駆
動用ピニオン２との潤滑作用をはたすことができる。The operation of the first embodiment will be described. The drive pinion 2 is rotated by the motor 4 to drive the rack 1a in the direction of arrow A. Since the drive pinion 2 is made of stainless steel (SUS440), it can withstand a larger force than that made of resin. The rack 1a drives the lubricating pinion 5 against the friction of the brake washer 8 contacting its side surface. The friction force can be increased by tightening the nut 10. The solid lubricant molybdenum disulfide contained in the material of the lubricating pinion 5 is applied to the tooth surface of the rack 1a,
The applied molybdenum disulfide can exert a lubricating action on the rack 1a and the drive pinion 2.
【００１５】前記潤滑用ピニオンの材質は前記樹脂ＰＥ
ＥＫの他に弗素樹脂やポリイミド、ポリアミド、ポリオ
キシベンゾイル等が使用可能であり、又固体潤滑剤とし
てはグラファイトも使用可能である。The material of the lubricating pinion is the resin PE
In addition to EK, fluorine resin, polyimide, polyamide, polyoxybenzoyl, etc. can be used, and graphite can also be used as a solid lubricant.
【００１６】第１発明に係る第２実施例を図３によって
説明する。図３は本発明に係る第２実施例の潤滑用ピニ
オン５の取付部詳細図である。第２実施例の潤滑用ピニ
オンの取付部以外は前記第１実施例と同じであるから説
明を省く。潤滑用ピニオン５は、二硫化モリブデンを含
有するＰＥＥＫ樹脂製で固定軸６にすき間嵌めされ、ラ
ック１ａにかみ合っている。潤滑用ピニオン５の上部に
軸６にキー止めされたおもり１１がのせられている。A second embodiment according to the first invention will be described with reference to FIG. FIG. 3 is a detailed view of the mounting portion of the lubricating pinion 5 of the second embodiment according to the present invention. Except for the mounting portion of the lubricating pinion of the second embodiment, it is the same as that of the first embodiment and will not be described. The lubricating pinion 5 is made of PEEK resin containing molybdenum disulfide, is fitted into the fixed shaft 6 with a clearance, and is engaged with the rack 1a. A weight 11 keyed to a shaft 6 is placed on the top of the lubricating pinion 5.
【００１７】前記第１発明第２実施例の作用を説明す
る。駆動用ピニオン２に駆動されてラック１ａが移動す
るとこれにより潤滑用ピニオン５が回わされ、このとき
固定軸６と潤滑用ピニオン５との間及び潤滑用ピニオン
５とおもり１１との接触面における摩擦がブレーキとな
って荷重がかかり、潤滑用ピニオン５の含有する二硫化
モリブデンがラック１ａの歯面に塗りつけられ潤滑剤と
なる。The operation of the second embodiment of the first invention will be described. When the rack 1a is driven by the drive pinion 2 to move, the lubrication pinion 5 is rotated by this, and at this time, in the contact surface between the fixed shaft 6 and the lubrication pinion 5 and the lubrication pinion 5 and the weight 11. The friction serves as a brake and a load is applied, and molybdenum disulfide contained in the lubricating pinion 5 is applied to the tooth surface of the rack 1a to serve as a lubricant.
【００１８】次に第２発明に係る搬送用ラックピニオン
の潤滑装置をその模式図（図４）を参照して説明する。
図において搬送台車１、駆動用ピニオン２、ガイド３、
ガイドローラ３ａ，モータ４及び潤滑用ピニオン５等は
図１〜３に示す第１発明のものと同一のものを使用して
いる。Next, the lubricating device for the rack and pinion for transportation according to the second aspect of the invention will be described with reference to its schematic view (FIG. 4).
In the figure, a carrier vehicle 1, a drive pinion 2, a guide 3,
The guide roller 3a, the motor 4, the lubricating pinion 5, etc. are the same as those of the first invention shown in FIGS.
【００１９】但しその構成において第１発明では潤滑用
ピニオン５はラック１ａと直接噛み合っているが、第２
発明では該潤滑用ピニオン５は図４に示すように前記駆
動用ピニオン２と噛み合っている点が相違している。し
かしその他の点ではその構成は全く同じである。However, in the structure, in the first invention, the lubricating pinion 5 directly meshes with the rack 1a, but
The invention differs in that the lubricating pinion 5 meshes with the driving pinion 2 as shown in FIG. However, in other respects, the configuration is exactly the same.
【００２０】次に第２発明の作用について図４によって
説明する。駆動用ピニオン２で潤滑用ピニオン５が回さ
れると、その接触面における摩擦でブレーキのかかった
潤滑用ピニオン５により駆動用ピニオン２の歯面に潤滑
用ピニオン５の含有する二硫化モルブデンが塗りつけら
れ、潤滑剤として作用するようになる点が第１発明と相
違している。Next, the operation of the second invention will be described with reference to FIG. When the lubrication pinion 5 is rotated by the drive pinion 2, the lubrication pinion 5 that is braked by the friction at the contact surface is applied with the morbutene disulfide contained in the lubrication pinion 5 on the tooth surface of the drive pinion 2. Therefore, it is different from the first invention in that it acts as a lubricant.
【００２１】[0021]
【発明の効果】搬送台車ラックと駆動用ピニオンを金属
材料としても潤滑用ピニオンからラックへ又は前記駆動
用ピニオンへと付着した固体潤滑剤が潤滑効果を発揮し
て焼付や異常摩耗を起さず円滑な動作を行わせることが
できる。そのため樹脂で駆動用ピニオンを製作した場合
と比較して大きな駆動力に耐えることができ、搬送台車
の加速減速を大きくすることができるため、搬送時間が
短縮され、プラズマＣＶＤ装置の生産力が高まる。EFFECTS OF THE INVENTION Even when the carrier rack and the drive pinion are made of metal, the solid lubricant adhered from the lubrication pinion to the rack or to the drive pinion exerts a lubricating effect and does not cause seizure or abnormal wear. A smooth operation can be performed. Therefore, compared with the case where the driving pinion is made of resin, it is possible to endure a large driving force, and it is possible to increase the acceleration and deceleration of the transport carriage, so that the transport time is shortened and the productivity of the plasma CVD apparatus is increased. .
【図１】第１発明に係る第１実施例のプラズマＣＶＤ装
置の台車搬送機構の模式図、FIG. 1 is a schematic diagram of a carriage transport mechanism of a plasma CVD apparatus according to a first embodiment of the first invention,
【図２】第１発明に係る第１実施例の潤滑用ピニオン取
付部詳細図、FIG. 2 is a detailed view of the lubricating pinion mounting portion of the first embodiment according to the first invention,
【図３】第１発明に係る第２実施例の潤滑用ピニオン取
付部詳細図、FIG. 3 is a detailed view of a lubricating pinion mounting portion of a second embodiment according to the first invention,
【図４】第２発明の図１応当図、FIG. 4 is a correspondence diagram of FIG. 1 of the second invention;
【図５】従来例のプラズマＣＶＤ装置の台車搬送機構の
模式図。FIG. 5 is a schematic diagram of a carriage transport mechanism of a conventional plasma CVD apparatus.
０１，１…搬送台車、０２…駆動用ピニオン、２…駆動
用ピニオン、０３，３…ガイド、０３ａ，３ａ…つば付
ガイドローラ、０４，４…駆動用モータ、５…潤滑用ピ
ニオン、６…固定軸、７…軸受、８…ブレーキワッシ
ャ、９…スプリングワッシャ、１０…ナット、１１…お
もり。01, 1 ... Transport carriage, 02 ... Drive pinion, 2 ... Drive pinion, 03, 3 ... Guide, 03a, 3a ... Brim guide roller, 04, 4 ... Drive motor, 5 ... Lubrication pinion, 6 ... Fixed shaft, 7 ... Bearing, 8 ... Brake washer, 9 ... Spring washer, 10 ... Nut, 11 ... Weight.
Claims (2)
送台車（１）にラック（１ａ）が取付けられ之に噛み合
う駆動用ピニオン（２）によって駆動される搬送装置に
おいて、前記ラックと噛み合い且回転に対しブレーキを
かけ得る固体潤滑剤を含有する樹脂製の潤滑用ピニオン
（５）を有してなることを特徴とする搬送用ラックピニ
オンの潤滑装置。1. A transporting device driven by a drive pinion (2), wherein a rack (1a) is attached to a transporting carriage (1) which moves in a space where the atmosphere is also vacuum, and meshes with the rack. A lubricating device for a rack and pinion for transportation, comprising a resin-made lubricating pinion (5) containing a solid lubricant capable of braking rotation.
送台車（１）にラック（１ａ）が取付けられ之に噛み合
う駆動用ピニオン（２）によって駆動される搬送装置に
おいて、前記駆動用ピニオン（２）と噛み合い且回転に
対しブレーキをかけ得る固体潤滑剤を有する樹脂製の潤
滑用ピニオン（５）を有してなることを特徴とする搬送
用ラックピニオンの潤滑装置。2. A transport device driven by a drive pinion (2), wherein a rack (1a) is attached to a transport carriage (1) which moves in a space where the atmosphere is also vacuum, and the drive pinion (2). A lubrication device for a transport rack and pinion, comprising a resin-made lubricating pinion (5) having a solid lubricant capable of meshing with 2) and braking against rotation.
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|---|---|---|---|
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ID=26354998
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